JPH0793797A - Optical head and disk device using the same - Google Patents
Optical head and disk device using the sameInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、情報記録媒体に光を照
射して情報を光学的に記録、消去または再生する光ヘッ
ドおよびこれを用いた光ディスク装置に係り、特に、エ
バネッセント光を利用することにより高密度での記録、
消去または再生を可能にした光ヘッドおよびこれを用い
た光ディスク装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical head for optically recording, erasing or reproducing information by irradiating light on an information recording medium and an optical disk device using the same, and more particularly to utilizing evanescent light. This enables high density recording,
The present invention relates to an erasable or reproducible optical head and an optical disk device using the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】光ディスクへの記録密度は集光スポット
径によって決定されるが、従来の光ヘッドでは、対物レ
ンズの開口数と光源の波長とによって決まる回折限界よ
り集光スポット径を小さくできなかったため、回折限界
以上の記録密度を得ることはできなかった。そこで、回
折限界以下の光スポットを形成し、光ディスクの記録密
度を飛躍的に向上させるために、例えばアプライド.フ
ィジクス.レター(Appl. Phys. Lett. ),61.14
2(1992)では、光ファイバの先端を尖らせ、さら
にその先端に波長以下の径の微小開口を設け、その開口
部に発生するエバネッセント光を用いて光ディスクへの
記録・再生を行うことにより、回折限界を越えるいわゆ
る超解像を達成する技術が開示されている。2. Description of the Related Art The recording density on an optical disk is determined by the focused spot diameter, but in the conventional optical head, the focused spot diameter cannot be made smaller than the diffraction limit determined by the numerical aperture of the objective lens and the wavelength of the light source. Therefore, the recording density exceeding the diffraction limit could not be obtained. Therefore, in order to form a light spot below the diffraction limit and dramatically improve the recording density of the optical disc, for example, Applied. Physics. Letter (Appl. Phys. Lett.), 61.14
2 (1992), by sharpening the tip of an optical fiber, further providing a minute aperture having a diameter of a wavelength or less at the tip, and recording / reproducing on / from an optical disc by using evanescent light generated in the aperture, Techniques for achieving so-called super resolution exceeding the diffraction limit have been disclosed.
【0003】エバネッセント光とは、入射面で進行方向
と垂直な方向に指数関数的に減衰する不均質で非放射な
波で、伝搬性を有せず局在した波として存在し、回折限
界以下に集光することができる。このようなエバネッセ
ント光は回折格子や誘電体膜によって発生させることが
できる。Evanescent light is an inhomogeneous, non-radiative wave that exponentially attenuates in the direction perpendicular to the traveling direction on the incident surface, exists as a localized wave without propagating property, and is below the diffraction limit. Can be focused on. Such evanescent light can be generated by a diffraction grating or a dielectric film.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来のように、光ファ
イバの先端に微小開口を設けてエバネッセント光を発生
させる方法では、ファイバの加工が難しく、ファイバに
光を入射するための光学系も複雑となるために集積化が
難しく、光ヘッドが大きくなるという問題点があった。In the conventional method for producing evanescent light by providing a minute opening at the tip of the optical fiber, it is difficult to process the fiber, and the optical system for making the light incident on the fiber is complicated. Therefore, there is a problem that the integration is difficult and the optical head becomes large.
【0005】さらに、細めたファイバの先端までビーム
を導き、さらに微小開口からビームを取りだすためにビ
ームの光利用効率が低いという問題点もあった。Further, there is a problem that the light utilization efficiency of the beam is low because the beam is guided to the tip of the thinned fiber and is taken out from the minute aperture.
【0006】本発明の目的は、上記した従来技術の問題
点を解決し、従来の回折限界で決まる記録密度よりも高
い記録密度で記録・再生等を行うことができ、かつ構成
が簡単で小型化が容易であり、光利用効率の高い光ヘッ
ドおよびこれを用いた光ディスク装置を提供することに
ある。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and to perform recording / reproducing at a recording density higher than the recording density determined by the conventional diffraction limit, and to have a simple structure and a small size. It is an object of the present invention to provide an optical head that is easy to realize and has high light utilization efficiency, and an optical disk device using the same.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明では、情報記録媒体上に光スポットを形
成して情報の記録、再生等を光学的に行う光ヘッドにお
いて、光スポットを形成する手段として、同心円状の回
折格子を、その中心表面近傍でエバネッセント光が発生
するように略等間隔で刻んだグレーティングレンズを用
いるようにした点に特徴がある。In order to achieve the above object, the present invention provides an optical head in which an optical spot is formed on an information recording medium to optically record and reproduce information. As a means for forming the above, a concentric diffraction grating is characterized by using a grating lens in which the evanescent light is generated in the vicinity of the center surface thereof at substantially equal intervals.
【0008】[0008]
【作用】上記した構成のグレーティングレンズを用いる
と、光源から照射された光をエバネッセント光化するこ
とができ、情報記録媒体上に径が波長よりも短い光スポ
ットを形成できるようになるので、記録密度の飛躍的な
向上が達成される。When the grating lens having the above structure is used, the light emitted from the light source can be converted into an evanescent light, and a light spot having a diameter shorter than the wavelength can be formed on the information recording medium. A dramatic increase in density is achieved.
【0009】[0009]
【実施例】初めに、本発明でのエバネッセント光の発生
方法についてに説明する。伝搬性を有せず局在した波と
して存在するエバネッセント光は、格子間隔Λが波長λ
より短くて互いに等しい同心円状の回折格子(グレーテ
ィング)を用いて発生させることができる。EXAMPLES First, a method of generating evanescent light in the present invention will be described. The evanescent light that exists as a localized wave without propagating properties has a lattice spacing Λ of wavelength λ.
It can be generated using shorter and equal concentric diffraction gratings.
【0010】通常、焦点距離fのグレーティングレンズ
のm番目の格子の位置rm は次式(1) で与えられる。Usually, the position r m of the m-th grating of the grating lens having the focal length f is given by the following equation (1).
