JPH08145780A - Vibration sensor - Google Patents
Vibration sensorInfo
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- JPH08145780A JPH08145780A JP28163994A JP28163994A JPH08145780A JP H08145780 A JPH08145780 A JP H08145780A JP 28163994 A JP28163994 A JP 28163994A JP 28163994 A JP28163994 A JP 28163994A JP H08145780 A JPH08145780 A JP H08145780A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、振動部及び検出部に光
ファイバを用いた光学式振動センサに関するものであ
り、光ファイバセンサとして振動等を測定するセンサと
して用いられるものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical vibration sensor using an optical fiber for a vibrating section and a detecting section, and is used as a sensor for measuring vibration etc. as an optical fiber sensor.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の振動センサは、光学式センサとし
て図１に示す様に、結晶性基板４０の裏面から異方性エ
ッチングにより表面に到達する貫通孔４１を形成し、表
面の貫通孔４１の中央部に反射膜５０が位置する状態で
カンチレバ６０を形成し、その裏面の貫通孔４１に先球
化した光ファイバ７０の上面部を、貫通孔４１の周面に
接する位置まで挿入する。この様な製造方法によれば、
先球化した光ファイバ７０の上面部を、結晶性基板４０
の裏面の貫通孔４１から貫通孔４１の周面に接する位置
まで挿入することにより、カンチレバ６０の中央部に位
置する反射膜５０の直下に、光ファイバ７０の中心が位
置する様になるためカンチレバ６０と光ファイバ７０の
位置合わせが容易になり、且つ、位置合わせの精度が向
上する。しかし、結晶性基板４０の異方性エッチングを
利用したカンチレバ６０の作製工程は、カンチレバ６０
を形成する部分に関して、結晶性基板４０の不純物濃度
を高くする必要があり、カンチレバ６０の膜厚制御が難
しい。2. Description of the Related Art In a conventional vibration sensor, as shown in FIG. 1 as an optical sensor, a through hole 41 reaching the surface is formed by anisotropic etching from the back surface of a crystalline substrate 40, and the through hole 41 on the surface is formed. The cantilever 60 is formed in a state where the reflective film 50 is located in the central portion of the above, and the upper surface of the optical fiber 70 which is spherical in the through hole 41 on the back surface thereof is inserted to a position in contact with the peripheral surface of the through hole 41. According to such a manufacturing method,
The upper surface of the optical fiber 70, which has been sphericalized, is attached to the crystalline substrate 40.
By inserting from the through hole 41 on the back surface of the cantilever to a position in contact with the peripheral surface of the through hole 41, the center of the optical fiber 70 is located directly below the reflective film 50 located in the central portion of the cantilever 60, so that the cantilever. The alignment between the optical fiber 70 and the optical fiber 60 is facilitated, and the alignment accuracy is improved. However, the manufacturing process of the cantilever 60 using the anisotropic etching of the crystalline substrate 40 is performed by the cantilever 60.
It is necessary to increase the impurity concentration of the crystalline substrate 40 with respect to the portion where the cantilever 60 is formed.
【０００３】また、図示しないが、振動センサとして振
動部にダイヤフラムと圧電素子の組み合わせによるもの
が多く使用されているが、振動検出部にリ−ド線を接続
しなければならない。Although not shown, a vibration sensor is often used as a vibration part which is a combination of a diaphragm and a piezoelectric element, but a lead wire must be connected to the vibration detection part.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】図１に示す従来の光学
式振動センサにあっては、先球化した光ファイバの先端
から出射する光は、ファイバレンズにより平行光線にな
るので、微小振動を検出するには、レンズとカンチレバ
に形成された光反射膜を十分に離す必要があった。 ま
た、振動部としてカンチレバ等を形成するため作製工程
が複雑であり、振動部に電気的な検出部を形成すると、
外来ノイズにより、電磁障害を引き起こす可能性があっ
た。In the conventional optical vibration sensor shown in FIG. 1, since the light emitted from the tip of the spherical optical fiber becomes a parallel light beam by the fiber lens, a minute vibration is generated. For detection, it was necessary to sufficiently separate the lens and the light reflection film formed on the cantilever. In addition, the manufacturing process is complicated because a cantilever or the like is formed as the vibrating portion, and when the electrical detecting portion is formed in the vibrating portion,
External noise could cause electromagnetic interference.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、振動部及び検
出部に光ファイバを用いた光学式振動センサである。従
って、本発明の振動センサは、電気的な振動検出部を用
いず光ファイバを用いるために、遠隔位置で光だけで振
動の検出が可能であり、電磁障害などの影響を受けない
様にしている。The present invention is an optical vibration sensor using optical fibers for a vibrating section and a detecting section. Therefore, since the vibration sensor of the present invention uses the optical fiber without using the electric vibration detection unit, it is possible to detect the vibration only by the light at the remote position, and avoid the influence of the electromagnetic interference. There is.
