JPH09128517A - Document/drawing retrieval and display system - Google Patents

Document/drawing retrieval and display system

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JPH09128517A
JPH09128517A JP28711295A JP28711295A JPH09128517A JP H09128517 A JPH09128517 A JP H09128517A JP 28711295 A JP28711295 A JP 28711295A JP 28711295 A JP28711295 A JP 28711295A JP H09128517 A JPH09128517 A JP H09128517A
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document
display
search
display system
alarm
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Tateshi Iimori
立志 飯森
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To eliminate complicated work such as manual retrieval and to adopt this system even at the place, where it is limited to carry in documents, by making documents and drawings described in the manual electronic concerning a monitoring object and speedily and easily referring to required information. SOLUTION: A storage part 6 stores electronic document/drawing files made electronic containing the documents and drawings concerning a device 1 to be monitored. Responding to a command signal for designating any specified document or drawing, a document/drawing display control part 4 retrieves that document or drawing and display its information on the screen of a display part 5. Therefore, the manager of production plant or an operator such as a clerk in charge usually only selectively inputs the required information (such as structure or handling, for example), concerning the device 1 to be monitored so that the required information can be retrieved and displayed. Besides, when any abnormally or trouble is generated at the device 1 to be monitored or in the process of production, the information (such as the position of abnormality occurrence and how to deal with it, for example), concerning it is automatically retrieved and displayed in real time.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電子化された文書
・図面のファイルの中から特定の文書及び図面を必要な
時に即座に検索して表示できる文書・図面検索表示シス
テムに関する。なお、本発明でいう「文書・図面」は、
文字、記号、符号等で記述された文書と、図形や絵柄等
で表わされた図面と含む。従って、「文書・図面ファイ
ル」は、文書及び図面の内容をデータ化したものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a document / drawing search / display system capable of promptly searching and displaying a specific document or drawing from a computerized document / drawing file when needed. The "document / drawing" referred to in the present invention is
It includes documents described by characters, symbols, codes, etc., and drawings represented by figures, patterns, etc. Therefore, the "document / drawing file" is data of the contents of the document and the drawing.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、半導体製造工程では、極めて僅
かな不純物(例えば1ミクロン以下のごみ)でも、製造
される半導体に悪影響を与えるため、半導体製造装置
は、クリーンルームと称される室内で稼動するように配
置されており、このクリーンルーム内には塵や埃を持ち
込まないように厳しく管理されている。その管理の一つ
として、塵や埃その他の不純物が付着しやすい紙類の持
込みが禁止されているので、製造工場の管理者やオペレ
ータ等の要員は、半導体製造装置の構造及びトラブル対
策等を記載した書類(マニュアル)を持ち込むことがで
きない。そのため、半導体製造工程で何らかの事故或い
は不都合が生じた場合、現場でマニュアルを参照しなが
ら原因の究明や対策をとることができず、知識や経験の
乏しい要員は、クリーンルームの外に出てマニュアルを
参照しなければならず、不便であると共に迅速な対応が
できないという問題がある。
2. Description of the Related Art For example, in a semiconductor manufacturing process, even a very small amount of impurities (for example, dust of 1 micron or less) adversely affects a semiconductor to be manufactured. Therefore, a semiconductor manufacturing apparatus operates in a room called a clean room. The clean room is strictly controlled so as not to bring dust into it. As one of the controls, it is forbidden to bring in papers, which dust and other impurities are likely to adhere to, so personnel such as managers and operators of the manufacturing plant should take measures such as the structure of semiconductor manufacturing equipment and troubleshooting. You cannot bring in the documents (manuals) listed. Therefore, if any accident or inconvenience occurs in the semiconductor manufacturing process, it is not possible to investigate the cause and take countermeasures while referring to the manual on site, and personnel with little knowledge and experience should go outside the clean room and read the manual. It is necessary to refer to it, and there is a problem that it is inconvenient and quick response cannot be made.

【0003】そこで、塵や埃等が付着しないように表面
を合成樹脂等で加工した特製のシートでマニュアルを作
成し、それをクリーンルーム内に常備することも行われ
ている。
Therefore, it is also practiced to prepare a manual with a special sheet whose surface is processed with a synthetic resin or the like so that dust or the like does not adhere, and to keep it in a clean room.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような特製シートで作成されたマニュアルは、通常の紙
製のものよりも高価である。更に、半導体や液晶素子の
製造技術の高度化に伴なってそれらの製造装置が複雑化
或いは大型化する程、マニュアルの内容も複雑化し或い
は量が多くなって価格が一層増大する。しかも、製造装
置の構造を理解したりトラブル対策を検討したりするた
めにマニュアルを現場で参照することが非常に面倒にな
ってくる。特に、製造工程で何らかの事故或いは不都合
が生じた場合は、迅速に原因を究明すると共に必要な対
策をとることが要求されるが、従来のマニュアルを参照
する方法では、その要求に充分応えることができかっ
た。
However, the manual made of the above-mentioned special sheet is more expensive than that made of ordinary paper. Further, as the manufacturing technology of semiconductors and liquid crystal elements becomes more complicated and larger, the contents of manuals become more complicated or larger, and the price further increases. Moreover, it becomes very troublesome to refer to the manual in the field in order to understand the structure of the manufacturing apparatus and to study the countermeasures against the trouble. In particular, when some kind of accident or inconvenience occurs in the manufacturing process, it is required to quickly investigate the cause and take necessary measures, but the conventional manual reference method is not enough to meet the request. It was possible.

