JPH0886932A

JPH0886932A - 光合分波器

Info

Publication number: JPH0886932A
Application number: JP22456194A
Authority: JP
Inventors: Masanori Iida; 正憲飯田; Hiroyuki Asakura; 宏之朝倉
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1994-09-20
Filing date: 1994-09-20
Publication date: 1996-04-02

Abstract

(57)【要約】【目的】光ファイバ等の配列位置精度が高く、量産性
に優れ、かつ分離波長間隔を狭搾化した光入出力部を有
する光合分波器を得る。【構成】回折格子１と、レンズ２と、それらを介して
光を入出力する光入出力部分３を具備し、光入出力部
は、Ｖ字溝を有する配列基台７と、Ｖ字溝内側に接しか
つ最密配置した少なくとも３本の光ファイバ４、５及び
６を有する。光ファイバ４から出射された波長多重光
は、レンズ２を介して回折格子１に照射され、回折格子
１により波長分散された光の内、特定の波長の光はレン
ズ２を介して他の光ファイバにそれぞれ入射し、波長多
重光が波長分離されると共に、１つの光ファイバ４と他
のいずれかの光ファイバ５又は６とが選択的に結合され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は波長多重通信や双方向伝
送に用いる光合分波器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、情報の高度化と多様化につれ、光
伝送システムの大容量化が要求されると共に、リクエス
ト型の伝送が実現されつつある。双方向の映像及びデー
タの送受信のため、波長多重伝送を用いて伝送容量を増
大させる方法が、既存の光ファイバを用いた光伝送シス
テムを拡張する上で有効である。限られた波長帯域で多
数の波長の光を多重するために、例えば特開平３−２３
９２０７号公報に示されているように、入出力光ファイ
バを２次元に配列し、多重光の入出力を行う光ファイバ
と波長分離された光の入出力を行う光ファイバを、互い
に漏れ込みがないように空間的に別々に配置する構成が
提案されている。また、光ファイバの配列精度を高める
ために、光の入出力部分として光ファイバを配列したシ
リコン基板とＬＮ（ＬｉＮＯ₃）導波路基板を組み合わ
せる構成も提案されている（例えば、「ジェー．リプソ
ン，ダブリュー．ジェー．ミンフォード，イー．ジェ
ー．マーフィー，ティー．シー．ライス，アール．エ
ー．リンケアンドジー．ティー．ハーヴェイ：ア
シックス−チャンネルウェーブレングスマルチプレ
ックサーアンドデマルチプレックサーフォーシ
ングルモードシステムズ．アイイーイーイージャ
ーナルオブライトウェーブテクノロジー．ボル．
エルティー３．エヌオー５．ピー１１５９（１９８５）
［J.Lipson, W.J.Minford, E.J.Murphy, T.C.Rice, R.
A.Linke, and G.T.Harvey: A Six-Channel Wavelength
Multiplexer and Demultiplexer for Single Mode Syst
ems. IEEE Journal of Lightwave Technology. Vol.LT
-3.No.5.P.1159(1985)］）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
場合、特開平３−２３９２０７号公報では、光ファイバ
アレイの高精度な配列についての具体的構成について言
及していない。一方、後者の場合、シリコン基板とＬＮ
基板という異種の基板間での接合を用いるため、屈折率
の整合をとることができない。また、配列基板の材料が
高価であり、加工には結晶方位を合わせた選択的エッチ
ングや拡散・注入工程及び高精度の切削加工を必要と
し、量産性が低く、加工精度のばらつきにより歩留まり
が悪いという問題点を有していた。

【０００４】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであり、構成が簡単で、かつ光ファイバの配
列精度が高く、屈折率を含めた結合系との整合性の高い
光入出力部を有する光合分波器を提供することを目的と
している。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の光合分波器は、回折格子と、レンズと、前
記回折格子及び前記レンズを介して光を入出力するため
の光入出力部を具備し、前記光入出力部は、Ｖ字溝を有
する配列基台と、前記Ｖ字溝内側に接しかつ最密配置さ
れ少なくとも３本の光ファイバとを有するものである。
上記構成において、Ｖ字溝の頂角が６０度であることが
好ましい。また、上記構成において、光ファイバの入出
力端面は、光ファイバの配列方向に垂直な面に対して傾
斜し、その表面が鏡面化されていることが好ましい。ま
た、上記構成において、光ファイバの入出力端面の表面
に反射防止膜を設けることが好ましい。または、上記構
成において、光ファイバ入出力端面に反射防止膜を有す
る平板を接着固定することが好ましい。また、上記構成
において、平板の光ファイバ入出力端面に対向する２つ
の面が平行でないことが好ましい。また、上記構成にお
いて、配列基台に配列された光ファイバは、研磨又はエ
ッチングにより光ファイバのクラッド径を小さくし又は
その１部を削除し、その外側に補強薄膜層を設けたもの
であることが好ましい。また、上記構成において、Ｖ字
溝を有する配列基台は、その逆相形状を持つ金型を用い
て、ガラス材料又は樹脂材料により成形したものである
ことが好ましい。

【０００６】一方、本発明の他の光合分波器は、回折格
子と、レンズと、前記回折格子とレンズを介して光を入
出力するための光入出力部を具備し、前記光入出力部
は、互いに交差しない複数の光導波路が同一平面上に形
成された透明基台と、少なくとも１個の別に設けられた
光入出力手段を有するものである。上記構成において、
別に設けられた光入出力手段は光ファイバであることが
好ましい。また、上記構成において、別に設けられた光
入出力手段は透明基台の他の平面上に形成された光導波
路であることが好ましい。また、上記構成において、透
明基台の一方の端面での導波路間隔と他方の端面での導
波路間隔が異なることが好ましい。また、上記構成にお
いて、透明基台のレンズ側端面での導波路間隔が非レン
ズ側端面での導波路間隔よりも狭いことが好ましい。ま
た、上記構成において、透明基台上の導波路間隔が狭く
なっている部分に沿って、導波路溝深さ以上の深さの遮
光部が設けられていることが好ましい。また、上記構成
において、透明基台は、１つの平面上に形成された複数
の光導波路を形成するための溝と、前記１つの平面に対
向する面に設けられた光ファイバを保持するためのＶ字
溝を有し、その逆相形状を有する金型を用いて、ガラス
材料又は樹脂材料により成形したものであることが好ま
しい。または、上記構成において、透明基台は、１つの
平面上に形成された複数の光導波路を形成するための溝
と、前記１つの平面に対向する面に設けられた光導波路
を形成するための溝を有し、その逆相形状を有する金型
を用いて、ガラス材料又は樹脂材料により成形したもの
であることが好ましい。また、上記構成において、透明
基台は、光導波路を形成する材料の屈折率よりも小さい
ガラス材料又は樹脂材料で形成されていることが好まし
い。また、上記構成において、レンズ側端面において、
光導波路がその延長線上で一点に交差するように配置さ
れていることが好ましい。また、上記構成において、光
導波路及び別に設けられた光入出力手段のレンズ側の入
出力端面は、光の導波方向に垂直な面に対し傾斜してお
り、その表面は鏡面化されていることが好ましい。ま
た、上記構成において、光導波路及び別に設けられた光
入出力手段のレンズ側の入出力端面に反射防止膜を設け
ることが好ましい。

