JPH08167388A - Shadow mask and cathode ray tube using this shadow mask - Google Patents

Shadow mask and cathode ray tube using this shadow mask

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JPH08167388A
JPH08167388A JP30923494A JP30923494A JPH08167388A JP H08167388 A JPH08167388 A JP H08167388A JP 30923494 A JP30923494 A JP 30923494A JP 30923494 A JP30923494 A JP 30923494A JP H08167388 A JPH08167388 A JP H08167388A
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JP
Japan
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shadow mask
oxide
amount
grain
ray tube
Prior art date
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Pending
Application number
JP30923494A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masayoshi Ezawa
正義 江澤
Hiromi Kawagoe
弘美 川越
Sumiko Watanabe
澄子 渡辺
Yasuyoshi Mori
恭美 森
Toshikazu Morishita
敏和 森下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPH08167388A publication Critical patent/JPH08167388A/en
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Abstract

PURPOSE: To greatly improve the performance and reliability of a cathode-ray tube(CRT) by forming a specific amount of the metallic oxide in the grain inside and grain boundary on a side part of an electron beam passing hole of a shadow mask made of invar and the surface having an electron beam shielding surface. CONSTITUTION: The amount of the grain inside and grain boundary residual oxide after working a member made of invar is expressed by the generated amount of 0.05-17.0 units of Ni and Fe oxide, 0.01-3.9 units of Fe and Cr oxide, 0.04-5.5 units of Mn and Cr oxide, and 0.03-13.0 units of Mn and Fe oxide in terms of Cr oxide generated in the grain inside and grain boundary. The inver material is used where amorphous carbon (α-C) whose Raman park is detected at 1290-1310cm<-1> , 0.08-7.5 units of generated compound of each oxide and three or more kinds of chemical species of these compounds are formed. The performance and the reliability of a CRT 9 are greatly improved thereby.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、シャドウマスクの表面
に一定量の金属酸化膜を制御形成させたをアンバー材か
ら成る電子ビーム制御用シャドウマスクとこのシャドウ
マスクを備えた陰極線管に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electron beam control shadow mask made of an amber material in which a certain amount of a metal oxide film is controlled and formed on the surface of a shadow mask, and a cathode ray tube provided with this shadow mask.

【0002】[0002]

【従来の技術】通常、カラー陰極線管では、そのアンバ
ー材から成るシャドウマスク組立て用のシャドウマスク
部材は部品成形後に表面に残存するプレス油等を有機溶
剤又は水溶性洗浄剤で洗浄除去した清浄化品を使用して
組立てたのち、更に、有機溶剤又は水溶性洗浄剤で洗浄
除去した清浄化品を高温熱処理を行なっている。
2. Description of the Related Art Normally, in a color cathode ray tube, a shadow mask member for assembling a shadow mask made of an amber material is cleaned by removing press oil and the like remaining on the surface after molding parts with an organic solvent or a water-soluble cleaning agent. After assembling the product, the cleaned product which has been washed and removed with an organic solvent or a water-soluble cleaning agent is subjected to high temperature heat treatment.

【0003】すなわち、陰極線管に要求される電気的特
性を確保するために、電子ビ−ム制御用アンバー材から
成るシャドウマスクの一部分を電子ビームで照射した際
に、電子ビーム照射部位からの微量のガスの発生による
電気的特性の劣化を防止して所望とする電気的特性と機
械的特性を確保することを狙いとして各種の清浄化処理
と前記処理をさらに高温熱処理を施している。
That is, in order to secure the electrical characteristics required for a cathode ray tube, when a part of a shadow mask made of an amber material for controlling an electron beam is irradiated with an electron beam, a trace amount from an electron beam irradiation site is obtained. In order to prevent the deterioration of the electric characteristics due to the generation of the gas and to secure the desired electric characteristics and mechanical characteristics, various cleaning treatments and the above treatments are further subjected to high temperature heat treatment.

【0004】従来、この種の陰極線管に用いる電極部品
またはシャドウマスク等は加工品のプレス成型後は有機
溶剤又は水溶性洗浄剤で洗浄してプレス油等を除去した
清浄化品を更に各種の高温加熱熱処理清浄化法で出来得
る限り上記の各種使用金属部品又は金属部材の表面残存
不純物を低減した高清浄化品として使用していた。
Conventionally, electrode parts, shadow masks and the like used in this type of cathode ray tube are washed with an organic solvent or a water-soluble cleaning agent after the press molding of the processed product to remove the press oil and the like, and further various products are further cleaned. As far as possible by the high temperature heat treatment cleaning method, it has been used as a highly cleaned product in which impurities on the surface of the above-mentioned various used metal parts or metal members are reduced.

【0005】この清浄化処理は、前記部品を各種の有機
溶剤又は水溶性洗浄剤とイオン交換純水とを使用して複
数回の洗浄を行った後、更に、各種の高温加熱処理をお
こなっていた。
In this cleaning treatment, the parts are washed a plurality of times with various organic solvents or water-soluble detergents and ion-exchanged pure water, and then subjected to various high-temperature heat treatments. It was

【0006】なお、このような従来の金属部品や金属部
材の清浄化処理は周知であるので、特に文献は挙げな
い。
[0006] Since such conventional cleaning treatments for metal parts and metal members are well known, no reference is given thereto.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術による清
浄化処理では、シャドウマスク等の金属部品や金属部材
の各表面に残存する各種不純物のうち、特に、炭素が少
なくなるため、前記清浄化処理品を更に各種の高温加熱
処理をおこなって陰極線管に要求される電気的特性を確
保するための使用金属部品や金属部材の各表面に制御形
成させる金属酸化膜を所望とする酸化物の化学種とその
化学種からなる膜質、酸化膜形成量及び酸化膜構造に制
御形成させることが困難であった。
In the cleaning process according to the prior art described above, carbon is reduced particularly in various impurities remaining on the surfaces of metal parts such as shadow masks and metal members. Used to secure the electrical characteristics required for cathode ray tubes by subjecting the product to various high-temperature heat treatments. Chemical species of oxide for which a metal oxide film is desired to be formed on each surface of metal parts and metal members in a controlled manner. It was difficult to control the film quality, the amount of oxide film formed, and the oxide film structure composed of the chemical species.

【0008】すなわち、従来は有機溶剤又は水溶性洗浄
剤で洗浄除去した洗浄品を出来得る限り高清浄化すべく
長時間かけて有機溶剤又は水でリンス洗浄していたた
め、金属部品や金属部材の各表面に一定量の炭素を再現
性良く残存させることできなかったため、その後、前記
処理品を各種の高温加熱処理しても金属酸化膜を所望と
する酸化物の化学種とその化学種からなる膜質、酸化膜
形成量及び酸化膜構造に再現性良く制御形成させること
が困難であった。
That is, in the past, since the washed product removed by washing with the organic solvent or the water-soluble cleaning agent was rinsed with the organic solvent or water for a long time in order to make it as clean as possible, it was necessary to wash the metal parts and metal members. Since a certain amount of carbon could not be left on the surface with good reproducibility, the metal oxide film is then subjected to various high-temperature heat treatments, so that the metal oxide film has a desired oxide chemical species and a film quality composed of the chemical species. However, it was difficult to control and form the oxide film formation amount and the oxide film structure with good reproducibility.

