JPH0877539A - Magnetic recording medium - Google Patents
Magnetic recording mediumInfo
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- JPH0877539A JPH0877539A JP23049194A JP23049194A JPH0877539A JP H0877539 A JPH0877539 A JP H0877539A JP 23049194 A JP23049194 A JP 23049194A JP 23049194 A JP23049194 A JP 23049194A JP H0877539 A JPH0877539 A JP H0877539A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスクにおける
高トラック密度記録の達成とその製造コスト低減を目的
とし、非磁性基板の表面に磁性薄膜を形成してなる磁気
ディスク上にあらかじめ制御および情報データを付与し
た新規の磁気ディスクおよびその有効な製造方法を提供
することに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention aims at achieving high track density recording on a magnetic disk and reducing its manufacturing cost, and controls and information is preliminarily recorded on a magnetic disk having a magnetic thin film formed on the surface of a non-magnetic substrate. The present invention relates to providing a new magnetic disk having data and an effective manufacturing method thereof.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、広く使用されている磁気ディスク
は、いわゆるウィンチェスター型と称するもので、小型
の記録/再生用磁気ヘッドをディスク回転に伴う空気流
によって、ディスク表面からわずかに浮上させ、エアー
ギャップを介して、データの記録あるいは再生を行う。2. Description of the Related Art Conventionally, a widely used magnetic disk is of the so-called Winchester type, in which a small recording / reproducing magnetic head is slightly floated above the disk surface by the air flow accompanying disk rotation. Data is recorded or reproduced through the gap.
【０００３】このような一般的な磁気ディスクの製造方
法としては、非磁性の平板状基板の上にＣrなどの下地
膜を形成し、その上にＣoを主体とした磁性薄膜を形成
する方法が用いられ面内に磁気異方性を付与している。As a general method for manufacturing such a magnetic disk, there is a method in which a base film such as Cr is formed on a non-magnetic flat substrate and a magnetic thin film mainly containing Co is formed thereon. Used to give in-plane magnetic anisotropy.
【０００４】下地膜、磁性薄膜を積層した後、カーボン
膜などの保護膜、潤滑剤層を形成してフォーマッティン
グが施される。これは磁気記録によって、サーボパター
ンを記録し、さらにアドレス情報などが記録される。After a base film and a magnetic thin film are laminated, a protective film such as a carbon film and a lubricant layer are formed and formatting is performed. This is a magnetic recording in which a servo pattern is recorded and further address information and the like are recorded.
【０００５】しかしながらトラック密度が増大すなわち
トラックピッチを狭小化すると、このフォーマッティン
グに極めて高精度な位置決め機構を持った装置が必要と
なり、また要する時間も多大なものとなる。However, if the track density is increased, that is, the track pitch is narrowed, a device having an extremely high-precision positioning mechanism is required for this formatting, and the time required for the formatting becomes great.
【０００６】また狭トラック化に伴って、トラックと垂
直方向へのヘッドからの漏洩磁界の影響も無視できなく
なる。これはサイドフリンジングノイズと呼ばれ、高ト
ラック密度化を妨げる一因となっている。Further, as the track becomes narrower, the influence of the magnetic field leaked from the head in the direction perpendicular to the track cannot be ignored. This is called side fringing noise, which is one of the factors that hinder high track density.
【０００７】上述の問題を解決することを目的とし、磁
気記録膜をパターン化する試みがなされている。Attempts have been made to pattern the magnetic recording film for the purpose of solving the above problems.
【０００８】これはあらかじめ連続膜として形成した磁
気記録膜にフォトレジストを塗布し、適当なパターンで
露光した後現像、これを酸または反応性イオンエッチン
グなどを用いてエッチングすることにより得られる。あ
るいはイオン打ち込みによって一部非磁性化することに
よってもパターン化が可能である。This can be obtained by applying a photoresist to a magnetic recording film which is previously formed as a continuous film, exposing it with a suitable pattern, and then developing it, and etching it using acid or reactive ion etching. Alternatively, patterning can be performed by partially demagnetizing by ion implantation.
