JPH09134685A - Field emission element, and field emission display having function of touch panel - Google Patents

Field emission element, and field emission display having function of touch panel

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JPH09134685A
JPH09134685A JP28968695A JP28968695A JPH09134685A JP H09134685 A JPH09134685 A JP H09134685A JP 28968695 A JP28968695 A JP 28968695A JP 28968695 A JP28968695 A JP 28968695A JP H09134685 A JPH09134685 A JP H09134685A
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JP
Japan
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electrode
field emission
display
function
diaphragm
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Application number
JP28968695A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Noriyuki Shinozuka
典之 篠塚
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Honda Motor Co Ltd
Original Assignee
Honda Motor Co Ltd
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Publication date
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  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)
  • Position Input By Displaying (AREA)
  • Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To simplify its device constitution by having both these functions by a single element though an FE element itself as a constitutive element has merely respectively and independently a display function and an input function so far in a sensor or a display using field electron emission (FE). SOLUTION: When voltage is impressed between an emitter E1 and a transparent electrode A1 of a positive electrode by a power source V1 , FE is generated, and an emitting electron excites a phosphor F1 so as to emit the light, and has a display function. A glass thin plate T1 formed as a diaphragm and the transparent electrode A1 change a relative position between electrodes by external force, and change an electric current by the emitting electron, and this electric current is detected by an electric current detecting part I1 . It follows that the external force has a touch input function by a finger. The emitting light by an FE electric current is controlled by the power source V1 , impression voltage on a gate electrode G1 and displacement of the electrodes formed into a diaphragm.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、フィールドエミッ
ションを応用した装置に関し、より詳細には、センサ、
或いはタッチパネルの様な入力機能と、表示機能とを共
に備えるフィールドエミッション素子、或いは、ディス
プレイに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a field emission device, and more particularly, to a sensor,
Alternatively, the present invention relates to a field emission element having both an input function such as a touch panel and a display function, or a display.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の技術として、表示装置上にタッチ
パネルを設置したディスプレイ上のポインティングデバ
イスとして、指等により指定された表示画面上の場所を
読取る装置が知られ、また、表示画面上で指定された場
所との関連で指定した入力データの内容を判定するよう
にした入力装置が知られている。そして、この種の入力
装置は、表示装置としてCRTや液晶によるディスプレ
イ等が用いられている。
2. Description of the Related Art As a conventional technique, a device for reading a location on a display screen designated by a finger or the like is known as a pointing device on a display in which a touch panel is installed on the display device, and is designated on the display screen. There is known an input device configured to determine the content of input data designated in relation to a designated place. In this type of input device, a CRT, a liquid crystal display, or the like is used as a display device.

【0003】一方、薄型表示装置として期待されて、現
在勢力的に研究が行われている表示装置にフィールドエ
ミッションディスプレイ(FED)がある(特開平6-11
1713号公報参照)。このFEDは、表示画素毎に電子源
を持ち、CRTと同等の表示性能を有するものとして、
より薄型化が可能な表示装置である。図6は、このFE
Dの代表例の構造を示す図である。図6に示す例におい
て、2mmのガラス基板B間に装置が構成されている。
エミッタEから真空中に放出される電子は、アノードの
透明電極Aに向けて移動し、蛍光体Fを励起することに
より各色を発光させる。発光は、透明電極A,ガラス基
板Bを通して観察され、全体として表示画面を形成す
る。
On the other hand, a field emission display (FED) is a display device which is expected to be used as a thin display device and is being actively studied at present (Japanese Patent Laid-Open No. 6-11).
1713 gazette). This FED has an electron source for each display pixel and has a display performance equivalent to that of a CRT.
The display device can be made thinner. Figure 6 shows this FE
It is a figure which shows the structure of the representative example of D. In the example shown in FIG. 6, the device is configured between 2 mm glass substrates B.
The electrons emitted from the emitter E into the vacuum move toward the transparent electrode A of the anode and excite the phosphor F to emit light of each color. Light emission is observed through the transparent electrode A and the glass substrate B, and forms a display screen as a whole.

