JPH09141863A - Ink jet printing head and production thereof - Google Patents

Ink jet printing head and production thereof

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Publication number
JPH09141863A
JPH09141863A JP30608495A JP30608495A JPH09141863A JP H09141863 A JPH09141863 A JP H09141863A JP 30608495 A JP30608495 A JP 30608495A JP 30608495 A JP30608495 A JP 30608495A JP H09141863 A JPH09141863 A JP H09141863A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ink
silicone rubber
print head
ink chamber
thickness
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP30608495A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Norimasa Kondo
徳政 近藤
Takao Matsuoka
孝雄 松岡
Shigenori Suematsu
成規 末松
Kenichi Hisagai
健一 久貝
Nobuhiro Kurosawa
信広 黒澤
Kunihiro Tamahashi
邦裕 玉橋
Keiji Watanabe
啓司 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koki Holdings Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Koki Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Koki Co Ltd filed Critical Hitachi Koki Co Ltd
Priority to JP30608495A priority Critical patent/JPH09141863A/en
Publication of JPH09141863A publication Critical patent/JPH09141863A/en
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress the irregularity of applied voltage between the nozzles of an assembled printing head by forming the wall member between an ink chamber and a plezoelectric element from silicone rubber having specific thickness. SOLUTION: When an ink jet printing head 1 is constituted of orifices 2 injecting ink liquid droplets, an ink chamber 4 and the piezoelectric elements 6 bonded to a part of the wall of the ink chamber 4, the wall member between the ink chamber 4 and the piezoelectric elements 6 is formed from silicone rubber 7. The thickness of the wall member is set to 0.05-0.3mm. When the thickness of the silicone rubber 7 exceeds 0.3mm, the discharge of air bubbles floating in the silicone rubber 7 becomes difficult and, therefore, percent defective at a time of the production of a printing head becomes high. Further, it is difficult to reduce the thickness of the silicone rubber 7 to 0.05mm or less from an aspect of the attaching accuracy of the piezoelectric elements 6 and a housing 8. By this constitution, it becomes possible to restrict a setting range of applied voltage and the irregularity of applied voltage between nozzles can be suppressed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インク吐出のため
の駆動素子として圧電素子を利用するタイプのインクジ
ェットプリントヘッド及びインクジェットプリントヘッ
ドの製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet print head of a type that uses a piezoelectric element as a driving element for ejecting ink and a method for manufacturing the ink jet print head.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のインクジェットプリントヘッドの
構造としては、USP4,439,780あるいは特公平
02ー45985号公報に開示されている。またダイア
フラムを用いない構造としては、USP4,779,09
9に開示されている。
2. Description of the Related Art The structure of a conventional ink jet print head is disclosed in USP 4,439,780 or Japanese Patent Publication No. 02-45985. Further, as a structure that does not use a diaphragm, USP 4,779,09
9 is disclosed.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】特公平02ー4598
5号公報に開示された構造、すなわちダイアフラム付き
インクジェットプリントヘッドの構造では、印刷時に圧
電素子が伸び縮みをくり返し、ダイアフラム−シリコー
ンゴム間の接着強度が大幅に低下する。そのため当初は
良好なプリントヘッドも経時変化により、ダイアフラム
−シリコーンゴム間で剥離が生じ、良好なインク液滴が
発生しなくなる問題があった。
[Problems to be Solved by the Invention] Japanese Patent Publication No. 02-4598
In the structure disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 5-5, that is, the structure of an inkjet printhead with a diaphragm, the piezoelectric element repeatedly expands and contracts during printing, and the adhesive strength between the diaphragm and the silicone rubber is significantly reduced. Therefore, initially, there was a problem that a good print head also peeled off between the diaphragm and the silicone rubber due to aging and good ink droplets did not occur.

【0004】また、USP4,779,099に開示され
ている構造、すなわちダイアフラムを用いない構造にお
いては、シリコーンゴムがインクに侵されてしまうた
め、インクがヘッド内部から漏れ出す問題があった。
Further, in the structure disclosed in USP 4,779,099, that is, in the structure using no diaphragm, there is a problem that the ink leaks from the inside of the head because the silicone rubber is attacked by the ink.

【0005】更に、シリコーンゴムの厚さ制御ができな
いため、各ノズルの所定インク滴速度を得る電圧が揃わ
ないという問題があった。
Further, since the thickness of the silicone rubber cannot be controlled, there is a problem that the voltages for obtaining the predetermined ink droplet speeds of the respective nozzles are not uniform.