【０００６】この振動センサの構成は、二本の光ファイ
バの一方を振動用光ファイバ１、他方を固定用光ファイ
バ２として、光ファイバ固定溝２２ａ、２２ｂを形成し
た基板２０に両方の光ファイバを固定し、端面同士が突
き合わせる様に配置し、振動用光ファイバ１には、振動
できるように基板２０に振動溝２１が形成されている。
この場合、光ファイバ固定溝２２ａ、２２ｂ及び振動用
光ファイバ１を振動させるための振動溝２１は、結晶性
基板にフォトリソグラフィ技術及びエッチング技術で形
成する方法の他に、例えばダイシング・ソ−を用いた機
械加工などで基板に形成することも可能である。また、
動作原理は、固定用光ファイバ２の一方の端面に光反射
膜５又は、蛍光膜４から成る膜３を形成し、振動用光フ
ァイバ１に導入した光が、振動用光ファイバ１の端面３
０ａから出射して固定用光ファイバ２の端面に形成され
た膜３に照射され、この光照射による膜３からの反射光
または、蛍光を振動用光ファイバ１で受光し、受光した
光の光量の変化を検出することにより振動の状態を知る
様にしたもので、純粋に光だけで振動を検出しようとす
る振動センサである。In this vibration sensor, one of the two optical fibers is used as the vibration optical fiber 1 and the other is used as the fixing optical fiber 2, and both optical fibers are formed on the substrate 20 in which the optical fiber fixing grooves 22a and 22b are formed. Are arranged so that their end faces abut against each other, and the optical fiber 1 for vibration has a vibration groove 21 formed in the substrate 20 so as to vibrate.
In this case, the optical fiber fixing grooves 22a and 22b and the vibrating groove 21 for vibrating the vibrating optical fiber 1 may be formed, for example, by a dicing saw in addition to the method of forming the crystalline substrate by the photolithography technique and the etching technique. It is also possible to form it on the substrate by the used mechanical processing or the like. Also,
The operating principle is that the light reflecting film 5 or the film 3 made of the fluorescent film 4 is formed on one end surface of the fixing optical fiber 2, and the light introduced into the vibrating optical fiber 1 is the end surface 3 of the vibrating optical fiber 1.
0a is emitted to the film 3 formed on the end face of the fixing optical fiber 2, and the reflected light or fluorescence from the film 3 due to this light irradiation is received by the vibration optical fiber 1 and the amount of the received light is received. This is a vibration sensor that detects the vibration state by detecting the change of the vibration.
【０００７】固定用光ファイバ２の端面に形成する膜３
に蛍光膜４を用いた場合は、振動用光ファイバ１から出
射する光は、固定用光ファイバ２の一方の端面に形成し
た蛍光膜４に照射され、そこで照射光（波長：λ0）と
は異なる波長（λ1）の蛍光に変換され、その蛍光を振
動用光ファイバ１で受光する。また、振動用光ファイバ
１側の固定用光ファイバ２の端面３０ｂに光反射膜５を
形成することで、振動用光ファイバ１から出射した光が
光反射膜５に照射され、その反射光を振動用光ファイバ
１で受光し、受光した光の光量の変化を検出することで
振動の状態を知る事も可能である。この時、振動用光フ
ァイバ１の光出射端に蛍光膜４′を形成しておき、照射
光の波長（λ0）とは異なる蛍光の波長（λ2）の光を参
照光として使用することもできる。A film 3 formed on the end face of the fixing optical fiber 2.
