JPH0881756A - Surface treated work - Google Patents
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- JPH0881756A JPH0881756A JP24712694A JP24712694A JPH0881756A JP H0881756 A JPH0881756 A JP H0881756A JP 24712694 A JP24712694 A JP 24712694A JP 24712694 A JP24712694 A JP 24712694A JP H0881756 A JPH0881756 A JP H0881756A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、軸受やブッシュ、電
極など耐摩耗性、耐食性が要求される機械要素などの工
作物であって、適宜に表面処理された工作物に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a workpiece such as a bearing, a bush, an electrode, etc., which is required to have wear resistance and corrosion resistance, and which has a surface treated appropriately.
【０００２】[0002]
【従来の技術】メッキ槽などの溶融金属内で使用される
軸受やブッシュ及びメッキ用の電極などには耐摩耗性や
耐食性が要求される。このため、従来のこの種の機械要
素には、炭化タングステン（ＷＣ）その他が基材の表面
に溶射されるなどして表面処理が施されている。あるい
は、基材に対して難溶金属をシーム溶接するなどして基
材と表面層との密着を図ったりしている。2. Description of the Related Art Bearings and bushes used in a molten metal such as a plating tank and electrodes for plating are required to have wear resistance and corrosion resistance. For this reason, conventional mechanical elements of this type have been subjected to surface treatment by spraying tungsten carbide (WC) or the like onto the surface of the base material. Alternatively, the base material and the surface layer are brought into close contact with each other by seam-welding a refractory metal to the base material.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の表面処理ではいずれも物理的結合によるもので
あるため、表面の層が剥離しやすく、あるいはクラック
が発生した場合に基材がメッキ液に侵されてしまうか
ら、これら機械要素の寿命が短いものとなっている。However, since all of the above-mentioned conventional surface treatments are based on physical bonding, the surface layer is easily peeled off, or when a crack occurs, the base material becomes a plating solution. Since they are attacked, the life of these mechanical elements is short.
【０００４】そこで、この発明は、軸受やブッシュ、一
部の電極について適するように、表面処理を施して、耐
摩耗性や耐食性を向上させた機械要素などの工作物を提
供することを目的としている。Therefore, the present invention has an object to provide a workpiece such as a machine element which is surface-treated so as to be suitable for bearings, bushes, and some electrodes, and whose wear resistance and corrosion resistance are improved. There is.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの技術的手段として、この発明に係る表面処理された
工作物は、基材の表面に放電加工を施すことによって固
着層を形成し、該固着層の表面にプラズマ加工を施して
表面処理されたことを特徴としている。As a technical means for achieving the above-mentioned object, the surface-treated workpiece according to the present invention has a fixed layer formed by subjecting the surface of a substrate to electric discharge machining. The surface of the fixing layer is subjected to plasma processing for surface treatment.
【０００６】また、用途に応じては、基材の表面に放電
加工を施すことによって固着層を形成し、該固着層の表
面に保護層を形成し、該保護層の表面にプラズマ加工を
施して表面処理されたことを特徴とし、この保護層を、
前記固着層の表面に溶射して形成したこと、あるいは、
前記固着層の表面に箔を載置し、該箔の表面にプラズマ
加工を施して形成したこと、さらに、前記固着層の表面
に箔を載置し、該箔の表面に板材を載置し、該板材の表
面にプラズマ加工を施して形成したことも特徴としてい
る。Depending on the intended use, the surface of the base material is subjected to electrical discharge machining to form a fixed layer, the surface of the fixed layer is formed with a protective layer, and the surface of the protective layer is subjected to plasma processing. The surface of the protective layer is characterized by
Formed by thermal spraying on the surface of the fixing layer, or
A foil is placed on the surface of the sticking layer, plasma processing is performed on the surface of the foil, and the foil is placed on the surface of the sticking layer, and a plate material is placed on the surface of the foil. It is also characterized in that the surface of the plate material is formed by plasma processing.