【0006】本発明は、組立てたプリントヘッドのノズ
ル間の印加電圧のばらつきを抑え、ひいてはプリントヘ
ッド組立て不良を低減することを目的としたものであ
る。
It is an object of the present invention to suppress variations in applied voltage between nozzles of an assembled printhead, and to reduce printhead assembly failure.

【0007】また、プリントヘッドを容易に組立てるこ
とを目的としたものである。
Another object of the present invention is to easily assemble the print head.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明のこの課題を達成
するため、インク液滴を噴出するオリフィスと、インク
室と、該インク室の壁の一部に貼り付けられた圧電素子
とで構成されたインクジェットプリントヘッドにおい
て、インク室と圧電素子間の壁部材をシリコーンゴムで
形成することによって達成される。その際、前記壁部材
の厚さは0.05mm〜0.3mmに規定するとよい。
これにより、印加電圧の設定範囲を制限することが可能
となる。
In order to achieve this object of the present invention, an orifice for ejecting ink droplets, an ink chamber, and a piezoelectric element attached to a part of the wall of the ink chamber are used. In the ink jet print head, the wall member between the ink chamber and the piezoelectric element is made of silicone rubber. At this time, the wall member may have a thickness of 0.05 mm to 0.3 mm.
This makes it possible to limit the setting range of the applied voltage.

【0009】また、上記課題はインク室側のシリコーン
ゴムの壁面に耐インク性の保護膜を形成することにより
達成できる。上記構成により、インクによるシリコーン
ゴムの膨潤や腐蝕を防止できる。
The above object can be achieved by forming an ink resistant protective film on the wall surface of the silicone rubber on the ink chamber side. With the above configuration, it is possible to prevent swelling and corrosion of the silicone rubber due to the ink.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に基づいて説
明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings.

【0011】図1は、本発明になるプリントヘッド1の
断面図である。
FIG. 1 is a sectional view of a print head 1 according to the present invention.

【0012】プリントヘッド1は、インク液滴の噴出口
となるオリフィス穴2を有するオリフィスプレート10
と、インク室4を形成するベースプレート3と、ハウジ
ング8と、該ハウジング8に一端が固定されている圧電
素子6と、該圧電素子6の他端に貼り付けられたフット
5と、前記インク室4の壁を形成しフット5を包括する
ようにハウジング8内に充填されたシリコーンゴム7
と、該シリコーンゴム7の壁に形成されたインク保護膜
9とから構成されている。本実施例において、シリコー
ンゴム7はダウコーニング社製のQ3−6611を採用
した。
The print head 1 has an orifice plate 10 having an orifice hole 2 which serves as an ejection port for ink droplets.
A base plate 3 forming an ink chamber 4, a housing 8, a piezoelectric element 6 having one end fixed to the housing 8, a foot 5 attached to the other end of the piezoelectric element 6, and the ink chamber. Silicone rubber 7 filled in the housing 8 so as to form the wall of 4 and cover the foot 5.
And an ink protection film 9 formed on the wall of the silicone rubber 7. In this embodiment, the silicone rubber 7 is Q3-6611 manufactured by Dow Corning.

【0013】実際のプリントヘッドは、図1の構成が紙
面と垂直方向に複数個存在し、マルチノズル化されてい
る。(本プリントヘッドにおいては48コのインク室を
有する。) 続いてプリントヘッドの動作について説明する。
An actual print head has a plurality of the constitutions shown in FIG. 1 in the direction perpendicular to the paper surface and has a multi-nozzle structure. (This print head has 48 ink chambers.) Next, the operation of the print head will be described.

【0014】図1において、インク室4にインクを充填
し、圧電素子6にパルス状の電圧を印加すると、圧電素
子6は収縮した後、元の長さに戻り、シリコーンゴム7
を介してインク室4の容積を急激に変化させ、インク液
滴をオリフィス穴2より噴出することができる。
In FIG. 1, when the ink chamber 4 is filled with ink and a pulsed voltage is applied to the piezoelectric element 6, the piezoelectric element 6 contracts and then returns to its original length, and the silicone rubber 7
The volume of the ink chamber 4 can be drastically changed via the, and ink droplets can be ejected from the orifice hole 2.

【0015】ここで、インク室4の壁からフット5先端
までのシリコーンゴム7の厚さδは、薄ければ薄い程圧
電素子6の変位伝達効率を上げられて良いと考えられ
る。
It is considered that the thinner the thickness δ of the silicone rubber 7 from the wall of the ink chamber 4 to the tip of the foot 5, the better the displacement transmission efficiency of the piezoelectric element 6.