When the fluorescent film 4 is used as the light, the light emitted from the vibrating optical fiber 1 is applied to the fluorescent film 4 formed on one end face of the fixing optical fiber 2, and there is no irradiation light (wavelength: λ0). It is converted into fluorescence of different wavelength (λ1), and the fluorescence is received by the vibration optical fiber 1. Further, by forming the light reflection film 5 on the end surface 30b of the fixing optical fiber 2 on the vibration optical fiber 1 side, the light emitted from the vibration optical fiber 1 is irradiated on the light reflection film 5, and the reflected light is reflected. It is also possible to know the state of vibration by receiving light with the vibration optical fiber 1 and detecting a change in the amount of received light. At this time, a fluorescent film 4 ′ may be formed on the light emitting end of the vibration optical fiber 1, and light having a fluorescence wavelength (λ2) different from the irradiation light wavelength (λ0) may be used as the reference light. .
【０００８】また、振動用光ファイバ１の光出射する端
面３０ａに先球レンズ６を形成し、出射光が固定用光フ
ァイバ２の光照射する端面３０ｂに焦点を持たせる様に
したり、平行光線にすることができ、また、先球レンズ
６を錘にして振動し易くすることもできる。Further, a front spherical lens 6 is formed on the light emitting end face 30a of the vibration optical fiber 1 so that the emitted light may have a focus on the light emitting end face 30b of the fixing optical fiber 2 or a parallel light beam. In addition, the front spherical lens 6 can be used as a weight to facilitate vibration.
【０００９】[0009]
【作用】本発明による振動センサでは、振動部である振
動用光ファイバの端面から出射する光は、突き合わせる
様に配置した固定用光ファイバの端面に形成した膜に照
射され、その膜からの光が振動用光ファイバに受光され
る。この時、振動センサに、ある加速度が作用すると振
動部である振動用光ファイバが変位する。この振動部の
振動変位により、固定用光ファイバの端面の膜に照射さ
れる光強度が変化する。この膜からの光強度変化を振動
用光ファイバで受光することで振動の状態を知る事がで
きる。尚、蛍光膜を固定用光ファイバの一方の端面に形
成した場合には、そこからの波長（λ1）に変換された
蛍光を信号光とし、振動用光ファイバの出射端で反射さ
れ、戻る入射光と同一の波長（λ0）の光を参照光とし
て使用することができる。また、蛍光膜を振動用光ファ
イバの光出射端に形成した場合には、振動に基づく光反
射膜からの入射光と同一の波長（λ0）の信号光と区別
し、蛍光膜からの波長変換された蛍光（λ2）を参照光
として入射光（λ0）に光量の経時変化等があっても振
動センサが安定して動作できるようにすることができ
る。In the vibration sensor according to the present invention, the light emitted from the end face of the vibrating optical fiber, which is the vibrating portion, is applied to the film formed on the end face of the fixing optical fiber arranged so as to abut, and the light from the film is emitted. Light is received by the vibrating optical fiber. At this time, when a certain acceleration acts on the vibration sensor, the vibration optical fiber, which is the vibration part, is displaced. Due to the vibration displacement of the vibrating portion, the intensity of light applied to the film on the end surface of the fixing optical fiber changes. The state of vibration can be known by receiving the change in light intensity from this film with the optical fiber for vibration. When a fluorescent film is formed on one end face of the fixing optical fiber, the fluorescence converted to the wavelength (λ1) from that end is used as the signal light, which is reflected at the exit end of the vibration optical fiber and returns. Light having the same wavelength (λ0) as the light can be used as the reference light. When a fluorescent film is formed at the light emitting end of the vibration optical fiber, it is distinguished from the signal light having the same wavelength (λ0) as the incident light from the light reflecting film due to vibration, and the wavelength conversion from the fluorescent film is performed. It is possible to make the vibration sensor operate stably even when the incident light (λ0) changes with time with respect to the incident light (λ0) using the generated fluorescence (λ2) as reference light.
