JPH09101820A - Automated guided vehicle traveling control system - Google Patents

Automated guided vehicle traveling control system

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JPH09101820A
JPH09101820A JP28674695A JP28674695A JPH09101820A JP H09101820 A JPH09101820 A JP H09101820A JP 28674695 A JP28674695 A JP 28674695A JP 28674695 A JP28674695 A JP 28674695A JP H09101820 A JPH09101820 A JP H09101820A
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JP
Japan
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route
stop point
stop
agv
point
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Hiroto Nakamura
裕人 仲村
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NEC Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To remove useless low speed traveling and to shorten traveling time by selectively setting up a route arriving at a destination by the minimum number of stop points omitting stop points selected for an automatic guided vehicle. SOLUTION: When the availability of entry into a stop point H 33 is judged before arrival at a deceleration start point H 39, an automated guided vehicle AGV traveling on a route G 47 passes a stop point G 32 without decelerating its traveling. When the disablement of entry is judged, the AGV gradually decelerates its traveling from the point H 39. When the availability of entery into the point H 33 is judged before arrival at the stop point G 32, the AGV accelerates its traveling and passes the stop point G 32. Since traveling control from start from a stop point E 30 up to arrival at the stop point H 33 selects a route G 47 skipping a stop point F 31 near and the stop point G 32, the AGV practically travels on a route excluding the stop point F 31.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は無人搬送車走行制御
システムに関し、特に半導体基板(以下「ウェハ」とい
う)を収納したキャリアを自動保管棚(以下「ストッ
カ」という)からプロセス装置に供給、またはプロセス
装置からストッカへ回収する無人搬送車(以下「AG
V」という)を用いた工程内搬送システムに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic guided vehicle traveling control system, and more particularly to a method for supplying a carrier containing semiconductor substrates (hereinafter, referred to as "wafers") from an automatic storage shelf (hereinafter, referred to as "stocker") to a process apparatus, or Automated guided vehicles (hereinafter referred to as “AG”) that collect from process equipment to stockers
V ").

【0002】[0002]

【従来の技術】ウェハの製造工程においては、様々なプ
ロセス処理が必要とされ、このため工程順に何らかの手
段でウェハを移動させなければならない。
2. Description of the Related Art Various processes are required in a wafer manufacturing process. For this reason, the wafer must be moved by some means in the order of the processes.

【0003】半導体製造工場におけるクリーンルームで
は、一般的に複数の小部屋(以下「ベイ」という)が設
けられており、各ベイにそれぞれのプロセス装置が設置
されている。このベイ内すなわち工程内での搬送を自動
で行うためのシステムが工程内搬送システムである。
[0003] In a clean room in a semiconductor manufacturing plant, a plurality of small rooms (hereinafter referred to as "bays") are generally provided, and respective process devices are installed in each bay. The in-process transfer system is a system for automatically performing transfer in the bay, that is, in the process.

【0004】工程内搬送システムはAGVによりウェハ
を収納したキャリアをストッカからプロセス装置に供給
し、あるいはプロセス装置からストッカへ回収する方法
が主流である。
In the in-process transfer system, a method of supplying a carrier accommodating a wafer by an AGV from a stocker to a process device or collecting the carrier from the process device to the stocker is mainly used.

【0005】そして、AGVの走行ガイドとしては、従
来、軌道レールを床に据付ける方式の他に、電磁、磁
気、光学等を利用した誘導方式が用いられている。前者
の方式は「有軌道式」と呼ばれ、後者は「無軌道式」と
呼ばれている。
Conventionally, as a traveling guide of the AGV, in addition to a method of mounting a track rail on a floor, an induction method using electromagnetic, magnetic, optical, or the like is used. The former method is called "tracked type", and the latter is called "trackless type".

【0006】この無軌道式に関しても、物理的な誘導体
を床上に貼付ける、または床下に埋設する必要がある。
このため、床上又は床下の物理的な誘導体を全く用いる
ことがない、AGV画像認識方式へと移行してきてい
る。
[0006] Also for this trackless type, it is necessary to stick a physical derivative on the floor or bury it under the floor.
For this reason, there has been a shift to an AGV image recognition system that does not use any physical derivative above or below the floor.

【0007】図5は、従来の工程内搬送システム(AG
V画像認識方式)の構成を示す図である。
FIG. 5 shows a conventional in-process transfer system (AG).
FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of a V-image recognition method.

【0008】図5を参照して、工程内搬送システムは、
上位にホストコンピュータ(1)を備えシステム全体を
統括している搬送コントローラ(2)の下位には、ベイ
の天井に一定間隔毎に複数個取付けられる通信ユニット
(3)とCCDカメラ(4)、床上に設置される充電器
盤(5)と、2台程度の充電ステーション(6、
6′)、床上を移動する複数台のAGV(7,…,
7′)、が設けられて構成されている。
Referring to FIG. 5, the in-process transfer system comprises:
Below the transport controller (2), which has a host computer (1) at the top and controls the whole system, at the bottom, a plurality of communication units (3) and CCD cameras (4) which are mounted on the ceiling of the bay at regular intervals, A charger panel (5) installed on the floor and about two charging stations (6,
6 '), a plurality of AGVs (7, ...,
7 ') are provided.

【0009】搬送コントローラ(2)は、上位のホスト
コンピュータ(1)からの搬送要求により通信ユニット
(3)を介してAGV(7)に搭載された通信器(不図
示)と赤外線通信を行い、搬送指示を出す。この際、搬
送コントローラ(2)は、AGV(7)の停止時もしく
は走行時の位置を、CCDカメラ(4)によりAGV
(7)が発する赤外線を画像認識することにより把握し
ている。
The transfer controller (2) performs infrared communication with a communication device (not shown) mounted on the AGV (7) via the communication unit (3) in response to a transfer request from the host computer (1). Issue a transfer instruction. At this time, the transport controller (2) uses the CCD camera (4) to determine the position of the AGV (7) when it is stopped or running.
The infrared rays emitted by (7) are recognized by image recognition.

【0010】また、AGV(7)は、内部バッテリの電
圧が一定値以下に低下すると、充電器盤(5)に接続さ
れている充電ステーション(6)にて急速充電を行う。
When the voltage of the internal battery drops below a certain value, the AGV (7) performs rapid charging at the charging station (6) connected to the charger panel (5).

【0011】図6は、従来の工程内搬送システムにおけ
るベイのレイアウト図である。
FIG. 6 is a layout diagram of bays in a conventional in-process transfer system.

【0012】図6を参照して、ベイ100の周囲には、2
台の充電ステーション(6-1、6-2)、7台のプロセス装
置(8-1〜8-7)、2台のストッカ(9-1、9-2)が設置さ
れている。
Referring to FIG. 6, around bay 100,
Two charging stations (6-1, 6-2), seven process devices (8-1 to 8-7), and two stockers (9-1, 9-2) are installed.

【0013】ベイ100内に投入された5台のAGV(7-1
〜7-5)(「AGV7」ともいう)は、経路(10)上
を走行する。
The five AGVs (7-1
77-5) (also referred to as “AGV7”) travels on the route (10).

【0014】この経路(10)はAGV(7)が走行す
る道(行程)を示したもので、ベイレイアウトにおいて
物理的な誘導体は用いていない。
This route (10) shows the route (stroke) on which the AGV (7) travels, and no physical derivative is used in the bay layout.

