JPH0771459A - Dust generation preventive method of movable part in various apparatuses for clean room and dust generation preventive device therefor - Google Patents
Dust generation preventive method of movable part in various apparatuses for clean room and dust generation preventive device thereforInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム内にお
いて使用される各種の機器における軸受、クリーンルー
ムに設置したドアの蝶番その他の各可動部位における発
塵を防止し、クリーンルーム内を清浄に維持できるよう
にしたクリーンルーム用各種機器における可動部の発塵
防止方法及びその発塵防止装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention prevents the generation of dust on bearings in various equipment used in a clean room, hinges of doors installed in the clean room, and other movable parts to keep the clean room clean. The present invention relates to a dust-prevention method and a dust-prevention device for a movable part of various equipment for a clean room.
【０００２】[0002]
【従来の技術】医薬品、半導体装置、精密機器等の製造
に際しては、空気中の微細な塵埃といえども製品の歩留
まり等に大きく影響するから、これらの製造では、空気
中の塵埃を一定限度にまで制御規制するものとしたクリ
ーンルーム内で行なわれている。このクリーンルーム内
では、使用する機器、器具が高度に清浄化されているこ
とはもとより、これらの各種の機器は、これらから発生
する塵埃が周囲に飛散しないように可能な限り覆われて
いる。2. Description of the Related Art In the manufacture of pharmaceuticals, semiconductor devices, precision instruments, etc., even minute dust in the air has a great influence on the yield of products. It is carried out in a clean room that is subject to control restrictions. In this clean room, not only the equipments and instruments used are highly cleaned, but also these various equipments are covered as much as possible so that dust generated from them does not scatter to the surroundings.
【０００３】ただ、クリーンルーム内で使用される各種
の機器、クリーンルームに設置された出入口建具の蝶番
その他は、作動部、作業工具その他に回転、スライド等
の各種の動作をさせるための軸受、スライド部材その他
の可動部を備えているから、その可動部における摩擦等
によってそれらが擦過することに伴なう細かい金属粒子
その他が発生する。この金属粒子等がクリーンルーム内
で浮遊することは、クリーンルーム内で行なわれる各種
作業の遂行に極めて重大な影響を与えるから、これを確
実に抑制し、その発生を防止する必要がある。However, various equipment used in a clean room, hinges of doorway fittings installed in the clean room, etc., bearings and slide members for operating, operating tools, etc., to perform various operations such as rotation and slide. Since other movable parts are provided, fine metal particles and the like are generated due to friction between the movable parts and the like. The floating of the metal particles and the like in the clean room has a very serious influence on the performance of various operations performed in the clean room. Therefore, it is necessary to reliably suppress them and prevent their occurrence.
【０００４】このため、従来、採用されていた防止方法
の一つは、各種機器における可動部、更には機器全体を
覆うことで、機器から発生した金属粒子等の塵埃を周囲
に飛散させないようにしていたものである。Therefore, one of the preventive methods that has been conventionally adopted is to cover the movable parts of various devices and further the entire device so that dust such as metal particles generated from the device is not scattered around. It was what was there.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところが、こうした被
覆方式の防塵手段は、可動部が繰り返し作動することで
被覆材等に曲り癖、折り癖等が形成されると、その部分
が他の部分に比較して次第に脆弱になる結果、破断し、
防塵作用が全く機能しなくなる場合があった。そればか
りでなく、機器の使用態様によっては可動部を完全に覆
うことが困難なことも多く、防塵手段として極めて不完
全なものであった。However, in such a dust-prevention means of the coating method, when the movable member is repeatedly actuated to form a bending habit or a folding habit, that part is formed on another part. As a result, it becomes fragile and breaks,
In some cases, the dustproof function did not work at all. Not only that, it is often difficult to completely cover the movable part depending on the usage mode of the device, and it is extremely incomplete as a dustproof means.
【０００６】そこで、本発明は、叙上のような従来存し
た諸事情に鑑み創出されたもので、各種機器における可
動部からの塵埃の発生自体を阻止するものとして従来方
法の欠点を解消するのであり、特に、可動部における円
滑な作動を確保しながらも、可動部に生じる摩擦に起因
する金属粒子その他の発生を未然に防止し、しかも、メ
インテナンスも容易であるクリーンルーム用各種機器に
おける可動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置を提
供することを目的とする。Therefore, the present invention was created in view of the above existing circumstances, and solves the drawbacks of the conventional method by preventing the generation of dust itself from the moving parts of various devices. Therefore, in particular, while ensuring a smooth operation in the movable part, the generation of metal particles and the like due to the friction generated in the movable part is prevented, and the maintenance is easy. An object of the present invention is to provide a method for preventing dust generation and a device for preventing dust generation.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ため、本発明に係るクリーンルーム用各種機器における
可動部の発塵防止方法にあっては、クリーンルームで使
用される各種機器における可動部の当接部位において、
当接部位の一方の部材５に使用した自己潤滑型の素材に
対し、他方の部材３を当接させることを特徴とし、更に
は、この他方の部材３表面にはセラミックスコーティン
グ製の被装膜６を形成したことを特徴とする。In order to achieve the above-mentioned object, in a method for preventing dust generation of a movable part in various equipment for a clean room according to the present invention, the method of preventing the dust generation of the movable part in various equipment used in a clean room is applied. In the contact area,
The other member 3 is brought into contact with the self-lubricating material used for the one member 5 at the contact portion, and the surface of the other member 3 is provided with a ceramic coating film. 6 is formed.
【０００８】また、クリーンルーム用各種機器における
可動部の発塵防止装置にあっては、クリーンルームで使
用される各種機器における可動部の当接部位において、
当接部位の一方の部材５には自己潤滑型の素材を使用し
たことを特徴とし、更には、他方の部材３表面にはセラ
ミックスコーティング製の被装膜６を形成したことを特
徴とする。Further, in the dust-prevention device for the movable part in various equipment for a clean room, in the contact part of the movable part in various equipment used in the clean room,
It is characterized in that a self-lubricating material is used for one member 5 at the abutting portion, and further, a ceramic coating film 6 is formed on the surface of the other member 3.