【００１０】[0010]
【実施例１】実施例について図面を参照して説明する
と、図２（ａ）は、光学式振動センサの一例を示す。基
板として、シリコン基板、水晶基板などの異方性エッチ
ングが可能である単結晶基板があるが、ここでは、シリ
コン基板を用いた場合について述べる。シリコン基板２
０の表面に光ファイバ固定溝２２ａ、２２ｂ及び振動用
光ファイバ１のための振動溝２１をフォトリソグラフィ
技術でパタ−ン化し、異方性エッチングで形成する。振
動用光ファイバ１に、ある任意の長さで切断した端面を
有するマルチモ−ド光ファイバを用いて、シリコン基板
２０に形成した光ファイバ固定溝２２ａに挿入し、振動
用光ファイバ１の端面３０ａを光ファイバ固定溝２２ａ
から２０ｍｍ程度振動溝２１方向に突き出して固定す
る。また、固定用光ファイバ２として、ある任意の長さ
で切断した両端面を有するマルチモ−ド光ファイバを光
ファイバ固定溝２２ｂに挿入して固定し、振動用光ファ
イバ１の端面３０ａと突き合わせる側の固定用光ファイ
バ２の端面３０ｂに蛍光膜４としてＮｄド−プ膜を形成
する。また、図２（ｂ）に示す様に固定用光ファイバ２
の他の端面３０ｃに蛍光膜４を形成することもできる。
この場合、振動用光ファイバ１から出射して、固定用光
ファイバ２にカップリングして蛍光膜４に到達し、蛍光
膜４で変換された波長λ1の光が、再び、振動用光ファ
イバ１にカップリングするための条件は、振動用光ファ
イバ１の振動角のうち、極めて微小の角度内にあるとき
であるので、蛍光膜４を固定用光ファイバ２の振動用光
ファイバ１の端面３０Ｃに形成した場合より、高感度の
振動センサとなる。EXAMPLE 1 An example will be described with reference to the drawings. FIG. 2A shows an example of an optical vibration sensor. As a substrate, there is a single crystal substrate such as a silicon substrate or a quartz substrate that is capable of anisotropic etching. Here, a case where a silicon substrate is used will be described. Silicon substrate 2
The optical fiber fixing grooves 22a and 22b and the vibration groove 21 for the vibration optical fiber 1 are patterned on the surface of 0 by the photolithography technique and formed by anisotropic etching. A multimode optical fiber having an end face cut at an arbitrary length is used as the optical fiber 1 for vibration, and is inserted into an optical fiber fixing groove 22a formed in the silicon substrate 20 to form an end face 30a of the optical fiber 1 for vibration. Optical fiber fixing groove 22a
20 mm to the vibration groove 21 and fixed. Further, as the fixing optical fiber 2, a multi-mode optical fiber having both end faces cut at an arbitrary length is inserted into the optical fiber fixing groove 22b and fixed, and is abutted with the end face 30a of the vibrating optical fiber 1. An Nd-doped film is formed as the fluorescent film 4 on the end surface 30b of the fixing optical fiber 2 on the side. Further, as shown in FIG. 2B, the fixing optical fiber 2
It is also possible to form the fluorescent film 4 on the other end face 30c.
In this case, the light having the wavelength λ1 emitted from the vibration optical fiber 1 is coupled to the fixing optical fiber 2 to reach the fluorescent film 4, and the light of the wavelength λ1 converted by the fluorescent film 4 is again transmitted to the vibration optical fiber 1. The condition for coupling to the optical fiber 1 for vibration is when the vibration angle of the optical fiber 1 for vibration is within an extremely minute angle, so the fluorescent film 4 is fixed to the end face 30C of the optical fiber 1 for vibration of the fixing optical fiber 2. The vibration sensor has a higher sensitivity than the case where it is formed.
【００１１】測定器の光源から送られたＬＥＤ（波長λ
0：０．８３μｍ）光を用いて、振動用光ファイバ１に
導入し、端面３０ａから出射させる。出射光は、固定用
光ファイバ２の端面３０ｂに形成した蛍光膜４に照射
し、照射光が蛍光（波長λ1：１．０６μｍ）に変換さ
れ、その蛍光を振動用光ファイバ１で受光した。受光し
た蛍光量は、振動の状態で変化し、蛍光量の変化が光学
フィルタを通してフォトダイオ−ドで電気量に変換され
る。The LED (wavelength λ
(0: 0.83 μm) Light is introduced into the vibration optical fiber 1 and emitted from the end face 30a. The emitted light was applied to the fluorescent film 4 formed on the end face 30b of the fixing optical fiber 2, the irradiated light was converted into fluorescence (wavelength λ1: 1.06 μm), and the fluorescence was received by the vibrating optical fiber 1. The amount of fluorescence received changes with vibration, and the change in the amount of fluorescence is converted into an amount of electricity by a photo diode through an optical filter.