【0005】故に、本発明の目的は、半導体や液晶素子
の製造装置のような監視対象に関してマニュアルに記載
されているような文書及び図面を電子化し、トラブル発
生時などに、必要な情報を迅速且つ容易に参照できるよ
うにすることにより、マニュアルの記載事項の検索等の
面倒な作業をなくすと共に、書類の持込みが制限されて
いる場所で採用するのに適した文書・図面検索表示シス
テムを提供することである。
Therefore, an object of the present invention is to digitize documents and drawings such as those described in a manual regarding a monitoring target such as a semiconductor or liquid crystal device manufacturing apparatus, and quickly provide necessary information when trouble occurs. And by making it easy to refer to, it eliminates the troublesome work such as searching for the description items in the manual, and provides a document / drawing search display system suitable for use in places where the bringing-in of documents is restricted. It is to be.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明の文書・図面検索
表示システムは、監視対象に関する情報を表わす複数の
文書及び図面をそれぞれ文書・図面ファイルとして格納
する文書・図面ファイル格納手段と、前記文書・図面フ
ァイルの内容を画面に表示する表示手段と、前記文書・
図面ファイルの中から特定の文書又は図面を指定する指
令信号に応じて、当該文書又は図面の検索を行い、それ
らの情報を前記表示手段に表示させる文書・図面表示制
御手段とを備えたことを特徴とする。
A document / drawing search / display system according to the present invention includes a document / drawing file storage unit for storing a plurality of documents and drawings representing information on a monitoring target as a document / drawing file, and the document. Display means for displaying the contents of the drawing file on the screen and the document
A document / drawing display control means for searching the document or drawing from the drawing file in response to a command signal designating a specific document or drawing and displaying the information on the display means. Characterize.

【0007】本発明の一つの実施態様では、上記指令信
号は、監視対象の状態検出手段により検出された状態に
対応する識別番号を含み、上記文書・図面ファイルは、
識別番号とこれに対応する文書及び図面とを含み、文書
・図面表示制御手段は、上記識別番号に基づいて文書又
は図面の検索を実行するように構成される。
In one embodiment of the present invention, the command signal includes an identification number corresponding to the state detected by the state detecting means of the monitoring target, and the document / drawing file includes:
The document / drawing display control unit includes the identification number and the corresponding document and drawing, and is configured to execute the search for the document or drawing based on the identification number.

【0008】より具体的な態様として、上記指令信号は
監視対象の異常状態を示すアラーム信号であり、文書・
図面表示制御手段は、上記識別番号により特定された異
常状態をアラーム表示画面として表示手段に表示させ、
該アラーム表示画面に表示された異常状態を指定する入
力に応じて、その異常状態への対処方法を記述した文書
或いはその異常が発生した箇所の構成を示す図面を表示
手段に表示させるように構成される。
As a more specific form, the command signal is an alarm signal indicating an abnormal state of the monitoring target,
The drawing display control means causes the display means to display the abnormal state specified by the identification number as an alarm display screen,
In response to an input indicating an abnormal condition displayed on the alarm display screen, a document describing a method for coping with the abnormal condition or a drawing showing a configuration of a place where the abnormal condition occurs is configured to be displayed on the display means. To be done.

【0009】本発明の別の実施態様では、上記指令信号
はオペレータによって選択された文書又は図面を指定す
る信号であり、文書・図面表示制御手段は、その信号に
よって指定された文書又は図面の検索を実行するように
構成される。
In another embodiment of the present invention, the command signal is a signal designating a document or drawing selected by an operator, and the document / drawing display control means retrieves the document or drawing designated by the signal. Is configured to perform.

【0010】本発明の具体的な構成手段としては、コン
ピュータ(パソコン)が用いられる。この場合、パソコ
ンのCPUが文書・図面表示制御手段として、CPUに
付随した記憶手段(メモリ、ハードディスク又はCD−
ROM)が文書・図面ファイル格納手段として、それぞ
れ機能する。
A computer (personal computer) is used as a specific component of the present invention. In this case, the CPU of the personal computer serves as a document / drawing display control means and is a storage means (memory, hard disk or CD-ROM) attached to the CPU.
ROM) functions as a document / drawing file storage means.

【0011】本発明の更に別の実施態様では、上記文書
・図面ファイル格納手段は、監視対象に関する情報を格
納した第1の記憶部と、上記文書・図面表示制御手段と
通信手段を介して接続される文書・図面管理手段に付随
して設けられ、監視対象の変更や改造に伴って上記第1
の記憶部に格納されている情報の内容が変更又は改変さ
れた場合にその変更又は改変後の情報が格納される第2
の記憶部とで構成される。
In still another embodiment of the present invention, the document / drawing file storage means is connected to a first storage section for storing information regarding a monitoring target, the document / drawing display control means and a communication means. It is provided in association with the document / drawing management means that is used, and the above-mentioned first
When the content of the information stored in the storage unit of is changed or modified, the changed or modified information is stored.
And a storage unit.

【0012】より具体的には、監視対象に対応して設け
られたパソコンのメモリ等の記憶手段が第1の記憶部と
して用いられ、このパソコンと専用又は公衆電話回線や
データ回線等の通信手段を介して接続される文書・図面
管理手段として働く他のコンピュータの記憶手段が、第
2の記憶部として用いられる。この場合、監視対象に対
する文書・図面表示制御手段として用いられるパソコン
が、必要に応じて他のコンピュータにファイル要求を送
り、必要な情報の検索を実行させてその情報を得る。
More specifically, a storage means such as a memory of a personal computer provided corresponding to the monitored object is used as the first storage section, and the personal computer and a communication means such as a private telephone line or a public telephone line or a data line. A storage unit of another computer that functions as a document / drawing management unit connected via the above is used as the second storage unit. In this case, the personal computer used as the document / drawing display control means for the monitoring target sends a file request to another computer as necessary, and causes the required information to be retrieved to obtain the information.

【0013】また、本発明は、半導体又は液晶製造装置
のマニュアル及び図面を自動的に検索して表示する手段
として好適である。この場合、本発明のシステムの監視
対象は半導体又は液晶製造装置であり、当該半導体又は
液晶製造装置の構造、取扱い、部品名称等の記述及び装
置全体或いは部品の回路図が、文書・図面ファイルとし
て格納される。
Further, the present invention is suitable as means for automatically searching and displaying a manual or a drawing of a semiconductor or liquid crystal manufacturing apparatus. In this case, the monitoring target of the system of the present invention is a semiconductor or liquid crystal manufacturing apparatus, and the structure or handling of the semiconductor or liquid crystal manufacturing apparatus, description of the part name, etc. Is stored.

【0014】[0014]

【作用及び効果】本発明では、監視対象に関する文書及
び図面を含む文書・図面ファイルが、文書・図面ファイ
ル格納手段に格納されている。文書・図面表示制御手段
は、特定の文書又は図面を指定する指令信号に応じて、
当該文書又は図面の検索を行い、それらの情報を表示手
段の画面に表示させる。
In the present invention, the document / drawing file including the document and the drawing regarding the monitoring target is stored in the document / drawing file storage means. The document / drawing display control means, in response to a command signal designating a specific document or drawing,
The document or drawing is searched and the information is displayed on the screen of the display means.

