JPH09141874A - Ink-jet head, ink-jet catridge, and ink-jet apparatus - Google Patents

Ink-jet head, ink-jet catridge, and ink-jet apparatus

Info

Publication number
JPH09141874A
JPH09141874A JP24755596A JP24755596A JPH09141874A JP H09141874 A JPH09141874 A JP H09141874A JP 24755596 A JP24755596 A JP 24755596A JP 24755596 A JP24755596 A JP 24755596A JP H09141874 A JPH09141874 A JP H09141874A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
element unit
energy generating
ink jet
end side
ink
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP24755596A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Manabu Sueoka
学 末岡
Toshiaki Hirozawa
稔明 広沢
Toru Yamane
徹 山根
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP24755596A priority Critical patent/JPH09141874A/en
Publication of JPH09141874A publication Critical patent/JPH09141874A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Ink Jet (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To surely and stably perform electric connection between an energy generation element unit in a separable state and a driving element unit. SOLUTION: In an ink-jet head which is equipped with an energy generation element unit UE which has signal wiring for supplying an electric signal to an exothermic resistor and in which connection electrodes 13a, 13b are installed projectingly in the terminal part of the signal wiring positioned on a butting surface F, and a driving element unit UD which has signal wiring for sending an electric signal for driving the exothermic resistor from a driving element and in which a connection electrode 20 is installed projectingly in the terminal part of the signal wiring positioned on a butting surface and in which the butting surfaces FE, FD of the two units UE, UD are laid to overlap each other to connect the connection electrodes 13a, 13b, 20 each other, a projection part 14 for maintaining these opposite distances is formed at least on one butting surface FE of the two units UE, UD.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液体を吐出してプ
リント媒体にプリントを行うためのエネルギー発生素子
を有するエネルギー発生素子ユニットと、このエネルギ
ー発生素子を駆動させるための駆動素子を有する駆動素
子ユニットとを具えたインクジェットヘッドおよびこの
インクジェットヘッドを組み込んだインクジェットカー
トリッジならびにインクジェットヘッドを用いるインク
ジェット装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an energy generating element unit having an energy generating element for discharging a liquid to print on a print medium, and a driving element having a driving element for driving the energy generating element. The present invention relates to an inkjet head including a unit, an inkjet cartridge incorporating the inkjet head, and an inkjet device using the inkjet head.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェットプリント法は、インクジ
ェットヘッドに配設された吐出口からインクやこのイン
クの特性を調整するための処理液を吐出させ、これを紙
などのプリント媒体に付着させることにより、プリント
を行う方法であり、騒音の発生が極めて少なく、かつ高
速プリントが可能である。なかでも、熱エネルギーを液
体に作用させ、液体を急激に加熱することによって気泡
を発生させ、この気泡の体積膨張によって液流路内の液
体を吐出口から液滴として噴射し、気泡の消滅時に液室
から液流路内に液体を導入するようにした形態のインク
ジェットヘッドは、プリント信号に対する応答性が良い
こと、および高マルチヘッド化が容易であることなどの
利点を有する。
2. Description of the Related Art Ink-jet printing is a method in which ink or a processing liquid for adjusting the characteristics of the ink is discharged from a discharge port provided in an ink-jet head and adhered to a print medium such as paper. This is a method of performing printing, in which generation of noise is extremely small and high-speed printing is possible. Among them, thermal energy is applied to the liquid to rapidly heat the liquid to generate bubbles, and the volume expansion of the bubbles causes the liquid in the liquid flow path to be ejected as droplets from the ejection port. The ink jet head in a form in which the liquid is introduced from the liquid chamber into the liquid flow path has advantages such as good responsiveness to a print signal and easy realization of high multi-head.

【0003】このようなインクジェットヘッドのエネル
ギー発生ユニットの外観を図11に示し、その一部を破
断した状態を図12に示す。すなわち、基板101の表
面に形成された絶縁層の上にエネルギー発生素子である
電気熱変換素子としての発熱抵抗体102が設けられて
おり、さらにこの発熱抵抗体102に通電するための図
示しない電極が配設されている。この基板101上の発
熱抵抗体102が臨む液流路103は、その一方が開口
して吐出口104となり、他方が共通液室105に連通
している。この共通液室105には、インクジェットヘ
ッドに対して別に付設される図示しない液体タンクが結
合部材106を介して連結される。
FIG. 11 shows the appearance of an energy generating unit of such an ink jet head, and FIG. 12 shows a state in which a part thereof is broken. That is, a heating resistor 102 as an electrothermal conversion element that is an energy generating element is provided on an insulating layer formed on the surface of the substrate 101, and an electrode (not shown) for energizing the heating resistor 102 is further provided. Is provided. The liquid flow path 103 exposed by the heating resistor 102 on the substrate 101 has one opening that serves as a discharge port 104 and the other communicates with a common liquid chamber 105. A liquid tank (not shown) separately provided for the inkjet head is connected to the common liquid chamber 105 via a coupling member 106.

【0004】図示するように、一直線状に配列する吐出
口104にそれぞれ連通する液流路103毎に発熱抵抗
体102を組み込み、プリント媒体に対して複数ドット
のプリントを同時に行う場合、発熱抵抗体102に対し
て個別に通電のオン/オフを制御する必要がある。この
ような制御を行うための駆動素子は、上述したエネルギ
ー発生素子ユニット107に一体的に組み込むか、ある
いは図13およびそのXIV−XIV 矢視断面構造を表す図
14に示すように、ボンディングワイヤ108を介して
エネルギー発生素子ユニット107と電気的に接続する
などの方法がある。
As shown in the figure, when a heating resistor 102 is incorporated for each liquid flow path 103 communicating with the ejection ports 104 arranged in a straight line and a plurality of dots are simultaneously printed on a print medium, the heating resistor is used. It is necessary to individually control ON / OFF of energization for the 102. The drive element for performing such control is integrally incorporated in the above-mentioned energy generating element unit 107, or as shown in FIG. 13 and FIG. 14 showing the XIV-XIV arrow sectional structure, the bonding wire 108 is used. There is a method of electrically connecting to the energy generating element unit 107 via the.

【0005】しかし、エネルギー発生素子ユニット10
7と、駆動素子109とをボンディングワイヤ108に
よって固定状態で接続した場合、発熱抵抗体102およ
び駆動素子109の何れか少なくとも一方に不良が発生
すると、インクジェットヘッド全体が動作しなくなって
しまうという問題がある。
However, the energy generating element unit 10
7 and the driving element 109 are connected to each other by the bonding wire 108 in a fixed state, and a defect occurs in at least one of the heating resistor 102 and the driving element 109, there is a problem that the entire inkjet head does not operate. is there.

【0006】このような問題を解決するため、図15に
示すような駆動素子109を有する駆動素子ユニット1
10を用い、この駆動素子ユニット110とエネルギー
発生素子ユニット107とを分離可能とし、図16に示
すようにこれらの接続電極111, 112を相互に重ね
合わせて密着させ、電気的に接続を行うタイプのインク
ジェットヘッドおよびこのインクジェットヘッドを用い
たインクジェット装置が提案されている。
In order to solve such a problem, the drive element unit 1 having the drive element 109 as shown in FIG.
10, the driving element unit 110 and the energy generating element unit 107 are separable, and the connection electrodes 111 and 112 are superposed and closely contacted with each other as shown in FIG. And an inkjet device using this inkjet head have been proposed.

【0007】上述した交換式のエネルギー発生素子ユニ
ット107を用いた場合、エネルギー発生素子ユニット
107に故障が生じたり、その寿命によってプリント作
業が不能となった場合、エネルギー発生素子ユニット1
07のみを新たなものと交換し、駆動素子ユニット11
0に接続するだけで良いため、コスト的に大変有利であ
る。
When the above-mentioned exchangeable energy generating element unit 107 is used, when the energy generating element unit 107 has a failure or the printing operation is disabled due to its life, the energy generating element unit 1
Replace only 07 with a new drive element unit 11
This is very advantageous in terms of cost because it is only necessary to connect to 0.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】図16に示すように、
エネルギー発生素子ユニット107と駆動素子ユニット
110とを分離可能に重ね合わせて密着させるようにし
たインクジェットヘッドにおいて、これらの接続電極1
11, 112は、実際にインクを吐出する発熱抵抗体1
02と対応した数だけそれぞれ設置されており、インク
ジェットヘッドとしての機能や性能を完全に発揮するた
めには、これら接続電極111, 112の全てが確実に
接続されている必要がある。
As shown in FIG.
In the inkjet head in which the energy generating element unit 107 and the driving element unit 110 are separably overlapped and brought into close contact with each other, these connection electrodes 1
Reference numerals 11 and 112 denote heating resistors 1 that actually eject ink.
No. 02 and No. 02 are installed respectively, and in order to fully exhibit the function and performance of the inkjet head, it is necessary that all of these connection electrodes 111 and 112 are securely connected.

【0009】しかしながら、従来のものでは、各ユニッ
ト107, 110の突き合わせ面113, 114から突
出する接続電極111, 112の高さや形状の不均一、
あるいは、密着操作時の押圧力の不均一に起因して接続
不良が起こり得る他、図17に示すようにユニット10
7, 110の接合時に押圧力の作用点が接続電極11
1, 112の間からずれると、ユニット107, 110
の間に接続電極111,112を中心とするモーメント
力が発生する結果、接続電極111, 112の間に接続
不良が発生する虞があった。
However, in the conventional device, the heights and shapes of the connection electrodes 111, 112 protruding from the abutting surfaces 113, 114 of the units 107, 110 are not uniform,
Alternatively, connection failure may occur due to uneven pressing force during the contact operation, and as shown in FIG.
When joining 7, 110, the point of action of the pressing force is the connection electrode 11
If it deviates from between 1 and 112, the units 107 and 110
As a result of generation of moment force centering on the connection electrodes 111, 112 during this time, there is a possibility that connection failure may occur between the connection electrodes 111, 112.

