JPH08255886A - Package for ccd - Google Patents

Package for ccd

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Publication number
JPH08255886A
JPH08255886A JP7184761A JP18476195A JPH08255886A JP H08255886 A JPH08255886 A JP H08255886A JP 7184761 A JP7184761 A JP 7184761A JP 18476195 A JP18476195 A JP 18476195A JP H08255886 A JPH08255886 A JP H08255886A
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JP
Japan
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glass substrate
lead frame
ccd
glass
frame
Prior art date
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Application number
JP7184761A
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Japanese (ja)
Inventor
Satoru Takano
悟 高野
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FUTOU DENSHI KOGYO KK
Original Assignee
FUTOU DENSHI KOGYO KK
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Abstract

PURPOSE: To obtain a high quality package for a CCD by fixing a window frame onto a glass substrate through a lead frame while exposing the terminal part of the lead frame mounted on the glass substrate. CONSTITUTION: The terminal part 3 of a lead frame 2 is mounted on a glass substrate 1 with the leg part 4 projecting from the surface thereof. Surface of the glass substrate 1 is cut with a predetermined width so that a ceramic member 5 is exposed partially and a CCD chip is bonded into the cut part 6. A wind frame 7 is fixed onto a glass substrate 1 through a lead frame 2 while exposing the terminal part 3 of the lead frame 2. The lead frame 2 and the wind frame 7 can be bonded using a thin glass plate 8 having low melting point and a cover glass 9 can be bonded thereon.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、反りを防いでチップ
付け時の不良率を大幅に低減させ、しかも低コストで提
供することができるようにしたCCD用パッケージに関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a CCD package which can prevent warpage and can significantly reduce the defective rate at the time of chip attachment and can be provided at a low cost.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、種々のOA機器類に使用されてい
るイメージリーダやスキャナ等に内蔵されるラインセン
サ用のCCD用パッケージとしては、その基板全体をセ
ラミック製としたオールセラミックの製品が大半であ
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a CCD package for a line sensor incorporated in an image reader, a scanner or the like used in various OA devices, most of all-ceramic products in which the whole substrate is made of ceramic are used. Is.

【0003】そしてこのオールセラミックの製品は、セ
ラミック基板上に端子部分を載置してセラミック基板の
板面から突出させたリードフレームと、このリードフレ
ームの端子部分を露出させた状態でセラミック基板上に
リードフレームを挟んでセラミックカバーを固定したも
のからなっている。
This all-ceramic product has a lead frame in which a terminal portion is placed on a ceramic substrate and protrudes from the plate surface of the ceramic substrate, and a terminal portion of the lead frame is exposed on the ceramic substrate. It consists of a ceramic cover fixed to the lead frame.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このオ
ールセラミックの製品においては大きい反りが生じると
いう欠点が知られている。
However, it is known that this all-ceramic product causes a large warp.

【0005】また、このオールセラミックの製品におい
てはコスト面での削減があまりできず、近年の低価格化
の要請に答えられないという欠点があった。
Further, this all-ceramic product has a drawback in that the cost cannot be reduced so much and it is not possible to meet the recent demand for lower prices.

【0006】これを解決するため、基板をガラス製とし
て反りを解消し、コスト面においてもより削減可能な製
品の開発を試みてきたところ、一応の成果が得られた。
すなわち、反りの解消という面で品質的に満足できる製
品を得ることができたのである。
[0006] In order to solve this problem, when the substrate is made of glass to eliminate the warp and an attempt has been made to develop a product which can further reduce the cost, a tentative result has been obtained.
In other words, it was possible to obtain a product that was qualitatively satisfactory in terms of eliminating warpage.

【0007】しかしながら上記ガラス基板においては、
熱伝導性において問題があることが判明した。これは、
近年のOA機器類に使用されているイメージリーダやス
キャナ等に内蔵されるラインセンサの高密度化、またカ
ラー化の進展に伴い、稼働中にガラス基板に蓄熱されて
トラブルが発生しやすいためである。
However, in the above glass substrate,
It turns out that there is a problem in thermal conductivity. this is,
Because the density of line sensors built into image readers and scanners used in OA equipment in recent years has increased and the colorization has progressed, heat is likely to accumulate on the glass substrate during operation, causing problems. is there.

