JPH08273814A - Ceramic heater - Google Patents
Ceramic heaterInfo
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- JPH08273814A JPH08273814A JP9423395A JP9423395A JPH08273814A JP H08273814 A JPH08273814 A JP H08273814A JP 9423395 A JP9423395 A JP 9423395A JP 9423395 A JP9423395 A JP 9423395A JP H08273814 A JPH08273814 A JP H08273814A
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- rhenium
- green sheet
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、主としてディーゼル
エンジンの低温始動時における燃料の着火、燃焼機器の
着火及び酸素センサーの活性化に使用されるセラミック
ヒーターの構造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure of a ceramic heater mainly used for igniting a fuel at low temperature starting of a diesel engine, igniting a combustion device and activating an oxygen sensor.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、主としてディーゼルエンジンの低
温始動時における燃料の着火や燃焼機器の着火及び酸素
センサーの活性化に使用されるセラミックヒーターに
は、レニウム（Ｒｅ）−タングステン（Ｗ）合金線材を
巻回してコイル状とし、このコイル状としたレニウム
（Ｒｅ）−タングステン（Ｗ）合金線材を発熱体として
窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）焼結体基体中に内蔵してヒータ
ー素子としてなるものの他、酸化アルミニウム（Ａｌ2
Ｏ3 ）を主成分とする絶縁体シート上にタングステン
（Ｗ）或はモリブデン（Ｍｏ）等の粉末を含むペースト
によりヒートパターンを印刷すると共に棒状に成形した
後、焼成することにより、特に酸素センサー用のセラミ
ックヒーターとしてなるものや、窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ
4 ）を主成分とする絶縁体シート上に、タングステン
（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、炭化タングステン（Ｗ
Ｃ）等の金属粉末や炭化タングステン（ＷＣ）等の導電
性セラミック粉末によりヒートパターンを印刷すると共
に適宜ヒーターの形状に成形した後、焼成することでセ
ラミックヒーターとしてなるものが一般的に知られてい
る。2. Description of the Related Art Conventionally, a rhenium (Re) -tungsten (W) alloy wire has been used as a ceramic heater mainly used for ignition of fuel and ignition of combustion equipment and activation of oxygen sensor at low temperature starting of a diesel engine. In addition, a coil element is formed by winding the coiled rhenium (Re) -tungsten (W) alloy wire into a silicon nitride (Si 3 N 4 ) sintered body as a heating element. , Aluminum oxide (Al 2
An oxygen sensor is manufactured by printing a heat pattern with a paste containing powder of tungsten (W) or molybdenum (Mo) on an insulating sheet containing O 3 ) as a main component, forming a rod-shaped heat pattern, and then firing it. Used as a ceramic heater for silicon nitride (Si 3 N
4 ) on the insulating sheet mainly composed of tungsten (W), molybdenum (Mo), tungsten carbide (W
It is generally known that a ceramic heater is obtained by printing a heat pattern with a metal powder such as C) or a conductive ceramic powder such as tungsten carbide (WC), forming it into the shape of a heater appropriately, and then firing it. There is.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来のものにおいて、主としてディーゼルエンジンの低
温始動時における燃料の着火や燃焼機器の着火などに使
用されるセラミックヒーターにおいて、レニウム（Ｒ
ｅ）−タングステン（Ｗ）合金線材を巻回してコイル状
とし、このコイル状としたレニウム（Ｒｅ）−タングス
テン（Ｗ）合金線材からなる発熱体を窒化珪素（Ｓｉ3
Ｎ4 ）基体中に内蔵してヒーター素子としてなるものの
場合、ヒーター素子を構成する窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）
基体中に内蔵される発熱体、すなわちコイル状としたレ
ニウム（Ｒｅ）−タングステン（Ｗ）合金線材は、通電
によって発生する自己発熱により極めて高温となるため
ディーゼルエンジンの低温始動時における吸入空気の予
熱あるいは燃料の着火には適するものであるが、窒化珪
素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）基体中でコイル状に内蔵されるレニウ
ム（Ｒｅ）−タングステン（Ｗ）合金線材は著しく高価
であるため、セラミックヒーターの製造コストが著しく
上昇してしまう欠点がある。However, in the above-mentioned conventional heaters, a rhenium (R) (R) (R) alloy is used in a ceramic heater mainly used for igniting fuel at low temperature starting of a diesel engine or igniting combustion equipment.