【０００９】可動部は軸受構造にし、自己潤滑型の軸受
筒５内に軸ピン材３を挿入して構成でき、必要があれ
ば、この軸ピン材３の表面にセラミックスコーティング
製の被装膜６を形成することができる。The movable part may have a bearing structure, and the shaft pin member 3 may be inserted into a self-lubricating bearing cylinder 5. If necessary, the surface of the shaft pin member 3 may be a ceramic coating film. 6 can be formed.
【００１０】[0010]
【作用】本発明に係るクリーンルーム用各種機器におけ
る可動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置にあっ
て、可動部における相互に当接する部位の一方の部材５
と他方の部材３との間に自己潤滑型の素材自体またはそ
の表面に形成された潤滑剤層が介在し、他方の部材３あ
るいはこれ３に形成した被装膜６表面との摩擦を解消さ
せる。In the dust-prevention method and the dust-prevention device for a movable part in various equipment for a clean room according to the present invention, one member 5 of the movable part that abuts each other.
A self-lubricating material itself or a lubricant layer formed on the surface of the self-lubricating material intervenes between the other member 3 and the other member 3 to eliminate friction with the other member 3 or the surface of the film 6 to be formed on the other member 3. .
【００１１】当接部位における摩擦の解消は、当接部位
相互間の摺接によっても、その間で金属粒子その他の細
かな塵埃の剥離、分離を生じさせず、クリーンルーム中
への浮遊塵埃を極めて少なくさせる。The elimination of friction at the abutting portions does not cause separation or separation of metal particles or other fine dust between the abutting portions even by sliding contact between the abutting portions, and the amount of floating dust in the clean room is extremely small. Let
【００１２】[0012]
【実施例】以下、例えばクリーンルーム内外に設置され
る出入口のドアを回転自在に支承させる蝶番に実施した
場合につき、図面を参照して本発明の実施例を説明する
に、図において示される符号１は、所定の建具枠Ｆに固
定される固定蝶番材であり、同じく２は、ドアＤ等に固
定される揺動蝶番材である。そして、固定蝶番材１ある
いは揺動蝶番材２のいずれか一方に突設した軸ピン材３
に、いずれか他方に凹設形成した軸支穴４が回転自在に
して嵌め込まれるようにしてあり、図示にあっては、固
定蝶番材１に軸ピン材３を突設し、揺動蝶番材２に軸支
穴４を形成してある。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the following, for example, when a door hinged to the entrance and exit installed inside and outside a clean room is rotatably supported by a hinge, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. Is a fixed hinge material fixed to a predetermined fitting frame F, and 2 is a swing hinge material fixed to the door D or the like. Then, the shaft pin member 3 protrudingly provided on either the fixed hinge member 1 or the swing hinge member 2.
The shaft support hole 4 formed in the other of the two is rotatably fitted therein. In the figure, the shaft pin member 3 is provided on the fixed hinge member 1 to project the swing hinge member. A shaft support hole 4 is formed in the shaft 2.
【００１３】この軸ピン材３と軸支穴４との当接部分に
おいて、軸支穴４内側面には、自己潤滑型の軸受筒５が
装着されており、軸ピン材３外周面には、必要に応じて
セラミックスコーティング処理されることで被装膜６が
形成されているのであり、両者５，６間で生じる摩擦時
にはいずれもその表面から剥離、分離する金属粒子等が
発生しにくくしてある。A self-lubricating bearing sleeve 5 is mounted on the inner surface of the shaft support hole 4 at the contact portion between the shaft pin material 3 and the shaft support hole 4, and on the outer peripheral surface of the shaft pin material 3. Since the coating film 6 is formed by performing a ceramic coating treatment as required, metal particles or the like that are separated or separated from the surface are less likely to be generated at the time of friction generated between the both 5 and 6. There is.
【００１４】軸受筒５は、２価、４価の弗素を使用した
特殊フィラー入り４ふっかエチレン樹脂製のもので、そ
の構造自体は、図示のように、軸支穴４内周面に当接す
る有底筒状の筒部本体の開口縁に、軸支穴４の開口端面
に当接するフランジを突設して成り、揺動蝶番材２の軸
支穴４内に強制的に圧入され、更に必要に応じ接着され
るものとなっている。この軸受筒５自体は、潤滑成分の
揮発性が極めて少ない非揮発性ものであり、例えば株式
会社ニチアス製造販売の商品名エクセライドが使用され
る。The bearing tube 5 is made of a 4-filled ethylene resin containing a special filler using divalent or tetravalent fluorine, and its structure itself contacts the inner peripheral surface of the shaft support hole 4 as shown in the figure. A flange that abuts against the opening end face of the shaft support hole 4 is provided at the opening edge of the bottomed tubular main body, which is forcibly press-fitted into the shaft support hole 4 of the swing hinge member 2. Further, it is adhered if necessary. The bearing cylinder 5 itself is a non-volatile material with a very low volatility of the lubricating component, and for example, the product name Excelide manufactured and sold by Nichias Co., Ltd. is used.
【００１５】この軸受筒５は、高温下、定温下、真空下
でも潤滑性能を発揮し、低摩擦係数、対磨耗性、圧縮強
度を十分に維持し、各種の化学溶液にも浸蝕されず、注
油の必要がなく、騒音、振動を低減化させるものであ
る。This bearing cylinder 5 exhibits lubricating performance even under high temperature, constant temperature, and vacuum, maintains a low coefficient of friction, wear resistance and compressive strength, and is not corroded by various chemical solutions. It does not require lubrication and reduces noise and vibration.
【００１６】一方、被装膜６は、軸ピン材３自体を清浄
にし、下地処理を施し、乾燥させ、セラミックスコーテ
ィング処理した後に焼成して形成されるもので、次式の
セラミックスコーティング反応によって得られる。 また、一般式、Ｍ２Ｏ・ｍＳｉＯ２・ｎＨ２Ｏ （Ｍ＝
Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ）で表わされる。On the other hand, the coating film 6 is formed by cleaning the shaft pin material 3 itself, subjecting it to an undercoating treatment, drying it, subjecting it to a ceramics coating treatment, and then firing it. To be In addition, the general formula, M 2 O · mSiO 2 · nH 2 O (M =
Li, Na, K).
