JPH0873235A - Method for positioning burner of apparatus for producing optical fiber preform - Google Patents

Method for positioning burner of apparatus for producing optical fiber preform

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JPH0873235A
JPH0873235A JP21453294A JP21453294A JPH0873235A JP H0873235 A JPH0873235 A JP H0873235A JP 21453294 A JP21453294 A JP 21453294A JP 21453294 A JP21453294 A JP 21453294A JP H0873235 A JPH0873235 A JP H0873235A
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burner
tube
optical fiber
tube burner
positioning
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JP21453294A
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Toshihiro Mikami
俊宏 三上
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Furukawa Electric Co Ltd
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Abstract

PURPOSE: To provide a method for positioning a burner of an apparatus for forming optical fiber preforms capable of setting the posture and position of the multitube burner with good accuracy. CONSTITUTION: This apparatus produces the porous optical fiber preform by depositing glass particulates on an object by using the multitube burner 1 which has a structure in which light passes through in the central tube of the multitube structure and synthesizes the glass particulates in the flame at a front end. The multitube burner 1 is so positioned that the main light 20a emitted outside from the front end through the center of the multitube burner 1 respectively pass reference points 40, 41 in plural directions formed by the intersected points of plural auxiliary light rays 32, 34, 36, 38 and that the front end of the multitube burner 1 is aligned to the position reference consisting of the auxiliary light 38 for positioning the front end of the burner.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、多重管バーナを用い
て、その先端の火炎中で合成したガラス微粒子を対象物
に堆積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファ
イバ母材製造装置におけるバーナの位置決め方法に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention uses a multi-tube burner to deposit fine glass particles synthesized in a flame at the tip of the burner on an object to manufacture a porous optical fiber base material. The present invention relates to a burner positioning method in an apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ファイバ母材は、先ずVAD法で作ら
れる。VAD法では、鉛直に支持されて回転する回転軸
の下端に下向きに種棒を取付け、コア用多重管バーナの
火炎中で合成したSiO2 ,GeO2 等のガラス微粒子
を該種棒の斜め下方から該種棒の下端に吹き付けて、回
転軸を引上げながら多孔質の光ファイバ母材を成長させ
る。かくして得られた多孔質の光ファイバ母材は、脱
水,焼結して透明なコア用光ファイバ母材とする。次
に、この透明なコア用光ファイバ母材をその軸心の回り
に回転させつつ、その外周に、クラッド用多重管バーナ
の火炎中で合成した純粋なSiO2 のみからなるガラス
微粒子を堆積させ、同様に脱水,焼結して透明なコア,
クラッドからなる光ファイバ母材を得る。
2. Description of the Related Art An optical fiber preform is first manufactured by the VAD method. In the VAD method, a seed rod is attached to the lower end of a rotating shaft that is vertically supported and rotates downward, and glass fine particles such as SiO 2 and GeO 2 synthesized in the flame of a multi-tube burner for cores are obliquely downward from the seed rod. From above to the lower end of the seed rod to grow the porous optical fiber preform while pulling up the rotating shaft. The porous optical fiber preform thus obtained is dehydrated and sintered to form a transparent core optical fiber preform. Next, while rotating this transparent optical fiber base material for cores around its axis, glass particles made of pure SiO 2 synthesized in the flame of the multi-tube burner for cladding were deposited on the outer periphery thereof. , Likewise dehydrated, sintered and transparent core,
An optical fiber preform composed of a clad is obtained.

【0003】VAD法においては、製造される光ファイ
バ母材中の屈折率分布が常に安定していることが重要で
ある。
In the VAD method, it is important that the refractive index distribution in the manufactured optical fiber preform is always stable.

【0004】光ファイバ母材中の屈折率分布の形状は、
特に多重管バーナの姿勢、具体的には該多重管バーナの
軸方向と、多重管バーナの先端位置によって大きく変化
する。
The shape of the refractive index distribution in the optical fiber preform is
In particular, the posture of the multi-tube burner, specifically, the axial direction of the multi-tube burner, and the tip position of the multi-tube burner greatly change.

【0005】しかしながら、従来は多重管バーナの姿勢
を正確に決定することができなかったので、できあがっ
た製品の屈折率分布を測定して、その結果から、多重管
バーナの姿勢を調整していたので、非常に労力がかかる
問題点があった。
However, since the posture of the multi-tube burner could not be accurately determined in the past, the refractive index distribution of the finished product was measured, and the posture of the multi-tube burner was adjusted based on the result. Therefore, there was a problem that it was very laborious.

【0006】またOVD法においては、バーナ軸と母材
軸が正確に同一平面内で直交している時に最も堆積効率
がよい。
In the OVD method, the deposition efficiency is highest when the burner axis and the base material axis are exactly orthogonal to each other in the same plane.

【0007】しかしながら、このようにクラッド用多重
管バーナの姿勢を最適に調整することは非常に困難であ
った。
However, it is very difficult to optimally adjust the posture of the multi-tube burner for cladding in this way.

【0008】バーナの姿勢の調整は、特に、該バーナを
取り付けた直後、或いは該バーナを交換した直後には必
ず行わなければならない。
The adjustment of the posture of the burner must be performed especially immediately after installing the burner or replacing the burner.

【0009】その理由は、以下のようなことである。The reason is as follows.

【0010】(a)バーナの姿勢は、おおまかにはバー
ナ保持具の位置から決定していたが、バーナ保持具とバ
ーナの間には、クッション材を挟む必要があるので(そ
うしないと、ガラス製のバーナは割れてしまう。)、機
械精度に問題があった。
(A) The posture of the burner was roughly determined from the position of the burner holder, but since it is necessary to sandwich a cushion material between the burner holder and the burner (otherwise, the glass is The burner made of the product will crack.), But there was a problem with the mechanical accuracy.

【0011】(b)バーナの姿勢を更に細かく決定する
場合には、反応容器の窓のレンズの外から観察した映像
から求めていたが、レンズを通した映像には歪みがある
ので、やはり十分な精度が得られなかった。
(B) When the posture of the burner is to be determined more finely, it was obtained from the image observed from outside the lens of the window of the reaction container. However, since the image through the lens has distortion, it is still sufficient. Accuracy was not obtained.

【0012】従来、バーナの姿勢を測定する方法として
は、特開昭55−116637号に示されているような
方法が提案されている。この方法は、多重管バーナの後
部にバーナ移動台を介してレーザ光源を取り付け、この
レーザ光源からのレーザ光を該多重管バーナの中心管内
を貫通させて光ファイバ母材の表面に集光させ、該レー
ザ光が該光ファイバ母材の表面に集光する位置を位置測
定器により測定する方法である。
Conventionally, as a method for measuring the attitude of the burner, a method as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 55-116637 has been proposed. In this method, a laser light source is attached to the rear part of the multi-tube burner via a burner moving table, and the laser light from this laser light source is passed through the center tube of the multi-tube burner and focused on the surface of the optical fiber preform. The position measuring device measures the position where the laser beam is focused on the surface of the optical fiber preform.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなバーナの姿勢測定方法では、次のような問題点があ
った。
However, such a burner posture measuring method has the following problems.

【0014】(イ)バーナの吹き出し方向と、レーザ光
の出射方向が実際には一致しないので、バーナ交換後に
は、やはりバーナの条件出しをする必要があった。
(A) Since the blowing direction of the burner and the emitting direction of the laser light do not actually coincide with each other, it is necessary to set the conditions of the burner after replacement of the burner.

