JPH08285874A - Reference signal generator and rotational information detector employing the same - Google Patents

Reference signal generator and rotational information detector employing the same

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JPH08285874A
JPH08285874A JP11650595A JP11650595A JPH08285874A JP H08285874 A JPH08285874 A JP H08285874A JP 11650595 A JP11650595 A JP 11650595A JP 11650595 A JP11650595 A JP 11650595A JP H08285874 A JPH08285874 A JP H08285874A
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signal
rotating object
doppler
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pulse
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泰彦 石田
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Abstract

PURPOSE: To obtain a reference signal generator, and a rotational information detector employing it, which can generate a reference signal at the time of recording the information for detecting the circumferential direction of a disc or positioning the disc highly accurately utilizing a Doppler signal and an index signal obtained through an optical head. CONSTITUTION: Luminous flux from a light source means 2 impinges on the plane to be detected of a rotating object 1. Scattering light from the object 1 subjected to Doppler shaft is detected by a photodetector 201 which delivers a signal to a Doppler signal processing circuit 21. A Doppler signal pulse from the circuit 21 impinges, along with the luminous flux from a light source means 2, on an index mark smaller than the diameter of luminous flux put on a part of the rotating object 1 while having diffuse reflectance different from that of the plane to be detected. Scattering light from the index mark is detected by a photodetector 201 which delivers a signal to an index processing circuit 22. A reference signal is produced using an index signal from the circuit 22 at the time of recording the positioning information on the rotary object.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は基準信号発生装置及びそ
れを用いた回転情報検出装置に関し、例えば回転する円
盤状又は円筒状の回転物体上に位置決め情報を記録する
際に使用する基準信号を回転物体の回転速度に基づいて
1つの光学ヘッドにより得られる、所謂ドップラー信号
とインデックス信号とを利用して求め、これより回転物
体に位置決め情報を記録するときの基準信号発生装置及
びそれを用いた回転情報検出装置の位置決め情報書き込
みに好適なものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a reference signal generator and a rotation information detector using the reference signal generator. For example, a reference signal used when recording positioning information on a rotating disk-shaped or cylindrical rotating object is used. Using a so-called Doppler signal and an index signal obtained by one optical head based on the rotation speed of a rotating object, a reference signal generating device for recording positioning information on the rotating object and the reference signal generating device are used. It is suitable for writing the positioning information of the rotation information detecting device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来よりコンピュータ等の情報処理装置
に用いる記憶再生手段として、例えば磁性体を塗布した
円盤が用いられている。この円盤に磁気ヘッドを用いて
磁気的に信号(情報)を書き込む場合、予め円盤上に磁
気ヘッドの位置決めのための情報を書き込んでおく必要
がる。そのため、本来の情報の書き込み用ヘッドとは別
に専用のクロックヘッドを用いて円盤上の未使用領域、
主に最外周部分に高い周波数のパルスを始めに記録して
いる。そしてそのパルスを基準にして円盤上に、位置決
めの為の情報を書き込むようにした装置が種々と提案さ
れている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a disk coated with a magnetic material has been used as a storage / reproducing means used in an information processing apparatus such as a computer. When a signal (information) is magnetically written on this disk using a magnetic head, it is necessary to previously write information for positioning the magnetic head on the disk. Therefore, in addition to the original writing head for information, a dedicated clock head is used, and an unused area on the disk,
A high frequency pulse is recorded mainly in the outermost circumference. Various devices have been proposed in which information for positioning is written on a disk based on the pulse.

【0003】図7は円盤の円周方向(角度方向)を複数
領域に分割したときの概略図である。同図において、1
は分割すべき円盤である。図は円盤1上をN等分した様
子を示している。点aから点bまでの間が分割したとき
の1つの領域を表す。ここで分割は必ずしも等間隔であ
る必要はないが、通常は等間隔であり空間的に正確に分
割されていること、言い換えると正確な角度に分割され
ていることが求められている。
FIG. 7 is a schematic view when the circumferential direction (angle direction) of a disk is divided into a plurality of areas. In the figure, 1
Is a disk to be divided. The figure shows a state in which the disk 1 is divided into N equal parts. The area from point a to point b represents one area when divided. Here, the division does not necessarily have to be at equal intervals, but normally it is required to be at equal intervals and spatially accurate division, in other words, accurate division.

【0004】情報が記録される範囲は内周から外周にか
けてのドーナツ上の部分(図中、黒い部分を除いた部
分)で円盤上の同心円状のトラックに領域毎に書き込ま
れる。1つの同心円は複数の領域(aからbまでがその
1つを表わす。)に分けられ、各領域の先頭が位置決め
の為の情報を書き込む部分で残りの部分が実際の情報を
記録する部分である。各領域の先頭位置は同図に示すよ
うに各同心円の同じ角度の位置、即ち半径上に並び、か
つ位置決めの為に情報も各同心円の半径上に位相のそろ
った位置に書き込まれる。位置決めは各領域の先頭に書
き込まれた位置決めのための情報(サーボパターン)を
読み出すことによりなされる。このため、分割される領
域は各同心円の間でずれなく正確に分割されることが要
求される。
The area where information is recorded is written for each area on a concentric circular track on a disk in a portion on the donut (a portion excluding the black portion in the drawing) from the inner circumference to the outer circumference. One concentric circle is divided into a plurality of areas (a to b represent one of them), and the head of each area is a portion for writing information for positioning and the remaining portion is a portion for recording actual information. is there. As shown in the figure, the head positions of the respective areas are arranged at the same angular positions of the concentric circles, that is, on the radii, and for positioning purposes, the information is also written on the radii of the concentric circles in phase. The positioning is performed by reading the positioning information (servo pattern) written at the beginning of each area. For this reason, the divided area is required to be accurately divided between the concentric circles without displacement.

【0005】図6は従来の位置決め情報記録装置の要部
概略図である。同図において、1は円盤であり、スピン
ドルモータ(不図示)によって回転している。12はク
ロックヘッドであり、時間的に正確なクロックパルスを
円盤1の未使用領域に書き込み、また前記クロックパル
スを読み出している。1dは記録したクロックパルス信
号である。3はカウンタ(カウンタ手段)であり、クロ
ックヘッド12からの検出したパルスを数えている。4
は1周パルス数メモリであり円盤1の1周分のパルス数
を記憶している。5は分割数データであり、円盤1の1
周分を何分割するかを表している。
FIG. 6 is a schematic view of a main part of a conventional positioning information recording device. In the figure, 1 is a disk, which is rotated by a spindle motor (not shown). Reference numeral 12 is a clock head which writes a time-accurate clock pulse in an unused area of the disk 1 and reads the clock pulse. 1d is the recorded clock pulse signal. A counter (counter means) 3 counts the detected pulses from the clock head 12. Four
Is a one-round pulse number memory, which stores the number of pulses for one round of the disk 1. 5 is the division number data, 1 of disk 1
It shows how many times the lap is divided.

【0006】6は除算器であり、1周パルス数メモリ4
の内容を分割データ5からの分割数Nで割って分割領域
1つ当りの分割パルス数を求めている。7は分割パルス
数メモリであり、分割領域当りのパルス数を記憶してい
る。8は比較器であり、分割パルス数とカウンタの値を
比較して分割領域の分割基準パルスを出力している。
Reference numeral 6 denotes a divider, which is a one-cycle pulse number memory 4
Is divided by the number of divisions N from the division data 5 to obtain the number of division pulses per division area. Reference numeral 7 is a divided pulse number memory, which stores the number of pulses per divided region. Reference numeral 8 is a comparator, which compares the number of divided pulses with the value of the counter and outputs a divided reference pulse in the divided area.

【0007】9は信号処理部であり、磁気ヘッド11を
通してデータを書き込みまた読み出している。10はボ
イスコイルモータ(以下「VCM」という。)であり、
磁気ヘッド11を円盤1の半径方向に駆動している。磁
気ヘッド11はデータを書き込みまた読み出している。
図中、細い線はパルス信号、太い線はデータバスを表し
ている。
A signal processing unit 9 writes and reads data through the magnetic head 11. 10 is a voice coil motor (hereinafter referred to as "VCM"),
The magnetic head 11 is driven in the radial direction of the disk 1. The magnetic head 11 writes and reads data.
In the figure, thin lines represent pulse signals and thick lines represent data buses.

【0008】同図ではスピンドルモータで回転している
円盤1に対しクロックパルス回路(不図示)からの時間
的に正確なクロックパルスをクロックヘッド12によっ
て円盤1の未使用領域に書き込んでいる。1周期分のク
ロックパルスの数はあらかじめ定められており、正しい
数のパルスの書き込みが行われるまで、クロックパルス
の周波数を変化させて書き込みが行われる。
In the figure, a time-accurate clock pulse from a clock pulse circuit (not shown) is written in the unused area of the disk 1 by the clock head 12 for the disk 1 rotating by the spindle motor. The number of clock pulses for one cycle is predetermined, and the writing is performed by changing the frequency of the clock pulse until the writing of the correct number of pulses is performed.

【0009】次にクロックヘッド12は書き込んだクロ
ックパルスを読みだしカウンタ3で数えてそのパルス数
を1周パルス数メモリ4に記憶する。この値は除算器6
で分割数データ5からの分割数で割り算されて1領域当
りのパルス数として分割パルス数メモリ7に記憶してい
る。
Next, the clock head 12 reads out the written clock pulses, counts them by the counter 3, and stores the pulse number in the one-round pulse number memory 4. This value is the divider 6
Is divided by the division number from the division number data 5 and is stored in the division pulse number memory 7 as the number of pulses per area.