e) -Tungsten (W) alloy wire is wound into a coil, and a heating element made of the coiled rhenium (Re) -Tungsten (W) alloy wire is attached to silicon nitride (Si 3
N 4 ) Silicon nitride (Si 3 N 4 ) forming the heater element in the case of being incorporated in the base body as a heater element
The heating element built in the base body, that is, the coiled rhenium (Re) -tungsten (W) alloy wire rod becomes extremely hot due to self-heating generated by energization, so that the intake air is preheated at low temperature starting of the diesel engine. Alternatively, a rhenium (Re) -tungsten (W) alloy wire, which is suitable for igniting a fuel but is housed in a coil in a silicon nitride (Si 3 N 4 ) substrate, is extremely expensive. There is a drawback that the manufacturing cost increases significantly.
【０００４】更に、酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）を
主成分とする絶縁体シート上にヒートパターンを印刷す
ると共に棒状に成形した後、焼成することにより、特に
酸素センサー用のセラミックヒーターとしてなるものの
場合、発熱体をコイル状としたレニウム（Ｒｅ）−タン
グステン（Ｗ）合金線材からなるものとする代わりに、
タングステン（Ｗ）或はモリブデン（Ｍｏ）等の粉末を
含むペーストにより印刷するヒートパターンを用いるこ
とでセラミックヒーターとしての製造コスト自体は引き
下げることが可能となるが、ヒートパターンが印刷され
る絶縁体シートが酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）を主
成分とするものであるため耐熱衝撃性が低く、セラミッ
クヒーターにおいて急速な昇温を実施するとセラミック
ヒーターを構成する絶縁体シート自体が破損し易く実用
に供することができない。Further, by printing a heat pattern on an insulating sheet containing aluminum oxide (Al 2 O 3 ) as a main component, forming it into a rod shape, and then firing it, a ceramic heater for an oxygen sensor can be obtained. In this case, instead of using the coil made of a rhenium (Re) -tungsten (W) alloy wire as the heating element,
Although it is possible to reduce the manufacturing cost itself as a ceramic heater by using a heat pattern printed with a paste containing powder of tungsten (W) or molybdenum (Mo), an insulating sheet on which the heat pattern is printed. Since aluminum oxide (Al 2 O 3 ) is the main component, its thermal shock resistance is low, and when the ceramic heater is heated rapidly, the insulating sheet itself that constitutes the ceramic heater is easily damaged and is put into practical use. I can't.
【０００５】一方、窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）を主成分と
する絶縁体シート上において、タングステン（Ｗ）、モ
リブデン（Ｍｏ）、炭化タングステン（ＷＣ）等の金属
粉末や導電性セラミック粉末のペーストによりヒートパ
ターンを印刷すると共に適宜ヒーターの形状に成形した
後、焼成することでセラミックヒーターとしてなるもの
では、ヒートパターンを印刷する絶縁体シートに窒化珪
素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）を使用するものであるため、絶縁体シ
ート自体の耐熱衝撃性は向上するものとなり、急速な昇
温を実施してもセラミックヒーターを構成する絶縁体シ
ート自体の熱衝撃による破損は確実に解消できるものと
なるが、発熱するヒートパターンがタングステン
（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、炭化タングステン（Ｗ
Ｃ）等の金属粉末や導電性セラミック粉末により形成さ
れたものであるため、比較的固有抵抗が小さく通電によ
る自己発熱の温度が十分に確保できず、ディーゼルエン
ジンの低温始動時における始動性能が低下してしまう問
題がある。On the other hand, a paste of a metal powder such as tungsten (W), molybdenum (Mo), or tungsten carbide (WC) or a conductive ceramic powder is applied on an insulating sheet containing silicon nitride (Si 3 N 4 ) as a main component. In the case of forming a ceramic heater by printing a heat pattern with a heater and appropriately forming it in the shape of a heater, and then firing it, silicon nitride (Si 3 N 4 ) is used for the insulating sheet on which the heat pattern is printed. Therefore, the thermal shock resistance of the insulator sheet itself will be improved, and even if a rapid temperature rise is performed, the damage due to the thermal shock of the insulator sheet itself that constitutes the ceramic heater can be reliably eliminated. The heat pattern to be applied is tungsten (W), molybdenum (Mo), tungsten carbide (W
Since it is formed of a metal powder such as C) or a conductive ceramic powder, it has a relatively small specific resistance and a sufficient temperature for self-heating due to energization cannot be secured, and the starting performance at low temperature starting of the diesel engine is deteriorated. There is a problem.
