JPH08101400A - Liquid crystal display device - Google Patents

Liquid crystal display device

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Publication number
JPH08101400A
JPH08101400A JP23748394A JP23748394A JPH08101400A JP H08101400 A JPH08101400 A JP H08101400A JP 23748394 A JP23748394 A JP 23748394A JP 23748394 A JP23748394 A JP 23748394A JP H08101400 A JPH08101400 A JP H08101400A
Authority
JP
Japan
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electrode
light
auxiliary capacitance
liquid crystal
shielding layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP23748394A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Ryuji Nishikawa
龍司 西川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Priority to TW084109854A priority patent/TW347477B/en
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Priority to KR1019950032763A priority patent/KR100447768B1/en
Publication of JPH08101400A publication Critical patent/JPH08101400A/en
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Abstract

PURPOSE: To improve an opening rate and to increase auxiliary capacitance by forming auxiliary capacitor electrodes of transparent conductive layers and disposing these electrodes opposite to each other over the entire surface of display electrodes. CONSTITUTION: The transparent auxiliary capacitor electrodes 11 are entirely formed on a transparent substrate 10 and the light shielding layers 12 are formed on the auxiliary capacitor electrode 11. Interlayer insulating layers 13 are formed over the entire surface covering these auxiliary capacitor electrodes 11 and the light shielding layers 12. The auxiliary capacitor electrodes 11 are formed of the transparent conductive layers over the entire surface and the auxiliary capacitors are formed over the entire region of the display elelctrodes, by which the auiliary capacitance is increased and the opening rate is improved. The use of the transparent conductive layers for the auxiliary capacitor electrodes 11 further leads the acceleration of the higher opening rate in the structure of forming a black matrix on a TFT array substrate side. The transparent auxiliary capacitor electrodes 11 are disposed separately from the black matrix, by which the high opening rate and the large auxiliary capacitance are simultaneously realized.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は液晶表示装置に関し、特
に、ブラックマトリックスをTFTアレイ基板側に形成
して開口率を向上した液晶表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly to a liquid crystal display device in which a black matrix is formed on the TFT array substrate side to improve the aperture ratio.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示装置は薄型、軽量、低消費電力
などの特徴があり、OA機器、AV機器などの分野で実
用化が進んでいる。特に、スイッチング素子として、薄
膜トランジスタ(以下、TFTと略す)を用いたアクテ
ィブマトリクス型は、原理的にデューティ比100%の
スタティック駆動をマルチプレクス的に行うことがで
き、大画面、高精細な動画ディスプレイに使用されてい
る。
2. Description of the Related Art Liquid crystal display devices are characterized by thinness, light weight and low power consumption, and are being put to practical use in the fields of OA equipment, AV equipment and the like. In particular, the active matrix type using a thin film transistor (hereinafter abbreviated as TFT) as a switching element can perform static driving with a duty ratio of 100% in a multiplexed manner in principle, and has a large screen and a high-definition moving image display. Is used for.

【0003】アクティブマトリクス型液晶表示装置で
は、対向配置された透明電極間に液晶が装填されてなる
液晶容量に所望の電圧が印加可能に構成された表示画素
が、マトリクス状に配列されている。透明電極はそれぞ
れ透明基板により支持されており、一方はマトリクス状
に形成された表示電極であり、他方は全面的に形成され
た共通電極である。各表示電極にはそれぞれ薄膜トラン
ジスタ(TFT:ThinFilm Transistor)が接続され、
入力信号電圧が選択される。各TFTは線順次走査によ
り選択されて、同一行について全てONされ、これに同
期したデータ信号電圧が表示電極に印加される。このよ
うにして液晶容量に印加された電圧はTFTのOFF抵
抗により次フィールドで書き換えられるまで保持され液
晶層に一定の電界が形成される。液晶は静電的に反応し
て光学的状態が変化し、透過光が変調される。画素ごと
に光の変調を制御することにより、透過光が合成されて
視認され表示画像となる。
In an active matrix type liquid crystal display device, display pixels are arranged in a matrix so that a desired voltage can be applied to a liquid crystal capacitor in which liquid crystal is loaded between transparent electrodes arranged opposite to each other. The transparent electrodes are each supported by a transparent substrate, one is a display electrode formed in a matrix, and the other is a common electrode formed over the entire surface. A thin film transistor (TFT: Thin Film Transistor) is connected to each display electrode,
The input signal voltage is selected. Each TFT is selected by line-sequential scanning and turned on for all the same rows, and a data signal voltage synchronized with this is applied to the display electrodes. The voltage thus applied to the liquid crystal capacitor is held by the OFF resistance of the TFT until it is rewritten in the next field, and a constant electric field is formed in the liquid crystal layer. The liquid crystal reacts electrostatically to change its optical state and modulate the transmitted light. By controlling the light modulation for each pixel, the transmitted light is combined and visually recognized to form a display image.

【0004】TFTとして、半導体層に対してゲートを
上層に配した正スタガー型を用いた場合、TFT基板の
製造はマスク数3枚で製造が可能であり、コストが低
い。図5に、このような構造の液晶表示装置であって、
特に、表示画素間の変調されない光を遮断してコントラ
スト比を向上するブラックマトリックをTFTアレイ基
板側に形成したものについて画素部の単位構造を示して
いる。(a)は平面図であり、(b)は断面図である。
基板(50)側に、走査信号用のゲートライン(57
L)とデータ信号用のドレインライン(54L)が交差
して配置され、両ライン(57L,54L)に囲まれた
領域には表示電極(54P)が形成されている。両ライ
ン(57L,54L)の交差部には、透明な基板(5
0)上に形成された遮光層(51)とこれを覆う層間絶
縁膜(53)上に、更に、ソース・ドレイン電極(54
S,54D)、a−Si層(55)、ゲート絶縁層(5
6)及びゲート電極(57G)が順次積層されTFTが
形成されている。表示電極(54P)の周縁には、補助
容量電極(52)が配置され、層間絶縁層(53)を挟
んで表示電極(54P)に部分的に重畳されて補助容量
を形成している。
When the TFT is a positive stagger type in which the gate is arranged in the upper layer with respect to the semiconductor layer, the TFT substrate can be manufactured with three masks, and the cost is low. FIG. 5 shows a liquid crystal display device having such a structure,
In particular, the unit structure of the pixel portion is shown for a black matrix formed on the TFT array substrate side for blocking unmodulated light between display pixels to improve the contrast ratio. (A) is a plan view and (b) is a cross-sectional view.
A gate line (57) for scanning signals is provided on the substrate (50) side.
L) and the drain line (54L) for the data signal are arranged to intersect with each other, and a display electrode (54P) is formed in a region surrounded by both lines (57L, 54L). At the intersection of both lines (57L, 54L), a transparent substrate (5
0) on the light-shielding layer (51) and the interlayer insulating film (53) covering the light-shielding layer (51), and further the source / drain electrodes (54
S, 54D), a-Si layer (55), gate insulating layer (5
6) and the gate electrode (57G) are sequentially laminated to form a TFT. An auxiliary capacitance electrode (52) is arranged on the periphery of the display electrode (54P) and is partially overlapped with the display electrode (54P) with the interlayer insulating layer (53) interposed therebetween to form an auxiliary capacitance.