【0004】また、入力の状態変化を検出する素子(セ
ンサ)としてフィールドエミッション(電界放出:F
E)を応用するものが考えられている。このセンサは、
状態変化として電界放出を生じる陰極と陽極間距離の変
化による放出電流変化を利用するものである。図7は、
FEを応用したセンサの例としてFE圧力センサの構成
の概要を示す図である。図7に示す例において、ダイア
フラムDの受圧面には電極が設けられており、圧力によ
って該ダイアフラムDが撓む構造となっている。ダイア
フラムDの電極をアノードとして、このアノード電極を
冷陰極Eとの間の電極間距離が圧力変化に応じて変化
し、それにともない冷陰極から放出される電子の変化を
電流計Iにより検出するように構成されている。
Further, a field emission (field emission: F) is used as an element (sensor) for detecting a change in input state.
The application of E) is considered. This sensor is
This utilizes the change in emission current due to the change in the distance between the cathode and the anode that causes field emission as the state change. FIG.
It is a figure which shows the outline of a structure of an FE pressure sensor as an example of the sensor which applied FE. In the example shown in FIG. 7, an electrode is provided on the pressure receiving surface of the diaphragm D, and the diaphragm D is bent by pressure. The electrode of the diaphragm D is used as an anode, and the distance between the anode electrode and the cold cathode E changes according to the pressure change, and accordingly, the change of the electrons emitted from the cold cathode is detected by the ammeter I. Is configured.

【0005】ここに、電界電子放出で陰極から放出され
る電流J0は通常以下のように示される。
Here, the current J 0 emitted from the cathode by field electron emission is usually shown as follows.

【0006】[0006]

【数1】 (Equation 1)

【0007】よって、Therefore,

【0008】[0008]

【数2】 (Equation 2)

【0009】ここで、上の式3の印加電界Fは陰極−陽
極間の距離dと印加電圧Vとの関係より、F=V/dと
できるので、仕事関数φが決定すれば、
Here, since the applied electric field F of the above equation 3 can be F = V / d from the relationship between the distance d between the cathode and the anode and the applied voltage V, if the work function φ is determined,

【0010】[0010]

【数3】 (Equation 3)

【0011】として電極間の距離dを用いて表すことが
できる。
Can be expressed using the distance d between the electrodes.

【0012】このように、上記した従来の技術の中、セ
ンサについては、状態変化を電極間距離の変化として感
知し、検出信号を出力するもので、入力装置として利用
し得るものではあるが、FEDにおいて利用されている
発光による表示機能とは無関係なものである。そして、
上記した従来の技術におけるFEDは、FED自体にタ
ッチパネル式のポインティングデバイスの様な入力装置
の機能を持たせているのではなく、FEDは、表示装置
の機能を有しているだけである。さらに、上記した従来
のタッチパネルを設置したデイスプレイにおいては、表
示装置部と入力装置部という異なる要素を組み合わせる
ことで、表示装置上での入力を実現しているが、装置自
体は、独立してそれぞれの機能をもつ要素を単に組み合
わせているにすぎず、構造的,回路的に複雑かつ大型の
装置を構成することになるという問題がある。
As described above, among the above-mentioned conventional techniques, the sensor senses a change in the state as a change in the distance between the electrodes and outputs a detection signal, which can be used as an input device. It has nothing to do with the display function by light emission used in the FED. And
The FED in the above-described conventional technology does not have the function of an input device such as a touch panel type pointing device in the FED itself, but only has the function of a display device. Furthermore, in the above-mentioned conventional display equipped with a touch panel, input on the display device is realized by combining different elements of the display device unit and the input device unit, but the device itself is independent of each other. There is a problem in that a simple and large-scale device is structurally and circuitly constructed by simply combining elements having the function of.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来の技術における問題点に鑑みてなされたもので、電界
電子放出を利用したセンサ等の入力装置において、該入
力装置自体にその入力状態の表示機能を備えさせるよう
にすること、また、表示面を構成するフィールドエミッ
ションディスプレイにおいて、該ディスプレイ自体にタ
ッチパネルと同様の入力機能を備えさせるとともに、従
来の当該ディスプレイに比して構成を簡素化することを
その目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems in the prior art. In an input device such as a sensor using field electron emission, the input state of the input device itself is set. In addition, the field emission display constituting the display surface is provided with the same input function as a touch panel, and the configuration is simplified as compared with the conventional display. The purpose is to do.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、電界
電子放出に寄与する電極と、該電極の中の陰極から放出
される電子により発光する蛍光体とを有するフィールド
エミッション素子において、前記電極の間の相対位置が
変化するように該電極の少なくとも1つを可動とすると
ともに、電界電子放出電流を検出するようにし、電極に
駆動電圧を印加して陰極から放出される電子が蛍光体の
蛍光物質を励起することにより発光し、表示機能を有す
るもので、また、外部からの動作によって電極の1つが
動かされて電極間の相対位置が変化すると、その状態の
変化を発光量により表示し、また、前記電極からの電界
電子放出電流を検出し、出力することもできるようにし
たものである。
According to the invention of claim 1, there is provided a field emission device having an electrode that contributes to field electron emission and a phosphor that emits light by electrons emitted from a cathode in the electrode. At least one of the electrodes is made movable so that the relative position between the electrodes is changed, and a field electron emission current is detected, and a driving voltage is applied to the electrodes so that electrons emitted from the cathode are phosphors. It has a display function by emitting light by exciting the fluorescent substance, and when one of the electrodes is moved by an external operation to change the relative position between the electrodes, the change in the state is displayed by the amount of light emission. In addition, the field electron emission current from the electrode can be detected and output.

