JPH09101268A - Defect inspection device - Google Patents

Defect inspection device

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JPH09101268A
JPH09101268A JP7257990A JP25799095A JPH09101268A JP H09101268 A JPH09101268 A JP H09101268A JP 7257990 A JP7257990 A JP 7257990A JP 25799095 A JP25799095 A JP 25799095A JP H09101268 A JPH09101268 A JP H09101268A
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JP
Japan
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plane
window
image data
inspection image
defect
Prior art date
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Pending
Application number
JP7257990A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masazumi Tsubakizaka
正純 椿阪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
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Filing date
Publication date
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Priority to JP7257990A priority Critical patent/JPH09101268A/en
Publication of JPH09101268A publication Critical patent/JPH09101268A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To quickly inspect an object to be inspected for printing defects by forming different windows so that the windows do not cross a boundary. SOLUTION: When a start signal h1 is inputted to a plane forming/ discriminating circuit 61 for first plane, the circuit 61 receives defectless picture data and the picture elements h3 to be inspected of data picture data to be inspected based on the synchronism of an operation clock h2, inspects the gradation levels of the picture elements of both data for difference, increments the counter of each window whenever the difference is found, and, when the count value becomes larger than a reference value, discriminates that an object to be inspected has a printing defect. When the inspection is completed to prescribed picture elements in the Y- and X-axis direction, the circuit 61 outputs output signals h4 and h5 to second and third plane forming/discriminating circuits 61 and 61 so as to form second and third planes which are deviated from the first plane.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は欠陥検査装置に関
し、特に被検査対象物の検査画像データを複数のウィン
ドウに分割して、ウィンドウ単位で欠陥の有無を判断す
る欠陥検査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a defect inspection apparatus, and more particularly to a defect inspection apparatus which divides inspection image data of an object to be inspected into a plurality of windows and determines the presence or absence of a defect in window units.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の欠陥検査装置は、対象物に欠陥が
有るか否かを検査する場合、例えば図6に示すように、
ともに1024×1024画素有する良品である印刷物
の良品画像データと被検査対象物である印刷物の検査画
像データとをそれぞれ128×128画素有する複数の
小さなウィンドウに分割し、この分割したウィンドウを
単位としてその中に有する欠陥画素数の多過でもって印
刷欠陥の有無を判断するようになっている。
2. Description of the Related Art A conventional defect inspection apparatus, for example, as shown in FIG. 6, when inspecting an object for defects,
The non-defective image data of the printed matter, which is a good product having 1024 × 1024 pixels, and the inspection image data of the printed matter, which is the inspection object, are divided into a plurality of small windows each having 128 × 128 pixels, and the divided windows are used as a unit. The presence or absence of a printing defect is determined based on the number of defective pixels contained therein.

【0003】すなわち、従来の欠陥検査装置は、図7に
示すように、画像メモリに記録されている良品画像デー
タと被検査対象物の検査画像データとを本装置に内蔵す
る比較器71に入力し、スキャン開始場所から、順次、
1画素ごとに階調レベルを比較していく。
That is, in a conventional defect inspection apparatus, as shown in FIG. 7, non-defective image data recorded in an image memory and inspection image data of an object to be inspected are input to a comparator 71 incorporated in the apparatus. From the scan start location,
The gradation levels are compared for each pixel.

【0004】続いて、本検査装置は、比較器71で比較
した結果、所定の階調レベル以上の差異が検出する度
に、所定のウィンドウごとにカウンタ72でカウント
し、そのカウント値と印刷欠陥であると判定する基準値
とを本装置に内蔵する比較器73で比較し、カウント値
がこの基準値より大きくなれば、この被検査対象物が印
刷不良であると判断するようになっている。
Subsequently, in the inspection apparatus, every time a difference of a predetermined gradation level or more is detected as a result of comparison by the comparator 71, the counter 72 counts for each predetermined window, and the count value and the print defect are counted. The comparator 73 incorporated in the apparatus compares the reference value that is determined to be the above. If the count value is larger than the reference value, it is determined that the inspection target object is defective in printing. .

【0005】[0005]

【発明が解決しよとする課題】しかしながら、このよう
な従来の欠陥検査装置では、ウィンドウの境界上にまた
がって印刷欠陥があるときには、その印刷欠陥が基準値
より大きい場合であっても、ウィンドウ単位では印刷欠
陥の大きさが基準値より小さくなっていまうので、本来
印刷欠陥であるべきものが印刷欠陥と判定されない場合
があるという問題点があった。
However, in such a conventional defect inspection apparatus, when there is a print defect extending over the window boundary, even if the print defect is larger than the reference value, the window Since the size of the print defect becomes smaller than the reference value in units, there is a problem that what should originally be a print defect may not be determined as a print defect.

【0006】例えば、図8に示すように、従来の欠陥検
査装置が印刷欠陥と判断する基準値を20個とした場
合、印刷欠陥Aは、ウィンドウ1内にのみ基準値20よ
り多い22個の欠陥画素を有しているので、明らかに印
刷欠陥と判定される。
For example, as shown in FIG. 8, when the conventional defect inspecting apparatus determines that there are 20 reference values which are judged to be print defects, the print defect A is 22 within the window 1 which is larger than the reference value 20. Since it has a defective pixel, it is clearly determined to be a printing defect.

【0007】印刷欠陥Bは、全体として35個の欠陥画
素を有しているが、ウィンドウ1およびウィンドウ2に
それぞれ17個、18個というふうに、欠陥画素がまた
がって存在しているので、本来欠陥であるべきものが欠
陥でないと判定されていまう。
The print defect B has 35 defective pixels as a whole, but since there are 17 defective pixels and 17 defective pixels in the window 1 and the window 2, respectively, the original defect is present. It is determined that what should be a defect is not a defect.

【0008】印刷欠陥Cは、70個の欠陥画素を有して
いるが、ウィンドウ1,ウィンドウ2,ウィンドウ3及
びウィンドウ4にそれぞれ基準値20未満の欠陥画素が
またがって存在しているので、本来欠陥であるべきもの
が欠陥でないと判断されていまう。
The print defect C has 70 defective pixels. However, since defective pixels having a reference value less than 20 are present in each of window 1, window 2, window 3 and window 4, it is originally intended. It is judged that what should be a defect is not a defect.