【0015】(ロ)レーザ光が光ファイバ母材の表面に
集光する位置のみを検出しているが、実際には該光ファ
イバ母材の表面形状が火炎の変動によって変化するの
で、集光点が動いてしまい、測定がうまく行えない。
(B) Only the position where the laser light is focused on the surface of the optical fiber preform is detected. However, in reality, the surface shape of the optical fiber preform changes due to the fluctuation of the flame. The point moves and I cannot measure it well.

【0016】(ハ)実際には、光ファイバ母材の屈折率
分布を大きく左右するのは、母材軸とバーナ軸のなす角
度であるが、その角度を計測することはできなかった。
(C) Actually, it is the angle between the preform axis and the burner axis that largely affects the refractive index distribution of the optical fiber preform, but it was not possible to measure that angle.

【0017】本発明の目的は、多重管バーナの後部から
その中心管内を貫通して先端から外に出るメイン光の位
置決めを容易に行うことができる光ファイバ母材製造装
置におけるバーナの位置決め方法を提供することにあ
る。
An object of the present invention is to provide a burner positioning method in an optical fiber preform manufacturing apparatus which can easily position the main light penetrating from the rear part of the multi-tube burner into the central tube and going out from the tip. To provide.

【0018】本発明の他の目的は、多重管バーナの姿勢
と位置とを精度良く設定することができる光ファイバ母
材製造装置におけるバーナの位置決め方法を提供するこ
とにある。
Another object of the present invention is to provide a burner positioning method in an optical fiber preform manufacturing apparatus capable of accurately setting the posture and position of a multi-tube burner.

【0019】[0019]

【課題を解決するための手段】本発明は、多重管構造で
中心管内を光が貫通する構造になっていると共に先端の
火炎中でガラス微粒子を合成する多重管バーナを用い
て、前記ガラス微粒子を対象物に堆積させて多孔質の光
ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置におけ
るバーナの位置決め方法を改良の対象としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention uses a multi-tube burner which has a multi-tube structure in which light penetrates through a central tube and which synthesizes glass particles in a flame at the tip. The object of the present invention is to improve a burner positioning method in an optical fiber preform manufacturing apparatus that manufactures a porous optical fiber preform by depositing the above on an object.

【0020】本発明に係る光ファイバ母材製造装置にお
けるバーナの位置決め方法の1つは、前記多重管バーナ
の後部に配置されていて該多重管バーナ内の中心を通っ
て該多重管バーナの先端から外に出るメイン光の光源に
おける前記メイン光の出射方向の位置決めを該多重管バ
ーナの最外管を基準にして行うことを特徴とする。
One of the methods for positioning the burner in the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the present invention is that the multi-tube burner is arranged at the rear portion of the multi-tube burner and passes through the center of the multi-tube burner to the tip of the multi-tube burner. Positioning of the main light emitted from the outside in the emission direction of the main light is performed with reference to the outermost tube of the multi-tube burner.

【0021】本発明に係る光ファイバ母材製造装置にお
けるバーナの位置決め方法の他の1つは、前記多重管バ
ーナの中心を通って該多重管バーナの先端から外に出る
メイン光が、複数の補助光又は補助線条体の交点により
形成された複数の方向基準点をそれぞれ通り、且つ前記
多重管バーナの先端がバーナ先端位置決め用補助光又は
補助線条体よりなる位置基準に一致するように前記多重
管バーナの位置決めをすることを特徴とする。
In another method of positioning the burner in the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the present invention, the main light passing through the center of the multi-tube burner and exiting from the tip of the multi-tube burner is a plurality of main lights. Pass through a plurality of directional reference points formed by the intersections of the auxiliary light or the auxiliary filaments, and the tip of the multi-tube burner should match the position reference consisting of the auxiliary light for the burner tip positioning or the auxiliary filaments. The multi-tube burner is positioned.

【0022】本発明に係る光ファイバ母材製造装置にお
けるバーナの位置決め方法の更に他の1つは、前記多重
管バーナの後部に配置されていて該多重管バーナ内の中
心を通って該多重管バーナの先端から外に出るメイン光
の光源における該メイン光の光軸を該多重管バーナの軸
心に一致させる位置決めを該多重管バーナの最外管を基
準にして行い、次に前記多重管バーナの中心を通って該
多重管バーナの先端から外に出るメイン光が、複数の補
助光又は補助線条体の交点により形成された複数の方向
基準点をそれぞれ通り、且つ前記多重管バーナの先端が
バーナ先端位置決め用補助光又は補助線条体よりなる位
置基準に一致するように前記多重管バーナの位置決めを
することを特徴とする。
Yet another method of positioning the burner in the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the present invention is that the multi-tube burner is arranged at the rear of the multi-tube burner and passes through the center of the multi-tube burner. Positioning for aligning the optical axis of the main light in the light source of the main light emitted from the tip of the burner with the axis of the multi-tube burner is performed with reference to the outermost tube of the multi-tube burner. Main light emitted from the tip of the multi-tube burner through the center of the burner passes through a plurality of auxiliary lights or a plurality of direction reference points formed by the intersections of the auxiliary filaments, and the main light of the multi-tube burner. The multi-tube burner is positioned such that the tip of the multi-tube burner coincides with the position reference of the auxiliary light for locating the burner tip or the auxiliary filament.

【0023】[0023]

【作用】このように多重管バーナの後部に配置されてい
て該多重管バーナ内の中心を通って該多重管バーナの先
端から外に出るメイン光の光源における該メイン光の出
射方向の位置決めを、該多重管バーナの最外管を基準に
して行うと、該メイン光の光軸を該多重管バーナの軸心
に容易に正確に一致させることができる。
In this way, the positioning of the main light in the emitting direction of the main light source, which is arranged at the rear portion of the multi-tube burner and passes through the center of the multi-tube burner and goes out from the tip of the multi-tube burner, is performed. When the outermost tube of the multi-tube burner is used as a reference, the optical axis of the main light can be easily and accurately aligned with the axis of the multi-tube burner.

【0024】また、方向基準と位置基準とを用いて多重
管バーナの位置決めすると、該多重管バーナはその軸心
方向の向きと、その先端の位置とが位置決めされること
になる。このため多重管バーナの姿勢と位置とを精度良
く設定することができる。
When the multi-tube burner is positioned by using the direction reference and the position reference, the multi-tube burner is positioned in the axial direction and the position of the tip. Therefore, the posture and position of the multi-tube burner can be set accurately.

【0025】さらに、メイン光の光源における該メイン
光の出射方向の位置決めを、該多重管バーナの最外管を
基準にして行い、次に方向基準と位置基準とを用いて多
重管バーナを位置決めすると、該多重管バーナはその軸
心方向の向きと、その先端の位置とが一層正確に位置決
めされることになり、多重管バーナの姿勢と位置とを一
層精度良く設定することができる。
Further, the main light source is positioned in the emission direction of the main light with reference to the outermost tube of the multi-tube burner, and then the multi-tube burner is positioned using the direction reference and the position reference. Then, the direction of the multi-tube burner in the axial direction and the position of the tip of the multi-tube burner are positioned more accurately, and the posture and position of the multi-tube burner can be set with higher accuracy.

