JPH08201202A - Balanced-bridge adjusting circuit of strain guide converter - Google Patents

Balanced-bridge adjusting circuit of strain guide converter

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JPH08201202A
JPH08201202A JP3285995A JP3285995A JPH08201202A JP H08201202 A JPH08201202 A JP H08201202A JP 3285995 A JP3285995 A JP 3285995A JP 3285995 A JP3285995 A JP 3285995A JP H08201202 A JPH08201202 A JP H08201202A
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JP
Japan
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adjustment
fixed
resistor
circuit
fixed resistor
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JP3285995A
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Japanese (ja)
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Sakae Arakawa
栄 荒川
Norio Sakai
規夫 酒井
Hiroyuki Oikawa
博之 及川
Hiroki Okuda
浩喜 奥田
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Kyowa Electronic Instruments Co Ltd
Original Assignee
Kyowa Electronic Instruments Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE: To provide a balanced-bridge adjusting circuit of a strain gauge converter capable of easily, quickly and accurately carrying out the adjustment of the balanced-bridge by utilizing a conventional fixed resistor and of stably maintaining the balanced condition for a long time. CONSTITUTION: A bridge circuit consists of four resistors R1-R4 like as, for example, in a strain gauge. Plus and minus electrodes of a bridge power source E are connected to plus and minus input terminals (b, d). When the bridge circuit is in an unbalanced condition, one of fixed resistors R11, R12 for rough adjustment is connected to one of the resisters R3, R4 in parallel. Then, one of fixed resisters R13, R14 for intermediate adjustment is connected thereto in the same manner. Lastly, a serial resister R15 for fine adjustment is selectively connected thereto and fixed resisters R16, R17 for fine adjustment are selectively connected thereto under condition that the fixed resisters for adjustment are connected thereto. It is, thereby, possible to easily, quickly and accurately carry out the adjustment of balance of the bridge circuit.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ひずみゲージ式変換器
のブリッジ平衡調整回路に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a bridge balance adjusting circuit for a strain gauge type transducer.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ひずみゲージ式変換器のブリッジ
平衡調整回路は、一般に図8に示すような回路で構成さ
れる。図8に示す回路例は、ホイートストンブリッジ回
路を形成する4個の抵抗体R1 、R2 、R3 、R4 のア
ンバランスを調整するのに可変抵抗器VR1 を用いた場
合である。抵抗器R25は、可変抵抗器VR1 の感度を減
縮させる抵抗である。ホイートストンブリッジ回路は、
ブリッジ電源Eにより励起される。
2. Description of the Related Art Conventionally, a bridge balance adjusting circuit of a strain gauge type converter is generally composed of a circuit as shown in FIG. The circuit example shown in FIG. 8 is a case where the variable resistor VR1 is used to adjust the unbalance of the four resistors R1, R2, R3 and R4 forming the Wheatstone bridge circuit. The resistor R25 is a resistor that reduces the sensitivity of the variable resistor VR1. The Wheatstone bridge circuit
It is excited by the bridge power supply E.

【0003】図9は、ホイートストンブリッジ回路を構
成する4個の抵抗体R1 、R2 、R3 、R4 のアンバラ
ンスを調整するのに、複数段の固定抵抗器R31〜R37を
用いた場合の一例を示している。本回路において、各抵
抗器の記号と共に示した括弧内の数値または記号は、抵
抗値を表している。記号∞は、抵抗器不接続と等価であ
る。よって、抵抗器R31、R34およびR36は、実質的に
回路への接続はなされない。これらの抵抗器の内、特に
抵抗器R37の抵抗値10.83MΩは超高抵抗値であ
る。
FIG. 9 shows an example in which a plurality of stages of fixed resistors R31 to R37 are used to adjust the imbalance of the four resistors R1, R2, R3 and R4 constituting the Wheatstone bridge circuit. Shows. In this circuit, the numerical value or symbol in parentheses shown together with the symbol of each resistor represents the resistance value. The symbol ∞ is equivalent to no resistor connection. Thus, resistors R31, R34 and R36 are essentially not connected to the circuit. Among these resistors, the resistance value of the resistor R37, particularly 10.83 MΩ, is an extremely high resistance value.

【0004】図8に示す可変抵抗器を用いた平衡調整回
路(以降、「可変抵抗平衡調整回路」ともいう)の長所
としては、下記の点が挙げられる。 1)調整が容易である。 短所としては、下記の点が挙げられる。 11)微細な調整が困難である。 12)安定性(対温度、対振動、対時間、等)に劣る。 13)取付け空間が大きくなり易い。
The advantages of the balance adjustment circuit using the variable resistor shown in FIG. 8 (hereinafter, also referred to as "variable resistance balance adjustment circuit") are as follows. 1) Easy to adjust. The disadvantages include the following. 11) It is difficult to make fine adjustments. 12) Poor stability (against temperature, vibration, time, etc.). 13) The installation space tends to be large.

【0005】また、図9に示す固定抵抗器を用いた平衡
調整回路(以降、「固定抵抗平衡調整回路」ともいう)
の長所としては、下記の点が挙げられる。 2)安定性が高い。 短所としては、下記の点が挙げられる。 14)製作性の低い超高抵抗値の抵抗器を必要とする。
A balance adjustment circuit using the fixed resistor shown in FIG. 9 (hereinafter, also referred to as "fixed resistance balance adjustment circuit").
The advantages of the are as follows. 2) High stability. The disadvantages include the following. 14) Requires an extremely high resistance resistor with low manufacturability.

【0006】このような2種類のホイートストンブリッ
ジ回路の平衡調整回路は、それぞれ上掲の様な長所およ
び短所を有している。現実的な製品における平衡調整回
路は、該当する製品に於いて求められる特性を基に、短
所を出来るだけ補いつつ何れかの一方を一般的に選択す
ればよい。例えば、取付けスペースの十分ある製品にお
いては、可変抵抗器として高安定で多回転型のポテンシ
ョメータを用いて可変抵抗平衡調整回路を構成する。こ
の構成により、上掲の短所11)を押え長所1)の活用を
図る。
The two types of balanced adjustment circuits for the Wheatstone bridge circuit have the advantages and disadvantages described above, respectively. The balance adjustment circuit in a realistic product may be generally selected from either one while compensating for the disadvantages as much as possible, based on the characteristics required in the corresponding product. For example, in a product having a sufficient mounting space, a variable resistance balance adjustment circuit is configured by using a highly stable multi-rotation potentiometer as a variable resistor. With this configuration, the above disadvantages 11) will be suppressed and the advantages 1) will be utilized.

【0007】また、スペースが無いか、または振動を受
ける製品においては、固定抵抗平衡調整回路を構成す
る。この場合の平衡調整は、多種類の抵抗値の抵抗器を
予め準備しておき、これらの中から適当な抵抗値の抵抗
器を選択して行う。
Further, in a product which has no space or is subject to vibration, a fixed resistance balance adjusting circuit is constructed. The balance adjustment in this case is performed by preparing resistors having various resistance values in advance and selecting a resistor having an appropriate resistance value from these resistors.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一部の
製品においては、調整抵抗の取付けスペースが限られ、
且つ振動を受けるにも拘らず、長期安定性を要求される
ものがある。この様な製品において、更にブリッジ平衡
特性の高安定性の要求に応えなければならない。この種
の製品に対して、上記の図8、図9に示す例では求めら
れる要求を十分に満たすことはできない。
However, in some products, the space for mounting the adjusting resistor is limited,
In addition, there are some that are required to have long-term stability despite being subjected to vibration. In such products, it is necessary to meet the demand for higher stability of bridge balance characteristics. With respect to this type of product, the requirements required in the examples shown in FIGS. 8 and 9 cannot be sufficiently satisfied.

