JPH08227025A - Device for optical communication - Google Patents

Device for optical communication

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Publication number
JPH08227025A
JPH08227025A JP18586395A JP18586395A JPH08227025A JP H08227025 A JPH08227025 A JP H08227025A JP 18586395 A JP18586395 A JP 18586395A JP 18586395 A JP18586395 A JP 18586395A JP H08227025 A JPH08227025 A JP H08227025A
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JP
Japan
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optical
diffraction grating
lens
end side
thermal expansion
Prior art date
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Pending
Application number
JP18586395A
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Japanese (ja)
Inventor
Masahiro Ogusu
正大 小楠
Shigeru Oshima
茂 大島
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Publication of JPH08227025A publication Critical patent/JPH08227025A/en
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Abstract

PURPOSE: To provide a device for optical communication, such as optical multiplexer/demultiplexer, having excellent environmental resistance and reliability. CONSTITUTION: This device for optical communication is used as the optical multiplexer/demultiplexer which introduces the light signal outputted from the other end side of an optical waveguide array 3 having an input/output port array 4 on one end side to a diffraction grating 1 via a lens 2, has this light diffracted by this grating and inputs the light signal diffracted by the diffraction grating 1 via the lens 2 to the other end side of the optical waveguide array 3. The diffraction grating 1 and the lens 2 are fixed into a airtight sealing package 10 consisting of a low-coefft. of thermal expansion material, such as iron-nickel alloy. Further, the diffraction grating 1, the lens 2 and the optical waveguide array 3 are optically coupled via a glass window 11 mounted at a package 10.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光通信用デバイス
に係り、特に光合分波器などのパッシブデバイスのパッ
ケージに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical communication device, and more particularly to a passive device package such as an optical multiplexer / demultiplexer.

【0002】[0002]

【従来の技術】将来の基幹系等の光通信システムに向け
て、複数チャネルの光信号を効率よく伝送する波長多重
通信の検討が盛んに行われている。また、波長多重通信
は波長の異なる光信号を1本のファイバ中に多重するこ
とによって、ファイバの利用効率を上げることができる
ため、将来の長距離・大容量通信を実現する伝送方式と
して、その実用化が期待されている。
2. Description of the Related Art Wavelength multiplex communication for efficiently transmitting optical signals of a plurality of channels has been actively studied for future optical communication systems such as backbone systems. Further, the wavelength division multiplex communication can improve the utilization efficiency of the fiber by multiplexing the optical signals having different wavelengths into one fiber. Therefore, as a transmission method for realizing long-distance and large capacity communication in the future, Practical application is expected.

【0003】波長の異なる複数の光源からの光信号を波
長多重して1ポートのファイバに束ねる「光合波」や、
波長多重された複数の光信号を各波長のチャンネルに対
応する複数のポートに波長分離する「光分波」を行う光
合分波器は、波長多重光通信システムにおいて重要なキ
ーデバイスの一つである。波長多重通信を実用化するた
めには、高安定な光合分波器の実現が不可欠となる。
"Optical multiplexing" in which optical signals from a plurality of light sources having different wavelengths are wavelength-multiplexed and bundled in a 1-port fiber,
An optical multiplexer / demultiplexer that performs “optical demultiplexing” that wavelength-demultiplexes multiple wavelength-multiplexed optical signals into multiple ports corresponding to channels of each wavelength is one of the important key devices in wavelength-multiplexed optical communication systems. is there. In order to put wavelength division multiplexing into practical use, it is essential to realize a highly stable optical multiplexer / demultiplexer.

【0004】光合分波器には、高密度波長多重伝送では
急峻なバンドパスフィルタ特性が要請される。このよう
な光合分波器の従来例として、Applied Optics Vol.26,
No.11,pp2188,1987(公知文献1)に記載されている図
7に示すようなデバイスがある。このデバイスでは、フ
ァイバアレイ103をファイバアレイホルダ102に固
定し、回折格子105を回折格子ホルダ106に接着固
定した後、2つのホルダ102,106とレンズ104
を円筒ハウジング100内に固定している。
The optical multiplexer / demultiplexer is required to have steep bandpass filter characteristics in high-density wavelength division multiplexing transmission. As a conventional example of such an optical multiplexer / demultiplexer, Applied Optics Vol. 26,
There is a device as shown in FIG. 7 described in No. 11, pp2188, 1987 (known document 1). In this device, the fiber array 103 is fixed to the fiber array holder 102, the diffraction grating 105 is adhesively fixed to the diffraction grating holder 106, and then the two holders 102 and 106 and the lens 104 are fixed.
Are fixed in the cylindrical housing 100.

【0005】しかし、この構成ではホルダ106の円筒
ハウジング100への固定をネジ止め、あるいは接着剤
などを固定部材として用いて行っていたため、特に光学
的結合精度が要求されるファイバアレイ103と回折格
子105との光学的結合において、環境(温度・湿度)
変化によってネジ止めのずれや接着剤の融解および風化
現象からくる光学軸のずれによって結合精度の低下が起
こり、耐環境性および信頼性の面で問題があった。
However, in this structure, the holder 106 is fixed to the cylindrical housing 100 by screwing or using an adhesive or the like as a fixing member. Therefore, the fiber array 103 and the diffraction grating, which are required to have particularly high optical coupling accuracy. In optical coupling with 105, environment (temperature / humidity)
Due to the change, the screwing deviation and the optical axis deviation resulting from the melting and weathering of the adhesive cause a decrease in the bonding accuracy, and there are problems in terms of environmental resistance and reliability.