【0026】[0026]

【実施例】先ず、VAD法によるコア形成過程での光フ
ァイバ母材製造装置におけるコア用の多重管バーナの位
置決め方法の一例を図1〜図3を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, an example of a method for positioning a multi-tube burner for a core in an optical fiber preform manufacturing apparatus in the core forming process by the VAD method will be described with reference to FIGS.

【0027】図1は、本実施例で用いるコア用の多重管
バーナ1の一実施例を示したものである。該多重管バー
ナ1は、中心管としての第1の管2の外周に第2〜第4
の管3〜5が同心状に配置されて、これらにより第1〜
第4の通路2a〜5aが同心状に形成されている。これ
ら第1〜第4の管2〜5は、本実施例では各先端から50
mmの長さの部分が小径に縮径された縮径部2b〜5bと
なっている。第1〜第3の管2〜4はその長さが順次短
くなるように構成され、このためこれら第1〜第3の管
2〜4はその基端側の位置が長手方向にずれた状態で図
示のように配置されている。これら第1〜第3の管2〜
4の各基端には、鍔状の仕切り体2c〜4cが設けら
れ、これら仕切り体2c〜4cは第4の管5の内周に気
密に接続され、これにより各通路2a〜5aの相互間が
仕切られている。第1の管2の仕切り体2cの後方に
は、第4の管5内を長手方向に間隔をあけて仕切る仕切
り体6,7が設けられ、これら仕切り体6,7の間にパ
ージガス室8が形成されている。仕切り体6の中心に
は、光通過孔9が設けられている。仕切り体7の中心に
は、レンズ10が嵌め込まれている。
FIG. 1 shows an embodiment of a multi-tube burner 1 for a core used in this embodiment. The multi-tube burner 1 includes a second tube, a second tube, and a fourth tube on the outer circumference of a first tube 2 as a central tube.
The tubes 3 to 5 are arranged concentrically, and the
The fourth passages 2a to 5a are formed concentrically. In the present embodiment, these first to fourth pipes 2 to 5 are 50 from each tip.
The mm length portion is reduced diameter portions 2b to 5b reduced in diameter. The first to third pipes 2 to 4 are configured so that their lengths are sequentially shortened, so that the positions of the base end sides of these first to third pipes 2 to 4 are displaced in the longitudinal direction. Are arranged as shown in FIG. These first to third tubes 2 to
Collar-shaped partition bodies 2c to 4c are provided at each base end of 4, and these partition bodies 2c to 4c are hermetically connected to the inner circumference of the fourth pipe 5, whereby the passages 2a to 5a are mutually connected. The space is divided. Behind the partition body 2c of the first pipe 2, partition bodies 6 and 7 for partitioning the interior of the fourth pipe 5 at intervals in the longitudinal direction are provided, and the purge gas chamber 8 is provided between the partition bodies 6 and 7. Are formed. A light passage hole 9 is provided at the center of the partition body 6. A lens 10 is fitted in the center of the partition body 7.

【0028】第1の通路2aには供給通路11からSi
Cl4 やGeCl4 等のガラス原料ガスが供給され、第
2の通路3aには供給通路12からH2 等の燃焼ガスが
供給され、第3の通路4aには供給通路13からAr等
のシールガスが供給され、第4の通路5aには供給通路
14からO2 等の助燃ガスが供給されるようになってい
る。また、パージガス室8には供給通路15からAr等
のパージガスが供給されるようになっている。該パージ
ガス室8内のパージガスの存在により、後述する光学系
がガラス原料ガスに触れないようになっている。
From the supply passage 11 to the first passage 2a, Si
A glass material gas such as Cl 4 or GeCl 4 is supplied, a combustion gas such as H 2 is supplied from the supply passage 12 to the second passage 3a, and a seal such as Ar is supplied from the supply passage 13 to the third passage 4a. Gas is supplied, and auxiliary combustion gas such as O 2 is supplied from the supply passage 14 to the fourth passage 5a. A purge gas such as Ar is supplied to the purge gas chamber 8 from a supply passage 15. The presence of the purge gas in the purge gas chamber 8 prevents the optical system described later from coming into contact with the glass raw material gas.

【0029】第4の管5の基端には、光源ホルダー16
がフォーカス調整リング17を介して取り付けられてい
る。該フォーカス調整リング17は、その基端が光源ホ
ルダー16の外周に回転自在に支持され、その先端がネ
ジ結合部18で第4の管5の基端に螺合されている。
At the base end of the fourth tube 5, a light source holder 16
Are attached via a focus adjustment ring 17. The base end of the focus adjustment ring 17 is rotatably supported on the outer periphery of the light source holder 16, and the front end of the focus adjustment ring 17 is screwed to the base end of the fourth tube 5 by a screw coupling portion 18.

【0030】光源ホルダー16は、その軸心の基端側の
孔19に光源としてのレーザ20が嵌合され、該光源ホ
ルダー16に螺合された調整ネジ21によりレーザ20
の位置決めがなされ、該レーザ20が出射するレーザ光
よりなるメイン光20aが中心管である第1の管2の中
心を通って出て行くように調整がなされるようになって
いる。また、該光源ホルダー16の先端には、メイン光
20aを絞るレンズ16aが設けられている。
The light source holder 16 is fitted with a laser 20 as a light source in a hole 19 on the base end side of its axis, and the laser 20 is adjusted by an adjusting screw 21 screwed into the light source holder 16.
Is positioned, and adjustment is made so that the main light 20a made of the laser light emitted from the laser 20 goes out through the center of the first tube 2 which is the central tube. A lens 16a for narrowing down the main light 20a is provided at the tip of the light source holder 16.

【0031】ところで、VAD法では、このようなコア
用の多重管バーナ1は光ファイバ母材の軸心に対して同
一平面内にあり、且つ特定の角度(例えば、20度〜30
度)で交わっていることが必要である。
By the way, in the VAD method, the multi-tube burner 1 for such a core is in the same plane with respect to the axial center of the optical fiber preform and has a specific angle (for example, 20 degrees to 30 degrees).
It is necessary to meet each other.

【0032】このようにコア用の多重管バーナ1を光フ
ァイバ母材製造装置の反応容器に設定するに際し、先
ず、図2(A)(B)により、該コア用の多重管バーナ
1の中心軸と、レーザ20の光軸とを合わせる作業につ
いて説明する。
In setting the multi-tube burner 1 for the core in the reaction vessel of the optical fiber preform manufacturing apparatus as described above, first, referring to FIGS. 2A and 2B, the center of the multi-tube burner 1 for the core is set. The operation of aligning the axis with the optical axis of the laser 20 will be described.

【0033】前述したようにレーザ光よりなるメイン光
20aを出すレーザ20を後部に支持したコア用の多重
管バーナ1をVブロック22の上に水平向きに載置した
状態で、該多重管バーナ1を通過したメイン光20aを
スクリーン23に当てる。かかる状態で、Vブロック2
2上で該多重管バーナ1をその軸心の回りに回転して
も、スクリーン23上でメイン光20aが当たる点の位
置が動かなくなるように、調整ネジ21でレーザ20の
姿勢を調整する。
As described above, the multi-tube burner 1 for the core, which supports the laser 20 for emitting the main light 20a of the laser light at the rear portion, is placed horizontally on the V block 22 in the multi-tube burner. The main light 20a passing through 1 is applied to the screen 23. In this state, V block 2
The position of the laser 20 is adjusted by the adjusting screw 21 so that the position of the point on the screen 23 where the main light 20a strikes does not move even if the multi-tube burner 1 is rotated around its axis on the screen 2.