【０００６】そこで、この発明は上記従来のものの持つ
欠点を改善するものであり、耐熱衝撃性を十分に確保し
つつ、急速な昇温を可能とすると共に、製造に当たって
の製造コストの低減化を達成することができるようにす
るものである。Therefore, the present invention is intended to improve the drawbacks of the above-mentioned conventional ones, and it is possible to rapidly increase the temperature while sufficiently securing the thermal shock resistance and to reduce the manufacturing cost in manufacturing. It is something that can be achieved.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】そのために、レニウム−
タングステン合金粉末を印刷用インキと混合することに
より調製される印刷用ペーストをもって、窒化珪素を主
成分とする絶縁体グリーンシート上に、電極取出部と一
体に任意形状及び厚さを有するヒートパターンを印刷す
ると共に、このヒートパターンを印刷した絶縁体グリー
ンシートに対して、該ヒ−トパターンを覆うようにヒー
トパターンを印刷しない窒化珪素を主成分とする絶縁体
グリーンシートを積層し一体にし焼成してなるものであ
る。[Means for Solving the Problems]
With a printing paste prepared by mixing tungsten alloy powder with a printing ink, a heat pattern having an arbitrary shape and thickness is integrally formed with the electrode lead-out portion on an insulating green sheet whose main component is silicon nitride. In addition to printing, an insulating green sheet containing silicon nitride as a main component, on which the heat pattern is not printed, is laminated on the insulating green sheet printed with the heat pattern so as to cover the heat pattern, and the sheets are integrally baked. It will be.
【０００８】[0008]
【作用】上記の構成を具えるので、高価であるレニウム
−タングステン合金の使用量を少なくして製造コストを
低減することができると共に、レニウム−タングステン
合金粉末は固有抵抗が大きく、急速な昇温を可能とする
ことができる。With the above-mentioned structure, the manufacturing cost can be reduced by reducing the amount of expensive rhenium-tungsten alloy used, and the rhenium-tungsten alloy powder has a large specific resistance and a rapid temperature rise. Can be possible.
【０００９】更に、レニウム−タングステン合金粉末を
有機バインダーと溶剤からなる印刷用インキと混合する
ことにより調製される印刷用ペーストをもってヒートパ
ターンを印刷する絶縁体シートを窒化珪素を主成分とす
るため、耐熱衝撃性が向上するため、レニウム−タング
ステン合金粉末によるヒートパターンの急速な昇温に対
しても破損することなく十分に対応することができる。Furthermore, since an insulating sheet for printing a heat pattern with a printing paste prepared by mixing a rhenium-tungsten alloy powder with a printing ink composed of an organic binder and a solvent contains silicon nitride as a main component, Since the thermal shock resistance is improved, it is possible to sufficiently cope with the rapid temperature rise of the heat pattern by the rhenium-tungsten alloy powder without damage.
