JPH087826Y2 - Parts for linear actuators - Google Patents

Parts for linear actuators

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JPH087826Y2
JPH087826Y2 JP12984584U JP12984584U JPH087826Y2 JP H087826 Y2 JPH087826 Y2 JP H087826Y2 JP 12984584 U JP12984584 U JP 12984584U JP 12984584 U JP12984584 U JP 12984584U JP H087826 Y2 JPH087826 Y2 JP H087826Y2
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magnetic
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亮平 小山
嘉信 春田
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旭化成工業株式会社
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、超薄型、小型でかつコストの低い扁平形リ
ニアアクチユエータ用部品に関する。ここでリニアアク
チユエータ用部品とはコイルユニツトと磁石のことであ
る。また、リニアアクチユエータとはコイルと磁気回路
等からなり、電気エネルギーを電磁力を利用して往復運
動の機械エネルギーに変換するものであり、たとえばリ
ニアアクチユエータ、リニアモータ等のことを示す。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial field of application] The present invention relates to a flat type linear actuator component which is ultra-thin, compact and low in cost. Here, the parts for the linear actuator are the coil unit and the magnet. The linear actuator is composed of a coil and a magnetic circuit, and converts electric energy into mechanical energy of reciprocating motion by using electromagnetic force. For example, linear actuator, linear motor, etc. are shown. .

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年、オーデイオ機器、ビデオ機器、OA機器等の大幅
な進歩と小型化薄型化に伴い、それらのなかで往復運動
を生みだすリニアアクチユエータも小型化薄型化が望ま
れてきている。一般にこのような、リニアアクチユエー
タにおいては、モーターで作つた回転運動を機械的なメ
カニズム、たとえばスチールベルトやギヤーを使つて直
線運動に変える方法がとられてきたが、小型薄型化は限
界があるので、直接往復運動を生みだすリニアアクチユ
エータが最近盛んに検討されている。こういつたリニア
アクチユエータは、直線上に1個又は複数個のうず巻状
コイルを並べそれに対峙して、1個又は複数個の磁極を
並べる構造をしている。そして、最近いわゆるプリント
コイルと言われるフオトリングラフイ技術を応用して作
られた非常に薄いコイルが使われる様になつて、コイル
をはさんでいるマグネツトとヨーク板との距離(ギヤツ
プ)を小さくして磁場を強くできその結果高い推力が得
られる様になつてきた。
In recent years, with the great progress and miniaturization and thinning of audio equipment, video equipment, OA equipment and the like, there has been a demand for miniaturization and thinning of linear actuators which generate reciprocating motion among them. Generally, in such a linear actuator, a method of changing the rotary motion created by the motor into a linear motion by using a mechanical mechanism such as a steel belt or a gear has been adopted, but there is a limit to miniaturization and thinning. Therefore, linear actuators that directly generate reciprocating motion have been actively studied recently. Such a linear actuator has a structure in which one or a plurality of spiral coils are arranged on a straight line and face each other, and one or a plurality of magnetic poles are arranged. Recently, a very thin coil, which is made by applying a photolinography technology called a so-called print coil, is used, and the distance (gear tap) between the magnet sandwiching the coil and the yoke plate is used. It became possible to make the magnetic field stronger by making it smaller, and as a result, high thrust could be obtained.

