JPH0792095B2 - Air actuator - Google Patents

Air actuator

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JPH0792095B2
JPH0792095B2 JP1196347A JP19634789A JPH0792095B2 JP H0792095 B2 JPH0792095 B2 JP H0792095B2 JP 1196347 A JP1196347 A JP 1196347A JP 19634789 A JP19634789 A JP 19634789A JP H0792095 B2 JPH0792095 B2 JP H0792095B2
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air
cylinder
piston
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damper chamber
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勝美 佐々木
敏文 原
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東京精密測器株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は圧縮空気の導入排出により、往復移動力を出
力するエアアクチュエータ、特に出力する往復移動力の
制御に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to an air actuator that outputs a reciprocating movement force by introducing and discharging compressed air, and particularly to control of a reciprocating movement force that is output.

[従来の技術] 従来より、バルブの開閉など種々の部材の駆動を行うた
めにエアアクチュエータが利用されている。このエアア
クチュエータは、シリンダ内に圧縮空気を導入排出する
ことによって、シリンダ内のピストンを移動し往復移動
力を出力するものである。そして、このエアアクチュエ
ータは、その駆動源として空気を用いているため、その
供給排出などの取扱いが非常に簡単であり、また動作が
確実であるという利点がある。
[Prior Art] Conventionally, air actuators have been used to drive various members such as opening and closing valves. This air actuator moves a piston in a cylinder and outputs a reciprocating force by introducing and discharging compressed air into the cylinder. Further, since this air actuator uses air as its drive source, it has advantages that handling such as supply and discharge is very simple and that the operation is reliable.

また、近年の制御機器の進歩に伴い、各種分野におい
て、電子制御が採用されるようになり、各種アクチュエ
ータの利用範囲が拡大し、エアアクチュエータの重要性
も増大してきている。
Further, with the recent progress of control equipment, electronic control has been adopted in various fields, the range of use of various actuators has expanded, and the importance of air actuators has also increased.

ここで、従来のエアアクチュエータについて、第3図に
基づいて説明する。図において、シリンダ10は気密な耐
圧容器であり、円筒状に形成さている。そして、その内
部には、シリンダ10とほぼ同一の円筒状で、その直径が
シリンダより若干小さく形成されたピストン12が摺動移
動自在に収容されており、このピストン12によりシリン
ダ10内に、第1空気導入室10a、第2空気導入室10bを仕
切り形成されている。一方、ピストン12には、出力軸14
が固定されており、この出力軸14を各部材に接続するこ
とにより、その部材の往復移動を行うことができる。
Here, a conventional air actuator will be described with reference to FIG. In the figure, a cylinder 10 is an airtight pressure-resistant container, and is formed in a cylindrical shape. A piston 12 having a cylindrical shape substantially the same as that of the cylinder 10 and having a diameter slightly smaller than that of the cylinder is slidably accommodated in the inside thereof, and the piston 12 allows the piston 12 to move to the inside of the cylinder 10. The first air introducing chamber 10a and the second air introducing chamber 10b are formed as partitions. On the other hand, the piston 12 has an output shaft 14
Is fixed, and by connecting the output shaft 14 to each member, the member can be reciprocated.

そして、シリンダ10の両端部の第1、第2空気導入室10
a,10bには、それぞれ配管16a,16bが接続されており、こ
れら配管16a,16bが切替え弁18を介し、圧縮空気源また
は大気に連通されている。
Then, the first and second air introduction chambers 10 at both ends of the cylinder 10
Pipes 16a and 16b are connected to a and 10b, respectively, and these pipes 16a and 16b are connected to a compressed air source or the atmosphere via a switching valve 18.