【0010】カウンタ3で数えられたパルス数は比較器
8で1領域当りのパルス数と比較する。比較器8は1領
域のパルス数を数え、このときのパルス数を基準パルス
として信号処理部9に送る。同時にカウンタ3に対しク
リアパルスを送り、次の分割領域を0からカウントする
準備をする。
The number of pulses counted by the counter 3 is compared with the number of pulses per region by the comparator 8. The comparator 8 counts the number of pulses in one region and sends the number of pulses at this time to the signal processing unit 9 as a reference pulse. At the same time, a clear pulse is sent to the counter 3 to prepare to count the next divided area from 0.

【0011】信号処理部9は分割のための基準パルスを
受け取ると、磁気ヘッド11によってクロックパルスを
基準とした信号を円盤1の上に領域を区切るための信号
を書き込む。VCM10は半径方向位置決め装置(不図
示)によって磁気ヘッド11を半径方向に決められた間
隔で順々に位置決めしている。そして該磁気ヘッド11
により円盤1の同心円上に等角度で放射状の分割基準位
置信号を形成している。
When the signal processing unit 9 receives the reference pulse for division, the magnetic head 11 writes a signal based on the clock pulse on the disk 1 to divide the region. The VCM 10 sequentially positions the magnetic heads 11 at predetermined intervals in the radial direction by a radial positioning device (not shown). And the magnetic head 11
Thus, radial divisional reference position signals are formed on the concentric circles of the disk 1 at equal angles.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】図6に示す位置決め書
き込み装置では、クロックパルスは時間を基準としてい
るため、回転速度の変動はそのまま位置基準信号の精度
に影響する。回転速度変動の影響を低減し、分解能を上
げるためクロックパルスの書き込み時のみ円盤の回転を
遅くすることもあり、このことがスループットを上げら
れない原因となっている。さらにクロックヘッドが円盤
に接触するなどして不良品を作ることがあるという問題
点があった。
In the positioning writing apparatus shown in FIG. 6, since the clock pulse is based on time, the fluctuation of the rotation speed directly affects the accuracy of the position reference signal. In order to reduce the influence of the fluctuation of the rotation speed and increase the resolution, the rotation of the disk may be delayed only when writing the clock pulse, which causes the throughput not to be increased. Further, there is a problem in that the clock head may come into contact with the disk to make a defective product.

【0013】このように従来の位置決め情報記録装置に
おいて、基準信号の発生精度を上げようとすると回転速
度の変動を受け、又接触事故による不良品が多く発生し
てくるという問題点があった。
As described above, in the conventional positioning information recording apparatus, when the accuracy of generating the reference signal is increased, there is a problem that the rotational speed is changed and many defective products are generated due to a contact accident.

【0014】本発明は光学ヘッドより得られるドップラ
ー信号とインデックス信号とを適切に処理することによ
り、円盤等の円周方向の角度検出及び位置決めを高精度
に行う為の基準信号を容易に得ることができる基準信号
発生装置及びそれを用いた回転情報検出装置の提供を目
的とする。
According to the present invention, by appropriately processing the Doppler signal and the index signal obtained from the optical head, it is possible to easily obtain a reference signal for highly accurately detecting and positioning an angle in the circumferential direction of a disk or the like. It is an object of the present invention to provide a reference signal generator capable of performing the above and a rotation information detecting device using the same.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明の基準信号発生装
置は、 (1−1)光源手段からの光束を回転物体の被検面に入
射させ、該回転物体からのドップラーシフトを受けた散
乱光を光検出器で検出し、該光検出器からの信号をドッ
プラー信号処理回路に入力して得られるドップラー信号
パルスと、該光源手段からの光束を該回転物体の一部に
設けた該被検面の拡散反射率と異なる拡散反射率を有
し、かつ該光束の径よりも小さいインデックスマークに
入射させ、該インデックスマークからの散乱光を該光検
出器で検出し、該光検出器からの信号をインデックス処
理回路に入力して得られるインデックス信号とを用いて
該回転物体に位置決め情報を記録するときの基準信号を
得ていることを特徴としている。
The reference signal generator according to the present invention comprises: (1-1) Scattering by causing a light beam from a light source means to be incident on a surface to be inspected of a rotating object and receiving a Doppler shift from the rotating object. Light is detected by a photodetector, and a Doppler signal pulse obtained by inputting a signal from the photodetector to a Doppler signal processing circuit and a luminous flux from the light source means are provided on a part of the rotating object. Having a diffuse reflectance different from the diffuse reflectance of the inspection surface, and incident on an index mark smaller than the diameter of the light flux, the scattered light from the index mark is detected by the photodetector, and from the photodetector. Is used to obtain a reference signal for recording the positioning information on the rotating object by using the index signal obtained by inputting the signal to the index processing circuit.

【0016】特に、 (1−1−1)前記ドップラー信号パルスをカウントす
るカウンタ手段を有し、前記インデックス信号により、
該カウンタ手段に対してカウント開始とカウント終了の
パルス信号を決定し、カウント開始とカウント終了のパ
ルス信号間のドップラー信号パルス数を第1記憶手段に
記憶し、該第1記憶手段に記憶したドップラー信号パル
ス数を除算手段で該回転物体の角度方向を複数領域に分
割する分割数で割り、該除算したパルス数を第2記憶手
段に記憶し、該第2記憶手段に記憶したパルス数と該カ
ウンタ手段でカウントしたドップラー信号パルス数とを
比較手段で比較して分割基準パルスを生成し、該分割基
準パルスを利用して該回転物体の角度方向を複数領域に
分割し、該複数領域に位置決めの為の情報を書き込むと
きの基準信号として該ドップラー信号パルスを使うこ
と。
In particular, (1-1-1) has counter means for counting the Doppler signal pulses,
A pulse signal for starting and ending counting is determined for the counter means, the number of Doppler signal pulses between the pulse signals for starting and ending counting is stored in the first storage means, and the Doppler stored in the first storage means. The number of signal pulses is divided by the number of divisions by which the angular direction of the rotating object is divided into a plurality of regions by the dividing means, the divided number of pulses is stored in the second storage means, and the number of pulses stored in the second storage means and the The divided reference pulse is generated by comparing the number of Doppler signal pulses counted by the counter means with the comparison means, the angular direction of the rotating object is divided into a plurality of areas by using the divided reference pulse, and positioning is performed in the plurality of areas. Use the Doppler signal pulse as a reference signal when writing information for.

【0017】(1−1−2)前記回転物体はリング状の
反射領域と該リング状の反射領域中に該反射領域の拡散
反射率とは異なり、かつ入射光束の径よりも小さいイン
デックスマークとを有しており、前記光検出器により該
インデックスマークからの散乱光よりインデックス信号
を検出して前記カウンタ手段に対するカウント開始とカ
ウント終了のパルスを決定していること。
(1-1-2) The rotating object has a ring-shaped reflection region and an index mark in the ring-shaped reflection region which has a diffuse reflectance different from that of the reflection region and smaller than the diameter of the incident light beam. And detecting the index signal from the scattered light from the index mark by the photodetector to determine the counting start pulse and the counting end pulse for the counter means.

【0018】(1−1−3)前記インデックス信号処理
回路はローパスフィルタとハイパスフィルタと増幅回路
とレベル検出器そしてインデックス発生器とを有し、双
方のフィルターのカットオフ周波数を前記回転物体の速
度情報に基づいて決定し、これよりインデックス信号を
得ていること。
(1-1-3) The index signal processing circuit has a low-pass filter, a high-pass filter, an amplifier circuit, a level detector and an index generator, and the cut-off frequencies of both filters are set to the speed of the rotating object. Make an informed decision and obtain an index signal from this.

【0019】(1−1−4)前記光検出器は光源手段か
らの光束を回転物体に入射させたときの該回転物体から
生じる散乱光のドップラーシフトに基づくドップラー信
号を検出しており、該ドップラー信号を利用して該回転
物体に位置決め情報を記録するときの基準信号を発生す
る際、該回転物体は回転軸を中心とするリング状の拡散
反射領域とインデックスマークを有していること。等を
特徴としている。
(1-1-4) The photodetector detects a Doppler signal based on the Doppler shift of scattered light generated from the rotating object when the light beam from the light source means is incident on the rotating object. When the reference signal for recording the positioning information on the rotating object is generated using the Doppler signal, the rotating object has a ring-shaped diffuse reflection area centered on the rotation axis and an index mark. And so on.

【0020】(1−2)光源手段からの光束を物体に入
射させ、該物体からのドップラーシフトを受けた散乱光
の周波数の偏移に基づくドップラー信号と該物体の基準
となるインデックス信号とを1つの光学ヘッドにより検
出し、該光学ヘッドからのドップラー信号とインデック
ス信号によって位置決め情報を記録するときの基準信号
を発生することを特徴としている。
(1-2) A light beam from the light source means is made incident on an object, and a Doppler signal based on the frequency shift of scattered light subjected to the Doppler shift from the object and an index signal as a reference of the object are generated. It is characterized in that it is detected by one optical head, and a reference signal for recording positioning information is generated by a Doppler signal and an index signal from the optical head.

