JPH08240423A - Light information detecting device and mode interfereing type laser scanning microscope - Google Patents
Light information detecting device and mode interfereing type laser scanning microscopeInfo
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- JPH08240423A JPH08240423A JP7070676A JP7067695A JPH08240423A JP H08240423 A JPH08240423 A JP H08240423A JP 7070676 A JP7070676 A JP 7070676A JP 7067695 A JP7067695 A JP 7067695A JP H08240423 A JPH08240423 A JP H08240423A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ダブルモード光導波路
の０次モード光と１次モード光との干渉を利用して、ダ
ブルモード光導波路に入射する光の情報を検出する光情
報検出装置と、この光情報検出装置を用いたモード干渉
型レーザ走査顕微鏡に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical information detecting device for detecting information of light incident on a double mode optical waveguide by utilizing the interference between the 0th mode light and the 1st mode light of the double mode optical waveguide. And a mode interference type laser scanning microscope using this optical information detecting device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、様々な分野で光導波路が注目され
ている。その理由は光導波路を用いることにより光学系
の小型、軽量化を図ることが可能になり、また、光軸の
調整が不要になるという利点を有しているからである。
光導波路は、光導波路（コア部）と基板（クラッド部）
との屈折率の差、光導波路の幅または屈折率分布によっ
て、０次モード光のみが励振されるシングルモード光導
波路と、０次と１次の２つのモード光が励振されるダブ
ルモード光導波路と、０次、１次及び２次以上の３つ以
上のモード光が励振されるマルチモード光導波路とに分
類される。このとき、ダブルモード光導波路とマルチモ
ード光導波路は、常に複数のモード光が励振されるもの
ではなく、最大いくつのモード光が励振されるかで分類
されるものである。例えば、光導波路に入射する光の位
置や状態によって０次モード光のみが励振されることも
ある。2. Description of the Related Art In recent years, optical waveguides have attracted attention in various fields. The reason is that the use of the optical waveguide has the advantages that the size and weight of the optical system can be reduced and the adjustment of the optical axis becomes unnecessary.
The optical waveguide consists of the optical waveguide (core part) and the substrate (clad part)
A single-mode optical waveguide in which only 0th-order mode light is excited and a double-mode optical waveguide in which two 0th-order and 1st-order mode lights are excited due to the difference in refractive index between And a multi-mode optical waveguide in which three or more mode lights of 0th order, 1st order and 2nd order or more are excited. At this time, the double-mode optical waveguide and the multi-mode optical waveguide are not always excited by a plurality of mode lights, but are classified by how many mode lights are excited at the maximum. For example, only 0th-order mode light may be excited depending on the position and state of light incident on the optical waveguide.
【０００３】このような光導波路を全く新しい分野へ応
用したものとしては、ダブルモード光導波路におけるモ
ード干渉現象を利用した光情報検出装置がある。この光
情報検出装置としては、例えば特開平６−１６０７１８
号公報に開示されたものがある。これは、一端より入射
する主光をダブルモードにて伝搬する主幹チャンネル光
導波路と、該主幹チャンネル光導波路の完全結合長を変
更するように電界を発生する電極と、該電極に電圧を印
加する電圧印加装置と、主幹チャンネル光導波路の他端
に共に接続された左右の枝チャンネル光導波路と、両枝
チャンネル光導波路の他端より出射する主光の強度をそ
れぞれ検出する左右の光検出器とを有し、両光検出器の
出力信号に基づいて、主幹チャンネル光導波路の一端に
入射する主光に含まれる情報を検出する光情報検出装置
である。As an application of such an optical waveguide to a completely new field, there is an optical information detecting device utilizing a mode interference phenomenon in a double mode optical waveguide. As this optical information detecting device, for example, JP-A-6-160718 is used.
Is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. HEI 9-203 (1995). This is a main channel optical waveguide that propagates the main light incident from one end in a double mode, an electrode that generates an electric field so as to change the complete coupling length of the main channel optical waveguide, and a voltage is applied to the electrode. A voltage applying device, left and right branch channel optical waveguides connected together to the other ends of the main channel optical waveguides, and left and right photodetectors for detecting the intensities of the main light emitted from the other ends of both branch channel optical waveguides, respectively. And an optical information detection device for detecting information contained in the main light incident on one end of the main channel optical waveguide, based on the output signals of both photodetectors.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上記光情報検出装置で
は、電極に印加する電圧を変更することによって主幹チ
ャンネル光導波路の完全結合長を変更し、これにより主
幹チャンネル光導波路の一端に入射する主光に含まれる
位相情報と振幅情報とを区別している。しかしながら主
幹チャンネル光導波路に電界を印加する場合、ＤＣドリ
フトと呼ばれる現象が現れ、主幹チャンネル光導波路に
精度良く電界を印加できなくなるという問題点があっ
た。In the above-mentioned optical information detecting device, the complete coupling length of the main channel optical waveguide is changed by changing the voltage applied to the electrode, and the main incident light enters one end of the main channel optical waveguide. The phase information and the amplitude information included in the light are distinguished. However, when an electric field is applied to the main channel optical waveguide, a phenomenon called DC drift appears and there is a problem that the electric field cannot be applied to the main channel optical waveguide with high accuracy.
【０００５】ＤＣドリフトは、光導波路の近傍にバッフ
ァ層を介して形成されている電極に長時間電圧を印加す
ると、基板表面で電荷が移動し、あるいは電極と光導波
路の間に設置されているバッファ層内で電荷が移動して
反電界が生じ、光導波路に電界が有効に印加されなくな
る現象である。光情報検出装置では、主幹チャンネル光
導波路に入射する光をどのように観察するかに応じて、
主幹チャンネル光導波路に印加する電界を制御して完全
結合長の長さを決めている。したがってＤＣドリフトが
生じると、完全結合長を精度良く決めることができなく
なるから、主幹チャンネル光導波路に入射する光のどの
ような情報を観察しているのかが不明となり、光情報検
出装置としての精度の劣化を招くこととなる。したがっ
て本発明は、長期間にわたってＤＣドリフトを低減し、
もって高い検出精度を維持することができる光情報検出
装置と、それを用いたモード干渉型レーザ走査顕微鏡を
提供することを目的とする。The DC drift is such that when a voltage is applied to an electrode formed in the vicinity of the optical waveguide via a buffer layer for a long time, electric charges move on the surface of the substrate, or the electrode is placed between the electrode and the optical waveguide. This is a phenomenon in which electric charges are moved in the buffer layer to generate an anti-electric field and the electric field is not effectively applied to the optical waveguide. In the optical information detection device, depending on how to observe the light incident on the main channel optical waveguide,
The length of the complete coupling length is determined by controlling the electric field applied to the main channel optical waveguide. Therefore, if a DC drift occurs, it becomes impossible to accurately determine the complete coupling length, and it becomes unclear what kind of information of the light incident on the main channel optical waveguide is observed, and the accuracy as an optical information detection device is unknown. Will be deteriorated. Therefore, the present invention reduces DC drift over time,
An object of the present invention is to provide an optical information detection device capable of maintaining high detection accuracy and a mode interference type laser scanning microscope using the same.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するためになされたものであり、すなわち、一端より入
射する主光をダブルモードにて伝搬する主幹チャンネル
光導波路と、該主幹チャンネル光導波路の完全結合長を
制御するように電界を発生する電極と、該電極に電圧を
印加する電圧印加装置と、主幹チャンネル光導波路の他
端に共に接続された左右の枝チャンネル光導波路と、両
枝チャンネル光導波路の他端より出射する主光の強度を
それぞれ検出する左右の光検出器と、両光検出器の出力
信号に基づいて、主幹チャンネル光導波路の一端に入射
する主光に含まれる情報を検出する制御装置と、を有す
る光情報検出装置において、電圧印加装置によって電極
に交番電圧を印加し、制御装置によって、交番電圧が既
定値と等しくなるときに同期して、両光検出器の出力信
号を取り出したことを特徴とする、光情報検出装置であ
る。The present invention has been made in order to achieve the above-mentioned object, that is, a main channel optical waveguide for propagating the main light incident from one end in a double mode, and the main channel optical waveguide. An electrode that generates an electric field to control the complete coupling length of the waveguide, a voltage applying device that applies a voltage to the electrode, left and right branch channel optical waveguides that are connected together to the other end of the main channel optical waveguide, and The left and right photodetectors that detect the intensity of the main light emitted from the other end of the branch channel optical waveguide, and the main light that enters one end of the main channel optical waveguide based on the output signals of both photodetectors. In an optical information detection device having a control device for detecting information, an alternating voltage is applied to the electrodes by a voltage applying device, and the alternating voltage becomes equal to a predetermined value by the control device. In synchronism with the can, characterized in that removal of the output signals of both photodetectors, an optical information detection apparatus.
