JPH0821786A - Fluorescent x-ray analyzing method for glass bead sample and polishing apparatus for sample - Google Patents

Fluorescent x-ray analyzing method for glass bead sample and polishing apparatus for sample

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Publication number
JPH0821786A
JPH0821786A JP6154485A JP15448594A JPH0821786A JP H0821786 A JPH0821786 A JP H0821786A JP 6154485 A JP6154485 A JP 6154485A JP 15448594 A JP15448594 A JP 15448594A JP H0821786 A JPH0821786 A JP H0821786A
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JP
Japan
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glass bead
sample
analysis
bead sample
polishing
Prior art date
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Pending
Application number
JP6154485A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazutaka Yamamoto
一孝 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Steel Corp
Original Assignee
Sumitomo Metal Industries Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Metal Industries Ltd filed Critical Sumitomo Metal Industries Ltd
Priority to JP6154485A priority Critical patent/JPH0821786A/en
Publication of JPH0821786A publication Critical patent/JPH0821786A/en
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enhance the analyzing accuracy at a fluorescent X-ray analysis by polishing the analyzing surface itself of a glass bead sample. CONSTITUTION:The outer surface of a flash part Gi of a glass bead sample G is brought into contact with an attachment 11 at the bottom surface of a holding arm 3 to hold the outer surface of the outer peripheral part of the glass bead sample G. On the other hand, the upper surface of the glass bead sample G is elastically pressed onto a polishing plate 6 by an elastic pressing means 12. The glass bead sample G is polished by rotating the polishing plate 6.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ガラスビード試料を用
いる蛍光X線分析法とその試料の研磨装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluorescent X-ray analysis method using a glass bead sample and a polishing apparatus for the sample.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、鉄鉱石や高炉スラグなどの成分分
析などを目的として、鉄鉱石などの粉末試料と融剤とを
配合してガラスビード試料を作製し、このガラスビード
試料を蛍光X線分析する、いわゆるガラスビード法によ
る分析が広く行われている。
2. Description of the Related Art In recent years, for the purpose of component analysis of iron ore, blast furnace slag, etc., a glass bead sample was prepared by mixing a powder sample of iron ore and a flux, and the glass bead sample was prepared by fluorescent X-ray analysis. The so-called glass bead method for analysis is widely used.

【0003】ガラスビード法の具体例を説明すると、た
とえば、無水ホウ酸ナトリウムからなる融剤4.5g中
に焼結成品の粉末試料0.5gを混合し、これを図12
に示す深洋皿状の白金モールドMに入れ、これをガラス
ビード試料調整装置にセットし、約1050℃の温度で
約10分間加熱して、融解を図り、その後、一定時間放
冷して固化を図り、図13に示す円盤状のガラスビード
試料Gを作製する。
Explaining a specific example of the glass bead method, for example, 0.5 g of a powder sample of a sintered product is mixed with 4.5 g of a flux made of anhydrous sodium borate, and this is mixed with the powder of FIG.
Put in a platinum mold M in the shape of a deep sea dish, set in a glass bead sample adjusting device, heated at a temperature of about 1050 ° C. for about 10 minutes to achieve melting, and then allowed to cool for a certain period of time to solidify. And a disk-shaped glass bead sample G shown in FIG. 13 is manufactured.

【0004】かくして作製されたガラスビード試料Gに
ついての分析に際しては、その底面を分析面としてい
る。この場合、分析精度の効率化を図るために、複数個
の白金モールドを使用して、複数個のガラスビード試料
を作製し、それぞれの試料について同一条件の下で分析
を行っていた。
In the analysis of the glass bead sample G thus produced, the bottom surface thereof is used as the analysis surface. In this case, in order to improve the efficiency of analysis accuracy, a plurality of platinum molds were used to prepare a plurality of glass bead samples, and each sample was analyzed under the same conditions.

【0005】蛍光X線分析を行うにあたり、ガラスビー
ド試料の分析面(底面)の平準精度(水平かつ平滑であ
る度合)が低いと、分析精度に悪影響を与える。したが
って、分析面の平準精度を高めることが重要であり、こ
のために、各白金モールドにおける底面の平準精度を高
くする必要がある。
When performing the fluorescent X-ray analysis, if the leveling accuracy (the degree of being horizontal and smooth) of the analysis surface (bottom surface) of the glass bead sample is low, the analysis accuracy is adversely affected. Therefore, it is important to improve the leveling accuracy of the analysis surface, and for this purpose, it is necessary to increase the leveling accuracy of the bottom surface of each platinum mold.