【0021】(1−3)光源手段からの光束を回転物体
の被検面に入射させ、該回転物体からのドップラーシフ
トを受けた散乱光を光検出器で検出し、該光検出器から
の信号をドップラー信号処理回路に入力して得られたド
ップラー信号パルスを該回転物体の周上に設けた2つ以
上のインデックスマークに基づいて得られたインデック
ス信号により該回転物体を角度方向に複数領域に分割
し、該複数領域に位置決めの為の情報を書き込むときの
基準信号として用いていることを特徴としている。
(1-3) The light beam from the light source means is made incident on the surface to be inspected of the rotating object, the scattered light which has undergone the Doppler shift from the rotating object is detected by the photodetector, and the scattered light from the photodetector is detected. A Doppler signal pulse obtained by inputting a signal to the Doppler signal processing circuit is used to index the rotating object into a plurality of regions in the angular direction by index signals obtained based on two or more index marks provided on the circumference of the rotating object. And is used as a reference signal when writing information for positioning in the plurality of regions.

【0022】本発明の回転情報検出装置は、 (2−1)光源手段からの光束を回転物体の被検面に入
射させ、該回転物体からのドップラーシフトを受けた散
乱光を光検出器で検出し、該光検出器からの信号をドッ
プラー信号処理回路に入力して得られるドップラー信パ
ルス号より該回転物体の回転情報を検出する際、該ドッ
プラー信号パルスと該光源手段からの光束を該回転物体
の一部に設けたインデックスマークに入射させ、該イン
デックスマークからの散乱光を該光検出器で検出し、該
光検出器からの信号をインデックス処理回路に入力して
得られるインデックス信号とを用いて該回転物体に位置
決め情報を記録するときの基準信号を得ていることを特
徴としている。
In the rotation information detecting device of the present invention, (2-1) the light beam from the light source means is incident on the surface to be inspected of the rotating object, and the scattered light which has undergone the Doppler shift from the rotating object is detected by the photodetector. When detecting the rotation information of the rotating object from the Doppler signal pulse signal obtained by inputting the signal from the photodetector to the Doppler signal processing circuit, the Doppler signal pulse and the light flux from the light source means are detected. An index signal obtained by entering an index mark provided on a part of a rotating object, detecting scattered light from the index mark by the photodetector, and inputting a signal from the photodetector to an index processing circuit. Is used to obtain a reference signal when recording the positioning information on the rotating object.

【0023】特に、 (2−1−1)前記ドップラー信号パルスをカウントす
るカウンタ手段を有し、前記インデックス信号により、
該カウンタ手段に対してカウント開始とカウント終了の
パルス信号を決定し、カウント開始とカウント終了のパ
ルス信号間ドップラー信号のパルス数を第1記憶手段に
記憶し、該第1記憶手段に記憶したパルス数を除算手段
で該回転物体の角度方向を複数領域に分割する分割数で
割り、該除算したパルス数を第2記憶手段に記憶し、該
第2記憶手段に記憶したパルスと該カウンタ手段でカウ
ントしたドップラー信号パルス数とを比較手段で比較し
て分割基準パルスを生成し、該分割基準パルスを利用し
て該回転物体の角度方向を複数領域に分割し、該複数領
域に位置決めの為の情報を書き込むときの基準信号とし
て該ドップラー信号パルスを使うこと。
In particular, (2-1-1) has counter means for counting the Doppler signal pulses,
A pulse signal for starting and ending counting is determined for the counter means, the number of pulses of the Doppler signal between the pulse signals for starting and ending counting is stored in the first storage means, and the pulse stored in the first storage means is stored. The number is divided by the number of divisions into which the angular direction of the rotating object is divided into a plurality of areas by the division means, the divided number of pulses is stored in the second storage means, and the pulses stored in the second storage means and the counter means The divided reference pulse is generated by comparing the counted number of Doppler signal pulses with the comparison means, the angular direction of the rotating object is divided into a plurality of regions by using the divided reference pulse, and positioning is performed in the plurality of regions. Use the Doppler signal pulse as a reference signal when writing information.

【0024】(2−1−2)前記回転物体はリング状の
反射領域と該リング状の反射領域中に該反射領域の拡散
反射率とは異なり、かつ入射光束の径よりも小さいイン
デックスマークとを有しており、前記光検出器により該
インデックスマークからの散乱光よりインデックス信号
を検出して前記カウンタ手段に対するカウント開始とカ
ウント終了のパルスを決定していること。
(2-1-2) The rotating object has a ring-shaped reflection region and an index mark in the ring-shaped reflection region which has a diffuse reflectance different from that of the reflection region and which is smaller than the diameter of the incident light beam. And detecting the index signal from the scattered light from the index mark by the photodetector to determine the counting start pulse and the counting end pulse for the counter means.

【0025】(2−1−3)前記インデックス信号処理
回路はローパスフィルタとハイパスフィルタと増幅回路
とレベル検出器そしてインデックス発生器とを有し、双
方のフィルターのカットオフ周波数を前記回転物体の速
度情報に基づいて決定し、これよりインデックス信号を
得ていること。
(2-1-3) The index signal processing circuit has a low-pass filter, a high-pass filter, an amplifier circuit, a level detector and an index generator, and the cut-off frequencies of both filters are set to the speed of the rotating object. Make an informed decision and obtain an index signal from this.

【0026】(2−1−4)前記光検出器は光源手段か
らの光束を回転物体に入射させたときの該回転物体から
生じる散乱光のドップラーシフトに基づくドップラー信
号を検出しており、該ドップラー信号を利用して該回転
物体に位置決め情報を記録するときの基準信号を発生す
る際、該回転物体は回転軸を中心とするリング状の拡散
反射領域とインデックスマークを有していること。等を
特徴としている。
(2-1-4) The photodetector detects the Doppler signal based on the Doppler shift of scattered light generated from the rotating object when the light beam from the light source means is incident on the rotating object. When the reference signal for recording the positioning information on the rotating object is generated using the Doppler signal, the rotating object has a ring-shaped diffuse reflection area centered on the rotation axis and an index mark. And so on.

【0027】(2−2)光源手段からの光束を該回転物
体に入射させ、該回転物体からのドップラーシフトを受
けた散乱光の周波数の偏移に基づくドップラー信号と該
回転物体の基準となるインデックス信号とを1つの光学
ヘッドにより検出し、該光学ヘッドからのドップラー信
号より該回転物体の回転情報を検出する際、該ドップラ
ー信号とインデックス信号によって位置決め情報を記録
するときの基準信号を発生することを特徴としている。
(2-2) A light beam from the light source means is made incident on the rotating object, and it serves as a reference for the rotating object and a Doppler signal based on the frequency shift of scattered light subjected to the Doppler shift from the rotating object. The index signal is detected by one optical head, and when detecting the rotation information of the rotating object from the Doppler signal from the optical head, a reference signal for recording positioning information is generated by the Doppler signal and the index signal. It is characterized by that.

【0028】(2−3)光源手段からの光束を回転物体
の被検面に入射させ、該回転物体からのドップラーシフ
トを受けた散乱光を光検出器で検出し、該光検出器から
の信号をドップラー信号処理回路に入力して得られたド
ップラー信号パルスより該回転物体の回転情報を検出す
る際、該ドップラー信号パルスを該回転物体の周上に設
けた2つ以上のインデックスマークに基づいて得られた
インデックス信号により該回転物体を角度方向に複数領
域に分割し、該複数領域に位置決めの為の情報を書き込
むときの基準信号として用いていることを特徴としてい
る。
(2-3) The light beam from the light source means is made incident on the surface to be inspected of the rotating object, the scattered light subjected to the Doppler shift from the rotating object is detected by the photodetector, and the scattered light from the photodetector is detected. When detecting the rotation information of the rotating object from the Doppler signal pulse obtained by inputting the signal to the Doppler signal processing circuit, the Doppler signal pulse is based on two or more index marks provided on the circumference of the rotating object. The index signal thus obtained is used to divide the rotating object into a plurality of regions in the angular direction and to use as a reference signal when writing information for positioning in the plurality of regions.

【0029】[0029]

【実施例】図1は本発明の実施例1の要部概略図であ
る。本実施例はハードディスクのサーボトラックライタ
に適用した場合を示している。
Embodiment 1 FIG. 1 is a schematic view of the essential portions of Embodiment 1 of the present invention. This embodiment shows a case where the present invention is applied to a servo track writer of a hard disk.

【0030】図中、1は円盤(回転物体)であり、スピ
ンドルモータ(不図示)により回転している。2は光学
ヘッドであり、光源手段からのレーザ光を円盤に照射
し、円盤からの拡散反射光を検出し増幅して円盤1の回
転速度に基づいたドップラー信号とインデックス信号を
含んだ信号を生成している。3はカウンタ手段(カウン
タ)であり、ドップラー信号処理回路21で検出したド
ップラー信号パルスを数えている。4は第1記録手段と
してのメモリ(1周パルス数メモリ)であり、円盤1の
1周分のパルス数を記憶している。
In the figure, 1 is a disk (rotating object), which is rotated by a spindle motor (not shown). Reference numeral 2 denotes an optical head, which irradiates the disc with laser light from a light source means, detects diffused light from the disc and amplifies it to generate a signal including a Doppler signal and an index signal based on the rotation speed of the disc 1. are doing. A counter means (counter) 3 counts the Doppler signal pulses detected by the Doppler signal processing circuit 21. Reference numeral 4 denotes a memory (one-round pulse number memory) as a first recording means, which stores the number of pulses for one round of the disk 1.