【０００７】[0007]
【作用】基材の表面に形成される固着層は放電加工によ
っているため、これら基材と固着層とは強固に、かつ緊
密に結合される。また、該固着層の表面が粗面となり、
該固着層の表面に形成された保護層が固着層に強固に、
かつ密着して結合されることになる。このため、固着層
が基材から、あるいは保護層が固着層から容易に剥離し
て脱落してしまうことがない。Since the fixing layer formed on the surface of the base material is formed by electric discharge machining, the base material and the fixing layer are firmly and tightly bonded to each other. Further, the surface of the fixing layer becomes a rough surface,
The protective layer formed on the surface of the fixing layer firmly adheres to the fixing layer,
And they will be closely joined. Therefore, the fixing layer does not easily peel off from the base material or the protective layer from the fixing layer.
【０００８】しかも、固着層の表面にはプラズマ加工に
よる処理が施されているから、基材と固着層との結合、
あるいは固着層と保護層との結合がさらに緊密となり、
剥離してしまうことをより防止することができる。Moreover, since the surface of the fixing layer is treated by plasma processing, the bonding of the base material and the fixing layer,
Or the bond between the sticking layer and the protective layer becomes even tighter,
It is possible to further prevent peeling.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、図示した実施例に基づいて、この発明
に係る表面処理された工作物を具体的に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The surface-treated workpiece according to the present invention will be specifically described below based on the illustrated embodiments.
【００１０】図１はメッキ槽内で用いられるロールなど
のジャーナル部を示すもので、ロール部１の端部に、基
材としてのジャーナル主体２が溶接されている。このジ
ャーナル主体２はステンレス鋼（ＳＵＳ）や一般圧延鋼
（ＳＳ）や機械構造用炭素鋼（ＳＣ）、チタン（Ｔｉ）
などからなり、このジャーナル主体２の表面に、放電加
工によって固着層３が形成されている。この放電加工用
の電気回路の概略を図２に示してあり、直流電源６に抵
抗７とコンデンサ８とが直列に接続され、これら抵抗７
とコンデンサ８との接続部に例えば電極９が接続され、
コンデンサ８と電源６との接続部に例えば被加工物であ
るジャーナル主体２を接続し、ジャーナル主体２と電極
９との間で放電されるようにしてある。このジャーナル
主体２を陰極とし、タングステン（Ｗ）または炭化タン
グステン（ＷＣ）、ステライト系合金、ホウ化チタン
（ＴｉＢ2 ）、炭化クロム（Ｃｒ3Ｃ2）などのいずれか
を棒状の電極にし、あるいはこの逆として、大気、油、
無酸化性ガス例えばＡｒ、Ｎ2 等の中で、媒体を選ばず
に通電して放電加工を行い、ジャーナル主体２の表面に
ＷまたはＷＣ、ステライト系合金、ＴｉＢ2 、Ｃｒ3Ｃ2
などの固着層３を形成する。これによりジャーナル主体
２の表面に、機械的、化学的粗面形成と異なる三次元的
複雑な形状を有する粗面が形成される。そして、この固
着層３の表面に、ＷまたはＷＣ、Ｃｒ3Ｃ2、コバルト
（Ｃｏ）、クロム（Ｃｒ）、アルミニウム（Ａｌ）、イ
ットリウム（Ｙ）などが溶射されて保護層４が形成され
ている。FIG. 1 shows a journal portion such as a roll used in a plating tank. A journal main body 2 as a base material is welded to an end portion of the roll portion 1. The main journal 2 is stainless steel (SUS), general rolled steel (SS), carbon steel for machine structure (SC), titanium (Ti).
The fixing layer 3 is formed on the surface of the journal main body 2 by electrical discharge machining. An electric circuit for this electric discharge machining is schematically shown in FIG. 2, in which a DC power source 6 is connected in series with a resistor 7 and a capacitor 8.
The electrode 9 is connected to the connection between the capacitor 8 and the capacitor 8,
A journal main body 2 which is, for example, a workpiece is connected to a connecting portion between the capacitor 8 and the power source 6 so that the main body 2 of the journal and the electrode 9 are discharged. This journal main body 2 is used as a cathode, and tungsten (W) or tungsten carbide (WC), stellite alloy, titanium boride (TiB 2 ), chromium carbide (Cr 3 C 2 ) or the like is used as a rod-shaped electrode, or On the contrary, the atmosphere, oil,
Electric discharge machining is performed by electrifying in any non-oxidizing gas such as Ar or N2, regardless of medium, and W or WC, stellite alloy, TiB 2 , Cr 3 C 2 is applied to the surface of the journal main body 2.