【0006】そこで、従来は、月に1〜2回の頻度で、
各白金モールド底面の平準精度を高めるためにその底面
の研磨を行い、その平準精度の検定を、研磨した白金モ
ールドでガラスビード試料を2つ作製し、各試料につい
て5回連続(5か所)の分析を行い、分析値のバラツキ
が所定値以下になっているかをチェックすることにより
行っていた。
Therefore, conventionally, once or twice a month,
The bottom surface of each platinum mold is polished to improve its leveling accuracy, and the leveling accuracy is verified by making two glass bead samples with the polished platinum mold, and 5 consecutive times for each sample (5 locations). The analysis was performed and the variation in the analysis value was checked to see if it was less than a predetermined value.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の研磨お
よび検定作業には、1回当たり、平均所要時間として3
〜4時間かかり、かつ長時間かかる割りに精度向上に寄
与していない。しかも、白金モールドの底面が所定の平
準精度に達しない場合、何度も研磨作業を行う必要があ
るため、高価な白金モールドの消耗が激しくなるという
問題点がある。
However, in the conventional polishing and verification work, the average required time per operation is 3 times.
It takes 4 hours and takes a long time, but does not contribute to the improvement of accuracy. In addition, when the bottom surface of the platinum mold does not reach a predetermined leveling accuracy, it is necessary to carry out polishing work many times, which causes a problem that the expensive platinum mold is heavily consumed.

【0008】さらには、分析や取扱中に、分析値に影響
を及ぼす程度の疵などが底面にできてしまった白金モー
ルドは、これを溶解してモールド鋳型で再鋳込みをする
必要がある。この再鋳込み作業には多大な手間を要し、
かつ再鋳込みのコストが嵩む問題もある。
Furthermore, during analysis and handling, it is necessary to melt the platinum mold which has a flaw or the like on the bottom surface to the extent that it affects the analysis value and to re-cast it with the mold mold. This re-casting work requires a lot of work,
In addition, there is a problem that the cost of recasting increases.

【0009】したがって、本発明の主たる課題は、ガラ
スビード試料の分析面を研磨することによって、白金モ
ールドの底面の平準精度に影響されることがなく、かつ
白金モールドの底面の研磨および検定作業を省略し、し
かも分析精度を高めることにある。
Therefore, the main object of the present invention is to polish the analysis surface of the glass bead sample without affecting the leveling accuracy of the bottom surface of the platinum mold, and to perform the polishing and verification work of the bottom surface of the platinum mold. Omitting it and improving the analysis accuracy.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決した本第
1の発明は、粉末試料と融剤とを配合し、皿状のモール
ド内において加熱融解した後、冷却固化させてガラスビ
ード試料を作製して、蛍光X線分析を行う方法におい
て、前記ガラスビード試料の分析面としての底面を研磨
し、その研磨済み底面を蛍光X線分析することを特徴と
するガラスビード試料の蛍光X線分析方法を要旨とする
ものである。
According to the first aspect of the present invention, which solves the above-mentioned problems, a powder bead sample and a fluxing agent are mixed, heated and melted in a dish-shaped mold, and then cooled and solidified to obtain a glass bead sample. In a method for producing and performing a fluorescent X-ray analysis, a bottom surface as an analysis surface of the glass bead sample is polished, and the polished bottom surface is subjected to a fluorescent X-ray analysis. The method is the gist.

【0011】また、第2の発明は、粉末試料と融剤とを
配合し、皿状のモールド内において加熱融解した後、冷
却固化させて作製したガラスビード試料の底面を研磨す
る装置であって、前記ガラスビード試料の外周部の外面
を保持するホルダーと、前記ガラスビード試料の上面を
弾圧する弾圧手段と、前記底面に対面する研磨体とガラ
スビード試料とを相対的に擦り合わせる運動手段とを有
することを特徴とするガラスビード試料の研磨装置を要
旨とするものである。
The second invention is an apparatus for polishing the bottom surface of a glass bead sample prepared by mixing a powder sample and a flux, heating and melting in a dish-shaped mold, and then cooling and solidifying. A holder for holding the outer surface of the outer peripheral portion of the glass bead sample, an elastic means for elastically pressing the upper surface of the glass bead sample, and a movement means for relatively rubbing the polishing body and the glass bead sample facing the bottom surface. The gist is an apparatus for polishing a glass bead sample, which comprises:

【0012】[0012]

【作用】本発明者は、白金モールドの底面の平準精度を
高めるのではなく、ガラスビード試料における分析面と
しての底面を研磨することにより、前記の課題を一挙に
解決できることを知見した。ちなみに、その効果は後述
の実施例からも明らかである。
The present inventor has found that the above problems can be solved all at once by polishing the bottom surface of the glass bead sample as the analysis surface rather than improving the leveling accuracy of the bottom surface of the platinum mold. By the way, the effect is clear from the examples described later.

【0013】一方、研磨の手段としては、本発明に従っ
て、ガラスビード試料の外周部の外面を保持するホルダ
ーと、前記ガラスビード試料の上面を弾圧する弾圧手段
と、前記底面に対面する研磨体とガラスビード試料とを
相対的に擦り合わせる運動手段とを有するものが提供さ
れる。
On the other hand, as polishing means, according to the present invention, a holder for holding the outer surface of the outer peripheral portion of the glass bead sample, an elastic pressure means for elastically pressing the upper surface of the glass bead sample, and a polishing body facing the bottom surface. What is provided is a movement means for relatively rubbing the glass bead sample.

【0014】ガラスビード試料の材質はガラスであり、
非常に薄く、割れやすいため、手持ち研磨や単純な機械
研磨はできない。そこで、ガラスビード試料を厚くして
強度を向上させることによって割れにくくして、手持ち
研磨を行うことが考えられるが、試料を厚くするために
は、新たな問題を生じる。すなわち、ガラスビード調整
装置においては、溶けた粉末試料と融剤の混合具合が均
一になるように加熱融解装置を傾動させながら加熱融解
しているため、試料の量を増加させると、白金モールド
から融剤が漏れてしまう虞れがある。さらには、試料の
量を増加させると、所定の希釈率が得られず試料が均質
になりにくくなり、分析精度を低下させる原因となる。
The material of the glass bead sample is glass,
It is extremely thin and fragile, so it cannot be hand-held or simply mechanically polished. Therefore, it is conceivable that the glass bead sample is thickened to improve the strength so as to be less likely to break and to carry out hand-held polishing, but a thicker sample causes a new problem. That is, in the glass bead adjusting device, since the heating and melting is performed while tilting the heating and melting device so that the mixed state of the melted powder sample and the flux is uniform, when the amount of the sample is increased, the platinum mold is removed. The flux may leak. Furthermore, when the amount of the sample is increased, a predetermined dilution ratio cannot be obtained and the sample is less likely to be homogeneous, which causes a decrease in analysis accuracy.

【0015】また、ガラスビード試料における分析面以
外の部分に、木片、鋼などの適当な補助手段を瞬間接着
剤や両面テープで接着させてガラスビード試料を保持し
て研磨を行うことも考えられるが、瞬間接着剤や両面テ
ープが剥離すると大変危険であり、その意味において安
全性の面で問題がある。
It is also conceivable to attach a suitable auxiliary means such as wood chips or steel to the portion other than the analysis surface of the glass bead sample with an instant adhesive or double-sided tape to hold the glass bead sample for polishing. However, peeling off the instant adhesive or the double-sided tape is very dangerous, and in that sense, there is a problem in terms of safety.

【0016】さらに、ガラスビード試料の上面を分析面
とすることも考えたが、融解状態における試料の表面張
力の関係で、周囲にはいわゆるイバリGi部(図12参
照)を生じ、かつ上面が平準でなく、凹状に湾曲してい
るために、X線管に対してガラスビード試料の上面を水
平にすることができず、分析精度が低くなることが判っ
た。さりとて、イバリGi部を研磨して除去することも
考えられるが、上述のとおりの研磨に伴う問題点があ
る。
Further, it was considered to use the upper surface of the glass bead sample as the analysis surface, but due to the surface tension of the sample in the molten state, a so-called burr Gi portion (see FIG. 12) is formed in the periphery and the upper surface is It was found that the upper surface of the glass bead sample could not be horizontal with respect to the X-ray tube because it was not level and curved in a concave shape, resulting in poor analysis accuracy. It is conceivable to polish and remove the burr Gi portion, but there is a problem with the above-described polishing.

