JPH08161745A - Disk holding device - Google Patents
Disk holding deviceInfo
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- JPH08161745A JPH08161745A JP32986094A JP32986094A JPH08161745A JP H08161745 A JPH08161745 A JP H08161745A JP 32986094 A JP32986094 A JP 32986094A JP 32986094 A JP32986094 A JP 32986094A JP H08161745 A JPH08161745 A JP H08161745A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク等のディス
ク保持装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a disk holding device such as a magnetic disk.
【0002】[0002]
【従来の技術】ディスク表面に磁気記録層を形成して用
いられる磁気ディスクにおけるように、ディスク表面に
キズを付与することの許されないディスクでは、磁気記
録層等を形成する前のハンドリング、磁気記録層等を形
成した後のハンドリングに際し、ディスク表面を把持す
ることのないディスク保持装置を用いる必要がある。2. Description of the Related Art For a disk which is not allowed to have scratches on the disk surface such as a magnetic disk used by forming a magnetic recording layer on the disk surface, handling before forming a magnetic recording layer, magnetic recording It is necessary to use a disc holding device that does not grip the disc surface when handling after forming layers and the like.
【0003】然るに、従来のディスク保持装置として
は、特開昭60-254421 号公報に記載の如くのものが用い
られている。この従来のディスク保持装置は、ディスク
保持ロッドにメカニカルチャックを内蔵し、このメカニ
カルチャックによってディスクの円孔内周部を把持する
ものである。However, as a conventional disk holding device, the one described in JP-A-60-254421 is used. In this conventional disc holding device, a mechanical chuck is built in a disc holding rod, and the mechanical chuck grips the inner peripheral portion of the circular hole of the disc.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】然しながら、従来のデ
ィスク保持装置には、以下の如くの問題点がある。 ディスク保持ロッドにメカニカルチャックを内蔵する
ものであり、チャック爪の内蔵構造、チャック爪の開閉
構造等を具備する必要があり、構成は非常に複雑であ
る。However, the conventional disk holding device has the following problems. A mechanical chuck is built in the disc holding rod, and it is necessary to have a built-in structure of chuck claws, an opening / closing structure of chuck claws, etc., and the configuration is very complicated.
【0005】ディスク保持ロッドにメカニカルチャッ
クを内蔵するものであって小径化に困難があり、ディス
クの小径化に対応することが非常に困難である。Since the disk holding rod has a built-in mechanical chuck, it is difficult to reduce the diameter, and it is very difficult to cope with the reduction in the diameter of the disk.
【0006】ディスク保持ロッドにディスクを保持す
るとき、メカニカルチャックを開閉するタイミングが必
要となり、ディスク処理の高速化に対応することが非常
に困難である。When the disc is held by the disc holding rod, it is necessary to open and close the mechanical chuck at a timing, and it is very difficult to cope with the speeding up of the disc processing.
【0007】ディスク保持ロッドにメカニカルチャッ
クを内蔵するものであり、メカニカルチャックの作動に
伴う摩耗粉等の微粉発生を避けることに困難があり、デ
ィスク汚染の虞れがある。Since the disk holding rod has a built-in mechanical chuck, it is difficult to avoid generation of fine particles such as abrasion powder due to the operation of the mechanical chuck, and there is a risk of disk contamination.
【0008】ディスク保持ロッドに内蔵したメカニカ
ルチャックによってディスクの円孔内周部を把持するも
のであり、ディスクの位置決め精度向上に困難がある。Since the inner circumference of the circular hole of the disk is held by the mechanical chuck built in the disk holding rod, it is difficult to improve the positioning accuracy of the disk.
【0009】ディスク保持ロッドに多数のディスクを
保持しようとするとき、ディスク保持ロッドに多数のメ
カニカルチャックを内蔵するものとなるが、各メカニカ
ルチャックの小型化に困難があり、多数のディスクの同
時保持に困難がある。When attempting to hold a large number of discs on the disc holding rod, a large number of mechanical chucks are built in the disc holding rod, but it is difficult to reduce the size of each mechanical chuck, and a large number of discs can be held simultaneously. Have difficulty.
【0010】ディスクハンドリングロボット等にディ
スク保持ロッドを装着して用いるとき等において、異な
る形状のディスクをハンドリングするに際しては、ディ
スク形状毎に異なるメカニカルチャックを備えたディス
ク保持ロッドを交換使用する必要があり、段取り替えに
長時間を要し、ディスク処理装置の稼動率向上に困難が
ある。When a disc holding rod is mounted on a disc handling robot or the like, when handling discs of different shapes, it is necessary to replace the disc holding rod with a mechanical chuck different for each disc shape. However, it takes a long time to change the setup, and it is difficult to improve the operating rate of the disk processing device.
【0011】本発明は、ディスク保持装置において、極
めて簡素な構成により、ディスクの小径化とディスク処
理の高速化に良く対応できるとともに、微粉によるディ
スク汚染を防止でき、かつディスクの位置決め精度も向
上可能とすることを目的とする。According to the present invention, in the disc holding device, the disc can be made smaller in diameter and the disc can be processed at a higher speed with an extremely simple structure, the disc can be prevented from being contaminated by fine powder, and the disc positioning accuracy can be improved. The purpose is to
【0012】また、本発明は、ディスク保持装置におい
て、多数のディスクを同時保持可能とすることを目的と
する。Another object of the present invention is to enable a disk holding device to hold a large number of disks at the same time.
【0013】また、本発明は、ディスク保持装置におい
て、段取り替えを伴うことなく複数種類のディスクを保
持可能とし、ディスク処理装置の稼動率を向上可能とす
ることを目的とする。Another object of the present invention is to make it possible for a disk holding device to hold a plurality of types of disks without setup change and to improve the operating rate of the disk processing device.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の本発明
は、ディスク保持ロッドにディスクの円孔を挿入し、該
ロッド上に設けた保持溝に該ディスクの円孔内周部を係
入し、該ディスクを保持可能としてなるディスク保持装
置であって、前記保持溝が、ディスクの円孔両側部をガ
イドするディスク導入テーパ部と、ディスク導入テーパ
部にガイドされて導入されたディスクを両側壁面間にて
位置決めするディスク位置決め部と、ディスク位置決め
部により位置決めされるディスクの円孔と同一曲率をな
して該円孔と面接触するディスク支持円弧部とを有して
なるものである。According to a first aspect of the present invention, a circular hole of a disc is inserted into a disc holding rod, and a holding groove formed on the rod engages an inner peripheral portion of the circular hole of the disc. A disk holding device capable of holding and holding the disk, wherein the holding groove has a disk introducing taper portion for guiding both side portions of a circular hole of the disk and a disk introduced by being guided by the disk introducing taper portion. It has a disc positioning portion for positioning between both side wall surfaces, and a disc supporting arc portion which has the same curvature as the circular hole of the disc positioned by the disc positioning portion and is in surface contact with the circular hole.
【0015】請求項2に記載の本発明は、請求項1に記
載の本発明において更に、前記ディスク保持ロッドの保
持溝におけるディスク支持円弧部の円弧に直交する横断
面が、ディスクの円孔両側縁部に設けてある面取部の面
取角度と同一角度のV溝状をなすものである。According to a second aspect of the present invention, in addition to the first aspect of the present invention, the cross section orthogonal to the circular arc of the disc supporting circular arc portion in the holding groove of the disc holding rod has a circular hole on both sides of the disc. The chamfered portion provided at the edge has a V-groove shape with the same chamfering angle.
【0016】請求項3に記載の本発明は、請求項1又は
2に記載の本発明において更に、前記ディスク保持ロッ
ドが該ロッドの長手方向複数位置のそれぞれに同一溝形
状をなす複数の保持溝を備えており、各保持溝のディス
ク支持円弧部が互いに同芯配置されてなるものである。According to a third aspect of the present invention, in addition to the first or second aspect of the present invention, a plurality of holding grooves in which the disc holding rod has the same groove shape at a plurality of longitudinal positions of the rod are provided. And the disc supporting arcs of the holding grooves are arranged concentrically with each other.