【０００７】また、本発明のさらに別の光合分波器は、
回折格子と、レンズと、前記回折格子とレンズを介して
光を入出力するの光入出力部を具備し、前記光入出力部
は、互いに交差しない複数の光導波路が同一平面上に形
成された透明基台と、少なくとも１個の別に設けられた
光入出力手段と、前記複数の光導波路に光学的に結合さ
れる複数の光ファイバと、前記複数の光ファイバを密着
又は直線状に配置し保持する少なくとも１つのＶ字溝を
有する配列基台とを有するものである。上記構成におい
て、別に設けられた光入出力手段は光ファイバであるこ
とが好ましい。または、本発明のさらに別の光合分波器
は、回折格子と、レンズと、前記回折格子とレンズを介
して光を入出力するの光入出力部を具備し、前記光入出
力部は、互いに交差しないように同一平面上に形成され
た複数の光導波路と他の平面上に形成された光導波路を
有する透明基台と、前記各光導波路に光学的に結合され
る少なくとも３本の光ファイバと、前記光ファイバを密
着配置し保持する１つのＶ字溝を有する配列基台とを有
するものである。上記構成において、光ファイバと光導
波路の結合面はお互いにその長手方向に垂直な面に対し
て傾斜した状態で密着していることが好ましい。また、
上記構成において、レンズ側の導波路端面に反射防止膜
を設けることがこのましい。また、上記構成において、
透明基台は、１つの平面上に形成された複数の光導波路
を形成するための溝と、前記１つの平面に対向する面に
設けられた光ファイバを保持するためのＶ字溝を有し、
その逆相形状を有する金型を用いて、ガラス材料又は樹
脂材料により成形したものであり、配列基台は前記透明
基台を保持するための平坦部及び少なくとも１つのＶ字
溝部を有し、その逆相形状を有する金型を用いて、ガラ
ス材料又は樹脂材料により成形したものであることが好
ましい。または、上記構成において、透明基台は、１つ
の平面上に形成された複数の光導波路を形成するための
溝と、前記１つの平面に対向する面に設けられた光導波
路を形成するための溝を有し、その逆相形状を有する金
型を用いて、ガラス材料又は樹脂材料により成形したも
のであり、配列基台は前記透明基台を保持するための平
坦部及び１つのＶ字溝部を有し、その逆相形状を有する
金型を用いて、ガラス材料又は樹脂材料により成形した
ものであることが好ましい。また、上記構成において、
透明基台と配列基台とが一体成形されたものであること
が好ましい。また、上記構成において、透明基台は、光
導波路を形成する材料の屈折率よりも小さいガラス材料
又は樹脂材料で形成されていることが好ましい。

【０００８】

【作用】以上のように構成された本発明の光合分波器に
よれば、少なくとも３本の光ファイバを配列基台に設け
られたＶ字溝の内側に密着して保持するという簡単な構
成により、各光ファイバ間の距離等の相対的位置関係が
一定に保たれる。１つの光ファイバから出射された波長
多重光は、レンズを介して回折格子に照射され、回折格
子により波長分散される。波長分散された光の内、特定
の波長の光はレンズを介して他の光ファイバにそれぞれ
入射する。その結果、波長多重光が波長分離されると共
に、１つの光ファイバと他のいずれかの光ファイバとが
選択的に結合される。Ｖ字溝の頂角を６０度とすること
により、同じ外径を有する少なくとも３本の光ファイバ
を最密的に配置することができ、回折格子により分離さ
れる波長帯域幅を狭くすることができる。また、光ファ
イバの入出力端面を、光ファイバの配列方向に垂直な面
に対して傾斜させ、その表面を鏡面化することにより、
反射戻り光や光学系内での多重反射光が抑制され、光合
分波器での歪や雑音が低減される。また、光ファイバの
入出力端面の表面に反射防止膜を設けることにより、反
射戻り光や光学系内での多重反射光がさらに抑制され
る。また、光ファイバ入出力端面に反射防止膜を有する
平板を接着固定することにより、光ファイバを直接蒸着
プロセスにおける高温にさらすことがなくなる。また、
平板の光ファイバ入出力端面に対向する２つの面が平行
でない、すなわち、平板をくさび状にすることにより、
シングルモード光ファイバでの再結合度を小さくするこ
とができる。また、配列基台に配列された光ファイバ
を、研磨又はエッチングにより光ファイバのクラッド径
を小さくし又はその１部を削除し、その外側に補強薄膜
層を設けたものとすることにより、光ファイバのコアの
部分の間隔がさらに狭くなり、波長分離される帯域幅を
さらに狭くすることができる。また、Ｖ字溝を有する配
列基台を、その逆相形状を持つ金型を用いて、ガラス材
料又は樹脂材料により成形することにより、加工精度が
良く、量産性に優れ、かつ光ファイバの材料との整合性
の高い光合分波器を構成することができる。

