JPH076409A - Optical disk and its tracking method - Google Patents

Optical disk and its tracking method

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JPH076409A
JPH076409A JP5169516A JP16951693A JPH076409A JP H076409 A JPH076409 A JP H076409A JP 5169516 A JP5169516 A JP 5169516A JP 16951693 A JP16951693 A JP 16951693A JP H076409 A JPH076409 A JP H076409A
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JP
Japan
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tracking
optical disc
spot
magneto
optical
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Application number
JP5169516A
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Japanese (ja)
Inventor
Masahiro Furuta
正寛 古田
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To enable sure tracking by extending perpendicularly magnetized layers exhibiting polarization angles according to magnetization directions along one side edge of respective tracks and magnetizing these perpendicularly magnetized layers in the predetermined direction between the adjacent tracks. CONSTITUTION:Information for tracking is recorded on magnet-optical films 5. A laser beam for recording is so controlled that the centers of the magneto- optical films 5 are irradiated with the center of the spot light obtd. by condensing the laser beam for recording at the time of recording the tracking information on the magneto-optical films 5. The directions of the magnetization of the magneto-optical films 5 are unified by heating the magneto-optical films 5 up to a magnetization inversion temp. by this laser beam and impressing a weak magnetic field from the outside when coercive force weakens. Then, the information for tracking is displayed by the difference of the magnetization direction. The optical disk of the high density is thus produced. Tracking by detecting the magnetization direction of the perpendicularly magnetized layers as polarized light from the spot light is possible at the time of reproduction.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光ディスク及びそのト
ラッキング方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical disc and its tracking method.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般的に、従来の光ディスクは、情報を
記録する記録層として相変化膜あるいは光磁気膜等を使
用している。そして、これらを記録層とする光ディスク
に情報を記録する場合は、レーザー光を集光して得られ
るスポット光を前記記録層に照射し、該スポット光によ
り照射される部分が加熱され、記録層の結晶構造及び磁
化向き等を変化することにより記録を行っている。
2. Description of the Related Art Generally, a conventional optical disc uses a phase change film or a magneto-optical film as a recording layer for recording information. When information is recorded on an optical disc having these as recording layers, the recording layer is irradiated with spot light obtained by condensing a laser beam, and the portion irradiated by the spot light is heated, The recording is performed by changing the crystal structure and the magnetization direction of the.

【0003】また、上述のような方法で情報が記録され
る光ディスクのトラッキングを行う場合には、基板を形
成する際に設けられる案内溝(グルーブ)及び平坦部
(ランド)による光の干渉(ランドからの反射光とグル
ーブからの反射光による干渉)を利用してトラッキング
を行っている。
Further, in the case of tracking an optical disc on which information is recorded by the above-mentioned method, light interference (land) caused by a guide groove (groove) and a flat portion (land) provided when a substrate is formed. Tracking is performed by using the interference of the reflected light from the and the reflected light from the groove).

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の光ディスクにおいては、情報を記録するために用い
られるスポット光は、レーザー光を対物レンズで集光す
ることにより得られるが、回折限界から得られるスポッ
ト径は、レーザー光の波長に依存するため、換言すれ
ば、レーザー光の波長が短くならなければ、スポット径
を小さくすることができないため、更に高密度に情報の
記録を行うことができないという問題点があった。
However, in the above-mentioned conventional optical disc, the spot light used for recording information is obtained by converging the laser light with the objective lens, but it is obtained from the diffraction limit. Since the spot diameter depends on the wavelength of the laser light, in other words, unless the wavelength of the laser light becomes shorter, the spot diameter cannot be made smaller, so that it is impossible to record information at a higher density. There was a problem.

【0005】また、上記従来の光ディスクのトラッキン
グを行う場合においても、上記回折限界から生じるレー
ザー光のスポット径に比べ、極端にトラックピッチの狭
い(例えば、スポット径の約半分)光ディスクについて
は、複数のトラックにスポット光が照射されるため、反
射光量変化が小さくなり、トラッキングをとることがで
きないという問題点があった。
Further, even when the conventional optical disc is tracked, a plurality of optical discs having an extremely narrow track pitch (for example, about half the spot diameter) compared with the spot diameter of the laser beam generated from the diffraction limit are used. Since the spot light is irradiated on the track No. 2, the change in the amount of reflected light becomes small, and there is a problem that tracking cannot be performed.

【0006】また、レーザー光のスポット径よりも小さ
なピットを形成する方法として、レーザー光のスポット
の中心部分のみを用いて記録する、いわゆる筆先記録方
法もあるが、この様に記録された光ディスクにおいて
も、上記のようにトラッキングをとることができないと
いう問題点がある。
Further, as a method of forming a pit smaller than the spot diameter of the laser beam, there is a so-called writing point recording method in which recording is performed using only the central portion of the spot of the laser beam, but in an optical disc recorded in this way However, there is a problem that tracking cannot be performed as described above.

【0007】更に、2層以上の光磁気層を形成すること
により、レーザー光の照射された部分と加熱された部分
のズレを利用して、高密度に情報を読み取る方法もある
が、このような場合もトラッキングをとる具体的な方法
がなく、実際、再生するには困難を要する。
Further, there is also a method of reading information at a high density by utilizing a difference between a portion irradiated with laser light and a portion heated by forming two or more magneto-optical layers. Even in such cases, there is no specific method for tracking, and it is actually difficult to reproduce.

【0008】本発明は、上記各問題点を解決し、高密度
に情報の記録を行うことができる光ディスク及びそのト
ラッキング方法を提供することを目的とする。
It is an object of the present invention to solve the above problems and provide an optical disc capable of recording information at high density and a tracking method therefor.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明に
係る光ディスクは、上記課題を解決するために、基板上
に結晶構造または相構造の違いによって異なる反射率を
示す記録層からなるトラックが隣接して形成されている
光ディスクにおいて、各トラックの一方の側縁に沿って
磁化方向によって異なる偏光角を示す垂直磁化層が延在
し、前記垂直磁化層が、隣接トラック間で予め定められ
た向きに磁化されていることを特徴とするものである。
In order to solve the above-mentioned problems, an optical disk according to a first aspect of the present invention is a track comprising a recording layer on a substrate, the recording layer showing different reflectances depending on the difference in crystal structure or phase structure. In the optical disc formed adjacent to each other, a perpendicular magnetic layer having different polarization angles depending on the magnetization direction extends along one side edge of each track, and the perpendicular magnetic layer is predetermined between adjacent tracks. It is characterized by being magnetized in the opposite direction.

【0010】また、請求項2に記載の発明に係る光ディ
スクでは、請求項1に記載の光ディスクにおいて、前記
垂直磁化層が、各隣接トラック間で互いに逆向きに磁化
されていることを特徴とするものである。
The optical disc according to the invention of claim 2 is the optical disc of claim 1, wherein the perpendicularly magnetized layers are magnetized in mutually opposite directions between adjacent tracks. It is a thing.

【0011】また、請求項3に記載の発明に係る光ディ
スクでは、請求項2に記載の光ディスクにおいて、前記
記録層と前記垂直磁化層とで形成されるトラックのピッ
チ寸法が、照射されるレーザー光のスポット径に対して
等倍からほぼ2/5倍の範囲に形成されていることを特
徴とするものである。
According to a third aspect of the present invention, in the optical disc of the second aspect, the pitch dimension of the track formed by the recording layer and the perpendicular magnetization layer is the laser beam irradiated. It is characterized in that it is formed in the range from 1: 1 to 2/5 times the spot diameter.