【0034】次に、このようにレーザ20の姿勢を調整
したコア用の多重管バーナ1を、図3に示すように反応
容器24内で多孔質のコア用光ファイバ母材25を製造
する光ファイバ母材製造装置にセットして、該多重管バ
ーナ1の姿勢と位置とを精度よく設定する作業について
説明する。
Next, the core multi-tube burner 1 in which the attitude of the laser 20 is adjusted as described above is used to produce a porous core optical fiber preform 25 in the reaction vessel 24 as shown in FIG. An operation for setting the posture and position of the multi-tube burner 1 with accuracy by setting the fiber preform manufacturing apparatus will be described.

【0035】この光ファイバ母材製造装置においては、
反応容器24の上部の開口部26の中央に上部から主軸
27が回転自在及び昇降自在に挿入され、その下端のチ
ャック28に種棒29が支持されるようになっている。
反応容器24の周壁の下方部分には前述したコア用の多
重管バーナ1が斜め上向きに挿入され、種棒29の下端
若しくは該種棒29の下端に堆積して形成された光ファ
イバ母材25の下部に指向されるようになっている。該
多重管バーナ1はバーナホルダ30に支持されている。
反応容器24の周壁の他の部分には、排気口31が設け
られている。
In this optical fiber preform manufacturing apparatus,
A main shaft 27 is rotatably and vertically movable inserted from the upper part into the center of an opening 26 in the upper part of the reaction container 24, and a seed rod 29 is supported by a chuck 28 at the lower end thereof.
The above-described multi-tube burner 1 for a core is inserted obliquely upward in the lower portion of the peripheral wall of the reaction vessel 24, and is formed at the lower end of the seed rod 29 or the optical fiber preform 25 formed by being deposited on the lower end of the seed rod 29. It is designed to be directed toward the bottom of. The multi-tube burner 1 is supported by a burner holder 30.
An exhaust port 31 is provided in another portion of the peripheral wall of the reaction container 24.

【0036】反応容器24には、多重管バーナ1の中心
軸が光ファイバ母材25の中心軸と交わる高さを示す水
平向きのシート光よりなる補助光32を出す位置決め用
光源33と、多重管バーナ1の先端の高さを示す水平向
きのシート光よりなる補助光34を出す位置決め用光源
35とが、該反応容器24に支持されて設けられてい
る。なお、シート光は、ビーム光を例えば蒲鉾形のシリ
ンドリカルレンズ等に通すことにより形成することがで
きる。
In the reaction container 24, a positioning light source 33 which emits auxiliary light 32 consisting of horizontally oriented sheet light showing the height at which the central axis of the multi-tube burner 1 intersects with the central axis of the optical fiber preform 25, is multiplexed. A positioning light source 35 that emits auxiliary light 34 composed of horizontally oriented sheet light indicating the height of the tip of the tube burner 1 is provided supported by the reaction container 24. The sheet light can be formed by passing the light beam through, for example, a semi-cylindrical cylindrical lens.

【0037】また該反応容器24には、光ファイバ母材
25の軸心を示すビーム光よりなる補助光36を出す位
置決め用光源37が、種棒29を把持する前のチャック
28に把持されて設けられている。更に該反応容器24
には、多重管バーナ1の先端があるべき位置の真下から
真上に向けてビーム光よりなるバーナ先端位置決め用補
助光38を出す位置決め用光源39が設けられている。
Further, in the reaction container 24, a positioning light source 37 which emits auxiliary light 36 consisting of a beam of light showing the axis of the optical fiber preform 25 is held by the chuck 28 before holding the seed rod 29. It is provided. Further, the reaction container 24
Is provided with a positioning light source 39 that emits auxiliary light 38 for positioning the burner tip, which is a beam of light, from directly below to above the position where the tip of the multi-tube burner 1 should be located.

【0038】先ず、かかるメイン光20aと、補助光3
2,34,36,38とを用いて、コア用の多重管バー
ナ1の姿勢を設定する作業について説明する。
First, the main light 20a and the auxiliary light 3
2, 34, 36, 38 will be used to describe the work of setting the posture of the multi-tube burner 1 for the core.

【0039】この光ファイバ母材製造装置においては、
シート光よりなる補助光32とビーム光よりなる補助光
36との交点よりなる方向基準点40と、シート光より
なる補助光34とビーム光よりなる補助光38との交点
よりなる方向基準点41とを共にメイン光20aが通る
ように(これで多重管バーナ1の方向が定まる。)多重
管バーナ1の姿勢を調整する。また、多重管バーナ1の
先端がバーナ先端位置決め用補助光38よりなる位置基
準に一致するように(これで多重管バーナ1の先端と光
ファイバ母材25の下面中央との間隔が定まる。)該多
重管バーナ1の先端の位置決めをする。この場合、方向
基準点40と方向基準点41との距離は、光ファイバ母
材25の下面の中心と多重管バーナ1の先端との最適間
隔に設定されている。このような条件が満たされるよう
に補助光36と補助光38との間隔を予め設定してお
く。
In this optical fiber preform manufacturing apparatus,
A direction reference point 40 formed by the intersection of the auxiliary light 32 made of the sheet light and an auxiliary light 36 made of the beam light, and a direction reference point 41 made of the intersection of the auxiliary light 34 made of the sheet light and the auxiliary light 38 made of the beam light. And the attitude of the multi-tube burner 1 is adjusted so that the main light 20a passes through (and the direction of the multi-tube burner 1 is determined). Further, the tip of the multi-tube burner 1 is aligned with the position reference formed by the auxiliary light 38 for positioning the burner tip (this determines the distance between the tip of the multi-tube burner 1 and the center of the lower surface of the optical fiber preform 25). The tip of the multi-tube burner 1 is positioned. In this case, the distance between the direction reference point 40 and the direction reference point 41 is set to the optimum distance between the center of the lower surface of the optical fiber preform 25 and the tip of the multi-tube burner 1. The interval between the auxiliary light 36 and the auxiliary light 38 is set in advance so that such a condition is satisfied.

【0040】このようにすると、コア用の多重管バーナ
1の姿勢と位置とを精度良く設定することができる。
In this way, the posture and position of the core multi-tube burner 1 can be set with high accuracy.

【0041】なお、光の位置の確認は、例えば図9に示
すような名刺位な大きさの紙片50を用いて、この紙片
50を光の交点の近くに手で移動させて、動かすことに
より交点の位置を知ることができる。
The position of the light can be confirmed by, for example, using a piece of paper 50 of a business card size as shown in FIG. 9, and moving the piece of paper 50 near the intersection of light by hand and moving it. You can know the position of the intersection.

【0042】このように設定を行ったコア用の多重管バ
ーナ1を用いて光ファイバ母材25の製造を行ったとこ
ろ、図6に示すように、該多重管バーナ1を交換した直
後から、屈折率分布が安定した光ファイバ母材25の製
造を行うことができた。即ち、従来法で位置決めした多
重管バーナ1を用いて光ファイバ母材25の製造を行っ
たときの多重管バーナ交換直後の屈折率分布不良率は72
%であったが、本発明の方法で位置決めした多重管バー
ナ1を用いて光ファイバ母材25の製造を行ったときの
多重管バーナ交換直後の屈折率分布不良率は5 %であっ
た。
When the optical fiber preform 25 was manufactured using the multi-tube burner 1 for the core thus set, as shown in FIG. 6, immediately after the multi-tube burner 1 was replaced, The optical fiber preform 25 having a stable refractive index distribution could be manufactured. That is, when the optical fiber preform 25 is manufactured using the multi-tube burner 1 positioned by the conventional method, the refractive index distribution defect rate immediately after the multi-tube burner replacement is 72.
%, However, when the optical fiber preform 25 was manufactured using the multi-tube burner 1 positioned by the method of the present invention, the refractive index distribution defect rate immediately after the multi-tube burner exchange was 5%.