【0031】5は分割数データであり、円盤1の1周分
を何分割するかを表わしている。6は除算器であり、メ
モリ4の内容を分割数データ5からの分割数Nで割って
分割領域1つ当りのパルス数を求めている。7は第2記
録手段としてのメモリ(分割パルス数メモリ)であり、
分割領域1つ当りのパルス数(分割パルス数)を記憶し
ている。8は比較器であり、分割パルス数とカウンタ3
からの値を比較して分割領域の分割基準パルスを出力し
ている。9は信号処理部であり、磁気ヘッド11を通し
てデータを書き込みまた読み出している。
Reference numeral 5 is division number data, and represents how many divisions the disk 1 makes for one revolution. A divider 6 divides the contents of the memory 4 by the division number N from the division number data 5 to obtain the number of pulses per divided area. 7 is a memory (divided pulse number memory) as a second recording means,
The number of pulses (the number of divided pulses) per divided area is stored. Reference numeral 8 is a comparator, which has a divided pulse number and a counter 3
And outputs the division reference pulse for the division area. A signal processing unit 9 writes and reads data through the magnetic head 11.

【0032】10はボイスコイルモータ(VCM)であ
り、磁気ヘッド11を円盤1の半径方向に駆動してい
る。磁気ヘッド11はデータを書き込みまた読み出した
りしている。図中、細い線はパルス信号、太い線はデー
タバスを表わしている。
A voice coil motor (VCM) 10 drives the magnetic head 11 in the radial direction of the disk 1. The magnetic head 11 writes and reads data. In the figure, thin lines represent pulse signals and thick lines represent data buses.

【0033】光学ヘッド2で検出し、ドップラー信号処
理回路21で得られるドップラー信号パルスは照射して
いる物体(円盤)の速度(回転速度)に比例した周波数
となる。本実施例では、このドップラー信号パルスをカ
ウントすることにより角度情報を求めている。
The Doppler signal pulse detected by the optical head 2 and obtained by the Doppler signal processing circuit 21 has a frequency proportional to the speed (rotation speed) of the object (disk) being irradiated. In this embodiment, angle information is obtained by counting the Doppler signal pulses.

【0034】今、光学ヘッド2を固定したとき、測定対
象としているのは円盤1上の円周Cである。スピンドル
モータの回転に偏心があったとしても1周の長さは同じ
であり、この円周に対応するドップラー信号パルス数は
回転速度の変動に拘らず一定となる。更に本発明では、
最終的に使用する状態で位置決めの為の情報の書き込み
を行なうので基本的に偏心の問題は残らない。
Now, when the optical head 2 is fixed, the circumference C on the disk 1 is to be measured. Even if there is eccentricity in the rotation of the spindle motor, the length of one round is the same, and the number of Doppler signal pulses corresponding to this circle is constant regardless of fluctuations in the rotation speed. Further in the present invention,
Since the information for positioning is written in the finally used state, basically no problem of eccentricity remains.

【0035】1周分のドップラー信号パルス数をカウン
トするためには回転の基準となる信号が必要である。そ
のための方法として、円周Cの1カ所に円盤1の拡散反
射率とは異なる拡散反射率を有し、かつ入射光束よりも
小さいインデックスマーク18を設けている。このイン
デックスマーク18を光学ヘッド2で検出してインデッ
クス信号処理回路22より得られるインデックス信号か
らカウント開始とカウント終了のパルス信号(クリアラ
ッチ信号)を得ている。この基準信号から基準信号まで
の間のパルス数をカウンタ手段3でカウントしている。
In order to count the number of Doppler signal pulses for one round, a signal serving as a rotation reference is required. As a method therefor, an index mark 18 having a diffuse reflectance different from the diffuse reflectance of the disk 1 and smaller than the incident light flux is provided at one location on the circumference C. The index mark 18 is detected by the optical head 2 and a pulse signal (clear latch signal) for starting and ending counting is obtained from the index signal obtained from the index signal processing circuit 22. The counter means 3 counts the number of pulses between the reference signals.

【0036】カウンタ手段3からのカウントパルス数を
1周パルス数メモリ4に記憶する。この値は除算器6で
分割数データ5で割り算して、1領域当りのパルス数と
して分割パルス数メモリ7に記憶している。1分割領域
当りのパルス数が整数にならないときは1パルスの範囲
で整数になるように調整している。
The count pulse number from the counter means 3 is stored in the one-round pulse number memory 4. This value is divided by the division number data 5 by the divider 6 and stored in the division pulse number memory 7 as the number of pulses per area. When the number of pulses per divided area does not become an integer, adjustment is made so that it becomes an integer within the range of 1 pulse.

【0037】例えば、小数点以下を切り捨てた整数値を
nとし、 m=1周パルス数−(n×N) とするとN−m個のnパルスの領域とm個のn+1のパ
ルスの領域ができる。
For example, if the integer value rounded down to the right of the decimal point is n and m = 1 pulse number- (n × N), N-m n-pulse regions and m-n + 1 pulse regions are formed. .

【0038】例えば、1周パルス数が3003個で、分
割数N=30のとき、 3003÷30=100.1 従って、n=100であり、前記計算式から m=3003−(100×30)=3 これにより3個の101パルス領域と、27個の100
パルス領域で30個に分割される。従って分割パルス数
メモリ7は分割番号とそれに対応するパルス数のテーブ
ルの形となる。
For example, when the number of pulses for one round is 3003 and the number of divisions is N = 30, 3003 ÷ 30 = 100.1 Therefore, n = 100, and m = 3003− (100 × 30) from the above formula. = 3 This gives 3 101 pulse regions and 27 100 pulse regions.
It is divided into 30 in the pulse region. Therefore, the divided pulse number memory 7 is in the form of a table of divided numbers and the corresponding pulse numbers.

【0039】本実施例ではドップラー信号パルスをその
まま用いた方法を説明したが、必要に応じて電気的ある
いは信号処理的な手段でさらにパルス数を増やして又は
減らして従来例のクロックパルスと同様の方法をとるこ
ともできる。
Although the method using the Doppler signal pulse as it is has been described in the present embodiment, if the number of pulses is further increased or decreased by an electrical or signal processing means, the same as the clock pulse of the conventional example is explained. You can also take a method.

【0040】カウンタ手段3で数えられたパルス数は比
較器8で1領域当りのパルス数と比較している。比較器
8は1領域分のパルスを数えたときに信号処理部9に分
割基準信号を送る。同時にカウンタ手段3に対しクリア
ラッチ信号を送り次の領域を数える準備をする。
The number of pulses counted by the counter means 3 is compared with the number of pulses per region by the comparator 8. The comparator 8 sends the divided reference signal to the signal processing unit 9 when counting the pulses for one area. At the same time, a clear latch signal is sent to the counter means 3 to prepare for counting the next area.

【0041】信号処理部9は分割基準信号を受け取ると
磁気ヘッド11によって円盤1の上にドップラー信号パ
ルスを基準信号として位置決め情報を書き込む。VCM
10は半径方向位置決め装置(不図示)によって半径方
向に決められた間隔で順々に位置決めし、これにより円
盤1の同心円上に等角度(等間隔)で放射状の位置決め
情報を形成している。
When the signal processing unit 9 receives the divided reference signal, the magnetic head 11 writes the positioning information on the disk 1 using the Doppler signal pulse as the reference signal. VCM
10 is sequentially positioned by a radial direction positioning device (not shown) at predetermined intervals in the radial direction, and thereby radial positioning information is formed on the concentric circles of the disk 1 at equal angles (equal intervals).

【0042】尚、図中、光学ヘッド2は円盤1に対して
垂直になっているが、ドップラー信号が得られれば垂直
である必要はなく、回転軸に対して水平又は斜めに位置
していても良い。本実施例に係る円盤1のリング状の拡
散反射をする反射領域Cは円盤1に予め形成しておいた
り、又は後から貼付したりして形成している。
In the figure, the optical head 2 is perpendicular to the disk 1, but it need not be vertical if a Doppler signal can be obtained, and it is positioned horizontally or obliquely with respect to the rotation axis. Is also good. The ring-shaped diffused reflection area C of the disc 1 according to the present embodiment is formed in advance on the disc 1 or is attached later.

【0043】本実施例においては、ハードディスクの表
面は鏡面状に仕上げられることがある。このときはドッ
プラー信号はハードディスクの表面からは得られ難い。
そこで本実施例では、ドップラー信号検出用リング16
を円周Cに当たる円盤1の記録領域外の部分に貼り付け
ている。検出用リング16はレーザ光からドップラーパ
ルスを得られればよく、レーザ光の当たる部分をカバー
できればどの位置に貼り付けてもよい。
In this embodiment, the surface of the hard disk may be mirror-finished. At this time, the Doppler signal is difficult to obtain from the hard disk surface.
Therefore, in the present embodiment, the Doppler signal detection ring 16 is used.
Is attached to a portion outside the recording area of the disk 1 corresponding to the circumference C. The detection ring 16 may be attached at any position as long as it can obtain the Doppler pulse from the laser light and can cover the portion hit by the laser light.

【0044】本実施例では、検出用リング16に回転基
準となるインデックスマーク(回転基準領域)18を設
けている。このインデックスマーク18はレーザ光を受
光する光学ヘッド2のドップラー出力には影響を及ぼさ
ない。一方、インデックスマーク18を検出するための
インデックス信号処理回路22を設けて、インデックス
信号処理回路22からの出力をカウント開始と終了のパ
ルス信号(クリアラッチ信号)としてカウンタ手段3に
入力している。
In this embodiment, the detection ring 16 is provided with an index mark (rotational reference area) 18 serving as a rotation reference. The index mark 18 does not affect the Doppler output of the optical head 2 that receives the laser light. On the other hand, an index signal processing circuit 22 for detecting the index mark 18 is provided, and the output from the index signal processing circuit 22 is input to the counter means 3 as a pulse signal (clear latch signal) for starting and ending counting.

