JPH09164689A - Manufacture of ink jet nozzle forming member - Google Patents

Manufacture of ink jet nozzle forming member

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JPH09164689A
JPH09164689A JP32484195A JP32484195A JPH09164689A JP H09164689 A JPH09164689 A JP H09164689A JP 32484195 A JP32484195 A JP 32484195A JP 32484195 A JP32484195 A JP 32484195A JP H09164689 A JPH09164689 A JP H09164689A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
forming member
nozzle
ink
nozzle forming
resist ink
Prior art date
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Pending
Application number
JP32484195A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuzuru Kudo
譲 工藤
Shinichi Tsunoda
慎一 角田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
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Publication of JPH09164689A publication Critical patent/JPH09164689A/en
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a surface treating film from entering a nozzle by coating a side face of an ink chamber of a nozzle forming member with a resist ink so as to form a protrusion of it on a surface side of the nozzle forming member from the nozzle by using a screen mask, performing surface treatment of the surface side, and peeling the resist ink. SOLUTION: To a side face of an ink chamber of a nozzle plate 15, a screen mask 31 having an ink permeating range corresponding to the nozzle plate 15 is set. Thereafter, a resist ink is applied by using a squeegee 33. At this time, a protrusion 34 formed by protruding the resist ink 32 to the surface of the nozzle plate 15 from a nozzle 14 is formed. As the resist ink 32 can be charged into the nozzle 14 up to the limit of edge of an opening end at the surface side of the nozzle 14, a surface treating film can be prevented from entering the nozzle 14 at the time of surface treatment. Next, the screen mask 31 is removed and the resist ink 32 is cured so as to form the surface treating film, for example, a water repellent film, and the resist ink 32 is peeled.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットヘッ
ドにおいて用いられるインクジェット用ノズル形成部材
の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an inkjet nozzle forming member used in an inkjet head.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェットヘッドを用いて画像を記
録するプリンタ、ファクシミリ、コピー等のインクジェ
ット記録装置は、インク滴を吐出するための複数のノズ
ルと、各ノズルに対応して設けた電気機械変換素子や発
熱抵抗体などのアクチュエータとを備えたインクジェッ
トヘッドを記録ヘッドに用いて、記録信号に応じてノズ
ルからインク滴を記録媒体(インク滴が付着するもの)
に吐出することによって、高速、高解像度、高品質の記
録を行なうものである。
2. Description of the Related Art An ink jet recording apparatus, such as a printer, a facsimile, or a copier, which records an image using an ink jet head, includes a plurality of nozzles for discharging ink droplets, and an electromechanical transducer provided for each nozzle. Using an inkjet head equipped with an actuator such as a heater or a heating resistor as a printhead, ink droplets are ejected from nozzles in response to print signals on a print medium (one to which ink drops adhere)
By discharging the ink onto the recording medium, high-speed, high-resolution, high-quality recording is performed.

【0003】ところで、インクジェットヘッドは、上述
したようにヒータ、圧電素子等のエネルギー発生手段
(アクチュエータ)を駆動することによってノズルから
液滴化したインク(インク滴)を吐出飛翔させるため、
ノズルの形状、精度等がインク滴の噴射特性(インク滴
吐出性能)に影響を与えると共に、ノズルを形成してい
るノズル形成部材の表面の特性がインク滴の噴射特性に
影響を与える。例えば、ノズル形成部材表面のノズル周
辺部にインクが付着して不均一なインク溜り(所謂濡れ
ムラ)が発生すると、インク滴の吐出方向が曲げられた
り、インク滴の大きさにバラツキが生じたり、インク滴
の飛翔速度が不安定になる等の不都合が生じることが知
られている。
By the way, the ink jet head ejects ink droplets (ink droplets) ejected from the nozzles by driving the energy generating means (actuator) such as the heater and the piezoelectric element as described above.
The shape and accuracy of the nozzles affect the ink droplet ejection characteristics (ink droplet ejection performance), and the surface characteristics of the nozzle forming member forming the nozzles affect the ink droplet ejection characteristics. For example, when the ink adheres to the periphery of the nozzle on the surface of the nozzle forming member and uneven ink pool (so-called uneven wetting) occurs, the ejection direction of the ink droplet is bent, and the size of the ink droplet varies. It is known that inconveniences such as an unstable flying speed of ink droplets occur.