そこで、切替え弁18を操作して、圧縮空気を配管16aを
介し第1空気導入室10aに導入すれば、ピストン12は圧
縮空気の圧力により図における左方に移動する。一方、
切替え弁18を操作して配管16bから第2空気導入室10b内
に圧縮空気を導入すれば、ピストン12は右方に移動する
こととなる。
Therefore, if the switching valve 18 is operated to introduce the compressed air into the first air introducing chamber 10a through the pipe 16a, the piston 12 moves leftward in the drawing due to the pressure of the compressed air. on the other hand,
When the switching valve 18 is operated to introduce compressed air into the second air introducing chamber 10b from the pipe 16b, the piston 12 moves to the right.

そして、圧縮空気の導入量を制御することによってピス
トン12の移動量または移動力を制御することができ、出
力する往復移動力を制御することができる。
Then, by controlling the introduction amount of the compressed air, the movement amount or movement force of the piston 12 can be controlled, and the reciprocating movement force to be output can be controlled.

[発明が解決しようとする課題] このような従来のエアシリンダにおいて、出力する往復
移動量等を制御する場合には、排出側の空気流通経路に
流量調整弁を設け、排出流量の制御によって移動速度な
どの制御を行っている。特に、エアアクチュエータを動
作させる場合は、バルブの開閉などその移動速度を一定
に制御する場合が多く、空気の排出量を調整することに
より好適な制御が行える。
[Problems to be Solved by the Invention] In such a conventional air cylinder, when controlling the output reciprocating movement amount, etc., a flow rate adjusting valve is provided in the air circulation path on the discharge side, and the air flow is controlled by controlling the discharge flow rate. It controls speed and so on. In particular, when operating the air actuator, it is often the case that the moving speed of the air actuator is controlled to be constant such as opening and closing of the valve, and suitable control can be performed by adjusting the amount of discharged air.

すなわち、空気の流量調整には、例えば第4図に示すよ
うなバルブが用いられる。このバルブでは、ニードル20
の開口22に対する相対移動により、空気流通通路の流通
面積を調整し、流量の調整を行うものが採用される。そ
して、このような流量調整方法によると、空気はかなり
小さな流通経路を流通することとなり、ここにおいてほ
ぼ音速で流通することとなる。このように空気が音速で
流通している範囲内では、開口面積の変化によってエア
の速度は変らない。そこで、開口面積の調整により好適
な排出量の調整が行えることとなり、アクチュエータの
移動量制御を効果的に行うことができる。特に、被駆動
部材を移動するために要する力が多少変化しても、その
移動速度を一定に保つことができる。
That is, for example, a valve as shown in FIG. 4 is used for adjusting the flow rate of air. With this valve, the needle 20
The one that adjusts the flow area by adjusting the flow area of the air flow passage by the relative movement of the air flow path with respect to the opening 22 is adopted. Then, according to such a flow rate adjusting method, the air circulates through a considerably small distribution path, and here, the air circulates at a substantially sonic speed. In this way, within the range where the air flows at the sonic velocity, the velocity of the air does not change due to the change in the opening area. Therefore, the discharge amount can be adjusted appropriately by adjusting the opening area, and the movement amount of the actuator can be effectively controlled. In particular, even if the force required to move the driven member changes to some extent, the moving speed can be kept constant.

一方、エアアクチュエータを利用して、所定の周期で変
更する場合がある。これは、例えば土質試験装置におい
て、土サンプルに対し正弦波の荷重を印加し、これの対
する歪み変化等を検出して土サンプルの物理的性状を検
査するときなどである。
On the other hand, the air actuator may be used to make changes at a predetermined cycle. This is, for example, when applying a sinusoidal load to a soil sample in a soil test apparatus and detecting a strain change or the like against the load to inspect the physical properties of the soil sample.

このような場合、往復移動力の制御は圧縮空気の導入経
路に流量調整弁を設け、空気流通経路の断面積を順次変
更し、シリンダ内に導入する圧縮空気量を制御すること
によって行う。
In such a case, the reciprocating force is controlled by providing a flow rate adjusting valve in the compressed air introduction path, sequentially changing the cross-sectional area of the air circulation path, and controlling the amount of compressed air introduced into the cylinder.

