JPH08166371A - Mass analyzer - Google Patents
Mass analyzerInfo
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- JPH08166371A JPH08166371A JP6311965A JP31196594A JPH08166371A JP H08166371 A JPH08166371 A JP H08166371A JP 6311965 A JP6311965 A JP 6311965A JP 31196594 A JP31196594 A JP 31196594A JP H08166371 A JPH08166371 A JP H08166371A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、質量分析装置に関し、
特に混合物の分離分析に有効な液体クロマトグラフィー
（Liquid Chromatography:ＬＣ）と質量分析法（Mass S
pectrometry:ＭＳ）とを結合した液体クロマトグラフィ
ー／質量分析法（Liquid Chromatography /Mass Spectr
ometry、以下ＬＣ／ＭＳという）や、キャピラリー電気
泳動法（Capillary Electrophoresis)の検出器に質量分
析計を用いたキャピラリー電気泳動／質量分析法（Capi
llary Electrophoresis／Mass Spectrometry、以下ＣＥ
／ＭＳという）に用いられる質量分析装置に関し、さら
に詳細には、液体中に存在する混合試料を分離した後、
イオン化して質量分析計に導入するためのインターフェ
イス技術に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a mass spectrometer,
Liquid Chromatography (LC) and Mass Spectrometry (Mass S
Liquid Chromatography / Mass Spectr coupled with Pectrometry (MS)
capillary electrophoresis / mass spectrometry (Capi), which uses a mass spectrometer as a detector for capillary electrophoresis (Capillary Electrophoresis).
llary Electrophoresis / Mass Spectrometry, CE
/ MS), more specifically, after separating a mixed sample present in a liquid,
Interface technology for ionization and introduction into a mass spectrometer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】現在、分析の分野では、揮発性または不
揮発性化合物の新しい分離分析法としてＬＣ／ＭＳやＣ
Ｅ／ＭＳが有望視されている。その一例として、図１０
に、アナリティカルケミストリー、1991年、63巻、375
頁（Anal. Chem.,63, 375)に記載されているイオントラ
ップ質量分析計を用いたＬＣ／ＭＳの構成を示す。2. Description of the Related Art At present, in the field of analysis, LC / MS and C are used as new separation and analysis methods for volatile or nonvolatile compounds.
E / MS looks promising. As an example, FIG.
, Analytical Chemistry, 1991, 63, 375
The configuration of LC / MS using the ion trap mass spectrometer described in page (Anal. Chem., 63 , 375) is shown.
【０００３】液体クロマトグラフ１から溶出してくる溶
液中の試料は、配管２によりＬＣ／ＭＳのインターフェ
イスに導入される。図１０のようなエレクトロスプレー
型大気圧イオン源では、インターフェイスは主に高電圧
が印加された金属製キャピラリー３からなる。この金属
製キャピラリー３に高電圧が印加されると、ここを通過
した試料溶液は静電噴霧され、帯電液滴に変化する。こ
のとき、金属製キャピラリー３のまわりからガスを流し
て噴霧を促進することができる。このインターフェイス
で生成された試料に関するイオンは、ノズル５、差動排
気部用収束レンズである３２ａ，３２ｂを通過して高真
空下の質量分析部に導入される。The sample in the solution eluted from the liquid chromatograph 1 is introduced into the LC / MS interface through the pipe 2. In the electrospray type atmospheric pressure ion source as shown in FIG. 10, the interface is mainly composed of the metal capillary 3 to which a high voltage is applied. When a high voltage is applied to the metal capillary 3, the sample solution passing through the metal capillary 3 is electrostatically sprayed and changes into charged droplets. At this time, gas can be flown around the metal capillaries 3 to promote atomization. Ions relating to the sample generated by this interface pass through the nozzle 5 and the convergent lenses 32a and 32b for the differential evacuation unit and are introduced into the mass spectrometric unit under high vacuum.
【０００４】スキマー９を通過したイオンは、収束効果
とゲート効果を有する静電レンズ３３ａ，３３ｂ，３３
ｃにより、エンドキャップ電極１６ａ、リング電極１
７、エンドキャップ電極１６ｂよりなるイオントラップ
型質量分析部にイオン取り込み口１８を通して導入され
る。イオントラップ型質量分析部は他の質量分析計と異
なり、高周波電場を用いてエンドキャップ電極１６ａ、
リング電極１７、エンドキャップ電極１６ｂからなるイ
オントラップ質量分析部内にイオンを一定時間閉じこ
め、その後、電圧を走査することによって、イオントラ
ップ質量分析部内に閉じこめられたイオンをイオン取り
出し口１９より取り出し、それを検出器及び増幅器３４
で検出する。イオントラップ型質量分析計で質量分析さ
れたイオンの検出信号は、増幅されてデータ処理装置に
転送される。データ処理装置では、得られた情報を通常
マススペクトルとして表示する。The ions that have passed through the skimmer 9 have electrostatic lenses 33a, 33b, 33 having a focusing effect and a gate effect.
c, end cap electrode 16a, ring electrode 1
7. Introduced through the ion intake port 18 into the ion trap mass spectrometric section composed of the end cap electrode 16b. Unlike other mass spectrometers, the ion trap mass spectrometric unit uses the high frequency electric field to produce the end cap electrode 16a,
Ions are confined in the ion trap mass spectrometric section consisting of the ring electrode 17 and the end cap electrode 16b for a certain period of time, and then the voltage is scanned to take out the ions trapped in the ion trap mass spectrometric section from the ion extraction port 19. Detector and amplifier 34
Detect with. The detection signal of the ion mass-analyzed by the ion trap mass spectrometer is amplified and transferred to the data processing device. The data processing device usually displays the obtained information as a mass spectrum.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ＬＣ／ＭＳやＣＥ／Ｍ
Ｓでは完全に気化していない液滴も存在するため、上記
のような方法でエレクトロスプレー型大気圧イオン源で
生成したイオンをイオントラップ質量分析部に取り込も
うとすると、イオンとともに液滴を含む大量の中性分子
がイオントラップ質量分析部内にまで入り込むことにな
る。このとき、次のような問題が発生する。[Problems to be Solved by the Invention] LC / MS and CE / M
Since some droplets are not completely vaporized in S, when the ions generated by the electrospray atmospheric pressure ion source are taken into the ion trap mass spectrometric section by the above method, a large amount of droplets are included together with the ions. Neutral molecules will enter even into the ion trap mass spectrometric section. At this time, the following problems occur.
【０００６】（１）イオントラップ内に入り込んだ中性
分子や液滴がイオントラップ質量分析部のエンドキャッ
プ電極などに付着することによってこれらの電極が汚染
され、内部での高周波電場が乱れ、イオンがトラップさ
れなくなったり、正確な質量分析ができなくなったりす
る。 （２）イオントラップ内に入り込んだ中性分子や液滴の
ために、イオントラップ質量分析部内で試料分子のイオ
ンから液滴の方に電荷が移動したり、イオントラップ質
量分析部から出た液滴が検出器に到達したりして、ノイ
ズが大幅に増加する。(1) Neutral molecules and liquid droplets that have entered the ion trap adhere to the end cap electrodes of the ion trap mass spectrometric section, which contaminates these electrodes, disturbing the high frequency electric field inside, and Will not be trapped, and accurate mass spectrometry will not be possible. (2) Due to neutral molecules and liquid droplets that have entered the ion trap, charges move from the ions of the sample molecule to the liquid droplets in the ion trap mass spectrometric unit, and liquids that have come out of the ion trap mass spectrometric unit. Droplets may reach the detector, significantly increasing noise.
