JPH0826776A - Production of hermetically coated optical fiber - Google Patents

Production of hermetically coated optical fiber

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JPH0826776A
JPH0826776A JP6160249A JP16024994A JPH0826776A JP H0826776 A JPH0826776 A JP H0826776A JP 6160249 A JP6160249 A JP 6160249A JP 16024994 A JP16024994 A JP 16024994A JP H0826776 A JPH0826776 A JP H0826776A
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JP
Japan
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hydrogen
optical fiber
coating
fiber
hermetic
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JP6160249A
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Japanese (ja)
Inventor
Haruhiko Aikawa
晴彦 相川
Akihiko Mizutani
明彦 水谷
Toshio Danzuka
俊雄 彈塚
Hiroki Ishikawa
弘樹 石川
Motonori Nakamura
元宣 中村
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Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/02Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor
    • C03B37/025Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor from reheated softened tubes, rods, fibres or filaments, e.g. drawing fibres from preforms
    • C03B37/027Fibres composed of different sorts of glass, e.g. glass optical fibres
    • C03B37/02718Thermal treatment of the fibre during the drawing process, e.g. cooling
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C25/00Surface treatment of fibres or filaments made from glass, minerals or slags
    • C03C25/10Coating
    • C03C25/12General methods of coating; Devices therefor

Abstract

PURPOSE:To detect the defective part of a hermetic coating and to assure the quality of the coating over the entire length by subjecting the hermetic coating to a hydrogen treatment right after formation of the hermetic coating in a drawing stage and making light of a prescribed wavelength thereon from its one end right after taking up on a reel, then inspecting the coating. CONSTITUTION:A reactor 2 for the hermetic coating is installed right under a drawing furnace 1 for melt spinning a preform to a bare fiber. Gaseous raw materials are introduced into this reactor and the coating layer of a thin layer is applied on the bare fiber by a chemical vapor deposition method. A hydrogen treatment vessel 7 is installed right under the reactor and a gaseous mixture composed of hydrogen and inert gas is introduced therein to execute the hydrogen treatment. The fiber is cooled in an atmosphere contg. the hydrogen in a cooler 12 right after the hydrogen treatment at need. Further, the fiber is passed through a resin coating device 13 and a curing furnace 14, by which the synthetic resin coating is formed thereon. The hermetically coated optical fiber 15 is taken up on the reel. The light of the prescribed wavelength is made incident on the taken-up optical fiber from its one end and thereafter, backward scattering is detected, by which the hermetic coating layer is inspected and the defective part is removed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、カーボン等のハーメチ
ック被覆(ハーメチックコーティング)を施されてなる
ハーメチックコート光ファイバの製造方法に関し、特に
ハーメチック被覆の不均一部分を検出して均一性の保証
されたハーメチックコート光ファイバを提供できる製造
方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a hermetically coated optical fiber which is coated with a hermetic coating of carbon or the like. And a manufacturing method capable of providing a hermetically coated optical fiber.

【0002】[0002]

