JPH09128825A - Magneto-optical recording medium and optical information detector - Google Patents

Magneto-optical recording medium and optical information detector

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JPH09128825A
JPH09128825A JP28043695A JP28043695A JPH09128825A JP H09128825 A JPH09128825 A JP H09128825A JP 28043695 A JP28043695 A JP 28043695A JP 28043695 A JP28043695 A JP 28043695A JP H09128825 A JPH09128825 A JP H09128825A
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groove
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寧章 森本
Nobuhide Aoyama
信秀 青山
Tomoaki Hara
智章 原
Kenji Morita
健治 森田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a land and groove recording type magneto-optical information recording medium with which the high-density recording with the decreased crosstalks between adjacent lands and grooves is possible and an optical information detector. SOLUTION: This device consists of the constitution in which the phase differences of polarization components vary with the land parts and groove parts of the optical recording medium with which the land and groove recording is possible. The means thereof consists of the constitution to form the land parts or the land parts and the groove parts of a material having the refractive index different from the refractive index of a transparent substrate on this substrate, the constitution to use the material particularly having double refraction as the material described above and the constitution varying in the thickness or refractive index of the dielectric substance in the land parts and the groove parts. This optical information detector is constituted to have one or two of such magnetic Kerr effect detecting systems which are arranged with electro-optical elements, wavelength plates and particularly half-wave plates as the phase compensation elements of the polarization components.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ランド&グルーブ
記録を行える光磁気記録媒体および光情報検出装置に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical recording medium capable of land and groove recording and an optical information detecting device.

【0002】[0002]

【従来の技術】現在、光ディスクは、音声信号や画像信
号を再生できる記録媒体として使われている。特に、光
磁気ディスクや相変化型ディスクは、書き換え可能な高
密度記録媒体として、開発が盛んに行われている。螺旋
状または同心円状に情報を記録する光ディスク記録媒体
の記録密度を増大させるためには、トラックピッチの短
縮と線記録密度の向上という2つの方法がある。いずれ
の場合も、記録再生に使用する半導体レーザーの短波長
化によって実現される。しかし、青色や緑色といった短
波長の半導体レーザーが室温で安定に連続発振し、しか
もそれらが民生用として、安価で市場に出まわるまでに
は、今暫く時間がかかりそうである。そのような状況の
中で、屈折率の温度分布を利用した光学的超解像法や、
光磁気ディスクにおけるMSRのように、現行波長のレ
ーザーを用いたままで記録密度を最大限に向上させる方
法が模索されている。
2. Description of the Related Art At present, optical disks are used as recording media capable of reproducing audio signals and image signals. In particular, magneto-optical disks and phase-change disks are being actively developed as rewritable high density recording media. In order to increase the recording density of an optical disk recording medium that records information in a spiral or concentric form, there are two methods: shortening the track pitch and improving the linear recording density. In any case, it is realized by shortening the wavelength of the semiconductor laser used for recording and reproduction. However, it seems that it will take some time before semiconductor lasers with short wavelengths such as blue and green steadily oscillate continuously at room temperature, and they come to the market at low cost for consumer use. In such a situation, an optical super-resolution method that uses the temperature distribution of the refractive index,
A method is being sought for maximizing the recording density while using a laser having a current wavelength, such as MSR in a magneto-optical disk.

【0003】相変化型ディスクや光磁気ディスクのよう
なRAMディスクは、情報の書き込み時と再生時とで同
じ波長の光を用いるのに対して、予め情報が記録されて
いるROMディスクでは、短波長のガスレーザー等を用
いてピットが形成されている。RAMディスク側からす
れば、ROMディスクは、再生条件は同じであるもの
の、言わば未来に使用可能な光で情報を書いているよう
なものであり、情報を高密度に書き込むという点でRA
Mディスクは不利である。このため、次世代の家庭向け
映像記録媒体として注目されているDVD規格において
も、フルROMディスクの記録容量を、同じ大きさのR
AMディスクでサポートするような案が出されていない
状況である。
A RAM disk such as a phase-change disk or a magneto-optical disk uses light of the same wavelength when writing and reproducing information, whereas a ROM disk in which information is recorded in advance is short. Pits are formed by using a gas laser having a wavelength. From the side of the RAM disk, the ROM disk is like writing information with light that can be used in the future, although the reproduction conditions are the same.
The M disc is a disadvantage. Therefore, even in the DVD standard, which is drawing attention as a next-generation home video recording medium, the recording capacity of a full-ROM disc is the same as that of the R-type.
It is in a situation where there is no plan to support it with an AM disc.

【0004】ランド&グルーブ記録は、同じ線記録密度
で同じトラックピッチならば、記録密度を2倍にできる
ため、高密度光記録媒体を開発する上で魅力的な技術で
ある。特に、現在使用されているRAMディスクのほと
んどは、予め溝が形成された基板において、ランドまた
はグルーブのどちらか一方に記録を行っており、両方に
記録できることが望まれる。例えば、相変化型ディスク
のランド&グルーブ記録においては、特開平7−130
006号公報にあるように、ランド部とグルーブ部とに
おける記録感度を調整することによって記録密度を向上
させる方法が提案されている。
The land and groove recording is an attractive technique for developing a high density optical recording medium because the recording density can be doubled at the same linear recording density and the same track pitch. In particular, most of the RAM disks currently in use record on either a land or a groove on a substrate in which a groove is formed in advance, and it is desired that recording can be performed on both. For example, in land-and-groove recording on a phase-change disk, Japanese Patent Laid-Open No. 7-130
As disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 006, there has been proposed a method of improving the recording density by adjusting the recording sensitivity in the land portion and the groove portion.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】トラックピッチを狭め
ていくことによって、再生時には隣接する領域のデータ
信号が出力信号に混在してくるクロストークが問題とな
る。ランド記録またはグルーブ記録においては、ランド
間またはグルーブ間にそれぞれグルーブまたはランドが
存在し、情報が書き込まれている領域間に隔たりがある
ため、クロストークが抑えられる。しかし、ランド&グ
ルーブ記録においては、情報の記録領域が隣接している
ため、クロストークの再生特性に与える影響が大きい。
特開平5−62250号公報では、グルーブの深さを1
/4波長の整数倍に規定し、光学的にクロストークを抑
える手段を提供している。この方法を用いると、0次と
1次の回折光が打ち消しあうために、トラッキングの手
段としてプッシュプル法が使用できないという点と、記
録媒体から反射されて光検出器に到達する光量が低減し
てしまうという点が問題である。本発明の課題はランド
&グルーブ記録においてクロストークを低減した高密度
記録可能な光磁気記録媒体及び光情報検出装置を提供す
ることにある。
By narrowing the track pitch, there arises a problem of crosstalk in which data signals of adjacent areas are mixed in the output signal during reproduction. In land recording or groove recording, since there are grooves or lands between lands or between lands, and there is a gap between areas where information is written, crosstalk is suppressed. However, in the land & groove recording, since the information recording areas are adjacent to each other, the crosstalk reproduction characteristics are greatly affected.
In JP-A-5-62250, the groove depth is set to 1
It is defined as an integral multiple of / 4 wavelength to provide a means for optically suppressing crosstalk. When this method is used, since the 0th-order and 1st-order diffracted lights cancel each other out, the push-pull method cannot be used as a tracking means, and the amount of light reflected from the recording medium and reaching the photodetector is reduced. The problem is that it will end up. An object of the present invention is to provide a magneto-optical recording medium and an optical information detection device capable of high density recording with reduced crosstalk in land & groove recording.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明の第一の構成は、
同心円あるいは螺旋状のほぼ平坦で幅がほぼ等しいラン
ドおよびグルーブからなる記録トラックを具備し、その
上に少なくとも、誘電体膜層、記録膜層および反射膜層
を有する光磁気記録媒体において、ガラスあるいは樹脂
からなる基板に形成されたランド部とグルーブ部のそれ
ぞれを通過する光束が誘電体膜層を経て磁性体からなる
記録膜により反射され、多重干渉の後の前記ランド部と
グルーブ部それぞれでの反射率が異なることを特徴とす
る光磁気記録媒体である。
The first constitution of the present invention is as follows.
In a magneto-optical recording medium having concentric circles or spiral recording tracks composed of substantially flat land and groove having substantially the same width, and having at least a dielectric film layer, a recording film layer and a reflective film layer thereon, glass or Light fluxes passing through each of the land portion and the groove portion formed on the substrate made of resin are reflected by the recording film made of the magnetic material through the dielectric film layer, and after the multiple interference, the land portion and the groove portion respectively. A magneto-optical recording medium having different reflectances.