【0043】次に、前述したようにレーザ20の姿勢を
調整したクラッド用の多重管バーナ1を、図4に示すよ
うに反応容器24内で多孔質のクラッド用光ファイバ母
材(図示せず)を製造する光ファイバ母材製造装置にセ
ットして、該多重管バーナ1の姿勢と位置とを精度よく
設定する作業について説明する。
Next, the clad multi-tube burner 1 in which the attitude of the laser 20 is adjusted as described above, is provided in the reaction vessel 24 as shown in FIG. ) Is set in an optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing the above (1) to accurately set the posture and position of the multi-tube burner 1.

【0044】この光ファイバ母材製造装置においては、
クラッド用の多重管バーナ1は反応容器24の上下方向
のほぼ中央に水平向きで配置されている。
In this optical fiber preform manufacturing apparatus,
The multi-tube burner 1 for clad is arranged horizontally at substantially the center of the reaction vessel 24 in the vertical direction.

【0045】反応容器24には、多重管バーナ1の高さ
を示す水平向きのシート光よりなる補助光42を出す位
置決め用光源43が設けられている。また該反応容器2
4には、光ファイバ母材25の軸心を示すビーム光より
なる補助光36を出す位置決め用光源37が、種棒29
を把持する前のチャック28に把持されて設けられてい
る。さらに、該反応容器24には、多重管バーナ1の先
端があるべき位置の真下から真上に向けてビーム光より
なるバーナ先端位置決め用補助光44を出す位置決め用
光源45が設けられている。ここで光ファイバ母材25
の軸心を示すビーム光よりなる補助光36を出す位置決
め用光源37を、主軸27の下端のチャック28に取り
付けると、主軸27を回転させながら心出しができるの
で好適である。
The reaction container 24 is provided with a positioning light source 43 which emits auxiliary light 42 consisting of horizontally oriented sheet light indicating the height of the multi-tube burner 1. Also, the reaction container 2
In FIG. 4, a positioning light source 37 that emits auxiliary light 36 composed of a light beam indicating the axis of the optical fiber preform 25 is provided as a seed rod 29.
Is held by the chuck 28 before gripping. Further, the reaction container 24 is provided with a positioning light source 45 which emits auxiliary light 44 for positioning the burner tip, which is a beam of light, from directly below to above the position where the tip of the multi-tube burner 1 should be located. Here, the optical fiber preform 25
It is preferable to attach the positioning light source 37 that emits the auxiliary light 36 including the beam light indicating the axis of the above to the chuck 28 at the lower end of the main shaft 27 because the center can be performed while rotating the main shaft 27.

【0046】次に、かかるメイン光20aと、補助光3
6,42,44とを用いて、クラッド用の多重管バーナ
1の姿勢を設定する作業について説明する。
Next, the main light 20a and the auxiliary light 3
The operation of setting the posture of the multi-tube burner 1 for cladding will be described with reference to Nos. 6, 42 and 44.

【0047】この光ファイバ母材製造装置においては、
シート光よりなる補助光42とビーム光よりなる補助光
36との交点よりなる方向基準点40と、シート光より
なる補助光42とビーム光よりなる補助光44との交点
よりなる方向基準点41とを共にメイン光20aが通る
ように(これで多重管バーナ1の方向が定まる。)多重
管バーナ1の姿勢を調整する。また、多重管バーナ1の
先端がバーナ先端位置決め用補助光44よりなる位置基
準に一致するように(これで多重管バーナ1の先端と光
ファイバ母材の軸心との間隔が定まる。)該多重管バー
ナ1の先端の位置決めをする。この場合、方向基準点4
0と方向基準点41との距離は、光ファイバ母材25の
軸心と多重管バーナ1の先端との最適間隔に設定されて
いる。このような条件が満たされるように補助光36と
補助光44との間隔を予め設定しておく。
In this optical fiber preform manufacturing apparatus,
A direction reference point 40 formed by an intersection of the auxiliary light 42 made of sheet light and the auxiliary light 36 made of beam light, and a direction reference point 41 made of an intersection of the auxiliary light 42 made of sheet light and the auxiliary light 44 made of beam light. And the attitude of the multi-tube burner 1 is adjusted so that the main light 20a passes through (and the direction of the multi-tube burner 1 is determined). Further, the tip of the multi-tube burner 1 is aligned with the position reference of the auxiliary light 44 for positioning the burner tip (this determines the distance between the tip of the multi-tube burner 1 and the axis of the optical fiber preform). The tip of the multi-tube burner 1 is positioned. In this case, the direction reference point 4
The distance between 0 and the direction reference point 41 is set to the optimum distance between the axial center of the optical fiber preform 25 and the tip of the multi-tube burner 1. The interval between the auxiliary light 36 and the auxiliary light 44 is set in advance so that such a condition is satisfied.

【0048】このようにすると、クラッド用の多重管バ
ーナ1の姿勢と位置とを精度良く設定することができ
る。
In this way, the posture and position of the cladding multi-tube burner 1 can be set with high accuracy.

【0049】このように設定を行ったクラッド用の多重
管バーナ1を用いて光ファイバ母材の製造を行ったとこ
ろ、図7に示すように、該多重管バーナ1を交換した直
後から、コア/クラッド比率が安定した光ファイバ母材
の製造を行うことができた。即ち、従来法で位置決めし
た多重管バーナ1を用いて光ファイバ母材の製造を行っ
たときの多重管バーナ交換直後のコア/クラッド比率不
良率は63%であったが、本発明の方法で位置決めした多
重管バーナ1を用いて光ファイバ母材25の製造を行っ
たときの多重管バーナ交換直後のコア/クラッド比率不
良率は7 %であった。
When the optical fiber preform was manufactured using the multi-tube burner 1 for clad thus set, as shown in FIG. 7, the core was immediately after the multi-tube burner 1 was replaced. It was possible to manufacture an optical fiber preform with a stable / cladding ratio. That is, when the optical fiber preform was manufactured using the multi-tube burner 1 positioned by the conventional method, the defective ratio of core / cladding ratio immediately after the multi-tube burner replacement was 63%. When the optical fiber preform 25 was manufactured using the positioned multi-tube burner 1, the defective ratio of core / cladding ratio immediately after the multi-tube burner exchange was 7%.

【0050】次に、出発母材を水平向きに置いてその軸
心の回りに回転させ、その外周にクラッド用光ファイバ
母材を合成するOVD法による光ファイバ母材製造装置
における多重管バーナ1の位置決め方法の一例を図5を
参照して説明する。
Next, the multi-tube burner 1 in the optical fiber preform manufacturing apparatus by the OVD method, in which the starting preform is placed horizontally and rotated around its axis, and the optical fiber preform for cladding is synthesized on its outer periphery, is used. An example of the positioning method will be described with reference to FIG.

