JPH08320425A - Manufacture of collimator for optical circuit - Google Patents
Manufacture of collimator for optical circuitInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は光回路用コリメータの
製造方法に関し、詳しくは光ファイバの出射光を集光
し、平行ビームに変換して出力する光回路用コリメータ
の製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a collimator for an optical circuit, and more particularly to a method of manufacturing a collimator for an optical circuit which collects light emitted from an optical fiber, converts it into a parallel beam, and outputs it. .
【０００２】[0002]
【従来の技術】図３は従来の光回路用コリメータ（この
場合は光ファイバコリメータ）の製造方法を示す模式図
である。図３に見られるように従来の光ファイバコリメ
ータ（第２のコリメータという）２０は、すでに光ファ
イバ７ａとともに、これと光結合させて製作されている
いわば既製品の第１の光ファイバコリメータ１と連結さ
せ、第１の光ファイバコリメータ（第１のコリメータと
いう）１の出力する平行ビーム２を最低損失で第２のコ
リメータ２０に取付けられた出力側の光ファイバ７に結
合させる光学調整を行うことにより製造していた。2. Description of the Related Art FIG. 3 is a schematic view showing a method of manufacturing a conventional optical circuit collimator (in this case, an optical fiber collimator). As shown in FIG. 3, the conventional optical fiber collimator (referred to as a second collimator) 20 is the same as the optical fiber 7a and the first optical fiber collimator 1 which is a ready-made product that is optically coupled to the optical fiber 7a. Optical coupling is performed so that the parallel beam 2 output from the first optical fiber collimator (referred to as a first collimator) 1 is coupled to the output-side optical fiber 7 attached to the second collimator 20 with minimum loss. Was manufactured by.
【０００３】すなわち、図３において、平行ビーム２を
受ける光学レンズ３をレンズホルダ４に固定しておき、
このレンズホルダ４をスリーブ５に固定する。この場
合、スリーブ５内には光ファイバ７を固定したフェルー
ル（ｆｅｒｒｕｌｅ）６が挿着されている。前述の光学
調整は、スリーブ５を保持して、ｘ−ｙ方向の軸調整
と、ｘ−ｚ面内及びｙ−ｚ面内の角度調整を行いなが
ら、光ファイバ７を固定したフェルール６をスリーブ５
内でｚ軸方向に移動させ、光学レンズ３で集光した光量
を最低損失でファイバ７に結合させ、その状態でフェル
ール６をスリーブ５に固定するものである。以上が従来
の光ファイバコリメータの製造方法の概略である。That is, in FIG. 3, the optical lens 3 for receiving the parallel beam 2 is fixed to the lens holder 4,
The lens holder 4 is fixed to the sleeve 5. In this case, a ferrule 6 to which an optical fiber 7 is fixed is inserted in the sleeve 5. The above-mentioned optical adjustment is performed by holding the sleeve 5 and performing axial adjustment in the xy directions and angular adjustments in the xz plane and the yz plane while the ferrule 6 with the optical fiber 7 fixed is sleeved. 5
It is moved in the z-axis direction inside, and the amount of light condensed by the optical lens 3 is coupled to the fiber 7 with minimum loss, and the ferrule 6 is fixed to the sleeve 5 in this state. The above is the outline of the conventional method of manufacturing an optical fiber collimator.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような従来の光ファイバコリメータの製造方法では、光
ファイバコリメータ対向を１対製造するために、第１の
コリメータからの出射光を受ける第２のコリメータを構
成する光ファイバをスリーブ内でｚ軸方向に動かしなが
ら、第２のコリメータをｘ−ｙ面内の軸調整と、ｘ−ｚ
面内及びｙ−ｚ面内の２角度調整が必要となる。このよ
うな繁雑な調整には、多大の工数が取られ、製造コスト
を高くする原因となっていた。However, in the conventional method of manufacturing an optical fiber collimator as described above, in order to manufacture one pair of optical fiber collimator facings, the second light receiving from the first collimator is received. While moving the optical fiber forming the collimator in the z-axis direction within the sleeve, the second collimator is adjusted in the x-y plane and x-z
Two angle adjustments in the plane and in the yz plane are required. A large number of man-hours are required for such complicated adjustment, which has been a cause of increasing the manufacturing cost.