【従来の技術】現在、通信用の光ファイバはその損失の
低さから石英を主成分とするものが広く用いられてい
る。しかしながら、石英系の光ファイバは長期信頼性の
点から注意しなければならない問題点がある。その一つ
が水素のガラスへの侵入による信号光の伝送損失増加の
問題である。水素のような小さい分子は容易に石英ガラ
ス中を拡散し、コア部まで到達することができる。水素
が侵入すると、それ自身に光が吸収されて損失が増加し
たり、水素(H2 )がガラスと反応してOH基が生成さ
れ、これが損失増加の原因となることが知られている。
これらの問題を解決する方法として、カーボン、金属、
TiC等の薄膜を石英ファイバ表面上に被覆したいわゆ
るハーメチックコート光ファイバが注目されている。こ
の中でも特に、カーボンを被覆したカーボンコート光フ
ァイバは、その被覆膜構造の緻密さによる水素遮断性、
化学的安定性、機械的強度及び製造方法の面で優れてお
り、ハーメチックコート光ファイバの主流となってい
る。カーボンコート光ファイバの製造方法としては、原
料ガスを化学的に反応させて、ファイバ表面に析出させ
るCVD法が成膜速度及び膜質の点で有利であることが
知られている。従来このような技術として例えば特公昭
60−25351号後方、米国特許第4,790,62
5号明細書あるいはEPA0,308,143号等に示
されるような製造装置がある。反応容器はこのように上
からシールガス導入口、原料ガス導入口、排気ガス排出
口を有するタイプが一般的で、紡糸された高温のファイ
バはこれら原料ガス導入口と排出口の間で熱的化学反応
によりハーメチックコートが施され、その後さらに外周
に合成樹脂被覆が形成される。
2. Description of the Related Art At present, optical fibers for communication are widely used because of their low loss and quartz as a main component. However, the silica-based optical fiber has a problem to be noted in terms of long-term reliability. One of them is the problem of increased transmission loss of signal light due to the penetration of hydrogen into the glass. Small molecules such as hydrogen can easily diffuse in the quartz glass and reach the core. It is known that when hydrogen invades, light is absorbed by itself to increase loss, or hydrogen (H 2 ) reacts with glass to generate an OH group, which causes increase in loss.
As a method of solving these problems, carbon, metal,
A so-called hermetically-coated optical fiber in which a thin film of TiC or the like is coated on the surface of a quartz fiber is drawing attention. Among these, in particular, the carbon-coated optical fiber coated with carbon has a hydrogen barrier property due to the denseness of the coating film structure,
It is excellent in chemical stability, mechanical strength and manufacturing method, and is the mainstream of hermetically coated optical fibers. As a method for producing a carbon-coated optical fiber, it is known that a CVD method in which a raw material gas is chemically reacted and deposited on the fiber surface is advantageous in terms of film forming speed and film quality. Conventionally, such a technique is disclosed in, for example, Japanese Patent Publication No. 60-25351, U.S. Pat.
There is a manufacturing apparatus as shown in the specification No. 5 or EPA 0,308,143. As described above, the reaction vessel is generally of a type having a seal gas inlet, a raw material gas inlet, and an exhaust gas outlet from above, and the high-temperature spun fiber is thermally heated between these source gas inlet and outlet. A hermetic coat is applied by a chemical reaction, and then a synthetic resin coating is further formed on the outer periphery.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ハーメチックコート光
ファイバの製造において、そのハーメチック被覆層の全
長にわたる均一性の保証は従来からの懸案であった。す
なわち、コーティング不良部位の検出方法の問題であ
る。これに対して、様々な方法が提案されている。例え
ば、米国特許第5,057,781に記載されているよ
うなカーボン層の導電性を利用した電気的パラメータの
測定によって、コーティング層の被覆状態をモニタする
方法や、米国特許第4,952,226号明細書に記載
されているようなレーザー光等を利用して光学的にコー
ティング層の厚さを検出し、不良部を検査する方法等が
知られている。しかしながら、従来のモニタ方法はいず
れもカーボンの導電性や厚さといった間接的な評価方法
であり、これにより被覆の有無や厚さといったマクロな
不良部分は確実に検出できるものの、水素の遮断性ある
いは拡散のし易さといったミクロな特性変化を確実に捕
らえることは非常に困難であった。一方、オフラインで
全長にわたりハーメチックコートの不良箇所を検出する
方法として、特開平4−64029号公報に提案されて
いるように、ハーメチックコートされた後さらに合成樹
脂被覆されたハーメチックコート光ファイバを水素雰囲
気中に置き、その一端から水素による吸収波長を有する
光パルスを入射して、その散乱エコーを入射側で観測す
ることにより、コーティング層の被覆状態を検出する方
法が提案されている。この方法によれば、長さ方向に渡
って位置的にコーティング不良部を検出することは可能
であるが、水素処理に例えば1〜24時間程度の時間を
有する。これは水素の拡散速度が雰囲気中の水素分圧及
び雰囲気の温度に支配されるが、合成樹脂を被覆した後
の水素処理をする場合には、樹脂の耐熱温度(概ね10
0℃前後)以上には処理温度を上げられないため、長時
間を必要とすることによっている。本発明は従来法の問
題点を解消し、ハーメチック被覆不良部分を確実に検出
し、全長にわたる被覆の品質が保証されたハーメチック
コート光ファイバを提供できる製法することを意図して
なされたものである。
In the manufacture of hermetically coated optical fibers, ensuring the uniformity of the hermetically coated layer over the entire length has long been a concern. That is, it is a problem of a method of detecting a coating defective portion. On the other hand, various methods have been proposed. For example, as described in US Pat. No. 5,057,781, a method of monitoring the coating state of a coating layer by measuring an electrical parameter using the conductivity of a carbon layer, and US Pat. There is known a method of optically detecting the thickness of the coating layer using a laser beam or the like as described in the specification No. 226 and inspecting a defective portion. However, all of the conventional monitoring methods are indirect evaluation methods such as the conductivity and thickness of carbon, and although macro defective parts such as the presence or absence of coating and the thickness can be reliably detected by this method, the hydrogen blocking property or It was very difficult to reliably capture microscopic characteristic changes such as the ease of diffusion. On the other hand, as a method of detecting a defective portion of the hermetic coat over the entire length offline, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 64029/1992, a hermetically coated optical fiber after being hermetically coated and further coated with a synthetic resin is subjected to a hydrogen atmosphere. A method has been proposed in which a coating state of a coating layer is detected by placing it inside, injecting an optical pulse having an absorption wavelength of hydrogen from one end, and observing the scattered echo on the incident side. According to this method, it is possible to detect the defective coating portion positionally in the lengthwise direction, but the hydrogen treatment takes about 1 to 24 hours, for example. This is because the diffusion rate of hydrogen is controlled by the hydrogen partial pressure in the atmosphere and the temperature of the atmosphere. However, when the hydrogen treatment is performed after coating the synthetic resin, the heat resistant temperature of the resin (about 10
This is because it takes a long time because the treatment temperature cannot be raised above 0 ° C). The present invention is intended to solve the problems of the conventional method, to reliably detect a hermetic coating defect portion, and to provide a hermetically coated optical fiber in which the quality of coating over the entire length is guaranteed, and to provide a manufacturing method. .

