JPH08304262A - Standard particle supplying device for adjusting fine particle detector - Google Patents
Standard particle supplying device for adjusting fine particle detectorInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、微粒子検出器を調整
するための標準粒子を含む調整用エアの供給装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a supply device for adjusting air containing standard particles for adjusting a particle detector.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体ＩＣなどを製作するクリーンルー
ム内に存在する塵埃などの微粒子は、微粒子検出器によ
り検出されて、検出データにより清浄度が管理されてい
る。図３は光学式の微粒子検出器１の基本構成を示す。
微粒子検出器１は、検出セル11、レーザ発振器12、エア
流通系13、受光系14、 信号処理部15、 および表示器16よ
りなる。レーザ発振器12はレーザ発振管121 とミラー12
2 よりなり、検出セル11の内部にレーザビームＬを発振
する。一方、クリーンルーム内から採取された大気圧ｐ
0 のサンプルエアＡS は、エア流通系13の排気ポンプＰ
136 の吸引力により、配管131 と開閉バルブ132 を経
て、噴射ノズル133 より検出セル11の内部に噴射され、
これにレーザビームＬが直交して検出領域Ｋが形成さ
れ、検査済みのエアＡO は排出ノズル134 に吸引されて
排気ポンプ136 により排気される。この場合、検出セル
11内のサンプルエアＡS の気圧は大気圧ｐ0 であり、そ
の流量は流量計135 により測定されて、一定の流量、例
えば毎分２８[ｌ]（リットル）に調整される。検出領域
Ｋ内のサンプルエアＡS のエア分子と、これに含まれて
いる微粒子は、ともにレーザビームＬを散乱し、それぞ
れの散乱光は受光系14の集光レンズ141 により集光され
て受光器142 に受光され、受光信号はアンプ143 により
適当なレベルに調整されて信号処理部15に入力する。図
４は信号処理部15における受光信号の処理方法を説明す
るもので、信号処理部15には、図示のように、微粒子の
粒径φ1 〜φm に対応した閾電圧Ｖ1 〜Ｖmが設定され
ており、これに対して受光信号には、エア分子の散乱光
によるレベルＶN のエアノイズと、これに重畳した微粒
子信号Ｓ1 〜Ｓm とがある。各微粒子信号Ｓ1 〜Ｓm
は、それぞれの波高値ｈ1,ｈ2 ……ｈm が所定の閾電圧
Ｖ1 〜Ｖm に比較されて粒径φ1 〜φm 別に検出され、
これらはカウントされて表示器16に表示される。2. Description of the Related Art Fine particles such as dust existing in a clean room for manufacturing semiconductor ICs are detected by a particle detector, and the cleanliness is controlled by the detection data. FIG. 3 shows the basic structure of the optical particle detector 1.
The particle detector 1 includes a detection cell 11, a laser oscillator 12, an air flow system 13, a light receiving system 14, a signal processing unit 15, and a display 16. The laser oscillator 12 includes a laser oscillator tube 121 and a mirror 12.
2 and oscillates the laser beam L inside the detection cell 11. On the other hand, the atmospheric pressure p collected from the clean room
The sample air A S of 0 is the exhaust pump P of the air flow system 13.
By the suction force of 136, it is injected into the detection cell 11 from the injection nozzle 133 through the pipe 131 and the opening / closing valve 132,
The laser beam L is orthogonal to this to form a detection region K, and the inspected air A O is sucked by the discharge nozzle 134 and exhausted by the exhaust pump 136. In this case, the detection cell
The atmospheric pressure of the sample air A S in 11 is the atmospheric pressure p 0 , and its flow rate is measured by the flow meter 135 and adjusted to a constant flow rate, for example, 28 [l] (liter) per minute. The air molecules of the sample air A S in the detection region K and the particles contained therein scatter the laser beam L, and the respective scattered lights are collected by the condenser lens 141 of the light receiving system 14 and received. The light received by the device 142 is adjusted to an appropriate level by the amplifier 143 and input to the signal processor 15. FIG. 4 illustrates a method of processing the received light signal in the signal processing unit 15. In the signal processing unit 15, as shown in the figure, the threshold voltages V 1 to V m corresponding to the particle diameters φ 1 to φ m of the fine particles. On the other hand, the received light signal includes air noise of level V N due to scattered light of air molecules and particle signals S 1 to S m superposed on the air noise. Each particle signal S 1 to S m
Respectively, the respective crest values h 1 , h 2 ... H m are compared with predetermined threshold voltages V 1 to V m and detected for each particle size φ 1 to φ m .