【0015】従って、製造工場の管理者や要員等のオペ
レータは通常、監視対象に関する情報のうち必要なもの
(例えば、監視対象装置の構造や取扱い)を選択して本
発明のシステムに入力すれば、その必要な情報が自動的
に検索されて表示される。
Therefore, an operator such as a manager or a person in a manufacturing plant usually selects necessary information (for example, the structure and handling of the monitored device) from the information on the monitored object and inputs it to the system of the present invention. , The required information will be automatically searched and displayed.

【0016】また、監視対象の装置や製造工程で何らか
の異常或いは不都合が生じた場合には、それに関する情
報(例えば、異常の発生箇所及び対処方法)が、リアル
タイムで自動的に検索され、表示される。従って、知識
や経験の乏しい要員であっても、現場で表示手段の画面
に表示された事項を参照しながら、異常の箇所、原因等
を究明し、適切な対策を講じることができる。
Further, when any abnormality or inconvenience occurs in the device to be monitored or the manufacturing process, information (for example, the location where the abnormality has occurred and the coping method) is automatically retrieved in real time and displayed. It Therefore, even an inexperienced person can investigate the location and cause of an abnormality and take appropriate measures while referring to the items displayed on the screen of the display means at the site.

【0017】上記のように、本発明は図面を含む文書・
図面を電子化し、必要な情報を迅速且つ容易に参照でき
るようにしたので、オペレータは、従来のマニュアル検
索等の面倒な作業なしに監視対象の構造や状態を把握す
ることが可能になり、また、半導体製造のためのクリー
ンルームのように書類の持込みが制限されている場所で
も、マニュアル検索手段として好適に用いられるもので
ある。
As described above, the present invention is a document including drawings.
Since the drawings have been digitized and the necessary information can be referred to quickly and easily, the operator can grasp the structure and status of the monitored object without the troublesome work of the conventional manual search. It is also suitably used as a manual search means even in a place where the bringing-in of documents is restricted, such as a clean room for semiconductor manufacturing.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】図1は、例えば半導体又は液晶の
製造に使用される装置1を監視対象とする文書・図面検
索表示システム3の基本的な構成を示す。
FIG. 1 shows a basic configuration of a document / drawing search / display system 3 for monitoring an apparatus 1 used for manufacturing a semiconductor or a liquid crystal, for example.

【0019】このシステム3では、監視対象の装置1に
対するシステム構成手段(ハードウェア)としてパソコ
ンを使用し、そのCPUで文書・図面表示制御部4を構
成し、CPUに付随したCRT及びメモリ(或いはハー
ドディスク、CD−ROM)で、監視対象の装置に関す
る情報を表示する表示部5、及び文書・図面ファイル格
納手段としての記憶部6をそれぞれ構成している。な
お、図では省略したが、パソコンのCPUには表示部
(CRT)5の他にキーボードやマウス等の入力操作手
段(図示省略)が接続されている。
In this system 3, a personal computer is used as a system configuration means (hardware) for the device 1 to be monitored, and the CPU thereof constitutes a document / drawing display control unit 4, and a CRT and memory (or memory) attached to the CPU (or A hard disk, a CD-ROM) constitutes a display unit 5 for displaying information on the device to be monitored and a storage unit 6 as a document / drawing file storage means. Although not shown in the figure, the CPU of the personal computer is connected with an input operation means (not shown) such as a keyboard and a mouse in addition to the display unit (CRT) 5.

【0020】記憶部6に格納されている文書・図面ファ
イルは、監視対象装置1に関する文書及び図面を含んで
おり、後述のように、その内容が監視対象の変更や改造
に伴って変更又は改変されたとき、その変更又は改変後
の情報を含む文書・図面ファイル(これは、後述の文書
・図面管理システム8の記憶部に格納される)に対し
て、元の情報を保持するため、「標準ローカル文書・図
面ファイル」と称する。
The document / drawing file stored in the storage unit 6 includes a document and a drawing relating to the monitored device 1. As will be described later, the contents thereof are changed or modified in accordance with the change or modification of the monitored target. In order to retain the original information in the document / drawing file (which is stored in the storage unit of the document / drawing management system 8 described later) including the information after the change or modification, Standard local document / drawing file ".

【0021】文書・図面表示制御部4は、監視対象装置
1に対し、電話回線やデータ回線等の通信ネットワーク
7を介して接続される。そして、記憶部6に標準ローカ
ル文書・図面ファイルとして格納されている情報のうち
特定の文書又は図面を指定する指令信号に応じて、その
文書又は図面の検索を行い、それらの情報を表示部5の
画面に表示するプログラムに従って動作する。
The document / drawing display control unit 4 is connected to the monitoring target device 1 via a communication network 7 such as a telephone line or a data line. Then, among the information stored as the standard local document / drawing file in the storage unit 6, the document or drawing is searched according to a command signal designating a specific document or drawing, and the information is displayed on the display unit 5. Operates according to the program displayed on the screen.

【0022】上記指令信号は、監視対象装置1の状態検
出部2により検出された状態に基づいて、監視対象装置
1から出力される。状態検出部2は、監視対象装置1が
正常に作動していることをチェックするため、装置内の
圧力、温度等を検出するセンサや動作時間等を計時する
タイマ等の計測手段から成り、いずれかの計測手段が、
装置が正常に作動していないこと、すなわち異常を示し
ているとき、監視対象装置1は、その異常状態(エラー
発生)を示すアラーム信号を発生する。
The command signal is output from the monitored device 1 based on the state detected by the state detection unit 2 of the monitored device 1. The state detection unit 2 includes a sensor for detecting pressure, temperature, etc. in the device and a measuring means such as a timer for measuring an operation time, etc. in order to check that the monitored device 1 is operating normally. That measuring means
When the device is not operating normally, that is, when it indicates an abnormality, the monitored device 1 generates an alarm signal indicating the abnormal state (error occurrence).