【0006】また、このような光合分波器に限らず、光
通信用のデバイス、特にパッシブのデバイスでは、一般
的に、環境変化に伴う構成部品の熱膨張による光軸ずれ
や、部品固定のために用いられる接着剤の経年変化、耐
湿度性の問題は極めて深刻であった。
In addition to such an optical multiplexer / demultiplexer, in optical communication devices, particularly passive devices, in general, optical axis misalignment due to thermal expansion of components due to environmental changes and component fixing are required. The problem of the age resistance and humidity resistance of the adhesive used for this purpose was extremely serious.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の光通信用デバイスでは、パッケージの熱膨張や固定部
材と光学部品の環境変化に対する長期安定性の問題があ
り、特に光多重通信用の光合分波器などの光通信用デバ
イスでは、高い光学的結合精度が要求されるにもかかわ
らず、環境変化によって光学軸が微妙にずれて精度低下
を招くという問題があった。本発明は、このような問題
点を解決して、環境耐性と信頼性に優れた光通信用デバ
イスを提供することを目的とする。
As described above, the conventional optical communication device has a problem of long-term stability against thermal expansion of the package and environmental changes of the fixing member and the optical component. In optical communication devices such as optical multiplexers / demultiplexers, there is a problem that the optical axis is slightly deviated due to environmental changes, resulting in a decrease in accuracy, although high optical coupling accuracy is required. An object of the present invention is to solve such problems and provide an optical communication device having excellent environmental resistance and reliability.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記の解決するため、本
発明は回折格子を構成要素の一部とする光通信用デバイ
スにおいて、低熱膨張係数材料により構成され、少なく
とも回折格子を外気から遮断する遮断手段と、この遮断
手段に取り付けられ、回折格子と遮断手段の外部に設け
られた光学系とを光学的に結合させるための光学的結合
手段とを備えたことを特徴とする。
To solve the above problems, the present invention provides an optical communication device having a diffraction grating as a part of its constituent elements, which is made of a material having a low coefficient of thermal expansion and at least shields the diffraction grating from the outside air. It is characterized in that it is provided with a blocking means and an optical coupling means attached to the blocking means for optically coupling the diffraction grating and an optical system provided outside the blocking means.

【0009】また、本発明は特に一端側に入出力ポート
アレイを有する光導波路アレイの他端側から出力される
光信号をレンズを介して回折格子に導いて回折させ、該
回折格子で回折した光信号をレンズを介して光導波路ア
レイの他端側に入力させる光合分波器として用いられる
光通信用デバイスにおいて、低熱膨張係数材料により構
成され、少なくとも回折格子を外気から遮断する遮断手
段を備えたことを特徴とする。
Further, according to the present invention, in particular, an optical signal output from the other end side of an optical waveguide array having an input / output port array on one end side is guided to a diffraction grating through a lens and diffracted, and diffracted by the diffraction grating. An optical communication device used as an optical multiplexer / demultiplexer for inputting an optical signal to the other end side of an optical waveguide array through a lens, comprising a blocking means which is made of a material having a low coefficient of thermal expansion and which blocks at least a diffraction grating from the outside air. It is characterized by that.

【0010】さらに、本発明はこのような光合分波器と
して用いられる光通信用デバイスにおいて、遮断手段に
取り付けられ、レンズと該遮断手段の外部に設けられた
光導波路アレイの他端側とを光学的に結合させるための
光学的結合手段をさらに備えたことを特徴とする。
Further, in the optical communication device used as such an optical multiplexer / demultiplexer, the present invention attaches the lens to the blocking means and the other end side of the optical waveguide array provided outside the blocking means. It is characterized in that it further comprises an optical coupling means for optically coupling.

【0011】ここで、遮断手段は例えば低熱膨脹係数材
料からなる複数の部材をろう付けまたは溶接により一体
化して構成される気密封止パッケージからなる。また、
光学的結合手段は例えば気密封止パッケージの一部に形
成された開口にガラス窓を取り付けることによって構成
される。
Here, the blocking means is composed of a hermetically sealed package formed by integrally brazing or welding a plurality of members made of a material having a low coefficient of thermal expansion. Also,
The optical coupling means is constructed, for example, by attaching a glass window to an opening formed in a part of the hermetically sealed package.

【0012】遮断手段を構成する低熱膨脹係数材料は、
例えば鉄とニッケルの合金、または鉄とニッケルおよび
コバルトの合金が用いられる。また、回折格子の格子面
近傍の光線透過媒質は、例えば空気その他のガスなどの
熱光学効果による光学長の変化の少ない媒質であること
が望ましい。
The low coefficient of thermal expansion material forming the blocking means is
For example, an alloy of iron and nickel, or an alloy of iron, nickel and cobalt is used. Further, it is desirable that the light-transmitting medium near the grating surface of the diffraction grating is a medium such as air or other gas that has a small change in optical length due to a thermo-optical effect.

【0013】このように本発明では、樹脂と金属薄膜に
より形成される回折格子のような耐温度と耐湿度の面で
問題がある光学部品を外気と遮断することにより、環境
耐性が確保される。しかも、遮断手段である気密封止パ
ッケージを鉄とニッケルの合金や鉄とニッケルおよびコ
バルトの合金のような低熱膨張係数材料によって形成す
ることにより、光軸ずれなどが起こりにくく、高い信頼
性が得られる。
As described above, according to the present invention, environmental resistance is ensured by shutting off an optical component such as a diffraction grating formed of a resin and a metal thin film, which has a problem in terms of temperature resistance and humidity resistance, from the outside air. . Moreover, by forming the hermetically sealed package, which is the shutoff means, from a material with a low coefficient of thermal expansion such as an alloy of iron and nickel or an alloy of iron, nickel, and cobalt, optical axis misalignment is less likely to occur and high reliability is obtained. To be