And the fixing layer 3 is formed. As a result, a rough surface having a three-dimensional complex shape different from the mechanical and chemical rough surface formation is formed on the surface of the journal main body 2. Then, W or WC, Cr 3 C 2 , cobalt (Co), chromium (Cr), aluminum (Al), yttrium (Y), etc. are sprayed on the surface of the fixed layer 3 to form the protective layer 4. There is.
【００１１】そして、この保護層４の表面にプラズマ加
工を施して、該保護層４の固着層３に対する結合を強固
なものとしてある。Then, the surface of the protective layer 4 is subjected to plasma processing to strengthen the bonding of the protective layer 4 to the fixed layer 3.
【００１２】すなわち、ジャーナル主体２は放電加工に
より形成された固着層３によって被覆されるので、該固
着層３にクラックを有することはない。また、放電加工
により上記ジャーナル主体２の表面は物理的結合が強化
されており、他の方法では考えられない粗面化が図ら
れ、上記固着層３はジャーナル主体２の表面を緊密に被
覆することになると同時に、界面の薄い合金化と基金属
の急冷効果によりアモルファス化されることになり、以
後の処理にあたって強固な結合を与え、活性化を図るこ
とができる。このため、ジャーナル主体２から固着層３
が容易に剥離してしまうことがない。That is, since the journal main body 2 is covered with the fixing layer 3 formed by electric discharge machining, the fixing layer 3 does not have cracks. The surface of the journal main body 2 is strengthened in physical bonding by electric discharge machining, and the surface is roughened which cannot be considered by other methods. The fixing layer 3 tightly covers the surface of the journal main body 2. At the same time, it becomes amorphous due to the thin alloying of the interface and the quenching effect of the base metal, and a strong bond can be given to the subsequent processing for activation. Therefore, from the journal main body 2 to the fixing layer 3
Does not easily peel off.
【００１３】さらに、固着層３の表面は放電加工によっ
て特異な三次元的空間に形成されるから、該固着層３を
被覆した前記保護層４はこの特異空間に入り込み、アン
カー作用によって密着強度の強化、固着層３の均質化等
が図られる。このため、保護層４が固着層３から剥離し
て脱落してしまうことが極力防止され、高い耐久性を得
ることができる。Further, since the surface of the fixing layer 3 is formed in a peculiar three-dimensional space by electric discharge machining, the protective layer 4 covering the fixing layer 3 enters this peculiar space and the adhesion strength is increased by the anchoring action. Reinforcement, homogenization of the fixed layer 3 and the like are achieved. Therefore, the protective layer 4 is prevented from peeling off from the fixing layer 3 and falling off as much as possible, and high durability can be obtained.
【００１４】しかも、保護層４の上からプラズマ加工が
施されることによって該保護層４と固着層３との結合が
さらに強固になって剥離に対してより抵抗力が増加する
ことになる。Moreover, by performing the plasma processing on the protective layer 4, the bond between the protective layer 4 and the fixing layer 3 is further strengthened, and the resistance against peeling is further increased.
【００１５】図３は軸受にこの表面処理を施したものを
示す断面図で、ＳＵＳやＳＳ、ＳＣ、Ｔｉなどからなる
基材としての軸受主体11の内側面に、放電加工を施すこ
とによってＷまたはＷＣ、ステライト系合金、ＴｉＢ
2 、Ｃｒ3Ｃ2などのいずれかによる固着層12が形成され
ている。さらに、この固着層12の表面にＷまたはＷＣ、
Ｃｒ3Ｃ2、Ｃｏ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｙなどが溶射されて保護
層13が形成されている。そして、この保護層13の表面に
プラズマ加工が施されている。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a bearing which has been subjected to this surface treatment. The inner surface of the bearing main body 11 as a base material made of SUS, SS, SC, Ti or the like is subjected to electric discharge machining to form W. Or WC, stellite alloy, TiB
The pinned layer 12 is formed of either 2 , 2 , Cr 3 C 2 , or the like. Furthermore, W or WC, on the surface of the fixing layer 12,
The protective layer 13 is formed by spraying Cr 3 C 2 , Co, Cr, Al, Y and the like. The surface of this protective layer 13 is subjected to plasma processing.
