JPH08178614A - 干渉計 - Google Patents
干渉計Info
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- JPH08178614A JPH08178614A JP7257253A JP25725395A JPH08178614A JP H08178614 A JPH08178614 A JP H08178614A JP 7257253 A JP7257253 A JP 7257253A JP 25725395 A JP25725395 A JP 25725395A JP H08178614 A JPH08178614 A JP H08178614A
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- JP
- Japan
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- interferometer
- movable mirror
- beam splitter
- electrode plate
- actuator
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02049—Interferometers characterised by particular mechanical design details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/35—Mechanical variable delay line
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 長時間にわたって、干渉計内の光路差の変動
をなくすことができる干渉計を提供する。 【構成】 マイケルソン型干渉計はビームスプリッタと
可動ミラーアセンブリから成る。ミラーは３つのピエゾ
電気アクチュエータによって背板に取付けられている。
可動ミラー素子はビームスプリッタを通る光の光路内で
背板に取付けられている。背板およびアクチュエータを
介してビームスプリッタにミラーを取付けた堅固な構造
によって時間的に安定した構造体が得られる。
をなくすことができる干渉計を提供する。 【構成】 マイケルソン型干渉計はビームスプリッタと
可動ミラーアセンブリから成る。ミラーは３つのピエゾ
電気アクチュエータによって背板に取付けられている。
可動ミラー素子はビームスプリッタを通る光の光路内で
背板に取付けられている。背板およびアクチュエータを
介してビームスプリッタにミラーを取付けた堅固な構造
によって時間的に安定した構造体が得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、干渉計に関する。本発
明は、特に、二重波長マイケルスン型の干渉計に適用で
きるが、それに限られるものではない。
明は、特に、二重波長マイケルスン型の干渉計に適用で
きるが、それに限られるものではない。
【０００２】
【従来の技術】マイケルスン型の公知の干渉計は、固定
ミラー（鏡）アセンブリと、可動ミラーアセンブリとビ
ームスプリッタから成る。このような構成は、図１に概
略的に示されている。準単色光源からの光は第１ビーム
スプリッタ７を通してセンサ６に供給される。このセン
サ６は温度、圧力等のようなある物理的特性を検出す
る。センサからの反射信号の一部は、再びビームスプリ
ッタ７を介して感知干渉計８に供給される。
ミラー（鏡）アセンブリと、可動ミラーアセンブリとビ
ームスプリッタから成る。このような構成は、図１に概
略的に示されている。準単色光源からの光は第１ビーム
スプリッタ７を通してセンサ６に供給される。このセン
サ６は温度、圧力等のようなある物理的特性を検出す
る。センサからの反射信号の一部は、再びビームスプリ
ッタ７を介して感知干渉計８に供給される。
【０００３】センサ内の光路差は、干渉がセンサで観察
されないように、光源の可干渉長より十分大きくなるよ
うに選ばれる。干渉計内の光路差はセンサ内の光路差を
正確に整合するように選ばれる。したがって、干渉計の
出力においてのみ、干渉縞が観察される。
されないように、光源の可干渉長より十分大きくなるよ
うに選ばれる。干渉計内の光路差はセンサ内の光路差を