【0011】(rm 2 −f2 )1/2 −f=mλ …(1) ここで、焦点距離を短くしていきf=0とすると次式
(2) が得られ、周期λの等間隔のグレーティングとな
る。(R m 2 −f 2 ) 1/2 −f = mλ (1) Here, if the focal length is shortened to f = 0, the following equation is obtained.
(2) is obtained, and the gratings are equally spaced with a period λ.
【0012】rm =mλ …(2) さらに格子間隔Λの周期を短くして波長以下で等間隔に
すると、グレーティングレンズに入射したビームはエバ
ネッセント光を形成する。このとき、ビーム径は波長に
は依存しなくなり格子間隔Λと同程度となる。R m = mλ (2) Further, if the period of the lattice interval Λ is further shortened to make the intervals equal to or less than the wavelength, the beam incident on the grating lens forms evanescent light. At this time, the beam diameter does not depend on the wavelength and becomes approximately the same as the lattice spacing Λ.
【0013】対物レンズを用いた従来の回折限界でのス
ポット径は、対物レンズの開口数をNAとするとλ/N
A程度であるが、エバネッセント波グレーティングレン
ズを用いると、NAが最大値の“1”であるときよりも
スポット径が小さくなるので、いわゆる超解像を達成で
きる。なお、エバネッセント光によって情報記録媒体上
に形成されるスポットの光強度は中心部から外周部に近
付くほど弱くなるが、光強度が中心部の略1/e2 とな
る範囲の直径は、光源の波長以下となるようにすること
が望ましい。The conventional spot diameter at the diffraction limit using an objective lens is λ / N, where NA is the numerical aperture of the objective lens.
Although it is about A, when an evanescent wave grating lens is used, the spot diameter becomes smaller than when the NA is "1" which is the maximum value, so that so-called super-resolution can be achieved. The light intensity of the spot formed on the information recording medium by the evanescent light becomes weaker from the central part to the outer peripheral part, but the diameter of the range where the light intensity is approximately 1 / e 2 of the central part is It is desirable that the wavelength is equal to or less than the wavelength.
【0014】このような構成のグレーティングレンズで
は、ビームを全体で受けて利用することができるので、
微小開口を用いた場合よりもエバネッセント化する光の
効率を大きくすることができる。しかも、グレーティン
グレンズの作製には、フォトリソグラフィ等の集積回路
作製の技術を応用することができるので作製が容易であ
る。さらに光導波路、光検出器等も同様のプロセスによ
り形成することできるので、グレーティングレンズは光
導波路と共に集積化することが容易であり小型化が図れ
る。In the grating lens having such a structure, the beam can be received and used as a whole,
The efficiency of evanescent light can be increased as compared with the case of using a minute aperture. Moreover, since a technique for producing an integrated circuit such as photolithography can be applied to the production of the grating lens, the production is easy. Further, since the optical waveguide, the photodetector and the like can be formed by the same process, the grating lens can be easily integrated with the optical waveguide and the size can be reduced.
【0015】以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
図1は、本発明を適用した光ヘッドの概略構成図であ
る。光源である半導体レーザ20から放出された光ビー
ムは、ハーフミラ35を透過し、コリメートレンズ30
で平行光になってグレーティングレンズ50に入射され
る。グレーティングレンズ50によりエバネッセント化
したビームは光ディスク300の光ヘッド側に形成され
た記録面301上にスポットを形成する。記録面301
からの反射光は、再びグレーティングレンズ50および
コリメートレンズ30を通ってハーフミラ35で反射さ
れ、光検出器90で検出される。The embodiments of the present invention will be described in detail below.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an optical head to which the present invention is applied. The light beam emitted from the semiconductor laser 20, which is the light source, passes through the half mirror 35, and collimates the lens 30.
Then, it becomes parallel light and is incident on the grating lens 50. The beam made evanescent by the grating lens 50 forms a spot on the recording surface 301 formed on the optical head side of the optical disc 300. Recording surface 301
The reflected light from (1) passes through the grating lens 50 and the collimating lens 30 again, is reflected by the half mirror 35, and is detected by the photodetector 90.
【0016】図2(a) は前記グレーティングレンズ50
の平面図、同図(b) は、その中心線に沿った断面図であ
る。グレーティングレンズ50は、ガラス基板上に同心
円状の回折格子を0.3μmピッチで最大直径0.1m
mまで刻むことにより構成されている。各グレーティン
グは、入射ビームが中心方向に回折されるように約45
°にブレーズ化されている。グレーティングレンズ50
の加工には、従来から半導体の微細加工に用いられてい
るフォトリソグラフィ又は電子ビーム描画法を用いるこ
とができる。また、光ディスク300のトラックピッチ
は0.3μmとし、2.5インチ径の光ディスクに2G
Bの情報を記録できる。これは記録密度0.55G/i
n2 に相当する。FIG. 2A shows the grating lens 50.
FIG. 2B is a cross-sectional view taken along the center line of FIG. The grating lens 50 has a concentric diffraction grating on a glass substrate with a pitch of 0.3 μm and a maximum diameter of 0.1 m.
It is composed by carving up to m. Each grating has about 45 so that the incident beam is diffracted toward the center.
Blazed to °. Grating lens 50
Photolithography or an electron beam drawing method which has been conventionally used for fine processing of semiconductors can be used for the above processing. Further, the track pitch of the optical disc 300 is set to 0.3 μm, and 2 G is used for an optical disc of 2.5 inch diameter.
B information can be recorded. This is a recording density of 0.55G / i
It corresponds to n 2 .