【0009】そこで、ウインドを1画素ずつずらしてそ
のウインド内の欠点の数をチェックすれば上記問題点は
解決するが、膨大な処理時間がかかるという新たな問題
点が発生する。
Therefore, if the number of defects in the window is checked by shifting the window pixel by pixel, the above problem can be solved, but a new problem that a huge processing time is taken occurs.

【0010】本発明は、上述の問題点に鑑み、印刷欠陥
を迅速に検査する欠陥装置を提供することを目的とす
る。
In view of the above problems, it is an object of the present invention to provide a defect device for promptly inspecting print defects.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1記載の発明は、被検査対象物の検査画像デ
ータを複数のウィンドウに分割して1プレーンとし、プ
レーンを構成するウィンドウ単位で欠陥の有無を判断す
る欠陥検査装置であって、同一の検査画像データについ
て互いにずれたウインドウを有する複数のプレーンを設
定するプレーン設定手段、を有し、同一検査画像データ
を複数のプレーンに基づいて判断することを特徴とす
る。
In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 divides inspection image data of an object to be inspected into a plurality of windows into one plane, and a window unit constitutes a plane. In the defect inspection apparatus for determining the presence or absence of a defect, the plane has a plane setting means for setting a plurality of planes having mutually shifted windows for the same inspection image data, and the same inspection image data is based on the plurality of planes. It is characterized by making a judgment.

【0012】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明において、上記プレーン設定手段で設定された複数の
プレーンが、同時並列的に欠陥の有無が判断されること
を特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the presence or absence of defects in the plurality of planes set by the plane setting means is determined simultaneously in parallel.

【0013】請求項3記載の発明は、請求項1記載の発
明において、上記ウィンドウはX,Y軸方向に格子上に
配列された複数の画素より構成され、上記プレーン設定
手段が、検査対象ウィンドウをX,Y軸方向に所定画素
分ずらすことによって互いにずれたウィンドウを有する
複数のプレーンを設定することを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the window is composed of a plurality of pixels arranged on a grid in the X and Y axis directions, and the plane setting means is a window to be inspected. Is set in the X and Y axis directions by a predetermined number of pixels to set a plurality of planes having windows that are offset from each other.

【0014】請求項4記載の発明は、請求項3記載の発
明において、上記プレーン設定手段が、被検査対象物の
検査画像データをX軸方向に沿って順次収集するラスタ
ースキャン収集手段を有し、最初に収集された検査画像
データの位置に基づいて検査画像データを複数のウィン
ドウに分割し、基準となるプレーンを設定する第1のプ
レーン設定手段と、上記第1のプレーン設定手段で設定
されたプレーンをスキャン中、検査画像データのスキャ
ン位置が最初に収集された検査画像データの位置からX
軸方向に所定画素分ずれた位置にきたとき、該位置を基
準として検査画像データを複数のウィンドウに分割し、
上記第1のプレーン設定手段で設定されたウインドウ位
置よりX軸方向に所定画素分ずれた位置に各ウインドウ
があるようにプレーンを設定する第2のプレーン設定手
段と、上記第1のプレーン設定手段で設定されたプレー
ンをスキャン中、検査画像データのスキャン位置が最初
に収集された検査画像データの位置からY軸方向に所定
画素分ずれた位置にきたとき、該位置を基準として検査
画像データを複数のウィンドウに分割し、上記第1のプ
レーン設定手段で設定されたウインドウ位置よりY軸方
向に所定画素分ずれた位置に各ウインドウがあるように
プレーンを設定する第3のプレーン設定手段と、上記第
3のプレーン設定手段で設定されたプレーンをスキャン
中、検査画像データのスキャン位置が最初の基準位置か
らX軸方向に所定画素分ずれた位置にきたとき、該位置
を基準として検査画像データを複数のウィンドウに分割
し、上記第3のプレーン設定手段で設定されたウインド
ウ位置よりX軸方向に所定画素分ずれた位置に各ウイン
ドウがあるようにプレーンを設定する第4のプレーン設
定手段とを有することを特徴とする。
According to a fourth aspect of the invention, in the third aspect of the invention, the plane setting means has a raster scan collecting means for sequentially collecting the inspection image data of the inspection object along the X-axis direction. , The first plane setting means for dividing the inspection image data into a plurality of windows based on the position of the initially collected inspection image data, and setting the reference plane, and the first plane setting means. While scanning the plane, the scan position of the inspection image data is X from the position of the inspection image data that was first acquired.
When the position is shifted by a predetermined number of pixels in the axial direction, the inspection image data is divided into a plurality of windows with the position as a reference,
Second plane setting means for setting a plane such that each window is located at a position shifted by a predetermined number of pixels in the X-axis direction from the window position set by the first plane setting means, and the first plane setting means While scanning the plane set by, when the scan position of the inspection image data comes to a position shifted by a predetermined pixel in the Y-axis direction from the position of the inspection image data initially collected, the inspection image data is set with the position as a reference. Third plane setting means for dividing the window into a plurality of windows and setting the plane so that each window is located at a position shifted by a predetermined number of pixels in the Y-axis direction from the window position set by the first plane setting means; While scanning the plane set by the third plane setting means, the scan position of the inspection image data is predetermined in the X-axis direction from the first reference position. When the position is shifted to a prime position, the inspection image data is divided into a plurality of windows on the basis of the position, and the position is shifted from the window position set by the third plane setting means by a predetermined pixel in the X-axis direction. And a fourth plane setting means for setting a plane so that each window is present.

【0015】請求項5記載の発明は、請求項3および4
記載の発明において、上記画素のずれ量がX,Y軸方向
ともにウィンドウ構成画素数の半分であることを特徴と
する。
The invention according to claim 5 is the same as claims 3 and 4.
In the invention described above, the shift amount of the pixels is half the number of pixels constituting the window in both the X and Y axis directions.

