JPH08315417A - Optical information medium - Google Patents

Optical information medium

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JPH08315417A
JPH08315417A JP7114466A JP11446695A JPH08315417A JP H08315417 A JPH08315417 A JP H08315417A JP 7114466 A JP7114466 A JP 7114466A JP 11446695 A JP11446695 A JP 11446695A JP H08315417 A JPH08315417 A JP H08315417A
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JP
Japan
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recording
layer
thickness
recording medium
state
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP7114466A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuyuki Furuya
一之 古谷
Tatsuya Okamura
立也 岡村
Masato Terada
正人 寺田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asahi Chemical Industry Co Ltd
Original Assignee
Asahi Chemical Industry Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH08315417A publication Critical patent/JPH08315417A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

PURPOSE: To improve the erasing rate and to decrease errors by eliminating dispersion of the shape and size of recording pit depending on the state of a recording layer before recording whether it is in a crystal state or amorphous state. CONSTITUTION: A phase transition type optical recording medium in which information can be recorded, erased and reproduced by the irradiation with light is produced by successively forming a dielectric layer 2, recording layer 3, carbon layer 4, and reflection layer 5 on a transparent substrate 1. The thickness of the carbon layer is between 2nm and 40nm. By forming the carbon layer between the recording layer and the reflecting layer, the absorptivity of the recording film in a crystal state is made larger than the absorptivity of the recording film in an amorphous state, and thereby, dispersion of the shape and size of recording pits can be decreased.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光を照射することによ
って情報に記録、消去および再生が可能であり、信号の
記録、消去を相変化によって行う光記録媒体に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical recording medium capable of recording, erasing and reproducing information by irradiating light, and recording and erasing signals by phase change.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、光記録媒体は、高度情報化社会に
おける記録媒体の中心適役割りを担うものとして注目さ
れ、積極的に研究が進められている。光記録媒体のう
ち、特に光ディスクは今後マルチメディアの普及にとも
ない最も有力な記録媒体として注目されている。
2. Description of the Related Art In recent years, optical recording media have been attracting attention as playing a central role of recording media in a highly information-oriented society, and research is being actively conducted. Among optical recording media, optical discs are attracting attention as the most promising recording media with the spread of multimedia.

【0003】このような光ディスクには、コンパクトデ
ィスクやレーザディスクに代表される再生専用型、ユー
ザーによる情報の書き込みが可能な追記型、情報の書換
が可能な書換可能型の三種類がある。このうち書換可能
型には光磁気方式と相変化方式とがあり、相変化方式に
は結晶−非晶質間の相変化が生じる材料を記録層として
用いる。
There are three types of such optical discs, a read-only type represented by a compact disc and a laser disc, a write-once type in which information can be written by a user, and a rewritable type in which information can be rewritten. Among them, the rewritable type includes a magneto-optical method and a phase change method. In the phase change method, a material that causes a phase change between crystal and amorphous is used as a recording layer.

【0004】相変化方式においては、この記録層に、図
2に示すような記録信号に応じた強度変調をかけたレー
ザ光を照射することで簡単にオーバーライトが可能であ
る。即ち、強いパワーのレーザ光を短時間照射した位置
は、融点以上に急熱され融解させた後に、急冷されるこ
とにより非晶質状態(記録ピット)が形成され、これよ
り弱いパワーのレーザー光が照射された位置は融点より
も低い結晶化可能温度範囲まで昇温され結晶状態が形成
される。
In the phase change system, overwriting can be easily performed by irradiating the recording layer with laser light whose intensity is modulated according to a recording signal as shown in FIG. That is, at a position irradiated with a laser beam having a strong power for a short time, an amorphous state (recording pit) is formed by being rapidly heated to a temperature equal to or higher than the melting point and melted, and then rapidly cooled. The position irradiated with is heated to a crystallizable temperature range lower than the melting point and a crystalline state is formed.

【0005】従来より相変化型光ディスクは信号振幅を
大きくしたり、繰り返し特性を改善したりするため、図
3に示すような、基板上に4層の多層膜を有する積層構
造が多用されている。すなわち、ポリカーボネート樹脂
などの透明基板11上に、透明な誘電体層12、記録層
13、透明な誘電体層14、反射層15を設け誘電体層
14を干渉層とした4層構造である。
Conventionally, in order to increase the signal amplitude and improve the repetitive characteristics, the phase change type optical disk is often used in a laminated structure having a multilayer film of four layers on a substrate as shown in FIG. . That is, it has a four-layer structure in which a transparent dielectric layer 12, a recording layer 13, a transparent dielectric layer 14, and a reflective layer 15 are provided on a transparent substrate 11 such as a polycarbonate resin and the dielectric layer 14 is an interference layer.

