JPH08190069A - 多面鏡評価装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、反射面が平面でない回転多面鏡を
評価する場合でも測定精度の低下を防ぐことを目的とす
る。 【構成】 本発明の多面鏡評価装置は、像位置検出手段
１６で検出した画像信号に対し、演算手段１４が所定の
演算を施すように構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、多面鏡の光反射面の評
価を行う多面鏡評価装置に関し、特に、反射面が平面で
ない回転多面鏡を評価しようとする場合に波面形状制御
部に収差が存在しても、正確な測定が行えるようにした
多面鏡評価装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】回転多面鏡の各反射面間の角度誤差（分
割角度誤差）を測定する、従来の多面鏡評価装置とし
て、例えば、図５に示されるものがある。

【０００３】この多面鏡評価装置は、回転多面鏡１を搭
載して高精度で所定の角度回転させることができる高精
度回転ステージ２と、回転多面鏡１の反射面１ａ〜１ｄ
に光を照射するためのコリメータレンズ３と、コリメー
タレンズ３に対して回転多面鏡１とは反対側に配置され
たビームスプリッタ４と、ビームスプリッタ４の分岐光
路上に位置してコリメータレンズ３の焦点面５Ａをその
一面に有する焦点板５と、ビームスプリッタ４の他の分
岐光路上に位置してコリメータレンズ３の焦点面６Ａを
その一面に有する焦点板６と、焦点板５を照明する光源
７と、光源７からの光を焦点板５に集光する集光レンズ
８を備えて構成されている。

【０００４】光源側の焦点板５には透明ガラス板の片面
に十字線、及び目盛によるスケールが刻まれており、光
源７によって集光レンズ８を介して照明されると共に、
コリメータレンズ３の焦点がスケール面に一致するよう
に配置されている。観測側の焦点板６にも十字線、或い
はピンホールによって焦点板５と同様のスケールが刻ま
れており、コリーメータレンズ３の焦点がスケール面に
一致するように配置されている。

【０００５】以下、この多面鏡評価装置を用いて回転多
面鏡１の反射面１ａ〜１ｄの隣接する２つの面が成す分
割角度の測定について説明する。ここで、回転多面鏡１
は４つの光反射面を有するので理想的な分割角度は９０
度となる。

【０００６】まず、高精度回転ステージ２に回転多面鏡
１を搭載する。このとき、高精度回転ステージ２の回転
中心に回転多面鏡１の回転中心を一致させると共に、反
射面１ａをコリメータレンズ３に完全に正対させる。こ
の後、光源７によって照明された焦点板５のスケールの
像が反射面１ａで反射されて焦点板６のスケールに一致
するように設定する。

【０００７】次に、回転多面鏡１の反射面１ａ〜１ｄが
本来有するべき分割角度、つまり、９０度だけ高精度回
転ステージ２を矢印Ａ方向に回転させることによって反
射面１ｂをコリメータレンズ３に正対させる。

【０００８】回転多面鏡１を９０度だけ回転させた後、
反射面１ｂで反射されて焦点板６に結像される焦点板５
のスケールの像が一致しているときは反射面１ａ、及び
１ｂが理想的な分割角度を有している。

【０００９】一方、焦点板６に結像される焦点板５のス
ケール像が一致せず、そのずれ量がスケールの水平方向
に生じているときは、そのずれ量とコリメータレンズ３
の焦点距離から分割角度誤差が求められ、ずれ量がスケ
ールの鉛直方向に生じているときは、反射面の鉛直方向
に対する角度（倒れ角）が求められる。以下、残りの反
射面１ａ，１ｄについても同様な操作を行う。

【００１０】また、上記回転多面鏡評価装置とは別に、
多面鏡の分割角度をビーム光を用いて測定するものも、
例えば、特開昭５６−１１２６０６号公報によって開示
されている。

【００１１】しかし、これらの多面鏡評価装置によって
反射面が平面でない回転多面鏡を評価しようとすると、
反射面で反射されて観測側の焦点板に結像される光源側
の焦点板のスケールの像がぼけて広がってしまい、この
ため、像の位置を特定することができないという不都合
があった。

【００１２】そこで、このような不都合を解決するもの
として、図６に示す多面鏡評価装置が本出願人によって
提案されている。この多面鏡評価装置は、非平面で形成
される回転多面鏡９の反射面９ａ〜９ｄに沿うように光
波面の波面形状を設定する波面形状制御部１０を備えて
いる。波面形状制御部１０としては、透過する光を反射
面９ａ〜９ｄの形状に応じた光波面に変換する、例え
ば、波面変換レンズ、或いは波面変換ホログラム等が用
いることができ、点状光源１１で照明されたターゲット
１２の像がぼけて広がらずに観測側に設けられる像位置
検出部１３に結像される。