【0007】前記した光磁気記録媒体において誘電体に
よる多重反射の条件がランド部とグルーブ部とで異なる
構成をなすことで、ランド部とグルーブ部とで、異なる
反射率を得ることが出来る。
In the above-mentioned magneto-optical recording medium, the condition of multiple reflection by the dielectric is different between the land portion and the groove portion, so that the land portion and the groove portion can obtain different reflectances.

【0008】また、光学的にほぼ透明な基板上に、該基
板の屈折率と異なる屈折率を有する材料でランド部、或
いはランド部且つグルーブ部が形成されている構成によ
っても異なる反射率を得ることが出来る。
Further, different reflectance can be obtained also by a structure in which a land portion or a land portion and a groove portion are formed on a substrate which is optically transparent by a material having a refractive index different from that of the substrate. You can

【0009】前記ランド部、あるいはランド部およびグ
ルーブ部が前記基板とは異なり且つ複屈折を有する光学
的にほぼ透明な材料で形成されている構成によっても、
ランド部とグルーブ部からの異なる反射率を得ることが
出来る。
Also, the land portion, or the land portion and the groove portion, which are different from the substrate and are formed of an optically almost transparent material having birefringence,
It is possible to obtain different reflectances from the land portion and the groove portion.

【0010】また、光磁気記録媒体を構成する誘電体層
の厚さをランド部とグルーブ部とで異なる構成にするこ
とによっても異なる反射率を得ることが出来る。
Also, different reflectivities can be obtained by making the thicknesses of the dielectric layers constituting the magneto-optical recording medium different between the land portion and the groove portion.

【0011】更には、光磁気記録媒体を構成する誘電体
層の屈折率がランド部とグルーブ部とで異なる構成にす
ることによっても異なる反射率を得ることが出来る。
Further, different reflectivities can be obtained by making the land portion and the groove portion have different refractive indexes of the dielectric layers constituting the magneto-optical recording medium.

【0012】本発明の第二の構成は、前記した光磁気記
録媒体に記録した信号を検出する光情報検出装置であっ
て、磁気カー効果検出光学系に光学的な位相差を与える
手段を有することを特徴とする光情報検出装置に関する
ものである。
A second structure of the present invention is an optical information detecting device for detecting a signal recorded on the above-mentioned magneto-optical recording medium, and has means for giving an optical phase difference to the magnetic Kerr effect detecting optical system. The present invention relates to an optical information detection device characterized by the above.

【0013】上述の光磁気記録媒体の読み出しに使用す
る光情報検出装置において、磁気カー効果を検出する光
学系に光学的な位相差を与える光学素子を配置する。更
に詳しくは、光情報検出装置において、磁気カー効果検
出系を2つ配置し、それぞれの検出系において異なる位
相差を供する手段を有する構成からなる。
In the above-mentioned optical information detecting device used for reading the magneto-optical recording medium, an optical element for giving an optical phase difference is arranged in the optical system for detecting the magnetic Kerr effect. More specifically, the optical information detection device has a configuration in which two magnetic Kerr effect detection systems are arranged and means for providing different phase differences in the respective detection systems.

【0014】前記した光情報検出装置における位相差を
与える手段として、電気光学素子を配置することが出来
る。更に、光情報検出装置において、光学的位相差を与
える光学素子として1/2波長板を有し、且つこの1/
2波長板を光軸に対して傾けた配置にすることが出来
る。
An electro-optical element can be arranged as a means for giving a phase difference in the above-mentioned optical information detecting device. Furthermore, in the optical information detection device, a half-wave plate is provided as an optical element that gives an optical phase difference, and
The two-wave plate can be arranged to be inclined with respect to the optical axis.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】ポリカーボネート樹脂を常法によ
り射出成形し、溝深さ約57nm、ランド幅とグルーブ
幅との比率が1:1に溝が形成された基板を得ることが
出来る。ポリカーボネート基板上に低粘度の紫外線硬化
樹脂を約1μmの厚さでスピンコートし、紫外線を照射
し硬化させる。ポリカーボネート基板の屈折率が一例と
して1.58であるのに対して、紫外線硬化樹脂の紫外
線硬化後の屈折率は一例として1.47である。この紫
外線硬化樹脂の上に、第1の誘電体層、磁気記録層、第
2の誘電体層、反射層をスパッタリング法により成膜し
た。第1の誘電体層は、Siターゲットを用いてArと
2 の混合ガス中で反応性スパッタリングで厚さ83n
mを成膜する。混合ガス中に占めるN2 の流量比は一例
として20%である。このときの屈折率は2.04であ
る。第1の誘電体層の上に、キュリー温度が約200℃
のフェリ磁性を有し、保磁力が約8kOeと良好な垂直
磁気異方性を示す遷移金属と希土類金属の合金薄膜から
なる磁気記録層を約22nm成膜する。その上に、第1
の誘電体層と同じ条件で、厚さ20nmの第2誘電体層
を成膜し、さらにAlからなる厚み100nmの反射層
6を成膜する。反射層の上に、紫外線硬化型樹脂を約1
0μm均一にスピンコートし紫外線を照射して保護層を
形成する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Polycarbonate resin is injection-molded by a conventional method to obtain a substrate having grooves with a groove depth of about 57 nm and a land width / groove width ratio of 1: 1. A low-viscosity UV curable resin is spin-coated on a polycarbonate substrate to a thickness of about 1 μm, and is irradiated with UV rays to be cured. The refractive index of the polycarbonate substrate is 1.58 as an example, whereas the refractive index of the ultraviolet curable resin after ultraviolet curing is 1.47 as an example. A first dielectric layer, a magnetic recording layer, a second dielectric layer, and a reflective layer were formed on this ultraviolet curable resin by a sputtering method. The first dielectric layer has a thickness of 83 n formed by reactive sputtering in a mixed gas of Ar and N 2 using a Si target.
m is deposited. The flow rate ratio of N 2 in the mixed gas is, for example, 20%. The refractive index at this time is 2.04. The Curie temperature is about 200 ° C. on the first dielectric layer.
And a coercive force of about 8 kOe and a good perpendicular magnetic anisotropy, and a magnetic recording layer made of an alloy thin film of a transition metal and a rare earth metal is formed to a thickness of about 22 nm. On top of that, the first
The second dielectric layer having a thickness of 20 nm is formed under the same conditions as those of the dielectric layer, and the reflective layer 6 made of Al having a thickness of 100 nm is further formed. About 1 UV curable resin on the reflective layer
A protective layer is formed by spin coating to a uniform thickness of 0 μm and irradiating with ultraviolet rays.

【0016】発明の実施の一形態を述べたが、上記の場
合、第一の紫外線硬化樹脂層のランドとグルーブでの厚
さの違いにより、光の多重干渉条件の差があることで、
ランド部とグルーブ部における偏光成分に位相差が生じ
る。
Although one embodiment of the invention has been described, in the above case, there is a difference in the multiple interference condition of light due to the difference in the thickness of the land and the groove of the first ultraviolet curable resin layer.
A phase difference occurs between the polarized light components in the land portion and the groove portion.