ところが、上述したように圧縮空気は小さな間隙を流通
する際に、その速度が音速にまで達している。これは、
小さな開口部の両側における圧力にある程度の変動があ
っても流速が変わらないということである。従って、シ
リンダ内の圧力が変動してもサーボバルブを流通する空
気の速度は全く変化しないこととなる。
However, as described above, when the compressed air flows through the small gap, the velocity thereof reaches the sonic velocity. this is,
It means that the flow velocity does not change even if there is some fluctuation in the pressure on both sides of the small opening. Therefore, even if the pressure in the cylinder fluctuates, the velocity of the air flowing through the servo valve does not change at all.

このような条件下で徐々に変化する移動力を出力してい
くと、その出力に対する応力変化に伴い、アクチュエー
タの出力軸に振動を生じる場合がある。そして、上述し
たように、不要な振動が出力軸に生起されることとなっ
てしまう。
If a moving force that gradually changes under such a condition is output, the output shaft of the actuator may vibrate due to a change in stress with respect to the output. Then, as described above, unnecessary vibration is generated in the output shaft.

この発明は、上述のような問題点を解決することを課題
としてなされたものであり、振動等を吸収するダンパ機
能を有するエアアクチュエータを提供することを目的と
する。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object thereof is to provide an air actuator having a damper function of absorbing vibration and the like.

[課題を解決するための手段] この発明に係るエアアクチュエータは、中空のシリンダ
と、シリンダ内に摺動自在に収容され、シリンダ内の一
端側に第1空気導入室を仕切り形成する第1ピストン部
と、シリンダ内に摺動自在に収容され、シリンダ内の他
端側に第2空気導入室を仕切り形成する第2ピストン部
と、第1ピストン部と第2ピストン部を連結固定する連
結軸と、第1、第2ピストン部によってシリンダの中間
部に仕切り形成された空気が充満されるダンパ室と、シ
リンダに固定され、ダンパ室内を2つの空間に仕切ると
ともに、中央部に連結軸が貫通する貫通孔が形成された
仕切り壁と、この仕切り壁の貫通孔の径を連結軸の径よ
り大きくすることによって連結軸の周囲に形成され、仕
切り壁によって形成されるダンパ室の2つの空間を連通
すると共に、ここを流通するダンパ室内の空気に抵抗を
与える間隙と、を有し、間隙を流通する空気の抵抗によ
って、ピストンの移動に対し緩衝力を付与することを特
徴とする。
[Means for Solving the Problems] An air actuator according to the present invention includes a hollow cylinder, and a first piston that is slidably accommodated in the cylinder and that forms a first air introduction chamber as a partition on one end side of the cylinder. Portion, a second piston portion slidably accommodated in the cylinder and partitioning and forming a second air introduction chamber on the other end side of the cylinder, and a connecting shaft for connecting and fixing the first piston portion and the second piston portion. And a damper chamber which is formed in the middle part of the cylinder by the first and second piston parts and is filled with air, and a damper chamber which is fixed to the cylinder and divides the damper chamber into two spaces, and the connecting shaft penetrates through the central part. And a partition wall having a through hole formed therein and a damper chamber formed around the connecting shaft by making the diameter of the through hole of the partition wall larger than the diameter of the connecting shaft and formed by the partition wall. And a gap that provides resistance to the air in the damper chamber that flows through the space and that provides a buffering force to the movement of the piston by the resistance of the air that flows through the gap. .

[作用] この発明に係るエアアクチュエータは上述のような構成
を有しており、第1空気導入室または、第2空気導入室
に圧縮空気を導入することによって第1及び第2ピスト
ンが移動する。
[Operation] The air actuator according to the present invention has the above-described configuration, and the first and second pistons move by introducing compressed air into the first air introducing chamber or the second air introducing chamber. .

