JPH08186223A - Resin composition for formation of tie bar - Google Patents
Resin composition for formation of tie barInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は樹脂封止型半導体素子に
用いられるリードフレームのモールド樹脂流れ止めタイ
バー用樹脂組成物に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin composition for a mold resin flow stop tie bar of a lead frame used in a resin-sealed semiconductor element.
【0002】[0002]
【従来の技術】樹脂封止型半導体素子は、一般にリード
フレームに半導体チップを接着し、ワイヤボンディング
後モールド樹脂により封止される。通常このリードフレ
ームにはモールド樹脂が、リード間に漏れでることを防
止するためにリードフームの成形品となる部分の外側に
タイバーが設けられている。2. Description of the Related Art Generally, a resin-encapsulated semiconductor element is formed by adhering a semiconductor chip to a lead frame, wire bonding, and then encapsulating with a molding resin. Usually, the lead frame is provided with a tie bar on the outer side of a portion of the lead frame, which is a molded product, in order to prevent the mold resin from leaking between the leads.
【0003】このタイバーの作用について、図面を用い
て説明する。図1はリードフレーム1の二辺を示す模式
図である。リードフレーム1にはリード間から漏れだし
たモールド樹脂の流れ止め用タイバー2が、リードフレ
ーム1の成形品となる部分の外側に設けられている。図
2はモールド樹脂が充填された模式図を示す。モールド
樹脂5はバリとしてモールドライン4から、更にタイバ
ーリード間まで充填される。図3は、図2においてモー
ルドライン4とタイバー2の間の充填されたモールド樹
脂5をタイバー2と共に金型プレスにより打抜き除去し
た後の状態を示す模式図である。The operation of the tie bar will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic view showing two sides of the lead frame 1. The lead frame 1 is provided with a tie bar 2 for preventing the flow of the mold resin leaking from between the leads outside the portion of the lead frame 1 which is a molded product. FIG. 2 shows a schematic diagram in which the mold resin is filled. The mold resin 5 is filled as burrs from the mold line 4 and further between the tie bar leads. FIG. 3 is a schematic view showing a state after the mold resin 4 filled between the mold line 4 and the tie bar 2 in FIG. 2 is punched and removed together with the tie bar 2 by a die press.
【0004】最近の半導体素子の大型化、高密度化に伴
うリードの多ピン化によりリード線間の間隔が益々狭く
なり、金型プレスによる打抜法は限界となってきてい
る。即ち打抜き金型の加工が困難になったり、プレスに
よる摩耗が大きくなり、高価な金型の寿命が短くなるた
めパッケージ全体のコトスアップにつながるっている。
そこで、予めタイバーを具備しないリードフレームを作
成し、このリードフレームに絶縁性の有機材料からなる
タイバーを形成する方法(例えば、特開平1−2418
50号公報、特開平2−122660号公報)が提案さ
れている。このリードフレームに絶縁性の有機材料を用
いてタイバーを形成する方法には、2通りある。まず従
来の方法と同様に成形品となる部分の外側に絶縁性の有
機材料を用いてタイバーを形成し、後工程で除去する方
法、又成形品となる部分の輪郭と同じ位置に絶縁性の有
機材料を用いてタイバーを形成し、モールド樹脂と一体
化する方法である。With the recent increase in the size and density of semiconductor elements and the increase in the number of leads, the spacing between lead wires is becoming narrower, and the punching method using a die press is reaching its limit. That is, it becomes difficult to process the punching die, wear of the die is increased, and the life of the expensive die is shortened, which leads to a cost increase of the entire package.
Therefore, a method of forming a lead frame without a tie bar in advance and forming a tie bar made of an insulating organic material on the lead frame (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 1-2418)
No. 50, Japanese Patent Laid-Open No. 2-122660) have been proposed. There are two methods for forming the tie bar on the lead frame by using an insulating organic material. First, as in the conventional method, a tie bar is formed on the outside of the part to be a molded product using an insulating organic material, and it is removed in a later step. This is a method of forming a tie bar using an organic material and integrating it with a mold resin.