【0016】そこで、インク液滴を所定の初速度で噴出
するための印加電圧とシリコーンゴム7の厚さとの関係
を図3に示した。
Therefore, FIG. 3 shows the relationship between the applied voltage for ejecting ink droplets at a predetermined initial velocity and the thickness of the silicone rubber 7.

【0017】図に示したように、シリコーンゴム7の厚
さδが薄い程印加電圧は下がるが、シリコーンゴム7の
厚さの変化に対する電圧変動が高くなり、ノズル間の電
圧を揃える為にはむしろシリコーンゴム7の厚さは厚い
程良いことが分かる。
As shown in the drawing, the thinner the thickness δ of the silicone rubber 7 is, the lower the applied voltage is. Rather, it is understood that the thicker the silicone rubber 7, the better.

【0018】しかし、シリコーンゴム7の厚さを厚くす
ると、シリコーンゴム7内に浮遊している気泡の排出が
困難となるため、プリントヘッド製作時の不良率は(1
プリントヘッドに48コのインク室搭載時)高くなる。
その変化は、シリコーンゴム厚さが0.3mmを越える
と急激に高くなる。
However, if the thickness of the silicone rubber 7 is increased, it becomes difficult to discharge the air bubbles floating in the silicone rubber 7. Therefore, the defective rate at the time of manufacturing the print head is (1
It becomes higher when 48 ink chambers are installed in the print head.
The change sharply increases when the thickness of the silicone rubber exceeds 0.3 mm.

【0019】また、シリコーンゴム7の厚さを50μm
以下に薄くすることは圧電素子6とハウジング8の取り
付け精度よりして困難である。
The thickness of the silicone rubber 7 is 50 μm.
It is difficult to reduce the thickness to the following because of the mounting accuracy of the piezoelectric element 6 and the housing 8.

【0020】よってシリコーンゴム7の厚さδは0.0
5mm〜0.3mmに制御するのが組立て上有効であ
る。
Therefore, the thickness δ of the silicone rubber 7 is 0.0
Controlling to 5 mm to 0.3 mm is effective in assembling.

【0021】図2は、プリントヘッド1の製作方法を示
した断面図である。
FIG. 2 is a sectional view showing a method of manufacturing the print head 1.

【0022】(a)はハウジング8にフット5の付いた
圧電素子6を貼り付けた図である。(b)はハウジング
8の底部にダミープレート11を貼り付けた図である。
(c)はシリコーン7を充填した図である。(d)はプ
リントヘッドをひっくり返し、ダミープレートを剥離し
た図である。(e)はインク保護膜9を形成した図であ
る。(f)はカバープレート3、オリフィスプレート1
0を貼り付け、更に圧電素子6に配線を施した図であ
る。
FIG. 3A is a view in which the piezoelectric element 6 having the foot 5 is attached to the housing 8. FIG. 7B is a diagram in which the dummy plate 11 is attached to the bottom of the housing 8.
(C) is a diagram in which silicone 7 is filled. (D) is a view in which the print head is turned over and the dummy plate is peeled off. (E) is a diagram in which the ink protection film 9 is formed. (F) is a cover plate 3 and an orifice plate 1
It is a figure in which 0 is attached and wiring is further applied to the piezoelectric element 6.

【0023】次に、図2にプリントヘッドの製作方法を
示す。図2の(a)〜(f)はヘッドの工程である。
Next, FIG. 2 shows a method of manufacturing the print head. 2A to 2F show steps of the head.

【0024】(a)において、ハウジング8にフット5
の付いた圧電素子6を貼り付ける。圧電素子6をハウジ
ング8に貼り付ける際に導電性接着材を用いると、圧電
素子6の共通電極を容易に形成できる。
In (a), the foot 5 is attached to the housing 8.
The piezoelectric element 6 marked with is attached. If a conductive adhesive is used when the piezoelectric element 6 is attached to the housing 8, the common electrode of the piezoelectric element 6 can be easily formed.

【0025】(b)において、ハウジング8の底部にダ
ミープレート11を貼り付ける。ダミープレート11と
してはステンレスプレートを接着剤で貼り付けても良い
が、耐熱性のあるテープ(ポリイミドフィルムテープ)
を用いる方が取り扱い性が良い。
In (b), the dummy plate 11 is attached to the bottom of the housing 8. As the dummy plate 11, a stainless plate may be attached with an adhesive, but a heat resistant tape (polyimide film tape)
Is easier to handle.