【0015】請求項2の発明は、請求項1の発明におい
て、前記電極が陰極,陽極及びゲート電極から構成され
るようにし、ゲート電極を要素として付加することによ
って、表示機能及び入力機能をもつ当該素子としての機
能の幅を広げ、また、ゲート電極を可動な電極として選
択することにより、設計の自由度を大きくするものであ
る。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the electrode is composed of a cathode, an anode and a gate electrode, and a gate electrode is added as an element to have a display function and an input function. By expanding the range of functions as the element and selecting the gate electrode as a movable electrode, the degree of freedom in design is increased.

【0016】請求項3の発明は、請求項1又は2の発明
において、前記電極の可動性がダイアフラムにより付与
されるようにし、外部からの力によって動作される電極
の変位と該力とは一定の関係にあり、センサ或いは入力
装置として有効なものである。
According to a third aspect of the invention, in the first or second aspect of the invention, the movability of the electrode is given by a diaphragm, and the displacement of the electrode operated by an external force and the force are constant. And is effective as a sensor or an input device.

【0017】請求項4の発明は、請求項3の発明におい
て、前記ダイアフラムが外部からの力によって撓む薄い
透明基板と透明電極により構成されるようにし、ダイア
フラムの具体化手段を与えるものである。
According to a fourth aspect of the present invention, in the third aspect of the present invention, the diaphragm is made up of a thin transparent substrate and a transparent electrode that are bent by an external force, and a means for embodying the diaphragm is provided. .

【0018】請求項5の発明は、請求項1ないし4の発
明において、前記蛍光体を陽極に塗布するようにし、蛍
光体の配置の具体化手段を与えるものである。
According to a fifth aspect of the present invention, in the first to fourth aspects of the present invention, the phosphor is applied to the anode, and means for embodying the arrangement of the phosphor is provided.

【0019】請求項6の発明は、請求項1ないし5のい
ずれかに記載のフィールドエミッション素子を1次元ま
たは2次元に配列するようにし、表示面(画面)におけ
る発光表示との関連で配列の指定された場所を指等によ
って押すことにより、その指定位置に対応する付加情報
をもった入力データを発生させることが可能となるもの
である。
According to a sixth aspect of the present invention, the field emission devices according to any one of the first to fifth aspects are arranged in a one-dimensional or two-dimensional manner, and the field emission elements are arranged in relation to the light emission display on the display surface (screen). By pushing a designated place with a finger or the like, it becomes possible to generate input data having additional information corresponding to the designated position.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】図1は、本発明におけるフィール
ドエミッション(FE)素子、或いは、フィールドエミ
ッションディスプレイ(FED)の実施の形態の構成を
例示する図である。図1に示す例において、ガラス基板
1,保護膜と真空容器の蓋を兼ねるガラス薄板T1の間
にスペーサS1で区切られてFE素子の単位素子が形成
されており、この単位素子が配列されてFEDを構成し
ている。
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of an embodiment of a field emission (FE) element or a field emission display (FED) according to the present invention. In the example shown in FIG. 1, a unit element of an FE element is formed between a glass substrate B 1 and a glass thin plate T 1 that also serves as a protective film and a lid of a vacuum container by a spacer S 1 , and this unit element is formed. They are arranged to form an FED.