【0009】この場合、現実的には固定抵抗平衡調整回
路を採用するとすれば、超高抵抗値の抵抗器を含めて多
種類の抵抗器を準備し、長時間の調整工数を掛けること
を余儀無くされる。特に抵抗値が大きいMΩ台で、小
型、高精度、低価格の抵抗器は、一般的には得難い状況
にあり、現時点では、現実性に乏しい。本発明は、極力
少ない個数の一般的な固定抵抗器を用いてブリッジの平
衡調整が容易且つ正確に行い得ると共に、長期に亘り安
定した平衡状態を保持し得るひずみゲージ式変換器のブ
リッジ平衡調整回路を提供することを目的とする。
In this case, if a fixed resistance balance adjustment circuit is actually adopted, it is necessary to prepare various kinds of resistors including a resistor having an ultrahigh resistance value and multiply the adjustment man-hours for a long time. Lost. In particular, it is generally difficult to obtain a small-sized, high-accuracy, low-priced resistor having a large resistance value on the order of MΩ, and it is not practical at this time. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention makes it possible to easily and accurately adjust the balance of a bridge using a general fixed resistor whose number is as small as possible, and to adjust the bridge balance of a strain gauge type transducer that can maintain a stable balanced state for a long period of time. The purpose is to provide a circuit.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、本発明のひずみゲージ式変換器のブリッジ平衡調整
回路は、ブリッジ電源の正・負入力端間に直列に接続さ
れた第1の2辺と、同じく前記正・負入力端間に直列に
接続された第2の2辺とで構成されるホイートストンブ
リッジ回路の平衡を調整するひずみゲージ式変換器のブ
リッジ平衡調整回路において、前記ホイートストンブリ
ッジ回路の、前記第2の2辺の少なくとも何れか1辺と
並列に接続された第1の固定抵抗器群と、前記第2の2
辺間の接続点と一端が接続された第2の固定抵抗器と、
前記第2の2辺と前記第1の2辺との間の2つの接続点
の一方の接続点と、前記第2の固定抵抗器の他端との間
に接続された第3の固定抵抗器と、前記第2の2辺と前
記第1の2辺との間の2つの接続点の他方の接続点と、
前記第2の固定抵抗器の他端との間に接続された第4の
固定抵抗器とを有し、前記ホイートストンブリッジ回路
の平衡調整を行うに際し、前記第1の固定抵抗器群で粗
調整を行い、前記第2〜第4の固定抵抗器で微調整を行
い得るように構成したことを特徴としている。
In order to achieve the above object, the bridge balance adjusting circuit of the strain gauge type converter of the present invention comprises a first two connected in series between the positive and negative input terminals of the bridge power supply. In the bridge balance adjusting circuit of the strain gauge type converter for adjusting the balance of the Wheatstone bridge circuit, which is composed of a side and a second side that is also connected in series between the positive and negative input terminals, the Wheatstone bridge A first fixed resistor group connected in parallel with at least one of the second two sides of the circuit;
A second fixed resistor whose one end is connected to the connection point between the sides,
A third fixed resistor connected between one of the two connecting points between the second two sides and the first two sides and the other end of the second fixed resistor. And a connection point of the other of the two connection points between the second two sides and the first two sides,
A fourth fixed resistor connected between the other end of the second fixed resistor and the other end of the second fixed resistor, and when performing balanced adjustment of the Wheatstone bridge circuit, coarse adjustment is performed by the first fixed resistor group. And fine adjustment can be performed by the second to fourth fixed resistors.

【0011】また、上記目的を達成するため、本発明の
ひずみゲージ式変換器のブリッジ平衡調整回路は、ブリ
ッジ電源の正・負入力端間に直列に接続された第1の2
辺と、同じく前記正・負入力端間に直列に接続された第
2の2辺とで構成されるホイートストンブリッジ回路の
平衡を調整するひずみゲージ式変換器のブリッジ平衡調
整回路において、前記ホイートストンブリッジ回路の前
記第1の2辺のうちの1辺と前記第2の辺のうちの1辺
であって互いに隣接して接続される2つの辺の少なくと
も何れか1辺と並列に接続された第1の固定抵抗器群
と、前記第2の2辺間の接続点と一端が接続された第2
の固定抵抗器と、前記第2の2辺と前記第1の2辺との
間の2つの接続点の一方の接続点と、前記第2の固定抵
抗器の他端との間に接続された第3の固定抵抗器と、前
記第2の2辺と前記第1の2辺との間の2つの接続点の
他方の接続点と、前記第2の固定抵抗器の他端との間に
接続された第4の固定抵抗器とを有し、前記ホイートス
トンブリッジ回路の平衡調整を行うに際し、前記第1の
固定抵抗器群で粗調整を行い、前記第2〜第4の固定抵
抗器で微調整を行い得るように構成したことを特徴とし
ている。
Further, in order to achieve the above object, the bridge balance adjusting circuit of the strain gauge type converter of the present invention comprises a first two connected in series between the positive and negative input terminals of the bridge power supply.
In the bridge balance adjusting circuit of the strain gauge type converter for adjusting the balance of the Wheatstone bridge circuit, which is composed of a side and a second side that is also connected in series between the positive and negative input terminals, the Wheatstone bridge A first side of the circuit and a first side of the second side connected in parallel with at least one of the two sides connected adjacent to each other; 1 fixed resistor group, and a second connection point having one end connected to the connection point between the second two sides.
Of the fixed resistor, one of the two connection points between the second two sides and the first two sides, and the other end of the second fixed resistor. A third fixed resistor, the other connecting point of the two connecting points between the second two sides and the first two sides, and the other end of the second fixed resistor. And a fourth fixed resistor connected to the first fixed resistor group when performing the balance adjustment of the Wheatstone bridge circuit, and performing the coarse adjustment with the first fixed resistor group. It is characterized in that it can be finely adjusted by.

【0012】また、本発明に係る前記第1の固定抵抗器
群および前記第2〜第4の固定抵抗器は、所定の数値間
隔で設定された標準抵抗値の抵抗器であることをことを
特徴としている。また、本発明に係る、前記ブリッジ平
衡調整回路は、長期に亘って安定性が要求される圧力伝
送器に用いることを特徴としている。
The first fixed resistor group and the second to fourth fixed resistors according to the present invention are resistors having standard resistance values set at predetermined numerical intervals. It has a feature. Further, the bridge balance adjusting circuit according to the present invention is used for a pressure transmitter which is required to have stability for a long period of time.

【0013】[0013]

【作用】上記のように構成されたひずみゲージ式変換器
のブリッジ平衡調整回路は、4つの抵抗体で構成される
ホイートストンブリッジ回路の不平衡を、第1の抵抗器
群で粗調整あるいは中間調整を行い、第2、第3および
/または第4の固定抵抗器で微調整を行うことで、容易
に、迅速に、且つ正確にホイートストンブリッジ回路の
平衡調整を行うことができ、しかも振動を受けるような
環境下でも長期に亘って安定して平衡状態を保持するこ
とができる。
The bridge balance adjusting circuit of the strain gauge type converter having the above-described structure adjusts the unbalance of the Wheatstone bridge circuit composed of four resistors by the first resistor group to the coarse adjustment or the intermediate adjustment. By performing the fine adjustment with the second, third and / or fourth fixed resistors, the Wheatstone bridge circuit can be easily, quickly and accurately balanced and subjected to vibration. Even under such an environment, the equilibrium state can be stably maintained for a long period of time.

【0014】第2の固定抵抗器は、第3および第4の固
定抵抗器の作用を緩慢とする抵抗器として働き、第1の
固定抵抗器に比し第3および第4の固定抵抗器の感度を
より鈍感とする作用があるので、第3および第4の固定
抵抗器に超高抵抗値の抵抗器を用いないですむ。
The second fixed resistor acts as a resistor that slows down the action of the third and fourth fixed resistors, and the third fixed resistor and the third fixed resistor are slower than the first fixed resistor. Since it has the effect of making the sensitivity more insensitive, it is not necessary to use resistors of ultra-high resistance as the third and fourth fixed resistors.

【0015】[0015]

【実施例】次に添付図面を参照して本発明によるひずみ
ゲージ式変換器のブリッジ平衡調整回路の実施例を詳細
に説明する。図1は、本発明のひずみゲージ式変換器の
ブリッジ平衡調整回路の一実施例の構成を示す回路図で
ある。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a bridge balance adjusting circuit for a strain gauge type converter according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a circuit diagram showing a configuration of an embodiment of a bridge balance adjusting circuit of a strain gauge type converter of the present invention.

【0016】〈回路構成例〉図1において、ホイートス
トンブリッジ回路は、例えばひずみゲージなどの4個の
抵抗体R1 、R2 、R3 、R4 によって構成される。こ
のホイートストンブリッジ回路の不平衡成分を7個の固
定抵抗器R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17の
中から所定の演算により求めた抵抗値に近い適宜な抵抗
値を持つ抵抗器を選択して調整する。ホイートストンブ
リッジ回路のブリッジ電源入力端b,d間には、ブリッ
ジ電源Eからブリッジ電圧が印加されるようになってい
る。
<Circuit Configuration Example> In FIG. 1, the Wheatstone bridge circuit is composed of four resistors R1, R2, R3 and R4 such as strain gauges. The unbalanced component of this Wheatstone bridge circuit is selected from seven fixed resistors R11, R12, R13, R14, R15, R16, and R17 that have an appropriate resistance value close to the resistance value obtained by a predetermined calculation. Select and adjust. A bridge power supply E applies a bridge voltage between the bridge power supply input terminals b and d of the Wheatstone bridge circuit.

【0017】なお、このブリッジ電源Eの供給路に感度
調整抵抗器R21が直列に接続され、さらに感度調整抵抗
器R21に並列に感度調整抵抗器R22が接続されている。
不平衡成分を調整するための7個(実際には、7個に限
らない)の固定抵抗器は、機能により大別して粗調整抵
抗器と微調整抵抗器とに分類され得る。つまり、粗調整
抵抗器は、第1の抵抗器群としての4個の固定抵抗器R
11、R12、R13、R14である。
A sensitivity adjusting resistor R21 is connected in series to the supply path of the bridge power source E, and a sensitivity adjusting resistor R22 is connected in parallel with the sensitivity adjusting resistor R21.
The seven fixed resistors (actually, the number of fixed resistors is not limited to seven) for adjusting the unbalanced component can be roughly classified into a coarse adjusting resistor and a fine adjusting resistor according to the function. That is, the coarse adjustment resistors are the four fixed resistors R as the first resistor group.
11, R12, R13 and R14.