【0008】この発明のCCD用パッケージは従来例の
上記欠点を解消しようとするものであり、基板としてガ
ラス基板を使用することにより、品質の良好なCCD用
パッケージを提供しようとするものである。
The CCD package of the present invention is intended to solve the above-mentioned drawbacks of the conventional example, and to provide a CCD package of good quality by using a glass substrate as the substrate.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】すなわちこの発明のCC
D用パッケージは、ガラス基板と、このガラス基板上に
端子部分を載置したリードフレームと、このリードフレ
ームの端子部分を露出させた状態でガラス基板上にリー
ドフレームを挟んでウインドフレームを固定したことを
特徴とするものである。
[Means for Solving the Problems] CC of the present invention
In the D package, a glass substrate, a lead frame on which a terminal portion is mounted on the glass substrate, and a wind frame is sandwiched on the glass substrate with the terminal portion of the lead frame exposed. It is characterized by that.

【0010】またこの発明のCCD用パッケージは、セ
ラミック部材をほぼ中央に介在させて熱伝導率を向上さ
せたガラス基板と、このガラス基板上に端子部分を載置
したリードフレームと、このリードフレームの端子部分
を露出させた状態でガラス基板上にリードフレームを挟
んでウインドフレームを固定したことを特徴としてい
る。
In the CCD package of the present invention, a glass substrate having a ceramic member substantially in the center thereof to improve thermal conductivity, a lead frame having a terminal portion mounted on the glass substrate, and the lead frame are provided. It is characterized in that the window frame is fixed on the glass substrate with the lead frame being sandwiched in a state where the terminal portion of is exposed.

【0011】この発明のCCD用パッケージは、金属部
材をほぼ中央に介在させて熱伝導率を向上させたガラス
基板と、このガラス基板上に端子部分を載置したリード
フレームと、このリードフレームの端子部分を露出させ
た状態でガラス基板上にリードフレームを挟んでウイン
ドフレームを固定したことを特徴としている。
In the CCD package of the present invention, a glass substrate having a heat conductivity improved by interposing a metal member substantially in the center, a lead frame having a terminal portion mounted on the glass substrate, and a lead frame of the lead frame are provided. It is characterized in that the window frame is fixed on the glass substrate with the lead frame sandwiched in a state where the terminal portion is exposed.

【0012】なお上記において、ガラス基板内のほぼ中
央に介在させたセラミック部材または金属部材が、その
コーナ部分をR加工されていることをも特徴の1つとし
ている。
In the above description, one of the features is that the corner portion of the ceramic member or the metal member interposed in the glass substrate substantially at the center is rounded.

【0013】さらにこの発明のCCD用パッケージは、
ガラス基板内のほぼ中央に介在させたセラミック部材ま
たは金属部材が、ほぼ中央を開口したガラス基板に積層
させたことをも特徴としている。
Further, the CCD package of the present invention is
It is also characterized in that a ceramic member or a metal member interposed at substantially the center of the glass substrate is laminated on the glass substrate having an opening at the substantially center.

【0014】なお上記において、ほぼ中央を開口したガ
ラス基板に積層することにより、ガラス基板内のほぼ中
央に介在させたセラミック部材または金属部材が、ガラ
ス基板との接合面に溝を形成したことをも特徴の1つと
している。
It should be noted that, in the above, by laminating on the glass substrate having an opening at the substantially center, the ceramic member or the metal member interposed in the glass substrate at the substantially center has a groove formed on the joint surface with the glass substrate. Is also one of the features.

【0015】[0015]

【作用】この発明のCCD用パッケージによれば、基板
をガラス製としてコスト面における削減を可能とすると
ともに、基板の反りを解消して品質的に満足できる製品
を得ることができるようになった。
According to the CCD package of the present invention, since the substrate is made of glass, the cost can be reduced, and the warp of the substrate can be eliminated to obtain a product of satisfactory quality. .

