JPH0785365B2 - Method for producing conductive polymer pattern - Google Patents

Method for producing conductive polymer pattern

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JPH0785365B2
JPH0785365B2 JP6964792A JP6964792A JPH0785365B2 JP H0785365 B2 JPH0785365 B2 JP H0785365B2 JP 6964792 A JP6964792 A JP 6964792A JP 6964792 A JP6964792 A JP 6964792A JP H0785365 B2 JPH0785365 B2 JP H0785365B2
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light
conductive polymer
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polymer
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保志 大西
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、導電性高分子パターン
(濃淡のある導電性高分子画像を含む。以下「パター
ン」には「画像」を含む。)の作製方法に関し、更に詳
しく言えば、簡便な方法で、大面積や複雑な導電性高分
子パターンを種々の基材上に製造する方法に関する。本
発明は、低電流の電気回路、スイッチ、光電素子等の電
子材料、電子基板等に利用される。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a conductive polymer pattern (including a conductive polymer image having a shade, hereinafter "pattern" includes "image"), and more specifically, it is described. The present invention relates to a method for producing a large area or a complex conductive polymer pattern on various substrates by a simple method. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is used for low current electric circuits, switches, electronic materials such as photoelectric devices, electronic substrates and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の金属に代わる導電体として、導電
性高分子が注目されるようになり、種々の導電性高分子
が合成され検討されているが、不溶不融性の為加工性に
問題があり、用途が限られている。これらの導電性高分
子は電解重合法(第1方法)で製造されるのが、一般的
である(特開昭63−231884号公報、特開昭61
−138414号公報等)。
2. Description of the Related Art Conductive polymers have attracted attention as conductors to replace conventional metals, and various conductive polymers have been synthesized and studied. There are problems and limited uses. These conductive polymers are generally produced by an electrolytic polymerization method (first method) (Japanese Patent Laid-Open No. 63-231884 and Japanese Patent Laid-Open No. 61-84884).
No. 138414).

【0003】しかし、所定の基材上にピロール類を気相
重合して導電性膜を製造する方法も知られている。例え
ば、酸化剤が添加された架橋型ポリビニルアルコールを
塗布した後これを光照射にて架橋させ、次いでこの架橋
ポリマー層上にピロールを気相重合する方法(特開昭6
2−188394号公報、第2方法)、ピロール類と電
解質を含む高分子層を光増感剤溶液に浸漬して光照射に
より重合する方法(特開平2−160314号公報、第
3方法)、重合触媒を添加したレジスト材料を基板上に
塗布しこれに光照射して硬化させ、その後非照射部分を
除去した後、モノマーを重合する方法(特開平2−27
3926号公報、第4方法)、ホトリソグラフィーを用
いて所定形状のポリピロール膜を形成する方法(特開平
2−216127号公報、第5方法)、及び重合触媒を
含む高分子化合物を所望パターンに印刷形成しこのパタ
ーン上に導電性膜を形成する方法(特開昭62−334
92号公報、第6方法)等が知られている。尚、その他
の参考的方法としては、特開昭60−257011号公
報、特開昭60−262182号公報等のものがある。
However, there is also known a method of producing a conductive film by vapor-phase polymerizing pyrroles on a predetermined substrate. For example, a method in which a crosslinkable polyvinyl alcohol to which an oxidant is added is applied, crosslinked by irradiation with light, and then pyrrole is vapor-phase polymerized on the crosslinked polymer layer (Japanese Patent Laid-Open No. Sho 6-62).
No. 2-188394, second method), a method in which a polymer layer containing pyrroles and an electrolyte is immersed in a photosensitizer solution and polymerized by light irradiation (JP-A-2-160314, third method), A method of coating a resist material to which a polymerization catalyst is added onto a substrate, irradiating it with light to cure it, then removing the non-irradiated portion, and then polymerizing the monomer (JP-A-2-27).
No. 3926, fourth method), a method of forming a polypyrrole film having a predetermined shape using photolithography (JP-A-2-216127, fifth method), and a polymer compound containing a polymerization catalyst is printed in a desired pattern. Method of forming and forming a conductive film on this pattern (JP-A-62-334)
No. 92, sixth method) and the like are known. Other reference methods include those disclosed in JP-A-60-257011 and JP-A-60-262182.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記第1の電
解重合法では、電極等の基板に使用できるものに限られ
ており、大面積や複雑なパターンの作製も困難である。
また、上記第2〜第5の方法は、いずれも光照射を行う
ものであるが、第2の方法ではポリビニルアルコールの
架橋のために光照射をしているに過ぎない。第3方法で
は、ピロール類の酸化重合触媒(例えばFeCl3 等)
を用いるものではなく、光増感剤を用いてこの作用によ
り光重合させるものである。
However, the above first electrolytic polymerization method is limited to those which can be used for a substrate such as an electrode, and it is difficult to produce a large area or a complicated pattern.
In addition, although the above-mentioned second to fifth methods all perform light irradiation, in the second method, only light irradiation is carried out for crosslinking of polyvinyl alcohol. In the third method, an oxidation polymerization catalyst of pyrroles (eg FeCl 3 etc.)
No. is used, but a photosensitizer is used to photopolymerize by this action.