【０００９】一方、本発明の他の光合分波器によれば、
光入出力部を、互いに交差しない複数の光導波路が同一
平面上に形成された透明基台と、少なくとも１個の別に
設けられた光入出力手段により構成したので、光導波路
部分が光ファイバのコアに相当し、また透明基台部分が
光ファイバのクラッドに相当し、光信号を伝送すること
ができる。また、光導波路と透明基台とが一体的に形成
されるため、加工工程が簡素化される。別に設けられた
光入出力手段を光ファイバとすることにより、透明基台
上の光導波路を形成する面が１面のみとなり、透明基台
の加工工程が簡素化される。一方、別に設けられた光入
出力手段を透明基台の他の平面上に形成された光導波路
とすることにより、各光導波路の位置調整が不要にな
る。また、透明基台の一方の端面での導波路間隔と他方
の端面での導波路間隔を異ならせることにより、任意の
受光素子や光伝送装置を使用することができる。また、
透明基台のレンズ側端面での導波路間隔を非レンズ側端
面での導波路間隔よりも狭くすることにより、回折格子
により分離される波長帯域幅を狭くすることができると
共に、光合分波器に結合する光ファイバ等の結合スペー
スが確保される。また、透明基台上の導波路間隔が狭く
なっている部分に沿って、導波路溝深さ以上の深さの遮
光部を設けることにより、導波光の漏れ込みが抑制され
る。また、透明基台を、１つの平面上に形成された複数
の光導波路を形成するための溝と、前記１つの平面に対
向する面に設けられた光ファイバを保持するためのＶ字
溝を有し、その逆相形状を有する金型を用いて、ガラス
材料又は樹脂材料により成形したものとするか、また
は、１つの平面上に形成された複数の光導波路を形成す
るための溝と、前記１つの平面に対向する面に設けられ
た光導波路を形成するための溝を有し、その逆相形状を
有する金型を用いて、ガラス材料又は樹脂材料により成
形したものとすることにより、光導波路と透明基台とが
一体的に形成され、加工工程が簡素化される。また、透
明基台を、光導波路を形成する材料の屈折率よりも小さ
いガラス材料又は樹脂材料で形成することにより、光導
波路の形成が容易になる。また、レンズ側端面におい
て、光導波路をその延長線上で一点に交差するように配
置することにより、入射角のずれによる結合効率の変動
が抑制される。また、光導波路及び別に設けられた光入
出力手段のレンズ側の入出力端面を、光の導波方向に垂
直な面に対し傾斜させ、その表面を鏡面化することによ
り、反射戻り光や光学系内での多重反射光が抑制され、
光合分波器での歪や雑音が低減される。また、光導波路
及び別に設けられた光入出力手段のレンズ側の入出力端
面に反射防止膜を設けることにより、さらに反射戻り光
や光学系内での多重反射光が抑制され、光合分波器での
歪や雑音が低減される。

【００１０】また、本発明のさらに別の光合分波器によ
れば、光入出力部を、互いに交差しない複数の光導波路
が同一平面上に形成された透明基台と、少なくとも１個
の別に設けられた光入出力手段と、前記複数の光導波路
に光学的に結合される複数の光ファイバと、前記複数の
光ファイバを密着又は直線状に配置し保持する少なくと
も１つのＶ字溝を有する配列基台とで構成したので、透
明基台上の光導波路と光ファイバとの位置関係が精度良
く容易に整合する。別に設けられた光入出力手段を光フ
ァイバとすることにより、透明基台上の光導波路を形成
する面が１面のみとなり、透明基台の加工工程が簡素化
される。または、光入出力部を、互いに交差しないよう
に同一平面上に形成された複数の光導波路と他の平面上
に形成された光導波路を有する透明基台と、前記各光導
波路に光学的に結合される少なくとも３本の光ファイバ
と、前記光ファイバを密着配置し保持する１つのＶ字溝
を有する配列基台とで構成することにより、各光導波路
の位置調整が不要になる。光ファイバと光導波路の結合
面をお互いにその長手方向に垂直な面に対して傾斜した
状態で密着させることにより、結合部分での反射戻り光
が光ファイバや光導波路に再入射しない。また、レンズ
側の導波路端面に反射防止膜を設けることにより、反射
戻り光や光学系内での多重反射光が抑制され、光合分波
器での歪や雑音が低減される。また、透明基台を、１つ
の平面上に形成された複数の光導波路を形成するための
溝と、前記１つの平面に対向する面に設けられた光ファ
イバを保持するためのＶ字溝を有し、その逆相形状を有
する金型を用いて、ガラス材料又は樹脂材料により成形
したものであり、配列基台は前記透明基台を保持するた
めの平坦部及び少なくとも１つのＶ字溝部を有し、その
逆相形状を有する金型を用いて、ガラス材料又は樹脂材
料により成形したものとし、または、１つの平面上に形
成された複数の光導波路を形成するための溝と、前記１
つの平面に対向する面に設けられた光導波路を形成する
ための溝を有し、その逆相形状を有する金型を用いて、
ガラス材料又は樹脂材料により成形したものであり、配
列基台は前記透明基台を保持するための平坦部及び１つ
のＶ字溝部を有し、その逆相形状を有する金型を用い
て、ガラス材料又は樹脂材料により成形したものとする
ことにより、光導波路と透明基台とが一体的に形成さ
れ、加工工程が簡素化されると共に、透明基台と配列基
台の位置合わせが容易になる。また、透明基台と配列基
台とを一体成形されたものとすることにより、加工工程
がさらに簡素化されると共に、透明基台と配列基台の位
置合わせが不要になる。また、透明基台を、光導波路を
形成する材料の屈折率よりも小さいガラス材料又は樹脂
材料で形成することにより、光導波路の形成が容易にな
る。

【００１１】

【実施例】

（第１の実施例）本発明の光合分波器の好適な第１の実
施例を、図１から図３を参照しつつ説明する。図１は本
発明の第１の実施例における光合分波器の構成図を示す
斜視図、図２は第１の実施例の光合分波器における光入
出力部３の構成を示す正面図、図３はその斜視図であ
る。図１に示すように、例えば３本の入出力光ファイバ
４、５及び６は、例えば頂角６０度のＶ字溝７ａを有す
る配列基台７及び押え板８により密着して保持され、光
入出力部３を構成している。光入出力部３の前方にはレ
ンズ２及び回折格子１が配置されている。図２に示すよ
うに、配列基台７のＶ字溝７ａの頂角は６０度である。
また、各入出力光ファイバ４、５及び６は同じ外径を有
しているため、下段の入出力光ファイバ４及び上段の入
出力光ファイバ５及び６は互いに密着して配列される。
また、図３に示すように、光入出力部３のレンズ側に位
置し、入出力光ファイバ４、５及び６の入出力端面を含
む入出力端面部１２は、各入出力光ファイバ４、５及び
６の配列方向に垂直な面に対して少なくとも７度以上傾
斜し、その表面は鏡面化されている。

【００１２】光入出力部３の入出力光ファイバ４から出
射された波長多重光は、レンズ２を透過して回折格子１
に入射し、格子溝１ａに垂直な方向に波長分散される。
波長分散光は、再びレンズ２を透過し、波長分散された
光のうち特定の波長の光が波長分散方向に配列された入
出力光ファイバ５及び６にそれぞれ入射する。その結
果、波長分散された光のうち特定の波長の光に対応する
入出力光ファイバ４と５及び入出力光ファイバ４と６と
がそれぞれ選択的に結合される。入出力光ファイバ５及
び６の出力は、それぞれ波長分離されている。回折格子
１に対する入出力光ファイバ５及び６の位置は、波長分
散された光のうち前記特定の波長の光の波長分散方向と
一致する。また、光入出力部３の入出力端面１２の傾斜
方向は、入出力光ファイバ５及び６の配列方向と垂直で
ある。そのため、入出力光ファイバ４から各入出力光フ
ァイバ５及び６への、レンズ２及び回折格子１を含む光
路長はそれぞれ同じである。

