JPH0868958A - Rotary polygon mirror type light deflector - Google Patents

Rotary polygon mirror type light deflector

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Publication number
JPH0868958A
JPH0868958A JP20387194A JP20387194A JPH0868958A JP H0868958 A JPH0868958 A JP H0868958A JP 20387194 A JP20387194 A JP 20387194A JP 20387194 A JP20387194 A JP 20387194A JP H0868958 A JPH0868958 A JP H0868958A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polygon mirror
labyrinth plate
film
supporting part
rotary polygon
Prior art date
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Pending
Application number
JP20387194A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yutaka Ishizuka
豊 石塚
Toru Kumagai
徹 熊谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Sankyo Corp
Original Assignee
Nidec Sankyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nidec Sankyo Corp filed Critical Nidec Sankyo Corp
Priority to JP20387194A priority Critical patent/JPH0868958A/en
Publication of JPH0868958A publication Critical patent/JPH0868958A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE: To prevent oil mist leaked from a gap between the upper surface of a polygon mirror and a labyrinth plate from being splashed by providing at least either the polygon mirror or the labyrinth plate with a groove group. CONSTITUTION: A stator is constituted of a frame 5, a rotational supporting part 12 and a coil 13 wound round a core 13 successively provided on the frame 5. The polygon mirror 1 is successively provided with a magnet 9 surrounding annularly the outside circumferential surface of the core 13 and a yoke 8 with a screw 15 through a hub 7 so as to constitute a rotor of upper and lower ball-bearings 10a and 10b supported by the supporting part 12. Besides, the labyrinth plate 2 is fixed to the supporting part 12. Then, when the rotor is rotated, air in the fine gap C flows toward the supporting part 12 by the groove group regulated in a specified direction of a film 3 cocentrically stuck to the upper surface of the mirror 1.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は回転多面鏡型光偏向器を
構成するポリゴンミラー駆動装置に関するものである。
更に詳述すると、ポリゴンミラーの安定的かつ円滑な回
転を可能にし、しかも潤滑油の飛散によるポリゴンミラ
ーの汚染防止に役立つ構成を備えたポリゴンミラー駆動
装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polygon mirror driving device constituting a rotary polygon mirror type optical deflector.
More specifically, the present invention relates to a polygon mirror driving device having a configuration that enables stable and smooth rotation of the polygon mirror and that is useful for preventing contamination of the polygon mirror due to scattering of lubricating oil.

【0002】[0002]

【従来の技術】ポリゴンミラーは長期の使用において、
駆動装置のボールベアリングなどから飛散する潤滑油に
よってその表面が汚染され、レーザ光線の正確な位置で
の鏡面への入射や反射ができないなどの欠陥が生じ易
い。このため、潤滑油が鏡面へまわり込まず、しかも、
装置が小型扁平になるように工夫が施されている。
2. Description of the Related Art Polygon mirrors are used for a long period of time.
The surface of the drive device is contaminated by lubricating oil scattered from a ball bearing or the like of the drive device, and defects such as impossibility of incidence and reflection of a laser beam on a mirror surface at an accurate position are likely to occur. Therefore, the lubricating oil does not wrap around to the mirror surface, and moreover,
The device is designed to be small and flat.

【0003】例えば、図5に示した、特公平3−716
90号公報に開示された装置では、上ケース20に介着
する縦シャフト21を固定するボールベアリング22か
らのオイルミストがポリゴンミラー23のミラーの反射
面に飛散するのを防ぐため、ポリゴンミラー23の上面
部に断面ジクザグ状の突部を具えた波板24を固定しす
る一方、この波板の突部に嵌入するように断面ジクザグ
状凹部を有する別の波板25を上ケース20の内側に垂
下固着して、この上下二枚の波板間に僅かの隙間をもた
せると共に、ポリゴンミラーの縦シャフト近傍上面とボ
ールベアリング22との間の縦シャフト外周にスペンサ
ー26を配設し、更に、上ケースに環状の突部27を設
けてラビリンスを形成している。
For example, Japanese Patent Publication No. 3-716 shown in FIG.
In the device disclosed in Japanese Patent Publication No. 90, in order to prevent oil mist from the ball bearing 22 fixing the vertical shaft 21 interposed in the upper case 20 from scattering on the reflecting surface of the polygon mirror 23, the polygon mirror 23 is prevented. While fixing the corrugated plate 24 having a zigzag-shaped protrusion on the upper surface of the inside of the upper case 20, another corrugated plate 25 having a zigzag-shaped recess is inserted into the protrusion of the corrugated plate. And a small gap between the upper and lower corrugated plates, and a spencer 26 is provided on the outer circumference of the vertical shaft between the ball bearing 22 and the upper surface of the polygon mirror near the vertical shaft. A labyrinth is formed by providing an annular protrusion 27 on the upper case.

