JPH09148096A - Fluorocarbon decomposing method - Google Patents

Fluorocarbon decomposing method

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JPH09148096A
JPH09148096A JP7308952A JP30895295A JPH09148096A JP H09148096 A JPH09148096 A JP H09148096A JP 7308952 A JP7308952 A JP 7308952A JP 30895295 A JP30895295 A JP 30895295A JP H09148096 A JPH09148096 A JP H09148096A
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JP
Japan
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plasma
fluorocarbon
cfcs
oxygen
gas
Prior art date
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Application number
JP7308952A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasumasa Nakanishi
靖正 中西
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Shinmaywa Auto Engineering Ltd
Original Assignee
Shinmaywa Auto Engineering Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fluorocarbon decomposing method which can be operated at a low running cost, provides a low equipment cost, and allows the device to be constructed in a small size. SOLUTION: A plasma gas generating device concerned 2 uses air as plasma gas, in which fron is put into the gap between electrodes 3a, 3b of a torch 3 and exposed directly to the high temp. plasma. Thereby the fluorocarbon is put reacting with the oxygen in the plasma gas and rapidly cooled while it is passed through an alkali water solutin. Water is added to the fluorocarbon and is allowed to react with the fluorocarbon decomposed by the heat of high temp. plasma.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、適宜に回収された
フロンをプラズマ反応法により分解するフロン分解方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a CFC decomposing method for decomposing appropriately recovered CFC by a plasma reaction method.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、フロンをプラズマ反応法により分
解するフロン分解方法としては、特開平3−89499
号公報に見られるように、フロンを含んだ混合ガスをガ
ス供給ノズルを介して管内に導入し、管内で発生させた
プラズマの作用によりフロンを分解する装置が開示され
ている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a CFC decomposition method for decomposing CFCs by a plasma reaction method, Japanese Patent Laid-Open No. 3-89499.
As disclosed in the publication, there is disclosed a device in which a mixed gas containing freon is introduced into a tube through a gas supply nozzle and the freon is decomposed by the action of plasma generated in the tube.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のものでは、高い効率でフロンを分解させるために、
アルゴン、水素、酸素などランニングコストの高いガス
が必要なうえに、高周波発生装置など構成が複雑で装置
の大型化を招き、しかも高価になるという問題があっ
た。
However, in the above-mentioned prior art, in order to decompose fluorocarbons with high efficiency,
There is a problem that a gas with a high running cost such as argon, hydrogen, and oxygen is required, and the structure such as a high-frequency generator is complicated, leading to an increase in the size of the device and being expensive.

【0004】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、構成が簡単で安価であり、しかも高い効率でフロン
を分解させることができる方法を提供することを目的と
する。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a method which is simple in structure, inexpensive, and capable of decomposing CFCs with high efficiency.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明の請求項1記載の
フロン分解方法は、空気をプラズマガスとして使用する
プラズマ発生装置であって、トーチの電極間にフロンを
投入してプラズマの高熱に直接フロンをさらすことによ
り該フロンをプラズマガス中の酸素と反応させた後、ア
ルカリ水溶液を通して急冷させながら処理する。
The method for decomposing CFCs according to claim 1 of the present invention is a plasma generator which uses air as a plasma gas, wherein CFCs are introduced between the electrodes of the torch to increase the heat of the plasma. The fluorocarbon is directly exposed to react with the oxygen in the plasma gas, and then the fluorocarbon is treated while being rapidly cooled through an aqueous alkali solution.

【0006】本発明の請求項2記載のフロン分解方法
は、フロンに水を添加し、該水をプラズマの高熱により
分解されたフロンと反応させる。
In the method for decomposing CFCs according to the second aspect of the present invention, water is added to CFCs, and the water is reacted with CFCs decomposed by the high heat of plasma.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0008】図1は、本発明のフロン分解方法を実施す
る装置の概略構成を示している。
FIG. 1 shows a schematic structure of an apparatus for carrying out the CFC decomposition method of the present invention.

【0009】図1において、1は、分解室で、この分解
室1の上部にはプラズマ発生装置2に連設されたプラズ
マトーチ3が設けられている。
In FIG. 1, reference numeral 1 is a decomposition chamber, and a plasma torch 3 connected to a plasma generator 2 is provided above the decomposition chamber 1.