【0005】前者の場合、タイバー用有機材料としては
以下のような特性が必要となる。 1)リード間を隙間なくうめることができること 2)リードフレームへの半導体素子の接着及びワイヤボ
ンディング時の温度で変形、アウトガスがないこと 3)モールド樹脂の成形温度、成形圧力及び金型の圧縮
圧に耐えモールド樹脂の流れを止めることができること 4)型締圧によりリードの変形及び圧縮変形がないこと 5)成形後、除去が容易なこと 後者の特性としては、 1)リード間を隙間なくうめることができること 2)、3)上記に同じ 4)正確な位置にタイバーが形成できること 5)モールド樹脂との密着性に優れ、吸湿した時リード
間のリーク電流が発生することのないこと等が挙げられ
る 又、上記の各特性に加えて、更に生産性を考慮するとタ
イバー用有機材料としては、特開平3−218032号
公報に開示されている光硬化型樹脂、特開昭62−15
8351号公報に開示されているテフロンテープに代表
される耐熱テープ等が挙げられる。光硬化型樹脂に関し
ては、一般に紫外線硬化型樹脂が使用されている。しか
し、上記の公報においては具体的な樹脂の例示がなく特
徴が明白でない。本発明者らは紫外線硬化型樹脂につい
て種々検討した結果、以下のことが判明した。紫外線硬
化型樹脂は硬化物が一般に脆かったり、紫外線硬化後は
柔らかく可撓性があるものでも、半導体チップの接着や
ワイヤボンディング時にかかる熱により脆くなり、モー
ルド成形時の金型の圧力により金型に接触したタイバー
にクラックが発生し、モールド樹脂がはみ出すことがあ
り成形歩留りの低下をきたしていた。In the former case, the following characteristics are required for the tie bar organic material. 1) Capable of filling the gaps between the leads without gaps 2) No deformation or outgas at the temperature of bonding the semiconductor element to the lead frame and wire bonding 3) Molding resin molding temperature, molding pressure and mold pressure To withstand the flow of mold resin 4) No deformation or compression deformation of the leads due to mold clamping pressure 5) Easy removal after molding 1) The characteristics of the latter are: 1) Fill the gaps between the leads without gaps. 2), 3) Same as above 4) Tie bar can be formed at accurate position 5) Excellent adhesion to mold resin and no leakage current between leads when absorbing moisture Further, in consideration of productivity in addition to the above characteristics, an organic material for a tie bar is disclosed in JP-A-3-218032. Photocurable resin, JP-A-62-15
A heat resistant tape represented by the Teflon tape disclosed in Japanese Patent No. 8351 can be used. As the photocurable resin, an ultraviolet curable resin is generally used. However, in the above publication, no specific resin is exemplified and the characteristics are not clear. As a result of various studies on the ultraviolet curable resin, the present inventors have found out the following. UV curable resins are generally brittle when cured, or even soft and flexible after UV curing, but become brittle due to the heat applied during semiconductor chip bonding and wire bonding. The tie bar contacting the mold was cracked, and the molding resin sometimes extruded, resulting in a decrease in molding yield.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、特にモール
ド後除去する方法に適用する樹脂の検討を行った結果、
リードフレームへのタイバー成形性、低アウトガス性、
モールド樹脂の流れ止め性に優れ、更にモールド樹脂成
形後、加圧水をかけることにより容易に除去し得るタイ
バー用樹脂組成物を提供するものである。DISCLOSURE OF INVENTION Problems to be Solved by the Invention The present invention has been made as a result of the examination of resins applied to a method of removing after molding.
Formability of tie bar on lead frame, low outgassing,
It is intended to provide a resin composition for a tie bar which has an excellent flow-proof property of a mold resin and which can be easily removed by applying pressurized water after molding the mold resin.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は式(1)で示さ
れるジアクリレート、光増感剤及び揺変剤を必須成分と
し、かつ式(1)で示されるジアクリレートを全アクリ
レート中に30重量%以上含むタイバー形成用樹脂組成
物である。The present invention comprises a diacrylate represented by the formula (1), a photosensitizer and a thixotropic agent as essential components, and the diacrylate represented by the formula (1) in all acrylates. A resin composition for forming a tie bar containing 30% by weight or more.