ここで、第1、第2ピストン部の中間には、ダンパ室が
形成され、このダンパ室が仕切り壁によって2つの部屋
に仕切られているとともに、この仕切り壁に連通部が形
成されているため、ピストンが移動するときには、ダン
パ室内の空気が、連通部を通って移動することとなる。
Here, a damper chamber is formed in the middle of the first and second piston portions, and the damper chamber is divided into two chambers by the partition wall, and the communication portion is formed in the partition wall. When the piston moves, the air in the damper chamber moves through the communication section.

従って、ダンパ室内の流体の連通部を通過する際の抵抗
によってピストンにその移動に対する抵抗力を付与する
ことができ、これによって所望の緩衝力(ダンパ作用)
を得ることができる。
Therefore, the resistance against the movement of the piston can be imparted to the piston by the resistance of the fluid passing through the fluid communication portion in the damper chamber, whereby a desired buffer force (damper action) can be obtained.
Can be obtained.

[実施例] 以下、この発明に係るエアアクチュエータの実施例につ
いて図面に基づいて説明する。
[Embodiment] An embodiment of the air actuator according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1実施例 第1図は第1実施例の構成を示す断面図であり、円筒状
のシリンダ30の両端は端板32a,32bによって閉塞されて
おり、その内部は密閉空間となっている。そして、この
内部には第1ピストン部34aと第2ピストン部34bが収容
されている。
First Embodiment FIG. 1 is a cross-sectional view showing the structure of the first embodiment, in which both ends of a cylindrical cylinder 30 are closed by end plates 32a and 32b, and the inside thereof is a closed space. Then, the first piston portion 34a and the second piston portion 34b are housed inside this.

一方、この第1、第2ピストン部34a,34bには、これら
を連結すると共に、シリンダ30の端板32a,32bを貫通す
る出力軸36が固定されている。従って、ビストン部34a,
34bは一体となってピストン34として移動し、この移動
力が出力軸36から出力される。
On the other hand, an output shaft 36 is fixed to the first and second piston portions 34a and 34b, which are connected to each other and penetrate the end plates 32a and 32b of the cylinder 30. Therefore, the viston section 34a,
34b integrally moves as a piston 34, and this moving force is output from the output shaft 36.

そして、シリンダ30内のピストン34aの右側に第1空気
導入室38aが形成され、ピストン34bの左側に第2空気導
入室38bが形成されている。
A first air introduction chamber 38a is formed on the right side of the piston 34a in the cylinder 30, and a second air introduction chamber 38b is formed on the left side of the piston 34b.

第1空気導入室38a,第2空気導入室38bには、配管42a,4
2bを介し、サーボバルブ44に接続されている。このサー
ボバルブ44は所定の電気信号の供給により、配管42a,42
bに対する空気流路の面積を変更し、所定の流量で配管4
2a,42bに圧縮空気を導入するものである。
The pipes 42a, 4 are provided in the first air introduction chamber 38a and the second air introduction chamber 38b.
It is connected to the servo valve 44 via 2b. This servo valve 44 is supplied with a predetermined electric signal, so that the piping 42a, 42a
Change the area of the air flow path for b and pipe at the specified flow rate.
Compressed air is introduced into 2a and 42b.

ここで、この発明において特徴的なことは、ピストン34
が第1ピストン34aと第2ピストン34bで形成され、この
2つのピストン34a,34bの間にダンパ室50が形成されて
いることである。そして、このダンパ室50は、シリンダ
の外壁から延出形成された仕切壁52によって第1ダンパ
室50aと第2ダンパ室50bに仕切られている。また、この
ダンパ室50には流体(空気)が密封収容されており、ピ
ストン部34の移動と共にダンパ室50内の空気が移動する
こととなる。
Here, a characteristic of the present invention is that the piston 34
Is formed by the first piston 34a and the second piston 34b, and the damper chamber 50 is formed between the two pistons 34a, 34b. The damper chamber 50 is divided into a first damper chamber 50a and a second damper chamber 50b by a partition wall 52 extending from the outer wall of the cylinder. Further, the damper chamber 50 hermetically accommodates fluid (air), and the air in the damper chamber 50 moves as the piston portion 34 moves.