【0017】しかるに、本発明にしたがって、ガラスビ
ード試料の外周部の外面をホルダーにより保持するとと
もに、そのガラスビード試料の上面を弾圧しながら、底
面に対面する研磨体とガラスビード試料とを相対的に擦
り合わせるようにすれば、ガラスビード試料を安定した
固定しながら、容易に研磨を行うことができる。
However, according to the present invention, the outer surface of the outer peripheral portion of the glass bead sample is held by the holder, and while the upper surface of the glass bead sample is elastically pressed, the polishing body facing the bottom surface and the glass bead sample are relatively moved. If the glass bead sample is rubbed against the surface of the glass bead, the glass bead sample can be stably fixed and easily polished.

【0018】[0018]

【実施例】以下、実施例を参照しながら、本発明を具体
的に説明する。図1は、本発明に係る研磨装置1の斜視
図、図2はその断面図である。本実施例においては、研
磨装置1の基台2の側壁から平面視で十字状の保持アー
ム3が一体的に水平に設けられ、各保持アーム3の十字
の突出長さは所定長さごと異なっており、保持アーム3
の交点から異なる離間位置において、4つのホルダー装
置4,4…が固定されている。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples. FIG. 1 is a perspective view of a polishing apparatus 1 according to the present invention, and FIG. 2 is a sectional view thereof. In this embodiment, a cross-shaped holding arm 3 is integrally provided horizontally from the side wall of the base 2 of the polishing apparatus 1 in a plan view, and the protruding length of the cross of each holding arm 3 differs by a predetermined length. Holding arm 3
Four holder devices 4, 4, ... Are fixed at different spaced positions from the intersection point of.

【0019】また、基台2の底面上には、円盤状の敷板
5が前記の交点を通る中心軸周りに回転するようになっ
ている。この敷板5の回転駆動手段は図示されていな
い。敷板5上には、たとえば、ダイヤモンドコンパウン
ドからなる円盤状の研磨板6が固定されている。
On the bottom surface of the base 2, a disc-shaped floor plate 5 is adapted to rotate around a central axis passing through the intersection. The rotation driving means for the floor plate 5 is not shown. On the base plate 5, for example, a disc-shaped polishing plate 6 made of diamond compound is fixed.

【0020】各ホルダー装置4の構造は同一であるため
に、図3および図4を代表して詳細に説明すると、保持
アーム3の底面に円筒状の試料外周保持ホルダー10が
一体化されており、その下端の内周にはゴムなどの可撓
性材料からなるアタッチメント11が一体化され、ガラ
スビード試料GのイバリGi部の外面に当接させ、ガラ
スビード試料の外周部の外面を保持するようになってい
る。
Since the structure of each holder device 4 is the same, a detailed description will be given with reference to FIGS. 3 and 4, in which a cylindrical sample outer circumference holding holder 10 is integrated on the bottom surface of the holding arm 3. An attachment 11 made of a flexible material such as rubber is integrated with the inner periphery of the lower end of the attachment, and the attachment 11 is brought into contact with the outer surface of the flash portion Gi of the glass bead sample G to hold the outer surface of the outer peripheral portion of the glass bead sample. It is like this.

【0021】一方、研磨板6上に設置されたガラスビー
ド試料Gの上面を弾圧する手段として、実施例において
は、保持アーム3に弾圧手段12の筒体12Aが螺合さ
れており、この弾圧手段12は、保持アーム3に対する
筒体12Aの螺進位置を調節することにより高さ位置を
調整し、筒体12A内部に設けられた押圧ロッド12B
の上面を反発スプリング12Cにより下方に付勢し、そ
の押圧ロッド12Bの下端に設けたゴムやプラスチック
などの弾性材料からなる押圧部材12Dを介してガラス
ビード試料Gの上面を弾圧する構成としてある。
On the other hand, as a means for elastically pressing the upper surface of the glass bead sample G placed on the polishing plate 6, in the embodiment, the cylindrical body 12A of the elastic means 12 is screwed to the holding arm 3 and this elastic pressure is applied. The means 12 adjusts the height position by adjusting the screwing position of the cylindrical body 12A with respect to the holding arm 3, and the pressing rod 12B provided inside the cylindrical body 12A.
The upper surface of the glass bead sample G is urged downward by the repulsion spring 12C, and the upper surface of the glass bead sample G is elastically pressed through the pressing member 12D provided at the lower end of the pressing rod 12B and made of an elastic material such as rubber or plastic.