【0017】請求項4に記載の本発明は、請求項1〜3
のいずれかに記載の本発明において更に、前記ディスク
保持ロッドがディスク厚みの異なる複数種類のディスク
を保持可能とするものであり、該ロッドの長手方向複数
位置のそれぞれにディスクの種類に応じて異なる溝形状
の複数組の保持溝を備えてなるものである。The present invention according to claim 4 provides the invention according to claims 1 to 3.
Further, in the present invention described in any one of the above, the disc holding rod is capable of holding a plurality of types of discs having different disc thicknesses, and varies depending on the type of the disc at a plurality of longitudinal positions of the rod. A plurality of sets of groove-shaped holding grooves are provided.
【0018】請求項5に記載の本発明は、請求項1〜3
のいずれかに記載の本発明において更に、前記ディスク
保持ロッドが円孔形状の異なる複数種類のディスクを保
持可能とするものであり、該ロッドの長手方向複数位置
のそれぞれにディスクの種類に応じて異なる溝形状の複
数の保持溝を備えてなるものである。The present invention according to claim 5 provides the invention according to claims 1 to 3.
In the present invention according to any one of the above, further, the disc holding rod is capable of holding a plurality of types of discs having different circular hole shapes, depending on the type of the disc at a plurality of longitudinal positions of the rod. A plurality of holding grooves having different groove shapes are provided.
【0019】請求項6に記載の本発明は、請求項1〜3
のいずれかに記載の本発明において更に、前記ディスク
保持ロッドがディスク厚みの異なる複数種類のディスク
を保持可能とするものであり、該ロッドの長手方向同一
位置にディスクの種類に応じて異なる溝形状の複数の保
持溝を備えてなるものである。The present invention according to claim 6 is based on claims 1 to 3.
In any one of the present inventions, the disc holding rod is capable of holding a plurality of types of discs having different disc thicknesses, and different groove shapes depending on the type of the disc at the same position in the longitudinal direction of the rod. Is provided with a plurality of holding grooves.
【0020】[0020]
【作用】請求項1に記載の本発明によれば下記(1) 〜
(5) の作用がある。 (1) ディスク保持ロッドに、ディスク導入テーパ部とデ
ィスク位置決め部とディスク支持円弧部とを有してなる
保持溝を設けるだけの簡易な構成により、該ロッドに挿
入したディスクを保持溝内にて確実に保持できる。尚、
保持溝に係入せしめられたディスクは、ディスク位置決
め部の両側壁面に挟まれてロッド軸方向への振れを防止
され、かつディスクの円孔を該円孔と同一曲率のディス
ク支持円弧部に着座せしめられてロッド軸回りでの振れ
を防止され、結果として速やかに所定の位置に静止して
安定保持される。According to the present invention described in claim 1, the following (1)
There is an action of (5). (1) With a simple configuration in which a holding groove having a disc introduction taper portion, a disc positioning portion, and a disc supporting arc portion is provided on the disc holding rod, the disc inserted into the rod is held in the holding groove. Can be held securely. still,
The disc engaged in the holding groove is sandwiched between both side walls of the disc positioning part to prevent the disc from swinging in the axial direction of the rod, and the circular hole of the disc is seated on the circular arc portion of the disc supporting the same curvature as the circular hole. The rod is prevented from swinging around the rod axis, and as a result, the rod is quickly stopped at a predetermined position and stably held.
【0021】(2) ディスク保持ロッドに単純形状の保持
溝を設けるだけであって、該ロッドを容易に小径化で
き、ディスクの小径化に容易に対応できる。(2) Only by providing the disc holding rod with a holding groove having a simple shape, the diameter of the rod can be easily reduced, and the disc can be easily reduced in diameter.
【0022】(3) ディスク保持ロッドに挿入したディス
クの円孔内周部を保持溝に係入させるだけでディスクを
保持でき、ディスク処理の高速化に良く対応できる。(3) The disk can be held only by engaging the inner peripheral portion of the circular hole of the disk inserted in the disk holding rod with the holding groove, and it is possible to cope with speeding up of disk processing.
【0023】(4) ディスク保持ロッドに保持溝を設ける
だけの静止体であり、可動部がないので摩耗粉等の微粉
発生がなく、ディスク汚染を防止できる。(4) Since it is a stationary body only having a holding groove in the disc holding rod and has no movable part, fine particles such as abrasion powder are not generated and the disc contamination can be prevented.
【0024】(5) ディスク保持ロッドに設けた保持溝の
ディスク位置決め部とディスク支持円弧部によってディ
スクを所定の位置に正確に安定保持でき、ディスクの位
置決め精度を向上できる。(5) The disc positioning portion of the holding groove provided on the disc holding rod and the disc supporting arc portion can accurately and stably hold the disc at a predetermined position, thereby improving the disc positioning accuracy.
【0025】請求項2に記載の本発明によれば下記(6)
の作用がある。 (6) ディスク保持ロッドの保持溝におけるディスク支持
円弧部の円弧に直交する横断面が、ディスクの円孔両側
縁部に設けてある面取部の面取角度と同一角度のV溝状
をなすものとすることにより、ディスク支持円弧部に対
するディスクの着座状態を安定化でき、ディスク処理の
高速化をより向上するとともに、ディスクの位置決め精
度をより向上できる。According to the invention of claim 2, the following (6)
Has the effect of (6) The cross section orthogonal to the circular arc of the disc supporting circular arc portion in the holding groove of the disc holding rod forms a V groove shape having the same angle as the chamfering angle of the chamfered portions provided on both side edges of the circular hole of the disc. By doing so, it is possible to stabilize the seated state of the disc with respect to the disc supporting arc portion, further improve the speed of disc processing, and further improve the disc positioning accuracy.
【0026】請求項3に記載の本発明によれば下記(7)
の作用がある。 (7) ディスク保持ロッドに設ける保持溝の占有スペース
は小であり、ディスク保持ロッドの長手方向に多数の保
持溝を容易に並置できる。従って、ディスク保持ロッド
に多数の保持溝を設け、多数のディスクを同時保持でき
る。このとき、各保持溝のディスク支持円弧部を互いに
同芯配置してあるから、各ディスクを互いに同芯上に位
置決めできる。According to the invention of claim 3, the following (7)
Has the effect of (7) The space occupied by the holding groove provided on the disc holding rod is small, and a large number of holding grooves can be easily juxtaposed in the longitudinal direction of the disc holding rod. Therefore, a large number of holding grooves can be provided on the disk holding rod to hold a large number of disks at the same time. At this time, since the disc supporting arcs of the holding grooves are arranged concentrically with each other, the discs can be positioned concentrically with each other.
【0027】請求項4に記載の本発明によれば下記(8)
の作用がある。 (8) ディスク保持ロッドがディスク厚みの異なる複数種
類のディスクを保持可能とするものであり、該ロッドの
長手方向複数位置のそれぞれにディスクの種類に応じて
異なる溝形状の複数組の保持溝を備えるものとすること
により、ロッドの取り替えを伴うことなくディスク厚み
の異なる複数種類のディスクを保持可能とし、ディスク
処理装置の稼動率を向上できる。According to the invention of claim 4, the following (8)
Has the effect of (8) A disc holding rod is capable of holding a plurality of types of discs having different disc thicknesses, and a plurality of sets of holding grooves having different groove shapes are formed at a plurality of longitudinal positions of the rod according to the type of the disc. With the provision, it is possible to hold a plurality of types of discs having different disc thicknesses without replacing the rod, and it is possible to improve the operating rate of the disc processing apparatus.