正確に整合するように選ばれる。したがって、干渉計の
出力においてのみ、干渉縞が観察される。
【０００４】干渉計に入射する際、ビームは第２ビーム
スプリッタ１によって分割される。ビームの半分は固定
ミラー２に真っ直ぐ向かい、あとの半分は可動ミラー３
に反射される。固定ミラー２から反射された光は第２ビ
ームスプリッタである程度反射されて出力され（光路
ａ）、一方、可動ミラー３から反射された光は、ビーム
スプリッタを通してある程度透過されて出力される（光
路ｂ）。センサと干渉計の間の光路差に基づく干渉縞が
発生される。
スプリッタ１によって分割される。ビームの半分は固定
ミラー２に真っ直ぐ向かい、あとの半分は可動ミラー３
に反射される。固定ミラー２から反射された光は第２ビ
ームスプリッタである程度反射されて出力され（光路
ａ）、一方、可動ミラー３から反射された光は、ビーム
スプリッタを通してある程度透過されて出力される（光
路ｂ）。センサと干渉計の間の光路差に基づく干渉縞が
発生される。
【０００５】可動ミラーの位置は正確に機械加工したネ
ジ４を用いて矢印Ａで示す方向に手動で調節される。セ
ンサからの光と干渉計を通る光の間の光路差が変えられ
る。その結果得られる出力における光の強度の変化が測
定され、センサと干渉計の間の光路長の変化の表示を与
える。
ジ４を用いて矢印Ａで示す方向に手動で調節される。セ
ンサからの光と干渉計を通る光の間の光路差が変えられ
る。その結果得られる出力における光の強度の変化が測
定され、センサと干渉計の間の光路長の変化の表示を与
える。
【０００６】このような干渉計の限界を決めるものとし
て、出力の避けることができない周期性があり、このこ
とは、機器が狭い動的範囲でしか有効でないことを意味
する。動的範囲は、わずかに異なった波長の２つの準単
色光源を用い、センサから出射される光の２つの波長の
間の位相差を解析して縞数を決定することによって著し
く改善できる。
て、出力の避けることができない周期性があり、このこ
とは、機器が狭い動的範囲でしか有効でないことを意味
する。動的範囲は、わずかに異なった波長の２つの準単
色光源を用い、センサから出射される光の２つの波長の
間の位相差を解析して縞数を決定することによって著し
く改善できる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】干渉計の２つのアーム
の間の光路差を調節し、高い精度で維持することが極め
て重要である。その理由は、光路長の変化がセンサ内ま
たは干渉計自身のいずれで生じたとしても同様な出力が
観察されるからである。したがって、数時間にわたって
ナノメータ以下の正確さで干渉計内の光路差を維持する
ことが望ましい。明らかに、ネジは、正確に機械加工さ
れていたとしても、ナノメータの範囲に至るよりかなり
前に感度限界に達してしまう。
の間の光路差を調節し、高い精度で維持することが極め
て重要である。その理由は、光路長の変化がセンサ内ま
たは干渉計自身のいずれで生じたとしても同様な出力が
観察されるからである。したがって、数時間にわたって
ナノメータ以下の正確さで干渉計内の光路差を維持する
ことが望ましい。明らかに、ネジは、正確に機械加工さ
れていたとしても、ナノメータの範囲に至るよりかなり
前に感度限界に達してしまう。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によると、干渉計
は、ビームスプリッタおよびビームスプリッタに隣接し
た可動ミラーアセンブリから成り、可動ミラーアセンブ
リは、一端がビームスプリッタに取付けられた少なくと
も１つのアクチュエータと、アクチュエータの他端に取
付けられた背板と、背板に取付けられた可動ミラー素子
とを有する。
は、ビームスプリッタおよびビームスプリッタに隣接し
た可動ミラーアセンブリから成り、可動ミラーアセンブ
リは、一端がビームスプリッタに取付けられた少なくと
も１つのアクチュエータと、アクチュエータの他端に取
付けられた背板と、背板に取付けられた可動ミラー素子
とを有する。
【０００９】好ましくは、アクチュエータは、ピエゾ電
気アクチュエータである。１つまたはそれ以上のピエゾ
電気アクチュエータを用いることによって、ミラーの位
置が調節でき、高い精度で維持できる。特に、可動ミラ