【0006】各層に用いられる材料として、誘電体層と
しては記録層の保護特性に優れ、かつ記録消去の繰り返
しに十分な機械特性を有していることから、カルコゲン
化合物と酸化物あるいは窒化物などの混合物が一般的に
広く用いられている。また記録層としては結晶化速度の
速いものが好ましく、Sb−Se合金、Sb 2 Te3
金、Te−Ge−Sb合金が良く知られている。
A dielectric layer is used as a material used for each layer.
Has excellent recording layer protection characteristics, and recording and erasing can be repeated.
Since it has sufficient mechanical properties for
Mixtures of compounds and oxides or nitrides are generally
Widely used. Also, the crystallization rate of the recording layer
Fast one is preferable, Sb-Se alloy, Sb 2Te3Combined
Gold and Te-Ge-Sb alloys are well known.

【0007】反射層としてはAlを主成分とする合金が
安価なうえ耐環境性にも優れており、広く用いられてい
る。
As the reflective layer, an alloy containing Al as a main component is widely used because it is inexpensive and has excellent environmental resistance.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】従来の4層構造の相変
化型光記録媒体においては、オーバーライトを行った
際、記録層でのレーザ光の吸収は、一般に非晶質状態の
方が結晶状態よりも大きいため、記録ピットを形成する
際、記録前の状態が結晶状態か非晶質状態かにより形成
される記録ピットの形状や大きさにばらつきが生じ、こ
のばらつきがジッターの増加、ウインドウマージンの減
少および消去比の低下が発生するという問題があった。
In a conventional phase change type optical recording medium having a four-layer structure, upon overwriting, the absorption of laser light in the recording layer is generally more crystalline in the amorphous state. Since the size of the recording pit is larger than that of the recording pit, the shape and size of the recording pit formed when the recording pit is formed depends on whether the state before recording is a crystalline state or an amorphous state. There is a problem that the margin is reduced and the erase ratio is reduced.

【0009】特にピットエッジ記録においては、データ
をピットの両端に乗せるため、記録ピットの形状や大き
さのばらつきが直接エラーとなってしまい、相変化型光
ディスクの記録密度向上を阻害する要因となっていた。
本発明は、このような課題を解決するためのものであ
り、記録前の記録層の状態に依らず均一な大きさ、形状
のピットを形成することを課題とする。
Particularly in pit edge recording, since data is placed on both ends of the pit, variations in the shape and size of the recording pits directly cause an error, which becomes a factor that hinders the improvement of the recording density of the phase change optical disk. Was there.
The present invention is intended to solve such a problem, and an object thereof is to form pits having a uniform size and shape regardless of the state of the recording layer before recording.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、消去比が
高く、またオーバーライト前の記録層の状態によらず、
オーバーライトにより形状や大きさにばらつきのない記
録ピットを形成できる相変化型光記録媒体を開発すべく
鋭意研究を重ねた結果、記録層と反射層の間の保護層と
して、カーボン層を用いることによりその課題を達成し
うることを見い出し、この知見に基づいて本発明を完成
するに至った。
The present inventors have found that the erasing ratio is high and the erasing ratio does not depend on the state of the recording layer before overwriting.
As a result of intensive research to develop a phase change type optical recording medium capable of forming recording pits with uniform shape and size by overwriting, use of a carbon layer as a protective layer between the recording layer and the reflective layer As a result, they have found that the problem can be achieved, and have completed the present invention based on this finding.

【0011】すなわち本発明は、光を照射することによ
って情報の記録、消去および再生が可能な相変化型光記
録媒体において、透明基板上に、誘電体層、記録層、カ
ーボン層、反射層を順次積層した構造であることを特徴
とする光記録媒体である。一般に結晶状態の記録層は非
晶質状態に比較して、熱伝導率が大きく、溶融するため
には潜熱分の熱量が必要であり、非晶質状態よりも記録
ピットを形成するためには大きな熱量を必要とする。
That is, according to the present invention, in a phase change type optical recording medium capable of recording, erasing and reproducing information by irradiating light, a dielectric layer, a recording layer, a carbon layer and a reflective layer are formed on a transparent substrate. An optical recording medium having a structure in which layers are sequentially stacked. In general, a recording layer in a crystalline state has a higher thermal conductivity than that in an amorphous state, and a heat amount corresponding to the latent heat is required for melting, and it is necessary to form a recording pit more than an amorphous state. Requires a large amount of heat.