【０００７】ＬＣ／ＭＳやＣＥ／ＭＳでは、大気圧イオ
ン源において試料溶液を帯電液滴に変化させ、加熱等に
よりこの帯電液滴を気化させる。しかし、帯電液滴を完
全に気化させることはできないので、当然のことなが
ら、完全に気化されなかった液滴が、２つのエンドキャ
ップ電極と１つのリング電極で囲まれたイオントラップ
質量分析部内に入り込んでしまい、上記のような問題が
発生してしまう。このような問題を起こさないために
は、大気圧イオン源で気化されない液滴の数をできるだ
け少なくする必要がある。In LC / MS and CE / MS, a sample solution is changed into charged droplets in an atmospheric pressure ion source, and the charged droplets are vaporized by heating or the like. However, since it is not possible to completely vaporize the charged droplets, it goes without saying that the droplets that have not been completely vaporized enter the ion trap mass spectrometric section surrounded by the two endcap electrodes and the one ring electrode. It gets in and causes the above problems. In order to prevent such a problem, it is necessary to minimize the number of droplets that are not vaporized by the atmospheric pressure ion source.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明においては、差動
排気部中でノズルからジェットが吹き出して生成される
超音速流領域を小さくすることによって帯電液滴の気化
効率を向上させる。図６（ａ）に略示するように、両側
の圧力がＰ0 、Ｐ1 （Ｐ0 ＞Ｐ1 ）である直径Ｄのノズ
ル５からジェットが吹き出すとき、次式で表される距離
Ｌの範囲が超音速流領域２９となる。 Ｌ＝０．６７×Ｄ×（Ｐ0 ／Ｐ1 ）1/2 According to the present invention, the vaporization efficiency of charged droplets is improved by reducing the supersonic flow region generated by jetting of a jet from a nozzle in a differential evacuation unit. As schematically shown in FIG. 6A, when a jet blows out from a nozzle 5 having a diameter D and pressures P 0 and P 1 (P 0 > P 1 ) on both sides, the distance L The range becomes the supersonic flow region 29. L = 0.67 × D × (P 0 / P 1 ) 1/2
【０００９】超音速流領域２９では、断熱膨張によりジ
ェットの温度が急激に低下する。換言すると、超音速流
領域では分子間の衝突が少なくなるため、効率的に液滴
を気化することはできない。従って、ノズル両側の圧力
比とノズルの径に関係したこの超音速流領域をできるだ
け小さくすることで液滴を効率的に気化することができ
る。本発明では、図６（ｂ）に略示するように、イオン
を通過させるための小さな孔を設けた遮蔽板３０で差動
排気部を分割することによって圧力を調整し、超音速流
領域２９の長さを全体として小さくした。In the supersonic flow region 29, the temperature of the jet sharply drops due to adiabatic expansion. In other words, collisions between molecules are reduced in the supersonic flow region, so that the droplets cannot be vaporized efficiently. Therefore, the droplets can be efficiently vaporized by minimizing the supersonic flow region related to the pressure ratio on both sides of the nozzle and the diameter of the nozzle. In the present invention, as schematically shown in FIG. 6B, the pressure is adjusted by dividing the differential evacuation part by a shield plate 30 having a small hole for allowing ions to pass, and the supersonic flow region 29 is obtained. The length of was reduced as a whole.
【００１０】具体的には、本発明による質量分析装置
は、大気圧またはこれに準じた圧力下で試料溶液をイオ
ン化するイオン化手段と、イオン化手段によって生成さ
れたイオンを加熱された第１のノズルを通して導入する
ための差動排気部と、差動排気部に加熱されたスキマー
を介して接続された高真空室と、スキマーを通して高真
空室中に導入されたイオンを質量分析して検出するため
のイオントラップ型質量分析部からなる質量分析装置に
おいて、差動排気部内に、直線的な流路を有する第２の
ノズルを備える遮蔽板を、第２のノズルの出口がイオン
トラップ質量分析部のエンドキャップ電極に対向するよ
うに設けたことを特徴とする。Specifically, the mass spectrometer according to the present invention comprises an ionization means for ionizing a sample solution under atmospheric pressure or a pressure equivalent thereto, and a first nozzle heated by the ions generated by the ionization means. Through a differential evacuation part for introduction through a high vacuum chamber connected to the differential evacuation part through a skimmer heated, and for mass spectrometric detection of ions introduced into the high vacuum chamber through the skimmer. In the mass spectrometer including the ion trap mass spectrometer, the shield plate having the second nozzle having a linear flow path is provided in the differential exhaust unit, and the outlet of the second nozzle is the ion trap mass spectrometer. It is characterized in that it is provided so as to face the end cap electrode.
【００１１】このとき、図９（ａ）に示すように、第１
のノズル５の中心軸とスキマー９の中心軸を一致させ、
第２のノズル７の流路をその中心軸上に位置させること
ができる。あるいは、図９（ｂ）に示すように、第１の
ノズル５の中心軸とスキマー９の中心軸をずらし、第１
のノズル５の出口と第２のノズル７の入口を対向させ、
第２のノズル７の出口とスキマー９の入口を対向させて
もよい。At this time, as shown in FIG. 9A, the first
Align the central axis of the nozzle 5 with the central axis of the skimmer 9,
The flow path of the second nozzle 7 can be located on the central axis thereof. Alternatively, as shown in FIG. 9B, the central axis of the first nozzle 5 and the central axis of the skimmer 9 are displaced from each other, and
The outlet of the nozzle 5 and the inlet of the second nozzle 7 of
The outlet of the second nozzle 7 and the inlet of the skimmer 9 may face each other.
【００１２】液滴の気化を促進するためには、加熱され
た第２のノズルの孔内での液滴の滞留時間を長くする必
要がある。そのためには、孔の内径を小さくし、孔の長
さを長くして、孔を通過するガス量を少なくする必要が
ある。この観点からすると、第２のノズルの孔は、その
径より長さの方が長いことが好ましい。遮蔽板に設ける
第２のノズルの流路は屈曲していても、あるいは第１の
ノズルの中心軸に対して斜行していてもよい。その際、
図９（ｃ）に示すように、第１のノズル５の中心軸とス
キマー９の中心軸を一致させ、第１のノズル５の出口と
第２のノズル７の入口を対向させ、第２のノズル７の出
口とスキマー９の入口を対向させることができる。ま
た、図９（ｄ）に示すように、第１のノズル５の中心軸
とスキマー９の中心軸をずらし、第１のノズル５の出口
と第２のノズル７の入口を対向させ、第２のノズル７の
出口とスキマー９の入口を対向させてもよい。In order to promote vaporization of the droplet, it is necessary to prolong the residence time of the droplet in the hole of the heated second nozzle. For that purpose, it is necessary to reduce the inner diameter of the hole and increase the length of the hole to reduce the amount of gas passing through the hole. From this point of view, the hole of the second nozzle preferably has a length longer than its diameter. The flow path of the second nozzle provided on the shield plate may be bent or may be oblique to the central axis of the first nozzle. that time,
As shown in FIG. 9C, the central axis of the first nozzle 5 and the central axis of the skimmer 9 are aligned with each other, the outlet of the first nozzle 5 and the inlet of the second nozzle 7 are opposed to each other, and The outlet of the nozzle 7 and the inlet of the skimmer 9 can face each other. In addition, as shown in FIG. 9D, the central axis of the first nozzle 5 and the central axis of the skimmer 9 are displaced so that the outlet of the first nozzle 5 and the inlet of the second nozzle 7 face each other, and The outlet of the nozzle 7 and the inlet of the skimmer 9 may be opposed to each other.
