JPH08139564A - Surface acoustic wave filtering device - Google Patents

Surface acoustic wave filtering device

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Publication number
JPH08139564A
JPH08139564A JP27786294A JP27786294A JPH08139564A JP H08139564 A JPH08139564 A JP H08139564A JP 27786294 A JP27786294 A JP 27786294A JP 27786294 A JP27786294 A JP 27786294A JP H08139564 A JPH08139564 A JP H08139564A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ground
pad
side wall
surface acoustic
filter stage
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP27786294A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masahiko Sugiyama
雅彦 杉山
Yasubumi Horio
保文 堀尾
Kenji Suzuki
健司 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NGK Insulators Ltd
Original Assignee
NGK Insulators Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NGK Insulators Ltd filed Critical NGK Insulators Ltd
Priority to JP27786294A priority Critical patent/JPH08139564A/en
Publication of JPH08139564A publication Critical patent/JPH08139564A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE: To further improve the frequency characteristics of a surface acoustic wave filter device. CONSTITUTION: The negative electrodes of the transmission side converters 13 and 15 of first and second filtering stages 11 and 12 are connected to a ground-connected common bonding pad 29 and the negative electrodes of the reception side converters 14 and 16 of the first and second filtering stages 11 and 12 are connected to the bonding pad 31 positioned at the diagonal position of a package 27 holding a piezoelectric substrate 10 there between to the bonding pad 29. By performing connection and arrangement in such a manner, the electric characteristics of the entire package 27 are balanced, appropriate balance performance is secured and out-of-band attenuation characteristics are substantially improved.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は弾性表面波フィルタ装
置、特に帯域外減衰特性の改善を図った弾性表面波フィ
ルタ装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface acoustic wave filter device, and more particularly to a surface acoustic wave filter device with improved out-of-band attenuation characteristics.

【0002】[0002]

【従来の技術】圧電性基板上にインタディジタル型の送
信側変換器及び受信側変換器を形成して特定の周波数帯
域の信号を取り出す弾性表面波フィルタ装置が実用化さ
れている。このような弾性表面波フィルタ装置では、挿
入損失をできるだけ小さくするため送信側及び受信側変
換器として一方向性トランスジューサが用いられてい
る。一方向性トランスジューサを用いた弾性表面波フィ
ルタ装置は挿入損失が比較的小さく、しかも位相特性及
び周波数特性を適切に制限できるため高い有用性があ
る。
2. Description of the Related Art A surface acoustic wave filter device for extracting a signal in a specific frequency band by forming an interdigital transmitter and receiver on a piezoelectric substrate has been put into practical use. In such a surface acoustic wave filter device, unidirectional transducers are used as transmitter and receiver converters in order to minimize insertion loss. The surface acoustic wave filter device using the unidirectional transducer has a relatively small insertion loss and is highly useful because it can appropriately limit the phase characteristic and the frequency characteristic.

【0003】弾性表面波フィルタ装置を実用化するに当
たり、良好な帯域外減衰特性を得る必要がある。帯域外
減衰特性を良好にする方法としては、圧電性基板上に数
個のフィルタ段を形成し、これらのフィルタ段を縦続接
続することが考えられる。例えば、2個のフィルタ段を
縦続接続して1個の弾性表面波フィルタ装置を構成する
と、得られる帯域外減衰特性は2個のフィルタ段の帯域
外特性が掛け合わされた特性となるために、帯域外減衰
特性を大幅に改善することができる。このような弾性表
面波フィルタ装置としては例えば、本願人によって提案
されている特願平5-41220 号に記載されているものがあ
る。この弾性表面波フィルタ装置では、単一の圧電性基
板上に送信側変換器及び受信側変換器から成る2個のフ
ィルタ段を互いに平行に形成し、第1フィルタ段の受信
側変換器の正電極と第2フィルタ段の送信側変換器の正
電極とを基板上に形成した導体パターンにより相互接続
している。
In order to put the surface acoustic wave filter device into practical use, it is necessary to obtain good out-of-band attenuation characteristics. As a method for improving the out-of-band attenuation characteristic, it is considered that several filter stages are formed on the piezoelectric substrate and these filter stages are connected in cascade. For example, when two surface acoustic wave filter devices are configured by connecting two filter stages in cascade, the obtained out-of-band attenuation characteristic is a characteristic obtained by multiplying the out-of-band characteristic of the two filter stages. The out-of-band attenuation characteristic can be significantly improved. An example of such a surface acoustic wave filter device is described in Japanese Patent Application No. 5-41220 proposed by the present applicant. In this surface acoustic wave filter device, two filter stages consisting of a transmitter-side converter and a receiver-side converter are formed in parallel with each other on a single piezoelectric substrate, and the positive side of the receiver-side converter of the first filter stage is formed. The electrode and the positive electrode of the transmitter transducer of the second filter stage are interconnected by a conductor pattern formed on the substrate.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上述した2段縦続接続
型弾性表面波フィルタ装置は帯域外減衰特性を大幅に改
善することができる利点がある。しかしながら、弾性表
面波フィルタ装置をプリント回路基板に実装して実際に
使用すると、帯域外減衰特性特に中心周波数よりも高周
波数側における減衰特性が悪化するという不具合が生じ
ていた。
The two-stage cascade connection type surface acoustic wave filter device described above has an advantage that the out-of-band attenuation characteristic can be greatly improved. However, when the surface acoustic wave filter device is mounted on a printed circuit board and is actually used, the out-of-band attenuation characteristics, particularly the attenuation characteristics on the higher frequency side than the center frequency, have a problem.