【0004】この方式では波板24、25やスペンサー
26および環状の突部27などによって複雑なラビリン
スは構成されているものの、強制的に潤滑油を飛散させ
るエアーの流れを制御する力を働かせる手段はとってお
らず、このため、ベアリング内部から飛散したオイルミ
ストはその一部がこの迷路を通ってミラーの反射面に到
達し、ミラーの反射率を低下させる虞れがある。しか
も、複雑な形状の波板の加工に時間を要し、部品点数も
多く組立ても煩雑なため、偏向器自体が高価となり、生
産性も極めて低く使用しにくいものであった。
In this system, although a complicated labyrinth is constituted by the corrugated plates 24, 25, the spencer 26, the annular projection 27, etc., a means for exerting a force for controlling the flow of air forcibly scattering the lubricating oil is used. Therefore, a part of the oil mist scattered from the inside of the bearing may reach the reflecting surface of the mirror through this maze, which may reduce the reflectance of the mirror. Moreover, since it takes time to process a corrugated plate having a complicated shape and it is complicated to assemble a large number of parts, the deflector itself becomes expensive, and the productivity is extremely low and it is difficult to use.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、上記
実状に鑑み、潤滑油を飛散させるエアーの流れを強制的
に制御する力を働かせる手段をポリゴンミラーとラビリ
ンスプレートの少なくともいずれか一方に設けて、ポリ
ゴンミラー上面とラビリンスプレートとの間の隙間から
漏れるオイルミストの飛散を防止しようとするものであ
る。
In view of the above situation, the present invention provides means for exerting a force for forcibly controlling the flow of air that scatters lubricating oil in at least one of the polygon mirror and the labyrinth plate. Therefore, the oil mist that leaks from the gap between the upper surface of the polygon mirror and the labyrinth plate is prevented from scattering.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明の回転多面鏡型光
偏向器は上記課題に鑑み、固定軸に挿着されたボールベ
アリングと、このボールベアリングによって回転自在に
支持されたハブと、このハブに固定されて一体に回転す
るポリゴンミラーとを備えた回転多面鏡型光偏向器であ
って、上記固定軸の一端側に、上記ポリゴンミラーの端
面と微小間隔をおいて端面の一部を覆うように、ラビリ
ンスプレートが固着されると共に、互いに対向し合う上
記ポリゴンミラーの端面および上記ラビリンスプレート
のうち少なくともいずれか一方に、空気の流れを内周方
向に制御するスパイラル状の溝群が形成されたフィルム
が貼着されている。
In view of the above problems, a rotary polygon mirror type optical deflector of the present invention has a ball bearing inserted in a fixed shaft, a hub rotatably supported by the ball bearing, and A rotary polygon mirror type optical deflector comprising a polygon mirror fixed to a hub and rotating integrally, wherein a part of the end face of the polygon mirror is provided on one end side of the fixed shaft with a minute gap from the end face of the polygon mirror. The labyrinth plate is fixed so as to cover, and a spiral groove group for controlling the air flow in the inner circumferential direction is formed on at least one of the end face of the polygon mirror and the labyrinth plate facing each other. The attached film is attached.

【0007】本発明の回転多面鏡型光偏向器は上記課題
に鑑み、スパイラル状の溝群は、外周から内周に向かっ
て回転方向後側に所定角度傾いて形成され、この所定角
度は、外周における接線に対して90゜未満であること
を要旨とするものである。
In view of the above-mentioned problems, the rotary polygon mirror type optical deflector of the present invention has a spiral groove group which is formed by inclining toward the rear side in the rotational direction from the outer circumference to the inner circumference. The gist is that the angle is less than 90 ° with respect to the tangent line on the outer circumference.