〔考案が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

しかし、このようなプリントコイルは、上記の様に小
型薄型リニアアクチユエータに使われるが、第1図
(A),(B)に示すように、対峙して置かれる磁石21
の位置検出用素子22、たとえばホール素子とか磁気抵抗
素子といつた磁気検出機能を持つた素子のコイルに対す
る体積比が非常に大きくなり、リニアアクチユエータ内
の配置が困難となる。例えば第1図(B)のようにコイ
ルユニツト23の上に置こうとすれば対時して置かれる磁
石21につかえないようにエアーギヤツプを大きくしなけ
ればならず、せつかくの薄く巻けるというプリントコイ
ルの特長を生かせず、また磁石21の主磁束の外側に置く
と磁気検出感度が低下し、磁気検出素子のための増幅器
の高感度化が必要となりS/N比をとりにくくコストが高
くなる。
However, such a printed coil is used in a small and thin linear actuator as described above, but as shown in FIGS. 1 (A) and 1 (B), the magnets 21 placed facing each other are used.
The volume ratio of the position detecting element 22, for example, a Hall element or a magnetoresistive element and an element having a magnetic detecting function to the coil becomes very large, which makes it difficult to arrange the position detecting element 22 in the linear actuator. For example, as shown in FIG. 1 (B), if the coil unit 23 is to be placed on the coil unit 23, the air gear tape must be made large so that it cannot be caught by the magnet 21 placed oppositely. If the characteristics of the coil are not utilized, and if it is placed outside the main magnetic flux of the magnet 21, the magnetic detection sensitivity will decrease, and it will be necessary to increase the sensitivity of the amplifier for the magnetic detection element, making it difficult to obtain an S / N ratio and increasing costs. .

また、こうしてリニアアクチユエータは高推力が得ら
れるためその用途は非常に広くなつたが、そういつた用
途のなかで特に移動速度の安定性の優れたものを要求さ
れる場合には新たに次の様な問題点がもう一点生じてき
た。
In addition, since the linear actuator can obtain high thrust in this way, its application has become very widespread.However, especially when it is required to have excellent stability of moving speed, it is newly added. The following problem has arisen.

それは磁石からの距離の差によるコイルが受ける磁場
の差である。例えば第1図にある様にコイルユニツト23
は多くの場合プリントコイルを複数枚重ね合わせて作ら
れるため、当然磁石から各プリントコイルへの距離が異
なる。すると磁石21とヨーク板24の距離は1〜3m/m程度
で磁石表面からヨーク板表面に行くに従つて非常に極く
わずかではあるが磁場の強さが弱くなつていく。
It is the difference in the magnetic field received by the coil due to the difference in distance from the magnet. For example, as shown in FIG. 1, a coil unit 23
In many cases, since a plurality of print coils are superposed on each other, the distance from the magnet to each print coil is naturally different. Then, the distance between the magnet 21 and the yoke plate 24 is about 1 to 3 m / m, and the strength of the magnetic field becomes weaker as it goes from the magnet surface to the yoke plate surface, although it is very slight.

この様な各プリントコイルのある場所の磁場の違いに
よるプリントコイルの磁石におよぼす力のアンバランス
(磁石に近い側のコイルの方がヨーク板に近い側にある
コイルよりも磁石に与える力が大きい)により非常に微
妙な速度ムラが生じる。
The imbalance of the force exerted on the magnet of the print coil due to the difference in the magnetic field at the place where each print coil exists (the coil closer to the magnet exerts a larger force on the magnet than the coil closer to the yoke plate). ) Causes a very subtle speed unevenness.

〔問題点を解決するための手段・作用〕[Means / actions for solving problems]

本考案は上記問題点を解決した小型かつ薄型のリニア
アクチユエータ用部品に関するものである。
The present invention relates to a small and thin linear actuator component that solves the above problems.

即ち、本考案は、以下の通りのものに関する。 That is, the present invention relates to the following.

下記(a)、(b)、(c)からなり、コイルユニッ
トを構成するプリントコイルのうち、磁石に最も近い側
のプリントコイルにのみ磁気検出素子を埋め込んだこと
を特徴とするリニアアクチユエータ用部品。
A linear actuator comprising the following (a), (b), and (c), wherein the magnetic detection element is embedded only in the print coil closest to the magnet among the print coils forming the coil unit. Parts.

(a)しゅう動方向に垂直な方向の巾がlである磁石2
1。
(A) Magnet 2 whose width is 1 in the direction perpendicular to the sliding direction
1.

(b)一定の間隔で該しゅう動方向に配置された、複数
個のうず巻状導体パターン3。
(B) A plurality of spiral-shaped conductor patterns 3 arranged in the sliding direction at regular intervals.