【００１７】この被装膜６自体は、耐食性、耐熱性、対
磨耗性、耐候性、親水性、装飾性に優れており、軸受筒
５内周面との接触によっても剥離、分離されないものと
なっている。The coated film 6 itself is excellent in corrosion resistance, heat resistance, abrasion resistance, weather resistance, hydrophilicity, and decorativeness, and is not separated or separated even by contact with the inner peripheral surface of the bearing cylinder 5. Has become.
【００１８】また、図示のように、軸ピン材３と軸支穴
４との間に潤滑剤を供給する供給手段１０を設けること
もできる。図における供給手段１０は、揺動蝶番材２に
おける軸支穴４内部と揺動蝶番材２外部とを連通させる
小径の供給路を形成し、この供給路の入口を着脱自在な
蓋１１によって閉塞したものである。こうした潤滑剤の
供給手段１０は、軸受筒５と被装膜６との間に生じる摩
擦を一層低減化させ、これらの使用寿命を長期化するこ
とができる。Further, as shown in the drawing, a supply means 10 for supplying a lubricant can be provided between the shaft pin member 3 and the shaft support hole 4. The supply means 10 shown in the drawing forms a small-diameter supply passage that connects the inside of the shaft support hole 4 of the swing hinge member 2 and the outside of the swing hinge member 2, and the inlet of this supply passage is closed by a removable lid 11. It was done. The lubricant supplying means 10 can further reduce the friction generated between the bearing sleeve 5 and the film 6 to be coated, and prolong the service life thereof.
【００１９】今、ここで、クリーンルーム内外に設置さ
れる出入口にドアＤの蝶番その他として使用されると
き、軸ピン材３自体の表面あるいはこれ３の表面に被装
した被装膜６と軸支穴４内に配装した軸受筒５内周面と
の間では極めて滑らかな当接状態となる。すなわち、軸
受筒５自体の潤滑作用あるいはこれ５の内周面に形成さ
れる潤滑剤層が軸ピン材３自体あるいはこれ３に形成し
た被装膜６表面との摩擦を解消する。そのため、ドアＤ
の開閉に伴なう摺接によってもその間で金属粒子その他
の細かな塵埃が発生せず、クリーンルーム中に浮遊塵埃
を生じさせない。Now, when it is used as a hinge of the door D or the like at the entrances and exits installed inside and outside the clean room, the surface of the shaft pin member 3 itself or the coated film 6 and the shaft support mounted on the surface of the shaft pin member 3 itself. An extremely smooth abutment is achieved between the inner peripheral surface of the bearing cylinder 5 arranged in the hole 4. That is, the lubricating action of the bearing cylinder 5 itself or the lubricant layer formed on the inner peripheral surface of the bearing cylinder 5 eliminates friction with the shaft pin material 3 itself or the surface of the film to be coated 6 formed on the shaft pin material 3 itself. Therefore, the door D
Even when the sliding contact is caused by opening and closing, no fine particles such as metal particles are generated between them, and floating dust is not generated in the clean room.
【００２０】もとより、本発明の実施例は、上述した蝶
番構造とする場合に限らず、医薬品、半導体装置、精密
機器等の製造に際し使用されるクリーンルーム内の各種
機器において、それらの作動部、作業工具その他に回
転、スライド等を行なわせる軸受、スライド部材その他
の可動部夫々に同様にして使用できるものである。この
とき、可動部の形状、構造によって、軸ピン材３自体の
形状、構造が変更されるのに対応して、自己潤滑型の素
材としての軸受筒５自体も、筒状に形成される場合に限
らず、リング状、シート状とされたり、ネジ構造、ギア
形状等とされたりする。Of course, the embodiment of the present invention is not limited to the above-mentioned hinge structure, but may be used in various equipment in a clean room used for manufacturing pharmaceuticals, semiconductor devices, precision equipment, etc. It can be similarly used for bearings for rotating and sliding other tools, sliding members and other movable parts. At this time, when the shape and structure of the shaft pin member 3 itself is changed depending on the shape and structure of the movable portion, the bearing cylinder 5 itself as a self-lubricating material is also formed in a cylindrical shape. The shape is not limited to a ring shape, a sheet shape, a screw structure, a gear shape, or the like.
【００２１】[0021]
【発明の効果】本発明は以上のように構成されており、
これがため、クリーンルームで使用される各種機器にお
ける可動部からの塵埃の発生自体を防止でき、特に、可
動部における円滑な作動を確保しながらも、可動部に生
じる摩擦、剥離に起因する金属粒子その他の細かな塵埃
の発生を未然に防止できるのである。The present invention is configured as described above,
Therefore, it is possible to prevent the generation of dust itself from the movable part in various devices used in a clean room, and in particular, while ensuring smooth operation in the movable part, friction generated in the movable part, metal particles caused by peeling, etc. It is possible to prevent the generation of fine dust.
【００２２】しかも、当接部位相互間では、一方の自己
潤滑型の素材自体の潤滑作用あるいはこれの表面に形成
される潤滑剤層が他方の部材あるいは被装形成されたセ
ラミックスコーティング製の被装膜６に対して円滑に摺
接させるから、特別な潤滑剤の補充回数も少なくなり、
メインテナンスも極めて容易である。In addition, between the abutting portions, the lubrication action of one self-lubricating material itself or the lubricant layer formed on the surface of the other member or the ceramic coating is formed. The smooth sliding contact with the film 6 reduces the number of times the special lubricant is replenished,
Maintenance is also very easy.
【００２３】したがって、本発明によれば、発塵自体を
防止するから、従来の如く、防塵のために各種機器にお
ける可動部を覆う等の面倒な方法を採用する必要がな
く、可動部を露出させたままでもよく、機器における各
作動部位の作動を大きく制約することもないのである。Therefore, according to the present invention, since the dust generation itself is prevented, it is not necessary to adopt a troublesome method such as covering the movable portion in various devices for dust prevention as in the conventional case, and the movable portion is exposed. It may be left as it is, and the operation of each operation part of the device is not significantly restricted.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】ドア用の蝶番部材として実施した場合の縦断面
図である。FIG. 1 is a vertical cross-sectional view when implemented as a hinge member for a door.