【0018】また、微調整抵抗器は、第2の固定抵抗器
としての微調整直列抵抗器R15と、第3の固定抵抗器と
しての2個の固定抵抗器R16、R17であり、固定抵抗器
R15は、微調整の感度調整用(即ち、感度鈍化用)であ
る。この構成において、最終調整は、第3の固定抵抗器
としての固定抵抗器R16およびR17によって成される。
ここで、本発明に係るひずみゲージ式変換器のブリッジ
平衡調整回路の構成について図1を参照して説明する。
ホイートストンブリッジ回路は、例えば、ひずみゲージ
を少なくともその一辺に含む4つの抵抗体で構成され
る。このホイートストンブリッジ回路のブリッジ電源E
の正・負入力端b・dには、ブリッジ電源Eの正極・負
極がそれぞれ接続され、出力端a,c間に、ホイートス
トンブリッジ回路の不平衡に伴う出力が表われる。
The fine adjustment resistors are a fine adjustment series resistor R15 as a second fixed resistor and two fixed resistors R16 and R17 as a third fixed resistor. R15 is for fine adjustment sensitivity adjustment (that is, for desensitization). In this configuration, the final adjustment is made by fixed resistors R16 and R17 as the third fixed resistor.
Here, the configuration of the bridge balance adjusting circuit of the strain gauge type converter according to the present invention will be described with reference to FIG.
The Wheatstone bridge circuit is composed of, for example, four resistors including a strain gauge on at least one side thereof. Bridge power supply E of this Wheatstone bridge circuit
The positive and negative input ends of the bridge power supply E are connected to the positive and negative input ends b and d, respectively, and the output due to the imbalance of the Wheatstone bridge circuit appears between the output ends a and c.

【0019】このホイートストンブリッジ回路は、別の
表現をすれば、ブリッジ電源Eの正・負入力端b・d間
には、第1の2辺を形成する抵抗体R1 とR2 の直列回
路と、第2の2辺を形成する抵抗体R3 とR4 の直列回
路が接続されていることになる。
In other words, this Wheatstone bridge circuit has, between the positive and negative input terminals b and d of the bridge power supply E, a series circuit of resistors R1 and R2 forming the first two sides, The series circuit of the resistors R3 and R4 forming the second two sides is connected.

【0020】図1の実施例の場合、第2の2辺をなす抵
抗体R3 とR4 のうち一方の辺の抵抗体R4 に対し並列
に固定抵抗器R12およびR14が見掛け上回路挿入されて
おり、他方の辺の抵抗体R3 に対しては固定抵抗器R11
およびR13が接続されることになるが、実質的には、固
定抵抗器R11,R14の部分はその抵抗値が∞であるの
で、開放されていることに等しい。尚、ここでは、固定
抵抗器R11〜R14は、第1の固定抵抗器群と称すること
とする。
In the case of the embodiment shown in FIG. 1, fixed resistors R12 and R14 are apparently inserted in parallel with the resistor R4 on one side of the resistors R3 and R4 forming the second two sides. , A fixed resistor R11 for the resistor R3 on the other side
And R13 are to be connected, but in effect, the fixed resistors R11 and R14 are equivalent to being open because their resistance value is ∞. Here, the fixed resistors R11 to R14 are referred to as a first fixed resistor group.

【0021】そして、第2の2辺をなす抵抗体R3 とR
4 の接続点、即ち一方の出力端cには、第2の固定抵抗
器R15の一端が接続されている。また、抵抗体R3 とR
4 でなる第2の2辺と、抵抗体R1 とR2 でなる第1の
2辺との間の2つの接続点、即ち、ブリッジ電源入力端
b,dのうち、一方の接続点のbと上記第2の固定抵抗
器R15の他端との間には、第3の固定抵抗器R16が接続
されており、また他方の接続点dと上記第2の固定抵抗
器R15の他端との間に第4の固定抵抗器R17が接続され
ている。
Then, the resistors R3 and R forming the second two sides
One end of the second fixed resistor R15 is connected to the connection point of 4, that is, one output end c. Also, resistors R3 and R
Two connection points between the second two sides formed by 4 and the first two sides formed by the resistors R1 and R2, that is, one of the connection points b and d of the bridge power supply inputs b and d. A third fixed resistor R16 is connected between the other end of the second fixed resistor R15 and the other connection point d and the other end of the second fixed resistor R15. A fourth fixed resistor R17 is connected between them.

【0022】尚、第1の抵抗器群としての固定抵抗器R
11〜R14は、粗調整用抵抗器であると説明したが、更に
細かく機能的に分けると、固定抵抗器R11とR12は、粗
調整用の抵抗器であり、固定抵抗器R13とR14は、中間
調整用の固定抵抗器である、ということができる。
The fixed resistor R as the first resistor group
Although 11 to R14 have been described as the coarse adjustment resistors, if further divided functionally, the fixed resistors R11 and R12 are coarse adjustment resistors, and the fixed resistors R13 and R14 are It can be said that it is a fixed resistor for intermediate adjustment.

【0023】そして、これら粗調整用の固定抵抗器R1
1,R12は、原則的には、両方同時に接続されるもので
はなく、ホイートストンブリッジ回路の不平衡の状態に
よって、一方のみが接続されるものであり、例えば、R
1 ×R3 >R2 ×R4 であるときは、抵抗体R3 に固定
抵抗器R11を並列に回路接続することとなり、反対にR
1 ×R3 <R2 ×R4 であるときは、抵抗体R4 に並列
に固定抵抗器R12を回路接続することとなる。
Then, a fixed resistor R1 for these coarse adjustments is used.
In principle, both R1 and R12 are not connected at the same time, but only one is connected depending on the unbalanced state of the Wheatstone bridge circuit.
When 1 × R3> R2 × R4, the fixed resistor R11 is connected in parallel to the resistor R3, and conversely R
When 1 × R3 <R2 × R4, the fixed resistor R12 is connected in parallel to the resistor R4.

【0024】また、上記中間調整用の固定抵抗器R13と
R14も、原則的には両方同時に接続されるものではな
く、上記した粗調整の結果、回路接続された固定抵抗器
R11またはR12を含めたホイートストンブリッジ回路の
各対辺の固定抵抗器の抵抗値の積のいずれが大きいかに
より、一方のみが接続されるものである。例えば、粗調
整用の固定抵抗器としてR12が抵抗体R4 に並列に回路
接続されたとすれば、抵抗体R1 とR3 の積が、抵抗体
R2 と抵抗体R4 および固定抵抗器R12の合成抵抗R2
・(R4 //R12)の積より大きい場合には、固定抵抗器
R13を抵抗体R3 に並列に回路接続し、上記積の値が逆
の関係である場合は、固定抵抗器R14を抵抗体R4 に並
列に回路接続することとなる。
In principle, the fixed resistors R13 and R14 for intermediate adjustment are not connected at the same time in principle, and as a result of the rough adjustment, the fixed resistors R11 or R12 connected in the circuit are included. Also, depending on which of the products of the resistance values of the fixed resistors on each side of the Wheatstone bridge circuit is larger, only one of them is connected. For example, if R12 is connected in parallel to the resistor R4 as a fixed resistor for coarse adjustment, the product of the resistors R1 and R3 is the combined resistance R2 of the resistors R2 and R4 and the fixed resistor R12.
If the product is larger than (R4 // R12), the fixed resistor R13 is connected in parallel to the resistor R3. If the product has the opposite relationship, the fixed resistor R14 is used as the resistor. The circuit will be connected in parallel with R4.

【0025】〈調整手順例〉ここで、図1の調整手順例
を、以下に説明する。ホイートストンブリッジ回路の不
平衡を調整する調整手順を大別すると、下記の2つがあ
る。 イ.ブリッジを構成する各辺の抵抗値を測定し、理論的
に補正する。 ロ.不平衡量を測定し調整抵抗値を所定の辺に加え不平
衡量を順次小さくしていく。
<Example of Adjustment Procedure> Here, an example of the adjustment procedure of FIG. 1 will be described below. The adjustment procedure for adjusting the unbalance of the Wheatstone bridge circuit is roughly classified into the following two. I. The resistance of each side of the bridge is measured and corrected theoretically. B. The unbalance amount is measured and the adjustment resistance value is added to a predetermined side to gradually decrease the unbalance amount.