【0012】従って、記録前の記録層が結晶状態である
か非晶質状態であるかに関わらず同じ大きさの記録ピッ
トを形成するためには、結晶状態の吸収量は非晶質状態
の吸収量よりも大きいことが望ましい。しかし、従来の
相変化型光記録媒体では、信号振幅を大きくしたり、繰
り返し特性を向上させる観点から、記録層の上に設けら
れた誘電体層または反射層により多重干渉が起こり、非
晶質状態の吸収率の方が結晶状態の値よりも大きくなっ
ていた。従って図5に示すように、記録前に非晶質状態
であった領域の上に記録されたピットは、結晶状態であ
った領域の上に記録されたピットと形状が異なってしま
う。
Therefore, in order to form recording pits of the same size regardless of whether the recording layer before recording is in the crystalline state or the amorphous state, the absorption amount of the crystalline state is in the amorphous state. It is desirable that it is larger than the absorption amount. However, in the conventional phase change type optical recording medium, from the viewpoint of increasing the signal amplitude and improving the repeating characteristics, multiple interference occurs due to the dielectric layer or the reflective layer provided on the recording layer, and The absorptance of the state was larger than that of the crystalline state. Therefore, as shown in FIG. 5, the pits recorded on the region that was in the amorphous state before recording have a different shape from the pits recorded on the region that was in the crystalline state.

【0013】一方、本発明の相変化型光記録媒体によれ
ば、記録層と反射層の間の保護層としてカーボン層を用
いることにより、非晶質状態の記録層へのレーザ光の吸
収を低減し、結晶状態の記録層のレーザ光の吸収以下と
することができる。従って、図4に示すように、記録前
の記録層の状態によらず、記録ピットの形状や大きさの
ばらつきを低減できる。
On the other hand, according to the phase-change optical recording medium of the present invention, by using the carbon layer as the protective layer between the recording layer and the reflective layer, absorption of laser light into the amorphous recording layer is prevented. It is possible to reduce the amount of laser light to be equal to or less than the absorption of the laser light of the recording layer in the crystalline state. Therefore, as shown in FIG. 4, variations in the shape and size of the recording pits can be reduced regardless of the state of the recording layer before recording.

【0014】なお、カーボン層を記録層に積層する構造
については、記録感度の向上を目的とした提案(特開平
3−100936号)がなされている。特開平3−10
0936号の提案は、記録層にカーボン層を50nm以
上500nm以下積層する構造である。しかしながら、
本発明のようにカーボン層上に反射層を設けた構造の場
合、カーボン層の膜厚が50nm以上500nm以下の
膜厚範囲では、光学的コントラストが小さくなり、C/
N比が十分にとれなくなってしまう。また、カーボン層
が50nm以上500nm以下と非常に厚く徐冷構造と
なるため、繰り返し記録による物質移動が非常に大きく
なる。
Regarding the structure in which the carbon layer is laminated on the recording layer, a proposal (Japanese Patent Laid-Open No. 3-100936) aimed at improving the recording sensitivity has been made. Japanese Patent Laid-Open No. 3-10
The proposal of No. 0936 is a structure in which a carbon layer is laminated on the recording layer in a thickness of 50 nm or more and 500 nm or less. However,
In the case of the structure in which the reflective layer is provided on the carbon layer as in the present invention, when the thickness of the carbon layer is 50 nm or more and 500 nm or less, the optical contrast decreases and C /
The N ratio cannot be taken sufficiently. Moreover, since the carbon layer has a very thick and gradually cooled structure of 50 nm or more and 500 nm or less, mass transfer due to repeated recording becomes extremely large.

【0015】さらに50nm以上500nm以下のカー
ボン層膜厚でも結晶状態の吸収率を非晶質状態の吸収率
以上にすることは可能であるが、徐冷構造のため記録膜
面内の温度分布が急峻になり、ピット端の消し残りが生
じやすく消去比向上がはかれない。したがって本発明に
おいて、カーボン層膜厚50nm以上500nm以下の
範囲は用いることはできない。
Further, even if the carbon layer thickness is 50 nm or more and 500 nm or less, the absorptance in the crystalline state can be made higher than or equal to the absorptance in the amorphous state. It becomes steep, and the unerased portion of the pit end is liable to occur, and the erasing ratio cannot be improved. Therefore, in the present invention, the range of the carbon layer film thickness of 50 nm or more and 500 nm or less cannot be used.

