JPH0791997A - 流体の流量又は流速測定方法及び装置 - Google Patents
流体の流量又は流速測定方法及び装置Info
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- JPH0791997A JPH0791997A JP6137694A JP13769494A JPH0791997A JP H0791997 A JPH0791997 A JP H0791997A JP 6137694 A JP6137694 A JP 6137694A JP 13769494 A JP13769494 A JP 13769494A JP H0791997 A JPH0791997 A JP H0791997A
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- G01F1/66—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by measuring frequency, phase shift or propagation time of electromagnetic or other waves, e.g. using ultrasonic flowmeters
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 本発明は流体の流量又は流速を測定する方法
及び流体流動測定装置に関する。 【構成】 流量又は流速が測定されるべき流体が、その
内部を連続的に又は非連続的に通過し得る実質的に滑ら
かな孔を有する管と、間隔の開いた一対の変換器を備え
た変換装置であって一対の変換器の間に変換装置の長手
方向軸に対して傾斜している管の長手方向軸に沿って管
が伸びているものと、連続的な音波を発生し、その連続
的な音波を、同じ交流周波数で送信する手段と、音波の
位相シフトを検知する検知手段と、位相関数を実質的に
最小限に抑えることのできる周波数制御手段と、送信さ
れる音波信号と受信される音波信号との間の位相関数を
測定するための測定手段、及び送信周波数の調整量を他
方の方向において測定された位相関数に代入し、流体の
流れに対する流量又は流速を出す手段とを備えているこ
とを特徴とする流体流動測定装置。
及び流体流動測定装置に関する。 【構成】 流量又は流速が測定されるべき流体が、その
内部を連続的に又は非連続的に通過し得る実質的に滑ら
かな孔を有する管と、間隔の開いた一対の変換器を備え
た変換装置であって一対の変換器の間に変換装置の長手
方向軸に対して傾斜している管の長手方向軸に沿って管
が伸びているものと、連続的な音波を発生し、その連続
的な音波を、同じ交流周波数で送信する手段と、音波の
位相シフトを検知する検知手段と、位相関数を実質的に
最小限に抑えることのできる周波数制御手段と、送信さ
れる音波信号と受信される音波信号との間の位相関数を
測定するための測定手段、及び送信周波数の調整量を他
方の方向において測定された位相関数に代入し、流体の
流れに対する流量又は流速を出す手段とを備えているこ
とを特徴とする流体流動測定装置。
Description
【０００１】本発明は流体の流量又は流速を測定する方
法及び流体流動測定装置に関する。
法及び流体流動測定装置に関する。
【０００２】少なくとも部分的に流体の流れの中に突出
し、流れに好ましくない妨害を与えそして流れの乱れを
引き起こし結果として流体の流速測定の精度を低下させ
るエネルギ変換器を用いた流体流動測定装置や流体の流
速を測定する方法は公知である。一般的に、そのような
従来の流体流れ装置は一対のエネルギ変換器を利用して
おり、その変換器を少なくとも部分的に流体の流れの中
に突出させかつその変換器を通して異なった周波数の音
波を反対方向に送信する。流体の流れの干渉によって引
き起こされる問題とは別にして、少なくとも二種類の異
なった周波数の音波を使用する事は流速を測定するため
に必要な回路の複雑さを増大させ、流量値を出す従来の
装置の使用の妨げになる。従って、流体の流量又は流速
を測定するための改良された方法や、少なくとも従来の
方法及び装置に関する前述の欠点を減少させ又は最小限
度にするような方法を利用する改良された流体流動測定
装置が必要となる。本発明のこれらの及びその他の目的
と利点とは、本発明の好ましい実施例が記された以下の
明細書の詳細な説明からより一層明らかになるであろ
う。本発明の第１の特徴によれば、実質的に滑らかな孔
を備えた管の中を流れる流体の流量又は流速を測定する
ための方法であって、同じ周波数音波を流体の流れ方向
に対して斜めに送信し、前記音波を送信方向及びリバー
ス方向の交流の連続波として流体の流れを横切らせかつ
流体の流れを通過させ、送信周波数を調整することによ
って、前記送信方向及びリバース方向の一方の方向にお
ける送信音波信号とリバース音波信号との間の位相関数
を実質的に最小限度に抑え、前記送信方向及びリバース
方向の他方の方向の送信音波信号とリバース音波信号と
の間の位相関数を測定し、そして前記送信信号の調整量
を前記他方の方向の測定された位相関数に代入して、流
体の流れに対する流量又は流速を出す方法が提供され
る。好ましくは、流量又は流速が測定される流体は液体
である。有利には、送信される音波の周波数は１〜５メ
ガヘルツ（ＭＨｚ）の範囲にある。好ましくは、流体の
流れは連続的か又は脈動的である。便利には、音波は少
なくとも４５゜の角度で送信される。有利には、音波は
少なくとも正弦波周波数で送信される。有利には、前記
送信方向及びリバース方向の一方の方向の位相関数は実
質的に零まで最低限に抑えられる。
し、流れに好ましくない妨害を与えそして流れの乱れを
引き起こし結果として流体の流速測定の精度を低下させ
るエネルギ変換器を用いた流体流動測定装置や流体の流
速を測定する方法は公知である。一般的に、そのような
従来の流体流れ装置は一対のエネルギ変換器を利用して
おり、その変換器を少なくとも部分的に流体の流れの中
に突出させかつその変換器を通して異なった周波数の音
波を反対方向に送信する。流体の流れの干渉によって引
き起こされる問題とは別にして、少なくとも二種類の異
なった周波数の音波を使用する事は流速を測定するため
に必要な回路の複雑さを増大させ、流量値を出す従来の
装置の使用の妨げになる。従って、流体の流量又は流速
を測定するための改良された方法や、少なくとも従来の
方法及び装置に関する前述の欠点を減少させ又は最小限
度にするような方法を利用する改良された流体流動測定