【００１２】[0012]
【実施例２】ここでは、他の実施例として、実施例１に
示したのと同様のシリコン基板を用いた振動センサの一
例を示す。図３（ａ）は、振動用光ファイバ１の端面３
０ａと突き合わせる側の固定用光ファイバ２の端面３０
ｂにアルミニウムを蒸着した光反射膜５を形成する。ま
た、図３（ｂ）は、振動用光ファイバ１の光出射する端
面３０ａに蛍光膜４′としてＮｄド−プ膜を形成し、振
動用光ファイバ１側の固定用光ファイバ２の端面３０ｂ
に光反射膜５を形成する。図３（ｂ）の場合、光は、光
出射端面の蛍光膜４′により、照射光の波長（λ0）と
は異なる波長（λ1）の蛍光に変換され、その蛍光を振
動用光ファイバ１で受光する。Second Embodiment Here, as another embodiment, an example of a vibration sensor using a silicon substrate similar to that shown in the first embodiment will be shown. FIG. 3A shows an end face 3 of the optical fiber 1 for vibration.
End face 30 of the fixing optical fiber 2 on the side to be abutted with 0a
A light reflecting film 5 is formed by vapor-depositing aluminum on b. 3B, an Nd-doped film is formed as a fluorescent film 4'on the end face 30a of the vibrating optical fiber 1 for emitting light, and the end face 30b of the fixing optical fiber 2 on the vibrating optical fiber 1 side is formed.
Then, the light reflection film 5 is formed. In the case of FIG. 3B, the light is converted into fluorescence of a wavelength (λ1) different from the wavelength (λ0) of the irradiation light by the fluorescent film 4 ′ on the light emitting end face, and the fluorescence is converted by the vibrating optical fiber 1. Receive light.
【００１３】測定系は、実施例１と同様である。ただ、
本実施例の場合は、振動用光ファイバ１から出射した光
は、固定用光ファイバ２の光反射膜５に照射し、そこで
反射した光量が、振動の状態で変化し、フォトダイオ−
ドで電気量に変換される。The measuring system is the same as that of the first embodiment. However,
In the case of the present embodiment, the light emitted from the vibrating optical fiber 1 is applied to the light reflecting film 5 of the fixing optical fiber 2, and the amount of light reflected there changes in the vibrating state, and the photodiode
It is converted into the electric quantity by the de.
【００１４】[0014]
【実施例３】ここでは、他の実施例として、実施例１に
示したのと同様のシリコン基板を用いた振動センサの一
例を示す。図４は、振動用光ファイバ１の光出射面を先
球レンズ６にした場合について、固定用光ファイバ２の
振動用光ファイバ１側の固定用光ファイバ２の端面３０
ｂに形成した光反射膜５に光を集光することができ、先
球レンズ６を錘にして振動用光ファイバ１を振動し易く
することができる。また、図５は、振動用光ファイバ１
の光出射面を先球レンズ６にして、そのレンズ面に蛍光
膜４′を形成し、固定用光ファイバ２の振動用光ファイ
バ１側の端面３０ｂに光反射膜５を形成した場合であ
る。この場合、先球レンズを出射する光を参照光とし、
照射光の波長（λ0）とは異なる蛍光の波長（λ2）の光
を参照光として使用することもできる。もちろん、蛍光
膜４′を上述の実施例で用いた蛍光膜４と同一のものを
用いると、蛍光波長は、λ1とλ2とは、等しくなる。Third Embodiment Here, as another embodiment, an example of a vibration sensor using the same silicon substrate as that shown in the first embodiment will be shown. FIG. 4 shows an end surface 30 of the fixing optical fiber 2 on the side of the vibrating optical fiber 1 of the fixing optical fiber 2 when the light emitting surface of the vibrating optical fiber 1 is a spherical lens 6.
Light can be condensed on the light reflection film 5 formed in b, and the vibrating optical fiber 1 can be easily vibrated by using the front spherical lens 6 as a weight. Further, FIG. 5 shows an optical fiber 1 for vibration.