【0009】前記清浄化後の金属部品や金属部材の各表
面に一定量の微量の炭素を再現性良く残存させ前記処理
品をその後の各種の高温加熱処理で陰極線管に要求され
る電気的特性を確保するための使用金属部品や金属部材
の各表面に金属酸化膜を消耗とする酸化物の化学種とそ
の化学種からなる膜質、酸化膜形成量および酸化膜構造
となるように制御形成するにあたって各種の検討を行っ
た結果、プレス成型後の金属部品や金属部材のプレス油
または防錆剤の除去清浄化には、有機溶剤又は水溶性洗
浄剤で洗浄除去した洗浄品を更に有機溶剤又は水でリン
ス洗浄する際の有機溶剤の濃度の最適化とリンス洗浄時
間を約10%〜15%短縮する処理を施す必要がある。
Electrical characteristics required for a cathode ray tube by allowing a certain amount of a trace amount of carbon to remain on each surface of the cleaned metal parts or metal members with good reproducibility and subjecting the processed product to various high temperature heat treatments thereafter. The chemical species of the oxide that consumes the metal oxide film and the film quality of the chemical species that consumes the metal oxide, the amount of oxide film formed, and the oxide film structure are controlled and formed on each surface of the metal component or metal member As a result of conducting various studies on the above, as a result of removing and cleaning the press oil or the rust preventive agent of the metal parts and metal members after press molding, the cleaned product washed with the organic solvent or the water-soluble cleaning agent is further washed with the organic solvent or It is necessary to optimize the concentration of the organic solvent at the time of rinsing with water and perform a treatment to shorten the rinsing cleaning time by about 10% to 15%.

【0010】このような処理で金属部品や金属部材の表
面に炭素を一定量残存させた前記処理品を各種の高温加
熱処理を行い、前記の金属部品や金属部材を使用して組
立製造することにより、陰極線管の所望とする電子放射
特性が得られる。
By the above-mentioned treatment, various kinds of high-temperature heat treatment are applied to the treated product in which a certain amount of carbon remains on the surface of the metal component or metal member, and the metal component or metal member is assembled and manufactured. As a result, the desired electron emission characteristics of the cathode ray tube can be obtained.

【0011】しかし、上記方法で金属部品や金属部材の
表面に炭素を一定量残存させた被処理品を使用して組み
立て製造した陰極線管では、その電気的特性にバラツキ
が生じるケ−スがあり、金属部品や金属部材の表面に炭
素を一定量残存させるための有機溶剤又は水溶性洗浄剤
で洗浄除去した洗浄品を更に有機溶剤又は水でリンス洗
浄する際のリンス洗浄時間の最適化及び水溶性洗浄剤で
洗浄除去した洗浄品の場合は、使用する水溶性洗浄剤の
濃度を最適化する等の困難な対策が必要とされていた。
However, in a cathode ray tube assembled and manufactured by using the object to be treated in which a certain amount of carbon remains on the surface of the metal part or the metal member by the above-mentioned method, there are cases in which the electric characteristics vary. , Optimization of the rinse cleaning time and rinse with the organic solvent or water to rinse the removed product washed with an organic solvent or water-soluble cleaning agent to leave a certain amount of carbon on the surface of metal parts or metal members In the case of washed products that have been washed away with a mild detergent, difficult measures such as optimizing the concentration of the water-soluble detergent used have been required.

【0012】本発明の第1の目的は、有機溶剤又は水溶
性洗浄剤で洗浄除去した洗浄品を更に清浄化する際の有
機溶剤又は水でのリンス洗浄時間をコントロールして金
属材料の表面に炭素を一定量残存させることにより、上
記従来技術の問題点を解消し、所望とする特性を確保可
能な陰極線管の電子ビーム制御用のアンバー材からなる
シャドウマスクを提供することにある。
A first object of the present invention is to control the rinsing and cleaning time with an organic solvent or water when further cleaning the cleaning product which has been removed by cleaning with an organic solvent or a water-soluble cleaning agent, and apply it to the surface of the metal material. An object of the present invention is to provide a shadow mask made of an amber material for controlling an electron beam of a cathode ray tube, which can solve the problems of the above-mentioned conventional techniques by keeping a certain amount of carbon and can secure desired characteristics.

【0013】また、本発明の第2の目的は、上記シャド
ウマスクを備えた陰極線管を提供することにある。
A second object of the present invention is to provide a cathode ray tube equipped with the above shadow mask.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上記第1の目的を達成す
るため、請求項1に記載の第1の発明は、含有元素の構
成比が、S:0.005wt%未満,PおよびC:0.
015wt%未満,Al:0.07wt%未満,Cr:
0.15wt%未満,Si:0.25wt%未満,M
n:0.20〜0.45wt%,Ni:35.3〜3
7.7wt%で、残部がFeから成るアンバー材を加工
成型後の粒内と粒界の表面と表面から深さ方向に分布す
る酸化物の内、表面層の金属の粒内部および金属の粒界
部に生成されたFe系の酸化物(Fe2 3 及び/また
はFe3 4 )、Ni系の酸化物(NiO)、およびM
n系の酸化物(MnO2 )を塩酸等の酸を用いたウエッ
ト前処理及び/またはAr+ イオン等を用いたドライ前
処理で溶解後の残存酸化物が、 上記粒内および粒界に生成しているCr系の酸化物
(Cr2 3 )を1としたとき、 NiとFe系の酸化物(NiFe2 4 )の生成量が
0.05〜17.0、 FeとCr系の酸化物(FeCr2 4 )の生成量が
0.01〜3.9、 MnとCr系の酸化物(MnCr2 4 )の生成量が
0.04〜5.5、 MnとFe系の酸化物(MnFe2 4 )の生成量が
0.03〜13.0、 1290cm-1〜1310cm-1にラマンピークが検
出されるアモルファス炭素)α−C)と上記〜の各
酸化物の化合物の生成量が0.08〜7.5で、かつ上
記〜の化合物の化学種が3以上形成されてなる上記
アンバー材を使用したことを特徴とする。
In order to achieve the first object, the first invention according to claim 1 is such that the constituent ratio of the contained elements is S: less than 0.005 wt%, P and C: 0.
Less than 015 wt%, Al: less than 0.07 wt%, Cr:
Less than 0.15 wt%, Si: less than 0.25 wt%, M
n: 0.20 to 0.45 wt%, Ni: 35.3 to 3
7.7 wt%, an amber material with the balance being Fe, after processing and molding, in the grains and on the surface of the grain boundaries and in the oxide distributed in the depth direction from the surface, inside the grains of the metal of the surface layer and grains of the metal Fe-based oxide (Fe 2 O 3 and / or Fe 3 O 4 ) generated in the boundary, Ni-based oxide (NiO), and M
Residual oxides formed after dissolution of n-type oxide (MnO 2 ) by wet pretreatment using acid such as hydrochloric acid and / or dry pretreatment using Ar + ions are generated in the above-mentioned grains and grain boundaries. When the amount of the Cr-based oxide (Cr 2 O 3 ) is 1, the amount of Ni and Fe-based oxide (NiFe 2 O 4 ) produced is 0.05 to 17.0. The amount of oxide (FeCr 2 O 4 ) produced is 0.01 to 3.9, the amount of Mn and Cr oxide (MnCr 2 O 4 ) produced is 0.04 to 5.5, and Mn and Fe Compounds of oxide (MnFe 2 O 4 ) production amount of 0.03 to 13.0, amorphous carbon whose Raman peak is detected at 1290 cm −1 to 1310 cm −1 α-C) and each of the above oxides. The production amount of 0.08 to 7.5, and 3 or more chemical species of the above compounds are formed. And characterized by using the members material.