【0016】本発明では、プレーン設定手段が同一の検
査画像データについて互いにずれたウインドウを有する
複数のプレーンを設定し、同一検査画像データを複数の
プレーンに基づいて判断するので、印刷欠陥がウィンド
ウにおいて境界上にまたがって存在している場合でも、
他のいずれかのウィンドウでは境界をまたがらないよう
にすることができる。
According to the present invention, the plane setting means sets a plurality of planes having windows that are offset from each other for the same inspection image data, and judges the same inspection image data based on the plurality of planes. Even if they exist on the boundary,
It can be unbounded in any other window.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る欠陥検査装置
の一実施形態を図面に基づいて説明をする。始めに、本
発明に係る欠陥検査装置の実施形態の前提となる内容に
ついて述べる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the defect inspection apparatus according to the present invention will be described below with reference to the drawings. First, description will be given of the contents on which the defect inspection apparatus according to the present invention is based.

【0018】この実施形態の欠陥検査装置は、図1に示
すように、ともに1024×1024画素の良品画像デ
ータおよび被検査対象物の検査画像データを、1個が1
28×128画素からなるウィンドウに分割し、分割し
たウィンドウごとに、ウィンドウに有する画素の階調レ
ベルを比較し、階調レベルの差異があった画素の数が基
準値以上である場合には、被検査対象物が印刷不良であ
ると判断するようになっている。
In the defect inspection apparatus of this embodiment, as shown in FIG. 1, one piece of non-defective image data of 1024 × 1024 pixels and one piece of inspection image data of the inspection object are provided.
The window is divided into windows of 28 × 128 pixels, the gradation levels of the pixels in the windows are compared for each of the divided windows, and when the number of pixels having a difference in gradation level is equal to or more than a reference value, The object to be inspected is judged to be defective in printing.

【0019】しかも、この実施形態の欠陥検査装置は、
図1(a)に示すようにスキャン開始位置が検査画像デ
ータの最初の画素(1,1)(図中の黒丸参照)から最
後のスキャン画素(1024,1024)を64個で分
割したウィンドウ(#1〜#64)で印刷欠陥を判断
し、図1(b)に示すようにスキャン開始位置が図1
(a)に比べX軸方向に1/2ウィンドウずれた位置に
ある画素(1,65)(図中の黒丸参照)から最後のス
キャン画素(1024,960)を56個で分割したウ
ィンドウ(#1〜#56)で印刷欠陥を判断し、図1
(c)に示すようにスキャン開始位置が図1(a)に比
べY軸方向に1/2ウィンドウずれた位置にある画素
(65,1)(図中の黒丸参照)から最後のスキャン画
素(960,1024)を56個で分割したウィンドウ
(#1〜#56)で印刷欠陥を判断し、更に図1(d)
に示すようにスキャン開始位置が図1(a)に比べX軸
方向に1/2ウィンドウおよびY軸方向に1/2ウィン
ドウずれた位置にある画素(65,65)(図中の黒丸
参照)から最後のスキャン画素(960,960)を4
9個で分割したウィンドウ(#1〜#49)で印刷欠陥
を判断する。そして、この実施形態の欠陥検査装置は、
これらのウィンドウのうち1つでも階調レベルの差異数
が基準値以上ある場合には、被検査対象物である印刷物
が印刷欠陥を有していると判断するようになっている。
Moreover, the defect inspection apparatus of this embodiment is
As shown in FIG. 1A, the scan start position is a window (64) from the first pixel (1, 1) of the inspection image data (see black circles in the figure) to the last scan pixel (1024, 1024). The print defect is determined in # 1 to # 64), and the scan start position is determined as shown in FIG.
A window (#) obtained by dividing the last scan pixel (1024, 960) into 56 pieces from the pixel (1, 65) (see the black circle in the figure) at a position shifted by 1/2 window in the X-axis direction compared to (a). 1 to # 56) to judge the printing defect,
As shown in (c), the scan start position is shifted from the pixel (65, 1) (see the black circle in the figure) at the position shifted by 1/2 window in the Y-axis direction from the last scan pixel ( 960, 1024) are divided into 56 windows (# 1 to # 56) to determine a print defect, and then, as shown in FIG.
Pixels (65, 65) at positions where the scan start position is shifted by 1/2 window in the X-axis direction and 1/2 window in the Y-axis direction as shown in FIG. 1A (see black circles in the figure). From the last scan pixel (960,960) to 4
A print defect is determined by windows (# 1 to # 49) divided into nine windows. And the defect inspection apparatus of this embodiment is
When the number of differences in gradation level is equal to or larger than the reference value in any one of these windows, it is determined that the printed matter that is the inspection object has a print defect.

【0020】ここで、図1(a)に示すように検査画像
データを64個のウィンドウ(#1〜#64)で分割し
た検査画像データを第1プレーンと呼び、図1(b)に
示すように検査画像データをX軸に1/2ウィンドウだ
けずれた位置から56個のウィンドウ(#1〜#56)
で分割した検査画像データを第2プレーンと呼び、図1
(c)に示すように検査画像データをY軸に1/2ウィ
ンドウだけずれた位置から56個のウィンドウ(#1〜
#56)で分割した検査画像データを第3プレーンと呼
び、図1(d)に示すように検査画素データの面をX軸
に1/2ウィンドウおよびY軸に1/2ウィンドウだけ
ずれた位置からから49個のウィンドウ(#1〜#4
9)で分割した検査画像データを第4プレーンと呼ぶこ
とにする。
Here, the inspection image data obtained by dividing the inspection image data into 64 windows (# 1 to # 64) as shown in FIG. 1A is referred to as a first plane, and is shown in FIG. 1B. 56 windows (# 1 to # 56) from the position where the inspection image data is shifted by 1/2 window on the X-axis.
The inspection image data divided in step 2 is called the second plane, as shown in FIG.
As shown in (c), the inspection image data is shifted from the Y-axis by 1/2 window to 56 windows (# 1 to # 1).
The inspection image data divided in # 56) is called a third plane, and the plane of the inspection pixel data is displaced by a 1/2 window on the X axis and a 1/2 window on the Y axis as shown in FIG. 1D. From to 49 windows (# 1 to # 4
The inspection image data divided in 9) will be called the fourth plane.

【0021】図2は本発明に係る欠陥検査装置の一実施
形態の構成を示す構成概略図である。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing the configuration of an embodiment of the defect inspection apparatus according to the present invention.