Is a case where the light emitting surface of is a spherical lens 6, a fluorescent film 4'is formed on the lens surface, and the light reflecting film 5 is formed on the end surface 30b of the fixing optical fiber 2 on the side of the vibrating optical fiber 1. . In this case, the light emitted from the spherical lens is used as the reference light,
Light having a fluorescence wavelength (λ2) different from the irradiation light wavelength (λ0) can also be used as the reference light. Of course, if the same fluorescent film 4'as the fluorescent film 4 used in the above-mentioned embodiment is used, the fluorescent wavelengths are equal to λ1 and λ2.
【００１５】[0015]
【発明の効果】上述した本発明によれば、振動部と固定
部に光ファイバを用いて、振動部に導入した光が、振動
部の振動用光ファイバの端面より出射し、固定用光ファ
イバの膜に照射して、その光照射による膜からの光を振
動用光ファイバで受光することで振動の状態を知るよう
にしたことを特徴とした振動センサであり、電気的な振
動検出部を用いず光だけで振動の検出が可能であり、小
型化が可能で、構造が簡単であるために大量生産向きで
ある。According to the present invention described above, the optical fiber is used for the vibrating portion and the fixed portion, and the light introduced into the vibrating portion is emitted from the end face of the vibrating optical fiber of the vibrating portion and is fixed. This is a vibration sensor characterized in that the state of vibration is known by irradiating the film of Fig. 2 and receiving the light from the film by the light irradiation with the optical fiber for vibration. It is suitable for mass production because it can detect vibrations only with light without using it, can be downsized, and has a simple structure.
【図１】従来の光ファイバセンサの断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a conventional optical fiber sensor.
【図２】本発明の光学式振動センサの一例の断面図であ
る。 （ａ）固定用光ファイバの光照射面に蛍光膜を形成した
場合。 （ｂ）固定用光ファイバの光照射面の他面に蛍光膜を形
成した場合。FIG. 2 is a sectional view of an example of an optical vibration sensor of the present invention. (A) When a fluorescent film is formed on the light irradiation surface of the fixing optical fiber. (B) A case where a fluorescent film is formed on the other surface of the fixing optical fiber on which the light is irradiated.
【図３】（ａ）固定用光ファイバの光照射面に光反射膜
を形成した場合。 （ｂ）振動用光ファイバの光出射面に蛍光膜を形成し、
固定用光ファイバの端面に光反射膜を形成した場合。FIG. 3A shows a case where a light reflecting film is formed on the light irradiation surface of the fixing optical fiber. (B) A fluorescent film is formed on the light emitting surface of the vibration optical fiber,
When a light reflection film is formed on the end surface of the fixing optical fiber.
【図４】振動用光ファイバの光出射面を先球レンズにし
て、光照射面に光反射膜を形成した場合。FIG. 4 shows a case where a light emitting surface of a vibrating optical fiber is a spherical lens and a light reflecting film is formed on a light emitting surface.
【図５】振動用光ファイバの光出射面を先球レンズにし
て、その先球レンズに蛍光膜を形成し、光照射面に光反
射膜を形成した場合。FIG. 5 shows a case where a light emitting surface of a vibrating optical fiber is a front spherical lens, a fluorescent film is formed on the front spherical lens, and a light reflecting film is formed on a light irradiation surface.
１ 振動用光ファイバ ２ 固定用光ファイバ ３ 膜 ４、４′蛍光膜 ５ 光反射膜 ６ 先球レンズ ７ コア ２０ 基板 ２１ 振動溝 ２２ａ、２２ｂ 光ファイバ固定溝 ３０ａ、３０ｂ、３０ｃ 端面 ４０ 結晶性基板 ４１ 貫通孔 ５０ 反射膜 ６０ カンチレバ ７０ 光ファイバ 1 Optical Fiber for Vibration 2 Optical Fiber for Fixing 3 Film 4, 4'Fluorescent Film 5 Light Reflecting Film 6 Precursor Lens 7 Core 20 Substrate 21 Vibration Grooves 22a, 22b Optical Fiber Fixing Grooves 30a, 30b, 30c End Face 40 Crystalline Substrate 41 Through Hole 50 Reflective Film 60 Cantilever 70 Optical Fiber
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮川 久行 宮城県柴田郡川崎町大字川内字北川原山 228 株式会社東北中谷内 (72)発明者 遠藤 浩司 宮城県柴田郡川崎町大字川内字北川原山 228 株式会社東北中谷内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Hisayuki Miyagawa Kitagawa Harayama, Kawauchi, Kawasaki, Shibata-gun, Miyagi Prefecture 228 Tohoku Nakataniuchi Co., Ltd. (72) Koji Endo Kawasaki, Shibata-cho, Miyagi Prefecture 228 Tohoku Nakatani Co., Ltd.