装置が必要となる。本発明のこれらの及びその他の目的
と利点とは、本発明の好ましい実施例が記された以下の
明細書の詳細な説明からより一層明らかになるであろ
う。本発明の第１の特徴によれば、実質的に滑らかな孔
を備えた管の中を流れる流体の流量又は流速を測定する
ための方法であって、同じ周波数音波を流体の流れ方向
に対して斜めに送信し、前記音波を送信方向及びリバー
ス方向の交流の連続波として流体の流れを横切らせかつ
流体の流れを通過させ、送信周波数を調整することによ
って、前記送信方向及びリバース方向の一方の方向にお
ける送信音波信号とリバース音波信号との間の位相関数
を実質的に最小限度に抑え、前記送信方向及びリバース
方向の他方の方向の送信音波信号とリバース音波信号と
の間の位相関数を測定し、そして前記送信信号の調整量
を前記他方の方向の測定された位相関数に代入して、流
体の流れに対する流量又は流速を出す方法が提供され
る。好ましくは、流量又は流速が測定される流体は液体
である。有利には、送信される音波の周波数は１〜５メ
ガヘルツ（ＭＨｚ）の範囲にある。好ましくは、流体の
流れは連続的か又は脈動的である。便利には、音波は少
なくとも４５゜の角度で送信される。有利には、音波は
少なくとも正弦波周波数で送信される。有利には、前記
送信方向及びリバース方向の一方の方向の位相関数は実
質的に零まで最低限に抑えられる。
【０００３】本発明のさらに別の特徴によれば、流量又
は流速が測定されるべき流体が、その内部を連続的に又
は非連続的に通過し得る実質的に滑らかな孔を有する管
と、間隔の開いた一対の変換器を備えた変換装置であっ
て前記一対の変換器の間に変換装置の長手方向軸に対し
て傾斜している管の長手方向軸に沿って管が伸びている
ものと、連続的な音波を発生し、その連続的な音波を、
変換器を介して管を横切り通過するある一方向及びリバ
ース方向に、同じ交流周波数で送信する手段と、前記一
方向及びリバース方向における前記音波の位相シフトを
検知する検知手段と、前記音波の送信周波数を調整する
ことができ、前記一方向及びリバース方向の一方の方向
において前記一方の変換器から送信される音波信号と前
記他方の変換器によって受信される音波信号との間の位
相関数を実質的に最小限に抑えることのできる周波数制
御手段と、前記一方向及びリバース方向の他方の方向に
おいて送信される音波信号と受信される音波信号との間
の位相関数を測定するための測定手段、及び送信周波数
の調整量を前記他方の方向において測定された位相関数
に代入し、流体の流れに対する流量又は流速を出す手段
とを備えていることを特徴とする流体流動測定装置が提
供される。好ましくは、２つの変換器は互いに向き合う
ように一直線に並べられ、かつ２つの変換器を通過する
長手方向軸が、管の長手方向軸に対して少なくとも４５
゜の角度で傾斜するように、それによって装置の作動時
に管に沿って流れる流体の流れ方向に対して４５゜の角
度で傾斜するように配置される。便利には、各変換器は
ピエゾ・セラミックディスク(PIEZO-CERAMIC DISK)であ
る。有利には、各変換器は管の内径の３分の２よりも小
さいか、３分の２に等しい直径を有する。好ましくは、
各変換器ディスクがそれより大きなシリンダ内に収納さ
れ、かつシリンダ内に収納された音波吸収性発泡プラス
チック材料から成るプラグの中の凹所に配置されてい
る。便利には、プラグから外側に向きかつ管に面した変
換器の面は、シリンダの前記変換器の面から離れた側面
の位置に挿入され、前記管の壁から延長し、使用時に管
を介して流れる流体に直接接触するように、シリンダ内
にある音響伝動挿入部材に接触する。有利には、音響伝
動挿入物は質量または流量または流速を測定されること
になる流体の音響特性と整合するように選んだ音響特性
をもつ樹脂からなり、また、使用中に流体と接触する挿
入部材の表面が平滑である。
は流速が測定されるべき流体が、その内部を連続的に又
は非連続的に通過し得る実質的に滑らかな孔を有する管
と、間隔の開いた一対の変換器を備えた変換装置であっ
て前記一対の変換器の間に変換装置の長手方向軸に対し
て傾斜している管の長手方向軸に沿って管が伸びている
ものと、連続的な音波を発生し、その連続的な音波を、
変換器を介して管を横切り通過するある一方向及びリバ
ース方向に、同じ交流周波数で送信する手段と、前記一
方向及びリバース方向における前記音波の位相シフトを
検知する検知手段と、前記音波の送信周波数を調整する
ことができ、前記一方向及びリバース方向の一方の方向
において前記一方の変換器から送信される音波信号と前
記他方の変換器によって受信される音波信号との間の位
相関数を実質的に最小限に抑えることのできる周波数制
御手段と、前記一方向及びリバース方向の他方の方向に
おいて送信される音波信号と受信される音波信号との間
の位相関数を測定するための測定手段、及び送信周波数
の調整量を前記他方の方向において測定された位相関数
に代入し、流体の流れに対する流量又は流速を出す手段
とを備えていることを特徴とする流体流動測定装置が提
供される。好ましくは、２つの変換器は互いに向き合う
ように一直線に並べられ、かつ２つの変換器を通過する
長手方向軸が、管の長手方向軸に対して少なくとも４５
゜の角度で傾斜するように、それによって装置の作動時
に管に沿って流れる流体の流れ方向に対して４５゜の角
度で傾斜するように配置される。便利には、各変換器は
ピエゾ・セラミックディスク(PIEZO-CERAMIC DISK)であ
る。有利には、各変換器は管の内径の３分の２よりも小
さいか、３分の２に等しい直径を有する。好ましくは、
各変換器ディスクがそれより大きなシリンダ内に収納さ
れ、かつシリンダ内に収納された音波吸収性発泡プラス
チック材料から成るプラグの中の凹所に配置されてい
る。便利には、プラグから外側に向きかつ管に面した変
換器の面は、シリンダの前記変換器の面から離れた側面
の位置に挿入され、前記管の壁から延長し、使用時に管
を介して流れる流体に直接接触するように、シリンダ内
にある音響伝動挿入部材に接触する。有利には、音響伝
動挿入物は質量または流量または流速を測定されること
になる流体の音響特性と整合するように選んだ音響特性
をもつ樹脂からなり、また、使用中に流体と接触する挿
入部材の表面が平滑である。
【０００４】好ましくは、前記変換装置及び管は支持部
材の中に設けられる。便利には、連続音波を発生させる
手段は、連続正弦波音波を発生するために利用可能なサ
イン波発生装置である。有利には検知手段は、送信され
た音波信号及び受信された音波信号からの入力を受信し