【0026】(c)において、ハウジング8内にシリコ
ーンゴム7を充填する。ここで、シリコーンゴム7充填
には真空状態にして充填したり、事前にシリコーンゴム
7を真空状態に放置してシリコーンゴム7内の気泡を抜
く必要がある。この後、シリコーンゴム7の硬化条件に
合わせて加熱する。
In (c), the silicone rubber 7 is filled in the housing 8. Here, it is necessary to fill the silicone rubber 7 in a vacuum state, or to leave the silicone rubber 7 in a vacuum state in advance to remove air bubbles in the silicone rubber 7. Then, the silicone rubber 7 is heated according to the curing conditions.

【0027】(d)において、プリントヘッドをひっく
り返し、ダミープレート11を剥離する。ここで、ダミ
ープレート11を剥離したシリコーンゴム7の面は気泡
が付着していたり凹凸があるので、シリコーンゴム7の
面をラップするとよい。ラップによりシリコーンゴム7
の厚さδを所定の厚さに制御することも可能である。
In (d), the print head is turned over and the dummy plate 11 is peeled off. Here, since the surface of the silicone rubber 7 from which the dummy plate 11 has been peeled has bubbles or irregularities, the surface of the silicone rubber 7 may be wrapped. Silicone rubber by wrapping 7
It is also possible to control the thickness .delta.

【0028】(e)において、シリコーンゴムの面にイ
ンク保護膜9を形成する。インク保護膜9の形成法とし
ては、金属、非金属をスパッタリングや蒸着する方法が
ある。例えば、金、チタン金属のスパッタリング、シリ
コンの蒸着が実用化されている。しかし、ここでは保護
膜9の厚さのコントロールが容易で設備のあまり必要で
はない方法として、耐インク性のあるエポキシ系接着剤
を溶剤(メチルエチルケトン)に溶かして塗布する方法
を採用した。
In (e), the ink protection film 9 is formed on the surface of the silicone rubber. As a method of forming the ink protective film 9, there is a method of sputtering or vapor depositing metal or nonmetal. For example, gold and titanium metal sputtering and silicon vapor deposition have been put to practical use. However, here, as a method for easily controlling the thickness of the protective film 9 and requiring less equipment, a method in which an epoxy adhesive having ink resistance is dissolved in a solvent (methyl ethyl ketone) and applied is adopted.

【0029】また、使用するインクを熱溶融性インクに
した場合、プリントヘッドには熱サイクルが掛かり、シ
リコーンゴム7とインク保護膜9に歪みを発生させるこ
ととなる。その場合には、熱膨張係数がシリコーンゴム
7と相等しいインク保護膜9を採用するのが良いが、接
着剤(エポキシ接着剤)がこの場合においても良い。
When the ink used is a heat-meltable ink, the print head is subjected to a thermal cycle, which causes distortion in the silicone rubber 7 and the ink protective film 9. In that case, the ink protective film 9 having a thermal expansion coefficient equal to that of the silicone rubber 7 is preferably used, but an adhesive (epoxy adhesive) may be used in this case as well.

【0030】(f)において、ハウジング8にカバープ
レート3、オリフィスプレート10を貼り付け、最後に
圧電素子6に配線を施してプリントヘッドの組立は終了
する。
In (f), the cover plate 3 and the orifice plate 10 are attached to the housing 8, and the piezoelectric element 6 is finally wired to complete the assembly of the print head.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明によれば、インク室4と圧電素子
6間の壁部材をシリコーンゴム7で形成し、該壁部材7
の厚さを0.05mmから0.3mmに規定することに
より、組立てたプリントヘッドのノズル間の印加電圧の
ばらつきを抑えることができ、ひいてはプリントヘッド
組立て不良を低減できる。
According to the present invention, the wall member between the ink chamber 4 and the piezoelectric element 6 is made of silicone rubber 7, and the wall member 7 is formed.
By defining the thickness of the print head from 0.05 mm to 0.3 mm, it is possible to suppress variations in the applied voltage between the nozzles of the assembled print head, and consequently to reduce print head assembly defects.

【0032】また、インク室4側のシリコーンゴム7の
壁面に耐インク性の保護膜を形成することにより、イン
クによるシリコーンゴム7の膨潤や腐蝕を防止できる。
Further, by forming an ink resistant protective film on the wall surface of the silicone rubber 7 on the ink chamber 4 side, it is possible to prevent the silicone rubber 7 from swelling or corroding due to ink.