【0014】また、気密封止パッケージ内に回折格子の
みならずレンズも収容するようにすれば、レンズをパッ
ケージ外部に設ける場合と異なって、パッケージ外部に
レンズを保持する機構を設ける必要がなく、光導波路ア
レイとの光学的結合もパッケージに設けたガラス窓を介
して行うことができるため、全体的に構造が簡単となる
と共に、組み立てが容易となり、さらに光学的結合精度
を向上させる上でより有利となる。
Further, if not only the diffraction grating but also the lens is accommodated in the hermetically sealed package, unlike the case where the lens is provided outside the package, it is not necessary to provide a mechanism for holding the lens outside the package, Optical coupling with the optical waveguide array can also be performed through the glass window provided in the package, which simplifies the structure as a whole, facilitates assembly, and further improves optical coupling accuracy. Be advantageous.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】まず、本発明に係る光通信用デバ
イスの一例である光合分波器について図1を用いて説明
する。図1に示す光合分波器は、回折格子1とレンズ2
および光導波路アレイ3を微小光学的に配設して構成さ
れるリトロー型合分波器と呼ばれるものである。すなわ
ち、光導波路アレイ3は多数の平面光導波路または光フ
ァイバからなり、その一端側に光ファイバからなる入出
力ポートアレイ4を有する。入出力ポートアレイ4から
入力される光導波路アレイ3の一端側に入力された光信
号は、光導波路アレイ3内を通過して光導波路アレイ3
の他端側から出力された後、レンズ2を介して回折格子
1に導かれ、格子面上で回折を受ける。回折格子1で回
折した光信号は、レンズ2を介して光導波路アレイ3の
他端側に入力し、光導波路アレイ3内を通過して光導波
路アレイ3の一端側から出射した後、入出力ポートアレ
イ4から出力される。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, an optical multiplexer / demultiplexer which is an example of an optical communication device according to the present invention will be described with reference to FIG. The optical multiplexer / demultiplexer shown in FIG. 1 includes a diffraction grating 1 and a lens 2.
Also, it is called a Littrow-type multiplexer / demultiplexer configured by arranging the optical waveguide array 3 microscopically. That is, the optical waveguide array 3 is composed of a large number of planar optical waveguides or optical fibers, and has an input / output port array 4 composed of optical fibers at one end thereof. The optical signal input from the input / output port array 4 to one end of the optical waveguide array 3 passes through the optical waveguide array 3 and passes through the optical waveguide array 3
After being output from the other end side of, the light is guided to the diffraction grating 1 through the lens 2 and is diffracted on the grating surface. The optical signal diffracted by the diffraction grating 1 is input to the other end side of the optical waveguide array 3 via the lens 2, passes through the optical waveguide array 3 and is emitted from one end side of the optical waveguide array 3, and then input / output. It is output from the port array 4.

【0016】このような光合分波器では、光学的遅延が
空気中で与えられる。回折格子1での光の回折条件を式
を用いて表せば、 Λ(sinα+sinβ)=±mλ/n (1) となる。ただし、Λは回折格子の格子間隔、αとβは光
の入射角と回折角、λは光波長、mは回折の次数、nは
空気の屈折率である。(1)式を温度Tについて微分す
れば、 dΛ/dT・(sinα+sinβ)+Λcosβ・dβ/dT =±mλ/(−n2 )・dn/dT (2) となる。(2)式の左辺第1項は回折格子1の温度変動
に対する格子間隔変動の影響、左辺第2項は格子間隔変
動と空気の屈折率変動に伴う回折角の変化、右辺は空気
の屈折率変動をそれぞれ示している。温度に対する空気
の屈折率変化は、J.C.Owens,Applied Optics Vol.6,No.
1,pp.51,1967(公知文献2)によれば、−2.7×10
-7(1/℃)程度であり、石英などと比較すると十分小
さい値である。このように空気の屈折率変動の影響は微
小であるため、回折格子1の熱膨張が光合分波器の透過
特性に主として影響を与えることが分かる。
In such an optical multiplexer / demultiplexer, an optical delay is given in the air. If the diffraction condition of the light in the diffraction grating 1 is expressed using an equation, Λ (sinα + sinβ) = ± mλ / n (1) Here, Λ is the grating spacing of the diffraction grating, α and β are the incident angle and diffraction angle of light, λ is the wavelength of light, m is the order of diffraction, and n is the refractive index of air. When the equation (1) is differentiated with respect to the temperature T, it becomes dΛ / dT · (sinα + sinβ) + Λcosβ · dβ / dT = ± mλ / (− n 2 ) · dn / dT (2). The first term on the left side of the equation (2) is the influence of the lattice spacing variation on the temperature variation of the diffraction grating 1, the second term on the left side is the variation of the diffraction angle due to the variation of the lattice spacing and the refractive index variation of air, and the right side is the refractive index of air. The fluctuations are shown respectively. The change in the refractive index of air with respect to temperature is described in JCOwens, Applied Optics Vol.6, No.
According to 1, pp. 51, 1967 (known document 2), -2.7 x 10
It is about -7 (1 / ° C), which is a sufficiently small value compared to quartz. As described above, since the influence of the change in the refractive index of air is small, it can be seen that the thermal expansion of the diffraction grating 1 mainly affects the transmission characteristics of the optical multiplexer / demultiplexer.

【0017】図2に、回折格子1の基板材料の熱膨張係
数σに対する、光合分波器の温度による中心透過波長変
動割合の関係を示す。光合分波器の透過帯域幅を0.5
nmとすれば、透過特性の温度依存性は0.001nm
/℃以下に抑圧されていることが望ましい。従って、回
折格子1の基板材料としては熱膨張係数が−3.7×1
-7〜9.1×10-7(℃-1)の範囲内にあるものが望
ましい。具体的には、基板材料に石英のような熱膨張係
数が小さい(5.5×10-7(℃-1))ものを選択すれ
ば、温度に対して高安定な光合分波器を構成できる。
FIG. 2 shows the relationship between the coefficient of thermal expansion of the substrate material of the diffraction grating 1 and the variation ratio of the central transmission wavelength with the temperature of the optical multiplexer / demultiplexer. The transmission bandwidth of the optical multiplexer / demultiplexer is 0.5
nm, the temperature dependence of transmission characteristics is 0.001 nm
It is desirable that the temperature be suppressed below / ° C. Therefore, the thermal expansion coefficient of the substrate material of the diffraction grating 1 is -3.7 × 1.
Those within the range of 0 −7 to 9.1 × 10 −7 (° C. −1 ) are desirable. Specifically, by selecting a substrate material with a small coefficient of thermal expansion (5.5 × 10 -7 (° C -1 )) such as quartz, an optical multiplexer / demultiplexer with high stability against temperature can be constructed. it can.