【0015】AGV(7)は、搬送コントローラ(2)
(図5参照)に実装された走行制御ソフトウェアにより
設定された停止ポイント(11)(図中「●」で示す)
にて停止すること、及びルート(12)を走行すること
が可能である。
The AGV (7) is a transport controller (2)
Stop point (11) set by the cruise control software implemented in (see FIG. 5) (indicated by "●" in the figure)
It is possible to stop at and to travel on the route (12).

【0016】もちろん、停止ポイント(11)とルート
(12)も物理的には存在しない(すなわち例えばルー
ト(12)に対応して物理的に誘導体等が敷設されてい
るわけではない)。
Of course, the stop point (11) and the route (12) do not physically exist (ie, for example, a derivative or the like is not physically laid in correspondence with the route (12)).

【0017】また、図6に示すルート(12)の曲線
(弧)は、実際のAGV(7)の走行が曲線を描くとい
うことを意味するものではなく、個々に設定されている
ということを示しているもので、実際上にはあくまで
も、AGV(7)は、図中2点鎖線で示した経路(1
0)上を走行する。
Further, the curve (arc) of the route (12) shown in FIG. 6 does not mean that the actual running of the AGV (7) draws a curve, but that it is set individually. In practice, the AGV (7) is used only for the route (1) indicated by the two-dot chain line in the figure.
0) Run on top.

【0018】図7は、従来の工程内搬送システムにおけ
る走行制御条件の設定の様子を模式的に説明するための
図(「走行制御条件設定図」という)である。AGV
は、搬送コントローラ(2)の走行制御ソフトウェアに
て設定された条件に基づき、搬送コントローラからの搬
送指示にて走行する。
FIG. 7 is a diagram (referred to as a "travel control condition setting diagram") for schematically explaining the setting of travel control conditions in a conventional in-process transfer system. AGV
Travels according to a transport instruction from the transport controller based on the conditions set by the travel control software of the transport controller (2).

【0019】図7を参照して、走行制御ソフトウェアに
て停止ポイントA(13)、停止ポイントB(14)、
停止ポイントC(15)、停止ポイントD(16)が設
定されており、AGVはこれらで停止することが可能で
ある。
Referring to FIG. 7, stop point A (13), stop point B (14),
A stop point C (15) and a stop point D (16) are set, and the AGV can stop at these points.

【0020】各停止ポイントでの停止の際のAGVの軌
跡は、それぞれAGV軌跡A(17)、AGV軌跡B
(18)、AGV軌跡C(19)、AGV軌跡D(2
0)となる。
The trajectory of the AGV when stopping at each stop point is represented by an AGV trajectory A (17) and an AGV trajectory B, respectively.
(18), AGV locus C (19), AGV locus D (2
0).

【0021】停止ポイントA(13)から停止ポイント
D(16)方向に走行してきたAGVが、停止ポイント
B(14)に停止するときには、停止するための減速を
減速開始ポイントA(21)から開始する。
When the AGV traveling in the direction from the stop point A (13) to the stop point D (16) stops at the stop point B (14), deceleration for stopping is started from the deceleration start point A (21). I do.

【0022】同様にして、AGVが停止ポイントC(1
5)に停止するときは停止するための減速を減速開始ポ
イントB(22)から開始し、停止ポイントD(16)
に停止するときには減速開始ポイントC(23)とな
る。
Similarly, the AGV sets the stop point C (1
When stopping at 5), deceleration for stopping is started from a deceleration start point B (22), and a stop point D (16).
When the vehicle stops at the point C, the deceleration start point C (23) is reached.

【0023】反対に、停止ポイントD(16)から停止
ポイントA(13)方向に走行してきたAGVが、停止
ポイントC(15)に停止するときには、停止するため
の減速を減速開始ポイントD(24)から開始する。
Conversely, when the AGV traveling from the stop point D (16) in the direction of the stop point A (13) stops at the stop point C (15), the deceleration for stopping is reduced to the deceleration start point D (24). ) To start with.

【0024】同様にして、AGVが、停止ポイントB
(14)に停止するときは停止するための減速を減速開
始ポイントE(25)から開始し、停止ポイントA(1
3)に停止するときには減速開始ポイントF(26)と
なる。
Similarly, the AGV determines that the stop point B
When stopping at (14), deceleration for stopping is started from the deceleration start point E (25), and the stop point A (1).
When the vehicle stops at 3), the deceleration start point F (26) is reached.

【0025】また、AGVが走行する経路(10)上に
おいて、走行制御ソフトウェアにてルートA(27)、
ルートB(28)、ルートC(29)が設定されてい
る。これらは走行制御ソフトにおけるAGVの走行が可
能なパターンを示しており、例えば、ルートA(27)
は停止ポイントA(13)から停止ポイントB(1
4)、停止ポイントB(14)から停止ポイントA(1
3)の双方向の走行が可能であることを意味している。
On the route (10) on which the AGV travels, route A (27),
Route B (28) and route C (29) are set. These show patterns in which travel of the AGV is possible in the travel control software. For example, route A (27)
Is from stop point A (13) to stop point B (1
4), stop point B (14) to stop point A (1
This means that bidirectional traveling of 3) is possible.

【0026】図8及び図9は、従来の工程内搬送システ
ムの走行制御の流れを示すフローチャートである。図8
及び図9は、単に図面作成の都合で分図されたものであ
る。
8 and 9 are flow charts showing the flow of travel control of the conventional in-process transfer system. FIG.
9 and FIG. 9 are merely separated for the sake of drawing convenience.

【0027】図8及び図9は、図7において、AGVが
停止ポイントA(13)から発進して停止ポイントD
(16)に到着するまでの、搬送コントローラ(2)
(図5参照)の走行制御の流れを示している。
FIGS. 8 and 9 show that in FIG. 7, the AGV starts from the stop point A (13) and stops at the stop point D.
Transport controller (2) until arrival at (16)
6 shows the flow of traveling control (see FIG. 5).

【0028】走行制御として、基本的に、AGVが発進
するときは、現在位置から1つ先の停止ポイントに他の
AGVが待機していないか、またはすでに進入がスケジ
ューリングされていないかを確認する。そして、AGV
の進入が可能であると判定されてから発進する。
Basically, when the AGV starts moving, it is checked whether another AGV is not waiting at the stop point one point ahead of the current position or the approach has already been scheduled. . And AGV
The vehicle starts after it is determined that the vehicle can enter.

【0029】また、AGVが走行中のときには、現在位
置から2つ先の停止ポイントの状態を確認して、同様に
AGVの進入が可能であると判定されてから、1つ先の
停止ポイントを通過する。
When the AGV is running, the state of the stop point two points ahead of the current position is confirmed, and after it is determined that the AGV can enter the vehicle, the stop point of the next point is changed. pass.

【0030】これらは、進入が可能であると判定されて
いない停止ポイントにAGVが進入すると、他のAGV
との接触事故が発生する恐れがあるためである。
When the AGV enters a stop point for which it is not determined that entry is possible, another AGV
This is because there is a risk that a contact accident may occur.

【0031】この際、AGVの現在位置からいくつ先の
停止ポイントの状態を確認するかは、システムの規模や
運用によっても異なるので、ここでは前述のとおりとす
る。
At this time, the number of stop points to be confirmed from the current position of the AGV differs depending on the scale and operation of the system.