【0028】請求項5に記載の本発明によれば下記(9)
の作用がある。 (9) ディスク保持ロッドが円孔形状の異なる複数種類の
ディスクを保持可能とするものであり、該ロッドの長手
方向複数位置のそれぞれにディスクの種類に応じて異な
る溝形状の複数の保持溝を備えるものとすることによ
り、ロッドの取り替えを伴うことなく円孔形状の異なる
複数種類のディスクを保持可能とし、ディスク処理装置
の稼動率を向上できる。According to the invention of claim 5, the following (9)
Has the effect of (9) The disc holding rod is capable of holding a plurality of types of discs having different circular hole shapes, and a plurality of holding grooves having different groove shapes are formed at a plurality of longitudinal positions of the rod depending on the type of the disc. With the provision, it is possible to hold a plurality of types of discs having different circular hole shapes without replacing the rod, and it is possible to improve the operating rate of the disc processing device.
【0029】請求項6に記載の本発明によれば下記(10)
の作用がある。 (10)ディスク保持ロッドがディスク厚みの異なる複数種
類のディスクを保持可能とするものであり、該ロッドの
長手方向同一位置にディスクの種類に応じて異なる溝形
状の複数の保持溝を備えるものとすることにより、ロッ
ドの取り替えを伴うことなくディスク厚みの異なる複数
種類のディスクを保持可能とし、ディスク処理装置の稼
動率を向上できる。According to the present invention described in claim 6, the following (10)
Has the effect of (10) A disc holding rod is capable of holding a plurality of types of discs having different disc thicknesses, and a plurality of holding grooves having different groove shapes depending on the type of the disc are provided at the same position in the longitudinal direction of the rod. By doing so, it is possible to hold a plurality of types of discs with different disc thicknesses without replacing the rod, and it is possible to improve the operating rate of the disc processing apparatus.
【0030】[0030]
【実施例】図1は磁気記録層形成装置を示す模式図、図
2はディスク保持装置を示す模式図、図3はディスク保
持装置によるディスク移載状態を示す模式図、図4はデ
ィスク保持装置の第1実施例を示す模式図、図5はディ
スク保持装置によるディスク保持状態を示す模式図、図
6はディスク保持装置の第2実施例を示す模式図、図7
はディスク保持装置の第3実施例を示す模式図、図8は
ディスク保持装置の第4実施例を示す模式図、図9はデ
ィスク保持装置の第5実施例を示す模式図、図10はデ
ィスク保持装置によるディスク振れ減衰状態を示す模式
図、図11は過負荷防止装置の一実施例を示す模式図で
ある。1 is a schematic diagram showing a magnetic recording layer forming device, FIG. 2 is a schematic diagram showing a disk holding device, FIG. 3 is a schematic diagram showing a disk transfer state by the disk holding device, and FIG. 4 is a disk holding device. 7 is a schematic view showing a first embodiment of the present invention, FIG. 5 is a schematic view showing a disk holding state by the disk holding device, FIG. 6 is a schematic view showing a second embodiment of the disk holding device, FIG.
Is a schematic diagram showing a third embodiment of the disc holding device, FIG. 8 is a schematic diagram showing a fourth embodiment of the disc holding device, FIG. 9 is a schematic diagram showing a fifth embodiment of the disc holding device, and FIG. 10 is a disc. FIG. 11 is a schematic diagram showing a disk shake damping state by the holding device, and FIG. 11 is a schematic diagram showing an embodiment of an overload prevention device.
【0031】磁気記録層形成装置10は、ディスク1の
表面に磁気記録層を形成するものであり、図1に示す如
く、ロードロボット11、アンロードロボット12、空
カセット横送り装置13、パレット14、スパッタ室1
5、リターン装置16、エレベータ17を有し、以下の
如くに動作する。尚、ロボット11、12は同一のディ
スク保持装置20(後述する20A〜20E)を有し、
ディスク保持装置20はハンド11A、12Aに設けら
れているロッド支持体21に2本のディスク保持ロッド
22(後述する22A〜22E)を有して構成されてい
る。The magnetic recording layer forming device 10 forms a magnetic recording layer on the surface of the disk 1. As shown in FIG. 1, a load robot 11, an unload robot 12, an empty cassette traverse device 13, and a pallet 14 are provided. , Sputter chamber 1
5, it has a return device 16 and an elevator 17, and operates as follows. The robots 11 and 12 have the same disk holding device 20 (20A to 20E described later),
The disc holding device 20 is configured by including two disc holding rods 22 (22A to 22E described later) on a rod support 21 provided on the hands 11A and 12A.
【0032】(1) 多数のディスク1が、カセット2に多
列に設けられている多数のディスク保持部2Aに保持さ
れ、ローディング位置に搬入される。(1) A large number of discs 1 are held by a large number of disc holding portions 2A provided in the cassette 2 in multiple rows and carried into the loading position.
【0033】(2) ローディング位置で、ロードロボット
11のハンド11Aに設けられているロッド支持体21
に支持されているディスク保持ロッド22を、カセット
2内の多数のディスク1の円孔1Aに挿入し、該ロッド
の長手方向複数位置のそれぞれに設けてある保持溝30
(後述する31、32、33A〜33C、34A〜34
C、35A、35B)に各ディスク1の円孔1A内周部
を係入し、多数のディスク1を同時に保持してカセット
2の外に排出する(図3)。(2) The rod support 21 provided on the hand 11A of the load robot 11 at the loading position.
The disc holding rods 22 supported by the discs are inserted into the circular holes 1A of the large number of discs 1 in the cassette 2, and the holding grooves 30 are provided at the plural longitudinal positions of the rods.
(31, 32, 33A to 33C, 34A to 34 described later
C, 35A, 35B) are engaged with the inner peripheral portion of the circular hole 1A of each disc 1, and a large number of discs 1 are simultaneously held and ejected out of the cassette 2 (FIG. 3).
【0034】このとき、ロッド支持体21は前述の如く
2本のディスク保持ロッド22を有している。但し、ロ
ッド支持体21は単一のディスク保持ロッド22を有す
るものでも良く、或いは3本以上のディスク保持ロッド
22を多列状に有するものであっても良い。At this time, the rod support 21 has the two disc holding rods 22 as described above. However, the rod support 21 may have a single disc holding rod 22, or may have three or more disc holding rods 22 in multiple rows.
【0035】(3) ロードロボット11は、ディスク保持
ロッド22に保持した多数のディスク1を、ローディン
グ位置に位置付けられたパレット14内のディスク保持
部14Aに移載する。パレット14はスパッタ室15に
入ってディスク1の表面に磁気記録層を形成され、その
後リターン装置16、エレベータ17によりアンローデ
ィング位置に位置付けられる。(3) The load robot 11 transfers the large number of disks 1 held by the disk holding rods 22 to the disk holding portion 14A in the pallet 14 positioned at the loading position. The pallet 14 enters the sputtering chamber 15 to form a magnetic recording layer on the surface of the disk 1, and then is positioned at the unloading position by the return device 16 and the elevator 17.
【0036】(4) ローディング位置にてディスク1を排
出せしめられた空のカセット2は空カセット横送り装置
13によりアンローディング位置に搬送される。(4) The empty cassette 2 from which the disc 1 has been ejected at the loading position is conveyed to the unloading position by the empty cassette traverse device 13.
【0037】(5) アンロードロボット12は、ハンド1
2Aに設けられているロッド支持体21に支持されてい
るディスク保持ロッド22を、パレット14内の多数の
ディスク1の円孔1Aに挿入し、該ロッド長手方向複数
位置のそれぞれに設けてある保持溝30に各ディスク1
の円孔1A内周部を係入し(図3(A))、多数のディ
スク1を同時に保持してパレット14外に排出する(図
3(B))。空となったパレット14はローディング位
置に移動する。(5) The unload robot 12 uses the hand 1
The disc holding rods 22 supported by the rod supports 21 provided in 2A are inserted into the circular holes 1A of a large number of discs 1 in the pallet 14 and held at a plurality of positions in the longitudinal direction of the rods. Each disk 1 in the groove 30
The inner peripheral portion of the circular hole 1A is engaged (FIG. 3 (A)), a large number of discs 1 are simultaneously held and ejected out of the pallet 14 (FIG. 3 (B)). The empty pallet 14 moves to the loading position.