【0026】これらの各調整において、粗調整用(中間
調整用を含む)および微調整用として抵抗値が段階的に
異なる所定数の抵抗器を予め準備しておき、先に、概説
したように、これらの抵抗値の中から適当な物を選択し
て順次調整を進める。ひずみゲージでなるホイートスト
ンブリッジ回路とブリッジ電源Eを備える回路で、ホイ
ートストンブリッジ回路の平衡をとるには、先ず、+粗
調整用固定抵抗器R11または、−粗調整用固定抵抗器R
12で調整を行う。
In each of these adjustments, a predetermined number of resistors having different resistance values for coarse adjustment (including intermediate adjustment) and fine adjustment are prepared in advance, and as described above, , Select an appropriate one from these resistance values and proceed with the adjustment in sequence. In order to balance the Wheatstone bridge circuit in a circuit equipped with a Wheatstone bridge circuit consisting of strain gauges and a bridge power supply E, first, a + coarse adjustment fixed resistor R11 or a − coarse adjustment fixed resistor R
Adjust with 12.

【0027】次に、中間調整として、+中間調整用固定
抵抗器R13または、−中間調整用固定抵抗器R14で調整
を行う。ここで、粗調整に比べて中間調整はより高い抵
抗値を必要とする。次に微調整を行うが、+微調整用固
定抵抗器R16または、−微調整用固定抵抗器R17には、
更に高い抵抗値が必要となる。しかしながら、微調整用
直列抵抗器R15の作用により、中間調整抵抗器R13(R
14)と同程度の標準的な抵抗値で調整が可能となる。
具体的手順を以下に例示する。
Next, as the intermediate adjustment, adjustment is performed by the + intermediate adjustment fixed resistor R13 or the −intermediate adjustment fixed resistor R14. Here, the intermediate adjustment requires a higher resistance value than the coarse adjustment. Next, fine adjustment is performed, but for the + fine adjustment fixed resistor R16 or the − fine adjustment fixed resistor R17,
A higher resistance value is required. However, due to the action of the fine adjustment series resistor R15, the intermediate adjustment resistor R13 (R
Adjustment is possible with a standard resistance value similar to 14).
The specific procedure is illustrated below.

【0028】・第1段の粗調整 上記イの理論手順において、図1のホイートストンブリ
ッジ回路の各辺の抵抗値を、R1 =499.2623
Ω、R2 =R3 =R4 =R500Ω、と仮定する。この
条件におけるホイートストンブリッジ回路の平衡を保持
するに必要とする、図1、図2における抵抗値R12(ま
たはR11)を求める。この場合、R1 ・R3(499.
2623Ω×500Ω)<R2 ・R4 (500Ω×50
0Ω)であるから、一粗調整用固定抵抗器R12を、抵抗
体R4 に並列に回路接続することとなる。
Coarse adjustment of the first stage In the theoretical procedure of b), the resistance value of each side of the Wheatstone bridge circuit of FIG. 1 is calculated as R1 = 499.2623.
Assume .OMEGA., R2 = R3 = R4 = R500 .OMEGA .. The resistance value R12 (or R11) in FIGS. 1 and 2 required to maintain the balance of the Wheatstone bridge circuit under this condition is obtained. In this case, R1 and R3 (499.
2623Ω × 500Ω) <R2 · R4 (500Ω × 50
Since it is 0 Ω), the one coarse adjustment fixed resistor R12 is connected in parallel to the resistor R4.

【0029】抵抗体R1 の抵抗値R1 を基準抵抗値(5
00Ω)と並列接続の仮想抵抗値Rx の合成と仮定した
場合、下記の関係式が成立する。但し、記号//は、並列
接続を表す。
The resistance value R1 of the resistor R1 is set to the reference resistance value (5
00Ω) and a virtual resistance value Rx of parallel connection, the following relational expression holds. However, the symbol // represents a parallel connection.

【0030】 R1 =500//Rx R1 ×R3 ≒R2 (R4// R12) ……(1) R12 ≒ Rx 関係式(1)よりRx =338.391KΩが求まり、
R11=R13=R14=∞(接続しない状態)となる。
R1 = 500 // Rx R1 × R3≈R2 (R4 // R12) (1) R12≈Rx From the relational expression (1), Rx = 338.391 KΩ is obtained.
R11 = R13 = R14 = ∞ (no connection).

【0031】しかしこの有効数値6桁の抵抗値の固定抵
抗器R12をその都度準備することは非現実的であるた
め、第1段の粗調整では、所定の規格抵抗値の中から最
適なものを選択する。本実施例の場合、R12=316K
Ωを選択し、R11は接続しないこととする(開放す
る)。この抵抗値R12の接続により、第1段の粗調整と
する。
However, since it is unrealistic to prepare the fixed resistor R12 having a resistance value of 6 digits of the effective value each time, in the coarse adjustment of the first stage, the optimum resistance value is selected from the predetermined standard resistance values. Select. In the case of this embodiment, R12 = 316K
Ω is selected and R11 is not connected (open). By connecting this resistance value R12, the coarse adjustment of the first stage is performed.

【0032】・第2段の粗調整 抵抗R4 とR12との並列接続抵抗値(合成抵抗)r4
は、 r4 =R4// R12=500Ω//316KΩ=499.2
10Ω となる。
Second-stage coarse adjustment resistance value R4 and R12 connected in parallel (combined resistance) r4
Is r4 = R4 // R12 = 500Ω // 316KΩ = 499.2
It becomes 10Ω.

【0033】r4 =499.210Ω<R1 =499.
2623Ωの関係から、 R1 ・R3 >R2 ・(R4// R12) であることは明らかであるから、第2段の粗調整として
抵抗器R13を抵抗体R3に並列に回路接続する。この抵
抗体R3 の含まれる辺の合成抵抗値r3 は、下記の関係
式から得ることができる。
R4 = 499.210Ω <R1 = 499.
From the relationship of 2623Ω, it is clear that R1.R3> R2. (R4 // R12), so that the resistor R13 is connected in parallel to the resistor R3 as the second stage coarse adjustment. The combined resistance value r3 of the side including the resistor R3 can be obtained from the following relational expression.

【0034】 R1 (R3// R13)=R2 (R4// R12) ……(2) r3 =R3// R13=(R4// R12)R2 /R1 =499.210×500/499.2623=499.9476[Ω] 上記式から求められるR13の抵抗値は、4.77MΩで
あり、よって、抵抗体R1 〜R3 およびr4 で構成され
るホイートストンブリッジ回路の平衡調整には、R13=
4.77MΩが必要となる。なお、抵抗器R14は、無接
続(R14=∞)となる。この関係から第2段の粗調整で
は、予め用意された所定の基準抵抗値の中からR13=
3.3MΩの抵抗値の中間調整抵抗器R13を選択して抵
抗体R3 に並列に接続する。この場合、固定抵抗器R14
は接続なしとする。 ・微調整 抵抗R3 とR13との並列接続抵抗値は、r3 =R3// R
13=500//3.3MΩ=499.924539Ω、と
なる。R1 〜R2 、r4 およびr3 のホイートストンブ
リッジ回路の平衡調整には、図3のRy =10.83M
Ω、が必要となる。この超高抵抗値の固定抵抗器は入手
が困難であるため、図3の抵抗R15、R16およびR17を
もってこれを調整する。
R1 (R3 // R13) = R2 (R4 // R12) (2) r3 = R3 // R13 = (R4 // R12) R2 / R1 = 499.210 × 500 / 499.2623 = 499.9476 [Ω] The resistance value of R13 obtained from the above equation is 4.77 MΩ. Therefore, for balance adjustment of the Wheatstone bridge circuit composed of the resistors R1 to R3 and r4, R13 =
4.77 MΩ is required. The resistor R14 is not connected (R14 = ∞). From this relationship, in the second-stage coarse adjustment, R13 =
Select an intermediate adjustment resistor R13 having a resistance value of 3.3 MΩ and connect it in parallel with the resistor R3. In this case, fixed resistor R14
Is not connected.・ Fine adjustment: The resistance value of the parallel connection of R3 and R13 is r3 = R3 // R
13 = 500 // 3.3 MΩ = 499.924539Ω. For balance adjustment of the Wheatstone bridge circuit of R1 to R2, r4 and r3, Ry = 10.83M in FIG.
Ω is required. Since this fixed resistor having a very high resistance value is difficult to obtain, it is adjusted by the resistors R15, R16 and R17 shown in FIG.

【0035】図4は、図1、図2および図3に基づき上
記で設定した調整抵抗値を合成して書き改めたものであ
る。これらの抵抗R15、R16およびR17の抵抗値は、そ
の調整範囲、規格化抵抗値等を考慮して、R15=3.3
MΩ、R16(またはR17)=1MΩとし、R17(または
R16)を調整抵抗とする。調整抵抗R17の抵抗値は、例
えば、Y−Δ変換を用いて行う。
FIG. 4 is a rewritten version of the adjusted resistance values set above based on FIGS. 1, 2 and 3. The resistance value of these resistors R15, R16 and R17 is R15 = 3.3 in consideration of the adjustment range, standardized resistance value and the like.
MΩ and R16 (or R17) = 1 MΩ, and R17 (or R16) is used as an adjustment resistor. The resistance value of the adjustment resistor R17 is determined by, for example, Y-Δ conversion.