【0005】本発明の目的は、2段縦続型弾性表面波フ
ィルタ装置の本来のフィルタ特性を達成でき、優れたフ
ィルタ特性を有する弾性表面波フィルタ装置を提供する
ことである。
An object of the present invention is to provide a surface acoustic wave filter device which can achieve the original filter characteristics of a two-stage cascade type surface acoustic wave filter device and has excellent filter characteristics.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段並びに作用】本発明による
弾性表面波フィルタ装置は、圧電性基板と、この圧電性
基板上に形成され、インタディジタル型の送信側変換器
及びインタディジタル型の受信側変換器とをそれぞれ有
する第1及び第2のフィルタ段と、前記圧電性基板を収
納する基板収納空間を有し、ほぼ矩形のパッケージ本体
と、導体性材料から成るキャップ部材とを具え、前記パ
ッケージ本体が、弾性表面波の伝播方向の中心軸線と平
行な第1の側壁部に形成した信号入力端子と、第1の側
壁部と対向する第2の側壁部に形成した信号出力端子
と、前記第1の側壁部の両端又はその近傍にそれぞれ形
成した第1及び第2のグランド端子と、前記第2の側壁
部の両端又はその近傍にそれぞれ形成した第3及び第4
のグランド端子と、前記第1及び第2の側壁部の弾性表
面波の伝播方向のほぼ中央にそれぞれ形成した第5及び
第6のグランド端子と、第1のパッド形成面に形成した
信号入力パッド及び第1のグランドパッドと、第2のパ
ッド形成面に形成した信号出力パッド及び第2のグラン
ドパッドと、前記基板収納空間の底面に形成され、一部
が第1及び第2の側壁部を経て外周面まで延在する第1
の導体層と、前記第1又は第2の側壁部を経て外周面ま
で延在し、前記信号入力端子、信号出力端子並びに第2
及び第3のグランド端子をそれぞれ信号入力パッド、信
号出力パッド並びに第1及び第2のグランドパッドに接
続する第2の導体層と、前記パッケージ本体の上端面に
形成した第3の導体層と、前記第1のフィルタ段の送信
側変換器の正電極を前記信号入力パッドに接続し、前記
第2のフィルタ段の受信側変換器の正電極を前記信号出
力パッドに接続し、前記第1のフィルタ段の送信側変換
器の負電極及び第2のフィルタ段の送信側変換器の負電
極を前記第2のグランドパッドに接続し、前記第1のフ
ィルタ段の受信側変換器の負電極及び第2のフィルタ段
の受信側変換器の負電極を前記第1のグランドパッドに
接続し、前記第1のフィルタ段の受信側変換器の正電極
に第2のフィルタ段の送信側変換器の正電極とを相互接
続し、前記第1及び第3のグランド端子をそれぞれ、第
2及び第4のグランド端子に対して弾性表面波の伝播方
向の上流側にそれぞれ配置し、前記信号入力端子を前記
第1のグランド端子と第5のグランド端子との間に配置
し、前記信号出力端子を、前記第4のグランド端子と第
6のグランド端子との間に配置し、前記第1、第2、第
3、第4、第5及び第6のグランド端子を、前記第1の
導体層及び第3の導体層に直接接続したことを特徴とす
るものである。
A surface acoustic wave filter device according to the present invention includes a piezoelectric substrate, an interdigital transmitter and an interdigital receiver, which are formed on the piezoelectric substrate. The package includes first and second filter stages each having a converter, a substrate housing space for housing the piezoelectric substrate, and a substantially rectangular package body, and a cap member made of a conductive material. A main body, a signal input terminal formed on a first side wall portion parallel to a central axis of a surface acoustic wave propagation direction, a signal output terminal formed on a second side wall portion facing the first side wall portion; First and second ground terminals respectively formed at both ends of the first side wall portion or in the vicinity thereof, and third and fourth ground terminals respectively formed at both ends of the second side wall portion or in the vicinity thereof.
Ground terminals, fifth and sixth ground terminals formed respectively at substantially the centers of the surface acoustic waves in the first and second side wall propagation directions, and a signal input pad formed on the first pad formation surface. And the first ground pad, the signal output pad and the second ground pad formed on the second pad formation surface, and the bottom surface of the substrate housing space, and a part of the first and second side wall portions is formed. First extending through to the outer peripheral surface
Of the conductor layer and the first or second side wall portion to the outer peripheral surface, the signal input terminal, the signal output terminal and the second
A second conductor layer connecting the third and third ground terminals to the signal input pad, the signal output pad, and the first and second ground pads, respectively, and a third conductor layer formed on the upper end surface of the package body, The positive electrode of the transmitter converter of the first filter stage is connected to the signal input pad, and the positive electrode of the receiver converter of the second filter stage is connected to the signal output pad. The negative electrode of the transmitting side converter of the filter stage and the negative electrode of the transmitting side converter of the second filter stage are connected to the second ground pad, and the negative electrode of the receiving side converter of the first filter stage and The negative electrode of the receiver converter of the second filter stage is connected to the first ground pad, and the positive electrode of the receiver converter of the first filter stage is connected to the transmitter electrode of the second filter stage. The positive electrode is interconnected, and the first and The third ground terminals are respectively arranged on the upstream side in the propagation direction of the surface acoustic wave with respect to the second and fourth ground terminals, and the signal input terminals are the first ground terminal and the fifth ground terminal. And the signal output terminal is disposed between the fourth ground terminal and the sixth ground terminal, and the first, second, third, fourth, fifth, and sixth The ground terminal is directly connected to the first conductor layer and the third conductor layer.