These are counted and displayed on the display 16.
【０００３】上記において、所定の閾電圧Ｖ1 〜Ｖm は
予め設定されるが、これに対して各微粒子信号の波高値
ｈは、その閾電圧Ｖすなわち粒径φに正しく対応するよ
うに、レーザビームＬと受光系14の光軸ズレや、そのア
ンプ143 のゲインなどを調整することが必要であり、こ
の調整には粒径φが判明している標準粒子が使用され
る。図５は、標準粒子による各部の調整方法を説明する
もので、微粒子検出器１に対してアトマイザ２が設けら
れ、アトマイザ２の容器21内には、既知の各種の粒径φ
の標準粒子23を稀釈した純水22が満たされ、吸引ポンプ
25により外気ＡA を吸入し、ヘッパフィルタ（ＨＥＰ・
Ｆ）24により塵埃を除去してクリーンエアＡC とし、こ
れを容器21内に噴射すると、標準粒子23を含む調整用エ
アＡr が発生する。調整用エアＡr は、開閉バルブＢ13
2 を通して噴射ノズル133 により検出セル11内に気圧ｐ
1 で噴射され、そのエア分子と各標準粒子の散乱光を受
光系14に受光し、各標準粒子の受光信号の波高値ｈが、
所定の閾電圧Ｖ1 〜Ｖm に対応するようにアンプ143 の
ゲインなど各部が調整されている。In the above description, the predetermined threshold voltages V 1 to V m are set in advance, whereas the peak value h of each particle signal correctly corresponds to the threshold voltage V, that is, the particle diameter φ. It is necessary to adjust the optical axis deviation between the laser beam L and the light receiving system 14, the gain of the amplifier 143, and the like, and standard particles whose particle diameter φ is known are used for this adjustment. FIG. 5 illustrates a method of adjusting each part using standard particles. An atomizer 2 is provided for the particle detector 1, and a container 21 of the atomizer 2 has various known particle diameters φ.
Pure water 22 diluted with standard particles 23 of is filled with suction pump
The outside air A A is sucked in by the 25, and the hopper filter (HEP
F) 24 removes dust to make clean air A C , and when this air is injected into the container 21, adjustment air A r containing standard particles 23 is generated. The adjusting air Ar is used for the on-off valve B13.
2 through the injection nozzle 133 into the detection cell 11 at atmospheric pressure p
1 , the scattered light of the air molecules and each standard particle is received by the light receiving system 14, and the peak value h of the received signal of each standard particle is
Each unit such as the gain of the amplifier 143 is adjusted so as to correspond to the predetermined threshold voltages V 1 to V m .