【００１３】上記第１の実施例によれば、配列基台７に
設けられたＶ字溝７ａに３本の入出力光ファイバ４、５
及び６を重ね、配列した簡便な構成であり、Ｖ字溝７ａ
の側面と各入出力光ファイバ４、５及び６の側面が密着
し、配列精度の高い入出力光ファイバアレイが構成され
る。また、入出力光ファイバ４から各入出力光ファイバ
５及び６への光路長が同じであるため、光ファイバ間の
結合効率のばらつきが低減される。また、光入出力部３
の入出力端面１２を傾斜させ、さらに入出力端面１２の
表面を鏡面化したので、反射戻り光及び光学系内での多
重反射光が抑制され、光合分波器での歪や雑音が低減さ
れる。

【００１４】なお、上記第１の実施例では、配列基台７
のＶ字溝７ａの頂角を６０度としたが、これに限定され
るものではなく、例えば、図４に示すように、上段の入
出力光ファイバ５１及び６１のクラッド部分の一部又は
全周にわたって一定の範囲を除去し、前記頂角６０度よ
りも小さい頂角のＶ字溝７１ａを有する配列基台７１を
用いて、これらの入出力光ファイバ４、５１及び６１を
配列保持するように構成してもよい。または、図５に示
すように、入出力光ファイバ４２、５２及び６２のクラ
ッドの外径を研磨又はエッチングにより小さくし、クラ
ッドの外周面に強度補強用の薄膜層４ａ、５ａ及び６ａ
をそれぞれ設け、第１の実施例と同様の頂角６０度のＶ
字溝７２ａを有する（小型の）配列基台７２に密着配列
させるように構成してもよい。いずれの場合も、波長分
離光が入出力される入出力光ファイバ５１と６１又は５
２と６２の間隔を狭搾化することができ、それぞれの入
出力光ファイバ５１及び６１又は５２及び６２において
結合される波長帯域幅を変化させることなく、光合分波
機能として波長分離できる間隔を狭くすることができる
利点を持つ。また、クラッド径をそのままにし、金属等
の薄膜層４ａ、５ａ及び６ａを施すことにより、強度補
強と共に光ファイバ間の漏れ込みを防ぐことができ、ク
ロストークが改善される。

【００１５】また、上記第１の実施例における配列基台
７、７１又は７２の加工方法は特に限定されないが、基
台形状の逆相形状を有する金型を用い、ガラス材料を注
型成形したものを用いてもよい。この場合、配列基台
７、７１又は７２の加工精度が良く、量産性に優れ、光
ファイバ材料との整合性がよいので、機械的及び物理化
学的な後処理加工を行いやすいという利点を有する。具
体的な加工方法については後述する。

【００１６】さらに、図６（ａ）に示すように、光入出
力部３の入出力端面１２に反射防止膜１０を蒸着等によ
り直接的に設けることにより、入出力端面１２での反射
戻り光及び多重反射光をさらに低減することができる。
また、図６（ｂ）に示すように、反射防止膜１０を有す
る平板９を接着層１１を介して入出力端面１２に配置す
るように構成してもよい。後者の場合、上記反射戻り光
及び多重反射光低減効果と共に、光ファイバアレイ部分
を蒸着プロセスにおける高温にさらすことがなくなり、
安定して反射防止膜１０を設けることができる。なお、
平板９の厚みと平板９の対向する面同士のくさび形状化
により、対向面上で起こる多重反射光が光ファイバへ再
結合をしないようにする必要がある。例えば、厚さ０．
５ｍｍ、角度１度のくさび平板を用いた場合、シングル
モード光ファイバでの再結合度を−５５ｄＢ以下にする
ことができる。また、接着層１１の屈折率を光ファイバ
の屈折率及び平板の屈折率に対してその屈折率差が０．
０３以内となるようにすれば、それらの間でのフレネル
反射率を−４０ｄＢ以下に抑えることができる。

【００１７】（第２の実施例）次に、本発明の光合分波
器の好適な第２の実施例を、図７から図９を参照しつつ
説明する。なお、第２の実施例は、光入出力部３の構成
においてのみ上記第１の実施例と異なり、回折格子１及
びレンズ２により行われる波長分離（光分波器）に関す
る動作は第１の実施例と同じである。従って、光入出力
部３のみ図面を用いて説明する。

【００１８】図７は第２の実施例の光合分波器の光入出
力部３の構成を示す斜視図である。図７において、光導
波路５３及び６３はガラス又は樹脂材料により、配列基
台７３上に一体的に形成されている。配列基台７３は、
光導波路５３及び６３の材料よりも屈折率の小さいガラ
ス又は樹脂材料で形成され、Ｖ字溝７３ａが設けられて
いる。光導波路５３及び６３の部分がコアに相当し、配
列基台７３の部分がクラッドに相当し、光伝送を行うこ
とが可能となる。また、Ｖ字溝７３ａには入出力光ファ
イバ４が配置されている。配列基台７３及び光導波路５
３及び６３の上面にはバッファ層１４が設けられてい
る。配列基台７３の入出力端面１２は、配列基台７３の
上面又は底面に対する垂直面から傾斜しており、表面は
鏡面化されている。また、入出力端面１２上の光導波路
５３及び６３の入出力端面１５及び１６の間隔は、通常
の光ファイバを密着配列した間隔である１２５μｍより
も狭く設定されている。配列基台７３のもう一方の端面
１３上の光導波路５３及び光導波路６３の間隔は、その
後に結合される任意の受光素子等に整合するような間隔
に設定されている。すなわち、光導波路５３及び６３の
間隔は、使用する受光素子等に応じて配列基台７３を作
製する際に任意に設定することができる。配列基台７３
のＶ字溝７３ａに配置された入出力光ファイバ４から出
射された波長多重光は、図１に示すレンズ２及び回折格
子１により波長分散され、波長分散光は再びレンズ２を
透過し、それぞれ光導波路端面１５及び１６に入射す
る。その結果、波長分散された光のうち特定の波長の光
に対応する光導波路５３又は６３と入出力光ファイバ４
とが選択的に結合され、波長分離される。

【００１９】次に、配列基台７３に対し光導波路５３及
び６３が一体的に形成された光入出力部３の製造方法
を、図８又は図９を用いて説明する。図８に示す第１の
方法では、金型（図示せず）を用い、光導波路部分７３
ｂ及びＶ字溝部分７３ａと共に配列基台７３を一括成形
する（手順ａ）。次に、配列基台７３の光導波路部分７
３ｂ側に高屈折材料２２を埋め込み（手順ｂ）、この高
屈折材料を配列基台７３の表面部分まで研磨等で除去し
（手順ｃ）、配列基台７３上にバッファ層１４を接合す
る（手順ｄ）。このようにして得られた光導波路５３及
び６３を含む配列基台７３のＶ字溝７３ａ内に入出力光
ファイバ４を配置し、押さえ板８で固定する（手順
ｅ）。その結果、光入出力部３が完成される。一方、図
９に示す第２の方法では、第１の方法と同様に金型を用
い、光導波路部分７３ｂ及びＶ字溝部分７３ａと共に配
列基台７３を一括成形し（手順ａ）、その後熱処理等に
よりバッファ層１４を接合し（手順ｂ）、コア相当部分
７３ｂへの高屈折率材料２２を充填する（手順ｃ）。こ
のようにして得られた光導波路５３及び６３を含む配列
基台７３のＶ字溝７３ａ内に入出力光ファイバ４を配置
し、押さえ板８で固定する（手順ｄ）。