ーが背板およびアクチュエータを介してビームスプリッ
タに機械的に取付けられているような装置の堅固な構造
によって、干渉計に極めて高い時間的な安定性が与えら
れる。
気アクチュエータである。１つまたはそれ以上のピエゾ
電気アクチュエータを用いることによって、ミラーの位
置が調節でき、高い精度で維持できる。特に、可動ミラ
ーが背板およびアクチュエータを介してビームスプリッ
タに機械的に取付けられているような装置の堅固な構造
によって、干渉計に極めて高い時間的な安定性が与えら
れる。
【００１０】好ましくは、アクチュエータは電気制御信
号源に電気的に接続されており、それによって、アクチ
ュエータは電気信号を加えられたとき変形され可動ミラ
ー素子の位置を変化させる。この調整により、干渉計に
対して維持される安定性と正確さが高められる。
号源に電気的に接続されており、それによって、アクチ
ュエータは電気信号を加えられたとき変形され可動ミラ
ー素子の位置を変化させる。この調整により、干渉計に
対して維持される安定性と正確さが高められる。
【００１１】好ましい実施例では、平板コンデンサの第
１電極板は可動ミラー素子に取付けられており、平板コ
ンデンサの第２電極板はビームスプリッタに取付けられ
ている。
１電極板は可動ミラー素子に取付けられており、平板コ
ンデンサの第２電極板はビームスプリッタに取付けられ
ている。
【００１２】コンデンサの容量はミラーの位置を感知す
るのに用いられる。この方法は非常に正確であり、１ナ
ノミータ以下の位置の変化の測定を可能にする。この装
置はまた比較的単純であり、可動ミラーの位置を電気信
号に直接変換できる。位置と信号電圧間の関係はリニア
（線形）であり、ほとんどヒステリシスがない。
るのに用いられる。この方法は非常に正確であり、１ナ
ノミータ以下の位置の変化の測定を可能にする。この装
置はまた比較的単純であり、可動ミラーの位置を電気信
号に直接変換できる。位置と信号電圧間の関係はリニア
（線形）であり、ほとんどヒステリシスがない。
【００１３】好ましくは、コンデンサの第１電極板は可
動ミラー素子上の導電性フィルムによって構成され、こ
のフィルムが可動ミラーアセンブリのミラー素子とな
る。構成は反射性材料のフィルムの使用によって簡単な
ものになり、鏡面とコンデンサの１つの電極板の両方の
機能を持つ。
動ミラー素子上の導電性フィルムによって構成され、こ
のフィルムが可動ミラーアセンブリのミラー素子とな
る。構成は反射性材料のフィルムの使用によって簡単な
ものになり、鏡面とコンデンサの１つの電極板の両方の
機能を持つ。
【００１４】好ましくは、コンデンサの第２電極板は可
動ミラー素子に対して定位置に固定されている。なお、
第２電極板は可動ミラーの反射面に対向して配置されて
いる。第２電極板は、好ましくは、ビームスプリッタと
可動ミラー素子の間の光路を囲むように配置された環状
体のようなリング形状である。このことにより、コンデ
ンサの第２電極板がビームスプリッタから可動ミラーを
通過する光を邪魔するのを回避できる。ミラーの変位が
感知されるコンデンサの中心はまたビーム光路の中心で
もある。したがって、万が一、ミラーがビーム軸線に垂
直な面から傾いたとしても、誤差は最少に抑えられる。
動ミラー素子に対して定位置に固定されている。なお、
第２電極板は可動ミラーの反射面に対向して配置されて
いる。第２電極板は、好ましくは、ビームスプリッタと
可動ミラー素子の間の光路を囲むように配置された環状
体のようなリング形状である。このことにより、コンデ
ンサの第２電極板がビームスプリッタから可動ミラーを
通過する光を邪魔するのを回避できる。ミラーの変位が
感知されるコンデンサの中心はまたビーム光路の中心で
もある。したがって、万が一、ミラーがビーム軸線に垂
直な面から傾いたとしても、誤差は最少に抑えられる。
【００１５】コンデンサの第２電極板は、都合の良いこ
とに、ビームスプリッタの面上の導電性フィルムによっ
て構成される。コンデンサの第１電極板及び第２電極板
上の、即ち、可動ミラーおよびビームスプリッタ上のフ
ィルムは、好ましくは、高い反射率であり、高い導電性
であり、化学的に不活性である金で作られる。
とに、ビームスプリッタの面上の導電性フィルムによっ
て構成される。コンデンサの第１電極板及び第２電極板
上の、即ち、可動ミラーおよびビームスプリッタ上のフ