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】さて、一般にエア分子
の散乱光の強度は、その気圧すなわち密度に比例するも
のであり、上記においては、検出セル11に吸入された調
整用エアＡr の気圧ｐ1は、変動し易くてしかも調整が
案外難しく、これが変動すると、そのエアノイズがサン
プルエアＡS のそれに対して上下に変動するため、各閾
電圧Ｖ1 〜Ｖm により検出された微粒子の粒径φに誤差
が生ずる。これを図６により説明する。図６において、
各粒径φ1 〜φm に対応する閾電圧Ｖ1 〜Ｖm と、サン
プルエアＡS のエアノイズのレベルＶN とを図４と同一
とする。いまレベルＶN に対して、調整用エアＡr の変
動するレベルＶN'が高さｈU だけ高いとすると、粒径φ
1 〜φm を有する各標準粒子の受光信号Ｓ1'〜Ｓm'は、
レベルＶN'に重畳して上昇し、それぞれの波高値ｈ1'〜
ｈm'は、粒径φ1 〜φm に対応する閾電圧Ｖ1 〜Ｖm に
一致するように調整される。このような調整により、サ
ンプルエアＡS の各微粒子の受光信号の波高値ｈは、よ
り低い閾電圧Ｖに対応するため、実際より小さい粒径と
して検出されて粒径誤差が生ずる。例えば、粒径φ2 の
微粒子は、φ2 以下の粒径として検出される。これに対
してレベルＶN'がレベルＶN より低いときは、上記と反
対に大きい粒径として検出される。このような粒径誤差
は数％以上に達するので、その発生を防止することが重
要な問題であり、そのためには、調整用エアＡr の気圧
ｐ1 の変動を吸収し、かつ、サンプルエアＡS と同じの
大気圧ｐ0 として検出セル11に供給し、両レベルＶN'，
ＶN を一致させて各部を調整することが必要である。こ
の発明は以上に鑑みてなされたもので、標準粒子を含む
調整用エアＡr の気圧ｐ1 の変動を吸収し、安定な大気
圧ｐ0 として検出セル11に供給する装置を提供すること
を目的とする。[SUMMARY OF THE INVENTION Now, the intensity of the scattered light generally air molecules are in proportion to the pressure i.e. density, in the above, pressure adjustment air A r which is taken into detection cell 11 Since p 1 easily fluctuates and is difficult to adjust unexpectedly, and if this fluctuates, the air noise fluctuates up and down with respect to that of the sample air A S , so the particle size of the fine particles detected by the threshold voltages V 1 to V m. An error occurs in the diameter φ. This will be described with reference to FIG. In FIG.
A threshold voltage V 1 ~V m corresponding to Kakutsubu径phi 1 to [phi] m, and a level V N of Eanoizu sample air A S is the same as FIG. Respect now level V N, the level V N 'varying the adjustment air A r is the only high height h U, the particle diameter φ
The received light signals S 1 'to S m ' of each standard particle having 1 to φ m are
'Rise is superimposed on the respective peak value h 1' level V N ~
h m 'is adjusted to match the threshold voltages V 1 to V m corresponding to the particle diameters φ 1 to φ m . By such adjustment, the peak value h of the received light signal of each fine particle of the sample air A S corresponds to the lower threshold voltage V, so that it is detected as a particle size smaller than the actual particle size, and a particle size error occurs. For example, fine particles having a particle size of phi 2 is detected as the particle diameter of phi 2 below. On the other hand, when the level V N 'is lower than the level V N , a large particle size is detected, which is contrary to the above. Since such a particle diameter error reaches more than a few%, it is important problem to prevent its occurrence, for which absorbs the fluctuation of the air pressure p 1 of the adjustment air A r, and the sample air It is supplied to the detection cell 11 as the atmospheric pressure p 0 which is the same as A S, and both levels V N ',
It is necessary to match V N and adjust each part. The present invention has been made in view of the above, and it is an object of the present invention to provide a device that absorbs fluctuations in the atmospheric pressure p 1 of the adjusting air Ar containing standard particles and supplies the stable atmospheric pressure p 0 to the detection cell 11. To aim.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】この発明は、微粒子検出
器調整用の標準粒子供給装置であって、前記の微粒子検
出器の各部の調整において、アトマイザに接続して設け
られ、アトマイザより流入する調整用エアの流量に比較
して十分に大きい容量を有し、クリーンエアが自由に流
入して大気圧の雰囲気に維持され、流入する調整用エア
の気圧の変動を吸収し、大気圧として検出セルに供給す
るバッファチャンバと、バッファチャンバに対して設け
られ、吸入した外気エアより塵埃を除去してクリーンエ
アを作成するヘッパフィルタ、とにより構成される。上
記のバッファチャンバは２分割可能な球形とし、その上
端の中央部に設けられ、クリーンエアと調整用エアに対
する吸入孔と、その下部の周囲に対称的に設けられ、複
数組の微粒子検出器の検出セルに接続する排出パイプと
を有する。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is a standard particle supply device for adjusting a particle detector, which is provided in connection with an atomizer for adjusting each part of the particle detector, and flows from the atomizer. It has a capacity that is sufficiently larger than the flow rate of the adjustment air, clean air freely flows in and is maintained in an atmosphere of atmospheric pressure, absorbs fluctuations in the atmospheric pressure of the inflowing adjustment air, and detects it as atmospheric pressure. It is composed of a buffer chamber for supplying to the cell, and a heppa filter which is provided for the buffer chamber and removes dust from the sucked outside air to create clean air. The buffer chamber has a spherical shape that can be divided into two, is provided at the center of the upper end of the buffer chamber, and is provided symmetrically around the suction holes for the clean air and the adjusting air and around the lower part thereof. An exhaust pipe connected to the detection cell.