【0045】本実施例では1つの光学ヘッド2より基準
位置信号(クリアラッチ信号)が取得可能であり、磁気
ヘッド11の位置決めの都度、基準位置信号から1番目
の分割を開始している。そして最終N番目の分割領域の
比較器8からの出力と1周毎の回転基準信号とにタイミ
ングのずれがあるときは分割位置決め情報の書き込みが
失敗したものと判断し、磁気ヘッド11を次のトラック
に移動することなく、消去後、分割をやり直すようにし
ている。
In this embodiment, a reference position signal (clear latch signal) can be obtained from one optical head 2, and each time the magnetic head 11 is positioned, the first division is started from the reference position signal. When there is a timing difference between the output from the comparator 8 of the final Nth divided area and the rotation reference signal for each rotation, it is determined that the writing of the divided positioning information has failed, and the magnetic head 11 is moved to the next step. Instead of moving to the track, after erasing, the division is redone.

【0046】本実施例ではインデックスマーク(回転基
準領域)18を含む検出用リング16を貼り付ける方法
について述べたが、ハードディスクの製作時にドップラ
ーパルス用の反射領域を作っておいて検出用リング16
の代わりに用いるか、インデックスマーク(回転基準領
域)18も含んだリング状の検出部分を予め作り込んで
おいても良いし、また検出用リング16の領域のみを作
り込んでおきインデックスマーク(回転基準領域)18
を貼り付けても良い。
In this embodiment, the method of sticking the detection ring 16 including the index mark (rotational reference area) 18 has been described, but the detection ring 16 is prepared by forming the reflection area for the Doppler pulse when the hard disk is manufactured.
Alternatively, a ring-shaped detection portion including the index mark (rotational reference area) 18 may be formed in advance, or only the area of the detection ring 16 may be formed and the index mark (rotation reference area) may be formed. Reference area) 18
May be attached.

【0047】次に本実施例に係るインデックスマーク1
8の大きさについて説明する。
Next, the index mark 1 according to this embodiment
The size of 8 will be described.

【0048】図2は本発明においてインデックス形成手
段により被検物体にインデックスマークを形成する際の
被検物体に書き込むインデックスマークの大きさの説明
図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram of the size of the index mark to be written on the test object when the index forming means forms the index mark on the test object in the present invention.

【0049】同図において、18はインデックスマー
ク、114a及び114bは各々被検物体に照射するレ
ーザー光束のスポット径である。インデックスマーク1
8は光源手段からの2光束の交差するスポット114a
及び114bよりも小さくしている。
In the figure, reference numeral 18 is an index mark, and 114a and 114b are spot diameters of the laser light flux with which the object to be inspected is irradiated. Index mark 1
8 is a spot 114a where two light beams from the light source means intersect.
And 114b.

【0050】図2(A)はインデックスマーク18が移
動方向に対して横長のもの、図2(B)はインデックス
マーク18が移動方向に対して縦長のもの、図2(C)
はインデックスマーク18が丸いものの例を示してあ
る。また書き込むインデックスマークは、その拡散反射
率が被検物体の拡散反射率とは異なった低いもの或いは
高いものとなるようにしている。
2A shows the index mark 18 horizontally long in the moving direction, FIG. 2B shows the index mark 18 vertically long in the moving direction, FIG. 2C.
Shows an example in which the index mark 18 is round. Further, the index mark to be written is such that its diffuse reflectance is low or high, which is different from the diffuse reflectance of the test object.

【0051】図3は本実施例においてドップラー信号パ
ルスとインデックス信号を得る為の方法の要部ブロック
図である。
FIG. 3 is a block diagram of essential parts of a method for obtaining the Doppler signal pulse and the index signal in this embodiment.

【0052】図中、21はドップラー信号処理回路、2
2はインデックス信号処理回路である。201は光検出
器であり、速度測定用の光束が照射された被検物体(移
動物体)からのドップラーシフトを受けた散乱光とイン
デックスマークからの散乱光の双方の光を検出し、出力
信号Sとして出力している。202は第1増幅器であ
り、光検出器201からの出力信号Sを増幅している。
増幅器202からは被検物体の速度に応じたドップラー
信号とインデックス信号を含み、被検物体からの拡散反
射光の光量に応じた信号として出力している。
In the figure, 21 is a Doppler signal processing circuit, 2
Reference numeral 2 is an index signal processing circuit. Reference numeral 201 denotes a photodetector, which detects both the scattered light that has undergone the Doppler shift from the test object (moving object) irradiated with the speed measurement light beam and the scattered light from the index mark, and outputs the output signal. It is output as S. A first amplifier 202 amplifies the output signal S from the photodetector 201.
The amplifier 202 includes a Doppler signal and an index signal according to the speed of the object to be inspected, and outputs the signal as a signal according to the amount of diffused reflected light from the object to be inspected.

【0053】203は第2増幅器であり、第1増幅器2
02からのドップラー信号をある一定のレベルに増幅し
ている。204はバンドパスフィルターであり、第2増
幅器203からのドップラー信号のノイズを除去してい
る。205は波形整形器であり、バンドパスフィルター
204からのドップラー信号を二値化している。206
は周波数発振器であり、波形整形器205からの二値化
したドップラー信号を連続信号として出力している。
Reference numeral 203 denotes a second amplifier, which is the first amplifier 2
The Doppler signal from 02 is amplified to a certain level. Reference numeral 204 denotes a bandpass filter that removes noise of the Doppler signal from the second amplifier 203. Reference numeral 205 denotes a waveform shaper, which binarizes the Doppler signal from the bandpass filter 204. 206
Is a frequency oscillator, and outputs the binarized Doppler signal from the waveform shaper 205 as a continuous signal.

【0054】本実施例ではドップラー信号処理回路21
からの二値化したドップラー信号パルス(ドップラー周
波数F)より、後述する式に基づいて移動物体の移動情
報を検出している。
In the present embodiment, the Doppler signal processing circuit 21
Based on the binarized Doppler signal pulse (Doppler frequency F) from, the movement information of the moving object is detected based on the equation described later.

【0055】207はハイパスフィルター(HPF)で
あり、第1増幅器202からのインデックス信号を含ん
だ拡散反射光の光量に応じた信号から被検物体の表面性
による信号の変動分を除去している。208はローパス
フィルター(LPF)であり、ハイパスフィルター(H
PF)207からのドップラー信号や高域ノイズを除去
している。209は第3増幅器であり、ローパスフィル
ター208からのインデックス信号を増幅している。2
10は検出器であり、第3増幅器209からの信号中か
らインデックスマークに対応する信号を検出しインデッ
クスマーク検出信号としている。
Reference numeral 207 is a high-pass filter (HPF), which removes the fluctuation of the signal due to the surface property of the object to be inspected from the signal corresponding to the light quantity of the diffuse reflected light including the index signal from the first amplifier 202. . 208 is a low pass filter (LPF), and a high pass filter (H
The Doppler signal and high frequency noise from the PF) 207 are removed. A third amplifier 209 amplifies the index signal from the low pass filter 208. Two
A detector 10 detects a signal corresponding to the index mark from the signal from the third amplifier 209 and uses it as an index mark detection signal.

【0056】211はインデックス発生器であり、検出
器210からのインデックスマーク検出信号よりある一
定幅のインデックス信号を出力している。インデックス
信号処理回路22では回転物体の速度情報に基づいてハ
イパスフィルター207やローパスフィルター208等
(バンドパスフィルター)のカットオフ周波数を決定
し、これよりインデックス発生器211より所定のイン
デックス信号を得ている。
Reference numeral 211 denotes an index generator, which outputs an index signal of a certain width from the index mark detection signal from the detector 210. The index signal processing circuit 22 determines the cutoff frequency of the high-pass filter 207, the low-pass filter 208, etc. (band-pass filter) based on the speed information of the rotating object, and the index generator 211 obtains a predetermined index signal from this. .

【0057】次に、本実施例におけるインデックス信号
の検出発生方法について図4を用いて説明する。図3に
おいて、第1増幅器2からのインデックス信号を含み、
拡散反射光の光量に応じた信号は図4の信号波形2aの
ように被検物体の表面性による反射光量の変化から低周
波の信号の変動やその他広帯域のノイズを含んでいる。
Next, the method of detecting and generating the index signal in this embodiment will be described with reference to FIG. In FIG. 3, including the index signal from the first amplifier 2,
The signal corresponding to the light amount of the diffusely reflected light includes low-frequency signal fluctuations and other wideband noise due to the change of the reflected light amount due to the surface property of the object to be inspected as shown by the signal waveform 2a in FIG.

【0058】そこでHPF207で被検物体の表面性に
よる信号の変動分を取り除き、次いでLPF208でド
ップラー信号等による高域のノイズを取り除いている。
そして第3増幅器209でインデックス信号を効率良く
増幅して、図4の信号波形2bのような信号を得てい
る。
Therefore, the HPF 207 removes the fluctuation of the signal due to the surface property of the object to be inspected, and then the LPF 208 removes the high frequency noise due to the Doppler signal or the like.
Then, the index signal is efficiently amplified by the third amplifier 209 to obtain a signal like the signal waveform 2b in FIG.

【0059】このような処理により信号レベルを検出す
る為の検出器210において、第3増幅器209の出力
レベルを元にしてインデックスマークに対応する信号検
出レベルの設定が容易になり、誤動作をなくすことがで
きる。インデックス発生器211では検出器210で検
出されたインデックス検出信号2cの入力時に出力する
信号の出力幅tを設定しており、これよりインデックス
信号を出力している。
In the detector 210 for detecting the signal level by such processing, it becomes easy to set the signal detection level corresponding to the index mark on the basis of the output level of the third amplifier 209, thereby eliminating malfunction. You can The index generator 211 sets the output width t of the signal output when the index detection signal 2c detected by the detector 210 is input, and outputs the index signal from this.