【0008】[0008]

【作用】潤滑油を飛散させるエアーの流れを、強制的に
制御する力を働かせる手段をポリゴンミラーとラビリン
スプレートの少なくともいずれか一方に設けたので、ポ
リゴンミラー上面とラビリンスプレートとの間の隙間か
ら漏れるオイルミストの飛散は防止される。従って、ポ
リゴンミラーは長期の使用においても安定して使用でき
る。
[Function] Since at least one of the polygon mirror and the labyrinth plate is provided with a means for exerting a force for forcibly controlling the flow of the air that scatters the lubricating oil, from the gap between the upper surface of the polygon mirror and the labyrinth plate. The scattering of leaking oil mist is prevented. Therefore, the polygon mirror can be stably used even in long-term use.

【0009】[0009]

【実施例】図1は発明に関わる軸固定型光偏向器の一実
施例の断面図である。図5と重複する説明は省く。図に
おいて、1はミラー1aを外周部に構成するポリゴンミ
ラー、2はラビリンスプレート、3はフィルム、5はフ
レーム、7はハブ、8は磁性材からなるヨーク、9はマ
グネツト、10a、10bはボールベアリング、11は
ボールベアリングに所定の予圧を与えるバネである。そ
して、ミラー1の上端面の一部と、これを覆うラビリン
スプレート2の間に微小隙間Cを構成する。尚この微小
隙間Cは0.02mm〜0.5mm程度であることが望まし
い。
1 is a sectional view of an embodiment of a fixed axis type optical deflector according to the present invention. Descriptions that overlap with FIG. 5 are omitted. In the figure, 1 is a polygon mirror having a mirror 1a on its outer peripheral portion, 2 is a labyrinth plate, 3 is a film, 5 is a frame, 7 is a hub, 8 is a yoke made of a magnetic material, 9 is a magnet, 10a and 10b are balls. The bearing 11 is a spring that applies a predetermined preload to the ball bearing. Then, a minute gap C is formed between a part of the upper end surface of the mirror 1 and the labyrinth plate 2 covering it. It is desirable that the minute gap C is about 0.02 mm to 0.5 mm.

【0010】上記の軸固定型光偏向器はフレーム5とフ
レーム5に立設した回転支持部12、およびフレーム5
に連設されたコア13に巻回されたコイル14をもって
ステータが構成され、上記コア外周面を環状に取り囲む
マグネット9とヨーク8とがハブ7を介してねじ15で
ポリゴンミラー1と連設され、これらは上記回転支持部
に嵌着された上下のボールベアリング10a、10bに
よって回転自在に支承されロータを構成している。
The above-mentioned fixed axis type optical deflector comprises a frame 5, a rotation support portion 12 erected on the frame 5, and a frame 5.
A stator is composed of a coil 14 wound around a core 13 that is continuously provided on the core 13. A magnet 9 and a yoke 8 that annularly surround the outer peripheral surface of the core are connected to the polygon mirror 1 by a screw 15 via a hub 7. These are rotatably supported by the upper and lower ball bearings 10a and 10b fitted to the rotation supporting portion to form a rotor.

【0011】ラビリンスプレート2は回転支持部12に
固設され、この結果、ロータが回転するとラビリンスプ
レート2の下面とポリゴンミラー1の上面に相対的な回
転による移動が発生する。この結果、上記微小隙間Cに
ある空気はポリゴンミラー上面もしくはラビリンスプレ
ート下面にわずかの凹凸があると空気流の乱流が発生す
る。上記凹凸が特定方向に規定されると、上記乱流は定
流となる。
The labyrinth plate 2 is fixedly mounted on the rotation support portion 12. As a result, when the rotor rotates, the lower surface of the labyrinth plate 2 and the upper surface of the polygon mirror 1 move relative to each other due to rotation. As a result, the air in the minute gap C causes a turbulent air flow if the upper surface of the polygon mirror or the lower surface of the labyrinth plate has slight irregularities. When the unevenness is defined in a specific direction, the turbulent flow becomes a constant flow.