【0017】トラッキング誤差検出にはサンプルサーボ
方式を用いることができる。サンプルサーボ方式では、
光ディスクのトラック中心を挟むようにトラック中心か
らずらして形成した2個のプリピットの再生信号の強度
差からトラッキング誤差信号を求めるため、光ヘッドは
プレピットの信号を再生すれば良い。A sample servo system can be used for tracking error detection. In the sample servo method,
Since the tracking error signal is obtained from the intensity difference between the reproduction signals of the two pre-pits formed so as to sandwich the track center of the optical disc, the optical head may reproduce the pre-pit signal.
【0018】また、フォーカス誤差検出は、エバネッセ
ント波の強度が距離により指数関数的に減少することを
利用し、反射率強度を検出することにより検出すること
ができる。従って、サンプルサーボ方式と合わせること
により、光ヘッドでは光ディスクからの反射光を1個の
検出器で検出するだけで、データ再生、光ヘッドと光デ
ィスクの距離、およびトラッキング誤差信号を得ること
ができる。The focus error can be detected by detecting the reflectance intensity by utilizing the fact that the intensity of the evanescent wave decreases exponentially with the distance. Therefore, in combination with the sample servo system, the optical head can obtain the data reproduction, the distance between the optical head and the optical disc, and the tracking error signal by only detecting the reflected light from the optical disc with one detector.
【0019】また、エバネッセント波の強度は距離によ
り指数関数的に減少するため、グレーティングレンズ5
0と記録面301との間隔はビーム径程度にする必要が
ある。そこで本実施例でも、グレーティングレンズ50
と記録面301との間隔を0.3μm以下と小さくする
必要があり、またグレーティングレンズ50が傾いても
記録面301と接触しないようにそれぞれの平行度を精
密に調整する必要がある。この調整精度を緩和するため
には、グレーティングレンズ50に曲率を与え、グレー
ティングが形成された面の中心部がふくらんだ球形とす
ることが望ましい。あるいは、光ディスク300の基板
に可塑性を有するプラスチック基板等を用いた場合に
は、基板を光ヘッドとは逆側から押して曲率を持たせる
ことにより同じ効果を得ることができる。Since the intensity of the evanescent wave decreases exponentially with distance, the grating lens 5
The distance between 0 and the recording surface 301 needs to be about the beam diameter. Therefore, also in this embodiment, the grating lens 50
The distance between the recording surface 301 and the recording surface 301 needs to be as small as 0.3 μm or less, and the parallelism between the grating lens 50 and the recording surface 301 must be precisely adjusted so that the grating lens 50 does not come into contact with the recording surface 301. To alleviate this adjustment accuracy, it is desirable that the grating lens 50 be given a curvature so that the center surface of the surface on which the grating is formed is bulged. Alternatively, when a plastic substrate having plasticity or the like is used as the substrate of the optical disc 300, the same effect can be obtained by pressing the substrate from the side opposite to the optical head so as to have a curvature.
【0020】さらに、エバネッセント光は、グレーティ
ングレンズから離れると急激に強度が減少するので、従
来の光ディスクのように基板を通してビームを入射でき
ない、そこで、本実施例では光ディスクの記録面を光ヘ
ッド側に設けるようにした。Further, the intensity of the evanescent light sharply decreases with distance from the grating lens, so that the beam cannot be incident through the substrate as in the conventional optical disk. Therefore, in this embodiment, the recording surface of the optical disk is directed to the optical head side. I decided to provide it.
【0021】なお、光ディスクにあらかじめ凹凸のピッ
トを形成し、その上に反射膜を成膜した再生専用の光デ
ィスクを再生する場合、エバネッセント光の強度が距離
に強く依存するために記録面の浅い凹凸により反射強度
が大きく変化する。したがって、ピットの深さはグレー
テイングレンズの格子間隔の略1/10以上にすること
が望ましい。When reproducing a reproduction-only optical disc in which concave and convex pits are formed on the optical disc in advance and a reflective film is formed thereon, the intensity of the evanescent light strongly depends on the distance, and therefore the concave and convex portions on the recording surface are shallow. Causes the reflection intensity to change significantly. Therefore, it is desirable that the depth of the pits is approximately 1/10 or more of the grating spacing of the grating lens.
【0022】図3は、本発明で用いた書替え可能な相変
化光ディスクの構成を示した断面図である。光ディスク
基板405上には、金属反射膜404(Al−Ti,2
00nm)、誘電体膜403(ZnS−SiO2 ,70
nm)、記録膜402(In3 SbTe2 ,30n
m)、誘電体膜401(ZnS−SiO2 ,70nm)
が順次積層されている。FIG. 3 is a sectional view showing the structure of a rewritable phase change optical disk used in the present invention. On the optical disk substrate 405, the metal reflection film 404 (Al-Ti, 2
00 nm), a dielectric film 403 (ZnS-SiO2, 70
nm), recording film 402 (In3 SbTe2, 30n
m), dielectric film 401 (ZnS-SiO2, 70 nm)
Are sequentially stacked.
【0023】エバネッセント光化したビーム1は誘電体
膜401側から入射させる。記録は、入射光により記録
膜402を加熱し、非晶質と結晶との状態を可逆的に変
化させることにより行われる。再生は、光ディスクの反
射率が記録膜の結晶状態により異なることを利用して行
われる。本実施例では、記録パワー0.5mW、消去パ
ワー0.3mWで記録・消去を行ない、0.04mWで
再生をした。なお、エバネッセント光によるエネルギを
さらに効率良く記録膜に導くために、誘電体膜401上
に光を透過できる程度に薄い金属膜を形成しても良い。The evanescent light beam 1 is made incident from the side of the dielectric film 401. Recording is performed by heating the recording film 402 with incident light and reversibly changing the state between amorphous and crystalline. The reproduction is performed by utilizing the fact that the reflectance of the optical disc varies depending on the crystalline state of the recording film. In this example, recording / erasing was performed at a recording power of 0.5 mW and erasing power of 0.3 mW, and reproduction was performed at 0.04 mW. In addition, in order to guide the energy of the evanescent light to the recording film more efficiently, a metal film that is thin enough to transmit light may be formed on the dielectric film 401.