(c)該うず巻状導体パターン3の外側で、磁石21の巾
方向の中心から距離Rが、R≦l/2+d(但し、dは、
磁石のプリントコイルユニットに面する表面から、プリ
ントコイルユニットの磁石と反対側の面までの距離)で
ある距離Rの位置に、磁気検出素子8の受感部が来るよ
うに該磁気検出素子8が埋め込まれている膜厚が0.1〜2
mmのプリントコイル1を、複数枚含むプリントコイルユ
ニット23 一般にモーターのコイルによつて構成されている部分
はコイルユニツトと呼ばれ、プリントコイルを使つたコ
イルユニツトの場合、複数枚のプリントコイルを積層し
てコイルユニツトを構成する場合が多い。
(C) Outside the spirally wound conductor pattern 3, the distance R from the center of the magnet 21 in the width direction is R ≦ l / 2 + d (where d is
The magnetic sensing element 8 is arranged such that the sensing portion of the magnetic sensing element 8 is located at a distance R, which is the distance from the surface of the magnet facing the print coil unit to the surface of the print coil unit opposite to the magnet). Embedded film thickness is 0.1 to 2
A print coil unit 23 including a plurality of mm print coils 1 is generally referred to as a coil unit, which is a coil unit. In the case of a coil unit using print coils, a plurality of print coils are laminated. In many cases, a coil unit is constructed.

本考案に使用される磁石の材質は、何んでも良いが、
フエライトや希土類材料たとえばサマリウム、コバルト
などが好ましく使用される。磁石の厚さは0.2〜10m/mが
好ましい。
The magnet used in the present invention may be made of any material,
Ferrite and rare earth materials such as samarium and cobalt are preferably used. The thickness of the magnet is preferably 0.2-10 m / m.

形状は基本的には直方体が良いが組み合わされる他の
部品形状等により変形が考えられる。磁石はコイル又は
磁石の移動方向に等しい幅で、コイルと対時する面に垂
直方向にN,Sと交互に着極する。第2図にその1例を示
す。
The shape is basically a rectangular parallelepiped, but it may be deformed depending on the shape of other parts to be combined. The magnet has a width equal to the moving direction of the coil or the magnet, and is alternately polarized with N and S in a direction perpendicular to the surface facing the coil. One example is shown in FIG.

本考案に使用されるプリントコイルは、どんな製造法
によつたものでもよく、たとえばエツチング法やメツキ
法やそれらを組み合わせた方法で製造されたものでも良
いが、特開昭57−91590号公報に記載された製造法によ
り製造されたプリントコイルが好ましい。また、プリン
トコイルの厚さは0.1〜2mmにおいて、その効果を発揮す
る。またコイル部の線密度としては2〜20本/mm、さら
に好ましくは5〜20本/mmが良い。第3図に本考案に用
いられるプリントコイルの1例を示す。磁石の着極ピツ
チと同一のピツチでうず巻状パターン3がプリントコイ
ル支持体2の両面に形成されており、必要に応じてスル
ーホール6により、プリントコイル支持体2をはさんで
両側に存在する導体パターン3が導通するように接続さ
れる。プリントコイル支持体2は電気絶縁性を有すれば
何んでもよく、例えばガラスエポキシ基板やポリイミド
フイルムやエポキシ樹脂等が好ましく使用される。又、
スルーホール6の形成方法も何んでもよい。
The printed coil used in the present invention may be manufactured by any manufacturing method, for example, an etching method, a plating method or a combination thereof, but it is disclosed in JP-A-57-91590. Printed coils manufactured by the described manufacturing method are preferred. The effect is exhibited when the thickness of the printed coil is 0.1 to 2 mm. The linear density of the coil portion is 2 to 20 wires / mm, more preferably 5 to 20 wires / mm. FIG. 3 shows an example of a print coil used in the present invention. A spiral pattern 3 is formed on both sides of the print coil support 2 with the same pitch as the magnetized poles, and if necessary, through holes 6 are provided on both sides of the print coil support 2. The conductive patterns 3 are connected so as to be conductive. The printed coil support 2 may be of any type as long as it has electrical insulation properties, and for example, a glass epoxy substrate, a polyimide film, an epoxy resin or the like is preferably used. or,
The through hole 6 may be formed by any method.