【００１３】また、第２のノズルは、内部に複数の通過
孔を有する金属板を内包していてもよい。その際、図９
（ｅ）に示すように、第１のノズル５の中心軸とスキマ
ー９の中心軸を一致させ、第１のノズル５の出口と第２
のノズル７の入口を対向させ、第２のノズル７の出口と
スキマー９の入口を対向させ、かつ金属板２８に設けた
複数の通過孔を前記中心軸から外れた位置に設けること
ができる。あるいは図９（ｆ）に示すように、第１のノ
ズル５の中心軸とスキマー９の中心軸をずらし、第１の
ノズル５の出口と第２のノズル７の入口を対向させ、第
２のノズル７の出口とスキマー９の入口を対向させ、か
つ金属板２８に設けた複数の通過孔を第２のノズルの中
心軸から外れた位置に設けてもよい。Further, the second nozzle may include a metal plate having a plurality of passage holes therein. At that time,
As shown in (e), the central axis of the first nozzle 5 is aligned with the central axis of the skimmer 9, and the outlet of the first nozzle 5 and the second axis of the skimmer 9 are aligned with each other.
The inlet of the nozzle 7 may be opposed, the outlet of the second nozzle 7 may be opposed to the inlet of the skimmer 9, and a plurality of passage holes provided in the metal plate 28 may be provided at positions off the central axis. Alternatively, as shown in FIG. 9 (f), the central axis of the first nozzle 5 and the central axis of the skimmer 9 are displaced so that the outlet of the first nozzle 5 and the inlet of the second nozzle 7 face each other, and The outlet of the nozzle 7 and the inlet of the skimmer 9 may be opposed to each other, and a plurality of passage holes provided in the metal plate 28 may be provided at positions deviated from the central axis of the second nozzle.
【００１４】また、質量分析部は磁場型質量分析部又は
四重極型質量分析部としてもよい。遮蔽板で分離された
差動排気部の前記第１のノズル側の領域は、差動排気部
に設けられた荒引き用真空ポンプで排気されるように少
なくともひとつの排気口を有し、排気口の大きさを変え
るように構成することもできる。遮蔽板で分離された差
動排気部の第１のノズル側の領域の圧力は、超音速流領
域を第１ノズルの所からあまり長くしないために１〜１
００Ｔｏｒｒの範囲とするのが好ましく、また、スキマ
ー側の領域の圧力は、イオンと中性分子との衝突による
イオン透過率の低下を防ぐため０．１〜１０Ｔｏｒｒの
範囲とするのが好ましい。The mass spectrometric section may be a magnetic field type mass spectrometric section or a quadrupole mass spectrometric section. The region on the first nozzle side of the differential exhaust part separated by the shield plate has at least one exhaust port so that it is exhausted by a roughing vacuum pump provided in the differential exhaust part. It can also be configured to change the size of the mouth. The pressure in the region on the first nozzle side of the differential exhaust part separated by the shield plate is 1 to 1 because the supersonic flow region is not too long from the first nozzle.
The pressure is preferably in the range of 00 Torr, and the pressure in the region on the skimmer side is preferably in the range of 0.1 to 10 Torr in order to prevent a decrease in ion permeability due to collision of ions with neutral molecules.
【００１５】[0015]
【作用】図６（ｂ）に示すように、差動排気部をイオン
を通過させる小さな孔を設けた遮蔽板３０で分割するこ
とによって、ノズル直後に発生する超音速流領域２９は
２つに分割され、全体としての超音速流領域の長さ（Ｌ
1 ＋Ｌ2 ）は、遮蔽板を設けないときの長さＬより短く
なる。そのため、中性分子や液滴が、温度の低下した超
音速流領域を通過する時間が短くなり、液滴の気化を阻
害する要因がそれだけ小さくなり、結果として液滴の気
化効率が高まる。As shown in FIG. 6 (b), the differential pumping section is divided by the shield plate 30 having small holes for passing ions, so that the supersonic flow region 29 generated immediately after the nozzle becomes two. The total length of the supersonic flow region (L
1 + L 2 ) is shorter than the length L when the shielding plate is not provided. Therefore, the time required for the neutral molecules and the liquid droplets to pass through the supersonic flow region where the temperature has dropped becomes shorter, and the factors that hinder the vaporization of the liquid droplets become smaller, resulting in higher vaporization efficiency of the liquid droplets.
【００１６】[0016]
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。ここでは、混合試料の分離手段として、カ
ラムに詰まった充填剤を利用する液体クロマトグラフを
使用する例によって説明するが、毛細管を用いて電気泳
動により分離を行うキャピラリー電気泳動を用いること
も可能である。また、本発明は、試料溶液を連続的に導
入するフローインジェクション分析にも同様に適用可能
である。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. Here, as an example of using a liquid chromatograph that uses a packing material packed in a column as the separation means of the mixed sample, description will be made, but it is also possible to use capillary electrophoresis that performs separation by electrophoresis using a capillary tube. is there. The present invention is also applicable to flow injection analysis in which a sample solution is continuously introduced.
【００１７】図１は本発明による装置の一実施例を示す
図である。液体クロマトグラフ１から流出した試料溶液
は、配管２を通って、金属製キャピラリー３が設けられ
たエレクトロスプレー型大気圧イオン源３に送られ、帯
電液滴が生成される。ここでは、大気圧イオン源とし
て、静電噴霧現象を利用した、帯電液滴が直接生成する
エレクトロスプレー型大気圧イオン源を示したが、針電
極によるコロナ放電を利用した大気圧化学イオン化法な
どの別の大気圧イオン源を用いてもよい。FIG. 1 shows an embodiment of the device according to the present invention. The sample solution flowing out of the liquid chromatograph 1 is sent through a pipe 2 to an electrospray atmospheric pressure ion source 3 provided with a metal capillary 3 to generate charged droplets. Here, as an atmospheric pressure ion source, an electrospray type atmospheric pressure ion source that directly generates charged droplets using an electrostatic atomization phenomenon was shown, but an atmospheric pressure chemical ionization method using corona discharge with a needle electrode, etc. Other atmospheric pressure ion sources may also be used.