【００１０】[0010]
【実施例】この発明を図に示す実施例により更に説明す
る。（１）は、この発明の実施例である板状のセラミッ
クヒーターであり、この板状のセラミックヒーター
（１）は、内部にレニウム−タングステン合金粉末によ
るヒートパターン（３）を内蔵する窒化珪素を主成分と
するセラミックヒーター本体（２）と、このセラミック
ヒーター本体（２）内に内蔵されるレニウム−タングス
テン合金粉末によるヒートパターン（３）より、セラミ
ックヒーター本体（２）の表面に導出される正、負の電
極取出部（４）（５）に対して電気的導通を図るべく各
々リード線（８）（９）に接続する電極板（６）（７）
から構成されるものである。The present invention will be further described with reference to the embodiments shown in the drawings. (1) is a plate-shaped ceramic heater according to an embodiment of the present invention. The plate-shaped ceramic heater (1) is made of silicon nitride containing a heat pattern (3) containing rhenium-tungsten alloy powder therein. The ceramic heater main body (2) as the main component and the heat pattern (3) of the rhenium-tungsten alloy powder contained in the ceramic heater main body (2) lead to the positive surface of the ceramic heater main body (2). , Electrode plates (6) and (7) respectively connected to the lead wires (8) and (9) in order to establish electrical continuity with the negative electrode extraction portions (4) and (5).
It is composed of
【００１１】そして、上記内部にレニウム（Ｒｅ）−タ
ングステン（Ｗ）合金粉末によるヒートパターン（３）
を内蔵する窒化珪素を主成分とするセラミックヒーター
本体（２）は、レニウム（Ｒｅ）含有量を１０〜３０ｗ
ｔ％とするレニウム−タングステン合金粉末を有機バイ
ンダー（例えばポリビニールブチラール、ＥＶＡ、アク
リル樹脂など）と溶剤（例えば、エチルアルコール、ト
ルエンなど）を加えてなる印刷用インキと混合すること
により調製される印刷用ペーストを、窒化珪素（Ｓｉ3
Ｎ4 ）を主成分とする絶縁体グリーンシート（１０）表
面に、正、負の電極取出部（４）（５）と一体に任意形
状及び厚さを有するヒートパターン（３’）を印刷する
と共に、このヒートパターン（３’）を印刷する窒化珪
素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）を主成分とする絶縁体グリーンシート
（１０）に対して、該ヒ−トパターンを覆うようにヒー
トパターン（３）を印刷しない窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）
を主成分とする絶縁体グリーンシート（１１）を積層し
一体にした上で、板状に成形し、ホットプレスにて焼成
してなるものである。なお、このセラミックヒーター
（１）の成形に当たっては、上述する板状の他に、使用
用途、目的又は場所に応じて上記積層したプレス成形体
を円筒状或は巻回状などに成形した後焼成することも考
えられる。Then, a heat pattern (3) made of rhenium (Re) -tungsten (W) alloy powder is provided inside the above.
The ceramic heater body (2) containing silicon nitride as a main component has a rhenium (Re) content of 10 to 30 w.
It is prepared by mixing t% rhenium-tungsten alloy powder with a printing ink obtained by adding an organic binder (eg, polyvinyl butyral, EVA, acrylic resin, etc.) and a solvent (eg, ethyl alcohol, toluene, etc.). The printing paste is silicon nitride (Si 3
N 4) in the insulating green sheet (10) surface as a main component, positive, printing a heat pattern (3 ') having an arbitrary shape and thickness integrally negative electrode lead-out portion (4) (5) At the same time, for the insulator green sheet (10) containing silicon nitride (Si 3 N 4 ) as a main component for printing the heat pattern (3 ′), the heat pattern (3) is formed so as to cover the heat pattern. Nitride (Si 3 N 4 ) without printing
Insulator green sheets (11) containing as a main component are laminated and integrated, then formed into a plate shape and fired by hot pressing. When molding this ceramic heater (1), in addition to the above-mentioned plate shape, the above-mentioned laminated press-molded body is molded into a cylindrical shape or a winding shape according to the intended use, purpose or place, and then fired. It is also possible to do it.