【0016】本発明の相変化型光記録媒体の層構造は、
図1に示すように、透明基板1上に、誘電体層2、記録
層3、カーボン層4、反射層5を順次積層した構造であ
る。本発明の相変化型光記録媒体のカーボン層の膜厚
は、2nm以上40nm以下である必要がある。カーボ
ン層の膜厚が2nmより薄いとカーボン層での吸収が不
十分で、非晶質状態の記録層での吸収が大きくなり、結
晶状態の記録層の吸収を、非晶質状態の記録層での吸収
以上にすることができない。
The layer structure of the phase change type optical recording medium of the present invention is as follows:
As shown in FIG. 1, it has a structure in which a dielectric layer 2, a recording layer 3, a carbon layer 4, and a reflective layer 5 are sequentially laminated on a transparent substrate 1. The thickness of the carbon layer of the phase-change optical recording medium of the present invention needs to be 2 nm or more and 40 nm or less. When the thickness of the carbon layer is less than 2 nm, the absorption in the carbon layer is insufficient, the absorption in the amorphous recording layer is large, and the absorption in the crystalline recording layer is larger than that in the amorphous recording layer. Can't do more than absorb in.

【0017】カーボン層の膜厚が40nmより厚いと光
学的なコントラストが小さくなり、信号強度の低下など
が発生する。また、カーボン層の膜厚が40nmより厚
いと急冷条件を保つことが困難となり、繰り返し特性の
低下、消去比の低下が発生する。このようにカーボン層
の膜厚は2nm以上40nm以下の範囲が適当である
が、更に5nm以上30nm以下の範囲がより望まし
い。
When the thickness of the carbon layer is thicker than 40 nm, the optical contrast becomes small, and the signal strength is lowered. Further, if the thickness of the carbon layer is thicker than 40 nm, it becomes difficult to maintain the rapid cooling conditions, and the repetitive characteristics and the erasing ratio deteriorate. As described above, the thickness of the carbon layer is appropriately in the range of 2 nm to 40 nm, and more preferably in the range of 5 nm to 30 nm.

【0018】本発明の相変化型光記録媒体のカーボン層
の消衰係数は0.05以上であることが好ましい。消衰
係数が0.05より小さいとカーボン層においてレーザ
光の吸収がほとんどなされず、多重干渉による非晶質状
態の記録層への吸収が発生してしまう。従って、カーボ
ン層の消衰係数は0.05以上の範囲が適当であるが、
更に0.1以上がより望ましい。成膜方法としてはスパ
ッタ法、蒸着法等の公知の方法が可能であるが、透明な
ダイヤモンド構造となるような形成方法は好ましくな
い。
The extinction coefficient of the carbon layer of the phase change optical recording medium of the present invention is preferably 0.05 or more. If the extinction coefficient is less than 0.05, the carbon layer hardly absorbs the laser light, and the multiple interference causes absorption in the amorphous recording layer. Therefore, it is appropriate that the extinction coefficient of the carbon layer is 0.05 or more,
Furthermore, 0.1 or more is more desirable. As a film forming method, a known method such as a sputtering method or a vapor deposition method can be used, but a forming method having a transparent diamond structure is not preferable.

【0019】本発明の相変化型光記録媒体における基板
と記録層の間に設けられる誘電体層の膜厚は100nm
以上400nm以下であることが好ましい。誘電体層の
膜厚が100nmより薄いと繰り返し記録を行ったとき
に基板への熱的ダメージが大きく信号品質が低下する。
また、誘電体層の膜厚が400nmより厚いと成膜に時
間がかかり、さらに成膜時に発生する熱の影響により基
板変形が発生する恐れがある。
The film thickness of the dielectric layer provided between the substrate and the recording layer in the phase change optical recording medium of the present invention is 100 nm.
It is preferably not less than 400 nm and not more than 400 nm. If the film thickness of the dielectric layer is less than 100 nm, the thermal damage to the substrate will be great and the signal quality will be degraded when recording is repeated.
Further, if the film thickness of the dielectric layer is thicker than 400 nm, it takes time to form the film, and further, the substrate may be deformed due to the influence of heat generated during the film formation.