【0005】この構造においては、補助容量電極(5
2)に特徴がある。即ち、補助容量電極(52)は補助
容量を形成するとともに、表示電極(54P)の周縁部
を覆う形状に形成することにより遮光層として利用し、
これをブラックマトリクスとして機能させることによ
り、開口率を向上している。通常、ブラックマトリクス
を対向基板側に形成した場合、貼り合わせ時のずれが大
きいので、表示電極の周囲から漏れた変調されない光を
遮断するために、5〜10μmの貼り合わせマージンが
必要となり、結果的に有効表示領域が縮小し、開口率が
低下する。これに対して、ブラックマトリックスをTF
Tアレイ基板側に形成することにより、アライメント時
のずれを見込んだ位置合わせマージンが2〜3μmに低
減されるため、開口率が向上する。
In this structure, the auxiliary capacitance electrode (5
It is characterized by 2). That is, the auxiliary capacitance electrode (52) forms an auxiliary capacitance and is used as a light shielding layer by being formed in a shape covering the peripheral portion of the display electrode (54P).
By making this function as a black matrix, the aperture ratio is improved. Usually, when the black matrix is formed on the counter substrate side, the deviation at the time of bonding is large, so that a bonding margin of 5 to 10 μm is required to block unmodulated light leaking from the periphery of the display electrode. Effectively, the effective display area is reduced and the aperture ratio is reduced. On the other hand, the black matrix is TF
By forming it on the T-array substrate side, the alignment margin, which allows for misalignment during alignment, is reduced to 2-3 μm, and the aperture ratio is improved.

【0006】補助容量電極(52)は、TFTの裏面か
らの入射光を遮断する遮光層(51)とともに、ガラス
などの透明な基板(50)上でCrなどから形成されて
いる。全面にはこれらを覆ってSiNXなどの層間絶縁
層(53)が形成されている。表示電極(54P)とド
レインライン(54L)は、層間絶縁層(53)上でI
TOなどにより形成されている。表示電極(54P)及
びドレインライン(54L)の一部は互いに近接され
て、それぞれソース電極(54S)及びドレイン電極
(54D)となっており、両電極(54S,54D)上
には、チャンネル層となるa−Si(55)、SiNX
などのゲート絶縁層(56)、及び、Alなどのゲート
電極(57G)が積層されてTFTを構成している。ゲ
ートライン(57L)は、TFT部と一体のa−Si
(55)とゲート絶縁層(56)からなる積層体上に配
置されている。ゲートライン(57L)とゲート電極
(57G)は一体で、a−Si(55)及びゲート絶縁
層(56)もこれと同じパターンに形成されている。ま
た、a−Si(55)とソース電極(54S)、及び、
a−Si(55)とドレイン電極(54D)の間には、
燐などの不純物イオンを注入にして抵抗を下げたN+型
a−Si(55N)を介在させ、オーミック特性を向上
している。これらを覆う全面には、液晶の配向を制御す
る目的で、ポリイミドなどの配向膜(58)を形成し所
定のラビング処理を施すことにより表面処理がなされて
いる。
The auxiliary capacitance electrode (52) is formed of Cr or the like on the transparent substrate (50) such as glass together with the light shielding layer (51) for blocking the incident light from the back surface of the TFT. An interlayer insulating layer (53) such as SiNx is formed on the entire surface so as to cover them. The display electrode (54P) and the drain line (54L) are I on the interlayer insulating layer (53).
It is formed of TO or the like. A part of the display electrode (54P) and the drain line (54L) are close to each other to form a source electrode (54S) and a drain electrode (54D), and a channel layer is formed on both electrodes (54S, 54D). A-Si (55), SiNX
A gate insulating layer (56) such as and a gate electrode (57G) such as Al are stacked to form a TFT. The gate line (57L) is a-Si integrated with the TFT section.
It is arranged on the laminated body composed of (55) and the gate insulating layer (56). The gate line (57L) and the gate electrode (57G) are integrated, and the a-Si (55) and the gate insulating layer (56) are also formed in the same pattern. In addition, a-Si (55) and the source electrode (54S), and
Between the a-Si (55) and the drain electrode (54D),
Ohmic characteristics are improved by interposing N + type a-Si (55N) whose resistance is lowered by implanting impurity ions such as phosphorus. The entire surface covering these is subjected to surface treatment by forming an alignment film (58) of polyimide or the like and performing a predetermined rubbing treatment for the purpose of controlling the alignment of the liquid crystal.

【0007】こような構造のTFT基板に対向して配置
された基板(60)上には、表示領域に対応して開口部
が除去された遮光層(61)がCrなどにより形成さ
れ、これを覆ってITOの共通電極(62)が全面的に
形成されている。更に表面には、TFT基板側と同様に
ポリイミドの配向膜(63)が形成され、対向基板とな
っている。両基板の間には液晶層(70)が設けられて
いる。
On the substrate (60) arranged so as to face the TFT substrate having such a structure, a light shielding layer (61) having an opening removed corresponding to the display region is formed of Cr or the like. The ITO common electrode (62) is formed over the entire surface. Further, a polyimide alignment film (63) is formed on the surface similarly to the TFT substrate side, and serves as a counter substrate. A liquid crystal layer (70) is provided between both substrates.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】図5に示した従来構造
は、非透明な補助容量電極(52)による表示領域の損
失を避けるため、補助容量電極(52)を表示電極(5
4P)の周縁に配置したものである。即ち、これにより
ブラックマトリクスを兼用する補助容量電極(52)の
合わせマージンによる表示領域の損失と、補助容量を構
成する補助容量電極(52)の遮光による表示領域の損
失を同一領域にし、結果的に、表示領域の縮小を少なく
して、開口率を向上している。この構造により、例え
ば、ブラックマトリクスを対向基板側に形成した場合の
表示領域の損失に対応して、TFTアレイ基板側に補助
容量を作り込むことにより、補助容量電極による表示領
域の損失分が無くせるとともに、相当に大きな補助容量
も形成できる。
In the conventional structure shown in FIG. 5, in order to avoid the loss of the display area due to the non-transparent auxiliary capacitance electrode (52), the auxiliary capacitance electrode (52) is replaced by the display electrode (5).
4P). That is, by doing so, the loss of the display area due to the alignment margin of the auxiliary capacitance electrode (52) also serving as a black matrix and the loss of the display area due to the light shielding of the auxiliary capacitance electrode (52) forming the auxiliary capacitance are made to be the same area. In addition, the reduction of the display area is reduced to improve the aperture ratio. With this structure, for example, by corresponding to the loss of the display area when the black matrix is formed on the counter substrate side, the auxiliary capacitance is formed on the TFT array substrate side, so that the loss of the display area by the auxiliary capacitance electrode is eliminated. In addition, a considerably large auxiliary capacitance can be formed.