【0005】第4及び第5の方法では、ホトリソグラフ
ィーを用いて所望パターンを形成させるので、レジスト
の塗布、光照射、未硬化部分の除去、硬化膜の除去等の
一連の工程が必要であり、大変複雑であるとともに、光
照射はレジストの硬化に利用されるに過ぎない。以上の
光照射を用いて結果的に所望パターンの導電性膜を形成
する方法において、光照射により酸化触媒(FeCl3
等)の触媒性能が低減することに着目し又はそれを示唆
するものは1つもない。更に、これらの方法では、一定
の厚みの導電性高分子膜を作ることはできるが、濃淡の
ある画像を形成させることはできない。更に、上記第6
の方法では、印刷によりパターンを作るので、微細で且
つ精度の良いパターンを作ることは困難である。
In the fourth and fifth methods, since a desired pattern is formed by using photolithography, a series of steps such as resist coating, light irradiation, uncured portion removal, and cured film removal are required. In addition to being very complex, light irradiation is only used to cure the resist. In the above method of forming a conductive film having a desired pattern by using light irradiation, the oxidation catalyst (FeCl 3
There is no one paying attention to or suggesting that the catalytic performance of (1) etc. is reduced. Further, although these methods can form a conductive polymer film having a constant thickness, they cannot form a shaded image. Furthermore, the sixth
In the method (1), a pattern is formed by printing, so it is difficult to form a fine and accurate pattern.

【0006】本発明は、上記欠点を克服するものであ
り、任意の導電性パターンを簡便迅速に且つ精度良く作
製できる方法を提供することを目的とする。
The present invention overcomes the above-mentioned drawbacks, and an object of the present invention is to provide a method for producing an arbitrary conductive pattern simply, quickly and accurately.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、導電性高
分子の酸化重合に使用できる酸化剤の中に、光照射によ
り酸化性が低減し若しくは消失し、光照射部分に導電性
高分子モノマーが重合しなくなり又はその照射程度によ
りその酸化性の低減程度が変化する性質を持つ酸化剤が
あることを見出して、本発明を完成するに至ったのであ
る。即ち、本発明の導電性高分子パターンの作製方法
は、モノマーを酸化重合でき且つ光照射により酸化重合
能力が低減若しくは消滅させられる、鉄化合物、銅化合
物、ニッケル化合物、コバルト化合物及びクロム化合物
のうちの少なくとも一種からなる酸化剤を単独に基材表
面に配置させ、又は該酸化剤と他のマトリックスポリマ
ーとからなる酸化剤層を該基材表面に形成させ、該基材
表面に所望の光照射パターンとなるように光照射を行
い、該光照射された部分の酸化重合能力を低減若しくは
消滅させて所望の重合可能な潜在パターンを形成し、そ
の後、該重合可能な潜在パターン部上に上記モノマーを
気相重合させて所望の導電性高分子パターン層を形成す
ることを特徴とする。
The inventors of the present invention have found that among oxidizing agents that can be used for oxidative polymerization of conductive polymers, the oxidizability is reduced or disappears by light irradiation, and high conductivity is achieved in the light irradiated portion. The present inventors have completed the present invention by finding that there is an oxidizer having a property that the molecular monomer does not polymerize or the degree of reduction of its oxidizability changes depending on the degree of irradiation. That is, the method for producing a conductive polymer pattern of the present invention is capable of oxidatively polymerizing a monomer and oxidatively polymerizing by light irradiation.
Iron compounds, copper compounds whose ability is reduced or eliminated
, Nickel compounds, cobalt compounds and chromium compounds
At least an oxidizing agent ing from singly to is disposed on the substrate surface, or an oxidizing agent layer is formed on the substrate surface made of oxidant and other matrix polymers, optionally to the substrate surface of the Light irradiation to form a desired latent pattern that can be polymerized by reducing or eliminating the oxidative polymerization ability of the light-irradiated portion, and then forming a desired latent latent pattern on the polymerizable latent pattern portion. The above-mentioned monomer is vapor-phase polymerized to form a desired conductive polymer pattern layer.