【0020】本発明の効果は非晶質状態の記録層を通過
する光量が多いほど大きくなる。従って、反射率が最小
となる誘電体層膜厚において最大の効果を発揮し、その
近傍の膜厚であることが望ましい。従って、誘電体層の
膜厚は200nm以上300nm以下の範囲がさらに望
ましい。本発明の相変化型光記録媒体における記録層の
膜厚は10nm以上50nm以下が好ましい。記録層の
膜厚が10nmより薄いと結晶状態と非晶質状態との反
射率差が小さくなり、信号品質が低下する。また、記録
層膜厚が50nmより厚いと非晶質状態の記録層での吸
収が大きくなり、結晶状態の記録層の吸収を、非晶質状
態の記録層での吸収以上にすることができない。記録層
の膜厚は前述の理由により最適範囲が存在し10nm以
上50nm以下の範囲が適当であるが、更に20nm以
上35nm以下の範囲がより望ましい。
The effect of the present invention becomes greater as the amount of light passing through the amorphous recording layer increases. Therefore, it is desirable that the maximum effect is exhibited in the thickness of the dielectric layer where the reflectance is minimum, and the thickness is in the vicinity thereof. Therefore, the film thickness of the dielectric layer is more preferably 200 nm or more and 300 nm or less. The film thickness of the recording layer in the phase change optical recording medium of the present invention is preferably 10 nm or more and 50 nm or less. When the film thickness of the recording layer is less than 10 nm, the difference in reflectance between the crystalline state and the amorphous state becomes small and the signal quality deteriorates. Further, if the recording layer thickness is thicker than 50 nm, the absorption in the amorphous recording layer becomes large, and the absorption in the crystalline recording layer cannot exceed the absorption in the amorphous recording layer. . The thickness of the recording layer has an optimum range for the above-mentioned reason, and a range of 10 nm or more and 50 nm or less is suitable, but a range of 20 nm or more and 35 nm or less is more preferable.

【0021】本発明の相変化型光記録媒体における記録
層の材料としては公知の相変化材料が使用可能であり、
例えばGeTe系、GeTeSb系、InSb系または
これらの系の少量の元素を添加した系などが上げられ
る。本発明の相変化型光記録媒体に用いられる基板材料
としては、ガラス、ポリプロピレン、アクリル樹脂、ポ
リカーボネート樹脂、スチレン樹脂、塩化ビニル樹脂エ
ポキシ樹脂、ポリオレフィン樹脂などの透明材料が挙げ
られるが、これらの中でポリカーボネート樹脂およびア
クリル樹脂が光学的特性面で好適である。
As the material of the recording layer in the phase change type optical recording medium of the present invention, known phase change materials can be used.
For example, a GeTe system, a GeTeSb system, an InSb system, or a system to which a small amount of elements of these systems are added may be used. Examples of the substrate material used in the phase change type optical recording medium of the present invention include transparent materials such as glass, polypropylene, acrylic resin, polycarbonate resin, styrene resin, vinyl chloride resin epoxy resin, and polyolefin resin. Therefore, polycarbonate resin and acrylic resin are preferable in terms of optical characteristics.

【0022】本発明の相変化型光記録媒体の誘電体層の
材料としては公知の誘電体材料が使用可能であり、Zn
S、SiO2 、SiN、AlN、Al2 3 、Ta2
5 等の金属硫化物、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化
物、金属セレン化物、またはこれらの混合物などが挙げ
られる。本発明の相変化型光記録媒体の反射層の材料と
しては、公知の材料が使用でき、Al、Au、Ni、C
r等の金属やこれらの合金、またはこれらの金属や合金
に小量の元素を添加したものなどが挙げられる。
As the material of the dielectric layer of the phase change type optical recording medium of the present invention, known dielectric materials can be used.
S, SiO 2 , SiN, AlN, Al 2 O 3 , Ta 2 O
Examples thereof include metal sulfides such as 5 and the like, metal oxides, metal nitrides, metal carbides, metal selenides, and mixtures thereof. As the material of the reflective layer of the phase change type optical recording medium of the present invention, known materials can be used, and Al, Au, Ni, C are used.
Examples thereof include metals such as r, alloys thereof, and those obtained by adding a small amount of element to these metals and alloys.

【0023】本発明の相変化型光記録媒体における記録
膜の形成方法については、特に制限はなく、公知の蒸着
法やスパッタリング法などを用いることが出来る。
The method for forming the recording film in the phase change type optical recording medium of the present invention is not particularly limited, and a known vapor deposition method, sputtering method or the like can be used.

【0024】[0024]

【実施例】次に、実施例により本発明を更に詳細に説明
する。
Next, the present invention will be described in more detail by way of examples.

【0025】[0025]

【実施例1】案内溝を設けた清浄なポリカーボネート基
板上に、厚さ200nmのZnS−SiO2 薄膜からな
る保護層、厚さ25nmのSbTeGe合金薄膜からな
る記録層、厚さ20nmのカーボン層、厚さ150nm
のAl合金薄膜からなる反射層を順次積層した相変化型
光ディスクをスパッタリング法により成膜し、ついで記
録膜表面を紫外線硬化樹脂で被覆した。
Example 1 A protective layer made of a ZnS—SiO 2 thin film having a thickness of 200 nm, a recording layer made of a SbTeGe alloy thin film having a thickness of 25 nm, a carbon layer having a thickness of 20 nm was formed on a clean polycarbonate substrate having guide grooves. 150 nm thickness
A phase-change optical disk in which a reflective layer composed of the Al alloy thin film was sequentially formed by sputtering, and the surface of the recording film was covered with an ultraviolet curable resin.