【0023】例えば、監視対象装置1が流体制御弁のよ
うなバルブを含み、そのバルブの開閉動作を圧力センサ
による検出信号で確認するように構成されている場合、
圧力異常が検出されると、監視対象装置1は、自動的に
作動を停止すると共にアラーム信号を出力する。
For example, when the monitored device 1 includes a valve such as a fluid control valve, and the opening / closing operation of the valve is confirmed by a detection signal from a pressure sensor,
When a pressure abnormality is detected, the monitored device 1 automatically stops its operation and outputs an alarm signal.

【0024】監視対象装置1は、このアラーム信号で示
される異常状態を特定するために、状態検出部2で検出
される各種状態ごとに予め設定された識別番号(「アラ
ームID」と称する)、この識別番号で特定される異常
状態(種類)を表わす文言(「アラーム名称」と称す
る)、異常発生時刻(「アラーム時刻」と称する)等の
情報を、データファイル(「アラームログファイル」と
称する)として格納する記憶部を備えている。
The monitored device 1 has an identification number (referred to as "alarm ID") preset for each state detected by the state detecting section 2 in order to specify the abnormal state indicated by the alarm signal. Information such as a word (referred to as "alarm name") indicating an abnormal state (type) specified by the identification number, an abnormal occurrence time (referred to as "alarm time"), and the like are referred to as a data file (referred to as "alarm log file"). ) Is stored as a storage unit.

【0025】この実施例の「アラームログファイル」
は、図2に示すように、状態検出部2で検出される状態
の種類ごとに「アラームID」、「アラーム名称」、
「アラーム時刻」等の項目で構成されている。なお、ア
ラームログファイルは、監視対象側でなく、文書・図面
検索表示システム3で作成してその記憶部に格納するよ
うにしてもよい。
"Alarm log file" of this embodiment
As shown in FIG. 2, "alarm ID", "alarm name",
It is composed of items such as "alarm time". The alarm log file may be created by the document / drawing search / display system 3 and stored in the storage unit instead of the monitoring target side.

【0026】例えば、状態検出部2からアラーム信号が
出力された時、文書・図面表示制御部4は、その「アラ
ームID」により特定された「アラーム名称」等の情報
を、後述の「アラーム表示画面」(図6)に表示する。
そして、そのアラーム表示画面に表示された「アラーム
名称」が選択されると、その異常状態への対処方法を記
述したメッセージ或いはその異常が発生した部位の構成
を示す図面を表示部5に表示させる。この動作は、プロ
グラムに従って実行される。
For example, when an alarm signal is output from the state detection unit 2, the document / drawing display control unit 4 displays information such as "alarm name" specified by the "alarm ID" in "alarm display" described later. Screen ”(FIG. 6).
When the "alarm name" displayed on the alarm display screen is selected, a message describing a method for coping with the abnormal state or a drawing showing the configuration of the part in which the abnormality has occurred is displayed on the display unit 5. . This operation is executed according to the program.

【0027】一方、文書・図面検索表示システム3の記
憶部6に格納されている文書・図面ファイル(標準ロー
カル文書・図面ファイル)は、上記の識別番号と、これ
に対応する文書及び図面とを含んでいる。例えば、状態
検出部2からの検出信号がアラーム信号の場合、識別番
号は「アラームID」、文書及び図面は、それぞれアラ
ーム文書ファイル及びアラーム図面ファイルと称する。
アラーム文書ファイルは、例えば図3に示すように、状
態検出部2で検出される各種状態ごとに「ファイル
名」、異常の内容を表わす「名称」及び「対処方法」を
記述することにより、構成される。
On the other hand, the document / drawing file (standard local document / drawing file) stored in the storage unit 6 of the document / drawing search / display system 3 includes the above-mentioned identification number and the corresponding document and drawing. Contains. For example, when the detection signal from the state detection unit 2 is an alarm signal, the identification number is called "alarm ID", and the document and drawing are called an alarm document file and an alarm drawing file, respectively.
For example, as shown in FIG. 3, the alarm document file is configured by describing a “file name”, a “name” indicating the content of an abnormality, and a “handling method” for each state detected by the state detection unit 2. To be done.

【0028】また、文書・図面ファイルは、図4に示す
ように、識別番号(「アラームID」)と「電子文書フ
ァイル」及び「電子図面ファイル」とを1対1に対応さ
せた「ファイルテーブル」を有する。後述のようにファ
イル検索を実行するとき、文書・図面表示制御部4は、
アラームIDをメインキーとして、それに対応する電子
文書ファイル又は電子図面ファイルを検索する。なお、
監視対象装置の機種、バージョン(型式)等をサブキー
として検索できるようにするため、これらの項目を「ア
ラームID」と対応させて付加した「ファイルテーブ
ル」を作成してもよい。
As shown in FIG. 4, the document / drawing file is a "file table" in which an identification number ("alarm ID") is associated with an "electronic document file" and an "electronic drawing file" in a one-to-one correspondence. Have. When executing a file search as described below, the document / drawing display control unit 4
Using the alarm ID as a main key, the electronic document file or electronic drawing file corresponding to the alarm ID is searched. In addition,
In order to search using the model, version (model), etc. of the monitored device as a subkey, a “file table” may be created by adding these items in correspondence with the “alarm ID”.

【0029】再び図1において、文書・図面表示制御部
4は、通信ネットワーク7を介して、監視対象装置1の
変更や改造に伴って内容が変更又は改変された後の情報
を含む文書・図面ファイルが格納された他の文書・図面
管理システム8とも接続される。この文書・図面管理シ
ステム8は、コンピュータのCPUで構成される文書・
図面管理部9とこれに付随したメモリ、ハードディスク
或いはCD−ROMで構成される記憶部10とを備えて
いる。
Referring again to FIG. 1, the document / drawing display control unit 4 includes, via the communication network 7, a document / drawing including information after the contents have been changed or modified due to the change or modification of the monitored device 1. It is also connected to another document / drawing management system 8 in which files are stored. This document / drawing management system 8 includes a document
The drawing management unit 9 and a storage unit 10 including a memory, a hard disk, or a CD-ROM attached to the drawing management unit 9 are provided.