【0021】この例では、ガラス基板B1上に設けられ
たカソード電極C1からエミッタE1が放電空間に伸び、
該空間を介して蛍光体F1を塗布した陽極をなす透明電
極A1とで対向電極を構成している。前記透明電極A
1は、ガラス薄板T1と一体化され、一体化された構造は
ダイアフラムをなし、このダイアフラムの性質によって
対向電極間の相対位置が可変になっている。
In this example, the emitter E 1 extends from the cathode electrode C 1 provided on the glass substrate B 1 into the discharge space,
The counter electrode is constituted by the transparent electrode A 1 which is an anode coated with the phosphor F 1 through the space. The transparent electrode A
1 is integrated with the glass thin plate T 1, and the integrated structure forms a diaphragm, and the relative position between the counter electrodes is variable due to the nature of this diaphragm.

【0022】また、対向するカソード電極C1と陽極A1
の間に電源V1と電流検出部I1が接続されている。な
お、図1の例では、対向電極に共通の電源と電流検出部
を接続しているが、各々独立させてもよい。そして、ゲ
ート電極G1は、エミッタE1からの電子の放出を制御す
る電極である。
In addition, the cathode electrode C 1 and the anode A 1 which are opposed to each other
The power supply V 1 and the current detection unit I 1 are connected between the two. In the example of FIG. 1, the common power source and the current detection unit are connected to the counter electrode, but they may be independent of each other. The gate electrode G 1 is an electrode that controls the emission of electrons from the emitter E 1 .

【0023】図1の実施の形態における装置の動作は、
電源V1により対向電極E1とA1間に電圧を印加する
と、電界電子放出が起き、放出された電子は、蛍光体F
1を励起することにより発光し、外部からその光を見る
ことができることから、表示機能をもつことになる。こ
こに、電源V1の電圧やゲート電極G1の電圧を変えるこ
とにより、輝度を変えることができる。
The operation of the device in the embodiment of FIG.
When the power supply V 1 voltage is applied between the opposing electrodes E 1 and A 1, it occurs field electron emission, emitted electrons, phosphor F
It emits light by exciting 1 and can see the light from the outside, so it has a display function. The brightness can be changed by changing the voltage of the power source V 1 or the voltage of the gate electrode G 1 .

【0024】また、ダイアフラムをなす陽極側の構成要
素は、外部からの圧力等によって撓み、エミッタE1
の電極間距離が変わることになって放出電子の量が変化
するので、発光輝度の変化が起こるとともに、電流検出
部において、それを検出することによって、圧力の大き
さ、或いは、FE素子が圧力の作用を受けているか否か
(ON/OFF信号)が検出される。そして、この検出
信号は、外部装置への入力信号として利用されることに
なることから、入力機能を合わせもつことになる。
The constituent elements on the anode side which form the diaphragm are bent by pressure from the outside, etc., and the distance between the electrode and the emitter E 1 is changed, so that the amount of emitted electrons is changed and therefore the emission brightness is changed. When the current occurs, the magnitude of the pressure or whether or not the FE element is under the action of the pressure (ON / OFF signal) is detected by detecting it in the current detector. Since this detection signal is used as an input signal to the external device, it also has an input function.

【0025】図2は、本発明におけるFE素子或いはF
EDの他の実施の形態の構成を例示する図である。図2
に示す例は、図1において示されている電源,電流検出
部およびゲート電極が省略されているが、図示の構成要
素における図1との相違は、カソード電極C2と陽極A2
との配置が逆になっており、エミッタE2がダイアフラ
ムの機能をもつ陰極側の要素に設けられていることにあ
る。
FIG. 2 shows the FE element or F according to the present invention.
It is a figure which illustrates the structure of other embodiment of ED. FIG.
In the example shown in Fig. 1, the power supply, the current detection unit and the gate electrode shown in Fig. 1 are omitted, but the difference in the illustrated components from Fig. 1 is that the cathode electrode C 2 and the anode A 2
The arrangement is reversed and the emitter E 2 is provided on the cathode side element having the function of the diaphragm.

【0026】また、図2に示すような外部からの力が加
えられるダイアフラムの機能をもつ電極側にエミッタを
配するカソード電極のより詳細な構成の実施例を示す。
図3は、かかるカソード電極の概要を斜視図で示すもの
である。図3に示すように、ガラス薄板T3に十字形の
カソード電極C3を設け、十字の交叉部にエミッタE3
配されている。
Further, an embodiment of a more detailed structure of the cathode electrode in which the emitter is arranged on the electrode side having the function of the diaphragm to which an external force is applied as shown in FIG. 2 will be shown.
FIG. 3 is a perspective view showing an outline of such a cathode electrode. As shown in FIG. 3, the cathode electrode C 3 of the cross in the glass sheet T 3 provided, the emitter E 3 are arranged at intersections of the cross.