【0026】こうして作成した片面ディスク2枚を記録
面が内側になるようにホットメルト接着剤で接着し全面
密着構造の光ディスクとした。こうして作成した光ディ
スクを線速度15m/secで回転させ、パルス幅20
nsec、周波数16MHzと6MHzを図2に示すよ
うな記録波形で交互にオーバーライトし、それぞれの周
波数の消去比を測定した。この時の光学系は、波長λ=
680nm、対物レンズのNAはNA=0.6、バイア
スパワーは5mW、ピークパワーは13mWである。
The two single-sided discs thus prepared were adhered with a hot melt adhesive so that the recording surface was on the inside, to obtain an optical disc having a full-face contact structure. The optical disc thus created was rotated at a linear velocity of 15 m / sec and a pulse width of 20
nsec, frequencies 16 MHz and 6 MHz were alternately overwritten with a recording waveform as shown in FIG. 2, and the erasing ratio of each frequency was measured. At this time, the optical system has a wavelength λ =
680 nm, NA of the objective lens is NA = 0.6, bias power is 5 mW, and peak power is 13 mW.

【0027】その結果、6MHzの信号が記録してあっ
た上に16MHzの信号をオーバーライトしたとき、1
6MHzのC/N比は50dB以上が得られ、6MHz
の信号の消去比は28dBであり、後述する比較例1の
光ディスクに比較して8dBの消去比改善がはかれた。
この時の波形を観察すると図6に示すような波形であ
り、振幅変調は全く見られなかった。
As a result, when the signal of 6 MHz is recorded and the signal of 16 MHz is overwritten, 1
The C / N ratio of 6 MHz is 50 dB or more, and 6 MHz
The erasing ratio of the signal is 28 dB, and the erasing ratio is improved by 8 dB as compared with the optical disc of Comparative Example 1 described later.
When the waveform at this time was observed, the waveform was as shown in FIG. 6, and no amplitude modulation was observed.

【0028】また10万回の繰り返し記録を行ったとこ
ろ、ジッターは初期と変わらず、ビットエラーレートも
悪化しなかった。
When recording was repeated 100,000 times, the jitter was the same as at the beginning and the bit error rate did not deteriorate.

【0029】[0029]

【実施例2】案内溝を設けた清浄なポリカーボネート基
板上に、厚さ200nmのZnS−SiO2 薄膜からな
る保護層、厚さ25nmのSbTeGe合金薄膜からな
る記録層、厚さ10nmのカーボン層、厚さ100nm
のAl合金薄膜からなる反射層を順次積層した相変化型
光ディスクをスパッタリング法により成膜し、ついで記
録膜表面を紫外線硬化樹脂で被覆した。
Example 2 A protective layer made of a ZnS—SiO 2 thin film having a thickness of 200 nm, a recording layer made of a SbTeGe alloy thin film having a thickness of 25 nm, a carbon layer having a thickness of 10 nm, was formed on a clean polycarbonate substrate having guide grooves. Thickness 100nm
A phase-change optical disk in which a reflective layer composed of the Al alloy thin film was sequentially formed by sputtering, and the surface of the recording film was covered with an ultraviolet curable resin.

【0030】こうして作成した片面ディスク2枚を記録
面が内側になるようにホットメルト接着剤で接着し全面
密着構造の光ディスクとした。こうして作成した光ディ
スクを線速度15m/secで回転させ、パルス幅20
nsec、周波数16MHzと6MHzを図2に示すよ
うな記録波形で交互にオーバーライトし、それぞれの周
波数の消去比を測定した。この時の光学系は、波長λ=
680nm、対物レンズのNAはNA=0.6、バイア
スパワーは5mW、ピークパワーは13mWである。
The two single-sided discs thus prepared were adhered to each other with a hot melt adhesive so that the recording surface was on the inside, to obtain an optical disc having a full-face contact structure. The optical disc thus created was rotated at a linear velocity of 15 m / sec and a pulse width of 20
nsec, frequencies 16 MHz and 6 MHz were alternately overwritten with a recording waveform as shown in FIG. 2, and the erasing ratio of each frequency was measured. At this time, the optical system has a wavelength λ =
680 nm, NA of the objective lens is NA = 0.6, bias power is 5 mW, and peak power is 13 mW.