【0036】図5に基づき、下記関係式を得る。Based on FIG. 5, the following relational expression is obtained.

【0037】 rx ={R17(R15+R16)+R15・R16}/R16 ……(3) ry ={R17(R15+R16)+R15・R16}/R17 ……(4) rz ={R17(R15+R16)+R15・R16}/R15 ……(5) また、ホイートストンブリッジ回路の平衡条件から、関
係式(6)を得る。
Rx = {R17 (R15 + R16) + R15.R16} / R16 (3) ry = {R17 (R15 + R16) + R15.R16} / R17 ... (4) rz = {R17 (R15 + R16) + R15.R16} / R15 (5) Further, the relational expression (6) is obtained from the equilibrium condition of the Wheatstone bridge circuit.

【0038】 R1 (r3// ry )=R2 (r4// rx ) ……(6) 関係式(6)は、順次下記の様に変換される。R1 (r3 // ry) = R2 (r4 // rx) (6) The relational expression (6) is sequentially converted as follows.

【0039】 R1 {(1/r4)+ (1/rx)}=R2 {(1/r3)+( 1/ry)} ……(7) (R1 /r4)−(R2 /r3)=(R2 /ry)−(R1 /rx) ={(R2・R17)-( R1・R16)}/{R17(R15+R16)+R15 ・R16}…(8) 上記の関係式より、下記の手順によりR17の抵抗値が求
められる。
R1 {(1 / r4) + (1 / rx)} = R2 {(1 / r3) + (1 / ry)} (7) (R1 / r4)-(R2 / r3) = ( R2 / Ry)-(R1 / Rx) = {(R2 / R17)-(R1 / R16)} / {R17 (R15 + R16) + R15 / R16} (8) From the above relational expression, R17 The resistance value of is calculated.

【0040】−4.7257E-5={(500・R17)- (499.2623E
6)} /{(4.3 E6・R17+3.3 E12)} −47.257={(500・R17−499.2623E6)}/{(4.3・R17+
3.3 E6 ) R17( 500+ 4.3×47.257) = 499.2623 E6 −47.257
× 3.3E6 R17= 343.31387E6 /703.20553 =0.488 E6 R17の抵抗値は、R17=488KΩとなり、所定の標準
抵抗値の中から最終的にR17=510KΩを選択する。
以上の第1段の粗調整、第2段の粗調整(中間調整)お
よび微調整で調整が完了する。
-4.7257E-5 = {(500.R17)-(499.2623E
6)} /{(4.3 E6 ・ R17 + 3.3 E12)} −47.257 = {(500 ・ R17−499.2623E6)} / {(4.3 ・ R17 +
3.3 E6) R17 (500 + 4.3 x 47.257) = 499.2623 E6 -47.257
× 3.3E6 R17 = 343.31387E6 / 703.20553 = 0.488 E6 The resistance value of R17 is R17 = 488 KΩ, and R17 = 510 KΩ is finally selected from the predetermined standard resistance values.
The adjustment is completed by the above-described first-stage coarse adjustment, second-stage coarse adjustment (intermediate adjustment), and fine adjustment.

【0041】ただし、調整段数は、ホイートストンブリ
ッジ回路の不平衡状態(程度)によって変わる。また、
上記の調整は、理論上の調整手順イであり、簡易な調整
手順ロが採られる場合もある。例えば、下記の手順であ
る。
However, the number of adjustment stages varies depending on the unbalanced state (degree) of the Wheatstone bridge circuit. Also,
The above adjustment is a theoretical adjustment procedure B, and a simple adjustment procedure B may be adopted in some cases. For example, the following procedure.

【0042】(1) ホイートストンブリッジの不平衡量
をモニタしながら、R3 およびR4の何れか一方のブリ
ッジ辺に所定の抵抗値の抵抗器を仮接続し、不平衡量の
変化量を見ながら第1段の粗調整を行う。つまり図2に
おける、抵抗器R12の抵抗値を定める。
(1) While monitoring the unbalanced amount of the Wheatstone bridge, a resistor having a predetermined resistance value is temporarily connected to one of the R3 and R4 bridge sides, and the first stage is checked while observing the amount of change in the unbalanced amount. Coarse adjustment of. That is, the resistance value of the resistor R12 in FIG. 2 is determined.

【0043】(2) 抵抗値R12接続後の不平衡量をモニ
タし、不平衡量が所定の値以下かチェックする。チェッ
クした不平衡量の大きさにより、更に粗調整を行うか、
微調整を行うか、以降の調整は不要かを決める。
(2) The unbalance amount after the resistance value R12 is connected is monitored to check whether the unbalance amount is less than a predetermined value. Depending on the size of the unbalanced amount checked, perform further rough adjustment,
Decide whether to make fine adjustments or not.

【0044】(3) この実施例の場合、さらに調整を行
い、第2段の粗調整抵抗器R13の抵抗値を定める。
(3) In the case of this embodiment, further adjustment is performed to determine the resistance value of the coarse adjustment resistor R13 of the second stage.

【0045】(4) 更に以降の調整作業の要否を決め
る。
(4) The necessity of further adjustment work is determined.

【0046】(5) この実施例の場合、さらに微調整を
行い、抵抗器R16およびR17の選択設定を行う。
(5) In the case of this embodiment, fine adjustment is further performed to selectively set the resistors R16 and R17.

【0047】図1および図9とを具体的数値において比
較した場合、微調整抵抗の抵抗値に略1桁(1MΩ:1
0.83MΩ)の相違がある。この数値はあくまで一例
であり、ホイートストンブリッジの不平衡の状態、また
は粗調整の調整の状態で、微調整用の抵抗値として更に
高い値の抵抗器が必要となる場合もある。このような回
路構成とすることにより、可変抵抗器を用いずに、ホイ
ートストンブリッジ回路の厳密な平衡調整が可能とな
る。
When comparing FIG. 1 and FIG. 9 in specific numerical values, the resistance value of the fine adjustment resistance is approximately one digit (1 MΩ: 1
0.83 MΩ). This value is merely an example, and a resistor having a higher value may be required as a resistance value for fine adjustment in an unbalanced state of the Wheatstone bridge or a state of coarse adjustment. With such a circuit configuration, strict balance adjustment of the Wheatstone bridge circuit becomes possible without using a variable resistor.

【0048】そして、固定抵抗器を用いた平衡調整であ
るため、対振動性に優れ、経時変化の面においても高い
安定性が得られる。また、より低い抵抗値での微調整が
可能であるため、低価格の固定抵抗器の入手が容易であ
り、より調整範囲が拡大し、高精度の微調整が可能とな
る。
Since the balance adjustment is performed by using the fixed resistor, the vibration resistance is excellent and the high stability can be obtained in terms of the change over time. In addition, since fine adjustment can be performed with a lower resistance value, a low-priced fixed resistor can be easily obtained, the adjustment range can be expanded, and high-precision fine adjustment can be performed.

【0049】〈応用例〉図6は、本発明をひずみゲージ
式変換器の一種である圧力変換器(または圧力伝送器)
にひずみゲージをもって構成されるホイートストンブリ
ッジ回路のブリッジ平衡調整回路に応用した実施例の断
面図である。同図において、1は例えばガス絶縁開閉装
置(GIS)のような被測定部に結合される雄ねじから
なる結合部1bを有する金属製の導入部材であり、この
導入部材1の中心軸部には、これを貫通する、被測定流
体圧を導入する圧力導入路1aが形成されている。
<Application Example> FIG. 6 shows a pressure transducer (or pressure transmitter) which is a kind of strain gauge type transducer of the present invention.
It is sectional drawing of the Example applied to the bridge balance adjustment circuit of the Wheatstone bridge circuit comprised by the strain gauge. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a metal introducing member having a connecting portion 1b made of a male screw that is connected to a measured portion such as a gas insulated switchgear (GIS). A pressure introducing passage 1a is formed therethrough for introducing the measured fluid pressure.

【0050】導入部材1の結合部1bと反対の端部に
は、金属製のダイヤフラム2aと一体の剛性を有する円
筒部2が溶接等により気密に固着されており、上記ダイ
ヤフラム2aの内面と導入部材1の端面間には、圧力導
入路1aを介して導入される被測定流体が貯溜される受
圧室2bが形成されている。受圧室2bの一部を形成す
るダイヤフラム2aの受圧面とは反対の背面側には、受
圧面と背面との圧力差によるダイヤフラム2aの変形を
電気信号に変換するひずみゲージSGが接着、蒸着、ス
パッタリング、溶着、その他の手段により添着されてい
る。
At the end portion of the introduction member 1 opposite to the connecting portion 1b, a cylindrical portion 2 having a rigidity integral with the metal diaphragm 2a is airtightly fixed by welding or the like, and is introduced to the inner surface of the diaphragm 2a. Between the end faces of the member 1, a pressure receiving chamber 2b is formed in which the fluid to be measured introduced via the pressure introducing passage 1a is stored. A strain gauge SG for converting a deformation of the diaphragm 2a due to a pressure difference between the pressure receiving surface and the back surface into an electric signal is bonded, vapor-deposited on the back surface side of the diaphragm 2a forming a part of the pressure receiving chamber 2b, which is opposite to the pressure receiving surface. It is attached by sputtering, welding, or other means.