そして、仕切壁52と軸36との周囲には、連通部として所
定面積のドーナッツ状の間隙54が形成されている。そこ
で、ピストン34が移動した場合には、ダンパ室50内の間
隙54を通じて第1ダンパ室50a、第2ダンパ室50bの間を
流体が移動することとなる。
A donut-shaped gap 54 having a predetermined area is formed as a communicating portion around the partition wall 52 and the shaft 36. Therefore, when the piston 34 moves, the fluid moves between the first damper chamber 50a and the second damper chamber 50b through the gap 54 in the damper chamber 50.

なお、ベロフラム60は、ピストン34とシリンダ30との間
のシールを達成するためのものであり、ピストン34が移
動しても、空気導入室38とダンパ室50を確実に仕切形成
する。
The bellows 60 is for achieving a seal between the piston 34 and the cylinder 30, and even if the piston 34 moves, it reliably forms a partition between the air introduction chamber 38 and the damper chamber 50.

このような装置において、サーボバルブ44を介し圧縮空
気を空気導入室38a,38bに交互に導入すれば、出力軸36
において所定の往復移動が達成される。そして、この実
施例の装置においては、ピストン部34が移動する際、そ
の内部のダンパ室50に収容されている流体が間隙54を介
し移動することとなる。そこで、この間隙54の面積を調
整すれば、ここにおいてピストン34の移動に対し所望の
抵抗を付与することができる。そして、ピストン34の移
動に対する抵抗を付与できれば、出力軸36に発生した振
動はここにおいて吸収され、ピストンの移動に対するダ
ンパ(緩衝)作用を達成することができる。
In such an apparatus, if compressed air is alternately introduced into the air introduction chambers 38a, 38b via the servo valve 44, the output shaft 36
A predetermined reciprocating movement is achieved at. In the device of this embodiment, when the piston portion 34 moves, the fluid contained in the damper chamber 50 inside the piston portion 34 moves through the gap 54. Therefore, by adjusting the area of the gap 54, it is possible to impart a desired resistance to the movement of the piston 34 here. If resistance to the movement of the piston 34 can be imparted, the vibration generated in the output shaft 36 is absorbed here, and a damper (buffer) action for the movement of the piston can be achieved.

第2実施例 第2図は第2実施例の構成を示した断面図であり、第1
実施例と同様の部材には同一の符号を付し説明を省略す
る。
Second Embodiment FIG. 2 is a sectional view showing the structure of the second embodiment.
The same members as those in the embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

第2実施例において特徴的なことは、第1実施例のベロ
フラム60に代えて、ベローズ70を採用したことであり、
このような蛇腹状のベローズ70によってもピストン34の
移動に伴う空気導入室38とダンパ室50の仕切りを達成す
ることができる。また、この例においてはベローズ70は
ダンパ室50を仕切るための仕切壁54とピストン38a、38b
を接続するように設けられているため、この仕切壁54が
第1空気導入室38aと第2空気導入室38bの仕切りの役目
もしている。
A characteristic of the second embodiment is that a bellows 70 is adopted in place of the belofram 60 of the first embodiment,
The bellows 70 having such a bellows can also partition the air introducing chamber 38 and the damper chamber 50 along with the movement of the piston 34. Further, in this example, the bellows 70 includes a partition wall 54 for partitioning the damper chamber 50 and pistons 38a, 38b.
The partition wall 54 also serves as a partition between the first air introduction chamber 38a and the second air introduction chamber 38b, since they are connected to each other.

そこで、この第2実施例においても、上述の第1実施例
と同様に好適なダンパ作用を達成することができる。
Therefore, also in the second embodiment, a suitable damper action can be achieved as in the above-described first embodiment.