【0032】図7及び図8を参照して、停止ポイントA
(13)にて待機しているAGVは、停止ポイントB
(14)に進入が可能であると判定された場合(ステッ
プF−1)、ルートA(27)により停止ポイントA
(13)から発進する(ステップF−2)。
Referring to FIGS. 7 and 8, stop point A
The AGV waiting at (13) has a stop point B.
If it is determined that entry is possible at (14) (step F-1), the stop point A is determined by the route A (27).
Start from (13) (step F-2).

【0033】進入が可能であると判定されない場合(ス
テップF−1の判定でNO分岐参照)には、AGVは停
止ポイントA(13)にて待機する。
If it is not determined that entry is possible (see the NO branch in the determination of step F-1), the AGV waits at the stop point A (13).

【0034】ルートA(27)を走行中のAGVは、減
速開始ポイントA(21)に到達する前に、停止ポイン
トC(15)への進入が可能であると判定された場合
(ステップF−3)、減速することなく停止ポイントB
(14)を通過する(ステップF−4)。
When it is determined that the AGV traveling on route A (27) can enter stop point C (15) before reaching deceleration start point A (21) (step F-). 3) Stop point B without deceleration
It passes through (14) (step F-4).

【0035】進入が可能であると判定されなかった場合
(ステップF−3でNO分岐参照)には、減速開始ポイ
ントA(21)から減速して徐行する(ステップF−
5)。
If it is not determined that entry is possible (see the NO branch in step F-3), the vehicle decelerates from the deceleration start point A (21) and moves down slowly (step F-).
5).

【0036】ルートA(27)を徐行中のAGVは、停
止ポイントB(14)に到達する前に、停止ポイントC
(15)への進入が可能であると判定された場合(ステ
ップF−6)、加速して停止ポイントB(14)を通過
する(ステップF−7)。
The AGV traveling slowly along the route A (27) moves to the stop point C before reaching the stop point B (14).
When it is determined that entry into (15) is possible (step F-6), the vehicle accelerates and passes the stop point B (14) (step F-7).

【0037】進入が可能であると判定されなかった場合
(ステップF−6でNO分岐参照)には、停止ポイント
B(14)で待機する(ステップF−8)。
If it is not determined that entry is possible (see the NO branch in step F-6), the process stands by at the stop point B (14) (step F-8).

【0038】停止ポイントB(14)で待機しているA
GVは、停止ポイントC(15)への進入が可能である
と判定された場合(ステップF−9)、停止ポイントB
(14)から発進する(ステップF−10)。進入が可
能であると判定されなかった場合(ステップF−9のN
O分岐参照)には、停止ポイントB(14)に待機のま
まである。
A waiting at stop point B (14)
If the GV determines that the vehicle can enter the stop point C (15) (step F-9), the stop point B
Start from (14) (step F-10). If it is not determined that entry is possible (N in step F-9)
(See O branch), and remains at the stop point B (14).

【0039】ルートB(28)を走行中のAGVは、停
止ポイントB(14)を通過した直後に減速して徐行す
る(図9のステップF−11参照)。この徐行は停止ポ
イントB(14)より手前に減速開始ポイントB(2
2)があることにより発生するもので、停止ポイント間
が非常に接近している場合には必然的に避けられないこ
とになる。
The AGV running on the route B (28) decelerates slowly after passing the stop point B (14) (see step F-11 in FIG. 9). This slowdown is performed before the deceleration start point B (2) before the stop point B (14).
This is caused by the presence of 2), and is inevitably inevitable when the stop points are very close.

【0040】ルートB(28)を徐行中のAGVは、停
止ポイントC(15)に到達する前に停止ポイントD
(16)への進入が可能であると判定された場合(ステ
ップF−12)、加速して停止ポイントC(15)を通
過する(ステップF−13)。進入が可能であると判定
されなかった場合(ステップF−12のNO分岐参照)
には、停止ポイントC(15)で待機する(ステップF
−14)。
The AGV traveling slowly along the route B (28) reaches the stop point D before reaching the stop point C (15).
When it is determined that entry into (16) is possible (step F-12), the vehicle accelerates and passes the stop point C (15) (step F-13). When it is not determined that entry is possible (see NO branch of step F-12)
Waits at the stop point C (15) (step F).
-14).

【0041】停止ポイントC(15)で待機しているA
GVは、停止ポイントD(16)への進入が可能である
と判定された場合(ステップF−15)、停止ポイント
C(15)から発進する(ステップF−16)。進入が
可能であると判定されなかった場合(ステップF−15
のNO分岐参照)には、AGVは停止ポイントC(1
5)に待機したままである。
A waiting at stop point C (15)
If it is determined that the GV can enter the stop point D (16) (step F-15), the GV starts from the stop point C (15) (step F-16). If it is not determined that entry is possible (step F-15)
AGV is at stop point C (1
5).

【0042】ルートC(29)を走行中のAGVは、停
止ポイントD(16)に到着して停止する(ステップF
−17)。
The AGV running on route C (29) arrives at stop point D (16) and stops (step F).
-17).

【0043】従って、他のAGVに進路を塞がれたとき
や発進と到着のときの必要最低限の加減速を除いても、
AGVは停止ポイントA(13)から停止ポイントB
(14)まで、及び停止ポイントC(15)から停止ポ
イントD(16)まではすべて高速走行であるが、停止
ポイントB(14)から停止ポイントC(15)まで
は、本来、無意味な減速、徐行、及び加速動作を行なう
ため、低速走行となる。
Therefore, even if the minimum acceleration / deceleration required when the path is blocked by another AGV or when starting and arriving is excluded,
AGV is from stop point A (13) to stop point B
(14) and from the stop point C (15) to the stop point D (16) are all high-speed running, but from the stop point B (14) to the stop point C (15), there is originally meaningless deceleration. , Slowing down, and accelerating are performed, so the vehicle runs at low speed.

【0044】反対に、AGVが停止ポイントD(16)
から発進して停止ポイントA(13)に到着するまでの
搬送コントローラの走行制御についても、前述と全く同
様である。
On the other hand, AGV becomes the stop point D (16)
The travel control of the transport controller from the start to the stop point A (13) is exactly the same as described above.

【0045】[0045]

【発明が解決しようとする課題】上記したように従来の
工程内搬送システムにおける走行制御においては、AG
Vは経路上の停止ポイントに他のAGVが待機していな
いか、またはすでに進入がスケジューリングされていな
いかを確認して、AGVの進入が可能であるかを判定し
ながら走行するので、停止ポイント間がかなり接近して
いる経路上を走行する場合には、本来、無意味な加減速
を繰返すため、全体的に低速走行となる。
As described above, in the traveling control in the conventional in-process transfer system, the AG is used.
V travels while checking whether another AGV is waiting at the stop point on the route or has not already been scheduled for entry, and determines whether the AGV can be entered. When the vehicle travels on a route that is considerably close to each other, the vehicle travels at a low speed as a whole because acceleration and deceleration are meaninglessly repeated.

【0046】このため、AGVの走行時間が長くなり、
結果的に工程内搬送システム全体の搬送能力を低下させ
ていた。
Therefore, the running time of the AGV becomes longer,
As a result, the transfer capacity of the entire in-process transfer system has been reduced.