【0016】またガラス基板における熱伝導性の問題
も、ガラス基板のほぼ中央にセラミック部材ないし金属
部材を介在させることによってクリアし、より高品質の
CCD用パッケージを提供することができるようになっ
た。
Further, the problem of thermal conductivity in the glass substrate can be solved by interposing a ceramic member or a metal member in the substantially center of the glass substrate, and it has become possible to provide a CCD package of higher quality. .

【0017】[0017]

【実施例】以下、この発明のCCD用パッケージの実施
例を、図面に基いて説明する。
Embodiments of the CCD package of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0018】図1ないし図3は、この発明のCCD用パ
ッケージの1実施例を示すものである。図において1は
ガラス基板である。このガラス基板1用のガラスは、介
在物であるセラミックまたは金属等に熱膨張係数をほぼ
合わせたものである。
1 to 3 show an embodiment of a CCD package according to the present invention. In the figure, 1 is a glass substrate. The glass for the glass substrate 1 has a coefficient of thermal expansion substantially matched to that of a ceramic or metal that is an inclusion.

【0019】上記ガラス基板1の表面にはリードフレー
ム2が取り付けられている。すなわち、リードフレーム
2の端子部分3をガラス基板1上に載置した上、脚部4
をガラス基板1の板面から突出させている。
A lead frame 2 is attached to the surface of the glass substrate 1. That is, the terminal portion 3 of the lead frame 2 is placed on the glass substrate 1 and the leg portion 4
Are projected from the plate surface of the glass substrate 1.

【0020】またガラス基板1の裏面には、そのほぼ中
央に所定の幅の板状セラミック部材5が埋設されてい
る。このセラミック部材5は、CCD用パッケージの稼
働中にガラス基板1の蓄熱を防ぐので、トラブルが発生
を予防することができる。そしてガラス基板1の表面
は、セラミック部材5が部分的に露出するよう所定の幅
で切り欠いてあり、この切り欠き部6にCCD用チップ
を接着するようになっている。
Further, on the back surface of the glass substrate 1, a plate-shaped ceramic member 5 having a predetermined width is embedded substantially in the center thereof. The ceramic member 5 prevents the glass substrate 1 from accumulating heat during the operation of the CCD package, so that trouble can be prevented. The surface of the glass substrate 1 is cut out with a predetermined width so that the ceramic member 5 is partially exposed, and a CCD chip is bonded to the cutout 6.

【0021】上記リードフレーム2の端子部分3を露出
させた状態で、ガラス基板1上にリードフレーム2を挟
んでウインドフレーム7が固定されている。そしてリー
ドフレーム2およびウインドフレーム7の固定は、低融
点ガラス薄板(フリットガラス)8を使用して接着する
ことができ、この上にカバーガラス9を接着することが
できる。もちろん、ガラス基板1とウインドフレーム7
とを相溶性のものとし、熱融着して一体化させてもよ
い。
With the terminal portion 3 of the lead frame 2 exposed, the wind frame 7 is fixed on the glass substrate 1 with the lead frame 2 interposed therebetween. Then, the lead frame 2 and the wind frame 7 can be fixed to each other by using a low melting point glass thin plate (frit glass) 8 and a cover glass 9 can be adhered thereon. Of course, the glass substrate 1 and the wind frame 7
May be made compatible with each other, and may be integrated by heat fusion.

【0022】上記リードフレーム2は、その端子部分3
をガラス基板1表面の切り欠き部6にかからないよう載
置され、その上に固定されたウインドフレーム7はフレ
ーム状に形成されていて、ガラス基板1の周囲を取り囲
むよう取り付けられている。したがってリードフレーム
2の端子部分3はウインドフレーム7内で露出した状態
で取り付けられている。
The lead frame 2 has its terminal portion 3
Is placed so as not to cover the notch 6 on the surface of the glass substrate 1, and the wind frame 7 fixed thereon is formed in a frame shape and attached so as to surround the periphery of the glass substrate 1. Therefore, the terminal portion 3 of the lead frame 2 is attached while being exposed in the wind frame 7.