【0012】また、請求項4に記載の発明に係る光ディ
スクでは、請求項1に記載の光ディスクにおいて、前記
垂直磁化層が、互いに同じ向きに磁化された二つの隣接
トラックからなる対を複数備え、各隣接対間では垂直磁
化層の磁化方向が互いに逆方向に形成されていることを
特徴とするものである。
According to a fourth aspect of the present invention, in the optical disc according to the first aspect, the perpendicular magnetization layer includes a plurality of pairs of two adjacent tracks magnetized in the same direction. It is characterized in that the magnetization directions of the perpendicular magnetization layers are formed in mutually opposite directions between each adjacent pair.

【0013】また、請求項5に記載の発明に係る光ディ
スクでは、請求項4に記載の光ディスクにおいて、前記
記録層と前記垂直磁化層とで形成されるトラックのピッ
チ寸法が、照射されるレーザー光のスポット径に対し等
倍からほぼ2/7倍の範囲に形成されていることを特徴
とするものである。
Further, in the optical disc of the fifth aspect of the present invention, in the optical disc of the fourth aspect, the pitch dimension of the track formed by the recording layer and the perpendicular magnetization layer is the laser beam irradiated. It is characterized in that it is formed in the range from 1: 1 to 2/7 times the spot diameter.

【0014】また、請求項6に記載の発明に係る光ディ
スクでは、請求項1に記載の光ディスクにおいて、トラ
ック方向に沿って、記録すべき情報に対応する部分的な
熱拡散層が、前記記録層に重ねて形成されていることを
特徴とするものである。
Further, in the optical disc according to the invention described in claim 6, in the optical disc described in claim 1, the partial thermal diffusion layer corresponding to information to be recorded along the track direction is the recording layer. It is characterized by being formed so as to overlap.

【0015】また、請求項7に記載の発明に係るトラッ
キング方法は、結晶構造または相構造の違いによって異
なる反射率を示す記録層に予め定められた磁化方向に応
じて異なる偏光角を示す垂直磁化層を並設してなるトラ
ックが基板上に隣接して形成された光ディスクに対し、
レーザー光を集光することによりトラック上にスポット
光を照射し、該スポット光から得られる情報に基づいて
トラッキングを行うトラッキング方法であって、隣接ト
ラック間における前記垂直磁化層の磁化方向の相違によ
る光の偏光面の偏差を検出することにより前記光ディス
クのトラッキング情報を得ることを特徴とするものであ
る。
Further, in the tracking method according to the invention described in claim 7, the perpendicular magnetization exhibiting different polarization angles according to a predetermined magnetization direction in the recording layer exhibiting different reflectance depending on the difference in crystal structure or phase structure. For an optical disc in which tracks formed by juxtaposing layers are formed adjacent to each other on a substrate,
A tracking method for irradiating a spot light onto a track by converging laser light and performing tracking based on information obtained from the spot light, which is due to a difference in magnetization direction of the perpendicular magnetic layer between adjacent tracks. The tracking information of the optical disk is obtained by detecting the deviation of the polarization plane of light.

【0016】また、請求項8に記載の発明に係るトラッ
キング方法では、請求項7に記載のトラッキング方法に
おいて、前記光ディスクに対してレーザー光を集光する
ことにより複数のスポット光をそれぞれ別のトラックに
照射し、前記複数のスポット光から得られる複数の検出
信号を演算処理することにより、前記光ディスクのトラ
ッキング情報を得ることを特徴とするものである。
Further, in the tracking method according to the invention described in claim 8, in the tracking method according to claim 7, a plurality of spot lights are respectively focused on different tracks by focusing the laser light on the optical disk. It is characterized in that the tracking information of the optical disc is obtained by irradiating the optical disc to the optical disc and performing arithmetic processing on the plural detection signals obtained from the plural spot lights.

【0017】[0017]

【作用】請求項1に記載の発明による光ディスクでは、
基板上のトラックの記録層は、結晶構造または相構造の
違いによって異なる反射率を示す記録層であるから、例
えば書換え可能型光ディスクの情報記録トラックとして
利用される。各トラックには、一方の側縁に沿って磁化
方向によって異なる偏光角を示す垂直磁化層が延在され
ており、この垂直磁化層は、隣接トラック間で予め定め
られた向きに磁化されている。光スポットによってトラ
ックを照射した場合、例えばその反射光は、照射されて
いるトラックの垂直磁化層の磁化方向に応じた偏光角の
偏光成分を含むことになる。この偏光成分は受光素子に
よるトラッキング信号の検出に利用される。例えばトラ
ックピッチが光スポット径と等しい場合、トラッキング
がとれている状態では、隣接トラック同志の垂直磁化層
が等しい面積割合で光スポット中に位置することとな
る。この場合、一方のトラックの垂直磁化層による偏光
成分と他方のトラックの垂直磁化層による偏光成分とは
互いに異なる偏光角をもち、両者は互いにバランスして
いる。トラッキングが一方へずれると、いずれかの偏光
成分が増加し、他方が減少する。このような偏光成分の
変化はトラッキング情報として利用される。
In the optical disk according to the invention described in claim 1,
The recording layer of the track on the substrate is a recording layer that exhibits different reflectances depending on the difference in crystal structure or phase structure, and therefore is used as an information recording track of a rewritable optical disc, for example. A perpendicular magnetic layer showing a polarization angle different depending on the magnetization direction is extended along each side edge on each track, and the perpendicular magnetic layer is magnetized in a predetermined direction between adjacent tracks. . When a track is illuminated with a light spot, for example, the reflected light contains a polarization component having a polarization angle according to the magnetization direction of the perpendicularly magnetized layer of the track being illuminated. This polarization component is used for detecting the tracking signal by the light receiving element. For example, when the track pitch is equal to the light spot diameter, the perpendicular magnetization layers of the adjacent tracks are located in the light spot in the same area ratio in the tracking state. In this case, the polarization component of the perpendicular magnetic layer of one track and the polarization component of the perpendicular magnetic layer of the other track have different polarization angles, and both are balanced. When the tracking shifts to one side, either polarization component increases and the other decreases. Such changes in the polarization component are used as tracking information.

【0018】請求項2に記載の発明による光ディスクで
は、請求項1に記載の光ディスクにおいて、その垂直磁
化層が、各隣接トラック間で互いに逆向きに磁化されて
いる。この光ディスクは、例えば光スポットによってト
ラックを照射した場合の反射光に含まれるP偏光成分と
S偏光成分の差動をとることにより、照射する光スポッ
トのトラッキング状態の検出に対応可能である。
According to a second aspect of the present invention, in the optical disc of the first aspect, the perpendicular magnetization layers are magnetized in mutually opposite directions between adjacent tracks. This optical disc can detect the tracking state of the light spot to be irradiated by taking the difference between the P-polarized component and the S-polarized component contained in the reflected light when the track is illuminated by the light spot.

【0019】本発明による光ディスクではトラックピッ
チ寸法を光スポット径以下にして高密度化が可能である
が、特に請求項3に記載の発明による光ディスクでは、
請求項2に記載の光ディスクにおいて、その記録層と垂
直磁化層とで形成されるトラックのピッチ寸法を照射さ
れるレーザー光のスポット径の等倍からほぼ2/5倍の
範囲に形成している。
In the optical disk according to the present invention, the track pitch dimension can be made equal to or smaller than the light spot diameter to achieve high density. Particularly, in the optical disk according to the third aspect of the present invention,
In the optical disc according to claim 2, the pitch dimension of the track formed by the recording layer and the perpendicularly magnetized layer is formed in the range of 1 to 2/5 times the spot diameter of the irradiated laser beam. .