【0010】[0010]

【発明の目的】本発明の目的は、分離可能な形態のエネ
ルギー発生素子ユニットと駆動素子ユニットとの電気的
接続を確実かつ安定して行い得るようにしたインクジェ
ットヘッドおよびこのインクジェットヘッドを組み込ん
だインクジェットカートリッジならびにインクジェット
ヘッドを用いるインクジェット装置を提供することにあ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an ink jet head capable of reliably and stably electrically connecting an energy generating element unit of a separable form and a driving element unit, and an ink jet incorporating the ink jet head. An object of the present invention is to provide an inkjet device using a cartridge and an inkjet head.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明による第1の形態
は、それぞれ液体を吐出するための複数のエネルギー発
生素子に一端側が接続してこれらエネルギー発生素子に
電気信号を供給するための複数本の信号配線を有すると
共に突き合わせ面が形成され、この突き合わせ面に位置
する前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を
突設したエネルギー発生素子ユニットと、前記エネルギ
ー発生素子を駆動するための駆動素子に一端側がそれぞ
れ接続して当該駆動素子からの電気信号を送出するため
の複数本の信号配線を有すると共に突き合わせ面が形成
され、この突き合わせ面に位置する前記信号配線の他端
側にそれぞれ複数の接続電極を突設した駆動素子ユニッ
トとを具え、前記エネルギー発生素子ユニットおよび前
記駆動素子ユニットの前記突き合わせ面を相互に重ね合
わせて前記接続電極を相互に接続するようにしたインク
ジェットヘッドであって、前記エネルギー発生素子ユニ
ットおよび前記駆動素子ユニットの少なくとも一方の前
記突き合わせ面にこれらの対向間隔を保持するための突
起部を形成したことを特徴とするインクジェットヘッド
にある。
According to a first aspect of the present invention, a plurality of energy generating elements for ejecting a liquid are connected at one end side to a plurality of energy generating elements for supplying electric signals to the energy generating elements. An energy generating element unit having a signal wire and a butt face formed thereon, and a plurality of connection electrodes projecting from the other end of the signal wire located on the butt surface, and for driving the energy generating element. One end side is connected to the drive element, respectively, and a plurality of signal wirings for sending out an electric signal from the drive element are provided and a butt surface is formed, and the other end side of the signal wire located on the butt surface is respectively formed. A drive element unit provided with a plurality of connection electrodes projecting, the energy generating element unit and the drive element unit. An inkjet head in which the contact surfaces are overlapped with each other so that the connection electrodes are connected to each other, and the facing distances of at least one of the energy generating element unit and the driving element unit are opposed to each other. The inkjet head is characterized in that a protrusion for holding is formed.

【0012】また、本発明による第二の形態は、それぞ
れ液体を吐出するための複数のエネルギー発生素子に一
端側が接続してこれらエネルギー発生素子に電気信号を
供給するための複数本の信号配線を有すると共に突き合
わせ面が形成され、この突き合わせ面に位置する前記信
号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を突設したエ
ネルギー発生素子ユニットと、前記エネルギー発生素子
を駆動するための駆動素子に一端側がそれぞれ接続して
当該駆動素子からの電気信号を送出するための複数本の
信号配線を有すると共に突き合わせ面が形成され、この
突き合わせ面に位置する前記信号配線の他端側にそれぞ
れ複数の接続電極を突設した駆動素子ユニットとを具
え、前記エネルギー発生素子ユニットおよび前記駆動素
子ユニットの前記突き合わせ面を相互に重ね合わせて前
記接続電極を相互に接続するようにしたインクジェット
ヘッドと、このインクジェットヘッドに供給するための
前記液体を蓄える液体タンクとを具えたインクジェット
カートリッジであって、前記エネルギー発生素子ユニッ
トおよび前記駆動素子ユニットの少なくとも一方の前記
突き合わせ面にこれらの対向間隔を保持するための突起
部を形成したことを特徴とするインクジェットカートリ
ッジにある。
According to a second aspect of the present invention, one end side is connected to a plurality of energy generating elements for ejecting liquid respectively, and a plurality of signal wirings for supplying electric signals to these energy generating elements are provided. An energy generating element unit that has a butt surface and has a plurality of connection electrodes on the other end side of the signal wiring located on the butt surface, and a driving element for driving the energy generating element. Each side has a plurality of signal wirings for transmitting electric signals from the driving element, and a butt surface is formed, and a plurality of connection electrodes are provided on the other end side of the signal wirings located on the butt surface. A drive element unit provided with a protrusion, the energy generating element unit and the protrusion of the drive element unit. An ink jet cartridge comprising: an ink jet head in which mating surfaces are superposed on each other so that the connection electrodes are connected to each other; and a liquid tank for storing the liquid to be supplied to the ink jet head. The inkjet cartridge is characterized in that at least one of the element unit and the drive element unit is provided with a protrusion on the abutting surface for maintaining a facing distance therebetween.

【0013】さらに、本発明の第3の形態は、複数の吐
出口からそれぞれ液体を吐出するための複数のエネルギ
ー発生素子に一端側が接続してこれらエネルギー発生素
子に電気信号を供給するための複数本の信号配線を有す
ると共に突き合わせ面が形成され、この突き合わせ面に
位置する前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電
極を突設したエネルギー発生素子ユニットと、前記エネ
ルギー発生素子を駆動するための駆動素子に一端側がそ
れぞれ接続して当該駆動素子からの電気信号を送出する
ための複数本の信号配線を有すると共に突き合わせ面が
形成され、この突き合わせ面に位置する前記信号配線の
他端側にそれぞれ複数の接続電極を突設した駆動素子ユ
ニットとを具え、前記エネルギー発生素子ユニットおよ
び前記駆動素子ユニットの前記突き合わせ面を相互に重
ね合わせて前記接続電極を相互に接続するようにしたイ
ンクジェットヘッドを用いるインクジェット装置であっ
て、前記エネルギー発生素子ユニットおよび前記駆動素
子ユニットの少なくとも一方の前記突き合わせ面にこれ
らの対向間隔を保持するための突起部を形成したことを
特徴とするインクジェット装置にある。
Further, according to a third aspect of the present invention, one end side is connected to a plurality of energy generating elements for respectively ejecting liquid from a plurality of ejection ports, and a plurality of energy generating elements for supplying an electric signal to these energy generating elements. For driving the energy generating element, an energy generating element unit having a book signal wire and a butt surface and a plurality of connection electrodes projecting from the other end of the signal wire located on the butt surface, respectively. One end side is connected to each of the drive elements of, and a butt surface is formed with a plurality of signal wirings for transmitting an electric signal from the drive element, and the other end side of the signal wirings located on the butt surface is formed. And a drive element unit provided with a plurality of connecting electrodes protruding from each other, wherein the energy generating element unit and the drive element unit are provided. An ink jet device using an ink jet head in which the abutting surfaces of a battery are connected to each other so that the connection electrodes are connected to each other, the abutting surfaces of at least one of the energy generating element unit and the driving element unit. In the ink jet device, a protrusion is formed to hold the facing interval.

【0014】本発明によると、エネルギー発生素子ユニ
ットおよび駆動素子ユニットの突き合わせ面を相互に重
ね合わせて接続電極を相互に電気的に接続した場合、エ
ネルギー発生素子ユニットおよび駆動素子ユニットの少
なくとも一方の突き合わせ面には、これらの対向間隔を
保持するための突起部を形成されており、これらの突き
合わせ面は正対状態となって全ての接続電極が正しく接
触する。
According to the present invention, when the abutting surfaces of the energy generating element unit and the driving element unit are overlapped with each other and the connection electrodes are electrically connected to each other, at least one of the energy generating element unit and the driving element unit is butted. Protrusions are formed on the surfaces to maintain these facing intervals, and these abutting surfaces are in a face-to-face state so that all connection electrodes are in proper contact.

【0015】駆動素子ユニットの駆動素子からその信号
配線を介して送出される電気信号は、接続電極を介して
エネルギー発生素子ユニットの信号配線からエネルギー
発生素子に供給され、これによりエネルギー発生素子が
起動して液体が吐出される。
The electric signal sent from the driving element of the driving element unit through the signal wiring thereof is supplied to the energy generating element from the signal wiring of the energy generating element unit through the connection electrode, whereby the energy generating element is activated. Then, the liquid is ejected.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】本発明の第1の形態によるインク
ジェットヘッドにおいて、前記突起部は、接続電極と一
直線状に並ぶ領域を有するものであってもよいし、信号
配線の他端側の延長上に接続電極の配列方向に沿って並
ぶ領域を有するものであってもよいし、あるいは接続電
極と一直線状に並ぶ領域と、信号配線の他端側の延長上
に接続電極の配列方向に沿って並ぶ領域とを有するもの
であってもよい。また、突起部は、接続電極と対応した
形状のダミー電極であってもよく、エネルギー発生素子
は、液体に膜沸騰を生じさせる熱エネルギーを発生する
電気熱変換体であってもよい。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the ink jet head according to the first aspect of the present invention, the protrusion may have a region aligned with the connection electrode, or may be extended on the other end side of the signal wiring. It may have a region lined up along the arrangement direction of the connection electrodes, or a region lined up with the connection electrodes and an extension of the other end side of the signal wiring along the arrangement direction of the connection electrodes. It may have a region arranged side by side. Further, the protrusion may be a dummy electrode having a shape corresponding to the connection electrode, and the energy generating element may be an electrothermal converter that generates thermal energy that causes film boiling in the liquid.