【0007】本発明による弾性表面波フィルタ装置で
は、各変換器の接続関係や端子の配置位置を適切に設定
してパッケージ全体の電位をバランスさせるために、第
1のフィルタ段の送信側変換器の正電極を信号入力パッ
ドに接続し、第2のフィルタ段の受信側変換器の正電極
を信号出力パッドに接続し、第1のフィルタ段の送信側
変換器の負電極及び第2のフィルタ段の送信側変換器の
負電極を第2のグランドパッドに接続し、第1のフィル
タ段の受信側変換器の負電極及び第2のフィルタ段の受
信側変換器の負電極を前記第1のグランドパッドに接続
する。このように接続配置することにより、パッケージ
全体の電位のバランスが取れて適切なバランス性能が確
保され、帯域外減衰特性を大幅に改善することができ
る。
In the surface acoustic wave filter device according to the present invention, in order to balance the potentials of the entire package by appropriately setting the connection relationship of the converters and the arrangement position of the terminals, the transmitter side converter of the first filter stage. The positive electrode of the second filter stage is connected to the signal input pad, the positive electrode of the receiving converter of the second filter stage is connected to the signal output pad, and the negative electrode of the transmitting side converter of the first filter stage and the second filter are connected. The negative electrode of the transmitter side converter of the first stage is connected to the second ground pad, and the negative electrode of the receiver side converter of the first filter stage and the negative electrode of the receiver side converter of the second filter stage are connected to the first electrode. Connect to the ground pad of. By connecting and arranging in this way, the potentials of the entire package are balanced and proper balance performance is ensured, and the out-of-band attenuation characteristics can be greatly improved.

【0008】また、本発明による弾性表面波フィルタ装
置では、第1及び第2の側壁部をほぼ中央に、第1及び
第3の導体層に接続されたグランド端子を設け、これら
のグランド端子をグランドパッドに接続している。グラ
ンドパッドをこのように設けることにより、第1及び第
2フィルタ段の送信側変換器と受信側変換器との間が電
気的に分離され、したがってパッケージにおける電磁結
合が大幅に減少して帯域外減衰特性を大幅に改善するこ
とができる。
Further, in the surface acoustic wave filter device according to the present invention, the ground terminals connected to the first and third conductor layers are provided at substantially the center of the first and second side wall portions, and these ground terminals are connected to each other. It is connected to the ground pad. By providing the ground pad in this manner, there is electrical isolation between the transmitter and receiver converters of the first and second filter stages, thus significantly reducing electromagnetic coupling in the package and out of band. The damping characteristic can be improved significantly.

【0009】また、本発明による弾性表面波フィルタ装
置の一実施例は、前記第1の側壁部と第2の側壁部との
間に位置する第3及び第4の側壁部に、これら側壁部の
弾性表面波の伝播方向と直交する方向にそれぞれグラン
ド端子を形成し、これらグランド端子を前記第1及び第
3の導体層に直接接続したことを特徴とするものであ
る。
According to another embodiment of the surface acoustic wave filter device of the present invention, the side wall portions are formed on the third and fourth side wall portions located between the first side wall portion and the second side wall portion. The ground terminals are formed in a direction orthogonal to the propagation direction of the surface acoustic wave, and these ground terminals are directly connected to the first and third conductor layers.

【0010】グランドパッドをこのように設けることに
より、第1フィルタ段と第2フィルタ段との間が電気的
に分離され、したがってパッケージにおける電磁結合が
さらに大幅に減少して帯域外減衰特性をより一層改善す
ることができる。
By providing the ground pad in this manner, the first filter stage and the second filter stage are electrically separated from each other, so that the electromagnetic coupling in the package is further greatly reduced and the out-of-band attenuation characteristic is further improved. It can be further improved.

【0011】[0011]

【実施例】本発明による弾性表面波フィルタ装置の実施
例を図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明に
よる弾性表面波フィルタ装置を具えるフィルタ回路を示
す図である。濾波されるべき信号が入力する信号入力端
子1を第1のインダクタンス2及び弾性表面波フィルタ
装置3に接続する。弾性表面波フィルタ装置3は第1の
フィルタ段3a及び第2のフィルタ段3bを有する2段
縦続結合型フィルタ装置とし、入力信号を第1のフィル
タ段3aで濾波し、濾波された信号をさらに第2のフィ
ルタ段3bで濾波する。第1のフィルタ段3aと第2の
フィルタ段3bとの間に、容量成分をキャンセルするた
めの第2のインダクタンス4を接続する。弾性表面波フ
ィルタ装置3の出力部に第3のインダクタンス5を接続
するとともに信号出力端子6を接続し、この信号出力端
子から濾波された信号を取り出す。
Embodiments of a surface acoustic wave filter device according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a filter circuit including a surface acoustic wave filter device according to the present invention. A signal input terminal 1 to which a signal to be filtered is input is connected to the first inductance 2 and the surface acoustic wave filter device 3. The surface acoustic wave filter device 3 is a two-stage cascade connection type filter device having a first filter stage 3a and a second filter stage 3b. The input signal is filtered by the first filter stage 3a, and the filtered signal is further filtered. It is filtered in the second filter stage 3b. A second inductance 4 for canceling a capacitive component is connected between the first filter stage 3a and the second filter stage 3b. The third inductance 5 is connected to the output section of the surface acoustic wave filter device 3 and the signal output terminal 6 is connected, and the filtered signal is taken out from this signal output terminal.