【0038】(6) アンロードロボット12は、ディスク
保持ロッド22に保持した磁気記録層形成後のディスク
1を、アンローディング位置に位置付けられた空のカセ
ット2のディスク保持部2Aに移載する(図3
(C))。このディスク1を移載されたカセット2は次
工程へと搬送される。尚、カセット2は、容器状もしく
はスタンド状のいずれであっても良い。(6) The unload robot 12 transfers the magnetic recording layer-formed disk 1 held by the disk holding rod 22 to the disk holding portion 2A of the empty cassette 2 positioned at the unloading position ( Figure 3
(C)). The cassette 2 on which the disc 1 is transferred is conveyed to the next step. The cassette 2 may be in the form of a container or a stand.
【0039】以下、ディスク保持装置20と、ディスク
保持装置20の過負荷防止装置60について説明する。 (A) ディスク保持装置20 (第1実施例)(図4、図5) 第1実施例のディスク保持装置20Aのディスク保持ロ
ッド22Aが有する保持溝31は、図4に示す如く、デ
ィスク導入テ−パ部41、ディスク位置決め部42、デ
ィスク支持円弧部43を有する。The disk holding device 20 and the overload prevention device 60 of the disk holding device 20 will be described below. (A) Disc holding device 20 (first embodiment) (FIGS. 4 and 5) The holding groove 31 of the disc holding rod 22A of the disc holding device 20A according to the first embodiment is provided with a disc introduction table as shown in FIG. -It has a pad portion 41, a disc positioning portion 42, and a disc supporting arc portion 43.
【0040】ディスク導入テ−パ部41は、ディスク1
の円孔1A両側部をガイドする。ディスク位置決め部4
2は、ディスク導入テ−パ部41にガイドされて導入さ
れたディスク1を両側垂直面間にて位置決めする。ディ
スク支持円弧部43は、ディスク位置決め部42により
位置決めされるディスク1の円孔1Aと同一曲率をなし
て該円孔1Aと面接触する。The disk introduction taper section 41 is used for the disk 1
Guide both sides of the circular hole 1A. Disk positioning part 4
The reference numeral 2 positions the disc 1 introduced by being guided by the disc introducing taper portion 41 between the vertical surfaces on both sides. The disc supporting arc portion 43 has the same curvature as the circular hole 1A of the disc 1 positioned by the disc positioning portion 42 and comes into surface contact with the circular hole 1A.
【0041】また、ディスク保持ロッド22Aにあって
は、ロッド22Aの長手方向複数位置のそれぞれに備え
ている各保持溝31を互いに同一溝形状とし、各保持溝
31のディスク支持円弧部43を互いに同芯配置するも
のとしている。Further, in the disc holding rod 22A, the holding grooves 31 provided at the plural positions in the longitudinal direction of the rod 22A have the same groove shape, and the disc supporting arc portions 43 of the holding grooves 31 are mutually arranged. It is supposed to be concentric.
【0042】以下、本実施例の作用について説明する。 ディスク保持ロッド22Aに、ディスク導入テーパ部
41とディスク位置決め部42とディスク支持円弧部4
3とを有してなる保持溝31を設けるだけの簡易な構成
により、該ロッド22Aに挿入したディスク1を保持溝
内にて確実に保持できる。尚、保持溝31に係入せしめ
られたディスク1は、ディスク位置決め部42の両側垂
直面に挟まれてロッド軸方向への振れを防止され、かつ
ディスク1の円孔1Aを該円孔1Aと同一曲率のディス
ク支持円弧部43に着座せしめられてロッド軸回りでの
振れを防止され、結果として速やかに所定の位置に静止
して安定保持される。The operation of this embodiment will be described below. On the disc holding rod 22A, the disc introducing taper portion 41, the disc positioning portion 42, and the disc supporting arc portion 4 are provided.
The disk 1 inserted into the rod 22A can be reliably held in the holding groove by a simple structure in which the holding groove 31 having the number 3 is provided. The disc 1 engaged with the holding groove 31 is sandwiched between the vertical surfaces on both sides of the disc positioning portion 42 to prevent the disc 1 from swinging in the axial direction of the rod, and the circular hole 1A of the disc 1 is referred to as the circular hole 1A. It is seated on the disk supporting arc portion 43 having the same curvature to prevent the swinging around the rod axis, and as a result, it is quickly stopped and stably held at a predetermined position.
【0043】ディスク保持ロッド22Aに単純形状の
保持溝31を設けるだけであって、該ロッド22Aを容
易に小径化でき、ディスク1の小径化に容易に対応でき
る。By simply providing the holding groove 31 of a simple shape in the disc holding rod 22A, the diameter of the rod 22A can be easily reduced, and the disc 1 can be easily reduced in diameter.
【0044】ディスク保持ロッド22Aに挿入したデ
ィスク1の円孔内周部を保持溝31に係入させるだけで
ディスク1を保持でき、ディスク処理の高速化に良く対
応できる。The disk 1 can be held only by engaging the inner circumferential portion of the circular hole of the disk 1 inserted in the disk holding rod 22A with the holding groove 31, and it is possible to cope with the speeding up of the disk processing.
【0045】ディスク保持ロッド22Aに保持溝31
を設けるだけの静止体であり、可動部がないので摩耗粉
等の微粉発生がなく、ディスク汚染を防止できる。A holding groove 31 is formed in the disc holding rod 22A.
Since it is a stationary body having no moving parts and no moving parts, fine particles such as abrasion powder are not generated, and disk contamination can be prevented.
【0046】ディスク保持ロッド22Aに設けた保持
溝31のディスク位置決め部42とディスク支持円弧部
43によってディスク1を所定の位置に正確に安定保持
でき、ディスク1の位置決め精度を向上できる。The disc positioning portion 42 of the holding groove 31 provided on the disc holding rod 22A and the disc supporting arc portion 43 can accurately and stably hold the disc 1 at a predetermined position and improve the positioning accuracy of the disc 1.
【0047】ディスク保持ロッド22Aに設ける保持
溝31の占有スペースは小であり、ディスク保持ロッド
22Aの長手方向に多数の保持溝31を容易に並置でき
る。従って、ディスク保持ロッド22Aに多数の保持溝
31を設け、多数のディスク1を同時保持できる。この
とき、各保持溝31のディスク支持円弧部43を互いに
同芯配置してあるから、各ディスク1を互いに同芯上に
位置決めできる。The holding groove 31 provided in the disc holding rod 22A occupies a small space, and a large number of holding grooves 31 can be easily juxtaposed in the longitudinal direction of the disc holding rod 22A. Therefore, a large number of holding grooves 31 are provided in the disc holding rod 22A, and a large number of discs 1 can be held simultaneously. At this time, since the disk supporting arc portions 43 of the holding grooves 31 are arranged concentrically with each other, the disks 1 can be positioned concentrically with each other.
【0048】図5(A)はディスク保持装置20Aによ
るディスク保持状態である。尚、ディスク保持装置20
A(後述するディスク保持装置20B〜20Eにあって
も同じ)にあっては、図5(B)に示す如く、各保持溝
31に保持した多数のディスク1の外周部を保持するス
タビライザ51を併用し、ディスク保持ロッド22A上
での各ディスク1の安定化を図るものであっても良い。FIG. 5A shows a disk holding state by the disk holding device 20A. The disk holding device 20
In A (the same applies to the disk holding devices 20B to 20E described later), as shown in FIG. 5B, a stabilizer 51 that holds the outer peripheral portion of the large number of disks 1 held in each holding groove 31 is provided. It may be used together to stabilize each disk 1 on the disk holding rod 22A.
【0049】(第2実施例)(図6) 第2実施例のディスク保持装置20Bのディスク保持ロ
ッド22Bが有する保持溝32は、図6に示す如く、第
1実施例の保持溝31と同様のディスク導入テーパ部4
1、ディスク位置決め部42、ディスク支持円弧部43
を有することに加え、該ディスク支持円弧部43の円弧
に直交する横断面が、ディスク1の円孔1A両側縁部に
設けてある面取部1Bの面取角度と同一角度のV溝状
(V溝部43A)をなすようにしたものである。(Second Embodiment) (FIG. 6) The holding groove 32 of the disk holding rod 22B of the disk holding device 20B of the second embodiment is the same as the holding groove 31 of the first embodiment as shown in FIG. Disk introduction taper part 4
1, disk positioning portion 42, disk supporting arc portion 43
In addition, the cross section orthogonal to the circular arc of the disc supporting arc portion 43 has a V-groove shape (the same as the chamfering angle of the chamfered portion 1B provided on both side edges of the circular hole 1A of the disc 1 ( The V groove portion 43A) is formed.