【0008】[0008]
【化2】 (XはH、CH3、C2H5、l、m、n、p、qは各々
1以上の整数)Embedded image (X is H, CH 3 , C 2 H 5 , l, m, n, p and q are each an integer of 1 or more)
【0009】式(1)のジアクリレートの重量平均分子
量は、特に限定されないが500以上から10,000
以下であることが好ましい。500未満では樹脂の硬化
物が硬過ぎてモールド成形時の金型の圧力により金型に
接触したタイバーにクラックが発生したりして好ましく
ない。10,000を超えると樹脂の硬化物が柔らか過
ぎモールド成形性に劣る。重量平均分子量は、ゲルパー
ミュエーションクロマトグラフィーにより測定する。
又、全アクリレート中の式(1)で示されるジアクリレ
ートが30重量%未満だと、可撓性、除去性に劣り好ま
しくない。式(1)のジアクリレートは、市場より容易
に入手可能であり、例えば商品名アロニックスM−61
00,M−6200,M−6250,M−6400,M
−6500(東亜合成化学工業・製)、ビスコート37
00(大阪有機化学工業・製)等がある。粘度低下、耐
熱性の向上、硬化性の向上等の目的で併用する場合のア
クリレートとしては、フェノールエチレンオキサイド変
性アクリレート、ノニルフェノールエチレンオキサイド
変性アクリレート、ノニルフェノールプロピレンオキサ
イド変性アクリレート、ビスフェノールAエチレンオキ
サイド変性アクリレート、イソシアヌル酸エチレンオキ
サイド変性ジアクリレート、イソシアヌル酸エチレンオ
キサイド変性トリアクリレート、1,6−ヘキサンジオ
ールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリ
レート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、ポ
リエチレングリコールジアクリレート、トリメチロール
プロパントリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘ
キサアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレ
ート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート等が
挙げられるが、これらに限定されるものではない。The weight average molecular weight of the diacrylate of the formula (1) is not particularly limited, but is 500 or more to 10,000.
The following is preferred. If it is less than 500, the cured product of the resin is too hard and the tie bar contacting the mold is cracked due to the pressure of the mold during molding, which is not preferable. If it exceeds 10,000, the cured product of the resin will be too soft and the moldability will be poor. The weight average molecular weight is measured by gel permeation chromatography.
If the diacrylate represented by the formula (1) is less than 30% by weight in all the acrylates, the flexibility and the removability are poor, which is not preferable. The diacrylate of formula (1) is easily available on the market, for example, trade name Aronix M-61.
00, M-6200, M-6250, M-6400, M
-6500 (Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.), Viscoat 37
00 (Osaka Organic Chemical Industry). When used together for the purpose of decreasing viscosity, improving heat resistance, improving curability, etc., as acrylates, phenol ethylene oxide modified acrylate, nonylphenol ethylene oxide modified acrylate, nonylphenol propylene oxide modified acrylate, bisphenol A ethylene oxide modified acrylate, isocyanuric Acid ethylene oxide modified diacrylate, isocyanuric acid ethylene oxide modified triacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, dipentaerythritol hexa Acrylate, pentaerythritol triacrylate Tetramethylolmethane tetraacrylate and the like, but not limited thereto.
【0010】本発明に用いる光増感剤としては、ミヒラ
ーケトン系、チオキサントン系、ベンゾフェノン系、ベ
ンゾインエーテル系化合物等が挙げられるが、これらに
限定されるものではない。本発明に用いる揺変剤とは、
例えばアエロジル(商品名)のようなサブミクロン粒径
の超微細フィラーを加えチキソトロピー性を付与する。
これによりディスペンス、スクリーン印刷法等でリード
フレームにタイバーを形成させることが可能となる。更
に硬化性を高めるためにチオール化合物、アミン系化合
物を少量加えることができる。又、タイバーの強度を向
上させるためにシリカ等のフィラーを添加することもで
きる。その際用いるフィラーは、リードフレームの圧縮
変形を防ぐため、平均粒径10μm以下の球状フィラー
が好ましい。更にその添加量は組成物の硬化性も考慮
し、全組成物中の75重量%以下であることが好まし
い。75重量%を越えると樹脂組成物の粘度が増加し、
印刷等でリードフレームへの形成が困難となる。Examples of the photosensitizer used in the present invention include, but are not limited to, Michler's ketone compounds, thioxanthone compounds, benzophenone compounds, benzoin ether compounds and the like. The thixotropic agent used in the present invention is
For example, an ultrafine filler having a submicron particle diameter such as Aerosil (trade name) is added to impart thixotropic properties.
This makes it possible to form tie bars on the lead frame by dispensing, screen printing, or the like. Further, a small amount of a thiol compound or an amine compound can be added to enhance the curability. Further, a filler such as silica may be added to improve the strength of the tie bar. The filler used at that time is preferably a spherical filler having an average particle diameter of 10 μm or less in order to prevent the lead frame from being compressed and deformed. Further, considering the curability of the composition, the addition amount thereof is preferably 75% by weight or less based on the entire composition. If it exceeds 75% by weight, the viscosity of the resin composition increases,
It becomes difficult to form the lead frame by printing or the like.