【0015】また、上記第1の目的を達成するために、
請求項2に記載の第2の発明は、第1の発明において、
前記加工後に高温熱処理したシャドウマスクの粒内と粒
界に形成されている化学種の生成量が、それぞれ、前記
の生成量が、粒界1に対して粒内0.4〜0.9、前
記の生成量が、粒界1に対して粒内1.05〜5.
0、前記の生成量が、粒界1に対して粒内1.04〜
3.9、前記の生成量が、粒界1に対して粒内1.0
2〜3.6、前記の生成量が、粒界1に対して粒内
1.01〜2.9、前記の生成量が、粒界1に対して
粒内0.3〜1.9、であることを特徴とする。
In order to achieve the first object,
A second invention described in claim 2 is the first invention,
The generation amount of the chemical species formed in the grain and the grain boundary of the shadow mask which is subjected to the high temperature heat treatment after the processing is 0.4 to 0.9 in the grain with respect to the grain boundary 1, respectively. The above-mentioned production amount is 1.05 to 5.
0, the above-mentioned production amount is 1.04 to 1.0 in the grain with respect to the grain boundary 1.
3.9, the above-mentioned production amount is 1.0 inside the grain with respect to 1 grain boundary
2 to 3.6, the amount of generation is 1.01 to 2.9 in the grain with respect to the grain boundary 1, the amount of generation is 0.3 to 1.9 in the grain with respect to the grain boundary 1, Is characterized in that.

【0016】さらに、上記第1の目的を達成するため
に、請求項3に記載の第3の発明は、前記金属酸化物等
の粒内部の凹凸が0.05〜μm、粒界部の凹凸が0.
05〜1.5μmであることを特徴とする。
Further, in order to achieve the above first object, the third invention according to claim 3 is such that the irregularities inside the grains of the metal oxide or the like are 0.05 to μm, and the irregularities at the grain boundary portion are Is 0.
It is characterized in that it is 05 to 1.5 μm.

【0017】そして、上記第2の目的を達成するため
に、請求項4に記載の第4の発明は、映像スクリーンで
あるパネル部、電子銃を収容するネック部、およびパネ
ル部とネック部を連接するファンネル部とから構成さ
れ、上記ファンネル部に電子銃から発射された3本の電
子ビームを電子ビーム制御用アンバー材製シャドウマス
クの電子ビーム通過孔を通してパネル部の内面に塗布形
成された蛍光面上に走査させる偏向ヨークを装着した陰
極線管において、前記シャドウマスクとして請求項1、
2または3に記載のシャドウマスクを用いたことを特徴
とする。
In order to achieve the above-mentioned second object, a fourth aspect of the present invention provides a panel portion which is an image screen, a neck portion which houses an electron gun, and a panel portion and a neck portion. Fluorescence is formed by coating the inner surface of the panel section through the electron beam passing holes of the shadow mask made of an amber material for controlling the electron beam, which is composed of a funnel section connected to each other and which is emitted from an electron gun on the funnel section. A cathode ray tube having a deflection yoke for scanning the surface thereof, wherein the shadow mask is used as the shadow mask.
The shadow mask described in 2 or 3 is used.

【0018】[0018]

【作用】陰極線管の電子放射特性のバラツキを安定化さ
せ、かつ、向上させるためには、当該陰極線管に通電し
てカソードを構成するNiキャツプの温度が730±5
゜Cで動作中に、上記Niキャツプ中にアクチベータと
して添加してあるマグネシウム(Mg)をNiキャツプ
の粒界を通して一定量が長時間安定して拡散蒸発させる
必要があると同時に、陰極線管の動作中にその電子ビー
ム制御用のアンバー材製シャドウマスクの表面と電子ビ
ーム通過孔の側面のそれぞれが電子ビームで照射された
際に電子ビーム照射面から微量のガスが放出され、これ
が原因で電子放射特性が劣化するケ−スがあり、前記電
子放射特性劣化の防止及び前記アンバー材製シャドウマ
スクに電子ビームが照射された面の温度上昇による電子
ビ−ム通過孔が機械的に変形して色ずれ劣化等の防止が
必要不可欠である。
In order to stabilize and improve the variation in the electron emission characteristics of the cathode ray tube, the temperature of the Ni cap constituting the cathode by energizing the cathode ray tube is 730 ± 5.
During operation at ° C, a certain amount of magnesium (Mg) added as an activator in the Ni cap must be stably diffused and evaporated through the grain boundaries of the Ni cap for a long time, and at the same time, the operation of the cathode ray tube. When the surface of the shadow mask made of amber material for controlling the electron beam and the side surface of the electron beam passage hole are irradiated with the electron beam, a small amount of gas is emitted from the electron beam irradiation surface, which causes electron emission. There is a case where the characteristics deteriorate, and the electron beam passage hole is mechanically deformed due to the prevention of the deterioration of the electron emission characteristics and the temperature rise of the surface of the shadow mask made of amber material irradiated with an electron beam, thereby causing a color change. Prevention of slippage deterioration is essential.

【0019】すなわち、上記条件で陰極線管を動作させ
た際に、動作中に電子ビーム照射面からの微量のガス放
出をなくし、かつ、電子ビーム通過孔が温度上昇による
が機械的な変形を防止するためには、前記アンバー材製
シャドウマスクの表面に上記欠点を解消可能な制御され
た膜質の金属酸化膜を形成することが必要である。
That is, when the cathode ray tube is operated under the above conditions, a slight amount of gas is not emitted from the electron beam irradiation surface during operation, and mechanical deformation is prevented even though the electron beam passage hole increases in temperature. In order to do so, it is necessary to form a metal oxide film of controlled film quality on the surface of the shadow mask made of amber material, which can eliminate the above-mentioned drawbacks.

【0020】その対策として、例えば、カラー陰極線管
用の電子ビーム制御部を構成するための各種部品の内、
電子ビーム通過孔を有する電子ビーム制御用シャドウマ
スク部に対して、 (1)プレス成形後の前記アンバー材製シャドウマスク
を有機溶剤又は水溶性洗浄剤で使用したプレス油を洗浄
除去したのち、前記洗浄後のアンバ−材製シャドウマス
クを更に清浄化する際の有機溶剤又は水でのリンス洗浄
時間を従来のそれより短くしてリンス洗浄したのち、前
記アンバ−材製シャドウマスクを例えばH2 中又は真空
中で900゜Cの高温でアニール熱処理後、更に、N2
中等の雰囲気中で700゜Cの高温で再度熱処理する。
As a countermeasure, for example, among various components for forming an electron beam control unit for a color cathode ray tube,
For the electron beam controlling shadow mask portion having electron beam passage holes, (1) after the press oil used in the organic solvent or the water-soluble cleaning agent for the shadow mask made of amber material after press molding is removed by washing, After cleaning the amber material shadow mask after cleaning, the rinse cleaning time with an organic solvent or water is made shorter than that in the conventional case, and then the amber material shadow mask is subjected to, for example, in H 2 . Alternatively, after annealing heat treatment at a high temperature of 900 ° C. in vacuum, N 2
Heat treatment again at a high temperature of 700 ° C. in a medium atmosphere.