【0050】本実施例によれば、以下の如くの作用があ
る。ディスク保持ロッド22Bの保持溝32におけるデ
ィスク支持円弧部43の円弧に直交する横断面が、ディ
スク1の円孔1A両側縁部に設けてある面取部1Bの面
取角度と同一角度のV溝状をなすものとすることによ
り、ディスク支持円弧部43に対するディスク1の着座
状態を安定化でき、ディスク処理の高速化をより向上す
るとともに、ディスク1の位置決め精度をより向上でき
る。According to this embodiment, there are the following actions. A V-shaped groove whose cross section orthogonal to the circular arc of the disc supporting arc portion 43 in the holding groove 32 of the disc holding rod 22B has the same angle as the chamfering angle of the chamfered portion 1B provided on both side edges of the circular hole 1A of the disc 1. With this shape, the seated state of the disk 1 on the disk supporting arc portion 43 can be stabilized, the speed of disk processing can be further improved, and the positioning accuracy of the disk 1 can be further improved.
【0051】(第3実施例)(図7) 第3実施例のディスク保持装置20Cのディスク保持ロ
ッド22Cは、図7に示す如く、ディスク厚み(ta、
tb、tc)の異なる複数種類(本実施例では3種類)
のディスク1(1ta、1tb、1tc)を保持可能と
するものであり、ディスク保持ロッド22Cの長手方向
3位置のそれぞれにディスク1の種類((1ta、1t
b、1tc)に応じて異なる溝形状の3組の保持溝33
A〜33Cを備えたものである。(Third Embodiment) (FIG. 7) As shown in FIG. 7, the disk holding rod 22C of the disk holding device 20C of the third embodiment has a disk thickness (ta,
tb, tc) different types (three types in this embodiment)
Discs 1 (1ta, 1tb, 1tc) can be held, and the type of the disc 1 ((1ta, 1t, 1t
b, 1tc) three sets of holding grooves 33 having different groove shapes.
A to 33C are provided.
【0052】溝形状の異なる保持溝33A〜33Cは、
ディスク保持ロッド22Cの長手方向に順に隣接配置さ
れる。また、同一溝形状の保持溝33A(33B又は3
3C)は、ディスク保持ロッド22Cの長手方向に、カ
セット2内で隣接するディスク保持部2Aのピッチ間隔
p毎に繰り返し配置される。The holding grooves 33A to 33C having different groove shapes are
The disc holding rods 22C are arranged adjacent to each other in the longitudinal direction. In addition, holding grooves 33A (33B or 3) having the same groove shape
3C) are repeatedly arranged in the longitudinal direction of the disk holding rod 22C at every pitch interval p of the adjacent disk holding portions 2A in the cassette 2.
【0053】尚、各保持溝33A〜33Cは、第2実施
例の保持溝32と同様のディスク導入テ−パ部41、デ
ィスク位置決め部42、ディスク支持円弧部43(V溝
部43A)を有している。Each holding groove 33A to 33C has a disk introducing taper portion 41, a disk positioning portion 42, and a disk supporting arc portion 43 (V groove portion 43A) similar to the holding groove 32 of the second embodiment. ing.
【0054】本実施例によれば、以下の如くの作用があ
る。ディスク保持ロッド22Cがディスク厚みの異なる
複数種類のディスク1(1ta、1tb、1tc)を保
持可能とするものであり、該ロッド22Cの長手方向複
数位置のそれぞれにディスク1の種類に応じて異なる溝
形状の複数組の保持溝33A〜33Cを備えるものとす
ることにより、ロッドの取り替えをともなうことなくデ
ィスク厚みの異なる複数種類のディスク1(1ta、1
tb、1tc)を保持可能とし、磁気記録層形成装置1
0の稼動率を向上できる。According to this embodiment, there are the following effects. The disc holding rod 22C is capable of holding a plurality of types of discs 1 (1ta, 1tb, 1tc) having different disc thicknesses, and different grooves depending on the type of the disc 1 at a plurality of longitudinal positions of the rod 22C. By providing a plurality of sets of holding grooves 33A to 33C in a shape, a plurality of types of discs 1 (1ta, 1ta, 1ta, 1ta,
tb, 1tc) can be held and the magnetic recording layer forming apparatus 1
The operating rate of 0 can be improved.
【0055】(第4実施例)(図8) 第4実施例のディスク保持装置20Dのディスク保持ロ
ッド22Dは、図8に示す如く、円孔曲率(ra、r
b、rc)の異なる複数種類(本実施例では3種類)の
ディスク1(1ra、1rb、1rc)を保持可能とす
るものであり、ロッド22Dの長手方向3位置のそれぞ
れにディスク1の種類(1ra、1rb、1rc)に応
じて異なる溝形状の3組の保持溝34A〜34Cを備え
たものである。(Fourth Embodiment) (FIG. 8) As shown in FIG. 8, the disk holding rod 22D of the disk holding device 20D of the fourth embodiment has circular hole curvatures (ra, r).
b, rc) can hold a plurality of types (three types in this embodiment) of discs 1 (1ra, 1rb, 1rc), and the types of discs 1 at three positions in the longitudinal direction of the rod 22D ( 1ra, 1rb, 1rc), and three sets of holding grooves 34A to 34C having different groove shapes are provided.
【0056】溝形状の異なる保持溝34A〜34Cは、
ディスク保持ロッド22Dの長手方向に順に隣接配置さ
れる。また、同一溝形状の保持溝34A(34B又は3
4C)は、ディスク保持ロッド22Dの長手方向に、カ
セット2内で隣接するディスク保持部2Aのピッチ間隔
p毎に繰り返し配置される。The holding grooves 34A to 34C having different groove shapes are
The disc holding rods 22D are arranged adjacent to each other in the longitudinal direction. In addition, holding grooves 34A (34B or 3) having the same groove shape
4C) are repeatedly arranged in the longitudinal direction of the disc holding rod 22D at every pitch interval p of the disc holding portions 2A adjacent to each other in the cassette 2.
【0057】尚、各保持溝34A〜34Cは、第2実施
例の保持溝32と同様のディスク導入テーパ部41、デ
ィスク位置決め部42、ディスク支持円弧部43(V溝
部43A)を有している。Each holding groove 34A to 34C has a disk introducing taper portion 41, a disk positioning portion 42, and a disk supporting arc portion 43 (V groove portion 43A) similar to the holding groove 32 of the second embodiment. .
【0058】本実施例によれば、以下の如くの作用があ
る。ディスク保持ロッド22Dが円孔形状の異なる複数
種類のディスク1(1ra、1rb、1rc)を保持可
能とするものであり、該ロッド22Dの長手方向複数位
置のそれぞれにディスク1の種類に応じて異なる溝形状
の複数の保持溝34A〜34Cを備えるものとすること
により、ロッドの取り替えを伴うことなく円孔形状の異
なる複数種類のディスク1(1ra、1rb、1rc)
を保持可能とし、磁気記録層形成装置10の稼動率を向
上できる。According to this embodiment, there are the following actions. The disc holding rod 22D is capable of holding a plurality of types of discs 1 (1ra, 1rb, 1rc) having different circular hole shapes, and varies depending on the type of the disc 1 at a plurality of longitudinal positions of the rod 22D. By providing a plurality of groove-shaped holding grooves 34A to 34C, a plurality of types of discs 1 (1ra, 1rb, 1rc) having different circular hole shapes can be obtained without replacing the rod.
Can be maintained, and the operating rate of the magnetic recording layer forming apparatus 10 can be improved.