【0020】請求項4に記載の発明による光ディスクで
は、請求項1に記載の光ディスクにおいて、その垂直磁
化層が互いに同じ向きに磁化された二つの隣接トラック
からなる対が複数隣接して形成され、各隣接対間では垂
直磁化層の磁化方向が互いに逆方向に形成されている。
これにより、例えば光スポットによってトラックを照射
した場合の反射光に含まれる各偏光成分の差動の和又は
差をとることにより、更に正確な光スポットのトラッキ
ング状態の検出に対応できる。
According to a fourth aspect of the invention, in the optical disc according to the first aspect, a plurality of pairs of adjacent tracks whose perpendicular magnetization layers are magnetized in the same direction are formed adjacent to each other. The magnetization directions of the perpendicular magnetic layers are formed in mutually opposite directions between the adjacent pairs.
Thus, for example, by obtaining the sum or difference of the differentials of the polarization components included in the reflected light when the track is illuminated with the light spot, it is possible to more accurately detect the tracking state of the light spot.

【0021】請求項5に記載の発明による光ディスクで
は、請求項4に記載の光ディスクにおいて、その記録層
と垂直磁化層とで形成されるトラックのピッチ寸法を照
射されるレーザー光のスポット径に対し等倍からほぼ2
/7倍の範囲に形成してある。
According to the optical disk of the fifth aspect of the present invention, in the optical disk of the fourth aspect, the pitch dimension of the track formed by the recording layer and the perpendicularly magnetized layer is relative to the spot diameter of the laser beam irradiated. 1x to almost 2
It is formed in a range of / 7 times.

【0022】請求項6に記載の発明による光ディスクで
は、上記請求項1に記載の光ディスクにおいて、そのト
ラック方向に沿って、記録すべき情報に対応する部分的
な熱拡散層が前記記録層に重ねて形成されている。この
ような部分的な熱拡散層を選択的に形成した記録層は、
例えば再生専用型光ディスクの情報記録トラックとして
利用される。
According to a sixth aspect of the present invention, in the optical disc of the first aspect, a partial heat diffusion layer corresponding to information to be recorded is superposed on the recording layer along the track direction. Is formed. The recording layer in which such a partial heat diffusion layer is selectively formed is
For example, it is used as an information recording track of a read-only optical disc.

【0023】請求項7に記載の発明によるトラッキング
方法は、請求項1に記載した光ディスクに対してレーザ
ー光を集光することによりトラック上にスポット光を照
射し、該スポット光から得られる情報に基づいてトラッ
キングを行う方法である。ここで、前記光ディスクのト
ラッキング情報は、隣接トラック間における前記垂直磁
化層の磁化方向の相違による光の偏光面の偏差を検出す
ることにより得られる。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a tracking method in which a laser beam is focused on the optical disc according to the first aspect to irradiate a spot light onto a track and to obtain information obtained from the spot light. This is a method of tracking based on the above. Here, the tracking information of the optical disc is obtained by detecting the deviation of the polarization plane of light due to the difference in the magnetization direction of the perpendicular magnetization layer between adjacent tracks.

【0024】請求項8に記載の発明によるトラッキング
方法では、請求項7に記載の方法において、前記光ディ
スクに対してレーザー光を集光することにより得られる
複数のスポット光をそれぞれ別のトラックに照射し、前
記複数のスポット光から得られる複数の検出信号を演算
処理することにトラッキング情報を得ている。この場
合、各スポット光からはそれぞれ異なる偏光角の偏光成
分が得られ、各偏光成分は偏光角毎に偏差をとられ、そ
れらの和または差に基づいてトラッキングが行われる。
In the tracking method according to the invention described in claim 8, in the method described in claim 7, a plurality of spot lights obtained by focusing the laser light on the optical disk are irradiated to different tracks. The tracking information is obtained by arithmetically processing a plurality of detection signals obtained from the plurality of spot lights. In this case, polarization components having different polarization angles are obtained from the respective spot lights, the polarization components are deviated for each polarization angle, and tracking is performed based on the sum or difference thereof.

【0025】[0025]

【実施例】図1は、本発明の第1の実施例を示す光ディ
スクの構成を示す説明図であり、トラック方向に垂直な
拡大部分断面図である。図1に示すように本実施例に係
る光ディスク1は、基板2、第1の保護膜3、記録層
(以下、相変化膜)4、垂直磁化層(以下、光磁気膜)
5、第2の保護膜6より構成されている。前記基板2
は、ガラス等からなる直径130mmの円形の基板であ
る。第1の保護膜3は、ZnS;SiO2 からなり、ス
パッタ法(RFマグネトロンスパッタ)により基板2上
に約100nmの厚さで形成されている。尚、スパッタ
リングに使用したターゲットは、ZnS;SiO2 の混
合ターゲットであり、スパッタ装置のチャンバー内のガ
ス圧を一旦、2×10ー6Torr以下に排気した後、Arガ
スを導入してチャンバー内のガス圧を5×10ー3Torrと
してスパッタを行った。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is an explanatory view showing the structure of an optical disk showing a first embodiment of the present invention, and is an enlarged partial sectional view perpendicular to the track direction. As shown in FIG. 1, an optical disc 1 according to this embodiment includes a substrate 2, a first protective film 3, a recording layer (hereinafter, a phase change film) 4, a perpendicular magnetization layer (hereinafter, a magneto-optical film).
5 and the second protective film 6. The substrate 2
Is a circular substrate made of glass or the like and having a diameter of 130 mm. The first protective film 3 is made of ZnS; SiO 2 and is formed on the substrate 2 with a thickness of about 100 nm by a sputtering method (RF magnetron sputtering). The target used for sputtering was a mixed target of ZnS; SiO 2 , and the gas pressure in the chamber of the sputtering apparatus was once evacuated to 2 × 10 −6 Torr or less, and then Ar gas was introduced into the chamber. Was sputtered at a gas pressure of 5.times.10.sup. -3 Torr.

【0026】また、前記相変化膜4は、Ge2 Sb2
5 からなり、この相変化膜4を前記第1の保護膜3上
に形成するには、前記基板2上に第1の保護膜3を形成
したのと同様なスパッタ法により前記第1の保護膜3上
に該相変化膜4を約50nmの厚さで形成した。尚、こ
の相変化膜4を形成する場合のスパッタリングに用いた
ターゲットは、Ge2 Sb2 Te5 ターゲットである。
図1において、相変化膜4はトラック毎の記録層を構成
し、各トラックには後述する光磁気膜5が沿設されて全
体としてみたときに相変化膜4と光磁気膜5とが交互に
第1の保護膜3上に形成されているが、これは先に相変
化膜4を前記第1の保護膜3上全面に形成し、リソグラ
フィー手法によって各トラック毎の光磁気膜形成領域を
エッチングし、エッチング部分に光磁気膜5をスパッタ
法によって形成したものである。
The phase change film 4 is made of Ge 2 Sb 2 T.
consist e 5, in order to form a phase change layer 4 on the first protective layer 3, by the same sputtering method as that forming the first protective layer 3 on the substrate 2 the first The phase change film 4 having a thickness of about 50 nm was formed on the protective film 3. The target used for sputtering when forming the phase change film 4 is a Ge 2 Sb 2 Te 5 target.
In FIG. 1, the phase change film 4 constitutes a recording layer for each track, and a magneto-optical film 5 described later is provided along each track, and the phase-change film 4 and the magneto-optical film 5 are alternately arranged when viewed as a whole. It is formed on the first protective film 3 by first forming the phase change film 4 on the entire surface of the first protective film 3 and forming a magneto-optical film forming region for each track by a lithography method. Etching is performed, and the magneto-optical film 5 is formed on the etched portion by a sputtering method.