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段としては、本発明は光ファイバ用プリフオームを
線引工程において線引炉で溶融、紡糸して裸ファイバと
した後、該裸ファイバを反応容器内に導入すると共に、
該反応容器内に原料ガスを導入し、該裸ファイバ上に化
学気相析出法により薄層被覆層を施してハーメチックコ
ート光ファイバを製造する方法において、上記線引工程
においてハーメチックコート形成直後に水素を含む雰囲
気中を通過させて水素処理を施しておき、該線引工程の
最後に該ハーメチックコート光ファイバをリールに巻き
取り、巻き取られたハーメチックコートの一端から所定
の波長の光を入射し、その後方散乱光を検出することに
よりハーメチックコート層の良否状態をファイバ長さ方
向に渡って位置的に検査することを特徴とする。本発明
の特に好ましい実施態様としては、上記水素を含む雰囲
気中を通過させる水素処理と同時に又はその直後に該光
ファイバを冷却し、ハーメチックコートの上に合成樹脂
を被覆することが挙げられる。また、上記検査の結果に
従い、ハーメチックコート被覆状態不良部を検出し、当
該不良部分を取り除くスクリーニングを行うこと、さら
には該スクリーニング後のハーメチックコート光ファイ
バの損失波長特性を測定し、水素侵入による損失増加量
の長さ方向の平均値を求め、全体的なハーメチックコー
ト層の良否を判定することは本発明の他の特に好ましい
実施態様である。本発明において、上記水素を含む雰囲
気としては、He ,Ar 及びN2 のうちの少なくとも1
種を含むものが特に好ましい。また、本発明の上記所定
の波長としては、1.24±0.1μm又は1.39±
0.1μmが挙げられる。本発明における上記ハーメチ
ックコーティングの材質としては、例えばカーボン、シ
リコンの炭化物あるいは窒化物、チタンの炭化物あるい
は窒化物等のセラミックス、アルミニウム、ニッケル、
銅、スズ、鉛、インジウム等の金属及びこれらの合金等
が挙げられ、特に好ましくはカーボンコーティングが挙
げられる。
As a means for solving the above-mentioned problems, the present invention is to melt an optical fiber preform in a drawing furnace in a drawing furnace to spin it into a bare fiber, and then form the bare fiber. While introducing into the reaction vessel,
In the method for producing a hermetically coated optical fiber by introducing a raw material gas into the reaction vessel and applying a thin coating layer on the bare fiber by a chemical vapor deposition method, hydrogen is produced immediately after the hermetic coating is formed in the drawing step. Hydrogen treatment has been performed by passing through an atmosphere containing, and at the end of the drawing step, the hermetically coated optical fiber is wound on a reel, and light having a predetermined wavelength is incident from one end of the hermetically coated coil. By detecting the backscattered light, the quality state of the hermetic coat layer can be inspected in a positional manner in the fiber length direction. In a particularly preferred embodiment of the present invention, the optical fiber is cooled at the same time as or immediately after the hydrogen treatment of passing through the atmosphere containing hydrogen, and the synthetic resin is coated on the hermetic coat. In addition, according to the result of the above inspection, a hermetic coat coating state defective portion is detected, and screening is performed to remove the defective portion.Furthermore, the loss wavelength characteristic of the hermetic coated optical fiber after the screening is measured, and loss due to hydrogen intrusion is measured. It is another particularly preferable embodiment of the present invention that the quality of the overall hermetic coat layer is determined by obtaining the average value of the increase amount in the lengthwise direction. In the present invention, the atmosphere containing hydrogen is at least one of He, Ar and N 2.
Those containing seeds are particularly preferred. The predetermined wavelength of the present invention is 1.24 ± 0.1 μm or 1.39 ±
0.1 μm can be mentioned. Examples of the material for the hermetic coating in the present invention include carbon, ceramics or nitrides of silicon, ceramics such as carbides or nitrides of titanium, aluminum, nickel,
Examples thereof include metals such as copper, tin, lead and indium, and alloys thereof, with carbon coating being particularly preferred.

【0005】[0005]

【作用】本発明においては、光ファイバ用プリフオーム
を線引炉で溶融、紡糸して裸ファイバとした後、該裸フ
ァイバを反応容器内に導入すると共に、該反応容器内に
原料ガスを導入し、該裸ファイバ上に化学気相析出法に
より薄層被覆層を施すハーメチックコート光ファイバの
製造方法において、カーボン等のハーメチックコーティ
ングを施した直後、ファイバの温度の下がらぬ間に約3
00℃以上の高温状態で、水素を含む雰囲気中を通過さ
せて水素処理を施し、該水素処理と同時に又はその直後
に該光ファイバを冷却して水素の逆拡散による放出を抑
え、引き続き該光ファイバの上に合成樹脂を被覆する。
被覆ファイバは通常のリールに巻き取る。この巻き取ら
れたファイバの一端から、所定の波長の光、例えば水素
あるいはOH基による吸収帯である1.24μmあるい
は1.39μmといった波長帯が変化が大きく、検出の
際のS/N比が大きい波長の光を入射し、後方散乱光
(B/S波形)を検出することにより、長さ方向にわた
るコーティング不良部の検査を行なう。コーティング不
良部を除去した後、損失−波長特性を測定し、水素侵入
による損失増加量の全体量を求め、全体的なハーメチッ
クコート層の良否を検査することにより全長保証を行っ
た製品とすることができる。
In the present invention, an optical fiber preform is melted and spun in a drawing furnace to form a bare fiber, and then the bare fiber is introduced into a reaction vessel and a source gas is introduced into the reaction vessel. In a method for producing a hermetically coated optical fiber in which a thin coating layer is formed on the bare fiber by a chemical vapor deposition method, immediately after the hermetic coating of carbon or the like is applied, about 3
At a high temperature of 00 ° C. or higher, hydrogen is passed through an atmosphere containing hydrogen, and the optical fiber is cooled at the same time as or immediately after the hydrogen treatment to suppress the release of hydrogen due to the back diffusion, and then the light is continuously emitted. A synthetic resin is coated on the fiber.
The coated fiber is wound on a regular reel. From one end of this wound fiber, a predetermined wavelength of light, for example, a wavelength band such as 1.24 μm or 1.39 μm, which is an absorption band by hydrogen or OH group, greatly changes, and the S / N ratio at the time of detection By injecting light of a large wavelength and detecting the backscattered light (B / S waveform), the defective coating portion in the length direction is inspected. After removing the defective coating, measure the loss-wavelength characteristics, determine the total amount of loss increase due to hydrogen intrusion, and inspect the quality of the entire hermetic coating layer to ensure a full-length guarantee. You can

【0006】本発明の最大の特徴は、線引中、ファイバ
の温度が高い状態でハーメチックコート被覆状態の良否
を検査するための水素処理を行っておくことに有る。コ
ーティング中に不十分な被覆箇所があれば、その部分か
らファイバ内に水素が侵入し、この部分で水素による吸
収損失が増大する。固体中のガスの拡散係数は一般的に
数1で表される。
The most important feature of the present invention resides in that during the drawing, hydrogen treatment is carried out for inspecting the quality of the hermetically coated state while the fiber temperature is high. If there is insufficient coverage in the coating, hydrogen will penetrate into the fiber from that location, and the absorption loss due to hydrogen will increase at this location. The diffusion coefficient of gas in a solid is generally expressed by the equation 1.