【0030】この文書・図面管理システム8に対し、文
書・図面表示制御部4は、必要に応じて文書・図面管理
部9にファイル要求を送る。このファイル要求に応じ
て、文書・図面管理部9は、記憶部10に格納されてい
る文書・図面ファイルから必要な情報を検索し、取り出
した情報を、通信ネットワーク7を介して、文書・図面
表示制御部4に送る動作を実行する。
To the document / drawing management system 8, the document / drawing display control unit 4 sends a file request to the document / drawing management unit 9 as necessary. In response to the file request, the document / drawing management unit 9 searches the document / drawing file stored in the storage unit 10 for necessary information, and retrieves the retrieved information via the communication network 7 from the document / drawing file. The operation of sending to the display control unit 4 is executed.

【0031】なお、文書・図面検索表示システム3の標
準ローカル文書・図面ファイルのみで足りる場合には、
上記の文書・図面管理システム8に対するファイル要求
は不要であり、その意味で、文書・図面管理システム8
は、文書・図面検索表示システム3にとって補助的なも
のである。逆に、全てのファイルを記憶部10に持たせ
て、その中で検索する方法をとることも可能である。
If only the standard local document / drawing files of the document / drawing search / display system 3 are sufficient,
The file request to the document / drawing management system 8 is not necessary, and in that sense, the document / drawing management system 8 is not required.
Are auxiliary to the document / drawing search / display system 3. On the contrary, it is also possible to have all the files in the storage unit 10 and search them.

【0032】次に、図5は、監視対象装置1に異常が発
生した時の文書・図面検索表示システム3の動作の概略
を示すフローチャートであり、各ステップの〜は、
図1において矢印で示された動作に対応している。
Next, FIG. 5 is a flow chart showing the outline of the operation of the document / drawing search / display system 3 when an abnormality occurs in the monitored device 1.
This corresponds to the operation indicated by the arrow in FIG.

【0033】図5において、初めに、発生した異常状態
に対応したアラームIDその他アラームログファイルの
内容が、監視対象装置1から文書・図面表示制御部3へ
送信される(ステップST1)。文書・図面表示制御部
4は、送信されたアラームログファイルの内容に応じ
て、表示部5に図6に示すような「アラーム表示画面」
を表示させる(ST2)。この「アラーム表示画面」で
は、アラームの発生した箇所を示す文書部分(装置1の
部品名称など)を点滅させるか又は他と異なる色で表示
する。或いは、監視対象装置1の構成図を表示し、アラ
ームの発生した箇所を点滅又は異なる色で表示してもよ
い。
In FIG. 5, first, the alarm ID corresponding to the abnormal state that has occurred and the contents of the alarm log file are transmitted from the monitored device 1 to the document / drawing display control unit 3 (step ST1). The document / drawing display control unit 4 displays an “alarm display screen” as shown in FIG. 6 on the display unit 5 according to the content of the transmitted alarm log file.
Is displayed (ST2). On this "alarm display screen", the document portion (such as the component name of the device 1) indicating the location where the alarm is generated blinks or is displayed in a different color. Alternatively, the configuration diagram of the monitored device 1 may be displayed, and the location where the alarm has occurred may be displayed in a blinking or different color.

【0034】このような「アラーム表示画面」におい
て、オペレータは、異常状態に対処する方法を見出した
いとき、アラームの発生した箇所を特定する(例えば、
マウス等の入力操作手段を用いて画面内の点滅部分をク
リック操作して選択する)と、文書・図面表示制御部4
は、必要な文書・図面ファイルを「アラームID」によ
って特定する(ST3)。そして、記憶部6に格納され
ている文書・図面ファイルの探索を実行し(ST4)、
上記「アラームID」に対応した文書又は図面を取り出
して表示する(ST5)。
In such an "alarm display screen", when the operator wants to find a method for coping with an abnormal condition, he or she specifies the location where the alarm occurs (for example,
Click the blinking portion on the screen using an input operation means such as a mouse to select), and the document / drawing display control unit 4
Specifies the required document / drawing file by "alarm ID" (ST3). Then, the document / drawing file stored in the storage unit 6 is searched (ST4),
The document or drawing corresponding to the "alarm ID" is retrieved and displayed (ST5).

【0035】より具体的には、図6の「アラーム表示画
面」において、オペレータがアラームの発生した箇所を
特定し、「電子マニュアル」の部分を選択すると、図7
に示すような電子文書が表示され、「電子図面」の部分
を選択すると、図8に示すような電子図面(この例で
は、回路図)が表示される。これにより、アラームへの
対処方法を認識し、或いはアラームの発生した箇所の詳
細な構造を知って原因を究明することができる。
More specifically, on the "alarm display screen" of FIG. 6, when the operator specifies the location where the alarm is generated and selects the "electronic manual" portion, FIG.
When the electronic document as shown in FIG. 8 is displayed and the "electronic drawing" portion is selected, the electronic drawing (circuit diagram in this example) as shown in FIG. 8 is displayed. This makes it possible to recognize how to deal with the alarm, or to know the detailed structure of the location where the alarm has occurred to investigate the cause.

【0036】なお、文書・図面検索表示システム3は、
監視対象装置1に異常が発生した場合に限らず、使用者
が望む時はいつでも、所望の「電子文書」及び「電子図
面」を検索表示することができる。これは、図9に示す
ような「選択画面」が表示されている時、オペレータが
「電子マニュアル」の部分を選択すると、図10に示す
ような「電子文書」の画面を表示し、「電子図面」の部
分を選択すると、図11に示すような「電子図面」(こ
の例では、図8と同じ回路図)の画面を表示する動作を
文書・図面表示制御部4に実行させるプログラムによ
り、実現される。
The document / drawing search / display system 3 is
The desired “electronic document” and “electronic drawing” can be searched and displayed whenever the user desires, not only when an abnormality occurs in the monitored device 1. This is because when the operator selects the "electronic manual" portion while the "selection screen" as shown in FIG. 9 is displayed, the "electronic document" screen as shown in FIG. When the "drawing" portion is selected, the program for causing the document / drawing display control unit 4 to execute the operation of displaying the screen of the "electronic drawing" (in this example, the same circuit diagram as FIG. 8) as shown in FIG. Will be realized.