【0024】図4は、本発明を適用した光ヘッドの他の
概略構成図である。光源の半導体レーザ20から放出さ
れたビームは、グレーティングレンズ50の裏面に形成
されたホログラム70を透過してグレーティングレンズ
50に拡散光として入射する。グレーティングレンズ5
0によりエバネッセント光化したビームは光ディスク3
00の光ヘッド側に形成された記録面301に照射され
る。記録面301からの反射光は、再びグレーティング
レンズ50を通り、ホログラム70により回折されて光
検出器90で検出される。本実施例で用いたグレーティ
ングレンズ50では、拡散光がエバネッセント光化され
るようにするためにグレーティングの周期を外周に行く
ほど小さくした。FIG. 4 is another schematic configuration diagram of an optical head to which the present invention is applied. The beam emitted from the semiconductor laser 20 of the light source passes through the hologram 70 formed on the back surface of the grating lens 50 and enters the grating lens 50 as diffused light. Grating lens 5
The beam converted to evanescent light by 0 is the optical disc 3
The recording surface 301 formed on the optical head side of No. 00 is irradiated. The reflected light from the recording surface 301 passes through the grating lens 50 again, is diffracted by the hologram 70, and is detected by the photodetector 90. In the grating lens 50 used in this embodiment, the period of the grating is made smaller toward the outer circumference in order to convert the diffused light into an evanescent light.
【0025】図5(a) は、本発明の第1実施例である光
ヘッドの構成図、同図(b) は上方からの斜視図である。FIG. 5A is a structural view of the optical head according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 5B is a perspective view from above.
【0026】基板80上には低屈折率の透明層43が形
成されており、その上には透明で高屈折率の導波路4
0、41、42が形成されている。導波路40、41、
42上には、同心円状またはスパイラル状のグレーティ
ングカプラ60、61、62がそれぞれ形成されてい
る。半導体レーザ20から放射された光ビームは、グレ
ーティングカプラ60により導波路40とカップリング
されて導波される。導波路40と導波路41とは同じ屈
折率の材料で形成されているため、ビームは導波路41
を経由してグレーティングカプラ61に至る。グレーテ
ィングカプラ61により略垂直に略平行光として出射さ
れたビームはグレーティングレンズ50に入射し、エバ
ネッセント光となる。なお、グレーティングカプラ60
は、エバネッセント光化したビームが当たらないように
グレーティングレンズ50よりも窪んだ位置に形成し
た。A low refractive index transparent layer 43 is formed on a substrate 80, and a transparent high refractive index waveguide 4 is formed on the transparent layer 43.
0, 41, 42 are formed. Waveguides 40, 41,
On the 42, concentric or spiral grating couplers 60, 61, 62 are formed, respectively. The light beam emitted from the semiconductor laser 20 is coupled with the waveguide 40 by the grating coupler 60 and guided. Since the waveguide 40 and the waveguide 41 are formed of the material having the same refractive index, the beam is transmitted through the waveguide 41.
To reach the grating coupler 61. The beam emitted by the grating coupler 61 as substantially parallel light in a substantially vertical direction enters the grating lens 50 and becomes evanescent light. The grating coupler 60
Was formed in a position recessed from the grating lens 50 so that the beam converted into the evanescent light would not hit.
【0027】一方、光ディスク300の記録面301で
反射したビームは、再びグレーティングレンズ50に入
射し、グレーティングカプラ61および導波路41を経
由して光検出器90で検出される。また、記録面301
に形成されたピットで散乱されたビームのうち、グレー
ティングカプラ62に至ったものは導波路42とカップ
リングして光検出器92で検出される。On the other hand, the beam reflected by the recording surface 301 of the optical disc 300 enters the grating lens 50 again, and is detected by the photodetector 90 via the grating coupler 61 and the waveguide 41. Also, the recording surface 301
Among the beams scattered by the pits formed in the above, the beam that reaches the grating coupler 62 is coupled with the waveguide 42 and detected by the photodetector 92.
【0028】本実施例では、導波路40、41、42を
用いることにより半導体レーザ20とグレーティングレ
ンズ50との距離を短かくすることができる。この結
果、グレーティングレンズ、導波路、および光検出器を
集積化できるので、光ヘッドの薄型化・小型化が達成で
きる。In this embodiment, the distance between the semiconductor laser 20 and the grating lens 50 can be shortened by using the waveguides 40, 41 and 42. As a result, the grating lens, the waveguide, and the photodetector can be integrated, so that the optical head can be made thin and compact.
【0029】図6(a) は、本発明の第2実施例である光
ヘッドの構成図、同図(b) は上方からの斜視図であり、
前記と同一の符号は同一または同等部分を表している。FIG. 6A is a configuration diagram of an optical head according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 6B is a perspective view from above,
The same reference numerals as those used above denote the same or equivalent parts.
【0030】基板80上には高屈折率の透明体よりなる
導波路40、41が形成されている。導波路40、41
上には、グレーティングカプラ60、61がそれぞれ形
成されている。半導体レーザ20は導波路40の端面に
接合されており、半導体レーザ20から放射された光ビ
ームは導波路40に入射する。導波路40を進んだビー
ムはグレーティングカプラ60によって略平行光に立ち
上げられ、グレーティングレンズ50に入射してエバネ
ッセント光を発生する。Waveguides 40 and 41 made of a transparent material having a high refractive index are formed on the substrate 80. Waveguides 40 and 41
Grating couplers 60 and 61 are respectively formed on the top. The semiconductor laser 20 is bonded to the end face of the waveguide 40, and the light beam emitted from the semiconductor laser 20 enters the waveguide 40. The beam that has traveled through the waveguide 40 is launched into a substantially parallel light by the grating coupler 60 and is incident on the grating lens 50 to generate evanescent light.
