JPH0778913B2 - Magneto-optical disk - Google Patents

Magneto-optical disk

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JPH0778913B2
JPH0778913B2 JP60132147A JP13214785A JPH0778913B2 JP H0778913 B2 JPH0778913 B2 JP H0778913B2 JP 60132147 A JP60132147 A JP 60132147A JP 13214785 A JP13214785 A JP 13214785A JP H0778913 B2 JPH0778913 B2 JP H0778913B2
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JP
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magneto
optical disk
inorganic glass
thin film
weight
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永芳 塚根
優 佐藤
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Daicel Corp
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Daicel Chemical Industries Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はレーザー光を用いて記録層の記録・再生を行う
高密度情報記録担体に関するものであり、特にプラスチ
ック基板を用いた光ディスク、特に光磁気ディスクに関
するものである。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a high-density information recording carrier for recording / reproducing a recording layer by using a laser beam, and particularly to an optical disc using a plastic substrate, particularly an optical disc. It relates to a magnetic disk.

(従来技術) 光ディスクにおいて、現在技術的に最も重要な点は、プ
ラスチック基板を用いた場合の耐久性、すなわち信頼性
の向上をいかにして上げるかということである。すなわ
ち、ガラス基板に比較して種々の利点を有するプラスチ
ック基板上に形成した記録層はプラスチック基板中に残
留する水分やモノマー、あるいはプラスチック基板を通
して侵入する水分等によって劣化を受け、あるいは変質
してしまうという欠点があった。
(Prior Art) In an optical disc, the most technically important point at present is how to improve durability, that is, reliability when a plastic substrate is used. That is, the recording layer formed on the plastic substrate, which has various advantages as compared with the glass substrate, is deteriorated or deteriorated by the moisture and the monomer remaining in the plastic substrate or the moisture penetrating through the plastic substrate. There was a drawback.

本発明者は、昭和59年2月22日提出の「光学式情報記録
担体」と題する特願昭59-32230号に於いて上記欠点を解
決する方法としてプラスチック基板と記録層との間に無
アルカリガラスの薄膜を設けることを提案した。この方
法は光ディスクの耐久性を驚異的にのばし、完全に満足
のいくものであるが、本発明者に上記発明をさらに発展
させ、耐久性をさらに向上させる実験を行い、耐久性を
維持したまま成膜速度を増加させる方法を見い出して本
発明を完成した。
The inventors of the present invention disclosed in Japanese Patent Application No. 59-32230, entitled "Optical Information Recording Carrier", filed on February 22, 1984, as a method for solving the above-mentioned drawbacks. It was proposed to provide a thin film of alkali glass. Although this method extends the durability of the optical disk astonishingly and is completely satisfactory, the present inventors conducted an experiment to further develop the above invention and further improve the durability, and maintained the durability. The present invention has been completed by finding a method for increasing the film formation rate.

(発明の目的) 本発明の目的は上述した従来の問題を解決するために、
プラスチック基板をガラス様とし、平滑性、硬度、吸湿
変形性、耐湿性を改良して基板に基づく機能膜の劣化を
防止すると同時に製膜速度が向上した長期的に安定な光
学式情報記録担体を提供することにある。
(Object of the Invention) An object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems.
The plastic substrate is made of glass and improved in smoothness, hardness, moisture absorption deformation and moisture resistance to prevent deterioration of the functional film based on the substrate, and at the same time, a long-term stable optical information recording carrier with improved film formation speed is provided. To provide.

本発明の他の目的は上記機能膜として希土類−遷移金属
アモルファス合金を用いた光磁気記録担体において光磁
気特性が大巾に向上した光学式情報記録担体を提供する
ことにある。
Another object of the present invention is to provide an optical information recording carrier which has a greatly improved magneto-optical characteristic in a magneto-optical recording carrier using a rare earth-transition metal amorphous alloy as the functional film.

(発明の構成) 本発明は、透明プラスチック基板上に無機ガラス薄膜を
介して高密度情報記録層が形成されている高密度情報記
録担体において、上記無機ガラス薄膜がアルカリ土類金
属酸化物換算で20重量%〜35重量%の範囲で含む無機ガ
ラスで構成されていることを特徴とする高密度情報記録
担体にある。
(Structure of the Invention) The present invention provides a high-density information recording carrier in which a high-density information recording layer is formed on a transparent plastic substrate via an inorganic glass thin film, wherein the inorganic glass thin film is equivalent to an alkaline earth metal oxide. A high-density information recording carrier, characterized in that it is composed of an inorganic glass contained in a range of 20% by weight to 35% by weight.