【0017】本発明の第2の形態によるインクジェット
カートリッジにおいて、前記液体は、インクか、プリン
ト媒体に吐出されるインクの特性を調整する処理液か、
あるいはこれらインクおよび処理液であることが望まし
い。
In the ink jet cartridge according to the second aspect of the present invention, the liquid is ink or a treatment liquid for adjusting the characteristics of the ink ejected onto the print medium.
Alternatively, these inks and treatment liquids are desirable.

【0018】ここで、前記突起部は、接続電極と一直線
状に並ぶ領域を有するものであってもよいし、信号配線
の他端側の延長上に接続電極の配列方向に沿って並ぶ領
域を有するものであってもよいし、あるいは接続電極と
一直線状に並ぶ領域と、信号配線の他端側の延長上に接
続電極の配列方向に沿って並ぶ領域とを有するものであ
ってもよい。また、突起部は、接続電極と対応した形状
のダミー電極であってもよく、吐出口は、プリント媒体
のプリント領域の全幅に亙って配列しているものであっ
てもよい。
Here, the protrusion may have a region aligned with the connection electrode in a straight line, or a region aligned along the arrangement direction of the connection electrode on an extension of the other end side of the signal wiring. It may have, or may have a region aligned with the connection electrode and a region aligned along the arrangement direction of the connection electrode on the extension of the other end side of the signal wiring. The protrusion may be a dummy electrode having a shape corresponding to the connection electrode, and the ejection ports may be arranged over the entire width of the print area of the print medium.

【0019】[0019]

【実施例】本発明によるインクジェットヘッドの実施例
の幾つかについて、図1〜図8を参照しながら詳細に説
明するが、このインクジェットヘッドを構成するエネル
ギー発生素子ユニットおよび駆動素子ユニットにそれぞ
れ設けられる接続電極の部分の基本的な構造は、これら
二つのユニット共に全く同一形態にすることが可能であ
る。
EXAMPLES Some examples of the ink jet head according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 8. The ink jet head is provided in each of the energy generating element unit and the driving element unit. The basic structure of the connection electrode portion can be exactly the same for both these two units.

【0020】従って、以下には一方のユニットであるエ
ネルギー発生素子ユニットについてのみ説明するが、駆
動素子ユニットの接続電極部の構造も全く同じ構造を採
用することができる。
Therefore, only one of the energy generating element units, which is one unit, will be described below, but the structure of the connecting electrode portion of the driving element unit may be exactly the same.

【0021】第1の実施例におけるエネルギー発生素子
ユニットの基板表面の外観を表す図1およびそのII−II
矢視断面構造を表す図2に示すように、矩形をなす基板
11の表面には、二酸化ケイ素(SiO2)などの蓄熱性を
有する絶縁層12が形成されており、この絶縁層12上
には、その長手方向に沿って複数対の接続電極13a,
13bと、ダミー電極14とが所定間隔で一直線状に配
列している。そして、これら接続電極13a, 13bお
よびダミー電極14の周囲の基板11の表面が本発明の
突き合わせ面FE として機能するようになっている。
FIG. 1 showing the appearance of the substrate surface of the energy generating element unit in the first embodiment and its II-II.
As shown in FIG. 2 showing the sectional structure in the direction of the arrow, an insulating layer 12 having a heat storage property such as silicon dioxide (SiO 2 ) is formed on the surface of a rectangular substrate 11, and the insulating layer 12 is formed on the insulating layer 12. Are a plurality of pairs of connection electrodes 13a,
13b and the dummy electrode 14 are arranged in a straight line at a predetermined interval. The surface of the substrate 11 around the connection electrodes 13a and 13b and the dummy electrode 14 functions as the butt surface F E of the present invention.

【0022】各対の接続電極13a, 13bは、基板1
1の前後方向(図2中、左右方向)に延びるアルミニウ
ムなどによる信号配線15の一端部に形成され、これら
各対の信号配線15の他端部は、エネルギー発生素子と
しての二ホウ化ハフニウム(HfB2)などによる発熱抵抗
体16を介して相互に連結され、全体としてそれぞれU
字状の形態をなしている。これら接続電極13a, 13
bは、抵抗層16′および信号配線15の上に積層され
た状態となっており、これら接続電極13a,13bを
除いて抵抗層16′および信号配線15は、二酸化ケイ
素などによる耐酸化性の絶縁層17で被覆され、さらに
タンタルなどによる耐キャビテーション層18が絶縁層
17を介して発熱抵抗体16の上に積層されている。
The connection electrodes 13a and 13b of each pair are formed on the substrate 1
1 is formed at one end of the signal wiring 15 made of aluminum or the like extending in the front-rear direction (horizontal direction in FIG. 2). The other end of each pair of the signal wirings 15 has a hafnium diboride ( HfB2) and other elements are connected to each other via heat-generating resistors 16 and U
It is shaped like a letter. These connection electrodes 13a, 13
b is in a state of being laminated on the resistance layer 16 'and the signal wiring 15, and the resistance layer 16' and the signal wiring 15 except for the connection electrodes 13a and 13b have oxidation resistance due to silicon dioxide or the like. A cavitation-resistant layer 18 made of tantalum or the like is covered with an insulating layer 17, and is laminated on the heating resistor 16 via the insulating layer 17.

【0023】本発明の突起部としてのダミー電極14
は、接続電極13a, 13bよりもさらに基板11の前
後方向一端側に接続電極13a, 13bの配列方向に沿
ってこれらと平行に配列し、上述した接続電極13a,
13bと同様に、抵抗層16′および導電層15′の上
に積層された状態となっている。そして、これら抵抗層
16′および導電層15′は、ダミー電極14を除いて
絶縁層17で被覆された状態となっている。
The dummy electrode 14 as the protrusion of the present invention
Are arranged in parallel with the connection electrodes 13a, 13b at one end side in the front-rear direction of the substrate 11 along the arrangement direction of the connection electrodes 13a, 13b.
Similar to 13b, it is in a state of being laminated on the resistance layer 16 'and the conductive layer 15'. The resistance layer 16 'and the conductive layer 15' are covered with the insulating layer 17 except the dummy electrode 14.

【0024】このような構造の基板11の製造手順につ
いて説明すると、まず、基板11の表面に、絶縁層12
と抵抗層16′と導電層15′とをそれぞれスパッタリ
ングにて順に2μm, 0. 2μm, 0. 6μmの膜厚で
積層形成する(図3参照)。
The procedure for manufacturing the substrate 11 having such a structure will be described. First, the insulating layer 12 is formed on the surface of the substrate 11.
Then, the resistance layer 16 'and the conductive layer 15' are sequentially formed by sputtering so as to have a film thickness of 2 .mu.m, 0.2 .mu.m, and 0.6 .mu.m (see FIG. 3).

【0025】そして、フォトリソグラフの技術を用いて
抵抗層16′および導電層15′のエッチングにより、
発熱抵抗体16および信号配線15と、ダミー電極14
のための抵抗層16′および導電層15′をパターン形
成する(図4参照)。
Then, by etching the resistance layer 16 'and the conductive layer 15' using the photolithographic technique,
The heating resistor 16 and the signal wiring 15, and the dummy electrode 14
Pattern the resistive layer 16 'and the conductive layer 15' (see FIG. 4).

【0026】しかる後、これらの表面に絶縁膜と、耐キ
ャビテーション膜とをそれぞれスパッタリングにて順に
0. 9μm, 0. 5μmの膜厚で積層形成し、フォトリ
ソグラフの技術を用いて絶縁膜および耐キャビテーショ
ン膜のエッチングにより絶縁層17と、耐キャビテーシ
ョン層18とをパターン形成する。この時、信号配線1
5の表面およびダミー電極14に対応する導電層15′
の表面にそれぞれ臨むスルーホール19が形成されるよ
うに、絶縁層17の一部をエッチング処理する(図5参
照)。
Thereafter, an insulating film and an anti-cavitation film are sequentially formed on these surfaces by sputtering to have a film thickness of 0.9 μm and 0.5 μm, respectively, and the insulating film and the anti-cavitation film are formed using a photolithographic technique. The insulating layer 17 and the anti-cavitation layer 18 are patterned by etching the cavitation film. At this time, the signal wiring 1
5 and the conductive layer 15 'corresponding to the dummy electrode 14
A part of the insulating layer 17 is etched so that the through holes 19 are formed so as to respectively face the surfaces (see FIG. 5).

【0027】さらに、電気めっき下引き層として、チタ
ンおよび銅をそれぞれ0. 05μm, 0. 3μmの順に
成膜する。次いで、めっき形成用のレジストを用いてパ
ターン形成を行った後、電気めっき法によって金, ニッ
ケル, 銅, 白金などを数マイクロメートルから数十マイ
クロメートルの膜厚で形成する。そして、レジストを剥
離すると共に下引き層のエッチングを行い、スルーホー
ル19の部分に接続電極13a, 13bおよびダミー電
極14を図2に示すように形成する。
Further, as an electroplating undercoat layer, titanium and copper are deposited in the order of 0.05 μm and 0.3 μm, respectively. Then, after forming a pattern using a resist for forming plating, electroplating is performed to form gold, nickel, copper, platinum or the like with a film thickness of several micrometers to several tens of micrometers. Then, the resist is peeled off and the undercoat layer is etched to form the connection electrodes 13a and 13b and the dummy electrode 14 in the through hole 19 as shown in FIG.