【0059】(第5実施例)(図9) 第5実施例のディスク保持装置20Eのディスク保持ロ
ッド22Eは、図9に示す如く、ディスク厚み(ta、
tb)の異なる複数種類(本実施例では2種類)のディ
スク1(1ta、1tb)を保持可能とするものであ
り、ロッド22Eの長手方向同一位置にディスク1の種
類(1ta、1tb)に応じて異なる溝形状の2組の保
持溝35A、35Bを備えたものである。(Fifth Embodiment) (FIG. 9) As shown in FIG. 9, the disk holding rod 22E of the disk holding device 20E of the fifth embodiment has a disk thickness (ta,
It is possible to hold a plurality of types (two types in this embodiment) of discs 1 (1ta, 1tb) having different tb), and depending on the types (1ta, 1tb) of the discs 1 at the same position in the longitudinal direction of the rod 22E. And two sets of holding grooves 35A and 35B having different groove shapes are provided.
【0060】尚、保持溝35Bは、第2実施例の保持溝
32と同様のディスク導入テーパ部41、ディスク位置
決め部42、ディスク支持円弧部43(V溝部43A)
を有する。また、保持溝35Bは、第2実施例の保持溝
32のディスク導入テーパ部41として保持溝35Aの
ディスク支持円弧部43(V溝部43A)を機能させる
とともに、ディスク位置決め部42、ディスク支持円弧
部43(V溝部43A)と同様のディスク位置決め部5
2、ディスク支持円弧部53(V溝部53A)を有す
る。The holding groove 35B is similar to the holding groove 32 of the second embodiment in that the disc introducing taper portion 41, the disc positioning portion 42, and the disc supporting arc portion 43 (V groove portion 43A).
Have. Further, the holding groove 35B causes the disc supporting arc portion 43 (V groove portion 43A) of the holding groove 35A to function as the disc introducing taper portion 41 of the holding groove 32 of the second embodiment, and also the disc positioning portion 42 and the disc supporting arc portion. Disk positioning portion 5 similar to 43 (V groove portion 43A)
2. It has a disk supporting arc portion 53 (V groove portion 53A).
【0061】本実施例によれば、以下の如くの作用があ
る。ディスク保持ロッド22Eがディスク厚みの異なる
複数種類のディスク1(1ta、1tb)を保持可能と
するものであり、該ロッド22Eの長手方向同一位置に
ディスク1の種類に応じて異なる溝形状の複数の保持溝
35A、35Bを備えるものとすることにより、ロッド
の取り替えを伴うことなくディスク厚みの異なる複数種
類のディスク1(1ta、1tb)を保持可能とし、磁
気記録層形成装置10の稼動率を向上できる。According to this embodiment, there are the following effects. The disc holding rod 22E is capable of holding a plurality of types of discs 1 (1ta, 1tb) having different disc thicknesses, and a plurality of groove-shaped discs having different groove shapes are provided at the same position in the longitudinal direction of the rod 22E depending on the type of the disc 1. By providing the holding grooves 35A and 35B, it is possible to hold a plurality of types of disks 1 (1ta, 1tb) having different disk thicknesses without changing the rod, and improve the operating rate of the magnetic recording layer forming apparatus 10. it can.
【0062】図10は、本実施例のディスク保持装置2
0が備える保持溝30の形状が、ディスク1の振れ減衰
に及ぼす効果を示す実験結果である。実験は、ディスク
保持ロッド22の保持溝30にディスク1を保持してロ
ッド22を移動した後の移動停止時における、ディスク
1の振れ状態(ロッド22の軸方向の振れ)をレーザ距
離計により測定しものである。(A) は単純V溝状の保持
溝30によるもの、(B) は第1実施例の保持溝31にお
ける如くにディスク導入テーパ部41、ディスク位置決
め部42、ディスク支持円弧部43を備えた保持溝30
によるもの、(C) は第2実施例の保持溝32における如
くにディスク導入テーパ部41、ディスク位置決め部4
2、ディスク支持円弧部43(V溝部43A)を備えた
保持溝30によるものである。ディスク1の振れ減衰効
果は、(A) 、(B) 、(C) の順に良好となる。FIG. 10 shows a disk holding device 2 of this embodiment.
2 is an experimental result showing the effect of the shape of the holding groove 30 included in 0 on the vibration damping of the disk 1. In the experiment, the shake state of the disc 1 (the shake of the rod 22 in the axial direction) is measured by a laser range finder when the disc 1 is held in the holding groove 30 of the disc holding rod 22 and the movement of the rod 22 is stopped. It is a servant. (A) is a holding groove 30 having a simple V-shaped groove, and (B) is a holding groove having a disk introducing taper portion 41, a disk positioning portion 42, and a disk supporting arc portion 43 as in the holding groove 31 of the first embodiment. Groove 30
(C) shows the disk introducing taper portion 41 and the disk positioning portion 4 as in the holding groove 32 of the second embodiment.
2. The holding groove 30 having the disk supporting arc portion 43 (V groove portion 43A). The shake damping effect of the disk 1 becomes good in the order of (A), (B), and (C).
【0063】(B) ディスク保持装置20の過負荷防止装
置60 ディスク保持装置20は、ディスク保持ロッド22に保
持したディスク1が例えばカセット2やパレット14の
ディスク保持部2A、14A等に引っ掛かる等により、
ディスク保持ロッド22に作用する過負荷(本実施例で
はロッド22の軸方向に作用する過負荷)を速やかに解
消するための過負荷防止装置60を有している。(B) Overload prevention device 60 of the disc holding device 20 The disc holding device 20 is constructed such that the disc 1 held by the disc holding rod 22 is caught by the disc holding portions 2A, 14A of the cassette 2 or the pallet 14, for example. ,
An overload prevention device 60 is provided for promptly eliminating an overload acting on the disc holding rod 22 (in this embodiment, an overload acting in the axial direction of the rod 22).
【0064】過負荷防止装置60は、ロッド支持体21
に軸受61(支持手段)を有し、この軸受61により、
ディスク保持ロッド22を過負荷作用方向にて変位(ス
ライド)可能にロッド支持体21に支持している。The overload prevention device 60 includes the rod support 21.
The bearing 61 (supporting means) is provided in the
The disc holding rod 22 is supported by the rod support 21 so as to be displaceable (slideable) in the direction of overload.
【0065】過負荷防止装置60は、ロッド支持体21
に固定磁石62を備えるとともに、この固定磁石62と
吸引し合う可動磁石63を備え、この可動磁石63を軸
受64により過負荷作用方向にて変位(スライド)可能
にロッド支持体21に支持している。また、過負荷防止
装置60は、可動磁石63と吸引し合う磁石65をディ
スク保持ロッド22の端部に備えている。磁石62、6
3、65は位置決め手段を構成し、磁石62に磁石63
が吸着せしめられる磁力、及び磁石63に磁石65が吸
着せしめられる磁力を位置決め力とし、これらの位置決
め力によってディスク保持ロッド22を定位置に位置付
けることを可能としている。The overload prevention device 60 includes the rod support 21.
Is provided with a fixed magnet 62 and a movable magnet 63 that attracts the fixed magnet 62, and the movable magnet 63 is supported by the bearing 64 on the rod support 21 so as to be displaceable (sliding) in the overload acting direction. There is. In addition, the overload prevention device 60 includes a magnet 65 that attracts the movable magnet 63 at the end of the disk holding rod 22. Magnets 62, 6
Numerals 3 and 65 constitute a positioning means, and the magnet 62 is connected to the magnet 63.
Is used as the positioning force, and the magnetic force that causes the magnet 65 to be attracted to the magnet 63 is used as the positioning force. The positioning force allows the disk holding rod 22 to be positioned at a fixed position.