【0017】本発明の光磁気媒体に関して、他の形態に
ついても実施例で詳述するがいずれも、光の干渉条件の
違いによって、ランド部とグルーブ部における偏光成分
に位相差が生じる。ランド部とグルーブ部とで、偏光成
分に位相差が生じるため、光磁気信号を読み出す際の位
相補償条件を、ランド部、グルーブ部について最適な条
件に合わせることで、隣接するグルーブまたはランドか
らの光は位相補償条件からずれるため、クロストークを
低減することができる。
With respect to the magneto-optical medium of the present invention, other modes will be described in detail in Examples, but in any case, a phase difference occurs between the polarization components in the land portion and the groove portion due to the difference in the light interference condition. Since a phase difference occurs in the polarization component between the land part and the groove part, by adjusting the phase compensation condition when reading the magneto-optical signal to the optimum condition for the land part and the groove part, the adjacent groove or land Since light deviates from the phase compensation condition, crosstalk can be reduced.

【0018】本発明の今一つの構成である前記光磁気記
録媒体に記録した信号を検出する光情報検出装置につい
て述べる。前記した装置は磁気カー効果検出光学系に光
学的な位相差を与える手段を有することを特徴とする光
情報検出装置である。特に、前記磁気カー効果検出光学
系を2つ有し、該2つの磁気カー効果検出光学系がそれ
ぞれにおいて異なる位相差を共する手段を有するものが
望ましい。この光情報検出装置により、ランド部及びグ
ルーブ部の位相補償条件を最適化する。更に、位相光学
素子を配置した磁気カー効果検出光学系を2つ設け、一
方の光学系をランド部の光磁気情報検出用に、もう一方
の光学系をグルーブ部の光磁気情報検出用に割り当て、
それぞれの光学系の位相補償条件を最適化することで、
隣接するランド部とグルーブ部間のクロストークを低減
できるうえに、最初に位相補償条件を設定しておけば、
ランド部とグルーブ部とを交互に読み出しても位相補償
条件を調節する必要がない。また、電気光学素子により
位相補償を行うことにより、ランド部またはグルーブ部
にアクセスした際の位相補償条件を光磁気信号を利用し
て、自動的に最適化することができる。更に詳しくは位
相補償素子として1/2波長板を傾けて使用することに
より、1/2波長付近の位相差を任意に調節できる。
An optical information detecting device for detecting a signal recorded on the magneto-optical recording medium, which is another constitution of the present invention, will be described. The above-mentioned device is an optical information detection device characterized in that it has means for giving an optical phase difference to the magnetic Kerr effect detection optical system. In particular, it is preferable to have two magnetic Kerr effect detection optical systems, and the two magnetic Kerr effect detection optical systems have means for sharing different phase differences. With this optical information detection device, the phase compensation conditions of the land portion and the groove portion are optimized. Furthermore, two magnetic Kerr effect detection optical systems in which phase optical elements are arranged are provided, and one optical system is allocated for detecting magneto-optical information in the land portion and the other optical system is allocated for detecting magneto-optical information in the groove portion. ,
By optimizing the phase compensation condition of each optical system,
In addition to reducing crosstalk between adjacent land and groove parts, if you first set the phase compensation conditions,
It is not necessary to adjust the phase compensation condition even if the land portion and the groove portion are read alternately. Further, by performing the phase compensation by the electro-optical element, the phase compensation condition when accessing the land portion or the groove portion can be automatically optimized by utilizing the magneto-optical signal. More specifically, by using a half-wave plate tilted as a phase compensation element, the phase difference near the half-wavelength can be adjusted arbitrarily.

【0019】上述のように本発明の第一の構成によりラ
ンド部とグルーブ部とで偏光成分に位相差がある光磁気
記録媒体の情報を得て、本発明の第二の構成により位相
補償素子を含んだ光情報検出装置を用いて読み出すこと
により、隣接するランドとグルーブ間のクロストークを
低減できる。
As described above, the first configuration of the present invention obtains information on the magneto-optical recording medium having a polarization component having a phase difference between the land portion and the groove portion, and the phase compensation element according to the second configuration of the present invention. By using the optical information detection device including the optical disk, the crosstalk between the adjacent land and groove can be reduced.

【0020】[0020]

【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例における
光記録媒体および光情報検出装置について詳しく説明す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An optical recording medium and an optical information detecting device according to embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

【0021】(ディスクA)図1は、本発明における実
施例で使用した光磁気記録媒体(ディスクA)の断面を
模式図で示したものである。厚み1.2mmのポリカー
ボネート基板1は、Ni製スタンパを用いて射出成形し
たものである。Niスタンパの作製においては、スピン
コート法により厚さ約60nmのフォトレジストを、均
一にコーティングした厚さ12mm、直径300mmの
平坦性の良いガラス原盤を用いている。フォトレジスト
には、露光部分が現像されるポジ型を使用した。フォト
レジストを希釈するのに使用した溶剤であるMIBKを
蒸発させるために、上述のガラス原盤に90℃で30分
間ベーキング処理を施した。原盤の露光には、波長45
79nmの高出力Arレーザー光を使用した。ガラス原
盤は回転角速度600rpm一定で回転させると共に、
螺旋状に形成される溝のトラックピッチが1.4μmに
なるように、レーザー光に対して一定の速度で平行移動
させた。
(Disk A) FIG. 1 is a schematic view showing a cross section of a magneto-optical recording medium (disk A) used in the embodiment of the present invention. The polycarbonate substrate 1 having a thickness of 1.2 mm is injection-molded using a Ni stamper. In the production of the Ni stamper, a glass master having a thickness of 12 mm and a diameter of 300 mm, which is uniformly coated with a photoresist having a thickness of about 60 nm by a spin coating method, is used. The photoresist used was a positive type in which the exposed portion was developed. In order to evaporate MIBK, which is the solvent used to dilute the photoresist, the above glass master was baked at 90 ° C. for 30 minutes. For exposure of the master, a wavelength of 45
A 79 nm high power Ar laser light was used. The glass master is rotated at a constant angular velocity of 600 rpm,
The laser light was moved in parallel at a constant speed so that the track pitch of the spirally formed groove was 1.4 μm.

【0022】角速度一定であるため、露光部分の線速度
が半径位置によって異なるため、実効的な露光量(露光
レーザーパワー/線速度)が外周部で小さくなってしま
うことから、露光パワーは半径位置に比例するように設
定した。露光は半径23mmから42mmまで行った。
このようにして露光した原盤に、現像液をスピンコート
法で流して現像を行った。現像時間を変化させて現像を
行ったガラス原盤を数枚作製し、その溝形状をSTMを
用いて測定し、溝形状においてランド幅とグルーブ幅と
の比率が1:1になる条件を決めた。上述のようにし
て、露光および現像を行ったガラス原盤上に、無電解メ
ッキ法により厚み約70nmのNi層を成長させ、さら
に電気鋳造法により厚み約300μmのNi層を作製
し、裏面を研磨し、ガラス原盤から剥離し、洗浄したも
のをスタンパとして用いた。
Since the angular velocity is constant, the linear velocity of the exposed portion varies depending on the radial position, and the effective exposure amount (exposure laser power / linear velocity) becomes small at the outer peripheral portion. Was set to be proportional to. The exposure was performed from a radius of 23 mm to 42 mm.
Development was performed by flowing a developing solution onto the master thus exposed by a spin coating method. Several glass masters developed by changing the developing time were prepared, and the groove shape was measured by using STM, and the condition that the ratio of the land width to the groove width was 1: 1 was determined in the groove shape. . As described above, a Ni layer having a thickness of about 70 nm is grown on the exposed and developed glass master by an electroless plating method, and a Ni layer having a thickness of about 300 μm is formed by an electrocasting method, and the back surface is polished. Then, it was peeled from the glass master and washed, and used as a stamper.