【0023】上記ガラス基板1の裏面のほぼ中央には、
上記セラミック部材5に代えて所定の幅の板状金属部材
を埋設することができる。この金属板は、セラミック部
材5と同等の効率で蓄熱を防ぐことができる。
At the approximate center of the back surface of the glass substrate 1,
Instead of the ceramic member 5, a plate-shaped metal member having a predetermined width can be embedded. This metal plate can prevent heat accumulation with the same efficiency as the ceramic member 5.

【0024】上記ガラス基板1にセラミック部材または
金属部材を埋設したものは、3/100mm以下の反り
しかなく非常に優れた品質のものである。従来のセラミ
ックのみの成形品は焼成中に反りが生じやすく、かつ研
磨等により反りを修正することが難しかった。この発明
に使用するセラミック板は板状であるため反りも少な
く、かつ研磨等により簡単に反りを修正することがで
き、量産性にも優れたものである。同様のことは金属板
についても同様のことがいえる。
The glass substrate 1 in which a ceramic member or a metal member is embedded has a warp of 3/100 mm or less and is of excellent quality. A conventional ceramic-only molded product is liable to warp during firing, and it is difficult to correct the warp by polishing or the like. Since the ceramic plate used in the present invention is plate-shaped, it has little warpage, and the warpage can be easily corrected by polishing or the like, which is excellent in mass productivity. The same thing can be said for metal plates.

【0025】図4および図5は、この発明のCCD用パ
ッケージの他の実施例を示している。図において1はガ
ラス基板で、このガラス基板1の表面には端子部分3を
ガラス基板1上に載置した上、脚部4をガラス基板1の
板面から突出させることにより、リードフレーム2が取
り付けられている。
4 and 5 show another embodiment of the CCD package of the present invention. In the figure, reference numeral 1 denotes a glass substrate. On the surface of the glass substrate 1, a terminal portion 3 is placed on the glass substrate 1, and a leg portion 4 is protruded from the plate surface of the glass substrate 1, whereby a lead frame 2 is formed. It is installed.

【0026】またガラス基板1の表面は所定の幅で切り
欠いてあり、この切り欠き溝6’の上にCCD用チップ
を接着するようになっている。
Further, the surface of the glass substrate 1 is cut out with a predetermined width, and the CCD chip is bonded onto the cutout groove 6 '.

【0027】この例においても、上記リードフレーム2
の端子部分3を露出させた状態で、ガラス基板1上にリ
ードフレーム2を挟んでウインドフレーム7が固定され
ている。そしてリードフレーム2およびウインドフレー
ム7の固定は、低融点ガラス薄板8や熱融着の手段を使
用して接着することができ、この上にカバーガラス9を
接着することができる。
Also in this example, the lead frame 2 is used.
The window frame 7 is fixed on the glass substrate 1 with the lead frame 2 sandwiched therebetween with the terminal portion 3 exposed. Then, the lead frame 2 and the wind frame 7 can be fixed to each other by using a low melting point glass thin plate 8 or a means of heat fusion, and a cover glass 9 can be bonded thereon.

【0028】得たCCD用パッケージは、熱伝導性の点
について以外は、上記実施例とほぼ同様の効果を有する
ものであった。
The obtained CCD package had substantially the same effect as that of the above-mentioned embodiment except for the thermal conductivity.

【0029】図6は、この発明のCCD用パッケージの
別の実施例を示す裏面図である。図中、11はガラス基
板であり、セラミック部材ないし金属部材12がその内
部に埋設されている。そしてセラミック部材ないし金属
部材12のコーナ部分13は(イ)のようにR加工が施
されている。このように、単にコーナ部分13をR加工
するだけでガラス基板11とセラミック部材ないし金属
部材12との膨張係数の差を吸収することができ、図
(ロ)のようにセラミック部材ないし金属部材12のコ
ーナ部分13からガラス基板11にクラック14が入る
のを解消することができる。
FIG. 6 is a rear view showing another embodiment of the CCD package of the present invention. In the figure, 11 is a glass substrate, in which a ceramic member or a metal member 12 is embedded. Then, the corner portion 13 of the ceramic member or the metal member 12 is rounded as shown in FIG. In this way, it is possible to absorb the difference in the expansion coefficient between the glass substrate 11 and the ceramic member or the metal member 12 by simply rounding the corner portion 13, and as shown in FIG. It is possible to eliminate the crack 14 from the corner portion 13 of the glass substrate 11.