【0021】(2)あるいは、プレス成形後の前記アン
バー材製シャドウマスクを水溶性洗浄剤で洗浄する際に
は使用する水溶性洗浄液中の水溶性洗浄剤の濃度を従来
使用濃度より高濃度化した液で洗浄後、更にリンス洗浄
したのち、前記アンバー材製シャドウマスクを例えばH
2 中又は真空中で900゜Cの高温でアニXル熱処理
後、更に、N2 中等の雰囲気中で700゜Cの高温で再
度熱処理して、前記アンバー材製シャドウマスクの表面
に付着残存する極微量不純物のうち、炭素が上記金属部
品の金属表面と電子ビーム通過孔側面の粒内と粒界に1
-4g/2μm2から10-9g/2μm2 の量の炭素を
残存させた上記アンバー材製シャドウマスクを例えばH
2 中又は真空中で900゜Cの高温でアニール熱処理
後、更に、N2 中等の雰囲気中で700゜Cの高温で再
度熱処理すると、処理後のアンバー材製シャドウマスク
の表面及び電子ビーム通過孔側面の粒界と粒内にそれぞ
れ所望とする特性を得るために形成した各種酸化物の形
状と化学種とを有した膜質のアンバー材製シャドウマス
クが得られる。
(2) Alternatively, when cleaning the amber material shadow mask after press molding with a water-soluble cleaning agent, the concentration of the water-soluble cleaning agent in the water-soluble cleaning liquid used is higher than the conventional concentration. After rinsing with the above liquid, the shadow mask made of amber material is washed with H.
After heat treatment at 900 ° C in an atmosphere of 2 or vacuum at a high temperature of 900 ° C, heat treatment is performed again at a high temperature of 700 ° C in an atmosphere such as N 2 to adhere and remain on the surface of the shadow mask made of amber material. Among the trace amount of impurities, carbon is present on the metal surface of the above-mentioned metal component, inside the grain on the side surface of the electron beam passage hole, and at grain boundaries.
For example, the shadow mask made of amber material in which carbon in an amount of 0 −4 g / 2 μm 2 to 10 −9 g / 2 μm 2 is left is
After annealing heat treatment at a high temperature of 900 ° C in 2 or in vacuum, and then heat treatment again at a high temperature of 700 ° C in an atmosphere such as N 2 , the surface of the shadow mask made of amber and the electron beam passage holes It is possible to obtain a shadow mask made of amber material having a film quality and having various oxide shapes and chemical species formed to obtain desired characteristics on the side grain boundaries and inside the grains.

【0022】前記第1〜第3の発明のシャドウマスクは
上記した各種酸化物の形状と化学種とを有した膜質のシ
ャドウマスクとなり、このシャドウマスクを使用して陰
極線管を構成することによって、所望とする電気的特性
を確保することが出来る。
The shadow masks of the first to third inventions are film-type shadow masks having the above-mentioned various oxide shapes and chemical species. By using this shadow mask to construct a cathode ray tube, It is possible to secure desired electrical characteristics.

【0023】[0023]

【実施例】以下、本発明の実施例につき、図面を参照し
て詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings.

【0024】図1は本発明にかかる陰極線管の1実施例
を説明するためのカラー陰極線管の構造を説明する断面
図であって、1はパネル部、2はネック部、3はファン
ネル部、4は蛍光面、5はアンバー材製シャドウマス
ク、6はマスクフレーム、7は磁気シールド、8は懸架
スプリング、9は電子銃、10は偏向ヨーク、11は外
部磁気装置である。
FIG. 1 is a sectional view for explaining the structure of a color cathode ray tube for explaining one embodiment of the cathode ray tube according to the present invention, in which 1 is a panel portion, 2 is a neck portion, 3 is a funnel portion, 4 is a phosphor screen, 5 is an amber material shadow mask, 6 is a mask frame, 7 is a magnetic shield, 8 is a suspension spring, 9 is an electron gun, 10 is a deflection yoke, and 11 is an external magnetic device.

【0025】同図において、このカラー陰極線管は映像
スクリーンであるパネル部1、電子銃を収容するネック
部2、およびパネル部とネック部を連接するファンネル
部3とから構成され、上記ファンネル部3には電子銃9
から発射された3本の電子ビームBを電子ビーム制御用
アンバー材製シャドウマスク5の孔(電子ビーム通過
孔)を通してパネル部1の内面に塗布形成された蛍光面
4上に走査させる偏向ヨーク10が装着される。
In FIG. 1, the color cathode ray tube comprises a panel portion 1 which is an image screen, a neck portion 2 for accommodating an electron gun, and a funnel portion 3 connecting the panel portion and the neck portion. Have an electron gun 9
A deflection yoke 10 for scanning the three electron beams B emitted from the electron beam B through a hole (electron beam passage hole) of a shadow mask 5 made of an amber material for electron beam control and onto a fluorescent screen 4 formed by coating on the inner surface of the panel portion 1. Is installed.

【0026】上記ネック部2内に収容される電子銃は、
カソード構体,制御電極,集束電極,加速電極等から構
成される。上記カソード構体はカソードキャップを用い
ており、カソードキャップに塗布したアルカリ土類塩か
らなる電子放出物質からの電子ビームを制御電極に印加
される信号で変調し、集束電極,加速電極を通して所要
の断面形状とエネルギーを付与して蛍光面4に射突させ
て蛍光面を発光させる。
The electron gun housed in the neck 2 is
It is composed of a cathode structure, a control electrode, a focusing electrode, an accelerating electrode and the like. The cathode structure uses a cathode cap, and an electron beam from an electron emitting substance composed of an alkaline earth salt applied to the cathode cap is modulated by a signal applied to a control electrode, and a desired cross section is passed through a focusing electrode and an accelerating electrode. The shape and energy are applied to the fluorescent surface 4 to cause it to strike the fluorescent surface 4 to emit light.

【0027】上記シャドウマスク5はアンバー材製であ
り、カソードキャップに塗布したアルカリ土類塩からな
る電子放出物質からの電子ビームをアンバー材製のシャ
ドウマスク5の孔を通して蛍光面4に射突してこれを発
光させる。
The shadow mask 5 is made of an amber material, and an electron beam from an electron emitting substance composed of an alkaline earth salt applied to the cathode cap is projected onto the phosphor screen 4 through the holes of the shadow mask 5 made of an amber material. To make it emit light.

【0028】電子ビームは蛍光面4に達する途上におい
てネック部2とファンネル部3の遷移部に装着した偏向
ヨーク10により水平方向と垂直方向の偏向を受け、色
選別電極であるシャドウマスク5を通して蛍光面4に達
し、該蛍光面4上に2次元映像を形成する。
On the way to reach the phosphor screen 4, the electron beam is deflected in the horizontal and vertical directions by a deflection yoke 10 attached to the transition portion of the neck portion 2 and the funnel portion 3, and passes through a shadow mask 5 serving as a color selection electrode to cause fluorescence. The surface 4 is reached and a two-dimensional image is formed on the fluorescent surface 4.

【0029】図2は図1で説明したカラー陰極線管に用
いるインライン型カラー電子銃およびシャドウマスクの
構成例とその動作の説明図であって、(a)は電子銃の
部分破断した側面図、(b)は電子銃とシャドウマスク
の動作模式図である。
FIG. 2 is an explanatory view of a configuration example of an in-line type color electron gun and a shadow mask used in the color cathode ray tube described in FIG. 1 and its operation. FIG. 2 (a) is a side view showing a partially broken electron gun. (B) is a schematic view of the operation of the electron gun and the shadow mask.