【0023】このスタンパを用いて、ポリカーボネート
基板1を射出成形し、その溝形状をSTMで測定したと
ころ、溝深さ約57nm、ランド幅とグルーブ幅との比
率が1:1に溝が形成されていた。ポリカーボネート基
板1上に低粘度の紫外線硬化樹脂2を約1μmの厚さで
スピンコートし、紫外線を照射し硬化させた。この紫外
線硬化樹脂の表面をSTMで調べたところ、ランドとグ
ルーブに対応した約±10nmのなだらかな凹凸が確認
されたが、ポリカーボネート基板1の切れの良い凹凸に
較べると、図1の2に模式的に示したように上部はほぼ
平らに近い形状といえる。
Using this stamper, a polycarbonate substrate 1 was injection-molded and the groove shape was measured by STM. As a result, a groove depth of about 57 nm and a land width / groove width ratio of 1: 1 were formed. Was there. A low-viscosity UV curable resin 2 was spin-coated on the polycarbonate substrate 1 to a thickness of about 1 μm, and was irradiated with UV rays to be cured. When the surface of this UV curable resin was examined by STM, smooth irregularities of about ± 10 nm corresponding to the lands and grooves were confirmed, but when compared to the sharp irregularities of the polycarbonate substrate 1, the pattern shown in 2 of FIG. It can be said that the upper part is almost flat as shown in the figure.

【0024】ポリカーボネート基板1の屈折率が1.5
8であったのに対して、紫外線硬化樹脂2の紫外線硬化
後の屈折率は、1.47であった。この紫外線硬化樹脂
の上に、第1の誘電体層3、磁気記録層4、第2の誘電
体層5、反射層6をスパッタリング法により成膜した。
第1の誘電体層3は、Siターゲットを用いてArとN
2 の混合ガス中で反応性スパッタリングで厚さ83nm
を成膜した。混合ガス中に占めるN2 の流量比は20%
とした。このときの屈折率は2.04であった。第1の
誘電体層の上に、キュリー温度が約200℃のフェリ磁
性を有し、保磁力が約8kOeと良好な垂直磁気異方性
を示す遷移金属と希土類金属の合金薄膜からなる磁気記
録層4を約22nm成膜した。その上に、第1の誘電体
層と同じ条件で、厚さ20nmの第2誘電体層5を成膜
し、さらにAlからなる厚み100nmの反射層6を成
膜した。反射層6の上に、紫外線硬化型樹脂を約10μ
m均一にスピンコートし紫外線を照射して保護層7を形
成した。
The refractive index of the polycarbonate substrate 1 is 1.5
While it was 8, the refractive index of the ultraviolet curable resin 2 after ultraviolet curing was 1.47. A first dielectric layer 3, a magnetic recording layer 4, a second dielectric layer 5, and a reflective layer 6 were formed on this ultraviolet curable resin by a sputtering method.
The first dielectric layer 3 is formed of Ar and N using a Si target.
83 nm thick by reactive sputtering in 2 gas mixture
Was formed. The flow rate ratio of N 2 in the mixed gas is 20%
And The refractive index at this time was 2.04. Magnetic recording consisting of an alloy thin film of a transition metal and a rare earth metal, which has ferrimagnetism with a Curie temperature of about 200 ° C. and exhibits a good perpendicular magnetic anisotropy of about 8 kOe on the first dielectric layer. Layer 4 was deposited to about 22 nm. A second dielectric layer 5 having a thickness of 20 nm was formed thereon and a reflective layer 6 made of Al having a thickness of 100 nm was further formed thereon under the same conditions as the first dielectric layer. Approximately 10μ of UV curable resin on the reflective layer 6
m was spin-coated uniformly and irradiated with ultraviolet rays to form a protective layer 7.

【0025】(ディスクB)図2は、本発明における実
施例で使用した光磁気記録媒体(ディスクB)の断面を
模式図で示したものである。厚み1.2mm、直径86
mm、内径15mmの穴を有する屈折率1.52のソー
ダライムガラスからなるガラス基板8上に、ディスクA
と同じ条件で、フォトレジストのコーティング、ベーキ
ング処理、露光、現像を行った。フォトレジストの未露
光部は、ランド部10としてガラス基板8上に残り、露
光部はフォトレジストが取り去られ、ガラス面によりグ
ルーブ部11が形成される。溝形状は、溝深さが55n
m、ランド幅とグルーブ幅との比率がほぼ1:1であっ
た。この上に、ディスクAと全く同じ条件で、第1誘電
体層3、磁気記録層4、第2誘電体層5、反射層6、保
護コート7を形成した。
(Disc B) FIG. 2 is a schematic view showing a cross section of a magneto-optical recording medium (disc B) used in the embodiment of the present invention. Thickness 1.2mm, diameter 86
disk A on a glass substrate 8 made of soda-lime glass having a refractive index of 1.52 and having a hole of 15 mm and an inner diameter of 15 mm.
Photoresist coating, baking treatment, exposure and development were performed under the same conditions. The unexposed portion of the photoresist remains on the glass substrate 8 as the land portion 10, the photoresist is removed from the exposed portion, and the groove portion 11 is formed by the glass surface. The groove shape has a groove depth of 55n
m, and the ratio of the land width to the groove width was about 1: 1. A first dielectric layer 3, a magnetic recording layer 4, a second dielectric layer 5, a reflective layer 6, and a protective coat 7 were formed on this under exactly the same conditions as for the disk A.

【0026】(ディスクC)図3は、本発明における実
施例で使用した光磁気記録媒体(ディスクC)の断面を
模式図で示したものである。ディスクBで使用したもの
と同じ形状、同じ性質のガラス基板8上に、ディスクA
で使用したものと同じ条件で作製したスタンパを用い
て、2P法により溝を形成した。材料には、ポリカーボ
ネートジアクリレートを主な成分とするオリゴマーを用
いて、高パワーの紫外光で硬化させて、厚み約3μmの
フォトポリマー層12を形成した。この上に、ディスク
Aと全く同じ条件で、第1誘電体層3、磁気記録層4、
第2誘電体層5、反射層6、保護コート7を形成した。
(Disk C) FIG. 3 is a schematic view showing a cross section of a magneto-optical recording medium (disk C) used in the embodiment of the present invention. On the glass substrate 8 having the same shape and the same properties as those used for the disc B, the disc A
Grooves were formed by the 2P method using the stamper manufactured under the same conditions as those used in 1. An oligomer containing polycarbonate diacrylate as a main component was used as a material, and was cured by high-power ultraviolet light to form a photopolymer layer 12 having a thickness of about 3 μm. On top of this, the first dielectric layer 3, magnetic recording layer 4,
The second dielectric layer 5, the reflective layer 6, and the protective coat 7 were formed.