【0051】ひずみゲージSGは、フェノール樹脂、ポ
リイミド樹脂等からなるゲージベース上にNi−Cr合
金等からなる蛇行状を呈するゲージ素子が添着されてい
る。そして、ひずみゲージSGは、ダイヤフラム2aの
背面に少なくとも4枚添着されており、この4枚のひず
みゲージは例えば、図1のR1 〜R4 に相当するもので
ある。
In the strain gauge SG, a meandering gauge element made of Ni-Cr alloy or the like is attached on a gauge base made of phenol resin, polyimide resin or the like. At least four strain gauges SG are attached to the back surface of the diaphragm 2a, and the four strain gauges correspond to, for example, R1 to R4 in FIG.

【0052】ダイヤフラム2aの外周面には、一定間隔
を隔ててこれを覆う内筒3が同心に配置され、この内筒
3の一端縁は、導入部材1に溶接等により気密に固着さ
れていると共に、その他端開口には、気密端子4が嵌合
されている。この気密端子4を形成する金属製の蓋部材
4aの周縁は、内筒3に溶接等で気密に固着されてい
る。この内筒3と気密端子4は、ダイヤフラム2aの背
面側に基準圧力室を形成する。また、気密端子4を形成
する複数のピン端子4cは、絶縁封止材4bによって貫
通支持されており、この各ピン端子4cとひずみゲージ
SGのゲージ電極間は、ゲージリードにより接続されて
いる。
On the outer peripheral surface of the diaphragm 2a, an inner cylinder 3 which covers the diaphragm 2a at regular intervals is concentrically arranged, and one end edge of the inner cylinder 3 is hermetically fixed to the introduction member 1 by welding or the like. At the same time, the airtight terminal 4 is fitted in the other end opening. The peripheral edge of the metallic lid member 4a forming the airtight terminal 4 is airtightly fixed to the inner cylinder 3 by welding or the like. The inner cylinder 3 and the airtight terminal 4 form a reference pressure chamber on the back surface side of the diaphragm 2a. The plurality of pin terminals 4c forming the airtight terminal 4 are pierced and supported by the insulating sealing material 4b, and the pin terminals 4c and the gauge electrodes of the strain gauge SG are connected by gauge leads.

【0053】ピン端子4cの上端は、取付基板5に穿設
された貫通孔に嵌入され且つ半田付けによって取付基板
5と固着されている。この取付基板5の上には、アンプ
基板6が固定され、このアンプ基板6には、調整抵抗
器、ハイブリットIC、トランジスタ、等、ひずみゲー
ジSGをもって構成されるホイートストンブリッジ回路
の上述したような平衡調整用の抵抗器や感度調整抵抗器
を始めとして、ブリッジ出力を増幅、波形整形、演算な
どの処理を施す電気回路部7が配設されている。
The upper ends of the pin terminals 4c are fitted into through holes formed in the mounting board 5 and fixed to the mounting board 5 by soldering. An amplifier board 6 is fixed on the mounting board 5, and the amplifier board 6 has a balancing resistor such as an adjusting resistor, a hybrid IC, a transistor, etc., which is composed of a strain gauge SG as described above. An electric circuit unit 7 for amplifying the bridge output, shaping the waveform, and performing operations such as calculation is provided, including an adjustment resistor and a sensitivity adjustment resistor.

【0054】アンプ基板6の他端(図6において上端)
には、微調整基板8が固定されている。この微調整基板
8には、上述した要領で決定した抵抗値を有する微調整
用の固定抵抗器R15,R16,R17を挿入する小型調整抵
抗用端子9が設けられ、この小型調整抵抗用端子9と固
定抵抗器R15,R16,R17は半田付けにて強固に固着さ
れ、従って、振動を受けても断線や接触不良を起こすこ
とはない。尚、調整用盲蓋10は、シールド体11に穿
設された開口を、上記の微調整用の固定抵抗器R15〜R
17を小型調整抵抗用端子9に固着せしめた後、閉塞し、
その周囲を接着剤等で気密に封止するものである。
The other end of the amplifier board 6 (upper end in FIG. 6)
The fine adjustment substrate 8 is fixed to the. The fine adjustment board 8 is provided with a small adjustment resistance terminal 9 into which the fine adjustment fixed resistors R15, R16, and R17 having the resistance value determined in the above-described manner are inserted. The fixed resistors R15, R16, and R17 are firmly fixed by soldering, and therefore, even if subjected to vibration, disconnection or poor contact does not occur. In addition, the adjustment blind lid 10 has an opening formed in the shield body 11 and has fixed resistors R15 to R15 for fine adjustment described above.
After fixing 17 to the small adjusting resistor terminal 9, close it,
The periphery thereof is hermetically sealed with an adhesive or the like.

【0055】シールド体11には、貫通コンデンサ12
が気密状に嵌入固着されており、微調整基板8には、フ
ェライトビーズコア13が設けられ、これら貫通コンデ
ンサ12とフェライトビーズコア13を貫通し、その一
端(下端)が微調整基板8に貫通固着されたピン状の電
源・出力端子14が設けられている。シールド体11の
外周面に嵌合するように外筒15が設けられ、その一端
(下端)は、導入部材1の段部に嵌入され且つ溶接によ
り気密に固着され、その他端(上端)には、コネクタ取
付板16が溶接等により固着されている。
The shield body 11 includes a feedthrough capacitor 12
Is tightly fitted and fixed, and the fine adjustment substrate 8 is provided with a ferrite bead core 13, which penetrates the feedthrough capacitor 12 and the ferrite bead core 13, and one end (lower end) thereof penetrates the fine adjustment substrate 8. A fixed pin-shaped power supply / output terminal 14 is provided. An outer cylinder 15 is provided so as to be fitted to the outer peripheral surface of the shield body 11, one end (lower end) of which is fitted into the step portion of the introducing member 1 and is airtightly fixed by welding, and the other end (upper end) thereof. The connector mounting plate 16 is fixed by welding or the like.

【0056】コネクタ取付板16の中央部には、防水レ
セプタクル17がねじ手段によって取付けられている。
この防水レセプタクル17の接続端子17aと電源・出
力端子14との間は、ケーブル17bと、金属製の接続
パイプ17cを介して接続される。このような構成より
なる圧力変換器は、例えば、ガス絶縁開閉装置のガス圧
監視用の出力部に、導入部材1の結合部1bを取付けた
状態で、被測定流体(ガス)を圧力導入路1aに導く。
A waterproof receptacle 17 is attached to the central portion of the connector mounting plate 16 by screw means.
The connection terminal 17a of the waterproof receptacle 17 and the power supply / output terminal 14 are connected to each other via a cable 17b and a connection pipe 17c made of metal. The pressure converter having such a structure is configured such that, for example, the fluid to be measured (gas) is introduced into the pressure introduction path in a state where the coupling portion 1b of the introduction member 1 is attached to the gas pressure monitoring output portion of the gas insulated switchgear. Lead to 1a.

【0057】すると、ダイヤフラム2aの受圧面にガス
圧が印加されるので、ダイヤフラム2aは、そのガス圧
に対応した変形(撓み)を生じ、ひずみゲージSG(図
1のR1 〜R4 )は、圧力に対応した抵抗値変化を示
す。そのため、4枚のひずみゲージSGによって組まれ
たホイートストンブリッジ回路の出力端からは、ガス圧
に対応した電気信号(電圧)を電気回路部7に出力する
ため、電気回路部7において、適宜、増幅、波形整形、
演算等の処理が施された上、電源・出力端子14、ケー
ブル17b、接続端子17a等を順次介して外部に被測
定流体圧(ガス)に対応した検出信号を導出する。
Then, since the gas pressure is applied to the pressure receiving surface of the diaphragm 2a, the diaphragm 2a is deformed (deflected) corresponding to the gas pressure, and the strain gauges SG (R1 to R4 in FIG. 1) are pressed. Shows the change in resistance value corresponding to. Therefore, the electric signal (voltage) corresponding to the gas pressure is output from the output end of the Wheatstone bridge circuit assembled by the four strain gauges SG to the electric circuit unit 7, so that the electric circuit unit 7 appropriately amplifies the signal. , Waveform shaping,
After being subjected to processing such as calculation, a detection signal corresponding to the fluid pressure (gas) to be measured is derived to the outside through the power / output terminal 14, the cable 17b, the connection terminal 17a, and the like in order.