【００２０】光導波路５３と６３の間隔が入出力端面１
２付近で狭くなると、互いの光導波路５３及び６３間で
導波光の漏れ込みが起こる可能性がある。しかし、シン
グルモード光導波路の場合、導波路間隔を３０μｍ以上
にすれば、導波光の漏れ込みを−５０ｄＢ以下にするこ
とができる。また、図１０に示すように、配列基台７３
の光導波路５３と６３の間に遮光層２０を選択的に設け
ることにより、導波光の漏れ込みをさらに抑制すること
も可能である。この場合、遮光層２０の形成工程を、配
列基台７３及び光導波路５３及び６３の作製工程に追加
し、一括形成することができる。

【００２１】また、上記第２の実施例では、配列基台７
３の片側に光導波路５３及び６３を形成しているが、図
１１に示すように、配列基台７３の光導波路５３及び６
３が設けられている面と対向する面に光導波路４３を形
成し、バッファ層２３を設けた光入出力部を構成するこ
ともできる。これにより光入出力部自体を一括成形可能
な集積化部分とすることができる。

【００２２】以上のように、第２の実施例では、配列基
台７３と光導波路３５及び６３を一体化することによ
り、光入出力部３の量産性及び加工精度を向上させるこ
とができ、光合分波器として特性の均一化を図ることが
できる。さらに、配列基台７３端面１２及び光導波路３
５及び６３の端面１５及び１６の鏡面化を同時に行うこ
とが可能であるという利点をも有している。また、光導
波路５３と６３との間隔を狭くすることができ、かつ光
導波路の結合時におけるモードフィールド径等の整合性
がよく結合効率の高い光合分波器を実現することができ
る。

【００２３】（第３の実施例）次に、本発明の光合分波
器の好適な第３の実施例を、図１２を参照しつつ説明す
る。図１２は第３の実施例の光合分波器の光入出力部３
の構成を示す斜視図である。なお、上記第１及び第２の
実施例と同一の番号を伏した部材は実質的に同一である
ため、その説明を省略する。また、説明の都合上、光入
出力部３の入出力端面１２側が紙面の奥になるように描
いている。

【００２４】図１２において、配列基台７４の前半の上
面には光導波路５３及び６３が設けられており、後半の
上面にはＶ字溝１７及び１８が設けられている。また、
配列基台７４の底部にもＶ字溝７４ａが設けられてい
る。入出力光ファイバ４４、５４及び６４はそれぞれ、
Ｖ字溝７４ａ、１７及び１８上に載置される。また、入
出力光ファイバ５４及び６４は、配列基台７４の入出力
光ファイバの側での端面１９において光導波路５３及び
６３の端面２４及び２５とそれぞれ結合される。

【００２５】第３の実施例は、第２の実施例の上に、さ
らに導波路５３及び６３の端面２４及び２５と入出力光
ファイバ５４及び６４とを結合するために、配列基台７
４の後半の上面にＶ字溝１７及び１８を設たものであ
る。Ｖ字溝１７上に載置され固定された入出力光ファイ
バ５４は、光導波路５３とコア部分どうしが位置整合す
るように結合されている。同様に、Ｖ字溝１８上に載置
され固定された入出力光ファイバ６４も、光導波路６３
とコア部分どうしが位置整合するように結合されてい
る。

【００２６】上記第３の実施例によれば、第２の実施例
の効果に加え、光ファイバと光導波路とが低損失で結合
された光入出力部を構成することができる。また、光導
波路５３及び６３を含む配列基台７４は一括成形可能で
あることため、入出力光ファイバ５４及び６４との整合
性を維持しつつ、量産性に優れたものとなる。

【００２７】光導波路と光ファイバとの結合部分につい
ては、図１３（端面部分のみを特化して記載）に示すよ
うに、配列基台７４の光ファイバ側の端面２１を斜め鏡
面化し、図１４に示すように、端面を斜め研磨した光フ
ァイバ５６を端面２１に付き当てるように配置するよう
に構成してもよい。この場合、接合部分での反射戻り光
が光ファイバ５６及び光導波路５３には再入射しない。
端面２１を斜め鏡面化することにより、成形過程におい
て垂直な端面を形成するよりも硝材等の型抜きが容易に
なり、安定して作製が可能である。さらにレンズ側の光
入出力端面１２も作製時に斜め鏡面化することにより、
光学系における反射戻り光を抑制することができる。ま
た必要に応じてレンズ側入出力端面１２に反射防止膜を
施すことにより、反射戻り光を低減することができる。

【００２８】（第４の実施例）次に、本発明の光合分波
器の好適な第４の実施例を、図１５及び図１６を参照し
つつ説明する。図１５は第４の実施例の光入出力部３の
構成を示す斜視図であり、図１６はその分解斜視図であ
る。第４の実施例では、実質的に図１１に示した光入出
力部３と同一のものを、Ｖ字溝７９ａを有する第２の配
列基台７９に装着し、入出力光ファイバ４４、５４及び
６４をＶ字溝７９ａ内に密着配置している。入出力光フ
ァイバ４４は光導波路４３に、入出力光ファイバ５４は
光導波路５３に、また入出力光ファイバ６４は光導波路
６３に、それぞれ位置精度よく結合されている。

【００２９】第２の配列基台７９は、図１６に示すよう
に、別個に成形された光入出力部３を載置するための平
坦部７９ｂと、入出力光ファイバ４４、５４及び６４を
密着配置するためのＶ字溝部７９ａを有する。光入出力
部３に一体的に形成された導波路４３、５３及び６３の
端面は、Ｖ字溝７９ａに密着配列された入出力光ファイ
バ４４、５４及び６４のコアと整合する位置に設けられ
ている。このように、Ｖ字溝７９ａにより３本の入出力
光ファイバ４４、５４及び６４を精度よく配列した第２
の配列基台７９と、成形時に導波路４３、５３及び６３
の間隔を規定して作製した配列基台７３とを組み合わせ
ることにより、総作製工程数を低減し、かつ汎用性の高
い構成とすることができ、種々の仕様の異なる光合分波
器においても、光入出力部の共用部位の多い構成とする
ことができる。