【数1】D=A・exp(-E/RT) 但し、数1において、D:拡散係数、A:定数、E:活
性エネルギー、R:気体定数、T:温度 を表す。数1
に示されるように、温度(T)が高いほど拡散係数Dは
大きくなる。例えば石英ガラス中の水素の拡散係数は、
温度100℃で約 7×10-10 [cm2/s]であるが、5
00℃で約 1×10-6 [cm2/s] と、約1500倍と
なる。このように温度が高ければ短時間に水素処理を行
うことが可能である。また、水素処理後、直ちにファイ
バを冷却することが有効である。これはファイバの温度
を下げることによって、一度侵入した水素が逆に大気中
に放出されてしまう逆拡散を抑え、H2が侵入した状態を
維持して、測定の精度を上げるためである。このように
線引中オンラインで、ハーメチックコーティングと同時
に該ハーメチックコート層の良否を判定するために必要
な水素処理を行っておくことによって、合成樹脂被覆を
形成した製品ハーメチックコートファイバについて直ち
に不良箇所検査に供することができるので、従来法に比
べ極めて短時間に効率的にしかも確実にコーティング状
態の検査を行うことができ、全長保証したハーメチック
コート光ファイバを生産性良く製造することができる。
## EQU1 ## D = A.exp (-E / RT) However, in the equation 1, D: diffusion coefficient, A: constant, E: activation energy, R: gas constant, T: temperature. Number 1
As shown in, the diffusion coefficient D increases as the temperature (T) increases. For example, the diffusion coefficient of hydrogen in quartz glass is
It is about 7 × 10 -10 [cm 2 / s] at a temperature of 100 ° C, but 5
It becomes about 1 × 10 −6 [cm 2 / s] at 00 ° C., which is about 1500 times. If the temperature is high as described above, the hydrogen treatment can be performed in a short time. It is also effective to cool the fiber immediately after the hydrogen treatment. This is because by lowering the temperature of the fiber, hydrogen that has once penetrated is suppressed from being diffused back into the atmosphere, and the state of H 2 having penetrated is maintained to improve the measurement accuracy. As described above, during the drawing online, the hermetic coating and the hydrogen treatment necessary for judging the quality of the hermetic coating layer are performed at the same time as the hermetic coating. Therefore, it is possible to efficiently and surely inspect the coating state in an extremely short time as compared with the conventional method, and it is possible to manufacture a hermetically coated optical fiber with a guaranteed full length with high productivity.

【0007】図1は線引中においてハーメチックコート
直後にオンラインで水素処理を行うなうための実現手段
を示した一具体例を示す概略断面図である。ハーメチッ
クコート反応容器2はこの種の技術分野で公知のものの
いずれを用いてもよい。線引炉1の直下に、ハーメチッ
クコート用反応容器2を設置し、上部シールガス導入管
3から窒素、He 、Ar 等の不活性なシールガスを導入
し、反応容器2内部の雰囲気を維持する。原料ガス導入
管4からは、例えばハーメチックコート層としてカーボ
ンを被覆する場合は、アセチレン、エチレン等の炭化水
素類等原料ガス及び必要に応じてハロゲン含有ガスを混
合して導入する。反応廃棄物は排気管5から外部へ排出
され、下部シールガス導入管6からシールガスを導入
し、反応容器下部のシールを行う。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing one specific example showing a realization means for performing on-line hydrogen treatment immediately after hermetic coating during drawing. The hermetic coat reaction vessel 2 may be any of those known in the technical field of this type. A hermetic coating reaction vessel 2 is installed immediately below the drawing furnace 1, and an inert seal gas such as nitrogen, He, or Ar is introduced from an upper seal gas introduction pipe 3 to maintain the atmosphere inside the reaction vessel 2. . When carbon is coated as a hermetic coat layer, a raw material gas such as acetylene and hydrocarbons such as ethylene and a halogen-containing gas are mixed and introduced from the raw material gas introduction pipe 4. The reaction waste is discharged to the outside through the exhaust pipe 5, and the seal gas is introduced through the lower seal gas introduction pipe 6 to seal the lower part of the reaction vessel.

【0008】その直下に、本発明の特徴とする水素処理
容器7を設置する。後記する実施例では水素反応容器と
して、内径10mm、長さ100mmの透明石英管を用
いたが、実質的に水素と反応せず、耐熱性及び安全衛生
上問題の無い材質例えば金属、合金、セラミックス等の
ものを任意に選定することができる。またサイズは線引
速度等に応じて適宜決められる。水素ガス導入管8から
水素とHe 、Ar 、N 2 等の不活性な希釈ガスとを混合
してなる混合ガスを導入する。水素の量と、希釈ガスの
種類及びガスの温度は、目的とする水素処理条件に従い
適宜決められる。
Immediately below that, the hydrogen treatment which is the feature of the present invention.
Install container 7. In the examples described below,
Then, use a transparent quartz tube with an inner diameter of 10 mm and a length of 100 mm.
However, it does not substantially react with hydrogen, heat resistance and safety and health
Materials without problems such as metals, alloys, ceramics, etc.
The thing can be selected arbitrarily. The size is drawn
It is appropriately determined according to the speed and the like. From hydrogen gas introduction pipe 8
Hydrogen and He, Ar, N 2Mixed with an inert diluent gas such as
Then, the mixed gas is introduced. The amount of hydrogen and the dilution gas
The type and temperature of gas depend on the intended hydrogen treatment conditions.
It can be decided as appropriate.