【0009】しかし、この構造では、例えば表示領域の
損失を補助容量電極(52)のアライメントマージンの
みにして、最低に抑えた場合、補助容量値をそれ以上に
大きくすることは不可能となる。また、所定値の補助容
量を形成すると表示領域の損失が避けられない。即ち、
従来の構造では飛躍的な開口率の向上と、補助容量の増
大は両立できなかった。
However, in this structure, when the loss in the display region is suppressed to the minimum by setting only the alignment margin of the auxiliary capacitance electrode (52), it is impossible to increase the auxiliary capacitance value more than that. Further, if the auxiliary capacitance having a predetermined value is formed, the loss of the display area cannot be avoided. That is,
With the conventional structure, it was not possible to achieve both a dramatic increase in aperture ratio and an increase in auxiliary capacitance.

【0010】特に、プロジェクションTVなどの投射型
では、十分な明るさを得るとともに、強い光が入射して
TFTのOFF抵抗が下がってもリークが生じることの
ないように、補助容量を十分に大きくし、電圧保持特性
を維持する必要がある。
Particularly, in the projection type TV such as a projection TV, the auxiliary capacitance is sufficiently large so as to obtain sufficient brightness and prevent leakage even if strong light is incident and the OFF resistance of the TFT is lowered. However, it is necessary to maintain the voltage holding characteristic.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明はこの目的を達成
するために成されたもので、第1に、一方の基板上に交
差して配置された複数のゲートラインと複数のドレイン
ライン、前記ゲートラインとドレインラインに囲まれた
領域に配置された複数の表示電極、前記ゲートラインと
ドレインラインの交差部で、前記ドレインラインに一体
のドレイン電極と前記表示電極に一体のソース電極が近
接された領域上に半導体層、該半導体層上に絶縁層、及
び、該絶縁層上に前記ゲートラインに一体のゲート電極
が積層されてなる薄膜トランジスタ、前記表示電極に対
向し補助容量を構成する補助容量電極、及び、他方の基
板上に全面的に形成され、液晶を挟んで前記各表示電極
に共通に対向し、各対向部で表示画素容量を構成する共
通電極、とを有する液晶表示装置において、前記補助容
量電極は基板上に全面的に形成された透明導電層からな
り、層間絶縁層を挟んで前記各表示電極に共通に対向す
る構成である。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to achieve this object. First, a plurality of gate lines and a plurality of drain lines which are arranged to intersect each other on one substrate, A plurality of display electrodes arranged in a region surrounded by the gate line and the drain line, and a drain electrode integrated with the drain line and a source electrode integrated with the display electrode are close to each other at an intersection of the gate line and the drain line. A thin film transistor in which a semiconductor layer is formed on the exposed region, an insulating layer is formed on the semiconductor layer, and a gate electrode integrated with the gate line is stacked on the insulating layer; and an auxiliary capacitor that faces the display electrode and forms an auxiliary capacitance. A capacitor electrode and a common electrode that is formed over the entire surface of the other substrate and that faces the display electrodes in common with the liquid crystal sandwiched therebetween and that forms a display pixel capacitance at each facing portion. In the liquid crystal display device, the storage capacitor electrode is a transparent conductive layer which is entirely formed on the substrate, is configured to face the common to the respective display electrodes sandwiching the interlayer insulating layer.

【0012】第2に、第1の構成において、前記補助容
量電極上には、前記薄膜トランジスタ及び前記表示電極
の周縁部を覆う第1の遮光層が形成された構成である。
第3に、第2の構成において、前記第1の遮光層は、前
記表示電極間の全域に設けられ、かつ、前記他方の基板
には、前記表示電極に平面的に対応するとともに、前記
表示電極の周囲を前記第1の遮光層によって遮光された
領域を除いた表示電極の開口部よりも大きな開口部を有
する第2の遮光層が形成された構成である。
Secondly, in the first structure, a first light shielding layer is formed on the auxiliary capacitance electrode to cover the peripheral portions of the thin film transistor and the display electrode.
Thirdly, in the second configuration, the first light-shielding layer is provided over the entire area between the display electrodes, and the other substrate is two-dimensionally corresponding to the display electrode and the display is provided. In this structure, a second light-shielding layer having an opening larger than the opening of the display electrode except for the region where the periphery of the electrode is shielded by the first light-shielding layer is formed.

【0013】第4に、第1から第4のいずれかの構成に
おいて、前記補助容量電極は、前記第1の基板の周縁部
には不在とした構成である。
Fourthly, in any one of the first to fourth configurations, the auxiliary capacitance electrode is absent from the peripheral portion of the first substrate.

【0014】[0014]

【作用】前記第1の構成で、補助容量電極を透明導電層
により形成し、表示電極の全面に対向配置することによ
り、表示電極の全領域が表示領域として有効となって表
示領域の損失が無くなり、開口率が向上する。また、表
示電極の全領域が補助容量に利用されるため大きな容量
値を取ることができる。即ち、飛躍的な開口率の向上と
補助容量の増大が両立できる。
In the first structure, the auxiliary capacitance electrode is formed of the transparent conductive layer and is disposed so as to face the entire surface of the display electrode, so that the entire area of the display electrode becomes effective as the display area and the loss of the display area is reduced. It disappears and the aperture ratio is improved. Further, since the entire area of the display electrode is used for the auxiliary capacitance, a large capacitance value can be obtained. That is, it is possible to achieve both a dramatic increase in aperture ratio and an increase in auxiliary capacitance.