【００１３】従って、図７に示すように、反射面９ａ〜
９ｄの曲率中心ａ，ｄが高精度回転ステージの回転中心
Ｏを通るコリメータレンズ３の光軸に対してＬａ，Ｌｄ
のずれを有しているとき、反射面９ａと９ｄのこの角度
誤差により像位置検出部１３に結像されるターゲット像
にずれが生じる。このようなずれをターゲット像のぼけ
を防止しながら検出することができる。

【００１４】以上述べたように、従来の多面鏡評価装置
によると、図８の(a),(b) に示すように、観測側の焦点
板に結像された光源側の焦点板のターゲット像、或いは
光源の像のずれに基づいて、理想とする反射面Ａに対
し、反射面Ｂの光軸に対する横ずれＬ（図８の(a))、反
射面Ｂの角度誤差θ（図８の(b))、或いはこれらの両方
を測定することができる。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の多面鏡
評価装置によると、反射面が平面でない回転多面鏡を評
価しようとすると、コリメータレンズと回転多面鏡の間
に、回転多面鏡へ入射する光波面の波面形状を回転多面
鏡の形状に重なるように制御する波面形状制御部が必要
となるため、波面形状制御部の収差によって観測側の焦
点板の十字線の像がぼやけ、正確な測定を行うことがで
きないことがあるという不都合がある。

【００１６】従って、本発明の目的は反射面が平面でな
い回転多面鏡を評価する場合でも測定精度の低下を防ぐ
ことができる多面鏡評価装置を提供することである。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点に鑑
み、反射面が平面でない回転多面鏡を評価する場合でも
測定精度の低下を防ぐため、非平面な光反射面を等分割
角度で複数面有した多面鏡を搭載し、中心点を中心に所
定の角度回転する回転ステージと、多面鏡の光反射面の
１つに光を照射するためのレンズ手段と、レンズ手段に
対して多面鏡の反対側に配置される光分岐手段と、レン
ズ手段と多面鏡の間に設けられ、透過する光を所定の形
状の光波面に変換する波面形状制御手段と、光分岐手段
によって分岐された分岐光路の１つの光路上に設けら
れ、レンズ手段の光束集光点に位置させられた基準被写
像と、光分岐手段の分岐光路の他の１つの光路上に設け
られ、多面鏡の光反射面によって反射された基準被写像
の結像位置を検出する像位置検出手段と、像位置検出手
段の検出結果に所定の演算を施して、波面形状制御手段
の光学的な影響を考慮した基準複写像の結像位置の補正
値を算出する演算手段と、回転ステージが所定の角度回
転する毎に得られる結像位置の補正値に基づいて多面鏡
の各光反射面の横ずれ、角度誤差、或いは偏心を評価す
る評価手段を備えた多面鏡評価装置を提供するものであ
る。

【００１８】上記演算手段は、像位置検出手段で検出さ
れた画像データｇ（ｘ，ｙ）に対して、次式の演算を行
う構成が好ましい。

【数４】 但し、ｆ_R （ｘ，ｙ）は復元画像、ｋ（ｘ，ｙ）は復元
のための適当なフィルター関数を表す。

【００１９】ここで、フィルター関数ｋ（ｘ，ｙ）とし
ては、ｋ（ｘ，ｙ）のフーリエ変換Ｋ（ξ，η）が次式
で表される、所謂、逆フィルターを用いることができ
る。但し、Ｈ（ξ，η）は像劣化させる結像系のインパ
ルス応答ｈ（ｘ，ｙ）のフーリエ変換、ξはｘに対応す
る空間周波数、ηはｙに対応する空間周波数である。

【数５】 また、フィルター関数ｋ（ｘ，ｙ）は、ｋ（ｘ，ｙ）の
フーリエ変換Ｋ（ξ，η）が次式で表される、所謂、最
小２乗フィルターを用いることもできる。

【数６】 但し、Ｈ（ξ，η）は像劣化させる結像系のインパルス
応答ｈ（ｘ，ｙ）のフーリエ変換、Ｈ^* （ξ，η）はＨ
（ξ，η）の複素共役、Ｐ_n は画像のノイズのパワース
ペクトル、Ｐ_f は収差のない画像のパワースペクトル、
ξはｘに対応する空間周波数、ηはｙに対応する空間周
波数である。