【００１８】エレクトロスプレー型大気圧イオン源３で
生成した帯電液滴は、第１フランジ６に保持されヒータ
ー１２ａで１００℃以上の高い温度に加熱されたノズル
５、第２フランジ８に保持されヒーター１２ｂで１００
℃程度に加熱された第２ノズル７、及び第３フランジ１
０に保持されヒーター１２ｃで１００℃程度に加熱され
たスキマー９を通過する過程で気化され、イオンが生成
する。第１フランジ６、第２フランジ８、第３フランジ
１０は、絶縁リング１３ａ，１３ｂ，１３ｃにより互い
に電気的に絶縁され、それぞれ独立した電圧が印加され
るようになっている。また、第２ノズル７とスキマー９
で囲まれた領域は、荒引き用真空ポンプ２３によって１
０〜０．１Ｔｏｒｒの範囲に排気される。The charged liquid droplets generated by the electrospray type atmospheric pressure ion source 3 are held by the first flange 6 and heated by the heater 12a to a high temperature of 100 ° C. or more, and are held by the second flange 8 and the heater. 100 for 12b
The second nozzle 7 and the third flange 1 which are heated to about ℃
In the process of passing through the skimmer 9 held at 0 and heated to about 100 ° C. by the heater 12c, it is vaporized and ions are generated. The first flange 6, the second flange 8, and the third flange 10 are electrically insulated from each other by the insulating rings 13a, 13b, 13c, and independent voltages are applied to them. In addition, the second nozzle 7 and the skimmer 9
The area surrounded by the
The gas is exhausted in the range of 0 to 0.1 Torr.
【００１９】スキマー９を通過したイオンは、収束用静
電レンズ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ及びゲート電極１５を
通過して、イオン取り込み口１８より、エンドキャップ
電極１６ａ、リング電極１７、エンドキャップ電極１６
ｂ、及び２つの絶縁リング２０ａ，２０ｂで囲まれたイ
オントラップ質量分析部に導入される。ここで一定時間
トラップされたイオンは、イオン取り出し口１９よりイ
オントラップ質量分析部の外に引き出され、収束レンズ
２１で収束後、検出器２２で検出される。通常、イオン
トラップ質量分析部の存在するチャンバー２５は、真空
ポンプ２４で５×１０-5Ｔｏｒｒ以下に排気される。The ions that have passed through the skimmer 9 pass through the focusing electrostatic lenses 14a, 14b, 14c and the gate electrode 15, and from the ion intake port 18, the end cap electrode 16a, the ring electrode 17, the end cap electrode 16 are formed.
b and the ion trap mass spectrometer surrounded by the two insulating rings 20a and 20b. Here, the ions trapped for a certain period of time are extracted from the ion trap mass spectrometer through the ion extraction port 19, converged by the converging lens 21, and then detected by the detector 22. Normally, the chamber 25 in which the ion trap mass spectrometer is present is evacuated to 5 × 10 −5 Torr or less by the vacuum pump 24.
【００２０】ここでは超音速流領域を圧縮する方法とし
て、第２ノズル７を備えた第２フランジ８、すなわち遮
蔽板をノズル５とスキマー９の間に、イオントラップ質
量分析部のエンドキャップ電極に対向するように設けて
いる。ノズル５と第２ノズル７で囲まれた領域は、少な
くとも１つ設けられた排気口１１を通して、荒引き用真
空ポンプ２３により１００〜１Ｔｏｒｒの間に排気され
る。Here, as a method for compressing the supersonic flow region, a second flange 8 provided with a second nozzle 7, that is, a shield plate is provided between the nozzle 5 and the skimmer 9 as an end cap electrode of the ion trap mass spectrometer. They are provided so as to face each other. The region surrounded by the nozzle 5 and the second nozzle 7 is exhausted by the roughing vacuum pump 23 for 100 to 1 Torr through at least one exhaust port 11 provided.
【００２１】これに対して、図２に示すように、ノズル
５を備えた第１フランジ６とスキマー９を備えた第３フ
ランジ１０の間にあって、排気口１１を備えた円筒２６
に保持された第４フランジ２７に、第２ノズル７をイオ
ントラップ質量分析部のエンドキャップ電極に対向する
ように設けてもよい。この場合にも、ノズル５と第２ノ
ズル７で囲まれた領域は、少なくとも１つ設けられた排
気口１１を通して、荒引き用真空ポンプ２３により１０
０〜１Ｔｏｒｒの間に排気される。On the other hand, as shown in FIG. 2, between the first flange 6 having the nozzle 5 and the third flange 10 having the skimmer 9, a cylinder 26 having an exhaust port 11 is provided.
The second nozzle 7 may be provided on the fourth flange 27 held by so as to face the end cap electrode of the ion trap mass spectrometer. In this case as well, the area surrounded by the nozzle 5 and the second nozzle 7 passes through at least one exhaust port 11 provided by the roughing vacuum pump 23.
Exhausted between 0 and 1 Torr.
【００２２】第２ノズル７は、図３（ａ）に示すよう
に、イオンを通過させるための孔がまっすぐで、しかも
ノズル５とスキマー９を結ぶ中心軸上に設けることがで
きる。この場合、第２ノズル７の孔の直径は０．１ｍｍ
〜２ｍｍ程度、長さは０．１ｍｍ〜２０ｍｍ程度とする
ことができる。長さの長い孔を用いるのは、この加熱さ
れた孔の中での液滴の滞在時間を長くし、気化を促進す
るためである。As shown in FIG. 3A, the second nozzle 7 has a straight hole for passing ions and can be provided on the central axis connecting the nozzle 5 and the skimmer 9. In this case, the diameter of the hole of the second nozzle 7 is 0.1 mm.
The length can be about 2 mm and the length can be about 0.1 mm to 20 mm. The reason why the long hole is used is to increase the dwell time of the droplet in the heated hole and promote vaporization.
【００２３】第２ノズル７のイオンを通過させる孔は、
図３（ｂ）に示すように曲がっていてもよい。これは、
ノズル５と第２ノズル７で囲まれた領域における流れは
まだ分子流ではなく、粘性流に近く、経路が曲がってい
たとしても流れでイオンが輸送されるためである。しか
も、このような曲がった経路にすることによって、液滴
は加熱された第２ノズル７に衝突して気化が促進される
ことになる。ただし、ノズル５側の孔の位置及びスキマ
ー９側の孔の位置は、ノズル５とスキマー９を結ぶ中心
軸上にある必要がある。The holes through which the ions of the second nozzle 7 pass are
It may be bent as shown in FIG. this is,
This is because the flow in the region surrounded by the nozzle 5 and the second nozzle 7 is not a molecular flow yet, it is close to a viscous flow, and even if the path is curved, ions are transported by the flow. Moreover, by making such a curved path, the droplet collides with the heated second nozzle 7 to promote vaporization. However, the position of the hole on the nozzle 5 side and the position of the hole on the skimmer 9 side need to be on the central axis connecting the nozzle 5 and the skimmer 9.