【0018】また、回折格子1を固定するに際しては、
回折格子1に歪を与えない固定方法が重要であり、固定
部材の熱膨張係数は回折格子1の基板のそれと大きく異
ならないようにしておくことが望ましい。また、回折格
子1への入射角αが変化することは波長特性が変化する
ことになるので、外気温変動などにより入射角が変化し
ない方法で各部品を固定する必要がある。
When fixing the diffraction grating 1,
A fixing method that does not give distortion to the diffraction grating 1 is important, and it is desirable that the thermal expansion coefficient of the fixing member does not differ greatly from that of the substrate of the diffraction grating 1. Further, since the wavelength characteristic changes when the incident angle α to the diffraction grating 1 changes, it is necessary to fix each component by a method in which the incident angle does not change due to changes in the outside temperature.

【0019】このようにして回折格子1およびその固定
部材の温度特性を改善すると、光合分波器の損失値が安
定化するばかりでなく、隣接チャンネル間の光信号のク
ロストーク値も大幅に安定化する。従って、光導波路ア
レイ3の間隔を狭めて、より高密度の波長多重通信を実
現することができる。
By improving the temperature characteristics of the diffraction grating 1 and its fixing member in this way, not only the loss value of the optical multiplexer / demultiplexer is stabilized, but also the crosstalk value of the optical signal between adjacent channels is significantly stabilized. Turn into. Therefore, the distance between the optical waveguide arrays 3 can be narrowed to realize higher-density wavelength division multiplexing communication.

【0020】一方、回折格子1の格子面は通常、金属製
のマスター格子の上にアルミや金などの金属の薄膜を付
加した後、樹脂を塗布したブランク材上に押し付けて、
複製(レプリカ)をとるものがコスト的に有利であるた
め、よく利用されている。従って、デバイスの長期安定
化のためには、樹脂の風化や格子面の金属膜酸化などを
防ぐため、回折格子1全体をアルゴンガスや窒素が充填
されたパッケージにより気密封止しておくことが望まし
い。
On the other hand, the grating surface of the diffraction grating 1 is usually formed by adding a thin film of a metal such as aluminum or gold on a metal master grating, and then pressing it onto a blank material coated with resin.
The one that takes a replica is often used because of its cost advantage. Therefore, in order to stabilize the device for a long period of time, in order to prevent weathering of the resin and oxidation of the metal film on the grating surface, it is necessary to hermetically seal the entire diffraction grating 1 with a package filled with argon gas or nitrogen. desirable.

【0021】一般に、高密度かつ高速光信号の波長多重
通信を行う場合には、伝送レートに見合うだけの透過帯
域幅と狭波長間隔のチャンネル間でのクロストークの影
響を回避できるように各チャネルに急峻なバンドパス特
性が不可欠である。従って、光源の中心波長とそれに対
応する光合分波特性の中心透過波長のずれに対し、透過
スペクトルに大きな余裕を持たせることは困難である。
このずれに関して最も影響が大きい要素が透過波長の温
度特性である。環境温度変動に対する光合分波特性の中
心透過波長変動は、波長チャンネル間隔の20分の1以
下に抑えるべきである。一方、回折格子1の基板の熱膨
張が合分波特性に与える影響は、次式で与えられる。
Generally, in the case of performing wavelength division multiplex communication of high density and high speed optical signals, it is possible to avoid the influence of crosstalk between channels having transmission bandwidths and narrow wavelength intervals commensurate with the transmission rate. A steep bandpass characteristic is essential. Therefore, it is difficult to give a large margin to the transmission spectrum with respect to the shift between the center wavelength of the light source and the center transmission wavelength of the corresponding optical multiplexing / demultiplexing characteristics.
The factor that has the greatest effect on this shift is the temperature characteristic of the transmission wavelength. The central transmission wavelength fluctuation of the optical multiplexing / demultiplexing characteristic with respect to the environmental temperature fluctuation should be suppressed to 1/20 or less of the wavelength channel interval. On the other hand, the effect of thermal expansion of the substrate of the diffraction grating 1 on the multiplexing / demultiplexing characteristic is given by the following equation.

【0022】 dλ/dT=λ(α+n-1・β) (3) ただし、(3)式は(1)式を温度Tで微分したとき
に、回折角βは固定して透過中心波長λが変動するもの
として計算した。従って、回折格子1の基板材料として
は、石英や鉄・ニッケル合金またはさらにコバルトを微
量添加した合金のような低熱膨張材料が望ましい。石英
を基板材料とする回折格子を用いた1.55μm帯用光
合分波器においては、(3)式から透過波長の温度依存
性は、4.3×10-4(nm/℃)程度となる。
Dλ / dT = λ (α + n −1 · β) (3) However, when the formula (3) is differentiated by the temperature T, the diffraction angle β is fixed and the transmission center wavelength λ is Calculated as variable. Therefore, the substrate material of the diffraction grating 1 is preferably a low thermal expansion material such as quartz, an iron-nickel alloy, or an alloy containing a small amount of cobalt. In the 1.55 μm band optical multiplexer / demultiplexer using a diffraction grating with quartz as the substrate material, the temperature dependence of the transmission wavelength is about 4.3 × 10 −4 (nm / ° C.) from equation (3). Become.

【0023】また、図1のような回折格子1の格子面近
傍の光透過媒質、つまり光学的遅延を与える媒質が、空
気である場合に特に問題となる点は、風などによる空気
の密度の変化によって、空気中を伝搬する光波の波面が
乱れて、光合分波特性に多大な揺らぎを与えることであ
る。従って、空気による波面の乱れを十分に低減するた
めにも、回折格子1を気密封止パッケージ内に収容する
ことが望ましい。
Further, when the light transmitting medium near the grating surface of the diffraction grating 1 as shown in FIG. 1, that is, the medium which gives an optical delay is air, a problem is particularly caused by the density of air due to wind or the like. This is because the wavefront of the light wave propagating in the air is disturbed by the change, and the optical multiplexing / demultiplexing characteristic is greatly fluctuated. Therefore, it is desirable to house the diffraction grating 1 in the hermetically sealed package in order to sufficiently reduce the turbulence of the wavefront due to air.