【0031】その結果、6MHzの信号が記録してあっ
た上に16MHzの信号をオーバーライトしたとき、1
6MHzのC/N比は50dB以上が得られ、6MHz
の信号の消去比は27dBであり、後述する比較例1の
光ディスクに比較して7dBの消去比改善がはかれた。
この時の波形を観察すると図6に示すような波形であ
り、振幅変調は全く見られなかった。
As a result, when the signal of 6 MHz was recorded and the signal of 16 MHz was overwritten, 1
The C / N ratio of 6 MHz is 50 dB or more, and 6 MHz
The erasing ratio of the signal is 27 dB, which is 7 dB better than that of the optical disc of Comparative Example 1 described later.
When the waveform at this time was observed, the waveform was as shown in FIG. 6, and no amplitude modulation was observed.

【0032】また10万回の繰り返し記録を行ったとこ
ろ、ジッターは初期と変わらず、ビットエラーレートも
悪化しなかった。
When recording was repeated 100,000 times, the jitter was the same as at the beginning and the bit error rate did not deteriorate.

【0033】[0033]

【比較例1】案内溝を設けた清浄なポリカーボネート基
板上に、厚さ200nmのZnS−SiO2 薄膜からな
る保護層、厚さ25nmのSbTeGe合金薄膜からな
る記録層、厚さ20nmのZnS−SiO2 薄膜からな
る干渉層、厚さ150nmのAl合金薄膜からなる反射
層を順次積層した相変化型光ディスクをスパッタリング
法により成膜し、ついで記録膜表面を紫外線硬化樹脂で
被覆した。こうして作製した片面ディスク2枚を記録面
が内側になるようにホットメルト接着剤で接着し全面密
着構造の光ディスクとした。
Comparative Example 1 A protective layer made of a ZnS—SiO 2 thin film having a thickness of 200 nm, a recording layer made of a SbTeGe alloy thin film having a thickness of 25 nm, and a ZnS—SiO having a thickness of 20 nm were formed on a clean polycarbonate substrate having guide grooves. A phase-change optical disk in which an interference layer composed of two thin films and a reflection layer composed of an Al alloy thin film having a thickness of 150 nm were sequentially laminated was formed by a sputtering method, and then the surface of the recording film was covered with an ultraviolet curable resin. The two single-sided discs thus produced were adhered with a hot melt adhesive so that the recording surface was on the inside, to obtain an optical disc having a full-face contact structure.

【0034】その結果、6MHzの信号が記録してあっ
た上に16MHzの信号をオーバーライトしたときの6
MHzの信号の消去比は20dBであった。この時の波
形を観察したところ、図7に示すような6MHzの周波
数の振幅変調が見られ、明らかにオーバーライト前の記
録層の状態(結晶状態の未記録部と非晶質状態の記録ピ
ット)により形成されるピットの大きさ、形状が変化し
ていることが分かる。
As a result, when the signal of 6 MHz is recorded and the signal of 16 MHz is overwritten, 6
The cancellation ratio of the MHz signal was 20 dB. When the waveform at this time was observed, amplitude modulation at a frequency of 6 MHz as shown in FIG. 7 was observed, and clearly the state of the recording layer before overwriting (the unrecorded portion in the crystalline state and the recording pits in the amorphous state) was observed. It can be seen that the size and shape of the pit formed by) have changed.

【0035】また10万回の繰り返し記録を行ったとこ
ろ、ジッターが大きくなり、ビットエラーレートは大幅
に悪化した。
When recording was repeated 100,000 times, the jitter increased and the bit error rate significantly deteriorated.

【0036】[0036]

【比較例2】案内溝を設けた清浄なポリカーボネート基
板上に、厚さ200nmのZnS−SiO2 薄膜からな
る保護層、厚さ25nmのSbTeGe合金薄膜からな
る記録層、厚さ100nmのカーボン層、厚さ150n
mのAl合金薄膜からなる反射層を順次積層した相変化
型光ディスクをスパッタリング法により成膜し、ついで
記録膜表面を紫外線硬化樹脂で被覆した。
Comparative Example 2 On a clean polycarbonate substrate provided with guide grooves, a protective layer made of a ZnS-SiO 2 thin film having a thickness of 200 nm, a recording layer made of a SbTeGe alloy thin film having a thickness of 25 nm, a carbon layer having a thickness of 100 nm, Thickness 150n
A phase-change type optical disk in which a reflective layer composed of an Al alloy thin film of m was sequentially laminated was formed by a sputtering method, and then the surface of the recording film was covered with an ultraviolet curable resin.