【0012】図2は、図1に示す弾性表面波フィルタ装
置の一例の構成を示す線図的平面図である。圧電性基板
として矩形の水晶基板10を用い、この水晶基板10上
に2個の第1及び第2フィルタ段11及び12を形成す
る。第1フィルタ段11は第1の送信側変換器13及び
第1の受信側変換器14を具え、第2フィルタ段12は
第1の送信側変換器15及び第2の受信側変換器16を
具える。これら4個の変換器13〜16はともに同一構
造の一方向性変換器で構成する。第1の送信側変換器1
3は正電極17及び負電極18と、これらの正電極17
及び負電極18の電極指間に配置した浮き電極19とで
構成する。
FIG. 2 is a diagrammatic plan view showing the configuration of an example of the surface acoustic wave filter device shown in FIG. A rectangular crystal substrate 10 is used as the piezoelectric substrate, and two first and second filter stages 11 and 12 are formed on the crystal substrate 10. The first filter stage 11 comprises a first transmitter side converter 13 and a first receiver side converter 14, and the second filter stage 12 comprises a first transmitter side converter 15 and a second receiver side converter 16. Equipped. These four converters 13 to 16 are all unidirectional converters having the same structure. First transmitting side converter 1
3 is a positive electrode 17 and a negative electrode 18, and these positive electrodes 17
And a floating electrode 19 arranged between the electrode fingers of the negative electrode 18.

【0013】これら正電極17、負電極18及び浮き電
極19の電極指の幅は共にλ/12に設定する。ここで
λは基本弾性表面波とする。正電極17及び負電極18
の各電極指はそれぞれλのピッチで形成し、正電極17
の電極指と隣接する負電極18の電極指との間の中心間
距離はλ/2に設定する。また、浮き電極19の電極指
は隣接する正電極17及び負電極18の電極指間の中間
位置から弾性表面波の伝播方向の上流側に例えばλ/1
2だけ偏位するように配置して一方向性を高める。ま
た、第1の受信側変換器14も同様に正電極20と、負
電極21と、正電極20及び負電極21の電極指間に配
置した浮き電極とを有する。さらに、第2の送信側変換
器15も同様に正電極22と、負電極23と、正電極2
2及び負電極23の電極指間に配置した浮き電極とを有
する。さらに、第2の受信側変換器16も同様に正電極
24と、負電極25と、正電極24及び負電極25の電
極指間に配置した浮き電極とを有する。各変換器の電極
の対数は全て同一の対数に設定し、第1フィルタ段11
と第2フィルタ段12との中間点から見て入力側と出力
側とを互いに等しくなるように電気的にバランスさせ
る。但し、電極の対数は特性に応じて変更してもよい。
The widths of the electrode fingers of the positive electrode 17, the negative electrode 18, and the floating electrode 19 are set to λ / 12. Here, λ is a fundamental surface acoustic wave. Positive electrode 17 and negative electrode 18
Each electrode finger of the positive electrode 17 is formed with a pitch of λ.
The center-to-center distance between the electrode finger of (1) and the electrode finger of the adjacent negative electrode 18 is set to λ / 2. In addition, the electrode finger of the floating electrode 19 is, for example, λ / 1 on the upstream side in the propagation direction of the surface acoustic wave from the intermediate position between the electrode fingers of the adjacent positive electrode 17 and negative electrode 18.
The unidirectionality is enhanced by arranging so as to deviate by two. Similarly, the first receiving-side converter 14 also has a positive electrode 20, a negative electrode 21, and a floating electrode arranged between the electrode fingers of the positive electrode 20 and the negative electrode 21. Further, the second transmitter-side converter 15 similarly has the positive electrode 22, the negative electrode 23, and the positive electrode 2 as well.
2 and a floating electrode disposed between the electrode fingers of the negative electrode 23. Further, the second receiving side converter 16 also has a positive electrode 24, a negative electrode 25, and a floating electrode arranged between the electrode fingers of the positive electrode 24 and the negative electrode 25. The number of electrodes of each converter is set to the same number of logs, and the first filter stage 11
And the second filter stage 12 are electrically balanced so that the input side and the output side of the second filter stage 12 are equal to each other. However, the number of pairs of electrodes may be changed according to the characteristics.

【0014】変換器13〜16は、第1フィルタ段11
における弾性表面波の伝播方向と第2フィルタ段12の
伝播方向とが互いに平行で同一方向となるように配置す
る。また、第1フィルタ段11と第2フィルタ段12と
が弾性表面波の伝播方向と直交する方向において並列に
配置する。さらに、第1の送信側変換器13においてそ
の正電極17のバスバー17aが水晶基板10の一方の
端縁と直接対向するように配置し、第1の受信側変換器
14においては、正電極20と負電極21の配置を反転
させる。また、第2の送信側変換器15においてはその
負電極23のバスバーが水晶基板10の反対側の端縁と
直接対向し、第2の受信側変換器16においては正電極
24と負電極25の配置を反転させる。変換器13〜1
6の正電極17,20,23及び24並びに負電極1
8,21,22及び25をこのように配置することによ
り、第1フィルタ段11の送信側変換器13の信号入力
電極と第2フィルタ段12の受信側変換器16の信号出
力電極を最も遠く離間させることができ、入出力間での
電磁結合を有効に防止することができる。
The converters 13 to 16 comprise a first filter stage 11
Are arranged so that the propagation direction of the surface acoustic wave and the propagation direction of the second filter stage 12 are parallel and in the same direction. The first filter stage 11 and the second filter stage 12 are arranged in parallel in the direction orthogonal to the surface acoustic wave propagation direction. Further, in the first transmitter converter 13, the bus bar 17a of the positive electrode 17 is arranged so as to directly face one edge of the crystal substrate 10, and in the first receiver converter 14, the positive electrode 20 is arranged. And the arrangement of the negative electrode 21 is reversed. In the second transmitter converter 15, the bus bar of the negative electrode 23 directly faces the opposite edge of the crystal substrate 10, and in the second receiver converter 16, the positive electrode 24 and the negative electrode 25. Reverse the placement of. Converters 13-1
6 positive electrodes 17, 20, 23 and 24 and negative electrode 1
By arranging 8, 21, 22, and 25 in this way, the signal input electrode of the transmitter side converter 13 of the first filter stage 11 and the signal output electrode of the receiver side converter 16 of the second filter stage 12 are located farthest. Since they can be separated from each other, electromagnetic coupling between input and output can be effectively prevented.