【0037】図12は、実施例の文書・図面検索表示シ
ステム3において、前述のように記憶部に格納された文
書・図面ファイルと、その中から特定された文書又は図
面を検索表示するための複数の動作プログラムとの関係
を示す概念図であり、図13〜図16は、以下で説明す
る動作プログラムによる処理手順を示すフローチャート
である。
FIG. 12 shows the document / drawing search / display system 3 of the embodiment for searching and displaying the document / drawing file stored in the storage unit as described above and the document or drawing specified from the file. It is a conceptual diagram which shows the relationship with a some operation program, and FIGS. 13-16 is a flowchart which shows the process procedure by the operation program demonstrated below.

【0038】アラーム表示プログラム 図13に示すように、文書・図面表示制御部4は、監視
対象装置1でアラーム信号が発生したか否かを判定し
(ステップST11)、“YES”であれば、そのアラ
ーム信号で特定されたアラームログファイルの内容を、
「アラーム表示画面」を表示する(ST12)。ここ
で、アラームログファイルは、前述(図2)のように、
予め設定したアラームID毎に所定の項目(例えば「ア
ラーム名称」)を記述した情報であり、アラーム発生時
には、図12に示すように、アラームIDで特定したア
ラームログファイルALi が文書・図面表示制御部3へ
送信される。
Alarm Display Program As shown in FIG. 13, the document / drawing display control unit 4 determines whether or not an alarm signal is generated in the monitored device 1 (step ST11). If “YES”, The contents of the alarm log file identified by the alarm signal are
The "alarm display screen" is displayed (ST12). Here, the alarm log file is, as described above (Fig. 2),
This is information in which a predetermined item (for example, "alarm name") is described for each preset alarm ID, and when an alarm occurs, as shown in FIG. 12, the alarm log file AL i specified by the alarm ID displays a document / drawing. It is transmitted to the control unit 3.

【0039】文書・図面表示制御部4は、アラームID
によって特定されたアラーム内容を識別し(ST1
3)、その内容に対応した「アラーム表示画面」上の項
目部分を点滅(或いは他と異なる色で表示)する(ST
14)。
The document / drawing display control unit 4 uses the alarm ID
The alarm content specified by is identified (ST1
3), the item portion on the "alarm display screen" corresponding to the content blinks (or is displayed in a different color) (ST)
14).

【0040】ここで、オペレータからの選択入力の有無
を判定し(ステップST15)、“NO”であれば、ア
ラーム識別(ST13)及びアラーム項目の点滅(ST
15)を繰り返し、オペレータからの選択入力がある
と、文書・図面(図面を含む)検索動作を実行する(S
T16)。この文書・図面検索動作については、後で図
14を参照して説明する。
Here, it is judged whether or not there is a selection input from the operator (step ST15), and if "NO", alarm identification (ST13) and alarm item blinking (ST).
15) is repeated, and when there is a selection input from the operator, a document / drawing (including drawing) search operation is executed (S
T16). This document / drawing search operation will be described later with reference to FIG.

【0041】次に、文書・図面表示制御部4は、検索さ
れた文書・図面を表示する動作を実行する(ステップS
T17)。この文書・図面表示動作は、文書情報を表示
する「電子文書」表示と図面を表示する「電子図面」表
示とに分けられる。前者については図15、後者につい
ては図16をそれぞれ参照して、後述する。
Next, the document / drawing display control unit 4 executes an operation of displaying the retrieved document / drawing (step S).
T17). This document / drawing display operation is divided into an "electronic document" display for displaying document information and an "electronic drawing" display for displaying a drawing. The former will be described later with reference to FIG. 15 and the latter with reference to FIG.

【0042】最後に、以上の動作を終了するか否かを判
定する(ST18)。この判定は、文書・図面ファイル
表示画面においてオペレータが「終了」を選択したとき
“YES”となり、以上の動作を終了する。一方、“N
O”であれば、上記アラーム識別(ST13)以下の動
作を繰り返す。
Finally, it is determined whether or not to end the above operation (ST18). This determination is "YES" when the operator selects "end" on the document / drawing file display screen, and the above operation is finished. On the other hand, "N
If it is "O", the operation after the above-mentioned alarm identification (ST13) is repeated.

【0043】文書・図面検索プログラム 図14に示すように、文書・図面表示制御部4は、アラ
ームIDを確認し(ST21)、確認したアラームID
をキーとして、記憶部6に格納されている「ファイルテ
ーブル」を参照し、該当する文書・図面ファイルを検索
(サーチ)する(ST22)。ここで、ファイルテーブ
ルは、前述(図4)のように、少なくとも各アラームI
Dに対応した「文書ファイル名」「図面ファイル名」と
を記述したテーブルであり、これを参照することによ
り、アラームIDで特定した文書ファイル名と図面ファ
イル名がわかる(ST23)。なお、アラームIDの確
認により、記憶部6には該当する文書・図面ファイルが
ないことがわかった時、或いは予めわかっている時に
は、文書・図面表示制御部4は文書・図面管理部9にフ
ァイル要求を送り、文書・図面管理部9で、記憶部10
に格納されている文書・図面ファイルを検索し、取り出
した情報を文書・図面表示制御部4に送る。
Document / Drawing Retrieval Program As shown in FIG. 14, the document / drawing display control unit 4 confirms the alarm ID (ST21), and confirms the alarm ID.
With the key as a key, the "file table" stored in the storage unit 6 is referred to and the corresponding document / drawing file is searched (ST22). Here, the file table has at least each alarm I as described above (FIG. 4).
It is a table in which "document file name" and "drawing file name" corresponding to D are described. By referring to this table, the document file name and drawing file name specified by the alarm ID can be known (ST23). If it is found by checking the alarm ID that the corresponding document / drawing file does not exist in the storage unit 6, or if it is known in advance, the document / drawing display control unit 4 sends the file to the document / drawing management unit 9. The request is sent, and the document / drawing management unit 9 stores the storage unit 10
The document / drawing file stored in is searched, and the extracted information is sent to the document / drawing display control unit 4.