【0027】(ディスクD)図4は、本発明における実
施例(ディスクD)で使用した光磁気記録媒体の断面を
模式図で示したものである。ディスクAと同じ条件で作
製したポリカーボネート基板上に、やはりディスクAと
同じ条件で、第1の誘電体層を厚さ50nm成膜し、不
活性ガスを用いてイオンエッチングを施した。イオンエ
ッチング後のランドとグルーブ部を電子顕微鏡で断面を
調べたところ、ランド部では、ほとんど誘電体層が無く
なっていたのに対して、グルーブ部には、30nm程誘
電体層が残っていた。この上に誘電体層をさらに70n
m成膜し、ランド部誘電体層13とグルーブ部誘電体層
14とで厚さの異なる構造にした。この上に、ディスク
Aと同じ条件で、磁気記録層4、第2誘電体層5、反射
層6、保護層7を形成した。
(Disc D) FIG. 4 is a schematic view showing a cross section of a magneto-optical recording medium used in the embodiment (disc D) of the present invention. A first dielectric layer having a thickness of 50 nm was formed on the polycarbonate substrate manufactured under the same conditions as those for the disk A under the same conditions as those for the disk A, and ion etching was performed using an inert gas. When the cross section of the land and groove portion after ion etching was examined by an electron microscope, the land portion had almost no dielectric layer, while the groove portion had a dielectric layer of about 30 nm left. A dielectric layer of 70n
Then, the land portion dielectric layer 13 and the groove portion dielectric layer 14 have different thicknesses. The magnetic recording layer 4, the second dielectric layer 5, the reflective layer 6, and the protective layer 7 were formed on this under the same conditions as the disk A.

【0028】(ディスクE)図5は、本発明における実
施例に使用した光磁気記録媒体(ディスクE)の断面を
模式図で示したものである。ディスクAと同じ条件で作
製したポリカーボネート基板上に、樹脂を厚さ1μmに
なるようにスピンコートした。樹脂の水分を取り除くた
めに、90℃で30分間ベーキングを行った。この基板
を不活性ガス中で、ランド部の樹脂がなくなるまでエッ
チングを行った。この状態で、ディスクAと同じ条件で
厚さ80nmの誘電体層を成膜した後、グルーブ部の樹
脂と誘電体層を有機溶剤を用いて除去した。この上に、
ArとN2 の混合ガス中に占めるN2 の流量比を8%と
して誘電体層の成膜をさらに130nm行った。このと
きの屈折率は2.30であった。次に不活性ガスによる
イオンエッチングを行い、ランド部の誘電体層約130
nmをほとんど取り除いた。上述の工程により、グルー
ブ部では低屈折率誘電体層15、ランド部では高屈折率
誘電体層16がほぼ同じ膜厚約80nmで形成された。
この上に、ディスクAと同じ条件で磁気記録層4、第2
誘電体層5、反射層6、保護層7を形成した。
(Disc E) FIG. 5 is a schematic view showing a cross section of a magneto-optical recording medium (disc E) used in the embodiment of the present invention. A resin was spin-coated to a thickness of 1 μm on a polycarbonate substrate prepared under the same conditions as the disk A. Baking was performed at 90 ° C. for 30 minutes to remove the water content of the resin. This substrate was etched in an inert gas until the resin in the land part was used up. In this state, a dielectric layer having a thickness of 80 nm was formed under the same conditions as the disk A, and then the resin in the groove and the dielectric layer were removed using an organic solvent. On top of this,
The deposition of the dielectric layer was carried out further 130nm as 8% flow ratio of N 2 occupying the mixed gas of Ar and N 2. The refractive index at this time was 2.30. Next, ion etching with an inert gas is carried out, and the dielectric layer of the land portion is about 130
Most of the nm was removed. Through the above steps, the low-refractive-index dielectric layer 15 was formed in the groove portion, and the high-refractive-index dielectric layer 16 was formed in the land portion with approximately the same film thickness of about 80 nm.
On top of this, the magnetic recording layer 4 and the second
The dielectric layer 5, the reflective layer 6, and the protective layer 7 were formed.

【0029】図6は本発明の実施例で使用した、光情報
検出装置の1例を模式図で示したものである。スピンド
ルモータ18により回転する光磁気ディスク17に、半
導体レーザー19より出射した光が、コリメータレンズ
20により平行光となり偏光ビームスプリッター21
(以下PBSという)を介して、対物レンズ22により
集光される。本発明の実施例では、波長680nmの半
導体レーザー19とNAが0.55の対物レンズ22を
使用している。光磁気ディスク17により反射された光
は、PBS21、PBS24、シルンドリカルレンズ2
5を介して、収束レンズ26により、4分割光検出器2
7に集光される。この4分割光検出器27の信号は、非
点収差法によるフォーカスサーボ信号と、プッシュプル
法によるトラッキングサーボ信号として利用し、対物レ
ンズの動きを制御して、フォーカシングおよびトラッキ
ングを行う。ランド部およびグルーブ部へのトラッキン
グの切り替えは、プッシュプル信号のゼロクロス位置で
の信号の傾きの正負を利用する。PBS24を通過した
光は、1/2波長板28を介して、収束レンズ30、3
1によりそれぞれ光検出器32、33上に集光される。
この光検出器32、33の差信号より、光磁気信号を読
み出す。
FIG. 6 is a schematic view showing an example of the optical information detecting device used in the embodiment of the present invention. The light emitted from the semiconductor laser 19 is collimated by the collimator lens 20 onto the magneto-optical disk 17 which is rotated by the spindle motor 18, and is converted into parallel light.
The light is focused by the objective lens 22 via (hereinafter referred to as PBS). In the embodiment of the present invention, the semiconductor laser 19 having a wavelength of 680 nm and the objective lens 22 having an NA of 0.55 are used. The light reflected by the magneto-optical disk 17 is reflected by the PBS 21, PBS 24, and cylindrical lens 2.
Via the converging lens 26 via the 5
It is focused on 7. The signal of the four-division photodetector 27 is used as a focus servo signal by the astigmatism method and a tracking servo signal by the push-pull method to control the movement of the objective lens to perform focusing and tracking. The switching of the tracking to the land part and the groove part uses the positive / negative of the inclination of the signal at the zero cross position of the push-pull signal. The light that has passed through the PBS 24 passes through the half-wave plate 28 and the converging lenses 30, 3
1 is focused on the photodetectors 32 and 33, respectively.
A magneto-optical signal is read from the difference signal of the photo detectors 32 and 33.

【0030】図7には、本発明で使用した光情報検出装
置のもう1つの例を示す。PBS24までは、上述図6
の光情報検出装置と同じ構造であるが、光磁気信号を読
み出す光学系として、ハーフミラープリズム34により
光は、2つに分けられ、それぞれ1/2波長板35、3
6を介した後に、ウォランストンプリズム37を通過
し、その際に偏光方向に依存してそれぞれの光は2つの
方向に分けられ、収束レンズ38、39により、それぞ
れ2分割ダイオード40、41上に集光される。この装
置では、ランド部とグルーブ部の偏光成分の位相補償
を、別々に行えるという利点がある。また、ウォランス
トンプリズム37を用いることで、PBSに較べて消光
比が高いために、再生信号のノイズを小さくできる。ま
た、装置を小型化できる。
FIG. 7 shows another example of the optical information detecting device used in the present invention. Up to PBS24, the above-mentioned FIG.
Although it has the same structure as that of the optical information detection device of No. 1, the half mirror prism 34 divides the light into two as an optical system for reading out a magneto-optical signal, and the half-wave plates 35, 3
After passing through 6, the light passes through the Wollaston prism 37 and, at that time, each light is divided into two directions depending on the polarization direction, and is converged by the converging lenses 38 and 39 onto the two-division diodes 40 and 41, respectively. Is focused on. This device has an advantage that the phase compensation of the polarization components of the land portion and the groove portion can be performed separately. Further, since the extinction ratio is higher than that of the PBS by using the Wollaston prism 37, the noise of the reproduction signal can be reduced. Further, the device can be downsized.