【図２】同じく横断面図である。FIG. 2 is a transverse sectional view of the same.
Ｄ ドア Ｆ 建具枠 １ 固定蝶番材 ２ 揺動蝶番材 ３ 軸ピン材 ４ 軸支穴 ５ 軸受筒 ６ 被装膜 １０ 供給手段 １１ 蓋 D Door F Joinery frame 1 Fixed hinge material 2 Swing hinge material 3 Shaft pin material 4 Shaft support hole 5 Bearing tube 6 Mounted film 10 Supply means 11 Lid
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【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成４年１０月２７日[Submission date] October 27, 1992
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】発明の名称[Name of item to be amended] Title of invention
【補正方法】追加[Correction method] Added
【補正内容】[Correction content]
【発明の名称】 クリーンルーム用各種機器に
おける可動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置Patent application title: Dust prevention method for movable parts and various dust prevention devices in various equipment for clean rooms
【手続補正２】[Procedure Amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１１[Correction target item name] 0011
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００１１】当接部位における摩擦の解消は、当接部位
相互間の摺接によっても、その間で金属粒子その他の細
かな塵埃の剥離、分離を生じさせず、クリーンルーム中
への浮遊塵埃を極めて少なくさせる。特に、自己潤滑型
の素材は、高い導電性を示すため、作動に伴なう摩擦で
発生する静電気を帯電させるものとなり、摺接作動に伴
ない発生する金属粒子その他の細かな塵埃を吸着させ
る。The elimination of friction at the abutting portions does not cause separation or separation of metal particles or other fine dust between the abutting portions even by sliding contact between the abutting portions, and the amount of floating dust in the clean room is extremely small. Let In particular, the self-lubricating material has high conductivity, so it becomes charged with static electricity generated by friction during operation, and adsorbs metal particles and other fine dust generated during sliding contact operation. .
【手続補正３】[Procedure 3]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１４[Correction target item name] 0014
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００１４】軸受筒５は、２価、４価の弗素を使用した
特殊フィラー入り４ふっかエチレン樹脂製のもので、そ
の構造自体は、図示のように、軸支穴４内周面に当接す
る有底筒状の筒部本体の開口縁に、軸支穴４の開口端面
に当接するフランジを突設して成り、揺動蝶番材２の軸
支穴４内に強制的に圧入され、更に必要に応じ接着され
るものとなっている。この軸受筒５自体は、潤滑成分の
揮発性が極めて少ない非揮発性ものであり、例えば株式
会社ニチアス製造販売の商品名エクセライドが使用され
る。特に、２価、４価の弗素を使用した特殊フィラー入
り４ふっかエチレン樹脂製の軸受筒５は、高い導電性を
示すため、蝶番の回動に伴なう摩擦で発生する静電気を
帯電させられ、その結果、回動摺接作動に伴ない金属粒
子その他の細かな塵埃が発生しても、これらを吸着させ
る。The bearing tube 5 is made of a 4-filled ethylene resin containing a special filler using divalent or tetravalent fluorine, and its structure itself contacts the inner peripheral surface of the shaft support hole 4 as shown in the figure. A flange that abuts against the opening end face of the shaft support hole 4 is provided at the opening edge of the bottomed tubular main body, which is forcibly press-fitted into the shaft support hole 4 of the swing hinge member 2. Further, it is adhered if necessary. The bearing cylinder 5 itself is a non-volatile material with a very low volatility of the lubricating component, and for example, the product name Excelide manufactured and sold by Nichias Co., Ltd. is used. In particular, since the bearing tube 5 made of 4-fluoroethylene resin containing a special filler that uses divalent or tetravalent fluorine has high conductivity, static electricity generated by friction caused by the rotation of the hinge is charged. As a result, even if fine particles such as metal particles are generated due to the rotary sliding contact operation, they are adsorbed.
【手続補正３】[Procedure 3]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２１[Correction target item name] 0021
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００２１】[0021]
【発明の効果】本発明は以上のように構成されており、
これがため、クリーンルームで使用される各種機器にお
ける可動部からの塵埃の発生自体を防止でき、特に、可
動部における円滑な作動を確保しながらも、可動部に生
じる摩擦、剥離に起因する金属粒子その他の細かな塵埃
の発生を未然に防止でき、また、発生しても、帯電され
た静電気によってこれらを吸着し、周囲に飛散させるこ
とがないのである。 ─────────────────────────────────────────────────────
The present invention is configured as described above,
Therefore, it is possible to prevent the generation of dust itself from the movable part in various devices used in a clean room, and in particular, while ensuring smooth operation in the movable part, friction generated in the movable part, metal particles caused by peeling, etc. The generation of such fine dust can be prevented in advance, and even if it occurs, it is not adsorbed by the charged static electricity and scattered around. ─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成５年７月２日[Submission date] July 2, 1993
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】全文[Correction target item name] Full text
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【書類名】 明細書[Document name] Statement
【発明の名称】 クリーンルーム用各種機器における可
動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置Patent application title: Dust prevention method for movable parts and various dust prevention devices in various equipment for clean rooms
【特許請求の範囲】[Claims]
【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム内にお
いて使用される各種の機器における軸受、クリーンルー
ムに設置したドアの蝶番その他の各可動部位における発
塵を防止し、クリーンルーム内を清浄に維持できるよう
にしたクリーンルーム用各種機器における可動部の発塵
防止方法及びその発塵防止装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention prevents the generation of dust on bearings in various equipment used in a clean room, hinges of doors installed in the clean room, and other movable parts to keep the clean room clean. The present invention relates to a dust-prevention method and a dust-prevention device for a movable part of various equipment for a clean room.