【0028】このようにして得た基板11に対し、図1
2に示したような吐出口104やインク流路103およ
び共通インク室105などを形成し、さらに図11に示
す如き結合部材106を接合してエネルギー発生素子ユ
ニットを作成した。
For the substrate 11 thus obtained, as shown in FIG.
The ejection port 104, the ink flow path 103, the common ink chamber 105, and the like as shown in FIG. 2 were formed, and the coupling member 106 as shown in FIG. 11 was joined to form the energy generating element unit.

【0029】このエネルギー発生素子ユニットと駆動素
子ユニットとの組み付けによるインクジェットヘッドの
外観を表す図6に示すように、接続電極13a, 13b
およびダミー電極14が突出するエネルギー発生素子ユ
ニットUE の突き合わせ面FE と、接続電極20および
ダミー電極21が突出する駆動素子ユニットUD の突き
合わせ面FD とを重ね合わせ、これらの接続電極13
a, 13b, 20を相互に接続した場合、これらの接合
力の作用点が接続電極13a, 13b, 20とダミー電
極14, 21との間にあれば、突合せ面FE , FD が相
互に平行に保たれ、接続電極13a, 13b, 20を良
好な接続状態に保持することができる。この場合、基板
11の表面からの接続電極13a, 13bおよびダミー
電極14の突出高さを等しくすることが好ましく、この
ような条件を満たすことができるならば、ダミー電極1
4に代えて別な突出部を形成するようにしても良い。
As shown in FIG. 6, which shows the appearance of the ink jet head by assembling the energy generating element unit and the driving element unit, as shown in FIG.
And the abutting surface F E of the energy generating element unit U E from which the dummy electrode 14 protrudes and the abutting surface F D of the driving element unit U D from which the connecting electrode 20 and the dummy electrode 21 protrude, and these connecting electrodes 13
When a, 13b, 20 are connected to each other, if the points of action of these joining forces are between the connection electrodes 13a, 13b, 20 and the dummy electrodes 14, 21, the abutting surfaces F E , F D are mutually connected. The connection electrodes 13a, 13b, 20 can be kept in parallel and can be kept in a good connection state. In this case, it is preferable to make the protrusion heights of the connection electrodes 13a and 13b and the dummy electrode 14 from the surface of the substrate 11 equal, and if such a condition can be satisfied, the dummy electrode 1
Instead of 4, it is possible to form another protrusion.

【0030】このように、ダミー電極14, 21を形成
することによって、エネルギー発生素子ユニットUE
駆動素子ユニットUD とを接合する際の作用点の位置ず
れの許容範囲が図16および図17に示す従来のものよ
りも拡げることができ、これらエネルギー発生素子ユニ
ットUE および駆動素子ユニットUD の位置決め機構な
どをより簡略化して低コスト化を達成することができ
る。
By forming the dummy electrodes 14 and 21 in this manner, the allowable range of positional deviation of the action point when the energy generating element unit U E and the driving element unit U D are joined is shown in FIGS. 16 and 17. The energy generating element unit U E and the driving element unit U D can be more simplified than the conventional one shown in FIG. 1 and the cost reduction can be achieved by further simplifying the positioning mechanism.

【0031】上述した実施例では、ダミー電極14を接
続電極13a, 13bよりもさらに基板11の前後方向
一端側で接続電極13a, 13bの配列方向に沿って形
成したが、本発明の第二の実施例における基板表面の外
観を表す図7に示すように、基板11の長手方向両端
部、つまり接続電極13a, 13bの配列方向に沿った
その両端側にこれらと一直線状に並ぶように、ダミー電
極14a, 14bを形成するようにしても良い。さら
に、本発明の第三の実施例における基板表面の外観を表
す図8に示すように、これら二つの実施例を組み合わ
せ、接続電極13a,13bよりもさらに基板11の前
後方向一端側で接続電極13a, 13bの配列方向に沿
ってダミー電極14を形成すると共に、接続電極13
a, 13bの配列方向に沿った基板11の長手方向両端
部に、これら接続電極13a, 13bと一直線状に並ぶ
ようにダミー電極14a, 14bを形成するようにして
も良い。
In the above-described embodiment, the dummy electrode 14 is formed further on the one end side in the front-rear direction of the substrate 11 than the connection electrodes 13a, 13b along the arrangement direction of the connection electrodes 13a, 13b. As shown in FIG. 7 showing the appearance of the surface of the substrate in the embodiment, the dummy is formed so as to be aligned with both ends of the substrate 11 in the longitudinal direction, that is, both ends along the arrangement direction of the connection electrodes 13a and 13b. The electrodes 14a and 14b may be formed. Further, as shown in FIG. 8 showing the appearance of the surface of the substrate in the third embodiment of the present invention, these two embodiments are combined, and the connection electrode is located further on one end side in the front-back direction of the substrate 11 than the connection electrodes 13a and 13b. The dummy electrode 14 is formed along the arrangement direction of 13a and 13b, and the connection electrode 13
Dummy electrodes 14a and 14b may be formed at both longitudinal ends of the substrate 11 along the arrangement direction of a and 13b so as to be aligned with the connection electrodes 13a and 13b.

【0032】なお、これら図7および図8において、図
1に示した先の実施例と同一機能の部材には、これと同
一符号を記してある。
7 and 8, members having the same functions as those of the previous embodiment shown in FIG. 1 are designated by the same reference numerals.

【0033】次に、上述したようなインクジェットヘッ
ドを組み込んだ本発明によるインクジェットカートリッ
ジの一実施例について、その外観を表す図9を参照しな
がら詳細に説明する。
Next, an embodiment of the ink jet cartridge according to the present invention, in which the above ink jet head is incorporated, will be described in detail with reference to FIG. 9 showing its appearance.

【0034】すなわち、本実施例におけるインクジェッ
トカートリッジ31は、図示しないシリアルタイプのイ
ンクジェット装置のキャリッジに位置決め状態で取り付
けられ、インクジェット装置との間で電気的な信号など
の授受を行うようになっている。キャリッジに対して着
脱可能に交換されるインクジェットカートリッジ31
は、インクジェットヘッド10と、このインクジェット
ヘッド10を保持するヘッドホルダ32と、このヘッド
ホルダ32にインクジェットヘッド10を押圧する押圧
ブロック33と、インクを収容するインクタンク34
と、このインクタンク34内を密閉する蓋部材35とで
主要部が構成されており、インクジェットカートリッジ
31の容積の大部分を占めるインクタンク34には、こ
のインクタンク34内を大気圧に保持するための大気連
通口36が形成されている。
That is, the ink jet cartridge 31 in this embodiment is attached to a carriage of a serial type ink jet apparatus (not shown) in a positioned state, and exchanges electrical signals with the ink jet apparatus. . Inkjet cartridge 31 that is detachably attached to the carriage
Is an inkjet head 10, a head holder 32 that holds the inkjet head 10, a pressing block 33 that presses the inkjet head 10 against the head holder 32, and an ink tank 34 that stores ink.
And a lid member 35 for sealing the inside of the ink tank 34, a main part is configured, and the ink tank 34, which occupies most of the volume of the ink jet cartridge 31, keeps the inside of the ink tank 34 at atmospheric pressure. An atmosphere communication port 36 is formed for this purpose.

【0035】インクを吐出するための多数のインク吐出
口104が形成されたインクジェットヘッド10は、先
の図1〜図8に示した実施例と対応した構造を有するも
のであり、このインクジェットヘッド10は、押圧ブロ
ック33によってヘッドホルダ32に押圧保持されてい
る。インクは、インクタンク34からインクジェットヘ
ッド10の図示しないインク供給管および連通路を介し
て共通インク室105および各インク流路103に導か
れる(それぞれ図12参照)。
The ink jet head 10 having a large number of ink ejection ports 104 for ejecting ink has a structure corresponding to the embodiment shown in FIGS. Are pressed and held by the head holder 32 by the pressing block 33. Ink is guided from the ink tank 34 to the common ink chamber 105 and each ink flow path 103 through an ink supply pipe and a communication passage (not shown) of the inkjet head 10 (see FIG. 12 respectively).

【0036】本実施例におけるインクジェットカートリ
ッジ31は、インクジェットヘッド10とインクタンク
34とを一体的に形成したものであるが、このインクジ
ェットヘッド10に対し、インクタンク34側を交換可
能に連結した構造のインクジェットカートリッジであっ
ても良い。
The ink jet cartridge 31 in this embodiment is formed by integrally forming the ink jet head 10 and the ink tank 34. The ink jet head 10 has a structure in which the ink tank 34 side is exchangeably connected. It may be an inkjet cartridge.