【0030】同図(a)に示したように、この電子銃は
カソード,制御電極,集束電極,加速電極を所定の順序
と位置で配置してなり、上記カソードおよび各電極に給
電するためのピンを植立したステム部12と遮蔽カップ
13およびゲッタ14、コンタクトスプリング15等か
ら構成され、前記図1のネック部2内に収納される。
(a)に点線Aで囲んだ電子銃のカソードおよび各電極
部は、(b)に示したように、カソード構体30と第1
グリッドG1 ,第2グリッドG2 ,第3グリッドG3
第4グリッドG4 ,第5グリッドG5 ,第6グリッドG
6 から構成され、カソード構体30と第1グリッドG1
および第2グリッドG2 で所謂3極部を構成し、第2グ
リッドG2 ,第3グリッドG3 ,第4グリッドG4 ,第
5グリッドG5 ,第6グリッドG6 で集束加速部を構成
する。
As shown in FIG. 3A, this electron gun has a cathode, a control electrode, a focusing electrode, and an accelerating electrode arranged in a predetermined order and position. It comprises a stem portion 12 in which pins are planted, a shield cup 13, a getter 14, a contact spring 15 and the like, and is housed in the neck portion 2 of FIG.
The cathode and each electrode part of the electron gun surrounded by the dotted line A in (a) are the cathode assembly 30 and the first electrode assembly as shown in (b).
Grid G 1 , second grid G 2 , third grid G 3 ,
4th grid G 4 , 5th grid G 5 , 6th grid G
The cathode structure 30 and the first grid G 1
The second grid G 2 constitutes a so-called three-pole portion, and the second grid G 2 , the third grid G 3 , the fourth grid G 4 , the fifth grid G 5 , and the sixth grid G 6 constitute a focusing accelerating portion. To do.

【0031】カソード構体30で発生した電子ビームB
は3極部で取り込まれ、集束加速部で所要の断面形状と
エネルギーを付与されて蛍光面4方向に指向される。
Electron beam B generated at cathode assembly 30
Is taken in by the three-pole part, and given the required cross-sectional shape and energy in the focusing acceleration part, and is directed in the direction of the phosphor screen 4.

【0032】この電子ビームBは蛍光面4の直前に配置
されたシャドウマスク5で色選別されて蛍光面を構成す
る所定の蛍光体モザイクにランディングして発光させ、
映像を再生する。
The electron beam B is color-selected by a shadow mask 5 arranged immediately in front of the phosphor screen 4, and is landed on a predetermined phosphor mosaic constituting the phosphor screen to emit light.
Play the video.

【0033】同図(b)に示したカソード構体の概略構
造において、31は電子放出層、32はカソードキャッ
プ、33はヒータスリーブ、34はヒータである。
In the schematic structure of the cathode structure shown in FIG. 3B, 31 is an electron emission layer, 32 is a cathode cap, 33 is a heater sleeve, and 34 is a heater.

【0034】同図において、ヒータスリーブ33内には
ヒータ34が挿入設置されており、ヒータスリーブ31
の一端にニッケル(Ni)からなるカソードキャップ3
2が嵌合固定されてエミッタを構成している。
In the figure, a heater 34 is inserted and installed in the heater sleeve 33.
Cathode cap 3 made of nickel (Ni) at one end of
2 are fitted and fixed to form an emitter.

【0035】上記カソードキャップ32の表面にはアル
カリ土類塩を主体とした電子放出物質(Ba,Ca,S
r)Oが塗布されて電子放出層(エミッタ)31が形成
されている。
On the surface of the cathode cap 32, an electron emitting material (Ba, Ca, S) mainly composed of alkaline earth salt is formed.
r) O is applied to form an electron emission layer (emitter) 31.

【0036】この電子放出層31はヒータ34の加熱に
より熱電子を発生し、電子銃の電極内に取り込まれ、蛍
光面を発光させるために集束加速される。
The electron emission layer 31 generates thermoelectrons by the heating of the heater 34, is taken into the electrode of the electron gun, and is focused and accelerated to emit light from the phosphor screen.

【0037】シャドウマスク5は蛍光面4に近接して配
置され、その電子ビーム通過孔5aにより3本の電子ビ
ームBが所定の蛍光体に射突するよう色選択される。
The shadow mask 5 is arranged close to the phosphor screen 4, and its electron beam passage hole 5a is used to select the color so that the three electron beams B impinge on a predetermined phosphor.

【0038】図3は清浄化後の金属材料の粒界と粒内に
一定量の極微量炭素を付着残存させた後さらに高温熱処
理して得たシャドウマスクとこのシャドウマスクを用い
て組み立てる陰極線管の製造の概略を説明する工程図で
あって、100は一次洗浄工程、200は二次洗浄工
程、300は乾燥工程、400はアニール・黒化工程
(高温加熱アニール工程→高温加熱黒化工程)、500
は検査工程(寸法測定→表面形状測定工程→高温加熱ア
ニール処理品・高温加熱黒化処理品の表面等の生成酸化
物の化学種及びそれの生成量等の測定確認)、600は
シャドウマスク組立工程、700は陰極線管製造工程、
800は陰極線管の電気特性検査工程である。
FIG. 3 shows a shadow mask obtained by performing a high temperature heat treatment after depositing a certain amount of a trace amount of carbon on the grain boundaries and inside the grain of the metal material after cleaning, and a cathode ray tube assembled using this shadow mask. FIG. 4 is a process diagram for explaining the outline of the manufacturing process of 1., 100 is a primary cleaning process, 200 is a secondary cleaning process, 300 is a drying process, and 400 is an annealing / blackening process (high temperature heating annealing process → high temperature heating blackening process). , 500
Is an inspection process (dimension measurement → surface shape measurement process → measurement confirmation of chemical species of generated oxide and its generation amount on the surface of high temperature heating annealed product / high temperature heating blackened product) 600 is a shadow mask assembly Process 700 is a cathode ray tube manufacturing process,
Reference numeral 800 is a process for inspecting the electrical characteristics of the cathode ray tube.

【0039】同図において、工程100から工程500
は本発明によるアンバー材製のシャドウマスクのプレス
加工品を水溶性洗浄剤を使用して洗浄後、乾燥したの
ち、更に高温熱処理よるアニール・黒化するた場合の清
浄化用前処理と前記処理品の表面形状測定と高温加熱ア
ニール処理品・高温加熱黒化処理品の表面等の生成酸化
物の化学種及びそれの生成量等の測定確認等検査工程の
1例である。
In the figure, step 100 to step 500
Is a pretreatment for cleaning when the pressed product of the shadow mask made of amber material according to the present invention is washed with a water-soluble cleaning agent, dried, and then annealed / blackened by high temperature heat treatment and the above-mentioned treatment. This is an example of the inspection process such as the measurement of the surface shape of the product and the measurement confirmation of the chemical species of the produced oxide and the amount of the produced oxide on the surface of the product subjected to the high temperature heat annealing treatment and the high temperature heat blackening treatment.

【0040】一次洗浄工程100では図1に5で示した
アンバー材製のシャドウマスクのプレス品を水溶性洗剤
を使用した1%の水溶性洗剤を含む洗浄液を2槽の洗浄
槽に順に入れ、第1槽〜第2槽の各槽毎に6分間スプレ
イ洗浄したのち、第3槽〜第4槽の2槽からなるイオン
交換純水洗浄槽で各槽6分間スプレイリンス洗浄する。
In the primary cleaning step 100, the pressed product of the shadow mask made of amber material shown in FIG. 5 at 5 is filled with a cleaning solution containing 1% of a water-soluble detergent in two cleaning tanks in order, After spray cleaning for 6 minutes in each of the first tank to the second tank, each tank is spray rinse cleaned for 6 minutes in an ion exchange pure water cleaning tank composed of two tanks of the third tank to the fourth tank.

【0041】更に、前記一次洗浄工程100で洗浄した
一次洗浄処理品を二次洗浄工程200で水溶性洗剤を使
用した1%の水溶性洗剤を含む洗浄液を2槽の洗浄槽に
順に入れ、第5槽〜第6槽の各槽毎に6分間スプレイ洗
浄したのち、第7槽〜第8槽の2槽からなるイオン交換
純水洗浄槽で各槽6分間スプレイリンス洗浄し、乾燥工
程300で乾燥する。
Further, in the secondary cleaning step 200, the cleaning solution containing 1% of the aqueous cleaning agent containing the primary cleaning treatment product cleaned in the primary cleaning step 100 is put into two cleaning tanks in order, and After spray cleaning for 6 minutes for each of the 5th tank to the 6th tank, each tank is spray rinsed for 6 minutes in an ion exchange pure water cleaning tank consisting of 2 tanks of the 7th tank to the 8th tank, and in the drying step 300 dry.