【０００７】本発明はまた、一端より入射する主光をダ
ブルモードにて伝搬する主幹チャンネル光導波路と、該
主幹チャンネル光導波路の完全結合長を制御するように
電界を発生する電極と、該電極に電圧を印加する電圧印
加装置と、主幹チャンネル光導波路の他端に共に接続さ
れた左右の枝チャンネル光導波路と、両枝チャンネル光
導波路の他端より出射する主光の強度をそれぞれ検出す
る左右の光検出器と、両光検出器の出力信号に基づい
て、主幹チャンネル光導波路の一端に入射する主光に含
まれる情報を検出する制御装置と、を有する光情報検出
装置において、電圧印加装置によって電極に交番電圧を
印加し、較正用光源を設けて、左右の枝チャンネル光導
波路のいずれか一方の他端に較正光を入射し、較正光強
度分布検出器を設けて、較正光によって生じる主幹チャ
ンネル光導波路の一端における光強度分布を検出し、制
御装置によって、較正光強度分布検出器の出力信号が既
定値と等しくなるときに同期して、両光検出器の出力信
号を取り出したことを特徴とする、光情報検出装置であ
る。本発明はまた、上記光情報検出装置を利用したモー
ド干渉型レーザ走査顕微鏡である。The present invention also relates to a main channel optical waveguide for propagating main light entering from one end in a double mode, an electrode for generating an electric field so as to control the complete coupling length of the main channel optical waveguide, and the electrode. Voltage applying device for applying a voltage to the left and right branch channel optical waveguides connected to the other ends of the main channel optical waveguides, and left and right detecting the intensity of the main light emitted from the other ends of both branch channel optical waveguides. And a controller for detecting information contained in the main light incident on one end of the main channel optical waveguide based on the output signals of the both photodetectors, the voltage applying device. By applying an alternating voltage to the electrodes, providing a calibration light source, and injecting calibration light into the other end of either the left or right branch channel optical waveguide, and providing a calibration light intensity distribution detector , The light intensity distribution at one end of the main channel optical waveguide generated by the calibration light is detected, and when the output signal of the calibration light intensity distribution detector becomes equal to the preset value by the control device, the output of both photodetectors is synchronized. The optical information detection device is characterized in that a signal is taken out. The present invention is also a mode interference type laser scanning microscope using the above optical information detection device.
【０００８】[0008]
【作用】定常電圧であると非定常電圧であるとを問わ
ず、経時的に極性の一定した電圧を電極に印加している
と、徐々に電荷が移動しＤＣドリフトが発生する。しか
るに本発明では、経時的に極性が反転する交番電圧を印
加しているから、基板表面やバッファ層内において電荷
が一定位置に留まることが軽減され、電荷の移動による
反電界も軽減されてＤＣドリフトも軽減される。When a voltage having a constant polarity is applied to the electrodes over time, regardless of whether the voltage is a steady voltage or a non-steady voltage, charges gradually move and DC drift occurs. However, in the present invention, since the alternating voltage whose polarity is reversed with time is applied, it is reduced that the charges stay at a fixed position on the substrate surface or in the buffer layer, and the anti-electric field due to the movement of the charges is reduced, so that the DC Drift is also reduced.
【０００９】[0009]
【第１実施例】以下、本発明を図面によって説明する。
図１〜図７は、本発明によるモード干渉型レーザ走査顕
微鏡の第１実施例を示す。基板１上には中央枝チャンネ
ル光導波路５、左枝チャンネル光導波路３、右枝チャン
ネル光導波路４、及び主幹チャンネル光導波路２が形成
されている。中央枝チャンネル光導波路５の下端は分岐
部６において主幹チャンネル光導波路２と同軸に接続し
ており、左枝チャンネル光導波路３と右枝チャンネル光
導波路４の下端は分岐部６に接続しており、主幹チャン
ネル光導波路２の下端は光が入出射する端面２ａとなっ
ている。主幹チャンネル光導波路２の両側には、バッフ
ァ層（図示せず）を介して一対の電極７，７が配置され
ており、両電極７間には電圧印加装置３１からの交番電
圧Ｖが印加されており、この電圧Ｖは制御装置３０によ
って制御されている。First Embodiment The present invention will be described below with reference to the drawings.
1 to 7 show a first embodiment of a mode interference type laser scanning microscope according to the present invention. A central branch channel optical waveguide 5, a left branch channel optical waveguide 3, a right branch channel optical waveguide 4, and a main channel optical waveguide 2 are formed on a substrate 1. The lower end of the central branch channel optical waveguide 5 is coaxially connected to the main channel optical waveguide 2 at the branch portion 6, and the lower ends of the left branch channel optical waveguide 3 and the right branch channel optical waveguide 4 are connected to the branch portion 6, The lower end of the main channel optical waveguide 2 is an end face 2a through which light enters and exits. A pair of electrodes 7, 7 are arranged on both sides of the main channel optical waveguide 2 via a buffer layer (not shown), and an alternating voltage V from a voltage applying device 31 is applied between both electrodes 7. The voltage V is controlled by the controller 30.
【００１０】各枝チャンネル光導波路はシングルモード
光導波路として形成されている。但し左右の枝チャンネ
ル光導波路３，４については、必ずしもシングルモード
光導波路として形成する必要はなく、光を伝搬させるも
のであれば良い。主幹チャンネル光導波路２は、左右の
枝チャンネル光導波路を分岐した方向に１次光を励振す
るダブルモード光導波路として形成されている。中央枝
チャンネル光導波路５の上端には主レーザ光源１０が接
続されており、左枝チャンネル光導波路３と右枝チャン
ネル光導波路４の上端には、それぞれ左光検出器１１と
右光検出器１２が接続されている。両光検出器１１，１
２の出力は主差動増幅器３２に入力されており、主差動
増幅器３２の出力、すなわち主差動信号ＳMは制御装置
３０に入力されており、制御装置３０にはモニター３３
が接続されている。主幹チャンネル光導波路の端面２ａ
の下方には、Ｘ−Ｙ２次元スキャナー１３、集光光学系
１４、及び被検物体１５がその順に配置されている。２
次元スキャナー１３は制御装置３０によって制御されて
おり、集光光学系１４は主幹チャンネル光導波路の端面
２ａより出射した照明光を被検物体１５上に集光するよ
うに配置されている。Each branch channel optical waveguide is formed as a single mode optical waveguide. However, the left and right branch channel optical waveguides 3 and 4 do not necessarily have to be formed as single mode optical waveguides, and may be any one that propagates light. The main channel optical waveguide 2 is formed as a double mode optical waveguide that excites primary light in the direction in which the left and right branch channel optical waveguides are branched. The main laser light source 10 is connected to the upper end of the central branch channel optical waveguide 5, and the left photodetector 11 and the right photodetector 12 are respectively provided at the upper ends of the left branch channel optical waveguide 3 and the right branch channel optical waveguide 4. It is connected. Both photodetectors 11, 1
The output of 2 is input to the main differential amplifier 32, and the output of the main differential amplifier 32, that is, the main differential signal S M is input to the control device 30, and the control device 30 monitors the monitor 33.
Is connected. End face 2a of main channel optical waveguide
An XY two-dimensional scanner 13, a condensing optical system 14, and an object 15 to be inspected are arranged in that order below. Two
The dimensional scanner 13 is controlled by the controller 30, and the condensing optical system 14 is arranged so as to condense the illumination light emitted from the end surface 2a of the main channel optical waveguide onto the object 15 to be inspected.
【００１１】本実施例は以上のように構成されており、
主光源１０から発せられた照明光は、中央枝チャンネル
光導波路５と主幹チャンネル光導波路２を伝搬して、主
幹チャンネル光導波路の端面２ａから出射される。中央
枝チャンネル光導波路５はシングルモード光導波路とし
て形成されているから、中央枝チャンネル光導波路５を
伝播する照明光はシングルモードである。主幹チャンネ
ル光導波路２はダブルモード光導波路として形成されて
いるが、主幹チャンネル光導波路２と中央枝チャンネル
光導波路５とが同軸に配置されているから、中央枝チャ
ンネル光導波路５から主幹チャンネル光導波路２に入射
する照明光は主幹チャンネル光導波路２において０次モ
ード光のみを励振し、したがって主幹チャンネル光導波
路の端面２ａから出射する照明光はシングルモードであ
る。主幹チャンネル光導波路の端面２ａから出射する照
明光は、２次元スキャナー１３を通過することによっ
て、進行方向と直交する方向、すなわちＸ−Ｙ方向に進
路をシフトし、集光光学系１４によって被検物体１５上
に集光し、被検物体１５によって反射する。This embodiment is constructed as described above,
The illumination light emitted from the main light source 10 propagates through the central branch channel optical waveguide 5 and the main channel optical waveguide 2, and is emitted from the end surface 2a of the main channel optical waveguide. Since the central branch channel optical waveguide 5 is formed as a single mode optical waveguide, the illumination light propagating through the central branch channel optical waveguide 5 is single mode. The main channel optical waveguide 2 is formed as a double mode optical waveguide, but since the main channel optical waveguide 2 and the central branch channel optical waveguide 5 are arranged coaxially, the central branch channel optical waveguide 5 to the main channel optical waveguide The illumination light entering 2 excites only the 0th mode light in the main channel optical waveguide 2, and therefore the illumination light emitted from the end face 2a of the main channel optical waveguide is a single mode. The illumination light emitted from the end surface 2a of the main channel optical waveguide passes through the two-dimensional scanner 13 to shift the course in the direction orthogonal to the traveling direction, that is, the XY direction, and is examined by the condensing optical system 14. It is condensed on the object 15 and reflected by the object 15 to be inspected.
【００１２】被検物体１５によって反射した反射光は、
往路を逆進して主幹チャンネル光導波路の端面２ａに集
光して、主幹チャンネル光導波路２内に入射する。主幹
チャンネル光導波路の端面２ａはピンホールと同様の働
きをするため、この顕微鏡はコンフォーカルレーザ走査
顕微鏡となる。ここで被検物体１５の反射面に左右方向
の傾斜があり、あるいは反射面の反射率に左右方向の傾
斜があると、これに応じて反射光の位相分布は左右方向
に傾斜し、あるいは振幅分布は左右方向に非対称にな
る。位相分布が左右方向に傾斜した、または、振幅分布
が左右方向に非対称である反射光が主幹チャンネル光導
波路２に入射すると、主幹チャンネル光導波路２では０
次モード光のほか１次モード光が励振され、両モード光
の干渉により、主幹チャンネル光導波路２内を伝搬する
光の強度分布は左右に蛇行する。The reflected light reflected by the object 15 to be inspected is
It travels backward in the forward path and is condensed on the end face 2 a of the main channel optical waveguide, and enters the main channel optical waveguide 2. Since the end surface 2a of the main channel optical waveguide functions like a pinhole, this microscope is a confocal laser scanning microscope. Here, if the reflection surface of the object 15 to be inspected has an inclination in the left-right direction or the reflectance of the reflection surface has an inclination in the left-right direction, the phase distribution of the reflected light inclines in the left-right direction or has an amplitude correspondingly. The distribution is asymmetric in the left-right direction. When reflected light whose phase distribution is tilted in the left-right direction or whose amplitude distribution is asymmetric in the left-right direction enters the main channel optical waveguide 2, 0
In addition to the second mode light, the first mode light is excited, and the intensity distribution of the light propagating in the main channel optical waveguide 2 meanders to the left and right due to the interference of the both mode lights.