【００３０】なお。上記各実施例では光分波器の動作に
ついて説明を行ったが、光合波器の動作は、上記光分波
器の動作中光の進行方向を逆にすればよく、その説明を
省略する。また、レンズ側の光導波路の配置に関して
は、その光導波路端での光の出射方向の延長線上で一点
に交差するようにすることが望ましい。その理由は、回
折格子からの波長分離光は、それぞれ所望の波長の光が
光導波路に入射し、結合される際、回折角の偏位に基づ
き入射角度の差異が生じる。具体例として、シングルモ
ード導波路（モードフィールド径１０μｍ）における入
射角度のずれに対する結合効率の変動を、図１７に示
す。このように、入射角度のずれにより結合効率が変動
し、これが各波長分離光における挿入損失のばらつきと
なって現れる可能性がある。挿入損失のばらつきを低減
するため、上記各光導波路配置構成が有効である。例え
ば、有効焦点距離５ｍｍのレンズを用い光導波路間隔６
０μｍで構成する場合、隣接する光導波路は出射端面か
らの延長線上で約０.７度の交差角で交わるようにすれ
ば、結合損失変動分を最小にすることができる。

【００３１】回折格子の配置に関しては、傾き角をリト
ロー角度又はブレーズ角度付近に設定すればよい。特
に、好ましくは回折効率が高く偏光依存性が小さいフー
リエ回折格子（例えば飯田，萩原，朝倉：光通信シス
テムに最適化した高い回折効率を有するホログラフィッ
クフーリエ回折格子，アプライドオプティクス，３１
巻，１５号，３０１５頁，１９９２年［M.Iida, K.Hagi
wara, and H.Asakura:Holographic Fourier diffractio
n gratings with a high diffraction efficiency opti
mized for optical communication systems, Applied O
ptics, Vol.31, No.15, P.3015(1992)］に記載）を用
いる。この場合、回折効率が無偏光で９０％以上あり、
かつ偏光依存性も５％以内と小さいため、低損失で偏光
雑音の小さい構成とすることができる。

【００３２】レンズとしては、単一非球面レンズや屈折
率分布（ＧＲＩＮ）レンズを用いることにより、従来の
球面組レンズに比べ光学系の小型化と共に、多重反射点
を低減させることができる。さらに、回折格子を凹面格
子又は曲面平面回折格子を用いることにより、レンズが
不要な光学系を構成することができる。

【００３３】また、上記各実施例では、２つの波長用の
合分波器について述べたが、これに限らず３波以上の構
成であってもよい。この場合、出力ファイバの本数は多
重する数だけ必要となるが、Ｖ字溝に重ねて配列するこ
とにより、原理的に何本の出力ファイバであっても直線
状に配列することができる。また光導波路については必
要な波長の数の光導波路を増やして所望の間隔で形成す
ればよい。

【００３４】

【発明の効果】以上のように、本発明の光合分波器によ
れば、少なくとも３本の光ファイバを配列基台に設けら
れたＶ字溝の内側に密着して保持するという簡単な構成
により、各光ファイバ間の距離等の相対的位置関係を一
定に保つことができる。また、１つの光ファイバから出
射された波長多重光は、レンズを介して回折格子に照射
され、回折格子により波長分散され、波長分散された光
の内、特定の波長の光はレンズを介して他の光ファイバ
にそれぞれ入射するので、波長多重光を波長分離するこ
とができると共に、１つの光ファイバと他のいずれかの
光ファイバとを選択的に結合することができる。Ｖ字溝
の頂角を６０度とすることにより、同じ外径を有する少
なくとも３本の光ファイバを最密的に配置することがで
き、回折格子により分離される波長帯域幅を狭くするこ
とができる。また、光ファイバの入出力端面を、光ファ
イバの配列方向に垂直な面に対して傾斜させ、その表面
を鏡面化することにより、反射戻り光や光学系内での多
重反射光を抑制することができ、光合分波器での歪や雑
音を低減することができる。また、光ファイバの入出力
端面の表面に反射防止膜を設けることにより、反射戻り
光や光学系内での多重反射光をさらに抑制することがで
きる。また、光ファイバ入出力端面に反射防止膜を有す
る平板を接着固定することにより、光ファイバを直接蒸
着プロセスにおける高温にさらすことがなく、品質を安
定させることができる。また、平板の光ファイバ入出力
端面に対向する２つの面が平行でない、すなわち、平板
をくさび状にすることにより、シングルモード光ファイ
バでの再結合度を小さくすることができる。また、配列
基台に配列された光ファイバを、研磨又はエッチングに
より光ファイバのクラッド径を小さくし又はその１部を
削除し、その外側に補強薄膜層を設けたものとすること
により、光ファイバのコアの部分の間隔をさらに狭くす
ることができ、波長分離される帯域幅をさらに狭くする
ことができる。また、Ｖ字溝を有する配列基台を、その
逆相形状を持つ金型を用いて、ガラス材料又は樹脂材料
により成形することにより、加工精度が良く、量産性に
優れ、かつ光ファイバの材料との整合性の高い光合分波
器を構成することができる。

【００３５】一方、本発明の他の光合分波器によれば、
光入出力部を、互いに交差しない複数の光導波路が同一
平面上に形成された透明基台と、少なくとも１個の別に
設けられた光入出力手段により構成したので、光導波路
部分が光ファイバのコアに相当し、また透明基台部分が
光ファイバのクラッドに相当し、光信号を伝送すること
ができる。また、光導波路と透明基台とが一体的に形成
されるため、加工工程を簡素化することができる。別に
設けられた光入出力手段を光ファイバとすることによ
り、透明基台上の光導波路を形成する面が１面のみとな
り、透明基台の加工工程を簡素化することができる。一
方、別に設けられた光入出力手段を透明基台の他の平面
上に形成された光導波路とすることにより、各光導波路
の位置調整を不要とすることができる。また、透明基台
の一方の端面での導波路間隔と他方の端面での導波路間
隔を異ならせることにより、任意の受光素子や光伝送装
置を使用することができる。また、透明基台のレンズ側
端面での導波路間隔を非レンズ側端面での導波路間隔よ
りも狭くすることにより、回折格子により分離される波
長帯域幅を狭くすることができると共に、光合分波器に
結合する光ファイバ等の結合スペースを確保することが
できる。また、透明基台上の導波路間隔が狭くなってい
る部分沿って、導波路溝深さ以上の深さの遮光部を設け
ることにより、導波光の漏れ込みを抑制することができ
る。また、透明基台を、１つの平面上に形成された複数
の光導波路を形成するための溝と、前記１つの平面に対
向する面に設けられた光ファイバを保持するためのＶ字
溝を有し、その逆相形状を有する金型を用いて、ガラス
材料又は樹脂材料により成形したものとするか、また
は、１つの平面上に形成された複数の光導波路を形成す
るための溝と、前記１つの平面に対向する面に設けられ
た光導波路を形成するための溝を有し、その逆相形状を
有する金型を用いて、ガラス材料又は樹脂材料により成
形したものとすることにより、光導波路と透明基台とが
一体的に形成され、加工工程を簡素化することができ
る。また、透明基台を、光導波路を形成する材料の屈折
率よりも小さいガラス材料又は樹脂材料で形成すること
により、光導波路の形成を容易にすることができる。ま
た、レンズ側端面において、光導波路をその延長線上で
一点に交差するように配置することにより、入射角のず
れによる結合効率の変動を抑制することができる。ま
た、光導波路及び別に設けられた光入出力手段のレンズ
側の入出力端面を、光の導波方向に垂直な面に対し傾斜
させ、その表面を鏡面化することにより、反射戻り光や
光学系内での多重反射光を抑制することができ、光合分
波器での歪や雑音を低減することができる。また、光導
波路及び別に設けられた光入出力手段のレンズ側の入出
力端面に反射防止膜を設けることにより、さらに反射戻
り光や光学系内での多重反射光を抑制することができ、
光合分波器での歪や雑音を低減することができる。