ィルムは、好ましくは、高い反射率であり、高い導電性
であり、化学的に不活性である金で作られる。
【００１６】好ましくは、容量感知手段はコンデンサに
電気的に接続されており、それによって、コンデンサの
容量が可動ミラー素子の位置と共に変わるとき、素子の
位置が感知される。
電気的に接続されており、それによって、コンデンサの
容量が可動ミラー素子の位置と共に変わるとき、素子の
位置が感知される。
【００１７】好ましい実施例では、容量感知手段は制御
信号源と接続されており、感知手段、ピエゾ電気素子、
制御信号源およびそれらの間の接続線は可動ミラー素子
の位置を制御するためのサーボ系を構成する。したがっ
て、例えば、アクチュエータの「クリープ」、アクチュ
エータに供給される電圧のランダムな（不規則な）変
動、または部品の温度膨張／温度収縮等に起因するミラ
ー位置の変動は絶えず補償される。
信号源と接続されており、感知手段、ピエゾ電気素子、
制御信号源およびそれらの間の接続線は可動ミラー素子
の位置を制御するためのサーボ系を構成する。したがっ
て、例えば、アクチュエータの「クリープ」、アクチュ
エータに供給される電圧のランダムな（不規則な）変
動、または部品の温度膨張／温度収縮等に起因するミラ
ー位置の変動は絶えず補償される。
【００１８】干渉計は、好ましくは、固定ミラーアセン
ブリ、入力を干渉計に与えるオプティカルファイバ（光
学繊維）用の第１取付けアセンブリ、干渉計からの出力
を光学検出器に与えるオプティカルファイバ用の第２取
付けアセンブリをさらに有する。
ブリ、入力を干渉計に与えるオプティカルファイバ（光
学繊維）用の第１取付けアセンブリ、干渉計からの出力
を光学検出器に与えるオプティカルファイバ用の第２取
付けアセンブリをさらに有する。
【００１９】可動ミラーアセンブリ、固定ミラーアセン
ブリ、ビームスプリッタおよび第１、第２取付けアセン
ブリは、好ましくは、単一の基板に取付けられる。その
結果、干渉計のすべての部品の相対位置、したがって、
部品間の距離が安定に維持される。可動ミラーアセンブ
リの堅固な構造のために、１０時間を越える安定性が達
成されている。
ブリ、ビームスプリッタおよび第１、第２取付けアセン
ブリは、好ましくは、単一の基板に取付けられる。その
結果、干渉計のすべての部品の相対位置、したがって、
部品間の距離が安定に維持される。可動ミラーアセンブ
リの堅固な構造のために、１０時間を越える安定性が達
成されている。
【００２０】
【実施例】本発明を組み込んだ干渉計を図２〜図５を参
照して以下に説明する。
照して以下に説明する。
【００２１】図２は、ビームスプリッタ１０および可動
ミラーアセンブリ（組立体）１１を示す。スプリッタ１
０の他の３辺には、固定ミラーアセンブリ１８、出力オ
プティカルファイバ（光学繊維）取付け手段１９および
入力オプティカルファイバ取付け手段２０が配置されて
おり、これらは公知のものであり、図５に示されてい
る。
ミラーアセンブリ（組立体）１１を示す。スプリッタ１
０の他の３辺には、固定ミラーアセンブリ１８、出力オ
プティカルファイバ（光学繊維）取付け手段１９および
入力オプティカルファイバ取付け手段２０が配置されて
おり、これらは公知のものであり、図５に示されてい
る。
【００２２】スプリッタ１０は非偏光の５０−５０ビー
ムスプリッタであり、辺２０ｍｍの立方体から成り、７
００〜９００ｎｍの波長範囲（この範囲は干渉計の動作
範囲である）に対して被覆された反射防止層である面を
持っている。
ムスプリッタであり、辺２０ｍｍの立方体から成り、７
００〜９００ｎｍの波長範囲（この範囲は干渉計の動作
範囲である）に対して被覆された反射防止層である面を
持っている。
【００２３】可動ミラーアセンブリ１１は細長い直平行
６面体形状の３つのピエゾ電気アクチュエータ１２を介
してビームスプリッタに取付けられている。アクチュエ
ータは仮想円の円周上に等間隔に置かれている。これら
のアクチュエータは、任意の適当なピエゾ電気材料、例
えば、積層されたＰＺＴ−５Ｈから作られ、９×３×
１．４ｍｍの寸法を持つ。
６面体形状の３つのピエゾ電気アクチュエータ１２を介
してビームスプリッタに取付けられている。アクチュエ
ータは仮想円の円周上に等間隔に置かれている。これら
のアクチュエータは、任意の適当なピエゾ電気材料、例
えば、積層されたＰＺＴ−５Ｈから作られ、９×３×