【0022】この実施形態の欠陥検査装置は、被検査対
象物を撮像するラインセンサ1,信号処理伝送部2,画
像処理部3,ローラ7の回転速度を検出する信号を出力
するロータリーエンコーダ4および被検査対象物である
印刷物を所定の明るさに保つライトガード5から構成さ
れている。
The defect inspection apparatus of this embodiment includes a line sensor 1 for picking up an image of an object to be inspected, a signal processing / transmission unit 2, an image processing unit 3, a rotary encoder 4 for outputting a signal for detecting the rotation speed of a roller 7, and It is composed of a light guard 5 which keeps a printed matter as an object to be inspected at a predetermined brightness.

【0023】信号処理伝送部2は、ラインセンサ1から
の撮像信号を自己が内蔵するA/D変換器(図示せず)
により、例えば、8ビットの階調データからなる画像デ
ータに変換し、この画像データを画像処理部3に出力す
るようになっている。
The signal processing / transmitting unit 2 has an A / D converter (not shown) in which the image pickup signal from the line sensor 1 is incorporated.
With this, for example, it is converted into image data composed of 8-bit gradation data, and this image data is output to the image processing unit 3.

【0024】画像処理部3は、信号処理伝送部2から受
けた画像データを記録する画像メモリ(図示せず)およ
び欠陥判定器6を備えている。この画像メモリは、被検
査対象物の検査画像データと、この被検査対象物が良品
であるか否かを判定するための基準となる印刷物の良品
画像データとを記録している。
The image processing section 3 is provided with an image memory (not shown) for recording the image data received from the signal processing and transmission section 2 and a defect determiner 6. This image memory records inspection image data of the inspection object and non-defective image data of the printed matter that serves as a reference for determining whether the inspection object is a non-defective product.

【0025】欠陥判定器6は、図3に示すように、第1
プレーン,第2プレーン,第3プレーンおよび第4プレ
ーンのプレーン形成/判定回路61で構成されており、
それぞれ、第1プレーン,第2プレーン,第3プレー
ン,第4プレーンのウィンドウを同時に並列処理を行う
ようになっている。
As shown in FIG. 3, the defect determiner 6 has a first
The plane forming / determining circuit 61 includes a plane, a second plane, a third plane, and a fourth plane,
The windows of the first plane, the second plane, the third plane, and the fourth plane are simultaneously processed in parallel, respectively.

【0026】すなわち、第1プレーン,第2プレーン,
第3プレーンおよび第4プレーンのプレーン形成/判定
回路61は、同一の動作クロックh2 に基づいて動作
し、かつ、同一の検査対象画素h3 が入力されている。
That is, the first plane, the second plane,
The plane forming / determining circuits 61 of the third plane and the fourth plane operate based on the same operation clock h2, and the same inspection target pixel h3 is input.

【0027】そして、第1プレーンのプレーン形成/判
定回路61は、スタート信号h1 が入力されると、動作
クロックh2 の同期に基づき、検査対象画素h3 を受け
とり、この検査対象画素h3 の階調レベルを比較し、階
調レベルに差異がある度に、内蔵するカウンタ(図示せ
ず)を加算するようになっている。
When the start signal h1 is input, the plane formation / judgment circuit 61 for the first plane receives the pixel to be inspected h3 based on the synchronization of the operation clock h2, and the gradation level of this pixel to be inspected h3 is checked. And a built-in counter (not shown) is added every time there is a difference in gradation level.

【0028】さらに、第1プレーンのプレーン形成/判
定回路61は、検査対象画素の階調レベルを比較してい
き、X軸方向に関し1/2ウィンドウの画素の階調レベ
ルを比較する前に、第2パターン形成/判定回路61に
第2プレーンのウィンドウを検査するためのスタート信
号h1 とする信号h4 を出力するようになっている。
Further, the plane forming / determining circuit 61 of the first plane compares the gradation levels of the pixels to be inspected, and before comparing the gradation levels of the pixels of the 1/2 window in the X-axis direction, The second pattern forming / determining circuit 61 outputs a signal h4 as a start signal h1 for inspecting the window of the second plane.

【0029】また、第1プレーンのプレーン形成/判定
回路61は、検査対象画素の階調レベルを比較してい
き、Y軸方向に関し1/2ウィンドウの画素の階調レベ
ルを比較する前に、第3パターン形成/判定回路61に
第3プレーンのウィンドウを検査するためのスタート信
号h1 とする信号h5 を出力するようになっている。
Further, the plane forming / determining circuit 61 of the first plane compares the gradation levels of the pixels to be inspected, and before comparing the gradation levels of the pixels of the 1/2 window in the Y-axis direction, A signal h5 which is a start signal h1 for inspecting the window of the third plane is output to the third pattern forming / determining circuit 61.

【0030】また、第3プレーンのプレーン形成/判定
回路61は、第3プレーンのウィンドウを検査してい
き、第3プレーンにおいてX軸方向に関し1/2ウィン
ドウの画素の階調レベルを比較する前に、第4パターン
形成/判定回路61に第4プレーンのウィンドウを検査
するためのスタート信号h1 とする信号h4 を出力する
ようになっている。
Before the plane forming / determining circuit 61 of the third plane inspects the window of the third plane and compares the gradation levels of the pixels of the ½ window in the X-axis direction in the third plane. In addition, the fourth pattern formation / determination circuit 61 outputs a signal h4 as a start signal h1 for inspecting the window of the fourth plane.

【0031】これらのプレーン形成/判定回路61は、
図4に示すように、判定回路611およびプレーン形成
回路612から構成されており、判定回路611は、カ
ウンタを有し、スタート信号h1 が入力すると、このス
タートh1をトリガとして随時画像メモリに記録されて
いる良品画像データおよび検査画像データの中から検査
対象画素を受けとり、双方の階調レベルの比較を行い、
階調レベルに差異があればカウンタのカウント値を加算
し、加算したカウント値が所定の基準値を超えた場合に
は、被検査対象物が印刷不良であるとする検査結果h6
を出力するようになている。また、プレーン形成回路6
12は、スタート信号h1 が入力した後、動作クロック
h2 の同期のもと、検査対象画素の位置がX軸方向また
はY軸方向に関して1/2ウィンドずれた位置にくる
と、スキャン位置を1/2ウィンドウずらした第2プレ
ーン,第3プレーンまたは第4プレーンのウィンドウを
検査するシフト信号h4 またはシフト信号h5 を出力す
るようになっている。
These plane forming / determining circuits 61 are
As shown in FIG. 4, it comprises a judgment circuit 611 and a plane formation circuit 612. The judgment circuit 611 has a counter, and when a start signal h1 is input, it is recorded in the image memory at any time by using this start h1 as a trigger. The pixel to be inspected is received from the non-defective product image data and the inspection image data, and the gradation levels of both are compared,
If there is a difference in gradation level, the count value of the counter is added, and if the added count value exceeds a predetermined reference value, the inspection result h6 indicating that the object to be inspected is defective in printing.
Is output. In addition, the plane forming circuit 6
When the position of the pixel to be inspected reaches a position shifted by 1/2 window in the X-axis direction or the Y-axis direction under the synchronization of the operation clock h2 after the start signal h1 is inputted, the scan position 12 becomes 1 / (2). The shift signal h4 or the shift signal h5 for inspecting the window of the second plane, the third plane, or the fourth plane shifted by two windows is output.