【００１２】この発明の実施例であるセラミックヒータ
ー（１）は、以上の構成を具えるので、実際にリード線
（８）（９）を介して正、負の電極取出部（６）（７）
を通じて、この電極取出部（６）（７）と一体となるセ
ラミックヒーター本体（２）内に内蔵されるヒートパタ
ーン（３）に対して通電を行うと、この通電により自己
発熱を行うヒートパターン（３）が、レニウム（Ｒｅ）
含有量を１０〜３０ｗｔ％とするレニウム（Ｒｅ）−タ
ングステン（Ｗ）合金粉末を印刷用インキと混合するこ
とにより調製される印刷用ペーストをもって、窒化珪素
（Ｓｉ3 Ｎ4 ）を主成分とする絶縁体グリーンシート
（１０）に印刷されたものであるので、膨張係数がＳｉ
3 Ｎ4 シートに近似し、ディーゼルエンジン等の低温始
動時における予熱等のために、断線することなく急速な
昇温を可能にすると共に、高価であるレニウム（Ｒｅ）
−タングステン（Ｗ）合金のヒートパターン（３）にお
ける使用量を少なくして、効率よくヒートパターン
（３）を作成することができるものとなるため、セラミ
ックヒーター（１）自体の製造コストを低減することが
できるものとなる。Since the ceramic heater (1) according to the embodiment of the present invention has the above-mentioned structure, the positive and negative electrode lead-out portions (6) (7) are actually passed through the lead wires (8) (9). )
When the heat pattern (3) built in the ceramic heater body (2) integrated with the electrode lead-out parts (6) and (7) is energized through the 3) is rhenium (Re)
A printing paste prepared by mixing a rhenium (Re) -tungsten (W) alloy powder having a content of 10 to 30 wt% with a printing ink contains silicon nitride (Si 3 N 4 ) as a main component. Since it is printed on the insulator green sheet (10), the expansion coefficient is Si
Rhenium (Re), which is similar to a 3 N 4 sheet, enables rapid temperature rise without disconnection due to preheating at the time of low temperature starting of diesel engine etc.
-The amount of the tungsten (W) alloy used in the heat pattern (3) can be reduced to efficiently produce the heat pattern (3), thus reducing the manufacturing cost of the ceramic heater (1) itself. You will be able to.
【００１３】更に、セラミックヒーター本体（２）内に
おいて内蔵されるヒートパターン（３）を、レニウム
（Ｒｅ）−タングステン（Ｗ）合金粉末を印刷用インキ
と混合することにより調製される印刷用ペーストをもっ
て印刷する絶縁体シート（１０）を窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ
4 ）を主成分とすることにより、焼成してセラミックヒ
ーター（１）とした後は、セラミックヒーター本体
（２）の耐熱衝撃性が向上するため、レニウム−タング
ステン合金粉末からなるヒートパターン（３）による急
速な昇温に対しても破損することなく十分に対応するこ
とができるものとなる。Further, the heating pattern (3) contained in the ceramic heater body (2) has a printing paste prepared by mixing rhenium (Re) -tungsten (W) alloy powder with a printing ink. The insulating sheet (10) to be printed is made of silicon nitride (Si 3 N
By using 4 ) as a main component, after the ceramic heater (1) is fired to improve the thermal shock resistance of the ceramic heater body (2), the heat pattern (3) made of rhenium-tungsten alloy powder is formed. It is possible to sufficiently cope with a rapid temperature rise due to the above without damage.
【００１４】また、レニウムータングステン合金粉末は
レニウム含有量が多い程固有抵抗が大きく発熱特性の面
から好ましいが、３０ｗｔ％より多くなると膨張係数も
大きくなり絶縁体シ−トにクラックが生ずるおそれがあ
るため、レニウム含有量は１０〜３０ｗｔ％合金が好ま
しい。更に印刷用ペーストには膨張係数及び固有抵抗の
調整及び絶縁体シ−トとヒ−トパターンとの密着性を強
めるためとしてＳｉ3Ｎ4 粉末を少量混入しても良い。Further, the rhenium-tungsten alloy powder is preferable as the content of rhenium is larger because of its large specific resistance and heat generation characteristics. However, if it is more than 30 wt%, the expansion coefficient becomes large and the insulating sheet may be cracked. Therefore, an alloy having a rhenium content of 10 to 30 wt% is preferable. Further, a small amount of Si 3 N 4 powder may be mixed in the printing paste for the purpose of adjusting the expansion coefficient and specific resistance and strengthening the adhesion between the insulator sheet and the heat pattern.