【0004】そこで、従来、ノズル形成部材の表面に、
撥水性を有する表面処理を施すことで均一性を高めるこ
とが知られている。例えばシリコン系撥水剤、フッ素系
撥水剤などの撥水剤を塗布する方法(特開昭55−65
564号公報参照)、フロロアルコキシシランなどで表
面処理する方法(特開昭56−89569号公報参
照)、フッ素系化合物やシラン系化合物のプラズマ重合
膜を形成する方法(特開昭64−87359号公報参
照)、フロロシリコーンコーティング剤で処理する方法
(特開平2−39944号公報参照)、フッ素系高分子
共析メッキで撥水層を形成する方法(特開昭63−39
63号公報、特開平4−294145号公報参照)など
がある。
Therefore, conventionally, on the surface of the nozzle forming member,
It is known to improve the uniformity by applying a surface treatment having water repellency. For example, a method of applying a water repellent such as a silicone water repellent or a fluorine water repellent (Japanese Patent Laid-Open No. 55-65).
No. 564), a method of surface-treating with fluoroalkoxysilane (see JP-A-56-89569), and a method of forming a plasma polymerized film of a fluorine compound or a silane compound (JP-A-64-87359). (See Japanese Patent Laid-Open Publication No. 63-39), a method of treating with a fluorosilicone coating agent (see Japanese Patent Laid-Open No. 2-39944), and a method of forming a water-repellent layer by fluoropolymer eutectoid plating (Japanese Patent Laid-Open No. 63-39).
63, JP-A-4-294145, etc.).

【0005】ところが、このようにノズル形成部材の表
面には撥水処理等の表面処理を行う場合に、例えば撥水
性材料がノズル内に侵入すると、撥水膜を形成したくな
い部分にまで撥水膜が形成され、ノズル径が縮小するこ
とになる。
However, when a surface treatment such as water repellent treatment is performed on the surface of the nozzle forming member in this way, for example, if a water repellent material enters the nozzle, the water repellent film is repelled even to a portion where it is not desired to form a water repellent film. A water film is formed and the nozzle diameter is reduced.

【0006】そこで、例えば特開平6−143587号
公報に記載されているように撥水性材料を滲み込ませた
ウレタンフォームをノズル形成部材の表面に接触させ
て、ノズル形成部材の表面に撥水性材料を転写すること
によって、ノズル内に撥水性材料が侵入しないようにす
ることが知られている。
Therefore, for example, as described in JP-A-6-143587, a urethane foam impregnated with a water repellent material is brought into contact with the surface of the nozzle forming member, and the water repellent material is applied to the surface of the nozzle forming member. It is known that the water repellent material is prevented from entering the nozzle by transferring the ink.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たように撥水性材料を滲み込ませたウレタンフォームを
ノズル形成部材の表面に接触させて撥水性材料を転写す
る方法にあっては、形成できる撥水膜の厚さが0.1μ
m程度であり、インク吐出後に信頼性回復維持のために
シリコンゴム等のブレードでワイピングを行うようにし
た場合、撥水膜の摩耗が早く寿命が短くなる。
However, in the method of transferring the water-repellent material by bringing the urethane foam impregnated with the water-repellent material into contact with the surface of the nozzle forming member as described above, the repellent material which can be formed is formed. Water film thickness is 0.1μ
m is about m, and when wiping is performed with a blade of silicon rubber or the like after ink ejection to maintain reliability recovery, the water-repellent film wears quickly and the life is shortened.

【0008】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、耐久性のある表面処理膜をノズル内に侵入するこ
となく形成できるインクジェット用ノズル形成部材の製
造方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to provide a method of manufacturing a nozzle forming member for an ink jet, which can form a durable surface-treated film without penetrating into the nozzle. To do.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項1のインクジェット用ノズル形成部材の製造
方法は、インクを吐出するノズル周辺部に表面処理を施
すインクジェット用ノズル形成部材の製造方法におい
て、前記ノズル形成部材のインク液室面側にスクリーン
マスクを用いてレジストインクを塗布して、前記ノズル
から前記ノズル形成部材の表面側にレジストインクを突
出させた突出部を形成した後、前記ノズル形成部材の表
面側に表面処理を施し、次いで前記レジストインクを剥
離する。
In order to solve the above-mentioned problems, the method of manufacturing an ink-jet nozzle forming member according to claim 1 is a method of manufacturing an ink-jet nozzle forming member for subjecting a peripheral portion of an ink ejecting nozzle to a surface treatment. In the method, after applying a resist ink using a screen mask on the ink liquid chamber surface side of the nozzle forming member, after forming a protruding portion for protruding the resist ink from the nozzle to the surface side of the nozzle forming member, A surface treatment is applied to the surface side of the nozzle forming member, and then the resist ink is peeled off.