【０００５】また、例示しなかったが、第１のコリメー
タに対して第２、第３のコリメータを結合させ、これら
を１つのモジュール化して組立て使用する場合、第２、
第３のコリメータを構成するファイバが折れた場合に
は、再度製造すればよいが、第１のコリメータのファイ
バが折れた場合、第２、第３のコリメータに対して、対
向損失の小さいコリメータを製造しなければならない。
このようなことは、非常に困難となり、最悪の場合は、
第１のコリメータから第２、第３のコリメータを製造し
なおさなければならないという問題も発生する。これ
は、第１、第２、第３のコリメータが全く同一の光学特
性を持っていないためで、ファイバ−レンズ間距離を精
度よく測定できなかったり、高精度で一定値に合わせる
手段がなかったためである。Although not illustrated, when the second collimator and the third collimator are combined with the first collimator and these are assembled into one module and used, the second collimator is used.
If the fiber forming the third collimator is broken, it may be remanufactured, but if the fiber of the first collimator is broken, a collimator having a small opposing loss is used for the second and third collimators. Must be manufactured.
This can be very difficult, and in the worst case
There is also a problem that the second and third collimators must be remanufactured from the first collimator. This is because the first, second, and third collimators do not have exactly the same optical characteristics, and the fiber-lens distance cannot be accurately measured, or there is no means for adjusting the distance to a certain value with high accuracy. Is.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】この発明に係る光回路用
コリメータの製造方法は、光学レンズと光ファイバとで
構成される第１の光ファイバコリメータに光学調整手段
により所定のコリメータ対向距離を介して光学レンズと
光学素子とで構成される第２のコリメータを光結合させ
る光回路用コリメータの製造方法であって、第２のコリ
メータの光学レンズ−光学素子間の距離とコリメータ対
向距離との関係がコリメータ対向結合損失を最小とする
条件特性を予め準備しておき、第１の光ファイバコリメ
ータの光軸上に第２のコリメータの光軸を合わせて配置
し、第２のコリメータの光学レンズ端面と光学素子端面
の反射戻り光を検出し、その位置測定から光学レンズ−
光学素子間の距離を測定し、この測定中に上述の条件特
性を適用して、所望のコリメータ対向距離に対応する光
学レンズ−光学素子間の距離を所定の長さに調整して固
定するものである。According to a method of manufacturing a collimator for an optical circuit according to the present invention, a first optical fiber collimator composed of an optical lens and an optical fiber is provided with a predetermined collimator facing distance by an optical adjusting means. A method of manufacturing a collimator for an optical circuit, which optically couples a second collimator composed of an optical lens and an optical element, the relationship between the distance between the optical lens and the optical element of the second collimator and the collimator facing distance. Prepare in advance a condition characteristic that minimizes the opposite coupling loss of the collimator, arranges the optical axis of the second collimator on the optical axis of the first optical fiber collimator, and arranges the optical lens end surface of the second collimator. And the reflected return light from the end face of the optical element is detected, and the optical lens is
Measuring the distance between optical elements, applying the above-mentioned condition characteristics during this measurement, and adjusting and fixing the distance between the optical lens and the optical element corresponding to the desired collimator facing distance to a predetermined length. Is.
【０００７】また、いま述べた光ファイバコリメータの
製造方法において、第２のコリメータの光学素子は光フ
ァイバ又は光半導体素子からなる発光素子及び受光素子
内のいずれか１つ又は光導波路で構成してもよい。In the method of manufacturing the optical fiber collimator described above, the optical element of the second collimator is constituted by any one of the light emitting element and the light receiving element formed of an optical fiber or an optical semiconductor element, or an optical waveguide. Good.
【０００８】[0008]
【作用】この発明においては、第１の光ファイバコリメ
ータに結合させようとする第２のコリメータの光学レン
ズ−光学素子間の距離とコリメータ対向距離との関係が
コリメータ対向結合損失を最小とする条件特性を予め準
備しておき、第２のコリメータの光学レンズ端面と光学
素子端面の反射戻り光を検出し、その位置測定から光学
レンズ−光学素子間の距離を測定し、この測定中に上述
の条件特性を使用して、所望のコリメータ対向距離に対
応する光学レンズ−光学素子間の距離を所定の長さに調
整して固定するから、同一種類のレンズと光学素子の組
合わせにおいては、光回路用コリメータ光学特性がほぼ
一定に揃う製造方法となる。そのため、煩わしい光学調
整が不要となる。According to the present invention, the relationship between the distance between the optical lens and the optical element of the second collimator to be coupled to the first optical fiber collimator and the collimator facing distance minimizes the collimator facing coupling loss. The characteristics are prepared in advance, the reflected return light from the optical lens end surface and the optical element end surface of the second collimator is detected, the distance between the optical lens and the optical element is measured from the position measurement, and during the measurement, the above-mentioned Since the distance between the optical lens and the optical element corresponding to the desired collimator facing distance is adjusted to a predetermined length and fixed by using the condition characteristic, in the combination of the same type of lens and optical element, This is a manufacturing method in which the optical characteristics of the collimator for a circuit are substantially constant. Therefore, troublesome optical adjustment becomes unnecessary.