【００１５】[0015]
【発明の効果】以上のとおり、レニウム（Ｒｅ）−タン
グステン（Ｗ）合金粉末を有機バインダと溶剤からなる
印刷用インキと混合することにより調製される印刷用ペ
ーストをもって、窒化珪素を主成分とする絶縁体グリー
ンシート上にヒートパターンを印刷し、更に窒化珪素を
主成分とする絶縁体グリーンシートを積層して一体とし
た上で焼成することによりセラミックヒーターとするこ
とにより、高価であるレニウム（Ｒｅ）の使用量を抑制
しつつ効率よくヒートパターンを形成して製造コストを
低減化することができると共に、耐熱衝撃性を向上させ
て急速な昇温に伴う破損を防止することができる優れた
効果を有するものである。As described above, the printing paste prepared by mixing the rhenium (Re) -tungsten (W) alloy powder with the printing ink composed of the organic binder and the solvent contains silicon nitride as the main component. By printing a heat pattern on the insulating green sheet, and further stacking the insulating green sheets containing silicon nitride as a main component to form a ceramic heater by firing, a rhenium (Re It is possible to reduce the manufacturing cost by efficiently forming a heat pattern while suppressing the use amount of), and to improve the thermal shock resistance and prevent damage due to rapid temperature rise. Is to have.
【図１】この発明の実施例である板状のセラミックヒー
ターの拡大斜視図である。FIG. 1 is an enlarged perspective view of a plate-shaped ceramic heater that is an embodiment of the present invention.
【図２】この発明の実施例である板状のセラミックヒー
ターの要部拡大断面図である。FIG. 2 is an enlarged sectional view of an essential part of a plate-shaped ceramic heater that is an embodiment of the present invention.
【図３】焼成前のセラミックヒーター本体の要部拡大分
解斜視図である。FIG. 3 is an enlarged exploded perspective view of a main part of a ceramic heater body before firing.
１ セラミックヒーター ２ セラミックヒーター本体 ３ ヒートパターン ３’（焼成前の）ヒートパターン ４ 電極取出部 ５ 電極取出部 ６ 電極板 ７ 電極板 ８ リード線 ９ リード線 １０ 絶縁体グリーンシート １１ 絶縁体グリーンシート 1 Ceramic Heater 2 Ceramic Heater Main Body 3 Heat Pattern 3 '(Before Firing) Heat Pattern 4 Electrode Extraction Part 5 Electrode Extraction Part 6 Electrode Plate 7 Electrode Plate 8 Lead Wire 9 Lead Wire 10 Insulator Green Sheet 11 Insulator Green Sheet
Claims (2)
用インキと混合することにより調製される印刷用ペース
トをもって、窒化珪素を主成分とする絶縁体グリーンシ
ート上に、電極取出部と一体に任意形状及び厚さを有す
るヒートパターンを印刷すると共に、このヒートパター
ンを印刷した絶縁体グリーンシートに対して該ヒ−トパ
ターンを覆うようにヒートパターンを印刷しない窒化珪
素を主成分とする絶縁体グリーンシートを積層し一体に
し、焼成したことを特徴とするセラミックヒーター。1. A printing paste prepared by mixing a rhenium-tungsten alloy powder with a printing ink, is formed on an insulating green sheet containing silicon nitride as a main component, and is integrally formed with an electrode extraction portion to have an arbitrary shape and a desired shape. An insulating green sheet containing silicon nitride as a main component, which is printed with a heat pattern having a thickness and is not printed with a heat pattern so as to cover the heat pattern, is formed on the insulating green sheet on which the heat pattern is printed. A ceramic heater characterized by being laminated, integrated, and fired.
は、レニウム含有量を１０〜３０ｗｔ％とした請求項１
記載のセラミックヒーター。2. The rhenium-tungsten alloy powder has a rhenium content of 10 to 30 wt%.
The described ceramic heater.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9423395A JPH08273814A (en) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | Ceramic heater |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9423395A JPH08273814A (en) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | Ceramic heater |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08273814A true JPH08273814A (en) | 1996-10-18 |
Family
ID=14104596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9423395A Pending JPH08273814A (en) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | Ceramic heater |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08273814A (en) |
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