【0032】次に、この実施形態の欠陥検査装置の動作
を図面を参照して説明する。
Next, the operation of the defect inspection apparatus of this embodiment will be described with reference to the drawings.

【0033】始めに、予め選定された検査基準となる印
刷物は、ラインセンサ1の前面に配置され、ライトガー
ド5で所定の明るさに照らされる。
First, a printed matter which is a preselected inspection standard is placed in front of the line sensor 1 and illuminated by the light guard 5 to a predetermined brightness.

【0034】その後、ラインセンサ1は、この印刷物を
撮像し、その撮像信号を信号処理伝送部2に出力する。
After that, the line sensor 1 picks up an image of the printed matter and outputs the picked-up image signal to the signal processing transmission section 2.

【0035】信号処理伝送部2は、ラインセンサ1から
の撮像信号をA/D変換して8ビットの階調レベルデー
タからなる良品画像データを画像処理部3に出力する。
The signal processing transmission unit 2 A / D-converts the image pickup signal from the line sensor 1 and outputs non-defective image data consisting of 8-bit gradation level data to the image processing unit 3.

【0036】画像処理部3は、信号処理伝送部2からの
良品画像データを内蔵されている画像メモリに記録す
る。
The image processing section 3 records the non-defective image data from the signal processing transmission section 2 in the built-in image memory.

【0037】次に、上述と同様な処理を行って、被検査
対象物の検査画像データを画像メモリに記録した後、良
品画像データと検査画像データとを比較して被検査対象
の印刷欠陥を検査する処理を開始する。
Next, the same processing as described above is carried out to record the inspection image data of the inspection object in the image memory, and then the non-defective image data and the inspection image data are compared with each other to detect the print defect of the inspection object. Start the process of inspecting.

【0038】検査画像データが画像メモリに記録された
後、両者の画像データの比較処理を開始するスタート信
号h1 が欠陥判定器6の第1プレーンのプレーン形成/
判定回路61に入力すると、図1(a)に示すように、
良品画像データおよび検査画像データの8ビットのスキ
ャン開始画素(1,1)(図1(a)中のウィンドウ#
1の黒丸の位置)の階調データを欠陥判定器6の第1プ
レーンのプレーン形成/判定回路61に出力する。
After the inspection image data is recorded in the image memory, the start signal h1 for starting the comparison processing of the two image data is the plane formation / deformation of the first plane of the defect determiner 6.
When input to the determination circuit 61, as shown in FIG.
8-bit scan start pixel (1, 1) of non-defective image data and inspection image data (window # in FIG. 1A)
The grayscale data at the position of the black circle 1) is output to the plane formation / determination circuit 61 of the first plane of the defect determiner 6.

【0039】第1プレーンのプレーン形成/判定回路6
1の判定回路611は、受けとった良品画像データおよ
び検査画像データのスキャン開始画素の階調データを比
較し、階調レベルが異なる場合には、内蔵するカウンタ
を加算し、次に、加算されたカウント値が基準値以上で
あるか否かを判断する。
Plane formation / determination circuit 6 for the first plane
The determination circuit 611 of No. 1 compares the received gradation image data of the non-defective image data and the inspection image data of the scan start pixel, and when the gradation levels are different, the built-in counter is added, and then the addition is performed. It is determined whether the count value is greater than or equal to the reference value.

【0040】基準値以上である場合には、第1プレーン
のプレーン形成/判定回路61の判定回路611は、こ
の被検査対象物が印刷不良であるとする検査結果h6 を
出力し、この被検査対象物の検査を中止させる一方、カ
ウント値が基準値未満である場合には、次の検査対象画
素(1,2)について同様な処理を行う。このようにし
て、ウィンドウ#1の(128,1)までの画素につい
てのカウンタの加算または印刷不良判断処理(以下、単
に加算/不良判断処理という)を終了すると、カウンタ
のカウント値をメモリ(図示せず)記録させ、カウンタ
のカウント値をゼロクリアする。
If it is equal to or larger than the reference value, the judgment circuit 611 of the plane forming / judgment circuit 61 of the first plane outputs the inspection result h6 indicating that the object to be inspected is defective in printing, and the object to be inspected. While the inspection of the object is stopped, if the count value is less than the reference value, the same process is performed on the next pixel to be inspected (1, 2). In this way, when the counter addition or the print defect determination process (hereinafter simply referred to as the addition / defect determination process) for the pixels up to (128, 1) in the window # 1 is completed, the count value of the counter is stored in the memory (see FIG. Record (not shown) and clear the count value of the counter to zero.

【0041】同様にして、第1プレーンのプレーン形成
/判定回路61は、Y軸方向が1である場合におけるウ
ィンドウ#2〜ウィンドウ#8の検査対象画素について
の加算/不良判断処理というを行う。
Similarly, the plane formation / judgment circuit 61 for the first plane performs an addition / defective judgment process for the pixels to be inspected in the windows # 2 to # 8 when the Y-axis direction is 1.