【0060】更に本実施例では、回転物体の速度情報に
基づいてHPF207とLPF208のカットオフ周波
数を設定している。これにより第3増幅器209で効率
良くインデックス信号の増幅が行なえるようにしてい
る。尚、カットオフ周波数はインデックマークの大きさ
とレーザー光束の径と被検物体の速度がわかれば、図4
のグラフ2aのインデックス信号の幅が計算できるので
容易に決定できる。
Further, in this embodiment, the cutoff frequencies of the HPF 207 and the LPF 208 are set based on the speed information of the rotating object. This allows the third amplifier 209 to efficiently amplify the index signal. The cut-off frequency can be calculated as shown in FIG. 4 if the size of the index mark, the diameter of the laser beam and the speed of the object to be measured are known.
Since the width of the index signal of the graph 2a of 1 can be calculated, it can be easily determined.

【0061】また、インデックスマークの幅を2光束の
交差するスポット径よりも小さくしており、これにより
ドップラー信号のレベルに殆ど影響を与えず、測定の精
度の低下を防止している。
Further, the width of the index mark is made smaller than the spot diameter at which the two light beams intersect, which has almost no effect on the level of the Doppler signal and prevents the measurement accuracy from deteriorating.

【0062】図5は本発明に係る光学ヘッド2の光学系
の要部概略図である。
FIG. 5 is a schematic view of a main part of an optical system of the optical head 2 according to the present invention.

【0063】同図において、100はドップラー効果を
用いた光学ヘッド2の要部概略図である。101はレー
ザー、102はコリメーターレンズ、1は移動物体とし
ての被測定物体、110は格子ピッチdの回折格子、1
21,122は焦点距離がfの凸レンズ(レンズ系)で
あり、図に示すような配置構成になっている。回折格子
110からレンズ121までの距離をa、レンズ122
から被測定物体1までの距離をbとしたとき、a,bは
a+b=2fの関係を満足している。
In the figure, reference numeral 100 is a schematic view of a main part of the optical head 2 using the Doppler effect. Reference numeral 101 is a laser, 102 is a collimator lens, 1 is an object to be measured as a moving object, 110 is a diffraction grating with a grating pitch d, 1
Reference numerals 21 and 122 denote convex lenses (lens systems) having a focal length of f, and are arranged as shown in the figure. The distance from the diffraction grating 110 to the lens 121 is a, and the lens 122 is
Letting b be the distance from the object to be measured 1, a and b satisfy the relationship of a + b = 2f.

【0064】波長λが約0.68μmのレーザーダイオ
ード101からのレーザー光はコリメーターレンズ10
2によって直径1.2mmφの平行光束103となり、
格子ピッチdが3.2μmの透過型の回折格子110の
格子配列方向に垂直に入射する。このとき±1次の回折
光105a,105bは回折角θ1 =12°で出射す
る。
Laser light from the laser diode 101 having a wavelength λ of about 0.68 μm is collimated by the collimator lens 10.
2 becomes a parallel light flux 103 with a diameter of 1.2 mmφ,
The light enters perpendicularly to the grating arrangement direction of the transmission type diffraction grating 110 having a grating pitch d of 3.2 μm. At this time, the ± 1st-order diffracted lights 105a and 105b are emitted at a diffraction angle θ 1 = 12 °.

【0065】光束105a,105bが焦点距離f(=
15mm)の凸レンズ121に入射すると、図のような
光束113a,113bが得られる。光束113a,1
13bが2f(=30mm)離れたもう1つの凸レンズ
122に入射すると、再び平行光114a,114bが
得られ、前述の回折格子110からの回折角θ1 と等し
い角度で1.2mmφのスポット径となって速度V(m
m/sec)の被測定物体としての円盤1を照射する。
The light beams 105a and 105b have a focal length f (=
When incident on a 15 mm) convex lens 121, light fluxes 113a and 113b as shown in the figure are obtained. Luminous flux 113a, 1
When 13b enters another convex lens 122 separated by 2f (= 30 mm), parallel rays 114a and 114b are obtained again, and a spot diameter of 1.2 mmφ is formed at an angle equal to the diffraction angle θ 1 from the diffraction grating 110 described above. Become speed V (m
The disk 1 as an object to be measured is irradiated at m / sec).

【0066】被測定物体1からの散乱光を凸レンズ12
2及び集光レンズ108により効率よく光検出器201
の受光部201aへと集光させ、(a1)式に示すドッ
プラー信号が含有された光信号を検出する。そして図3
に示す構成のドップラー信号処理回路からの出力を受け
る不図示の演算手段を介して被測定物体1の速度情報を
得ている。
The convex lens 12 reflects scattered light from the measured object 1.
2 and the condensing lens 108 make the photodetector 201 efficient.
The light signal is condensed on the light receiving unit 201a of (1) and the optical signal containing the Doppler signal shown in the expression (a1) is detected. And Figure 3
The velocity information of the object to be measured 1 is obtained via a calculation means (not shown) that receives an output from the Doppler signal processing circuit having the configuration shown in FIG.

【0067】 F=2V/d=V/1.6(kHz) ・・・・・・・・(a1) ここでa=10mm,b=20mmとしており、bは比
較的長くなりワーキングディスタンスを大きくして速度
計設置の自由度を大きくしている。
F = 2V / d = V / 1.6 (kHz) (a1) Here, a = 10 mm and b = 20 mm, where b is relatively long and the working distance is large. The speed of installation of the speedometer is increased.

【0068】ここでレーザーダイオード101からのレ
ーザー光の波長λが変化したとすると、dsin θ=
λに対応して回折角θが変動するが、ドップラー信号は
変動しない。また、この装置では2光束スポットの位置
も不動にしている。即ち被測定物体1を図5に示す配置
に設定して、被測定物体1上で2光束のスポットの位置
が不動となるようにしてスポット間の位置ずれが生じな
いようにして、常に適正な交差状態を保ち、良好なるド
ップラー信号とインデックス信号を得ている。
If the wavelength λ of the laser light from the laser diode 101 changes, then dsin θ =
The diffraction angle θ changes in accordance with λ, but the Doppler signal does not change. Further, in this device, the positions of the two light flux spots are also immovable. That is, the object to be measured 1 is set to the arrangement shown in FIG. 5, the positions of the spots of the two light fluxes on the object to be measured 1 are immovable, and the positional deviation between the spots does not occur. The crossing condition is maintained and good Doppler and index signals are obtained.

【0069】図8は本発明の実施例2の要部ブロック図
である。本実施例はハードディスクのサーボトラックラ
イタに適用した場合を示している。
FIG. 8 is a block diagram of essential parts of the second embodiment of the present invention. This embodiment shows a case where the present invention is applied to a servo track writer of a hard disk.

【0070】図1に示した実施例1と同じブロック(要
素)には同じ番号を付与して説明を省く。実施例1との
違いは拡散反射領域に2つ以上のインデックスマークを
設けていることである。インデックス信号を分割基準信
号として使用し、ドップラー信号パルスは位置決め情報
を書き込むときの基準信号として使用する。
The same blocks (elements) as those of the first embodiment shown in FIG. 1 are assigned the same numbers and their explanations are omitted. The difference from Example 1 is that two or more index marks are provided in the diffuse reflection area. The index signal is used as a division reference signal, and the Doppler signal pulse is used as a reference signal when writing positioning information.

【0071】図8の下方に示すように、インデックスマ
ーク18は検出用リング16に予め設けられている。回
転物体の一部を拡散反射領域として使うときには回転物
体にインデックスマークを入れておくか、インデックス
マークの働きをするシール等を貼り付けてインデックス
マークとする。
As shown in the lower part of FIG. 8, the index mark 18 is provided on the detection ring 16 in advance. When using a part of a rotating object as a diffuse reflection area, an index mark is put on the rotating object, or a sticker or the like that functions as an index mark is attached to form an index mark.

【0072】2個以上のインデックスマークを予め正確
な位置関係で配置しておけば、カウンタ手段3、1周パ
ルスメモリ4、分割数データ5、除算器6、分割パルス
数メモリ7、比較器8は必要なくなり回路構成を簡便に
できる。その他のドップラー信号検出やインデックス信
号検出については実施例1と同様である。
If two or more index marks are arranged in advance in a precise positional relationship, the counter means 3, the one-round pulse memory 4, the division number data 5, the divider 6, the division pulse number memory 7, and the comparator 8 will be described. Is unnecessary and the circuit configuration can be simplified. Other Doppler signal detection and index signal detection are the same as in the first embodiment.

【0073】[0073]

【発明の効果】本発明によれば以上のように、光学ヘッ
ドより得られるドップラー信号とインデックス信号とを
適切に処理することにより、円盤等の円周方向の角度検
出及び位置決めを高精度に行う為の基準信号を容易に得
ることができる基準信号発生装置及びそれを用いた回転
情報検出装置を達成することができる。
As described above, according to the present invention, by appropriately processing the Doppler signal and the index signal obtained from the optical head, the angle detection and positioning in the circumferential direction of the disk or the like can be performed with high accuracy. Therefore, it is possible to achieve a reference signal generator that can easily obtain a reference signal and a rotation information detection device using the reference signal generator.