【００１３】主幹チャンネル光導波路２を伝搬した反射
光は分岐部６において各枝チャンネル光導波路に分岐さ
れ、そのうち左枝チャンネル光導波路３と右枝チャンネ
ル光導波路４を伝搬した光は、それぞれ左光検出器１１
と右光検出器１２によって検出される。両光検出器１
１，１２の出力の差は主差動増幅器３２によって計算さ
れ、この主差動信号ＳMに基づいて、制御装置３０は被
検物体１５の反射面の傾斜または反射率の傾斜、すなわ
ち微分像を合成してモニター３３に表示する。こうして
主幹チャンネル光導波路２を伝搬する光の強度分布の変
化のうち、位相情報より被検物体１５の反射面の傾斜が
検知され、振幅情報より被検物体１５の反射率の傾斜が
検知される。The reflected light propagating through the main channel optical waveguide 2 is branched into each branch channel optical waveguide at the branching portion 6, and the light propagating through the left branch channel optical waveguide 3 and the right branch channel optical waveguide 4 is detected as left light. Bowl 11
Is detected by the right photodetector 12. Both photodetectors 1
The difference between the outputs of 1 and 12 is calculated by the main differential amplifier 32, and based on this main differential signal S M , the control device 30 causes the tilt of the reflecting surface or the tilt of the reflectance of the object 15 to be measured, that is, the differential image. Are combined and displayed on the monitor 33. In this way, in the change of the intensity distribution of the light propagating through the main channel optical waveguide 2, the inclination of the reflection surface of the object 15 to be detected is detected from the phase information, and the inclination of the reflectance of the object 15 to be detected is detected from the amplitude information. .
【００１４】位相情報と振幅情報とは次のようにして弁
別される。主幹チャンネル光導波路２のダブルモード領
域の長さをＬとし、完全結合長、すなわち主幹チャンネ
ル光導波路２をダブルモードにて伝搬する反射光の０次
モード光と１次モード光との位相差が１８０゜となる長
さをＬCとすると、 Ｌ＝ＬC（２ｍ＋１）／２ （ｍ＝０、１、２、‥‥） ‥‥（１） となるとき、被検物体１５の位相情報のみが検出され、 Ｌ＝ｍＬC （ｍ＝１、２、‥‥） ‥‥（２） となるとき、被検物体１５の振幅情報のみが検出され
る。主幹チャンネル光導波路２のダブルモード領域の長
さＬが（１）、（２）式以外の長さのときには、位相情
報と振幅情報とが一定の割合で検出される。The phase information and the amplitude information are discriminated as follows. Let L be the length of the double mode region of the main channel optical waveguide 2, and let the perfect coupling length, that is, the phase difference between the 0th-order mode light and the 1st-order mode light of the reflected light propagating in the double mode in the main channel optical waveguide 2. When the length of 180 ° is L C , L = L C (2m + 1) / 2 (m = 0, 1, 2, ...) ... (1) When only the phase information of the object 15 to be inspected Is detected and L = mL C (m = 1, 2, ...) (2), only the amplitude information of the object 15 to be detected is detected. When the length L of the double mode region of the main channel optical waveguide 2 is a length other than the expressions (1) and (2), the phase information and the amplitude information are detected at a constant ratio.
【００１５】主幹チャンネル光導波路２のダブルモード
領域の長さＬとは、光が実質的にダブルモードで伝搬す
る長さをいい、必ずしも主幹チャンネル光導波路２の物
理的な長さとは一致しない。例えば本実施例のように、
主幹チャンネル光導波路２の上端の分岐部６において３
本のシングルモードのチャンネル光導波路３，４，５が
接続されている場合、各チャンネル光導波路間の距離が
十分に離隔していない領域では、各チャンネル光導波路
間で光結合が起こって、その領域では光がダブルモード
で伝搬することがある。他方、完全結合長ＬCは、両電
極７間に電圧Ｖを印加して主幹チャンネル光導波路２に
電界を発生させることによって、変化させることができ
る。すなわち電極７に印加する電圧Ｖを制御することに
よって完全結合長ＬCを変化させ、こうして被検物体１
５の位相情報あるいは振幅情報を任意に観察することが
できる。The length L of the double mode region of the main channel optical waveguide 2 means the length of light that propagates substantially in the double mode, and does not necessarily match the physical length of the main channel optical waveguide 2. For example, like this example,
3 at the branch portion 6 at the upper end of the main channel optical waveguide 2
When the single-mode channel optical waveguides 3, 4, and 5 of the book are connected, optical coupling occurs between the channel optical waveguides in a region where the distance between the channel optical waveguides is not sufficiently separated. Light may propagate in a double mode in a region. On the other hand, the complete coupling length L C can be changed by applying a voltage V between both electrodes 7 to generate an electric field in the main channel optical waveguide 2. That is, the complete coupling length L C is changed by controlling the voltage V applied to the electrode 7, and thus the object to be measured 1
The phase information or the amplitude information of 5 can be arbitrarily observed.
【００１６】しかして従来のモード干渉型レーザ走査顕
微鏡では、極性の一定した電圧を電極７に印加していた
が、本実施例では経時的に極性が変化する交番電圧Ｖを
印加している。交番電圧Ｖの波形としては、図２（ａ）
に示すように正弦波とすることもできるし、同図（ｂ）
に示すように三角波とすることもできる。また矩形波と
することもできるし、正側と負側とで対称性がない電圧
を印加することもできる。データを取り込むタイミング
は、図２（ａ）及び（ｂ）中、黒丸で示したように、交
番電圧Ｖが、既定値ＶP、すなわち必要とする情報に対
応する電圧と一致したときである。したがって既定値Ｖ
Pが０のときには、データを取り込んでいないときの電
圧Ｖの極性は正にも負にもなる。また既定値ＶPが０で
ないときには、データを取り込んでいないときの電圧Ｖ
の極性はある期間反転することになる。In the conventional mode interference type laser scanning microscope, a voltage having a constant polarity is applied to the electrode 7, but in the present embodiment, an alternating voltage V whose polarity changes with time is applied. The waveform of the alternating voltage V is shown in FIG.
It can also be a sine wave as shown in Fig.
It can also be a triangular wave as shown in. Alternatively, a rectangular wave can be used, or a voltage having no symmetry on the positive side and the negative side can be applied. The timing of capturing data is when the alternating voltage V coincides with a predetermined value V P , that is, a voltage corresponding to required information, as indicated by a black circle in FIGS. 2A and 2B. Therefore, the default value V
When P is 0, the polarity of the voltage V when data is not taken in is either positive or negative. When the default value V P is not 0, the voltage V when data is not fetched
The polarity of will be inverted for a certain period.
【００１７】次に電極７に印加する電圧Ｖと２次元スキ
ャナー１３の動作との関係について、図３によって説明
する。但し本実施例の顕微鏡では、一つの画像は多数の
画素から構成されているが、図３では簡単のため、４×
４＝１６個の画素から構成されているとして図示してい
る。図３（ｄ）は図１中Ａ−Ａ線断面図を示し、同図
（ｄ）中丸印は信号を取り込むときの照明光のスポット
位置を表し、同図（ａ）はＸ軸方向のスポットの動きを
表し、同図（ｂ）はＹ軸方向のスポットの動きを表す。
スポット位置はＸ−Ｙ２次元スキャナー１３によって制
御されており、２次元スキャナー１３としては、例えば
２個のガルバノメータスキャナーをＸ方向とＹ方向とに
組み合わせたものを用いることができる。同図（ｃ）は
電極７に印加する電圧Ｖを示し、黒丸はデータを取り込
むタイミングを示している。同図に示されているよう
に、この実施例では電圧Ｖとして矩形波を用いており、
且つ正側と負側とに非対称の電圧を印加している。また
Ｘ方向に一列スキャンした後にＸ方向のスポット位置を
もとの位置に戻す間の期間だけ、電圧の極性を反転させ
ている。Next, the relationship between the voltage V applied to the electrode 7 and the operation of the two-dimensional scanner 13 will be described with reference to FIG. However, in the microscope of this embodiment, one image is composed of a large number of pixels, but in FIG.
It is shown as being composed of 4 = 16 pixels. 3D is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 1, and the circle marks in FIG. 3D represent the spot position of the illumination light when the signal is captured, and FIG. 3A is the spot in the X-axis direction. The movement of the spot in the Y-axis direction is shown in FIG.
The spot position is controlled by the XY two-dimensional scanner 13. As the two-dimensional scanner 13, for example, a combination of two galvanometer scanners in the X direction and the Y direction can be used. FIG. 7C shows the voltage V applied to the electrode 7, and the black circles show the timing of capturing data. As shown in the figure, in this embodiment, a rectangular wave is used as the voltage V,
Moreover, asymmetrical voltages are applied to the positive side and the negative side. Further, the polarity of the voltage is inverted only during the period during which the spot position in the X direction is returned to the original position after scanning one row in the X direction.