【００３６】また、本発明のさらに別の光合分波器によ
れば、光入出力部を、互いに交差しない複数の光導波路
が同一平面上に形成された透明基台と、少なくとも１個
の別に設けられた光入出力手段と、前記複数の光導波路
に光学的に結合される複数の光ファイバと、前記複数の
光ファイバを密着又は直線状に配置し保持する少なくと
も１つのＶ字溝を有する配列基台とで構成したので、透
明基台上の光導波路と光ファイバとの位置関係を容易に
精度良く整合させることができる。別に設けられた光入
出力手段を光ファイバとすることにより、透明基台上の
光導波路を形成する面が１面のみとなり、透明基台の加
工工程を簡素化することができる。または、光入出力部
を、互いに交差しないように同一平面上に形成された複
数の光導波路と他の平面上に形成された光導波路を有す
る透明基台と、前記各光導波路に光学的に結合される少
なくとも３本の光ファイバと、前記光ファイバを密着配
置し保持する１つのＶ字溝を有する配列基台とで構成す
ることにより、各光導波路の位置調整を不要にすること
ができる。光ファイバと光導波路の結合面をお互いにそ
の長手方向に垂直な面に対して傾斜した状態で密着させ
ることにより、結合部分での反射戻り光の光ファイバや
光導波路への再入射を抑制することができる。また、レ
ンズ側の導波路端面に反射防止膜を設けることにより、
反射戻り光や光学系内での多重反射光を抑制することが
でき、光合分波器での歪や雑音を低減することができ
る。また、透明基台を、１つの平面上に形成された複数
の光導波路を形成するための溝と、前記１つの平面に対
向する面に設けられた光ファイバを保持するためのＶ字
溝を有し、その逆相形状を有する金型を用いて、ガラス
材料又は樹脂材料により成形したものであり、配列基台
は前記透明基台を保持するための平坦部及び少なくとも
１つのＶ字溝部を有し、その逆相形状を有する金型を用
いて、ガラス材料又は樹脂材料により成形したものと
し、または、１つの平面上に形成された複数の光導波路
を形成するための溝と、前記１つの平面に対向する面に
設けられた光導波路を形成するための溝を有し、その逆
相形状を有する金型を用いて、ガラス材料又は樹脂材料
により成形したものであり、配列基台は前記透明基台を
保持するための平坦部及び１つのＶ字溝部を有し、その
逆相形状を有する金型を用いて、ガラス材料又は樹脂材
料により成形したものとすることにより、光導波路と透
明基台とが一体的に形成され、加工工程を簡素化するこ
とができると共に、透明基台と配列基台の位置合わせを
容易におこなうことができる。また、透明基台と配列基
台とを一体成形されたものとすることにより、加工工程
をさらに簡素化することができると共に、透明基台と配
列基台の位置合わせを不要にすることができる。また、
透明基台を、光導波路を形成する材料の屈折率よりも小
さいガラス材料又は樹脂材料で形成することにより、容
易に光導波路を形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光合分波器の第１の実施例の構成を示
す斜視図

【図２】第１の実施例における光入出力部の構成を示す
正面図

【図３】第１の実施例における光入出力部の構成を示す
斜視図

【図４】第１の実施例における光入出力部の他の構成を
示す正面図

【図５】第１の実施例における光入出力部の他の構成を
示す正面図

【図６】（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ第１の実施例にお
ける反射防止膜を有する光入出力部の他の構成を示す側
面図