かつ比較し、かつ位相の違いを表す出力信号を出力する
ための位相測定装置を備えている。好ましくは、周波数
制御装置は、位相測定装置からの出力信号を受信し、周
波数に作用をもたらす正弦波波発生装置を制御するため
に利用できる零点制御装置を備えている。
材の中に設けられる。便利には、連続音波を発生させる
手段は、連続正弦波音波を発生するために利用可能なサ
イン波発生装置である。有利には検知手段は、送信され
た音波信号及び受信された音波信号からの入力を受信し
かつ比較し、かつ位相の違いを表す出力信号を出力する
ための位相測定装置を備えている。好ましくは、周波数
制御装置は、位相測定装置からの出力信号を受信し、周
波数に作用をもたらす正弦波波発生装置を制御するため
に利用できる零点制御装置を備えている。
【０００５】
【実施例】添付図面に示すように、この発明は、実質的
に平滑な腔管１を流れる流体、好ましくは液体の流動速
度または流量を計る方法を提供する。この方法において
は、同じ周波数の音波が流体の流れ方向すなわち管１の
中央線２に対してαの角度をなして、一方向と逆方向と
に交互に連続波として、図１の矢印Ｆによって表わせら
れる流体の流れを横切って通り抜けるように伝送され
る。前述の一方向と逆方向のうち一方の方向の送受信音
響信号間の位相関係は、伝送周波数の調整によって、実
質的に最小化され、好ましくは０に低減される。前述の
一方向と逆方向のうち他方の方向の送受信音響信号間の
位相関係は計測され、伝送周波数の調整の大きさは、計
測された他方の方向の位相関係に代数的に結合され、流
体の流れにおける流量または流速が得られる。本質的に
は、この発明の方法及び第１の発明の実施例の流量計測
装置は、”飛行時間”原理を利用し、そして連続流れと
不連続流れ（脈動）との両流れモードおいて、単相流体
の流れを計測するのに適している。真の流量と真の流速
の両方が計測でき、また、本方法及び装置は、作用流体
すなわち液体が均一である狭い腔管１の中の、流動計測
に特に適している。
に平滑な腔管１を流れる流体、好ましくは液体の流動速
度または流量を計る方法を提供する。この方法において
は、同じ周波数の音波が流体の流れ方向すなわち管１の
中央線２に対してαの角度をなして、一方向と逆方向と
に交互に連続波として、図１の矢印Ｆによって表わせら
れる流体の流れを横切って通り抜けるように伝送され
る。前述の一方向と逆方向のうち一方の方向の送受信音
響信号間の位相関係は、伝送周波数の調整によって、実
質的に最小化され、好ましくは０に低減される。前述の
一方向と逆方向のうち他方の方向の送受信音響信号間の
位相関係は計測され、伝送周波数の調整の大きさは、計
測された他方の方向の位相関係に代数的に結合され、流
体の流れにおける流量または流速が得られる。本質的に
は、この発明の方法及び第１の発明の実施例の流量計測
装置は、”飛行時間”原理を利用し、そして連続流れと
不連続流れ（脈動）との両流れモードおいて、単相流体
の流れを計測するのに適している。真の流量と真の流速
の両方が計測でき、また、本方法及び装置は、作用流体
すなわち液体が均一である狭い腔管１の中の、流動計測
に特に適している。
【０００６】位相差の計測は、音速に依存しない一次的
に流量または流速の粗計測値をもたらす。この計測値と
周波数調整の大きさとを代数的に結合することによって
流体の流量と流速の正確な計測値が得られる。この発明
の一実施例による流量計測装置３は添付図面１に示され
ている。この装置３は実質的に平滑な腔管１と、間隔お
いた一対の変換器４ａと４ｂとを持つ変換装置を備え、
変換器４ａと４ｂとの間には管１が伸びており、その長
手方向軸線には図１の２つの変換器４ａ、４ｂを結ぶ軸
線である、変換装置の長手方向軸に対してαの角を成し
ている。装置３はまた、連続音波を生成し、変換器４
ａ、４ｂを経て管１を横切って通り抜けるように一方向
とその逆方向とに交互に、同じ周波数の連続音波を伝送
する装置と、前述した音波の一方向及び逆方向における
位相のずれを検出する装置とを備えている。さらに、変
換器４ａから送信される音響信号と一方向において変換
器４ｂで受信される音響信号との位相関係を、実質的に
最小化するために、装置は音波の伝送周波数を調整する
ことのできる周波数制御手段を構成部分として備えてい
る。もちろん交流と同じように、位相関係最小化された
方向は変換器４ｂと４ａとの間にある。又、装置は他方
向において送受信音響信号間の位相関係を計測するため
の手段と、流体の流量や流速を示す他方向においての位
相関係の計測を伴う、伝送周波数の調整量を代数的に結
合する装置とを備えている。
に流量または流速の粗計測値をもたらす。この計測値と
周波数調整の大きさとを代数的に結合することによって
流体の流量と流速の正確な計測値が得られる。この発明
の一実施例による流量計測装置３は添付図面１に示され
ている。この装置３は実質的に平滑な腔管１と、間隔お
いた一対の変換器４ａと４ｂとを持つ変換装置を備え、
変換器４ａと４ｂとの間には管１が伸びており、その長
手方向軸線には図１の２つの変換器４ａ、４ｂを結ぶ軸
線である、変換装置の長手方向軸に対してαの角を成し
ている。装置３はまた、連続音波を生成し、変換器４
ａ、４ｂを経て管１を横切って通り抜けるように一方向
とその逆方向とに交互に、同じ周波数の連続音波を伝送
する装置と、前述した音波の一方向及び逆方向における
位相のずれを検出する装置とを備えている。さらに、変
換器４ａから送信される音響信号と一方向において変換
器４ｂで受信される音響信号との位相関係を、実質的に
最小化するために、装置は音波の伝送周波数を調整する
ことのできる周波数制御手段を構成部分として備えてい
る。もちろん交流と同じように、位相関係最小化された
方向は変換器４ｂと４ａとの間にある。又、装置は他方
向において送受信音響信号間の位相関係を計測するため
の手段と、流体の流量や流速を示す他方向においての位
相関係の計測を伴う、伝送周波数の調整量を代数的に結
合する装置とを備えている。
【０００７】２つの変換器４ａと４ｂとは向かい合って
一列に並べられ、かつ変換器の位置軸に沿って流速の大
きな成分を示すために、角度αが少なくとも４５度にな
るように配置される。
一列に並べられ、かつ変換器の位置軸に沿って流速の大
きな成分を示すために、角度αが少なくとも４５度にな
るように配置される。
【０００８】角度は３０〜６０度の範囲で実施できる
が、性質の不適合が原因で管と液体との境界で音波の偏
差が起こるので、４５度未満の角度が好ましい。加え