【0009】水素処理条件は主に水素の濃度、ガスの温
度、ファイバの温度及び処理時間によって決まる。例え
ばハーメチック特性の要求が厳しい場合は、その品質を
保証するため、ハードな水素処理条件が必要となる。最
もハードな水素処理を行なう場合は、水素100%のガ
スを加熱して導入し、処理容器長をできるだけ長くす
る。また、要求性能がさほど厳しくない場合は、ハード
な水素処理を行うと、水素がハーメチック層に含浸して
しまうため、特性を劣化させる恐れもでるので、必要且
つ十分な条件に止めることが望ましい。このため、マイ
ルドな水素処理を行なう場合は、He 等の不活性ガスで
希釈して数容量%の水素濃度の混合ガスを室温で導入す
る等の方法を採用する。水素やHe はファイバの熱を奪
いやすいので、室温あるいは冷却して水素反応容器7内
に導入すれば、同時にファイバを冷却することもでき
る。一方Ar やN2 はHe にくらべると熱を奪い難いの
で、ファイバの温度を低下させたくない場合にはこれら
のガスを希釈ガスとして用いることが好ましい。いずれ
にしても希釈ガスとしては、水素及びハーメチックコー
ト層と反応しない不活性ガスが用いられる。
Hydrogen treatment conditions are mainly determined by the hydrogen concentration, gas temperature, fiber temperature and treatment time. For example, when the hermetic properties are severely demanded, hard hydroprocessing conditions are required to guarantee the quality. When performing the hardest hydrogen treatment, 100% hydrogen gas is heated and introduced to make the treatment vessel length as long as possible. Further, if the required performance is not so severe, if the hard hydrogen treatment is carried out, the hermetic layer will be impregnated with hydrogen, which may deteriorate the characteristics. Therefore, it is desirable to keep the conditions under necessary and sufficient conditions. Therefore, when performing mild hydrogen treatment, a method of diluting with an inert gas such as He and introducing a mixed gas having a hydrogen concentration of several volume% at room temperature is adopted. Since hydrogen and He easily take away the heat of the fiber, if the hydrogen or He is introduced into the hydrogen reaction container 7 at room temperature or after cooling, the fiber can be cooled at the same time. On the other hand, Ar and N 2 are less likely to absorb heat than He, so that it is preferable to use these gases as the diluent gas when it is not desired to lower the temperature of the fiber. In any case, hydrogen or an inert gas that does not react with the hermetic coat layer is used as the diluent gas.

【0010】このように水素の濃度及び希釈ガスの種類
は、所望の処理条件によって任意に選択すれば良い。フ
ァイバの温度及び処理時間は、主に線引速度に依存する
因子であり、これらは同時にハーメチックコート条件と
もなるので、選択の自由度が限られることもあり、従っ
てまず線引速度、ファイバ温度、処理時間等の条件を決
定した後、これに合わせて水素濃度及び希釈ガスの種類
を決定する手順が望ましい。
As described above, the concentration of hydrogen and the type of diluent gas may be arbitrarily selected according to desired processing conditions. The temperature and processing time of the fiber are mainly factors that depend on the drawing speed, and at the same time, they are also hermetic coating conditions, so that the degree of freedom in selection may be limited. After determining the conditions such as the treatment time, it is desirable to determine the hydrogen concentration and the type of the diluent gas according to the conditions.

【0011】水素含有雰囲気は排気管9より排出され、
常にフレッシュなガスが水素処理容器7内を流れるよう
にする。また、シールガス導入管10には水素含有雰囲
気が外部に漏れないようにするため、He 等のシールガ
スを導入する。
The hydrogen-containing atmosphere is discharged from the exhaust pipe 9,
A fresh gas is always allowed to flow in the hydrogen treatment container 7. Further, in order to prevent the hydrogen-containing atmosphere from leaking to the outside, a seal gas such as He is introduced into the seal gas introducing pipe 10.

【0012】冷却器12は必要に応じて用いられ、内部
にHe ガスを供給する。水素処理容器7を出た後のハー
メチックコートファイバの温度が約150℃以下程度に
低い場合には、冷却器は用いずそのまま次の合成樹脂被
覆工程へ送る。また冷却の必要のある場合には冷却器1
2を通過させるが、冷却器12内部にはHe ガスを供給
することが前記の理由により好ましい。
The cooler 12 is used as necessary and supplies He gas inside. When the temperature of the hermetically-coated fiber after leaving the hydrogen treatment container 7 is as low as about 150 ° C. or lower, it is sent to the next synthetic resin coating step without using a cooler. If cooling is required, cooler 1
2 is passed, but it is preferable to supply He gas into the cooler 12 for the above reason.

【0013】樹脂被覆装置13、硬化炉14を経て合成
樹脂被覆を形成して製品とした被覆ハーメチックコート
光ファイバ15をリールに巻き取り、通常のOTDR
(Optical Time Domain Refr
ectometryの略)装置を用いて、後方散乱(B
ack Scattering:BSと略記する)波形
を測定する。測定の具体的方法は例えば特開平4−64
029号公報等に記載されている。
A coated hermetically coated optical fiber 15 which is a product obtained by forming a synthetic resin coating through a resin coating device 13 and a curing furnace 14 is wound on a reel, and a normal OTDR is formed.
(Optical Time Domain Refr
backscattering (B)
ack Scattering (abbreviated as BS) waveform is measured. A specific method of measurement is described in, for example, JP-A-4-64
No. 029, etc.

【0014】コーティング不良部分から水素がガラス中
に侵入した箇所が有れば、図2の観測結果例に示すよう
に、波形段差として検出される。図2において横軸は入
射端からの距離(km)、縦軸は後方散乱光強度であ
る。以下、図4,図6及び図7においても同じを意味す
る。このように検査された不良点を除去するために、良
好な部分をリールに巻き替え、当該部が繰り出されたと
ころで除去することによりスクリーニングを行なう。
If there is a portion where hydrogen penetrates into the glass from the defective coating portion, it is detected as a waveform step, as shown in the example of the observation result of FIG. In FIG. 2, the horizontal axis represents the distance (km) from the incident end, and the vertical axis represents the backscattered light intensity. Hereinafter, the same applies to FIGS. 4, 6 and 7. In order to remove the defective point thus inspected, a good portion is rewound on a reel, and the defective portion is removed when it is fed out, so that screening is performed.