【００２０】また、上記演算手段は、像位置検出手段で
検出される像の画像データに対し、空間周波数の高周波
フィルタリングを行う構成であっても良い。その場合、
高周波フィルタリングは、画像の空間微分であることが
好ましい。

【００２１】

【作用】回転ステージに搭載された多面鏡の一光反射面
に基準被写像の光を照射し、その光反射面で反射した光
を像位置検出手段が検出する。像位置検出手段は基準被
写像に基づく画像信号を演算手段に出力し、演算手段が
その画像信号に所定の演算を施して、波面形状制御手段
の光学的な影響がない基準複写像の補正画像を算出す
る。次に、回転ステージが多面鏡の光反射面の分岐角度
に等しい角度だけ回転させ、次の光反射面に基準被写像
の光を照射し、その光反射面で反射した光を像位置検出
で検出する。像位置検出手段は基準被写像に基づく画像
信号を演算手段に出力し、演算手段がその画像信号に所
定の演算を施して、波面形状制御手段の光学的な影響が
ない基準複写像の補正画像を算出する。このようにして
得た補正画像の差に基づいて多面鏡の横ずれ、角度誤
差、或いは偏心を高精度に測定する。

【００２２】

【実施例】以下、本発明の回転多面鏡評価装置につい
て、添付図面を参照しながら詳細に説明する。

【００２３】図１には、本発明の一実施例の回転多面鏡
評価装置の構成が示されている。この回転多面鏡評価装
置は、反射面９ａ〜９ｄが非平面な回転多面鏡９を搭載
して所定の角度だけ高精度回転する高精度回転ステージ
２と、回転多面鏡９の反射面９ａ〜９ｄに光を照射する
ためのコリメータレンズ３と、コリメータレンズ３に対
して回転多面鏡１とは反対側に配置されたビームスプリ
ッタ４と、ビームスプリッタ４の分岐光路上に位置し、
コリメータレンズ３の焦点面５Ａをその一面に有する焦
点板５と、焦点板５を照明するレーザー光源１５と、レ
ーザー光源１５からの光を焦点板５に集光する集光レン
ズ８と、コリメータレンズ３と回転多面鏡９の間に配置
され、透過する光を回転多面鏡９の反射面９ａ〜９ｄの
形状に応じた光波面に変換する波面変換レンズ１７と、
コリメータレンズ３の焦点面１６Ａに撮像面が位置する
ようにビームスプリッタ４の他の分岐光路上に配置さ
れ、コリメータレンズ３からの回転多面鏡９の反射光を
入射するテレビカメラ１６と、テレビカメラ１６から画
像信号を入力し、Ａ／Ｄ変換等の所定の処理を行う信号
処理部１９と、信号処理部１９から入力した画像信号に
演算を施して、波面形状制御部１０の収差の影響、つま
り、ぼけや広がりのないシャープな復元画像を算出する
と共に、高精度回転ステージ２が回転する毎に得られる
復元画像に基づいて、回転多面鏡９の各反射面９ａ〜９
ｄの横ずれ偏心を評価するコンピュータ１４を備えて構
成されている。

【００２４】コンピュータ１４は、信号処理部１９から
出力される収差の影響を含む劣化画像のデータｇ（ｘ，
ｙ）に対して、(1) 式の演算を行う。但し、ｆ_R （ｘ，
ｙ）は復元画像、ｋ（ｘ，ｙ）は復元のための適当なフ
ィルター関数を表す。

【数７】 ここで、フィルター関数ｋ（ｘ，ｙ）は、ｋ（ｘ，ｙ）
のフーリエ変換Ｋ（ξ，η）が(2) 式で表される、所
謂、逆フィルターである。但し、Ｈ（ξ，η）は像劣化
させる結像系のインパルス応答ｈ（ｘ，ｙ）のフーリエ
変換、ξはｘに対応する空間周波数、ηはｙに対応する
空間周波数である。

【数８】

【００２５】コンピュータ１４は、このようにして復元
画像ｆ_R （ｘ，ｙ）を算出すると、この復元画像を用い
て、焦点面５のスケール像の結像位置を算出する。結像
位置の算出方法としては、計算速度が速く、ノイズに対
してロバストなピーク検出アルゴリズムが望ましい。本
実施例では、ピークの近傍領域において、下式に示す画
像強度ｆ_R （ｘ，ｙ）の重心（ｘ_p ，ｙ_p ）を計算し、
これをピーク位置とする。