このように本実施例では、ダンパ室内に封入する流体と
して空気を採用したため、ピストン34とシリンダ30のシ
ールを完全に行わなくてもよい。なお、ダンパ室内に封
入する空気が間隙54を流通する際の速度が音速以下とな
るように抵抗力を調整する必要がある。
As described above, in the present embodiment, since air is used as the fluid sealed in the damper chamber, the piston 34 and the cylinder 30 need not be completely sealed. In addition, it is necessary to adjust the resistance force so that the speed at which the air enclosed in the damper chamber flows through the gap 54 is equal to or lower than the speed of sound.

また、上記実施例においては、ベロフラム60によってピ
ストン34とシリンダ30のシールを行ったがパッキンなど
他の手段であってもよい。
Further, in the above embodiment, the piston 34 and the cylinder 30 are sealed by the bellows 60, but other means such as packing may be used.

[発明の効果] 以上説明したように、この発明に係るエアアクチュエー
タによれば、アクチュエータ自体がダンパを内蔵してお
り、出力における振動等を効果的に防止することができ
る。
[Effects of the Invention] As described above, according to the air actuator of the present invention, the actuator itself has a built-in damper, so that vibration or the like in the output can be effectively prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図はこの発明の第1実施例に係るエアアクチュエー
タの正面断面図、 第2図は第2実施例の正面断面図、 第3図は従来のエアアクチュエータの概略構成図、 第4図は流量調整器の一例を示す概略構成図である。 30……シリンダ 34a……第1ピストン 34b……第2ピストン 38a……第1空気導入室 38b……第2空気導入室 50……ダンパ室 52……仕切壁 54……間隙
1 is a front sectional view of an air actuator according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front sectional view of a second embodiment, FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a conventional air actuator, and FIG. It is a schematic block diagram which shows an example of a flow controller. 30 …… Cylinder 34a …… First piston 34b …… Second piston 38a …… First air introduction chamber 38b …… Second air introduction chamber 50 …… Damper chamber 52 …… Partition wall 54 …… Gap

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】中空のシリンダと、 シリンダ内に摺動自在に収容され、シリンダ内の一端側
に第1空気導入室を仕切り形成する第1ピストン部と、 シリンダ内に摺動自在に収容され、シリンダ内の他端側
に第2空気導入室を仕切り形成する第2ピストン部と、 第1ピストン部と第2ピストン部を連結固定する連結軸
と、 第1、第2ピストン部によってシリンダの中間部に仕切
り形成された空気が充満されるダンパ室と、 シリンダに固定され、ダンパ室内を2つの空間に仕切る
とともに、中央部に連結軸が貫通する貫通孔が形成され
た仕切り壁と、 この仕切り壁の貫通孔の径を連結軸の径より大きくする
ことによって連結軸の周囲に形成され、仕切り壁によっ
て形成されるダンパ室の2つの空間を連通すると共に、
ここを流通するダンパ室内の空気に抵抗を与える間隙
と、 を有し、 間隙を流通する空気の抵抗によって、ピストンの移動に
対し緩衝力を付与することを特徴とするエアアクチュエ
ータ。
1. A hollow cylinder, a first piston portion which is slidably accommodated in the cylinder and which forms a first air introduction chamber at one end of the cylinder, and a slidably accommodated in the cylinder. , A second piston portion for partitioning and forming a second air introduction chamber on the other end side in the cylinder, a connecting shaft for connecting and fixing the first piston portion and the second piston portion, and a cylinder of the cylinder by the first and second piston portions. A damper chamber that is formed in the middle part and is filled with air, and a partition wall that is fixed to the cylinder and divides the damper chamber into two spaces, and that has a through hole through which the connecting shaft penetrates in the center part, By making the diameter of the through hole of the partition wall larger than the diameter of the connecting shaft, it is formed around the connecting shaft and connects the two spaces of the damper chamber formed by the partition wall,
An air actuator, comprising: a gap that gives resistance to the air in the damper chamber flowing therethrough; and a buffering force for the movement of the piston due to the resistance of the air flowing through the gap.
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