【0015】前記第2の構成で、ゲート電極の反対側よ
り半導体層を覆う第1の遮光層を形成することにより、
裏面からの光入射によるOFF時のリーク電流が防が
れ、表示画素用量の印加電圧の保持特性が向上する。ま
た、第1の遮光層を表示電極の周縁を覆う領域に形成す
ることにより、表示電極が形成された基板側で、表示電
極と第1の遮光層の位置合わせが行われ、基板の貼り合
わせ時の位置合わせよりも、比較的精度の高いマスクア
ライメントにより行うことができる。このため、表示領
域を縮小するマージンが小さくなり、開口率が向上す
る。
In the second structure, the first light-shielding layer that covers the semiconductor layer is formed from the side opposite to the gate electrode,
Leakage current at the time of OFF due to light incident from the back surface is prevented, and the holding characteristic of the applied voltage of the display pixel amount is improved. Further, by forming the first light-shielding layer in a region covering the peripheral edge of the display electrode, the display electrode and the first light-shielding layer are aligned on the substrate side on which the display electrode is formed, and the substrate is bonded. It is possible to perform the mask alignment with a relatively higher accuracy than the time alignment. Therefore, the margin for reducing the display area is reduced and the aperture ratio is improved.

【0016】前記第3の構成で、表示電極が形成された
側の基板の開口部よりも大きな開口部を有する第2の遮
光層を共通電極が形成された基板側に形成することによ
り、貼り合わせのずれによって共通電極側の開口部が表
示電極側の開口部からはみだして開口率が低下するのが
防がれる。また、液晶層中で変調された光は回析現象に
より広がって進むので、共通電極側の開口部を表示電極
側の開口部よりも大きくすることにより、表示電極を透
過した光の利用効率が高まり透過量が増大し、結果的に
開口率が上昇する。更に、表示電極間の全域に形成され
た第1の遮光層と、これに略対応する第2の遮光層の間
で、回析により遮光層のエッジ部から回り込んだ光を反
射させ、開口部より射出させることができる。これによ
り、光の利用効率が更に高まり、透過量が増大する。
In the third structure, the second light-shielding layer having an opening larger than the opening of the substrate on the side where the display electrode is formed is formed on the side of the substrate on which the common electrode is formed, thereby bonding It is possible to prevent the aperture ratio on the common electrode side from protruding from the aperture on the display electrode side and lowering the aperture ratio due to misalignment. In addition, since the light modulated in the liquid crystal layer spreads and progresses due to the diffraction phenomenon, by making the opening on the common electrode side larger than the opening on the display electrode side, the utilization efficiency of the light transmitted through the display electrode is improved. As a result, the permeation amount increases, resulting in an increase in aperture ratio. Further, between the first light-shielding layer formed over the entire area between the display electrodes and the second light-shielding layer corresponding to the first light-shielding layer, the light sneaking from the edge portion of the light-shielding layer due to diffraction is reflected to open the aperture. It can be ejected from the part. As a result, the utilization efficiency of light is further increased and the amount of transmission is increased.

【0017】前記第4の構成で、基板周縁部で補助容量
電極を不在とすることにより、導電パターンの形成工程
完了後に大基板を切断してパネルごとに分割する際、補
助容量電極が基板端の側面から露出されるのが防がれ
る。これにより、駆動回路素子との接続部でのショート
や静電気入力が防がれ、信頼性が向上する。
In the fourth structure, the auxiliary capacitance electrode is absent at the peripheral portion of the substrate, so that when the large substrate is cut and divided into each panel after the formation process of the conductive pattern is completed, the auxiliary capacitance electrode is separated from the substrate end. It is prevented from being exposed from the side of. As a result, short circuit and static electricity input at the connection with the drive circuit element are prevented, and the reliability is improved.

【0018】[0018]

【実施例】続いて、本発明の実施例を図面を参照しなが
ら説明する。図1は本実施例に係る液晶表示装置の単位
画素の平面図であり、図2は図1のA−A線に沿った断
面図である。透明な基板(10)上には透明な導電性材
料からなる補助容量電極(11)が全面的に形成され、
補助容量電極(11)上にはブラックマトリクスを兼ね
た遮光層(12)が形成されている。これら補助容量電
極(11)及び遮光層(12)を覆う全面には層間絶縁
層(13)が形成され、層間絶縁層(13)上にはゲー
トライン(17L)とドレインライン(14L)が交差
して配置されている。両ライン(17L,14L)の交
差部には、基板(10)上に補助容量電極(11)、遮
光層(12)、層間絶縁層(13)が積層された上にソ
ース電極(14S)とドレイン電極(14D)が近接し
て配置され、この上には更に半導体層(15)、ゲート
絶縁層(16)、ゲート電極(17G)が順次積層され
TFTを構成している。ゲートライン(17L)はTF
T部と一体的に半導体層(15)とゲート絶縁層(1
6)からなる積層体上に配されている。
Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. 1 is a plan view of a unit pixel of the liquid crystal display device according to the present embodiment, and FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of FIG. An auxiliary capacitance electrode (11) made of a transparent conductive material is entirely formed on a transparent substrate (10),
A light shielding layer (12) also serving as a black matrix is formed on the auxiliary capacitance electrode (11). An interlayer insulating layer (13) is formed on the entire surface covering the auxiliary capacitance electrode (11) and the light shielding layer (12), and a gate line (17L) and a drain line (14L) intersect on the interlayer insulating layer (13). Are arranged. At the intersection of both lines (17L, 14L), the auxiliary capacitance electrode (11), the light shielding layer (12), and the interlayer insulating layer (13) are laminated on the substrate (10) and the source electrode (14S) is formed. The drain electrode (14D) is arranged in close proximity to the semiconductor layer (15), the gate insulating layer (16), and the gate electrode (17G) are sequentially stacked on the drain electrode (14D) to form a TFT. Gate line (17L) is TF
The semiconductor layer (15) and the gate insulating layer (1
It is arranged on the laminated body composed of 6).

【0019】ゲートライン(17L)とドレインライン
(14L)に囲まれた領域には表示電極(14P)が形
成され、層間絶縁層(13)を挟んで補助容量電極(1
2)に対向し補助容量を構成している。表示電極(14
P)の周囲にはTFT部と一体の遮光層(12)が形成
され、層間絶縁層(13)を挟んで表示電極(14P)
の周縁に部分的に重畳されている。特に、本実施例で
は、遮光層(12)を開口部以外の全域、即ち、ゲート
ライン(17L)とドレインライン(14L)上の領域
にも設けている。
A display electrode (14P) is formed in a region surrounded by the gate line (17L) and the drain line (14L), and the auxiliary capacitance electrode (1) is sandwiched by the interlayer insulating layer (13).
It is opposed to 2) and constitutes a storage capacitor. Display electrode (14
A light-shielding layer (12) integrated with the TFT part is formed around P), and the display electrode (14P) is sandwiched by the interlayer insulating layer (13).
Is partially overlapped with the periphery of. In particular, in this embodiment, the light shielding layer (12) is also provided in the entire area other than the opening, that is, in the area above the gate line (17L) and the drain line (14L).