【0008】本発明において使用する「酸化剤」として
は、鉄、銅、ニッケル、コバルト、クロムの金属化合
物が有効であり、特に好ましい化合物として、塩化鉄
(III)、硫酸鉄(III)等の鉄(III)の化合
物、塩化銅(II)、臭化銅(II)等の銅(II)の
化合物等が挙げられる。これらの金属化合物は、単独で
用いてもよいし、2種以上を混合して用いてもよい。
[0008] As "oxidizing agent" as used in the present invention, iron, copper, an effective nickel, cobalt, the metal compound of chromium, a particularly preferred compound, iron chloride (III), iron (III) sulfate, etc. And a compound of copper (II) such as copper (II) chloride and copper (II) bromide. These metal compounds may be used alone or in combination of two or more.

【0009】また、この酸化剤は、単独では水、メタノ
ール等のアルコール類、アセトン等のケトン類、クロロ
ホルム、1,2−ジクロルエタン等のハロゲン化炭化水
素、ベンゼン等炭化水素類等の各種溶媒に溶解させた溶
液として各種基材に塗布等されて使用されることができ
る。更に、この酸化剤及びマトリックスポリマーを溶解
可能な各種溶媒を用いた溶液から、キャスト法、バーコ
ート法等の方法により酸化剤を含む複合膜として使用す
ることもできる。このマトリックスポリマーとの複合化
は、他の一般的な膜作製法、例えばベースポリマーとの
混練押し出し等により作製したフィルム等として使用す
ることもできる。また、酸化剤は、ドーピング剤となる
導電塩を共に施すこともできる。
The oxidizer is used alone in various solvents such as water, alcohols such as methanol, ketones such as acetone, halogenated hydrocarbons such as chloroform and 1,2-dichloroethane, and hydrocarbons such as benzene. It can be used by being applied to various base materials as a dissolved solution. Further, a solution using various solvents capable of dissolving the oxidizing agent and the matrix polymer can be used as a composite film containing the oxidizing agent by a method such as a casting method or a bar coating method. The composite with the matrix polymer can also be used as a film or the like prepared by another general film forming method, for example, kneading and extrusion with a base polymer. Further, the oxidizing agent may be applied together with a conductive salt serving as a doping agent.

【0010】上記「マトリックスポリマー」としては、
上記酸化剤との相溶性のあるポリマーは全て使用でき
る。例えば、特にポリビニルアルコール、ポリビニルブ
チラール、ポリ酢酸ビニル、ポリメタクリル酸メチル、
ポリアクリロニトリル等が良好である。また、ゼラチン
等の天然高分子を用いることもできる。
As the above-mentioned "matrix polymer",
Any polymer compatible with the above oxidizing agents can be used. For example, especially polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, polyvinyl acetate, polymethyl methacrylate,
Polyacrylonitrile and the like are good. In addition, natural polymers such as gelatin can also be used.

【0011】本発明において使用される「モノマー」と
しては、ピロール類、チオフェン類、フラン類等があ
る。尚、このピロール類及びチオフェン類等のポリマー
は黒色となるので、濃淡のある遮蔽マスク(即ちポジ、
ネガ等)を用いると、所望の高分子画像を作成できる。
このピロール類としては非置換ピロール、N−置換ピロ
ール若しくは環置換ピロール等が例示される。尚、この
チオフェン類及びフラン類についても同様に非置換型、
置換型を用いることができる。またこの例示した5員環
化合物の2種以上又は他の共重合性のモノマーと共重合
させることもできる。
The "monomer" used in the present invention includes pyrroles, thiophenes, furans and the like. Since the polymers such as pyrroles and thiophenes are black, a shaded mask (that is, positive,
A negative or the like) can be used to create a desired polymer image.
Examples of the pyrroles include unsubstituted pyrrole, N-substituted pyrrole, ring-substituted pyrrole and the like. It should be noted that the thiophenes and furans are also unsubstituted,
Substitution types can be used. It is also possible to copolymerize with two or more kinds of the exemplified 5-membered ring compounds or other copolymerizable monomers.