【0066】過負荷防止装置60にあっては、(a) ディ
スク保持ロッド22上に上記磁石62と磁石63との吸
着磁力を超える押込み過負荷が作用すると、磁石63は
磁石62から離れ、結果としてディスク保持ロッド22
は定位置からずれ、このずれ発生を位置ずれ検出器66
により検出可能とする。また、(b) ディスク保持ロッド
22に上記磁石63と磁石65との吸着磁力を超える引
張過負荷が作用すると、磁石65は磁石63から離れ、
結果としてディスク保持ロッド22は定位置からずれ、
このずれ発生を位置ずれ検出器67により検出可能とす
る。位置ずれ検出器66、67は例えば近接スイッチか
らなり、位置ずれ検出器66は可動磁石63に一体のス
トッパ66Aの原位置からの移動を検出し、位置ずれ検
出器67はディスク保持ロッド22に一体のストッパ6
7Aの原位置からの移動を検出する。In the overload prevention device 60, (a) when a pushing overload acting on the disc holding rod 22 exceeding the attractive magnetic force between the magnet 62 and the magnet 63 is applied, the magnet 63 separates from the magnet 62, resulting in Disc holding rod 22
Is deviated from a fixed position, and this misregistration is detected by the misregistration detector 66.
Can be detected by. Further, (b) when a tensile overload exceeding the attraction magnetic force between the magnet 63 and the magnet 65 acts on the disk holding rod 22, the magnet 65 separates from the magnet 63,
As a result, the disc holding rod 22 is displaced from the home position,
The occurrence of this deviation can be detected by the position deviation detector 67. The position shift detectors 66 and 67 are, for example, proximity switches, the position shift detector 66 detects the movement of the stopper 66A integrated with the movable magnet 63 from the original position, and the position shift detector 67 is integrated with the disc holding rod 22. Stopper 6
The movement from the original position of 7A is detected.
【0067】過負荷防止装置60は制御装置68を有し
ている。制御装置68は、位置ずれ検出器66、67が
ディスク保持ロッド22の定位置からのずれ発生を検出
したときに、ロッド支持体21を該ロッド22に過負荷
の作用することのない安全位置(ロッド22に保持して
いるディスク1とカセット2やパレット14のディスク
保持部2A、14A等との引っ掛かりを回避できる位
置)に回避させるように、ロボット11、12を制御す
る。The overload prevention device 60 has a control device 68. When the positional deviation detectors 66, 67 detect the deviation of the disc holding rod 22 from the fixed position, the control device 68 causes the rod support 21 to be in a safe position (overload does not act on the rod 22). The robots 11 and 12 are controlled so as to avoid the disc 1 held on the rod 22 and the disc holding portions 2A and 14A of the cassette 2 and the pallet 14 from being caught.
【0068】過負荷防止装置60は、制御装置68によ
ってロッド支持体21を上述の安全位置に回避させた
後、ロッド支持体21に設けてあるアシストシリンダ7
1、72により前述のストッパ66A、67Aを原位置
に押し戻し、結果として磁石62と磁石63の吸着、磁
石63と磁石65の吸着を復元することにてディスク保
持ロッド22を再び定位置に位置付ける。The overload prevention device 60 prevents the rod support body 21 from the safe position described above by the control device 68, and then the assist cylinder 7 provided in the rod support body 21.
The above-mentioned stoppers 66A and 67A are pushed back to their original positions by 1, 72, and as a result, the attraction between the magnets 62 and 63 and the attraction between the magnets 63 and 65 are restored, so that the disk holding rod 22 is again positioned at the fixed position.
【0069】尚、磁石62、63、65の磁力の大きさ
の設定次第で、上述のシリンダ71、72を用いること
なく、ロッド支持体21を安全位置に回避する状態下で
磁石62と63、磁石63と65の吸着をそれらの吸引
力のみにて復元させる習性(結果として、ディスク保持
ロッド22を定位置に位置決めする習性)を具備せしめ
ることもできる。Depending on the setting of the magnitude of the magnetic force of the magnets 62, 63, 65, the magnets 62, 63, It is also possible to provide a habit of restoring the attraction of the magnets 63 and 65 only by their attraction force (as a result, habit of positioning the disc holding rod 22 at a fixed position).
【0070】従って、この過負荷防止装置60によれ
ば、以下の如くの作用がある。 ディスク保持ロッド22は過負荷作用方向にて変位可
能にロッド支持体21に支持されるとともに、位置決め
手段(磁石62、63、65)が付与する位置決め力
(磁力)により定位置に位置付けられるようになってい
る。然るに、ディスク1が磁気記録層形成装置10に引
っ掛かる等により、ディスク保持ロッド22に上述の位
置決め力を超える過負荷が作用すると、該ロッド22は
直ちに変位して定位置からずれ、該過負荷を速やかに解
消する。また、位置ずれ検出器66、67は上述のディ
スク保持ロッド22の定位置からのずれ発生を検出し、
制御装置68はこの位置ずれ検出器66、67の検出結
果に基づき、ロッド支持体21を該ロッド22に過負荷
の作用することのない安全位置に回避させ、結果とし
て、ディスク1が磁気記録層形成装置10に引っ掛かる
等の過負荷発生の原因を取り除き磁気記録層形成装置1
0の稼動率低下を回避可能とする。Therefore, the overload prevention device 60 has the following actions. The disk holding rod 22 is supported by the rod support 21 so as to be displaceable in the direction of the overload, and is positioned at a fixed position by the positioning force (magnetic force) given by the positioning means (magnets 62, 63, 65). Has become. However, when an overload exceeding the above-mentioned positioning force acts on the disk holding rod 22 due to the disk 1 being caught by the magnetic recording layer forming apparatus 10 or the like, the rod 22 is immediately displaced and deviates from the fixed position, and the overload is prevented. Dissolve promptly. Further, the positional deviation detectors 66 and 67 detect the occurrence of the deviation of the disc holding rod 22 from the fixed position,
Based on the detection results of the position shift detectors 66 and 67, the control device 68 causes the rod support 21 to avoid a safe position where the rod 22 is not overloaded, and as a result, the disk 1 is stored in the magnetic recording layer. The magnetic recording layer forming apparatus 1 for removing the cause of the occurrence of overload such as being caught in the forming apparatus 10
It is possible to avoid a decrease in operating rate of 0.
【0071】上記により、ディスク保持ロッド22
に作用した過負荷を直ちに解消できるから、該ロッド2
2に不測の損傷を生じてディスク1の位置決め精度を損
ねることがない。また、ディスク1に不測の損傷を生じ
てディスク1の品質を損なうことも防止できる。As described above, the disc holding rod 22
Since the overload acting on the rod can be immediately eliminated, the rod 2
There is no accidental damage to the disk 2 and the positioning accuracy of the disk 1 is not impaired. Further, it is possible to prevent the disk 1 from being unexpectedly damaged and impairing the quality of the disk 1.
【0072】尚、ディスク保持ロッドの位置決め手段と
しては、磁石に限らず、ばね等であっても良い。また、
過負荷防止装置が対応する過負荷としては、ディスク保
持ロッドの軸方向に作用するものに限らず、ディスク保
持ロッドの半径方向に作用するものであっても良い。The disc holding rod positioning means is not limited to a magnet but may be a spring or the like. Also,
The overload supported by the overload prevention device is not limited to one acting in the axial direction of the disc holding rod, but may be one acting in the radial direction of the disc holding rod.
【0073】以上、本発明の実施例を図面により詳述し
たが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変
更等があっても本発明に含まれる。例えば、ディスク保
持ロッドの保持溝が備えるディスク位置決め部におい
て、ディスクを位置決めする両側壁面は、両側垂直面に
限らず、図6(C)に示す如くの両側緩傾斜面42Aの
如くのものであっても良い。また、本発明は磁気ディス
ク以外のディスク保持装置においても利用できる。ま
た、ディスク保持ロッドは単一の保持溝を備えるだけの
ものであっても良い。The embodiment of the present invention has been described in detail above with reference to the drawings. However, the specific configuration of the present invention is not limited to this embodiment, and changes in design within the scope not departing from the gist of the present invention can be made. Even if it exists, it is included in the present invention. For example, in the disk positioning portion provided in the holding groove of the disk holding rod, the both side wall surfaces for positioning the disk are not limited to the both side vertical surfaces, but are like the two side gently inclined surfaces 42A as shown in FIG. 6C. May be. The present invention can also be used in disk holding devices other than magnetic disks. Further, the disc holding rod may have only a single holding groove.