１．４ｍｍの寸法を持つ。
【００２４】アクチュエータの各端部は光学的に平らな
ガラス製端片２１、２１’を持つ。１つの端片２１’は
スプリッタ１０に接着されており、他の端片２１はディ
スク形状の背板（バックプレート）１３に接着されてい
る。ディスク形状背板１３は１５ｍｍの直径と２．５ｍ
ｍの板厚を持ち、可動ミラー素子１４の後部に高い精度
で取付けられている。この背板はアクチュエータ１２を
可動ミラー素子１４に機械的に連結する機能を持つ。
ガラス製端片２１、２１’を持つ。１つの端片２１’は
スプリッタ１０に接着されており、他の端片２１はディ
スク形状の背板（バックプレート）１３に接着されてい
る。ディスク形状背板１３は１５ｍｍの直径と２．５ｍ
ｍの板厚を持ち、可動ミラー素子１４の後部に高い精度
で取付けられている。この背板はアクチュエータ１２を
可動ミラー素子１４に機械的に連結する機能を持つ。
【００２５】可動ミラー素子１４は、長さ１１ｍｍであ
り、直径９．５ｍｍである断面が円形であるシリンダ
（円筒体）である。鏡面は可動ミラー１４の一端を被覆
する金製ディスク１５で構成されている。ミラーの端面
は対象となる波長範囲に対して約λ／１０の平坦度を持
つ。可動ミラー１４に対向するビームスプリッタ１０の
表面上の環状の領域１６もやはりディスク１５と同心的
な環状体１６の構造の金被覆を支持している。この金被
覆環状体１６は、可動ミラー１４上のディスク１５と共
に、平板コンデンサ（キャパシタ）１７を構成する。ビ
ームスプリッタ１０上で環状体１６から導かれた金製分
岐部分９（図４参照）は電気的接点となる。ディスク１
５はそれに付着した同様な電気的接点（図示せず）を有
する。２つの接点は、ディスク１５と環状体１６の間の
容量から、可動ミラーとビームスプリッタとの間の距離
の値を導き出すのに用いられる。
り、直径９．５ｍｍである断面が円形であるシリンダ
（円筒体）である。鏡面は可動ミラー１４の一端を被覆
する金製ディスク１５で構成されている。ミラーの端面
は対象となる波長範囲に対して約λ／１０の平坦度を持
つ。可動ミラー１４に対向するビームスプリッタ１０の
表面上の環状の領域１６もやはりディスク１５と同心的
な環状体１６の構造の金被覆を支持している。この金被
覆環状体１６は、可動ミラー１４上のディスク１５と共
に、平板コンデンサ（キャパシタ）１７を構成する。ビ
ームスプリッタ１０上で環状体１６から導かれた金製分
岐部分９（図４参照）は電気的接点となる。ディスク１
５はそれに付着した同様な電気的接点（図示せず）を有
する。２つの接点は、ディスク１５と環状体１６の間の
容量から、可動ミラーとビームスプリッタとの間の距離
の値を導き出すのに用いられる。
【００２６】接続線２５は、ピエゾ電気アクチュエータ
１２から、およびキャパシタのディスク１５と環状体１
６から、コントローラ２２（モデルナンバーＱＣ１０１
として、クイーンズゲート インスツルメンツ リミテ
ィッドによって製造された）へ接続されている。ディス
ク１５と環状体１６の間の容量はコントローラによって
測定されて可動ミラーの位置の正確な指示を与える。コ
ントローラは、コンデンサ１７からの入力に応答してピ
エゾ電気アクチュエータ１２に−１５Ｖと＋２６Ｖの間
の可変電位差を供給し、それによってサーボ制御系が構
成されている。この「容量マイクロメータ」システムは
ナノメータ以下の正確さでミラーの位置を制御できる。
１２から、およびキャパシタのディスク１５と環状体１
６から、コントローラ２２（モデルナンバーＱＣ１０１
として、クイーンズゲート インスツルメンツ リミテ
ィッドによって製造された）へ接続されている。ディス
ク１５と環状体１６の間の容量はコントローラによって
測定されて可動ミラーの位置の正確な指示を与える。コ
ントローラは、コンデンサ１７からの入力に応答してピ
エゾ電気アクチュエータ１２に−１５Ｖと＋２６Ｖの間
の可変電位差を供給し、それによってサーボ制御系が構
成されている。この「容量マイクロメータ」システムは
ナノメータ以下の正確さでミラーの位置を制御できる。
【００２７】可動ミラーアセンブリ１１および固定ミラ
ーアセンブリ１８、入力オプティカルファイバ取付け手
段２０および出力オプティカルファイバ取付け手段１
９、およびビームスプリッタ１０はすべて取付けプレー
ト２３に固定されている。