【００１６】したがって、軸受主体11と固着層12とは放
電加工によって強固に、かつ緊密に結合し、固着層12と
保護層13も、放電加工によって形成された固着層12の表
面とプラズマ加工とによって強固に、かつ緊密に結合す
る。このため、保護層13や固着層12が容易に剥離してし
まうことがない。Therefore, the bearing main body 11 and the pinned layer 12 are firmly and tightly bonded by electric discharge machining, and the pinned layer 12 and the protective layer 13 are also formed on the surface of the pinned layer 12 formed by electric discharge and plasma machining. To bond tightly and tightly. Therefore, the protective layer 13 and the fixing layer 12 do not easily peel off.
【００１７】次に、図４に示す実施例について説明す
る。この実施例は、表面処理された工作物として電気メ
ッキなどに用いられる電解用電極に実施したものを示し
ており、図４は中央部断面図である。すなわち、基材と
しての電極基体21の表面に放電加工を施すことによって
固着層22を形成し、この固着層22の表面に箔を載置し、
この箔の表面にプラズマ加工を施して保護層23が形成さ
れている。そして、電極基体21としてはＳＵＳ、ＳＳ、
Ｔｉが用いられ、これに前述したように銀（Ａｇ）、銅
（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、白金（Ｐｔ）、Ｗなどを
電極として放電加工して固着層22が形成され、この固着
層22の表面にＰｔ箔を載置しプラズマ加工して保護層23
が形成されている。Next, the embodiment shown in FIG. 4 will be described. In this embodiment, an electrolytic electrode used for electroplating or the like as a surface-treated workpiece is used, and FIG. 4 is a sectional view of the central portion. That is, the fixed layer 22 is formed by performing electric discharge machining on the surface of the electrode substrate 21 as a base material, and the foil is placed on the surface of the fixed layer 22.
The surface of this foil is subjected to plasma processing to form a protective layer 23. The electrode base 21 is made of SUS, SS,
Ti is used, and as described above, the fixing layer 22 is formed by electrical discharge machining using silver (Ag), copper (Cu), nickel (Ni), platinum (Pt), W or the like as an electrode. Pt foil is placed on the surface of 22 and plasma processing is performed to protect layer 23
Are formed.
【００１８】したがって、電極基体21と固着層22との間
の結合が強固に、かつ緊密となり、また固着層22と保護
層23との間の結合も強固、かつ緊密となる。このため、
保護層23や固着層22が容易に剥離することがないととも
に、電解液に対してもすぐれた耐食性を示す。Therefore, the bond between the electrode substrate 21 and the fixing layer 22 is strong and close, and the bond between the fixing layer 22 and the protective layer 23 is strong and close. For this reason,
The protective layer 23 and the fixing layer 22 are not easily peeled off, and exhibit excellent corrosion resistance against an electrolytic solution.
【００１９】図５は電解用電極の他の実施例を示すもの
で、一部断面図である。基材としての電極基体31の表面
に、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｐｔなどのいずれかを電極とし
た放電加工によって固着層32が形成されている。この固
着層32の表面にＰｔ、ＩｒまたはＡｇの箔からなる保護
第１層33を載置し、この保護第１層33の表面にＴｉ、Ｔ
ａ又はＮｂの板からなる保護第２層34を載置し、これら
保護第１層33と保護第２層34の上からプラズマ加工を施
して、これら保護第１層33と保護第２層34とによって保
護層が形成されている。なお、電極基体31は前述した図
４に示す実施例と同様に、ＳＵＳ、ＳＳなどの鉄鋼材料
あるいはＴｉなどの非鉄金属材料が用いられている。FIG. 5 shows another embodiment of the electrode for electrolysis and is a partial sectional view. A fixing layer 32 is formed on the surface of an electrode base 31 as a base material by electric discharge machining using any of Ag, Cu, Ni, Pt and the like as an electrode. A protective first layer 33 made of a foil of Pt, Ir or Ag is placed on the surface of the fixing layer 32, and Ti, T is formed on the surface of the protective first layer 33.
A protective second layer 34 made of an a or Nb plate is placed, and plasma processing is performed on the protective first layer 33 and the protective second layer 34 to form the protective first layer 33 and the protective second layer 34. And form a protective layer. The electrode base 31 is made of a steel material such as SUS or SS or a non-ferrous metal material such as Ti as in the embodiment shown in FIG.