て、４５度未満の角度は、音速信号の減衰が生じる変換
器の間に、大きな分離を必要とする。音波を管１に軸方
向に沿って通過させるよりもむしろ管１を横切る角度で
通過させることは、音波の伝送時間を短くし、速度が急
速に変化する脈動流の計測手段を向させることを意味す
る。変換器４ａと４ｂとはどんな形態にでも対応するの
だが、圧力（ピエゾ）セラミック板が好ましい。25)両
方の変換器の調整は互いに音響の伝送強度を最大化し合
い、干渉を最小化し合う。全ての音響ビームが流体の流
れを完全に横切って通るためには、各変換器が管１の内
径の２／３に等しいかそれ未満の直径を有するのが好ま
しい。各変換器ディスク４ａと４ｂはそれより大きな直
径のシリンダー５の中に収納され、また、４ａと４ｂは
プラグ６の凹所に設けられ、プラグ６は音波吸収発砲プ
ラスチック材料（sound absorbing foaned plastics ma
terial）で構成され、シリンダー５の中に収納される。
この構成部は、受信されるビームの反射を制限し、バッ
クエコーを抑制する。変換器によって生成される衝撃が
上記の材料でできたプラグ６に横方向にかかる。各変換
器のプラグ６の外方に、かつ管１に向かって面している
表面は、シリンダー５内にある音波伝導性の挿入物７と
接触し、この挿入物７はその変換器との接触表面から離
れた側が、管１の外表面板における複数の部品１ａの全
体にわたって伸び、使用時に管１を通る液体に直接接触
するようにされている。液体に直接接触する挿入物の内
部表面は、例えば実質的に滑らかになるような成型法に
よって、形成される。従って、変換器の前面だけが良い
音波伝導性の媒体と接触し、変換器４ａと４ｂとの軸方
向に供給された衝撃だけを伝送する。又、発砲プラスチ
ック材料で形成されたプラグ６は、好ましくは金属製で
あり、良い音波伝導体である、シリンダー５の周辺から
音波遮断体を提供する。
が、性質の不適合が原因で管と液体との境界で音波の偏
差が起こるので、４５度未満の角度が好ましい。加え
て、４５度未満の角度は、音速信号の減衰が生じる変換
器の間に、大きな分離を必要とする。音波を管１に軸方
向に沿って通過させるよりもむしろ管１を横切る角度で
通過させることは、音波の伝送時間を短くし、速度が急
速に変化する脈動流の計測手段を向させることを意味す
る。変換器４ａと４ｂとはどんな形態にでも対応するの
だが、圧力（ピエゾ）セラミック板が好ましい。25)両
方の変換器の調整は互いに音響の伝送強度を最大化し合
い、干渉を最小化し合う。全ての音響ビームが流体の流
れを完全に横切って通るためには、各変換器が管１の内
径の２／３に等しいかそれ未満の直径を有するのが好ま
しい。各変換器ディスク４ａと４ｂはそれより大きな直
径のシリンダー５の中に収納され、また、４ａと４ｂは
プラグ６の凹所に設けられ、プラグ６は音波吸収発砲プ
ラスチック材料（sound absorbing foaned plastics ma
terial）で構成され、シリンダー５の中に収納される。
この構成部は、受信されるビームの反射を制限し、バッ
クエコーを抑制する。変換器によって生成される衝撃が
上記の材料でできたプラグ６に横方向にかかる。各変換
器のプラグ６の外方に、かつ管１に向かって面している
表面は、シリンダー５内にある音波伝導性の挿入物７と
接触し、この挿入物７はその変換器との接触表面から離
れた側が、管１の外表面板における複数の部品１ａの全
体にわたって伸び、使用時に管１を通る液体に直接接触
するようにされている。液体に直接接触する挿入物の内
部表面は、例えば実質的に滑らかになるような成型法に
よって、形成される。従って、変換器の前面だけが良い
音波伝導性の媒体と接触し、変換器４ａと４ｂとの軸方
向に供給された衝撃だけを伝送する。又、発砲プラスチ
ック材料で形成されたプラグ６は、好ましくは金属製で
あり、良い音波伝導体である、シリンダー５の周辺から
音波遮断体を提供する。
【０００９】音波伝導性である挿入物７は、管１を通る
流量や流速が計測されるべき流体または液体の適合で選
択される音波性材料で作られる。好ましい材料はＡＲＡ
ＬＤＩＴＥ ２００３（商標）のような樹脂である。好
ましくは挿入材料７は、流体や液体が管１を通っている
時に、それらを通過する音波と同じ音波伝送密度と速度
とを持つように選択される。挿入物７が管１の壁を介し
て伸びている図１に示される構造体の型式によって、測
定が、管１を通る流体や液体の流れをじゃますることが
なくなり、圧力の損失や流体の乱れの連結を防止され
る。又、このことは、この発明の装置に小さい穴の管１
を使用することを可能にし、平滑な穴が、比較的小さい
管の穴の内径に突き出す比較的大きい変換器によって、
常に起こる問題を除去する。管１を通過する流体に接触
する挿入物７の材料の音波性質の適合は、流体／材料間
の界面における反射や偏光を防ぐ。変換器４ａあるいは
４ｂと管１との間の挿入物７に対して音波伝導性材料を
使用することによって、管１の穴の流通路内へのいかな
る突出物の使用も避けられ、流れる流体内における渦や
密度の変化によって生ずる音波の分散を防止する。好ま
しくは、変換装置と管１とは、好ましくはアルミニウム
のような金属片で構成される土台８に取り付けられる。
伝導装置９による音波の伝播のために、電流が変換器４
ａと４ｂとに供給される。
流量や流速が計測されるべき流体または液体の適合で選
択される音波性材料で作られる。好ましい材料はＡＲＡ
ＬＤＩＴＥ ２００３（商標）のような樹脂である。好
ましくは挿入材料７は、流体や液体が管１を通っている
時に、それらを通過する音波と同じ音波伝送密度と速度
とを持つように選択される。挿入物７が管１の壁を介し
て伸びている図１に示される構造体の型式によって、測
定が、管１を通る流体や液体の流れをじゃますることが
なくなり、圧力の損失や流体の乱れの連結を防止され
る。又、このことは、この発明の装置に小さい穴の管１
を使用することを可能にし、平滑な穴が、比較的小さい
管の穴の内径に突き出す比較的大きい変換器によって、
常に起こる問題を除去する。管１を通過する流体に接触
する挿入物７の材料の音波性質の適合は、流体／材料間
の界面における反射や偏光を防ぐ。変換器４ａあるいは
４ｂと管１との間の挿入物７に対して音波伝導性材料を
使用することによって、管１の穴の流通路内へのいかな
る突出物の使用も避けられ、流れる流体内における渦や
密度の変化によって生ずる音波の分散を防止する。好ま
しくは、変換装置と管１とは、好ましくはアルミニウム
のような金属片で構成される土台８に取り付けられる。