【0051】出発母材46の両端は、チャック28を介
して主軸27に支持されている。この出発母材46の軸
心に対して直交する向きで該出発母材46の途中に対向
配置されている。
Both ends of the starting base material 46 are supported by the main shaft 27 via chucks 28. The starting base material 46 is disposed in the middle of the starting base material 46 in a direction orthogonal to the axis of the starting base material 46.

【0052】この場合には、図4の場合と同様の方法
で、多重管バーナ1の姿勢と位置とを精度良く設定する
ことができる。
In this case, the attitude and position of the multi-tube burner 1 can be set with high accuracy by the same method as in the case of FIG.

【0053】このように設定を行った多重管バーナ1を
用いてクラッド用光ファイバ母材47の製造を行ったと
ころ、図8に示すように、該多重管バーナ1を交換した
直後から、堆積速度を安定させることができた。即ち、
従来法で位置決めした多重管バーナ1を用いて光ファイ
バ母材の製造を行ったときの多重管バーナ交換直後の堆
積速度不良率は51%であったが、本発明の方法で位置決
めした多重管バーナ1を用いてクラッド用光ファイバ母
材47の製造を行ったときの多重管バーナ交換直後の堆
積速度不良率は4 %であった。
When the optical fiber preform 47 for cladding was manufactured using the multi-tube burner 1 set in this way, as shown in FIG. 8, deposition immediately after the multi-tube burner 1 was replaced. I was able to stabilize the speed. That is,
When the optical fiber preform was manufactured using the multi-tube burner 1 positioned by the conventional method, the deposition rate failure rate immediately after the multi-tube burner replacement was 51%, but the multi-tube positioned by the method of the present invention was When the cladding optical fiber preform 47 was manufactured using the burner 1, the deposition rate defect rate immediately after the replacement of the multi-tube burner was 4%.

【0054】なお、本発明で使用する光は、レーザ光で
あることが望ましいが、適当な光学系を用いれば、それ
以外の光でもよい。
The light used in the present invention is preferably laser light, but other light may be used if an appropriate optical system is used.

【0055】レーザ20については、該レーザ20を図
5に示すように別の所に置き、光ファイバ48で光源ホ
ルダー16に導入することもできる。
Regarding the laser 20, it is also possible to place the laser 20 in another place as shown in FIG. 5 and introduce it into the light source holder 16 by the optical fiber 48.

【0056】また、それぞれの光を識別するために、波
長の違うレーザを使ったり、点滅する光を使ったりする
と便利である。
In order to identify each light, it is convenient to use lasers having different wavelengths or use blinking light.

【0057】以上の例では、方向基準と位置基準を総て
光で形成したが、光の代わりに糸やピアノ線等の細い線
条体を用いることもできる。
In the above example, the direction reference and the position reference are all formed by light, but a thin linear member such as a thread or a piano wire may be used instead of light.

【0058】以上説明した複数の発明のうちのいくつか
の発明を要約して説明すると、次の通りである。
Some of the inventions described above will be summarized and described as follows.

【0059】(1) 多重管構造で中心管内を光が貫通
する構造になっていると共に先端の火炎中でガラス微粒
子を合成するコア用の多重管バーナを用いて、VAD法
により前記ガラス微粒子を対象物に堆積させてコア用の
多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製造
装置におけるバーナの位置決め方法において、前記多重
管バーナの中心を通って該多重管バーナの先端から外に
出るメイン光が、前記多重管バーナの中心軸が前記光フ
ァイバ母材の中心軸と交わる高さを示す水平向きのシー
ト光よりなる補助光と前記光ファイバ母材の軸心を示す
ビーム光よりなる補助光との交点よりなる方向基準点
と、前記多重管バーナの先端の高さを示す水平向きのシ
ート光よりなる補助光と前記多重管バーナの先端がある
べき位置の上下方向に向けて出されているビーム光より
なるバーナ先端位置決め用補助光との交点よりなる方向
基準点をそれぞれ通り、且つ前記多重管バーナの先端が
前記バーナ先端位置決め用補助光よりなる位置基準に一
致するように前記多重管バーナの位置決めをすることを
特徴とする光ファイバ母材製造装置におけるバーナの位
置決め方法。
(1) Using a multi-tube burner for the core, which has a multi-tube structure in which light penetrates through the central tube and synthesizes glass particles in a flame at the tip, the glass particles are removed by the VAD method. In a method of positioning a burner in an optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing a porous optical fiber preform for a core by depositing on a target object, in a method of passing through the center of the multi-tube burner to outside from the tip of the multi-tube burner. The main light emitted is from auxiliary light composed of horizontally oriented sheet light indicating the height at which the central axis of the multi-tube burner intersects with the central axis of the optical fiber preform and beam light indicating the axial center of the optical fiber preform. Direction reference point consisting of the intersection of the auxiliary light and the auxiliary light consisting of horizontal sheet light showing the height of the tip of the multi-tube burner and the vertical direction of the position where the tip of the multi-tube burner should be. Each of the multi-tube burners has a tip that matches a position reference formed by the burner tip positioning auxiliary light, which passes through a direction reference point formed by an intersection with the burner tip positioning auxiliary light formed by the directed beam light. A method for positioning a burner in an optical fiber preform manufacturing apparatus, characterized in that the multi-tube burner is positioned as described above.

【0060】(2) 多重管構造で中心管内を光が貫通
する構造になっていると共に先端の火炎中でガラス微粒
子を合成するクラッド用の多重管バーナを用いて、VA
D法により前記ガラス微粒子を対象物に堆積させてクラ
ッド用の多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ
母材製造装置におけるバーナの位置決め方法において、
前記多重管バーナの中心を通って該多重管バーナの先端
から外に出るメイン光が、前記多重管バーナの高さを示
す水平向きのシート光よりなる補助光と前記光ファイバ
母材の軸心を示すビーム光よりなる補助光との交点より
なる方向基準点と、前記多重管バーナの高さを示す水平
向きのシート光よりなる補助光と前記多重管バーナの先
端があるべき位置の上下方向に向けて出されているビー
ム光よりなるバーナ先端位置決め用補助光との交点より
なる方向基準点をそれぞれ通り、且つ前記多重管バーナ
の先端が前記バーナ先端位置決め用補助光よりなる位置
基準に一致するように前記多重管バーナの位置決めをす
ることを特徴とする光ファイバ母材製造装置におけるバ
ーナの位置決め方法。
(2) Using a multi-tube burner for cladding, which has a multi-tube structure in which light penetrates through the central tube and synthesizes glass particles in a flame at the tip, VA
A method of positioning a burner in an optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing the porous optical fiber preform for cladding by depositing the glass fine particles on an object by the D method,
Main light emitted from the tip of the multi-tube burner through the center of the multi-tube burner is auxiliary light composed of horizontally oriented sheet light indicating the height of the multi-tube burner and the axis of the optical fiber preform. A direction reference point consisting of an intersection with an auxiliary light consisting of a beam of light, an auxiliary light consisting of a horizontally oriented sheet light indicating the height of the multi-tube burner, and the vertical direction of the position where the tip of the multi-tube burner should be. Through a direction reference point consisting of an intersection with a burner tip positioning auxiliary light consisting of a beam of light emitted toward the light source, and the tip of the multi-tube burner coincides with a position reference consisting of the burner tip positioning auxiliary light. The burner positioning method in the optical fiber preform manufacturing apparatus is characterized in that the multi-tube burner is positioned as described above.