上記アルカリ土類金属酸化物とは、BaO,CaO,MgO,SrO,Be
Oで構成される群の中から選ばれる少なくとも一つ以上
の化合物であり、特に、CaO,BaOを主とするのが好まし
く、特にBaOが好ましい。
The above alkaline earth metal oxides are BaO, CaO, MgO, SrO, Be.
It is at least one compound selected from the group consisting of O, in particular, CaO and BaO are preferable as main components, and BaO is particularly preferable.

上記無機ガラスを構成する他の成分は上記アルカリ土類
金属と一緒に用いられてガラスとなる材料であればよい
が、通常はケイ素、アルミニウム、ホウ素、鉛の酸化
物、SiO2、Al23、B23、PbO等である。
The other component constituting the above-mentioned inorganic glass may be a material which becomes a glass when used together with the above-mentioned alkaline earth metal, but is usually silicon, aluminum, boron, an oxide of lead, SiO 2 , Al 2 O. 3 , B 2 O 3 , PbO and the like.

アルカリ土類金属酸化物の量が20重量%未満では溶融温
度が高くなり、ガラス化しにくく、スパッター速度も低
下する。逆にこの量が35重量%を超えると耐水性、耐酸
化性が低下する。
If the amount of the alkaline earth metal oxide is less than 20% by weight, the melting temperature becomes high, it is difficult to vitrify, and the sputtering rate also decreases. On the other hand, if this amount exceeds 35% by weight, the water resistance and the oxidation resistance decrease.

その結果、これより作成した無機ガラス薄膜の耐湿性が
低下し、ディスクとしての特性が低下する。すなわち、
本発明によりアルカリ土類金属の量を上記の範囲にする
ことによってディスクの耐久性を向上させると同時に製
膜速度を増加させることができる。アルカリ土類金属の
量を上記範囲にすることにより耐久性が向上する理由は
不明であるが、スパッタリングレートが向上することか
ら無機ガラス層の形成に何らかの関係があるものと思わ
れる。
As a result, the moisture resistance of the inorganic glass thin film produced from this is lowered, and the characteristics as a disk are lowered. That is,
According to the present invention, by setting the amount of alkaline earth metal within the above range, the durability of the disk can be improved and at the same time the film forming rate can be increased. Although the reason why the durability is improved by setting the amount of the alkaline earth metal in the above range is unknown, it is considered that there is some relation to the formation of the inorganic glass layer because the sputtering rate is improved.

本発明の他の特徴は上記無機ガラスがさらにアルカリ金
属をアルカリ金属酸化物換算で1重量%以下、好ましく
は0.8重量%以下しか含まない点にある。すなわち、ア
ルカリ土類金属の量を前記の範囲にすることによりディ
スクの耐久性、防湿性を向上させることができるが、こ
れら特性をさらに向上させるためには、さらに上記無機
ガラス中のアルカリ金属の量をアルカリ金属酸化物換算
で1重量%以下、さらに好ましくは0.8重量%以下にす
るのが好ましい。
Another feature of the present invention is that the above-mentioned inorganic glass further contains an alkali metal in an amount of 1% by weight or less, preferably 0.8% by weight or less in terms of alkali metal oxide. That is, the durability and moisture resistance of the disk can be improved by setting the amount of the alkaline earth metal in the above range, but in order to further improve these characteristics, the alkali metal content in the inorganic glass is further increased. The amount is preferably 1% by weight or less, more preferably 0.8% by weight or less in terms of alkali metal oxide.