【０００９】これらの方式は通常のLSI製造と同様のプ
ロセスで可能であるが、レジストの塗布、現像工程を要
し、最終的にレジスト膜を除去する必要がある。These methods can be carried out by the same process as in the usual LSI manufacturing, but they require resist coating and developing steps, and it is necessary to finally remove the resist film.
【００１０】一方、予め基板にプリピットすなわち凹凸
を形成しておいてこの部分の磁性膜を直流磁化し、その
漏洩磁界を磁気ヘッドで再生してトラックに追従させる
方式の磁気ディスクが提案されている。On the other hand, there has been proposed a magnetic disk of a type in which prepits, that is, concavities and convexities are formed in advance on a substrate, the magnetic film in this portion is DC magnetized, and the leakage magnetic field is reproduced by a magnetic head to follow a track. .
【００１１】直流磁化の方向は、全面一方向に行っても
よいが、凹部と凸部とで磁化方向を反転させておくとよ
り大きな信号出力が得られる。The direction of direct current magnetization may be one direction on the entire surface, but a larger signal output can be obtained by reversing the magnetization direction between the concave portion and the convex portion.
【００１２】この時サーボパターンと同時にアドレス情
報もプリピットとして形成しておくこともできる。At this time, address information can be formed as pre-pits at the same time as the servo pattern.
【００１３】これらのプリピットを設けた基板は光ディ
スクの製造と同様な工程によって得ることができる。The substrate provided with these pre-pits can be obtained by the same process as that for manufacturing an optical disc.
【００１４】すなわち、フォトレジストを塗布したガラ
ス原盤にレーザービームを用いて所望の形態のプリピッ
トを露光して現像（カッティング）、その上にＮiなど
の金属を蒸着またはメッキ後に剥離（レプリカ）、これ
をスタンパとして樹脂を射出成形して基板とする。That is, a glass master disk coated with a photoresist is exposed with a laser beam to pre-pits of a desired shape and developed (cutting), and a metal such as Ni is vapor-deposited or plated and then peeled (replica). Is used as a stamper to injection-mold a resin to form a substrate.
【００１５】この時最初にフォトレジスト上に形成され
た露光パターンとほぼ同様のプリピットが樹脂基板上に
転写される。At this time, substantially the same prepits as the exposure pattern initially formed on the photoresist are transferred onto the resin substrate.
【００１６】この基板に通常と同じように下地膜、磁性
膜、保護膜、潤滑剤層など形成して磁気ディスクが得ら
れる。A magnetic disk is obtained by forming a base film, a magnetic film, a protective film, a lubricant layer and the like on this substrate as usual.
【００１７】フォーマッティングは磁性膜を直流磁化す
るだけで良く、複雑かつ高精度の装置は不要で時間も短
縮できる。Formatting is only required to magnetize the magnetic film by direct current, and a complicated and highly accurate device is not required and the time can be shortened.
【００１８】したがって安価に磁気ディスクを大量生産
可能となる。またプリピットの形状が物理的に決まって
いるためにサイドフリンジングの発生もない。Therefore, magnetic disks can be mass-produced at low cost. Moreover, since the shape of the pre-pit is physically determined, side fringing does not occur.
【００１９】さらに溝を設けておき記録トラックの両側
に溝を設けておき、トラックを分離した構成とすること
によって隣接トラックからのクロストークを低減した磁
気ディスクも提案がなされている（特開昭56-11993
4）。A magnetic disk has also been proposed in which grooves are provided on both sides of a recording track and the tracks are separated to reduce crosstalk from adjacent tracks. 56-11993
Four).
【００２０】クロストーク低減効果のためには、溝の深
さは0.2μm程度が必要であるといわれている。In order to reduce the crosstalk, it is said that the groove depth should be about 0.2 μm.
【００２１】これらはいずれも今後の高密度化には極め
て有効な技術である。All of these are extremely effective technologies for increasing the density in the future.