【0020】画素部では、液晶層(30)を挟んで対向
配置された基板(20)上に、遮光層(21)が形成さ
れ、これを覆う全面に透明導電層からなる共通電極(2
2)が形成されている。遮光層(21)は、基板(1
0)側の遮光層(12)よりも小さく、即ち、その開口
部を、平面的に対応する基板(10)側の遮光層(1
2)の開口部よりも大きく形成している。
In the pixel portion, a light-shielding layer (21) is formed on a substrate (20) opposed to each other with a liquid crystal layer (30) interposed therebetween, and a common electrode (2) made of a transparent conductive layer is formed on the entire surface covering the light-shielding layer (21).
2) has been formed. The light shielding layer (21) is formed on the substrate (1
It is smaller than the light-shielding layer (12) on the (0) side, that is, the opening thereof corresponds in plan view to the light-shielding layer (1) on the substrate (10) side.
It is formed larger than the opening of 2).

【0021】また、両基板表面には配向膜(18,2
3)が形成され、液晶の配向を制御している。本発明で
は、このように、TFTアレイ基板(10)側にブラッ
クマトリクスを兼ねた遮光層(12)を形成することに
より開口率を大幅に向上している。即ち、ホトエッチ時
のマスク合わせによって高精度に位置が決定されるた
め、遮光層(12)と表示電極(14P)の位置ずれが
小さく、マージンを小さくすることができる。従って、
遮光層(12)と表示電極(14P)との重畳による表
示領域の損失が減少し、開口率が向上する。
Alignment films (18, 2) are formed on the surfaces of both substrates.
3) is formed to control the alignment of the liquid crystal. In the present invention, the aperture ratio is greatly improved by forming the light-shielding layer (12) also serving as the black matrix on the TFT array substrate (10) side as described above. That is, since the position is determined with high precision by mask alignment during photoetching, the positional deviation between the light shielding layer (12) and the display electrode (14P) is small, and the margin can be reduced. Therefore,
The loss of the display area due to the superposition of the light shielding layer (12) and the display electrode (14P) is reduced, and the aperture ratio is improved.

【0022】また、補助容量電極(11)を透明導電層
により全面的に形成し、補助容量を表示電極(14P)
の全領域に形成することにより、補助容量を大きくして
いる。また、従来のように遮光性の補助容量電極による
表示領域の損失分がなくなるので開口率が向上する。補
助容量電極(11)に透明導電層を用いることは、更
に、ブラックマトリクスをTFTアレイ基板側に形成す
る構造において、高開口率化を促進する。即ち、位置合
わせマージンを縮小しブラックマトリクスを兼ねた補助
容量電極の表示電極への重畳を少なくすることは補助容
量の減少をともなうが、透明な補助容量電極(11)を
ブラックマトリクスと別に設けることにより、高開口率
と大補助容量を同時に実現できる。
Further, the auxiliary capacitance electrode (11) is entirely formed of a transparent conductive layer, and the auxiliary capacitance is formed by the display electrode (14P).
The auxiliary capacitance is increased by forming the storage capacitor in the entire area of. Further, since the loss of the display area due to the light-shielding auxiliary capacitance electrode is eliminated as in the conventional case, the aperture ratio is improved. The use of the transparent conductive layer for the auxiliary capacitance electrode (11) further promotes high aperture ratio in the structure in which the black matrix is formed on the TFT array substrate side. That is, reducing the alignment margin and reducing the overlap of the auxiliary capacitance electrode also serving as the black matrix on the display electrode is accompanied by the reduction of the auxiliary capacitance, but the transparent auxiliary capacitance electrode (11) is provided separately from the black matrix. Thus, a high aperture ratio and a large auxiliary capacitance can be realized at the same time.

【0023】このような、補助容量電極(11)を有す
る構造は、TFTのゲートを半導体層に対して上層に配
した正スタガー型が適している。逆スタガー型に適用す
ると、基板上に補助容量電極、(遮光層、)層間絶縁
層、ゲート電極、ゲート絶縁層、半導体層、ソース・ド
レイン電極が順に積層されるが、この構造では次のよう
な問題がある。ゲート層が表示電極よりも下にあるた
め、ゲートと補助容量電極間の寄生容量のために、ゲー
ト信号に歪みが生じる。ゲート信号の歪みはTFTのス
イッチング動作に直接影響を及ぼす。これを避ける目的
で、寄生容量を小さくするために層間絶縁層を厚くする
と、ゲート絶縁層も加えた厚みのために補助容量が減少
し、本構造を採用する効果が失われる。また、ゲート絶
縁層をパターニングしてTFT部のみに残す構造では、
TFTと表示電極の段差が大きくなり、配向膜(18)
表面の凹凸によって液晶の配向が乱れ、リバースチルト
ドメインやディスクリネーションなどの問題を招く。
A positive stagger type in which the gate of the TFT is arranged above the semiconductor layer is suitable for such a structure having the auxiliary capacitance electrode (11). When applied to the inverted stagger type, the auxiliary capacitance electrode, the (light-shielding layer), the interlayer insulating layer, the gate electrode, the gate insulating layer, the semiconductor layer, and the source / drain electrode are sequentially stacked on the substrate. There is a problem. Since the gate layer is below the display electrode, the gate signal is distorted due to the parasitic capacitance between the gate and the auxiliary capacitance electrode. The distortion of the gate signal directly affects the switching operation of the TFT. In order to avoid this, if the interlayer insulating layer is thickened to reduce the parasitic capacitance, the auxiliary capacitance is reduced due to the thickness including the gate insulating layer, and the effect of adopting this structure is lost. In the structure in which the gate insulating layer is patterned and left only in the TFT part,
The step between the TFT and the display electrode becomes large, and the alignment film (18)
The unevenness of the surface disturbs the alignment of the liquid crystal, causing problems such as reverse tilt domain and disclination.