【０００２】[0002]
【従来の技術】医薬品、半導体装置、精密機器等の製造
に際しては、空気中の微細な塵埃といえども製品の歩留
まり等に大きく影響するから、これらの製造では、空気
中の塵埃を一定限度にまで制御規制するものとしたクリ
ーンルーム内で行なわれている。このクリーンルーム内
では、使用する機器、器具が高度に清浄化されているこ
とはもとより、これらの各種の機器は、これらから発生
する塵埃が周囲に飛散しないように可能な限り覆われて
いる。2. Description of the Related Art In the manufacture of pharmaceuticals, semiconductor devices, precision instruments, etc., even minute dust in the air has a great influence on the yield of products. It is carried out in a clean room that is subject to control restrictions. In this clean room, not only the equipments and instruments used are highly cleaned, but also these various equipments are covered as much as possible so that dust generated from them does not scatter to the surroundings.
【０００３】ただ、クリーンルーム内で使用される各種
の機器、クリーンルームに設置された出入口建具の蝶番
その他は、作動部、作業工具その他に回転、スライド等
の各種の動作をさせるための軸受、スライド部材その他
の可動部を備えているから、その可動部における摩擦等
によってそれらが擦過することに伴なう細かい金属粒子
その他が発生する。この金属粒子等がクリーンルーム内
で浮遊することは、クリーンルーム内で行なわれる各種
作業の遂行に極めて重大な影響を与えるから、これを確
実に抑制し、その発生を防止する必要がある。However, various equipment used in a clean room, hinges of doorway fittings installed in the clean room, etc., bearings and slide members for operating, operating tools, etc., to perform various operations such as rotation and slide. Since other movable parts are provided, fine metal particles and the like are generated due to friction between the movable parts and the like. The floating of the metal particles and the like in the clean room has a very serious influence on the performance of various operations performed in the clean room. Therefore, it is necessary to reliably suppress them and prevent their occurrence.
【０００４】このため、従来、採用されていた防止方法
の一つは、各種機器における可動部、更には機器全体を
覆うことで、機器から発生した金属粒子等の塵埃を周囲
に飛散させないようにしていたものである。Therefore, one of the preventive methods that has been conventionally adopted is to cover the movable parts of various devices and further the entire device so that dust such as metal particles generated from the device is not scattered around. It was what was there.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところが、こうした被
覆方式の防塵手段は、可動部が繰り返し作動することで
被覆材等に曲り癖、折り癖等が形成されると、その部分
が他の部分に比較して次第に脆弱になる結果、破断し、
防塵作用が全く機能しなくなる場合があった。そればか
りでなく、機器の使用態様によっては可動部を完全に覆
うことが困難なことも多く、防塵手段として極めて不完
全なものであった。However, in such a dust-prevention means of the coating method, when the movable member is repeatedly actuated to form a bending habit or a folding habit, that part is formed on another part. As a result, it becomes fragile and breaks,
In some cases, the dustproof function did not work at all. Not only that, it is often difficult to completely cover the movable part depending on the usage mode of the device, and it is extremely incomplete as a dustproof means.
【０００６】そこで、本発明は、叙上のような従来存し
た諸事情に鑑み創出されたもので、各種機器における可
動部からの塵埃の発生自体を阻止するものとして従来方
法の欠点を解消するのであり、特に、可動部における円
滑な作動を確保しながらも、可動部に生じる摩擦に起因
する金属粒子その他の発生を未然に防止し、しかも、メ
インテナンスも容易であるクリーンルーム用各種機器に
おける可動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置を提
供することを目的とする。Therefore, the present invention was created in view of the above existing circumstances, and solves the drawbacks of the conventional method by preventing the generation of dust itself from the moving parts of various devices. Therefore, in particular, while ensuring a smooth operation in the movable part, the generation of metal particles and the like due to the friction generated in the movable part is prevented, and the maintenance is easy. An object of the present invention is to provide a method for preventing dust generation and a device for preventing dust generation.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ため、本発明にあっては、特に、可動部の固定面につい
ては、圧縮強度、硬度が高いこと、耐磨耗性があるこ
と、滑り性に優れること、破壊じん性に優れること、接
触面を鏡面仕上げにできること等の条件を充足する素
材、例えばセラミックス製のものとし、可動面について
は、摩擦係数、磨耗係数が非常に小さいこと、ある程度
の圧縮強度があること、ある程度の硬度を有すること等
の条件を充足する素材、例えば４ふっかエチレン樹脂製
のものとするのである。In order to achieve the above-mentioned object, in the present invention, in particular, the fixed surface of the movable portion has high compressive strength, hardness, and abrasion resistance, A material that satisfies the conditions such as excellent slipperiness, excellent fracture toughness, and the ability to mirror-finish the contact surface, such as ceramics, and the movable surface has a very low friction coefficient and wear coefficient. A material satisfying the conditions of having a certain degree of compressive strength and having a certain degree of hardness, for example, a material made of 4 fluff ethylene resin.
【０００８】そして、本発明に係るクリーンルーム用各
種機器における可動部の発塵防止方法にあっては、クリ
ーンルームで使用される各種機器における可動部の当接
部位において、当接部位の一方の部材５に使用した自己
潤滑型の素材に対し、他方の部材３を当接させることを
特徴とし、更には、この他方の部材３としてはセラミッ
クス製の素材（６）で形成したことを特徴とする。In the method for preventing dust generation of the movable part in various equipment for a clean room according to the present invention, one member 5 of the abutting portion is provided at the contact portion of the movable part in various equipment used in the clean room. It is characterized in that the other member 3 is brought into contact with the self-lubricating material used in (1), and further, the other member 3 is made of a ceramic material (6).
【０００９】また、クリーンルーム用各種機器における
可動部の発塵防止装置にあっては、クリーンルームで使
用される各種機器における可動部の当接部位において、
当接部位の一方の部材５には自己潤滑型の素材を使用し
たことを特徴とし、更には、他方の部材３としてセラミ
ックス製の素材（６）で形成したことを特徴とする。Further, in the dust-prevention device for the movable part in various equipment for a clean room, in the contact part of the movable part in various equipment used in the clean room,
It is characterized in that a self-lubricating material is used for one member 5 of the abutting portion, and further, the other member 3 is formed of a ceramic material (6).