【0027】前記光磁気膜5は、TbFeCo等からな
り、前記第1の保護膜3上に同心円状に約50nmの厚
さで形成した。すなわち、前述したように、先ず前記第
1の保護膜3上の全面に形成された相変化膜4上に、一
旦レジスト(図示せず)を塗布し、ピッチ1μm,幅が
0.5μmの同心円状のパターンをステッパー等の露光
装置によりパターニングした。尚、この場合の露光につ
いては、パターン形状が簡単であるため、回転しながら
露光することにより比較的簡単に行うことができた。
The magneto-optical film 5 is made of TbFeCo or the like, and is formed on the first protective film 3 in a concentric shape with a thickness of about 50 nm. That is, as described above, first, a resist (not shown) is first applied on the phase change film 4 formed on the entire surface of the first protective film 3, and a concentric circle having a pitch of 1 μm and a width of 0.5 μm. The pattern was patterned by an exposure device such as a stepper. Since the pattern shape is simple, the exposure in this case could be performed relatively easily by exposing while rotating.

【0028】パターニング後、レジストを現像し、反応
性イオンエッチング(RIE)(またはイオンビームエ
ッチングでもよい)により、前記相変化膜4を前記同心
円状のパターンにエッチングした。これにより、前記相
変化膜4は前記第1の保護膜3上にパターンに従って選
択的に残り、同心状の凹部には第1の保護膜3が露出し
た。この凹部に前記光磁気膜5をスパッタによって形成
し、図1に示すように相変化膜4と該光磁気膜5が交互
に同心状に現れるようにした。尚、前記相変化膜4の材
料(Ge2 Sb2 Te5 )と光磁気膜5の材料(TbF
eCo)は、後述するトッラキングの際に照射されるス
ポット光による温度の影響を考慮して、光磁気膜5の材
料の磁化反転温度が、相変化膜4の材料の融点温度以上
となるように材料の選定を行った。
After patterning, the resist was developed and the phase change film 4 was etched into the concentric pattern by reactive ion etching (RIE) (or ion beam etching may be used). As a result, the phase change film 4 selectively remained on the first protective film 3 according to the pattern, and the first protective film 3 was exposed in the concentric recesses. The magneto-optical film 5 was formed in this concave portion by sputtering so that the phase change film 4 and the magneto-optical film 5 appeared alternately and concentrically as shown in FIG. The material of the phase change film 4 (Ge 2 Sb 2 Te 5 ) and the material of the magneto-optical film 5 (TbF).
eCo) is set so that the magnetization reversal temperature of the material of the magneto-optical film 5 is equal to or higher than the melting point temperature of the material of the phase change film 4 in consideration of the influence of the temperature of the spot light irradiated during the tracking described later. The materials were selected.

【0029】前記光磁気膜5を形成した後、全面にZn
S;SiO2 からなる第2の保護膜6を形成した。尚、
この第2の保護膜6も、前述したのと同様なスパッタ法
により形成した。
After forming the magneto-optical film 5, Zn is formed on the entire surface.
A second protective film 6 made of S; SiO 2 was formed. still,
This second protective film 6 is also formed by the same sputtering method as described above.

【0030】尚、相変化膜4と光磁気膜5の形成順序を
逆にしても同様の光ディスクを形成することができる。
この場合、各トラックの一部の幅ピッチに光磁気膜5を
先に形成し、その後に相変化膜4を形成することによ
り、図2に示すような断面構成の光ディスクを得ること
ができる。
A similar optical disk can be formed even if the order of forming the phase change film 4 and the magneto-optical film 5 is reversed.
In this case, by forming the magneto-optical film 5 first on a part of the width pitch of each track and then forming the phase change film 4, it is possible to obtain an optical disk having a sectional structure as shown in FIG.

【0031】この様に形成された光ディスク1では、各
トラックが0.5μm幅ずつの相変化膜4と光磁気膜5
とからなり、トラックピッチは1μmである。従って、
従来のものに比べて高密度な情報の記録を行うことがで
きる書換え可能型光ディスクとして使用でき、以下に、
その情報の記録方法の原理を説明する。
In the optical disc 1 thus formed, each track has a phase change film 4 and a magneto-optical film 5 each having a width of 0.5 μm.
And the track pitch is 1 μm. Therefore,
It can be used as a rewritable optical disc that can record information at a higher density than conventional ones.
The principle of the information recording method will be described.

【0032】先ず、トラッキング情報を記録する場合に
ついて説明する。トラッキング用の情報は前記光磁気膜
5に記録される。該光磁気膜5にトラッキング情報を記
録するときは、記録用レーザー光を集光して得られるス
ポット光の中心が、前記光磁気膜5の中心に照射される
ように前記記録用レーザー光を調節する。このレーザー
光によって前記光磁気膜5を磁化反転温度まで加熱し、
保磁力の弱くなった時に弱い磁界(本実施例では、外部
磁界、約300 Oe)を外部から印加することにより、光
磁気膜5の磁化の向きを揃える。そして、その磁化の向
きの違いによりトラッキング用の情報が表される。尚、
本実施例では、隣り合う光磁気膜5のトラック毎に磁化
の向きが反転するよう1トラック毎に記録磁界を反転す
る。また、前記スポット光によって照射された部分のう
ち磁化反転温度まで加熱される部分は、スポット径より
も小さいため、スポット径よりも小さな幅の部分のみを
磁化することができる。
First, the case of recording tracking information will be described. Information for tracking is recorded on the magneto-optical film 5. When recording the tracking information on the magneto-optical film 5, the recording laser light is focused so that the center of the spot light obtained by condensing the recording laser light is irradiated to the center of the magneto-optical film 5. Adjust. The laser beam heats the magneto-optical film 5 to the magnetization reversal temperature,
When the coercive force becomes weak, a weak magnetic field (in this embodiment, an external magnetic field, about 300 Oe) is applied from the outside to align the magnetization directions of the magneto-optical film 5. Then, the tracking information is represented by the difference in the magnetization direction. still,
In this embodiment, the recording magnetic field is reversed for each track so that the magnetization direction is reversed for each track of the adjacent magneto-optical film 5. Further, since the portion of the portion irradiated by the spot light and heated to the magnetization reversal temperature is smaller than the spot diameter, only the portion having a width smaller than the spot diameter can be magnetized.

【0033】次に、光ディスク1に信号情報を記録する
場合について説明する。光ディスク1の相変化膜4に信
号情報を記録するときは、記録用レーザー光を集光して
得られるスポット光の中心が、前記相変化膜4の中心に
照射されるように前記記録用レーザー光のトラッキング
を調節する。そして、前記相変化膜4をその相変化材料
の融点温度以上に加熱し、該相変化材料の結晶構造を変
化(結晶→アモルファス)させる。この結晶構造の変化
した部分と、変化していない部分とにより光ディスク1
の記録情報が表される。ここで、前記スポット光を相変
化膜4に照射したときに、該スポット光内のすべてが高
温となるわけではなく(レーザー光量がガウス分布して
いるため)、スポット光の中心部分が特に高温となる。
そのため記録の際、トラックピッチ方向については、ス
ポット径より狭い幅の記録を行うことができる。尚、前
記光磁気膜5の磁化反転温度の方が、相変化膜4に情報
を記録するために照射されるスポット光の温度よりも高
いため、相変化膜4への記録の際には、光磁気膜5の磁
化の向きに影響を与えることはない。
Next, the case of recording signal information on the optical disc 1 will be described. When signal information is recorded on the phase change film 4 of the optical disc 1, the recording laser is adjusted so that the center of the spot light obtained by condensing the recording laser light is irradiated to the center of the phase change film 4. Adjust the light tracking. Then, the phase change film 4 is heated above the melting point temperature of the phase change material to change the crystal structure of the phase change material (crystal → amorphous). The optical disk 1 is composed of the part where the crystal structure is changed and the part where it is not changed.
The recorded information of is represented. Here, when the spot light is applied to the phase change film 4, not all of the spot light has a high temperature (because the laser light amount has a Gaussian distribution), and the center portion of the spot light has a particularly high temperature. Becomes
Therefore, at the time of recording, it is possible to perform recording with a width narrower than the spot diameter in the track pitch direction. Since the magnetization reversal temperature of the magneto-optical film 5 is higher than the temperature of the spot light irradiated for recording information on the phase change film 4, when recording on the phase change film 4, It does not affect the magnetization direction of the magneto-optical film 5.