ーアセンブリ１８、入力オプティカルファイバ取付け手
段２０および出力オプティカルファイバ取付け手段１
９、およびビームスプリッタ１０はすべて取付けプレー
ト２３に固定されている。
【００２８】前述のように可動ミラーを取付けることに
よって、堅固な構造体が作られる。特に、正確に機械加
工した背板１３（背板自体は高度に研磨したガラス製端
片を持つピエゾ電気アクチュエータ１２によってビーム
スプリッタに固定されている）に可動ミラーを取り付け
ることによって非常に安定した構造体が得られる。長期
間の安定性と共にミラーの極めて高い正確な位置決めが
この構造を用いて実証されている。
よって、堅固な構造体が作られる。特に、正確に機械加
工した背板１３（背板自体は高度に研磨したガラス製端
片を持つピエゾ電気アクチュエータ１２によってビーム
スプリッタに固定されている）に可動ミラーを取り付け
ることによって非常に安定した構造体が得られる。長期
間の安定性と共にミラーの極めて高い正確な位置決めが
この構造を用いて実証されている。
【００２９】勿論、本発明が多数の方法で実施されうる
ことは光学干渉計を熟知している者にとっては明らかで
ある。例えば、前述の実施例では３つのピエゾ電気アク
チュエータを用いているが、他の適当な数のピエゾ電気
アクチュエータを用いることもできる。
ことは光学干渉計を熟知している者にとっては明らかで
ある。例えば、前述の実施例では３つのピエゾ電気アク
チュエータを用いているが、他の適当な数のピエゾ電気
アクチュエータを用いることもできる。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
長時間にわたって、干渉計内の光路差を維持できる干渉
計が得られる。
長時間にわたって、干渉計内の光路差を維持できる干渉
計が得られる。
【図１】図１は、代表的な先行技術のセンサとマイケル
スン干渉計の配置を示す。
スン干渉計の配置を示す。
【図２】図２は、本発明の干渉計のうちのビームスプリ
ッタと可動ミラーアセンブリの概略側面図である。
ッタと可動ミラーアセンブリの概略側面図である。
【図３】図３は、図２のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】図４は、図２のＡ−Ａ断面図である。
【図５】図５は、一部が図２に示された干渉計の概略平
面図である。
面図である。
１０ ビームスプリッタ １１ 可動ミラーアセンブリ １８ 固定ミラーアセンブリ １９ 出力オプティカルファイバ取付け手段 ２０ 入力オプティカルファイバ取付け手段 １２ ピエゾ電気アクチュエータ １４ 可動ミラー素子 １３ 背板 １４ 可動ミラー １５ ディスク １６ 環状体 １７ 平板コンデンサ ２２ コントローラ
Claims (13)
- 【請求項１】 ビームスプリッタおよびビームスプリッ
タに隣接した可動ミラーアセンブリから成る干渉計にお
いて、可動ミラーアセンブリは、一端がビームスプリッ
タに取付けられた少なくとも１つのアクチュエータと、
アクチュエータの他端に取付けられた背板と、背板に取
付けられた可動ミラー素子とを有することを特徴とする
干渉計。 - 【請求項２】 請求項１記載の干渉計において、アクチ
ュエータは電気制御信号源に電気的に接続されており、
それによってアクチュエータは制御信号が加えられたと
き変形して可動ミラー素子の位置を変化させることを特
徴とする干渉計。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の干渉計におい
て、平板コンデンサの第１電極板は可動ミラー素子に取
付けられており、平板コンデンサの第２電極板はビーム
スプリッタに取付けらえていることを特徴とする干渉
計。 - 【請求項４】 請求項３記載の干渉計において、コンデ
ンサの第１電極板は可動ミラー素子の導電性フィルムに
よって形成されており、該フィルムが可動ミラーアセン
ブリのミラー素子となっていることを特徴とする干渉
計。 - 【請求項５】 請求項４記載の干渉計において、平板コ
ンデンサの第２電極板は可動ミラー素子に対して定位置
で固定されており、第２電極板は可動ミラーの反射面に
対向して配置されていることを特徴とする干渉計。 - 【請求項６】 請求項３乃至５のいずれか１つに記載の
干渉計において、第２電極板はビームスプリッタと可動