【数９】 ここで、積分は全画像領域をとる。

【００２６】また、画像強度ｆ_R （ｘ，ｙ）は所定の閾
値以上の値を持つ領域以外の画像強度を０と置き換えた
画像ｆ_R （ｘ，ｙ）に対して上記(3) 式で示されるピー
ク検出を行うことによって主要ピーク以外のノイズの影
響を除去することがてきる。

【００２７】以下、本発明の回転多面鏡評価装置の動作
を説明する。なお、ここでは反射面９ａを最初の測定面
とする。

【００２８】まず、コリメータレンズ３の光軸と高精度
回転ステージ２の回転軸とが一致するように設定した
後、高精度回転ステージ２にその回転軸と回転多面鏡９
の回転軸が一致するように回転多面鏡９を搭載すると共
に、その反射面９ａをコリメータレンズ３に正対させ
る。

【００２９】次に、レーザー光源１５からレーザー光を
出射し、反射面９ａで反射したレーザー光をテレビカメ
ラ１６の焦点面１６Ａに結像させる。テレビカメラ１６
は結像位置に応じた画像信号を信号処理部１９に出力
し、信号処理部１９は入力した画像信号にＡ／Ｄ変換等
の所定の処理を施して、ディジタルの画像データｇ
（ｘ，ｙ）としてコンピュータ１４に出力する。

【００３０】コンピュータ１４は、信号処理部１９から
画像データｇ（ｘ，ｙ）を入力すると、上述した(1)
式、(2) 式の演算を行って、収差の影響のない画像、つ
まり、ぼけや広がりがないシャープな復元画像ｆ
_R （ｘ，ｙ）を算出する。また、このうよにして復元画
像ｆ_R （ｘ，ｙ）を求めると、この値に基づいて上述し
た(3)式の演算を行って焦点板５のスケール像の結像位
置（ｘ_p ，ｙ_p ）を算出する。

【００３１】このようにして焦点板５のスケール像の結
像位置を算出すると、算出結果を確認しながらテレビカ
メラ１６の焦点面１６Ａの原点（図示せず）に結像する
ように調節する。

【００３２】続いて、高精度回転ステージ２を回転多面
鏡９の反射面９ａ〜９ｄが本来有するべき分割角度だけ
矢印Ａ方向に回転させ、反射面９ｂをコリメータレンズ
３に向ける。このとき、レーザー光源１５から出射した
レーザー光は反射面９ｂで反射してテレビカメラ１６の
焦点面１６Ａに結像し、信号処理部１９からテレビカメ
ラ１６の結像位置に応じたディジタルの画像データｇ
（ｘ，ｙ）がコンピュータ１４に出力される。

【００３３】コンピュータ１４は、反射面９ａの測定時
と同様に画像データｇ（ｘ，ｙ）に基づいて復元画像ｆ
_R （ｘ，ｙ）を算出した後、焦点板５のスケール像の結
像位置（ｘ_p ，ｙ_p ）を算出する。そして、このように
して反射面９ｂにおける焦点板５のスケール像の結像位
置を算出すると、焦点面１６Ａの原点と比較し、回転多
面鏡９の反射面９ｂの横ずれ偏心量を算出する。つま
り、焦点板５のスケール像（十字線）の垂直線と焦点面
１６Ａの原点との水平方向のずれ量が反射面９ｂの横ず
れ偏心量に比例するため、その比例計数を波面変換レン
ズ１７の焦点距離とコリメータレンズ３の焦点距離から
算出する。

【００３４】以下、高精度回転ステージ２を、順次回転
多面鏡９を本来有するべき分割角度だけ矢印Ａ方向に回
転させ、以上の動作を反射面９ｃ、９ｄについても同様
に行うことにより各面の横ずれ偏心量を測定することが
できる。

【００３５】以上述べたように、テレビカメラ１６から
出力される画像データにコンピュータ１４が演算を施す
ようにしたため、テレビカメラ１６で観測した焦点板５
のスケール像を、収差の影響を含まない、つまり、ぼけ
や広がりがないシャープな画像に補正することができ、
回転多面鏡９の各反射面９ａ〜９ｄの横ずれ偏心を高精
度に測定することができる。なお、以上の実施例では水
平方向の横ずれ偏心の測定を説明したが、この実施例に
おいては波面変換レンズ１７としてシリンドリカルレン
ズのような１方向のみの集光作用を有しているので、通
常の多面鏡角度誤差の測定と同じ方法で、倒れ角度、つ
まり、鉛直面内の角度を同時に測定することもできる。
また、回転多面鏡の反射面が球面状である場合、前述し
た水平方向の横ずれと偏心と同様に垂直方向の横ずれ偏
心が測定できることは言うまでもない。