【0037】さらに、本発明のインクジェットヘッドを
搭載した本発明によるインクジェット装置の一実施例の
外観を図10に示す。すなわち、本実施例のインクジェ
ット装置は、フルラインタイプのカラープリンタであ
り、インクジェットカートリッジは、イエロー色イン
ク, マゼンタ色インク, シアン色インク, ブラック色イ
ンクをそれぞれ蓄えた4つのインクタンク37Y, 37
M, 37C, 37B(以下、これらをまとめてインクタ
ンク37と記述する)と、これらインクタンク37にそ
れぞれ接続配管38を介してインク供給管が接続する4
つのインクジェットヘッド10Y, 10M, 10C, 1
0B(以下、これらをまとめてインクジェットヘッド1
0と記述する)とを具え、各インクタンク37は、接続
配管38に対して交換可能に連結される。
FIG. 10 shows the appearance of an embodiment of the ink jet device according to the present invention, which is equipped with the ink jet head of the present invention. That is, the ink jet apparatus of this embodiment is a full-line type color printer, and the ink jet cartridge has four ink tanks 37Y and 37 that store yellow ink, magenta ink, cyan ink, and black ink, respectively.
M, 37C, 37B (hereinafter collectively referred to as an ink tank 37), and an ink supply pipe connected to each of these ink tanks 37 via a connection pipe 38 4
Inkjet heads 10Y, 10M, 10C, 1
0B (hereinafter, these are collectively referred to as the inkjet head 1
Each of the ink tanks 37 is exchangeably connected to a connection pipe 38.

【0038】制御装置39に接続するヘッドドライバ4
0によって各発熱抵抗体16に対する通電のオン/オフ
がそれぞれ切り換えられるインクジェットヘッド10
は、図1〜8に示した実施例のものと基本的な構造は全
く同じであり、無端の搬送用ベルト41を挟んでプラテ
ン42と対向するように、搬送用ベルト41の搬送方向
に沿って所定間隔で配列している。そして、制御装置3
9によって作動が制御される回復処理のためのヘッド移
動手段43により、プラテン42との対向方向に昇降し
得るようになっている。各インクジェットヘッド10の
側方には、プリント用紙44に対するプリント作業に先
立ち、インク流路103内に介在する古いインクをイン
ク吐出口24から吐出してインクジェットヘッド10の
回復処理を行うためのヘッドキャップ45がインクジェ
ットヘッド10の配列間隔に対して半ピッチずらした状
態で配置され、制御装置39によって作動が制御される
キャップ移動手段46により、それぞれインクジェット
ヘッド10の直下に移動し、インク吐出口24から吐出
される廃インクを受けるようになっている。
Head driver 4 connected to the controller 39
Inkjet head 10 whose energization to each heating resistor 16 is switched on / off by 0
1 has the same basic structure as that of the embodiment shown in FIGS. 1 to 8, and is arranged along the carrying direction of the carrying belt 41 so as to face the platen 42 with the endless carrying belt 41 interposed therebetween. Are arranged at predetermined intervals. And the control device 3
The head moving means 43 for recovery processing whose operation is controlled by 9 can move up and down in the direction opposite to the platen 42. On the side of each inkjet head 10, a head cap for performing recovery processing of the inkjet head 10 by ejecting old ink existing in the ink flow path 103 from the ink ejection port 24 prior to the printing operation on the print paper 44. 45 are arranged in a state of being shifted by a half pitch with respect to the arrangement interval of the inkjet heads 10, and are moved directly below the inkjet heads 10 by the cap moving means 46 whose operation is controlled by the control device 39, and from the ink ejection ports 24. It is designed to receive the discharged waste ink.

【0039】プリント用紙44を搬送する搬送用ベルト
41は、ベルト駆動モータ47に連結された駆動ローラ
48に巻き掛けられ、制御装置39に接続するモータド
ライバ49によってその作動が切り換えられる。また、
搬送用ベルト41の上流側には、この搬送用ベルト41
を帯電することにより、プリント用紙44を搬送用ベル
ト41に密着させるための帯電器50が設けられてお
り、この帯電器50は、制御装置39に接続する帯電器
ドライバ51によって、その通電のオン/オフが切り換
えられる。搬送用ベルト41の上にプリント用紙44を
供給するための一対の給紙ローラ52には、これら一対
の給紙ローラ52を駆動回転させるための給紙用モータ
53が連結され、この給紙用モータ53は、制御装置3
9に接続するモータドライバ54によって作動が切り換
えられる。
The conveyor belt 41 for conveying the print paper 44 is wound around the drive roller 48 connected to the belt drive motor 47, and its operation is switched by the motor driver 49 connected to the controller 39. Also,
On the upstream side of the conveyor belt 41, the conveyor belt 41
Is provided with a charger 50 for bringing the print paper 44 into close contact with the conveyor belt 41 by charging the printer. The charger 50 connected to the controller 39 turns on the energization of the charger 50. / OFF can be switched. A paper feed motor 53 for driving and rotating the pair of paper feed rollers 52 is connected to the pair of paper feed rollers 52 for supplying the print paper 44 onto the transport belt 41. The motor 53 is the control device 3
The operation is switched by the motor driver 54 connected to 9.

【0040】従って、プリント用紙44に対するプリン
ト作業に先立ち、インクジェットヘッド10がプラテン
42から離れるように上昇し、次いでヘッドキャップ4
5がこれらインクジェットヘッド10の直下に移動して
インクジェットヘッド10の回復処理を行った後、ヘッ
ドキャップ45を元の待機位置へ移動させ、さらにイン
クジェットヘッド10をプリント位置までプラテン42
側に移動する。そして、帯電器50を作動させると同時
に搬送用ベルト41を駆動し、さらに給紙ローラ52に
よってプリント用紙44を搬送用ベルト41上に載置
し、各インクジェットヘッド10によって所定の色画像
がプリント用紙44にプリントされる。
Therefore, prior to the printing operation on the printing paper 44, the ink jet head 10 is lifted away from the platen 42, and then the head cap 4 is moved.
5 moves directly below the inkjet heads 10 to perform the recovery processing of the inkjet heads 10, then moves the head cap 45 to the original standby position, and further moves the inkjet heads 10 to the printing position to the platen 42.
Move to the side. Then, at the same time when the charging device 50 is operated, the transport belt 41 is driven, and further, the print paper 44 is placed on the transport belt 41 by the paper feed roller 52, and each inkjet head 10 prints a predetermined color image on the print paper. Printed on 44.

【0041】上述した各実施例では、プリントの高密度
化, 高精細化を達成するため、エネルギー発生素子とし
て熱エネルギーを発生する電気熱変換素子を用いたイン
クジェットヘッドについて説明したが、圧電素子などの
電気機械変換素子を用いたインクジェットヘッドにも応
用することができる。
In each of the above-described embodiments, the ink jet head using the electrothermal conversion element for generating thermal energy as the energy generating element has been described in order to achieve the high density and high definition of the print. It can also be applied to an inkjet head using the electromechanical conversion element.

【0042】上述の電気熱変換素子やレーザ光を用いた
インクジェットヘッドの代表的な構成や原理について
は、例えば、米国特許第4, 723, 129号明細書
や、同第4, 740, 796号明細書に開示されている
基本的な原理を用いて行うものが好ましい。この方式は
いわゆるオンデマンド型およびコンティニュアス型の何
れにも適用可能であるが、特に、オンデマンド型の場合
には、液体が保持されているシートや液流路に対応して
配置されている電気熱変換素子に、プリント情報に対応
していて核沸騰を越える急速な温度上昇を与える少なく
とも1つの駆動信号を印加することによって、電気熱変
換素子に熱エネルギーを発生させ、インクジェットヘッ
ドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結果的にこの駆動
信号に一対一で対応した液体内の気泡を形成できるので
有効である。この気泡の成長および収縮により吐出用開
口を介して液体を吐出させ、少なくとも1つの滴を形成
する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に
気泡の成長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液
体の吐出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の
駆動信号としては、米国特許第4, 463, 359号明
細書や、同第4, 345, 262号明細書に記載されて
いるようなものが適している。なお、上記熱作用面の温
度上昇率に関する発明の米国特許第4, 313, 124
号明細書に記載されている条件を採用すると、さらに優
れたプリントを行うことができる。
Regarding typical constitutions and principles of the ink jet head using the electrothermal converting element and the laser beam described above, for example, US Pat. No. 4,723,129 and US Pat. No. 4,740,796. Preference is given to working with the basic principles disclosed in the specification. This method is applicable to both the so-called on-demand type and the continuous type, but in particular, in the case of the on-demand type, the sheet is arranged corresponding to the sheet holding the liquid or the liquid flow path. By applying at least one drive signal to the electrothermal transducing element, which corresponds to the print information and causes a rapid temperature rise exceeding nucleate boiling, thermal energy is generated in the electrothermal transducing element, and heat of the inkjet head is generated. This is effective because film boiling is caused on the working surface, and as a result, bubbles in the liquid can be formed in a one-to-one correspondence with this drive signal. Due to the growth and contraction of the bubbles, the liquid is ejected through the ejection opening to form at least one droplet. When the drive signal is formed into a pulse shape, the growth and shrinkage of the bubble are performed immediately and appropriately, so that the ejection of the liquid having particularly excellent responsiveness can be achieved, which is more preferable. As the pulse-shaped driving signal, those described in US Pat. No. 4,463,359 and US Pat. No. 4,345,262 are suitable. It should be noted that US Pat. No. 4,313,124 of the invention relating to the rate of temperature rise of the heat acting surface
If the conditions described in the specification are adopted, even better printing can be performed.