【0044】文書・図面表示制御部4は、上記の検索動
作により、図12に示すように、複数の電子文書ファイ
ルD1 ,D2 ,D3 ,・・・・・ からアラームIDで特定し
た文書ファイルDi 、複数の電子図面ファイルF1 ,F
2 ,F3 ,・・・・・ からアラームIDで特定した図面ファ
イルFi 、或いは他のコンピュータによる文書・図面管
理システム8に格納されている文書・図面ファイルE
1 ,E2 ,E3 ,・・・・・から特定の文書・図面ファイル
を、それぞれ取り出すことができる。
As shown in FIG. 12, the document / drawing display control unit 4 specifies the alarm ID from a plurality of electronic document files D 1 , D 2 , D 3 ,. Document file D i , multiple electronic drawing files F 1 , F
2 , F 3 , ... Drawing file F i specified by the alarm ID, or document / drawing file E stored in the document / drawing management system 8 by another computer.
Specific document / drawing files can be retrieved from 1 , E 2 , E 3 ,.

【0045】電子文書表示プログラム 図15に示すように、文書・図面表示制御部4は、上記
の文書・図面検索動作で取り出した文書・図面ファイル
のうちの文書ファイル(アラーム文書情報)を表示する
(ST31)。これは、表示部5に前述(図7)の「電
子文書」画面を表示する動作である。この画面におい
て、オペレータが「終了」を選択したかどうかにより終
了を判定し(ST32)、“YES”であれば以上の動
作を終了する。一方、“NO”であれば、次に他の文書
・図面(文書情報)へのリンク(オペレータの選択)の
有無を判定し(ST33)、“NO”であれば「終了」
操作を待ち、“YES”のとき、アラーム文書情報の表
示(ST31)に戻って以下の動作を繰り返す。
Electronic Document Display Program As shown in FIG. 15, the document / drawing display control unit 4 displays the document file (alarm document information) of the documents / drawing files retrieved by the document / drawing search operation described above. (ST31). This is an operation of displaying the aforementioned "electronic document" screen on the display unit 5 (FIG. 7). On this screen, the end is judged depending on whether or not the operator selects "end" (ST32), and if "YES", the above operation is ended. On the other hand, if "NO", then it is determined whether or not there is a link (selection by the operator) to another document / drawing (document information) (ST33), and if "NO", "end".
When the operation is awaited and “YES”, the process returns to the alarm document information display (ST31) and the following operations are repeated.

【0046】電子図面表示プログラム 図16に示すように、文書・図面表示制御部4は、上記
の文書・図面検索動作で取り出した文書・図面ファイル
のうちの図面ファイル(アラーム図面)を表示する(S
T41)。これは、表示部5に前述(図8)の「電子図
面」画面を表示する動作である。この画面において、オ
ペレータが「終了」を選択したかどうかにより終了を判
定し(ST42)、“YES”であれば以上の動作を終
了する。一方、“NO”であれば、図面の拡大、縮小又
は移動の指示(オペレータの選択)の有無を判定し(S
T43)、“NO”であれば「終了」操作を待ち、“Y
ES”のとき、指示された拡大、縮小又は移動の処理を
実行し(ST44)、その後図面の表示(ST31)に
戻って以下の動作を繰り返す。
Electronic Drawing Display Program As shown in FIG. 16, the document / drawing display control unit 4 displays a drawing file (alarm drawing) of the documents / drawing files retrieved by the above-described document / drawing search operation ( S
T41). This is an operation of displaying the aforementioned "electronic drawing" screen on the display unit 5 (FIG. 8). On this screen, the end is judged depending on whether the operator selects "end" (ST42), and if "YES", the above operation is ended. On the other hand, if “NO”, it is determined whether or not there is an instruction to enlarge, reduce, or move the drawing (operator's selection) (S
T43), if “NO”, wait for “End” operation, then “Y”
In the case of "ES", the instructed enlargement, reduction or movement process is executed (ST44), and then the process returns to the drawing display (ST31) to repeat the following operations.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施例の文書・図面検索表示システムの構成を
示す図。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a document / drawing search / display system according to an embodiment.

【図2】監視対象の異常状態に関する情報を含むアラー
ムログファイルの例を示す図。
FIG. 2 is a diagram showing an example of an alarm log file including information on an abnormal state of a monitoring target.

【図3】監視対象の異常状態に対応する文書情報を含む
アラーム文書ファイルの例を示す図。
FIG. 3 is a diagram showing an example of an alarm document file including document information corresponding to an abnormal state of a monitoring target.

【図4】アラームIDと文書・図面ファイルとの対応を
示すファイルテーブルを示す図。
FIG. 4 is a diagram showing a file table showing correspondence between alarm IDs and document / drawing files.

【図5】監視対象に異常が発生した時の文書・図面検索
表示システムの動作の概略を示すフローチャート。
FIG. 5 is a flowchart showing an outline of the operation of the document / drawing search / display system when an abnormality occurs in a monitoring target.

【図6】「アラーム表示画面」の例を示す図。FIG. 6 is a diagram showing an example of an “alarm display screen”.

【図7】「電子文書画面」の例を示す図。FIG. 7 is a diagram showing an example of an “electronic document screen”.

【図8】「電子図面画面」の例を示す図。FIG. 8 is a diagram showing an example of an “electronic drawing screen”.

【図9】「選択画面」の例を示す図。FIG. 9 is a diagram showing an example of a “selection screen”.

【図10】図9の「選択画面」において「電子マニュア
ル」の部分を選択したときに表示される「電子文書画
面」の例を示す図。
10 is a diagram showing an example of an "electronic document screen" displayed when the "electronic manual" portion is selected on the "selection screen" in FIG.

【図11】図9の「選択画面」において「電子図面」の
部分を選択したときに表示される「電子図面画面」の例
を示す図。
FIG. 11 is a diagram showing an example of an “electronic drawing screen” displayed when the “electronic drawing” portion is selected on the “selection screen” in FIG. 9;

【図12】実施例の文書・図面検索表示システムの記憶
部に格納された文書・図面ファイルと、その中から特定
された文書及び図面を検索表示するための複数の動作プ
ログラムとの関係を示す概念図。
FIG. 12 shows a relationship between a document / drawing file stored in a storage unit of the document / drawing search / display system according to the embodiment and a plurality of operation programs for searching and displaying a document and a drawing specified therein. Conceptual diagram.

【図13】アラーム表示プログラムの処理手順を示すフ
ローチャート。
FIG. 13 is a flowchart showing a processing procedure of an alarm display program.