【００２２】[0022]
【発明が解決しようとする課題】磁気ディスクなど磁気
記録媒体の普及のためには、高性能を維持しつつ、大量
かつ安価に製造できることが必須条件である。In order to popularize magnetic recording media such as magnetic disks, it is an essential condition that they can be mass-produced at low cost while maintaining high performance.
【００２３】フォトレジストの形成、露光、現像、エッ
チングまたはイオン打ち込み、レジスト除去といったLS
I製造と同様のプロセスではスループットの低下が著し
く大幅なコスト増となる。LS such as photoresist formation, exposure, development, etching or ion implantation, and resist removal
In the same process as I manufacturing, the throughput is significantly reduced and the cost is significantly increased.
【００２４】また一般に、ディスク基板に溝やプリピッ
トなどの凹凸を設けた場合、磁気ヘッドと磁気ディスク
との隙間に流入する空気流に変化を生じる。In general, when the disk substrate is provided with irregularities such as grooves and prepits, the air flow flowing into the gap between the magnetic head and the magnetic disk changes.
【００２５】特にプリピットをサーボパターンやアドレ
ス情報として用いると、周方向に規則的に配置されるこ
とになるため、ディスクの回転数と一周あたりのサーボ
パターン数に比例した周期的外乱が磁気ヘッドに加わ
る。Particularly when pre-pits are used as servo patterns and address information, they are regularly arranged in the circumferential direction, so that a periodic disturbance proportional to the number of revolutions of the disk and the number of servo patterns per revolution is applied to the magnetic head. Join.
【００２６】この周期またはその高調波成分が磁気ヘッ
ドの機械的固有振動数に一致すると共振現象を引き起こ
し磁気ヘッドが大きく振動する。When this cycle or its harmonic components match the mechanical natural frequency of the magnetic head, a resonance phenomenon is caused and the magnetic head vibrates greatly.
【００２７】このときスペーシングロスの増大、または
磁気ヘッドの磁気ディスクへの衝突等が発生し、エラー
やディスク破壊を起こすこともある。At this time, an increase in spacing loss, a collision of the magnetic head with the magnetic disk, or the like may occur, which may cause an error or disk destruction.
【００２８】したがって磁気ヘッドの安定浮上のために
はディスク上の凹凸は小さい方が望ましい。Therefore, in order to stably fly the magnetic head, it is desirable that the irregularities on the disk are small.
【００２９】[0029]
【課題を解決するための手段】即ち、本発明において
は、サーボ・アドレス信号などを得るために、磁気ディ
スク基板に凹凸を設けること無く、磁性薄膜パターンを
直接形成することによって上記目的を達成するものであ
る。That is, in the present invention, the above object is achieved by directly forming a magnetic thin film pattern without providing irregularities on a magnetic disk substrate in order to obtain a servo address signal or the like. It is a thing.
【００３０】[0030]
【作用】上述の本発明の構成によれば、磁気記録膜は通
常のプロセスを用いるため記録再生特性は従来と同等の
特性が得られる。According to the above-described structure of the present invention, since the magnetic recording film uses a normal process, the recording / reproducing characteristic is equal to the conventional one.
【００３１】さらにサーボパターン、ガードバンド用
溝、アドレス、データ等を磁性薄膜パターンとして直接
形成するため、スループットの低下も小さい。Further, since the servo pattern, the groove for the guard band, the address, the data and the like are directly formed as the magnetic thin film pattern, the decrease in throughput is small.
【００３２】また磁気ヘッドの共振現象を誘起するよう
な深い段差を設ける必要がなく、したがってスペーシン
グロスによるエラーやヘッド振動によるディスク衝撃が
発生せず安価で高信頼性の磁気ディスクを供給可能とな
る。Further, it is not necessary to provide a deep step which induces a resonance phenomenon of the magnetic head, and therefore, an error due to spacing loss and a disk impact due to head vibration do not occur and an inexpensive and highly reliable magnetic disk can be supplied. Become.
【００３３】[0033]
【実施例】図１は、本発明による磁気デイスクの表面へ
の磁性薄膜パターンの形成法の一例を示したものであ
る。1 shows an example of a method of forming a magnetic thin film pattern on the surface of a magnetic disk according to the present invention.