コイルのパターン3は対極磁石がN極S極交互に着磁
されているのと同一のピツチでうず巻状導体パターンを
配置する。
In the coil pattern 3, a spirally wound conductor pattern is arranged with the same pitch as that in which the counter magnets are alternately magnetized as N poles and S poles.

なお一般にうず巻状導体パターンの中心は同一の直線
に並らび、可動部(コイル又は磁石)のしゆう動方向に
一致する。
In general, the centers of the spirally wound conductor patterns are arranged in the same straight line and coincide with the moving direction of the movable portion (coil or magnet).

磁気検出素子8をうめ込むプリントコイル上の位置
は、2つの条件を同時に満す必要があり、その第1の条
件は、第4図(B)に示すように磁石の中心からの距離
と磁場の強さの関係のグラフからわかる様に、磁石の巾
方向の中心から磁気検出素子8の受感部の距離をRとし
たら、R≦l/2+d(1dは、磁石のプリントコイルユニ
ットに面する表面から、プリントコイルユニットの磁石
と反対側の面までの距離)であり、更にR≦l/2+0.5×
dであることが好ましい。Rがl/2+dより大きいと磁
場が弱くなり磁石位置検出精度が低下する。ここで受感
部とは、磁気検出素子8のうちの本当に磁場の強さを電
気信号に変換する能力のある場所である。さらに、距離
Rは受感部の中心に対する距離で評価することが磁気検
出原理からいつて重要である。磁気検出素子をうめ込む
位置の第2の条件は、うず巻状導体パターン3とその中
央部5を除いた場所でうず巻状導体パターン同志の間が
よい。
The position on the print coil in which the magnetic detection element 8 is embedded needs to satisfy two conditions at the same time. The first condition is that the distance from the center of the magnet and the magnetic field as shown in FIG. 4 (B). As can be seen from the graph of the strength relationship of R, if the distance from the center of the magnet in the width direction to the sensing portion of the magnetic detection element 8 is R, then R ≦ l / 2 + d (1d is the surface of the magnet print coil unit). Distance from the surface to the side opposite to the magnet of the print coil unit), and R ≦ l / 2 + 0.5 ×
It is preferably d. When R is larger than l / 2 + d, the magnetic field becomes weak and the accuracy of magnet position detection deteriorates. Here, the sensing unit is a place in the magnetic detection element 8 that has the ability to really convert the strength of the magnetic field into an electric signal. Further, it is always important from the magnetic detection principle to evaluate the distance R by the distance to the center of the sensitive section. The second condition for embedding the magnetic detecting element is preferably between the spirally wound conductor patterns 3 except for the spirally wound conductor pattern 3 and the central portion 5.

うず巻状導体パターン3の内側、即ち、中央部5(検
出磁場最大)に磁気検出素子8を配置した場合では、磁
気検出素子8の接続回路をうず巻状導体パターン3をク
ロスして設けざるを得なく、ヨーク板24と磁石21との距
離がうず巻状導体パターン3と接続回路とを加算した距
離以上になり、磁石の有する本来の力を減殺してしま
う。一方、磁気検出素子8をうず巻状導体パターン3同
志の間にうめ込んだ場合、接続回路をうず巻状導体パタ
ーン3とクロスさせて設ける必要がなく、プリントコイ
ルの厚みのみをもって磁石とヨーク板との距離を設計で
きて、磁石本来の力を最大限に取り出すアクチユエータ
を製作することができると共にアクチユエータを極めて
簡素なものとすることができる。更に複数の磁気検出素
子はコイルユニットを構成するプリントコイルのうち1
枚のプリントコイル内にうめ込む必要がある。コイルユ
ニツトのうちの複数枚のプリントコイルにわたつて磁気
検出素子をうめ込むと、磁石から各磁気検出素子への距
離が微妙に異なり、各磁気検出素子が受ける磁場の強さ
が少しづつ異なる。その結果各コイルに流す電流の切り
換えタイミングが微妙にズレてしまう。
When the magnetic detection element 8 is arranged inside the spiral-shaped conductor pattern 3, that is, in the central portion 5 (the maximum detection magnetic field), the connection circuit of the magnetic detection element 8 must be provided so as to cross the spiral-shaped conductor pattern 3. Therefore, the distance between the yoke plate 24 and the magnet 21 becomes longer than the sum of the spirally wound conductor pattern 3 and the connection circuit, and the original force of the magnet is reduced. On the other hand, when the magnetic detection element 8 is embedded between the spirally wound conductor patterns 3, it is not necessary to provide a connecting circuit so as to cross the spirally wound conductor pattern 3, and only the thickness of the printed coil is enough to provide the magnet and the yoke plate. The distance between and can be designed, an actuator can be manufactured that maximizes the original force of the magnet, and the actuator can be made extremely simple. Furthermore, the plurality of magnetic detection elements is one of the print coils that form the coil unit.
It must be embedded in a single printed coil. When the magnetic detection elements are embedded over a plurality of printed coils in the coil unit, the distance from the magnet to each magnetic detection element is slightly different, and the strength of the magnetic field received by each magnetic detection element is slightly different. As a result, the switching timing of the current flowing through each coil is slightly deviated.