【0015】本例では、水晶基板10上の第1フィルタ
段11と第2フィルタ段12との間に吸音部材26(図
では破線で示す)を塗布し、一方のフィルタ段で発生し
た弾性表面波が他方のフィルタ段の変換器に入射するの
を防止する。このように吸音材を塗布することにより、
ノイズの発生を防止して減衰特性を改善することができ
る。
In this example, a sound absorbing member 26 (shown by a broken line in the figure) is applied between the first filter stage 11 and the second filter stage 12 on the quartz substrate 10, and the elastic surface generated in one filter stage is applied. Prevents the wave from entering the transducer of the other filter stage. By applying the sound absorbing material in this way,
It is possible to prevent the generation of noise and improve the attenuation characteristic.

【0016】水晶基板10は、アルミナのような電気的
絶縁材料で構成されたパッケージ27内に収納して支持
する。パッケージ27は複数のボンディングパッドを有
し、これらのボンディングパッドに各変換器の電極を接
続し、ボンディングパッドを介して電極間を相互接続し
又はプリント回路基板に接続する。本例では、各電極と
ボンディングパッドとの間の接続はボンディングワイヤ
を介して行う。
The crystal substrate 10 is housed and supported in a package 27 made of an electrically insulating material such as alumina. The package 27 has a plurality of bonding pads, the electrodes of each converter are connected to these bonding pads, and the electrodes are interconnected or connected to a printed circuit board via the bonding pads. In this example, the connection between each electrode and the bonding pad is made via a bonding wire.

【0017】第1の送信側変換器13の正電極17をボ
ンディングワイヤによりボンディングパッド28に接続
する。ボンディングワイヤの一端を正電極17のバスバ
ー17aの弾性表面波の伝播方向の中間位置に結合する。
また、負電極18を、パッケージ27の上側の角部に配
置され、かつ、グランド端子に接続されたボンディング
パッド29に、ボンディングワイヤを介して接続する。
この場合も同様に、ボンディングワイヤの一端を負電極
18のバスバー18aの中間位置に結合する。
The positive electrode 17 of the first transmitter 13 is connected to the bonding pad 28 by a bonding wire. One end of the bonding wire is coupled to the intermediate position of the bus bar 17a of the positive electrode 17 in the surface acoustic wave propagation direction.
Further, the negative electrode 18 is connected to the bonding pad 29 arranged at the upper corner of the package 27 and connected to the ground terminal via a bonding wire.
In this case as well, one end of the bonding wire is similarly coupled to the intermediate position of the bus bar 18a of the negative electrode 18.

【0018】第1の受信側変換器14の正電極20をボ
ンディングワイヤによりボンディングパッド30に接続
し、その負電極21をパッケージ27の下側の角部に配
置され、かつ、グランド端子に接続されたボンディング
パッド31にボンディングワイヤを介して接続する。こ
の場合も同様に、ボンディングワイヤの一端を正電極2
0及び負電極21のバスバーの中間位置に結合する。
The positive electrode 20 of the first receiving side converter 14 is connected to the bonding pad 30 by a bonding wire, and the negative electrode 21 thereof is arranged at the lower corner of the package 27 and connected to the ground terminal. The bonding pad 31 is connected to the bonding pad 31 via a bonding wire. In this case as well, one end of the bonding wire is similarly connected to the positive electrode 2
It connects to the middle position of the bus bar of 0 and the negative electrode 21.

【0019】第2の送信側変換器15の正電極23をボ
ンディングワイヤによりボンディングパッド30に接続
し、その負電極22をボンディングパッド29に接続す
る。この場合も同様に、ボンディングワイヤの一端を正
電極23及び負電極22のバスバーの中間位置に結合す
る。
The positive electrode 23 of the second transmitting side converter 15 is connected to the bonding pad 30 by a bonding wire, and the negative electrode 22 thereof is connected to the bonding pad 29. In this case as well, one end of the bonding wire is similarly coupled to the intermediate position of the bus bar between the positive electrode 23 and the negative electrode 22.

【0020】第2の受信側変換器16の正電極24をボ
ンディングワイヤによりボンディングパッド32に接続
し、その負電極25をボンディングパッド31にボンデ
ィングワイヤを介して接続する。この場合も同様に、ボ
ンディングワイヤの一端を正電極24及び負電極25の
バスバーの中間位置に結合する。また本例では、パッケ
ージ本体の角部に配置され、かつ、グランド端子に接続
されたボンディングパッド33及び34を設ける。
The positive electrode 24 of the second receiving side converter 16 is connected to the bonding pad 32 by a bonding wire, and the negative electrode 25 thereof is connected to the bonding pad 31 via the bonding wire. In this case as well, one end of the bonding wire is similarly coupled to the intermediate position of the bus bar between the positive electrode 24 and the negative electrode 25. Further, in this example, the bonding pads 33 and 34 arranged at the corners of the package body and connected to the ground terminal are provided.