【0012】上記「光照射」手段としては、太陽光、可
視光若しくは紫外光等を目的に応じて選択でき、通常、
これらを含む光を発生する装置を使用する。また、所定
の光照射パターンを形成するには、公知の方法、例えば
所定の基材表面に、所定のマスク、ネガ、ポジ等を配置
して光照射する方法とすることができる。尚、上述のよ
うに、濃淡のある遮蔽マスク(即ちポジ、ネガ等)を用
いると、所望の高分子画像を作製できることとなる。そ
して、上記「重合可能な潜在パターン」とは、酸化重合
能力を有する酸化剤を含む部分又は層からなるパターン
を意味し、即ちその重合程度の差は問わないパターンを
意味する。例えば、この潜在パターンには、光照射が全
く遮られて重合能力が大きい部分、やや遮られて重合能
力は低減しているものの依然として重合しうる部分をも
含む。そして、この重合可能な潜在パターン部の上にモ
ノマーの蒸気が接触させられて、気相重合される。この
気相重合により得られる導電性高分子は、金属塩(酸化
剤)含有量、照射光の種類、光照射波長、光照射強度
(即ち酸化重合能力の強弱)、光照射時間、マトリック
スポリマーの種類等の選択により膜厚、電導度、濃淡等
を自由に変化させることができる。
As the above-mentioned "light irradiation" means, sunlight, visible light, ultraviolet light or the like can be selected according to the purpose.
A device for generating light including these is used. Further, in order to form a predetermined light irradiation pattern, a known method, for example, a method of irradiating light with a predetermined mask, negative, positive or the like arranged on the surface of a predetermined substrate can be used. Incidentally, as described above, if a shaded mask (that is, positive, negative, etc.) is used, a desired polymer image can be produced. The "polymerizable latent pattern" means a pattern composed of a portion or layer containing an oxidizing agent having an oxidative polymerization ability, that is, a pattern in which the difference in the degree of polymerization does not matter. For example, the latent pattern also includes a portion where light irradiation is completely blocked and the polymerization ability is large, and a portion where the light irradiation is slightly blocked and the polymerization ability is reduced but still can be polymerized. Then, the vapor of the monomer is brought into contact with the latent pattern portion capable of being polymerized, and vapor phase polymerization is carried out. The conductive polymer obtained by this gas phase polymerization includes metal salt (oxidizing agent) content, irradiation light type, light irradiation wavelength, light irradiation intensity (that is, strength of oxidative polymerization ability), light irradiation time, matrix polymer It is possible to freely change the film thickness, the electric conductivity, the shading, etc. by selecting the kind and the like.

【0013】また、マスク部にも導電性を持たせ、光照
射部とマスク部の導電性の差を持ったパターンとするこ
ともできる。更に、厚膜を使用して膜の表と裏で異なる
導電性を持つ素材とすることもできる。また、マスクの
濃淡によって導電性に傾斜を付けたり、複数の導電率の
ものを同時に作製することもできる。更に、塗布又はそ
の他一般的な薄膜形成法等により基材表面に酸化剤を付
与することが容易なので、本発明に用いられる「基材」
としてはあらゆる固体材料(シートのみならず、板、
布、不織布、紙等)を用いることができ、その材質も特
に問わない。
It is also possible to make the mask portion conductive so that the pattern has a difference in conductivity between the light irradiation portion and the mask portion. Furthermore, a thick film can be used to make a material having different conductivity on the front and back of the film. Further, the conductivity may be inclined depending on the shade of the mask, or a plurality of materials having different conductivity may be manufactured at the same time. Furthermore, since it is easy to apply an oxidizing agent to the surface of the base material by coating or other general thin film forming method, etc., the "base material" used in the present invention
As for all solid materials (not only sheets, plates,
(Cloth, non-woven fabric, paper, etc.) can be used, and the material thereof is not particularly limited.