【0042】次に、第1プレーンのプレーン形成/判定
回路61は、動作クロックh2 が入力されると、メモリ
に記録されているウィンドウ#1のカウント値をカウン
タに設定し、ウィンドウ#1の検査対象画素(2,1)
の加算/不良判断処理を上述と同様にして行う。以下、
同様にして、Y軸方向が2である場合のウィンドウ#1
〜ウィンドウ#8の処理を行う。このようにして、第1
プレーンのプレーン形成/判定回路61は、Y軸方向が
128までのウィンドウ#1〜ウィンドウ#8の加算/
不良判断処理を行って、ウィンドウ#1〜ウィンドウ#
8の加算/不良判断処理を終了する。
Next, when the operation clock h2 is input, the plane formation / judgment circuit 61 for the first plane sets the count value of the window # 1 recorded in the memory in the counter and inspects the window # 1. Target pixel (2,1)
The addition / defective determination process of is performed in the same manner as described above. Less than,
Similarly, window # 1 when the Y-axis direction is 2
~ Perform processing of window # 8. In this way, the first
The plane formation / judgment circuit 61 of the planes performs addition / addition of windows # 1 to # 8 up to 128 in the Y-axis direction.
Defective judgment processing is performed, and window # 1 to window #
The addition / defect determination process of 8 is completed.

【0043】以下同様にして、第1プレーンのプレーン
形成/判定回路61は、最大ウィンドウ#64の画素
(1024,1024)までのウィンドウの印刷欠陥を
検査していく。
Similarly, the plane forming / determining circuit 61 of the first plane inspects the print defects of the windows up to the pixel (1024, 1024) of the maximum window # 64.

【0044】この実施形態の欠陥検査装置は、このよう
して検査した結果、すべてのウィンドウ(#1〜#6
4)の階調レベルの差異があった画素の数が基準値未満
であった場合には、この被検査対象物は良品であるとす
る判定する。
The defect inspecting apparatus of this embodiment, as a result of inspecting in this way, results in all the windows (# 1 to # 6).
When the number of pixels having a difference in gradation level in 4) is less than the reference value, it is determined that the object to be inspected is a good product.

【0045】なお、第1プレーンのプレーン形成/判定
回路61は、画素(64,1)における加算/不良判断
処理を行った後、X軸方向に1/2ウィンドウずらした
ウィンドウを形成するための信号h4 を第2プレーンの
ウィンドウ/判定回路61に出力し、また、画素(10
24,64)における加算/不良判断処理を行った後、
Y軸方向に1/2ウィンドウずらしたウィンドウを形成
するための信号h5 を第3プレーンのプレーン形成/判
定回路61に出力する。
The plane formation / judgment circuit 61 for the first plane forms a window shifted by 1/2 window in the X-axis direction after performing addition / defective judgment processing on the pixel (64, 1). The signal h4 is output to the window / decision circuit 61 of the second plane, and the pixel (10
24, 64), after performing the addition / defective determination process,
A signal h5 for forming a window shifted by 1/2 window in the Y-axis direction is output to the plane forming / determining circuit 61 of the third plane.

【0046】ここで、印刷欠陥装置の動作説明を簡明に
説明するために、説明を省略した第2プレーン,第3プ
レーンおよび第4プレーンのウィンドウについての印刷
欠陥検査処理の内容を簡単に説明する。
Here, in order to briefly explain the operation of the print defect apparatus, the contents of the print defect inspection process for the windows of the second plane, the third plane, and the fourth plane, which are not described, will be briefly described. .

【0047】(1)第2プレーンのウインドウについて 第1プレーンのプレーン形成/判定回路61が、画素
(1024,64)に対する加算/不良判断処理を行っ
た後、第2プレーンのプレーン形成/判定回路61の動
作開始信号h4 を第2プレーンのプレーン形成/判定回
路61に出力すると、次に検査する画素(1,65)
は、第2プレーンのウィンドウ#1の最初の検査対象画
素となる。以後、上述の第1プレーンのウィンドウでの
検査処理と同様にして、この第2プレーンのウィンドウ
(#1〜#56)に対する印刷欠陥の検査を行う。因み
に、この第2プレーンの最後の検査対象画素は、(10
24,960)である。
(1) Regarding the window of the second plane After the plane formation / judgment circuit 61 of the first plane performs the addition / defective judgment processing on the pixel (1024, 64), the plane formation / judgment circuit of the second plane When the operation start signal h4 of 61 is output to the plane formation / determination circuit 61 of the second plane, the pixel (1, 65) to be inspected next
Is the first pixel to be inspected in the window # 1 of the second plane. After that, in the same manner as the above-described inspection process in the window of the first plane, the inspection of the print defect in the windows (# 1 to # 56) of the second plane is performed. By the way, the last pixel to be inspected in this second plane is (10
24, 960).

【0048】(2)第3プレーンのウィンドウについて 第1プレーンのプレーン形成/判定回路61が、画素
(64,1)の上述の加算/不良判断処理を行った後、
第3プレーンのプレーン形成/判定回路61の動作開始
信号h5 を第3プレーンのプレーン形成/判定回路61
に出力すると、次に検査する画素(65,1)は、第3
プレーンのウィンドウ#1の最初の検査対象画素とな
る。以後、上述に説明したようにしてこの第3プレーン
のウィンドウ(#1〜#56)に対する印刷欠陥の検査
を行う。因みに、この第3プレーンの最後の検査対象画
素は、(960,1024)である。
(2) Regarding the window of the third plane After the plane formation / determination circuit 61 of the first plane has performed the above-mentioned addition / defective determination processing of the pixel (64, 1),
The operation start signal h5 of the plane forming / determining circuit 61 for the third plane is set to the plane forming / determining circuit 61 for the third plane.
Then, the pixel (65,1) to be inspected next is
It becomes the first pixel to be inspected in the window # 1 of the plane. Thereafter, the print defects of the windows (# 1 to # 56) of the third plane are inspected as described above. Incidentally, the last inspection target pixel of the third plane is (960, 1024).

【0049】(3)第4プレーンのウィンドウについて 第3プレーンのプレーン形成/判定回路61が、画素
(64,64)の上述の加算/不良判断処理を行った
後、第3プレーンのプレーン形成/判定回路61の動作
開始信号h4を第4プレーンのプレーン形成/判定回路
61に出力すると、次に検査する画素(65,65)
は、第4プレーンのウィンドウ#1の最初の検査対象画
素となる。以後、上述に説明したようにしてこの第4プ
レーンのウィンドウ(#1〜#49)に対する印刷欠陥
の検査を行う。因みに、この第4プレーンの最後の検査
対象画素は、(960,960)である。
(3) Regarding the window of the fourth plane After the plane formation / judgment circuit 61 of the third plane performs the above-mentioned addition / defective judgment processing of the pixel (64, 64), the plane formation / judgment of the third plane / When the operation start signal h4 of the determination circuit 61 is output to the plane formation / determination circuit 61 of the fourth plane, the pixel (65, 65) to be inspected next
Is the first pixel to be inspected in the window # 1 of the fourth plane. Thereafter, the print defects of the windows (# 1 to # 49) of the fourth plane are inspected as described above. Incidentally, the final inspection target pixel of the fourth plane is (960, 960).