【0043】インクジェットヘッドの構成としては、上
述の各明細書に開示されているような吐出口と液流路と
電気熱変換素子との組合せ構成(直線状液流路または直
角液流路)の他に、熱作用部が屈曲する領域に配置され
ている構成を開示する米国特許第4, 558, 333号
明細書や、米国特許第4, 459, 600号明細書を用
いた構成も本発明に含まれるものである。加えて、複数
の電気熱変換素子に対し、共通するスリットを電気熱変
換素子の吐出部とする構成を開示する特開昭59−12
3670号公報や、熱エネルギーの圧力波を吸収する開
孔を吐出部に対応させる構成を開示した特開昭59−1
38461号公報に基いた構成としても、本発明の効果
は有効である。すなわち、インクジェットヘッドの形態
がどのようなものであっても、本発明によればプリント
を確実に効率良く行うことができるようになるからであ
る。
As the constitution of the ink jet head, a combination constitution (straight liquid flow passage or right-angled liquid flow passage) of a discharge port, a liquid flow passage and an electrothermal conversion element as disclosed in the above-mentioned specifications is used. In addition, a configuration using US Pat. No. 4,558,333 or a configuration using US Pat. No. 4,459,600 disclosing a configuration in which a heat acting portion is arranged in a bending region is also the present invention. Are included in. In addition, Japanese Patent Laid-Open No. 59-12 discloses a configuration in which a common slit is used as a discharge portion of the electrothermal conversion element for a plurality of electrothermal conversion elements.
Japanese Patent No. 3670 and Japanese Patent Laid-Open No. 59-1 disclose a configuration in which an opening for absorbing a pressure wave of thermal energy is made to correspond to a discharge portion.
The effect of the present invention is effective even with the configuration based on 38461. That is, according to the present invention, printing can be performed reliably and efficiently regardless of the form of the inkjet head.

【0044】さらに、インクジェット装置がプリントで
きるプリント媒体の最大幅に対応した長さを有するフル
ラインタイプのインクジェットヘッドに対しても本発明
は有効に適用できる。そのようなインクジェットヘッド
としては、複数のインクジェットヘッドの組合せによっ
てその長さを満たす構成や、一体的に形成された1個の
インクジェットヘッドとしての構成の何れでも良い。
Further, the present invention can be effectively applied to a full line type ink jet head having a length corresponding to the maximum width of a print medium which can be printed by the ink jet apparatus. Such an inkjet head may have a configuration that fills its length by a combination of a plurality of inkjet heads or a configuration as one integrally formed inkjet head.

【0045】加えて、上例のようなシリアルタイプのも
のでも、装置本体に固定されたインクジェットヘッド、
あるいは装置本体に装着されることで装置本体との電気
的な接続や装置本体からの液体の供給が可能になる交換
自在のチップタイプのインクジェットヘッド、あるいは
インクジェットヘッド自体に一体的に液体タンクが設け
られたカートリッジタイプのインクジェットヘッドを用
いた場合にも本発明は有効である。
In addition, even in the case of the serial type as in the above example, an ink jet head fixed to the apparatus main body,
Alternatively, a replaceable chip-type inkjet head that can be electrically connected to the device body and supply liquid from the device body by being attached to the device body, or a liquid tank integrally provided on the inkjet head itself The present invention is also effective when the cartridge type inkjet head described above is used.

【0046】また、本発明のインクジェット装置の構成
として、インクジェットヘッドの吐出回復手段や、予備
的な補助手段などを付加することは本発明の効果を一層
安定できるので、好ましいものである。これらを具体的
に挙げれば、インクジェットヘッドに対してのキャッピ
ング手段や、クリーニング手段, 加圧あるいは吸引手
段, 電気熱変換素子やこれとは別の加熱素子あるいはこ
れらの組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手段、プ
リントとは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げること
ができる。
Further, as the constitution of the ink jet device of the present invention, it is preferable to add a discharge recovery means of the ink jet head, a preliminary auxiliary means and the like because the effect of the present invention can be further stabilized. Specific examples of these are: a capping unit for the inkjet head, a cleaning unit, a pressurizing or suction unit, an electrothermal conversion element, a heating element other than this, or a combination of these and the preliminary heating. The heating means and the preliminary discharge means for performing discharge different from the print can be mentioned.

【0047】また、搭載されるインクジェットヘッドの
種類や個数についても、例えば単色のインクに対応して
1個のみが設けられたものの他、プリント色や濃度を異
にする複数のインクに対応して複数個数設けられるもの
であっても良い。すなわち、例えばインクジェット装置
のプリントモードとしては黒色などの主流色のみのプリ
ントモードだけではなく、インクジェットヘッドを一体
的に構成するか、複数個の組み合わせによるか何れでも
良いが、異なる色の複色カラーまたは混色によるフルカ
ラーの各プリントモードの少なくとも一つを備えた装置
にも本発明は極めて有効である。
Regarding the type and number of ink-jet heads to be mounted, for example, only one ink-jet head is provided for a single color ink, or a plurality of inks having different print colors and densities are provided. A plurality of pieces may be provided. That is, for example, the print mode of the inkjet apparatus is not limited to the print mode of only the mainstream color such as black, but the inkjet head may be integrally configured or a plurality of combinations may be used. The present invention is also extremely effective for an apparatus provided with at least one of full-color print modes by color mixing.

【0048】さらに加えて、以上説明した本発明実施例
においては、液体を液体として説明しているが、室温や
それ以下で固化する液体であって、室温で軟化もしくは
液化するものを用いても良く、あるいはインクジェット
方式では液体自体を30℃以上70℃以下の範囲内で温
度調整を行って液体の粘性を安定吐出範囲にあるように
温度制御するものが一般的であるから、使用プリント信
号付与時に液体が液状をなすものを用いても良い。加え
て、熱エネルギーによる昇温を、液体の固形状態から液
体状態への状態変化のエネルギーとして使用させること
で積極的に防止するため、または液体の蒸発を防止する
ため、放置状態で固化し加熱によって液化する液体を用
いても良い。何れにしても熱エネルギーのプリント信号
に応じた付与によって液体が液化し、液状液体が吐出さ
れるものや、プリント媒体に到達する時点ではすでに固
化し始めるものなどのような、熱エネルギーの付与によ
って初めて液化する性質の液体を使用する場合も本発明
は適用可能である。このような場合の液体は、特開昭5
4−56847号公報あるいは特開昭60−71260
号公報に記載されるような、多孔質シート凹部または貫
通孔に液状又は固形物として保持された状態で、電気熱
変換素子に対して対向するような形態としても良い。本
発明においては、上述した各液体に対して最も有効なも
のは、上述した膜沸騰方式を実行するものである。
In addition, in the above-described embodiments of the present invention, the liquid is described as a liquid, but a liquid that solidifies at room temperature or lower and that softens or liquefies at room temperature may be used. Or, in the inkjet method, it is common to adjust the temperature of the liquid itself within the range of 30 ° C. or higher and 70 ° C. or lower to control the temperature of the liquid so that the viscosity of the liquid is within the stable ejection range. A liquid may be used at times. In addition, in order to positively prevent the temperature rise due to heat energy as the energy of the state change from the solid state of the liquid to the liquid state, or to prevent the evaporation of the liquid, solidify and heat it in the standing state. You may use the liquid liquefied by. In any case, by applying thermal energy such as liquid that is liquefied by applying thermal energy according to the print signal and liquid liquid is ejected, or that begins to solidify when it reaches the print medium. The present invention can be applied to the case where a liquid having a property of being liquefied for the first time is used. The liquid in such a case is disclosed in
JP-A-4-56847 or JP-A-60-71260.
As described in Japanese Patent Publication No. JP-A-2003-115, it may be configured to face the electrothermal conversion element in a state of being held as a liquid or a solid in the concave portion or the through hole of the porous sheet. In the present invention, the most effective one for each of the above-mentioned liquids is to execute the above-mentioned film boiling method.

【0049】さらに加えて、上述したインクジェットヘ
ッドを用いた本発明にかかるインクジェット装置の形態
としては、コンピュータなどの情報処理機器の画像出力
端末として用いられるものの他、リーダなどと組合せた
複写装置、さらには送受信機能を有するファクシミリ装
置の形態を採るものなどであっても良い。
In addition, as the form of the ink jet device according to the present invention using the above-mentioned ink jet head, besides the one used as an image output terminal of information processing equipment such as a computer, a copying device combined with a reader or the like, May take the form of a facsimile machine having a transmission / reception function.

【0050】[0050]

【発明の効果】本発明によると、エネルギー発生素子ユ
ニットおよび駆動素子ユニットの突き合わせ面の対向間
隔を保持するための突起部を設けたので、これら二つの
ユニットの接続電極の密着状態が均一化され、容易かつ
確実に信頼性の高い電気的接続が可能となる。
As described above, according to the present invention, since the protrusions are provided to maintain the facing distance between the abutting surfaces of the energy generating element unit and the driving element unit, the contact state of the connection electrodes of these two units is made uniform. Therefore, it is possible to easily and reliably perform reliable electrical connection.

【0051】また、エネルギー発生素子ユニットと駆動
素子ユニットとを連結する際の加圧作用点の位置が、従
来に比べてラフで良いため、より簡便な機構で確実な接
続が可能であり、低コスト化を図ることができる。
Further, since the position of the pressing action point when connecting the energy generating element unit and the driving element unit may be rougher than in the conventional case, a reliable connection can be made with a simpler mechanism. Cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明によるインクジェットヘッドのエネルギ
ー発生素子ユニットを構成する基板の部分の第一実施例
の形状を表す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing the shape of a first embodiment of a substrate portion that constitutes an energy generating element unit of an inkjet head according to the present invention.

【図2】図1中のII−II矢視断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along the line II-II in FIG.