【0037】こうして作成した片面ディスク2枚を記録
面が内側になるようにホットメルト接着剤で接着し全面
密着構造の光ディスクとした。その結果、6MHzの信
号が記録してあった上に16MHzの信号をオーバーラ
イトしたとき、16MHzのC/N比は44dBしか得
られなかった。これはカーボン層の膜厚を厚くした事に
よる光学的な変調度の低下が原因である。
The two single-sided discs thus prepared were adhered with a hot-melt adhesive so that the recording surface was on the inside, to obtain an optical disc having a full-face contact structure. As a result, when the signal of 6 MHz was recorded and the signal of 16 MHz was overwritten, the C / N ratio of 16 MHz was only 44 dB. This is because the optical modulation degree is lowered by increasing the thickness of the carbon layer.

【0038】[0038]

【発明の効果】本発明によれば、書換可能な相変化型光
記録媒体において、透明基板上に、誘電体層、記録層、
カーボン層、反射層を順次積層した構造とすることで、
記録前の記録層の状態が結晶状態であるか非晶質状態で
あるかによらず、記録ピットの形状や大きさのばらつき
を低減させることができる。
According to the present invention, in a rewritable phase change type optical recording medium, a dielectric layer, a recording layer,
By having a structure in which a carbon layer and a reflective layer are sequentially laminated,
Regardless of whether the state of the recording layer before recording is the crystalline state or the amorphous state, it is possible to reduce the variation in the shape and size of the recording pit.

【0039】これによりジッター減少、消去比向上、ウ
インドウマージン増加が図れ、エラーを低減した光記録
媒体を提供することができる。
As a result, it is possible to provide an optical recording medium in which the jitter is reduced, the erasing ratio is improved, the window margin is increased, and the error is reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の光記録媒体の構造を示す断面図であ
る。
FIG. 1 is a sectional view showing the structure of an optical recording medium of the present invention.

【図2】オーバーライト時のレーザービーム強度の波形
図である。
FIG. 2 is a waveform diagram of laser beam intensity during overwriting.

【図3】従来の4層構造の光記録媒体の構造を示す断面
図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing the structure of a conventional four-layer optical recording medium.

【図4】本発明の光記録媒体において、非晶質状態と結
晶状態の上に記録した場合に形成されるピット形状の概
念図である。
FIG. 4 is a conceptual diagram of a pit shape formed when recording is performed on an amorphous state and a crystalline state in the optical recording medium of the present invention.

【図5】従来の光記録媒体において、非晶質状態と結晶
状態の上に記録した場合に形成されるピット形状の概念
図である。
FIG. 5 is a conceptual diagram of a pit shape formed when recording is performed on an amorphous state and a crystalline state in a conventional optical recording medium.

【図6】本発明の光記録媒体における、オーバーライト
後の信号波形である。
FIG. 6 is a signal waveform after overwriting in the optical recording medium of the present invention.

【図7】従来の光記録媒体における、オーバーライト後
の信号波形である。
FIG. 7 is a signal waveform after overwriting in the conventional optical recording medium.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 透明基板 2 誘電体層 3 記録層 4 カーボン層 5 反射層 11 透明基板 12 第1の誘電体層 13 記録層 14 第2の誘電体層 15 反射層 1 Transparent Substrate 2 Dielectric Layer 3 Recording Layer 4 Carbon Layer 5 Reflective Layer 11 Transparent Substrate 12 First Dielectric Layer 13 Recording Layer 14 Second Dielectric Layer 15 Reflective Layer

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光を照射することによって情報の記録、
消去および再生が可能な相変化型光記録媒体において、
透明基板上に、誘電体層、記録層、カーボン層、反射層
を順次積層した構造であり、カーボン層の膜厚が2nm
以上40nm以下であることを特徴とする光記録媒体。
1. Recording of information by irradiating with light,
In a phase change type optical recording medium that can be erased and reproduced,
It has a structure in which a dielectric layer, a recording layer, a carbon layer, and a reflective layer are sequentially stacked on a transparent substrate, and the thickness of the carbon layer is 2 nm.
An optical recording medium having a thickness of 40 nm or more.
【請求項2】 カーボン層の消衰係数が0.05以上で
あることを特徴とする請求項1に記載の光記録媒体。
2. The optical recording medium according to claim 1, wherein the extinction coefficient of the carbon layer is 0.05 or more.
【請求項3】 透明基板と記録層の間に設けられる誘電
体層の膜厚が100nm以上400nm以下であること
を特徴とする請求項1または2に記載の光記録媒体。
3. The optical recording medium according to claim 1, wherein the dielectric layer provided between the transparent substrate and the recording layer has a film thickness of 100 nm or more and 400 nm or less.
【請求項4】記録層の膜厚が10nm以上50nm以下
であることを特徴とする請求項1、2および3に記載の
光記録媒体。
4. The optical recording medium according to claim 1, 2 or 3, wherein the thickness of the recording layer is 10 nm or more and 50 nm or less.
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