【0027】そして、このような構成によると、外部か
らの圧力の付加といった入力状態を陽極A2上の蛍光体
2の発光の変化としてカソード電極C3のスキマを介し
て見ることができる(図3参照)。
According to this structure, an input state such as an external pressure applied can be seen as a change in the light emission of the phosphor F 2 on the anode A 2 through the gap of the cathode electrode C 3 ( (See FIG. 3).

【0028】図4は、本発明におけるFE素子、或い
は、FEDの他の実施の形態の構成を例示する図であ
る。図4に示す例は、ダイアフラム機能を有する電極を
放出電流制御透明電極(ゲート電極)G4として外部圧
力の加わるガラス薄板T4に配したものである。カソー
ド電極C4とアノード(陽)電極は、両側にあるスペー
サS4の対向側面に配され、この対向電極間において物
理ゲートP4とゲート電極G4によって作られる可変の空
間を通して放出電子が移動する。この例においても、外
部圧力によってゲート電極G4が撓むことによって対向
電極間を流れる放出電子の発生が制御され、その変化を
表示し、また入力信号として検出し得る。
FIG. 4 is a diagram illustrating the configuration of another embodiment of the FE element or FED according to the present invention. In the example shown in FIG. 4, an electrode having a diaphragm function is arranged on a glass thin plate T 4 to which an external pressure is applied as an emission current control transparent electrode (gate electrode) G 4 . The cathode electrode C 4 and the anode (positive) electrode are arranged on opposite side surfaces of the spacer S 4 on both sides, and emitted electrons move between the opposite electrodes through a variable space created by the physical gate P 4 and the gate electrode G 4 . To do. Also in this example, the generation of the emitted electrons flowing between the counter electrodes is controlled by the gate electrode G 4 bending due to the external pressure, and the change can be displayed and detected as an input signal.

【0029】図5は、FE素子を2次元(当然、1次元
を含むものとして理解し得る)に配列してFEDを構成
する本発明の実施の形態の概要を示す図である。図5に
示すものは、2次元の配列例としてエミッタE5が水平
と垂直方向にFE素子が列をなすように規則的に配され
てパネルを構成するものである。
FIG. 5 is a diagram showing an outline of an embodiment of the present invention in which FE elements are two-dimensionally arranged (which can be understood as including one dimension) to form an FED. As shown in FIG. 5, as a two-dimensional array example, the emitters E 5 are regularly arranged in rows in the horizontal and vertical directions to form a panel to form a panel.

【0030】この例では、単純マトリックス方式をとっ
ており、表示駆動回路DDに映像信号が入力されると、
表示駆動回路DDは、水平シフトレジスタHSRにXア
ドレス、垂直シフトレジスタVSRにYアドレスを出力
するとともに、これらのXYアドレスに対応する駆動電
圧を各FE素子のエミッタE5に印加し、放出電流を発
生させる。この表示駆動回路DDの動作により発光した
FE素子は、パネルを構成する表示画像を形成する。
In this example, a simple matrix system is adopted, and when a video signal is input to the display drive circuit DD,
The display drive circuit DD outputs an X address to the horizontal shift register HSR and a Y address to the vertical shift register VSR, applies a drive voltage corresponding to these XY addresses to the emitter E 5 of each FE element, and emits an emission current. generate. The FE element emitted by the operation of the display drive circuit DD forms a display image forming a panel.

【0031】上記の動作において放出電流は表示の駆動
と同時に電流検出部I5で順次検出されるようになされ
ており、この検出値を表示駆動回路DDから出力される
X及びYアドレス情報と対応付けることによりパネル上
のどの位置がどのような放出電流を発生しているかが分
かる。ここに、FE素子は、これまでに記述した様にダ
イアフラムによるタッチパネルの入力機能を有している
ことから、この放出電流の状態からパネル上のどの位置
がタッチされているかも検出することができ、XY位置
の入力装置やセンサとして有効である。
In the above operation, the emission current is sequentially detected by the current detector I 5 simultaneously with the driving of the display, and the detected value is associated with the X and Y address information output from the display drive circuit DD. This makes it possible to know which position on the panel generates what kind of emission current. Since the FE element has a touch panel input function using a diaphragm as described above, it is possible to detect which position on the panel is touched from the state of this emission current. , XY position input device and sensor is effective.