【0024】以上の点を考慮すると、低熱膨張係数材
料、例えば鉄とニッケルの合金または鉄とニッケルおよ
びコバルトの合金(以下、鉄・ニッケル合金、鉄・ニッ
ケル・コバルト合金という)からなるパッケージにより
回折格子1を気密封止し、かつパッケージに取り付けた
光学的結合手段である窓材を用いて、回折格子1とパッ
ケージ外部の光学系とを光学的に結合して光信号の入出
力を行うことにより、本発明の所期の課題を解決するこ
とができる。
In consideration of the above points, diffraction is performed by a package made of a material having a low coefficient of thermal expansion, for example, an alloy of iron and nickel or an alloy of iron, nickel and cobalt (hereinafter referred to as iron-nickel alloy, iron-nickel-cobalt alloy). Optically coupling the diffraction grating 1 and an optical system outside the package by using a window member that is an optical coupling means that is hermetically sealed in the grating 1 and is attached to the package to input and output an optical signal. As a result, the intended problem of the present invention can be solved.

【0025】次に、図3を用いて本実施形態に係る光通
信用デバイスの構成を説明する。この光通信用デバイス
は、図1に示した光合分波器を構成している。本実施形
態においては、回折格子1とレンズ2が箱状の気密封止
パッケージ10の内部に収容されている。この気密封止
パッケージ10は、例えば鉄・ニッケル合金または鉄・
ニッケル・コバルト合金のような低熱膨脹率材料により
作られている。鉄・ニッケル合金としては、「インバ
ー」の商品名で知られる鉄63.5%とニッケル36.
5%の合金を使用でき、また鉄・ニッケル・コバルト合
金としては、「スーパーインバー」の商品名で知られ
る、「インバー」に数%のコバルトを含ませた合金を使
用できる。
Next, the configuration of the optical communication device according to this embodiment will be described with reference to FIG. This optical communication device constitutes the optical multiplexer / demultiplexer shown in FIG. In this embodiment, the diffraction grating 1 and the lens 2 are housed inside a box-shaped hermetically sealed package 10. This hermetically sealed package 10 is made of, for example, iron / nickel alloy or iron /
It is made of a low coefficient of thermal expansion material such as a nickel-cobalt alloy. As an iron-nickel alloy, iron 63.5% and nickel 36.
An alloy of 5% can be used, and as the iron-nickel-cobalt alloy, an alloy in which "Invar" contains several% of cobalt, which is known by the trade name of "Super Invar" can be used.

【0026】この気密封止パッケージ10は全体を一体
に形成してもよいが、本実施形態では図4に示すように
低熱膨脹率材料からなる外枠20と底板21を銀ろう等
のろう付け、または溶接により一体化し、さらに外枠2
0の底板21と反対側に図6に示すように蓋41を被
せ、銀ろう等のろう付け、または溶接により一体化して
構成される。
The hermetically sealed package 10 may be integrally formed as a whole, but in this embodiment, as shown in FIG. 4, the outer frame 20 and the bottom plate 21 made of a material having a low coefficient of thermal expansion are brazed with silver solder or the like. , Or integrated by welding and then the outer frame 2
As shown in FIG. 6, a cover 41 is placed on the side opposite to the bottom plate 21 of No. 0, and is integrated by brazing of silver brazing or the like, or welding.

【0027】気密封止パッケージ10の図中下端には例
えば丸い開口が設けられ、この開口に外部の光学系との
光学的結合のためのガラス窓11が嵌め込まれている。
ガラス窓11の材料としては、熱膨張係数が気密封止パ
ッケージ10の構成材料である鉄・ニッケル合金または
鉄・ニッケル・コバルト合金のそれに近い石英ガラスや
ゼロデュアガラスなどが適当である。
For example, a round opening is provided at the lower end of the hermetically sealed package 10 in the figure, and a glass window 11 for optical coupling with an external optical system is fitted into this opening.
As the material of the glass window 11, quartz glass or zerodur glass, which has a thermal expansion coefficient close to that of iron / nickel alloy or iron / nickel / cobalt alloy, which is the constituent material of the hermetically sealed package 10, is suitable.

【0028】光導波路アレイ3は、気密封止パッケージ
10の外側のガラス窓11が設けられた面に一端を対向
させて、アレイホルダ12により固定される。なお、ガ
ラス窓11の表面での光の反射を防止するためガラス窓
11に反射防止膜を付加し、必要に応じて光軸に対し斜
めに光導波路アレイ3を固定してもよい。アレイホルダ
12は、気密封止パッケージ10に対してレーザ溶接に
より固定されている。このレーザ溶接固定を行うため、
気密封止パッケージ10のガラス窓11にはアレイホル
ダ12と外径がほぼ同等なパイプ状部材22がろう付け
されており、このパイプ状部材22を介してアレイホル
ダ12が固定されている。
The optical waveguide array 3 is fixed by an array holder 12 with one end facing the surface of the hermetically sealed package 10 on which the glass window 11 is provided. An antireflection film may be added to the glass window 11 in order to prevent reflection of light on the surface of the glass window 11, and the optical waveguide array 3 may be fixed obliquely with respect to the optical axis, if necessary. The array holder 12 is fixed to the hermetically sealed package 10 by laser welding. To perform this laser welding fixation,
A pipe-shaped member 22 having an outer diameter substantially equal to that of the array holder 12 is brazed to the glass window 11 of the hermetically sealed package 10, and the array holder 12 is fixed via the pipe-shaped member 22.