【図3】図4および図5と共に図2に示した基板の製造
手順を表す断面図である。
3 is a cross-sectional view showing a manufacturing procedure of the substrate shown in FIG. 2 together with FIG. 4 and FIG.

【図4】図3および図5と共に図2に示した基板の製造
手順を表す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a procedure for manufacturing the substrate shown in FIG. 2 together with FIGS. 3 and 5.

【図5】図3および図4と共に図2に示した基板の製造
手順を表す断面図である。
5 is a cross-sectional view showing a manufacturing procedure of the substrate shown in FIG. 2 together with FIG. 3 and FIG.

【図6】本発明によるエネルギー発生素子ユニットと駆
動素子ユニットとを結合した状態を表す概念図である。
FIG. 6 is a conceptual diagram showing a state in which an energy generating element unit and a driving element unit according to the present invention are combined.

【図7】本発明によるインクジェットヘッドのエネルギ
ー発生素子ユニットを構成する基板の部分の第二実施例
の形状を表す平面図である。
FIG. 7 is a plan view showing the shape of a second embodiment of the substrate portion that constitutes the energy generating element unit of the inkjet head according to the present invention.

【図8】本発明によるインクジェットヘッドのエネルギ
ー発生素子ユニットを構成する基板の部分の第三実施例
の形状を表す平面図である。
FIG. 8 is a plan view showing the shape of a third embodiment of the substrate portion that constitutes the energy generating element unit of the inkjet head according to the present invention.

【図9】本発明によるインクジェットカートリッジの一
実施例の外観を表す斜視図である。
FIG. 9 is a perspective view showing the appearance of an embodiment of an inkjet cartridge according to the present invention.

【図10】本発明によるインクジェット装置の一実施例
の外観を表す概念図である。
FIG. 10 is a conceptual diagram showing the appearance of an embodiment of an inkjet device according to the present invention.

【図11】本発明の対象となったインクジェットヘッド
のエネルギー発生素子ユニットの外観を表す斜視図であ
る。
FIG. 11 is a perspective view illustrating an appearance of an energy generating element unit of an inkjet head which is a target of the present invention.

【図12】図11に示したエネルギー発生素子ユニット
の一部を破断した斜視図である。
12 is a perspective view in which a part of the energy generating element unit shown in FIG. 11 is cut away.

【図13】従来のインクジェットヘッドの電気回路を表
す平面図である。
FIG. 13 is a plan view showing an electric circuit of a conventional inkjet head.

【図14】図13中の XIV−XIV 矢視断面図である。14 is a sectional view taken along the line XIV-XIV in FIG.

【図15】従来の駆動素子ユニットの外観を表す斜視図
である。
FIG. 15 is a perspective view showing an appearance of a conventional drive element unit.

【図16】従来のエネルギー発生素子ユニットと駆動素
子ユニットとを結合した状態を表す概念図である。
FIG. 16 is a conceptual diagram showing a state in which a conventional energy generating element unit and a driving element unit are combined.

【図17】図16における接続電極の接触不良状態を表
す概念図である。
FIG. 17 is a conceptual diagram showing a contact failure state of the connection electrode in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10, 10Y, 10M, 10C, 10B インクジェッ
トヘッド 11 基板 12 絶縁層 13a, 13b 接続電極 14 ダミー電極 14a, 14b ダミー電極 15 信号配線 15′導電層 16 発熱抵抗体 16′抵抗層 17 絶縁層 18 耐キャビテーション層 19 スルーホール 20 接続電極 21 ダミー電極 31 インクジェットカートリッジ 32 ヘッドホルダ 33 押圧ブロック 34 インクタンク 35 蓋部材 36 大気連通口 37Y, 37M, 37C, 37B インクタンク 38 接続配管 39 制御装置 40 ヘッドドライバ 41 搬送用ベルト 42 プラテン 43 ヘッド移動手段 44 プリント用紙 45 ヘッドキャップ 46 キャップ移動手段 47 ベルト駆動モータ 48 駆動ローラ 49 モータドライバ 50 帯電器 51 帯電器ドライバ 52 給紙ローラ 53 給紙用モータ 54 モータドライバ FE , FD 突き合わせ面 UE エネルギー発生素子ユニット UD 駆動素子ユニット
10, 10Y, 10M, 10C, 10B Inkjet head 11 Substrate 12 Insulating layer 13a, 13b Connection electrode 14 Dummy electrode 14a, 14b Dummy electrode 15 Signal wiring 15 'Conductive layer 16 Heating resistor 16' Resistive layer 17 Insulating layer 18 Cavitation resistance Layer 19 Through Hole 20 Connection Electrode 21 Dummy Electrode 31 Inkjet Cartridge 32 Head Holder 33 Pressing Block 34 Ink Tank 35 Lid Member 36 Atmosphere Communication Port 37Y, 37M, 37C, 37B Ink Tank 38 Connection Piping 39 Controller 40 Head Driver 41 Transport Belt 42 Platen 43 Head moving means 44 Print paper 45 Head cap 46 Cap moving means 47 Belt drive motor 48 Drive roller 49 Motor driver 50 Charger 51 Charger driver 52 the paper feed roller 53 the paper feed motor 54 motor driver F E, F D abutting surface U E energy generating element unit U D driving element unit