【0058】尚、このような圧力検出作業に入る前に、
上述したようなホイートストンブリッジ回路の平衡調整
作業が行われることは、いうまでもない。因に、上述し
た粗調整用の固定抵抗器R11〜R14の適宜なものと、感
度調整抵抗R21、R22および零温特補償抵抗などは、上
述した手順を経て計算された抵抗値や抵抗温度係数を有
するものを選択してアンプ基板6に半田付けするが、微
調整用の固定抵抗器(R15〜R17)は、上述の手順で求
めた抵抗値のものを、小型調整抵抗用端子9に装着し、
平衡調整作業が終了したら、調整用盲蓋10をもってシ
ールド体11に穿設された作業用開口を閉塞し、接着剤
によって気密的に封着する。
Before starting such pressure detection work,
It goes without saying that the balance adjustment work of the Wheatstone bridge circuit as described above is performed. By the way, the appropriate ones of the fixed resistors R11 to R14 for coarse adjustment, the sensitivity adjustment resistors R21 and R22, and the zero temperature special compensation resistor are the resistance value and the temperature coefficient of resistance calculated through the above procedure. Is selected and soldered to the amplifier substrate 6, but the fixed resistors for fine adjustment (R15 to R17) having the resistance value obtained by the above procedure are mounted on the small adjustment resistor terminal 9. Then
When the balance adjustment work is completed, the work opening formed in the shield body 11 is closed by the adjustment blind lid 10 and hermetically sealed with an adhesive.

【0059】このように構成され且つ作用する圧力変換
によれば、ホイートストンブリッジ回路の平衡調整回路
を構成する粗調整用、中間調整用、微調整用の各固定抵
抗器R11〜R17は、可変抵抗のような可動部(摺動部)
のない固定抵抗器でありしかもアンプ基板6および小型
調整抵抗用端子9にそれぞれ半田付けによって強固に固
着されているので、振動で抵抗値が変化したり、長期間
に亘り使用しても損耗により抵抗値が変化したりするこ
とが皆無であるので、長期間に亘り高い平衡安定性が保
持される。
According to the pressure conversion configured and acting as described above, the fixed resistors R11 to R17 for coarse adjustment, intermediate adjustment, and fine adjustment, which form the balance adjustment circuit of the Wheatstone bridge circuit, are Moving part (sliding part) such as
Since it is a fixed resistor that is not attached and is firmly fixed to the amplifier substrate 6 and the small adjustment resistor terminal 9 by soldering, the resistance value changes due to vibration, and even if it is used for a long period of time, it will be worn out. Since the resistance value never changes, high equilibrium stability is maintained for a long period of time.

【0060】尚、本発明は、上述した実施例にのみ限定
されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種
々の変形が可能である。例えば、図7に示すように、粗
調整用の固定抵抗器R12,R14を接続する回路上の位置
は、第2の2辺の少なくとも何れか1辺と並列に接続す
るのみに限らず、即ち、第2の2辺を形成する抵抗体R
3 およびR4 のいずれか一方の辺に並列に接続する場合
に限らず、第1の2辺を形成する抵抗体R1 ,R2 のう
ちの一辺を形成する抵抗体R2 に並列に接続するように
構成してもよい。
The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, but various modifications can be made without departing from the scope of the invention. For example, as shown in FIG. 7, the position on the circuit where the fixed resistors R12 and R14 for coarse adjustment are connected is not limited to being connected in parallel with at least one of the second two sides, that is, , The resistor R forming the second two sides
The configuration is not limited to parallel connection to either one of the sides 3 and R4, but is configured to be connected in parallel to the resistor R2 forming one side of the resistors R1 and R2 forming the first two sides. You may.

【0061】また、図7において、第1の2辺を形成す
る2つの抵抗体R1 とR2 とを互いに入れ替えること、
および第2の2辺を形成する2つの抵抗体R3 とR4 と
を互いに入れ替えること等は全く自由である。
Further, in FIG. 7, the two resistors R1 and R2 forming the first two sides are replaced with each other,
It is completely free to replace the two resistors R3 and R4 forming the second two sides with each other.

【0062】また、本発明に係るブリッジ平衡調整回路
を適用するひずみゲージ式変換器としては、上述した圧
力変換器(圧力伝送器)に限られるものではなく、加速
度変換器、トルク変換器、壁面土圧計、荷重変換器、傾
斜計、変位変換器、その他、名称の如何を問わず、物理
量あるいは機械量を起歪部に受け、その起歪部に生じた
ひずみをひずみゲージによって電気量に変換するひずみ
ゲージ式変換器であって、上記ひずみゲージによってホ
イートストンブリッジ回路を形成するように構成したも
のは、すべて包含されることはいうまでもない。
Further, the strain gauge type transducer to which the bridge balance adjusting circuit according to the present invention is applied is not limited to the above-mentioned pressure transducer (pressure transmitter), but an acceleration transducer, a torque transducer, a wall surface. Regardless of name, earth pressure gauge, load converter, inclinometer, displacement converter, etc., the strain-generating part receives a physical quantity or mechanical quantity, and the strain generated in the strain-generating part is converted into an electric quantity by a strain gauge. Needless to say, all strain gauge type transducers configured to form a Wheatstone bridge circuit by the strain gauges are included.

【0063】また、第1の固定抵抗器群をなす固定抵抗
器は、上述した実施例のように、常に複数個(例えばR
11〜R14)必要となるものではなく、極端な場合、1個
だけでよい場合もあり得る。
The fixed resistors forming the first fixed resistor group are always plural (for example, R, as in the above-described embodiment).
11 to R14) It is not necessary, and in extreme cases, only one may be necessary.

【0064】[0064]

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、第
1に、ホイートストンブリッジ回路の平衡調整のため
に、可変抵抗器を用いず、すべて標準的な固定抵抗器だ
けを用い、且つすべて基板部材に半田付けなどの手段で
強固に固着接続する構成としたので、振動を受ける部位
に設けられるひずみゲージ式変換器におけるホイートス
トンブリッジ回路の平衡調整回路に適用しても、可変抵
抗器のような不用意な回動による抵抗値の変化、平衡調
整の繰り返しによる摺動部の摩耗による抵抗値の変化な
どの要因は全くなく、長期に亘り正確な平衡状態を保持
することができる。
As described in detail above, according to the present invention, firstly, in order to adjust the balance of the Wheatstone bridge circuit, a variable resistor is not used, and all standard fixed resistors are used. All of them are configured to be firmly fixed and connected to the board member by soldering or other means, so even if applied to the balance adjustment circuit of the Wheatstone bridge circuit in the strain gauge type converter installed in the part subject to vibration, There is no factor such as a change in the resistance value due to such inadvertent rotation and a change in the resistance value due to abrasion of the sliding portion due to repeated balance adjustment, and an accurate balanced state can be maintained for a long period of time.

【0065】第2に、平衡調整用の固定抵抗器として、
粗調整用の第1の固定抵抗器群で粗調整および中間調整
ができ、この粗調整された不平衡出力を第2の固定抵抗
器で、減衰させた後に、第3、第4の固定抵抗器で微調
整を行うようにしたから、第3および/または第4の固
定抵抗器の抵抗値は、比較的標準的な中間調整抵抗程度
の抵抗値を用いることができ、従って、コストが低廉
で、平衡調整に要する時間が短縮化でき、固定抵抗器が
小型のもので足りることから、ひずみゲージ式変換器自
体の小型化、低コスト化を実現することができる。
Second, as a fixed resistor for balance adjustment,
Coarse adjustment and intermediate adjustment can be performed by the first fixed resistor group for coarse adjustment. After the coarsely adjusted unbalanced output is attenuated by the second fixed resistor, the third and fourth fixed resistors are Since the fine adjustment is performed by the resistor, the resistance value of the third and / or fourth fixed resistors can be a resistance value of a relatively standard intermediate adjustment resistor, and therefore the cost is low. Thus, the time required for balance adjustment can be shortened, and a small size fixed resistor is sufficient. Therefore, the strain gauge type converter itself can be downsized and the cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のひずみゲージ式変換器のブリッジ平衡
調整回路の一実施例を示す回路図である。
FIG. 1 is a circuit diagram showing an embodiment of a bridge balance adjustment circuit of a strain gauge type converter of the present invention.

【図2】図1のブリッジ平衡調整回路の調整手順を説明
するための回路図である。
FIG. 2 is a circuit diagram for explaining an adjustment procedure of the bridge balance adjustment circuit of FIG.

【図3】図1のブリッジ平衡調整回路の調整手順を説明
するための回路図である。
FIG. 3 is a circuit diagram for explaining an adjustment procedure of the bridge balance adjustment circuit of FIG.

【図4】図1のブリッジ平衡調整回路の調整手順を説明
するための回路図である。
FIG. 4 is a circuit diagram for explaining an adjustment procedure of the bridge balance adjustment circuit of FIG.

【図5】図4のY−Δ変換を説明するための回路図であ
る。
5 is a circuit diagram for explaining Y-Δ conversion in FIG.

【図6】図1のブリッジ平衡調整回路を用いた圧力変換
器の構成を説明するための断面図である。
6 is a cross-sectional view for explaining the configuration of a pressure converter using the bridge balance adjustment circuit of FIG.