【0029】回折格子1およびレンズ2は、例えば図示
しない光学部品ホルダによって気密封止パッケージ10
の内面に所定の位置関係を保ってレーザ溶接により固定
されている。この場合、気密封止パッケージ10の材料
としては、各種部品のレーザ溶接接合が可能な合金が適
切であるが、前述した鉄・ニッケル合金または鉄・ニッ
ケル・コバルト合金は低熱膨張率である上、熱伝導率が
小さく、YAGレーザ光の吸収率も良好であることか
ら、YAGレーザ溶接には適している。
The diffraction grating 1 and the lens 2 are hermetically sealed by the optical component holder (not shown), for example.
Is fixed by laser welding while maintaining a predetermined positional relationship on the inner surface of the. In this case, as the material of the hermetically sealed package 10, an alloy capable of laser welding and joining various components is suitable, but the above-mentioned iron / nickel alloy or iron / nickel / cobalt alloy has a low coefficient of thermal expansion. It is suitable for YAG laser welding because it has a low thermal conductivity and a good YAG laser light absorptivity.

【0030】また、回折格子1およびレンズ2を装着し
た光学部品ホルダをろう付けあるいは接着剤を用いて気
密封止パッケージ10の内面に固定してもよい。接着剤
を用いて光学部品ホルダを気密封止パッケージ10の内
面に接着する場合、気密封止パッケージ10のホルダ接
着面上に貼り付け後に出てくる余剰接着剤を逃がすよう
に、浅い溝を形成しておくことが望ましい。
Further, the optical component holder on which the diffraction grating 1 and the lens 2 are mounted may be fixed to the inner surface of the hermetically sealed package 10 by brazing or using an adhesive. When the optical component holder is adhered to the inner surface of the hermetically sealed package 10 by using an adhesive, a shallow groove is formed so as to allow the excess adhesive that comes out after being adhered to the holder adhered surface of the hermetically sealed package 10 to escape. It is desirable to keep it.

【0031】回折格子1の基板材料が前述したように、
石英や鉄・ニッケル合金または鉄・ニッケル・コバルト
合金のような低熱膨張材料の場合、当然のことながら回
折格子1さらにはレンズ2を気密封止パッケージ10の
内面に固定するための光学部品ホルダとしては、熱膨張
率が回折格子1の基板材料のそれとほぼ等しいもの、す
なわち鉄・ニッケル合金または鉄・ニッケル・コバルト
合金が良い。光学部品ホルダが鉄・ニッケル合金または
鉄・ニッケル・コバルト合金のような金属製ホルダの場
合、レーザ溶接やろう付けが可能である。
As described above, the substrate material of the diffraction grating 1 is
In the case of a low thermal expansion material such as quartz, iron-nickel alloy, or iron-nickel-cobalt alloy, as a matter of course, as an optical component holder for fixing the diffraction grating 1 and further the lens 2 to the inner surface of the hermetically sealed package 10. Is preferably one having a coefficient of thermal expansion substantially equal to that of the substrate material of the diffraction grating 1, that is, an iron-nickel alloy or an iron-nickel-cobalt alloy. When the optical component holder is a metal holder such as iron / nickel alloy or iron / nickel / cobalt alloy, laser welding or brazing is possible.

【0032】一方、光学部品ホルダの材料が石英の場
合、回折格子1の基板への直接の固定方法が接着剤等に
限定されるが、パッケージ10の内部が気密封止されて
いるため、容易に長期的信頼性を確保することができ
る。
On the other hand, when the material of the optical component holder is quartz, the method of directly fixing the diffraction grating 1 to the substrate is limited to an adhesive or the like, but since the inside of the package 10 is hermetically sealed, it is easy. To ensure long-term reliability.

【0033】なお、回折格子1以外のレンズ2のような
光学部品は樹脂等を用いない耐熱材料で形成することが
可能であるため、レーザ溶接やろう付けなどによって回
折格子1以外の構成部品を基板上に固定できる場合に
は、回折格子1のみを気密封止し、それ以外の構成部品
については簡単なケースで覆うことでも安定な温度特性
を実現できる。
Since the optical components such as the lens 2 other than the diffraction grating 1 can be formed of a heat-resistant material that does not use resin or the like, the components other than the diffraction grating 1 can be formed by laser welding or brazing. If it can be fixed on the substrate, only the diffraction grating 1 is hermetically sealed, and the other components can be covered with a simple case to achieve stable temperature characteristics.

【0034】次に、図5を用いてアレイホルダ12への
光導波路アレイ3の固定方法を説明する。第1の固定方
法は、図5(a)に示すようにアレイホルダ12にアレ
イ取付用溝30を設け、このアレイ取付用溝30に光導
波路アレイ3をはめ込んで、接着剤により固定する例で
ある。この場合、アレイ取付用溝30を浅く形成するこ
とにより、余剰接着剤は溝30から排除される。第2の
固定方法は、光導波路アレイ3の裏面をメタライズし、
これを図5(b)に示すようにアレイスペーサ31の溝
に低融点ハンダ等によりろう付けすると共に、アレイホ
ルダ12にアレイスペーサ31と外形(幅)がほぼ同じ
アレイスペーサ固定用溝32を設け、このアレイスペー
サ固定用溝32にアレイスペーサ31をはめ込み、レー
ザ溶接で固定する方法である。図5(c)は、第2の方
法によってアレイホルダ12に光導波路アレイ3が固定
された後の状態を示している。
Next, a method of fixing the optical waveguide array 3 to the array holder 12 will be described with reference to FIG. The first fixing method is an example in which an array mounting groove 30 is provided in the array holder 12 as shown in FIG. 5A, and the optical waveguide array 3 is fitted into the array mounting groove 30 and fixed by an adhesive. is there. In this case, the excess adhesive is removed from the groove 30 by forming the array mounting groove 30 shallowly. The second fixing method is to metallize the back surface of the optical waveguide array 3,
As shown in FIG. 5B, this is brazed to the groove of the array spacer 31 with low melting point solder or the like, and the array holder 12 is provided with an array spacer fixing groove 32 having substantially the same outer shape (width) as the array spacer 31. In this method, the array spacer 31 is fitted into the array spacer fixing groove 32 and fixed by laser welding. FIG. 5C shows a state after the optical waveguide array 3 is fixed to the array holder 12 by the second method.