【0011】[0011]
【作用】本発明の紫外線硬化樹脂組成物は、モールド樹
脂の流れ止めとしての作用を示し、成形温度により硬化
物が適度な柔らかさを有するため、金型の圧締に対し、
リード線の圧縮変形がないため何ら支障なくアウターリ
ードの曲げ加工を行うことができる。更に柔軟な構造の
ため成形後はウォータージェット等の加圧水により、容
易にタイバーを除去することができる。本発明の樹脂組
成物は、式(1)で示されるジアクリレート、光増感剤
及び揺変剤を必須成分とするが、必要に応じて硬化促進
剤、フィラー、シリコーンオイルや液状ゴム等の低応力
化剤、消泡剤等の添加剤を予備混合し、三本ロールを用
いて混練し製造することができる。The UV-curable resin composition of the present invention acts as a flow stop for the mold resin, and the cured product has an appropriate softness depending on the molding temperature.
Since there is no compression deformation of the lead wire, the outer lead can be bent without any trouble. Further, since the structure is flexible, the tie bar can be easily removed by pressurized water such as a water jet after molding. The resin composition of the present invention contains a diacrylate represented by the formula (1), a photosensitizer and a thixotropic agent as essential components, and if necessary, a curing accelerator, a filler, a silicone oil, a liquid rubber, or the like. An additive such as a stress-reducing agent and an antifoaming agent can be premixed and kneaded using a three-roll mill to produce.
【0012】以下本発明を実施例を用いて説明する。 実施例1 式(1)において、R1がO−(CH2)4,R2が(CH
2)4,l=2であるジアクリレート100重量部、光増
感剤として商品名イルガキュアー184(チバガイギー
・製)3重量部、フィラーとして平均粒径1μmの球状
シリカ93重量部、揺変剤としてアエロジルR−805
(日本アエロジル社・製)10重量部を混練し、タイバ
ー用樹脂組成物を調製した。この樹脂組成物を厚さ12
5μm、0.3mmピッチ、リード数344のQFP銅
フレーム上に、モールドラインの外側に厚み30μm、
線幅0.3mmのワク状にスクリーンを通して印刷し、
80W/cm2の高圧水銀灯を15cmの高さから1分
間照射し硬化させた。次いで、ダイパット上に銀ペース
トを用いて半導体素子をマウントし、ワイヤボンディン
グした後、エポキシモールド樹脂を用いて樹脂封止をし
た。モールド樹脂はタイバー部分で完全に止まってい
た。最後に高圧水によるホーニングによりタイバーを完
全に除去することができた。タイバー除去後のリード線
は、圧縮変形、その他の変形は全くなかった。 実施例2 式(1)において、R1が(O−CH2−CH2)2,R2
が(CH2)4,l=5であるジアクリレートを用いた以
外は、実施例1と同様に樹脂組成物を調製し同様のモー
ルド性、除去性を調べ同様の結果が得られた。 実施例3 式(1)において、The present invention will be described below with reference to examples. Example 1 In the formula (1), R 1 is O— (CH 2 ) 4 and R 2 is (CH
2 ) 4 , 100 parts by weight of diacrylate having l = 2, 3 parts by weight of Irgacure 184 (manufactured by Ciba Geigy) as a photosensitizer, 93 parts by weight of spherical silica having an average particle diameter of 1 μm as a filler, and a thixotropic agent As Aerosil R-805
10 parts by weight (manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.) were kneaded to prepare a resin composition for tie bar. This resin composition has a thickness of 12
5 μm, 0.3 mm pitch, QFP copper frame with 344 leads, thickness 30 μm outside the mold line,
Print through a screen in a line shape with a line width of 0.3 mm,
A high pressure mercury lamp of 80 W / cm 2 was irradiated from a height of 15 cm for 1 minute to cure. Next, a semiconductor element was mounted on the die pad using silver paste, wire bonding was performed, and then resin sealing was performed using an epoxy mold resin. The mold resin was completely stopped at the tie bar. Finally, the tie bar could be completely removed by honing with high pressure water. After the tie bar was removed, the lead wire had no compression deformation or other deformation. Example 2 In formula (1), R 1 is (O—CH 2 —CH 2 ) 2 , R 2
Except that a diacrylate having (CH 2 ) 4 , 1 = 5 was used, a resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, and the same moldability and removability were examined and the same result was obtained. Example 3 In formula (1),
【0013】[0013]
【化3】 (l=3)Embedded image (L = 3)
【0014】を用いた以外は、実施例1と同様に樹脂組
成物を調製し同様のモールド性、除去性を調べ同様の結
果が得られた。A resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the resin was used, and the same moldability and removability were examined, and the same result was obtained.