ミラー素子との間の光路を囲むように配置された環状体
のようなリング形状であることを特徴とする干渉計。 - 【請求項７】 請求項３乃至６のいずれか１つに記載の
干渉計において、第２電極板はビームスプリッタの面上
の導電性フィルムによって構成されていることを特徴と
する干渉計。 - 【請求項８】 請求項４または７に記載の干渉計におい
て、コンデンサの第１電極板および第２電極板を構成す
る導電性フィルムが金であることを特徴とする干渉計。 - 【請求項９】 請求項３乃至８のいずれか１つに記載の
干渉計において、コンデンサに電気的に接続された容量
感知手段をさらに有し、コンデンサの容量が可動ミラー
素子の位置と共に変化するとき、ビームスプリッタに対
する可動ミラー位置が感知されることを特徴とする干渉
計。 - 【請求項１０】 請求項９記載の干渉計において、容量
感知手段が前記制御信号源に接続されており、感知手
段、アクチュエータ、制御信号源およびそれらの間の電
気的接続線が可動ミラー素子の位置を制御するサーボ系
を構成することを特徴とする干渉計。 - 【請求項１１】 請求項１乃至１０のいずれか１つに記
載の干渉計において、固定ミラーアセンブリと、干渉計
に入力を与えるオプティカルファイバ用の第１取付けア
センブリと、干渉計に出力を与えるオプティカルファイ
バ用の第２取付けアセンブリと、をさらに有することを
特徴とする干渉計。 - 【請求項１２】 請求項１乃至１１のいずれか１つに記
載の干渉計において、可動ミラーアセンブリ、固定ミラ
ーアセンブリ、ビームスプリッタおよび前記第１および
第２取付けアセンブリが単一の基台に取付けられている
ことを特徴とする干渉計。 - 【請求項１３】 請求項１乃至１２のいずれか１つに記
載の干渉計において、アクチュエータがピエゾ電気アク
チュエータであることを特徴とする干渉計。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB9418738A GB9418738D0 (en) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | Interferometer |
| GB9418738.2 | 1994-09-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08178614A true JPH08178614A (ja) | 1996-07-12 |
Family
ID=10761476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7257253A Pending JPH08178614A (ja) | 1994-09-16 | 1995-09-11 | 干渉計 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JPH08178614A (ja) |
| GB (1) | GB9418738D0 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
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- 1995-09-11 JP JP7257253A patent/JPH08178614A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100149542A1 (en) * | 2007-04-18 | 2010-06-17 | Chemometec A/S | Interferometer actuator |
| US8259300B2 (en) * | 2007-04-18 | 2012-09-04 | Chemometec A/S | Interferometer actuator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0702205A3 (en) | 1997-01-08 |
| GB9418738D0 (en) | 1994-11-02 |
| EP0702205A2 (en) | 1996-03-20 |
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