【0035】一方、気密封止パッケージ10と光導波路
アレイ3の端面との間の空気の存在する領域において
は、風や対流等による空気密度の変化に伴う光線波面の
乱れを防ぐために、気密をとる程ではないにせよ直接外
気が当たらないようにすることが望ましい。具体的に
は、図6(a)に示すようにアレイホルダ12に筒状の
キャップ42を被せればよい。
On the other hand, in a region where air is present between the hermetically sealed package 10 and the end face of the optical waveguide array 3, airtightness is provided in order to prevent disturbance of the light wavefront due to a change in air density due to wind or convection. It is desirable that the outside air does not hit directly, even if it is not so much. Specifically, as shown in FIG. 6A, the array holder 12 may be covered with a cylindrical cap 42.

【0036】また、気密封止パッケージ10を他の実装
基板などへ固定する際に、ネジ止めなどによって気密封
止パッケージ10が歪まないように、図6(b)のよう
にパッケージ10の4隅に厚さが十分に薄い取付部材4
3を設けることが好ましい。この取付部材43は気密封
止パッケージ10と一体に形成してもよいし、パッケー
ジ10とは別に作り、パッケージ10にろう付けしても
よい。
Further, when fixing the hermetically sealed package 10 to another mounting substrate or the like, the four corners of the package 10 are prevented as shown in FIG. 6B so that the hermetically sealed package 10 is not distorted by screwing or the like. Mounting member 4 with a sufficiently thin thickness
It is preferable to provide 3. The mounting member 43 may be formed integrally with the hermetically sealed package 10, or may be formed separately from the package 10 and brazed to the package 10.

【0037】次に、本実施形態に係る光通信用デバイス
の各構成部品の組み立て順序の一例を説明する。 (1)図5(a)または図5(b)(c)のようにアレ
イホルダ12に光導波路アレイ3を固定する。
Next, an example of the assembling order of each component of the optical communication device according to this embodiment will be described. (1) The optical waveguide array 3 is fixed to the array holder 12 as shown in FIG. 5 (a) or FIG. 5 (b) (c).

【0038】(2)回折格子1およびレンズ2を気密封
止パッケージ10内に固定する。 (3)アレイホルダ12を気密封止パッケージ10に対
して位置合わせした後に、パイプ状部材22を介して接
合固定する。
(2) The diffraction grating 1 and the lens 2 are fixed in the hermetically sealed package 10. (3) After the array holder 12 is aligned with the hermetically sealed package 10, the array holder 12 is joined and fixed via the pipe-shaped member 22.

【0039】(4)アレイホルダ12にキャップ23を
被せる。この際、キャップ23と入出力アレイポート4
を構成する光ファイバの根元との間に樹脂を充填し、光
導波路アレイ3と気密封止パッケージ10のガラス窓1
1の間の空間に外気が直接入り込まないようにする。
(4) The array holder 12 is covered with the cap 23. At this time, the cap 23 and the input / output array port 4
A resin is filled between the optical fiber and the root of the optical fiber forming the optical fiber, and the glass window 1 of the optical waveguide array 3 and the hermetically sealed package 10 is filled.
Make sure that the outside air does not enter the space between 1 and 1.

【0040】上記実施形態では、本発明を光合分波器に
適用した例について述べたが、本発明は他の各種パッシ
ブ光デバイスにも適用することができ、それによって上
記実施形態と同様に優れた耐環境性と高信頼性を得るこ
とが可能である。
In the above embodiment, an example in which the present invention is applied to an optical multiplexer / demultiplexer has been described. However, the present invention can be applied to other various passive optical devices, and as a result, it is excellent as in the above embodiments. It is possible to obtain high environmental resistance and high reliability.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明による光通
信用デバイスは、外気温変動などの環境変化に対して光
学軸のずれが起こりにくい安定な特性が得られるととも
に、長期安定性、信頼性に優れており、特に光合分波器
に適用した場合、波長多重光通信の実用化に大きく寄与
することができる。
As described in detail above, the optical communication device according to the present invention provides stable characteristics in which the optical axis is unlikely to shift with respect to environmental changes such as ambient temperature fluctuations, and long-term stability, It has excellent reliability, and when applied to an optical multiplexer / demultiplexer, it can greatly contribute to the practical application of wavelength division multiplexing optical communication.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】光合分波器の構成を示す図FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an optical multiplexer / demultiplexer.

【図2】回折格子の基板材料の熱膨張係数に対する光合
分波器の温度による中心透過波長変動割合の関係を示す
FIG. 2 is a diagram showing the relationship between the coefficient of thermal expansion of the substrate material of the diffraction grating and the variation rate of the central transmission wavelength with the temperature of the optical multiplexer / demultiplexer.

【図3】本発明の一実施形態に係る光通信用デバイスの
構成を示す断面図
FIG. 3 is a sectional view showing a configuration of an optical communication device according to an embodiment of the present invention.

【図4】同実施形態に係る光通信用デバイスの一部の製
造工程を示す図
FIG. 4 is a view showing a manufacturing process of part of the optical communication device according to the embodiment.

【図5】同実施形態に係る光通信用デバイスに接続され
る光導波路アレイの構成を示す図
FIG. 5 is a view showing a configuration of an optical waveguide array connected to the optical communication device according to the same embodiment.

【図6】同実施形態に係る光通信用デバイスの他の一部
の製造工程を示す図
FIG. 6 is a diagram showing another part of the manufacturing process of the optical communication device according to the embodiment.