【0050】上述の実施形態によれば、図5に示すよう
に、ウィンドウ1およびウィンドウ2、において印刷欠
陥と判定されなかった印刷欠陥Bが、横方向に1/2ウ
ィンドウずれて中央にくるために印刷欠陥と判定され
る。また、ウィンドウ1,ウィンドウ2,ウィンドウ3
およびウィンドウ4において印刷欠陥と判定されなかっ
た印刷欠陥Cが、縦方向に1/2ウィンドウ6ずれて中
央にくるから、印刷欠陥と判定される。
According to the above-described embodiment, as shown in FIG. 5, the print defect B which has not been determined to be the print defect in the window 1 and the window 2 is shifted by 1/2 window in the horizontal direction and comes to the center. Is determined to be a printing defect. Also, window 1, window 2, window 3
Further, the print defect C which has not been determined to be a print defect in the window 4 is shifted by ½ window 6 in the vertical direction and comes to the center, so that it is determined to be a print defect.

【0051】このように、ウィンドウを所定量だけ所定
方向にずらしたウィンドウを単位にとして、印刷欠陥を
判定するので、迅速な印刷欠陥の検査が可能となり、か
つ、印刷欠陥のとりこぼしがなくなる。
As described above, since the printing defect is determined in units of the window which is displaced by the predetermined amount in the predetermined direction, the printing defect can be quickly inspected and the printing defect is not missed.

【0052】本実施形態の欠陥検査装置は、は、第1プ
レーン、第2プレーン、第3プレーンおよび第4プレー
ンのプレーン形成/判定回路61を4つ並列に並べるだ
けでよく、FPGA(Field Programmable Gatearray)
やASIC(Application Specific Integrated Circui
t)で簡単に実現することができる。
In the defect inspection apparatus of this embodiment, the plane forming / determining circuits 61 of the first plane, the second plane, the third plane, and the fourth plane need only be arranged in parallel, and the FPGA (Field Programmable) Gatearray)
And ASIC (Application Specific Integrated Circui
t) can be easily realized.

【0053】なお、上述の実施形態の欠陥検査装置は、
X軸方向およびY軸方向に互いに1/2ウィンドウずれ
た4つのプレーンのウィンドウ単位で印刷欠陥を検査す
る装置であるが、検査精度と対コスト性との関係でX軸
方向またはY軸方向のどちらか一方のみの欠陥検査装置
としても当然可能である。
The defect inspection apparatus of the above-described embodiment is
Although it is an apparatus for inspecting print defects in window units of four planes that are displaced by ½ window from each other in the X-axis direction and the Y-axis direction, it is possible to measure in the X-axis direction or the Y-axis direction in terms of inspection accuracy and cost efficiency. Of course, it is possible to use only one of them as a defect inspection device.

【0054】また、他の欠陥検査装置としては、ウィン
ドウを1/2N (N=0,1,2,3,4,・・・・)
ずらすことも実現可能であり、この場合、上述の欠陥判
定器6を構成するプレーン形成/判定回路61を、そう
に見合う数だけ並列に増やせばよい。
As another defect inspection apparatus, the window is ½ N (N = 0, 1, 2, 3, 4, ...).
It is also possible to shift them, and in this case, the plane forming / determining circuits 61 constituting the defect determiner 6 described above may be increased in parallel by the number corresponding to that.

【0055】上述の実施形態の欠陥検査装置は、良品画
像データおよび検査画像データをラスタスキャンして、
ウィンドウ単位で印刷欠陥を検査する装置であるが、ス
キャンの仕方を、ウインド中のすべての画素を検査した
後、次のウィンドウのすべての画素を検査する欠陥検査
装置も可能である。
The defect inspection apparatus according to the above-described embodiment raster-scans non-defective product image data and inspection image data,
Although it is an apparatus for inspecting print defects on a window-by-window basis, it is also possible to use a defect inspection apparatus for inspecting all pixels in the window after inspecting all pixels in the window.

【0056】なお、検査方法としては、X軸方向のウィ
ンドウの数だけカウンタを用意し、ウィンドウの切れ目
ごとにカウンタを切り替え、1ウィンドウ分終了時点で
予め設定された数とカウント値を比較し、カウント値の
方が大きかった場合には、印刷欠陥があるとする欠陥検
査装置も可能である。
As an inspection method, counters are prepared for the number of windows in the X-axis direction, the counters are switched at every window break, and the preset value is compared with the preset value at the end of one window, If the count value is larger, it is possible to use a defect inspection apparatus that determines that there is a print defect.

【0057】[0057]

【発明の効果】上述の発明によれば、プレーン設定手段
が同一の検査画像データについて互いにずれたウインド
ウを有する複数のプレーンを設定することにより、印刷
欠陥がウィンドウにおいて境界上にまたがって存在して
いる場合でも、迅速な印刷欠陥の検査が可能となり、か
つ、印刷欠陥のとりこぼしがなくなるという効果があ
る。
According to the above-described invention, the plane setting means sets a plurality of planes having mutually shifted windows with respect to the same inspection image data, so that a print defect exists across the boundaries in the windows. Even if there is, there is an effect that it is possible to quickly inspect the printing defect and the printing defect is not missed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る欠陥検査装置の一実施形態の前提
となる内容を説明する図である。
FIG. 1 is a diagram illustrating the contents that are a prerequisite for an embodiment of a defect inspection apparatus according to the present invention.

【図2】本発明に係る欠陥検査装置の一実施形態の構成
を示す構成概略図である。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a configuration of an embodiment of a defect inspection apparatus according to the present invention.

【図3】図1中の欠陥判定器の構成を示すブロック図で
ある。
FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of a defect determiner in FIG.

【図4】図2中のプレーン形成/判定回路の構成を示す
ブロック図である。
FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a plane forming / determining circuit in FIG.