【0010】請求項2のインクジェット用ノズル形成部
材の製造方法は、上記請求項1の製造方法において、前
記突出部のノズル形成部材表面からの高さを11μm以
上にした。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing an ink jet nozzle forming member, wherein the height of the protrusion from the surface of the nozzle forming member is 11 μm or more.

【0011】請求項3のインクジェット用ノズル形成部
材の製造方法は、上記請求項1又は2の製造方法におい
て、前記レジストインクは、粘度が100cP以上で且
つチキソ性を有し、更に不揮発性分が60%以上である
構成とした。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a method for producing an ink jet nozzle forming member according to the first or second aspect, wherein the resist ink has a viscosity of 100 cP or more and thixotropy, and further has a nonvolatile content. The composition is 60% or more.

【0012】請求項4のインクジェット用ノズル形成部
材の製造方法は、上記請求項1乃至3のいずれかの製造
方法において、前記表面処理をポリテトラフルオロエチ
レン微粒子を分散させた無電解ニッケルメッキ、ポリテ
トラフルオロエチレン微粒子を分散させた電解ニッケル
メッキ及びポリテトラフルオロエチレン微粒子を分散さ
せた電着塗装のいずれかによって行う構成とした。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method for producing an ink jet nozzle forming member according to any one of the first to third aspects, wherein the surface treatment is electroless nickel plating in which polytetrafluoroethylene fine particles are dispersed. The configuration was performed by either electrolytic nickel plating in which tetrafluoroethylene fine particles were dispersed or electrodeposition coating in which polytetrafluoroethylene fine particles were dispersed.

【0013】請求項5のインクジェット用ノズル形成部
材の製造方法は、上記請求項1乃至4のいずれかの製造
方法において、前記表面処理の膜厚を1μm〜10μm
の範囲内にした。
A method for manufacturing an ink jet nozzle forming member according to a fifth aspect is the method for manufacturing an ink jet nozzle according to any one of the first to fourth aspects, wherein the film thickness of the surface treatment is 1 μm to 10 μm.
It was within the range of.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図1は本発明を適用したイン
クジェットヘッドの一例を示す分解斜視図、図2は同ヘ
ッドの要部拡大断面図、図3は図2とは異なる方向の同
ヘッドの要部拡大断面図である。このインクジェットヘ
ッドは、セラミック、ガラスエポキシ樹脂等からなる基
板1上に、複数の積層型圧電素子2を接合して2列列設
すると共に、これらの各列の積層型圧電素子2の周囲を
取り囲むフレーム3を接合している。ここで、複数の積
層型圧電素子2は、駆動部となる積層型圧電素子2(以
下、これを「駆動部圧電素子」4とする。)と支柱部と
なる積層型圧電素子2(以下、これを「支柱部圧電素子
5」とする。)を交互に配置している。また、積層型圧
電素子2及びフレーム3の上面はほぼ同一平面に位置出
ししている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is an exploded perspective view showing an example of an inkjet head to which the present invention is applied, FIG. 2 is an enlarged sectional view of an essential part of the head, and FIG. 3 is an enlarged sectional view of an essential part of the head in a direction different from that of FIG. . In this ink jet head, a plurality of laminated piezoelectric elements 2 are bonded and arranged in two rows on a substrate 1 made of ceramic, glass epoxy resin or the like, and the periphery of each laminated piezoelectric element 2 in each row is surrounded. The frame 3 is joined. Here, the plurality of laminated piezoelectric elements 2 include a laminated piezoelectric element 2 (hereinafter, referred to as a “driving portion piezoelectric element” 4) that serves as a driving portion and a laminated piezoelectric element 2 (hereinafter, referred to as a strut portion). This will be referred to as "strut piezoelectric element 5"). Further, the upper surfaces of the laminated piezoelectric element 2 and the frame 3 are positioned substantially on the same plane.