【図7】従来の光合分波器の構成を示す分解斜視図FIG. 7 is an exploded perspective view showing a configuration of a conventional optical multiplexer / demultiplexer.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…回折格子 2…レンズ 3…光導波路アレイ 4…入出力ポートアレイ 5…光ファイバまたは光導波路 10…気密封止パッケージ(遮断手段) 11…ガラス窓(光学的結合手段) 12…アレイホルダ 20…気密封止パッケージの外枠 21…気密封止パッケージの底板 22…パイプ状部材 30…アレイ取付用溝 31…アレイスペーサ 32…アレイスペーサ固定用溝 41…気密封止パッケージの蓋 42…キャップ 43…取付部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Diffraction grating 2 ... Lens 3 ... Optical waveguide array 4 ... Input / output port array 5 ... Optical fiber or optical waveguide 10 ... Hermetically sealed package (blocking means) 11 ... Glass window (optical coupling means) 12 ... Array holder 20 ... Outer frame of hermetically sealed package 21 ... Bottom plate of hermetically sealed package 22 ... Pipe-shaped member 30 ... Array mounting groove 31 ... Array spacer 32 ... Array spacer fixing groove 41 ... Airtight sealed package lid 42 ... Cap 43 ... Mounting members

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】回折格子を構成要素の一部とする光通信用
デバイスにおいて、 低熱膨張係数材料により構成され、少なくとも前記回折
格子を外気から遮断する遮断手段と、 この遮断手段に取り付けられ、前記回折格子と該遮断手
段の外部に設けられた光学系とを光学的に結合させるた
めの光学的結合手段とを備えたことを特徴とする光通信
用デバイス。
1. A device for optical communication having a diffraction grating as a part of its constituent elements, which is made of a material having a low coefficient of thermal expansion, and which cuts off at least the diffraction grating from the outside air, and is attached to the cutoff means. An optical communication device comprising: an optical coupling means for optically coupling a diffraction grating and an optical system provided outside the blocking means.
【請求項2】一端側に入出力ポートアレイを有する光導
波路アレイの他端側から出力される光信号をレンズを介
して回折格子に導いて回折させ、該回折格子で回折した
光信号を前記レンズを介して前記光導波路アレイの他端
側に入力させる光合分波器として用いられる光通信用デ
バイスにおいて、 低熱膨張係数材料により構成され、少なくとも前記回折
格子を外気から遮断する遮断手段を備えたことを特徴と
する光通信用デバイス。
2. An optical signal output from the other end side of an optical waveguide array having an input / output port array on one end side is guided through a lens to a diffraction grating to be diffracted, and the optical signal diffracted by the diffraction grating is said. An optical communication device used as an optical multiplexer / demultiplexer for inputting to the other end side of the optical waveguide array through a lens, comprising a blocking means configured of a material having a low coefficient of thermal expansion and at least blocking the diffraction grating from the outside air. An optical communication device characterized by the above.
【請求項3】一端側に入出力ポートアレイを有する光導
波路アレイの他端側から出力される光信号をレンズを介
して回折格子に導いて回折させ、該回折格子で回折した
光信号を前記レンズを介して前記光導波路アレイの他端
側に入力させる光合分波器として用いられる光通信用デ
バイスにおいて、 低熱膨張係数材料により構成され、前記回折格子および
レンズを外気から遮断する遮断手段と、 この遮断手段に取り付けられ、前記レンズと該遮断手段
の外部に設けられた前記光導波路アレイの他端側とを光
学的に結合させるための光学的結合手段とを備えたこと
を特徴とする光通信用デバイス。
3. An optical signal output from the other end side of an optical waveguide array having an input / output port array on one end side is guided through a lens to a diffraction grating to be diffracted, and the optical signal diffracted by the diffraction grating is said. In a device for optical communication used as an optical multiplexer / demultiplexer for inputting to the other end side of the optical waveguide array via a lens, a blocking means configured of a material having a low thermal expansion coefficient, for blocking the diffraction grating and the lens from the outside air, An optical device, which is attached to the blocking means and comprises an optical coupling means for optically coupling the lens and the other end side of the optical waveguide array provided outside the blocking means. Communication device.
【請求項4】前記遮断手段は、低熱膨脹係数材料からな
る複数の部材をろう付けまたは溶接により一体化して構
成された気密封止パッケージであることを特徴とする請
求項1乃至3のいずれか1項に記載の光通信用デバイ
ス。
4. The hermetically sealed package is a hermetically sealed package formed by integrally brazing or welding a plurality of members made of a low thermal expansion coefficient material. The optical communication device according to item 1.
【請求項5】前記遮断手段は、低熱膨脹係数材料からな
る複数の部材をろう付けまたは溶接により一体化して構
成された一部に開口を有する気密封止パッケージであ
り、前記光学的結合手段は、該気密封止パッケージの該
開口に設けられたガラス窓であることを特徴とする請求
項1または3に記載の光通信用デバイス。
5. The blocking means is a hermetically sealed package having an opening in a part formed by integrally brazing or welding a plurality of members made of a low thermal expansion coefficient material, and the optical coupling means is The optical communication device according to claim 1 or 3, which is a glass window provided in the opening of the hermetically sealed package.
【請求項6】前記低熱膨脹係数材料は、鉄とニッケルの
合金、または鉄とニッケルおよびコバルトの合金である
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載
の光通信用デバイス。
6. The optical communication device according to claim 1, wherein the low thermal expansion coefficient material is an alloy of iron and nickel or an alloy of iron, nickel and cobalt. .
【請求項7】前記回折格子の格子面近傍の光線透過媒質
は熱光学効果による光学長の変化の少ない媒質であるこ
とを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の
光通信用デバイス。
7. The optical communication according to any one of claims 1 to 3, wherein the light transmitting medium near the grating surface of the diffraction grating is a medium having a small change in optical length due to a thermo-optic effect. Device.
JP18586395A 1994-12-22 1995-07-21 Device for optical communication Pending JPH08227025A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7502167B2 (en) 2003-02-18 2009-03-10 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Diffraction grating element, production method of diffraction grating element, and method of designing diffraction grating element
WO2010018757A1 (en) * 2008-08-12 2010-02-18 Nttエレクトロニクス株式会社 Light multiplexer

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