【００１８】電極７に印加する電圧Ｖと２次元スキャナ
ー１３の動作との関係の別の態様を、図４から図７によ
って説明する。先ず図４に示したものは、Ｘ方向のスポ
ット位置をもとの位置に戻す間のうちの１回おきの期間
だけ、電圧の極性を反転させたものである。図５に示し
たものは、１画面分のデータの取り込みが終了して、Ｙ
方向のスポット位置をもとの位置に戻す間の期間だけ、
電圧の極性を反転させたものである。図６に示したもの
は、Ｘ方向のスキャンの往路と復路とでデータを取り込
み、往路と復路との切り替えの間の期間だけ、電圧の極
性を反転させたものである。図７に示したものは、Ｘ方
向のスキャンを正弦状にしたものである。以上のように
本実施例ではダブルモード光導波路、すなわち主幹チャ
ンネル光導波路２に設けた電極７に交番電圧Ｖを印加し
ているから、基板１表面での電荷の移動や、基板１と電
極７との間に設置したバッファ層内での電荷の移動が一
方向に片寄ることがなくなり、したがってＤＣドリフト
が低減される。Another mode of the relationship between the voltage V applied to the electrode 7 and the operation of the two-dimensional scanner 13 will be described with reference to FIGS. First, the one shown in FIG. 4 is one in which the polarity of the voltage is inverted only every other period of time during which the spot position in the X direction is returned to the original position. In the case shown in FIG. 5, when the acquisition of the data for one screen is completed, Y
For the period between returning the spot position in the direction to the original position,
The polarity of the voltage is reversed. In the example shown in FIG. 6, data is fetched in the forward and backward passes of the X-direction scan, and the polarity of the voltage is inverted only during the period between the switching of the forward and backward passes. The one shown in FIG. 7 is a sinusoidal scan in the X direction. As described above, in this embodiment, the alternating voltage V is applied to the electrode 7 provided in the double-mode optical waveguide, that is, the main channel optical waveguide 2, so that the charge transfer on the surface of the substrate 1 and the substrate 1 and the electrode 7 are performed. The movement of the charges in the buffer layer provided between and is not biased in one direction, thus reducing the DC drift.
【００１９】[0019]
【第２実施例】図８は、本発明の第２実施例によるモー
ド干渉型レーザ走査顕微鏡の概略構成図である。ＬｉＮ
ｂＯ3によって形成した基板１上には中央枝チャンネル
光導波路５、左枝チャンネル光導波路３、右枝チャンネ
ル光導波路４、及び主幹チャンネル光導波路２が形成さ
れている。ＬｉＮｂＯ3の結晶軸ｘ，ｙ及びｚのうち、
基板１はｘ軸に直交する平面でカットして形成されてお
り、各チャンネル光導波路はｙ軸方向に形成されてい
る。したがって結晶のｘ軸方向が各チャンネル光導波路
の深さ方向に対応しており、結晶のｚ軸方向が各チャン
ネル光導波路の幅方向に対応している。各枝チャンネル
光導波路の下端は分岐部６において主幹チャンネル光導
波路２に接続しており、主幹チャンネル光導波路２の下
端は光が入出射する端面２ａとなっている。主幹チャン
ネル光導波路２の両側には、バッファ層（図示せず）を
介して一対の電極７が配置されており、両電極７間には
電圧印加装置３１からの交番電圧Ｖが印加されている。
この電圧Ｖは制御装置３０によって制御されている。Second Embodiment FIG. 8 is a schematic block diagram of a mode interference type laser scanning microscope according to a second embodiment of the present invention. LiN
A central branch channel optical waveguide 5, a left branch channel optical waveguide 3, a right branch channel optical waveguide 4, and a main channel optical waveguide 2 are formed on a substrate 1 formed of bO 3 . Of the crystal axes x, y and z of LiNbO 3 ,
The substrate 1 is formed by cutting along a plane orthogonal to the x axis, and each channel optical waveguide is formed in the y axis direction. Therefore, the x-axis direction of the crystal corresponds to the depth direction of each channel optical waveguide, and the z-axis direction of the crystal corresponds to the width direction of each channel optical waveguide. The lower end of each branch channel optical waveguide is connected to the main channel optical waveguide 2 at the branch portion 6, and the lower end of the main channel optical waveguide 2 is an end face 2a through which light enters and exits. A pair of electrodes 7 is arranged on both sides of the main channel optical waveguide 2 via a buffer layer (not shown), and an alternating voltage V from a voltage applying device 31 is applied between both electrodes 7. .
This voltage V is controlled by the controller 30.
【００２０】主幹チャンネル光導波路２は、ｘ軸方向の
直線偏光に対してはシングルモード光導波路として機能
し、ｚ軸方向の直線偏光に対しては、枝チャンネル光導
波路を分岐した方向、すなわちｚ軸方向に、１次光を励
振するダブルモード光導波路として機能するように形成
されている。中央枝チャンネル光導波路５は、ｘ偏光と
ｚ偏光との双方に対して、シングルモード光導波路とし
て機能するように形成されている。左右の枝チャンネル
光導波路３，４は、ｚ偏光に対してはシングルモード光
導波路として機能し、ｘ偏光に対しては光導波路として
機能しないように形成されている。このような機能を有
する各光導波路を製造する手段については、例えば特開
平６−１６０７１８号公報に開示された公知の手段を用
いることができる。The main channel optical waveguide 2 functions as a single-mode optical waveguide for linearly polarized light in the x-axis direction, and for linearly polarized light in the z-axis direction, the direction in which the branch channel optical waveguide is branched, that is, z. It is formed so as to function as a double-mode optical waveguide that excites primary light in the axial direction. The central branch channel optical waveguide 5 is formed so as to function as a single-mode optical waveguide for both x-polarized light and z-polarized light. The left and right branch channel optical waveguides 3 and 4 are formed so as to function as a single mode optical waveguide for z-polarized light and not function as an optical waveguide for x-polarized light. As a means for producing each optical waveguide having such a function, for example, known means disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 6-160718 can be used.
【００２１】中央枝チャンネル光導波路５の上端には、
ｘ偏光を発生するように主レーザ光源１０が接続されて
おり、右枝チャンネル光導波路４の上端には右光検出器
１２が接続されている。左枝チャンネル光導波路３の上
端の上方には、集光レンズ１６と、較正光入射用ビーム
スプリッター１７と、左光検出器１１とがその順に配置
されており、ビームスプリッター１７には、較正用レー
ザ光源１８からのｚ偏光の較正光が入射している。左光
検出器１１の出力信号は、増幅器３４を介して主差動増
幅器３２に入力されており、右光検出器１２の出力信号
は、直接主差動増幅器３２に入力されている。主差動増
幅器３２の出力、すなわち主差動信号ＳMは制御装置３
０に入力されており、制御装置３０にはモニター３３が
接続されている。At the upper end of the central branch channel optical waveguide 5,
A main laser light source 10 is connected so as to generate x-polarized light, and a right photodetector 12 is connected to the upper end of the right branch channel optical waveguide 4. A condenser lens 16, a calibration light incident beam splitter 17, and a left photodetector 11 are arranged in this order above the upper end of the left branch channel optical waveguide 3, and the beam splitter 17 includes a calibration laser. The z-polarized calibration light from the light source 18 is incident. The output signal of the left photodetector 11 is input to the main differential amplifier 32 via the amplifier 34, and the output signal of the right photodetector 12 is directly input to the main differential amplifier 32. The output of the main differential amplifier 32, that is, the main differential signal S M is the control device 3
0 is input, and a monitor 33 is connected to the control device 30.
【００２２】主幹チャンネル光導波路の端面２ａの下方
には、１／４波長板１９、較正光出射用ビームスプリッ
ター２０、２次元スキャナー１３、集光光学系１４、及
び被検物体１５がその順に配置されている。較正光出射
用ビームスプリッター２０の側方には、集光レンズ２１
と２分割フォトダイオード２２とがその順に配置されて
いる。２分割フォトダイオード２２の出力信号は較正用
差動増幅器３５に入力されており、較正用差動増幅器３
５の出力、すなわち較正用差動信号ＳCは制御装置３０
に入力されている。２次元スキャナー１３は制御装置３
０によって制御されている。２分割フォトダイオード２
２は、図９に示すように左右一対の受光面２２ａを設け
たものである。受光面２２ａ上には主幹チャンネル光導
波路の端面２ａでの光の強度分布が結像するが、両受光
面の境界２２ｂは、主幹チャンネル光導波路２の端面像
の中心に一致するように配置されている。Below the end face 2a of the main channel optical waveguide, a quarter wavelength plate 19, a calibration light emitting beam splitter 20, a two-dimensional scanner 13, a condensing optical system 14, and an object 15 to be inspected are arranged in that order. Has been done. A condenser lens 21 is provided on the side of the calibration light emitting beam splitter 20.
And the two-division photodiode 22 are arranged in that order. The output signal of the two-divided photodiode 22 is input to the calibration differential amplifier 35, and the calibration differential amplifier 3
5 output, that is, the calibration differential signal S C
Has been entered in. The two-dimensional scanner 13 is the control device 3
Controlled by 0. Two-part photodiode 2
2 is provided with a pair of left and right light receiving surfaces 22a as shown in FIG. The light intensity distribution on the end surface 2a of the main channel optical waveguide is imaged on the light receiving surface 22a, but the boundary 22b between both light receiving surfaces is arranged so as to coincide with the center of the end surface image of the main channel optical waveguide 2. ing.