【0021】上述したように本例では、第1及び第2フ
ィルタ段11及び12の送信側変換器13及び15の負
電極を、グランド端子に接続されたボンディングパッド
29に共に接続するとともに、このボンディングパッド
29に対して圧電性基板10を挟んでパッケージ27の
対角の位置にあるグランド端子に接続されたボンディン
グパッド31に、第1及び第2フィルタ段11及び12
の受信側変換器13及び15の負電極を共に接続する。
このように接続配置することにより、パッケージ27全
体の電位のバランスが取れ、適切なバランス性能が確保
されて帯域外減衰特性を大幅に改善することができる。
As described above, in this example, the negative electrodes of the transmitter side converters 13 and 15 of the first and second filter stages 11 and 12 are both connected to the bonding pad 29 connected to the ground terminal, and The first and second filter stages 11 and 12 are connected to a bonding pad 31 connected to a ground terminal at a diagonal position of the package 27 with the piezoelectric substrate 10 sandwiched between the bonding pad 29 and the bonding pad 31.
The negative electrodes of the receiving side converters 13 and 15 are connected together.
By connecting and arranging in this way, the potential of the entire package 27 can be balanced, proper balance performance can be ensured, and the out-of-band attenuation characteristic can be greatly improved.

【0022】また本例では、圧電性基板10の端縁10
a及び10b沿いに、グランド端子に接続されたボンデ
ィングパッド35及び36を設ける。ボンディングパッ
ド35及び36をこのように設けることにより、第1及
び第2フィルタ段11及び12の送信側変換器13及び
15と受信側変換器14及び16との間が電気的に分離
され、したがってパッケージ27における電磁結合が大
幅に減少して帯域外減衰特性を大幅に改善することがで
きる。
Further, in this example, the edge 10 of the piezoelectric substrate 10 is
Bonding pads 35 and 36 connected to the ground terminal are provided along a and 10b. By providing the bonding pads 35 and 36 in this way, there is an electrical isolation between the transmitter converters 13 and 15 and the receiver converters 14 and 16 of the first and second filter stages 11 and 12, and thus The electromagnetic coupling in the package 27 can be greatly reduced, and the out-of-band attenuation characteristics can be greatly improved.

【0023】図3〜4は本発明による弾性表面波フィル
タ装置の一例の構成を示すものであり、図3は分解斜視
図であり、図4は組立後の形態を示す斜視図である。パ
ッケージ27の上端面にコバールリング40を取り付
け、導電性のキャップ41を溶接によりこのコバールリ
ング40に接合する。図3に示すように、パッケージ2
7は3層構造体とし、底部層42、ロの字型の中間層4
3及びロの字型の最上層44で構成する。なお、図3に
おいて導体層を黒点で表示した領域で示す。底部層42
には、信号入力端子及び信号出力端子が形成される部分
及びその近傍の部分を除いて第1の導体層45を形成す
る。
3 to 4 show the structure of an example of the surface acoustic wave filter device according to the present invention, FIG. 3 is an exploded perspective view, and FIG. 4 is a perspective view showing a form after assembly. The Kovar ring 40 is attached to the upper end surface of the package 27, and the conductive cap 41 is welded to the Kovar ring 40. As shown in FIG. 3, the package 2
7 is a three-layer structure, including a bottom layer 42 and a square-shaped intermediate layer 4
3 and a square-shaped uppermost layer 44. In addition, in FIG. 3, the conductor layer is shown by a region indicated by a black dot. Bottom layer 42
The first conductor layer 45 is formed on the first conductor layer 45 except the portions where the signal input terminal and the signal output terminal are formed and the portion in the vicinity thereof.

【0024】中間層43はパッド形成部を構成するもの
であり、各ボンディングパッドを信号入力端子、信号出
力端子及びグランド端子に接続するための第2の導体層
46a〜g(片側の部分のみに符号を付す)を形成す
る。最上層44には、その上端面の全面に亘って第3の
導体層47を形成する。これら底部層42、中間層43
及び最上層44を焼成して一体物とする。
The intermediate layer 43 constitutes a pad forming portion, and second conductor layers 46a to 46g (only on one side portion) for connecting each bonding pad to a signal input terminal, a signal output terminal and a ground terminal. Numbered). A third conductor layer 47 is formed on the uppermost layer 44 over the entire upper surface thereof. These bottom layer 42 and intermediate layer 43
And the uppermost layer 44 is fired to be an integrated body.

【0025】図4に示すように、パッケージ27の外側
壁部には信号入力端子48、信号出力端子49並びにグ
ランド端子50,51及び52(本例では3個のグラン
ド端子のみを示す)を形成し、さらにパッケージ接地端
子53,54及び55を形成する。なお、パッケージ接
地端子54及び55はグランド端子として使用すること
もできる。信号入力端子48及び信号出力端子49は第
2の導体層46f及び46b(図3)に接続し、グラン
ド端子50〜52並びにパッケージ接地端子53,54
及び55は第2の導体層46g,46d,46a,46
e及び46c並びに第1の導体層45(図3)と電気的
に接続する。したがって水晶基板10(図2)を支持す
る第1の導体層45(図3)及びキャップ41(図3)
は端子50,51,52,53,54及び55並びに複
数の導体層45,46a,46c,46e,46g及び
47(図3)により相互接続される。
As shown in FIG. 4, a signal input terminal 48, a signal output terminal 49, and ground terminals 50, 51 and 52 (only three ground terminals are shown in this example) are formed on the outer wall of the package 27. Then, the package ground terminals 53, 54 and 55 are formed. The package ground terminals 54 and 55 can also be used as ground terminals. The signal input terminal 48 and the signal output terminal 49 are connected to the second conductor layers 46f and 46b (FIG. 3), and the ground terminals 50 to 52 and the package ground terminals 53 and 54.
And 55 are second conductor layers 46g, 46d, 46a, 46
e and 46c and the first conductor layer 45 (FIG. 3). Therefore, the first conductor layer 45 (FIG. 3) and the cap 41 (FIG. 3) supporting the crystal substrate 10 (FIG. 2).
Are interconnected by terminals 50, 51, 52, 53, 54 and 55 and a plurality of conductor layers 45, 46a, 46c, 46e, 46g and 47 (FIG. 3).