【0031】一方、光ディスク300で反射されたビー
ムは、グレーティングレンズ50およびグレーティング
カプラ60を経由した後、グレーティングカプラ61に
よって導波路41とカップリングする。導波路41を伝
播したビームはグレーティングカプラ62により光検出
器90へ入射されて検出される。On the other hand, the beam reflected by the optical disk 300 passes through the grating lens 50 and the grating coupler 60, and then is coupled to the waveguide 41 by the grating coupler 61. The beam propagating through the waveguide 41 is incident on the photodetector 90 by the grating coupler 62 and detected.
【0032】グレーティングレンズ50は、周期0.3
μm、最大外径0.1mmの同心円状の溝により形成し
た。グレーティングは入射ビームが中心方向に回折され
るように約45°にブレーズ化した。導波路40、4
1、グレーティングカプラ60、61、62およびグレ
ーティングレンズ50等は、基板80上に透明誘電体膜
を順次成膜・加工することにより形成した。The grating lens 50 has a period of 0.3.
It was formed by concentric grooves with a diameter of μm and a maximum outer diameter of 0.1 mm. The grating was blazed at about 45 ° so that the incident beam was diffracted toward the center. Waveguides 40, 4
1, the grating couplers 60, 61, 62, the grating lens 50, etc. were formed by sequentially forming and processing a transparent dielectric film on the substrate 80.
【0033】基板80としてはSiあるいはGaAs等
の半導体を用いることが望ましく、本実施例ではSiを
用いた。検出器90は基板80に形成したPINホトダ
イオードである。基板80上に形成した導波路の厚さは
基板の厚さに比べて十分に薄いため、光ヘッドの厚さは
ほぼ基板の厚さで決まる。本実施例では、光ヘッドの厚
さを0.5mmに抑えることができた。It is desirable to use a semiconductor such as Si or GaAs for the substrate 80, and Si is used in this embodiment. The detector 90 is a PIN photodiode formed on the substrate 80. Since the thickness of the waveguide formed on the substrate 80 is sufficiently smaller than the thickness of the substrate, the thickness of the optical head is almost determined by the thickness of the substrate. In this example, the thickness of the optical head could be suppressed to 0.5 mm.
【0034】なお、上記した実施例では半導体レーザ2
0を導波路40に接合して光ヘッドを形成したが、半導
体レーザ20を基板80と同一面上に形成してもよい。In the above embodiment, the semiconductor laser 2
Although 0 is bonded to the waveguide 40 to form the optical head, the semiconductor laser 20 may be formed on the same surface as the substrate 80.
【0035】図7は、本発明の第3実施例である光ヘッ
ドの構成図である。本実施例では、光検出器90を基板
80に形成せず、光ディスク300を挟んで光ヘッドと
対向する位置に設けた点に特徴がある。FIG. 7 is a block diagram of an optical head according to a third embodiment of the present invention. The present embodiment is characterized in that the photodetector 90 is not formed on the substrate 80, but is provided at a position facing the optical head with the optical disc 300 interposed therebetween.
【0036】半導体レーザ20は導波路40に接合され
ており、ビームは導波路40に入射する。導波路40を
進んだビームはグレーティングカプラ60により立ち上
げられ、グレーティングレンズ50に入射してエバネッ
セント波となる。光ディスク300及び記録面301に
光透過性を持たせることにより、記録面301と相互作
用して伝播光となったビームは光ディスク300及び記
録面301を透過して光検出器90により検出される。
光ディスクとしては、透明基板上に凹凸を設けたもの、
あるいは、相変化媒体等の光透過性を有し、透過率の異
なる状態を持つ材料を形成したものを用いることができ
る。The semiconductor laser 20 is bonded to the waveguide 40, and the beam is incident on the waveguide 40. The beam that has propagated through the waveguide 40 is raised by the grating coupler 60 and enters the grating lens 50 to become an evanescent wave. By making the optical disk 300 and the recording surface 301 have optical transparency, the beam that has interacted with the recording surface 301 to become propagating light is transmitted through the optical disk 300 and the recording surface 301 and detected by the photodetector 90.
As an optical disc, one having irregularities provided on a transparent substrate,
Alternatively, it is possible to use a material such as a phase change medium, which is made of a material having optical transparency and having different transmittances.
【0037】また、本実施例のように透過光を検出する
場合には、検出器側に透過した光を集光し、ビームの偏
光方向を検出する光学系を設けることにより、記録媒体
として光磁気膜を用いることができる。When detecting transmitted light as in this embodiment, an optical system for condensing the transmitted light on the detector side and detecting the polarization direction of the beam is provided so that the light is used as a recording medium. A magnetic film can be used.
【0038】図8は、本発明の第4実施例である光ヘッ
ドの構成図である。本実施例では、同一基板上に光ヘッ
ドを3個並べて形成することにより、連続溝を有する光
ディスクにおいてもトラッキング誤差信号が得られるよ
うにしたものである。FIG. 8 is a block diagram of an optical head according to a fourth embodiment of the present invention. In this embodiment, three optical heads are arranged side by side on the same substrate so that a tracking error signal can be obtained even in an optical disc having continuous grooves.
【0039】本実施例では、いわゆるスリースポット法
によるトラッキング誤差検出が可能となる。グレーティ
ングレンズ50、51A、51Bは、光ディスクのトラ
ックに対して垂直方向に並んでおり、グレーティングレ
ンズ51A、51Bによる集光点は、グレーティングレ
ンズ50による集光点を中心にしてトラックの内周側と
外周側に略1/4トラックずれて集光するように調整さ
れている。In this embodiment, the tracking error can be detected by the so-called three spot method. The grating lenses 50, 51A, 51B are arranged in a direction perpendicular to the track of the optical disc, and the focal point of the grating lenses 51A, 51B is on the inner circumference side of the track with the focal point of the grating lens 50 as the center. It is adjusted so that the light beam is shifted to the outer peripheral side by about 1/4 track.