【００２４】また、図４のように、第２ノズルのイオン
通過の経路上に、複数の孔を持つ金属板２８〔図４
（ｂ），（ｃ）参照〕を設けておいてもよい。この場合
にも、第２ノズル７での液滴の気化を促進するため、い
ったん液滴をこの複数の孔を持つ金属板２８の中心に当
てるようにするのが好ましい。そのために、図４
（ｂ），（ｃ）に示す金属板２８では、ノズル５とスキ
マー９を結ぶ中心軸上には孔を設けないようにしてあ
る。金属板２８は、図４（ｂ）に示すように、その内部
領域に孔を設けてもよいし、図４（ｃ）に示すように、
その周縁部に切り欠きを設けてもよい。さらに、図５に
示すように、ノズル５と第２ノズル７を結ぶ軸と第２ノ
ズル７とスキマー９を結ぶ軸をずらし、斜めの孔を第２
ノズル７に設けてもよい。この場合にも、上記と同様な
効果を期待できる。Further, as shown in FIG. 4, a metal plate 28 having a plurality of holes on the ion passage path of the second nozzle [FIG.
[See (b) and (c)]. Also in this case, in order to promote vaporization of the liquid droplets in the second nozzle 7, it is preferable that the liquid droplets once hit the center of the metal plate 28 having the plurality of holes. To that end, FIG.
In the metal plate 28 shown in (b) and (c), no hole is provided on the central axis connecting the nozzle 5 and the skimmer 9. The metal plate 28 may be provided with holes in its inner region as shown in FIG. 4 (b), or as shown in FIG. 4 (c).
You may provide a notch in the peripheral part. Further, as shown in FIG. 5, the axis connecting the nozzle 5 and the second nozzle 7 and the axis connecting the second nozzle 7 and the skimmer 9 are displaced so that the diagonal hole is formed into the second hole.
It may be provided in the nozzle 7. In this case, the same effect as above can be expected.
【００２５】上記のいずれのタイプの第２ノズル７を設
けた遮蔽板３０を用いても、図６（ｂ）に示すように、
ノズル５の直後に発生する超音速流領域２９は遮蔽板３
０を設けない図６（ａ）の場合に比較して圧縮され、ジ
ェットの温度低下を軽減することができる。図７は、
（ａ）第２ノズルを設けていない場合と、（ｂ）第２ノ
ズルを設けた場合のグラミシジンＳと呼ばれるペプチド
のマススペクトルの比較を示したものである。試料には
いずれも同じ試料（グラミシジンＳ）を用い、イオン源
にはいずれも同じエレクトロスプレー型大気圧イオン源
を用いた。イオン源から差動排気部にイオンを導入する
第１のノズルには内径０．２ｍｍ、長さ０．５ｍｍのも
のを用い、差動排気部から高真空室にイオンを導入する
スキマーには内径０．２ｍｍ、長さ０．５ｍｍのものを
用いた。差動排気部の真空ポンプの排気速度は８００ｌ
／分であり、質量分析部の真空ポンプの排気速度は２０
０ｌ／秒である。これらの条件は前記（ａ），（ｂ）に
共通である。Even if the shield plate 30 provided with the second nozzle 7 of any of the above types is used, as shown in FIG. 6 (b),
The supersonic flow region 29 generated immediately after the nozzle 5 is the shielding plate 3
As compared with the case of FIG. 6A where 0 is not provided, the temperature of the jet can be reduced. FIG.
FIG. 3 shows a comparison of mass spectra of a peptide called gramicidin S when (a) the second nozzle is not provided and (b) the second nozzle is provided. The same sample (gramicidin S) was used as the sample, and the same electrospray atmospheric pressure ion source was used as the ion source. The first nozzle that introduces ions from the ion source to the differential pumping unit has an inner diameter of 0.2 mm and a length of 0.5 mm, and the skimmer that introduces ions from the differential pumping unit to the high vacuum chamber has an inner diameter. The one having a length of 0.2 mm and a length of 0.5 mm was used. The pumping speed of the vacuum pump in the differential pumping section is 800 l
/ Min, and the evacuation rate of the vacuum pump of the mass spectrometer is 20
It is 0 l / sec. These conditions are common to the above (a) and (b).
【００２６】第２ノズルを用いない（ａ）の場合、ノズ
ルとスキマー間の距離を１５ｍｍとした。この距離１５
ｍｍは、質量分析部の圧力を５×１０-5Ｔｏｒｒ以下に
保つために必要な距離であった。このとき、差動排気部
の圧力は０．４Ｔｏｒｒ、質量分析部の圧力は４×１０
-5Ｔｏｒｒであり、差動排気部に形成される超音速流領
域の長さＬは、下式で計算されるように５．８ｍｍであ
った。 Ｌ＝０．６７×０．２×（７６０／０．４）1/2 ＝５．
８（ｍｍ）When the second nozzle is not used (a), the distance between the nozzle and the skimmer is set to 15 mm. This distance 15
mm was the distance required to keep the pressure in the mass spectrometric section below 5 × 10 −5 Torr. At this time, the pressure of the differential evacuation part is 0.4 Torr, and the pressure of the mass spectrometric part is 4 × 10.
-5 Torr, and the length L of the supersonic flow region formed in the differential exhaust part was 5.8 mm as calculated by the following equation. L = 0.67 × 0.2 × (760 / 0.4) 1/2 = 5.
8 (mm)
【００２７】一方、第２ノズルを用いた（ｂ）の場合、
第１ノズルと第２ノズル間の距離を７ｍｍとし、第２ノ
ズルとスキマー間の距離を７ｍｍとした。第２のノズル
は内径０．２ｍｍ、長さ０．５ｍｍとした。このとき、
差動排気部の第１ノズルと第２ノズル間の領域の圧力は
２Ｔｏｒｒ、第２ノズルとスキマー間の領域の圧力は
０．２Ｔｏｒｒ、質量分析部の圧力は２×１０-5Ｔｏｒ
ｒであった。そして、超音速流領域の長さＬ’は、第１
ノズルの後方に発生する超音速流領域の長さＬ1と、第
２ノズルの後方に発生する超音速流領域の長さＬ2 の和
であり、下式で計算されるように３．０ｍｍであった。 Ｌ’＝Ｌ1 ＋Ｌ2 ＝０．６７×０．２×（７６０／２）
1/2 ＋０．６７×０．２×（２／０．２）1/2 ＝２．６＋０．４＝３．０（ｍｍ）On the other hand, in the case of (b) using the second nozzle,
The distance between the first nozzle and the second nozzle was 7 mm, and the distance between the second nozzle and the skimmer was 7 mm. The second nozzle had an inner diameter of 0.2 mm and a length of 0.5 mm. At this time,
The pressure in the region between the first nozzle and the second nozzle of the differential evacuation unit is 2 Torr, the pressure in the region between the second nozzle and the skimmer is 0.2 Torr, and the pressure in the mass spectrometric unit is 2 × 10 −5 Torr.
r. The length L'of the supersonic flow region is
It is the sum of the length L 1 of the supersonic flow region generated behind the nozzle and the length L 2 of the supersonic flow region generated behind the second nozzle, which is 3.0 mm as calculated by the following formula. Met. L ′ = L 1 + L 2 = 0.67 × 0.2 × (760/2)
1/2 +0.67 x 0.2 x (2 / 0.2) 1/2 = 2.6 +0.4 = 3.0 (mm)
【００２８】図７に示されているように、（ａ），
（ｂ）どちらの場合にも、グラミシジンＳの２価イオン
（Ｍ＋２Ｈ）2+がｍ／ｚ（質量数／電荷）５７１に観測
されている。しかし、遮蔽板を設けていない（ａ）に比
較して、遮蔽板を設けた（ｂ）の場合には、ｍ／ｚが５
７１のイオン以外のノイズのイオンが大幅に減少してい
ることがわかる。これは、差動排気部を遮蔽板で２分す
ることにより超音速流領域の長さがほぼ半分に圧縮さ
れ、特に第１ノズルと第２ノズル間の超音速流領域の長
さＬ1 がＬの半分以下に圧縮されたため、液滴の気化が
十分に進み、イオントラップ質量分析部内に導入される
液滴が大幅に減少したためと考えられる。As shown in FIG. 7, (a),
(B) In both cases, the divalent ion (M + 2H) 2+ of gramicidin S is observed at m / z (mass number / charge) 571. However, in the case of providing the shielding plate (b), the m / z is 5 as compared with the case of not providing the shielding plate (a).