【００２０】この図５に示す実施例による場合にも、固
着層32が放電加工によって電極基体31に形成されている
から、これらの間の結合が強固で、かつ緊密なものとな
る。しかも、この固着層32と保護層33、34との結合も強
固、かつ緊密になる。したがって、固着層32が電極基体
31から、保護層33、34が固着層32から容易に剥離してし
まうことがない。Also in the case of the embodiment shown in FIG. 5, since the fixing layer 32 is formed on the electrode substrate 31 by electric discharge machining, the bond between them is strong and close. Moreover, the bond between the fixing layer 32 and the protective layers 33 and 34 is strong and close. Therefore, the fixing layer 32 is the electrode substrate.
The protective layers 33 and 34 do not easily peel off from the fixing layer 32 from 31.
【００２１】上述したそれぞれの実施例では、基材に対
して放電加工を施して固着層を形成し、該固着層の表面
に保護層を形成して、プラズマ加工を施したものについ
て説明したが、固着層に保護層を形成することなくプラ
ズマ加工を施したものであっても構わない。固着層に対
してプラズマ加工を施した場合には、該固着層と基材と
の結合を、放電加工による場合に比べてさらに強固に、
かつ緊密にさせることができる。In each of the above-described embodiments, the electric discharge machining is performed on the base material to form the fixed layer, the protective layer is formed on the surface of the fixed layer, and the plasma processing is performed. Alternatively, the fixed layer may be plasma-processed without forming a protective layer. When the fixed layer is subjected to plasma processing, the bond between the fixed layer and the base material is further strengthened as compared with the case of electric discharge machining.
And it can be made close.
【００２２】[0022]
【発明の効果】以上説明したように、この発明に係る表
面処理された工作物によれば、基材に対して放電加工を
施して固着層を形成してあるから、該固着層にクラック
が存することがなく、基材の表面は物理的結合が強化さ
れて、他の方法によるものに比べてより粗面化が図ら
れ、固着層は基材の表面を緊密に被覆するとともに、界
面の薄い合金化と基金属の急冷効果により結晶の乱れや
アモルファス化されることによって、以後の処理にあた
って強固な結合を与え、活性化を図ることができる。こ
のため、固着層が基材から容易に剥離してしまうことを
防止できる。As described above, according to the surface-treated workpiece according to the present invention, since the fixing layer is formed by subjecting the base material to the electric discharge machining, the fixing layer is not cracked. In the absence of the presence, the surface of the base material has a stronger physical bond and is more roughened than that obtained by other methods, and the fixing layer tightly covers the surface of the base material, and By the thin alloying and the quenching effect of the base metal, the crystals are disordered or amorphized, so that a strong bond can be given and activation can be achieved in the subsequent processing. Therefore, it is possible to prevent the fixing layer from being easily peeled off from the base material.
【００２３】また、固着層の表面は放電加工によって特
異な三次元的空間に形成されるから、保護層を形成した
場合には、該固着層を被覆した保護層はこの特異空間に
入り込み、アンカー作用によって密着強度の強化、固着
層の均質化が図られる。したがって、保護層が固着層か
ら剥離し脱落してしまうことが防止され、高い耐久性を
備えた工作物を得ることができる。Further, since the surface of the fixed layer is formed in a peculiar three-dimensional space by electric discharge machining, when the protective layer is formed, the protective layer covering the fixed layer enters this peculiar space and the anchor is formed. By the action, the adhesion strength is enhanced and the fixing layer is homogenized. Therefore, the protective layer is prevented from peeling off from the fixing layer and falling off, and a work piece having high durability can be obtained.
【００２４】しかも、固着層あるいは保護層の上からプ
ラズマ加工が施されることによって、基体と固着層との
結合、あるいは固着層と保護層との結合がさらに強固と
なって、剥離し脱落することをより防止することができ
る。Furthermore, by performing plasma processing on the fixing layer or the protective layer, the bond between the substrate and the fixing layer or the bond between the fixing layer and the protective layer is further strengthened and peels off. This can be prevented more.