【0040】データはグレーティングレンズ50による
集光スポットにより光検出器90で再生される。グレー
ティングレンズ51A、51Bからの信号は光検出器9
1A、91Bで再生され、光検出器91A、91Bから
の信号の差信号からトラッキング誤差信号が得られる。The data is reproduced by the photodetector 90 by the focused spot by the grating lens 50. The signals from the grating lenses 51A and 51B are detected by the photodetector 9
1A and 91B are reproduced, and a tracking error signal is obtained from the difference signal of the signals from the photodetectors 91A and 91B.
【0041】図9は、本発明を適用した光ディスク装置
の機構系を示した図である。本発明の光ヘッドは小型・
軽量化が可能であるため、光ヘッドをスイングアーム型
のアクチュエータで駆動することが可能となった。FIG. 9 is a diagram showing a mechanical system of an optical disk device to which the present invention is applied. The optical head of the present invention is small
Since the weight can be reduced, the optical head can be driven by a swing arm type actuator.
【0042】同図において、光ヘッド10はエアスライ
ダ101に取り付けられている。エアスライダ101
は、バネ102およびアーム部103を介して支点10
5を中心に回転できるようになっている。アーム部10
3はエアスライダ101の反対側にコイル104を有
し、装置側の磁石との相互作用によりアーム部103に
回転力を発生させることができる。In the figure, the optical head 10 is attached to an air slider 101. Air slider 101
Is a fulcrum 10 via the spring 102 and the arm 103.
It is possible to rotate around 5. Arm part 10
3 has a coil 104 on the opposite side of the air slider 101, and can generate a rotational force in the arm portion 103 by the interaction with the magnet on the apparatus side.
【0043】このように、アーム部の回転により光ヘッ
ドは光ディスク300の内周から外周まで移動できる。
さらにこのアクチュエータを微小に駆動することにより
ビームをトラックに追従させるトラッキングが可能とな
る。Thus, the optical head can be moved from the inner circumference to the outer circumference of the optical disc 300 by the rotation of the arm portion.
Further, by slightly driving this actuator, it becomes possible to perform tracking in which the beam follows the track.
【0044】エアスライダ101は光ディスク300の
回転に伴う空気圧力とバネ102との力の釣合いにより
光ディスク300から一定の距離だけ浮上する。本実施
例では、この浮上量を30nmとした。この浮上量の変
動がフォーカスに必要な範囲内に収めるようにすればフ
ォーカス制御が不要となる。本実施例のようにスイング
アーム型のアクチュエータを用いることにより、機構部
ひいては装置全体の薄型化が図れる。光ディスクは2.
5インチ径のものを用い、スピンドルモータにより18
00rpmで回転した。The air slider 101 floats above the optical disc 300 by a certain distance due to the balance of the air pressure caused by the rotation of the optical disc 300 and the force of the spring 102. In this embodiment, the flying height is 30 nm. If the fluctuation of the flying height is kept within the range required for focusing, focus control becomes unnecessary. By using the swing arm type actuator as in the present embodiment, it is possible to reduce the thickness of the mechanism portion and thus the entire apparatus. The optical disc is 2.
Use a 5-inch diameter and use a spindle motor for 18
It was rotated at 00 rpm.
【0045】本実施例ではフォーカス制御を行わなかっ
たが、フォーカス制御を行う必要がある場合でも、光ヘ
ッドが小型であるためフォーカスとトラッキングとを行
う従来の2次元アクチュエータに搭載して一体駆動する
ことができる。Although the focus control is not performed in this embodiment, even if the focus control needs to be performed, since the optical head is small, it is mounted on a conventional two-dimensional actuator for performing focus and tracking and integrally driven. be able to.
【0046】図10は、光ディスク装置のデータ処理部
までを示したシステム構成であり、前記と同一の符号は
同一または同等部分を表している。FIG. 10 is a system configuration showing up to the data processing unit of the optical disk device, and the same reference numerals as those used above denote the same or equivalent portions.
【0047】同図において、光ディスク300への情報
の記録・再生は、スピンドルモータ900によって光デ
ィスク300を回転し、光ヘッド10よりエバネッセン
ト光を照射することにより行なわれる。光ヘッド10
は、スイングアーム型のコースアクチュエータ700に
より光ディスク300に対して平行に移動し、光ディス
ク300の内周から外周までアクセスする。In the figure, recording / reproducing of information to / from the optical disc 300 is performed by rotating the optical disc 300 by a spindle motor 900 and irradiating the optical head 10 with evanescent light. Optical head 10
Moves in parallel to the optical disc 300 by the swing arm type course actuator 700, and accesses from the inner circumference to the outer circumference of the optical disc 300.
【0048】ドライブ部の制御および信号処理はドライ
ブマイコン600で行なう。ドライブマイコン600
は、機構系としてのスピンドルサーボ部611、フォー
カスサーボ部612、トラッキングサーボ部613、お
よびコースアクチュエータサーボ部614の各制御を行
なう。また、ドライブマイコン600は、光ヘッドの変
調信号処理部660および検出信号処理部662を制御
する。The drive microcomputer 600 controls the drive unit and performs signal processing. Drive microcomputer 600
Controls the spindle servo unit 611, the focus servo unit 612, the tracking servo unit 613, and the course actuator servo unit 614 as a mechanical system. The drive microcomputer 600 also controls the modulation signal processing unit 660 and the detection signal processing unit 662 of the optical head.
【0049】コントロールマイコン605は、ドライブ
マイコン600に動作指令を送り、光ディスク300か
らの再生信号を受けてエラー補正を施す。さらに、コン
トロールマイコン605は他のシステムと接続する際の
インターフェースの制御を合わせて行なう。2段サーボ
の制御および記録時と再生時の制御の切り替えはドライ
ブマイコン600により行った。The control microcomputer 605 sends an operation command to the drive microcomputer 600, receives a reproduction signal from the optical disk 300, and performs error correction. Further, the control microcomputer 605 also controls the interface when connecting to another system. The control of the two-stage servo and the switching of control during recording and during reproduction were performed by the drive microcomputer 600.