【0015】そして、これらの積層型圧電素子2及びフ
レーム3の上面に振動板7を接合している。この振動板
7は、変位部となるダイヤフラム8と、支柱部圧電素子
5に接合する梁9、フレーム3に接合するベース10か
ら形成し、またダイヤフラム8は駆動部圧電素子4に対
向する凸部11及び薄膜部分12から形成している。な
お、基板1と積層型圧電素子2及び振動板7との接合は
接着剤6によって行っている。
A vibrating plate 7 is bonded to the upper surfaces of the laminated piezoelectric element 2 and the frame 3. The vibrating plate 7 is formed of a diaphragm 8 serving as a displacement portion, a beam 9 joined to the pillar piezoelectric element 5 and a base 10 joined to the frame 3, and the diaphragm 8 is a convex portion opposed to the driving portion piezoelectric element 4. 11 and the thin film portion 12. The substrate 1 is bonded to the laminated piezoelectric element 2 and the diaphragm 7 with an adhesive 6.

【0016】この振動板7上に2層構造の感光性樹脂フ
ィルム等からなる液室流路形成部材13を接着し、この
液室流路形成部材13上に複数のノズル14を形成した
ノズル形成部材であるノズルプレート15を接着してい
る。液室流路形成部材13は上部隔壁17及び下部隔壁
18からなり、振動板7及びノズルプレート15と共
に、圧電素子4に対向する加圧液室19、加圧液室19
の両側等に位置する共通液室20、加圧液室19と共通
液室20を連通する流体抵抗部を兼ねたインク供給路2
1を形成している。
A liquid chamber flow path forming member 13 made of a photosensitive resin film having a two-layer structure is adhered onto the vibrating plate 7, and a plurality of nozzles 14 are formed on the liquid chamber flow path forming member 13. The nozzle plate 15, which is a member, is bonded. The liquid chamber flow path forming member 13 includes an upper partition wall 17 and a lower partition wall 18, and together with the vibrating plate 7 and the nozzle plate 15, a pressurized liquid chamber 19 and a pressurized liquid chamber 19 facing the piezoelectric element 4.
Of the common liquid chamber 20, which is located on both sides of the ink supply channel 2, and the pressurizing liquid chamber 19 and the common liquid chamber 20, which also serve as a fluid resistance portion 2
1 is formed.

【0017】また、基板1上にはすべての積層型圧電素
子2に導通する共通電極パターン25及び駆動部圧電素
子4に個別的に導通する選択電極パターン26をそれぞ
れ形成している。なお、共通電極パターン25はフレー
ム3の中央部に形成した穴部27に対応する位置にベー
ス基板1上に接合する図示しない導通部材にてすべての
積層型圧電素子2と導通を取るようにしている。なお、
選択電極パターン26は製造工程上支柱部圧電素子5に
も接続されているが、選択信号を与えないようにしてい
る。
On the substrate 1, a common electrode pattern 25 that conducts to all the laminated piezoelectric elements 2 and a selection electrode pattern 26 that individually conducts to the driving portion piezoelectric elements 4 are formed. The common electrode pattern 25 is electrically connected to all the laminated piezoelectric elements 2 by a conductive member (not shown) bonded on the base substrate 1 at a position corresponding to the hole 27 formed in the center of the frame 3. There is. In addition,
Although the selection electrode pattern 26 is also connected to the pillar piezoelectric element 5 in the manufacturing process, the selection signal is not applied.

【0018】さらに、基板1、フレーム3及び振動板7
には、外部から供給されるインクを共通液室20に供給
するためのインク供給孔30,31,32をそれぞれ形
成している。
Further, the substrate 1, the frame 3 and the diaphragm 7
Ink supply holes 30, 31, and 32 for supplying ink supplied from the outside to the common liquid chamber 20 are formed in each of them.

【0019】このインクジェットにおいては、共通電極
パターン25を介して駆動パルスを印加し、選択電極パ
ターン26を介して記録画像に応じた選択信号を印加す
ることによって、駆動部圧電素子4を選択的に駆動して
加圧液室19を加圧し、ノズル14からインク滴を噴射
させることで、画像を記録する。
In this ink jet, a driving pulse is applied through the common electrode pattern 25 and a selection signal corresponding to a recorded image is applied through the selection electrode pattern 26, so that the driving portion piezoelectric element 4 is selectively selected. An image is recorded by driving and pressurizing the pressurized liquid chamber 19 and ejecting ink droplets from the nozzle 14.