【0014】[0014]

【作用】本発明において使用される酸化剤は、光照射に
より酸化重合能力が低減若しくは消滅させられる。従っ
て、この酸化剤を含む層等に、マスクを通して、紫外光
等の光を所望パターンになるように照射し、これに導電
性高分子のモノマー蒸気を接触させると、光照射部分は
ポリマーが生成しない(又はほとんど生成しない)が、
非光照射部分に導電性ポリマーが生成するので、所望の
導電性パターン又は電導度の異なったパターンが得られ
る。
The oxidant used in the present invention has a reduced or eliminated oxidative polymerization ability upon irradiation with light. Therefore, when a layer such as this oxidant is irradiated with light such as ultraviolet light through a mask in a desired pattern, and a conductive polymer monomer vapor is brought into contact with it, a polymer is generated in the light-irradiated portion. Not (or almost never),
Since the conductive polymer is generated in the non-light-irradiated portion, a desired conductive pattern or a pattern having different conductivity can be obtained.

【0015】また、酸化剤層等に、濃淡のある遮蔽マス
ク(ネガ、ポジ等)を用いて所望の光照射画像パターン
になるように光照射を行うと、光照射部分の酸化重合能
力が該濃淡に応じて低減されるので、この程度に応じ
て、モノマーの気相重合度を変えることができる。そし
て、このポリマーは黒色系を有するので、酸化重合能力
が大きい部分はより濃色に、酸化重合能力が小さい部分
はより淡色に、酸化重合能力がない部分は白色になるの
で、所望の導電性高分子画像を形成することができる。
When the oxidant layer or the like is irradiated with light so as to obtain a desired light irradiation image pattern by using a shaded mask (negative, positive, etc.), the oxidative polymerization ability of the light irradiated portion is reduced. Since it is reduced depending on the light and shade, the degree of gas phase polymerization of the monomer can be changed according to this degree. Since this polymer has a black color, a portion having a large oxidative polymerization ability becomes darker, a portion having a small oxidative polymerization ability becomes a lighter color, and a portion having no oxidative polymerization ability becomes white. Polymer images can be formed.

【0016】本発明を用いれば、酸化剤の濃度、光照射
時間、ネガ等の濃淡によってモノマーの重合度を、自由
に且つ極めて容易に調節することができ、導電率に変化
を持たせることができる。また大面積や曲面、凹凸部等
でのパターンも容易に形成でき、解像度も良いので数μ
mのパターンでも作製可能である。また、レジストの場
合のように不溶部分を除去する必要がなく、簡便な操作
で行える。
According to the present invention, the degree of polymerization of the monomer can be freely and extremely easily adjusted by changing the concentration of the oxidant, the light irradiation time, the density of the negative, and the conductivity can be changed. it can. In addition, it is easy to form patterns on large areas, curved surfaces, uneven parts, etc.
It is also possible to fabricate a pattern of m. Further, it is not necessary to remove the insoluble portion as in the case of the resist, and the operation can be performed easily.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、任意の
導電性高分子パターンを簡便迅速に且つ精度良く作製す
ることができる。また、酸化剤の単独溶液又はマトリッ
クスポリマーとの混合溶液の塗布等により酸化剤の付与
を行うので、使用できる基材の適用範囲は極めて広い。
更に、本発明によれば、光照射が可能な面であれば全て
適用でき、例えば、基材形状が球状でも、種々の凹凸や
曲面をもっていても、また容器等の内側等であっても、
更にシート状、板状等のみならず繊維状(織物、不織
布、濾紙等)のものであっても、極めて容易に導電性高
分子パターンを形成できる。更に、上記高分子画像を形
成する方法では、モノマーの重合度で濃淡を容易に表現
できるので、銀塩を用いない白黒写真の作製法として有
用である。
As described above, according to the present invention, it is possible to easily and quickly produce an arbitrary conductive polymer pattern with high accuracy. Moreover, since the oxidizing agent is applied by applying a single solution of the oxidizing agent or a mixed solution with the matrix polymer, the applicable range of the usable substrate is extremely wide.
Furthermore, according to the present invention, all surfaces that can be irradiated with light can be applied, for example, even if the base material has a spherical shape, has various irregularities and curved surfaces, or even inside a container or the like,
Furthermore, the conductive polymer pattern can be formed extremely easily not only in the form of sheet, plate, etc. but also in the form of fiber (woven fabric, nonwoven fabric, filter paper, etc.). Further, in the above method of forming a polymer image, since the density of the monomer can be easily expressed by the degree of polymerization of the monomer, it is useful as a method for producing a black and white photograph without using silver salt.