【００１０】可動部は軸受構造にし、自己潤滑型の軸受
筒５内に軸ピン材３を挿入して構成でき、必要があれ
ば、この軸ピン材３自体をセラミックス製とし、あるい
はその表面にセラミックスコーティング製の被装膜６を
形成することができる。The movable part may have a bearing structure, and the shaft pin material 3 may be inserted into a self-lubricating type bearing cylinder 5. If necessary, the shaft pin material 3 itself may be made of ceramics, or the surface thereof may be The applied film 6 made of ceramics coating can be formed.
【００１１】[0011]
【作用】本発明に係るクリーンルーム用各種機器におけ
る可動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置にあっ
て、可動部における相互に当接する部位の一方の部材５
と他方の部材３との間に自己潤滑型の素材自体またはそ
の表面に形成された潤滑剤層が介在し、他方の部材３あ
るいはこれ３に形成した被装膜６表面との摩擦を解消さ
せる。In the dust-prevention method and the dust-prevention device for a movable part in various equipment for a clean room according to the present invention, one member 5 of the movable part that abuts each other.
A self-lubricating material itself or a lubricant layer formed on the surface of the self-lubricating material intervenes between the other member 3 and the other member 3 to eliminate friction with the other member 3 or the surface of the film 6 to be formed on the other member 3. .
【００１２】当接部位における摩擦の解消は、当接部位
相互間の摺接によっても、その間で金属粒子その他の細
かな塵埃の剥離、分離を生じさせず、クリーンルーム中
への浮遊塵埃を極めて少なくさせる。特に、潤滑剤の素
材は高い導電性を示すため、作動に伴なう摩擦で発生す
る静電気を帯電させるものとなり、摺接作動に伴ない発
生する金属粒子その他の細かな塵埃を吸着させる。The elimination of friction at the abutting portions does not cause separation or separation of metal particles or other fine dust between the abutting portions even by sliding contact between the abutting portions, and the amount of floating dust in the clean room is extremely small. Let In particular, since the material of the lubricant has high conductivity, it becomes charged with static electricity generated by friction during operation, and adsorbs metal particles and other fine dust generated during sliding contact operation.
【００１３】[0013]
【実施例】以下、例えばクリーンルーム内外に設置され
る出入口のドアを回転自在に支承させる蝶番に実施した
場合につき、図面を参照して本発明の実施例を説明する
に、図において示される符号１は、所定の建具枠Ｆに固
定される固定蝶番材であり、同じく２は、ドアＤ等に固
定される揺動蝶番材である。そして、固定蝶番材１ある
いは揺動蝶番材２のいずれか一方に突設した軸ピン材３
に、いずれか他方に凹設形成した軸支穴４が回転自在に
して嵌め込まれるようにしてあり、図示にあっては、固
定蝶番材１に軸ピン材３を突設し、揺動蝶番材２に軸支
穴４を形成してある。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the following, for example, when a door hinged to the entrance and exit installed inside and outside a clean room is rotatably supported by a hinge, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. Is a fixed hinge material fixed to a predetermined fitting frame F, and 2 is a swing hinge material fixed to the door D or the like. Then, the shaft pin member 3 protrudingly provided on either the fixed hinge member 1 or the swing hinge member 2.
The shaft support hole 4 formed in the other of the two is rotatably fitted therein. In the figure, the shaft pin member 3 is provided on the fixed hinge member 1 to project the swing hinge member. A shaft support hole 4 is formed in the shaft 2.
【００１４】この軸ピン材３と軸支穴４との当接部分に
おいて、軸支穴４内側面には、自己潤滑型の軸受筒５が
装着されており、軸ピン材３自体は、セラミックス製の
もの、例えばジルコニア（商品名）によって形成する。
あるいは、図示のように、軸ピン材３の外周面には、必
要に応じてセラミックスコーティング処理されることで
被装膜６が形成されているのであり、両者５，６間で生
じる摩擦時にはいずれもその表面から剥離、分離する金
属粒子等が発生しにくくしてある。A self-lubricating bearing cylinder 5 is mounted on the inner surface of the shaft support hole 4 at the contact portion between the shaft pin material 3 and the shaft support hole 4, and the shaft pin material 3 itself is made of ceramics. It is made of a material such as zirconia (trade name).
Alternatively, as shown in the figure, the outer peripheral surface of the shaft pin material 3 is provided with a coating film 6 by being subjected to a ceramic coating treatment if necessary, and when friction occurs between the two 5, 6 However, it is difficult to generate metal particles or the like that are separated or separated from the surface.
【００１５】軸受筒５は、弗素を使用した特殊フィラー
入り４ふっかエチレン樹脂製のもので、その構造自体
は、図示のように、軸支穴４内周面に当接する有底筒状
の筒部本体の開口縁に、軸支穴４の開口端面に当接する
フランジを突設して成り、揺動蝶番材２の軸支穴４内に
強制的に圧入され、更に必要に応じ接着されるものとな
っている。この軸受筒５自体は、潤滑成分の揮発性が極
めて少ない非揮発性ものであり、例えば株式会社ニチア
ス製造販売の商品名エクセライドが使用される。特に、
弗素を利用した潤滑剤高い導電性を示すため、蝶番の回
動に伴なう摩擦で発生する静電気を帯電させられ、その
結果、回動摺接作動に伴ない金属粒子その他の細かな塵
埃が発生しても、これらを吸着させる。The bearing cylinder 5 is made of fluorine-containing special fluorine-containing 4 fluoroethylene resin, and its structure itself is, as shown in the figure, a cylindrical cylinder with a bottom that contacts the inner peripheral surface of the shaft support hole 4. A flange that abuts against the opening end face of the shaft support hole 4 is provided at the opening edge of the cylindrical body, and is forcibly press-fitted into the shaft support hole 4 of the swing hinge member 2 and further bonded as necessary. It has become one. The bearing cylinder 5 itself is a non-volatile material with a very low volatility of the lubricating component, and for example, the product name Excelide manufactured and sold by Nichias Co., Ltd. is used. In particular,
Lubricants that use fluorine Because they show high conductivity, they can be charged with the static electricity generated by the friction that accompanies the rotation of the hinge, and as a result, the metal particles and other fine dust that accompany the rotation and sliding contact operation. Even if they occur, they are adsorbed.