【００２３】本実施例は以上のように構成されており、
主光源１０から発せられたｘ偏光の照明光は、中央枝チ
ャンネル光導波路５と主幹チャンネル光導波路２を伝搬
して、主幹チャンネル光導波路の端面２ａから出射す
る。主幹チャンネル光導波路２は、ｘ偏光に対してはシ
ングルモード光導波路として機能するから、中央枝チャ
ンネル光導波路５と主幹チャンネル光導波路２とが厳密
に同軸に接続されていなくとも、主幹チャンネル光導波
路の端面２ａにおける照明光の強度分布に片寄りは生じ
ない。主幹チャンネル光導波路の端面２ａから出射した
ｘ偏光の照明光は、１／４波長板１９を透過することに
よって円偏光に変換される。次いで照明光の一部は較正
光出射用ビームスプリッター２０を透過し、残部はビー
ムスプリッター２０によって反射する。ビームスプリッ
ター２０によって反射した照明光は、集光レンズ２１に
よって２分割フォトダイオード２２上に集光するが、照
明光に片寄りがないために、照明光に起因する較正用差
動信号ＳCは０である。ビームスプリッター２０を透過
した照明光は、２次元スキャナー１３を通過することに
よって、進行方向と直交する方向に進路をシフトし、集
光光学系１４によって被検物体１５上に集光し、被検物
体１５によって反射する。The present embodiment is configured as described above,
The x-polarized illumination light emitted from the main light source 10 propagates through the central branch channel optical waveguide 5 and the main channel optical waveguide 2 and exits from the end surface 2a of the main channel optical waveguide. Since the main channel optical waveguide 2 functions as a single mode optical waveguide for x-polarized light, even if the central branch channel optical waveguide 5 and the main channel optical waveguide 2 are not strictly coaxially connected, the main channel optical waveguide There is no deviation in the intensity distribution of the illumination light on the end face 2a of the. The x-polarized illumination light emitted from the end surface 2a of the main channel optical waveguide is converted into circularly polarized light by passing through the quarter-wave plate 19. Then, a part of the illumination light is transmitted through the calibration light emitting beam splitter 20, and the rest is reflected by the beam splitter 20. The illumination light reflected by the beam splitter 20 is condensed on the two-divided photodiode 22 by the condenser lens 21, but since the illumination light is not biased, the calibration differential signal S C caused by the illumination light is It is 0. The illumination light transmitted through the beam splitter 20 passes through the two-dimensional scanner 13 to shift its course in a direction orthogonal to the traveling direction, and is condensed on the object 15 to be inspected by the condensing optical system 14 to be inspected. It is reflected by the object 15.
【００２４】被検物体１５によって反射した反射光は、
往路とは逆回転の円偏光となって往路を逆進する。次い
で反射光は１／４波長板１９を透過することによって、
往路における偏光と直交する方向の偏光、すなわちｚ偏
光に変換され、主幹チャンネル光導波路の端面２ａに集
光して、主幹チャンネル光導波路２内に入射する。主幹
チャンネル光導波路２は、ｚ偏光に対してはダブルモー
ド光導波路として機能するから、被検物体１５の反射面
の傾斜あるいは反射率の傾斜に応じて、主幹チャンネル
光導波路２に０次モード光のほか１次モード光が励振さ
れ、両モード光の干渉により主幹チャンネル光導波路２
内を伝搬する光の強度分布は左右に蛇行する。The reflected light reflected by the object 15 to be inspected is
It becomes a circularly polarized light which is the reverse rotation of the forward path and travels backward in the forward path. Then, the reflected light is transmitted through the quarter-wave plate 19,
The light is converted into polarized light in a direction orthogonal to the polarized light in the outward path, that is, z-polarized light, is condensed on the end surface 2a of the main channel optical waveguide, and enters the main channel optical waveguide 2. The main channel optical waveguide 2 functions as a double-mode optical waveguide for z-polarized light, so that the main channel optical waveguide 2 has zero-order mode light depending on the inclination of the reflection surface or the inclination of the reflectance of the object 15. In addition to the primary mode light, the main channel optical waveguide 2
The intensity distribution of the light propagating inside is meandering from side to side.
【００２５】主幹チャンネル光導波路２を伝搬した反射
光は分岐部６において各枝チャンネル光導波路に分岐さ
れ、そのうち右枝チャンネル光導波路４を伝搬した光は
右光検出器１２によって検出される。他方、左枝チャン
ネル光導波路３を伝搬した光は、集光レンズ１６と較正
光入射用ビームスプリッター１７とを透過して左光検出
器１１に集光する。左光検出器１１の出力信号は、ビー
ムスプリッター１７を透過した際に生じる強度の損失を
補填するように、増幅器３４によって増幅される。右光
検出器１２の出力と増幅器３４の出力との差は主差動増
幅器３２によって計算され、この主差動信号ＳMに基づ
いて制御装置３０は被検物体１５の微分像を合成してモ
ニター３３に表示する。The reflected light propagating through the main channel optical waveguide 2 is branched into each branch channel optical waveguide at the branching section 6, and the light propagating through the right branch channel optical waveguide 4 is detected by the right photodetector 12. On the other hand, the light propagating through the left branch channel optical waveguide 3 passes through the condenser lens 16 and the calibration light incident beam splitter 17, and is condensed on the left photodetector 11. The output signal of the left photodetector 11 is amplified by the amplifier 34 so as to compensate for the loss of intensity that occurs when it passes through the beam splitter 17. The difference between the output of the right photodetector 12 and the output of the amplifier 34 is calculated by the main differential amplifier 32, and the control device 30 synthesizes the differential image of the object 15 to be inspected based on this main differential signal S M. Display on the monitor 33.
【００２６】他方、較正用光源１８から発せられたｚ偏
光の較正光は、較正光入射用ビームスプリッター１７に
よって反射し、集光レンズ１６によって集光して、左枝
チャンネル光導波路３に入射する。更に較正光は左枝チ
ャンネル光導波路３を伝搬した後、分岐部６より主幹チ
ャンネル光導波路２に入射する。左枝チャンネル光導波
路３と主幹チャンネル光導波路２とは同軸には配置され
ておらず、且つ主幹チャンネル光導波路２はｚ偏光に対
してはダブルモード光導波路として機能するから、主幹
チャンネル光導波路２には０次モード光のほか１次モー
ド光が励振され、両モード光の干渉により主幹チャンネ
ル光導波路２内を伝搬する較正光の強度分布は左右に蛇
行する。On the other hand, the z-polarized calibration light emitted from the calibration light source 18 is reflected by the calibration light incidence beam splitter 17, condensed by the condenser lens 16, and incident on the left branch channel optical waveguide 3. Further, the calibration light propagates through the left branch channel optical waveguide 3 and then enters the main channel optical waveguide 2 through the branching section 6. The left branch channel optical waveguide 3 and the main channel optical waveguide 2 are not arranged coaxially, and the main channel optical waveguide 2 functions as a double mode optical waveguide for z-polarized light. In addition to the 0th-order mode light, the 1st-order mode light is excited, and the intensity distribution of the calibration light propagating in the main channel optical waveguide 2 meanders to the left and right due to the interference of both mode lights.
【００２７】主幹チャンネル光導波路の端面２ａから出
射したｚ偏光の較正光は、１／４波長板１９を透過する
ことによって逆回転の円偏光に変換される。次いで較正
光の一部は較正光出射用ビームスプリッター２０を透過
し、残部はビームスプリッター２０によって反射する。
ビームスプリッター２０を透過した較正光は、被検物体
１５によって反射して正回転の円偏光に変換されて往路
を逆進し、１／４波長板１９を透過することによってｘ
偏光に変換されて主幹チャンネル光導波路２に入射す
る。主幹チャンネル光導波路２はｘ偏光に対してはシン
グルモード光導波路として機能するから、１次モード光
は励振されない。しかも左右の枝チャンネル光導波路
３，４は、ｘ偏光に対しては光導波路として機能しない
から、較正光に起因する主差動信号ＳMは０である。他
方、ビームスプリッター２０によって反射した較正光
は、集光レンズ２１によって２分割フォトダイオード２
２上に集光し、その強度分布が較正用差動信号ＳCとし
て得られる。The z-polarized calibration light emitted from the end face 2a of the main channel optical waveguide is converted into circularly polarized light of reverse rotation by passing through the quarter-wave plate 19. Next, a part of the calibration light is transmitted through the calibration light emitting beam splitter 20, and the rest is reflected by the beam splitter 20.
The calibration light transmitted through the beam splitter 20 is reflected by the object 15 to be inspected, converted into circularly polarized light of normal rotation, travels backward in the outward path, and is transmitted through the quarter-wave plate 19 so that x
It is converted into polarized light and enters the main channel optical waveguide 2. Since the main channel optical waveguide 2 functions as a single mode optical waveguide for x-polarized light, the primary mode light is not excited. Moreover, since the left and right branch channel optical waveguides 3 and 4 do not function as optical waveguides for x-polarized light, the main differential signal S M due to the calibration light is 0. On the other hand, the calibration light reflected by the beam splitter 20 is divided into two photodiodes 2 by the condenser lens 21.
The intensity distribution is obtained as a calibration differential signal S C.
【００２８】ここで主幹チャンネル光導波路２の長さが
完全結合長の整数倍のとき、すなわち（２）式が成立し
ているときには、主幹チャンネル光導波路の端面２ａで
は較正光が左方又は右方に最も蛇行しているときである
から、２分割フォトダイオード２２の受光面での強度分
布は図１０（ｂ）に示すように左右の一方に最も片寄
る。また主幹チャンネル光導波路２の長さが、（２）式
の長さよりも完全結合長の半分だけ長い、又は短いと
き、すなわち（１）式が成立しているときには、主幹チ
ャンネル光導波路の端面２ａでは較正光は左右の中央に
あるから、２分割フォトダイオード２２の受光面での強
度分布は図１０（ａ）に示すように左右均等に分布す
る。Here, when the length of the main channel optical waveguide 2 is an integral multiple of the complete coupling length, that is, when the expression (2) is satisfied, the calibration light is left or right on the end face 2a of the main channel optical waveguide. Since it is the most meandering direction, the intensity distribution on the light receiving surface of the two-divided photodiode 22 is most offset to the left or right as shown in FIG. 10B. Further, when the length of the main channel optical waveguide 2 is longer or shorter than the length of the formula (2) by half the complete coupling length, that is, when the formula (1) is satisfied, the end face 2a of the main channel optical waveguide is formed. Since the calibration light is at the center on the left and right, the intensity distribution on the light receiving surface of the two-divided photodiode 22 is evenly distributed on the left and right as shown in FIG.