【0018】[0018]

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。 実施例1 ポリビニルアルコール(重合度500)5部を水50部
に溶解し、この溶液に塩化鉄(III)1を、ポリビニ
ルアルコールに対して重量比で30%となるように加え
て完全に溶解する。この溶液を、図1に示すようにポリ
エステルフィルム3の表面にキャスト法によって、適当
な厚さの薄膜2を作製する。この薄膜2に、マスク4を
重ね1mの距離から2KWジェットライトで10分間光
照射した。光照射後のこのポリエステルフィルムを、ピ
ロールモノマーを下部に入れた密閉容器中に入れ、20
℃で1時間、気相重合させて、図2に示すように、非光
照射部分22の上に導電性ポリピロールパターン層5を
形成させた。尚、光照射部分21上には、ポリピロール
層は形成されていない。テスターで計った表面抵抗は、
光照射部分21が絶縁性なのに対し、マスクによる非光
照射部分22は1KΩであった。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples. Example 1 5 parts of polyvinyl alcohol (polymerization degree: 500) was dissolved in 50 parts of water, and iron (III) chloride 1 was added to this solution so that the weight ratio to polyvinyl alcohol was 30%, and completely dissolved. To do. As shown in FIG. 1, this solution is cast on the surface of a polyester film 3 to form a thin film 2 having an appropriate thickness. The thin film 2 was covered with a mask 4 and irradiated with a 2 KW jet light for 10 minutes from a distance of 1 m. The polyester film after light irradiation was placed in a closed container containing a pyrrole monomer at the bottom,
The conductive polypyrrole pattern layer 5 was formed on the non-irradiated portion 22 by vapor-phase polymerization at 1 ° C. for 1 hour. The polypyrrole layer is not formed on the light irradiation portion 21. The surface resistance measured by a tester is
The light-irradiated portion 21 was insulative, while the non-light-irradiated portion 22 by the mask had a resistance of 1 KΩ.

【0019】実施例2 ポリ酢酸ビニル5部を酢酸エチル50部に溶解し、この
溶液に塩化鉄(III)を、実施例1と同様に重量比で
30%となるように加えて、完全に溶解する。この溶液
をテフロンシャーレ中にキャスト法によって適当な厚さ
の薄膜を作製する。この薄膜に、マスクを重ね、2cm
の間隔で100ワット高圧水銀灯を用いて5分間光照射
した。光照射後、ピロールモノマーを下部に入れた密閉
容器中で、20℃で2時間、気相重合させた。光照射部
分は絶縁性を示し、マスクによる非光照射部分は250
KΩのパターンが得られた。
Example 2 Polyvinyl acetate (5 parts) was dissolved in ethyl acetate (50 parts), and iron (III) chloride was added to this solution so that the weight ratio was 30% as in the case of Example 1, and the mixture was thoroughly added. Dissolve. This solution is cast in a Teflon dish to form a thin film having an appropriate thickness. A mask is placed on this thin film and 2 cm
Light was irradiated for 5 minutes using a 100 watt high-pressure mercury lamp at intervals. After the light irradiation, gas phase polymerization was carried out at 20 ° C. for 2 hours in a closed container having a pyrrole monomer in the lower part. The light-irradiated portion is insulating, and the non-light-irradiated portion by the mask is 250
A KΩ pattern was obtained.

【0020】実施例3 ポリビニルアルコール(重合度500)5部を水50部
に溶解し、この溶液に臭化銅(II)を、実施例1と同
様に重量比で30%となるように加えて、完全に溶解す
る。この溶液を、ポリエステルフィルム上にバーコート
法によって塗り付け、乾燥し適当な厚さの薄膜を作製す
る。この薄膜に、マスクを重ね100ワット高圧水銀灯
で5分間光照射した。光照射後、ピロールモノマーを下
部に入れた密閉容器中で20℃で1時間気相重合させ
た。光照射部分は1MΩを示し、マスクによる非光照射
部分は4.4KΩのパターンが得られた。
Example 3 Polyvinyl alcohol (polymerization degree: 500) (5 parts) was dissolved in water (50 parts), and copper (II) bromide was added to the solution in the same manner as in Example 1 so that the weight ratio was 30%. Completely dissolve. This solution is applied on a polyester film by a bar coating method and dried to form a thin film having an appropriate thickness. The thin film was covered with a mask and irradiated with light from a 100 watt high pressure mercury lamp for 5 minutes. After irradiation with light, gas phase polymerization was carried out at 20 ° C. for 1 hour in a closed container containing a pyrrole monomer at the bottom. The light-irradiated portion showed 1 MΩ, and the non-light-irradiated portion by the mask had a pattern of 4.4 KΩ.