【０００６】[0006]
【作用】上記の標準粒子供給装置においては、アトマイ
ザに接続して設けたバッファチャンバは、これに流入す
る調整用エアの流量に比較して十分に大きい容量を有
し、ヘッパフィルタにより塵埃が除去されたクリーンエ
アは、バッファチャンバに自由に流入して大気圧の雰囲
気に維持され、これに流入した調整用エアの気圧変動
は、この雰囲気に吸収されて安定な大気圧となって、微
粒子検出器の検出セルに供給される。これにより、微粒
子検出器の受光器が出力する調整用エアのエアノイズの
レベルは、サンプルエアのそれと同一となるので、微粒
子検出器の各部を正しく調整することができて粒径誤差
の発生が防止される。上記の球形のバッファチャンバに
は、その上端の中央部に設けた吸入孔より、クリーンエ
アと調整用エアとが吸入され、その下部の周囲に対称的
に設けた複数個の排出パイプは、複数組の微粒子検出器
の検出セルに接続されて、各検出セルに対して調整用エ
アが供給されてそれぞれの各部の調整がなされ、また
は、１組の微粒子検出器の調整をなして基準とし、他の
各微粒子検出器をこの基準に対して較正することができ
る。なお、バッファチャンバは２分割可能であるので、
内部の清掃には好都合である。In the above standard particle feeder, the buffer chamber connected to the atomizer has a sufficiently large capacity as compared with the flow rate of the adjusting air flowing into the atomizer, and the dust is removed by the hopper filter. The clean air freely flows into the buffer chamber and is maintained in an atmosphere of atmospheric pressure, and the fluctuation of the atmospheric pressure of the adjusting air that has flowed into the buffer chamber is absorbed in this atmosphere and becomes stable atmospheric pressure. Is supplied to the detection cell of. As a result, the air noise level of the adjustment air output from the photodetector of the particle detector becomes the same as that of the sample air, so that each part of the particle detector can be adjusted correctly and particle size error is prevented. To be done. Into the spherical buffer chamber, clean air and adjusting air are sucked through a suction hole provided at the center of the upper end of the spherical buffer chamber, and a plurality of discharge pipes symmetrically provided around the lower part of the buffer chamber are provided. Connected to the detection cells of a set of particle detectors, adjustment air is supplied to each detection cell to adjust each part, or one set of particle detectors is used as a reference, Each other particle detector can be calibrated against this reference. In addition, since the buffer chamber can be divided into two,
It is convenient for cleaning the inside.