【0034】次に、光ディスク1に記録された情報を再
生する場合について説明する。前述のように相変化膜4
には、結晶構造の変化した部分と、変化していない部分
が存在し、これらの部分に再生用のレーザー光を集光し
て得られるスポット光を照射すると、その反射光は、結
晶構造の変化した部分と、変化していない部分とで異な
る反射率を示す。光ディスク1を再生する場合は、この
反射率の違いを検出して情報をとり出す。尚、再生用の
レーザー光を集光して得られるスポット光の径は、相変
化膜3の幅より大きいため、前記相変化膜4と隣接する
トラックの光磁気膜5にも前記再生用レーザー光のスポ
ット光が照射されるが、前記光磁気膜5からの反射光
は、その反射光量が少なく、また該光磁気膜5は情報の
有無により異なる反射率を示すことはない(光磁気膜5
の材料は結晶構造等の変化により反射率が変化する材料
ではない)ため、相変化膜4に記録された情報のみを再
生することができる。
Next, the case of reproducing the information recorded on the optical disc 1 will be described. As described above, the phase change film 4
, There are a part where the crystal structure is changed and a part where the crystal structure is not changed. When these parts are irradiated with spot light obtained by condensing the laser light for reproduction, the reflected light is The reflectance changes between the changed portion and the unchanged portion. When the optical disc 1 is reproduced, this difference in reflectance is detected and information is extracted. Since the diameter of the spot light obtained by condensing the reproducing laser light is larger than the width of the phase change film 3, the reproducing laser is also recorded on the magneto-optical film 5 of the track adjacent to the phase change film 4. Although a spot light of light is emitted, the amount of reflected light from the magneto-optical film 5 is small, and the magneto-optical film 5 does not show different reflectance depending on the presence or absence of information (magneto-optical film). 5
Since the material (1) is not a material whose reflectance changes due to a change in crystal structure or the like), only the information recorded in the phase change film 4 can be reproduced.

【0035】次に、前述のようにトラッキング情報が記
録された光ディスク1のトラッキングを行う場合につい
て説明する。前述のように光磁気膜5は、隣り合う光磁
気膜5のトラック毎(1トラック毎)に磁化の向きの異
なるトラッキング情報が記録されている。そして、前記
光磁気膜4の表面にレーザー光を集光して得られるスポ
ット光を照射すると、その反射光は、磁化の向きによっ
て異なる偏光角を示す(光カー効果)。光ディスク1の
トラッキングを行う時は、この偏光角を検出して行われ
る。尚、レーザー光を集光して得られるスポット光の径
は、光磁気膜4の幅より大きいため、前記光磁気膜5と
隣接する相変化膜4にも前記レーザー光のスポット光が
照射されるが、前記相変化膜4からの反射光は、偏光角
に影響を与える反射光ではない(磁化されていない)た
め、トラッキングを行う場合には、前記光磁気膜5から
得られる偏光角の違いのみを検出してトラッキングを行
うことができる。
Next, the case where the tracking of the optical disc 1 on which the tracking information is recorded as described above is performed will be described. As described above, in the magneto-optical film 5, tracking information having different magnetization directions is recorded for each track (one track) of the adjacent magneto-optical films 5. When the surface of the magneto-optical film 4 is irradiated with spot light obtained by focusing laser light, the reflected light exhibits different polarization angles depending on the direction of magnetization (optical Kerr effect). When the optical disk 1 is tracked, this polarization angle is detected. Since the diameter of the spot light obtained by focusing the laser light is larger than the width of the magneto-optical film 4, the spot light of the laser light is also applied to the phase change film 4 adjacent to the magneto-optical film 5. However, since the reflected light from the phase change film 4 is not reflected light that influences the polarization angle (not magnetized), when tracking is performed, the polarization angle of the polarization angle obtained from the magneto-optical film 5 is changed. Tracking can be performed by detecting only the difference.

【0036】図3は、第1の実施例における光ディスク
1を用いた場合の再生装置の要部概略構成を示す説明図
である。図3に示すように、本実施例における再生装置
は、回転系、再生用レーザー光源系、検出系の3つに大
別され、回転系は、前記光ディスク1を一定回転数で回
転させる。前記再生用レーザー光源系は、λ=780n
m、開口数(NA)=0.55からなる半導体レーザー
光源7及びレンズ8、フィルタ9,10より主に構成さ
れている。また、再生系は、フォトダイオード等のディ
テクター11,12及び該ディテクター11,12に光
を分けて送るための偏光ビームスプリッター13,1
4、前記ディテクター11,12からの出力信号の和あ
るいは差を出力する加算アンプ15、及び差動アンプ1
6より主に構成されている。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a schematic structure of a main part of the reproducing apparatus when the optical disc 1 in the first embodiment is used. As shown in FIG. 3, the reproducing apparatus in the present embodiment is roughly divided into a rotating system, a reproducing laser light source system, and a detecting system, and the rotating system rotates the optical disk 1 at a constant rotation speed. The reproducing laser light source system has λ = 780n
m, the numerical aperture (NA) = 0.55, the semiconductor laser light source 7 and the lens 8, and the filters 9 and 10 are mainly included. Further, the reproducing system includes detectors 11 and 12 such as photodiodes and polarization beam splitters 13 and 1 for transmitting light to the detectors 11 and 12 separately.
4, a summing amplifier 15 for outputting the sum or difference of the output signals from the detectors 11 and 12, and a differential amplifier 1
It is mainly composed of 6.

【0037】前述した光ディスク1は回転系により回転
され、半導体レーザー光源7よりレーザー光が照射され
る。このレーザー光は、光学系を通すことにより、光デ
ィスク1上で焦点が合わされ、回折限界によりスポット
径が定められる。尚、この時のスポット径は、約1.4
μm程度であり、図4(a),(b),(c),(d)
に示すように、ほぼ1.5トラック分にスポット光が照
射される。そして、このスポット光により前述したトラ
ッキング情報と信号情報が読み取られる。すなわち、ス
ポット光の反射光は、図3に示すレンズ8、偏光ビーム
スプリッター13,フィルタ10等を通過した後、偏光
ビームスプリッター14によって二つに分けられ、それ
ぞれディテクター11,12で受光させて電気信号に変
換された後、加算アンプ15によってそれらの和をとる
ことにより信号情報の再生出力を、また差動アンプ16
によりそれらの差をとることによりトラッキング信号を
とり出している。
The optical disk 1 described above is rotated by a rotating system, and laser light is emitted from the semiconductor laser light source 7. This laser light is focused on the optical disc 1 by passing through an optical system, and the spot diameter is determined by the diffraction limit. The spot diameter at this time is about 1.4.
.mu.m, and FIG. 4 (a), (b), (c), (d)
As shown in, the spot light is irradiated on about 1.5 tracks. Then, the tracking information and the signal information described above are read by the spot light. That is, the reflected light of the spot light, after passing through the lens 8, the polarization beam splitter 13, the filter 10 and the like shown in FIG. 3, is divided into two by the polarization beam splitter 14, and is received by the detectors 11 and 12, respectively, and is electrically converted. After being converted into signals, the sum of them is taken by the adding amplifier 15 to reproduce the signal information, and the differential amplifier 16
The tracking signal is extracted by taking the difference between them.