アルカリ金属の量がアルカリ金属酸化物換算で1重量%
を超えると、記録層に亀裂が生じ、記録が破壊される。
この理由は明らかではないが、アルカリ金属がプラスチ
ック基板を通って来る水分やモノマーあるいは外気中の
水分と反応して記録層を劣化するのではないかと考えら
れる。このアルカリ金属の量はアルカリ金属酸化物換算
で0.8重量%以下であることがさらに好ましく、ガラス
として性質を損わない限り、少ない方が好ましい。しか
し、工業的にはアルカリ金属をゼロにするのは困難であ
り、1重量%以下であれば実用上問題はない。
The amount of alkali metal is 1% by weight in terms of alkali metal oxide.
When it exceeds, the recording layer is cracked and the recording is destroyed.
Although the reason for this is not clear, it is considered that the alkali metal may deteriorate the recording layer by reacting with moisture or monomers coming through the plastic substrate or moisture in the outside air. The amount of this alkali metal is more preferably 0.8% by weight or less in terms of alkali metal oxide, and is preferably as small as possible unless the properties of the glass are impaired. However, it is industrially difficult to reduce the alkali metal to zero, and if it is 1% by weight or less, there is no practical problem.

なお、本発明の無アルカリガラスにはSiO2のみから成
る、いわゆるケイ酸ガラスは含まれない。すなわち、耐
湿用保護層として従来からSiO2を単独で蒸着することは
周知であるが、このケイ酸ガラス薄膜では耐湿性はほと
んど無い。
The alkali-free glass of the present invention does not include so-called silicate glass consisting of SiO 2 . That is, it is well known that SiO 2 is vapor-deposited alone as a moisture-resistant protective layer, but this silicate glass thin film has almost no moisture resistance.

本発明の無アルカリガラス薄膜の厚さは100〜2,000Åが
好ましく、100Å未満では保護の役目が不足し、2,000Å
を超えるとレーザーの吸収等の問題が生じ、また経済的
でもない。
The thickness of the alkali-free glass thin film of the present invention is preferably 100 to 2,000 Å, and if it is less than 100 Å, the role of protection is insufficient and 2,000 Å
If it exceeds, problems such as laser absorption will occur, and it is not economical.

本発明は高密度情報記録層としては、例えば、TbFeCoの
ような希土類−遷移金属のアモルファス合金よりなる光
磁気記録材を用いた光ディスクに適用するのが特に好ま
しいが、プラスチック中のモノマーや水分および/また
は外部からの水分等によって劣化を受ける記録材を用い
た他の高密度記録担体全てに適用可能であることは明ら
かである。
The present invention is particularly preferably applied to a high-density information recording layer, for example, an optical disk using a magneto-optical recording material made of a rare earth-transition metal amorphous alloy such as TbFeCo. It is obviously applicable to all other high-density record carriers using a recording material that is deteriorated by external moisture and the like.

なお、本発明の無アルカリガラス薄膜の保護層を記録層
の外側、すなわち基板と反対側にも形成して記録層を外
気から遮断することもできるのは当然である。
Of course, the protective layer of the alkali-free glass thin film of the present invention can be formed outside the recording layer, that is, on the side opposite to the substrate to shield the recording layer from the outside air.

本発明の無アルカリガラス薄膜は任意の物理蒸着法、例
えばスパッタリング、蒸着、イオンプレーティングによ
り容易に形成することができる。理論的にはアルカリ土
類金属および/またはアルカリ金属の量が前記定義内に
入るような任意の方法、例えば無機ガラスを構成する2
以上の蒸着源から各成分を同時に蒸着させてプラスチッ
ク基板上で上記無機ガラス層を形成させてもよいが、工
業的には前記組成を有する無アルカリガラスの蒸着源を
用意し、それを物理蒸着させればよい。
The alkali-free glass thin film of the present invention can be easily formed by any physical vapor deposition method such as sputtering, vapor deposition, or ion plating. Theoretically, any method in which the amount of alkaline earth metal and / or alkali metal falls within the above definition, for example forming an inorganic glass.
The above-mentioned inorganic glass layer may be formed on a plastic substrate by simultaneously vapor-depositing each component from the above vapor deposition sources, but industrially, a vapor-deposition source of alkali-free glass having the above-mentioned composition is prepared, and it is subjected to physical vapor deposition. You can do it.

以下、実施例を用いて本発明を説明する。Hereinafter, the present invention will be described using examples.