【０００７】[0007]
【実施例】図１は、この発明の標準粒子供給装置の一実
施例における構成図、図２は、図１に対する微粒子検出
器の調整方法の説明図である。図１において、標準粒子
供給装置３は、図示しない適当な支持台に固定された球
形のバッファチャンバ31と、その上端に設けた吸入パイ
プ32、これに接続されたヘッパフィルタ（ＨＥＰ・Ｆ）
33、バッファチャンバ31の下部の周囲に対称的に設けた
複数個（図では４個）の排出パイプ34a 〜34d よりな
る。バッファチャンバ31は、内部の清掃が便利なよう
に、フランジ311,312 を有する２個の半球を結合して分
割可能に形成し、その半径Ｒは、例えば０．５[ｍ]とさ
れる。また、吸入パイプ32には調整弁26を介してアトマ
イザ２が接続され、各排出パイプ34a〜34d には、４組
の微粒子検出器１Ａ〜１Ｄの検出セル11が、それぞれの
開閉バルブ132 により接続される。ヘッパフィルタ33
は、上側が外気ＡA に対して開放され、外気ＡA に含ま
れている塵埃を除去してクリーンエアＡC とし、これが
吸入パイプ32によりバッファチャンバ31の内部に自由に
流入して、内部は大気圧ｐ0 の雰囲気に維持される。一
方、アトマイザ２よりの種々の粒径φの標準粒子を含む
調整用エアＡr(ｐ1 )は、流入量が調整弁26により調整
されてバッファチャンバ31の内部に流入し、クリーンエ
アＡC と混合される。いま、各検出セル11に供給する調
整用エアＡr の流量を、前記例示したサンプルエアＡS
と同一の毎分２８[ｌ]とすると、４組を同時に調整する
場合は、毎分約１１０[ｌ]となる。これに対して半径が
０．５[ｍ]のバッファチャンバ31の容積は約５３０[ｌ]
でほぼ５倍である。このため、クリーンエアＡC に混合
した調整用エアＡr の気圧ｐ1 は、クリーンエアＡC に
より平均化されて大気圧ｐ0 となるとともに、変動が吸
収されて安定した調整用エアＡr'となって、各検出セル
11に対してそれぞれ供給される。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of a standard particle supply device of the present invention, and FIG. In FIG. 1, the standard particle supply device 3 includes a spherical buffer chamber 31 fixed to an appropriate support (not shown), a suction pipe 32 provided at the upper end thereof, and a heppa filter (HEP / F) connected thereto.
33, a plurality of (four in the figure) discharge pipes 34a to 34d symmetrically provided around the lower portion of the buffer chamber 31. The buffer chamber 31 is formed by connecting two hemispheres having flanges 311 and 312 so as to be separable, and the radius R thereof is set to 0.5 [m], for example, for convenient cleaning of the inside. Further, the atomizer 2 is connected to the suction pipe 32 through the adjusting valve 26, and the detection cells 11 of the four sets of particle detectors 1A to 1D are connected to the discharge pipes 34a to 34d by the respective opening / closing valves 132. To be done. Heppa Filter 33
, The upper is open to the outside air A A, and clean air A C to remove dust contained in the outside air A A, which is free to flow into the buffer chamber 31 by the suction pipe 32, the internal Is maintained at an atmospheric pressure p 0 . On the other hand, the adjusting air A r (p 1 ) containing standard particles with various particle diameters φ from the atomizer 2 is adjusted by the adjusting valve 26 to flow into the buffer chamber 31, and the clean air A C is supplied. Mixed with. Now, the flow rate of the adjusting air A r supplied to each detection cell 11 is set to the sample air A S as exemplified above.
The same 28 [l] per minute is about 110 [l] per minute when four sets are adjusted simultaneously. On the other hand, the volume of the buffer chamber 31 having a radius of 0.5 [m] is about 530 [l].
It is about 5 times. Therefore, air pressure p 1 of the adjustment air A r mixed in clean air A C is the clean air A with been averaged the atmospheric pressure p 0 by C, the variation is absorbed and stable adjustment air A r 'Become each detection cell
It is supplied to 11 each.