【００３４】反応室１はあらかじめ図示されていない真
空排気装置によって10−７Torr程度まで予備排気され
る。The reaction chamber 1 is pre-evacuated to about 10-7 Torr by a vacuum exhaust device (not shown).
【００３５】その後、恒温曹１０で一定温度に保たれた
有機金属化合物１１の容器８に設けられたバルブ（図示
されていない）を開放すると、前記有機金属化合物はそ
の物質固有の蒸気圧で昇華または蒸発する。After that, when a valve (not shown) provided in the container 8 of the organometallic compound 11 kept at a constant temperature with the constant temperature soda 10 is opened, the organometallic compound is sublimated by the vapor pressure peculiar to the substance. Or evaporate.
【００３６】前記有機金属化合物１１の蒸気は反応室１
に配置された磁気ディスク２の表面近傍まで導かれる。The vapor of the organometallic compound 11 is used in the reaction chamber 1.
Is guided to the vicinity of the surface of the magnetic disk 2 arranged at.
【００３７】上記磁気ディスク２は、あらかじめ非磁性
基板２０の上に下地膜２１を形成し、さらに磁気記録膜
２２を積層したものである。The magnetic disk 2 is formed by forming a base film 21 on a non-magnetic substrate 20 in advance and further laminating a magnetic recording film 22 thereon.
【００３８】下地膜２１としてはCr、CrTiなどが用いら
れ、また磁気記録膜２２としてはCoCrTa、CoCrPtなどが
用いられる。Cr, CrTi, etc. are used for the base film 21, and CoCrTa, CoCrPt, etc. are used for the magnetic recording film 22.
【００３９】一方、光源３から発射された光ビーム１２
は一組のレンズ４を通過してフォトマスク５を照明す
る。On the other hand, the light beam 12 emitted from the light source 3
Illuminates the photomask 5 through a set of lenses 4.
【００４０】フォトマスク５は別なプロセスで光、電子
ビームなどを用いて直接描画または他のマスクから転写
されたもので、実際のパターンサイズに対して適当な倍
率を持つ。The photomask 5 is directly drawn by another process using light, electron beam, or transferred from another mask, and has an appropriate magnification with respect to the actual pattern size.
【００４１】本実施例においては、フォトマスク５はガ
ラス基板上に低反射率のCr薄膜を形成した後、フォトレ
ジストをスピン塗布し、Arイオンレーザーで直接描画し
て現像、酸でエッチングしたものを用いており拡大倍率
は５とした。In this embodiment, the photomask 5 is formed by forming a Cr thin film having a low reflectance on a glass substrate, spin-coating a photoresist, directly drawing with an Ar ion laser, developing and etching with an acid. Was used and the magnification was set to 5.
【００４２】フォトマスク５を通過した光ビームは凹面
ミラー６、凸面ミラー７によって1/5に縮小された後石
英窓ガラス９を通して磁気ディスク２に照射される。The light beam that has passed through the photomask 5 is reduced to 1/5 by the concave mirror 6 and the convex mirror 7, and is then irradiated onto the magnetic disk 2 through the quartz window glass 9.
【００４３】磁気ディスク２の表面近傍では光ビームの
照射部のみ有機金属化合物の分解反応が起こり金属が析
出して薄膜が形成される。In the vicinity of the surface of the magnetic disk 2, the decomposition reaction of the organometallic compound occurs only in the light beam irradiation portion, and the metal is deposited to form a thin film.
【００４４】このとき金属元素としてFe、Co、Niなど磁
性遷移金属の有機化合物を用いると磁性薄膜パターンが
形成できる。At this time, a magnetic thin film pattern can be formed by using an organic compound of a magnetic transition metal such as Fe, Co or Ni as the metal element.