【０００９】[0009]
【実施例】図１はこの発明による光回路用コリメータの
製造方法の一実施例を示す第２のコリメータの模式説明
図である。まず、コリメータの対向損失特性は、コリメ
ータを構成するレンズの中心軸と光ファイバの中心軸が
同一軸にある場合、レンズとファイバ間の距離によって
決定されるということが知られており、この発明におい
ても、この原理を利用して対向損失が最低になる条件を
見出だし、その条件を具体的に設定することによって、
製造方法に関連する調整を実施するようになっている。1 is a schematic explanatory view of a second collimator showing an embodiment of a method of manufacturing a collimator for an optical circuit according to the present invention. First, it is known that the facing loss characteristic of a collimator is determined by the distance between the lens and the fiber when the central axis of the lens and the central axis of the optical fiber that form the collimator are on the same axis. Also, by using this principle to find the condition that the opposite loss becomes the minimum, and by setting the condition concretely,
It is adapted to carry out adjustments relating to the manufacturing method.
【００１０】そこで、図１の実施例では、第２のコリメ
ータを構成するレンズ８と、ファイバ９を固定したフェ
ルール１０と、レンズ８の中心軸と光ファイバ９の中心
軸とを同一軸に合わせるスリーブ１１とからなってい
る。このコリメータ構成において、まず、レンズ８をス
リーブ１１に固定し、レンズ８の端面８ａと光ファイバ
９の端面９ａ間の距離を、光ファイバ９の端面９ｂ側か
ら入射した入射光１２に対して光ファイバ９の端面９ａ
とレンズ端面８ａからそれぞれ発生した反射戻り光を検
出し、反射点間の光学距離から測定しながら、最低対向
損失が得られる所定の距離で、フェルール１０とスリー
ブ１１を固定する。Therefore, in the embodiment shown in FIG. 1, the lens 8 constituting the second collimator, the ferrule 10 having the fiber 9 fixed thereto, and the central axis of the lens 8 and the central axis of the optical fiber 9 are aligned with each other. It is composed of a sleeve 11. In this collimator configuration, first, the lens 8 is fixed to the sleeve 11, and the distance between the end surface 8a of the lens 8 and the end surface 9a of the optical fiber 9 is set to the incident light 12 incident from the end surface 9b side of the optical fiber 9. End surface 9a of fiber 9
The reflected return lights respectively generated from the lens end surface 8a and the lens end surface 8a are detected, and the ferrule 10 and the sleeve 11 are fixed at a predetermined distance at which the minimum facing loss is obtained while measuring from the optical distance between the reflection points.
【００１１】今のべた所定の距離は、コリメータを構成
するレンズの種別と、光ファイバの種別と、コリメータ
の対向距離とによって異なってくるものであるから、こ
れらの組合わせ条件による特性として、予め求めておく
ようにする。この特性の一例を図２に示す。図２の特性
図の横軸はコリメータの対向距離、縦軸は設定されるレ
ンズ−光ファイバ間距離ｄ（上述の所定距離）である。Since the above-mentioned predetermined distance varies depending on the type of lens that constitutes the collimator, the type of optical fiber, and the facing distance of the collimator, the characteristic depending on the combination conditions of these is previously set. Try to ask for it. An example of this characteristic is shown in FIG. The horizontal axis of the characteristic diagram of FIG. 2 is the facing distance of the collimator, and the vertical axis is the lens-optical fiber distance d (the above-mentioned predetermined distance) that is set.