【０００８】以上により、各検出セル11に供給された大
気圧ｐ0 の調整用エアＡr'のエアノイズは、サンプルエ
アＡS のそれと等しいので、各微粒子検出器１Ａ〜１Ｄ
の各部は正当に調整される。図２において、サンプルエ
アＡS のノイズレベルＶN に等しい調整用エアＡr'のノ
イズレベルＶN'には、粒径φ1 〜φm を有する標準粒子
の受光信号Ｓ1'〜Ｓm'が重畳しており、それぞれの波高
値ｈ1'〜ｈm'が、所定の各閾電圧Ｖ1 〜Ｖmに一致する
ように、アンプ143 のゲインなどの各部が調整される。
このような調整により、被検査のサンプルエアＡS の微
粒子は、粒径誤差が生ずることなく粒径φが正しく検出
されるわけである。なお上記の調整は、各微粒子検出器
１Ａ〜１Ｄに対して同じように行ってもよいが、１組の
微粒子検出器、例えば１Ａを調整して基準とし、他の１
Ｂ，１Ｃ，１Ｄを、この基準に対して較正することでも
よく、この方法によれば各微粒子検出器相互間に、検出
特性の相違が生ずることがない。As described above, the air noise of the adjusting air A r 'at the atmospheric pressure p 0 supplied to each detection cell 11 is equal to that of the sample air A S , so that the particle detectors 1A to 1D are used.
Each part of is properly adjusted. 2, the sample air A in the 'noise level V N of the' noise level V N equal adjustment air A r S, the light receiving signal S 1 'to S m of standard particles having a particle size phi 1 to [phi] m 'Is superposed, and the respective parts such as the gain of the amplifier 143 are adjusted so that the respective peak values h 1 ' to h m 'match the respective predetermined threshold voltages V 1 to V m .
By such adjustment, the particle diameter φ of the fine particles of the sample air A S to be inspected can be correctly detected without causing a particle diameter error. The above adjustment may be performed in the same manner for each of the particle detectors 1A to 1D, but one set of particle detectors, for example 1A, is adjusted and used as a reference, and the other particles are detected.
It is also possible to calibrate B, 1C and 1D with respect to this standard, and this method does not cause a difference in detection characteristic between the particle detectors.
【０００９】[0009]
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明の標準粒
子供給装置によれば、アトマイザが発生する気圧が変動
する調整用エアは、大容量のバッファチャンバに流入
し、その内部に維持されている大気圧のクリーンエアに
混合されて、変動が吸収され、安定な大気圧として微粒
子検出器の検出セルに供給されるので、その受光系が出
力する調整用エアのエアノイズは、サンプルエアのエア
ノイズと同一レベルとなって、微粒子検出器の各部が正
しく調整されて、サンプルエアの微粒子検出における粒
径誤差の発生が防止され、さらにこの標準粒子供給装置
には、外気よりクリーンエアを作るためのヘッパフィル
タと、複数組の微粒子検出器を並列に調整できる機能と
が考慮されており、微粒子検出器の正確で効率的な調整
に対して寄与する効果には、大きいものがある。As described above, according to the standard particle supply device of the present invention, the adjusting air generated by the atomizer, in which the atmospheric pressure fluctuates, flows into the large capacity buffer chamber and is maintained therein. The noise is mixed with the clean air at atmospheric pressure, the fluctuations are absorbed, and the stable atmospheric pressure is supplied to the detection cell of the particle detector. At the same level as the above, each part of the particle detector is adjusted correctly to prevent the generation of particle size error in the particle detection of sample air. Furthermore, this standard particle supply device is designed to produce clean air from the outside air. The hepa filter and the function of adjusting multiple sets of particle detectors in parallel are taken into consideration, which contributes to accurate and efficient adjustment of the particle detectors. The, there is a larger.
【図１】図１は、この発明の標準粒子供給装置の一実施
例における構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of a standard particle supply device of the present invention.
【図２】図２は、図１に対する微粒子検出器の調整方法
の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a method for adjusting the particle detector with respect to FIG.
【図３】図３は、微粒子検出器の基本構成図である。FIG. 3 is a basic configuration diagram of a particle detector.