【0010】前記分解室1の外周には、冷却室4が配設
されており、図示しないポンプにより冷却水が循環可能
に構成され、該冷却水の循環により分解室1の冷却を行
う。
A cooling chamber 4 is arranged on the outer periphery of the decomposition chamber 1, and cooling water can be circulated by a pump (not shown). The circulation of the cooling water cools the decomposition chamber 1.

【0011】前記プラズマトーチ3は、負の電極3aと
正の電極3bとを有し、上記負の電極3aが上部に配置
されるとともに、正の電極3bが該負の電極3aの下方
に所定の間隔を隔てて配設されている。
The plasma torch 3 has a negative electrode 3a and a positive electrode 3b, the negative electrode 3a is disposed on the upper side, and the positive electrode 3b is provided below the negative electrode 3a. Are arranged at intervals.

【0012】これら負の電極3a及び正の電極3bは、
プラズマ発生装置2に電気的に接続されている。
The negative electrode 3a and the positive electrode 3b are
It is electrically connected to the plasma generator 2.

【0013】前記プラズマ発生装置2からは、プラズマ
ガスとして空気を使用するために空気供給管5が前記負
の電極3aの周辺部に接続されている。
From the plasma generator 2, an air supply pipe 5 is connected to the periphery of the negative electrode 3a in order to use air as plasma gas.

【0014】前記プラズマトーチ3には、フロンを収容
したフロンボンベ6が供給管7を介して連通されてい
る。
A fluorocarbon cylinder 6 containing a fluorocarbon is connected to the plasma torch 3 through a supply pipe 7.

【0015】前記供給管7は、前記負の電極3aと正の
電極3bとの間に形成された空間部8に連通されてい
る。
The supply pipe 7 is in communication with a space 8 formed between the negative electrode 3a and the positive electrode 3b.

【0016】また、供給管7の途中部には、水タンク9
に連通された水供給管10が連通されており、水供給管
10に介装されたポンプ11によって水タンク9の水を
供給管7に供給する。
A water tank 9 is provided in the middle of the supply pipe 7.
Is connected to the water supply pipe 10, and the water in the water tank 9 is supplied to the supply pipe 7 by the pump 11 provided in the water supply pipe 10.

【0017】前記分解室1内の下端部は、アルカリ水溶
液が貯留された水槽12内に浸水配置されており、分割
室1でのフロンの分解により生成した生成物を該水槽1
2の底部に導いた後、アルカリ水溶液に通すことで該ア
ルカリ水溶液と反応させるように構成されている。
The lower end of the decomposition chamber 1 is submerged in a water tank 12 in which an alkaline aqueous solution is stored, and the products produced by the decomposition of CFCs in the division chamber 1 are stored in the water tank 1.
After being led to the bottom of No. 2, it is made to react with the alkaline aqueous solution by passing it through the alkaline aqueous solution.

【0018】前記水槽12の上部には、該アルカリ水溶
液と反応した反応物を排出する排出管13が接続されて
いる。
A discharge pipe 13 is connected to the upper portion of the water tank 12 to discharge the reaction product that has reacted with the alkaline aqueous solution.

【0019】排出管13には、必要に応じて他の処理装
置14が設けられ、その他端が外気に開放されている。
The discharge pipe 13 is provided with another processing device 14 if necessary, and the other end is open to the outside air.

【0020】図1に示す符号15は供給管7に設けられ
た流量調整弁、16はヒータである。
Reference numeral 15 shown in FIG. 1 is a flow rate adjusting valve provided in the supply pipe 7, and 16 is a heater.

【0021】次に、このように構成された装置によって
行われる本発明のフロン分解方法について説明する。
Next, the CFC decomposition method of the present invention carried out by the apparatus thus constructed will be described.

【0022】フロンボンベ6から供給管7を介してフロ
ンを空間部8に供給し、プラズマ発生装置2により空気
をプラズマガスとして発生させたプラズマの高熱に該フ
ロンを直接さらすことにより、フロンがプラズマガス中
の酸素と反応する。
CFCs are supplied to the space 8 from the CFC cylinder 6 through the supply pipe 7, and the CFCs are directly exposed to the high heat of the plasma generated by the plasma generator 2 from the air as plasma gas. Reacts with oxygen in gas.