【0020】そこで、ノズル形成部材であるノズルプレ
ート15の製造方法について図4を参照して説明する。
先ず、同図(a)に示すようにノズルプレート15のイ
ンク液室側面(裏面)にノズルプレート15に対応した
インク透過範囲を有するスクリーンマスク31をセット
する。このスクリーンマスク31の材質としては、ナイ
ロン、ポリエステル、ステンレス等の一般的なものでよ
い。
Therefore, a method of manufacturing the nozzle plate 15 which is the nozzle forming member will be described with reference to FIG.
First, as shown in FIG. 3A, a screen mask 31 having an ink transmission range corresponding to the nozzle plate 15 is set on the side surface (rear surface) of the ink liquid chamber of the nozzle plate 15. The screen mask 31 may be made of a general material such as nylon, polyester, stainless steel or the like.

【0021】その後、同図(b)に示すようにレジスト
インク32をスキージ33を用いて塗布する。なお、ス
キージ33に代えてローラー等を使用することもでき
る。また、レジストインク32としては、撥水膜(表面
処理)をメッキで行う場合にはその前処理として通常酸
活性化処理等を行うので、耐酸性を有することが必要に
なる。耐酸性を有するものであれば、熱硬化型、紫外線
硬化型等の種類は限定されない。
After that, the resist ink 32 is applied by using a squeegee 33 as shown in FIG. A roller or the like may be used instead of the squeegee 33. Further, when the water-repellent film (surface treatment) is formed by plating, the resist ink 32 is usually subjected to acid activation treatment or the like as a pretreatment, so that it is necessary to have acid resistance. As long as it has acid resistance, the types such as thermosetting type and ultraviolet curing type are not limited.

【0024】このようにしてレジストインク32を塗布
して同図(c)に示すようにレジストインク32をノズ
ル14からノズルプレート15の表面(吐出面)に突出
させた突出部34を形成する。ここで、レジストインク
32として、粘度が100cP以上で且つチキソ性を有
し、更に不揮発性分が60%以上であるもの(例えば、
山栄化学(株)製、商品名:SPR550CMT)を用
いると、ノズル14から表面に突出したレジストインク
32が横に広がらず、そのまま塔のように盛り上がり、
最終的にノズル14の径と同じ径の突出部34が形成さ
れる。
In this way, the resist ink 32 is applied to form a projection 34, which is formed by projecting the resist ink 32 from the nozzle 14 onto the surface (ejection surface) of the nozzle plate 15 as shown in FIG. Here, as the resist ink 32, one having a viscosity of 100 cP or more and thixotropy and a nonvolatile content of 60% or more (for example,
When using Sanei Chemical Co., Ltd., trade name: SPR550CMT, the resist ink 32 protruding from the nozzle 14 to the surface does not spread laterally and rises up like a tower as it is.
Finally, the protrusion 34 having the same diameter as the diameter of the nozzle 14 is formed.

【0025】また、このとき、レジストインク32をノ
ズル14の表面側開口端のエッジ部ぎりぎりまで充填で
きるので、表面処理時に表面処理膜がノズル14内に侵
入することを防止できる。この場合、突出部34のノズ
ルプレート15表面からの高さは、表面処理膜の膜厚よ
りも高くする必要があり、表面処理膜の膜厚を後述する
ように最大10μmにするときには、突出部34の高さ
が11μm以上になるようにする。
Further, at this time, the resist ink 32 can be filled up to the edge of the opening end on the front surface side of the nozzle 14, so that the surface treatment film can be prevented from entering the nozzle 14 during the surface treatment. In this case, the height of the protrusion 34 from the surface of the nozzle plate 15 needs to be higher than the film thickness of the surface treatment film. When the thickness of the surface treatment film is set to 10 μm at the maximum as described later, the protrusion The height of 34 should be 11 μm or more.

【0026】なお、チキソ性のないレジストインクを用
いた場合には、レジストインク塗布時にノズル14から
表面に突出した例示スプリングとインクがノズル周辺部
にはみ出してしまって表面処理を施すことが困難になる
場合がある。また、レジストインクの揮発性分が多量に
あると、レジストインクが硬化したときの収縮率が大き
く、突出部34がノズル径以下に縮んでしまうおそれが
ある。したがって、レジストインクとしては、上記のよ
うに粘度が100cP以上で且つチキソ性を有し、更に
不揮発性分が60%以上であるものを用いることが好ま
しい。
When a resist ink having no thixotropic property is used, the exemplary spring and the ink protruding from the nozzle 14 to the surface when the resist ink is applied protrudes to the peripheral portion of the nozzle, which makes it difficult to perform the surface treatment. May be. Further, if the resist ink has a large amount of volatile components, the shrinkage rate when the resist ink is hardened is large, and there is a risk that the protrusion 34 contracts below the nozzle diameter. Therefore, as the resist ink, it is preferable to use one having a viscosity of 100 cP or more and thixotropy and a nonvolatile content of 60% or more as described above.