伝導装置９による音波の伝播のために、電流が変換器４
ａと４ｂとに供給される。
【００１０】この発明の装置は、管１を通る流体の流れ
により発生する時間差を感知するために連続音波を利用
している。多重周波数は重ね合わされ、その後、分離さ
れ得るが、音響は単一連続した正弦波状周波の形で伝達
される。これは従来の時間パルス式流量計測装置におけ
る誤差の主な原因となりえる分散効果を除去する。また
連続した定周波の使用は伝送、受信信号の振幅が相当な
程度に一定のままであり、それより検出及び信号増幅操
作を容易にさせる事を意味している。変換器４ａ、４ｂ
の間で伝達される音波はどちらも同じ周波数を有する。
連続波音波周波数の値は、好ましくは１〜５ＭＨｚ迄の
範囲内にる。実際の値は流体の流れの音波帯域幅、デフ
ラクションの最小化、変換器の大きさ及び応答時間を考
慮して選ばれる。従って最初に音響波伝送周波数の近似
値が選択され、そしてこの値は細同調され、それでもし
与えられる初音速に対して流れがない時、二つの変換器
は伝送・受信々号間の最小の、好ましくはゼロの位相差
を与える。この装置は図２に示すの正弦波発生装置１０
から成るまたはそれをを含む連続音波を発生する手段を
含んでいる。発生器１０は連続正弦波音波を発生するよ
うにするように作動できる。
により発生する時間差を感知するために連続音波を利用
している。多重周波数は重ね合わされ、その後、分離さ
れ得るが、音響は単一連続した正弦波状周波の形で伝達
される。これは従来の時間パルス式流量計測装置におけ
る誤差の主な原因となりえる分散効果を除去する。また
連続した定周波の使用は伝送、受信信号の振幅が相当な
程度に一定のままであり、それより検出及び信号増幅操
作を容易にさせる事を意味している。変換器４ａ、４ｂ
の間で伝達される音波はどちらも同じ周波数を有する。
連続波音波周波数の値は、好ましくは１〜５ＭＨｚ迄の
範囲内にる。実際の値は流体の流れの音波帯域幅、デフ
ラクションの最小化、変換器の大きさ及び応答時間を考
慮して選ばれる。従って最初に音響波伝送周波数の近似
値が選択され、そしてこの値は細同調され、それでもし
与えられる初音速に対して流れがない時、二つの変換器
は伝送・受信々号間の最小の、好ましくはゼロの位相差
を与える。この装置は図２に示すの正弦波発生装置１０
から成るまたはそれをを含む連続音波を発生する手段を
含んでいる。発生器１０は連続正弦波音波を発生するよ
うにするように作動できる。
【００１１】正弦波発生装置１０からの出力信号は、二
つの変換器の一つである１１の変換器には送信々号とし
て、もう一方の変換器１２の受信機には受信々号として
送られる。従って、図２において図表の送信々号１１と
受信々号１２の両方は伝送、検出された信号（伝送、受
信々号）から正方波を作り出すための大きなゲインで作
用する各初入力増幅ステ−ジ１３、１４に供給される。
増幅ステ−ジ１３、１４からの出力信号は信号の元の状
態を維持するために作用する各ハイパスフィルタ−１
５、１６へ送られる。二つのフィルタ−ステ−ジ１５、
１６からの出力信号は、二つの入力信号の間に位相差を
発生させる位相計１７に送られる。これは、変調信号を
用いて２回パルスを処理し送信周波数はパルスゲ−ト１
８に送られ、パルスゲ−ト１８は送信信号をタイムオフ
し、かつ送信又は増幅中に生ずる送信信号と検波信号と
の間のデュ−ティ・サイクルの不一致をもたらす効果を
除去するために他のパルスの全てを除去する。従って、
位相計１７とパルスゲ−ト１８は、伝送・受信音響信号
からの入力を受信し比較し入力そして位相差の出力信号
を出力するための検波手段の一部を形成する。位相検出
はある特定の帯域に制限され、この帯域外のどんな雑音
も受け入れないものである。位相信号は、ロ−パスフィ
ルタ−１９と良質で低ノイズの直流出力電圧出力を作り
出す微分演算増幅器２０を使用して実用的な出力信号に
される。次に位相信号を表す直流電圧出力は、好都合な
方法で二つの変換器の間の２方向の一方の方向における
伝送周波数整量に代数的に結合される。。
つの変換器の一つである１１の変換器には送信々号とし
て、もう一方の変換器１２の受信機には受信々号として
送られる。従って、図２において図表の送信々号１１と
受信々号１２の両方は伝送、検出された信号（伝送、受
信々号）から正方波を作り出すための大きなゲインで作
用する各初入力増幅ステ−ジ１３、１４に供給される。
増幅ステ−ジ１３、１４からの出力信号は信号の元の状
態を維持するために作用する各ハイパスフィルタ−１
５、１６へ送られる。二つのフィルタ−ステ−ジ１５、
１６からの出力信号は、二つの入力信号の間に位相差を
発生させる位相計１７に送られる。これは、変調信号を
用いて２回パルスを処理し送信周波数はパルスゲ−ト１
８に送られ、パルスゲ−ト１８は送信信号をタイムオフ
し、かつ送信又は増幅中に生ずる送信信号と検波信号と
の間のデュ−ティ・サイクルの不一致をもたらす効果を
除去するために他のパルスの全てを除去する。従って、
位相計１７とパルスゲ−ト１８は、伝送・受信音響信号
からの入力を受信し比較し入力そして位相差の出力信号
を出力するための検波手段の一部を形成する。位相検出
はある特定の帯域に制限され、この帯域外のどんな雑音
も受け入れないものである。位相信号は、ロ−パスフィ
ルタ−１９と良質で低ノイズの直流出力電圧出力を作り
出す微分演算増幅器２０を使用して実用的な出力信号に
される。次に位相信号を表す直流電圧出力は、好都合な
方法で二つの変換器の間の２方向の一方の方向における
伝送周波数整量に代数的に結合される。。
【００１２】図２に示す低流速の検出システムによっ
て、検出信号は流動体内での音波の速度変動を小さくし
得る。これらは流動体密度を変化させる熱または圧力の
変動により発生させることができるものである。図２に
示す位相形式検出システムは狭帯域検出システムである
ので、もし検出すべき速度が流体内の音の速さより数オ
ーダ−小さければ、ただ１℃の温度変化はが計測器のレ
ンジに渡って生ずる。これは交互に測定を行うことによ
って克服することが可能であり、その結果二つの位相変
異表示は逆方向に示される。一方の位相変異の測定は音
波速度の成分が流速方向に伝わっているとき、そして他
方は音波速度の成分が流速に反して伝わっているときに
なされる。また初めに、音波周波数は選択され、位相差
はゼロになる。もし全く同一か、相似した変換器４ａ、
ｂが使われていたとすると、これは両方一致した表示度
数となる。読み取り値の一つはフィ−ドバック制御ル−
プが使用さるゼロに保たれ、そして読み取り値は、２種
の基礎的方法でゼロに制御され得る。