【0050】なお、スピンドルサーボ部611はスピン
ドルモータ900の回転数を制御するが、この回転数制
御にはCAV(Constant Angular Velocity)制御、CL
V(Constant Linear Velocity)制御、及びMCLV
(Modulated Constant LinearVelocity)制御が等があ
り、システムに合わせてこれらを適宜選択することがで
きる。The spindle servo unit 611 controls the number of revolutions of the spindle motor 900, and CAV (Constant Angular Velocity) control, CL
V (Constant Linear Velocity) control and MCLV
(Modulated Constant Linear Velocity) control, etc., and these can be appropriately selected according to the system.
【0051】本実施例では、回路基板を含めた光ディス
ク装置の厚さが10mmとなり、ラップトップ型やノー
ト型のパソコンやワークステーションに搭載可能となっ
た。また、記憶容量が大きく、データ転送速度が大きい
ため、動画の記録再生が可能となった。In this embodiment, the optical disk device including the circuit board has a thickness of 10 mm, and can be mounted on a laptop or notebook personal computer or workstation. Also, since the storage capacity is large and the data transfer rate is high, it is possible to record and reproduce moving images.
【0052】[0052]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
回折格子型のグレーティングレンズを用いてエバネッセ
ント光を発生させるようにしたので、構成が簡単かつ小
型で光利用効率の高い光ヘッドを実現でき、回折限界で
決まる記録密度よりも高い記録密度で光ディスクへの情
報の記録・再生・消去等が可能になる。As described above, according to the present invention,
Since an evanescent light is generated using a diffraction grating type grating lens, an optical head with a simple and compact structure and high light utilization efficiency can be realized, and an optical disc with a recording density higher than the recording density determined by the diffraction limit can be realized. It is possible to record / playback / delete information of the above.
【図1】 本発明を適用した光ヘッドの概略構成図であ
る。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an optical head to which the present invention is applied.
【図2】 本発明で用いたグレーティングレンズの構成
図である。FIG. 2 is a configuration diagram of a grating lens used in the present invention.
【図3】 本発明で用いた光ディスクの膜構成を示した
図である。FIG. 3 is a diagram showing a film structure of an optical disk used in the present invention.
【図4】 本発明を適用した光ヘッドの他の概略構成図
である。FIG. 4 is another schematic configuration diagram of an optical head to which the present invention is applied.
【図5】 本発明の第1実施例である光ヘッドの構成図
である。FIG. 5 is a configuration diagram of an optical head that is a first embodiment of the present invention.
【図6】 本発明の第2実施例である光ヘッドの構成図
である。FIG. 6 is a configuration diagram of an optical head that is a second embodiment of the present invention.
【図7】 本発明の第3実施例である光ヘッドの構成図
である。FIG. 7 is a configuration diagram of an optical head that is a third embodiment of the present invention.
【図8】 本発明の第4実施例である光ヘッドの構成図
である。FIG. 8 is a configuration diagram of an optical head that is a fourth embodiment of the present invention.
【図9】 本発明を適用した光ディスク装置の機構系を
示した図である。FIG. 9 is a diagram showing a mechanism system of an optical disc device to which the present invention is applied.
【図10】 本発明を適用した光ディスク装置のシステ
ム構成図である。FIG. 10 is a system configuration diagram of an optical disc device to which the present invention is applied.
1…ビーム、10…光ヘッド、20、20A、20B…
半導体レーザ、30…コリメートレンズ、35…ハーフ
ミラ、40、41、42…導波路、43…透明層、50
…グレーティングレンズ、51A、51B…トラッキン
グ用グレーティングレンズ、60、61、62…グレー
ティングカプラ、70…ホログラム、80…基板、9
0、91A、91B…光検出器、100…スイングアー
ムアクチュエータ、101…エアスライダ、102…バ
ネ、103…アーム、104…コイル、105…支点、
106…板バネ、300…光ディスク、301…記録
面、401、403…誘電体膜、402…記録膜、40
4…反射膜、405…光ディスク基板、600…ドライ
ブマイコン、605…コントロールマイコン、611…
スピンドルサーボ部、613…トラッキングサーボ部、
614…コースアクチュエータサーボ部、660…変調
信号処理部、662…検出信号処理部、700…コース
アクチュエータ1 ... Beam, 10 ... Optical head, 20, 20A, 20B ...
Semiconductor laser, 30 ... Collimating lens, 35 ... Half mirror, 40, 41, 42 ... Waveguide, 43 ... Transparent layer, 50
... Grating lens, 51A, 51B ... Tracking grating lens, 60, 61, 62 ... Grating coupler, 70 ... Hologram, 80 ... Substrate, 9
0, 91A, 91B ... Photodetector, 100 ... Swing arm actuator, 101 ... Air slider, 102 ... Spring, 103 ... Arm, 104 ... Coil, 105 ... Support point,
106 ... Leaf spring, 300 ... Optical disk, 301 ... Recording surface, 401, 403 ... Dielectric film, 402 ... Recording film, 40
4 ... Reflective film, 405 ... Optical disk substrate, 600 ... Drive microcomputer, 605 ... Control microcomputer, 611 ...
Spindle servo unit, 613 ... Tracking servo unit,
614 ... Coarse actuator servo unit, 660 ... Modulation signal processing unit, 662 ... Detection signal processing unit, 700 ... Coarse actuator
Claims (14)
情報の記録、再生等を光学的に行う光ヘッドにおいて、 前記光スポットを形成する手段は、同心円状の回折格子
を、その中心表面近傍でエバネッセント光が発生するよ
うに配置したグレーティングレンズであることを特徴と
する光ヘッド。1. In an optical head for forming a light spot on an information recording medium to optically record and reproduce information, the means for forming the light spot has a concentric diffraction grating and a central surface thereof. An optical head comprising a grating lens arranged so that evanescent light is generated in the vicinity.