【0015】図3は、ハーメチックコートを行わずに水
素処理のみを行ったファイバの損失−波長特性図であ
る。縦軸は水素処理を行った時と行わなかった時の損失
の差分値〔(水素処理後の損失値)−(水素処理を行わ
なかった場合の損失値)〕を示す。線引速度は300m
/min、水素含有ガスの水素濃度は10%、希釈ガス
にはN2 を用いた。該混合ガスは30℃に維持し、2リ
ットル/minの流量で導入した。図3に示されるよう
に、水素分子の吸収波長である1.24μmと、OH基
の吸収波長1.39μmにおいて顕著にピークが見られ
る。このことから、ハーメチックコートに不良部分があ
りガラス中に水素が侵入していることを検出するための
測定波長としては、1.24μm、1.39μmの波長
帯がS/N比〔この場合は(水素処理後の損失値)/
(水素処理を行わなかった場合の損失値)〕の点で有利
であることがわかる。
FIG. 3 is a loss-wavelength characteristic diagram of a fiber which is subjected to only hydrogen treatment without performing hermetic coating. The vertical axis represents the difference value of the loss when the hydrogen treatment was performed and when the hydrogen treatment was not performed [(loss value after the hydrogen treatment)-(loss value when the hydrogen treatment was not performed)]. Drawing speed is 300m
/ Min, the hydrogen concentration of the hydrogen-containing gas was 10%, and N 2 was used as the diluting gas. The mixed gas was maintained at 30 ° C. and introduced at a flow rate of 2 liter / min. As shown in FIG. 3, remarkably peaks are observed at the absorption wavelength of hydrogen molecules of 1.24 μm and the absorption wavelength of OH groups of 1.39 μm. From this, the wavelength bands of 1.24 μm and 1.39 μm are the S / N ratio [in this case, as the measurement wavelength for detecting that the hermetic coat has a defective portion and hydrogen has penetrated into the glass. (Loss value after hydrogen treatment) /
(Loss value without hydrogen treatment)].

【0016】[0016]

【実施例】以下、実施例を上げて本発明を具体的に説明
するが、本発明はこれに限定されるところはない。 〔実施例1〕図1の構成で、本発明に従いハーメチック
コート光ファイバを製造した。線引速度は300m/m
in、ハーメチックコートの原料ガスとしてはエチレン
100cc/min、クロロホルムを150cc/mi
nの流量で反応容器に導入し、反応容器2内で厚さおよ
そ40nm(ナノメートル)のカーボン被覆を形成し
た。反応容器上部及び下部のシールガスとしてはN2
用い、3リットル/minの流量で流した。この時、反
応容器直下でのファイバ温度を測定したところ、およそ
600℃であった。水素処理容器7に導入するガスは、
水素とAr の混合ガスで水素濃度40%のものを、15
0℃に加熱し、3リットル/minの流量で導入した。
水素処理容器下部のシールガス導入管10からはHe を
5リットル/minの流量で流し、冷却器12にはHe
を10リットル/minで流してファイバを冷却して、
一度ファイバ中に侵入した水素が放出されるのを抑え
た。このとき、冷却器直下でのハーメチックコートファ
イバの温度は約60℃であった。以上の条件で約10k
m長の線引を行い、途中、3km線引した時点及び7k
m線引した時点において、カーボンコーティングの原料
ガス供給を停止し、コーティング不良部を故意に作成し
た。このファイバを巻き取った後、光源として1.39
±0.1μmの波長を用い、線引開始端より入射して、
OTDR法により測定を行った。得られた波形は図4に
示すように、2箇所の段差が認められ、それぞれ原料ガ
ス供給を停止したポイントと一致していた。次にこのフ
ァイバを巻き変え、途中3kmのポイントと7kmのポ
イントを中心として各1kmずつ不良部を含む部分を取
り出し、正常部と不良部の損失−波長特性を測定した。
測定結果を図5に示す。図5において、(a) は正常部の
波形、(b) は不良部の波形、(c) はカーボンコーティン
グも水素処理も施さなかった場合の参照サンプルの波形
である。正常部の波形(a) は水素処理を施さなかった参
照サンプルの波形(c) と同じであり、カーボンコーティ
ング層が効果的に水素を遮断していることが確認され
た。これに対して不良部を含むサンプルの波形(b) は水
素による吸収のピークが認められた。このように不良部
(b) を取り除くことによってスクリーニングを行い、良
好部(a) の損失−波長特性の波形図(図5)からの水素
による損失増加の平均は0.01dB/km未満であり、こ
の部分は良品と判断された。
The present invention will be specifically described below with reference to examples, but the present invention is not limited thereto. Example 1 A hermetically coated optical fiber having the configuration shown in FIG. 1 was manufactured according to the present invention. Drawing speed is 300m / m
In, 100 cc / min of ethylene and 150 cc / mi of chloroform as source gas for hermetic coating
It was introduced into the reaction vessel at a flow rate of n to form a carbon coating having a thickness of about 40 nm (nanometer) in the reaction vessel 2. N 2 was used as the seal gas above and below the reaction vessel, and the flow rate was 3 liters / min. At this time, when the fiber temperature immediately below the reaction vessel was measured, it was about 600 ° C. The gas introduced into the hydrogen treatment container 7 is
A mixed gas of hydrogen and Ar with a hydrogen concentration of 40% is
It was heated to 0 ° C. and introduced at a flow rate of 3 l / min.
He is flowed from the seal gas introduction pipe 10 at the lower part of the hydrogen treatment container at a flow rate of 5 liters / min, and He is flown to the cooler 12 by flowing He.
At 10 liters / min to cool the fiber,
The release of hydrogen that once entered the fiber was suppressed. At this time, the temperature of the hermetically coated fiber immediately below the cooler was about 60 ° C. About 10k under the above conditions
At the time of drawing 3 km on the way and 7 k
At the time of drawing the m-line, the supply of the raw material gas for the carbon coating was stopped, and a defective coating portion was intentionally created. After winding this fiber, 1.39 as a light source
Using a wavelength of ± 0.1 μm, enter from the drawing start end,
The measurement was performed by the OTDR method. As shown in FIG. 4, the obtained waveform had two steps, which coincided with the point at which the supply of the raw material gas was stopped. Next, this fiber was rewound, and a portion including a defective portion was taken out for each 1 km centering on a point of 3 km and a point of 7 km, and loss-wavelength characteristics of the normal portion and the defective portion were measured.
FIG. 5 shows the measurement results. In FIG. 5, (a) is a waveform of a normal portion, (b) is a waveform of a defective portion, and (c) is a waveform of a reference sample when neither carbon coating nor hydrogen treatment was applied. The waveform (a) of the normal part is the same as the waveform (c) of the reference sample that was not treated with hydrogen, and it was confirmed that the carbon coating layer effectively blocks hydrogen. On the other hand, in the waveform (b) of the sample containing the defective portion, the peak of absorption by hydrogen was observed. Thus the defective part
Screening was performed by removing (b), and the average loss increase due to hydrogen from the waveform chart of the loss-wavelength characteristics of the good part (a) (Fig. 5) was less than 0.01 dB / km. Was judged.