【００１６】この軸受筒５は、高温下、定温下、真空下
でも潤滑性能を発揮し、低摩擦係数、対磨耗性、圧縮強
度を十分に維持し、各種の化学溶液にも浸蝕されず、注
油の必要がなく、騒音、振動を低減化させるものであ
る。This bearing cylinder 5 exhibits lubricating performance even under high temperature, constant temperature, and vacuum conditions, maintains a low coefficient of friction, wear resistance and compressive strength, and is not corroded by various chemical solutions. It does not require lubrication and reduces noise and vibration.
【００１７】一方、被装膜６は、軸ピン材３自体を清浄
にし、下地処理を施し、乾燥させ、セラミックスコーテ
ィング処理した後に焼成して形成されるもので、次式の
セラミックスコーティング反応によって得られる。 また、一般式、Ｍ２Ｏ・ｍＳｉＯ２・ｎＨ２Ｏ （Ｍ＝
Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ）で表わされる。On the other hand, the coating film 6 is formed by cleaning the shaft pin material 3 itself, subjecting it to a base treatment, drying it, subjecting it to a ceramic coating treatment, and then firing it. To be In addition, the general formula, M 2 O · mSiO 2 · nH 2 O (M =
Li, Na, K).
【００１８】この被装膜６自体は、耐食性、耐熱性、対
磨耗性、耐候性、親水性、装飾性に優れており、軸受筒
５内周面との接触によっても剥離、分離されないものと
なっている。The coated film 6 itself has excellent corrosion resistance, heat resistance, abrasion resistance, weather resistance, hydrophilicity, and decorativeness, and is not peeled or separated even by contact with the inner peripheral surface of the bearing cylinder 5. Has become.
【００１９】また、図示のように、軸ピン材３と軸支穴
４との間に潤滑剤を供給する供給手段１０を設けること
もできる。図における供給手段１０は、揺動蝶番材２に
おける軸支穴４内部と揺動蝶番材２外部とを連通させる
小径の供給路を形成し、この供給路の入口を着脱自在な
蓋１１によって閉塞したものである。こうした潤滑剤の
供給手段１０は、軸受筒５と被装膜６との間に生じる摩
擦を一層低減化させ、これらの使用寿命を長期化するこ
とができる。Further, as shown in the drawing, a supply means 10 for supplying a lubricant can be provided between the shaft pin member 3 and the shaft support hole 4. The supply means 10 shown in the drawing forms a small-diameter supply passage that connects the inside of the shaft support hole 4 of the swing hinge member 2 and the outside of the swing hinge member 2, and the inlet of this supply passage is closed by a removable lid 11. It was done. The lubricant supplying means 10 can further reduce the friction generated between the bearing sleeve 5 and the film 6 to be coated, and prolong the service life thereof.
【００２０】今、ここで、クリーンルーム内外に設置さ
れる出入口にドアＤの蝶番その他として使用されると
き、軸ピン材３自体の表面あるいはこれ３の表面に被装
した被装膜６と軸支穴４内に配装した軸受筒５内周面と
の間では極めて滑らかな当接状態となる。すなわち、軸
受筒５自体の潤滑作用あるいはこれ５の内周面に形成さ
れる潤滑剤層が軸ピン材３自体あるいはこれ３に形成し
た被装膜６表面との摩擦を解消する。そのため、ドアＤ
の開閉に伴なう摺接によってもその間で金属粒子その他
の細かな塵埃が発生せず、クリーンルーム中に浮遊塵埃
を生じさせない。Now, when it is used as a hinge of the door D or the like at the entrances and exits installed inside and outside the clean room, the surface of the shaft pin member 3 itself or the covering film 6 and the shaft support mounted on the surface of the shaft pin member 3 itself. An extremely smooth abutment is achieved between the inner peripheral surface of the bearing cylinder 5 arranged in the hole 4. That is, the lubricating action of the bearing cylinder 5 itself or the lubricant layer formed on the inner peripheral surface of the bearing cylinder 5 eliminates friction with the shaft pin material 3 itself or the surface of the film to be coated 6 formed on the shaft pin material 3 itself. Therefore, the door D
Even when the sliding contact is caused by opening and closing, no fine particles such as metal particles are generated between them, and floating dust is not generated in the clean room.
【００２１】もとより、本発明の実施例は、上述した蝶
番構造とする場合に限らず、医薬品、半導体装置、精密
機器等の製造に際し使用されるクリーンルーム内の各種
機器において、それらの作動部、作業工具その他に回
転、スライド等を行なわせる軸受、スライド部材その他
の可動部夫々に同様にして使用できるものである。この
とき、可動部の形状、構造によって、軸ピン材３自体の
形状、構造が変更されるのに対応して、自己潤滑型の素
材としての軸受筒５自体も、筒状に形成される場合に限
らず、リング状、シート状とされたり、ネジ構造、ギア
形状等とされたりする。Of course, the embodiment of the present invention is not limited to the above-mentioned hinge structure, but is applicable to various equipment in a clean room used for manufacturing pharmaceuticals, semiconductor devices, precision equipment, etc. It can be similarly used for bearings for rotating and sliding other tools, sliding members and other movable parts. At this time, when the shape and structure of the shaft pin member 3 itself is changed depending on the shape and structure of the movable portion, the bearing cylinder 5 itself as a self-lubricating material is also formed in a cylindrical shape. The shape is not limited to a ring shape, a sheet shape, a screw structure, a gear shape, or the like.
【００２２】[0022]
【発明の効果】本発明は以上のように構成されており、
これがため、クリーンルームで使用される各種機器にお
ける可動部からの塵埃の発生自体を防止でき、特に、可
動部における円滑な作動を確保しながらも、可動部に生
じる摩擦、剥離に起因する金属粒子その他の細かな塵埃
の発生を未然に防止でき、また、発生しても、帯電され
た静電気によってこれらを吸着し、周囲に飛散させるこ
とがないのである。The present invention is configured as described above,
Therefore, it is possible to prevent the generation of dust itself from the movable part in various devices used in a clean room, and in particular, while ensuring smooth operation in the movable part, friction generated in the movable part, metal particles caused by peeling, etc. The generation of such fine dust can be prevented in advance, and even if it occurs, it is not adsorbed by the charged static electricity and scattered around.