【0023】続いて、上記反応物をフロンとともに供給
管7を介して供給される水と反応させた後、アルカリ水
溶液を通すことで急冷させながら処理する。
Subsequently, the above reaction product is reacted with CFCs together with water supplied through the supply pipe 7, and then treated with an alkaline aqueous solution while being rapidly cooled.

【0024】これによりフロンが処理され、排出管13
を介して必要に応じて処理装置14で後の処理を行った
後、排出する。
As a result, CFCs are processed and the discharge pipe 13
After that, it is discharged after being subjected to the subsequent processing in the processing device 14 as required.

【0025】このように本方法においては、空気をプラ
ズマガスとして使用しており、アルゴンArや水素等の
高価なガスを使用しないのでランニングコストが易く、
また、高周波発生装置も使用しないので設備費が安く、
且つ装置の小型化を図ることができる。
As described above, in this method, air is used as the plasma gas, and since expensive gas such as argon Ar or hydrogen is not used, running cost is easy.
In addition, since no high frequency generator is used, the equipment cost is low,
In addition, the size of the device can be reduced.

【0026】図2は、フロン分解装置の他の概略構成を
示している。
FIG. 2 shows another schematic structure of the CFC decomposition apparatus.

【0027】図2において、20は分解室で、該分解室
20の一方の側部にはプラズマトーチ21が設けられて
いる。プラズマトーチ21は、プラズマ発生装置22に
連設されており、該プラズマ発生装置22によりプラズ
マトーチ21を介してプラズマを前記分解室20内に照
射可能に構成されている。
In FIG. 2, reference numeral 20 denotes a decomposition chamber, and a plasma torch 21 is provided on one side of the decomposition chamber 20. The plasma torch 21 is connected to a plasma generation device 22 and is configured so that the plasma generation device 22 can irradiate plasma into the decomposition chamber 20 via the plasma torch 21.

【0028】前記プラズマトーチ21と対峙する前記分
解室20の側部には、フロンを噴射するための噴射ノズ
ル23が設けられている。この噴射ノズル23は、圧入
ポンプ24を介してフロン貯蔵ボンベ25に連通されて
いる。
An injection nozzle 23 for injecting CFCs is provided on the side of the decomposition chamber 20 facing the plasma torch 21. The injection nozzle 23 is in communication with a Freon storage cylinder 25 via a press-fitting pump 24.

【0029】フロン貯蔵ボンベ25は、適宜に回収され
たフロンを貯蔵するもので、前記圧入ポンプ24の作動
によりフロンを所定の圧力で噴射ノズル23から噴射す
るようになされている。
The chlorofluorocarbon storage cylinder 25 stores the chlorofluorocarbon that has been appropriately recovered, and the chlorofluorocarbon is injected from the injection nozzle 23 at a predetermined pressure by the operation of the press-fitting pump 24.

【0030】前記噴射ノズル23の基端には圧力保証付
流量調整弁26が設けられており、この圧力保証付流量
調整弁26によりフロンが所定の圧力を維持して分解室
20内に噴射される。
A flow rate adjusting valve 26 with pressure guarantee is provided at the base end of the injection nozzle 23, and CFC is injected into the decomposition chamber 20 while maintaining a predetermined pressure by the flow rate adjusting valve 26 with pressure guarantee. It

【0031】これら噴射ノズル23、圧入ポンプ24、
フロン貯蔵ボンベ25、及び圧力保証付流量調整弁26
により、フロンを所定圧で分解室20内に噴出するフロ
ン噴出装置Aを構成している。
These injection nozzle 23, press-fitting pump 24,
Fluorocarbon storage cylinder 25 and flow rate control valve 26 with pressure guarantee
Thus, a CFC ejecting device A for ejecting CFC into the decomposition chamber 20 at a predetermined pressure is configured.

【0032】また、前記分解室20には、圧入ポンプ2
7を介して酸素ボンベ28が連通されており、圧入ポン
プ27の作動により酸素ボンベ28から酸素を所定の圧
力で分解室20内に供給するように構成されている。
Further, the press-fitting pump 2 is installed in the decomposition chamber 20.
An oxygen cylinder 28 is communicated with the oxygen cylinder 28 through the valve 7, and oxygen is supplied from the oxygen cylinder 28 into the decomposition chamber 20 at a predetermined pressure by the operation of the press-fitting pump 27.