【0038】トラッキング信号について述べると、再生
用のレーザービームのスポット光の中心が、正規のトラ
ックの相変化膜4の中心上にある場合(図4(c))
は、前記差動アンプ16からのトラッキング信号は0に
なる。また、スポット光の中心がずれて光磁気膜5の真
上に位置しているとトラッキング信号は正または負の最
大値となる(図4(a),(b)参照)。また、これら
の中間の状態、例えば図4(d)のように、レーザービ
ームのスポット中心が、正規のトラックの相変化膜4の
中心からずれた場合は、スポット内の両側に入る互いに
磁化方向の異なる光磁気膜5からの各偏光成分の光量が
異なるため、差動アンプから出力されるトラッキング信
号は0にはならず正または負の或る値となる。
The tracking signal will be described. When the center of the spot light of the reproducing laser beam is on the center of the phase change film 4 of the regular track (FIG. 4C).
The tracking signal from the differential amplifier 16 becomes zero. Further, if the center of the spot light is deviated and is located right above the magneto-optical film 5, the tracking signal has a positive or negative maximum value (see FIGS. 4A and 4B). In the intermediate state, for example, when the spot center of the laser beam is deviated from the center of the phase change film 4 of the regular track as shown in FIG. Since the amount of light of each polarization component from the different magneto-optical film 5 is different, the tracking signal output from the differential amplifier does not become 0 but has a positive or negative certain value.

【0039】従って、この差動アンプ16からのトラッ
キング信号が常に0になるよう再生用レーザー光のスポ
ット位置を制御することにより、トラッキングを行うこ
とができる。この場合、スポット内に入る相変化膜3か
らの反射光の光量変動は、偏光による差動出力に影響を
与えないことはいうまでもない。また、トラッキングが
とれている状態では再生出力に光磁気膜5の影響が現れ
ることもない。
Therefore, tracking can be performed by controlling the spot position of the reproducing laser light so that the tracking signal from the differential amplifier 16 is always zero. In this case, needless to say, the variation in the amount of reflected light from the phase change film 3 entering the spot does not affect the differential output due to the polarization. In addition, the magneto-optical film 5 does not affect the reproduction output in the tracking enabled state.

【0040】図5(a)及び(b)はトラックピッチを
微細化して、上記光ディスク1の前記相変化膜4と光磁
気膜5とで形成されるトラックピッチの幅が、照射され
るレーザー光のスポット径のほぼ2/5となるように高
密度化した場合を示しており、この場合にも、図3に示
す再生装置を用いてトラッキングをとることができる。
尚、図5(a)は光ディスク1に照射させたスポット光
のトラッキングがとれている場合であり、図5(b)は
トラッキングが外れている場合である。
5A and 5B, the track pitch is made finer so that the width of the track pitch formed by the phase change film 4 and the magneto-optical film 5 of the optical disk 1 is the laser light irradiated. 2 shows a case where the density is increased to be approximately 2/5 of the spot diameter of 1. In this case also, tracking can be performed by using the reproducing apparatus shown in FIG.
It should be noted that FIG. 5A shows the case where the spot light irradiated on the optical disc 1 is tracked, and FIG. 5B shows the case where the tracking is off.

【0041】図6は、第1の実施例における光ディスク
1を用いた場合の別の再生装置の要部概略構成を示す説
明図である。図6に示すように、本実施例における再生
装置は、回転系、再生用レーザー光源系、検出系の3つ
に大別され、回転系は、前記光ディスク1を一定回転数
で回転させる。前記再生用レーザー光源系は、λ=78
0nm、開口数(NA)=0.55からなる半導体レー
ザー光源7A,レーザー光の出力分布を平坦化するグレ
イティング18、フィルタ9A,10A、レーザー光を
3つにするためのホログラム17及びレンズ8Aより主
に構成されている。また、再生系は、フォトダイオード
等のディテクター11A,12A及び該ディテクター1
1A,12Aに光を分けて送るための偏光ビームスプリ
ッター13A、前記ディテクター11A,12Aより出
力される信号の和及び差を出力する加算アンプ15A、
差動アンプ16A,16B,16C及び前記差動アンプ
16A,16Bからの出力を整流する整流回路19より
主に構成されている。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a schematic structure of a main part of another reproducing apparatus when the optical disc 1 in the first embodiment is used. As shown in FIG. 6, the reproducing apparatus in this embodiment is roughly classified into a rotating system, a reproducing laser light source system, and a detecting system, and the rotating system rotates the optical disk 1 at a constant rotation speed. The reproducing laser light source system has λ = 78
A semiconductor laser light source 7A having 0 nm and a numerical aperture (NA) = 0.55, a grating 18 for flattening the output distribution of laser light, filters 9A, 10A, a hologram 17 and a lens 8A for making three laser lights. More mainly composed. The reproducing system includes detectors 11A and 12A such as photodiodes and the detector 1
A polarization beam splitter 13A for splitting and transmitting light to 1A and 12A, a summing amplifier 15A for outputting the sum and difference of signals output from the detectors 11A and 12A,
The differential amplifier 16A, 16B, 16C and a rectifier circuit 19 for rectifying the output from the differential amplifier 16A, 16B are mainly included.

【0042】図6に示す再生装置と前述した図3に示す
再生装置との違う点は、半導体レーザー光源7Aから出
力されるレーザー光から中心位置が半トラックずつずれ
た3つのスポット光を光ディスク1に照射し、そのうち
中央の1つのスポット光(以下、再生用スポット光と称
す。)から信号情報を再生し、両端の2つのスポット光
(トラッキング用スポット光と称す。)からトラッキン
グ信号を得るようにした点にある。尚、この場合、光デ
ィスク1に照射されるスポット光と各トラックとの関係
は、図7のようになる。
The difference between the reproducing apparatus shown in FIG. 6 and the reproducing apparatus shown in FIG. 3 is that three spot lights whose center positions are shifted by half tracks from the laser light emitted from the semiconductor laser light source 7A are provided on the optical disc 1. Then, the signal information is reproduced from one spot light in the center (hereinafter referred to as reproduction spot light), and the tracking signal is obtained from the two spot lights at both ends (referred to as tracking spot light). It is in the point that I made it. In this case, the relationship between the spot light irradiated on the optical disc 1 and each track is as shown in FIG.

【0043】図6において、光ディスク1は回転系によ
り回転され、半導体レーザー光源7Aよりレーザー光が
照射される。このレーザー光は、光学系を通すことによ
り、光ディスク1上で3つのスポット光(再生用スポッ
ト光及びトラッキング用スポット光)の焦点が合わさ
れ、回折限界によりスポット径が定められる。尚、この
時のスポット径は、それぞれ約1.4μm程度であり、
図7に示すように、ほぼ1.5トラック分にスポット光
が照射される。そして、この3つのスポット光により前
述したトラッキング情報と信号情報が読み取られる。
In FIG. 6, the optical disk 1 is rotated by a rotating system and irradiated with laser light from a semiconductor laser light source 7A. By passing through this optical system, the laser light focuses three spot lights (a reproducing spot light and a tracking spot light) on the optical disc 1, and the spot diameter is determined by the diffraction limit. The spot diameters at this time are about 1.4 μm,
As shown in FIG. 7, spot light is irradiated on about 1.5 tracks. Then, the tracking information and the signal information described above are read by the three spot lights.