【００２９】したがって電極７に印加する電圧Ｖを変化
させることにより、主幹チャンネル光導波路２の完全結
合長の長さを変化させると、較正用差動信号ＳCも図１
１に示すように変化する。同図において較正用差動信号
ＳCが０となるとき、すなわち電圧ＶがＶ1となるとき
が、（１）式が成立している状態であり、このとき主較
正信号ＳMは被検物体１５の位相情報を検出している。
また較正用差動信号ＳCが極値となるとき、すなわち電
圧ＶがＶ2となるときが、（２）式が成立している状態
であり、このとき主較正信号ＳMは被検物体１５の振幅
情報を検出している。これらの関係はＤＣドリフトの存
否を問わないものであるから、較正用差動信号ＳCを用
いることにより、ＤＣドリフトの影響から免れることが
できる。Therefore, when the length of the complete coupling length of the main channel optical waveguide 2 is changed by changing the voltage V applied to the electrode 7, the calibration differential signal S C is also shown in FIG.
It changes as shown in 1. In the figure, when the calibration differential signal S C becomes 0, that is, when the voltage V becomes V 1 , the condition (1) is satisfied, and at this time, the main calibration signal S M is not detected. The phase information of the object 15 is detected.
Further, when the calibration differential signal S C has the extreme value, that is, when the voltage V becomes V 2 , the condition (2) is satisfied, and at this time, the main calibration signal S M is the object to be measured. 15 pieces of amplitude information are detected. Since these relationships are irrelevant to the presence or absence of DC drift, the influence of DC drift can be avoided by using the calibration differential signal S C.
【００３０】本実施例でも先の第１実施例と同様に、電
極７に印加する電圧Ｖは、経時的に極性が変化する交番
電圧を用いている。電圧Ｖと較正用差動信号ＳCとの関
係の別の態様を図１２に示す。図中白丸は較正用差動信
号ＳCが０のとき、すなわち位相物体を観察するときの
データを取り込むタイミングを示し、黒丸は較正用差動
信号ＳCが極値のとき、すなわち振幅物体を観察すると
きのデータを取り込むタイミングを示す。このように第
２実施例によれば、電圧Ｖの極性が経時的に反転してい
るから、ＤＣドリフトの発生が抑制され、しかも第１実
施例では必要であった電圧の既定値ＶPを知ることな
く、必要とする情報を得ることができる。In this embodiment, as in the first embodiment, the voltage V applied to the electrode 7 is an alternating voltage whose polarity changes with time. Another mode of the relationship between the voltage V and the calibration differential signal S C is shown in FIG. In the figure, the white circles indicate the timing of capturing data when the calibration differential signal S C is 0, that is, when observing a phase object, and the black circles indicate when the calibration differential signal S C has an extreme value, that is, an amplitude object. The following shows the timing of capturing data when observing. As described above, according to the second embodiment, since the polarity of the voltage V is reversed over time, the occurrence of DC drift is suppressed, and the predetermined voltage V P required in the first embodiment is maintained. You can get the information you need without knowing it.
【００３１】[0031]
【第３実施例】図１３は、本発明の第３実施例によるモ
ード干渉型レーザ走査顕微鏡を示す概略構成図である。
本実施例では中央枝チャンネル光導波路を削除してお
り、また主幹チャンネル光導波路の端面２ａから被検物
体１５にかけて、偏光板（ポーラライザー）２３、較正
光出射用ビームスプリッター２０、照明光入射用ビーム
スプリッター２４、１／４波長板１９、２次元スキャナ
ー１３、及び集光光学系１４をその順に介在させてい
る。偏光板２３は、ｘ偏光をカットしてｚ偏光を透過す
るように配置され、また照明光入射用ビームスプリッタ
ー２４には、主光源１０からのｘ偏光の照明光が入射し
ている。この構成によれば、照明光は各チャンネル光導
波路を通過しないから、照明光の強度分布に片寄りが生
じるおそれは完全に排除される。また被検物体１５で反
射して主幹チャンネル光導波路２に入射しようとするｘ
偏光の較正光は、偏光板２３でカットされるから、較正
光に起因する主差動信号ＳMは完全に０になる。ビーム
スプリッター２４を偏光ビームスプリッターにすること
により、ビームスプリッター２４での光の損失を低減す
ることができるという利点がある。[Third Embodiment] FIG. 13 is a schematic block diagram showing a mode interference type laser scanning microscope according to a third embodiment of the present invention.
In the present embodiment, the central branch channel optical waveguide is deleted, and a polarizing plate (polarizer) 23, a calibration light emitting beam splitter 20, and an illumination light incident are provided from the end face 2a of the main channel optical waveguide to the object 15 to be inspected. The beam splitter 24, the quarter-wave plate 19, the two-dimensional scanner 13, and the condensing optical system 14 are interposed in that order. The polarizing plate 23 is arranged so as to cut x-polarized light and transmit z-polarized light, and the x-polarized illumination light from the main light source 10 is incident on the illumination light incident beam splitter 24. According to this configuration, since the illumination light does not pass through each channel optical waveguide, the possibility that the intensity distribution of the illumination light is deviated is completely eliminated. In addition, x which is reflected by the object 15 to be inspected and enters the main channel optical waveguide 2 x
Since the polarization calibration light is cut by the polarizing plate 23, the main differential signal S M resulting from the calibration light becomes completely zero. By using the polarization beam splitter as the beam splitter 24, there is an advantage that the loss of light in the beam splitter 24 can be reduced.
【００３２】本実施例でも電極７には交番電圧Ｖが印加
されており、したがってＤＣドリフトの発生が軽減され
る。Also in this embodiment, the alternating voltage V is applied to the electrode 7, so that the occurrence of DC drift is reduced.
【００３３】上記各実施例ではモード干渉型レーザ走査
顕微鏡を例にとり説明したが、本発明は顕微鏡に限定さ
れるものではなく、ダブルモード光導波路と、２本の枝
光導波路と、ダブルモード光導波路に電界を印加する手
段を持つ構成の装置であれば、本発明を適用することが
できる。また上記各実施例では、主幹チャンネル光導波
路２の両側に一対の電極７を配置したが、電極７の配置
は基板１の結晶軸の方向などの状態により、必ずしも上
記配置が最適であるとは限らず、主幹チャンネル光導波
路２の完全結合長を変更するように電界を発生する配置
であれば良い。また上記各実施例では、振動鏡や回転ミ
ラー等のＸ−Ｙ２次元スキャナー１３によって、光スポ
ットを被検物体１５上で走査する構成としたが、走査装
置としては被検物体１５と光スポットとを相対的に移動
させるものであれば良く、したがって光スポットを固定
し、被検物体１５を載置するステージを走査する構成と
することも可能である。In each of the above embodiments, the mode interference type laser scanning microscope is described as an example, but the present invention is not limited to the microscope, and a double mode optical waveguide, two branch optical waveguides, and a double mode optical waveguide are used. The present invention can be applied to any device having a structure for applying an electric field to the waveguide. Further, in each of the above embodiments, the pair of electrodes 7 are arranged on both sides of the main channel optical waveguide 2, but the arrangement of the electrodes 7 is not necessarily optimal depending on the state of the crystal axis of the substrate 1 and the like. However, the arrangement is not limited as long as the electric field is generated so as to change the complete coupling length of the main channel optical waveguide 2. In each of the above-described embodiments, the light spot is scanned on the object 15 to be inspected by the XY two-dimensional scanner 13 such as a vibrating mirror or a rotating mirror. It suffices if the optical spot is relatively moved, and therefore, it is possible to fix the light spot and scan the stage on which the object 15 to be inspected is placed.
【００３４】更に上記第２及び第３実施例では、較正用
光源１８から左枝チャンネル光導波路３に入射する光
と、左枝チャンネル光導波路３から左光検出器１１に出
射する光との分離のために較正光入射用ビームスプリッ
ター１７を用いたが、較正光入射用ビームスプリッター
に代えて、Ｙ分岐光導波路や方向性結合器のような光導
波路型パワー分配器を、左枝チャンネル光導波路３に接
続するようにして基板１上に形成しても良い。また上記
第２及び第３実施例では２分割フォトダイオード２２を
用いたが、２分割フォトダイオードに代えて、ＰＳＤや
リニアセンサ、ＣＣＤカメラ等を用いることもできる。Further, in the second and third embodiments, for separating the light incident on the left branch channel optical waveguide 3 from the calibration light source 18 and the light emitted from the left branch channel optical waveguide 3 to the left photodetector 11. The beam splitter 17 for calibrating light incidence was used in the above, but instead of the beam splitter for calibrating light incidence, an optical waveguide type power distributor such as a Y-branch optical waveguide or a directional coupler is connected to the left branch channel optical waveguide 3. It may be formed on the substrate 1 as described above. Although the two-division photodiode 22 is used in the second and third embodiments, a PSD, a linear sensor, a CCD camera or the like can be used instead of the two-division photodiode.