【0022】ガラスビード試料の分析面を研磨するにあ
たっては、これを図示しない吸盤により吸着した状態で
電気ベルターを用いながら、手動操作により10〜15
秒程度荒研磨して平準精度を高めておく。その後、その
ガラスビード試料Gを、図1〜図4に示す研磨装置の各
ホルダー装置4にセットし、かつガラスビード試料Gの
底面が研磨板6上面と接触するように、弾圧手段12の
高さ位置を決め、押圧部材12Dを介してガラスビード
試料Gの上面を弾圧する。この場合、最大4つのガラス
ビード試料Gのセットが可能である。
When polishing the analysis surface of the glass bead sample, 10 to 15 are manually operated by using an electric belt while the glass bead is adsorbed by a suction cup (not shown).
Roughly polish for about a second to improve the leveling accuracy. Thereafter, the glass bead sample G is set in each holder device 4 of the polishing device shown in FIGS. 1 to 4, and the height of the elastic pressure means 12 is set so that the bottom surface of the glass bead sample G comes into contact with the upper surface of the polishing plate 6. Then, the upper surface of the glass bead sample G is elastically pressed through the pressing member 12D. In this case, it is possible to set a maximum of four glass bead samples G.

【0023】この状態で敷板5および60〜100番程
度の目の粗さを持つ研磨板6を約5分間回転させて、仕
上げ研磨を行い、ガラスビード試料の分析面を鏡面研磨
する。これらの荒研磨、仕上げ研磨とも乾式研磨で行わ
れる。
In this state, the floor plate 5 and the polishing plate 6 having a mesh size of about 60 to 100 are rotated for about 5 minutes to perform final polishing, and the analysis surface of the glass bead sample is mirror-polished. Both rough polishing and finish polishing are performed by dry polishing.

【0024】続いて、本発明に係る研磨方法を利用した
ガラスビード法におけるガラスビード試料の作製、およ
びその分析方法を順を追って説明する。図5に、ガラス
ビード法の分析フローを示す。まず、白金モールドを酸
洗し、水洗し、乾燥する。次に、分析に供するたとえば
鉄鉱石の粉末試料と融剤を秤量して白金モールド内で配
合する。そして、ガラスビード試料調整装置を用いて加
熱融解し、その後冷却固化して、研磨前のガラスビード
試料を形成する。このガラスビード試料を、本発明に係
る研磨装置によって研磨して分析に供されるガラスビー
ド試料が作製される。最後にその作製されたガラスビー
ド試料を蛍光X線分析する。
Next, the production of a glass bead sample in the glass bead method utilizing the polishing method according to the present invention and the analysis method thereof will be described step by step. FIG. 5 shows an analysis flow of the glass bead method. First, the platinum mold is pickled, washed with water, and dried. Next, a powder sample of, for example, iron ore and a flux to be subjected to analysis are weighed and mixed in a platinum mold. Then, it is heated and melted using a glass bead sample adjusting device, and then cooled and solidified to form a glass bead sample before polishing. The glass bead sample is polished by the polishing apparatus according to the present invention to prepare a glass bead sample for analysis. Finally, the prepared glass bead sample is subjected to fluorescent X-ray analysis.

【0025】ガラスビード試料の分析はたとえば図6に
示す分析装置70によって行われる。X線管71より投
射されるX線Lによって、サンプルカップ72に据えつ
けられているガラスビード試料Gの分析面を照射する。
このとき、サンプルカップ72は回転せられる。ガラス
ビード試料Gの分析面に反射されたX線Lは、分光結晶
73により入光し、分光結晶73において、ガラスビー
ド試料G中の元素から発生する固有X線(特性X線)を
分光する。この固有X線を、検出器74によって検出
し、ガラスビード試料Gにおける元素の分析を行う。
The analysis of the glass bead sample is performed, for example, by an analyzer 70 shown in FIG. The X-ray L projected from the X-ray tube 71 illuminates the analysis surface of the glass bead sample G installed in the sample cup 72.
At this time, the sample cup 72 is rotated. The X-ray L reflected on the analysis surface of the glass bead sample G is incident on the dispersive crystal 73, and the dispersive crystal 73 disperses the characteristic X-rays (characteristic X-rays) generated from the elements in the glass bead sample G. . This characteristic X-ray is detected by the detector 74, and the element in the glass bead sample G is analyzed.