【図４】図４は、受光信号の処理方法の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a method of processing a received light signal.
【図５】図５は、標準粒子による微粒子検出器の調整方
法の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a method for adjusting a particle detector using standard particles.
【図６】図６は、微粒子検出器の調整不良により生ず
る、微粒子の粒径誤差の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a particle size error of fine particles caused by a poor adjustment of the fine particle detector.
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ…微粒子検出器、11…検出
セル、12…レーザ発振器、13…エア流通系、132 …開閉
バルブ、133 …噴射ノズル、134 …排出ノズル、135 …
流量計、136 …排気ポンプ、14…受光系、141 …集光レ
ンズ、142 …受光器、143 …アンプ、15…信号処理部、
16…表示器、２…アトマイザ、21…容器、22…純水、23
…標準粒子、24…ヘッパフィルタ（ＨＥＰ・Ｆ）、25…
吸引ポンプ、26…調整弁、３…この発明の標準粒子供給
装置、31…バッファチャンバ、311,312 …フランジ、32
…吸入パイプ、33…ヘッパフィルタ（ＨＥＰ・Ｆ）、34
a 〜34d …排出パイプ、ＡS …サンプルエア、Ａ0 …検
査済みエア、ＡC …クリーンエア、ＡA …外気、Ａr …
標準粒子を含む調整用エア、Ａr'…クリーンエアと混合
した調整用エア、φ，φ1 〜φm …微粒子または標準粒
子の粒径、Ｖ，Ｖ1 〜Ｖm …閾電圧、ＶN …サンプルエ
アのノイズレベル、ＶN'…調整用エアのノイズレベル、
Ｓ1 〜Ｓm …微粒子の受光信号、ｈ1 〜ｈm …微粒子の
受光信号の波高値、Ｓ1'〜Ｓm'…標準粒子の受光信号、
ｈ1'〜ｈm'…標準粒子の受光信号の波高値 ｐ0 …大気圧、ｐ1 …調整用エアの気圧。1, 1A, 1B, 1C, 1D ... Particle detector, 11 ... Detection cell, 12 ... Laser oscillator, 13 ... Air flow system, 132 ... Open / close valve, 133 ... Injection nozzle, 134 ... Discharge nozzle, 135 ...
Flowmeter, 136 ... Exhaust pump, 14 ... Light receiving system, 141 ... Condensing lens, 142 ... Photoreceiver, 143 ... Amplifier, 15 ... Signal processing unit,
16 ... Indicator, 2 ... Atomizer, 21 ... Container, 22 ... Pure water, 23
… Standard particles, 24… Heppa filters (HEP ・ F), 25…
Suction pump, 26 ... Regulator valve, 3 ... Standard particle supply device of the present invention, 31 ... Buffer chamber, 311, 312 ... Flange, 32
… Suction pipe, 33… Hepper filter (HEP ・ F), 34
a ~34d ... exhaust pipe, A S ... sample air, A 0 ... tested the air, A C ... clean air, A A ... fresh air, A r ...
Adjusting air containing standard particle, A r '... clean air mixed with adjusting air, φ, φ 1 ~φ m ... diameter, V, V 1 ~V m ... threshold voltage of the fine or standard particles, V N … Noise level of sample air, V N '… Noise level of adjustment air,
S 1 to S m ... Received light signal of fine particles, h 1 to h m ... Crest value of received light signal of fine particles, S 1 'to S m ' ... Received signal of standard particles,
h 1 'to h m ' ... Crest value of received light signal of standard particle p 0 ... atmospheric pressure, p 1 ... atmospheric pressure of adjusting air.