【0047】従って、本発明は上記従来技術の問題点を
解消し、停止ポイント間がかなり接近している経路上を
走行する場合に発生するAGVの本来無意味な減速、徐
行、及び加速による低速走行をなくし、走行時間を短縮
することにより全体の搬送能力を向上させる工程内搬送
システムを提供することを目的とする。
Therefore, the present invention solves the above-mentioned problems of the prior art, and the low speed due to the originally meaningless deceleration, slowing and acceleration of the AGV which occurs when traveling on a route where the stop points are considerably close to each other. It is an object of the present invention to provide an in-process transfer system that improves overall transfer performance by eliminating travel and reducing travel time.

【0048】[0048]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、無人搬送車を用いた搬送システムにおい
て、前記無人搬送車の複数の停止ポイント間を結ぶルー
トについて、選択された停止ポイントを外してルートを
設定し、目的地までに最少数の停止ポイントで到達する
ルートを選択的に設定する走行制御手段を少なくとも含
むことを特徴とする搬送システムを提供する。
In order to achieve the above object, the present invention provides a transport system using an automated guided vehicle, wherein a selected stop point is selected for a route connecting a plurality of stop points of the automated guided vehicle. (EN) Provided is a transport system characterized by including at least a travel control means for setting a route by removing the route and selectively setting a route reaching a destination at a minimum number of stop points.

【0049】本発明の搬送システムにおいて、好ましく
は、記走行制御手段が、無軌道方式の前記無人搬送車の
走行をプログラム制御するための搬送コントローラ上に
実装されたソフトウェアにより構成されたことを特徴と
する。
In the transport system of the present invention, preferably, the travel control means is constituted by software installed on a transport controller for programmatically controlling the travel of the trackless automatic guided vehicle. To do.

【0050】また、本発明の搬送システムにおいて、好
ましくは、少なくとも二つの停止ポイント同士が予め定
めた所定の範囲内で位置している場合、選択された一又
は複数の停止ポイントを外してルートを設定し、該ルー
トで結ばれた停止ポイントのみについて、前記無人搬送
車の進入可能性をチェックして前記無人搬送車の前記ル
ートにおける走行を制御するようにしたことを特徴とす
る。
In the transport system of the present invention, preferably, when at least two stop points are located within a predetermined range, the route is removed by removing one or more selected stop points. It is characterized in that the possibility of entry of the automatic guided vehicle is checked only for the stop points connected by the route, and the traveling of the automatic guided vehicle on the route is controlled.

【0051】さらに、本発明の搬送システムにおいて、
好ましくは、前記ルートで結ばれた前記停止ポイントに
ついて、他の無人搬送車が待機していないか、又はすで
に進入がスケジューリングされていないかを確認するこ
とにより進入可能性をチェックすることを特徴とする。
Further, in the transfer system of the present invention,
Preferably, at the stop point connected by the route, the approach possibility is checked by confirming whether another automated guided vehicle is not waiting or the approach is not scheduled yet. To do.

【0052】本発明は、好ましくは、半導体基板を収納
したキャリアを自動保管棚からプロセス装置に供給、ま
たは前記プロセス装置から前記自動保管棚へ回収する無
人搬送車を用いた搬送システムにおいて、前記無人搬送
車の制御を統括する搬送コントローラの走行制御ソフト
ウェアが、前記無人搬送車の複数の停止ポイント間を結
ぶルートを停止ポイントを飛ばしてルートを設定する機
能と、目的地までに最少数の停止ポイントで到達するル
ートを選択する機能とを具備してなり、前記停止ポイン
トが所定距離近接している場合でいくつかの停止ポイン
トを飛ばしたルートを設定した時、該ルートで結ばれた
停止ポイントのみについて、他の無人搬送車が待機して
いないか、又はすでに進入がスケジューリングされてい
ないかを確認すると共に、前記ルートで前記無人搬送車
を走行させるように制御することを特徴とする工程内搬
送システムを提供する。
Preferably, the present invention provides a transfer system using an unmanned transfer vehicle for supplying a carrier accommodating a semiconductor substrate from an automatic storage shelf to a process device or collecting the carrier from the process device to the automatic storage shelf. The travel control software of the transport controller that supervises the control of the transport vehicle has a function of setting a route by skipping a stop point on a route connecting a plurality of stop points of the automatic guided vehicle, and a minimum number of stop points to the destination And a function of selecting a route to be reached in the case where the stop points are close to a predetermined distance, and when a route that skips some stop points is set, only the stop points connected by the route are set. Check if other unmanned guided vehicles are waiting or have already been scheduled to enter Together provide a process carrying system and controls so as to run the AGV in the route.

【0053】すなわち、本発明の工程内搬送システム
は、AGVを統括している搬送コントローラの走行制御
ソフト上で停止ポイント間を結ぶルートを停止ポイント
を飛ばして設定できる機能と目的地までに最少数で到達
するルートを選択する機能を有し、停止ポイントが非常
に接近している場合でいくつかの停止ポイントを飛ばし
たルートを設定したとき、そのルートで結ばれた停止ポ
イントのみについて他のAGVが待機していないか、ま
たはすでに進入がスケジューリングされていないかを確
認すると共にそのルートでAGVを走行させる制御を行
う。
That is, the in-process transfer system of the present invention has the function of skipping the stop points and setting the route connecting the stop points on the travel control software of the transfer controller controlling the AGV and the minimum number of the routes to the destination. Has a function to select the route to be reached, and when a stop point is very close, when a route that skips some stop points is set, only the stop points connected by that route are used by other AGVs It is checked whether or not the vehicle is waiting or the entry has already been scheduled, and the control for running the AGV on the route is performed.

【0054】[0054]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
して以下に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0055】[0055]

【実施形態1】図1は、本発明の第1の実施の形態を説
明するための走行制御条件設定図である。なお、本発明
の実施の形態に係る工程内搬送システムの全体の概略構
成は図5に示したものと同様とされ、その説明は省略す
る。
[First Embodiment] FIG. 1 is a set diagram of travel control conditions for explaining a first embodiment of the present invention. Note that the overall schematic configuration of the in-process transfer system according to the embodiment of the present invention is the same as that shown in FIG. 5, and a description thereof will be omitted.

【0056】図1を参照して、AGVを制御する搬送コ
ントローラ(2)(図5参照)に実装された走行制御ソ
フトウェアにて、停止ポイントE(30)、停止ポイン
トF(31)、停止ポイントG(32)、停止ポイント
H(33)が設定されており、AGVはこれらで停止す
ることが可能である。このときのAGVの軌跡はそれぞ
れAGV軌跡E(34)、AGV軌跡F(35)、AG
V軌跡G(36)、AGV軌跡H(37)となる。
Referring to FIG. 1, stop point E (30), stop point F (31), and stop point are set by traveling control software installed in the transport controller (2) (see FIG. 5) for controlling the AGV. G (32) and a stop point H (33) are set, and the AGV can stop at these points. The trajectories of the AGV at this time are an AGV trajectory E (34), an AGV trajectory F (35), and an AGV trajectory, respectively.
A V locus G (36) and an AGV locus H (37) are obtained.

【0057】停止ポイントE(30)から停止ポイント
H(33)方向に走行してきたAGVが、停止ポイント
F(31)に停止するときには、停止するための減速を
減速開始ポイントG(38)から開始する。
When the AGV traveling from the stop point E (30) to the stop point H (33) stops at the stop point F (31), the deceleration for stopping is started from the deceleration start point G (38). I do.