【0021】実施例4 実施例1で用いたマスクの代わりに、濃淡のあるポジを
用いて光照射を行うと、濃淡のある白黒の写真画像が得
られた。
Example 4 In place of the mask used in Example 1, light irradiation was performed using a positive and negative image, and a black and white photographic image with a different image was obtained.

【0022】実施例5 塩化鉄(III)の10%メタノール溶液を濾紙(N
o.2)に含浸し、室温で乾燥する。この濾紙に、実施
例1と同様の条件で光照射し、その後ピロールモノマー
を20℃で5分間、気相重合させた。光照射部分は2.
4MΩを示し、マスクによる非光照射部分は830Ωの
パターンが得られた。尚、本発明においては、前記具体
的実施例に示すものに限られず、目的、用途に応じて本
発明の範囲内で種々変更した実施例とすることができ
る。
Example 5 A 10% solution of iron (III) chloride in methanol was passed through a filter paper (N
o. 2) is impregnated and dried at room temperature. The filter paper was irradiated with light under the same conditions as in Example 1, and then the pyrrole monomer was vapor-phase polymerized at 20 ° C. for 5 minutes. The light irradiation part is 2.
4 MΩ was shown, and a pattern of 830Ω was obtained in the non-light-irradiated portion by the mask. The present invention is not limited to the specific examples described above, and various modifications may be made within the scope of the present invention depending on the purpose and application.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施例1においてマスクを用いて光照射をする
一部説明断面図である。
FIG. 1 is a partial explanatory cross-sectional view of performing light irradiation using a mask in Example 1.

【図2】実施例1においてピロールを重合させた後の状
態を示す説明断面図である。
FIG. 2 is an explanatory cross-sectional view showing a state after polymerizing pyrrole in Example 1.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1;酸化剤、2;薄膜、21;光照射部分、22;非光
照射部分、3;ポリエステルフィルム、4;マスク、
5;導電性ポリピロールパターン層。
1; oxidizer, 2; thin film, 21; light irradiation part, 22; non-light irradiation part, 3; polyester film, 4; mask,
5: Conductive polypyrrole pattern layer.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 モノマーを酸化重合でき且つ光照射によ
り酸化重合能力が低減若しくは消滅させられる、鉄化合
物、銅化合物、ニッケル化合物、コバルト化合物及びク
ロム化合物のうちの少なくとも一種からなる酸化剤を単
独に基材表面に配置させ、又は該酸化剤と他のマトリッ
クスポリマーとからなる酸化剤層を該基材表面に形成さ
せ、該基材表面に所望の光照射パターンとなるように光
照射を行い、該光照射された部分の酸化重合能力を低減
若しくは消滅させて所望の重合可能な潜在パターンを形
成し、その後、該重合可能な潜在パターン部上に上記モ
ノマーを気相重合させて所望の導電性高分子パターン層
を形成することを特徴とする導電性高分子パターンの作
製方法。
1. A monomer capable of being oxidatively polymerized and exposed to light.
Iron compound that reduces or eliminates the ability of oxidative polymerization
Materials, copper compounds, nickel compounds, cobalt compounds and
Alone it is disposed on the substrate surface Ru oxidant name from at least one of chromium compound, or oxidizing agent layer is formed on the substrate surface made of oxidant and other matrix polymer, the substrate surface To a desired light irradiation pattern to reduce or eliminate the oxidative polymerization ability of the light-irradiated portion to form a desired polymerizable latent pattern, and then the polymerizable latent pattern. A method for producing a conductive polymer pattern, comprising forming a desired conductive polymer pattern layer by vapor-phase polymerizing the above-mentioned monomer on a part.
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