Claims (2)
む大気圧より大きい圧力の調整用エアを、微粒子検出器
の検出セル内に吸入し、該調整用エアに対してレーザビ
ームを直交させ、該標準粒子の散乱光を受光した受光器
の受光信号による、該微粒子検出器の各部の調整におい
て、該アトマイザに接続して設けられ、該アトマイザよ
り流入する調整用エアの流量に比較して十分に大きい容
量を有し、クリーンエアが自由に流入して大気圧の雰囲
気に維持され、該流入する調整用エアの気圧の変動を吸
収し、大気圧として前記検出セルに供給するバッファチ
ャンバと、該バッファチャンバに対して設けられ、吸入
した大気エアより塵埃を除去して前記クリーンエアを作
成するヘッパフィルタ、とにより構成されたことを特徴
とする、微粒子検出器調整用の標準粒子供給装置。1. An adjusting air generated by an atomizer and having a pressure higher than atmospheric pressure containing standard particles is sucked into a detection cell of a fine particle detector, and a laser beam is made orthogonal to the adjusting air, In the adjustment of each part of the particle detector by the light reception signal of the light receiver that receives the scattered light of the standard particles, it is provided in connection with the atomizer and is sufficiently compared with the flow rate of the adjusting air flowing from the atomizer. A buffer chamber having a large capacity, in which clean air freely flows and is maintained in an atmosphere of atmospheric pressure, absorbs fluctuations in the atmospheric pressure of the adjusting air that flows in, and supplies the air as atmospheric pressure to the detection cell; A fine particle detector, which is provided for the buffer chamber, and which comprises a heppa filter for removing dust from the sucked atmospheric air to create the clean air. Instrument adjustments standard particle feeder for.
とし、その上端の中央部に設けられ、前記クリーンエア
と調整用エアに対する吸入孔と、その下部の周囲に対称
的に設けられ、複数組の前記微粒子検出器の検出セルに
接続する排出パイプとを有することを特徴とする、請求
項１記載の微粒子検出器調整用の標準粒子供給装置。2. The buffer chamber has a spherical shape that can be divided into two and is provided at the center of the upper end of the buffer chamber. 2. A standard particle supply device for adjusting a particle detector according to claim 1, further comprising an exhaust pipe connected to a detection cell of the particle detector.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7134748A JPH08304262A (en) | 1995-05-08 | 1995-05-08 | Standard particle supplying device for adjusting fine particle detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7134748A JPH08304262A (en) | 1995-05-08 | 1995-05-08 | Standard particle supplying device for adjusting fine particle detector |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08304262A true JPH08304262A (en) | 1996-11-22 |
Family
ID=15135665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7134748A Pending JPH08304262A (en) | 1995-05-08 | 1995-05-08 | Standard particle supplying device for adjusting fine particle detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08304262A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001519528A (en) * | 1997-10-06 | 2001-10-23 | パシフィック サイエンティフィック インストゥールメンツ カンパニー | Multilobe pump for particle counter |
| JP2008107118A (en) * | 2006-10-23 | 2008-05-08 | Hattori Kogyo Co Ltd | Suspended matter measuring device |
| JP2013079867A (en) * | 2011-10-04 | 2013-05-02 | Azbil Corp | Evaluating system and evaluating method of particle detecting device |
| CN108562449A (en) * | 2018-04-03 | 2018-09-21 | 同济大学 | A kind of side's chamber stream particulate matter generating means |
| CN108562448A (en) * | 2018-04-03 | 2018-09-21 | 同济大学 | A kind of testing experimental system and method for the motor-driven state strainability of fresh air |
| WO2023044643A1 (en) * | 2021-09-23 | 2023-03-30 | 中国科学技术大学 | Falling-type aerosol concentration sensor calibration test apparatus and method |
-
1995
- 1995-05-08 JP JP7134748A patent/JPH08304262A/en active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN108562448A (en) * | 2018-04-03 | 2018-09-21 | 同济大学 | A kind of testing experimental system and method for the motor-driven state strainability of fresh air |
| CN108562448B (en) * | 2018-04-03 | 2020-08-07 | 同济大学 | Testing experiment system and method for dynamic filtering performance of fresh air motor |
| WO2023044643A1 (en) * | 2021-09-23 | 2023-03-30 | 中国科学技术大学 | Falling-type aerosol concentration sensor calibration test apparatus and method |
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