【００１２】図２の特性図は、ＢＫ−７材質の直径２．
５ｍｍの球レンズと、１．３零分散シングルモードファ
イバ（コア径１０μｍ、比屈折率差０．３％）との場合
の特性例である。ここで、コリメータ対向距離を５〜５
５ｍｍにした場合、最低対向損失が得られるレンズ−フ
ァイバ間距離ｄを示している。なお、コリメータ対向距
離は、例えば図３の場合、互いに結合されるコリメータ
２０とコリメータ１との対向する各レンズ端面間の距離
を指している。The characteristic diagram of FIG. 2 shows that the diameter of the BK-7 material is 2.
It is a characteristic example in the case of a 5 mm spherical lens and a 1.3 zero-dispersion single mode fiber (core diameter 10 μm, relative refractive index difference 0.3%). Here, the collimator facing distance is 5 to 5
When the distance is set to 5 mm, the lens-fiber distance d at which the minimum facing loss is obtained is shown. In the case of FIG. 3, the collimator facing distance refers to the distance between the facing lens end surfaces of the collimator 20 and the collimator 1, which are coupled to each other.
【００１３】図２から明らかなように、これらコリメー
タの対向距離とレンズ−ファイバ間距離との関係は直線
近似が可能である。従って、コリメータ製造のための光
学調整に当たっては、例えばず２の特性図を使用し、所
望のコリメータの対向距離が例えば４０ｍｍの時、レン
ズ−ファイバ間距離を６６５μｍに合わせて設定すれば
よい。上述の光学測定には、市販の測定器（例えば、Ｈ
Ｐ−８５０４Ａ：プレシジョン・リフレクトメータ）が
使用可能である。As is apparent from FIG. 2, the relationship between the facing distance of these collimators and the lens-fiber distance can be approximated by a straight line. Therefore, in the optical adjustment for manufacturing the collimator, for example, the characteristic diagram of No. 2 is used, and when the facing distance of the desired collimator is, for example, 40 mm, the lens-fiber distance may be set to 665 μm. For the above optical measurement, a commercially available measuring device (for example, H
P-8504A: Precision Reflectometer) can be used.
【００１４】この実施例において、上述の測定を実施す
る調整により、所望のコリメータの対向距離に対して、
レンズ−ファイバ間距離ｄを±５μｍ以内の精度で調整
できるので、十分に低損失の光回路用コリメータが製造
できる。In this embodiment, the adjustments for carrying out the above-mentioned measurements make it possible to obtain the desired facing distance of the collimator,
Since the lens-fiber distance d can be adjusted with an accuracy within ± 5 μm, a sufficiently low loss collimator for optical circuits can be manufactured.
【００１５】上述の実施例では、ＢＫ−７直径２．５ｍ
ｍの球レンズと、１．３零分散シングルモードファイバ
を用いた例について説明したが、コリメータを構成する
レンズとファイバの幾通りかの組合わせで図２のような
関係を示す特性図又はデータをレンズ端面とファイバ端
面の反射戻り光発生位置間の距離測定によって求めてお
けば、これを使用して同様な光学調整を行うことができ
る。In the above embodiment, the BK-7 diameter is 2.5 m.
An example using a spherical lens of m and a 1.3 zero-dispersion single-mode fiber has been described, but a characteristic diagram or data showing the relationship as shown in FIG. 2 with some combinations of the lens and the fiber forming the collimator. If is obtained by measuring the distance between the reflection end light generation positions of the lens end face and the fiber end face, the same optical adjustment can be performed using this.
【００１６】以上のように上述の実施例によれば、スリ
ーブ内で光ファイバをその中心軸に固定したフェルール
を移動させて、レンズ端面とファイバ端面との２つの反
射戻り光からその位置を測定しながら、レンズ−ファイ
バ間を所定の距離に調整した後、フェルールを固定し
て、光ファイバコリメータを製造するから、同一種類の
レンズとファイバの組合わせにおいては、光学特性がほ
ぼ一定に揃った光ファイバコリメータが大量に短時間で
製造できるようになった。そして、煩わしい光学調整が
不要となるから、安価な光ファイバコリメータを提供で
きる。また、この実施例のような光ファイバコリメータ
の製造方法により、任意に選択した光ファイバコリメー
タと対向させても、ファイバ−レンズ間距離が高精度で
一定値に調整・固定されているため、低結合損失のコリ
メータ対向特性が得られるので、たとえファイバ折れ等
の事故により使用できなくなっても、すぐに別のコリメ
ータを供給して対応することができる利点がある。As described above, according to the above-described embodiment, the ferrule having the optical fiber fixed to its center axis is moved within the sleeve, and the position thereof is measured from the two reflected return lights of the lens end face and the fiber end face. However, since the lens-fiber is adjusted to a predetermined distance and then the ferrule is fixed to manufacture the optical fiber collimator, the optical characteristics are almost constant in the combination of the same type of lens and fiber. A large number of optical fiber collimators can be manufactured in a short time. Moreover, since no complicated optical adjustment is required, an inexpensive optical fiber collimator can be provided. Further, according to the manufacturing method of the optical fiber collimator as in this embodiment, even if the optical fiber collimator is arbitrarily opposed to the optical fiber collimator, the distance between the fiber and the lens is adjusted and fixed to a constant value with high accuracy. Since the collimator facing characteristic of the coupling loss can be obtained, even if the collimator cannot be used due to an accident such as fiber breakage, another collimator can be immediately supplied to deal with the advantage.