て、検出信号は流動体内での音波の速度変動を小さくし
得る。これらは流動体密度を変化させる熱または圧力の
変動により発生させることができるものである。図２に
示す位相形式検出システムは狭帯域検出システムである
ので、もし検出すべき速度が流体内の音の速さより数オ
ーダ−小さければ、ただ１℃の温度変化はが計測器のレ
ンジに渡って生ずる。これは交互に測定を行うことによ
って克服することが可能であり、その結果二つの位相変
異表示は逆方向に示される。一方の位相変異の測定は音
波速度の成分が流速方向に伝わっているとき、そして他
方は音波速度の成分が流速に反して伝わっているときに
なされる。また初めに、音波周波数は選択され、位相差
はゼロになる。もし全く同一か、相似した変換器４ａ、
ｂが使われていたとすると、これは両方一致した表示度
数となる。読み取り値の一つはフィ−ドバック制御ル−
プが使用さるゼロに保たれ、そして読み取り値は、２種
の基礎的方法でゼロに制御され得る。
【００１３】第１の方法によれば制御された読み取り値
は周波数の微小な調整によってゼロにされ、第２の方法
によれば制御された読み取り値は微分増幅器２０のよう
な位相計の出力から、オフセット調節条件を控除するこ
とでゼロにされうる。従って図３に示されたように図２
を具体化した検出システムは、増幅器２０の入力側に接
続されかつラッチメモリ（ハイ）２２（ｌａｔｃｈｅｄ
ｍｅｍｏｒｙ）を介して、正弦波発生器１０に接続さ
れているゼロ点用制御回路２１により増加され得る。更
にアナログスイッチ回路２３は、時間計２４に関する必
要な理論的スイッチ・タスクを発生する為に設けられ得
る。図３のシステムに場合には、逆方向における２回目
の測定は、新たな周波数又はオフセット電圧（逆方向）
のいずれかに使用される１回目の測定からの制御変数を
用いる。これは、温度及び圧力の要求された効果を大き
な度合いで取り去り、測定範囲を実質的にゼロに固定す
る。制御装置２１は特別な測定範囲上にそのロックを維
持し、音波の初期速度及び送信周波数が知られているこ
とを条件とすると、流速は、音波の現在の速度又は周波
数に関係ない良好な近似値に計算され得る。さらに 制
御装置２１の周波数（オフセット電圧）の調整量は容易
に測定され得る。この調整量は現在の音速を表してい
る。もし、音速が分かっているのであれば、速度率の測
定よりもむしろ管１内における実際の流量読み取り値を
得るために密度修正が計算され得る。
は周波数の微小な調整によってゼロにされ、第２の方法
によれば制御された読み取り値は微分増幅器２０のよう
な位相計の出力から、オフセット調節条件を控除するこ
とでゼロにされうる。従って図３に示されたように図２
を具体化した検出システムは、増幅器２０の入力側に接
続されかつラッチメモリ（ハイ）２２（ｌａｔｃｈｅｄ
ｍｅｍｏｒｙ）を介して、正弦波発生器１０に接続さ
れているゼロ点用制御回路２１により増加され得る。更
にアナログスイッチ回路２３は、時間計２４に関する必
要な理論的スイッチ・タスクを発生する為に設けられ得
る。図３のシステムに場合には、逆方向における２回目
の測定は、新たな周波数又はオフセット電圧（逆方向）
のいずれかに使用される１回目の測定からの制御変数を
用いる。これは、温度及び圧力の要求された効果を大き
な度合いで取り去り、測定範囲を実質的にゼロに固定す
る。制御装置２１は特別な測定範囲上にそのロックを維
持し、音波の初期速度及び送信周波数が知られているこ
とを条件とすると、流速は、音波の現在の速度又は周波
数に関係ない良好な近似値に計算され得る。さらに 制
御装置２１の周波数（オフセット電圧）の調整量は容易
に測定され得る。この調整量は現在の音速を表してい
る。もし、音速が分かっているのであれば、速度率の測
定よりもむしろ管１内における実際の流量読み取り値を
得るために密度修正が計算され得る。
【００１４】本発明の方法及び装置は、内径が５ｍｍの
オーダーの管１内の流れの測定用に特に適している。こ
のことは、そのような狭い穴の管が変換器４ａと４ｂと
の間の間隔を最小限度にし、低下の少ないより小さい変
換器を使用することを可能にするという利点を有する。
小さい変換器の自然な共鳴、好ましくは１〜５ＭＨｚの
範囲である特殊な流体用の最高な音響送信範囲に入る。
そのような小さな穴の管における特別な流動率は低く、
好ましい作動周波数範囲において小さな位相差を発生す
る原因になる。このことは、増幅を困難にするが、制御
装置２１に対するロックを維持することを容易にすると
いう利点を有する。従って、制御装置２１は狭い帯域の
制御装置であり得、異なったロック間、即ち測定範囲間
のジャンピングを防止する。
オーダーの管１内の流れの測定用に特に適している。こ
のことは、そのような狭い穴の管が変換器４ａと４ｂと
の間の間隔を最小限度にし、低下の少ないより小さい変
換器を使用することを可能にするという利点を有する。
小さい変換器の自然な共鳴、好ましくは１〜５ＭＨｚの
範囲である特殊な流体用の最高な音響送信範囲に入る。
そのような小さな穴の管における特別な流動率は低く、
好ましい作動周波数範囲において小さな位相差を発生す
る原因になる。このことは、増幅を困難にするが、制御
装置２１に対するロックを維持することを容易にすると
いう利点を有する。従って、制御装置２１は狭い帯域の
制御装置であり得、異なったロック間、即ち測定範囲間
のジャンピングを防止する。
【００１５】本発明の方法及び装置は、内径５ｍｍのオ
ーダーの狭い直径の小さい孔の管の中の脈動化された流
体の流れを測定するために適した蓄積型急速測定装置を
提供する。この装置は高い信頼度の激しい動作を提供す
る機械式可動部分はない。熱量と密度の変化は修正さ
れ、図３のシステムにおいては、制御装置２１は連続し
た代数的な結合によってもたらされる優れた修正値によ
って第１オーダーに対する密度及び温度変化を除去す
る。変換器４ａ及び４ｂを横切る両方向において同じ音
波周波数を使用することは、処理の複雑さを減少させ
る。ただ一つの出力位相信号が生成され、これは、流速
に比例して、従来の技術で必要とされた比較処理を削除
する。その処理は非常に迅速で正確な測定方法を、測定
方法に必要とされる唯一の流体制御サイクルとし、逆信
号は制御されないように生成し、従って非常に迅速なも
のになる。説明され、かつ例示された本発明の実施例
は、特許請求の範囲に定義された本発明の範囲内で変形
し、変更することができる。
ーダーの狭い直径の小さい孔の管の中の脈動化された流
体の流れを測定するために適した蓄積型急速測定装置を