【００３５】[0035]
【発明の効果】以上のように本発明は、ダブルモードに
て光を伝搬する主幹チャンネル光導波路に印加する電圧
として、経時的に極性が反転する交番電圧を用いたか
ら、ＤＣドリフトの発生を抑制することができ、したが
って高い検出精度を維持することができる光情報検出装
置とモード干渉型レーザ走査顕微鏡とが得られる。As described above, according to the present invention, the alternating voltage whose polarity is inverted with time is used as the voltage applied to the main channel optical waveguide that propagates light in the double mode, so that the occurrence of DC drift is suppressed. It is possible to obtain the optical information detection device and the mode interference type laser scanning microscope that can maintain the high detection accuracy.
【図１】本発明の第１実施例によるモード干渉型レーザ
走査顕微鏡を示す概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a mode interference type laser scanning microscope according to a first embodiment of the present invention.
【図２】該実施例の電極に印加する電圧を示す図であ
る。FIG. 2 is a diagram showing a voltage applied to an electrode of the example.
【図３】該実施例の電極に印加する電圧と２次元スキャ
ナーの動作との関係を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the voltage applied to the electrodes and the operation of the two-dimensional scanner in the example.
【図４】該実施例の電極に印加する電圧と２次元スキャ
ナーの動作との関係の別の態様を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing another mode of the relationship between the voltage applied to the electrodes and the operation of the two-dimensional scanner of the embodiment.
【図５】該実施例の電極に印加する電圧と２次元スキャ
ナーの動作との関係の更に別の態様を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing still another mode of the relationship between the voltage applied to the electrodes and the operation of the two-dimensional scanner of the embodiment.
【図６】該実施例の電極に印加する電圧と２次元スキャ
ナーの動作との関係の更に別の態様を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing yet another mode of the relationship between the voltage applied to the electrodes and the operation of the two-dimensional scanner of the embodiment.
【図７】該実施例の電極に印加する電圧と２次元スキャ
ナーの動作との関係の更に別の態様を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing still another mode of the relationship between the voltage applied to the electrodes and the operation of the two-dimensional scanner of the embodiment.
【図８】本発明の第２実施例によるモード干渉型レーザ
走査顕微鏡を示す概略構成図である。FIG. 8 is a schematic configuration diagram showing a mode interference type laser scanning microscope according to a second embodiment of the present invention.
【図９】該実施例の２分割フォトダイオードの受光面を
示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a light receiving surface of a two-divided photodiode of the embodiment.
【図１０】（ａ）位相物体を観察するときと、（ｂ）振
幅物体を観察するときとの受光面の像を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing an image of a light receiving surface when (a) a phase object is observed and (b) an amplitude object is observed.
【図１１】電極に印加する電圧と較正用差動信号との関
係を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing a relationship between a voltage applied to electrodes and a calibration differential signal.
【図１２】電極に印加する電圧と較正用差動信号との時
間変化を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing a time change of a voltage applied to an electrode and a calibration differential signal.
【図１３】本発明の第３実施例によるモード干渉型レー
ザ走査顕微鏡を示す概略構成図である。FIG. 13 is a schematic configuration diagram showing a mode interference type laser scanning microscope according to a third embodiment of the present invention.
１…基板 ２…主幹チャンネル
光導波路 ２ａ…端面 ３…左枝チャンネル
光導波路 ４…右枝チャンネル光導波路 ５…中央枝チャンネ
ル光導波路 ６…分岐部 ７…電極 １０…主光源 １１…左光検出器 １２…右光検出器 １３…２次元スキャ
ナー １４…集光光学系 １５…被検物体 １６…集光レンズ １７…較正光入射用
ビームスプリッター １８…較正用光源 １９…１／４波長板 ２０…較正光出射用ビームスプリッター ２１…集光レンズ ２２…２分割フォト
ダイオード ２２ａ…受光面 ２２ｂ…受光面の境
界 ２３…偏光板 ２４…照明光入射用
ビームスプリッター ３０…制御装置 ３１…電圧印加装置 ３２…主差動増幅器 ３３…モニター ３４…増幅器 ３５…較正用差動増
幅器 Ｖ…電圧 ＳM…主差動信号 ＳC…較正用差動信号DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate 2 ... Main channel optical waveguide 2a ... End surface 3 ... Left branch channel optical waveguide 4 ... Right branch channel optical waveguide 5 ... Central branch channel optical waveguide 6 ... Branch part 7 ... Electrode 10 ... Main light source 11 ... Left photodetector 12 ... right light detector 13 ... two-dimensional scanner 14 ... condensing optical system 15 ... object 16 ... condensing lens 17 ... calibration light incidence beam splitter 18 ... calibration light source 19 ... quarter wave plate 20 ... calibration light Beam splitter for emission 21 ... Condensing lens 22 ... Photodiode 22a ... Photosensitive surface 22b ... Boundary of light receiving surface 23 ... Polarizing plate 24 ... Beam splitter for illuminating light incidence 30 ... Control device 31 ... Voltage application device 32 ... Main difference Dynamic amplifier 33 ... Monitor 34 ... Amplifier 35 ... Calibration differential amplifier V ... Voltage S M ... Main differential signal S C ... Calibration differential signal
Claims (7)
伝搬する主幹チャンネル光導波路と、該主幹チャンネル
光導波路の完全結合長を制御するように電界を発生する
電極と、該電極に電圧を印加する電圧印加装置と、前記
主幹チャンネル光導波路の他端に共に接続された左右の
枝チャンネル光導波路と、両枝チャンネル光導波路の他
端より出射する前記主光の強度をそれぞれ検出する左右
の光検出器と、両光検出器の出力信号に基づいて、主幹
チャンネル光導波路の前記一端に入射する前記主光に含
まれる情報を検出する制御装置とを有し、前記各光導波
路が形成されている基板が電気光学効果を有する光情報
検出装置において、 前記電圧印加装置によって前記電極に交番電圧を印加
し、 前記制御装置によって、前記交番電圧が既定値と等しく
なるときに同期して、前記両光検出器の出力信号を取り
出したことを特徴とする、光情報検出装置。1. A main channel optical waveguide that propagates main light incident from one end in a double mode, an electrode that generates an electric field so as to control a complete coupling length of the main channel optical waveguide, and a voltage applied to the electrode. A voltage applying device for applying, left and right branch channel optical waveguides connected together to the other end of the main channel optical waveguide, and left and right detecting the intensity of the main light emitted from the other ends of both branch channel optical waveguides. A photodetector and a control device for detecting information contained in the main light incident on the one end of the main channel optical waveguide based on output signals of both photodetectors, and each optical waveguide is formed. In the optical information detection device in which the substrate has an electro-optic effect, an alternating voltage is applied to the electrodes by the voltage applying device, and the alternating voltage is a predetermined value by the control device. Synchronization when made properly, characterized in that removal of the output signal of the two photodetectors, the optical information detecting device.
伝搬する主幹チャンネル光導波路と、該主幹チャンネル
光導波路の完全結合長を制御するように電界を発生する
電極と、該電極に電圧を印加する電圧印加装置と、前記
主幹チャンネル光導波路の他端に共に接続された左右の
枝チャンネル光導波路と、両枝チャンネル光導波路の他
端より出射する前記主光の強度をそれぞれ検出する左右
の光検出器と、両光検出器の出力信号に基づいて、主幹
チャンネル光導波路の前記一端に入射する前記主光に含
まれる情報を検出する制御装置とを有し、前記各光導波
路が形成されている基板が電気光学効果を有する光情報
検出装置において、 前記電圧印加装置によって前記電極に交番電圧を印加
し、 較正用光源を設けて、前記左右の枝チャンネル光導波路
のいずれか一方の前記他端に較正光を入射し、 較正光強度分布検出器を設けて、前記較正光によって生
じる主幹チャンネル光導波路の前記一端における光強度
分布を検出し、 前記制御装置によって、前記較正光強度分布検出器の出
力信号が既定値と等しくなるときに同期して、前記両光
検出器の出力信号を取り出したことを特徴とする、光情
報検出装置。2. A main channel optical waveguide for propagating main light entering from one end in a double mode, an electrode for generating an electric field so as to control a complete coupling length of the main channel optical waveguide, and a voltage applied to the electrode. A voltage applying device for applying, left and right branch channel optical waveguides connected together to the other end of the main channel optical waveguide, and left and right detecting the intensity of the main light emitted from the other ends of both branch channel optical waveguides. A photodetector and a control device for detecting information contained in the main light incident on the one end of the main channel optical waveguide based on output signals of both photodetectors, and each optical waveguide is formed. In the optical information detection device in which the substrate has an electro-optical effect, an alternating voltage is applied to the electrodes by the voltage application device, a calibration light source is provided, and the left and right branch channel lights are provided. The calibration light is incident on the other end of one of the waveguides, and a calibration light intensity distribution detector is provided to detect the light intensity distribution at the one end of the main channel optical waveguide caused by the calibration light, The optical information detection device is characterized in that the output signals of the both photodetectors are taken out in synchronization with each other when the output signals of the calibration light intensity distribution detector become equal to a predetermined value.