【００１７】また、上述の実施例のようなレンズと光フ
ァイバで構成されたファイバコリメータばかりでなく、
レンズと例えば半導体レーザ素子とや、ＬＥＤ等の発光
素子で構成されたコリメータとや、レンズと例えばＰＩ
Ｎ−ＰＤやＡＰＤ等の受光素子とで構成されたコリメー
タや、レンズと光導波路とで構成された光回路用コリメ
ータにも、この発明は適用できる。Further, in addition to the fiber collimator composed of the lens and the optical fiber as in the above-mentioned embodiment,
A lens and, for example, a semiconductor laser element, a collimator including a light emitting element such as an LED, and a lens and, for example, PI
The present invention can be applied to a collimator composed of a light receiving element such as an N-PD or an APD, and a collimator for an optical circuit composed of a lens and an optical waveguide.
【００１８】[0018]
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、例えば
第１の光ファイバコリメータに結合させようとする第２
のコリメータの光学レンズ−光学素子間の距離とコリメ
ータ対向距離との関係がコリメータ対向結合損失を最小
とする条件特性を予め準備しておき、第２のコリメータ
の光学レンズ端面と光学素子端面の反射戻り光を検出
し、その位置測定から光学レンズ−光学素子間の距離を
測定し、この測定中に上述の条件特性を使用して、所望
のコリメータ対向距離に対応する光学レンズ−光学素子
間の距離を所定の長さに調整して固定するものであるか
ら、同一種類のレンズと光学素子の組合わせにおいて
は、光学特性がほぼ一定に揃った光回路用コリメータが
大量に短時間で製造できるようになる効果が得られる。
そして、煩わしい光学調整が不要となるから、安価な光
回路用コリメータを提供できる。また、この発明のよう
な光回路用コリメータの製造方法により、任意に選択し
た光ファイバコリメータと対向させても、光学素子−レ
ンズ間距離が高精度で一定値に調整・固定されているた
め、低結合損失のコリメータ対向特性が得られるので、
たとえファイバ折れ等の事故により使用できなくなって
も、すぐに別のコリメータを供給して対応することがで
きる利点が得られる。As described above, according to the present invention, for example, the second optical fiber collimator to be coupled to the second optical fiber collimator is used.
The relationship between the distance between the optical lens and the optical element of the collimator and the facing distance of the collimator is prepared in advance with the condition characteristic that minimizes the coupling loss facing the collimator, and the reflection of the optical lens end surface and the optical element end surface of the second collimator The return light is detected, the distance between the optical lens and the optical element is measured from its position measurement, and the condition characteristics described above are used during the measurement, and the optical lens-optical element corresponding to the desired collimator facing distance is used. Since the distance is adjusted to a predetermined length and fixed, a large amount of optical circuit collimators with substantially constant optical characteristics can be manufactured in a short time when combining the same type of lens and optical element. It is possible to obtain the effect.
Further, since no complicated optical adjustment is required, an inexpensive optical circuit collimator can be provided. Further, by the method for manufacturing an optical circuit collimator such as the present invention, even if it is opposed to an optical fiber collimator arbitrarily selected, since the optical element-lens distance is adjusted and fixed to a constant value with high accuracy, Since the collimator facing characteristics with low coupling loss can be obtained,
Even if it becomes unusable due to an accident such as fiber breakage, another collimator can be immediately supplied to deal with the advantage.