またプリントコイル上の配置についても次のことを考
慮することが望ましい。磁気検出素子はその駆動方法に
応じて2個以上等ピツチに配置するが、多くの場合その
配列ピツチはうず巻状導体パターンの配列ピツチとは一
致しない。つまり一個の磁気検出素子をうず巻状導体パ
ターン同志の間の空いているスペースに配置しても他の
磁気検出素子の位置はうず巻状導体パターンと重なる。
例えば第5図(B)に示すようにうず巻状導体パターン
の、リニアアクチユエータ推力に寄与する部分を一部犠
牲にしてパターンを少し変形させ、そこに磁気検出素子
をうめ込む。これにより磁石に近い側のコイルの発生す
る力をさげ、磁石から遠い側のコイルの発生する力とそ
ろえてやることができる。
It is also desirable to consider the following regarding the arrangement on the print coil. Two or more magnetic detection elements are arranged in equal pitches depending on the driving method, but in many cases the arrayed pitches do not match the arrayed pitches of the spiral-shaped conductor pattern. In other words, even if one magnetic detection element is arranged in the vacant space between the spiral-shaped conductor patterns, the positions of the other magnetic detection elements overlap with the spiral-shaped conductor pattern.
For example, as shown in FIG. 5 (B), a portion of the spirally wound conductor pattern that contributes to the linear actuator thrust is partially sacrificed to slightly deform the pattern, and the magnetic sensing element is embedded therein. As a result, the force generated by the coil closer to the magnet can be reduced, and the force generated by the coil farther from the magnet can be matched.

さらに、コイルユニツトを構成するプリントコイルの
うち磁石に最も近いプリントコイル上に磁気検出素子を
集めることが好ましい。そうすれば磁気検出素子の受け
る磁場を等しくさせ、各素子の出力電圧をそろえかつ磁
気検出素子を並べるためにコイルパターンを変形させる
ことにより磁石に最も近い側のプリントコイルのリニア
アクチユエータの推力への寄与を減じることによつて各
プリントコイルの推力への寄与もそろえることが同時に
可能となる。
Further, it is preferable to collect the magnetic detection elements on the print coil closest to the magnet among the print coils forming the coil unit. Then, the magnetic fields received by the magnetic detection elements are made equal, the output voltage of each element is made uniform, and the coil pattern is deformed to arrange the magnetic detection elements, so that the thrust of the linear actuator of the print coil closest to the magnet is thrust. By reducing the contribution to the thrust force of each print coil, the contribution to the thrust force of each print coil can be made uniform at the same time.

磁気検出素子をプリントコイルへうめ込む方法は何ん
でも良いが、例えば素子の外形寸法にあわせてプレスで
穴を明け、穴に素子を入れて接着剤12で固定すれば良
い。この場合例えば、エポキシ系やフエノール系の接着
剤などが使用される。
Any method may be used for embedding the magnetic detection element in the printed coil. For example, a hole may be formed by pressing according to the external dimensions of the element, the element may be inserted into the hole and fixed with the adhesive 12. In this case, for example, an epoxy or phenol adhesive is used.