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 それぞれ液体を吐出するための複数のエ
ネルギー発生素子に一端側が接続してこれらエネルギー
発生素子に電気信号を供給するための複数本の信号配線
を有すると共に突き合わせ面が形成され、この突き合わ
せ面に位置する前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の
接続電極を突設したエネルギー発生素子ユニットと、 前記エネルギー発生素子を駆動するための駆動素子に一
端側がそれぞれ接続して当該駆動素子からの電気信号を
送出するための複数本の信号配線を有すると共に突き合
わせ面が形成され、この突き合わせ面に位置する前記信
号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を突設した駆
動素子ユニットとを具え、前記エネルギー発生素子ユニ
ットおよび前記駆動素子ユニットの前記突き合わせ面を
相互に重ね合わせて前記接続電極を相互に接続するよう
にしたインクジェットヘッドであって、 前記エネルギー発生素子ユニットおよび前記駆動素子ユ
ニットの少なくとも一方の前記突き合わせ面にこれらの
対向間隔を保持するための突起部を形成したことを特徴
とするインクジェットヘッド。
1. A plurality of energy generating elements for ejecting a liquid are respectively connected at one end side to a plurality of signal wirings for supplying electric signals to these energy generating elements, and a butt surface is formed. An energy generating element unit in which a plurality of connection electrodes are respectively provided on the other end side of the signal wiring located on the abutting surface, and one end side is connected to a driving element for driving the energy generating element from the driving element. And a drive element unit having a plurality of signal wirings for transmitting electric signals and having a butt face formed thereon, and a plurality of connection electrodes projecting from the other end of the signal line located on the butt face. The abutting surfaces of the energy generating element unit and the driving element unit are overlapped with each other. An ink jet head configured to connect the connection electrodes to each other, wherein a protrusion for maintaining a facing interval between the energy generating element unit and the driving element unit is formed on the abutting surface. Inkjet head characterized by.
【請求項2】 前記突起部は、前記接続電極と一直線状
に並ぶ領域を有することを特徴とする請求項1に記載の
インクジェットヘッド。
2. The inkjet head according to claim 1, wherein the protrusion has a region aligned with the connection electrode.
【請求項3】 前記突起部は、前記信号配線の他端側の
延長上に前記接続電極の配列方向に沿って並ぶ領域を有
することを特徴とする請求項1に記載のインクジェット
ヘッド。
3. The inkjet head according to claim 1, wherein the protrusion has a region that is arranged along the arrangement direction of the connection electrodes on an extension of the other end side of the signal wiring.
【請求項4】 前記突起部は、前記接続電極と一直線状
に並ぶ領域と、前記信号配線の他端側の延長上に前記接
続電極の配列方向に沿って並ぶ領域とを有することを特
徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。
4. The projection has a region aligned with the connection electrode in a straight line, and a region aligned along the arrangement direction of the connection electrode on an extension of the other end side of the signal wiring. The inkjet head according to claim 1.
【請求項5】 前記突起部は、前記接続電極と対応した
形状のダミー電極であることを特徴とする請求項1から
請求項4の何れかに記載のインクジェットヘッド。
5. The ink jet head according to claim 1, wherein the protrusion is a dummy electrode having a shape corresponding to the connection electrode.
【請求項6】 前記エネルギー発生素子は、前記液体に
膜沸騰を生じさせる熱エネルギーを発生する電気熱変換
体であることを特徴とする請求項1から請求項5の何れ
かに記載のインクジェットヘッド。
6. The ink jet head according to claim 1, wherein the energy generating element is an electrothermal converter that generates thermal energy that causes film boiling in the liquid. .
【請求項7】 それぞれ液体を吐出するための複数のエ
ネルギー発生素子に一端側が接続してこれらエネルギー
発生素子に電気信号を供給するための複数本の信号配線
を有すると共に突き合わせ面が形成され、この突き合わ
せ面に位置する前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の
接続電極を突設したエネルギー発生素子ユニットと、前
記エネルギー発生素子を駆動するための駆動素子に一端
側がそれぞれ接続して当該駆動素子からの電気信号を送
出するための複数本の信号配線を有すると共に突き合わ
せ面が形成され、この突き合わせ面に位置する前記信号
配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を突設した駆動
素子ユニットとを具え、前記エネルギー発生素子ユニッ
トおよび前記駆動素子ユニットの前記突き合わせ面を相
互に重ね合わせて前記接続電極を相互に接続するように
したインクジェットヘッドと、 このインクジェットヘッドに供給するための前記液体を
蓄える液体タンクとを具えたインクジェットカートリッ
ジであって、 前記エネルギー発生素子ユニットおよび前記駆動素子ユ
ニットの少なくとも一方の前記突き合わせ面にこれらの
対向間隔を保持するための突起部を形成したことを特徴
とするインクジェットカートリッジ。
7. A plurality of energy generating elements for ejecting a liquid are respectively connected at one end side to a plurality of signal wirings for supplying electric signals to these energy generating elements, and a butt surface is formed. An energy generating element unit in which a plurality of connection electrodes are respectively provided on the other end side of the signal wiring located on the butt surface, and one end side is connected to a driving element for driving the energy generating element And a drive element unit having a plurality of signal wirings for transmitting electric signals and having a butt face formed thereon, and a plurality of connection electrodes projecting from the other end of the signal line located on the butt face. The energy generating element unit and the driving element unit, the abutting surfaces of the energy generating element unit and the driving element unit being overlapped with each other. An inkjet cartridge comprising: an inkjet head configured to connect the connection electrodes to each other; and a liquid tank for storing the liquid to be supplied to the inkjet head, the inkjet cartridge comprising: An ink jet cartridge characterized in that at least one of the abutting surfaces is formed with a protrusion for maintaining a facing interval therebetween.
【請求項8】 前記液体は、インクおよび/またはプリ
ント媒体に吐出されるこのインクの特性を調整する処理
液であることを特徴とする請求項7に記載のインクジェ
ットカートリッジ。
8. The ink jet cartridge according to claim 7, wherein the liquid is a treatment liquid that adjusts characteristics of the ink and / or the ink ejected onto the print medium.
【請求項9】 複数の吐出口からそれぞれ液体を吐出す
るための複数のエネルギー発生素子に一端側が接続して
これらエネルギー発生素子に電気信号を供給するための
複数本の信号配線を有すると共に突き合わせ面が形成さ
れ、この突き合わせ面に位置する前記信号配線の他端側
にそれぞれ複数の接続電極を突設したエネルギー発生素
子ユニットと、前記エネルギー発生素子を駆動するため
の駆動素子に一端側がそれぞれ接続して当該駆動素子か
らの電気信号を送出するための複数本の信号配線を有す
ると共に突き合わせ面が形成され、この突き合わせ面に
位置する前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電
極を突設した駆動素子ユニットとを具え、前記エネルギ
ー発生素子ユニットおよび前記駆動素子ユニットの前記
突き合わせ面を相互に重ね合わせて前記接続電極を相互
に接続するようにしたインクジェットヘッドを用いるイ
ンクジェット装置であって、 前記エネルギー発生素子ユニットおよび前記駆動素子ユ
ニットの少なくとも一方の前記突き合わせ面にこれらの
対向間隔を保持するための突起部を形成したことを特徴
とするインクジェット装置。
9. An abutting surface having a plurality of signal wirings for supplying electric signals to these energy generating elements by connecting one end side to a plurality of energy generating elements for respectively ejecting liquid from a plurality of ejection ports. Is formed, and one end side is connected to an energy generating element unit in which a plurality of connection electrodes are respectively provided on the other end side of the signal wiring located on the abutting surface and a drive element for driving the energy generating element. Has a plurality of signal wirings for transmitting an electric signal from the driving element, and a butt surface is formed, and a plurality of connection electrodes are respectively provided on the other end side of the signal wirings located on the butt surface. A driving element unit, the energy generating element unit and the abutting surface of the driving element unit are mutually connected. An ink jet device using an ink jet head in which the connection electrodes are connected to each other by overlapping with each other, wherein at least one of the energy generating element unit and the driving element unit has a facing space therebetween on the abutting surface. An ink jet device having a protrusion for forming.
【請求項10】 前記突起部は、前記接続電極と一直線
状に並ぶ領域を有することを特徴とする請求項9に記載
したインクジェット装置。
10. The ink jet apparatus according to claim 9, wherein the protrusion has a region aligned with the connection electrode.
【請求項11】 前記突起部は、前記信号配線の他端側
の延長上に前記接続電極の配列方向に沿って並ぶ領域を
有することを特徴とする請求項9に記載したインクジェ
ット装置。
11. The ink jet apparatus according to claim 9, wherein the protrusion has a region arranged along the arrangement direction of the connection electrodes on an extension of the other end side of the signal wiring.
【請求項12】 前記突起部は、前記接続電極と一直線
状に並ぶ領域と、前記信号配線の他端側の延長上に前記
接続電極の配列方向に沿って並ぶ領域とを有することを
特徴とする請求項9に記載したインクジェット装置。
12. The projection has a region aligned with the connection electrode and a region aligned along the arrangement direction of the connection electrode on an extension of the other end side of the signal wiring. The inkjet device according to claim 9.
【請求項13】 前記突起部は、前記接続電極と対応し
た形状のダミー電極であることを特徴とする請求項9か
ら請求項12の何れかに記載したインクジェット装置。
13. The ink jet device according to claim 9, wherein the protrusion is a dummy electrode having a shape corresponding to the connection electrode.
【請求項14】 前記吐出口は、プリント媒体のプリン
ト領域の全幅に亙って配列していることを特徴とする請
求項9から請求項13の何れかに記載のインクジェット
装置。
14. The ink jet apparatus according to claim 9, wherein the ejection ports are arranged over the entire width of the print area of the print medium.
JP24755596A 1995-09-21 1996-09-19 Ink-jet head, ink-jet catridge, and ink-jet apparatus Pending JPH09141874A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24755596A JPH09141874A (en) 1995-09-21 1996-09-19 Ink-jet head, ink-jet catridge, and ink-jet apparatus

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24339695 1995-09-21
JP7-243396 1995-09-21
JP24755596A JPH09141874A (en) 1995-09-21 1996-09-19 Ink-jet head, ink-jet catridge, and ink-jet apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09141874A true JPH09141874A (en) 1997-06-03

Family

ID=26536234

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24755596A Pending JPH09141874A (en) 1995-09-21 1996-09-19 Ink-jet head, ink-jet catridge, and ink-jet apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09141874A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10118118A (en) * 1996-10-23 1998-05-12 Kao Corp Absorptive article
JP2004160942A (en) * 2002-11-15 2004-06-10 Brother Ind Ltd Ink jet head and its manufacturing process
US7237876B2 (en) 2003-03-19 2007-07-03 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Ink-jet head and method for manufacturing the same
US7360874B2 (en) 2003-06-30 2008-04-22 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Ink-jet printer, ink-jet head and method of manufacturing the ink-jet head
US8267079B2 (en) 2008-08-04 2012-09-18 Canon Kabushiki Kaisha Inhaler

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10118118A (en) * 1996-10-23 1998-05-12 Kao Corp Absorptive article
JP2004160942A (en) * 2002-11-15 2004-06-10 Brother Ind Ltd Ink jet head and its manufacturing process
US7237876B2 (en) 2003-03-19 2007-07-03 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Ink-jet head and method for manufacturing the same
US7900355B2 (en) 2003-03-19 2011-03-08 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Ink-jet head and method for manufacturing the same
US7360874B2 (en) 2003-06-30 2008-04-22 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Ink-jet printer, ink-jet head and method of manufacturing the ink-jet head
US8474138B2 (en) 2003-06-30 2013-07-02 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Method of manufacturing the ink-jet head
US8267079B2 (en) 2008-08-04 2012-09-18 Canon Kabushiki Kaisha Inhaler

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0764530B1 (en) Ink-jet head, ink-jet cartridge and ink-jet apparatus
US7434917B2 (en) Ink jet recording head having temperature control heaters and nozzle arrays of differing discharge amounts
US6705700B2 (en) Liquid discharge head, and head cartridge and image forming apparatus using such liquid discharge head
JPH09141874A (en) Ink-jet head, ink-jet catridge, and ink-jet apparatus
US5701147A (en) Ink jet head and ink jet apparatus using same
US6132031A (en) Ink-jet head, ink-jet cartridge and ink-jet printing apparatus
JP3183795B2 (en) Ink jet apparatus and ink jet method
JP3416442B2 (en) Ink jet head and ink jet device
JP3402910B2 (en) Ink jet recording head, ink jet recording head cartridge and ink jet recording apparatus
JP3176249B2 (en) Ink jet recording head, ink jet recording apparatus, and information processing system
JP3618960B2 (en) Ink jet recording head and ink jet apparatus equipped with the head
JPH09286103A (en) Ink jet recording head
JP3554120B2 (en) Ink jet head, ink jet head cartridge, and ink jet apparatus having ink supply mechanism
JPH03277553A (en) Method and device for recording
JP4059509B2 (en) Inkjet recording head substrate, inkjet recording head, and inkjet recording apparatus
JPH09109394A (en) Recording head
JP2003127374A (en) Liquid ejection head, head cartridge, and image forming apparatus
JPH11320894A (en) Ink jet head
JPH04355158A (en) Ink jet recording apparatus
JPH11254704A (en) Liquid discharge head, head cartridge, and image-forming apparatus
JP4757155B2 (en) Inkjet recording head
JPH0473151A (en) Ink jet recorder
JPH09174846A (en) Ink jet head, ink jet cartridge and ink jet apparatus
JP2001301167A (en) Ink-jet recording head and ink-jet recording apparatus
JPH10119279A (en) Ink jet head, ink jet cartridge and ink jet device using the same