It can be seen that the noise ions other than the 71 ion are significantly reduced. This is because the length of the supersonic flow region is compressed to almost half by dividing the differential evacuation section into two parts by the shield plate, and in particular, the length L 1 of the supersonic flow region between the first nozzle and the second nozzle is reduced. It is considered that the droplets were compressed to less than half of L, so that the vaporization of the droplets proceeded sufficiently and the droplets introduced into the ion trap mass spectrometric section were significantly reduced.
【００２９】なお、図８に示すように、ノズル５と第２
ノズル７で囲まれた領域の圧力は、圧力可変機構３１に
よって可変できるようにしてもよい。圧力可変機構３１
は、それを出し入れすることによって排気口１１のコン
ダクタンスを変え、それによってノズル５と第２ノズル
７で囲まれた領域の圧力を調整することができる。圧力
調整機構３１を設けることにより、個々の装置による差
動排気部内の圧力の変動を調節することができ、また同
じ大気圧イオン源でも、静電噴霧現象を利用するエレク
トロスプレー型とコロナ放電を利用する大気圧化学イオ
ン源では、それぞれの最適の差動排気部内の圧力が異な
るため、使用するイオン源に合わせて真空度を簡単に調
整することができるようになる。As shown in FIG. 8, the nozzle 5 and the second
The pressure in the area surrounded by the nozzle 7 may be variable by the pressure variable mechanism 31. Pressure variable mechanism 31
Can change the conductance of the exhaust port 11 by moving it in and out, thereby adjusting the pressure in the region surrounded by the nozzle 5 and the second nozzle 7. By providing the pressure adjusting mechanism 31, it is possible to adjust the fluctuation of the pressure in the differential evacuation part by each device, and even with the same atmospheric pressure ion source, the electrospray type and the corona discharge utilizing the electrostatic atomization phenomenon can be used. In the atmospheric pressure chemical ion source to be used, since the optimum pressures in the differential evacuation section are different, the degree of vacuum can be easily adjusted according to the ion source to be used.
【００３０】これまで質量分析計にイオントラップ質量
分析計を用いた場合の実施例に関して説明してきたが、
本発明は４本のロッドに高周波電場を加えて質量分析を
行う四重極質量分析計や磁場内での質量分散を利用して
質量分析を行う磁場型質量分析計を用いた場合にも同様
に適用でき、上述したのと同様な効果を期待できること
は言うまでもない。So far, the embodiments using the ion trap mass spectrometer as the mass spectrometer have been described.
The present invention is also applicable to the case of using a quadrupole mass spectrometer for mass spectrometry by applying a high frequency electric field to four rods or a magnetic field mass spectrometer for mass spectrometry utilizing mass dispersion in a magnetic field. It goes without saying that the same effect as described above can be expected to be applied to.
【００３１】[0031]
【発明の効果】本発明によれば、ノズル直後に発生する
超音速流領域を圧縮できるため、中性分子や液滴が温度
の低下した超音速流領域を通過する時間が短くなり、液
滴の気化効率を向上することができる。According to the present invention, since the supersonic flow region generated immediately after the nozzle can be compressed, the time for the neutral molecules and the liquid droplets to pass through the supersonic flow region where the temperature has dropped becomes shorter, The vaporization efficiency of can be improved.
【図１】本発明によるＬＣ／ＭＳ装置の一実施例を示す
断面図。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of an LC / MS device according to the present invention.
【図２】本発明によるＬＣ／ＭＳ装置の他の実施例を示
す断面図。FIG. 2 is a sectional view showing another embodiment of the LC / MS device according to the present invention.
【図３】ノズルと第２ノズルとで囲まれた領域の断面
図。FIG. 3 is a sectional view of a region surrounded by a nozzle and a second nozzle.
【図４】第２ノズルの他の実施例の説明図。FIG. 4 is an explanatory view of another embodiment of the second nozzle.
【図５】第２ノズルの他の実施例を示す断面図。FIG. 5 is a sectional view showing another embodiment of the second nozzle.
【図６】遮蔽板がない場合とある場合の超音速流領域の
模式図。FIG. 6 is a schematic diagram of a supersonic flow region with and without a shielding plate.
【図７】遮蔽板がない場合とある場合のマススペクトル
の例を示す図。FIG. 7 is a diagram showing an example of a mass spectrum with and without a shielding plate.
【図８】差動排気部内に圧力可変装置を設けた実施例を
示す図。FIG. 8 is a diagram showing an embodiment in which a pressure varying device is provided in a differential exhaust unit.
【図９】第２のノズルを備える遮蔽板の例を示す図。FIG. 9 is a diagram showing an example of a shielding plate including a second nozzle.
【図１０】従来のＬＣ／ＭＳ装置の構成図。FIG. 10 is a block diagram of a conventional LC / MS device.