【００３６】図２には、本発明の第２の実施例の多面鏡
評価装置の構成が示されている。この多面鏡評価装置
は、波面形状制御部に波面変換ホログラム１８が適用さ
れ、コンピュータ１４の(1) 式の演算におけるフィルタ
ー関数ｋ（ｘ，ｙ）として、ｋ（ｘ，ｙ）のフーリエ変
換Ｋ（ξ，η）が以下の演算式で表される、所謂、最小
２乗フィルター（ウィナーフィルターともいう）が適用
された構成を有する。なお、第１の実施例と同一の部分
には同一の引用数字，符号を付したので重複する説明は
省略する。

【数１０】 ここで、Ｈ（ξ，η）は像劣化させる結像系のインパル
ス応答ｈ（ｘ，ｙ）のフーリエ変換、Ｈ^* （ξ，η）は
Ｈ（ξ，η）の複素共役、Ｐ_n は画像のノイズのパワー
スペクトル、Ｐ_f は収差のない画像のパワースペクト
ル、ξはｘに対応する空間周波数、ηはｙに対応する空
間周波数である。

【００３７】このような構成においても、第１の実施例
と同様、テレビカメラ１６で観測した焦点板５のスケー
ル像を、収差の影響を含まない、つまり、ぼけや広がり
がないシャープな画像に補正することができ、回転多面
鏡９の各反射面９ａ〜９ｄの横ずれ偏心を高精度に測定
することができる。

【００３８】また、本発明の第３の実施例として、第２
の実施例における波面変換ホログラム１８の収差による
影響を除去するためのコンピュータ１４の演算プログラ
ムを、以下のような構成にしても良い。

【００３９】すなわち、信号処理部１９から出力される
画像データｇ（ｘ，ｙ）に対し、高周波フィルタリング
の１種で、微分演算の１つである、次式に示されるラブ
ラシアンを施して微分画像ｆ_d （ｘ，ｙ）を得る。

【数１１】

【００４０】微分画像ｆ_d （ｘ，ｙ）は画像データ（劣
化画像）ｇ（ｘ，ｙ）よりシャープであるため、これを
用いることにより正確な結像位置を算出することができ
る。なお、ラブラシアン画像ｆ_d （ｘ，ｙ）そのもので
はなく、次式による画像ｆ_u（ｘ，ｙ）も画像データ
（劣化画像）ｇ（ｘ，ｙ）よりシャープであるため、こ
れを用いて結像位置を算出することもできる。

【数１２】

【００４１】図３には、本発明の第４の実施例の多面鏡
評価装置の構成が示されている。この多面鏡評価装置
は、結像位置検出部にコリメータレンズ３の焦点面２１
に配置されたＣＣＤイメージセンサ２０と、波面変換ホ
ログラム１８の収差による影響を除去するための演算を
行うコンピュータ１４より構成されている。

【００４２】ＣＣＤイメージセンサ２０は、図４に示す
ように、ｘ軸方向に沿って画素が並んでいるラインセン
サ２０Ａ、及びｙ軸方向に沿って画素が並んでいるライ
ンセンサ２０Ｂより構成され、ｘ軸方向の画像信号ｇ_x
（ｘ）とｙ軸方向の画像信号ｇ_y （ｙ）を出力する。

【００４３】コンピュータ１４は、信号処理部１９から
入力したディジタルの画像信号ｇ_x（ｘ）とｇ_y （ｙ）
に対し、１次元逆フィルターを施す。すなわち、以下の
(13)式、及び(14)式の演算を施すことにより、収差の影
響が存在する劣化画像を復元して、シャープな画像ｆ_Rx
（ｘ）とｆ_Ry（ｙ）を得る。但し、(7) 式、及び(8)式
において、フィルター関数ｋ_x （ｘ）とｋ_y （ｙ）は、
ｋ_x （ｘ，ｙ）とｋ_y（ｘ，ｙ）のフーリエ変換Ｋ
_x （ξ）とＫ_y （η）が以下の(9) 式、及び(10)式で表
される。ここで、ξはｘに対応する空間周波数、ηはｙ
に対応する空間周波数である。また、Ｈ_x （ξ）、Ｈ_y
（η）はそれぞれ像劣化させる結像系のｘ方向のインパ
ルス応答ｈ_x （ｘ）とｙ方向のインパルス応答ｈ
_y （ｙ）のフーリエ変換を表す。