【0074】[0074]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ディスク
保持装置において、極めて簡素な構成により、ディスク
の小径化とディスク処理の高速化に良く対応できるとと
もに、微粉によるディスク汚染を防止でき、かつディス
クの位置決め精度も向上可能とすることができる。As described above, according to the present invention, in the disc holding device, the disc diameter can be reduced and the disc processing can be speeded up with a very simple structure, and the disc contamination by fine powder can be prevented. In addition, the positioning accuracy of the disc can be improved.
【0075】また、本発明によれば、ディスク保持装置
において、多数のディスクを同時保持可能とすることが
できる。Further, according to the present invention, it is possible to simultaneously hold a large number of disks in the disk holding device.
【0076】また、本発明によれば、ディスク保持装置
において、段取り替えを伴うことなく複数種類のディス
クを保持可能とし、ディスク処理装置の稼動率を向上可
能とすることができる。Further, according to the present invention, it is possible to hold a plurality of types of disks in the disk holding device without changing the setup, and it is possible to improve the operating rate of the disk processing device.
【図1】図1は磁気記録層形成装置を示す模式図であ
る。FIG. 1 is a schematic view showing a magnetic recording layer forming apparatus.
【図2】図2はディスク保持装置を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic view showing a disc holding device.
【図3】図3はディスク保持装置によるディスク移載状
態を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic view showing a disc transfer state by a disc holding device.
【図4】図4はディスク保持装置の第1実施例を示す模
式図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing a first embodiment of a disk holding device.
【図5】図5はディスク保持装置によるディスク保持状
態を示す模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram showing a disc holding state by the disc holding device.
【図6】図6はディスク保持装置の第2実施例を示す模
式図である。FIG. 6 is a schematic view showing a second embodiment of the disk holding device.
【図7】図7はディスク保持装置の第3実施例を示す模
式図である。FIG. 7 is a schematic view showing a third embodiment of the disk holding device.
【図8】図8はディスク保持装置の第4実施例を示す模
式図である。FIG. 8 is a schematic view showing a fourth embodiment of the disk holding device.
【図9】図9はディスク保持装置の第5実施例を示す模
式図である。FIG. 9 is a schematic view showing a fifth embodiment of the disk holding device.
【図10】図10はディスク保持装置によるディスク振
れ減衰状態を示す模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram showing a disc shake damping state by the disc holding device.
【図11】図11は過負荷防止装置の一実施例を示す模
式図である。FIG. 11 is a schematic view showing an embodiment of an overload prevention device.
1 ディスク 1A 円孔 1B 面取部 20、20A〜20E ディスク保持装置 21 ロッド支持体 22、22A〜22E ディスク保持ロッド 30、31、32、33A〜33C、34A〜34C、
35A、35B 保持溝 41 ディスク導入テーパ部 42 ディスク位置決め部 43 ディスク支持円弧部 43A V溝部1 disk 1A circular hole 1B chamfered portion 20, 20A to 20E disk holding device 21 rod support 22, 22A to 22E disk holding rod 30, 31, 32, 33A to 33C, 34A to 34C,
35A, 35B holding groove 41 disc introduction taper portion 42 disc positioning portion 43 disc supporting arc portion 43A V groove portion
Claims (6)
挿入し、該ロッド上に設けた保持溝に該ディスクの円孔
内周部を係入し、該ディスクを保持可能としてなるディ
スク保持装置であって、 前記保持溝が、ディスクの円孔両側部をガイドするディ
スク導入テーパ部と、ディスク導入テーパ部にガイドさ
れて導入されたディスクを両側壁面間にて位置決めする
ディスク位置決め部と、ディスク位置決め部により位置
決めされるディスクの円孔と同一曲率をなして該円孔と
面接触するディスク支持円弧部とを有してなることを特
徴とするディスク保持装置。1. A disk holding device capable of holding a disk by inserting a disk circular hole into the disk holding rod and engaging a circular groove inner peripheral portion of the disk into a holding groove provided on the rod. The holding groove has a disc introduction taper portion for guiding both sides of the circular hole of the disc, a disc positioning portion for guiding the disc introduced by the disc introduction taper portion and positioning the disc between both side wall surfaces, and disc positioning. A disk holding device, comprising: a disk supporting arc portion having the same curvature as the circular hole of the disk positioned by the portion and making surface contact with the circular hole.
るディスク支持円弧部の円弧に直交する横断面が、ディ
スクの円孔両側縁部に設けてある面取部の面取角度と同
一角度のV溝状をなすものである請求項1記載のディス
ク保持装置。2. A V-shaped groove having a cross-section orthogonal to the arc of the disc supporting arc portion of the holding groove of the disc holding rod at the same angle as the chamfering angle of the chamfered portion provided on both side edges of the circular hole of the disc. The disk holding device according to claim 1, which has a shape.
手方向複数位置のそれぞれに同一溝形状をなす複数の保
持溝を備えており、各保持溝のディスク支持円弧部が互
いに同芯配置されてなる請求項1又は2記載のディスク
保持装置。3. The disc holding rod is provided with a plurality of holding grooves having the same groove shape at a plurality of longitudinal positions of the rod, and the disc supporting arc portions of the holding grooves are arranged concentrically with each other. The disk holding device according to claim 1 or 2.
の異なる複数種類のディスクを保持可能とするものであ
り、該ロッドの長手方向複数位置のそれぞれにディスク
の種類に応じて異なる溝形状の複数組の保持溝を備えて
なる請求項1〜3のいずれかに記載のディスク保持装
置。4. The disc holding rod is capable of holding a plurality of types of discs having different disc thicknesses, and a plurality of pairs of groove-shaped sets having different groove shapes are provided at a plurality of longitudinal positions of the rod, respectively. The disk holding device according to claim 1, further comprising a holding groove.
なる複数種類のディスクを保持可能とするものであり、
該ロッドの長手方向複数位置のそれぞれにディスクの種
類に応じて異なる溝形状の複数の保持溝を備えてなる請
求項1〜3のいずれかに記載のディスク保持装置。5. The disc holding rod is capable of holding a plurality of types of discs having different circular hole shapes,
The disc holding device according to any one of claims 1 to 3, wherein a plurality of holding grooves each having a groove shape different depending on the type of the disc are provided at each of a plurality of longitudinal positions of the rod.
の異なる複数種類のディスクを保持可能とするものであ
り、該ロッドの長手方向同一位置にディスクの種類に応
じて異なる溝形状の複数の保持溝を備えてなる請求項1
〜3のいずれかに記載のディスク保持装置。6. The disc holding rod is capable of holding a plurality of types of discs having different disc thicknesses, and a plurality of holding grooves each having a different groove shape depending on the type of the disc are provided at the same position in the longitudinal direction of the rod. Claim 1 comprising
4. The disk holding device according to any one of 3 to 3.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32986094A JPH08161745A (en) | 1994-12-06 | 1994-12-06 | Disk holding device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32986094A JPH08161745A (en) | 1994-12-06 | 1994-12-06 | Disk holding device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08161745A true JPH08161745A (en) | 1996-06-21 |
Family
ID=18226050
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32986094A Withdrawn JPH08161745A (en) | 1994-12-06 | 1994-12-06 | Disk holding device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08161745A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011243780A (en) * | 2010-05-19 | 2011-12-01 | Canon Anelva Corp | Substrate support device and vacuum treatment apparatus |
-
1994
- 1994-12-06 JP JP32986094A patent/JPH08161745A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011243780A (en) * | 2010-05-19 | 2011-12-01 | Canon Anelva Corp | Substrate support device and vacuum treatment apparatus |
US8920107B2 (en) | 2010-05-19 | 2014-12-30 | Canon Anelva Corporation | Substrate support apparatus and vacuum processing apparatus |
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