【0058】同様に、停止ポイントG(32)に停止す
るときは減速開始ポイントH(39)、停止ポイントH
(33)に停止するときには減速開始ポイントI(4
0)となる。
Similarly, when stopping at the stop point G (32), the deceleration start point H (39) and the stop point H
When stopping at (33), the deceleration start point I (4
0).

【0059】反対に、停止ポイントH(33)から停止
ポイントE(30)方向に走行してきたAGVが停止ポ
イントG(32)に停止するときには、停止するための
減速を減速開始ポイントJ(41)から開始する。
Conversely, when the AGV traveling from the stop point H (33) in the direction of the stop point E (30) stops at the stop point G (32), the deceleration for stopping is reduced to the deceleration start point J (41). Start with.

【0060】同様に、停止ポイントF(31)に停止す
るときは減速開始ポイントK(42)、停止ポイントE
(30)に停止するときには減速開始ポイントL(4
3)となる。
Similarly, when stopping at the stop point F (31), the deceleration start point K (42) and stop point E (42)
When stopping at (30), deceleration start point L (4
3).

【0061】また、AGVが走行する経路10上におい
て、走行制御ソフトにてルートD(44)、ルートE
(45)、ルートF(46)が設定されている。
On the route 10 on which the AGV travels, route D (44), route E
(45) and route F (46) are set.

【0062】本実施形態に係る搬送コントローラの走行
制御ソフトウェアは、停止ポイントを飛ばしたルートを
設定するように制御する機能を具備したことにより、停
止ポイントを1つ飛ばしたルートG(47)とルートH
(48)を追加設定する。
The traveling control software of the transport controller according to the present embodiment has a function of controlling so as to set the route where the stop point has been skipped. H
(48) is additionally set.

【0063】これに伴い、AGVが走行するルートが複
数ある状況では、目的地までに最少数で到達するルート
を選択する機能が備えられる。
Accordingly, in a situation where there are a plurality of routes on which the AGV travels, a function is provided for selecting a route which reaches the destination in the minimum number.

【0064】例えば、AGVが停止ポイントE(30)
から発進して停止ポイントG(32)に到着するまでの
走行では、2つのルートになるルートD(44)とルー
トE(45)の代わりに、1つのルートであるルートG
(47)が選択されることになる。
For example, when the AGV is at the stop point E (30)
In the travel from the start to the stop point G (32), the route G (one route) is replaced with the route G (45) instead of the route D (44) and the route E (45), which are two routes.
(47) will be selected.

【0065】このように、停止ポイントを飛ばしたルー
トを設定する際において、そのルートで結ばれた停止ポ
イントに他のAGVが待機していないか、または既に進
入がスケジューリングされていないかを確認して、AG
Vの進入が可能であると判定された場合に、飛ばした停
止ポイントについても同様に判定されたことになるよう
なケースにのみ設定するように注意する。
As described above, when setting a route in which a stop point is skipped, it is checked whether another AGV is waiting at the stop point connected by the route or whether entry is already scheduled. And AG
When it is determined that the V can be entered, care should be taken to set only the case where the skipped stop point is also determined in the same manner.

【0066】図1において、これに相当する停止ポイン
トは、停止ポイントF(31)と停止ポイントG(3
2)である。すなわち、この両停止ポイントにおけるA
GV軌跡F(35)とAGV軌跡G(36)が、AGV
軌跡FG干渉部(49)で干渉していることにより、い
ずれか一方の停止ポイントの安全が確認できれば、もう
一方の停止ポイントの安全も確認できるわけある。
In FIG. 1, the corresponding stop points are a stop point F (31) and a stop point G (3).
2). That is, A at these two stop points
The GV trajectory F (35) and the AGV trajectory G (36)
If the safety of one of the stop points can be confirmed by interfering with the trajectory FG interference unit (49), the safety of the other stop point can also be confirmed.

【0067】図2は、本発明の第1の実施の形態におけ
る走行制御の流れを説明するためのフローチャートであ
る。図2は、図1においてのAGVが停止ポイントE
(30)から発進して停止ポイントH(33)に到着す
るまでの搬送コントローラの走行制御の流れを示してい
る。
FIG. 2 is a flowchart for explaining the flow of the traveling control according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 shows that the AGV in FIG.
The flow of traveling control of the transport controller from the start from (30) to the arrival at the stop point H (33) is shown.

【0068】停止ポイントE(30)に待機しているA
GVは、停止ポイントG(32)に進入が可能であると
判定された場合(ステップF−18)、ルートG(4
7)により停止ポイントE(30)から発進する(ステ
ップF−19)。
A waiting at stop point E (30)
When it is determined that the vehicle can enter the stop point G (32) (step F-18), the GV determines the route G (4).
The vehicle starts from the stop point E (30) according to 7) (step F-19).

【0069】進入が可能であると判定されなかった場合
(ステップF−18のNO分岐参照)には、停止ポイン
トE(30)に待機のままである。
If it is not determined that entry is possible (see the NO branch of step F-18), the process remains at the stop point E (30).

【0070】ルートG(47)を走行中のAGVは、減
速開始ポイントH(39)に到達する前に停止ポイント
H(33)への進入が可能であると判定された場合(ス
テップF−20)、減速せずに停止ポイントG(32)
を通過する(ステップF−21)。
When it is determined that the AGV traveling on the route G (47) can enter the stop point H (33) before reaching the deceleration start point H (39) (step F-20). ), Stop point G (32) without deceleration
Through (step F-21).

【0071】進入が可能であると判定されなかった場合
(ステップF−20のNO分岐参照)には、減速開始ポ
イントH(39)から減速して徐行する(ステップF−
22)。
If it is not determined that entry is possible (see the NO branch of step F-20), the vehicle decelerates from the deceleration start point H (39) and moves down slowly (step F-).
22).

【0072】ルートG(47)を徐行中のAGVは、停
止ポイントG(32)に到達する前に停止ポイントH
(33)への進入が可能であると判定された場合(ステ
ップF−23)、加速して停止ポイントG(32)を通
過する(ステップF−24)。
The AGV running slowly along the route G (47) moves to the stop point H before reaching the stop point G (32).
When it is determined that entry into (33) is possible (step F-23), the vehicle accelerates and passes the stop point G (32) (step F-24).

【0073】進入が可能であると判定されなかった場合
(ステップF−23のNO分岐参照)には、停止ポイン
トG(32)で待機する(ステップF−25)。停止ポ
イントG(32)で待機しているAGVは、停止ポイン
トH(33)への進入が可能であると判定された場合
(ステップF−26)、停止ポイントG(32)から発
進する(ステップF−27)。
If it is not determined that entry is possible (see the NO branch of step F-23), the process stands by at the stop point G (32) (step F-25). The AGV waiting at the stop point G (32) starts from the stop point G (32) when it is determined that the approach to the stop point H (33) is possible (step F-26). F-27).

【0074】進入が可能であると判定されなかった場合
(ステップF−26のNO分岐参照)には、停止ポイン
トG(32)に待機のままである。ルートF(40)を
走行中のAGVは、停止ポイントH(33)に到着して
停止する(ステップF−28)。
If it is not determined that entry is possible (see the NO branch of step F-26), the process remains at the stop point G (32). The AGV traveling on route F (40) arrives at stop point H (33) and stops (step F-28).