【0044】すなわち、3つのスポット光の反射光は、
図6に示すレンズ8、ホログラム17,フィルタ10A
等を通過した後、偏光ビームスプリッター13Aによっ
てそれぞれ2つに分けられた後、それぞれディテクター
11A,12Aで受光させて電気信号に変換される。そ
の後、加算アンプ15Aによってそれぞれの和をとるこ
とにより信号情報の再生出力を、また差動アンプ16
A,16Bによりそれらの差をとり、整流回路19を通
した後、更に差動アンプ16Cよりそれぞれの差をとる
ことによりトラッキング信号をとり出している。尚、加
算アンプ15Aに出力される電気信号は、光ディスク1
上に照射された再生用スポット光が変換された電気信号
であり、差動アンプ16A,16Bに出力される電気信
号は、前記光ディスク1に照射された2つのトラッキン
グ用スポット光が変換された電気信号である。
That is, the reflected lights of the three spot lights are
Lens 8, hologram 17, filter 10A shown in FIG.
And the like, and then divided into two by the polarization beam splitter 13A, and then received by the detectors 11A and 12A, respectively, and converted into electric signals. After that, the addition amplifier 15A obtains the respective sums to reproduce the signal information, and the differential amplifier 16A
After the difference between A and 16B is obtained and passed through the rectifier circuit 19, the difference is further obtained from the differential amplifier 16C to obtain the tracking signal. The electric signal output to the adding amplifier 15A is the optical signal
The electric signal obtained by converting the reproduction spot light irradiated on the upper side and output by the differential amplifiers 16A and 16B is the electric signal obtained by converting the two tracking spot lights irradiated on the optical disc 1. It is a signal.

【0045】ここで、図6に示す再生装置のトラッキン
グ信号について述べると、2つのトラッキング用スポッ
ト光のそれぞれの中心が、正規のトラックの光磁気膜5
の中心上にある場合(即ち図7に示す場合)は、前記差
動アンプ16A,16Bから出力されるそれぞれのトラ
ッキング信号は、一方が正または負の最大値となり、他
方は負または正の最大値となる。これは、スポット内の
光磁気膜5の磁化方向が互いに異なるため、それぞれの
各偏光成分の光量が異なっているためである。そして、
前記差動アンプ16A,16Bから出力されるトラッキ
ング信号を整流回路19に通した後、更に差動アンプ1
6Cを通してそれぞれの差をとると、この差動アンプ1
6Cから出力されるトラッキング信号は前記差動アンプ
16A,16Bから出力された信号の和(負の最大値)
となる。
The tracking signal of the reproducing apparatus shown in FIG. 6 will now be described. The centers of the two tracking spot lights are the magneto-optical film 5 of the regular track.
In the case of being on the center of (i.e., the case shown in FIG. 7), one of the tracking signals output from the differential amplifiers 16A and 16B has a positive or negative maximum value and the other has a negative or positive maximum value. It becomes a value. This is because the magnetization directions of the magneto-optical film 5 in the spots are different from each other, so that the light amounts of the respective polarization components are different. And
After the tracking signals output from the differential amplifiers 16A and 16B are passed through the rectifier circuit 19, the differential amplifier 1
Taking each difference through 6C, this differential amplifier 1
The tracking signal output from 6C is the sum of the signals output from the differential amplifiers 16A and 16B (maximum negative value).
Becomes

【0046】尚、それぞれのスポット光の中心がずれて
相変化膜4の真上に位置している場合(図4において示
した(a),(b)の場合)、または1/4トラックず
れた場合(図4において示した(d)の場合)は、差動
アンプ16A,16Bから出力されるそれぞれのトラッ
キング信号は、一方が正または負の最大値とならず、ま
た他方も負または正の最大値とならない。従って、差動
アンプ16Cから出力されるトラッキング信号も最大値
とならない。
Incidentally, when the centers of the respective spot lights are deviated and located right above the phase change film 4 (cases (a) and (b) shown in FIG. 4), or a 1/4 track deviation occurs. In the case ((d) shown in FIG. 4), one of the tracking signals output from the differential amplifiers 16A and 16B does not have a positive or negative maximum value, and the other also has a negative or positive maximum value. Is not the maximum value of. Therefore, the tracking signal output from the differential amplifier 16C also does not have the maximum value.

【0047】従って、前記差動アンプ16Cからの出力
されるトラッキング信号が、常に負の最大値となるよう
再生用レーザー光のスポット位置を制御することによ
り、トラッキングを行うことができる。この場合、スポ
ット内に入る相変化膜4からの反射光の光量変動は、偏
光による差動出力に影響を与えないことはいうまでもな
い。また、トラッキングがとれている状態では再生出力
に光磁気膜5の影響が現れることもない。
Therefore, tracking can be performed by controlling the spot position of the reproducing laser light so that the tracking signal output from the differential amplifier 16C always has a negative maximum value. In this case, needless to say, the variation in the amount of reflected light from the phase change film 4 entering the spot does not affect the differential output due to the polarization. In addition, the magneto-optical film 5 does not affect the reproduction output in the tracking enabled state.

【0048】また、上記光ディスク1の前記光磁気膜5
にトラッキング情報を記録するときに、該光磁気膜5の
磁化方向を図9に示すように隣り合う2つのトラック毎
に異ならしめるようにしても良い。この場合、上記光デ
ィスク1の前記相変化膜4と光磁気膜5とで形成される
トラックピッチの幅は、照射されるレーザー光のスポッ
ト径の等倍からほぼ2/7倍に高密度化できる。この場
合の再生装置の例を図8と共に説明する。
The magneto-optical film 5 of the optical disc 1 is also used.
When the tracking information is recorded in, the magnetization direction of the magneto-optical film 5 may be made different for every two adjacent tracks as shown in FIG. In this case, the width of the track pitch formed by the phase change film 4 and the magneto-optical film 5 of the optical disc 1 can be increased from the same size as the spot diameter of the irradiated laser light to about 2/7 times. . An example of the reproducing apparatus in this case will be described with reference to FIG.

【0049】図8は、上記光ディスク1を用いた場合の
更に別の再生装置の要部概略構成を示す説明図である。
図8に示すように、本実施例における再生装置は、回転
系、再生用レーザー光源系、検出系の3つに大別され、
回転系は、前記光ディスク1を一定回転数で回転させ
る。前記再生用レーザー光源系は、λ=780nm、開
口数(NA)=0.55からなる半導体レーザー光源7
B,レーザー光の出力分布を平坦化するグレイティング
18A、フィルタ9B,10B、レーザー光を3つにす
るためのホログラム17A及びレンズ8Bより主に構成
されている。また、再生系は、フォトダイオード等のデ
ィテクター11B,12B及び該ディテクター11B,
12Bに光を分けて送るための偏光ビームスプリッター
13B、前記ディテクター11B,12Bより出力され
る信号の和及び差を出力する加算アンプ15B、差動ア
ンプ16D,16E,16F,16G,16H,16I
及び前記差動アンプ16D,16E,16Fからの出力
を演算処理する整流回路19Aより主に構成されてい
る。
FIG. 8 is an explanatory diagram showing a schematic structure of a main part of still another reproducing apparatus using the optical disk 1.
As shown in FIG. 8, the reproducing apparatus according to the present embodiment is roughly classified into a rotating system, a reproducing laser light source system, and a detecting system.
The rotation system rotates the optical disc 1 at a constant rotation speed. The reproducing laser light source system is a semiconductor laser light source 7 having λ = 780 nm and a numerical aperture (NA) = 0.55.
B, a grating 18A for flattening the output distribution of laser light, filters 9B, 10B, a hologram 17A for making three laser lights, and a lens 8B. The reproducing system includes detectors 11B and 12B such as photodiodes and the detector 11B and
A polarization beam splitter 13B for dividing and sending light to 12B, a summing amplifier 15B for outputting the sum and difference of signals output from the detectors 11B, 12B, differential amplifiers 16D, 16E, 16F, 16G, 16H, 16I.
And a rectifying circuit 19A for arithmetically processing the outputs from the differential amplifiers 16D, 16E, 16F.