【0031】図6の光検出装置において、1/2波長板
28の代わりにバビネソレイユ板を用いたものを装置A
とする。図7の光検装置で、1/2波長板35、36の
代わりにバビネソレイユ板を2つ配置したものを装置B
とする。図6の1/2波長板28の代わりに、電気光学
素子を配置したものを装置Cとする。図7において、1
/2波長板35、36をそれぞれ別個に光軸に対して斜
めに配置したものを装置Dとする。
In the photodetector of FIG. 6, a Babinet Soleil plate is used instead of the half-wave plate 28 in the device A.
And In the photodetector of FIG. 7, two Babinet Soleil plates are arranged instead of the half-wave plates 35 and 36, and the device B is used.
And A device C is one in which an electro-optical element is arranged instead of the half-wave plate 28 of FIG. In FIG. 7, 1
A device in which the / 2 wavelength plates 35 and 36 are separately arranged obliquely with respect to the optical axis is referred to as a device D.

【0032】ディスクAのランド部およびグルーブ部の
それぞれに光を集光した時の反射率は、ランド部68%
に対して、グルーブ部62%であった。ディスクAは本
発明の請求項2に係わるものである。図2にその構造を
示したディスクBも、その構成から本発明の請求項2に
係わるものである。ディスクCにおいては、ポリカーボ
ネートジアクリレートに高パワーの紫外光を照射させて
硬化させているため、分子の配向に起因した複屈折が確
認できた。ディスクCは、本発明の請求項3に係わるも
のである。図4にその構造を示したディスクDは、その
構成より本発明の請求項4に係るものである。第5にそ
の構造を示したディスクEは、その構成より本発明の請
求項5に係るものである。
When the light is focused on each of the land portion and the groove portion of the disk A, the reflectance is 68% of the land portion.
On the other hand, the groove portion was 62%. The disk A relates to claim 2 of the present invention. The disk B whose structure is shown in FIG. 2 also relates to claim 2 of the present invention because of its structure. In Disk C, polycarbonate diacrylate was irradiated with high-power ultraviolet light to be cured, and thus birefringence due to the orientation of molecules was confirmed. The disk C relates to claim 3 of the present invention. The disk D whose structure is shown in FIG. 4 is defined by claim 4 of the present invention because of its structure. Fifth, the disk E having the structure is defined by claim 5 of the present invention due to its structure.

【0033】光情報検出装置については、その構成より
装置A〜Dがそれぞれ本発明の請求項6〜9に係るもの
である。
With respect to the optical information detecting device, the devices A to D are related to claims 6 to 9 of the present invention due to the configuration thereof.

【0034】上述のディスクA〜Eについて装置Aから
Dを用いて、クロストークを調べた。クロストーク量
は、5つの隣接するランドまたはグルーブ領域のデータ
を一定の磁界とレーザー光を用いて消去し、次に、中心
のランドまたはグルーブにマーク長2.0μmのマーク
を磁界変調方式で記録し、そのキャリアレベルCC を測
定した後に、隣接する両側のランドまたはグルーブを再
生し、そのキャリアレベルを測定した値のうち高い方の
値をCMAX とし、クロストークCCR=CMAX −C C を求
めた。クロストーク量をランドとグルーブについてそれ
ぞれ測定し、符号も含めて値の大きい方を表1に示して
いる。
From device A for disks A-E above
Crosstalk was investigated using D. Crosstalk amount
Is the data of 5 adjacent land or groove areas
Is erased using a constant magnetic field and laser light, then the center
Marks with a mark length of 2.0 μm on each land or groove
Is recorded by the magnetic field modulation method and its carrier level CC Measure
The land or groove on both sides adjacent to each other.
The highest of the measured values of the carrier level
The value is CMAX And crosstalk CCR= CMAX -C C Seeking
I did. Crosstalk amount for land and groove
Table 1 shows the one with the largest value including the sign.
I have.

【0035】CC の書き込み記録パワーは、CC の書き
込みパワー依存性を測定して、その値が飽和するパワー
S に設定した。また、再生、パワーは、すべて0.7
4mW一定で行った。本実施例では示していないが、光
磁気記録媒体の書き込みパワー感度を高パワー側へシフ
トさせることによって、再生パワーを大きくすることが
できるため、記録特性が向上する。ディスクの回転数
は、測定半径位置での線速度が5m/secとなるよう
に設定した。装置Aおよび装置Cにおいては、トラッキ
ングをかけたランド部またはグルーブ部に対して、バビ
ネソレイユ板または電気光学素子を調節して、2μmマ
ークに対応する1.25MHzのC/Nが最大になるよ
うにした状態で、隣接するグルーブ部またはランド部に
トラッキングしてキャリアレベルを測定しクロストーク
を求めた。装置Cで電気光学素子を用いた時には、キャ
リアレベル信号をフィードバックさせて、自動的に位相
補償できるような構造を設けた。
[0035] The write recording power C C measures the writing power dependency of the C C, was set to a power P S whose value is saturated. The playback and power are all 0.7.
It was performed at a constant 4 mW. Although not shown in this embodiment, the read power can be increased by shifting the write power sensitivity of the magneto-optical recording medium to the high power side, so that the recording characteristics are improved. The rotation speed of the disk was set so that the linear velocity at the measurement radius position was 5 m / sec. In the device A and the device C, the Babinet Soleil plate or the electro-optical element is adjusted with respect to the tracked land portion or groove portion so that the C / N of 1.25 MHz corresponding to the 2 μm mark is maximized. Then, the carrier level was measured by tracking to the adjacent groove or land, and the crosstalk was obtained. When the electro-optical element is used in the device C, a structure is provided in which the carrier level signal is fed back and the phase can be automatically compensated.

【0036】装置BおよびDにおいては、2分割光検出
器40に集光される光学系をランド部に、2分割光検出
器41に集光される光学系をグルーブ部に割り振り、そ
れぞれの光学系で、バビネソレイユ板または1/2波長
板を調節して位相補償条件を最適化してクロストークの
測定を行った。
In the devices B and D, the optical system focused on the two-divided photodetector 40 is assigned to the land portion, and the optical system focused on the two-divided photodetector 41 is assigned to the groove portion. In the system, crosstalk was measured by adjusting the Babinet Soleil plate or the half-wave plate to optimize the phase compensation condition.

【0037】[0037]

【表1】 [Table 1]

【0038】図8には、クロストークが他と較べて最も
小さかったディスクBについて、装置Aを用いて、クロ
ストークの書き込みパワーを調べた結果を示す。書き込
みパワーが4.6〜5.9mWの範囲でクロストークが
−30dB以下の条件を満たしていることがわかる。さ
らに同じディスク、同じ装置でC/Nのマーク長依存性
を調べてたところ、マーク長0.5μmでも46dBの
C/Nが得られた。そこで、最短マーク長0.55μm
の1−7変調方式のランダム信号についてジッター値の
書き込みパワー依存性を調べた結果を図9に示す。読み
出しレーザーパワーは、上述のクロストーク測定と同じ
0.74mWで行った。信号はまずグルーブに書き込ん
だ後にランドに書き込んでいる。
FIG. 8 shows the result of examining the write power of the crosstalk by using the device A for the disk B having the smallest crosstalk as compared with the others. It can be seen that the crosstalk satisfies the condition of −30 dB or less in the write power range of 4.6 to 5.9 mW. Further, when the dependency of C / N on the mark length was examined with the same disk and the same device, a C / N of 46 dB was obtained even with a mark length of 0.5 μm. Therefore, the shortest mark length is 0.55 μm
FIG. 9 shows the result of examining the write power dependence of the jitter value for the random signal of the 1-7 modulation method. The read laser power was 0.74 mW, which is the same as the above-mentioned crosstalk measurement. The signal is written to the groove first and then to the land.