【0012】図1において、ポリゴンミラーの上面に貼
られるフィルム3は厚さが0.05mm〜0.2mm程度の
薄いプラスチックスやステンレス鋼板を、打ち抜き加工
により環状に形成したもので、同時に外周面から内面方
向に向かった複数の溝4が打ち抜かれる。そして、この
加工されたフィルム3はポリゴンミラー内周面の同心円
上に貼付される。このフィルム3が回転することによ
り、空気の流れが内周方向に制御される。
In FIG. 1, the film 3 attached to the upper surface of the polygon mirror is a thin plastic or stainless steel plate having a thickness of about 0.05 mm to 0.2 mm formed into an annular shape by punching, and at the same time the outer peripheral surface is formed. A plurality of grooves 4 are punched from the inside toward the inside. Then, the processed film 3 is attached on a concentric circle on the inner peripheral surface of the polygon mirror. By rotating the film 3, the flow of air is controlled in the inner circumferential direction.

【0013】図では、フィルム3はポリゴンミラーの上
面に貼られているがラビリンスプレート2側に貼付され
ていてもよい。また、両方の上面に貼られていてもよ
い。
In the figure, the film 3 is attached to the upper surface of the polygon mirror, but it may be attached to the labyrinth plate 2 side. It may also be attached to both upper surfaces.

【0014】図2はフィルムに打ち抜かれた複数の溝の
形状を示す図であり、図において、溝4はフィルム外周
面を構成する接線に対して90゜未満の角度をもって、
しかも中心線に対して逆方向に向かって四辺形状に、外
周面から内周面方向に向かって貫入した形状に構成され
ている。この外周面から内面方向に向かって貫入した方
向は回転方向に対して逆らう方向になる。従って、この
複数の溝は空気の流れを内周方向に制御するスパイラル
状の溝群となる。
FIG. 2 is a view showing the shape of a plurality of grooves punched in a film. In the drawing, the groove 4 has an angle of less than 90 ° with respect to a tangent line which constitutes the outer peripheral surface of the film.
Moreover, it is formed in a quadrilateral shape in the direction opposite to the center line and in a shape penetrating from the outer peripheral surface toward the inner peripheral surface. The direction of penetration from the outer peripheral surface toward the inner surface is opposite to the rotation direction. Therefore, the plurality of grooves form a spiral groove group for controlling the air flow in the inner circumferential direction.

【0015】フレーム5に固設したステータを構成する
コイル14に電流が通電されるとマグネツト9が磁気作
用をうけると共に、ボールベアリングを介してマグネツ
ト9と一体に連設されたハブ7が回転する。ポリゴンミ
ラー1はその内周縁部近傍がねじ15によってハブ7に
固定されているのでハブ7の回転と共にポリゴンミラー
1も回転し、同時にフィルム3も回転する。
When an electric current is applied to the coil 14 constituting the stator fixed to the frame 5, the magnet 9 is magnetically actuated and the hub 7 integrally connected to the magnet 9 is rotated via a ball bearing. . Since the polygon mirror 1 is fixed to the hub 7 by screws 15 in the vicinity of the inner peripheral edge portion thereof, the polygon mirror 1 rotates as the hub 7 rotates, and at the same time the film 3 also rotates.

【0016】フィルムには上記のように複数の溝が形成
され、しかも夫々の溝はフィルム外周面を構成する接線
に対して90゜未満の角度をもって、しかも回転方向に
対して逆方向に向かって構成されているので、前記ミラ
ーとラビリンスプレート2の相対的な移動により図3に
図示するア、イ、ウ・・・のように内周方向への空気の
流れが生じる。この流れは上記微小隙間Cの空気を軸中
心方向に移動する力として作用するのでオイルミストの
飛散を制御する作用をする。しかも、この加工されたフ
ィルム3はポリゴンミラー内周面の同心円上に貼付され
るいるのでポリゴンミラーは安定的かつ円滑に回転す
る。
A plurality of grooves are formed in the film as described above, and each groove has an angle of less than 90 ° with respect to the tangent line forming the outer peripheral surface of the film and is directed in the direction opposite to the rotation direction. Since it is configured, the relative movement of the mirror and the labyrinth plate 2 causes an air flow in the inner circumferential direction as shown in FIG. This flow acts as a force to move the air in the minute gap C in the axial center direction, and therefore acts to control the scattering of the oil mist. In addition, since the processed film 3 is attached on the concentric circle on the inner peripheral surface of the polygon mirror, the polygon mirror rotates stably and smoothly.