【0027】その後、同図(d)に示すようにスクリー
ンマスク31を取外してレジストインク32を硬化させ
た後、同図(e)に示すように表面処理膜、例えば撥水
膜35を形成し、その後同図(f)に示すようにレジス
トインク31を剥離してノズルプレート15を完成す
る。
Thereafter, as shown in FIG. 3D, the screen mask 31 is removed and the resist ink 32 is cured, and then a surface treatment film, for example, a water repellent film 35 is formed as shown in FIG. After that, the resist ink 31 is peeled off to complete the nozzle plate 15 as shown in FIG.

【0028】ここで、撥水膜35は、例えば、ポリテト
ラフルオロエチレン(PTFE)微粒子を分散させた無
電解ニッケルメッキ(例えば、上村工業(株)、商品
名:ニムフロン)、PTFE微粒子を分散させた電解ニ
ッケルメッキ(例えば、上村工業(株)、商品名:メタ
フロン)、PTFE微粒子を分散させた電着塗装(例え
ば、(株)シミズ、商品名:エレコート”ナイスロン”
又はエレコートAMF)等を用いる。
Here, the water-repellent film 35 is, for example, electroless nickel plating in which polytetrafluoroethylene (PTFE) fine particles are dispersed (for example, Uemura Kogyo Co., Ltd., trade name: Nimflon), and PTFE fine particles are dispersed therein. Electrolytic nickel plating (for example, Uemura Industry Co., Ltd., trade name: Metaflon), electrodeposition coating in which PTFE fine particles are dispersed (for example, Shimizu Co., Ltd., trade name: Elecoat "Niceron")
Alternatively, Elecoat AMF) or the like is used.

【0029】この場合、PTFE分散無電解ニッケルメ
ッキは、膜厚の均一性に優れており、PTFE高分散タ
イプのもの(例えば、上村工業(株)、商品名:ニムフ
ロンFRS、分散率30vol.%以上)のものもある。こ
のようにPTFE分散電解ニッケルメッキは、メッキ速
度の高速化が可能で、且つメッキ膜内PTFE分散比率
を容易に大きくできるという利点がある。また、電着塗
装は、物理的強度がメッキに比べて若干低いものの、塗
料が中性であるので、レジストインクに耐酸性を持たせ
る必要がなく、更にメッキに比べてコスト的に有利であ
るという利点がある。
In this case, the PTFE-dispersed electroless nickel plating is excellent in film thickness uniformity and is a highly dispersed PTFE type (eg, Uemura Kogyo Co., Ltd., trade name: Nimflon FRS, dispersion rate 30 vol.%). Above). As described above, the PTFE-dispersed electrolytic nickel plating has the advantages that the plating speed can be increased and that the PTFE dispersion ratio in the plating film can be easily increased. In addition, although the physical strength of electrodeposition coating is slightly lower than that of plating, since the paint is neutral, it is not necessary to impart acid resistance to the resist ink, and it is more cost effective than plating. There is an advantage.

【0030】また、撥水膜35の膜厚については、薄す
ぎるとワイピングに対する耐久性が劣り、厚くしすぎる
と膜形成に時間と素材がかかりコストが高くなるので、
1〜10μmの範囲で形成するようにすれば、耐久性と
コストの調和を図ることができる。
As for the film thickness of the water-repellent film 35, if it is too thin, the durability against wiping is poor, and if it is too thick, it takes time and material to form the film, resulting in high cost.
If it is formed in the range of 1 to 10 μm, durability and cost can be harmonized.