Claims (4)
ァイバ（１）、他方を固定用光ファイバ（２）として、
基板（２０）に形成した振動用光ファイバ（１）のため
の振動溝（２１）及び光ファイバ固定溝（２２ａ、２２
ｂ）を形成し、上記振動用光ファイバ（１）の端面（３
０ａ）と上記固定用光ファイバ（２）の端面（３０ｂ）
とが突き合わせる様に配置し、上記光ファイバ固定溝
（２２ａ、２２ｂ）に固定するとともに、該振動用光フ
ァイバ（１）が上記振動溝（２１）で振動できるように
し、上記固定用光ファイバ（２）の一方の端面に膜
（３）を形成し、該振動用光ファイバ（１）に導入した
光が、上記端面（３０ａ）から出射して、上記膜（３）
に照射し、この光照射による該膜（３）からの光を振動
用光ファイバ（１）で受光し、該受光した光の光量の変
化を検出することにより振動の状態を知るようにしたこ
とを特徴とする振動センサ。1. One of two optical fibers is used as a vibrating optical fiber (1) and the other is used as a fixing optical fiber (2).
Vibration grooves (21) and optical fiber fixing grooves (22a, 22) for the optical fiber for vibration (1) formed on the substrate (20)
b) is formed, and the end face (3) of the optical fiber (1) for vibration is formed.
0a) and the end face (30b) of the fixing optical fiber (2).
And the optical fiber fixing groove (22a, 22b) are fixed so that the optical fiber for vibration (1) can vibrate in the vibration groove (21). (2) A film (3) is formed on one end face of the film, and the light introduced into the optical fiber (1) for vibration is emitted from the end face (30a) to form the film (3).
The light from the film (3) due to this light irradiation is received by the optical fiber for vibration (1), and the state of vibration is known by detecting the change in the amount of the received light. Vibration sensor characterized by.
振動用ファイバ（１）から出射した光照射により、上記
蛍光膜（４）で蛍光に変換し、その蛍光を振動用光ファ
イバ（１）で受光した請求項１記載の振動センサ。2. A fluorescent film (4) is formed as the film (3),
The vibration sensor according to claim 1, wherein irradiation of light emitted from the vibration fiber (1) converts the fluorescence into fluorescence by the fluorescent film (4), and the fluorescence is received by the vibration optical fiber (1).
ァイバ（２）の端面（３０ｂ）に膜（３）として光反射
膜（５）を形成した請求項１記載の振動センサ。3. The vibration sensor according to claim 1, wherein a light reflecting film (5) is formed as a film (3) on the end face (30b) of the fixing optical fiber (2) on the vibration optical fiber (1) side.
（６）を形成し、該先球レンズ（６）の光出射面を振動
用光ファイバ（１）の端面（３０ａ）とした請求項２記
載、または、請求項３記載の振動センサ。4. A vibrating optical fiber (1) having a spherical lens (6) formed thereon, and the light emitting surface of the spherical lens (6) being the end face (30a) of the vibrating optical fiber (1). The vibration sensor according to claim 2 or claim 3.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28163994A JPH08145780A (en) | 1994-11-16 | 1994-11-16 | Vibration sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28163994A JPH08145780A (en) | 1994-11-16 | 1994-11-16 | Vibration sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08145780A true JPH08145780A (en) | 1996-06-07 |
Family
ID=17641917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28163994A Pending JPH08145780A (en) | 1994-11-16 | 1994-11-16 | Vibration sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08145780A (en) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1994
- 1994-11-16 JP JP28163994A patent/JPH08145780A/en active Pending
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