【0075】このように、AGVが停止ポイントE(3
0)から発進して停止ポイントH(33)に到着するま
での本発明の走行制御は、非常に接近した停止ポイント
F(31)と停止ポイントG(32)に対して停止ポイ
ントを1つ飛ばしたルートG(47)を選択することに
より、実質的に停止ポイントF(31)は存在しないの
と同様なフローで進行する。
As described above, the AGV reaches the stop point E (3
The traveling control of the present invention from the start from 0) to the stop point H (33) is one stop point skipped to the stop points F (31) and G (32) which are very close to each other. By selecting the route G (47) which is different, the flow proceeds in the same manner as when the stop point F (31) does not exist.

【0076】よって、停止ポイント間が非常に接近した
場合でも、他のAGVに進路を塞がれたときや発進と到
着のときの必要最低限の加減速を除き、AGVはすべて
高速走行となり、本来無意味な減速、徐行、及び加速等
による低速走行は全く発生しなくなる。
Therefore, even when the distance between the stop points is very close, all the AGVs run at high speed except when the path is blocked by another AGV or the minimum acceleration and deceleration when starting and arriving. The low speed running due to the originally meaningless deceleration, slowing down, acceleration, etc. does not occur at all.

【0077】反対に、AGVが停止ポイントH(33)
から発進して停止ポイントE(30)に到着するまでの
搬送コントローラの走行制御についても、ルートH(4
8)を選択すれば前述と全く同様である。
On the other hand, when the AGV is at the stop point H (33)
The traveling control of the transport controller from the start of the vehicle to the stop point E (30) is also performed by the route H (4).
If 8) is selected, it is exactly the same as the above.

【0078】[0078]

【実施形態2】図3は、本発明の第2の実施の形態を説
明するための走行制御条件設定図である。
[Embodiment 2] FIG. 3 is a diagram showing travel control condition setting for explaining a second embodiment of the present invention.

【0079】図3を参照して、走行制御ソフトウェアに
て停止ポイントI(50)、停止ポイントJ(51)、
停止ポイントK(52)、停止ポイントL(53)が設
定されており、AGVはこれらで停止することが可能で
ある。そのときのAGVの軌跡はそれぞれAGV軌跡I
(54)、AGV軌跡J(55)、AGV軌跡K(5
6)、AGV軌跡L(57)となる。
Referring to FIG. 3, stop point I (50), stop point J (51),
A stop point K (52) and a stop point L (53) are set, and the AGV can stop at these points. The trajectory of the AGV at that time is the AGV trajectory I, respectively.
(54), AGV locus J (55), AGV locus K (5
6), and becomes the AGV locus L (57).

【0080】停止ポイントI(50)から停止ポイント
L(53)方向に走行してきたAGVが、停止ポイント
J(55)に停止するときには、停止するための減速を
減速開始ポイントM(58)から開始する。
When the AGV traveling from the stop point I (50) in the direction of the stop point L (53) stops at the stop point J (55), deceleration for stopping is started from the deceleration start point M (58). I do.

【0081】同様にして、停止ポイントK(52)に停
止するときは減速開始ポイントN(59)、停止ポイン
トL(53)に停止するときには減速開始ポイントO
(60)となる。
Similarly, the deceleration start point N (59) when stopping at the stop point K (52), and the deceleration start point O when stopping at the stop point L (53).
(60).

【0082】反対に、停止ポイントL(53)から停止
ポイントI(50)方向に走行してきたAGVが、停止
ポイントK(52)に停止するときには停止するための
減速を減速開始ポイントP(61)から開始する。
Conversely, when the AGV traveling from the stop point L (53) in the direction of the stop point I (50) stops at the stop point K (52), the AGV decelerates to a stop. The deceleration start point P (61). Start with.

【0083】同様にして、停止ポイントJ(51)に停
止するときは減速開始ポイントQ(62)、停止ポイン
トI(50)に停止するときには減速開始ポイントR
(63)となる。また、AGVが走行する経路(10)
上において、走行制御ソフトにてルートI(64)、ル
ートJ(65)、ルートK(66)を設定している。
Similarly, when stopping at the stop point J (51), the deceleration start point Q (62) is used, and when stopping at the stop point I (50), the deceleration start point R is used.
(63). The route on which the AGV travels (10)
Above, route I (64), route J (65), and route K (66) are set by the travel control software.

【0084】本実施形態においては、前記第1の実施の
形態で説明した走行制御ソフトウェアの機能を実装する
ことにより、停止ポイントを2つ飛ばしたルートL(6
7)、および停止ポイントを1つ飛ばしたルートM(6
8)とN(69)を追加設定する。
In this embodiment, by implementing the function of the traveling control software described in the first embodiment, the route L (6) with two stop points skipped is provided.
7) and the route M (6
8) and N (69) are additionally set.

【0085】停止ポイントI(50)のAGV軌跡I
(54)と停止ポイントJ(51)のAGV軌跡J(5
5)がAGV軌跡IJ干渉部(70)で干渉しているこ
と、また、停止ポイントK(52)のAGV軌跡K(5
6)と停止ポイントL(53)のAGV軌跡L(57)
がAGV軌跡KL干渉部(71)で干渉していることに
より、それぞれにおいていずれか一方の停止ポイントの
安全が確認できれば、もう一方の停止ポイントの安全も
確認できることになるため、このようなルートの設定が
可能になる。
AGV locus I at stop point I (50)
(54) and AGV locus J (5) of stop point J (51)
5) is interfering with the AGV trajectory IJ interference unit (70), and the AGV trajectory K (5) of the stop point K (52) is
6) and the AGV locus L (57) of the stop point L (53)
Interferes with the AGV trajectory KL interference unit (71), and if the safety of one of the stop points can be confirmed in each of them, the safety of the other stop point can also be confirmed. Settings can be made.

【0086】そして、停止ポイント間が非常に接近した
場合でも、2ケ所におよんだ停止ポイントを2つ飛ばし
て前記第1の実施の形態で説明した走行制御ソフトウェ
アの機能を実現したことにより、前記第1の実施の形態
をより一層効果的にしたものとすることができる。その
結果、他のAGVに進路を塞がれた時や発進と到着のと
きの必要最低限の加減速を除き、AGVはすべて高速走
行となり、本来無意味な減速、徐行、及び加速等による
低速走行は全く発生しない。
Even when the stop points are very close to each other, the function of the travel control software described in the first embodiment is realized by skipping two stop points in two places, thereby achieving the above-mentioned function. The first embodiment can be made more effective. As a result, except for the minimum acceleration and deceleration when the path is blocked by another AGV or when starting and arriving, all AGVs run at high speed, and low speed due to originally meaningless deceleration, slowing down, acceleration, etc. No running occurs.

【0087】[0087]

【実施形態3】図4は、本発明の第3の実施の形態を説
明するための走行制御条件設定図である。
[Embodiment 3] FIG. 4 is a view showing a travel control condition setting diagram for explaining a third embodiment of the present invention.