１…液体クロマトグラフ、２…配管、３…エレクトロス
プレー型大気圧イオン源、４…金属製キャピラリー、５
…ノズル、６…第１フランジ、７…第２ノズル、８…第
２フランジ、９…スキマー、１０…第３フランジ、１１
…排気口、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ…ヒーター、１３
ａ，１３ｂ，１３ｃ…絶縁リング、１４ａ，１４ｂ，１
４ｃ…収束用静電レンズ、１５…ゲート用レンズ、１６
ａ，１６ｂ…エンドキャップ電極、１７…リング電極、
１８…イオン取り込み口、１９…イオン取り出し口、２
０ａ，２０ｂ…イオントラップ用絶縁リング、２１…引
き出しレンズ、２２…検出器、２３…荒引き用真空ポン
プ、２４…真空ポンプ、２５…チャンバー、２６…円
筒、２７…第４フランジ、２８…複数の孔を持った金属
板、２９…超音速流領域、３０…超音速流領域遮蔽板、
３１…圧力可変機構、３２ａ，３２ｂ…差動排気部用収
束レンズ、３３ａ，３３ｂ，３３ｃ…収束及びゲート作
用を備えた静電レンズ、３４…検出器及び増幅器1 ... Liquid chromatograph, 2 ... Piping, 3 ... Electrospray atmospheric pressure ion source, 4 ... Metal capillary, 5
... Nozzle, 6 ... First flange, 7 ... Second nozzle, 8 ... Second flange, 9 ... Skimmer, 10 ... Third flange, 11
... Exhaust port, 12a, 12b, 12c ... Heater, 13
a, 13b, 13c ... Insulating ring, 14a, 14b, 1
4c ... electrostatic lens for converging, 15 ... lens for gate, 16
a, 16b ... End cap electrode, 17 ... Ring electrode,
18 ... Ion intake port, 19 ... Ion extraction port, 2
0a, 20b ... Insulation ring for ion trap, 21 ... Extraction lens, 22 ... Detector, 23 ... Roughing vacuum pump, 24 ... Vacuum pump, 25 ... Chamber, 26 ... Cylinder, 27 ... Fourth flange, 28 ... Plural A metal plate having a hole, 29 ... Supersonic flow region, 30 ... Supersonic flow region shielding plate,
31 ... Pressure varying mechanism, 32a, 32b ... Converging lens for differential evacuation unit, 33a, 33b, 33c ... Electrostatic lens having convergence and gate action, 34 ... Detector and amplifier
Claims (21)
溶液をイオン化するイオン化手段と、前記イオン化手段
によって生成されたイオンを加熱された第１のノズルを
通して導入するための差動排気部と、前記差動排気部に
加熱されたスキマーを介して接続された高真空室と、前
記スキマーを通して前記高真空室中に導入されたイオン
を質量分析して検出するためのイオントラップ型質量分
析部からなる質量分析装置において、 前記差動排気部内に、直線的な流路を有する第２のノズ
ルを備える遮蔽板を、第２のノズルの出口が前記イオン
トラップ質量分析部のエンドキャップ電極に対向するよ
うに設けたことを特徴とする質量分析装置。1. An ionization means for ionizing a sample solution under atmospheric pressure or a pressure equivalent thereto, and a differential evacuation section for introducing ions generated by the ionization means through a heated first nozzle. A high vacuum chamber connected to the differential evacuation unit via a heated skimmer, and an ion trap mass spectrometric unit for mass spectrometric detection of ions introduced into the high vacuum chamber through the skimmer In the mass spectrometer, the shielding plate including a second nozzle having a linear flow path is provided in the differential exhaust unit, and an outlet of the second nozzle faces an end cap electrode of the ion trap mass spectrometry unit. A mass spectrometer, which is provided so as to
ーの中心軸が一致し、前記第２のノズルの流路はその中
心軸上に位置することを特徴とする請求項１記載の質量
分析装置。2. The mass according to claim 1, wherein a central axis of the first nozzle and a central axis of the skimmer coincide with each other, and a flow path of the second nozzle is located on the central axis. Analysis equipment.
ーの中心軸がずれており、前記第１のノズルの出口と前
記第２のノズルの入口が対向し、前記第２のノズルの出
口と前記スキマーの入口が対向していることを特徴とす
る請求項１記載の質量分析装置。3. The center axis of the first nozzle and the center axis of the skimmer are misaligned, the outlet of the first nozzle and the inlet of the second nozzle face each other, and the outlet of the second nozzle. The mass spectrometer according to claim 1, wherein an inlet of the skimmer and an inlet of the skimmer face each other.
溶液をイオン化するイオン化手段と、前記イオン化手段
によって生成されたイオンを加熱された第１のノズルを
通して導入するための差動排気部と、前記差動排気部に
加熱されたスキマーを介して接続された高真空室と、前
記スキマーを通して前記高真空室中に導入されたイオン
を質量分析して検出するためのイオントラップ型質量分
析部からなる質量分析装置において、 前記差動排気部内に、屈曲したあるいは前記第１のノズ
ルの中心軸に対して斜行した流路を有する第２のノズル
を備える遮蔽板を、第２のノズルの出口が前記イオント
ラップ質量分析部のエンドキャップ電極に対向するよう
に設けたことを特徴とする質量分析装置。4. An ionization means for ionizing a sample solution under atmospheric pressure or a pressure equivalent thereto, and a differential evacuation part for introducing ions generated by the ionization means through a heated first nozzle. A high vacuum chamber connected to the differential evacuation unit via a heated skimmer, and an ion trap mass spectrometric unit for mass spectrometric detection of ions introduced into the high vacuum chamber through the skimmer In the mass spectrometer, the shield plate including the second nozzle having a flow path that is bent or oblique to the central axis of the first nozzle is provided in the differential exhaust unit, A mass spectrometer, wherein an outlet is provided so as to face an end cap electrode of the ion trap mass spectrometer.
ーの中心軸が一致し、前記第１のノズルの出口と前記第
２のノズルの入口が対向し、前記第２のノズルの出口と
前記スキマーの入口が対向していることを特徴とする請
求項４記載の質量分析装置。5. The center axis of the first nozzle and the center axis of the skimmer are aligned, the outlet of the first nozzle and the inlet of the second nozzle are opposed to each other, and the outlet of the second nozzle is The mass spectrometer according to claim 4, wherein the inlets of the skimmers face each other.
ーの中心軸がずれており、前記第１のノズルの出口と前
記第２のノズルの入口が対向し、前記第２のノズルの出
口と前記スキマーの入口が対向していることを特徴とす
る請求項４記載の質量分析装置。6. A center axis of the first nozzle and a center axis of the skimmer are displaced from each other, an outlet of the first nozzle and an inlet of the second nozzle face each other, and an outlet of the second nozzle. The mass spectrometer according to claim 4, wherein the inlet of the skimmer and the inlet of the skimmer face each other.
溶液をイオン化するイオン化手段と、前記イオン化手段
によって生成されたイオンを加熱された第１のノズルを
通して導入するための差動排気部と、前記差動排気部に
加熱されたスキマーを介して接続された高真空室と、前
記スキマーを通して前記高真空室中に導入されたイオン
を質量分析して検出するためのイオントラップ型質量分
析部からなる質量分析装置において、 前記差動排気部内に、複数の通過孔を有する金属板を内
包する第２のノズルを備える遮蔽板を、第２のノズルの
出口が前記イオントラップ質量分析部のエンドキャップ
電極に対向するように設けたことを特徴とする質量分析
装置。7. An ionization means for ionizing a sample solution under atmospheric pressure or a pressure equivalent thereto, and a differential evacuation part for introducing ions generated by the ionization means through a heated first nozzle. A high vacuum chamber connected to the differential evacuation unit via a heated skimmer, and an ion trap mass spectrometric unit for mass spectrometric detection of ions introduced into the high vacuum chamber through the skimmer In the mass spectrometer, the shielding plate having a second nozzle including a metal plate having a plurality of passage holes is provided in the differential evacuation unit, and an outlet of the second nozzle is an end of the ion trap mass spectrometry unit. A mass spectrometer, which is provided so as to face the cap electrode.
ーの中心軸が一致し、前記第１のノズルの出口と前記第
２のノズルの入口が対向し、前記第２のノズルの出口と
前記スキマーの入口が対向し、かつ前記複数の通過孔は
前記中心軸から外れた位置に設けられていることを特徴
とする請求項７記載の質量分析装置。8. The center axis of the first nozzle and the center axis of the skimmer are aligned, the outlet of the first nozzle and the inlet of the second nozzle are opposed to each other, and the outlet of the second nozzle is The mass spectrometer according to claim 7, wherein the inlets of the skimmer face each other, and the plurality of passage holes are provided at positions deviated from the central axis.