【図14】文書・図面検索プログラムの処理手順を示す
フローチャート。
FIG. 14 is a flowchart showing a processing procedure of a document / drawing search program.

【図15】電子文書表示プログラムの処理手順を示すフ
ローチャート。
FIG. 15 is a flowchart showing a processing procedure of an electronic document display program.

【図16】電子図面表示プログラムの処理手順を示すフ
ローチャート。
FIG. 16 is a flowchart showing a processing procedure of an electronic drawing display program.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…監視対象装置、2…状態検出部、3…文書・図面検
索表示システム、4…文書・図面表示制御部、5…表示
部、6…記憶部、7…通信ネットワーク、8…文書・図
面管理システム、9…文書・図面管理部、10…記憶
部。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Monitored device, 2 ... State detection part, 3 ... Document / drawing search display system, 4 ... Document / drawing display control part, 5 ... Display part, 6 ... Storage part, 7 ... Communication network, 8 ... Document / drawing Management system, 9 ... Document / drawing management unit, 10 ... Storage unit.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】監視対象に関する情報を表わす複数の文書
及び図面をそれぞれ文書・図面ファイルとして格納する
文書・図面ファイル格納手段と、 前記文書・図面ファイルの内容を画面に表示する表示手
段と、 前記文書・図面ファイルの中から特定の文書又は図面を
指定する指令信号に応じて、当該文書又は図面の検索を
行い、その文書又は図面の情報を前記表示手段に表示さ
せる文書・図面表示制御手段とを備えたことを特徴とす
る文書・図面検索表示システム。
1. A document / drawing file storage unit that stores a plurality of documents and drawings that represent information about a monitoring target as a document / drawing file, and a display unit that displays the contents of the document / drawing file on a screen. A document / drawing display control means for searching the document / drawing according to a command signal designating a specific document / drawing from the document / drawing file and displaying the information of the document / drawing on the display means; A document / drawing search and display system characterized by being equipped with.
【請求項2】請求項1の文書・図面検索表示システムに
おいて、前記指令信号は、前記監視対象の状態検出手段
により検出された状態に対応する識別番号を含み、前記
文書・図面ファイルは、前記識別番号とこれに対応する
文書及び図面とを含み、前記文書・図面表示制御手段
は、前記識別番号に基づいて前記文書又は図面の検索を
実行するように構成されている文書・図面検索表示シス
テム。
2. The document / drawing search / display system according to claim 1, wherein the command signal includes an identification number corresponding to a state detected by the state detecting means of the monitoring target, and the document / drawing file is the A document / drawing search / display system including an identification number and a document / drawing corresponding to the identification number, wherein the document / drawing display control means is configured to execute a search for the document or drawing based on the identification number. .
【請求項3】請求項2の文書・図面検索表示システムに
おいて、前記指令信号は前記監視対象の異常状態を示す
アラーム信号であり、前記文書・図面表示制御手段は、
前記識別番号により特定された異常状態をアラーム表示
画面として前記表示手段に表示させ、該アラーム表示画
面に表示された異常状態を指定する入力に応じて、その
異常状態への対処方法を記述した文書或いはその異常が
発生した箇所の構成を示す図面を前記表示手段に表示さ
せるように構成されている文書・図面検索表示システ
ム。
3. The document / drawing display system according to claim 2, wherein the command signal is an alarm signal indicating an abnormal state of the monitoring target, and the document / drawing display control means is
A document in which the abnormal state specified by the identification number is displayed on the display means as an alarm display screen, and a method for coping with the abnormal state is described in response to an input indicating the abnormal state displayed on the alarm display screen. Alternatively, a document / drawing search / display system configured to display a drawing showing a configuration of a portion where the abnormality has occurred on the display means.
【請求項4】請求項1の文書・図面検索表示システムに
おいて、前記指令信号はオペレータによって選択された
文書又は図面を指定する信号であり、前記文書・図面表
示制御手段は、その信号で指定された文書又は図面の検
索を実行するように構成されている文書・図面検索表示
システム。
4. The document / drawing search / display system according to claim 1, wherein the command signal is a signal designating a document or drawing selected by an operator, and the document / drawing display control means is designated by the signal. Document / drawing search and display system configured to perform a search for a document or drawing.
【請求項5】請求項1乃至4のいずれかの文書・図面検
索表示システムにおいて、前記文書・図面ファイル格納
手段は、前記文書・図面表示制御手段に付随的に設けら
れた記憶部である文書・図面検索表示システム。
5. The document / drawing search / display system according to claim 1, wherein the document / drawing file storage means is a storage unit provided as an accessory to the document / drawing display control means.・ Drawing search display system.
【請求項6】請求項1乃至5のいずれかの文書・図面検
索表示システムにおいて、前記文書・図面ファイル格納
手段は、前記文書・図面表示制御手段に付随して設けら
れ、前記監視対象に関する情報を格納した第1の記憶部
と、前記文書・図面表示制御手段と通信手段を介して接
続される文書・図面管理手段に付随して設けられ、前記
監視対象の変更や改造に伴って前記第1の記憶部に格納
されている情報の内容が変更又は改変された場合にその
変更又は改変後の情報が格納される第2の記憶部とで構
成されている文書・図面検索表示システム。
6. The document / drawing search / display system according to claim 1, wherein the document / drawing file storage means is provided in association with the document / drawing display control means, and is related to the information to be monitored. And a document / drawing management unit connected to the document / drawing display control unit through a communication unit, the first storage unit storing the A document / drawing search / display system including a second storage unit that stores information after the change or modification when the content of the information stored in the first storage unit is changed or modified.
【請求項7】請求項1乃至6のいずれかの文書・図面検
索表示システムにおいて、前記監視対象は半導体又は液
晶製造装置であり、前記文書及び図面は当該半導体又は
液晶製造装置の構造、取扱い、部品名称等の記述及び装
置全体或いは部品の回路図である文書・図面検索表示シ
ステム。
7. The document / drawing search / display system according to claim 1, wherein the monitoring target is a semiconductor or liquid crystal manufacturing apparatus, and the document and the drawing are structures, handlings, or the like of the semiconductor or liquid crystal manufacturing apparatus. A document / drawing search and display system that is a description such as a part name and a circuit diagram of the entire device or parts.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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