【0017】〔実施例2〕実施例1と同様にコーティン
グ不良部を故意に作成し、このカーボンコートファイバ
を巻き取った後、光源として1.24μm±0.1μm
の波長を用い、OTDR法により測定を行った。得られ
た波形は図6に示すように、2ケ所に段差が認められ、
不良部を検出できた。
[Embodiment 2] Similar to Embodiment 1, a coating defect portion is intentionally formed, and after winding this carbon-coated fiber, 1.24 μm ± 0.1 μm as a light source.
Was measured by the OTDR method. As shown in FIG. 6, the obtained waveform has two steps,
The defective part could be detected.

【0018】〔実施例3〕実施例1と同様の条件でカー
ボンコーティングを行ない、水素処理容器7には水素1
00%のガスを200℃に加熱し、2リットル/min
の流量で導入した。実施例1と同様にコーティング不良
部を測定し、1.39μm±0.1μmの波長を用いて
OTDR法により測定を行った。得られた波形は図7に
示すように、3ケ所の段差が検出された。3kmと7k
mの2ケ所は故意に不良部を作成した部位であり、段差
の大きさも大きかったが、8kmのポイントの段差は小
さく、この部分のカーボンコート厚を測定すると約20
nmと正常部の1/2であった。この例はハードな水素
処理条件により、新たに発見された不良部を示すもの
で、水素10%、He 90%、常温の水素処理条件では
検出されなかったものである。この部分は使用される環
境が厳しくない場合には良好範囲内と判断されるが、要
求特性が厳しい分野に用いるものの場合には、不良部と
判断される例である。このように要求特性仕様に応じて
水素処理条件を設定することが必要であり、本発明はそ
れに対応できるものである。
[Embodiment 3] Carbon coating was performed under the same conditions as in Embodiment 1, and hydrogen 1 was placed in the hydrogen treatment container 7.
Heating 00% gas to 200 ℃, 2 liter / min
Was introduced at a flow rate of. The defective coating portion was measured in the same manner as in Example 1, and was measured by the OTDR method using a wavelength of 1.39 μm ± 0.1 μm. In the obtained waveform, three steps were detected, as shown in FIG. 3km and 7k
The two parts of m were the parts where the defective part was intentionally created, and the size of the step was also large, but the step at the point of 8 km was small, and the carbon coat thickness of this part was about 20.
nm and half of the normal area. This example shows a newly discovered defective portion under hard hydrogen treatment conditions, which was not detected under hydrogen treatment conditions of hydrogen 10%, He 90%, and room temperature. This part is judged to be within the good range when the environment in which it is used is not severe, but it is an example where it is judged to be a defective part when it is used in a field where the required characteristics are severe. As described above, it is necessary to set the hydrogen treatment condition according to the required characteristic specifications, and the present invention can deal with it.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の方法によ
れば、線引中に水素処理を行なうため、極めて短時間で
効率的に全長にわたるハーメチックコーティング状態の
検査が直接的に行えるため、ハーメチックコート光ファ
イバの全長保証の手段として利用すると非常に効果的で
ある。
As described above, according to the method of the present invention, since hydrogen treatment is performed during drawing, it is possible to directly and efficiently inspect the hermetic coating state over the entire length in an extremely short time. It is very effective when used as a means for guaranteeing the full length of a hermetically coated optical fiber.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】は本発明の一実施態様を説明する概略断面図で
ある。
FIG. 1 is a schematic sectional view illustrating an embodiment of the present invention.

【図2】は本発明の方法において、コーティング不良部
を検出する際に用いる、入射端からの距離と後方散乱光
強度の関係を示すグラフである。
FIG. 2 is a graph showing the relationship between the distance from the incident end and the backscattered light intensity, which is used when detecting a defective coating portion in the method of the present invention.

【図3】はハーメチック被覆を行わずに水素処理のみを
行った場合の光ファイバの損失−波長特性図である。
FIG. 3 is a loss-wavelength characteristic diagram of an optical fiber when only hydrogen treatment is performed without performing hermetic coating.

【図4】は本発明の実施例1において意図的に被覆不良
箇所を形成したハーメチックコート光ファイバのOTD
R測定結果を示す波形図である。
FIG. 4 is an OTD of a hermetically coated optical fiber in which a coating defect is intentionally formed in Example 1 of the present invention.
It is a wave form diagram which shows R measurement result.

【図5】は本発明の実施例1で作成したハーメチックコ
ート光ファイバの被覆状態正常部、不良部のそれぞれの
損失−波長特性を、ハーメチックコートも水素処理も施
さない参照サンプルと比較して示した図である。
FIG. 5 shows the loss-wavelength characteristics of the normal state coating portion and the defective portion of the hermetically coated optical fiber prepared in Example 1 of the present invention in comparison with a reference sample which is neither hermetically coated nor hydrogenated. It is a figure.

【図6】は本発明の実施例2において意図的に被覆不良
箇所を形成したハーメチックコート光ファイバのOTD
R測定結果を示す波形図である。
FIG. 6 is an OTD of a hermetically coated optical fiber in which a defective coating is intentionally formed in Example 2 of the present invention.
It is a wave form diagram which shows R measurement result.