【００４５】有機金属化合物としては金属カルボニル、
メタロセンなどが望ましく、前者としてはFe(CO)5、Co2
(CO)8、Ni(CO)5が、また後者としては、(C5H5)2Fe、(C5
H5)2Co、(C5H5)2Niが用いられる。As the organic metal compound, metal carbonyl,
Metallocene is preferable, and the former are Fe (CO) 5 and Co 2
(CO) 8 , Ni (CO) 5 , and the latter include (C 5 H 5 ) 2 Fe and (C 5
H 5) 2 Co, the (C 5 H 5) 2 Ni is used.
【００４６】これらは単独で用いると単独元素の磁性薄
膜パターンが得られるが、これらの混合物を蒸発源とす
ると合金の磁性薄膜パターンが得られる。When used alone, a magnetic thin film pattern of a single element can be obtained, but when a mixture of these is used as an evaporation source, a magnetic thin film pattern of an alloy is obtained.
【００４７】さらにMn2(CO)10、Cr(CO)6、W(CO)6などを
分解して合金を形成してもよい。光源３としては水銀ラ
ンプ、エキシマレーザーなど必要な波長のものが選ばれ
る。Further, Mn 2 (CO) 10 , Cr (CO) 6 , W (CO) 6, etc. may be decomposed to form an alloy. As the light source 3, a light source having a required wavelength such as a mercury lamp or an excimer laser is selected.
【００４８】また有機金属化合物の混合物を用いた場
合、異なった波長の光源を複数用意し、強度比を適当に
選択することによって組成をコントロールできる。When a mixture of organometallic compounds is used, the composition can be controlled by preparing a plurality of light sources having different wavelengths and appropriately selecting the intensity ratio.
【００４９】図２は密着露光プロセスを示したものであ
る。磁気記録膜２２の形成までは同様であるが、本例で
は有機金属化合物薄膜２３を真空蒸着または吸着によっ
て磁気記録膜２２上に形成し、これにフォトマスク１９
を重ね、紫外線で照明することによって光分解を行っ
た。FIG. 2 shows the contact exposure process. The process up to the formation of the magnetic recording film 22 is the same, but in this example, the organometallic compound thin film 23 is formed on the magnetic recording film 22 by vacuum vapor deposition or adsorption, and the photomask 19 is formed thereon.
Were piled up and photo-decomposed by illuminating with ultraviolet rays.
【００５０】このようにして得られた磁気記録媒体の断
面構造を図３に示す。The cross-sectional structure of the magnetic recording medium thus obtained is shown in FIG.
【００５１】非磁性基板２０（ガラス基板）上に下地膜
２１（Cr 100nm)、磁気記録膜２２(CoCrPt 60nm)を積層
し、さらに磁性薄膜パターン２４(FeCo 30nm)、保護膜
２５(カーボン膜 100nm)が形成され、最終的に潤滑剤２
６(PFPE)をディップまたはスピンコ−トする。A base film 21 (Cr 100 nm) and a magnetic recording film 22 (CoCrPt 60 nm) are laminated on a non-magnetic substrate 20 (glass substrate), and a magnetic thin film pattern 24 (FeCo 30 nm) and a protective film 25 (carbon film 100 nm). ) Is formed and finally lubricant 2
Dip or spin coat 6 (PFPE).
【００５２】図４はこの磁気ディスクを直流磁化したと
きの磁化状態およびそれによる漏洩磁界の様子を模式的
に示したものである。FIG. 4 schematically shows a magnetized state when the magnetic disk is DC magnetized and a state of a leakage magnetic field due to the magnetized state.
【００５３】第５図は磁気記録膜２２上に非磁性膜２７
を形成した例を示したものである。非磁性膜としてはC
r、Ti、W、Moなどの金属またはその酸化物、あるいはシ
リコン酸化物、シリコン窒化物、および磁気記録膜その
ものの酸化物などが選ばれる。FIG. 5 shows the non-magnetic film 27 on the magnetic recording film 22.
3 shows an example of forming a. C as a non-magnetic film
A metal such as r, Ti, W, or Mo or an oxide thereof, a silicon oxide, a silicon nitride, an oxide of the magnetic recording film itself, or the like is selected.