提供する。この装置は高い信頼度の激しい動作を提供す
る機械式可動部分はない。熱量と密度の変化は修正さ
れ、図３のシステムにおいては、制御装置２１は連続し
た代数的な結合によってもたらされる優れた修正値によ
って第１オーダーに対する密度及び温度変化を除去す
る。変換器４ａ及び４ｂを横切る両方向において同じ音
波周波数を使用することは、処理の複雑さを減少させ
る。ただ一つの出力位相信号が生成され、これは、流速
に比例して、従来の技術で必要とされた比較処理を削除
する。その処理は非常に迅速で正確な測定方法を、測定
方法に必要とされる唯一の流体制御サイクルとし、逆信
号は制御されないように生成し、従って非常に迅速なも
のになる。説明され、かつ例示された本発明の実施例
は、特許請求の範囲に定義された本発明の範囲内で変形
し、変更することができる。
【図１】この発明の最初の実施例による、流量計組立体
の部分を構成する変換装置の概要図である。
の部分を構成する変換装置の概要図である。
【図２】信号の送信、受信及び比較するために図１の装
置に用いられる基本音響発生器及び検出装置のブロック
図である。
置に用いられる基本音響発生器及び検出装置のブロック
図である。
【図３】両方向における音響信号の送受信及び１つのそ
のような信号の最小化を行うために図１の音響装置に用
いられる交流音波発生器、検出装置及び周波数制御装置
のブロック線図である。
のような信号の最小化を行うために図１の音響装置に用
いられる交流音波発生器、検出装置及び周波数制御装置
のブロック線図である。
Claims (18)
- 【請求項１】 実質的に滑らかな孔を備えた管の中を流
れる流体の流量又は流速を測定するための方法であっ
て、同じ周波数音波を流体の流れ方向に対して斜めに送
信し、前記音波を送信方向及びリバース方向の交流の連
続波として流体の流れを横切らせかつ流体の流れを通過
させ、送信周波数を調整することによって、前記送信方
向及びリバース方向の一方の方向における送信音波信号
とリバース音波信号との間の位相関数を実質的に最小限
度に抑え、前記送信方向及びリバース方向の他方の方向
の送信音波信号とリバース音波信号との間の位相関数を
測定し、そして前記送信信号の調整量を前記他方の方向
の測定された位相関数に代入して、流体の流れに対する
流量又は流速を出すことを特徴とする流体の流量又は流
速測定方法。 - 【請求項２】 流量又は流速が測定される流体が液体で
あることを特徴とする請求項１に記載の流体の流量又は
流速測定方法。 - 【請求項３】 送信された音波の周波数が１〜５メガヘ
ルツの範囲にあることを特徴とする請求項１に記載の流
体の流量又は流速測定方法。 - 【請求項４】 流体の流れが連続的又は脈動的であるこ
とを特徴とする請求項１に記載の流体の流量又は流速測
定方法。 - 【請求項５】 音波が少なくとも４５゜の角度傾斜して
送信されることを特徴とする請求項１に記載の流体の流
量又は流速測定方法。 - 【請求項６】 音波が少なくとも一つの連続制限波周波
数であることを特徴とする請求項１に記載の流体の流量
又は流速測定方法。 - 【請求項７】 前記一方向及びリバース方向の一方の方
向における位相関数が実質的に零になるまで最小限に抑
えられることを特徴とする請求項１に記載の流体の流量
又は流速測定方法。 - 【請求項８】 流量又は流速が測定されるべき流体が、
その内部を連続的に又は非連続的に通過し得る実質的に
滑らかな孔を有する管と、間隔の開いた一対の変換器を
備えた変換装置であって前記一対の変換器の間に変換装
置の長手方向軸に対して傾斜している管の長手方向軸に
沿って管が伸びているものと、連続的な音波を発生し、
その連続的な音波を、変換器を介して管を横切り通過す
るある一方向及びリバース方向に、同じ交流周波数で送
信する手段と、前記一方向及びリバース方向における前
記音波の位相シフトを検知する検知手段と、前記音波の
送信周波数を調整することができ、前記一方向及びリバ
ース方向の一方の方向において前記一方の変換器から送
信される音波信号と前記他方の変換器によって受信され
る音波信号との間の位相関数を実質的に最小限に抑える
ことのできる周波数制御手段と、前記一方向及びリバー
ス方向の他方の方向において送信される音波信号と受信
される音波信号との間の位相関数を測定するための測定
手段、及び送信周波数の調整量を前記他方の方向におい
て測定された位相関数に代入し、流体の流れに対する流
量又は流速を出す手段とを備えていることを特徴とする
流体流動測定装置。 - 【請求項９】 ２つの変換器を互いに向き合うように一
直線に並べ、かつ２つの変換器を通過する長手方向軸
が、管の長手方向軸に対して少なくとも４５゜の角度で
傾斜するように、それによって装置の作動時に管に沿っ
て流れる流体の流れ方向に対して４５゜の角度で傾斜す
るように配置したことを特徴とする請求項８に記載の流
体流動測定装置。 - 【請求項１０】 各変換器がピエゾ・セラミック・ディ
スクであることを特徴とする請求項８に記載の流体流動
測定装置。 - 【請求項１１】 各変換器が管の内部直径の３分の２未
満又はそれに等しいことを特徴とする請求項８に記載の
流体流動測定装置。 - 【請求項１２】 各変換器ディスクがそれより大きなシ
リンダ内に収納され、かつシリンダ内に収納された音波
吸収性発泡プラスチック材料から成るプラグの中の凹所
に配置されていることを特徴とする請求項１１に記載の
流体流動測定装置。 - 【請求項１３】 プラグから外側に向きかつ管に面した
変換器の面は、シリンダの前記変換器の面から離れた側
面の位置に挿入され、前記管の壁から延長し、使用時に
管を介して流れる流体に直接接触するように、シリンダ
内にある音響伝動挿入部材に接触することを特徴とする
請求項１２に記載の流体流動測定装置。 - 【請求項１４】 音響的伝導性挿入部材が質量または流
量または流速を測定されることになる流体の音響特性と
整合するように選んだ音響特性をもつ樹脂からなり、ま
た、使用中に流体と接触する挿入部材の表面が平滑であ
ることを特徴とする請求項１３に記載の流体流動測定装
置。 - 【請求項１５】 前記変換器装置および管が、支持部材
に取り付けられていることを特徴としている請求項８に
記載の流体流動測定装置。 - 【請求項１６】 連続した音波を発生する手段が、連続
した正弦波音波を発生するように作動できる制限波発生
器であることを特徴とする請求項８に記載の流体流動測
定装置。 - 【請求項１７】 検出手段が送受信音信号からの入力音
を受けかつ比較しそして位相差を表す出力信号を出力す
る位相計測器を含んでいることを特徴とする請求項８に