【0042】前記一次洗浄工程100〜二次洗浄工程2
00の各洗浄工程での洗浄には各槽毎の洗剤濃度及び洗
浄時間をいずれも従来実施している既知の条件の二分の
一の値で洗浄して、被処理品であるアンバー材製のシャ
ドウマスクの表面に極微量の水溶性洗剤を付着残存させ
てた状態で乾燥工程300で乾燥する。
First cleaning step 100 to second cleaning step 2
For the cleaning in each cleaning step of No. 00, the detergent concentration and the cleaning time for each tank were washed at a value of one half of the known condition that is conventionally used, In the drying step 300, a very small amount of the water-soluble detergent is left on the surface of the shadow mask.

【0043】高温熱処理工程400でアニール及び黒化
処理(高温加熱アニール工程→高温加熱黒化工程)、し
たのち、測定工程500で前記処理品のアンバー材製の
シャドウマスク表面の粒界と粒内の形状測定と高温加熱
アニール処理品・高温加熱黒化処理品の表面等の生成酸
化物の化学種及びそれの生成量等の測定確認する。
In the high temperature heat treatment step 400, annealing and blackening treatment (high temperature heating annealing step → high temperature heating blackening step) are performed, and then, in the measuring step 500, the grain boundaries and the inside of the shadow mask surface of the amber material of the treated product And confirm the measurement of the chemical species of oxides produced on the surface of the high temperature heat annealed products and the high temperature heat blackened products and the amount of the oxides produced.

【0044】前記アンバー材製のシャドウマスクは、陰
極線管用部材組立て工程600でアンバー材製のシャド
ウマスク構体に組立てられた後、陰極線管製造工程70
0において陰極線管に組み込む。組み立てられた陰極線
管は出荷検査工程800で電気的特性の測定を行う。
The shadow mask made of amber material is assembled into a shadow mask structure made of amber material in a cathode ray tube member assembling step 600, and then a cathode ray tube manufacturing step 70.
At 0, it is installed in a cathode ray tube. The electrical characteristics of the assembled cathode ray tube are measured in the shipping inspection process 800.

【0045】この測定検査結果から陰極線管の電子放射
特性は所望とする初期の特性を満足し、かつ、前記特性
測定検査を完了した陰極線管の中から抜き取ったものを
長時間動作させても規定時間の動作が可能で良好な電子
放射特性を示すことを確認することができた。
From the measurement / inspection results, the electron emission characteristics of the cathode ray tube satisfy the desired initial characteristics, and are defined even if the cathode ray tube extracted from the cathode ray tube for which the characteristic measurement / inspection has been completed is operated for a long time. It was confirmed that it could operate for a time and showed good electron emission characteristics.

【0046】図4は本発明によるシャドウマスクを構成
するアンバー材のプレス品を脱脂洗浄後更にリンス洗浄
したのち高温熱処理しその表面に形成された金属酸化物
の塩酸処理前における粒界と粒内の表面形状を測定した
一例を説明する電子顕微鏡写真の模写図である。
FIG. 4 shows the grain boundaries and the grain boundaries of the metal oxide formed on the surface of the pressed amber material of the shadow mask according to the present invention, which is subjected to degreasing cleaning, rinse cleaning, and then high temperature heat treatment before hydrochloric acid treatment. FIG. 6 is a copy of an electron micrograph for explaining an example of measuring the surface shape of FIG.

【0047】同図において、(a)は粒内の表面形状、
(b)は粒界の表面形状をそれぞれの20000倍の電
子顕微鏡写真の模写図を示す。
In the figure, (a) is the surface shape inside the grain,
(B) shows an electron micrograph of the surface shape of the grain boundary at each 20,000 times.

【0048】図5は本発明によるシャドウマスクの図4
(a)に示した粒内の表面に形成された金属酸化物の塩
酸処理前の化学種を確認するためのレーザーラマン測定
結果の一例の説明図である。
FIG. 5 is a diagram of a shadow mask according to the present invention.
It is explanatory drawing of an example of the laser Raman measurement result for confirming the chemical species of the metal oxide formed in the surface in the grain shown in (a) before hydrochloric acid treatment.

【0049】図6は本発明によるシャドウマスクの図4
(b)に示した粒界の表面に形成された金属酸化物の塩
酸処理前の化学種を確認するためのレーザーラマン測定
結果の一例の説明図である。
FIG. 6 is a diagram of a shadow mask according to the present invention.
It is explanatory drawing of an example of a laser Raman measurement result for confirming the chemical species before the hydrochloric acid treatment of the metal oxide formed on the surface of the grain boundary shown in (b).

【0050】図7は本発明によるシャドウマスクの図5
に示した粒内に形成された金属酸化物の塩酸処理後の化
学種を確認するための測定結果の一例の説明図であっ
て、(a)は顕微鏡写真の模写図、(b)はレーザーラ
マン測定結果の説明図である。図8は本発明によるシャ
ドウマスクの図6に示した粒界に形成された金属酸化物
の塩酸処理後の化学種を確認するための測定結果の一例
の説明図であって、(a)は顕微鏡写真の模写図、
(b)はレーザーラマン測定結果の説明図である。図9
は本発明によるシャドウマスクの図5と図6に示す金属
酸化物の塩酸処理前の各種金属酸化物の化学種の確認の
ための顕微レーザラマン測定結果の一例の内、粒内と粒
界に形成されているCr2 3 の生成量の確認測定結果
の一例の説明図である。
FIG. 7 is a diagram of a shadow mask according to the present invention.
4A and 4B are explanatory views of an example of measurement results for confirming the chemical species of the metal oxide formed in the grains after the hydrochloric acid treatment shown in FIG. 3, in which (a) is a copy of a micrograph and (b) is a laser. It is explanatory drawing of a Raman measurement result. FIG. 8 is an explanatory view of an example of measurement results for confirming the chemical species of the metal oxide formed at the grain boundaries shown in FIG. 6 of the shadow mask according to the present invention after the hydrochloric acid treatment. A copy of a micrograph,
(B) is an explanatory view of a laser Raman measurement result. Figure 9
Of the shadow mask according to the present invention shown in FIGS. 5 and 6, which is formed in the grain and at the grain boundary in the example of the result of the microscopic laser Raman measurement for confirming the chemical species of various metal oxides before the hydrochloric acid treatment of the metal oxide. an illustration of an example of the in which Cr 2 O 3 of the amount of the confirmation measurement results are.

【0051】図10は本発明によるシャドウマスクの図
8と図9に示す金属酸化物の塩酸処理後の各種金属酸化
物の化学種の確認のための顕微レーザラマン測定結果の
一例の内粒内に形成されているMnFe2 4 の生成量
の確認測定結果の一例の説明図である。
FIG. 10 shows the inside of an example of the result of microscopic laser Raman measurement for confirming the chemical species of various metal oxides after the hydrochloric acid treatment of the metal oxides shown in FIGS. 8 and 9 of the shadow mask according to the present invention. an example of the amount of check measurements of formed MnFe 2 O 4 is an explanatory view of.