【0039】クロスイレーズの影響でグルーブ部分のジ
ッター値が高いものの、書き込みパワーが4.5〜6.
5mWの範囲で10%以下のジッター値が得られた。更
に、最短マーク長を0.48μmにして測定したとこ
ろ、ジッターのパワーマージンは狭いものの10%以下
のジッター値が得られた。
Although the jitter value in the groove portion is high due to the influence of cross erase, the write power is 4.5 to 6.
A jitter value of 10% or less was obtained in the range of 5 mW. Further, when the shortest mark length was measured with 0.48 μm, the jitter power margin was narrow, but a jitter value of 10% or less was obtained.

【0040】[0040]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
る光磁気記録媒体を用いてランド&グルーブ記録を行う
と、読み出し時の光の偏光成分の位相差がランド部とグ
ルーブ部とで異なる。本発明の光磁気記録媒体と、本発
明による光情報検出装置とを用いて情報の記録再生を行
えば、ランド部とグルーブ部とのそれぞれについて、最
適な位相補償を行うことができる。ランドまたはグルー
ブに対して位相補償条件を最適化することで、隣接する
グルーブまたはランドからのクロストーク信号は、位相
補償条件よりずれ、それにより信号振幅が減少する。こ
の作用により、本発明に係わる光磁気記録媒体および光
情報検出装置において、クロストークを低減する効果が
得られる。
As described in detail above, when land-and-groove recording is performed using the magneto-optical recording medium according to the present invention, the phase difference of the polarization component of the light during reading differs between the land portion and the groove portion. . When information is recorded / reproduced using the magneto-optical recording medium of the present invention and the optical information detection device of the present invention, optimum phase compensation can be performed for each of the land portion and the groove portion. By optimizing the phase compensation condition for the land or groove, the crosstalk signal from the adjacent groove or land deviates from the phase compensation condition, thereby reducing the signal amplitude. With this action, the effect of reducing crosstalk can be obtained in the magneto-optical recording medium and the optical information detecting device according to the present invention.

【0041】このクロストークの低減効果により、光磁
気記録媒体のランド&グルーブ記録において、高密度記
録が可能となる。本実施例で示したように、本発明に係
る光磁気記録媒体および光検出装置を用いると、トラッ
クピッチ1.4μmのランド&グルーブ記録で、最短マ
ーク長0.48μmの1−7変調のランダム信号の記録
再生を調べたところ、ジッター特性として10%以下の
値が得られる。このことにより、ISO規格3.5イン
チ記録容量230MB光磁気ディスクとほぼ同じトラッ
クピッチの光磁気ディスクを用いて、同じ3.5インチ
のISO規格640MBディスクの2倍以上の記録容量
1.5GBが得られる効果があることがわかった。
Due to the effect of reducing the crosstalk, high density recording becomes possible in the land & groove recording of the magneto-optical recording medium. As shown in this embodiment, when the magneto-optical recording medium and the photodetector according to the present invention are used, in land and groove recording with a track pitch of 1.4 μm, the shortest mark length is 0.48 μm and 1-7 modulation random. When the recording / reproducing of the signal was examined, a value of 10% or less was obtained as the jitter characteristic. As a result, by using a magneto-optical disk having almost the same track pitch as the ISO standard 3.5-inch recording capacity 230 MB magneto-optical disk, a recording capacity of 1.5 GB which is more than twice that of the same 3.5-inch ISO standard 640 MB disk is obtained. It turned out that there is an effect to be obtained.

【0042】本発明に係わる技術は、光情報検出装置に
使用する光の波長に依らず普遍的なものであるため、将
来、緑や青色の半導体レーザーが光情報検出装置の光源
として用いられても、上述の効果が得られる。
Since the technique according to the present invention is universal regardless of the wavelength of light used in the optical information detecting device, a green or blue semiconductor laser will be used as a light source of the optical information detecting device in the future. Also, the above effect can be obtained.

【0043】本発明の光磁気記録媒体において、ランド
部とグルーブ部に偏光成分の位相差の違いを作り出す構
造以外は、現行の光磁気記録媒体と同じ構成で製造でき
るため、生産コストを抑えることができる。
The magneto-optical recording medium of the present invention can be manufactured with the same structure as that of the existing magneto-optical recording medium except for the structure for producing the difference in the phase difference of the polarization component between the land portion and the groove portion, so that the production cost can be suppressed. You can

【0044】本発明の光情報検出装置においては、位相
を補償する手段として、既存の光学素子を用いており、
ドライブ装置製造における負担は小さい。請求項7にあ
るように、位相補償を行う素子を有する磁気カー効果検
出系を2つ用いることで、位相補償を含めた光学素子の
調整は、製造時の初期調整で済む。また、請求項8にあ
るように、位相補償手段として、電気光学素子を使用す
ることで位相調整が電気的に自動で行える。上述のよう
に、本発明に係る光情報検出装置では、製造、調整にお
いて、低コストで利便性が良いという効果が得られる。
In the optical information detecting device of the present invention, the existing optical element is used as means for compensating the phase,
The burden on drive device manufacturing is small. As described in claim 7, by using two magnetic Kerr effect detection systems each having an element for performing phase compensation, adjustment of the optical element including phase compensation can be performed by initial adjustment at the time of manufacturing. Further, as described in claim 8, the phase adjustment can be electrically and automatically performed by using the electro-optical element as the phase compensation means. As described above, in the optical information detection device according to the present invention, it is possible to obtain the effects of low cost and good convenience in manufacturing and adjustment.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例におけるディスクAの基板の断
面を示す模式図である。
FIG. 1 is a schematic view showing a cross section of a substrate of a disk A in an example of the present invention.

【図2】本発明の実施例におけるディスクBの基板の断
面を示す模式図である。
FIG. 2 is a schematic view showing a cross section of the substrate of the disk B in the example of the present invention.

【図3】本発明の実施例におけるディスクCの基板の断
面を示す模式図である。
FIG. 3 is a schematic view showing a cross section of the substrate of the disk C in the example of the present invention.

【図4】本発明の実施例におけるディスクDの基板の断
面を示す模式図である。
FIG. 4 is a schematic view showing a cross section of the substrate of the disk D in the example of the present invention.

【図5】本発明の実施例におけるディスクEの基板の断
面を示す模式図である。
FIG. 5 is a schematic diagram showing a cross section of a substrate of a disk E according to an example of the present invention.

【図6】本発明の実施例における光検出装置(装置A,
C)の構造を示す模式図である。
FIG. 6 is a diagram illustrating a photodetection device (apparatus A,
It is a schematic diagram which shows the structure of C).

【図7】本発明の実施例における光検出装置(装置B,
D)の構造を示す模式図である。
FIG. 7 is a diagram illustrating a photodetection device (device B, according to an embodiment of the present invention).
It is a schematic diagram which shows the structure of D).

【図8】本発明の実施例におけるクロストークの書き込
みパワー依存性(ディスクB,装置A)を示すグラフで
ある。
FIG. 8 is a graph showing write power dependence of crosstalk (disk B, device A) in the example of the present invention.