らの照明光を前記被検物体に対して相対的に移動する走
査装置と、前記照明光を前記被検物体上に集光し、且つ
前記被検物体からの反射光を集光する集光光学系と、該
反射光の集光点に一端を有し、該一端より入射する前記
反射光をダブルモードにて伝搬する主幹チャンネル光導
波路と、該主幹チャンネル光導波路の完全結合長を制御
するように電界を発生する電極と、該電極に電圧を印加
する電圧印加装置と、前記主幹チャンネル光導波路の他
端に共に接続された左右の枝チャンネル光導波路と、両
枝チャンネル光導波路の他端より出射する前記反射光の
強度をそれぞれ検出する左右の光検出器と、両光検出器
の出力信号に基づいて、前記被検物体の反射面の情報を
検出する制御装置とを有し、前記各光導波路が形成され
ている基板が電気光学効果を有するモード干渉型レーザ
走査顕微鏡において、 前記電圧印加装置によって前記電極に交番電圧を印加
し、 前記制御装置によって、前記交番電圧が既定値と等しく
なるときに同期して、前記両光検出器の出力信号を取り
出したことを特徴とする、モード干渉型レーザ走査顕微
鏡。3. A main light source that illuminates an object to be inspected, a scanning device that moves illumination light from the main light source relative to the object to be inspected, and the illumination light is collected on the object to be inspected. A condensing optical system that emits light and condenses the reflected light from the object to be inspected, and has one end at a condensing point of the reflected light, and propagates the reflected light entering from the one end in a double mode. A main channel optical waveguide, an electrode that generates an electric field to control the complete coupling length of the main channel optical waveguide, a voltage applying device that applies a voltage to the electrode, and the other end of the main channel optical waveguide connected together The left and right branch channel optical waveguides, the left and right photodetectors that detect the intensities of the reflected light emitted from the other ends of the both branch channel optical waveguides, respectively, and based on the output signals of both photodetectors, Control device for detecting information on the reflecting surface of the inspection object In the mode interference laser scanning microscope in which the substrate on which each of the optical waveguides is formed has an electro-optical effect, an alternating voltage is applied to the electrodes by the voltage applying device, and the alternating voltage is applied by the control device. The mode interference laser scanning microscope is characterized in that the output signals of the two photodetectors are taken out in synchronism with each other when is equal to a predetermined value.
らの照明光を前記被検物体に対して相対的に移動する走
査装置と、前記照明光を前記被検物体上に集光し、且つ
前記被検物体からの反射光を集光する集光光学系と、該
反射光の集光点に一端を有し、該一端より入射する前記
反射光をダブルモードにて伝搬する主幹チャンネル光導
波路と、該主幹チャンネル光導波路の完全結合長を制御
するように電界を発生する電極と、該電極に電圧を印加
する電圧印加装置と、前記主幹チャンネル光導波路の他
端に共に接続された左右の枝チャンネル光導波路と、両
枝チャンネル光導波路の他端より出射する前記反射光の
強度をそれぞれ検出する左右の光検出器と、両光検出器
の出力信号に基づいて、前記被検物体の反射面の情報を
検出する制御装置とを有し、前記各光導波路が形成され
ている基板が電気光学効果を有するモード干渉型レーザ
走査顕微鏡において、 前記電圧印加装置によって前記電極に交番電圧を印加
し、 較正用光源を設けて、前記左右の枝チャンネル光導波路
のいずれか一方の前記他端に較正光を入射し、 較正光強度分布検出器を設けて、前記較正光によって生
じる主幹チャンネル光導波路の前記一端における光強度
分布を検出し、 前記制御装置によって、前記較正光強度分布検出器の出
力信号が既定値と等しくなるときに同期して、前記両光
検出器の出力信号を取り出したことを特徴とする、モー
ド干渉型レーザ走査顕微鏡。4. A main light source that illuminates an object to be inspected, a scanning device that moves illumination light from the main light source relative to the object to be inspected, and the illumination light is collected on the object to be inspected. A condensing optical system that emits light and condenses the reflected light from the object to be inspected, and has one end at a condensing point of the reflected light, and propagates the reflected light entering from the one end in a double mode. A main channel optical waveguide, an electrode that generates an electric field to control the complete coupling length of the main channel optical waveguide, a voltage applying device that applies a voltage to the electrode, and the other end of the main channel optical waveguide connected together The left and right branch channel optical waveguides, the left and right photodetectors that detect the intensities of the reflected light emitted from the other ends of the both branch channel optical waveguides, respectively, and based on the output signals of both photodetectors, Control device for detecting information on the reflecting surface of the inspection object In the mode interference laser scanning microscope in which the substrate on which each of the optical waveguides is formed has an electro-optical effect, an alternating voltage is applied to the electrodes by the voltage applying device, a calibration light source is provided, and Calibration light is made incident on the other end of one of the left and right branch channel optical waveguides, and a calibration light intensity distribution detector is provided to detect the light intensity distribution at the one end of the main channel optical waveguide caused by the calibration light. A mode interference laser scanning, wherein the controller outputs the output signals of both photodetectors in synchronization with each other when the output signal of the calibration light intensity distribution detector becomes equal to a predetermined value. microscope.
記照明光がシングルモードにて伝搬する中央枝チャンネ
ル光導波路を、主幹チャンネル光導波路と同軸となるよ
うに接続し、 該中央枝チャンネル光導波路の他端に、主光源からの前
記照明光を入射した、請求項３又は４記載のモード干渉
型レーザ走査顕微鏡。5. A central branch channel optical waveguide, in which the illumination light propagates in a single mode, is connected to the other end of the main channel optical waveguide so as to be coaxial with the main channel optical waveguide. The mode interference laser scanning microscope according to claim 3, wherein the illumination light from the main light source is incident on the other end of the waveguide.
ネル光導波路の幅方向と深さ方向とのいずれか一方の直
線偏光は前記ダブルモードにて伝搬し、幅方向と深さ方
向とのいずれか他方の直線偏光はシングルモードにて伝
搬するように形成し、 該主幹チャンネル光導波路の前記他端に、前記照明光が
シングルモードにて伝搬する中央枝チャンネル光導波路
を接続し、 該中央枝チャンネル光導波路の他端に、主光源からの前
記照明光を入射し、 主幹チャンネル光導波路の前記一端と前記被検物体との
間に１／４波長板を介在させて、主幹チャンネル光導波
路に入射する前記反射光の偏光方向を、主幹チャンネル
光導波路から出射する前記照明光の偏光方向に対して９
０°変換し、 前記主光源を、主幹チャンネル光導波路において反射光
が前記いずれか一方の直線偏光となるように形成し、 前記較正用光源を、主幹チャンネル光導波路において較
正光が前記いずれか一方の直線偏光となるように形成し
た、請求項４記載のモード干渉型レーザ走査顕微鏡。6. In the main channel optical waveguide, linearly polarized light in one of the width direction and the depth direction of each channel optical waveguide propagates in the double mode, and the linear polarization in either the width direction or the depth direction. The other linearly polarized light is formed so as to propagate in a single mode, and a central branch channel optical waveguide through which the illumination light propagates in a single mode is connected to the other end of the main channel optical waveguide, and the central branch channel The illumination light from the main light source is incident on the other end of the optical waveguide, and the quarter wavelength plate is interposed between the one end of the main channel optical waveguide and the object to be inspected and is incident on the main channel optical waveguide. The polarization direction of the reflected light is 9 with respect to the polarization direction of the illumination light emitted from the main channel optical waveguide.
0 ° conversion, the main light source is formed so that the reflected light becomes one of the linearly polarized lights in the main channel optical waveguide, and the calibration light source is the calibration light in the main channel optical waveguide. 5. The mode interference type laser scanning microscope according to claim 4, wherein the mode interference laser scanning microscope is formed so as to be linearly polarized light.
集光光学系との間に、照明光入射用ビームスプリッター
を介在させて、該ビームスプリッターに主光源からの前
記照明光を入射し、 主幹チャンネル光導波路の前記一端と前記照明光入射用
ビームスプリッターとの間に、主幹チャネル導波路の幅
方向と深さ方向とのいずれか一方の直線偏光は透過し、
いずれか他方の直線偏光は阻止するポーラライザーを配
置し、 主幹チャンネル光導波路の前記一端と前記被検物体との
間に１／４波長板を介在させて、主幹チャンネル光導波
路に入射する前記反射光の偏光方向を、前記１／４波長
板に入射する前記照明光の偏光方向に対して９０°変換
し、 前記主光源を、主幹チャンネル光導波路において反射光
が前記いずれか一方の直線偏光となるように形成し、 前記較正用光源を、主幹チャンネル光導波路において較
正光が前記いずれか一方の直線偏光となるように形成し
た、請求項４記載のモード干渉型レーザ走査顕微鏡。7. An illumination light incident beam splitter is interposed between the one end of the main channel optical waveguide and the condensing optical system, and the illumination light from the main light source is incident on the beam splitter, Between the one end of the channel optical waveguide and the illumination light incident beam splitter, one of the linearly polarized light in the width direction and the depth direction of the main channel waveguide is transmitted,
A polarizer for blocking the other linearly polarized light is arranged, and a quarter wavelength plate is interposed between the one end of the main channel optical waveguide and the object to be inspected, and the reflection is incident on the main channel optical waveguide. The polarization direction of light is converted by 90 ° with respect to the polarization direction of the illumination light that is incident on the quarter-wave plate, and the main light source is a linearly polarized light whose reflected light is one of the linearly polarized lights in a main channel optical waveguide. 5. The mode interference type laser scanning microscope according to claim 4, wherein the calibration light source is formed so that the calibration light is one of the linearly polarized lights in the main channel optical waveguide.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7070676A JPH08240423A (en) | 1995-03-03 | 1995-03-03 | Light information detecting device and mode interfereing type laser scanning microscope |
| US08/443,225 US5617500A (en) | 1994-05-20 | 1995-05-17 | System for detecting an optical information and scanning microscope system |
| EP95107691A EP0683412A1 (en) | 1994-05-20 | 1995-05-19 | System for detecting an optical information |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7070676A JPH08240423A (en) | 1995-03-03 | 1995-03-03 | Light information detecting device and mode interfereing type laser scanning microscope |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08240423A true JPH08240423A (en) | 1996-09-17 |
Family
ID=13438499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7070676A Pending JPH08240423A (en) | 1994-05-20 | 1995-03-03 | Light information detecting device and mode interfereing type laser scanning microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
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