【0024】また本発明では特に、ITOの補助容量電
極(11)上に、ブラックマトリクスとなる遮光層(1
2)を積層している。これにより、ITOの高抵抗を補
償して充電特性の低下を防ぐとともに、遮光層(12)
の膜厚による補助容量電極(11)の段切れを防いでい
る。図3は補助容量電極信号入力側基板端の平面図であ
り、図4は図3のBーB線に沿った断面図である。
Further, in the present invention, in particular, on the ITO auxiliary capacitance electrode (11), a light-shielding layer (1) which becomes a black matrix is formed.
2) are laminated. Thereby, the high resistance of ITO is compensated to prevent the deterioration of the charging characteristics, and the light shielding layer (12)
This prevents breakage of the auxiliary capacitance electrode (11) due to the film thickness of. 3 is a plan view of the substrate end of the auxiliary capacitance electrode signal input side, and FIG. 4 is a sectional view taken along the line BB of FIG.

【0025】画素部と同様に、基板(10)上に、補助
容量電極(11)及び遮光層(12)が積層形成された
上に層間絶縁層(13)を挟んで、基板(10)の端に
沿った帯域に補助容量入力電極(14C)が形成されて
いる。補助容量入力電極(14C)は、端部が補助容量
入力端(14P)となっていて例えば共通電極信号が印
加される。補助容量入力電極(14C)と補助容量電極
(11)の対向部では容量が形成され、フローティング
の補助容量電極(11)を共通として補助容量に直列結
合されている。このように、補助容量入力電極(14
P)から信号を入力する構成とすることにより、層間絶
縁層(13)にコンタクトホールを形成せずに補助容量
を駆動できるので、ホトエッチ工程が削減される。
Similar to the pixel portion, the auxiliary capacitance electrode (11) and the light shielding layer (12) are laminated and formed on the substrate (10), and the interlayer insulating layer (13) is sandwiched therebetween to form the substrate (10). The auxiliary capacitance input electrode (14C) is formed in the band along the edge. The auxiliary capacitance input electrode (14C) has an end serving as an auxiliary capacitance input end (14P) to which, for example, a common electrode signal is applied. A capacitance is formed at the opposing portion of the auxiliary capacitance input electrode (14C) and the auxiliary capacitance electrode (11), and the floating auxiliary capacitance electrode (11) is commonly connected to the auxiliary capacitance in series. Thus, the auxiliary capacitance input electrode (14
With the configuration in which the signal is input from P), the auxiliary capacitance can be driven without forming a contact hole in the interlayer insulating layer (13), and the photoetching process can be reduced.

【0026】また本発明では、対向基板(20)側にも
遮光層(21)を設けて、光の利用効率を高めている。
TFTアレイ基板(10)側で遮光層(12)を抜けた
表示領域の光は、回析現象などにより非表示領域に散乱
される。非表示領域で電界が形成されていない部分では
光が変調されず、このような透過光はコントラスト比を
低下させる原因になる。これを解決するために、例え
ば、開口部を表示電極領域よりも相当に小さくして、変
調されない光を全て遮断してしまう方法などが考えられ
るが、それでは開口率が低下してしまう。そのため、本
発明では、TFTアレイ基板(10)側において表示領
域外の全域に遮光層(12)を設けるとともに、対向基
板(20)側にも、遮光層(12)に対向する領域に、
遮光層(12)よりも小さな遮光層(21)を設けてい
る。これにより、両遮光層(12,21)間で回析光を
反射させ、表示領域にまで導いて変調してから開口部よ
り射出する構成としている。
Further, in the present invention, the light-shielding layer (21) is also provided on the counter substrate (20) side to enhance the light utilization efficiency.
The light in the display area that has passed through the light shielding layer (12) on the TFT array substrate (10) side is scattered in the non-display area due to a diffraction phenomenon or the like. The light is not modulated in the portion where the electric field is not formed in the non-display area, and such transmitted light causes a decrease in the contrast ratio. In order to solve this, for example, a method in which the opening is made considerably smaller than the display electrode area to block all unmodulated light can be considered, but this will reduce the aperture ratio. Therefore, in the present invention, the light-shielding layer (12) is provided in the entire area outside the display region on the TFT array substrate (10) side, and also on the counter substrate (20) side, in the region facing the light-shielding layer (12).
A light shielding layer (21) smaller than the light shielding layer (12) is provided. As a result, the diffracted light is reflected between the light-shielding layers (12, 21), guided to the display area, modulated, and then emitted from the opening.

【0027】また、液晶層(30)中の電界は、表示電
極(14P)から共通電極(22)へ向かってやや外側
へ広がった分布となる。このため、角度の小さい回析光
は透過させるようにするために、対向基板(20)側の
開口部をTFTアレイ基板(10)側の開口部より大き
く形成し、角度の大きな回析光のみを遮断及び反射させ
ている。
The electric field in the liquid crystal layer (30) has a distribution that spreads slightly outward from the display electrode (14P) toward the common electrode (22). Therefore, in order to transmit diffracted light with a small angle, the opening on the counter substrate (20) side is formed larger than the opening on the TFT array substrate (10) side, and only diffracted light with a large angle is formed. Is blocked and reflected.

【0028】このような液晶表示装置は次のように製造
される。まず、ガラスなどの透明な基板(10)上に、
メタルマスクなどにより周縁部の数百μm幅の帯域を覆
いながらITOをスパッタリングして、500〜100
0Å程度の厚さに積層する。これにより基板のほぼ全域
に補助容量電極(11)が形成される。補助容量電極
(11)は、基板製造の最終工程で大基板を切断してパ
ネルごとに切り離した際に、切断面に露出されるのを防
ぐために、切断部には電極を不在としている。即ち、補
助容量電極(11)が切断後の基板端にまでこないよう
にして、パネルの側面に補助容量電極(11)が露出さ
れるのを防ぎ、TAB部などと接触してショートしたり
静電気が入力するのが避けられる。なお、補助容量電極
(11)の位置合わせにはそれ程高い精度は必要無いの
で、メタルマスクを用いたパターニングを行っている。
Such a liquid crystal display device is manufactured as follows. First, on a transparent substrate (10) such as glass,
ITO is sputtered while covering a band of several hundred μm width at the peripheral portion with a metal mask or the like,
Laminate to a thickness of 0Å. As a result, the auxiliary capacitance electrode (11) is formed on almost the entire area of the substrate. The auxiliary capacitance electrode (11) does not have an electrode at the cutting portion in order to prevent the auxiliary capacitance electrode (11) from being exposed to the cut surface when the large substrate is cut and separated into panels in the final process of manufacturing the substrate. That is, the auxiliary capacitance electrode (11) is prevented from reaching the edge of the substrate after cutting to prevent the auxiliary capacitance electrode (11) from being exposed on the side surface of the panel, and may come into contact with the TAB portion to cause a short circuit or electrostatic discharge. You can avoid typing. It is to be noted that since the positioning of the auxiliary capacitance electrode (11) does not require such high accuracy, patterning is performed using a metal mask.