【0033】更に、プリントヘッドを容易に組立てるこ
とが可能となる。
Further, the print head can be easily assembled.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明になるプリントヘッドの断面図であ
る。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a printhead according to the present invention.

【図2】 図1の組立て工程を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing an assembling process of FIG.

【図3】 電圧とシリコーンゴムの厚さの関係を示すグ
ラフである。
FIG. 3 is a graph showing the relationship between voltage and thickness of silicone rubber.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1はプリントヘッド、2はオリフィス穴、3はカバープ
レート、4はインク室、5はフット、6は圧電素子、7
はシリコーンゴム、8はボディ、9はインク保護膜、1
0はオリフィスプレートである。
1 is a print head, 2 is an orifice hole, 3 is a cover plate, 4 is an ink chamber, 5 is a foot, 6 is a piezoelectric element, 7
Is a silicone rubber, 8 is a body, 9 is an ink protective film, 1
0 is an orifice plate.

フロントページの続き (72)発明者 久貝 健一 茨城県ひたちなか市武田1060番地 日立工 機株式会社内 (72)発明者 黒澤 信広 茨城県ひたちなか市武田1060番地 日立工 機株式会社内 (72)発明者 玉橋 邦裕 茨城県ひたちなか市武田1060番地 日立工 機株式会社内 (72)発明者 渡辺 啓司 茨城県ひたちなか市武田1060番地 日立工 機株式会社内Front page continuation (72) Kenichi Kukai, 1060 Takeda, Hitachinaka City, Hitachinaka City, Ibaraki Prefecture, Hitachi Koki Co., Ltd. (72) Nobuhiro Kurosawa, 1060, Takeda, Hitachinaka City, Ibaraki Prefecture, Hitachi Machinery Co., Ltd. Kunihiro Hashi, 1060 Takeda, Hitachinaka, Ibaraki, Hitachi Koki Co., Ltd. (72) Keiji Watanabe, 1060, Takeda, Hitachinaka, Ibaraki, Hitachi Koki, Ltd.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】インク液滴の噴出口となるオリフィスと、
該オリフィスに連通し、インクを溜めるインク室と、イ
ンク噴出のためのエネルギを与えるべく前記インク室の
壁部材を介し隣接して設けられた圧電素子とを有するイ
ンクジェットプリントヘッドにおいて、前記インク室と
圧電素子との間の壁部材を0.05mm〜0.3mmの
厚さのシリコーンゴムで形成すると共に、前記インク室
と壁部材との間に耐インク性の保護膜を形成したことを
特徴とするインクジェットプリントヘッド。
1. An orifice serving as an ink droplet ejection port,
In an ink jet print head having an ink chamber communicating with the orifice for accumulating ink and a piezoelectric element provided adjacently via a wall member of the ink chamber to provide energy for ejecting ink, The wall member between the piezoelectric element is made of silicone rubber having a thickness of 0.05 mm to 0.3 mm, and an ink-resistant protective film is formed between the ink chamber and the wall member. Inkjet print head.
【請求項2】前記耐インク性の保護膜を耐インク性の高
い接着剤を塗布することにより形成することを特徴とす
る請求項1記載のインクジェットプリントヘッド。
2. The ink jet print head according to claim 1, wherein the ink resistant protective film is formed by applying an adhesive having high ink resistance.
【請求項3】インク液滴の噴出口となるオリフィスと、
該オリフィスに連通し、インクを溜めるインク室と、イ
ンク噴出のためのエネルギを与えるべく前記インク室の
壁部材を介し隣接して設けられた圧電素子とを有するイ
ンクジェットプリントヘッドにおいて、前記圧電素子に
シリコーンゴムを接合した後、耐インク性の保護膜を形
成し、最後にインク室とオリフィスを形成するプレート
を積層することによって製造することを特徴とするイン
クジェットプリントヘッドの製造方法。
3. An orifice which serves as an ejection port for ink droplets,
In an ink jet print head having an ink chamber communicating with the orifice for accumulating ink and a piezoelectric element provided adjacently via a wall member of the ink chamber to provide energy for ejecting ink, the piezoelectric element is A method for manufacturing an ink jet print head, comprising: forming a protective film having ink resistance after bonding silicone rubber, and finally laminating a plate that forms an ink chamber and an orifice.
JP30608495A 1995-11-24 1995-11-24 Ink jet printing head and production thereof Withdrawn JPH09141863A (en)

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