【図7】本発明のひずみゲージ式変換器のブリッジ平衡
調整回路の他の実施例の構成を示す回路図である。
FIG. 7 is a circuit diagram showing a configuration of another embodiment of the bridge balance adjustment circuit of the strain gauge type converter of the present invention.

【図8】従来のひずみゲージ式変換器のブリッジ平衡調
整回路の一例を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing an example of a bridge balance adjustment circuit of a conventional strain gauge type converter.

【図9】ひずみゲージ式変換器のブリッジ平衡調整回路
の他の例を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing another example of the bridge balance adjustment circuit of the strain gauge converter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

R1 、R2 、R3 、R4 抵抗体(ひずみゲージ) R11、R12、R13、R14 粗調整用固定抵抗器 R15 微調整用直列抵抗器 R16、R17 微調整固定抵抗器 R21、R22 感度調整抵抗器 E ブリッジ電源 1 導入部材 2 円筒部 2a ダイヤフラム 2b 受圧室 3 内筒 SG ひずみゲージ 4 気密端子 5 取付基板 6 アンプ基板 7 電気回路部 8 微調整基板 9 小型調整抵抗用端子 10 調整用盲蓋 11 シールド体 12 貫通コンデンサ 13 フェライトビーズコア 14 電源・出力端子 15 外筒 16 コネクタ取付板 17 防水レセプタクル 17a 接続端子 17b ケーブル 17c 接続パイプ R1, R2, R3, R4 Resistors (strain gauges) R11, R12, R13, R14 Coarse adjustment fixed resistor R15 Fine adjustment series resistor R16, R17 Fine adjustment fixed resistor R21, R22 Sensitivity adjustment resistor E bridge Power supply 1 Introduction member 2 Cylindrical part 2a Diaphragm 2b Pressure chamber 3 Inner cylinder SG Strain gauge 4 Airtight terminal 5 Mounting board 6 Amplifier board 7 Electric circuit section 8 Fine adjustment board 9 Small adjustment resistance terminal 10 Adjustment blind lid 11 Shield 12 Feedthrough capacitor 13 Ferrite bead core 14 Power supply / output terminal 15 Outer cylinder 16 Connector mounting plate 17 Waterproof receptacle 17a Connection terminal 17b Cable 17c Connection pipe

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 奥田 浩喜 東京都調布市調布ヶ丘3丁目5番地1 株 式会社共和電業内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Hiroki Okuda 3-5 Chofugaoka, Chofu City, Tokyo 1 Kyowa Denki Co., Ltd.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ブリッジ電源の正・負入力端間に直列に
接続された第1の2辺と、同じく前記正・負入力端間に
直列に接続された第2の2辺とで構成されるホイートス
トンブリッジ回路の平衡を調整するひずみゲージ式変換
器のブリッジ平衡調整回路において、 前記ホイートストンブリッジ回路の、前記第2の2辺の
少なくとも何れか1辺と並列に接続された第1の固定抵
抗器群と、 前記第2の2辺間の接続点と一端が接続された第2の固
定抵抗器と、 前記第2の2辺と前記第1の2辺との間の2つの接続点
の一方の接続点と、前記第2の固定抵抗器の他端との間
に接続された第3の固定抵抗器と、 前記第2の2辺と前記第1の2辺との間の2つの接続点
の他方の接続点と、前記第2の固定抵抗器の他端との間
に接続された第4の固定抵抗器とを有し、 前記ホイートストンブリッジ回路の平衡調整を行うに際
し、前記第1の固定抵抗器群で粗調整を行い、前記第2
〜第4の固定抵抗器で微調整を行い得るように構成した
ことを特徴とするひずみゲージ式変換器のブリッジ平衡
調整回路。
1. A bridge power supply comprising a first two sides connected in series between positive and negative input terminals and a second two sides connected in series between the positive and negative input terminals as well. In a bridge balance adjustment circuit of a strain gauge type converter for adjusting the balance of a Wheatstone bridge circuit, a first fixed resistor connected in parallel with at least one of the second two sides of the Wheatstone bridge circuit. A group of devices, a second fixed resistor whose one end is connected to a connection point between the second two sides, and two connection points between the second two sides and the first two sides. A third fixed resistor connected between one connection point and the other end of the second fixed resistor, and two between the second two sides and the first two sides. A fourth fixed resistor connected between the other connection point of the connection points and the other end of the second fixed resistor. Has the door, in performing the balancing of the Wheatstone bridge circuit performs rough adjustment in the first fixed resistor group, the second
~ A bridge balance adjusting circuit for a strain gauge type converter, characterized in that it is configured so that fine adjustment can be performed with a fourth fixed resistor.
【請求項2】 ブリッジ電源の正・負入力端間に直列に
接続された第1の2辺と、同じく前記正・負入力端間に
直列に接続された第2の2辺とで構成されるホイートス
トンブリッジ回路の平衡を調整するひずみゲージ式変換
器のブリッジ平衡調整回路において、 前記ホイートストンブリッジ回路の前記第1の2辺のう
ちの1辺と前記第2の辺のうちの1辺であって互いに隣
接して接続される2つの辺の少なくとも何れか1辺と並
列に接続された第1の固定抵抗器群と、 前記第2の2辺間の接続点と一端が接続された第2の固
定抵抗器と、 前記第2の2辺と前記第1の2辺との間の2つの接続点
の一方の接続点と、前記第2の固定抵抗器の他端との間
に接続された第3の固定抵抗器と、 前記第2の2辺と前記第1の2辺との間の2つの接続点
の他方の接続点と、前記第2の固定抵抗器の他端との間
に接続された第4の固定抵抗器とを有し、 前記ホイートストンブリッジ回路の平衡調整を行うに際
し、前記第1の固定抵抗器群で粗調整を行い、前記第2
〜第4の固定抵抗器で微調整を行い得るように構成した
ことを特徴とするひずみゲージ式変換器のブリッジ平衡
調整回路。
2. A bridge power supply is composed of a first two sides connected in series between the positive and negative input terminals, and a second two sides connected in series between the positive and negative input terminals as well. In a bridge balance adjustment circuit of a strain gauge type converter for adjusting the balance of a Wheatstone bridge circuit, one side of the first two sides and one side of the second side of the Wheatstone bridge circuit. And a first fixed resistor group connected in parallel with at least one of two sides connected adjacent to each other, and a second point having one end connected to a connection point between the second two sides. Connected between one of the two connection points between the second fixed side and the second fixed side, and the other end of the second fixed side. A third fixed resistor, and two connection points between the second two sides and the first two sides. A fourth fixed resistor connected between the other connection point and the other end of the second fixed resistor, wherein the first fixed resistor is used when balancing the Wheatstone bridge circuit. Rough adjustment is performed with a resistor group, and the second
~ A bridge balance adjusting circuit for a strain gauge type converter, characterized in that it is configured so that fine adjustment can be performed with a fourth fixed resistor.
【請求項3】 前記第1の固定抵抗器群および前記第2
〜第4の固定抵抗器は、所定の数値間隔で設定された標
準抵抗値の抵抗器であることをことを特徴とする請求項
1または2に記載のひずみゲージ式変換器のブリッジ平
衡調整回路。
3. The first fixed resistor group and the second fixed resistor group
~ The fourth fixed resistor is a resistor having a standard resistance value set at a predetermined numerical interval, and the bridge balance adjusting circuit of the strain gauge type converter according to claim 1 or 2, wherein .
【請求項4】 前記ブリッジ平衡調整回路は、長期に亘
って安定性が要求される圧力伝送器に用いることを特徴
とする請求項1または2に記載のひずみゲージ式変換器
のブリッジ平衡調整回路。
4. The bridge balance adjusting circuit for a strain gauge type converter according to claim 1, wherein the bridge balance adjusting circuit is used in a pressure transmitter which is required to have stability for a long period of time. .
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001208625A (en) * 1999-12-20 2001-08-03 Texas Instr Inc <Ti> Method and device for detecting failure within range of state responding sensor
JP2017207804A (en) * 2016-05-16 2017-11-24 日立Geニュークリア・エナジー株式会社 Electric instrument command simulator device
CN114930139A (en) * 2019-09-17 2022-08-19 直观外科手术操作公司 Symmetric trimming of strain gauges
US11965789B2 (en) 2017-11-14 2024-04-23 Intuitive Surgical Operations, Inc. Split bridge circuit force sensor

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001208625A (en) * 1999-12-20 2001-08-03 Texas Instr Inc <Ti> Method and device for detecting failure within range of state responding sensor
JP2017207804A (en) * 2016-05-16 2017-11-24 日立Geニュークリア・エナジー株式会社 Electric instrument command simulator device
US11965789B2 (en) 2017-11-14 2024-04-23 Intuitive Surgical Operations, Inc. Split bridge circuit force sensor
CN114930139A (en) * 2019-09-17 2022-08-19 直观外科手术操作公司 Symmetric trimming of strain gauges
CN114930139B (en) * 2019-09-17 2024-06-04 直观外科手术操作公司 Symmetrical trimming of strain gauges

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Effective date: 20040127