して情報記録媒体上で集光するグレーティングレンズ
と、 前記情報記録媒体からの反射光を出射光から分離する手
段と、 分離された反射光を検出する手段とを具備したことを特
徴とする光ヘッド。2. A grating lens for converting the light emitted from the light source into an evanescent light and condensing it on the information recording medium, a means for separating the reflected light from the information recording medium from the emitted light, and the separated reflected light An optical head comprising a detecting means.
は、前記グレーティングレンズの、回折格子が形成され
た面の裏面に形成されたホログラムであることを特徴と
する請求項2記載の光ヘッド。3. The optical head according to claim 2, wherein the means for separating the reflected light from the emitted light is a hologram formed on the back surface of the grating lens on which the diffraction grating is formed. .
して情報記録媒体上で集光するグレーティングレンズ
と、 情報記録媒体を挟んでグレーティングレンズと対向する
ように配置され、情報記録媒体の透過光を検出する手段
とを具備したことを特徴とする光ヘッド。4. A grating lens for converting the light emitted from a light source into an evanescent light and condensing it on an information recording medium, and a grating lens arranged so as to face the grating lens with the information recording medium sandwiched therebetween. An optical head comprising a detecting means.
板と、 第1の光導波路と光学的に接続された光源と、 第1の光導波路と光学的に接続され、光源から出射され
て第1の光導波路を伝播した出射光を、エバネッセント
光化して情報記録媒体上で集光するグレーティングレン
ズと、 前記情報記録媒体からの反射光を出射光から分離して第
2の光導波路へ導く手段と、 第2の光導波路と光学的に接続され、前記分離された反
射光を検出する手段とを具備したことを特徴とする光ヘ
ッド。5. A substrate for forming first and second optical waveguides, a light source optically connected to the first optical waveguide, and a light source optically connected to the first optical waveguide to emit from the light source. And a grating lens for converting the emitted light propagating through the first optical waveguide into an evanescent light and condensing it on the information recording medium, and separating the reflected light from the information recording medium from the emitted light to the second optical waveguide. An optical head comprising: a guiding unit; and a unit that is optically connected to the second optical waveguide and that detects the separated reflected light.
ズは同一部材であることを特徴とする請求項5記載の光
ヘッド。6. The optical head according to claim 5, wherein the optical waveguide and the grating lens are the same member.
され、各グレーティングレンズごとにそれぞれ光源およ
び反射光検出手段が設けられたことを特徴とする請求項
5または6記載の光ヘッド。7. The optical head according to claim 5, wherein three grating lenses are arranged adjacent to each other, and a light source and a reflected light detecting means are provided for each grating lens.
を略等間隔で同心円状に配置して構成されたことを特徴
とする請求項1ないし7のいずれかに記載の光ヘッド。8. The optical head according to claim 1, wherein the grating lens is formed by arranging diffraction gratings in concentric circles at substantially equal intervals.
形成された面の中心部は球面状に隆起したことを特徴と
する請求項1ないし7のいずれかに記載の光ヘッド。9. The optical head according to claim 1, wherein a central portion of a surface of the grating lens on which the diffraction grating is formed is raised in a spherical shape.
状の回折格子を、その中心部に近付くほど間隔が広がる
ように配置して構成されたことを特徴とする請求項9記
載の光ヘッド。10. The optical head according to claim 9, wherein the grating lens is formed by arranging concentric circular diffraction gratings so that the distance increases as the distance from the center of the grating increases.
報記録媒体上に形成される光スポットは、その中心部か
ら外周部へ向かうにしたがって光強度が弱くなる強度分
布を有し、光強度が中心部の略1/e2 となる範囲の直
径は、光源の波長以下であることを特徴とする請求項1
ないし10のいずれかに記載の光ヘッド。11. The light spot formed on the information recording medium by the grating lens has an intensity distribution in which the light intensity decreases from the central portion toward the outer peripheral portion, and the light intensity is approximately 1 at the central portion. The diameter in the range of / e 2 is equal to or less than the wavelength of the light source.
11. The optical head according to any one of 1 to 10.
よりも短いことを特徴とする請求項1ないし11のいず
れかに記載の光ヘッド。12. The optical head according to claim 1, wherein an interval between the diffraction gratings is shorter than a wavelength of emitted light.
記載された光ヘッドと、 前記光ヘッドを光ディスクの径方向に駆動する駆動機構
と、 前記光ディスクを回転するスピンドルモータとを具備し
たことを特徴とする光ディスク装置。13. An optical head according to any one of claims 1 to 12, a drive mechanism for driving the optical head in a radial direction of an optical disc, and a spindle motor for rotating the optical disc. Characteristic optical disk device.
は、情報記録媒体の回転に伴う空気圧力により光ヘッド
が情報記録媒体より浮上することにより予定の距離に保
たれることを特徴とする請求項13記載の光ディスク装
置。14. The gap between the optical head and the information recording medium is maintained at a predetermined distance by the optical head floating above the information recording medium due to the air pressure accompanying the rotation of the information recording medium. The optical disk device according to claim 13.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5257489A JPH0793797A (en) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | Optical head and disk device using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5257489A JPH0793797A (en) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | Optical head and disk device using the same |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0793797A true JPH0793797A (en) | 1995-04-07 |
Family
ID=17307005
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5257489A Pending JPH0793797A (en) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | Optical head and disk device using the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0793797A (en) |
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US6834027B1 (en) | 2000-02-28 | 2004-12-21 | Nec Laboratories America, Inc. | Surface plasmon-enhanced read/write heads for optical data storage media |
KR100632507B1 (en) * | 2000-01-04 | 2006-10-09 | 엘지전자 주식회사 | Optical head of near field optical recording / reproducing device |
JP2009540312A (en) * | 2006-06-12 | 2009-11-19 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | Optical components that operate with near-field transmission |
-
1993
- 1993-09-22 JP JP5257489A patent/JPH0793797A/en active Pending
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