【0033】分解室20の酸素供給部30には圧力保証
付流量調整弁29が設けられており、この圧力保証付流
量調整弁29により酸素が所定の圧力を維持して分解室
20内に供給される。なお、分解室20内に供給する気
体は、酸素に限らず、圧縮空気であってもよい。
The oxygen supply section 30 of the decomposition chamber 20 is provided with a pressure-guaranteed flow rate adjusting valve 29, which supplies oxygen into the decomposition chamber 20 while maintaining a predetermined pressure. To be done. The gas supplied into the decomposition chamber 20 is not limited to oxygen and may be compressed air.

【0034】これら圧入ポンプ27、酸素ボンベ28、
圧力保証付流量調整弁29、及び酸素供給部30によ
り、酸素を所定圧で分解室1に供給する供給装置Bを構
成している。
These press-fitting pump 27, oxygen cylinder 28,
The pressure-guaranteed flow rate adjusting valve 29 and the oxygen supply unit 30 constitute a supply device B that supplies oxygen to the decomposition chamber 1 at a predetermined pressure.

【0035】さらに、前記分解室20には、該分解室2
0で分解されたガスや未分解のフロンの混合ガスを排出
する排出部31が形成され、この排出部31は圧力保証
付流量調整弁32を介して分離装置33に連通されてい
る。
Further, in the decomposition chamber 20, the decomposition chamber 2
A discharge part 31 for discharging the gas decomposed at 0 and the mixed gas of undecomposed fluorocarbon is formed, and this discharge part 31 is connected to the separation device 33 via a flow rate control valve 32 with pressure guarantee.

【0036】分離装置33は、混合ガスからフロンを液
化分離するもので、装置本体33a内に配設された冷却
パイプ33bに冷却水を通すことで、装置本体33a内
に導入された混合ガスを冷却させ、その温度差を利用し
てフロンを液化分離する。
The separating device 33 liquefies and separates CFCs from the mixed gas. By passing cooling water through the cooling pipe 33b provided in the device body 33a, the mixed gas introduced into the device body 33a is discharged. It is cooled, and chlorofluorocarbon is liquefied and separated by utilizing the temperature difference.

【0037】この液化分離されたフロンは加熱装置34
によって加熱されることで、再びガス化され、前記フロ
ン貯蔵ボンベ25に戻される。
The liquefied and separated flon is heated by the heating device 34.
It is gasified again by being heated by and is returned to the CFC storage cylinder 25.

【0038】図1において、35は分離装置に設けられ
たサンプリング採取用もしくは大気放出用のパイプで、
該パイプ35には開閉バルブ36が介装されている。ま
た、37は逆止弁、38は適所に配置された圧力計であ
る。
In FIG. 1, reference numeral 35 is a pipe for sampling or sampling, which is provided in the separation device, or for release into the atmosphere.
An opening / closing valve 36 is interposed in the pipe 35. Further, 37 is a check valve, and 38 is a pressure gauge arranged at an appropriate position.

【0039】次に、このように構成されたフロン分解装
置によるフロンの分解について説明する。
Next, the decomposition of CFCs by the CFC decomposition apparatus thus constructed will be described.

【0040】まず、プラズマ発生装置22の作動により
該プラズマ発生装置22で発生させたプラズマをプラズ
マトーチ21により分解室20内に照射し、この状態で
フロン貯蔵ボンベ25から該フロン貯蔵ボンベ25に回
収貯蔵されたフロンを圧入ポンプ24により所定圧に加
圧した状態で圧力保証付流量調整弁26を経て噴射ノズ
ル23から前記プラズマトーチ21に向けて噴射する。
First, by operating the plasma generator 22, the plasma generated by the plasma generator 22 is applied to the inside of the decomposition chamber 20 by the plasma torch 21, and in this state, it is collected from the fluorocarbon storage cylinder 25 to the fluorocarbon storage cylinder 25. The stored freon is injected from the injection nozzle 23 toward the plasma torch 21 through the pressure-guaranteed flow rate adjusting valve 26 while being pressurized to a predetermined pressure by the press-fitting pump 24.