【0029】続いて、Crをスパッタリングにより20
00Å程度の厚さに積層し、これをホトエッチによりパ
ターニングすることにより表示領域に対応した開口部を
形成し、ブラックマトリクスを兼ねた遮光層(12)を
形成する。次に、SiO2をCVDにより7000〜1
0000Åの厚さに成膜して層間絶縁層(13)を形成
し、補助容量電極(11)及び遮光層(12)を被覆す
る。補助容量は表示電極(14P)の全域に形成して十
分に大きくできるので、層間絶縁層(13)を厚くし
て、補助容量電極(11)による悪影響を低減してい
る。即ち、遮光層(12)とドレインライン(14L)
間及び遮光層(12)とゲートライン(17L)間に形
成された寄生容量を減少させて信号の歪みを防ぐととも
に、補助容量電極(11)と一体的に遮光層(12)に
印加された電圧によりTFTの動作が影響を受けるのを
防いでいる。
Then, Cr is sputtered to 20
A light-shielding layer (12) also serving as a black matrix is formed by stacking layers with a thickness of about 00Å and patterning the layers by photoetching to form openings corresponding to the display area. Next, SiO2 is deposited by CVD to 7000-1.
A film having a thickness of 0000Å is formed to form an interlayer insulating layer (13), and the auxiliary capacitance electrode (11) and the light shielding layer (12) are covered. Since the auxiliary capacitance can be formed sufficiently over the entire area of the display electrode (14P), the interlayer insulating layer (13) is thickened to reduce the adverse effect of the auxiliary capacitance electrode (11). That is, the light shielding layer (12) and the drain line (14L)
Applied to the light-shielding layer (12) integrally with the auxiliary capacitance electrode (11) while reducing the parasitic capacitance formed between the light-shielding layer (12) and the gate line (17L) to prevent signal distortion. It prevents the operation of the TFT from being affected by the voltage.

【0030】次に、層間絶縁層(13)上に、ITO
(14)をスパッタリングにより1000Å程度の厚さ
に、N+a−Si(15N)を200〜300Å程度の
厚さに順次積層し、これら両膜(14,15N)をホト
エッチによりパターニングする。これにより、周囲2〜
3μmが遮光層(12)に重畳する表示電極(14
P)、表示電極(14P)の行間にドレインライン(1
4L)、表示電極(14P)と一体のソース電極(14
S)、及び、ドレインライン(14L)と一体のドレイ
ン電極(14D)、更に基板端には補助容量入力電極
(14C)が形成される。
Next, ITO is formed on the interlayer insulating layer (13).
(14) is sputtered to a thickness of about 1000Å and N + a-Si (15N) is sequentially laminated to a thickness of about 200 to 300Å, and both films (14, 15N) are patterned by photoetching. By this, the surrounding 2
A display electrode (14) having a thickness of 3 μm superimposed on the light shielding layer (12)
P) and the display electrode (14P) between the drain lines (1
4L), the source electrode (14P) integrated with the display electrode (14P)
S) and a drain electrode (14D) integrated with the drain line (14L), and an auxiliary capacitance input electrode (14C) at the substrate end.

【0031】続いて、ソース・ドレイン配線(14)が
形成された基板上に、プラズマCVDによりa−Si
(15)を500〜1000Å程度の厚さに積層し、引
き続き、プラズマCVDによりゲート絶縁層(16)と
なるSiNXを2000〜4000Åの厚さに積層し、
次に、ゲート配線(17)となるAlをスパッタリング
により4000Å程度の厚さに積層する。このように順
次積層されたAl、SiNX、a−Si、及びN+a−S
iは同一のマスクを用いたエッチングにより不要な部分
を除去する。これにより、ソース及びドレイン電極(1
4S,14D)上にN+a−Si(15N)、a−Si
(15)、ゲート絶縁層(16)及びゲート電極(17
G)が積層されてTFTが形成されるとともに、a−S
iとSiNXの積層体上のAlからなるゲートライン
(17L)が形成される。更に、画素部表面にはポリイ
ミドの配向膜(18)が形成されて、TFTアレイ基板
が完成する。
Then, a-Si is formed by plasma CVD on the substrate on which the source / drain wiring (14) is formed.
(15) is laminated to a thickness of about 500 to 1000 Å, and subsequently SiNX to be the gate insulating layer (16) is laminated to a thickness of 2000 to 4000 Å by plasma CVD.
Next, Al to be the gate wiring (17) is laminated by sputtering to a thickness of about 4000Å. Al, SiNx, a-Si, and N + a-S sequentially laminated in this way
For i, unnecessary portions are removed by etching using the same mask. Thereby, the source and drain electrodes (1
4S, 14D) on N + a-Si (15N), a-Si
(15), gate insulating layer (16) and gate electrode (17
G) is laminated to form a TFT, and a-S
A gate line (17L) made of Al is formed on the laminated body of i and SiNx. Further, a polyimide alignment film (18) is formed on the surface of the pixel portion, and the TFT array substrate is completed.

【0032】一方の基板(20)上には、ブラックマト
リクスとしてCrからなる遮光層(21)が形成され
る。この遮光層(21)の開口部はTFTアレイ基板
(10)側の遮光層(12)の開口部に対応するととも
に10μm程度大きく形成される。この遮光層(21)
上にはITOの共通電極(22)が全面的に形成され、
更に、ポリイミドの配向膜(23)が形成され対向基板
となる。
On one substrate (20), a light shielding layer (21) made of Cr as a black matrix is formed. The opening of the light shielding layer (21) corresponds to the opening of the light shielding layer (12) on the TFT array substrate (10) side and is formed to be large by about 10 μm. This light shielding layer (21)
A common electrode (22) of ITO is formed on the entire surface,
Further, a polyimide alignment film (23) is formed to serve as a counter substrate.