【0088】図4を参照して、走行制御ソフトウェアに
て、停止ポイントM(72)、停止ポイントN(7
3)、停止ポイントO(74)、停止ポイントP(7
5)が設定されており、AGVはこれらで停止すること
が可能である。そのときのAGVの軌跡はそれぞれAG
V軌跡M(76)、AGV軌跡N(77)、AGV軌跡
O(78)、AGV軌跡P(79)となる。
Referring to FIG. 4, stop point M (72) and stop point N (7
3), stop point O (74), stop point P (7
5) is set, and the AGV can be stopped with these. The trajectory of the AGV at that time is AG
V locus M (76), AGV locus N (77), AGV locus O (78), and AGV locus P (79).

【0089】停止ポイントM(72)から停止ポイント
P(75)方向に走行してきたAGVが、停止ポイント
N(73)に停止するときには停止するための減速を減
速開始ポイントS(80)から開始する。
When the AGV traveling from the stop point M (72) toward the stop point P (75) stops at the stop point N (73), deceleration for stopping is started from the deceleration start point S (80). .

【0090】同様に、停止ポイントO(74)に停止す
るときは減速開始ポイントT(81)、停止ポイントP
(75)に停止するときには減速開始ポイントU(8
2)となる。
Similarly, when stopping at the stop point O (74), the deceleration start point T (81) and the stop point P
When stopping at (75), the deceleration start point U (8
2).

【0091】反対に、停止ポイントP(75)から停止
ポイントM(72)方向に走行してきたAGVが、停止
ポイントO(74)に停止するときには停止するための
減速を減速開始ポイントV(83)から開始する。
Conversely, when the AGV traveling from the stop point P (75) in the direction of the stop point M (72) stops at the stop point O (74), the AGV decelerates to a stop. The deceleration start point V (83) Start with.

【0092】同様に、停止ポイントN(73)に停止す
るときは減速開始ポイントW(84)、停止ポイントM
(72)に停止するときには減速開始ポイントX(8
5)となる。
Similarly, when stopping at the stop point N (73), the deceleration start point W (84) and the stop point M
When stopping at (72), the deceleration start point X (8
5).

【0093】また、AGVが走行する経路(10)上に
おいて、走行制御ソフトにてルートO(86)、ルート
P(87)、ルートQ(88)を設定している。
On the route (10) on which the AGV runs, a route O (86), a route P (87), and a route Q (88) are set by running control software.

【0094】ここでさらに、前記第1の実施の形態で説
明した走行制御ソフトウェアの機能を実装したことによ
り、停止ポイントを3つ飛ばしたルートR(89)、お
よび停止ポイントを1つ飛ばしたルートS(90)とT
(91)を追加設定する。
Here, by further implementing the function of the travel control software described in the first embodiment, the route R (89) with three stop points and the route with one stop point are skipped. S (90) and T
(91) is additionally set.

【0095】停止ポイントN(73)のAGV軌跡N
(77)と、停止ポイントO(74)のAGV軌跡O
(78)、停止ポイントP(75)のAGV軌跡P(7
9)がAGV軌跡OP干渉部(92)で干渉しているこ
とにより、いずれか1つの停止ポイントの安全が確認で
きれば、その他2つの停止ポイントの安全も確認できる
ことになるため、このようなルートの設定が可能にな
る。
AGV locus N at stop point N (73)
(77) and the AGV locus O at the stop point O (74)
(78), the AGV locus P (7) of the stop point P (75)
Since 9) interferes with the AGV locus OP interference unit (92), if the safety of any one stop point can be confirmed, the safety of the other two stop points can also be confirmed. Settings can be made.

【0096】そして、停止ポイント間が非常に接近した
場合でも、1ケ所に集中した停止ポイントを2つ飛ば
し、前記第1の実施の形態で説明した、走行制御ソフト
ウェアの機能を実装することにより、前記第1の実施の
形態をより有効なものとすることができる。その結果、
他のAGVに進路を塞がれたときや、発進と到着のとき
の必要最低限の加減速を除き、AGVはすべて高速走行
となり、本来無意味な減速、徐行、及び加速等による低
速走行は全く発生しない。
Even when the stop points are very close to each other, two stop points concentrated at one place are skipped, and the function of the travel control software described in the first embodiment is implemented. The first embodiment can be made more effective. as a result,
Except for the minimum required acceleration / deceleration when the route is blocked by another AGV, or when starting and arriving, all AGVs run at high speed, and slow speeds due to meaningless deceleration, slowdown, acceleration, etc. It does not occur at all.

【0097】[0097]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
本来無意味な減速、徐行、及び加速等による低速走行
は、発進時と到着時の必要最低限の加減速を除き、全く
発生しないように制御可能とされ、すべて高速走行とな
り、AGVの走行時間が短縮される結果、工程内搬送シ
ステム全体の搬送能力を特段に向上することができると
いう効果を有する。
As described above, according to the present invention,
Low speed running due to originally meaningless deceleration, slowing down, acceleration, etc. can be controlled so as not to occur at all, except for the minimum required acceleration and deceleration at the time of starting and arriving. As a result, the transfer capacity of the entire in-process transfer system can be particularly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態を説明するための走
行制御条件設定図である。
FIG. 1 is a traveling control condition setting diagram for explaining a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施の形態の走行制御動作を説
明するための流れ図である。
FIG. 2 is a flow chart for explaining a traveling control operation of the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第2の実施の形態を説明するための走
行制御条件設定図である。
FIG. 3 is a traveling control condition setting diagram for explaining a second embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第3の実施の形態を説明するための走
行制御条件設定図である。
FIG. 4 is a traveling control condition setting diagram for explaining a third embodiment of the present invention.

【図5】従来の工程内搬送システムの全体構成を示す図
である。
FIG. 5 is a diagram showing an overall configuration of a conventional in-process transfer system.

【図6】従来例のベイレイアウト図である。FIG. 6 is a bay layout diagram of a conventional example.

【図7】従来例を説明するための走行制御条件設定図で
ある。
FIG. 7 is a setting diagram of traveling control conditions for explaining a conventional example.

【図8】従来例の走行制御動作を説明するための流れ図
である。
FIG. 8 is a flow chart for explaining a traveling control operation of a conventional example.