【図9】本発明の実施例におけるジッター特性の書き込
みパワー依存性を示すグラフである。
FIG. 9 is a graph showing the write power dependence of the jitter characteristic in the example of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1.ポリカーボネート基板 2.紫外線硬化樹脂 3.第1誘電体層 4.磁気記録層 5.第2誘電体層 6.反射層 7.保護層 8.ガラス基板 9.フォトレジスト 10.ランド部 11.グルーブ部 12.フォトポリマー 13.ランド部誘電体層 14.グルーブ部誘電体層 15.低屈折率誘電体層 16.高屈折率誘電体層 17.光磁気ディスク 18.スピンドルモータ 19.半導体レーザー 20.コリメータレンズ 21.偏光ビームスプリッター(PBS) 22.対物レンズ 23.浮上磁気ヘッド 24.PBS 25.シリンドリカルレンズ 26.収束レンズ 27.4分割光検出器 28.1/2波長板 29.PBS 30.収束レンズ 31.収束レンズ 32.光検出器 33.光検出器 34.ハーフミラープリズム 35.1/2波長板 36.1/2波長板 37.ウォランストンプリズム 38.収束レンズ 39.収束レンズ 40.2分割光検出器 41.2分割光検出器 1. Polycarbonate substrate 2. UV curable resin 3. First dielectric layer 4. Magnetic recording layer 5. Second dielectric layer 6. Reflective layer 7. Protective layer 8. Glass substrate 9. Photoresist 10. Land section 11. Groove part 12. Photopolymer 13. Land portion dielectric layer 14. Groove part dielectric layer 15. Low refractive index dielectric layer 16. High refractive index dielectric layer 17. Magneto-optical disk 18. Spindle motor 19. Semiconductor laser 20. Collimator lens 21. Polarization beam splitter (PBS) 22. Objective lens 23. Levitation magnetic head 24. PBS 25. Cylindrical lens 26. Converging lens 27.4 split photodetector 28.1 / 2 wavelength plate 29. PBS 30. Converging lens 31. Converging lens 32. Photodetector 33. Photodetector 34. Half mirror prism 35.1 / 2 wave plate 36.1 / 2 wave plate 37. Wollaston prism 38. Converging lens 39. Converging lens 40.2 split photo detector 41.2 split photo detector

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 原 智章 埼玉県北足立郡伊奈町寿3−78 加藤ハイ ツ306 (72)発明者 森田 健治 東京都千代田区丸の内一丁目1番2号 日 本鋼管株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Tomoaki Hara 3-78 Ina-cho, Kita-Adachi-gun, Saitama Kato Heights 306 (72) Inventor Kenji Morita 1-2 1-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Nippon Steel Tube Within the corporation

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 同心円あるいは螺旋状のほぼ平坦で幅が
ほぼ等しいランドおよびグルーブからなる記録トラック
を具備し、その上に少なくとも、誘電体膜層、記録膜層
および反射膜層を有する光磁気記録媒体において、ガラ
スあるいは樹脂からなる基板に形成されたランド部とグ
ルーブ部のそれぞれを通過する光束が誘電体膜層を経て
磁性体からなる記録膜により反射され、多重干渉の後の
前記ランド部とグルーブ部それぞれでの反射率が異なる
ことを特徴とする光磁気記録媒体。
1. A magneto-optical recording comprising a concentric or spiral substantially flat recording track composed of lands and grooves having substantially the same width, and having at least a dielectric film layer, a recording film layer and a reflective film layer thereon. In the medium, a light flux passing through each of a land portion and a groove portion formed on a substrate made of glass or resin is reflected by a recording film made of a magnetic material through a dielectric film layer, and the land portion after multiple interference A magneto-optical recording medium characterized in that each groove portion has a different reflectance.
【請求項2】 前記ランド部、あるいはランド部および
グルーブ部が前記基板とは異なる屈折率を有する光学的
にほぼ透明な材料で形成されている請求項1に記載の光
磁気記録媒体。
2. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the land portion or the land portion and the groove portion are formed of an optically substantially transparent material having a refractive index different from that of the substrate.
【請求項3】 前記ランド部、あるいはランド部および
グルーブ部が前記基板とは異なり且つ複屈折を有する光
学的にほぼ透明な材料で形成されている請求項1に記載
の光磁気記録媒体。
3. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the land portion, or the land portion and the groove portion, are formed of an optically substantially transparent material different from the substrate and having birefringence.
【請求項4】 前記ランド部上とグルーブ部上とで前記
誘電体層の厚さが異なるものである請求項1に記載の光
磁気記録媒体。
4. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the thickness of the dielectric layer is different between the land portion and the groove portion.
【請求項5】 前記ランド部上とグルーブ部上のそれぞ
れの前記誘電体層の屈折率が、異なるものである請求項
1に記載の光磁気記録媒体。
5. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the dielectric layers on the land portion and the groove portion have different refractive indexes.
【請求項6】 前記光磁気記録媒体に記録した信号を検
出する光情報検出装置が、磁気カー効果検出光学系に光
学的な位相差を与える手段を有することを特徴とする光
情報検出装置。
6. An optical information detecting device, wherein the optical information detecting device for detecting a signal recorded on the magneto-optical recording medium has means for giving an optical phase difference to a magnetic Kerr effect detecting optical system.
【請求項7】 前記した光情報検出装置において、前記
磁気カー効果検出光学系を2つ有し、該2つの磁気カー
効果検出光学系がそれぞれにおいて異なる位相差を共す
る手段を有する請求項6に記載の光情報検出装置。
7. The optical information detecting device according to claim 6, further comprising two magnetic Kerr effect detection optical systems, and the two magnetic Kerr effect detection optical systems have means for sharing different phase differences. The optical information detection device described in 1.
【請求項8】 前記位相差を与える手段が電気光学素子
である請求項6または請求項7に記載の光情報検出装
置。
8. The optical information detecting device according to claim 6, wherein the means for providing the phase difference is an electro-optical element.
【請求項9】 前記位相差を与える手段が1/2波長板
であり、該1/2波長板が光軸に対して傾いているもの
である請求項6または請求項7に記載の光情報検出装
置。
9. The optical information according to claim 6, wherein the means for giving the phase difference is a half-wave plate, and the half-wave plate is inclined with respect to the optical axis. Detection device.
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5898661A (en) * 1997-10-06 1999-04-27 Fujitsu Limited Optical information storage unit
US6091693A (en) * 1998-06-30 2000-07-18 Fujitsu Limited Optical recording medium and optical information storage unit
US6108280A (en) * 1998-06-30 2000-08-22 Fujitsu Ltd. Optical information storage unit
US6115330A (en) * 1998-06-30 2000-09-05 Fujitsu Limited Optical information storage unit for recording and/or reproducing information on both the lands and the grooves of an optical medium
US6118748A (en) * 1997-10-06 2000-09-12 Fujitsu Limited Optical information storage unit having phase compensation means for applying different phase compensation quantities with respect to signals detected from land and groove of recording medium
US6212152B1 (en) 1998-02-04 2001-04-03 Fujitsu Limited Optical information detection apparatus
US6392972B1 (en) 1998-12-01 2002-05-21 Fujitsu Limited Optical storage unit having a dual position optical phase adjuster
US6442123B1 (en) 1999-03-25 2002-08-27 Fujitsu Limited Optical information storage device capable of giving optimum phase compensations according to recording tracks in reproducing information
US6504811B1 (en) 1998-06-16 2003-01-07 Fujitsu Limited Optical information storage unit

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5898661A (en) * 1997-10-06 1999-04-27 Fujitsu Limited Optical information storage unit
US6118748A (en) * 1997-10-06 2000-09-12 Fujitsu Limited Optical information storage unit having phase compensation means for applying different phase compensation quantities with respect to signals detected from land and groove of recording medium
US6212152B1 (en) 1998-02-04 2001-04-03 Fujitsu Limited Optical information detection apparatus
US6359851B2 (en) 1998-02-04 2002-03-19 Fujitsu Limited Optical information detection apparatus
US6504811B1 (en) 1998-06-16 2003-01-07 Fujitsu Limited Optical information storage unit
US6091693A (en) * 1998-06-30 2000-07-18 Fujitsu Limited Optical recording medium and optical information storage unit
US6108280A (en) * 1998-06-30 2000-08-22 Fujitsu Ltd. Optical information storage unit
US6115330A (en) * 1998-06-30 2000-09-05 Fujitsu Limited Optical information storage unit for recording and/or reproducing information on both the lands and the grooves of an optical medium
US6392972B1 (en) 1998-12-01 2002-05-21 Fujitsu Limited Optical storage unit having a dual position optical phase adjuster
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