(実施例) プラスチック基板として厚さが1.2mmのアクリル基板(P
MMA)とポリカーボネート基板(PC)とを用意した。こ
れらの基板上にスパッタリング装置(日本真空従来の技
術(株)製RFマグネトロンスパッタリング装置)を用い
て表1に示す各組成の無機ガラスをスパッタリングで膜
厚500Åの薄膜に形成した後、その上にGd0.12、Tb0.1
2、Fe0.76の記録層を上記スパッタリング装置を用いて
薄膜1000Åに形成し、さらにその上に上記と同じ方法で
同じ各無機ガラスをスパッタリングして膜厚1,000Åの
薄膜層を形成した。
(Example) As a plastic substrate, a 1.2 mm thick acrylic substrate (P
An MMA) and a polycarbonate substrate (PC) were prepared. On each of these substrates, an inorganic glass of each composition shown in Table 1 was formed into a thin film with a film thickness of 500Å by using a sputtering device (RF magnetron sputtering device manufactured by Nippon Vacuum Conventional Technology Co., Ltd.), and then formed on the substrate. Gd0.12, Tb0.1
2. A recording layer of Fe0.76 was formed into a thin film 1000 Å by using the above-mentioned sputtering device, and the same inorganic glass was sputtered thereon to form a thin film layer with a film thickness of 1,000 Å.

得られた光磁気ディスクの評価は各ディスクを45℃、90
RH%に30日間維持した後のC/N変化率、BER(初期値を1
とする)および製膜速度としてスパッタリング速度で行
い、表1に示した。
The evaluation of the obtained magneto-optical disc was performed at 45 ° C and 90 ° C for each disc.
C / N change rate after maintaining at RH% for 30 days, BER (initial value is 1
And the sputtering rate as the film formation rate, and the results are shown in Table 1.

表1からわかるように本発明によるアルカリ土類金属お
よび/またはアルカリ金属の組成比を限定した無アルカ
リガラスを用いた場合に耐久性および生産性に優れた光
ディスクが得られる。
As can be seen from Table 1, when the alkali-free glass according to the present invention in which the composition ratio of the alkaline earth metal and / or the alkali metal is limited, an optical disk excellent in durability and productivity can be obtained.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】透明プラスチック基板と、この透明プラス
チック基板上に無機ガラスの薄膜層を介して形成された
光磁気情報記録層とによって構成される光磁気ディスク
において、 無機ガラスの薄膜層がBaOまたはCaOを酸化物換算で20〜
35重量%の範囲で含む無機ガラスで構成されていること
を特徴とする光磁気ディスク。
1. A magneto-optical disk comprising a transparent plastic substrate and a magneto-optical information recording layer formed on the transparent plastic substrate via an inorganic glass thin film layer, wherein the inorganic glass thin film layer is BaO or 20-calculated as CaO
A magneto-optical disk characterized by being composed of an inorganic glass containing in the range of 35% by weight.
【請求項2】無機ガラスがアルカリ金属をアルカリ金属
酸化物換算で1重量%以下しか含まない特許請求の範囲
第1項に記載の光磁気ディスク。
2. The magneto-optical disk according to claim 1, wherein the inorganic glass contains an alkali metal in an amount of 1% by weight or less in terms of alkali metal oxide.
【請求項3】光磁気記録層が稀土類−遷移金属アモルフ
ァス膜である特許請求の範囲第1または2項に記載の光
磁気ディスク。
3. The magneto-optical disk according to claim 1, wherein the magneto-optical recording layer is a rare earth-transition metal amorphous film.
JP60132147A 1985-06-18 1985-06-18 Magneto-optical disk Expired - Lifetime JPH0778913B2 (en)

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DE8686108255T DE3686530T2 (en) 1985-06-18 1986-06-18 RECORD CARRIER, PROVIDED WITH HIGH-DENSITY INFORMATION.
EP86108255A EP0210405B1 (en) 1985-06-18 1986-06-18 High-density information recording carrier
US07/259,495 US4943957A (en) 1985-06-18 1988-10-17 High-density information recording carrier

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JPS61289559A JPS61289559A (en) 1986-12-19
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2918889B2 (en) * 1988-07-22 1999-07-12 ティーディーケイ株式会社 Magneto-optical recording medium and magneto-optical recording method
JPH0233745A (en) * 1988-07-22 1990-02-02 Tdk Corp Magneto-optical recording medium and magneto-optical recording method

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JPS60132148A (en) * 1983-12-21 1985-07-15 Matsushita Seiko Co Ltd Dynamic vibration absorber

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