磁気検出素子としては磁気を検出できるものならなん
でも良く、例えばホール素子、超小型コイル、磁気抵抗
素子等が挙げられる。
Any magnetic detection element may be used as long as it can detect magnetism, and examples thereof include a hall element, a micro coil, and a magnetic resistance element.

素子の厚さは何んでも良いが、その素子が取り付けら
れるプリントコイルの厚さより薄いのが好ましい。素子
がプリントコイルの厚さより薄ければコイルユニツト内
のその素子が取り付けられているプリントコイル以外の
プリントコイルのうず巻状導体パターンをその素子の位
置や形状にあわせて変形させる必要がなくうず巻状導体
パターンの設計に自由度が増す。また素子の形状も何ん
でも良いが、特に素子を外周に面した、うず巻状導体パ
ターンの角を丸味を持たせて変形させた領域に配置する
時は、五角形や三角形が好ましい。
The element may have any thickness, but is preferably thinner than the thickness of the printed coil to which the element is attached. If the element is thinner than the thickness of the printed coil, it is not necessary to deform the spiral-shaped conductor pattern of the printed coil other than the printed coil in which the element is attached in the coil unit according to the position and shape of the element. The degree of freedom in designing the conductor pattern increases. The shape of the element may be any shape, but a pentagon or a triangle is preferable especially when the element is arranged in a region in which the corners of the spiral-wound conductor pattern are rounded and deformed, facing the outer periphery.

以上の様にして磁気検出素子をうめ込んだプリントコ
イルと磁気検出素子を含まないプリントコイルとを複数
枚積層してコイルユニツトを形成する。
As described above, a plurality of print coils each containing a magnetic detection element and a plurality of print coils not including a magnetic detection element are laminated to form a coil unit.

この積層にはコイルの固定ができてコイル間の絶縁が
とれれば何を使つてもよいが、例えばエポキシ系やフエ
ノール系の接着剤でも、また、絶縁フイルムの両面に接
着剤を半硬化の状態にして塗布してある接着剤シートを
用いても良い。第6図に1例を示す。
Any material may be used for this stacking as long as the coils can be fixed and insulation between the coils can be taken. For example, an epoxy-based or phenol-based adhesive, or a semi-cured adhesive on both sides of the insulating film. You may use the adhesive agent sheet apply | coated. FIG. 6 shows an example.

〔効果〕〔effect〕

本考案の磁気検出素子を内蔵したコイルユニツトと磁
石は、磁気検出素子を含めたコイルユニツトが薄いため
に効率の良い磁気回路が出きるので推力が大きくまた、
各磁気検出素子の磁場の差による出力のバラツキが少な
いので各コイルへの電流の切り換えのタイミングが正確
であり、さらに各プリントコイルの推力への寄与が一定
に揃えられているため高安定移動速度を持つた薄型リニ
アアクチユエータが得られる。
The coil unit and the magnet with the built-in magnetic sensor of the present invention have a large thrust because the efficient magnetic circuit can be obtained because the coil unit including the magnetic sensor is thin.
Since there is little variation in the output due to the difference in the magnetic field of each magnetic detection element, the timing of switching the current to each coil is accurate, and since the contribution to the thrust of each print coil is made uniform, a high stable movement speed is achieved. A thin linear actuator with