【0061】(3) 多重管構造で中心管内を光が貫通
する構造になっていると共に先端の火炎中でガラス微粒
子を合成するクラッド用の多重管バーナを用いて、OV
D法により前記ガラス微粒子を対象物に堆積させてクラ
ッド用の多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ
母材製造装置におけるバーナの位置決め方法において、
前記多重管バーナの中心を通って該多重管バーナの先端
から外に出るメイン光が、前記多重管バーナの高さを示
す水平向きのシート光よりなる補助光と前記光ファイバ
母材の軸心を示すビーム光よりなる補助光との交点より
なる方向基準点と、前記多重管バーナの高さを示す水平
向きのシート光よりなる補助光と前記多重管バーナの先
端があるべき位置の上下方向に向けて出されているビー
ム光よりなるバーナ先端位置決め用補助光との交点より
なる方向基準点をそれぞれ通り、且つ前記多重管バーナ
の先端が前記バーナ先端位置決め用補助光よりなる位置
基準に一致するように前記多重管バーナの位置決めをす
ることを特徴とする光ファイバ母材製造装置におけるバ
ーナの位置決め方法。
(3) A multi-tube burner having a multi-tube structure in which light penetrates through the central tube and a multi-tube burner for clad which synthesizes glass particles in a flame at the tip is used for OV.
A method of positioning a burner in an optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing a porous optical fiber preform for cladding by depositing the glass fine particles on an object by the D method,
Main light emitted from the tip of the multi-tube burner through the center of the multi-tube burner is auxiliary light composed of horizontally oriented sheet light indicating the height of the multi-tube burner and the axis of the optical fiber preform. A direction reference point consisting of an intersection with an auxiliary light consisting of a beam of light, an auxiliary light consisting of a horizontally oriented sheet light indicating the height of the multi-tube burner, and the vertical direction of the position where the tip of the multi-tube burner should be. Through a direction reference point consisting of an intersection with a burner tip positioning auxiliary light consisting of a beam of light emitted toward the light source, and the tip of the multi-tube burner coincides with a position reference consisting of the burner tip positioning auxiliary light. The burner positioning method in the optical fiber preform manufacturing apparatus is characterized in that the multi-tube burner is positioned as described above.

【0062】[0062]

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る光ファ
イバ母材製造装置におけるバーナの位置決め方法によれ
ば、次のような優れた効果を達成することができる。
As described above, according to the burner positioning method in the optical fiber preform manufacturing apparatus of the present invention, the following excellent effects can be achieved.

【0063】本発明では、多重管バーナの後部に配置さ
れていて該多重管バーナ内の中心を通って該多重管バー
ナの先端から外に出るメイン光の光源における該メイン
光の出射方向の位置決めを、該多重管バーナの最外管を
基準にして行うので、該メイン光の光軸を該多重管バー
ナの軸心に容易に正確に一致させることができる。
In the present invention, the positioning of the main light in the emitting direction of the main light is arranged at the rear of the multi-tube burner, passes through the center of the multi-tube burner and goes out from the tip of the multi-tube burner. Is performed with reference to the outermost tube of the multi-tube burner, the optical axis of the main light can be easily and accurately aligned with the axis of the multi-tube burner.

【0064】また、本発明では、方向基準と位置基準と
を用いて多重管バーナを位置決めするので、該多重管バ
ーナはその軸心方向の向きと、その先端の位置とが位置
決めされることになり、このため該多重管バーナの姿勢
と位置とを精度良く設定することができる。
Further, in the present invention, since the multi-tube burner is positioned by using the direction reference and the position reference, the multi-tube burner is positioned in the axial direction and the tip position. Therefore, the posture and position of the multi-tube burner can be set accurately.

【0065】さらに、本発明では、メイン光の光源にお
ける該メイン光の出射方向の位置決めを、該多重管バー
ナの最外管を基準にして行い、次に方向基準と位置基準
とを用いて多重管バーナの位置決めをするので、該多重
管バーナはその軸心方向の向きと、その先端の位置とが
一層正確に位置決めされることになり、該多重管バーナ
の姿勢と位置とを一層精度良く設定することができる。
Further, in the present invention, the main light source is positioned in the emission direction of the main light with reference to the outermost tube of the multi-tube burner, and then multiplexed using the direction reference and the position reference. Since the tube burner is positioned, the multiple tube burner can be positioned more accurately in the axial direction and the position of the tip, and the posture and position of the multiple tube burner can be more accurately determined. Can be set.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る光ファイバ母材製造装置における
バーナの位置決め方法で用いる多重管バーナの一例を示
す縦断面図である。
FIG. 1 is a vertical cross-sectional view showing an example of a multi-tube burner used in a burner positioning method in an optical fiber preform manufacturing apparatus according to the present invention.

【図2】(A)は図1に示した多重管バーナの軸心とメ
イン光の光軸を合わせる方法を示す該多重管バーナの側
面図、(B)は(A)のX−X線断面図である。
2A is a side view of the multi-tube burner showing a method of aligning the optical axis of main light with the axis of the multi-tube burner shown in FIG. 1, and FIG. 2B is a XX line of FIG. FIG.

【図3】VAD法によるコア形成過程での光ファイバ母
材製造装置におけるコア用の多重管バーナの位置決め方
法の一例を説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing an example of a method of positioning a multi-tube burner for a core in an optical fiber preform manufacturing apparatus in the core forming process by the VAD method.

【図4】VAD法によるクラッド形成過程での光ファイ
バ母材製造装置におけるクラッド用の多重管バーナの位
置決め方法の一例を説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing an example of a method of positioning a multi-tube burner for a clad in an optical fiber preform manufacturing apparatus in the clad formation process by the VAD method.

【図5】OVD法によるクラッド形成過程での光ファイ
バ母材製造装置におけるクラッド用の多重管バーナの位
置決め方法の一例を説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing an example of a method of positioning a multi-tube burner for a clad in an optical fiber preform manufacturing apparatus in a clad forming process by the OVD method.

【図6】図3に示す方法で位置決めされた多重管バーナ
を用いて形成した光ファイバ母材と従来法で位置決めさ
れた多重管バーナを用いて形成した光ファイバ母材との
バーナ交換直後の屈折率分布不良率の比較図である。
FIG. 6 is a view immediately after the burner exchange between the optical fiber preform formed by using the multi-tube burner positioned by the method shown in FIG. 3 and the optical fiber preform formed by using the multi-tube burner positioned by the conventional method. It is a comparison diagram of the refractive index distribution defective rate.

【図7】図4に示す方法で位置決めされた多重管バーナ
を用いて形成した光ファイバ母材と従来法で位置決めさ
れた多重管バーナを用いて形成した光ファイバ母材との
バーナ交換直後のコア・クラッド比率不良率の比較図で
ある。
FIG. 7 is a view immediately after the burner exchange between the optical fiber preform formed by using the multi-tube burner positioned by the method shown in FIG. 4 and the optical fiber preform formed by using the multi-tube burner positioned by the conventional method. It is a comparison diagram of the core / clad ratio defective rate.

【図8】図5に示す方法で位置決めされた多重管バーナ
を用いて形成した光ファイバ母材と従来法で位置決めさ
れた多重管バーナを用いて形成した光ファイバ母材との
バーナ交換直後の堆積速度不良率の比較図である。
FIG. 8 is a view immediately after the burner exchange between the optical fiber preform formed by using the multi-tube burner positioned by the method shown in FIG. 5 and the optical fiber preform formed by using the multi-tube burner positioned by the conventional method. It is a comparison figure of a deposition rate defect rate.