【0052】図11は本発明によれるシャドウマスクを
用いたカラー陰極線管に電源を入れてから画像表示画面
に画像が表示される迄の時間とシャドウマスク表面の粒
内と粒界に形成させた金属酸化物の内、Fe3 4 形成
膜厚との関係の説明図である。
FIG. 11 shows the time from turning on the power of the color cathode ray tube using the shadow mask according to the present invention to the time when an image is displayed on the image display screen and the formation inside and inside the grain boundary of the shadow mask. of the metal oxide is an explanatory view of the relationship between the Fe 3 O 4 formed thickness.

【0053】上記図4〜図11に示した結果から、前記
図3の工程100〜工程400でカラー陰極線管用電子
ビーム制御用のアンバー材製のシャドウマスクの清浄化
のための前処理と、更に前記処理品を高温度で熱処理を
施すことで、アンバー材製のシャドウマスク表面の粒界
と粒内に所望とする金属酸化物の膜質を形成しているこ
とを確認することができ、前記処理法はアンバー材製の
シャドウマスクの表面の粒界と粒内に所望の金属酸化物
が形成される。
From the results shown in FIGS. 4 to 11, the pretreatment for cleaning the shadow mask made of amber material for controlling the electron beam for the color cathode ray tube in steps 100 to 400 of FIG. By subjecting the treated product to a heat treatment at a high temperature, it is possible to confirm that a desired metal oxide film quality is formed in the grain boundaries and within the grains of the shadow mask surface made of amber material. According to the method, a desired metal oxide is formed in the grain boundaries and inside the grain of the surface of the shadow mask made of amber material.

【0054】本実施例によれば、前記のように洗浄時の
洗浄液中の水溶性洗浄剤の含有濃度と洗浄時間をそれぞ
れ従来の1.5倍又は2倍で処理したのち熱処理した前
記アンバー材製のシャドウマスクに電子ビームが照射さ
れても陰極線管の電子放射初期特性は要求される特性範
囲を維持でき、かつ、長時間動作しても要求される寿命
特性が満足され、安定して工業的にしかも大量に高品質
の陰極線管の製造が可能となる。
According to the present embodiment, the amber material is heat-treated after treating the content concentration of the water-soluble detergent in the cleaning liquid and the cleaning time at the time of 1.5 times or 2 times that of the conventional method, respectively, as described above. The initial electron emission characteristics of the cathode ray tube can be maintained within the required characteristic range even if the shadow mask made of the electron beam is irradiated with an electron beam, and the required life characteristics are satisfied even if it is operated for a long time. In addition, it is possible to manufacture high-quality cathode ray tubes in large quantities.

【0055】[0055]

【発明の効果】以上説明したように、カラー陰極線管を
構成する金属電極部品のうち、電子ビーム制御用のアン
バー材製のシャドウマスクを本発明の構成とすることに
より、アンバー材製のシャドウマスクの電子ビーム通過
孔の側面部と電子ビーム遮蔽面を有する表面の粒内と粒
界とに一定量の金属酸化物を形成させることができ、陰
極線管の大幅な高性能化及び高信頼性化を図ることでき
る。
As described above, among the metal electrode parts constituting the color cathode ray tube, the shadow mask made of amber material for electron beam control has the structure of the present invention. It is possible to form a certain amount of metal oxide in the grain boundary and grain boundary of the surface of the electron beam passage hole and the electron beam shielding surface of the cathode ray tube, and to greatly improve the performance and reliability of the cathode ray tube. Can be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による陰極線管の1実施例を説明するた
めのカラー陰極線管の構造を説明する断面図である。
FIG. 1 is a sectional view illustrating a structure of a color cathode ray tube for explaining an embodiment of a cathode ray tube according to the present invention.

【図2】図1で説明したカラー陰極線管に用いるインラ
イン型カラー電子銃およびシャドウマスクの構成例とそ
の動作の説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram of a configuration example of an in-line type color electron gun and a shadow mask used in the color cathode ray tube described in FIG. 1 and its operation.

【図3】水溶性洗浄剤を使用したアンバー材製のシャド
ウマスクの清浄化用前処理方法の1例を説明する概略工
程図である。
FIG. 3 is a schematic process diagram illustrating an example of a pretreatment method for cleaning a shadow mask made of amber material using a water-soluble cleaning agent.

【図4】本発明によるシャドウマスクを構成するアンバ
ー材のプレス品を脱脂洗浄後更にリンス洗浄したのち高
温熱処理しその表面に形成された金属酸化物の塩酸処理
前における粒界と粒内の表面形状を測定した一例を説明
する電子顕微鏡写真の模写図である。
FIG. 4 is a grain boundary and a surface inside a grain of a metal oxide formed on the surface of the pressed amber material forming the shadow mask according to the present invention, which is subjected to degreasing cleaning, further rinse cleaning, and then high temperature heat treatment before hydrochloric acid treatment. It is a mimicking figure of the electron micrograph explaining an example which measured the shape.

【図5】本発明によるシャドウマスクの図4(a)に示
した粒内の表面に形成された金属酸化物の塩酸処理前の
化学種を確認するためのレーザーラマン測定結果の一例
の説明図である。
FIG. 5 is an explanatory view of an example of a laser Raman measurement result for confirming the chemical species before the hydrochloric acid treatment of the metal oxide formed on the intragranular surface shown in FIG. 4 (a) of the shadow mask according to the present invention. Is.

【図6】本発明によるシャドウマスクの図4(b)に示
した粒界の表面に形成された金属酸化物の塩酸処理前の
化学種を確認するためのレーザーラマン測定結果の一例
の説明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram of an example of a laser Raman measurement result for confirming the chemical species of the metal oxide formed on the surface of the grain boundary shown in FIG. 4B of the shadow mask according to the present invention before the hydrochloric acid treatment. Is.

【図7】本発明によるシャドウマスクの図5に示した粒
内に形成された金属酸化物の塩酸処理後の化学種を確認
するための測定結果の一例の説明図であって、(a)は
顕微鏡写真の模写図、(b)はレーザーラマン測定結果
の説明図である。
7 is an explanatory view of an example of measurement results for confirming the chemical species after the hydrochloric acid treatment of the metal oxide formed in the grains shown in FIG. 5 of the shadow mask according to the present invention, FIG. Is a copy of a micrograph, and (b) is an explanatory diagram of a laser Raman measurement result.

【図8】本発明によるシャドウマスクの図6に示した粒
界に形成された金属酸化物の塩酸処理後の化学種を確認
するための測定結果の一例の説明図であって、(a)は
顕微鏡写真の模写図、(b)はレーザーラマン測定結果
の説明図である。
8 is an explanatory view of an example of measurement results for confirming the chemical species of the metal oxide formed on the grain boundaries shown in FIG. 6 of the shadow mask according to the present invention after the treatment with hydrochloric acid, FIG. Is a copy of a micrograph, and (b) is an explanatory diagram of a laser Raman measurement result.

【図9】本発明によるシャドウマスクの図5と図6に示
す金属酸化物の塩酸処理前の各種金属酸化物の化学種の
確認のための顕微レーザラマン測定結果の一例の内、粒
内と粒界に形成されているCr2 3 の生成量の確認測
定結果の一例の説明図である。
FIG. 9 shows an example of the results of microscopic laser Raman measurement for confirming the chemical species of various metal oxides before the hydrochloric acid treatment of the metal oxides shown in FIGS. 5 and 6 of the shadow mask according to the present invention. an example of the amount of check measurements of Cr 2 O 3 formed on the field is an explanatory view of.