【図１】この発明による光回路用コリメータの製造方法
の一実施例を示す第２のコリメータの模式説明図であ
る。FIG. 1 is a schematic explanatory view of a second collimator showing an embodiment of a method of manufacturing an optical circuit collimator according to the present invention.
【図２】コリメータ対向距離とレンズ−ファイバ間距離
との対向結合損失が最低の条件関係を示す特性線図であ
る。FIG. 2 is a characteristic diagram showing a condition relationship in which an opposing coupling loss between a collimator facing distance and a lens-fiber distance is minimum.
【図３】従来の光回路用コリメータの製造方法を説明す
る模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a conventional method of manufacturing a collimator for an optical circuit.
１ 光ファイバコリメータ（第１の光ファイバコリメー
タ） ２ 平行ビーム ３ 光学レンズ ４ レンズホルダ ５，１１ スリーブ ６，１０ フェルール ７，７ａ，９ 光ファイバ ８ レンズ ８ａ，９ａ，９ｂ 端面 １２ 入射光 １３ 反射戻り光 ２０ 光ファイバコリメータ（第２のコリメータ）1 Optical Fiber Collimator (First Optical Fiber Collimator) 2 Parallel Beam 3 Optical Lens 4 Lens Holder 5,11 Sleeve 6,10 Ferrule 7,7a, 9 Optical Fiber 8 Lens 8a, 9a, 9b End Face 12 Incident Light 13 Reflected Return Optical 20 Optical fiber collimator (second collimator)
Claims (4)
第１の光ファイバコリメータに光学調整手段により所定
のコリメータ対向距離を介して光学レンズと光学素子と
で構成される第２のコリメータを光結合させる光回路用
コリメータの製造方法において、 前記第２のコリメータの前記光学レンズ−光学素子間の
距離と前記コリメータ対向距離との関係がコリメータ対
向結合損失を最小とする条件特性を予め準備しておき、 前記第１の光ファイバコリメータの光軸上に前記第２の
コリメータの光軸を合わせて配置し、 前記第２のコリメータの光学レンズ端面と光ファイバ端
面の反射戻り光を検出し、その位置測定から前記光学レ
ンズ−光学素子間の距離を測定し、 この測定中に前記条件特性を適用して、所望の前記コリ
メータ対向距離に対応する前記光学レンズ−光学素子間
の距離を所定の長さに調整して固定することを特徴とす
る光回路用コリメータの製造方法。1. A first optical fiber collimator composed of an optical lens and an optical fiber is provided with a second collimator composed of an optical lens and an optical element by an optical adjusting means via a predetermined collimator facing distance. In the method of manufacturing a collimator for an optical circuit to be coupled, the condition characteristic that the relationship between the distance between the optical lens and the optical element of the second collimator and the collimator facing distance minimizes the collimator facing coupling loss is prepared in advance. Every other, the optical axis of the second collimator is aligned with the optical axis of the first optical fiber collimator, the reflected return light of the optical lens end surface of the second collimator and the optical fiber end surface is detected, and From the position measurement, the distance between the optical lens and the optical element is measured, and the condition characteristic is applied during the measurement to obtain the desired collimator facing distance. Method of manufacturing an optical circuit for collimating, characterized by fixing by adjusting the distance between the optical elements to a predetermined length - the optical lens.
特徴とする請求項１記載の光回路用コリメータの製造方
法。2. The method for manufacturing a collimator for an optical circuit according to claim 1, wherein the optical element is an optical fiber.
む発光素子及び受光素子内のいずれか１つであることを
特徴とする請求項１記載の光回路用コリメータの製造方
法。3. The method of manufacturing an optical circuit collimator according to claim 1, wherein the optical element is one of a light emitting element and an optical receiving element including an optical semiconductor laser element.
徴とする請求項１記載の光回路用コリメータの製造方
法。4. The method for manufacturing an optical circuit collimator according to claim 1, wherein the optical element is an optical waveguide.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12698895A JP3343756B2 (en) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | Manufacturing method of collimator for optical circuit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12698895A JP3343756B2 (en) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | Manufacturing method of collimator for optical circuit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08320425A true JPH08320425A (en) | 1996-12-03 |
| JP3343756B2 JP3343756B2 (en) | 2002-11-11 |
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ID=14948884
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|---|---|---|---|
| JP12698895A Expired - Fee Related JP3343756B2 (en) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | Manufacturing method of collimator for optical circuit |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP3343756B2 (en) |
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