【図9】本発明で光の交点の位置を知る方法の一例を示
す説明図である。
FIG. 9 is an explanatory diagram showing an example of a method of finding the position of a light intersection in the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 多重管バーナ 2 第1の管 3 第2の管 4 第3の管 5 第4の管 2a〜5a 第1〜第4の通路 2b〜5b 縮径部 2c〜4c 仕切り体 6,7 仕切り体 8 パージガス室 9 光通過孔 10 レンズ 11〜15 供給通路 16 光源ホルダー 17 フォーカス調整リング 18 ネジ結合部 19 孔 20 レーザ 20a メイン光 21 調整ネジ 22 Vブロック 23 スクリーン 24 反応容器 25 コア用光ファイバ母材 26 開口部 27 主軸 28 チャック 29 種棒 30 バーナホルダ 31 排気口 32,34,36 補助光 33,35,37 位置決め用光源 38 バーナ先端位置決め用補助光 39 位置決め用光源 40,41 方向基準点 42 補助光 43 位置決め用光源 44 バーナ先端位置決め用補助光 45 位置決め用光源 46 出発母材 47 クラッド用光ファイバ母材 48 光ファイバ 50 紙片 1 Multi-tube burner 2 1st tube 3 2nd tube 4 3rd tube 5 4th tube 2a-5a 1st-4th passages 2b-5b Reduced diameter part 2c-4c Partition body 6,7 Partition body 8 Purge Gas Chamber 9 Light Passing Hole 10 Lens 11-15 Supply Passage 16 Light Source Holder 17 Focus Adjusting Ring 18 Screw Joint 19 Hole 20 Laser 20a Main Light 21 Adjusting Screw 22 V Block 23 Screen 24 Reaction Container 25 Optical Fiber Preform for Core 26 Aperture 27 Spindle 28 Chuck 29 Type Rod 30 Burner Holder 31 Exhaust Port 32,34,36 Auxiliary Light 33,35,37 Positioning Light Source 38 Burner Tip Positioning Auxiliary Light 39 Positioning Light Source 40,41 Directional Reference Point 42 Auxiliary Light 43 Positioning Light Source 44 Burner Tip Positioning Auxiliary Light 45 Positioning Light Source 46 Starting Base Material 7 clad optical fiber preform 48 optical fiber 50 paper

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 多重管構造で中心管内を光が貫通する構
造になっていると共に先端の火炎中でガラス微粒子を合
成する多重管バーナを用いて、前記ガラス微粒子を対象
物に堆積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光フ
ァイバ母材製造装置におけるバーナの位置決め方法にお
いて、 前記多重管バーナの後部に配置されていて該多重管バー
ナ内の中心を通って該多重管バーナの先端から外に出る
メイン光の光源における前記メイン光の出射方向の位置
決めを該多重管バーナの最外管を基準にして行うことを
特徴とする光ファイバ母材製造装置におけるバーナの位
置決め方法。
1. A multi-tube structure having a multi-tube structure in which light penetrates through a central tube and a multi-tube burner for synthesizing glass particles in a flame at the tip is used to deposit the glass particles on an object to be porous. A method of positioning a burner in an optical fiber preform manufacturing apparatus for producing a high-quality optical fiber preform, wherein the multi-tube burner is disposed at a rear portion of the multi-tube burner and passes through a center of the multi-tube burner from a tip of the multi-tube burner. A burner positioning method in an optical fiber preform manufacturing apparatus, characterized in that the light source of the main light emitted to the outside is positioned in the emitting direction of the main light with reference to the outermost tube of the multi-tube burner.
【請求項2】 多重管構造で中心管内を光が貫通する構
造になっていると共に先端の火炎中でガラス微粒子を合
成する多重管バーナを用いて、前記ガラス微粒子を対象
物に堆積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光フ
ァイバ母材製造装置におけるバーナの位置決め方法にお
いて、 前記多重管バーナの中心を通って該多重管バーナの先端
から外に出るメイン光が、複数の補助光又は補助線条体
の交点により形成された複数の方向基準点をそれぞれ通
り、且つ前記多重管バーナの先端がバーナ先端位置決め
用補助光又は補助線条体よりなる位置基準に一致するよ
うに前記多重管バーナの位置決めをすることを特徴とす
る光ファイバ母材製造装置におけるバーナの位置決め方
法。
2. Using a multi-tube burner having a multi-tube structure in which light penetrates through a central tube and synthesizing glass particles in a flame at the tip, the glass particles are deposited on an object to be porous. In the method of positioning a burner in an optical fiber base material manufacturing apparatus for manufacturing a high-quality optical fiber base material, main light exiting from the tip of the multi-tube burner through the center of the multi-tube burner is a plurality of auxiliary lights or The multiple tubes pass through a plurality of directional reference points formed by the intersections of the auxiliary filaments, and the tip of the multi-tube burner coincides with the position reference consisting of auxiliary light for positioning the burner tip or auxiliary filaments. A method for positioning a burner in an optical fiber preform manufacturing apparatus, characterized by positioning the burner.
【請求項3】 多重管構造で中心管内を光が貫通する構
造になっていると共に先端の火炎中でガラス微粒子を合
成する多重管バーナを用いて、前記ガラス微粒子を対象
物に堆積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光フ
ァイバ母材製造装置におけるバーナの位置決め方法にお
いて、 前記多重管バーナの後部に配置されていて該多重管バー
ナ内の中心を通って該多重管バーナの先端から外に出る
メイン光の光源における該メイン光の光軸を該多重管バ
ーナの軸心に一致させる位置決めを該多重管バーナの最
外管を基準にして行い、 次に前記多重管バーナの中心を通って該多重管バーナの
先端から外に出るメイン光が、複数の補助光又は補助線
条体の交点により形成された複数の方向基準点をそれぞ
れ通り、且つ前記多重管バーナの先端がバーナ先端位置
決め用補助光又は補助線条体よりなる位置基準に一致す
るように前記多重管バーナの位置決めをすることを特徴
とする光ファイバ母材製造装置におけるバーナの位置決
め方法。
3. A multi-tube structure, in which light penetrates through a central tube, and a multi-tube burner for synthesizing glass particles in a flame at the tip is used to deposit the glass particles on an object and to make them porous. A method of positioning a burner in an optical fiber preform manufacturing apparatus for producing a high-quality optical fiber preform, wherein the multi-tube burner is disposed at a rear portion of the multi-tube burner and passes through a center of the multi-tube burner from a tip of the multi-tube burner. Positioning is performed so that the optical axis of the main light in the light source of the main light emitted to the outside coincides with the axis of the multi-tube burner, with reference to the outermost tube of the multi-tube burner, and then the center of the multi-tube burner is set. The main light passing through the tip of the multi-tube burner passes through a plurality of directional reference points formed by intersections of a plurality of auxiliary lights or auxiliary filaments, and the tip of the multi-tube burner is Burner positioning method in an optical fiber preform manufacturing apparatus characterized by the positioning of the multi-tube burner to match the burner tip positioning auxiliary light or position reference consisting auxiliary striatum.
JP21453294A 1994-09-08 1994-09-08 Method for positioning burner of apparatus for producing optical fiber preform Pending JPH0873235A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003531086A (en) * 2000-04-14 2003-10-21 ヘレウス・テネボ・アクチェンゲゼルシャフト Method and apparatus for producing quartz glass bodies

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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