【図9】従来例の走行制御動作を説明するための流れ図
である。
FIG. 9 is a flowchart for explaining a traveling control operation of a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ホストコンピュータ 2 搬送コントローラ 3 通信ユニット 4 CCDカメラ 5 充電器盤 6 充電ステーション 7 AGV 8 プロセス装置 9 ストッカ 10 経路 11 停止ポイント 12 ルート 13 停止ポイントA 14 停止ポイントB 15 停止ポイントC 16 停止ポイントD 17 AGV軌跡A 18 AGV軌跡B 19 AGV軌跡C 20 AGV軌跡D 21 減速開始ポイントA 22 減速開始ポイントB 23 減速開始ポイントC 24 減速開始ポイントD 25 減速開始ポイントE 26 減速開始ポイントF 27 ルートA 28 ルートB 29 ルートC 30 停止ポイントE 31 停止ポイントF 32 停止ポイントG 33 停止ポイントH 34 AGV軌跡E 35 AGV軌跡F 36 AGV軌跡G 37 AGV軌跡H 38 減速開始ポイントG 39 減速開始ポイントH 40 減速開始ポイントI 41 減速開始ポイントJ 42 減速開始ポイントK 43 減速開始ポイントL 44 ルートD 45 ルートE 46 ルートF 47 ルートG 48 ルートH 49 AGV軌跡FG干渉部 50 停止ポイントI 51 停止ポイントJ 52 停止ポイントK 53 停止ポイントL 54 AGV軌跡I 55 AGV軌跡J 56 AGV軌跡K 57 AGV軌跡L 58 減速開始ポイントM 59 減速開始ポイントN 60 減速開始ポイントO 61 減速開始ポイントP 62 減速開始ポイントQ 63 減速開始ポイントR 64 ルートI 65 ルートJ 66 ルートK 67 ルートL 68 ルートM 69 ルートN 70 AGV軌跡IJ干渉部 71 AGV軌跡KL干渉部 72 停止ポイントM 73 停止ポイントN 74 停止ポイントO 75 停止ポイントP 76 AGV軌跡M 77 AGV軌跡N 78 AGV軌跡O 79 AGV軌跡P 80 減速開始ポイントS 81 減速開始ポイントT 82 減速開始ポイントU 83 減速開始ポイントV 84 減速開始ポイントW 85 減速開始ポイントX 86 ルートO 87 ルートP 88 ルートQ 89 ルートR 90 ルートS 91 ルートT 92 AGV軌跡OP干渉部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Host computer 2 Transport controller 3 Communication unit 4 CCD camera 5 Charger board 6 Charging station 7 AGV 8 Process device 9 Stocker 10 Route 11 Stop point 12 Route 13 Stop point A 14 Stop point B 15 Stop point C 16 Stop point D 17 AGV locus A 18 AGV locus B 19 AGV locus C 20 AGV locus D 21 Deceleration start point A 22 Deceleration start point B 23 Deceleration start point C 24 Deceleration start point D 25 Deceleration start point E 26 Deceleration start point F 27 Route A 28 Route B 29 Route C 30 Stop point E 31 Stop point F 32 Stop point G 33 Stop point H 34 AGV locus E 35 AGV locus F 36 AGV locus G 37 AGV locus H 38 Deceleration start point G 39 Deceleration start point H 40 Deceleration start point I 41 Deceleration start point J 42 Deceleration start point K 43 Deceleration start point L 44 Route D 45 Route E 46 Route F 47 Route G 48 Route H 49 AGV locus FG interference unit 50 Stop Point I 51 Stop point J 52 Stop point K 53 Stop point L 54 AGV locus I 55 AGV locus J 56 AGV locus K 57 AGV locus L 58 Deceleration start point M 59 Deceleration start point N 60 Deceleration start point O 61 Deceleration start point P 62 deceleration start point Q 63 deceleration start point R 64 route I 65 route J 66 route K 67 route L 68 route M 69 route N 70 AGV locus IJ interference section 71 AGV locus KL interference section 72 Stop point M 73 Stop point N 74 Stop point O 75 Stop point P 76 AGV locus M 77 AGV locus N 78 AGV locus O 79 AGV locus P 80 Deceleration start point S 81 Deceleration start point T 82 Deceleration start point U 83 Deceleration start point V 84 Deceleration start point W 85 deceleration start point X 86 route O 87 route P 88 route Q 89 route R 90 route S 91 route T 92 AGV locus OP interference section

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】無人搬送車を用いた搬送システムにおい
て、 前記無人搬送車の複数の停止ポイント間を結ぶルートに
ついて、選択された停止ポイントを外してルートを設定
し、目的地までに最少数の停止ポイントで到達するルー
トを選択的に設定する走行制御手段を少なくとも含むこ
とを特徴とする搬送システム。
1. A transport system using an automated guided vehicle, wherein a route connecting a plurality of stop points of the automated guided vehicle is set by removing a selected stop point, and the route is set to a minimum number of destinations. A transport system comprising at least a travel control means for selectively setting a route reached at a stop point.
【請求項2】前記走行制御手段が、無軌道方式の前記無
人搬送車の走行をプログラム制御するための搬送コント
ローラ上に実装されたソフトウェアにより構成されたこ
とを特徴とする請求項1記載の搬送システム。
2. The transportation system according to claim 1, wherein the traveling control means is constituted by software installed on a transportation controller for program-controlling the traveling of the trackless unmanned guided vehicle. .
【請求項3】少なくとも二つの停止ポイント同士が予め
定めた所定の範囲内で位置している場合、選択された一
又は複数の停止ポイントを外してルートを設定し、該ル
ートで結ばれた停止ポイントのみについて、前記無人搬
送車の進入可能性をチェックして前記無人搬送車の前記
ルートにおける走行を制御するようにしたことを特徴と
する請求項1記載の搬送システム。
3. When at least two stop points are located within a predetermined range defined in advance, one or more selected stop points are removed to set a route, and a stop connected by the route is set. 2. The transportation system according to claim 1, wherein only the points are checked for the possibility of entering the automatic guided vehicle to control the traveling of the automatic guided vehicle on the route.
【請求項4】前記ルートで結ばれた前記停止ポイントに
ついて、他の無人搬送車が待機していないか、又はすで
に進入がスケジューリングされていないかを確認するこ
とにより進入可能性をチェックすることを特徴とする請
求項3記載の搬送システム。
4. Checking the possibility of entry by confirming whether another unmanned vehicle is waiting at the stop point connected by the route or whether the entry is not already scheduled. The transport system according to claim 3, wherein the transport system is a transport system.
【請求項5】前記無人搬送車が、少なくとも一のベイ内
において半導体基板を収納したキャリアを自動保管棚か
らプロセス装置に供給、または前記プロセス装置から前
記自動保管棚へ回収するように移動制御されることを特
徴とする請求項1〜4のいずれか一に記載の搬送システ
ム。
5. The automatic guided vehicle is movement-controlled so as to supply a carrier containing a semiconductor substrate in at least one bay from an automatic storage shelf to a process apparatus or to collect the carrier from the process apparatus to the automatic storage shelf. The transport system according to any one of claims 1 to 4, wherein:
【請求項6】半導体基板を収納したキャリアを自動保管
棚からプロセス装置に供給、または前記プロセス装置か
ら前記自動保管棚へ回収する無人搬送車を用いた搬送シ
ステムにおいて、 前記無人搬送車の制御を統括する搬送コントローラの走
行制御ソフトウェアが、前記無人搬送車の複数の停止ポ
イント間を結ぶルートを停止ポイントを飛ばしてルート
を設定する機能と、目的地までに最少数の停止ポイント
で到達するルートを選択する機能とを具備してなり、 前記停止ポイントが所定距離近接している場合でいくつ
かの停止ポイントを飛ばしたルートを設定した時、該ル
ートで結ばれた停止ポイントのみについて、他の無人搬
送車が待機していないか、又はすでに進入がスケジュー
リングされていないかを確認すると共に、前記ルートで
前記無人搬送車を走行させるように制御することを特徴
とする工程内搬送システム。
6. A carrier system using an automatic guided vehicle for supplying a carrier containing a semiconductor substrate from an automatic storage shelf to a process device or collecting the carrier from the process device to the automatic storage shelf, wherein the automatic guided vehicle is controlled. The traveling control software of the transport controller, which controls the route, sets the route connecting the multiple stop points of the automated guided vehicle by skipping the stop points and setting the route to reach the destination with the minimum number of stop points. When a route that skips several stop points is set when the stop points are close to each other by a predetermined distance, only the stop points connected by the other Check if the vehicle is not waiting or if an entry is already scheduled and Serial intrabay transport system and the controller controls so as to run the automated guided vehicle.
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