記載の流体流動測定装置。 - 【請求項１８】 周波数制御手段が位相計測器からの出
力信号を受け、かつ正弦波発生器の動作周波数を制御す
るように制御できるゼロ点制御装置を備えていることを
特徴とする請求項１７に記載の流体流動測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB9312731A GB2279146B (en) | 1993-06-19 | 1993-06-19 | Method and assembly for measuring mass flow or velocity flow of a fluid |
| GB9312731:4 | 1993-06-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0791997A true JPH0791997A (ja) | 1995-04-07 |
Family
ID=10737489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6137694A Pending JPH0791997A (ja) | 1993-06-19 | 1994-06-20 | 流体の流量又は流速測定方法及び装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0631114A3 (ja) |
| JP (1) | JPH0791997A (ja) |
| GB (1) | GB2279146B (ja) |
| NO (1) | NO942147L (ja) |
Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| US20180023485A1 (en) * | 2012-12-19 | 2018-01-25 | General Electric Company | System for turbomachine vane control |
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|---|---|---|---|---|
| DE19530807C2 (de) * | 1995-08-22 | 1999-11-18 | Krohne Ag Basel | Verfahren zur Bestimmung des Volumendurchflusses von strömenden Medien |
| JP3175632B2 (ja) * | 1997-04-18 | 2001-06-11 | 松下電器産業株式会社 | シーンチェンジ検出方法およびシーンチェンジ検出装置 |
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| DE19861186B4 (de) * | 1998-03-02 | 2005-09-08 | Schubert & Salzer Control Systems Gmbh | Duchflussmessvorrichtung |
| DE19808701C2 (de) * | 1998-03-02 | 2000-01-20 | Georg F Wagner | Durchflussmessvorrichtung |
| DE19861075C2 (de) * | 1998-03-02 | 2001-11-29 | Schubert & Salzer Control Syst | Durchflussmessvorrichtung |
| EP1243901A4 (en) * | 1999-06-24 | 2006-07-05 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | FLOW METER |
| GB2363455B (en) * | 2000-06-12 | 2002-10-16 | Schlumberger Holdings | Flowmeter |
| GB2447490B (en) | 2007-03-15 | 2009-05-27 | Schlumberger Holdings | Method and apparatus for investigating a gas-liquid mixture |
| CN101802562B (zh) | 2007-09-18 | 2013-06-12 | 普拉德研究及开发股份有限公司 | 多相流测量 |
| GB2454256B (en) | 2007-11-03 | 2011-01-19 | Schlumberger Holdings | Determination of density and flowrate for metering a fluid flow |
| US8694270B2 (en) | 2007-12-05 | 2014-04-08 | Schlumberger Technology Corporation | Ultrasonic clamp-on multiphase flowmeter |
| US8027794B2 (en) | 2008-02-11 | 2011-09-27 | Schlumberger Technology Corporaton | System and method for measuring properties of liquid in multiphase mixtures |
| US7607358B2 (en) | 2008-03-14 | 2009-10-27 | Schlumberger Technology Corporation | Flow rate determination of a gas-liquid fluid mixture |
| CN103765170B (zh) * | 2011-08-30 | 2016-08-17 | 西门子公司 | 超声波测量装置及其操作方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2828937A1 (de) * | 1978-06-30 | 1980-01-10 | Siemens Ag | Vorrichtung zum messen von stroemungsgeschwindigkeiten mit hilfe von ultraschallschwingungen |
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