【0031】なお、上記実施例においてはアクチュエー
タとして圧電素子を用いるインクジェットヘッドのノズ
ルプレートに本発明を適用したが、アクチュエータとし
て発熱素子を用いるインクジェットヘッドのノズルプレ
ートにも同様に適用することができる。
Although the present invention is applied to the nozzle plate of the ink jet head using the piezoelectric element as the actuator in the above embodiment, the present invention can be similarly applied to the nozzle plate of the ink jet head using the heating element as the actuator.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上説明したように請求項1のノズル形
成部材の製造方法によれば、ノズル形成部材のインク液
室面側にスクリーンマスクを用いてレジストインクを塗
布して、ノズルからノズル形成部材の表面側にレジスト
インクを突出させた突出部を形成した後、ノズル形成部
材の表面側に表面処理を施し、次いでレジストインクを
剥離するようにしたので、耐久性のある表面処理膜をノ
ズル内に侵入することなく形成することができる。
As described above, according to the method for manufacturing the nozzle forming member of the first aspect, the resist ink is applied to the ink liquid chamber surface side of the nozzle forming member using the screen mask to form the nozzle from the nozzle. After forming a protrusion on the surface of the member where the resist ink was projected, the surface of the nozzle forming member was subjected to a surface treatment, and then the resist ink was peeled off. It can be formed without invading.

【0033】請求項2のノズル形成部材の製造方法によ
れば、上記請求項1の製造方法において、突出部のノズ
ル形成部材表面からの高さを11μm以上にしたので、
ワイピングに対する耐久性とコストの調和を図れる表面
処理膜の形成が可能になる。
According to the method of manufacturing a nozzle forming member of claim 2, in the manufacturing method of claim 1, the height of the protrusion from the surface of the nozzle forming member is 11 μm or more.
It becomes possible to form a surface-treated film that can achieve a balance between durability against wiping and cost.

【0034】請求項3のノズル形成部材の製造方法によ
れば、上記請求項1又は2の製造方法において、レジス
トインクは、粘度が100cP以上で且つチキソ性を有
し、更に不揮発性分が60%以上である構成としたの
で、確実にノズル径と同じレジストインクの突出部を形
成することができる。
According to the manufacturing method of the nozzle forming member of claim 3, in the manufacturing method of the above-mentioned claim 1 or 2, the resist ink has a viscosity of 100 cP or more and thixotropy, and further has a nonvolatile content of 60. %, It is possible to reliably form the protrusion portion of the resist ink having the same diameter as the nozzle diameter.

【0035】請求項4のノズル形成部材の製造方法によ
れば、上記請求項1乃至3のいずれかの製造方法におい
て、表面処理をポリテトラフルオロエチレン微粒子を分
散させた無電解ニッケルメッキ、ポリテトラフルオロエ
チレン微粒子を分散させた電解ニッケルメッキ及びポリ
テトラフルオロエチレン微粒子を分散させた電着塗装の
いずれかによって行う構成としたので、容易に撥水性の
ある表面処理膜を形成することができる。
According to the method for manufacturing a nozzle forming member of claim 4, in the manufacturing method according to any one of claims 1 to 3, the surface treatment is performed by electroless nickel plating in which polytetrafluoroethylene fine particles are dispersed, or polytetrafluoroethylene. Since the configuration is performed by either electrolytic nickel plating in which fluoroethylene fine particles are dispersed or electrodeposition coating in which polytetrafluoroethylene fine particles are dispersed, a water-repellent surface-treated film can be easily formed.

【0036】請求項5のノズル形成部材の製造方法によ
れば、上記請求項1乃至4のいずれかの製造方法におい
て、表面処理の膜厚を1μm〜10μmの範囲内にした
ので、ワイピングに対する耐久性とコストの調和を図る
ことができる。
According to the manufacturing method of the nozzle forming member of claim 5, in the manufacturing method of any one of claims 1 to 4, the film thickness of the surface treatment is within the range of 1 μm to 10 μm. It is possible to achieve a good balance between sex and cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明を適用するインクジェットヘッドの一例
を示す分解斜視図
FIG. 1 is an exploded perspective view showing an example of an inkjet head to which the present invention is applied.

【図2】同ヘッドの要部拡大断面図FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part of the head.

【図3】図2とは異なる方向の同ヘッドの要部拡大断面
FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the head in a direction different from that of FIG.

【図4】ノズルプレート製造工程の一部を説明する工程
FIG. 4 is a process diagram illustrating a part of a nozzle plate manufacturing process.

【図5】 ノズルプレート製造工程の残部を説明する工
程図
FIG. 5 is a process diagram illustrating the rest of the nozzle plate manufacturing process.