【0074】この他、本発明によれば、回転物体からの
ドップラー信号とインデックス信号とを含んだ散乱光を
ドップラー信号検出用の1つの光検出器で検出し、該光
検出器からの信号を適切なる構成の信号処理回路を用い
て処理することによりドップラー信号と共にインデック
ス信号を得るようにし、簡易な構成により回転物体の回
転情報を高精度に検出することができ、回転速度変動の
影響を受けず非接触で高精度な位置情報書き込みの為の
基準信号発生装置を達成することができる。
In addition, according to the present invention, the scattered light including the Doppler signal and the index signal from the rotating object is detected by one photodetector for detecting the Doppler signal, and the signal from the photodetector is detected. The index signal is obtained together with the Doppler signal by processing using a signal processing circuit with an appropriate configuration, and the rotation information of the rotating object can be detected with high accuracy by a simple configuration, and it is affected by the fluctuation of the rotation speed. It is possible to achieve a reference signal generator for writing highly accurate position information without contact.

【0075】このような本発明に係る装置を使用すれ
ば、被検物体にインデックスマークを形成してもドップ
ラー信号に影響を与えないようにすることができる。更
に被検物体の回転速度が変化しても正確にインデックス
信号が得られるといった効果が得られる。
By using such an apparatus according to the present invention, it is possible to prevent the Doppler signal from being affected even if the index mark is formed on the object to be inspected. Further, the index signal can be accurately obtained even if the rotation speed of the object to be measured changes.

【0076】この他、本発明によれば、回転物体の一部
にリング状の反射領域を設けることにより回転物体の回
転状態にかかわらず常にドップラー信号が得られ、これ
とは例えば反射率の異なるインデックスマークからイン
デックス信号を検出してカウント開始、終了と基準パル
ス信号を決定することでクリアラッチ信号を回転毎に得
ることができる。リング状の拡散領域とインデックスマ
ークを有していることにより、上述のようなドップラー
信号パルスを利用した角度分割が可能な回転物体が実現
できる。特に、回転速度変動の影響を受けず、非接触で
高精度な角度検出ができる等の効果が得られる。
In addition to this, according to the present invention, by providing a ring-shaped reflection region in a part of the rotating object, a Doppler signal can always be obtained regardless of the rotating state of the rotating object. By detecting the index signal from the index mark and determining the start and end of counting and the reference pulse signal, the clear latch signal can be obtained for each rotation. By having the ring-shaped diffusion region and the index mark, it is possible to realize a rotating object capable of angle division using the Doppler signal pulse as described above. In particular, it is possible to obtain an effect that the angle can be detected with high accuracy in a non-contact manner without being affected by the fluctuation of the rotation speed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例1の要部概略図FIG. 1 is a schematic view of a main part of a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明に係るインデックスマークとスポット光
束との関係を示す説明図
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a relationship between an index mark and a spot light flux according to the present invention.

【図3】本発明の実施例1の要部ブロック図FIG. 3 is a block diagram of a main part of the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明に係るインデックス信号検出方法の説明
FIG. 4 is an explanatory diagram of an index signal detection method according to the present invention.

【図5】本発明に係る光学ヘッドの要部概略図FIG. 5 is a schematic view of a main part of an optical head according to the present invention.

【図6】従来の位置決め情報の書き込み装置の要部ブロ
ック図
FIG. 6 is a block diagram of a main part of a conventional positioning information writing device.

【図7】円盤の円周を複数領域に分割するときの説明図FIG. 7 is an explanatory diagram for dividing the circumference of the disk into a plurality of areas.

【図8】本発明の実施例2の要部概略図FIG. 8 is a schematic view of the essential portions of Embodiment 2 of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 円盤(回転物体) 2 光学ヘッド 3 カウンタ手段 4 1周パルスメモリ 5 分割数データ 6 除算器 7 分割パルス数メモリ 8 比較器 9 信号処理部 10 ボイスコイルモータ(VCM) 11 磁気ヘッド 16 検出用リング 18 インデックスマーク(回転基準領域) 21 ドップラー信号処理回路 22 インデックス信号処理回路 100 光学ヘッドの光学系 101 光源手段 201 光検出器 202 第1増幅器 203 第2増幅器 204 バンドパスフィルター 205 波形整形器 206 周波数発生器 207 ハイパスフィルター 208 ローパスフィルター 209 第3増幅器 210 検出器 211 インデックス発生器 1 Disk (Rotating Object) 2 Optical Head 3 Counter Means 4 1-Pulse Pulse Memory 5 Divided Number Data 6 Divider 7 Divided Pulse Number Memory 8 Comparator 9 Signal Processing Unit 10 Voice Coil Motor (VCM) 11 Magnetic Head 16 Detection Ring 18 index mark (rotational reference area) 21 Doppler signal processing circuit 22 index signal processing circuit 100 optical system of optical head 101 light source means 201 photodetector 202 first amplifier 203 second amplifier 204 bandpass filter 205 waveform shaper 206 frequency generator 206 207 High-pass filter 208 Low-pass filter 209 Third amplifier 210 Detector 211 Index generator