【0026】あるいは図7に示す分析装置80を用いる
こともできる。これは、X線管球76より投射されるX
線L’で、ガラスビード試料Gの分析面を照射する。こ
の分析面に反射されたX線L’は、集中方式の湾曲結晶
77に入光し、湾曲結晶77において、ガラスビード試
料G中の元素から発生する固有X線を分光する。この固
有X線を、ガス封入型の検出器78によって検出し、ガ
ラスビード試料Gにおける元素の分析を行う。
Alternatively, the analyzer 80 shown in FIG. 7 can be used. This is the X projected from the X-ray tube 76.
The analytical surface of the glass bead sample G is illuminated with the line L ′. The X-ray L'reflected on the analysis surface enters the concentrated type curved crystal 77, and the curved crystal 77 disperses the characteristic X-ray generated from the element in the glass bead sample G. This characteristic X-ray is detected by the gas-filled type detector 78, and the element in the glass bead sample G is analyzed.

【0027】<実験例>検討試料としては、チェック試
料および標準試料を使用し、分析装置としては、図7に
概要を示した蛍光X線分析装置(VXQ−150A;島
津製作所社製)を使用して、実験を行った。
<Experimental example> A check sample and a standard sample were used as examination samples, and an X-ray fluorescence analyzer (VXQ-150A; manufactured by Shimadzu Corporation) as outlined in FIG. 7 was used as an analyzer. Then, I conducted an experiment.

【0028】分析にあたり、まず比較例として、標準試
料によって3通りのガラスビード試料を作製して、標準
化を行った後、チェック試料によって作製したガラスビ
ード試料を5回連続(n=5)で分析した。
In the analysis, first, as a comparative example, three kinds of glass bead samples were prepared using standard samples, standardization was performed, and then the glass bead samples prepared using check samples were analyzed 5 times consecutively (n = 5). did.

【0029】一方、本発明例として、3通りの標準試料
およびチェック試料を作製したことまでは、比較例と同
様であり、その後、分析面を本発明法に係る研磨方法に
よって研磨し、以下、比較例と同様の分析を行った。
On the other hand, as an example of the present invention, the preparation of three kinds of standard samples and check samples was the same as that of the comparative example. After that, the analysis surface was polished by the polishing method according to the method of the present invention. The same analysis as the comparative example was performed.

【0030】分析においては、T.Fe(トータルF
e)、CaO、SiO2 、Al2 3の組成割合をそれ
ぞれ分析した。以下、各分析結果を、図7〜図10にそ
れぞれ示す。
In the analysis, T. Fe (total F
e), CaO, SiO 2 , and Al 2 O 3 were analyzed for composition ratios. Hereinafter, each analysis result is shown in FIGS.

【0031】図8〜図11より明らかなように、本発明
例に係る研磨を行った試料の方が、比較例に係る試料よ
りも、基準値に近い値を示し、しかもそのバラツキが小
さいことが判った。なお、従来、T.Feは、蛍光X線
分析によるとバラツキが大きすぎるため、通常、化学分
析法によって分析を実施していたが、本発明法によれ
ば、T.Feであっても分析結果のバラツキが非常に小
さいため、蛍光X線分析による分析を行うことも可能と
なった。
As is apparent from FIGS. 8 to 11, the sample polished according to the example of the present invention shows a value closer to the reference value and the variation thereof is smaller than the sample according to the comparative example. I understood. Incidentally, in the past, T.S. Since the variation of Fe by fluorescent X-ray analysis is too large, the analysis was usually carried out by the chemical analysis method. Even with Fe, the variation in the analysis result is very small, so that it becomes possible to perform analysis by fluorescent X-ray analysis.

【0032】なお、T.Feについては強度分析も行っ
たが、上記の蛍光X線分析とほぼ同じ結果を得ることが
できた。
Incidentally, T. Intensity analysis was also performed for Fe, but almost the same results as in the above X-ray fluorescence analysis could be obtained.

【0033】[0033]

【発明の効果】以上の説明から明らかなとおり、本発明
によれば、ガラスビード試料の分析面を研磨することに
よって、白金モールドの底面の平準精度に影響されるこ
とがなく、かつ白金モールドの底面の研磨および検定作
業を省略し、しかも分析精度を高めることができる。
As is apparent from the above description, according to the present invention, by polishing the analysis surface of the glass bead sample, the leveling accuracy of the bottom surface of the platinum mold is not affected and the platinum mold It is possible to omit the polishing and verification work on the bottom surface and to improve the analysis accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る研磨装置の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a polishing apparatus according to the present invention.