【符号の説明】 1…基板、2…積層型圧電素子、3…フレーム、4…駆
動部圧電素子、5…支柱部圧電素子、7…振動板、13
…液室流路形成部材、14…ノズル、15…ノズルプレ
ート、19…加圧液室、20…共通液室、31…スクリ
ーンマスク、32…レジストインク、34…突出部、3
5…撥水膜。
[Explanation of Codes] 1 ... Substrate, 2 ... Laminated piezoelectric element, 3 ... Frame, 4 ... Drive portion piezoelectric element, 5 ... Support portion piezoelectric element, 7 ... Vibration plate, 13
... Liquid chamber flow path forming member, 14 ... Nozzle, 15 ... Nozzle plate, 19 ... Pressurized liquid chamber, 20 ... Common liquid chamber, 31 ... Screen mask, 32 ... Resist ink, 34 ... Projection part, 3
5 ... Water repellent film.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 インクを吐出するノズル周辺部に表面処
理を施すインクジェット用ノズル形成部材の製造方法に
おいて、前記ノズル形成部材のインク液室面側にスクリ
ーンマスクを用いてレジストインクを塗布して、前記ノ
ズルから前記ノズル形成部材の表面側にレジストインク
を突出させた突出部を形成した後、前記ノズル形成部材
の表面側に表面処理を施し、次いで前記レジストインク
を剥離することを特徴とするインクジェット用ノズル形
成部材の製造方法。
1. A method of manufacturing an inkjet nozzle forming member, wherein surface treatment is applied to a peripheral portion of an ink ejecting nozzle, wherein a resist ink is applied to a side of an ink liquid chamber of the nozzle forming member using a screen mask, An inkjet characterized in that after forming a protruding portion in which resist ink is projected from the nozzle on the surface side of the nozzle forming member, surface treatment is applied to the surface side of the nozzle forming member, and then the resist ink is peeled off. For manufacturing a nozzle forming member for a car.
【請求項2】 請求項1に記載のインクジェット用ノズ
ル形成部材の製造方法において、前記突出部のノズル形
成部材表面からの高さを11μm以上にしたことを特徴
とするインクジェット用ノズル形成部材の製造方法。
2. The method for manufacturing an inkjet nozzle forming member according to claim 1, wherein the height of the protrusion from the surface of the nozzle forming member is 11 μm or more. Method.
【請求項3】 請求項1又は2に記載のインクジェット
用ノズル形成部材の製造方法において、前記レジストイ
ンクは、粘度が100cP以上で且つチキソ性を有し、
更に不揮発性分が60%以上であることを特徴とするイ
ンクジェット用ノズル形成部材の製造方法。
3. The method for manufacturing an inkjet nozzle forming member according to claim 1, wherein the resist ink has a viscosity of 100 cP or more and thixotropic properties,
Furthermore, the non-volatile content is 60% or more, and a method for manufacturing an inkjet nozzle forming member.
【請求項4】 請求項1乃至3のいずれかに記載のイン
クジェット用ノズル形成部材の製造方法において、前記
表面処理をポリテトラフルオロエチレン微粒子を分散さ
せた無電解ニッケルメッキ、ポリテトラフルオロエチレ
ン微粒子を分散させた電解ニッケルメッキ及びポリテト
ラフルオロエチレン微粒子を分散させた電着塗装のいず
れかによって行うことを特徴とするインクジェット用ノ
ズル形成部材の製造方法。
4. The method for producing an inkjet nozzle forming member according to claim 1, wherein the surface treatment is performed by electroless nickel plating in which polytetrafluoroethylene fine particles are dispersed, and polytetrafluoroethylene fine particles are formed. A method for producing a nozzle forming member for inkjet, which is performed by any one of dispersed electrolytic nickel plating and electrodeposition coating in which polytetrafluoroethylene fine particles are dispersed.
【請求項5】 請求項1乃至4のいずれかに記載のイン
クジェット用ノズル形成部材の製造方法において、前記
表面処理の膜厚を1μm〜10μmの範囲内にしたこと
を特徴とするインクジェット用ノズル形成部材の製造方
法。
5. The method for manufacturing an inkjet nozzle forming member according to claim 1, wherein the film thickness of the surface treatment is within a range of 1 μm to 10 μm. A method of manufacturing a member.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7344235B2 (en) 2002-01-15 2008-03-18 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Ink composition for ink jet recording, ink cartridge, nozzle plate for ink jet recording, ink jet head, and recording apparatus

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7344235B2 (en) 2002-01-15 2008-03-18 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Ink composition for ink jet recording, ink cartridge, nozzle plate for ink jet recording, ink jet head, and recording apparatus

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