【００５４】図６は図５に示した磁気記録媒体の直流磁
化状態を模式的に表したたものである。FIG. 6 schematically shows the DC magnetization state of the magnetic recording medium shown in FIG.
【００５５】同図６(a)は図４と同様に磁気記録膜２２
と磁性薄膜パターン２４とを同一方向に磁化した場合、
また(b)は逆方向に磁化した場合を示す。FIG. 6A shows the magnetic recording film 22 as in FIG.
And the magnetic thin film pattern 24 are magnetized in the same direction,
In addition, (b) shows the case of magnetization in the opposite direction.
【００５６】[0056]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
あらかじめ情報を表わす磁性薄膜パターンを磁気ディス
クの磁気記録膜上に作りつけることによって、磁気ディ
スクにおける高トラック密度化達成することが出来る。As described above, according to the present invention,
By previously forming a magnetic thin film pattern representing information on the magnetic recording film of the magnetic disk, it is possible to achieve a high track density in the magnetic disk.
【００５７】更にトラッキングが可能となることによっ
てディスクの交換が可能となり、ディスクに情報をあら
かじめ突起として作りつけることが出来るため、ソフト
ウェア配布の手段として広く用いることも可能となる。Further, since the tracking becomes possible, the disc can be exchanged and the information can be preliminarily formed as a protrusion on the disc, so that it can be widely used as a means of software distribution.
【図１】本発明における製造方法の一実施例を示す図で
ある。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a manufacturing method according to the present invention.
【図２】本発明における製造方法の一実施例を示す図で
ある。FIG. 2 is a diagram showing an embodiment of a manufacturing method according to the present invention.
【図３】本発明における磁気記録媒体の一実施例を示す
図である。FIG. 3 is a diagram showing an embodiment of a magnetic recording medium in the present invention.
【図４】図３の磁気記録媒体の磁化状態を示す模式図で
ある。FIG. 4 is a schematic diagram showing a magnetized state of the magnetic recording medium of FIG.
【図５】本発明における磁気記録媒体の一実施例を示す
図である。FIG. 5 is a diagram showing an embodiment of a magnetic recording medium according to the present invention.
【図６】図４の磁気記録媒体の磁化状態を示す模式図で
ある。6 is a schematic diagram showing a magnetized state of the magnetic recording medium of FIG.
１ 反応室 ２ 磁気ディスク ３ 光源 ４ レンズ ５ フォトマスク ６ 凹面ミラー ７ 凸面ミラー ８ 容器 ９ 窓ガラス １０ 恒温漕 １１ 有機金属化合物 １２ 光ビーム １９ フォトマスク ２０ 非磁性基板 ２１ 下地膜 ２２ 磁気記録膜 ２３ 有機金属化合物薄膜 ２４ 磁性薄膜パターン ２５ 保護膜 ２６ 潤滑剤 ２７ 非磁性膜 ３０ 漏洩磁束 1 Reaction Chamber 2 Magnetic Disk 3 Light Source 4 Lens 5 Photomask 6 Concave Mirror 7 Convex Mirror 8 Container 9 Window Glass 10 Constant Temperature Bath 11 Organometallic Compound 12 Light Beam 19 Photomask 20 Nonmagnetic Substrate 21 Underlayer 22 Magnetic Recording Layer 23 Organic Metal compound thin film 24 Magnetic thin film pattern 25 Protective film 26 Lubricant 27 Non-magnetic film 30 Leakage magnetic flux
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大貫 健 大阪府茨木市丑寅一丁目１番88号 日立マ クセル株式会社内 (72)発明者 安達 和慶 大阪府茨木市丑寅一丁目１番88号 日立マ クセル株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Ken Onuki 1-88, Torora, Ibaraki-shi, Osaka Prefecture Hitachi Maxel Co., Ltd. (72) Inventor Kazuyoshi Adachi 1-88, Torora, Ibaraki-shi, Osaka Within Hitachi Maxell, Ltd.