【0041】この際、分解室20内には、酸素ボンベ2
8から酸素(もしくは空気)が圧入ポンプ27により所
定圧に加圧された状態で供給されており、この酸素の供
給によりプラズマトーチ21に向けて噴射されるフロン
が該プラズマトーチ21から照射されるプラズマによっ
て良好に分解される。このようにフロンをプラズマに直
接噴射することで簡単な構成により、フロンを良好に分
解させることができる。
At this time, the oxygen cylinder 2 is placed in the decomposition chamber 20.
Oxygen (or air) is supplied from 8 in a state of being pressurized to a predetermined pressure by a press-fitting pump 27, and the supply of this oxygen irradiates the plasma torch 21 with CFCs injected toward the plasma torch 21. Decomposed well by plasma. By directly injecting CFCs into plasma in this way, CFCs can be satisfactorily decomposed with a simple configuration.

【0042】なお、フロン及び酸素の供給圧力、供給流
量は、フロンが良好な状態で分解されるよう圧力計38
を確認しながら適宜に設定すればよい。
The pressure and the flow rate of the CFC and oxygen supply are set so that the CFC is decomposed in a good condition.
It may be set appropriately while checking.

【0043】そして、上述のようにして分解されたガ
ス、及び分解されずに一部残留したフロンは、分解室2
0の排出部31から分離装置33に導入される。
Then, the gas decomposed as described above and the CFCs partially remaining without being decomposed are decomposed into the decomposition chamber 2
It is introduced into the separation device 33 from the discharge unit 31 of 0.

【0044】分離装置33では冷却水による冷却作用に
よりフロンのみを液化させて他のガスから分離する。
In the separating device 33, only the CFCs are liquefied by the cooling action of the cooling water and separated from other gases.

【0045】この分離されたフロンは、加熱装置34に
導入され、加熱装置34で再びガス化された後、フロン
貯蔵ボンベ25に戻され、前述と同様な分解を行う。
The separated fluorocarbons are introduced into the heating device 34, gasified again by the heating device 34, and then returned to the fluorocarbon storage cylinder 25, where they are decomposed in the same manner as described above.

【0046】このようにフロンの分解を繰り返した後、
分離装置33のパイプ35から該分離装置33内のガス
について有害性をチェックし、有害性が無ければこのガ
スをパイプ35から大気に放出する。
After repeating the CFC decomposition in this manner,
From the pipe 35 of the separation device 33, the gas inside the separation device 33 is checked for harmfulness, and if there is no harmfulness, this gas is discharged from the pipe 35 to the atmosphere.

【0047】[0047]

【発明の効果】以上述べたように、本発明のフロン分解
方法によれば、空気をプラズマガスとして使用してお
り、アルゴンや水素等の高価なガスを使用しないのでラ
ンニングコストが易く、また、高周波発生装置も使用し
ないので設備費が安く、且つ装置の小型化を図ることが
でき、しかもフロンの分解を効率良く行うことができ
る。
As described above, according to the CFC decomposition method of the present invention, since air is used as the plasma gas and expensive gas such as argon or hydrogen is not used, the running cost is easy, and Since no high-frequency generator is used, the facility cost is low, the device can be downsized, and the fluorocarbon can be efficiently decomposed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のフロン分解方法を実施する装置の概略
構成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of an apparatus for carrying out a Freon decomposition method of the present invention.

【図2】フロン分解装置の他の概略構成を示す図であ
る。
FIG. 2 is a diagram showing another schematic configuration of a CFC decomposition apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 分解室 2 プラズマ発生装置 3 プラズマトーチ 12 水槽 1 Decomposition chamber 2 Plasma generator 3 Plasma torch 12 Water tank

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 空気をプラズマガスとして使用するプラ
ズマ発生装置であって、トーチの電極間にフロンを投入
してプラズマの高熱に直接フロンをさらすことにより該
フロンをプラズマガス中の酸素と反応させた後、アルカ
リ水溶液を通して急冷させながら処理することを特徴と
するフロン分解方法。
1. A plasma generator using air as a plasma gas, wherein CFCs are introduced between electrodes of a torch to directly expose the CFCs to the high heat of plasma to cause the CFCs to react with oxygen in the plasma gas. After that, the method for decomposing CFCs is characterized in that it is treated while being rapidly cooled by passing it through an alkaline aqueous solution.
【請求項2】 フロンに水を添加し、該水をプラズマの
高熱により分解されたフロンと反応させることを特徴と
する請求項1記載のフロン分解方法。
2. The method for decomposing fluorocarbons according to claim 1, wherein water is added to the fluorocarbons and the water is reacted with the fluorocarbons decomposed by high heat of plasma.
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