【0032】[0032]

【発明の効果】【The invention's effect】

請求項1の効果:FE素子として陰極からの電界電子放
出を制御することにより発光が制御されて表示機能を有
する。また、このFE素子の電界電子放出に寄与する電
極の少なくとも1つを可動として該電極間の相対位置が
変えられるので、この変化を入力とし放出電流を出力と
する入力機能が与えられる。また、この入力機能を利用
する場合に入力状態を発光表示で確認することができ
る。そして、FE素子という簡素かつコンパクトな構成
で表示機能と入力機能を兼ね備えた装置が提供されるこ
とになる。
Effect of claim 1: As an FE element, the emission is controlled by controlling the field electron emission from the cathode to have a display function. Further, since at least one of the electrodes contributing to the field electron emission of this FE element is movable to change the relative position between the electrodes, an input function is provided in which this change is input and the emission current is output. Further, when using this input function, the input state can be confirmed by a light emitting display. Then, an apparatus having both a display function and an input function with a simple and compact structure of the FE element is provided.

【0033】請求項2の効果:上記請求項1の効果に加
えて、電界電子放出に寄与する電極としてゲート電極が
含まれることを構成要件とすることにより、表示機能及
び入力機能に幅ができることになり、また素子の設計上
の自由度も大きくなる。
Effect of claim 2: In addition to the effect of claim 1, the display function and the input function can be widened by including a gate electrode as an electrode contributing to field electron emission. In addition, the degree of freedom in designing the device is increased.

【0034】請求項3の効果:上記請求項1及び2の効
果に加えて、電極に可動性を与えるダイアフラムは、外
部から加えられる力と電極の変位とが一定の関係を生ず
るように動作されるので、センサ或いは入力装置として
有効な手段を提供することになる。
Effect of Claim 3: In addition to the effects of Claims 1 and 2, the diaphragm that gives the electrode mobility is operated so that a force applied from the outside and a displacement of the electrode have a constant relationship. Therefore, an effective means as a sensor or an input device is provided.

【0035】請求項4の効果:上記請求項3の効果に加
えて、ダイアフラムの具体化手段が与えられることによ
り、より実用化が容易なFE素子が提供されることにな
る。
Advantageous effect of claim 4: In addition to the advantageous effect of claim 3, by providing a diaphragm embodying means, an FE element which can be more easily put into practical use is provided.

【0036】請求項5の効果:上記請求項1ないし4の
効果に加えて、発光体としての蛍光体の配置についての
有効な具体化手段が与えられることにより、実用化が容
易なFE素子が提供されることになる。
Effect of claim 5: In addition to the effects of claims 1 to 4, an FE element which is easy to put into practical use can be provided by providing effective means for arranging the phosphor as a light emitter. Will be provided.

【0037】請求項6の効果:上記請求項1ないし5の
効果に加えて、FEDパネルの1次元又は2次元の画面
上に画像を表示し得るとともに、画面上の素子位置
(X,Y位置座標)と該素子の入力状態(タッチ、或い
は、付加されている力の大きさ)が入力可能となる。ま
た、入力において、FEDパネル各素子の発光表示状態
で入力を確認し得ることから、入力の誤りを防ぐことが
可能となる。
Effect of claim 6 In addition to the effects of claims 1 to 5, an image can be displayed on the one-dimensional or two-dimensional screen of the FED panel, and the element position (X, Y position) on the screen can be displayed. The coordinates) and the input state (touch or magnitude of applied force) of the element can be input. Further, at the time of input, since the input can be confirmed in the light emission display state of each element of the FED panel, it is possible to prevent an input error.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明におけるフィールドエミッション(F
E)素子、或いは、フィールドエミッションディスプレ
イ(FED)の実施の形態の構成を例示する図である。
FIG. 1 shows the field emission (F
It is a figure which illustrates the structure of embodiment of E) element or a field emission display (FED).

【図2】 本発明におけるFE素子或いはFEDの他の
実施の形態の構成を例示する図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating the configuration of another embodiment of an FE element or FED according to the present invention.

【図3】 ダイアフラム機能をもつカソード電極の概要
を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing an outline of a cathode electrode having a diaphragm function.