Claims (9)
録膜を形成してなる磁気記録媒体において、前記磁気記
録膜上に磁性薄膜パターンを積層し、トラッキング用サ
ーボピット、アドレス情報用プリピット、ディスクリー
トトラック用ガードバンドのうちのいずれかを形成した
ことを特徴とする磁気記録媒体。1. A magnetic recording medium comprising a magnetic recording film formed on both surfaces or one surface of a non-magnetic substrate, wherein a magnetic thin film pattern is laminated on the magnetic recording film, and a servo pit for tracking, a prepit for address information, A magnetic recording medium, characterized in that any one of the guard bands for discrete tracks is formed.
磁気記録膜の上に非磁性層を設けたのち上記磁性薄膜パ
ターンを形成したことを特徴とする磁気記録媒体。2. The magnetic recording medium according to claim 1,
A magnetic recording medium comprising a non-magnetic layer provided on a magnetic recording film, and then the magnetic thin film pattern is formed.
上記磁性薄膜パターンはFe、Co、Niのうち少なくとも１
種類を含む金属薄膜であることを特徴とする磁気記録媒
体。3. The magnetic recording medium according to claim 1,
The magnetic thin film pattern is at least one of Fe, Co and Ni.
A magnetic recording medium characterized by being a metal thin film including types.
上記磁性薄膜パターンが有機金属化合物を光、電子線な
どのエネルギービームを用いて選択的に光化学分解する
ことによって得られた金属磁性薄膜であることを特徴と
する磁気記録媒体。4. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein
A magnetic recording medium, wherein the magnetic thin film pattern is a metal magnetic thin film obtained by selectively photochemically decomposing an organometallic compound using an energy beam such as light or an electron beam.
前記磁気記録媒体がカートリッジに収納され、着脱が可
能であることを特徴とするデイスク状の磁気記録媒体。5. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein
A disk-shaped magnetic recording medium, wherein the magnetic recording medium is housed in a cartridge and is removable.
上記有機金属化合物が金属カルボニルであって、Fe(CO)
5、Co2(CO)8、Ni(CO)5のうち少なくとも１種類から選択
されてなり、減圧下で気化させて非磁性基板上に導いて
光化学分解し前記磁性薄膜パターンを積層したことを特
徴とする磁気記録媒体。6. The magnetic recording medium according to claim 4,
The organometallic compound is a metal carbonyl, Fe (CO)
5 , Co 2 (CO) 8 and Ni (CO) 5 are selected from at least one kind, which is vaporized under reduced pressure and led onto a non-magnetic substrate and photochemically decomposed so that the magnetic thin film pattern is laminated. Characteristic magnetic recording medium.
上記有機金属化合物がメタロセンであって、(C5H5)2F
e、(C5H5)2Co、(C5H5)2Niのうち少なくとも１種類から
選択されてなることを特徴とする磁気記録媒体。7. The magnetic recording medium according to claim 4,
The organometallic compound is metallocene, and (C 5 H 5 ) 2 F
A magnetic recording medium characterized by being selected from at least one of e, (C 5 H 5 ) 2 Co, and (C 5 H 5 ) 2 Ni.
上記磁性薄膜パターン中にＣまたはＯを２〜１５at%含
んでなることを特徴とした磁気記録媒体。8. The magnetic recording medium according to claim 4,
A magnetic recording medium characterized in that the magnetic thin film pattern contains 2 to 15 at% of C or O.
前記磁気記録媒体の中心部に金属またはプラスチックの
ハブが設けられてなることを特徴としたディスク状の磁
気記録媒体。9. The magnetic recording medium according to claim 5,
A disk-shaped magnetic recording medium comprising a metal or plastic hub provided at the center of the magnetic recording medium.
Priority Applications (1)
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| JP (1) | JP3571085B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7807338B2 (en) * | 2005-10-19 | 2010-10-05 | Sony Corporation | Method of manufacturing magnetic disk |
-
1994
- 1994-08-31 JP JP23049194A patent/JP3571085B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7807338B2 (en) * | 2005-10-19 | 2010-10-05 | Sony Corporation | Method of manufacturing magnetic disk |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3571085B2 (en) | 2004-09-29 |
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