【図７】本発明の光合分波器の第２の実施例における光
入出力部の構成を示す斜視図

【図８】本発明の第２の実施例における光入出力部の製
造工程の１例を示す図

【図９】本発明の第２の実施例における光入出力部の製
造工程の他の１例を示す図

【図１０】本発明の光合分波器の第２の実施例における
光入出力部の他の構成を示す斜視図

【図１１】本発明の光合分波器の第３の実施例における
光入出力部の構成を示す斜視図

【図１２】本発明の光合分波器の第３の実施例における
光入出力部の他の構成を示す斜視図

【図１３】第３の実施例における配列基台の形状の詳細
を示す斜視図

【図１４】第３の実施例における光ファイバと光導波路
の結合状態を示す側部断面図

【図１５】本発明の光合分波器の第４の実施例における
光入出力部の構成を示す斜視図

【図１６】第４の実施例における配列基台の形状の詳細
を示す斜視図

【図１７】入射角度ずれに対する結合効率変動を表すグ
ラフ

【符号の説明】

１：回折格子１ａ：格子溝２：レンズ３：光入出力部４：入出力光ファイバ４ａ：強度補償用薄膜層５：入出力光ファイバ５ａ：強度補償用薄膜層６：入出力光ファイバ６ａ：強度補償用薄膜層７：配列基台７ａ：Ｖ字溝８：押さえ板９：平板１０：反射防止膜１１：接着層１２：レンズ側端面１３：非レンズ側端面１４：バッファ層１５：入出力端面１６：入出力端面１７：Ｖ字溝１８：Ｖ字溝１９：端面２０：遮光層２１：端面２２：高屈折率材料２３：バッファ層２４：端面２５：端面４２：入出力光ファイバ４３：光導波路４４：入出力光ファイバ５１：入出力光ファイバ５２：入出力光ファイバ５３：光導波路５４：入出力光ファイバ５６：入出力光ファイバ６１：入出力光ファイバ６２：入出力光ファイバ６３：光導波路６４：入出力光ファイバ７１：配列基台７１ａ：Ｖ字溝７２：配列基台７２ａ：Ｖ字溝７３：配列基台７３ａ：Ｖ字溝７３ｂ：コア相当部分７４：配列基台７９：配列基台７９ａ：Ｖ字溝７９ｂ：平坦部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回折格子と、レンズと、前記回折格子及
び前記レンズを介して光を入出力するための光入出力部
を具備し、前記光入出力部は、Ｖ字溝を有する配列基台
と、前記Ｖ字溝内側に接しかつ最密配置され少なくとも
３本の光ファイバとを有するものである光合分波器。
【請求項２】Ｖ字溝の頂角が６０度である請求項１記
載の光合分波器。
【請求項３】光ファイバの入出力端面は、光ファイバ
の配列方向に垂直な面に対して傾斜し、その表面が鏡面
化されている請求項１記載の光合分波器。
【請求項４】光ファイバの入出力端面の表面に反射防
止膜を設けた請求項１記載の光合分波器。
【請求項５】光ファイバ入出力端面に反射防止膜を有
する平板を接着固定した請求項１記載の光合分波器。
【請求項６】平板の光ファイバ入出力端面に対向する
２つの面が平行でない請求項５記載の光合分波器。
【請求項７】配列基台に配列された光ファイバは、研
磨又はエッチングにより光ファイバのクラッド径を小さ
くし又はその１部を削除し、その外側に補強薄膜層を設
けたものである請求項１記載の光合分波器。
【請求項８】Ｖ字溝を有する配列基台は、その逆相形
状を持つ金型を用いて、ガラス材料又は樹脂材料により
成形したものである請求項１記載の光合分波器。
【請求項９】回折格子と、レンズと、前記回折格子と
レンズを介して光を入出力するための光入出力部を具備
し、前記光入出力部は、互いに交差しない複数の光導波
路が同一平面上に形成された透明基台と、少なくとも１
個の別に設けられた光入出力手段を有するものである光
合分波器。
【請求項１０】別に設けられた光入出力手段は光ファ
イバである請求項９記載の光合分波器。
【請求項１１】別に設けられた光入出力手段は透明基
台の他の平面上に形成された光導波路である請求項９記
載の光合分波器。
【請求項１２】透明基台の一方の端面での導波路間隔
と他方の端面での導波路間隔が異なる請求項９記載の光
合分波器。
【請求項１３】透明基台のレンズ側端面での導波路間
隔が非レンズ側端面での導波路間隔よりも狭い請求項９
記載の光合分波器。
【請求項１４】透明基台上の導波路間隔が狭くなって
いる部分に沿って、導波路溝深さ以上の深さの遮光部が
設けられている請求項９記載の光合分波器。
【請求項１５】透明基台は、１つの平面上に形成され
た複数の光導波路を形成するための溝と、前記１つの平
面に対向する面に設けられた光ファイバを保持するため
のＶ字溝を有し、その逆相形状を有する金型を用いて、
ガラス材料又は樹脂材料により成形したものである請求
項１０記載の光合分波器。
【請求項１６】透明基台は、１つの平面上に形成され
た複数の光導波路を形成するための溝と、前記１つの平
面に対向する面に設けられた光導波路を形成するための
溝を有し、その逆相形状を有する金型を用いて、ガラス
材料又は樹脂材料により成形したものである請求項１１
記載の光合分波器。
【請求項１７】透明基台は、光導波路を形成する材料
の屈折率よりも小さいガラス材料又は樹脂材料で形成さ
れている請求項１５又は１６に記載の光合分波器。
【請求項１８】レンズ側端面において、光導波路がそ
の延長線上で一点に交差するように配置されている請求
項９から１１のいずれかに記載の光合分波器。
【請求項１９】光導波路及び別に設けられた光入出力
手段のレンズ側の入出力端面は、光の導波方向に垂直な
面に対し傾斜しており、その表面は鏡面化されている請
求項９記載の光合分波器。
【請求項２０】光導波路及び別に設けられた光入出力
手段のレンズ側の入出力端面に反射防止膜を設けた請求
項９記載の光合分波器。
【請求項２１】回折格子と、レンズと、前記回折格子
とレンズを介して光を入出力する光入出力部を具備し、
前記光入出力部は、互いに交差しない複数の光導波路が
同一平面上に形成された透明基台と、少なくとも１個の
別に設けられた光入出力手段と、前記複数の光導波路に
光学的に結合される複数の光ファイバと、前記複数の光
ファイバを密着又は直線状に配置し保持する少なくとも
１つのＶ字溝を有する配列基台とを有するものである光
合分波器。
【請求項２２】別に設けられた光入出力手段は光ファ
イバである請求項２１記載の光合分波器。
【請求項２３】回折格子と、レンズと、前記回折格子
とレンズを介して光を入出力する光入出力部を具備し、
前記光入出力部は、互いに交差しないように同一平面上
に形成された複数の光導波路と他の平面上に形成された
光導波路を有する透明基台と、前記各光導波路に光学的
に結合される少なくとも３本の光ファイバと、前記光フ
ァイバを密着配置し保持する１つのＶ字溝を有する配列
基台とを有するものである光合分波器。
【請求項２４】光ファイバと光導波路の結合面はお互
いにその長手方向に垂直な面に対して傾斜した状態で密
着している請求項２１から２３のいずれかに記載の光合
分波器。
【請求項２５】レンズ側の導波路端面に反射防止膜を
設けた請求項２１から２３のいずれかに記載の光合分波
器。
【請求項２６】透明基台は、１つの平面上に形成され
た複数の光導波路を形成するための溝と、前記１つの平
面に対向する面に設けられた光ファイバを保持するため
のＶ字溝を有し、その逆相形状を有する金型を用いて、
ガラス材料又は樹脂材料により成形したものであり、配
列基台は前記透明基台を保持するための平坦部及び少な
くとも１つのＶ字溝部を有し、その逆相形状を有する金
型を用いて、ガラス材料又は樹脂材料により成形したも
のである請求項２１記載の光合分波器。
【請求項２７】透明基台は、１つの平面上に形成され
た複数の光導波路を形成するための溝と、前記１つの平
面に対向する面に設けられた光導波路を形成するための
溝を有し、その逆相形状を有する金型を用いて、ガラス
材料又は樹脂材料により成形したものであり、配列基台
は前記透明基台を保持するための平坦部及び１つのＶ字
溝部を有し、その逆相形状を有する金型を用いて、ガラ
ス材料又は樹脂材料により成形したものである請求項２
３記載の光合分波器。
【請求項２８】透明基台と配列基台とが一体成形され
たものである請求項２６又は２７記載の光合分波器。
【請求項２９】透明基台は、光導波路を形成する材料
の屈折率よりも小さいガラス材料又は樹脂材料で形成さ
れている請求項２６から２８のいずれかに記載の光合分
波器。