【0030】図7および図8は、この発明のCCD用パ
ッケージのさらに別の実施例を示すものである。図7は
半製品の製造工程を示し、21はほぼ中央の帯状の開口
部22を設けたガラス薄板である。このガラス薄板21
をリードフレーム23とセラミック基板ないし金属基板
25とで挟んで組立てた上、治具(図示せず)内におい
て高温で封着する。その際、リードフレーム23の端子
部分24はガラス薄板21内に埋没状態で固定される。
7 and 8 show another embodiment of the CCD package of the present invention. FIG. 7 shows a manufacturing process of a semi-finished product, and 21 is a glass thin plate provided with a substantially central strip-shaped opening 22. This glass sheet 21
Is assembled by sandwiching it between the lead frame 23 and the ceramic substrate or metal substrate 25, and then sealed at a high temperature in a jig (not shown). At this time, the terminal portion 24 of the lead frame 23 is fixed in the thin glass plate 21 in a buried state.

【0031】このようにして得た半製品31は、図8の
ように接合用の低融点ガラス薄板32を介してウインド
フレーム33を接合した上、再度治具内で上述の温度よ
り低温度をかけて封着され、CCD用パッケージとして
完成する。もちろん、この上にカバーガラスを接着する
ことができる。
In the semi-finished product 31 thus obtained, as shown in FIG. 8, the wind frame 33 is joined via the low melting glass thin plate 32 for joining, and the temperature lower than the above temperature is again set in the jig. Then, they are sealed and completed as a CCD package. Of course, a cover glass can be glued on this.

【0032】図9の実施例においては、上記実施例のセ
ラミック基板ないし金属基板25上のさらにガラス薄板
との接合面に沿って溝34が形成されている。この溝3
4は、ガラス薄板をリードフレームとセラミック基板な
いし金属基板とで挟んで組立てて高温で封着した際、ガ
ラス薄板が溝34内に溶融してくることにより、ガラス
薄板との密着力をより向上させることを可能とするもの
である。
In the embodiment shown in FIG. 9, a groove 34 is formed on the ceramic substrate or metal substrate 25 of the above-mentioned embodiment and along the joint surface with the thin glass plate. This groove 3
In No. 4, when the thin glass plate is sandwiched between the lead frame and the ceramic substrate or the metal substrate and sealed and sealed at a high temperature, the thin glass plate melts into the groove 34, thereby further improving the adhesion with the thin glass plate. It is possible to let.

【0033】[0033]

【発明の効果】この発明のCCD用パッケージによれ
ば、基板をガラス製としてコスト面における削減を可能
とするとともに、基板の反りを解消して品質的に満足で
きる製品を得ることができるようになった。
According to the CCD package of the present invention, since the substrate is made of glass, the cost can be reduced, and the warp of the substrate can be eliminated to obtain a product of satisfactory quality. became.

【0034】またガラス基板における熱伝導性の問題
も、ガラス基板のほぼ中央にセラミック部材ないし金属
部材を介在させることによってクリアし、より高品質の
CCD用パッケージを提供することができるようになっ
た。
Further, the problem of heat conductivity in the glass substrate is solved by interposing a ceramic member or a metal member in the substantially center of the glass substrate, and it becomes possible to provide a CCD package of higher quality. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明に係るCCD用パッケージの1実施例
を示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a CCD package according to the present invention.

【図2】その底面図である。FIG. 2 is a bottom view thereof.

【図3】その要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the relevant part.

【図4】他の実施例を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing another embodiment.

【図5】その要部拡大断面図である。FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of the relevant part.

【図6】別の実施例を示す要部平面図である。FIG. 6 is a main part plan view showing another embodiment.

【図7】さらに別の実施例を示し、半製品の製造工程図
である。
FIG. 7 is a manufacturing process diagram of a semi-finished product according to still another embodiment.

【図8】その完成品の製造工程図である。FIG. 8 is a manufacturing process diagram of the finished product.