【0026】図5は、本発明による弾性表面波フィルタ
装置の周波数特性を示す図である。図5において横軸は
周波数を示し、縦軸は減衰度を示す。本例では中心周波
数を250MHzに設定している。図5に示すように本
発明の弾性表面波フィルタ装置によれば、良好な帯域外
減衰特性を得ることができる。
FIG. 5 is a diagram showing frequency characteristics of the surface acoustic wave filter device according to the present invention. In FIG. 5, the horizontal axis represents frequency and the vertical axis represents attenuation. In this example, the center frequency is set to 250 MHz. As shown in FIG. 5, according to the surface acoustic wave filter device of the present invention, good out-of-band attenuation characteristics can be obtained.

【0027】本発明は上述した実施例に限定されるもの
ではなく、幾多の変更及び変形が可能である。例えば上
述した実施例では圧電性基板として水晶基板を用いた
が、例えばLi2B4O7 のように水晶と同程度の小さい電気
機械結合係数を有する基板材料にも適用することができ
る。
The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, but various modifications and variations are possible. For example, although a quartz substrate is used as the piezoelectric substrate in the above-described embodiments, it can be applied to a substrate material such as Li 2 B 4 O 7 having an electromechanical coupling coefficient as small as that of quartz.

【0028】また、変換器として全ての形態の一方向性
変換器を用いるフィルタ装置についても本発明を適用す
ることができ、例えば電極指の幅をλ/8に規定した一
方向性変換器や開放型浮き電極を用いた一方向性変換器
を用いる場合にも適用することができる。
The present invention can also be applied to a filter device using unidirectional converters of all forms as converters. For example, unidirectional converters having electrode fingers having a width of λ / 8 and It can also be applied when using a unidirectional converter using an open floating electrode.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上説明したように本発明による弾性表
面波フィルタ装置によれば、第1及び第2フィルタ段の
送信側変換器の負電極を共通のボンディングパッドに接
続するとともに、このボンディングパッドに対して圧電
性基板を挟んでパッケージ本体の対角の位置にあるボン
ディングパッドに、第1及び第2フィルタ段の受信側変
換器の負電極を共に接続するように接続配置することに
より、パッケージ全体の電位のバランスが取れて適切な
バランス性能が確保され、帯域外減衰特性を大幅に改善
することができる。
As described above, according to the surface acoustic wave filter device of the present invention, the negative electrodes of the transmitter-side converters of the first and second filter stages are connected to a common bonding pad and the bonding pad is used. With respect to the package, by arranging so that the negative electrodes of the receiving side converters of the first and second filter stages are connected to the bonding pads at diagonal positions of the package body with the piezoelectric substrate sandwiched therebetween, The entire potential is balanced and proper balance performance is secured, and the out-of-band attenuation characteristics can be greatly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による弾性表面波フィルタ装置を具える
フィルタ回路を示す回路図である。
FIG. 1 is a circuit diagram showing a filter circuit including a surface acoustic wave filter device according to the present invention.

【図2】図1に示す弾性表面波フィルタ装置の一例の構
成を示す線図的平面図である。
FIG. 2 is a diagrammatic plan view showing the configuration of an example of the surface acoustic wave filter device shown in FIG.

【図3】本発明による弾性表面波フィルタ装置の分解斜
視図である。
FIG. 3 is an exploded perspective view of a surface acoustic wave filter device according to the present invention.

【図4】本発明による弾性表面波フィルタ装置の組立後
の形態を示す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing an assembled state of the surface acoustic wave filter device according to the present invention.

【図5】本発明による弾性表面波フィルタ装置の周波数
特性を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing frequency characteristics of the surface acoustic wave filter device according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 入力端子,2,4,5 インダクタンス,3 弾性
表面波フィルタ装置,3a,11 第1フィルタ段,3
b,12 第2フィルタ段,6 出力端子,10 水晶
基板,13,15 送信側変換器,14,16 受信側
変換器,17,20,23,24 正電極,18,2
1,22,25 負電極,17a,18aバスバー,1
9 浮き電極,26 吸音部材,27 パッケージ,2
8,29,30,31,32,33,34,35,36
ボンディングパッド,40 コバールリング,41
キャップ,42 底部層,43 中間層,44 最上
層,45,46a,46b,46c,46d,46e,
46f,46g,47 導体層,48 信号入力端子,
49 信号出力端子,50,51,52 グランド端
子,53,54,55 パッケージ接地端子
1 input terminal, 2, 4, 5 inductance, 3 surface acoustic wave filter device, 3a, 11 first filter stage, 3
b, 12 second filter stage, 6 output terminal, 10 quartz substrate, 13, 15 transmitter side converter, 14, 16 receiver side converter, 17, 20, 23, 24 positive electrode, 18, 2
1, 22, 25 Negative electrode, 17a, 18a Bus bar, 1
9 floating electrode, 26 sound absorbing member, 27 package, 2
8, 29, 30, 31, 32, 33, 34, 35, 36
Bonding pad, 40 Kovar ring, 41
Cap, 42 bottom layer, 43 middle layer, 44 top layer, 45, 46a, 46b, 46c, 46d, 46e,
46f, 46g, 47 conductor layers, 48 signal input terminals,
49 signal output terminal, 50, 51, 52 ground terminal, 53, 54, 55 package ground terminal