【数１３】

【数１４】

【数１５】

【数１６】

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の多面鏡評
価装置によると、像位置検出手段で検出した画像に、演
算手段が所定の演算を施すようにしたため、検出した画
像を収差の影響がないシャープな画像に補正することが
でき、多面鏡の各反射面の横ずれ偏心を高精度に測定す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す説明図。

【図２】本発明の第２の実施例を示す説明図。

【図３】本発明の第３の実施例を示す説明図。

【図４】第３の実施例におけるＣＣＤイメージセンサを
示す説明図。

【図５】従来の多面鏡評価装置を示す説明図。

【図６】従来の他の多面評価装置を示す説明図。

【図７】従来の他の多面評価装置を示す説明図。

【図８】多面鏡の横ずれ、角度誤差を示す説明図。

【符号の説明】 １ 回転多面鏡 １ａ〜１ｄ 反射面 ３ コリメータレンズ ４ ビームスプリッタ ５，６ 焦点板 ５Ａ，６Ａ 焦点面 ７ 光源 ８ 集光レンズ ９ 回転多面鏡 ９ａ〜９ｄ 反射面 １０ 波面形状制御部 １１ 点状光源 １２ ターゲット １３ 像位置検出部 １４ コンピュータ １５ レーザー光源 １６ テレビカメラ １６Ａ 焦点面 １７ 波面変換レンズ １８ 波面変換ホログラム １９ 信号処理部 ２０ ＣＣＤイメージセンサ ２０Ａ，２０Ｂ ラインセンサ ２１ 焦点面

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 非平面な光反射面を等分割角度で複数面
   有した多面鏡を搭載し、中心点を中心に所定の角度回転
   する回転ステージと、 前記多面鏡の前記光反射面の１つに光を照射するための
   レンズ手段と、 前記レンズ手段に対して前記多面鏡の反対側に配置され
   る光分岐手段と、 前記レンズ手段と前記多面鏡の間に設けられ、透過する
   光を所定の形状の光波面に変換する波面形状制御手段
   と、 前記光分岐手段によって分岐された分岐光路の１つの光
   路上に設けられ、前記レンズ手段の光束集光点に位置さ
   せられた基準被写像と、 前記光分岐手段の前記分岐光路の他の１つの光路上に設
   けられ、前記多面鏡の前記光反射面によって反射された
   前記基準被写像の結像位置を検出する像位置検出手段
   と、 前記像位置検出手段の検出結果に所定の演算を施して、
   前記波面形状制御手段の光学的な影響を考慮した前記基
   準複写像の結像位置の補正値を算出する演算手段と、 前記回転ステージが所定の角度回転する毎に得られる前
   記結像位置の補正値に基づいて前記多面鏡の各光反射面
   の横ずれ、角度誤差、或いは偏心を評価する評価手段を
   備えていることを特徴とする多面鏡評価装置。
2. 【請求項２】 前記演算手段は、前記像位置検出手段で
   検出された画像データｇ（ｘ，ｙ）に対し、 【数１】 の演算を行う構成を有する請求項１の多面鏡評価装置。
   但し、ｆ_R （ｘ，ｙ）は復元画像、ｋ（ｘ，ｙ）は復元
   のための適当なフィルター関数を表す。
3. 【請求項３】 前記フィルター関数ｋ（ｘ，ｙ）は、ｋ
   （ｘ，ｙ）のフーリエ変換Ｋ（ξ，η） 【数２】 で表される構成の請求項２の多面鏡評価装置。但し、Ｈ
   （ξ，η）は像劣化させる結像系のインパルス応答ｈ
   （ｘ，ｙ）のフーリエ変換、ξはｘに対応する空間周波
   数、ηはｙに対応する空間周波数である。
4. 【請求項４】 前記フィルター関数ｋ（ｘ，ｙ）は、ｋ
   （ｘ，ｙ）のフーリエ変換Ｋ（ξ，η） 【数３】 で表される構成の請求項２の多面鏡評価装置。但し、Ｈ
   （ξ，η）は像劣化させる結像系のインパルス応答ｈ
   （ｘ，ｙ）のフーリエ変換、Ｈ^* （ξ，η）はＨ（ξ，
   η）の複素共役、Ｐ_n は画像のノイズのパワースペクト
   ル、Ｐ_f は収差のない画像のパワースペクトル、ξはｘ
   に対応する空間周波数、ηはｙに対応する空間周波数で
   ある。