【図2】その断面図である。FIG. 2 is a sectional view thereof.

【図3】保持アーム3の断面拡大図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a holding arm 3.

【図4】その平面図である。FIG. 4 is a plan view thereof.

【図5】本発明に係る研磨方法を利用した蛍光X線分析
のフローである。
FIG. 5 is a flow chart of fluorescent X-ray analysis using the polishing method according to the present invention.

【図6】蛍光X線分析装置の一例を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing an example of an X-ray fluorescence analyzer.

【図7】他の蛍光X線分析装置を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing another X-ray fluorescence analyzer.

【図8】T.Feの分析結果を示すグラフである。FIG. 8: T. It is a graph which shows the analysis result of Fe.

【図9】CaO分析結果を示すグラフである。FIG. 9 is a graph showing the results of CaO analysis.

【図10】SiO2 の分析結果を示すグラフである。FIG. 10 is a graph showing the analysis results of SiO 2 .

【図11】Al2 3 の分析結果を示すグラフである。FIG. 11 is a graph showing the analysis results of Al 2 O 3 .

【図12】白金モールドの平面図および側面図である。FIG. 12 is a plan view and a side view of a platinum mold.

【図13】ガラスビード試料平面図および断面図であ
る。
FIG. 13 is a plan view and a sectional view of a glass bead sample.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…研磨装置、2…基台、3…保持アーム、4…ホルダ
ー装置、5…敷板、6…研磨板、10…試料外周保持ホ
ルダー、11…アタッチメント、12…弾圧手段、12
A…筒体、12B…押圧ロッド、12C…反発スプリン
グ、12D…押圧部材、70,80…分析装置、G…ガ
ラスビード試料。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Polishing device, 2 ... Base, 3 ... Holding arm, 4 ... Holder device, 5 ... Floor plate, 6 ... Polishing plate, 10 ... Sample outer peripheral holding holder, 11 ... Attachment, 12 ... Repression means, 12
A ... Cylinder, 12B ... Pressing rod, 12C ... Repulsion spring, 12D ... Pressing member, 70,80 ... Analyzer, G ... Glass bead sample.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】粉末試料と融剤とを配合し、皿状のモール
ド内において加熱融解した後、冷却固化させてガラスビ
ード試料を作製して、蛍光X線分析を行う方法におい
て、 前記ガラスビード試料の分析面としての底面を研磨し、
その研磨済み底面を蛍光X線分析することを特徴とする
ガラスビード試料の蛍光X線分析方法。
1. A method of mixing a powder sample and a flux, heating and melting in a dish-shaped mold, cooling and solidifying to prepare a glass bead sample, and performing a fluorescent X-ray analysis. Polish the bottom surface as the analysis surface of the sample,
A fluorescent X-ray analysis method for a glass bead sample, characterized in that the polished bottom surface is subjected to fluorescent X-ray analysis.
【請求項2】粉末試料と融剤とを配合し、皿状のモール
ド内において加熱融解した後、冷却固化させて作製した
ガラスビード試料の底面を研磨する装置であって、 前記ガラスビード試料の外周部の外面を保持するホルダ
ーと、前記ガラスビード試料の上面を弾圧する弾圧手段
と、前記底面に対面する研磨体とガラスビード試料とを
相対的に擦り合わせる運動手段とを有することを特徴と
するガラスビード試料の研磨装置。
2. A device for polishing a bottom surface of a glass bead sample prepared by mixing a powder sample and a flux, heating and melting the mixture in a dish-shaped mold, and cooling and solidifying the glass bead sample. A holder for holding the outer surface of the outer peripheral portion, an elastic means for elastically pressing the upper surface of the glass bead sample, and a movement means for relatively rubbing the polishing body and the glass bead sample facing the bottom surface. Polishing equipment for glass bead samples.
JP6154485A 1994-07-06 1994-07-06 Fluorescent x-ray analyzing method for glass bead sample and polishing apparatus for sample Pending JPH0821786A (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106525587A (en) * 2016-12-01 2017-03-22 郑州嘉德机电科技有限公司 Automatic detector for crushing of capsules in cigarettes with capsules embedded

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