【図10】本発明によるシャドウマスクの図8と図9に
示す金属酸化物の塩酸処理後の各種金属酸化物の化学種
の確認のための顕微レーザラマン測定結果の一例の内粒
内に形成されているMnFe2 4 の生成量の確認測定
結果の一例の説明図である。
10 is a diagram of a shadow mask according to the present invention, which is formed in an inner grain of an example of a microscopic laser Raman measurement result for confirming chemical species of various metal oxides after hydrochloric acid treatment of the metal oxides shown in FIGS. 8 and 9. FIG. and is an explanatory diagram showing an example of the MnFe 2 O 4 of the amount of check measurements.

【図11】本発明によれるシャドウマスクを用いたカラ
ー陰極線管に電源を入れてから画像表示画面に画像が表
示される迄の時間とシャドウマスク表面の粒内と粒界に
形成させた金属酸化物の内、Fe3 4 形成膜厚との関
係の説明図である。
FIG. 11 is a diagram illustrating the time from when the color cathode ray tube using the shadow mask according to the present invention is turned on to the time when an image is displayed on the image display screen, the metal formed in the grains and the grain boundaries on the surface of the shadow mask. FIG. 4 is an explanatory diagram of a relationship with the film thickness of Fe 3 O 4 formed among oxides.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 パネル部 2 ネック部 3 ファンネル部 4 蛍光面 5 アンバー材製シャドウマスク 6 マスクフレーム 7 磁気シールド 8 懸架スプリング 9 電子銃。 10 偏向ヨーク 11 外部磁気装置。 1 panel part 2 neck part 3 funnel part 4 phosphor screen 5 shadow mask made of amber material 6 mask frame 7 magnetic shield 8 suspension spring 9 electron gun. 10 Deflection yoke 11 External magnetic device.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森 恭美 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 森下 敏和 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Kyomi Mori 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba Hitachi, Ltd. Electronic Device Division (72) Inventor Toshikazu Morishita 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba Hitachi, Ltd. Electronic Devices Within the business unit

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】含有元素の構成比が、S:0.005wt
%未満,PおよびC:0.015wt%未満,Al:
0.07wt%未満,Cr:0.15wt%未満,S
i:0.25wt%未満,Mn:0.20〜0.45w
t%,Ni:35.3〜37.7wt%で、残部がFe
から成るアンバー材を加工成型後の粒内と粒界の表面と
表面から深さ方向に分布する酸化物の内、表面層の金属
の粒内部および金属の粒界部に生成されたFe系の酸化
物(Fe2 3 及び/またはFe3 4 )、Ni系の酸
化物(NiO)、およびMn系の酸化物(MnO2 )を
塩酸等の酸を用いたウエット前処理及び/またはAr+
イオン等を用いたドライ前処理で溶解後の残存酸化物
が、 上記粒内および粒界に生成しているCr系の酸化物
(Cr2 3 )を1としたとき、 NiとFe系の酸化物(NiFe2 4 )の生成量が
0.05〜17.0、 FeとCr系の酸化物(FeCr2 4 )の生成量が
0.01〜3.9、 MnとCr系の酸化物(MnCr2 4 )の生成量が
0.04〜5.5、 MnとFe系の酸化物(MnFe2 4 )の生成量が
0.03〜13.0、 1290cm-1〜1310cm-1にラマンピークが検
出されるアモルファス炭素)α−C)と上記〜の各
酸化物の化合物の生成量が0.08〜7.5で、かつ上
記〜の化合物の化学種が3以上形成されてなる上記
アンバー材を使用したことを特徴とするシャドウマス
ク。
1. The composition ratio of contained elements is S: 0.005 wt.
%, P and C: less than 0.015 wt%, Al:
Less than 0.07 wt%, Cr: less than 0.15 wt%, S
i: less than 0.25 wt%, Mn: 0.20 to 0.45 w
t%, Ni: 35.3 to 37.7 wt% with the balance being Fe
Of a Fe material formed in the surface of the metal grains and in the grain boundaries of the metal in the surface of the grain boundaries and the oxides distributed in the depth direction from the surface after processing and shaping the amber material consisting of Wet pretreatment of oxides (Fe 2 O 3 and / or Fe 3 O 4 ), Ni-based oxides (NiO), and Mn-based oxides (MnO 2 ) with an acid such as hydrochloric acid and / or Ar +
When the residual oxide after dissolution in the dry pretreatment using ions etc. is set to 1 for the Cr-based oxide (Cr 2 O 3 ) generated in the above-mentioned grains and grain boundaries, Ni and Fe-based The amount of oxide (NiFe 2 O 4 ) produced is 0.05 to 17.0, the amount of Fe and Cr oxide (FeCr 2 O 4 ) produced is 0.01 to 3.9, and Mn and Cr The amount of oxide (MnCr 2 O 4 ) produced is 0.04 to 5.5, the amount of Mn and Fe-based oxide (MnFe 2 O 4 ) produced is 0.03 to 13.0, 1290 cm −1 to 1310 cm. -A Raman peak is detected at -1. The amount of amorphous carbon) α-C) and each of the above-mentioned oxide compounds produced is 0.08 to 7.5, and three or more chemical species of the above-mentioned compound are formed. A shadow mask using the above-mentioned amber material.
【請求項2】請求項1において、前記加工後に高温熱処
理したシャドウマスクの粒内と粒界に形成されている化
学種の生成量が、それぞれ、 前記の生成量が、粒界1に対して粒内0.4〜0.
9、 前記の生成量が、粒界1に対して粒内1.05〜5.
0、 前記の生成量が、粒界1に対して粒内1.04〜3.
9、 前記の生成量が、粒界1に対して粒内1.02〜3.
6、 前記の生成量が、粒界1に対して粒内1.01〜2.
9、 前記の生成量が、粒界1に対して粒内0.3〜1.
9、 であることを特徴とするシャドウマスク。
2. The generation amount of the chemical species formed in the grain and in the grain boundary of the shadow mask which has been subjected to the high temperature heat treatment after the processing according to claim 1, respectively. Intragranular 0.4-0.
9. The above-mentioned production amount is 1.05 to 5.
0, the above-mentioned production amount is 1.04 to 3.
9. The above-mentioned generation amount is 1.02 to 3.
6. The above-mentioned generation amount is 1.01-2.
9. The above-mentioned production amount is 0.3-1.
9. A shadow mask characterized by:
【請求項3】請求項1、または2において、前記金属酸
化物等の粒内部の凹凸が0.05〜μm、粒界部の凹凸
が0.05〜1.5μmであることを特徴とするシャド
ウマスク。
3. The unevenness in the grain of the metal oxide or the like is 0.05 to μm, and the unevenness in the grain boundary portion is 0.05 to 1.5 μm. Shadow mask.
【請求項4】映像スクリーンであるパネル部、電子銃を
収容するネック部、およびパネル部とネック部を連接す
るファンネル部とから構成され、上記ファンネル部に電
子銃から発射された3本の電子ビームを電子ビーム制御
用アンバー材製シャドウマスクの電子ビーム通過孔を通
してパネル部の内面に塗布形成された蛍光面上に走査さ
せる偏向ヨークを装着した陰極線管において、 前記シャドウマスクとして請求項1、2または3に記載
のシャドウマスクを用いたことを特徴とする陰極線管。
4. A panel unit, which is an image screen, a neck unit for accommodating an electron gun, and a funnel unit connecting the panel unit and the neck unit, and three electrons emitted from the electron gun to the funnel unit. A cathode ray tube equipped with a deflection yoke for scanning a beam onto a phosphor screen coated and formed on an inner surface of a panel section through an electron beam passage hole of an electron beam controlling amber material shadow mask, wherein the shadow mask is used as the shadow mask. Alternatively, a cathode ray tube using the shadow mask described in 3.
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