【００２３】しかも、当接部位相互間では、一方の自己
潤滑型の素材自体の潤滑作用あるいはこれの表面に形成
される潤滑剤層がセラミックス製の他方の部材あるいは
被装形成されたセラミックスコーティング製の被装膜６
に対して円滑に摺接させるから、特別な潤滑剤の補充回
数も少なくなり、メインテナンスも極めて容易にできる
ものである。In addition, between the abutting portions, the lubricating action of one self-lubricating material itself or the lubricant layer formed on the surface thereof is the other member made of ceramics or the ceramic coating formed. Coating film 6
Since the sliding contact is smoothly made, the number of times of replenishment of the special lubricant is reduced, and the maintenance can be performed very easily.
【００２４】したがって、本発明によれば、発塵自体を
防止するから、従来の如く、防塵のために各種機器にお
ける可動部を覆う等の面倒な方法を採用する必要がな
く、可動部を露出させたままでもよく、機器における各
作動部位の作動を大きく制約することもないのである。
また、クリーンルームに限らず、これに準ずる各種施設
での全ての可動部分に使用できるばかりでなく、下動部
における固定面、可動面については前記の条件を備えた
ものであれば、その材質の変更は可能である。Therefore, according to the present invention, since the dust generation itself is prevented, it is not necessary to adopt a troublesome method such as covering the movable portion in various devices for dust prevention as in the prior art, and the movable portion is exposed. It may be left as it is, and the operation of each operation part of the device is not significantly restricted.
Further, not only the clean room, it can be used not only for all movable parts in various facilities conforming to this, but for the fixed surface and the movable surface in the lower moving part, as long as it meets the above conditions, Changes are possible.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】ドア用の蝶番部材として実施した場合の縦断面
図である。FIG. 1 is a vertical cross-sectional view when implemented as a hinge member for a door.
【図２】同じく横断面図である。FIG. 2 is a transverse sectional view of the same.
【符号の説明】 Ｄ ドア Ｆ 建具枠 １ 固定蝶番材 ２ 揺動蝶番材 ３ 軸ピン材 ４ 軸支穴 ５ 軸受筒 ６ 被装膜 １０ 供給手段 １１ 蓋[Explanation of Codes] D Door F Joinery Frame 1 Fixed Hinge Material 2 Swing Hinge Material 3 Shaft Pin Material 4 Shaft Support Hole 5 Bearing Tube 6 Mounted Membrane 10 Supply Means 11 Lid
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 晴▲まき▼ 満 栃木県宇都宮市今宮３丁目−13−５ (72)発明者 竹迫 清之 神奈川県横浜市中区本牧満坂187−176 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Haru ▲ Maki ▼ Man 3-13-5 Imamiya, Utsunomiya City, Tochigi Prefecture (72) Inventor Kiyoyuki Takesako 187-176 Manaka, Honmoku, Naka-ku, Yokohama, Kanagawa Prefecture
Claims (6)
おける可動部の当接部位において、当接部位の一方の部
材に使用した自己潤滑型の素材に対し、他方の部材を当
接させることを特徴とするクリーンルーム用各種機器に
おける可動部の発塵防止方法。1. A self-lubricating material used for one member of the contact portion at the contact portion of the movable portion in various equipment used in a clean room, and the other member is brought into contact with the movable portion. Dust prevention method for moving parts in various clean room equipment.
おける可動部の当接部位において、当接部位の一方の部
材に使用した自己潤滑型の素材に対し、他方の部材表面
に形成したセラミックスコーティング製の被装膜を当接
させることを特徴とするクリーンルーム用各種機器にお
ける可動部の発塵防止方法。2. A self-lubricating material used for one member of a contact portion at a contact portion of a movable part in various equipment used in a clean room, and a ceramic coating formed on the surface of the other member. A method for preventing dust generation of a movable part in various equipment for a clean room, which is characterized by bringing a covering film into contact.
おける可動部の当接部位において、当接部位の一方の部
材に自己潤滑型の素材を使用したことを特徴とするクリ
ーンルーム用各種機器における可動部の発塵防止装置。3. A movable part in various equipment used in a clean room, characterized in that a self-lubricating material is used for one member of the contact part at the contact part of the movable part. Dust prevention device.
おける可動部の当接部位において、当接部位の一方の部
材には自己潤滑型の素材を使用し、他方の部材表面には
セラミックスコーティング製の被装膜を形成したことを
特徴とするクリーンルーム用各種機器における可動部の
発塵防止装置。4. A self-lubricating material is used for one member of the contact portion at the contact portion of the movable portion in various equipment used in a clean room, and the surface of the other member is covered with a ceramic coating. A dust-prevention device for a movable part in various equipment for a clean room, which is characterized by forming a coating film.
受筒内に軸ピン材を挿入してある請求項３記載のクリー
ンルーム用各種機器における可動部の発塵防止装置。5. The dust-preventing device for a movable part in various equipment for a clean room according to claim 3, wherein the movable part has a bearing structure, and the shaft pin material is inserted into a self-lubricating type bearing tube.
受筒内に、表面にセラミックスコーティング製の被装膜
を形成した軸ピン材を挿入してある請求項４記載のクリ
ーンルーム用各種機器における可動部の発塵防止装置。6. The equipment for a clean room according to claim 4, wherein the movable part has a bearing structure, and a shaft pin material having a ceramic coating film formed on the surface thereof is inserted into a self-lubricating bearing cylinder. Dust prevention device for moving parts.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4273328A JP2649883B2 (en) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | Dust prevention structure for bearings in various clean room equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4273328A JP2649883B2 (en) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | Dust prevention structure for bearings in various clean room equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0771459A true JPH0771459A (en) | 1995-03-17 |
| JP2649883B2 JP2649883B2 (en) | 1997-09-03 |
Family
ID=17526356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4273328A Expired - Fee Related JP2649883B2 (en) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | Dust prevention structure for bearings in various clean room equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2649883B2 (en) |
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- 1992-08-31 JP JP4273328A patent/JP2649883B2/en not_active Expired - Fee Related
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