【0015】比較例1 実施例1で用いたジアクリレート25重量部、ペンタエ
リスリトールトリアクリレート75重量部とした以外
は、実施例1と同様に樹脂組成物を調製し同様の評価を
行った結果、モールド樹脂封止時にタイバー用樹脂にク
ラックが発生し、モールド樹脂の漏れがあった。 比較例2 実施例1のジアクリレート100重量部に替えて、テト
ラプロピレングリコールジアクリレート100重量部を
用いた以外は、全て実施例1と同様にタイバー用樹脂組
成物を調製し同様に評価を行った結果、モールド樹脂封
止時にタイバー用樹脂にクラックが発生し、モールド樹
脂の漏れがあった。 比較例3 実施例1のジアクリレート100重量部に替えて、トリ
メチロールプロパントリアクリレート100重量部を用
いた以外は、全て実施例1と同様にタイバー用樹脂組成
物を調製し同様に評価を行った結果、モールド樹脂封止
時にタイバー用樹脂にクラックが発生し、モールド樹脂
の漏れがあった。Comparative Example 1 A resin composition was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that 25 parts by weight of diacrylate and 75 parts by weight of pentaerythritol triacrylate used in Example 1 were used. A crack was generated in the tie bar resin when the mold resin was sealed, and the mold resin leaked. Comparative Example 2 A resin composition for tie bars was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that 100 parts by weight of tetrapropylene glycol diacrylate was used instead of 100 parts by weight of diacrylate in Example 1. As a result, a crack was generated in the tie bar resin when the mold resin was sealed, and the mold resin leaked. Comparative Example 3 A resin composition for tie bar was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that 100 parts by weight of diacrylate of Example 1 was used and 100 parts by weight of trimethylolpropane triacrylate was used. As a result, a crack was generated in the tie bar resin when the mold resin was sealed, and the mold resin leaked.
【0016】[0016]
【発明の効果】本発明に従うと、多ピンリードフレーム
に対し、安価なモールド樹脂成形を行うための樹脂タイ
バーを生産性よく形成させることができる。According to the present invention, a resin tie bar for performing inexpensive molding resin molding can be formed on a multi-pin lead frame with high productivity.
【図1】リードフレームの二辺の模式図を示す。FIG. 1 is a schematic view of two sides of a lead frame.
【図2】モールド樹脂が充填された模式図を示す。FIG. 2 shows a schematic diagram in which a mold resin is filled.
【図3】モールドラインとタイバーの間に充填されたモ
ールド樹脂をタイバーと共に金型プレスにより打抜き除
去した後の状態の模式図を示す。FIG. 3 is a schematic diagram showing a state after the mold resin filled between the mold line and the tie bar is punched and removed by a die press together with the tie bar.
Claims (2)
増感剤及び揺変剤を必須成分とし、かつ式(1)で示さ
れるジアクリレートを全アクリレート中に30重量%以
上含むことを特徴とするタイバー形成用樹脂組成物。 【化1】 (XはH、CH3、C2H5、l、m、n、p、qは各々
1以上の整数)1. A diacrylate represented by the formula (1), a photosensitizer and a thixotropic agent as essential components, and the diacrylate represented by the formula (1) is contained in an amount of 30% by weight or more in all acrylates. A characteristic tie bar forming resin composition. Embedded image (X is H, CH 3 , C 2 H 5 , l, m, n, p and q are each an integer of 1 or more)
0,000である請求項1記載のタイバー形成用樹脂組
成物。2. The weight average molecular weight of the formula (1) is 500 to 1.
The resin composition for forming a tie bar according to claim 1, which is 10,000.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32818394A JPH08186223A (en) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | Resin composition for formation of tie bar |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32818394A JPH08186223A (en) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | Resin composition for formation of tie bar |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08186223A true JPH08186223A (en) | 1996-07-16 |
Family
ID=18207403
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32818394A Pending JPH08186223A (en) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | Resin composition for formation of tie bar |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08186223A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017105770A (en) * | 2015-12-09 | 2017-06-15 | 住友化学株式会社 | Compound, resin, resist composition, and method for producing resist pattern |
-
1994
- 1994-12-28 JP JP32818394A patent/JPH08186223A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017105770A (en) * | 2015-12-09 | 2017-06-15 | 住友化学株式会社 | Compound, resin, resist composition, and method for producing resist pattern |
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