【図7】は本発明の実施例3において厳しい水素処理を
したハーメチックコート光ファイバのOTDR測定結果
を示す波形図である。
FIG. 7 is a waveform diagram showing an OTDR measurement result of a hermetically coated optical fiber that has been subjected to severe hydrogen treatment in Example 3 of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 線引炉、 2 ハーメチッ
クコート用反応容器、3 上部シールガス導入管、
4 原料ガス導入管、5 排気管、
6 下部シールガス導入管、7 水素処理
容器、 8 水素含有ガス導入管、9
排気管、 10 シールガス導
入管 11 外径測定器、 12 冷却器、
13 樹脂被覆装置、 14 硬化炉、
15 ハーメチックコートファイバ。
1 drawing furnace, 2 reaction vessel for hermetic coating, 3 upper seal gas introducing pipe,
4 source gas introduction pipes, 5 exhaust pipes,
6 Lower seal gas introduction pipe, 7 Hydrogen treatment container, 8 Hydrogen-containing gas introduction pipe, 9
Exhaust pipe, 10 Seal gas introduction pipe 11, Outer diameter measuring device, 12 Cooler,
13 resin coating device, 14 curing furnace,
15 Hermetically coated fiber.

フロントページの続き (72)発明者 石川 弘樹 神奈川県横浜市栄区田谷町1番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内 (72)発明者 中村 元宣 神奈川県横浜市栄区田谷町1番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内Front page continued (72) Inventor Hiroki Ishikawa 1 Taya-cho, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Sumitomo Electric Industries, Ltd. Yokohama Works (72) Inventor Motonobu Nakamura 1-taya-cho, Sakae-ku, Yokohama, Kanagawa Sumitomo Electric Industries Yokohama Works Co., Ltd.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光ファイバ用プリフオームを線引工程に
おいて線引炉で溶融、紡糸して裸ファイバとした後、該
裸ファイバを反応容器内に導入すると共に、該反応容器
内に原料ガスを導入し、該裸ファイバ上に化学気相析出
法により薄層被覆層を施してハーメチックコート光ファ
イバを製造する方法において、上記線引工程においてハ
ーメチックコート形成直後に水素を含む雰囲気中を通過
させて水素処理を施しておき、該線引工程の最後に該ハ
ーメチックコート光ファイバをリールに巻き取り、巻き
取られたハーメチックコート光ファイバの一端から所定
の波長の光を入射し、その後方散乱光を検出することに
よりハーメチックコート層の良否状態をファイバ長さ方
向に渡って位置的に検査することを特徴とするハーメチ
ックコート光ファイバの製造方法。
1. A preform for an optical fiber is melted and spun in a drawing furnace in a drawing step to form a bare fiber, and then the bare fiber is introduced into a reaction vessel and a raw material gas is introduced into the reaction vessel. In the method for producing a hermetically coated optical fiber by applying a thin coating layer on the bare fiber by a chemical vapor deposition method, in the drawing step, hydrogen is passed through an atmosphere containing hydrogen immediately after the hermetic coating is formed. After the treatment, the hermetically coated optical fiber is wound on a reel at the end of the drawing step, light of a predetermined wavelength is incident from one end of the wound hermetically coated optical fiber, and the backscattered light is detected. The optical quality of the hermetic coat layer is characterized by inspecting the quality of the hermetic coat layer in a positional manner in the fiber length direction. Manufacturing method of ba.
【請求項2】 上記水素を含む雰囲気中を通過させる水
素処理と同時に又はその直後に該光ファイバを冷却する
ことを特徴とする請求項1記載のハーメチックコート光
ファイバの製造方法。
2. The method for producing a hermetically coated optical fiber according to claim 1, wherein the optical fiber is cooled at the same time as or immediately after the hydrogen treatment of passing through the atmosphere containing hydrogen.
【請求項3】 上記水素を含む雰囲気が、He ,Ar 及
びN2 のうちの少なくとも1種を含むことを特徴とする
請求項1又は請求項2記載のハーメチックコート光ファ
イバの製造方法。
3. The method for producing a hermetically coated optical fiber according to claim 1, wherein the atmosphere containing hydrogen contains at least one of He, Ar and N 2 .
【請求項4】 上記所定の波長が1.24±0.1μm
又は1.39±0.1μmであることを特徴とする請求
項1ないし請求項3のいずれかに記載のハーメチックコ
ート光ファイバの製造方法。
4. The predetermined wavelength is 1.24 ± 0.1 μm
Or 1.39 ± 0.1 μm, The method for producing a hermetically coated optical fiber according to any one of claims 1 to 3.
【請求項5】 上記検査の結果に従い、ハーメチックコ
ート被覆状態不良部を検出し、当該不良部分を取り除く
スクリーニングを行うことを特徴とする請求項1ないし
請求項4のいずれかに記載のハーメチックコート光ファ
イバの製造方法。
5. The hermetic coat light according to claim 1, wherein a hermetic coat covering state defective portion is detected according to the result of the inspection, and screening is performed to remove the defective portion. Fiber manufacturing method.
【請求項6】 上記スクリーニング後のハーメチックコ
ート光ファイバの損失波長特性を測定し、水素侵入によ
る損失増加量の長さ方向の平均値を求め、全体的なハー
メチックコート層の良否を判定することを特徴とする請
求項1ないし請求項5のいずれかに記載のハーメチック
コート光ファイバの製造方法。
6. The quality of the overall hermetic coat layer is determined by measuring the loss wavelength characteristic of the hermetically coated optical fiber after the screening and obtaining the average value of the amount of loss increase due to hydrogen penetration in the lengthwise direction. The method for manufacturing a hermetically coated optical fiber according to any one of claims 1 to 5, which is characterized in that.
【請求項7】 上記ハーメチックコーティングがカーボ
ンコーティングであることを特徴とする請求項1ないし
請求項6のいずれかに記載のハーメチックコート光ファ
イバの製造方法。
7. The method for producing a hermetically coated optical fiber according to claim 1, wherein the hermetic coating is a carbon coating.
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