【0033】この対向基板とTFTアレイ基板は周縁部
でシール材(40)により互いに対向する位置関係に貼
り合わされ、間隙には液晶(30)を注入して密封する
ことにより液晶表示装置が完成する。このように本発明
の液晶表示装置では、TFTアレイ基板の製造に要する
マスク数は3枚で済み、コストが低い。
The counter substrate and the TFT array substrate are bonded to each other at their peripheral portions so as to face each other with a sealing material (40), and liquid crystal (30) is injected into the gap to seal the liquid crystal display device. . As described above, in the liquid crystal display device of the present invention, the number of masks required for manufacturing the TFT array substrate is 3, and the cost is low.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上の説明から明らかな如く、本発明に
より、3枚のマスクにより製造が可能な液晶表示装置に
おいて、開口率の大幅上昇と補助容量の増大が同時に実
現され、表示品位が向上した。特に、プロジェクション
TVなどの投射型に適し、明るい画面が得られるととも
に、光源からの強い光によっても電圧保持特性が低下せ
ず、良好な表示品位が保たれる。
As is apparent from the above description, according to the present invention, in the liquid crystal display device which can be manufactured by using three masks, the aperture ratio and the auxiliary capacitance are simultaneously increased, and the display quality is improved. did. In particular, it is suitable for a projection type TV such as a projection TV, a bright screen is obtained, and the voltage holding characteristic is not deteriorated even by strong light from the light source, and good display quality is maintained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例に係る液晶表示装置の画素部の
拡大平面図である。
FIG. 1 is an enlarged plan view of a pixel portion of a liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

【図2】図1のA−A線に沿った断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.

【図3】本発明の実施例に係る液晶表示装置の基板端部
の平面図である。
FIG. 3 is a plan view of a substrate end portion of a liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

【図4】図3のB−B線に沿った断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line BB of FIG.

【図5】従来の液晶表示装置の平面図と断面図である。FIG. 5 is a plan view and a cross-sectional view of a conventional liquid crystal display device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10,20 基板 11 補助容量電極 12,21 遮光層 13 層間絶縁層 14 ソース・ドレイン配線 15 a−Si 16 ゲート絶縁層 17 ゲート配線 18,23 配向膜 22 共通電極 30 液晶 40 シール剤 10, 20 Substrate 11 Storage capacitor electrode 12, 21 Light shielding layer 13 Interlayer insulating layer 14 Source / drain wiring 15 a-Si 16 Gate insulating layer 17 Gate wiring 18, 23 Alignment film 22 Common electrode 30 Liquid crystal 40 Sealant

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/336 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Office reference number FI technical display location H01L 21/336

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1の基板上に交差して配置された複数
のゲートラインと複数のドレインライン、 前記ゲートラインとドレインラインに囲まれた領域に配
置された複数の表示電極、 前記ゲートラインとドレインラインの交差部で、前記ド
レインラインに一体のドレイン電極と前記表示電極に一
体のソース電極が近接された領域上に半導体層、該半導
体層上に絶縁層、及び、該絶縁層上に前記ゲートライン
に一体のゲート電極が積層されてなる薄膜トランジス
タ、 前記表示電極に対向し補助容量を構成する補助容量電
極、 及び、第2の基板上に全面的に形成され、液晶を挟んで
前記各表示電極に共通に対向し、各対向部で表示画素容
量を構成する共通電極、とを有する液晶表示装置におい
て、 前記補助容量電極は基板上に全面的に形成された透明導
電層からなり、層間絶縁層を挟んで前記各表示電極に共
通に対向することを特徴とする液晶表示装置。
1. A plurality of gate lines and a plurality of drain lines which are arranged to intersect on a first substrate, a plurality of display electrodes which are arranged in a region surrounded by the gate lines and the drain lines, and the gate lines A drain electrode integral with the drain line and a source electrode integral with the display electrode at the intersection of the drain line and the drain line, a semiconductor layer on the region, an insulating layer on the semiconductor layer, and an insulating layer on the insulating layer. A thin film transistor in which an integrated gate electrode is stacked on the gate line, an auxiliary capacitance electrode that faces the display electrode and constitutes an auxiliary capacitance, and is formed over the entire surface of a second substrate and sandwiches a liquid crystal between each of the above. In a liquid crystal display device having a common electrode facing a display electrode in common and forming a display pixel capacitance at each facing portion, the auxiliary capacitance electrode is entirely formed on a substrate. Made transparent conductive layer, a liquid crystal display device, characterized in that opposite the common to the respective display electrodes sandwiching the interlayer insulating layer.
【請求項2】 前記補助容量電極上には、前記薄膜トラ
ンジスタを覆う第1の遮光層が形成されていることを特
徴とする請求項1記載の液晶表示装置。
2. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein a first light-shielding layer that covers the thin film transistor is formed on the auxiliary capacitance electrode.
【請求項3】 前記補助容量電極上には、前記表示電極
の周縁部を覆う第2の遮光層が形成されていることを特
徴とする請求項2記載の液晶表示装置。
3. The liquid crystal display device according to claim 2, wherein a second light-shielding layer is formed on the auxiliary capacitance electrode to cover a peripheral portion of the display electrode.
【請求項4】 前記第2の遮光層は、前記第1の遮光層
と一体であることを特徴とする請求項3記載の液晶表示
装置。
4. The liquid crystal display device according to claim 3, wherein the second light shielding layer is integrated with the first light shielding layer.
【請求項5】 前記第2の遮光層は、前記表示電極間の
全域に設けられ、かつ、前記第2の基板には、前記表示
電極に平面的に対応するとともに、前記表示電極の周囲
を前記第1の遮光層及び前記第2の遮光層によって遮光
された領域を除いた表示電極の開口部よりも大きな開口
部を有する第3の遮光層が形成されていることを特徴と
する請求項4記載の液晶表示装置。
5. The second light-shielding layer is provided over the entire area between the display electrodes, and the second substrate corresponds to the display electrodes in a plan view on the second substrate and surrounds the display electrodes. The third light-shielding layer having an opening larger than the opening of the display electrode excluding the regions shielded by the first light-shielding layer and the second light-shielding layer is formed. 4. The liquid crystal display device according to 4.
【請求項6】 前記補助容量電極は、前記第1の基板の
周縁部には不在であることを特徴とする請求項1から請
求項5のいずれかに記載の液晶表示装置。
6. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the auxiliary capacitance electrode is absent on a peripheral portion of the first substrate.
JP23748394A 1994-09-30 1994-09-30 Liquid crystal display device Pending JPH08101400A (en)

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JP23748394A JPH08101400A (en) 1994-09-30 1994-09-30 Liquid crystal display device
TW084109854A TW347477B (en) 1994-09-30 1995-09-20 Liquid crystal display with storage capacitors for holding electric charges
US08/534,109 US5724107A (en) 1994-09-30 1995-09-26 Liquid crystal display with transparent storage capacitors for holding electric charges
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