【図5】印刷欠陥の検査処理を説明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a print defect inspection process.

【図6】ウィンドウを説明する図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a window.

【図7】従来の欠陥検査装置の処理動作を説明するブロ
ック図である。
FIG. 7 is a block diagram illustrating a processing operation of a conventional defect inspection apparatus.

【図8】従来の印刷欠陥の検査処理を説明する図であ
る。
FIG. 8 is a diagram illustrating a conventional print defect inspection process.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ラインセンサ 2 信号処理伝送部 3 画像処理部 4 ロータリーエンコーダ 5 ライトガード 6 欠陥判定器 7 ローラ 1 line sensor 2 signal processing transmission unit 3 image processing unit 4 rotary encoder 5 light guard 6 defect determiner 7 roller

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被検査対象物の検査画像データを複数の
ウィンドウに分割して1プレーンとし、プレーンを構成
するウィンドウ単位で欠陥の有無を判断する欠陥検査装
置であって、 同一の検査画像データについて互いにずれたウインドウ
を有する複数のプレーンを設定するプレーン設定手段、 を有し、同一検査画像データを複数のプレーンに基づい
て判断することを特徴とする欠陥検査装置。
1. A defect inspection apparatus that divides inspection image data of an object to be inspected into a plurality of windows into one plane and determines the presence / absence of a defect for each window constituting the plane, and the same inspection image data is used. A plane setting means for setting a plurality of planes having windows shifted from each other, and the same inspection image data is judged based on the plurality of planes.
【請求項2】 上記プレーン設定手段で設定された複数
のプレーンは、同時並列的に欠陥の有無が判断されるこ
とを特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。
2. The defect inspection apparatus according to claim 1, wherein the plurality of planes set by the plane setting means are simultaneously and in parallel determined for defects.
【請求項3】 上記ウィンドウはX,Y軸方向に格子上
に配列された複数の画素より構成され、 上記プレーン設定手段は、 検査対象ウィンドウをX,Y軸方向に所定画素分ずらす
ことによって互いにずれたウィンドウを有する複数のプ
レーンを設定することを特徴とする請求項1記載の欠陥
検査装置。
3. The window is composed of a plurality of pixels arranged on a grid in the X and Y axis directions, and the plane setting means shifts the inspection object window in the X and Y axis directions by a predetermined number of pixels from each other. The defect inspection apparatus according to claim 1, wherein a plurality of planes having shifted windows are set.
【請求項4】 上記プレーン設定手段は、 被検査対象物の検査画像データをX軸方向に沿って順次
収集するラスタースキャン収集手段を有し、 最初に収集された検査画像データの位置に基づいて検査
画像データを複数のウィンドウに分割し、基準となるプ
レーンを設定する第1のプレーン設定手段と、 上記第1のプレーン設定手段で設定されたプレーンをス
キャン中、検査画像データのスキャン位置が最初に収集
された検査画像データの位置からX軸方向に所定画素分
ずれた位置にきたとき、該位置を基準として検査画像デ
ータを複数のウィンドウに分割し、上記第1のプレーン
設定手段で設定されたウインドウ位置よりX軸方向に所
定画素分ずれた位置に各ウインドウがあるようにプレー
ンを設定する第2のプレーン設定手段と、 上記第1のプレーン設定手段で設定されたプレーンをス
キャン中、検査画像データのスキャン位置が最初に収集
された検査画像データの位置からY軸方向に所定画素分
ずれた位置にきたとき、該位置を基準として検査画像デ
ータを複数のウィンドウに分割し、上記第1のプレーン
設定手段で設定されたウインドウ位置よりY軸方向に所
定画素分ずれた位置に各ウインドウがあるようにプレー
ンを設定する第3のプレーン設定手段と、 上記第3のプレーン設定手段で設定されたプレーンをス
キャン中、検査画像データのスキャン位置が最初の基準
位置からX軸方向に所定画素分ずれた位置にきたとき、
該位置を基準として検査画像データを複数のウィンドウ
に分割し、上記第3のプレーン設定手段で設定されたウ
インドウ位置よりX軸方向に所定画素分ずれた位置に各
ウインドウがあるようにプレーンを設定する第4のプレ
ーン設定手段と、 を有することを特徴とする請求項3記載の欠陥検査装
置。
4. The plane setting means has raster scan collecting means for sequentially collecting inspection image data of an object to be inspected along the X-axis direction, and based on the position of the inspection image data collected first. The inspection image data is divided into a plurality of windows and a first plane setting unit that sets a reference plane, and the plane set by the first plane setting unit is being scanned, the inspection image data is first scanned. When a position shifted by a predetermined number of pixels in the X-axis direction from the position of the inspection image data collected in (1), the inspection image data is divided into a plurality of windows with the position as a reference and set by the first plane setting means. Second plane setting means for setting a plane such that each window is located at a position displaced by a predetermined number of pixels in the X-axis direction from the window position; When the plane set by the plane setting means is being scanned, when the scan position of the inspection image data reaches a position displaced by a predetermined pixel in the Y-axis direction from the position of the inspection image data initially collected, the position is used as a reference. A third plane in which the inspection image data is divided into a plurality of windows and planes are set so that each window is located at a position displaced by a predetermined number of pixels in the Y-axis direction from the window position set by the first plane setting means. While scanning the setting unit and the plane set by the third plane setting unit, when the scan position of the inspection image data is displaced from the first reference position by a predetermined pixel in the X-axis direction,
The inspection image data is divided into a plurality of windows on the basis of the position, and planes are set so that each window is located at a position shifted by a predetermined pixel in the X-axis direction from the window position set by the third plane setting means. 4. The defect inspection apparatus according to claim 3, further comprising: a fourth plane setting unit that performs:
【請求項5】 上記画素のずれ量はX,Y軸方向ともに
ウィンドウ構成画素数の半分であることを特徴とする請
求項3または4記載の欠陥検査装置。
5. The defect inspection apparatus according to claim 3, wherein the pixel shift amount is half the number of window constituent pixels in both the X and Y axis directions.
JP7257990A 1995-10-04 1995-10-04 Defect inspection device Pending JPH09101268A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013053875A (en) * 2011-09-01 2013-03-21 Railway Technical Research Institute Inspection support device, program, and inspection support method

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