【0017】図4はフィルム上に加工される溝の別な実
施例である。複数の溝16はフィルムの外周方向からフ
ィルムの内周方向に向かって刀先端状に形成されてい
る。
FIG. 4 is another embodiment of the groove processed on the film. The plurality of grooves 16 are formed in a sword tip shape from the outer peripheral direction of the film toward the inner peripheral direction of the film.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上述べたように本発明によりポリゴン
ミラーとラビリンスプレートの間に相対的な速度差が生
じ、しかも両者が微小な間隔で対向する面において、空
気の流れを内周方向に制御すべく溝群を設けたことによ
り、ミラーの反射面に向かってラビリンスプレ−ト側か
ら漏洩するベアリング内部で発生するオイルミストをほ
ぼ完全に遮断することができる。
As described above, according to the present invention, a relative speed difference is generated between the polygon mirror and the labyrinth plate, and the air flow is controlled in the inner circumferential direction on the surfaces where they face each other with a minute gap. By providing the groove group in order to prevent the oil mist generated inside the bearing leaking from the labyrinth plate side toward the reflecting surface of the mirror, it can be almost completely blocked.

【0019】ラビリンスプレートは単純な形状で構成さ
れ、しかも溝付き薄板もプレス加工で簡単に製作できる
ので経済性の高いものになったばかりでなく、この結
果、安価にして大量の光偏向器を供給できる。
The labyrinth plate has a simple shape, and since the grooved thin plate can be easily manufactured by press working, it is not only economically efficient, but as a result, a large amount of optical deflectors can be supplied at low cost. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本願発明に関わる軸固定型光偏向器の一実施例
の断面図である。
FIG. 1 is a sectional view of an embodiment of a fixed axis type optical deflector according to the present invention.

【図2】本願発明に関わるフィルムに打ち抜かれた複数
の溝の形状を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing shapes of a plurality of grooves punched in a film according to the present invention.

【図3】本願発明に関わるフィルムに打ち抜かれた複数
の溝によって生じる空気の流れを示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing an air flow generated by a plurality of grooves punched in the film according to the present invention.

【図4】本願発明に関わるフィルム上に加工される溝の
別な実施例である。
FIG. 4 is another example of the groove processed on the film according to the present invention.

【図5】従来の軸固定型光偏向器の一実施例の断面図で
ある。
FIG. 5 is a sectional view of an example of a conventional fixed axis type optical deflector.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ポリゴンミラー 2 ラビリンスプレート 3 フィルム 4 溝 7 ハブ 10a、10b ボールベアリング 14 溝 1 polygon mirror 2 labyrinth plate 3 film 4 groove 7 hub 10a, 10b ball bearing 14 groove

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 固定軸に挿着されたボールベアリング
と、このボールベアリングによって回転自在に支持され
たハブと、このハブに固定されて一体に回転するポリゴ
ンミラーとを備えた回転多面鏡型光偏向器であって、 上記固定軸の一端側に、上記ポリゴンミラーの端面と微
小間隔をおいて端面の一部を覆うように、ラビリンスプ
レートが固着されると共に、互いに対向し合う上記ポリ
ゴンミラーの端面および上記ラビリンスプレートのうち
少なくともいずれか一方に、空気の流れを内周方向に制
御するスパイラル状の溝群が形成されたフィルムが貼着
されていることを特徴とする回転多面鏡型光偏向器。
1. A rotary polygon mirror type optical system comprising a ball bearing inserted into a fixed shaft, a hub rotatably supported by the ball bearing, and a polygon mirror fixed to the hub and rotating integrally. In the deflector, a labyrinth plate is fixed to one end side of the fixed shaft so as to cover a part of the end face of the polygon mirror with a minute gap from the end face of the polygon mirror. A rotary polygon mirror-type optical deflector characterized in that a film having a spiral groove group for controlling an air flow in an inner circumferential direction is adhered to at least one of the end face and the labyrinth plate. vessel.
【請求項2】 スパイラル状の溝群は、外周から内周に
向かって回転方向後側に所定角度傾いて形成され、この
所定角度は、外周における接線に対して90゜未満であ
ることを特徴とする請求項1記載の回転多面鏡型光偏向
器。
2. The spiral groove group is formed so as to be inclined from the outer circumference toward the inner circumference by a predetermined angle rearward in the rotational direction, and the predetermined angle is less than 90 ° with respect to a tangent line on the outer circumference. The rotary polygon mirror type optical deflector according to claim 1.
JP20387194A 1994-08-29 1994-08-29 Rotary polygon mirror type light deflector Pending JPH0868958A (en)

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Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20000125