【図9】また別の実施例を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing another embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ガラス基板 2 リードフレーム 3 端子部分 4 脚部 5 セラミック部材 6 切り欠き部 6’ 切り欠き溝 7 ウインドフレーム 8 低融点ガラス薄板 9 カバーガラス 11 ガラス基板 12 セラミック部材ないし金属部材 13 コーナ部分 14 クラック 21 ガラス薄板 22 開口部 23 リードフレーム 24 端子部分 25 セラミック基板ないし金属基板 31 半製品 32 低融点ガラス薄板 33 ウインドフレーム 34 溝 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 glass substrate 2 lead frame 3 terminal portion 4 leg portion 5 ceramic member 6 notch portion 6'notch groove 7 wind frame 8 low melting glass thin plate 9 cover glass 11 glass substrate 12 ceramic member or metal member 13 corner portion 14 crack 21 Glass thin plate 22 Opening 23 Lead frame 24 Terminal part 25 Ceramic or metal substrate 31 Semi-finished product 32 Low melting glass thin plate 33 Wind frame 34 Groove

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ガラス基板と、このガラス基板上に端子
部分を載置したリードフレームと、このリードフレーム
の端子部分を露出させた状態でガラス基板上にリードフ
レームを挟んでウインドフレームを固定したことを特徴
とするCCD用パッケージ。
1. A glass substrate, a lead frame on which terminal portions are mounted on the glass substrate, and a wind frame is fixed on the glass substrate with the lead frame sandwiched with the terminal portions of the lead frame exposed. CCD package characterized by the following.
【請求項2】 セラミック部材をほぼ中央に介在させて
熱伝導率を向上させたガラス基板と、このガラス基板上
に端子部分を載置したリードフレームと、このリードフ
レームの端子部分を露出させた状態でガラス基板上にリ
ードフレームを挟んでウインドフレームを固定したこと
を特徴とするCCD用パッケージ。
2. A glass substrate having a ceramic member interposed substantially in the center to improve thermal conductivity, a lead frame having a terminal portion mounted on the glass substrate, and a terminal portion of the lead frame exposed. A package for a CCD characterized in that a wind frame is fixed on a glass substrate with a lead frame sandwiched between them.
【請求項3】 金属部材をほぼ中央に介在させて熱伝導
率を向上させたガラス基板と、このガラス基板上に端子
部分を載置したリードフレームと、このリードフレーム
の端子部分を露出させた状態でガラス基板上にリードフ
レームを挟んでウインドフレームを固定したことを特徴
とするCCD用パッケージ。
3. A glass substrate having a heat conductivity improved by interposing a metal member substantially in the center, a lead frame having a terminal portion mounted on the glass substrate, and a terminal portion of the lead frame exposed. A package for a CCD characterized in that a wind frame is fixed on a glass substrate with a lead frame sandwiched between them.
【請求項4】 ガラス基板内のほぼ中央に介在させたセ
ラミック部材または金属部材が、そのコーナ部分をR加
工されてなる請求項2または3に記載のCCD用パッケ
ージ。
4. The package for CCD according to claim 2, wherein a corner portion of a ceramic member or a metal member interposed in the glass substrate at substantially the center thereof is rounded.
【請求項5】 ガラス基板内のほぼ中央に介在させたセ
ラミック部材または金属部材が、ほぼ中央を開口したガ
ラス基板に積層させてなる請求項2ないし4のいずれか
に記載のCCD用パッケージ。
5. The CCD package according to claim 2, wherein the ceramic member or the metal member interposed substantially at the center of the glass substrate is laminated on the glass substrate having the substantially central opening.
【請求項6】 ほぼ中央を開口したガラス基板に積層す
ることにより、ガラス基板内のほぼ中央に介在させたセ
ラミック部材または金属部材が、ガラス基板との接合面
に溝を形成してなる請求項5に記載のCCD用パッケー
ジ。
6. A ceramic member or a metal member, which is interposed in a substantially central portion of the glass substrate by laminating it on a glass substrate having a substantially central opening, forms a groove on a joint surface with the glass substrate. The CCD package described in 5.
JP7184761A 1995-01-19 1995-06-27 Package for ccd Pending JPH08255886A (en)

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