【図4】 本発明におけるFE素子、或いは、FEDの
他の実施の形態の構成を例示する図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a configuration of another embodiment of an FE element or FED according to the present invention.

【図5】 FE素子を2次元に配列したFEDを構成す
る本発明の実施の形態の概要を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing an outline of an embodiment of the present invention which constitutes an FED in which FE elements are two-dimensionally arranged.

【図6】 従来のFEDの1例の構造を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a structure of an example of a conventional FED.

【図7】 FEを応用したセンサの例としてFE圧力セ
ンサの構成の概要を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing an outline of a configuration of an FE pressure sensor as an example of a sensor to which FE is applied.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

A,A1…透明電極(アノード電極)、A2〜A4…アノ
ード電極、B,B1,B2,B4…ガラス基板、C,C1
4…カソード電極、D…ダイアフラム、E,E1〜E5
…エミッタ、F,F1〜F4…蛍光体、G,G1…ゲート
電極、G4…放出電流制御透明電極(ゲート電極)、
I,I1,I5…電流検出部、S1,S2,S4…スペー
サ、T1,T2,T4…ガラス薄板、V,V1…電源、DD
…表示駆動回路、VSR…垂直シフトレジスタ、HSR
…電流検出機能を有する水平シフトレジスタ。
A, A 1 ... transparent electrode (anode), A 2 ~A 4 ... anode, B, B 1, B 2 , B 4 ... glass substrate, C, C 1 ~
C 4 ... Cathode electrode, D ... Diaphragm, E, E 1 to E 5
... emitter, F, F 1 to F 4 ... phosphor, G, G 1 ... gate electrode, G 4 ... emission control transparent electrode (gate electrode),
I, I 1 , I 5 ... Current detection unit, S 1 , S 2 , S 4 ... Spacer, T 1 , T 2 , T 4 ... Glass thin plate, V, V 1 ... Power supply, DD
... Display drive circuit, VSR ... Vertical shift register, HSR
... A horizontal shift register having a current detection function.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電界電子放出に寄与する電極と、該電極
の中の陰極から放出される電子により発光する蛍光体と
を有するフィールドエミッション素子において、前記電
極の間の相対位置が変化するように該電極の少なくとも
1つを可動とするとともに、電界電子放出電流を検出す
るようにしたことを特徴とするフィールドエミッション
素子。
1. In a field emission device having an electrode that contributes to field electron emission and a phosphor that emits light by electrons emitted from a cathode in the electrode, a relative position between the electrodes is changed. A field emission device characterized in that at least one of the electrodes is movable and a field electron emission current is detected.
【請求項2】 前記電極が陰極,陽極及びゲート電極か
ら構成されるようにしたことを特徴とする請求項1記載
のフィールドエミッション素子。
2. The field emission device according to claim 1, wherein the electrode comprises a cathode, an anode and a gate electrode.
【請求項3】 前記電極の可動性がダイアフラムにより
付与されるようにしたことを特徴とする請求項1又は2
記載のフィールドエミッション素子。
3. The movability of the electrode is provided by a diaphragm.
Field emission element described.
【請求項4】 前記ダイアフラムが外部からの力によっ
て撓む薄い透明基板と透明電極により構成されるように
したことを特徴とする請求項3記載のフィールドエミッ
ション素子。
4. The field emission device according to claim 3, wherein the diaphragm is composed of a thin transparent substrate and a transparent electrode that are bent by an external force.
【請求項5】 前記蛍光体を陽極に塗布するようにした
ことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の
フィールドエミッション素子。
5. The field emission device according to claim 1, wherein the phosphor is applied to an anode.
【請求項6】 請求項1ないし5のいずれかに記載のフ
ィールドエミッション素子を1次元または2次元に配列
するようにしたことを特徴とするタッチパネルの機能を
有するフィールドエミッションディスプレイ。
6. A field emission display having a touch panel function, characterized in that the field emission elements according to any one of claims 1 to 5 are arranged one-dimensionally or two-dimensionally.
JP28968695A 1995-11-08 1995-11-08 Field emission element, and field emission display having function of touch panel Pending JPH09134685A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009520322A (en) * 2005-12-12 2009-05-21 レイセオン・サルコス・エルエルシー Multi-cell electronic circuit array and manufacturing method
CN109734047A (en) * 2019-02-27 2019-05-10 京东方科技集团股份有限公司 A kind of MEMS device and preparation method thereof, display base plate

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