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】圧電性基板と、この圧電性基板上に形成さ
れ、インタディジタル型の送信側変換器及びインタディ
ジタル型の受信側変換器とをそれぞれ有する第1及び第
2のフィルタ段と、前記圧電性基板を収納する基板収納
空間を有し、ほぼ矩形のパッケージ本体と、導体性材料
から成るキャップ部材とを具え、 前記パッケージ本体が、弾性表面波の伝播方向の中心軸
線と平行な第1の側壁部に形成した信号入力端子と、第
1の側壁部と対向する第2の側壁部に形成した信号出力
端子と、前記第1の側壁部の両端又はその近傍にそれぞ
れ形成した第1及び第2のグランド端子と、前記第2の
側壁部の両端又はその近傍にそれぞれ形成した第3及び
第4のグランド端子と、前記第1及び第2の側壁部の弾
性表面波の伝播方向のほぼ中央にそれぞれ形成した第5
及び第6のグランド端子と、第1のパッド形成面に形成
した信号入力パッド及び第1のグランドパッドと、第2
のパッド形成面に形成した信号出力パッド及び第2のグ
ランドパッドと、前記基板収納空間の底面に形成され、
一部が第1及び第2の側壁部を経て外周面まで延在する
第1の導体層と、前記第1又は第2の側壁部を経て外周
面まで延在し、前記信号入力端子、信号出力端子並びに
第2及び第3のグランド端子をそれぞれ信号入力パッ
ド、信号出力パッド並びに第1及び第2のグランドパッ
ドに接続する第2の導体層と、前記パッケージ本体の上
端面に形成した第3の導体層と、 前記第1のフィルタ段の送信側変換器の正電極を前記信
号入力パッドに接続し、前記第2のフィルタ段の受信側
変換器の正電極を前記信号出力パッドに接続し、前記第
1のフィルタ段の送信側変換器の負電極及び第2のフィ
ルタ段の送信側変換器の負電極を前記第2のグランドパ
ッドに接続し、前記第1のフィルタ段の受信側変換器の
負電極及び第2のフィルタ段の受信側変換器の負電極を
前記第1のグランドパッドに接続し、前記第1のフィル
タ段の受信側変換器の正電極に第2のフィルタ段の送信
側変換器の正電極とを相互接続し、 前記第1及び第3のグランド端子をそれぞれ、第2及び
第4のグランド端子に対して弾性表面波の伝播方向の上
流側にそれぞれ配置し、前記信号入力端子を前記第1の
グランド端子と第5のグランド端子との間に配置し、前
記信号出力端子を、前記第4のグランド端子と第6のグ
ランド端子との間に配置し、前記第1、第2、第3、第
4、第5及び第6のグランド端子を、前記第1の導体層
及び第3の導体層に直接接続したことを特徴とする弾性
表面波フィルタ装置。
1. A first and a second filter stage formed on the piezoelectric substrate and having an interdigital transmission side converter and an interdigital type reception side converter, respectively. A package housing having a substrate housing space for housing the piezoelectric substrate, the package body having a substantially rectangular shape, and a cap member made of a conductive material, wherein the package body is parallel to the central axis of the surface acoustic wave propagation direction. A signal input terminal formed on one side wall portion, a signal output terminal formed on a second side wall portion facing the first side wall portion, and a first output terminal formed on both ends of the first side wall portion or in the vicinity thereof. And a second ground terminal, third and fourth ground terminals respectively formed at both ends of the second side wall portion or in the vicinity thereof, and in the propagation direction of the surface acoustic wave of the first and second side wall portions. Almost in the center Formed 5th
A sixth ground terminal, a signal input pad and a first ground pad formed on the first pad formation surface, and a second ground terminal.
A signal output pad and a second ground pad formed on the pad forming surface of the substrate, and a bottom surface of the board housing space,
A part of the first conductor layer extends to the outer peripheral surface via the first and second side wall portions, and a part of the first conductor layer extends to the outer peripheral surface via the first or second side wall portion. A second conductor layer that connects the output terminal and the second and third ground terminals to the signal input pad, the signal output pad, and the first and second ground pads, respectively, and a third conductor layer formed on the upper end surface of the package body. And the positive electrode of the transmitter side converter of the first filter stage is connected to the signal input pad, and the positive electrode of the receiver side converter of the second filter stage is connected to the signal output pad. Connecting the negative electrode of the transmitting side converter of the first filter stage and the negative electrode of the transmitting side converter of the second filter stage to the second ground pad, and converting the receiving side conversion of the first filter stage. -Side conversion of negative electrode of filter and second filter stage Connecting the negative electrode of the converter to the first ground pad and interconnecting the positive electrode of the receiving converter of the first filter stage with the positive electrode of the transmitting converter of the second filter stage, The first and third ground terminals are respectively arranged on the upstream side in the propagation direction of the surface acoustic wave with respect to the second and fourth ground terminals, and the signal input terminal is connected to the first ground terminal and the fifth ground terminal. And the signal output terminal is arranged between the fourth ground terminal and the sixth ground terminal, and the first, second, third, fourth and fifth terminals are arranged between the fourth ground terminal and the sixth ground terminal. And a sixth ground terminal, which are directly connected to the first conductor layer and the third conductor layer, respectively.
【請求項2】前記第1の側壁部と第2の側壁部との間に
位置する第3及び第4の側壁部に、これら側壁部の弾性
表面波の伝播方向と直交する方向にそれぞれグランド端
子を形成し、これらグランド端子を前記第1及び第3の
導体層に直接接続したことを特徴とする請求項1記載の
弾性表面波フィルタ装置。
2. The third and fourth side wall portions located between the first side wall portion and the second side wall portion are respectively grounded in a direction orthogonal to a propagation direction of surface acoustic waves of the side wall portions. The surface acoustic wave filter device according to claim 1, wherein terminals are formed and the ground terminals are directly connected to the first and third conductor layers.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999005788A1 (en) * 1997-07-28 1999-02-04 Kabushiki Kaisha Toshiba Surface acoustic wave device and method of producing the same

Cited By (2)

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