ーの中心軸がずれており、前記第１のノズルの出口と前
記第２のノズルの入口が対向し、前記第２のノズルの出
口と前記スキマーの入口が対向し、かつ前記複数の通過
孔は前記第２のノズルの中心軸から外れた位置に設けら
れていることを特徴とする請求項７記載の質量分析装
置。9. The center axis of the first nozzle and the center axis of the skimmer are deviated, the outlet of the first nozzle and the inlet of the second nozzle face each other, and the outlet of the second nozzle. 9. The mass spectrometer according to claim 7, wherein the skimmer inlets face each other, and the plurality of passage holes are provided at positions deviated from the central axis of the second nozzle.
料溶液をイオン化するイオン化手段と、前記イオン化手
段によって生成されたイオンを加熱された第１のノズル
を通して導入するための差動排気部と、前記差動排気部
に加熱されたスキマーを介して接続された高真空室と、
前記スキマーを通して前記高真空室中に導入されたイオ
ンを質量分析して検出するための磁場型又は四重極型質
量分析部からなる質量分析装置において、 前記差動排気部内に、屈曲したあるいは前記第１のノズ
ルとスキマーを結ぶ直線に対して斜行した流路を有する
第２のノズルを備える遮蔽板を設けたことを特徴とする
質量分析装置。10. An ionization means for ionizing a sample solution under atmospheric pressure or a pressure equivalent thereto, and a differential evacuation part for introducing ions generated by the ionization means through a heated first nozzle. A high vacuum chamber connected to the differential evacuation unit via a heated skimmer,
In a mass spectrometer comprising a magnetic field type or quadrupole mass spectrometer for mass spectrometric detection of ions introduced into the high vacuum chamber through the skimmer, in the differential evacuation unit, bent or A mass spectroscope comprising a shield plate including a second nozzle having a flow path oblique to a straight line connecting the first nozzle and the skimmer.
マーの中心軸が一致し、前記第１のノズルの出口と前記
第２のノズルの入口が対向し、前記第２のノズルの出口
と前記スキマーの入口が対向していることを特徴とする
請求項１０記載の質量分析装置。11. The center axis of the first nozzle and the center axis of the skimmer are aligned, the outlet of the first nozzle and the inlet of the second nozzle face each other, and the outlet of the second nozzle The mass spectrometer according to claim 10, wherein the inlets of the skimmers face each other.
マーの中心軸がずれており、前記第１のノズルの出口と
前記第２のノズルの入口が対向し、前記第２のノズルの
出口と前記スキマーの入口が対向していることを特徴と
する請求項１０記載の質量分析装置。12. A center axis of the first nozzle and a center axis of the skimmer are displaced from each other, an outlet of the first nozzle and an inlet of the second nozzle face each other, and an outlet of the second nozzle. The mass spectrometer according to claim 10, wherein the inlet of the skimmer and the inlet of the skimmer face each other.
料溶液をイオン化するイオン化手段と、前記イオン化手
段によって生成されたイオンを加熱された第１のノズル
を通して導入するための差動排気部と、前記差動排気部
に加熱されたスキマーを介して接続された高真空室と、
前記スキマーを通して前記高真空室中に導入されたイオ
ンを質量分析して検出するための磁場型又は四重極型質
量分析部からなる質量分析装置において、 前記差動排気部内に、複数の通過孔を有する金属板を内
包する第２のノズルを備える遮蔽板を設けたことを特徴
とする質量分析装置。13. An ionization means for ionizing a sample solution under atmospheric pressure or a pressure equivalent thereto, and a differential evacuation section for introducing ions generated by the ionization means through a heated first nozzle. A high vacuum chamber connected to the differential evacuation unit via a heated skimmer,
In a mass spectrometer comprising a magnetic field type or quadrupole mass spectrometer for mass-analyzing and detecting ions introduced into the high vacuum chamber through the skimmer, a plurality of passage holes are provided in the differential exhaust unit. A mass spectroscope provided with a shielding plate having a second nozzle that encloses a metal plate having a.
マーの中心軸が一致し、前記第１のノズルの出口と前記
第２のノズルの入口が対向し、前記第２のノズルの出口
と前記スキマーの入口が対向し、かつ前記複数の通過孔
は前記中心軸から外れた位置に設けられていることを特
徴とする請求項１３記載の質量分析装置。14. The center axis of the first nozzle and the center axis of the skimmer are aligned, the outlet of the first nozzle and the inlet of the second nozzle are opposed to each other, and the outlet of the second nozzle is The mass spectrometer according to claim 13, wherein the inlets of the skimmer face each other, and the plurality of passage holes are provided at positions deviated from the central axis.
マーの中心軸がずれており、前記第１のノズルの出口と
前記第２のノズルの入口が対向し、前記第２のノズルの
出口と前記スキマーの入口が対向し、かつ前記複数の通
過孔は前記第２のノズルの中心軸から外れた位置に設け
られていることを特徴とする請求項１３記載の質量分析
装置。15. A center axis of the first nozzle and a center axis of the skimmer are displaced from each other, an outlet of the first nozzle and an inlet of the second nozzle face each other, and an outlet of the second nozzle. 14. The mass spectrometer according to claim 13, wherein the inlet of the skimmer and the inlet of the skimmer face each other, and the plurality of passage holes are provided at positions deviated from the central axis of the second nozzle.
部の前記第１のノズル側の領域は、前記差動排気部に設
けられた荒引き用真空ポンプで排気されるように少なく
とも一つの排気口を有することを特徴とする請求項１〜
１５のいずれか１項記載の質量分析装置。16. The at least one region of the differential evacuation unit on the side of the first nozzle, which is separated by the shielding plate, is exhausted by a roughing vacuum pump provided in the differential evacuation unit. It has one exhaust port.
15. The mass spectrometer according to any one of 15.
えることを特徴とする請求項１６記載の質量分析装置。17. The mass spectrometer according to claim 16, further comprising means for changing the size of the exhaust port.
部の前記第１のノズル側の領域の圧力は１〜１００Ｔｏ
ｒｒであることを特徴とする請求項１６又は１７記載の
質量分析装置。18. The pressure in the region on the first nozzle side of the differential evacuation unit separated by the shielding plate is 1 to 100 To.
The mass spectrometer according to claim 16 or 17, which is rr.
部の前記スキマー側の領域の圧力は０．１〜１０Ｔｏｒ
ｒであることを特徴とする請求項１６、１７又は１８記
載の質量分析装置。19. The pressure in the region on the skimmer side of the differential exhaust unit separated by the shielding plate is 0.1 to 10 Tor.
19. The mass spectrometer according to claim 16, 17 or 18, wherein r is r.
を備えることを特徴とする請求項１〜１９のいずれか１
項記載の質量分析装置。20. The heating means for heating the second nozzle is provided, and any one of claims 1 to 19 is provided.
The mass spectrometer according to the item.
が孔の直径よりも大きいことを特徴とする請求項１〜２
０のいずれか１項記載の質量分析装置。21. The second nozzle according to claim 1, wherein the length of the flow path of the second nozzle is larger than the diameter of the hole.
The mass spectrometer according to claim 1.
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