【図１】この発明に係る工作物をロールのジャーナル部
として表面処理を施したものを示す実施例で、ジャーナ
ル部の断面図を示している。FIG. 1 is a cross-sectional view of a journal portion in an embodiment showing a workpiece according to the present invention which is surface-treated as a journal portion of a roll.
【図２】放電加工機の概略の電気回路図である。FIG. 2 is a schematic electric circuit diagram of an electric discharge machine.
【図３】この発明に係る工作物を軸受として表面処理を
施したものを示す実施例で、中央部断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the central portion of an embodiment showing a surface-treated bearing as a workpiece according to the present invention.
【図４】この発明に係る工作物を電気メッキなどに用い
られる電解用電極として表面処理を施したものを示す実
施例で、一部断面図である。FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing an example in which the workpiece according to the present invention is subjected to surface treatment as an electrode for electrolysis used in electroplating or the like.
【図５】この発明に係る工作物を電気メッキなどに用い
られる電解用電極として表面処理を施したものを示す他
の実施例で、一部断面図である。FIG. 5 is a partial cross-sectional view of another embodiment of the workpiece according to the present invention, which is surface-treated as an electrode for electrolysis used in electroplating or the like.
１ ロール部 ２ ジャーナル主体（基材） ３ 固着層 ４ 保護層 ６ 直流電源 ７ 抵抗 ８ コンデンサ ９ 電極 11 軸受主体（基材） 12 固着層 13 保護層 21 電極基体（基材） 22 固着層 23 保護層 31 電極基体（基材） 32 固着層 33 保護第１層 34 保護第２層 1 Roll Part 2 Journal Main Body (Base Material) 3 Fixing Layer 4 Protective Layer 6 DC Power Supply 7 Resistance 8 Capacitor 9 Electrode 11 Bearing Main Body (Base Material) 12 Fixing Layer 13 Protective Layer 21 Electrode Base Material (Base Material) 22 Fixing Layer 23 Protection Layer 31 Electrode substrate (base material) 32 Fixing layer 33 Protective first layer 34 Protective second layer
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田代 久郎 千葉県柏市新十余二17番地１ ヨシザワエ ルエー株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Hisaro Tashiro 1 17-2 Shinjuyo, Kashiwa-shi, Chiba Yoshizawa Elue Co., Ltd.
Claims (5)
て固着層を形成し、該固着層の表面にプラズマ加工を施
して表面処理されたことを特徴とする表面処理された工
作物。1. A surface-treated workpiece characterized in that a fixed layer is formed by subjecting a surface of a base material to electric discharge machining, and the surface of the fixed layer is subjected to plasma processing to be surface-treated.
て固着層を形成し、該固着層の表面に保護層を形成し、
該保護層の表面にプラズマ加工を施して表面処理された
ことを特徴とする表面処理された工作物。2. A fixed layer is formed by subjecting the surface of a base material to electric discharge machining, and a protective layer is formed on the surface of the fixed layer.
A surface-treated workpiece, characterized in that the surface of the protective layer is subjected to plasma processing for surface treatment.
て形成したことを特徴とする請求項２に記載の表面処理
された工作物。3. The surface-treated work piece according to claim 2, wherein the protective layer is formed by thermal spraying on the surface of the fixing layer.
置し、該箔の表面にプラズマ加工を施して形成したこと
を特徴とする請求項２に記載の表面処理された工作物。4. The surface-treated workpiece according to claim 2, wherein the protective layer is formed by placing a foil on the surface of the fixing layer and subjecting the surface of the foil to plasma processing. .
置し、該箔の表面に板材を載置し、該板材の表面にプラ
ズマ加工を施して形成したことを特徴とする請求項２に
記載の表面処理された工作物。5. The protective layer is formed by placing a foil on the surface of the fixing layer, placing a plate material on the surface of the foil, and subjecting the surface of the plate material to plasma processing. Item 3. The surface-treated workpiece according to Item 2.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24712694A JPH0881756A (en) | 1994-09-14 | 1994-09-14 | Surface treated work |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24712694A JPH0881756A (en) | 1994-09-14 | 1994-09-14 | Surface treated work |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0881756A true JPH0881756A (en) | 1996-03-26 |
Family
ID=17158823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24712694A Withdrawn JPH0881756A (en) | 1994-09-14 | 1994-09-14 | Surface treated work |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0881756A (en) |
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