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光源手段からの光束を回転物体の被検面
に入射させ、該回転物体からのドップラーシフトを受け
た散乱光を光検出器で検出し、該光検出器からの信号を
ドップラー信号処理回路に入力して得られるドップラー
信号パルスと、該光源手段からの光束を該回転物体の一
部に設けた該被検面の拡散反射率と異なる拡散反射率を
有し、かつ該光束の径よりも小さいインデックスマーク
に入射させ、該インデックスマークからの散乱光を該光
検出器で検出し、該光検出器からの信号をインデックス
処理回路に入力して得られるインデックス信号とを用い
て該回転物体に位置決め情報を記録するときの基準信号
を得ていることを特徴とする基準信号発生装置。
1. A light beam from a light source means is incident on a surface to be inspected of a rotating object, scattered light subjected to Doppler shift from the rotating object is detected by a photodetector, and a signal from the photodetector is detected by Doppler. The Doppler signal pulse obtained by inputting to the signal processing circuit and the light flux from the light source means have a diffuse reflectance different from the diffuse reflectance of the surface to be inspected provided on a part of the rotating object, and the light flux Incident on an index mark smaller than the diameter of the index mark, the scattered light from the index mark is detected by the photodetector, and the signal from the photodetector is input to the index processing circuit to obtain an index signal. A reference signal generator for obtaining a reference signal for recording positioning information on the rotating object.
【請求項2】 前記ドップラー信号パルスをカウントす
るカウンタ手段を有し、前記インデックス信号により、
該カウンタ手段に対してカウント開始とカウント終了の
パルス信号を決定し、カウント開始とカウント終了のパ
ルス信号間のドップラー信号パルス数を第1記憶手段に
記憶し、該第1記憶手段に記憶したドップラー信号パル
ス数を除算手段で該回転物体の角度方向を複数領域に分
割する分割数で割り、該除算したパルス数を第2記憶手
段に記憶し、該第2記憶手段に記憶したパルス数と該カ
ウンタ手段でカウントしたドップラー信号パルス数とを
比較手段で比較して分割基準パルスを生成し、該分割基
準パルスを利用して該回転物体の角度方向を複数領域に
分割し、該複数領域に位置決めの為の情報を書き込むと
きの基準信号として該ドップラー信号パルスを使うこと
を特徴とする請求項1の基準信号発生装置。
2. A counter means for counting the Doppler signal pulses, comprising:
A pulse signal for starting and ending counting is determined for the counter means, the number of Doppler signal pulses between the pulse signals for starting and ending counting is stored in the first storage means, and the Doppler stored in the first storage means. The number of signal pulses is divided by the number of divisions by which the angular direction of the rotating object is divided into a plurality of regions by the dividing means, the divided number of pulses is stored in the second storage means, and the number of pulses stored in the second storage means and the The divided reference pulse is generated by comparing the number of Doppler signal pulses counted by the counter means with the comparison means, the angular direction of the rotating object is divided into a plurality of areas by using the divided reference pulse, and positioning is performed in the plurality of areas. 2. The reference signal generator according to claim 1, wherein the Doppler signal pulse is used as a reference signal when writing information for writing.
【請求項3】 前記回転物体はリング状の反射領域と該
リング状の反射領域中に該反射領域の拡散反射率とは異
なり、かつ入射光束の径よりも小さいインデックスマー
クとを有しており、前記光検出器により該インデックス
マークからの散乱光よりインデックス信号を検出して前
記カウンタ手段に対するカウント開始とカウント終了の
パルスを決定していることを特徴とする請求項2の基準
信号発生装置。
3. The rotating object has a ring-shaped reflection area and an index mark in the ring-shaped reflection area, which has a diffuse reflectance different from that of the reflection area and is smaller than a diameter of an incident light beam. 3. The reference signal generator according to claim 2, wherein the photodetector detects an index signal from the scattered light from the index mark to determine the pulse for starting and ending the counting for the counter means.
【請求項4】 前記インデックス信号処理回路はローパ
スフィルタとハイパスフィルタと増幅回路とレベル検出
器そしてインデックス発生器とを有し、双方のフィルタ
ーのカットオフ周波数を前記回転物体の速度情報に基づ
いて決定し、これよりインデックス信号を得ていること
を特徴とする請求項1,2又は3の基準信号発生装置。
4. The index signal processing circuit includes a low-pass filter, a high-pass filter, an amplifier circuit, a level detector, and an index generator, and the cutoff frequencies of both filters are determined based on the speed information of the rotating object. 4. The reference signal generator according to claim 1, wherein the index signal is obtained from the index signal.
【請求項5】 前記光検出器は光源手段からの光束を回
転物体に入射させたときの該回転物体から生じる散乱光
のドップラーシフトに基づくドップラー信号を検出して
おり、該ドップラー信号を利用して該回転物体に位置決
め情報を記録するときの基準信号を発生する際、該回転
物体は回転軸を中心とするリング状の拡散反射領域とイ
ンデックスマークを有していることを特徴とする請求項
1,2,3又は4の基準信号発生装置。
5. The photodetector detects a Doppler signal based on a Doppler shift of scattered light generated from a rotating object when a light beam from a light source means is incident on the rotating object, and the Doppler signal is utilized. 7. When generating a reference signal for recording positioning information on the rotating object, the rotating object has a ring-shaped diffuse reflection area centered on the rotation axis and an index mark. 1, 2, 3 or 4 reference signal generators.
【請求項6】 光源手段からの光束を物体に入射させ、
該物体からのドップラーシフトを受けた散乱光の周波数
の偏移に基づくドップラー信号と該物体の基準となるイ
ンデックス信号とを1つの光学ヘッドにより検出し、該
光学ヘッドからのドップラー信号とインデックス信号に
よって位置決め情報を記録するときの基準信号を発生す
ることを特徴とする基準信号発生装置。
6. A light beam from a light source means is incident on an object,
A Doppler signal based on the frequency shift of scattered light that has undergone the Doppler shift from the object and an index signal serving as a reference of the object are detected by one optical head, and by the Doppler signal and the index signal from the optical head, A reference signal generator for generating a reference signal for recording positioning information.
【請求項7】 光源手段からの光束を回転物体の被検面
に入射させ、該回転物体からのドップラーシフトを受け
た散乱光を光検出器で検出し、該光検出器からの信号を
ドップラー信号処理回路に入力して得られたドップラー
信号パルスを該回転物体の周上に設けた2つ以上のイン
デックスマークに基づいて得られたインデックス信号に
より該回転物体を角度方向に複数領域に分割し、該複数
領域に位置決めの為の情報を書き込むときの基準信号と
して用いていることを特徴とする基準信号発生装置。
7. A light beam from a light source means is made incident on a surface to be inspected of a rotating object, scattered light subjected to Doppler shift from the rotating object is detected by a photodetector, and a signal from the photodetector is detected by Doppler. A Doppler signal pulse obtained by inputting to a signal processing circuit is divided into a plurality of regions in the angular direction by an index signal obtained based on two or more index marks provided on the circumference of the rotating object. A reference signal generator used as a reference signal when writing information for positioning in the plurality of regions.
【請求項8】 光源手段からの光束を回転物体の被検面
に入射させ、該回転物体からのドップラーシフトを受け
た散乱光を光検出器で検出し、該光検出器からの信号を
ドップラー信号処理回路に入力して得られるドップラー
信パルス号より該回転物体の回転情報を検出する際、該
ドップラー信号パルスと該光源手段からの光束を該回転
物体の一部に設けたインデックスマークに入射させ、該
インデックスマークからの散乱光を該光検出器で検出
し、該光検出器からの信号をインデックス処理回路に入
力して得られるインデックス信号とを用いて該回転物体
に位置決め情報を記録するときの基準信号を得ているこ
とを特徴とする回転情報検出装置。
8. A light beam from a light source means is incident on a surface to be inspected of a rotating object, scattered light subjected to Doppler shift from the rotating object is detected by a photodetector, and a signal from the photodetector is detected by Doppler. When detecting the rotation information of the rotating object from the Doppler signal pulse signal obtained by inputting to the signal processing circuit, the Doppler signal pulse and the light flux from the light source means are made incident on an index mark provided in a part of the rotating object. Then, the scattered light from the index mark is detected by the photodetector, and the positioning information is recorded on the rotating object using the index signal obtained by inputting the signal from the photodetector to the index processing circuit. A rotation information detecting device, wherein a reference signal of time is obtained.
【請求項9】 前記ドップラー信号パルスをカウントす
るカウンタ手段を有し、前記インデックス信号により、
該カウンタ手段に対してカウント開始とカウント終了の
パルス信号を決定し、カウント開始とカウント終了のパ
ルス信号間ドップラー信号のパルス数を第1記憶手段に
記憶し、該第1記憶手段に記憶したパルス数を除算手段
で該回転物体の角度方向を複数領域に分割する分割数で
割り、該除算したパルス数を第2記憶手段に記憶し、該
第2記憶手段に記憶したパルスと該カウンタ手段でカウ
ントしたドップラー信号パルス数とを比較手段で比較し
て分割基準パルスを生成し、該分割基準パルスを利用し
て該回転物体の角度方向を複数領域に分割し、該複数領
域に位置決めの為の情報を書き込むときの基準信号とし
て該ドップラー信号パルスを使うことを特徴とする請求
項8の回転情報検出装置。
9. A counter means for counting the Doppler signal pulses, comprising:
A pulse signal for starting and ending counting is determined for the counter means, the number of pulses of the Doppler signal between the pulse signals for starting and ending counting is stored in the first storage means, and the pulse stored in the first storage means is stored. The number is divided by the number of divisions into which the angular direction of the rotating object is divided into a plurality of areas by the division means, the divided number of pulses is stored in the second storage means, and the pulses stored in the second storage means and the counter means The divided reference pulse is generated by comparing the counted number of Doppler signal pulses with the comparison means, the angular direction of the rotating object is divided into a plurality of regions by using the divided reference pulse, and positioning is performed in the plurality of regions. 9. The rotation information detecting device according to claim 8, wherein the Doppler signal pulse is used as a reference signal when writing information.
【請求項10】 前記回転物体はリング状の反射領域と
該リング状の反射領域中に該反射領域の拡散反射率とは
異なり、かつ入射光束の径よりも小さいインデックスマ
ークとを有しており、前記光検出器により該インデック
スマークからの散乱光よりインデックス信号を検出して
前記カウンタ手段に対するカウント開始とカウント終了
のパルスを決定していることを特徴とする請求項9の回
転情報検出装置。
10. The rotating object has a ring-shaped reflection region and an index mark in the ring-shaped reflection region, which has a diffuse reflectance different from that of the reflection region and is smaller than a diameter of an incident light beam. 10. The rotation information detecting device according to claim 9, wherein the photodetector detects an index signal from the scattered light from the index mark to determine the counting start and counting end pulses for the counter means.
【請求項11】 前記インデックス信号処理回路はロー
パスフィルタとハイパスフィルタと増幅回路とレベル検
出器そしてインデックス発生器とを有し、双方のフィル
ターのカットオフ周波数を前記回転物体の速度情報に基
づいて決定し、これよりインデックス信号を得ているこ
とを特徴とする請求項8,9又は10の回転情報検出装
置。
11. The index signal processing circuit includes a low-pass filter, a high-pass filter, an amplifier circuit, a level detector, and an index generator, and cutoff frequencies of both filters are determined based on velocity information of the rotating object. The rotation information detecting device according to claim 8, 9 or 10, wherein the index signal is obtained from this.
【請求項12】 前記光検出器は光源手段からの光束を
回転物体に入射させたときの該回転物体から生じる散乱
光のドップラーシフトに基づくドップラー信号を検出し
ており、該ドップラー信号を利用して該回転物体に位置
決め情報を記録するときの基準信号を発生する際、該回
転物体は回転軸を中心とするリング状の拡散反射領域と
インデックスマークを有していることを特徴とする請求
項8,9,10又は11の回転情報検出装置。
12. The photodetector detects a Doppler signal based on a Doppler shift of scattered light generated from a rotating object when a light beam from a light source means is incident on the rotating object, and the Doppler signal is utilized. 7. When generating a reference signal for recording positioning information on the rotating object, the rotating object has a ring-shaped diffuse reflection area centered on the rotation axis and an index mark. 8, 9, 10 or 11 rotation information detecting device.
【請求項13】 光源手段からの光束を該回転物体に入
射させ、該回転物体からのドップラーシフトを受けた散
乱光の周波数の偏移に基づくドップラー信号と該回転物
体の基準となるインデックス信号とを1つの光学ヘッド
により検出し、該光学ヘッドからのドップラー信号より
該回転物体の回転情報を検出する際、該ドップラー信号
とインデックス信号によって位置決め情報を記録すると
きの基準信号を発生することを特徴とする回転情報検出
装置。
13. A Doppler signal based on a frequency shift of scattered light that is caused by a Doppler shift from the rotating object when a light beam from a light source means is incident on the rotating object, and an index signal serving as a reference of the rotating object. Is detected by one optical head, and when the rotation information of the rotating object is detected from the Doppler signal from the optical head, a reference signal for recording positioning information is generated by the Doppler signal and the index signal. And a rotation information detecting device.
【請求項14】 光源手段からの光束を回転物体の被検
面に入射させ、該回転物体からのドップラーシフトを受
けた散乱光を光検出器で検出し、該光検出器からの信号
をドップラー信号処理回路に入力して得られたドップラ
ー信号パルスより該回転物体の回転情報を検出する際、
該ドップラー信号パルスを該回転物体の周上に設けた2
つ以上のインデックスマークに基づいて得られたインデ
ックス信号により該回転物体を角度方向に複数領域に分
割し、該複数領域に位置決めの為の情報を書き込むとき
の基準信号として用いていることを特徴とする回転情報
検出装置。
14. A light beam from a light source means is made incident on a surface to be inspected of a rotating object, a scattered light subjected to Doppler shift from the rotating object is detected by a photodetector, and a signal from the photodetector is detected by Doppler. When detecting the rotation information of the rotating object from the Doppler signal pulse obtained by inputting to the signal processing circuit,
The Doppler signal pulse is provided on the circumference of the rotating object 2
The rotating object is divided into a plurality of regions in the angular direction by an index signal obtained based on one or more index marks, and is used as a reference signal when writing information for positioning in the plurality of regions. Rotation information detection device.
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