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図(A)(B)は、リニアアクチユエータの一般的
な見取り図と断面図である。第2図(A)、(B)は本
考案に用いる磁石の1態様の平面図及び正面図である。
第3図は本考案に用いられるプリントコイルの1例を示
し、第3図(A)は平面図、第3図(B)は第3図
(A)のA−A′線で切断した断面図である。第4図
(A)、(B)は本考案のアクチユエータ用部品の断面
図と磁石の巾方向の中心からの距離と磁場の強さの関係
を示すグラフである。第5図は本考案に用いる磁気検出
素子をうめ込んだプリントコイルの1例の平面図であ
る。第6図(A)、(B)、(C)は本考案に用いるコ
イルユニツトの1例の表平面図、裏平面図及びB−B′
線での断面図である。 1,1′……プリントコイル 2,2′……プリントコイル支持体 3,3′……うず巻状導体パターン 4,4′……スルーホールランド 5,5′……うず巻状導体パターンの中央部 6,6′……スルーホール 7,7′……外部接続用端子 8,22……磁気検出素子 9,9′……絶縁用オーバーコート樹脂 12……接着剤 13……磁気検出素子埋込用穴 21……磁石 23……コイルユニツト 24……ヨーク板
1 (A) and (B) are a general sketch and a sectional view of a linear actuator. 2 (A) and 2 (B) are a plan view and a front view of one embodiment of a magnet used in the present invention.
FIG. 3 shows an example of a print coil used in the present invention. FIG. 3 (A) is a plan view and FIG. 3 (B) is a cross section taken along the line AA ′ in FIG. 3 (A). It is a figure. 4 (A) and 4 (B) are a cross-sectional view of the actuator component of the present invention and a graph showing the relationship between the distance from the center of the magnet in the width direction and the magnetic field strength. FIG. 5 is a plan view of an example of a printed coil in which a magnetic detecting element used in the present invention is embedded. 6 (A), (B) and (C) are a front plan view, a back plan view and BB 'of an example of the coil unit used in the present invention.
It is sectional drawing in a line. 1,1 ′ …… Print coil 2,2 ′ …… Print coil support 3,3 ′ …… Spiral conductor pattern 4,4 ′ …… Through hole land 5,5 ′ …… Spiral conductor pattern Central part 6,6 ′ …… Through hole 7,7 ′ …… External connection terminal 8,22 …… Magnetic detection element 9,9 ′ …… Insulation overcoat resin 12 …… Adhesive agent 13 …… Magnetic detection element Embedding hole 21 …… Magnet 23 …… Coil unit 24 …… Yoke plate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−103559(JP,A) 特開 昭57−91590(JP,A) 特開 昭58−86861(JP,A) 実開 昭59−97596(JP,U) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-59-103559 (JP, A) JP-A-57-91590 (JP, A) JP-A-58-86861 (JP, A) Actual development Sho-59- 97596 (JP, U)

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】下記(a)、(b)、(c)からなり、コ
イルユニットを構成するプリントコイルのうち、磁石に
最も近い側のプリントコイルにのみ磁気検出素子を埋め
込んだことを特徴とするリニアアクチュエータ用部品。 (a)しゅう動方向に垂直な方向の巾がlである磁石2
1。 (b)一定の間隔で該しゅう動方向に配置された、複数
個のうず巻状導体パターン3。 (c)該うず巻状導体パターン3の外側で、磁石21の巾
方向の中心からの距離Rが、R≦l/2+d(但し、d
は、磁石のプリントコイルユニットに面する表面から、
プリントコイルユニットの磁石と反対側の面までの距
離)である距離Rの位置に、磁気検出素子8の受感部が
来るように該磁気検出素子8が埋め込まれている膜厚が
0.1〜2mmのプリントコイル1を、複数枚含むプリントコ
イルユニット23。
1. A magnetic detection element consisting of the following (a), (b), and (c), wherein a magnetic detection element is embedded only in the print coil closest to the magnet among the print coils constituting the coil unit. Parts for linear actuators. (A) Magnet 2 whose width is 1 in the direction perpendicular to the sliding direction
1. (B) A plurality of spiral-shaped conductor patterns 3 arranged in the sliding direction at regular intervals. (C) The distance R from the center of the magnet 21 in the width direction on the outside of the spirally wound conductor pattern 3 is R ≦ l / 2 + d (however, d
From the surface of the magnet facing the print coil unit,
At the position of a distance R, which is the distance (to the surface of the print coil unit opposite to the magnet), the film thickness in which the magnetic sensing element 8 is embedded so that the sensing portion of the magnetic sensing element 8 is located.
A print coil unit 23 that includes a plurality of print coils 1 of 0.1 to 2 mm.
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