【0050】図8に示す再生装置と前述した図3及び図
6に示す再生装置との違う点は、半導体レーザー光源7
Aから出力されるレーザー光から中心位置がほぼ1トラ
ック分ずつずれた3つのスポット光を光ディスク1に照
射し、そのうち中央の一つのスポット光(以下、中央ス
ポット光と称す。)から信号情報を再生し、この中央ス
ポット光及び両端の二つのスポット光からトラッキング
信号を得るようにした点にある。つまり、図6において
示した再生用スポット光からもトラッキング信号を得ら
れるようにした点に違いがある。尚、この場合、光ディ
スク1に照射されるスポット光と各トラックとの関係
は、図9のようになる。
The difference between the reproducing apparatus shown in FIG. 8 and the reproducing apparatus shown in FIGS. 3 and 6 is that the semiconductor laser light source 7 is used.
The optical disk 1 is irradiated with three spot lights whose center positions are shifted by about one track from the laser light output from A, and signal information is obtained from one spot light in the center (hereinafter referred to as the center spot light). The point is that reproduction is performed and a tracking signal is obtained from the central spot light and the two spot lights at both ends. That is, there is a difference in that the tracking signal can be obtained from the reproducing spot light shown in FIG. In this case, the relationship between the spot light irradiated on the optical disc 1 and each track is as shown in FIG.

【0051】図8において、光ディスク1は回転系によ
り回転され、半導体レーザー光源7Bよりレーザー光が
照射される。このレーザー光は、光学系を通すことによ
り、光ディスク1上で3つのスポット光の焦点が合わさ
れ、回折限界によりスポット径が定められる。尚、この
時のスポット径は、それぞれ約1.4μm程度であり、
図9に示すように、ほぼ3トラック分にスポット光が照
射される。そして、この3つのスポット光により前述し
たトラッキング情報と信号情報が読み取られる。
In FIG. 8, the optical disk 1 is rotated by a rotating system, and laser light is emitted from the semiconductor laser light source 7B. This laser light passes through an optical system to focus the three spot lights on the optical disc 1, and the spot diameter is determined by the diffraction limit. The spot diameters at this time are about 1.4 μm,
As shown in FIG. 9, spot light is irradiated on almost three tracks. Then, the tracking information and the signal information described above are read by the three spot lights.

【0052】すなわち、3つのスポット光の反射光は、
図8に示すレンズ8B、ホログラム17A、フィルタ1
0B等を通過した後、偏光ビームスプリッター13Bに
よってそれぞれ2つに分けられた後、それぞれディテク
ター11B,12Bで受光させて電気信号に変換され
る。その後、加算アンプ15Bによってそれぞれの和を
とることにより信号情報の再生出力を、また差動アンプ
16D,16E,16Fによりそれぞれの差をとり、整
流回路19Aを通した後、更に差動アンプ16G,16
Hよりそれぞれの差をとり、更にまた差動アンプ16I
よりそれぞれの差をとることによりトラッキング信号を
とり出している。尚、加算アンプ15Bに出力される電
気信号は、光ディスク1上に照射された中央スポット光
を変換した電気信号であり、差動アンプ16D,16
E,16Fに出力される電気信号は、前記光ディスク1
に照射された3つのスポット光を変換した電気信号であ
る。
That is, the reflected lights of the three spot lights are
Lens 8B, hologram 17A, and filter 1 shown in FIG.
After passing through 0B etc., it is divided into two by the polarization beam splitter 13B, and then received by the detectors 11B and 12B, respectively, and converted into electric signals. After that, the addition amplifier 15B calculates the sum of the respective signals to reproduce the signal information, and the differential amplifiers 16D, 16E, and 16F calculate the respective differences, and after passing through the rectifier circuit 19A, the differential amplifier 16G, 16
Differences from H are taken, and differential amplifier 16I
The tracking signal is extracted by taking the respective differences. The electric signal output to the addition amplifier 15B is an electric signal obtained by converting the central spot light emitted on the optical disc 1, and the differential amplifiers 16D and 16D are provided.
The electric signals output to E and 16F are the same as the optical disc 1 described above.
It is an electric signal obtained by converting the three spot lights irradiated on the.

【0053】ここで、図8に示す再生装置のトラッキン
グ信号について述べると、中央スポット光の中心が、正
規のトラックの相変化膜4の中心上にある場合(即ち図
9(a)の場合)は、例えば前記差動アンプ16D,1
6E,16Fのそれぞれから出力されるトラッキング信
号は、差動アンプ16D,16Fの一方が正または負の
最大値となり、他方が負または正の最大値となる。ま
た、差動アンプ16Eは最小値(0)となる。
Here, the tracking signal of the reproducing apparatus shown in FIG. 8 will be described. When the center of the center spot light is on the center of the phase change film 4 of the regular track (that is, in the case of FIG. 9A). Is, for example, the differential amplifier 16D, 1
Regarding the tracking signals output from 6E and 16F, one of the differential amplifiers 16D and 16F has a positive or negative maximum value, and the other has a negative or positive maximum value. The differential amplifier 16E has the minimum value (0).

【0054】これは、前述したようにスポット内の光磁
気膜5の磁化方向が互いに異なるため、それぞれの各偏
光成分の光量が異なっているためである。そして、前記
差動アンプ16D,16E,16Fのそれぞれから出力
されるトラッキング信号を整流回路19Aに通した後、
更に差動アンプ16G,16Hを通してそれぞれの差を
とると、前記差動アンプ16Gから出力されるトラッキ
ング信号は最大値となり、差動アンプ16Hから出力さ
れるトラッキング信号も最大値になる。その後更に、差
動アンプ16Iを通してそれぞれのトラッキング信号の
差をとると、その出力は0となる。
This is because the magnetization directions of the magneto-optical film 5 in the spots are different from each other as described above, so that the light amounts of the respective polarization components are different. Then, after passing the tracking signals output from the differential amplifiers 16D, 16E, and 16F through the rectifier circuit 19A,
Further, if the difference is taken through the differential amplifiers 16G and 16H, the tracking signal output from the differential amplifier 16G has a maximum value, and the tracking signal output from the differential amplifier 16H also has a maximum value. After that, when the difference between the tracking signals is further obtained through the differential amplifier 16I, the output becomes 0.

【0055】尚、それぞれのスポット光の中心がずれ
て、例えば中央スポット光が光磁気膜5の真上に位置し
ている場合(図9(b)の場合)は差動アンプ16Eか
ら出力されるトラッキング信号(中央スポット光から得
られるトラッキング信号の差)は0とならず、従って、
差動アンプ16Iから出力されるトラッキング信号も0
とならない。
When the center of each spot light is deviated and the center spot light is located right above the magneto-optical film 5 (in the case of FIG. 9B), it is output from the differential amplifier 16E. Tracking signal (difference of tracking signals obtained from the central spot light) does not become 0, and
The tracking signal output from the differential amplifier 16I is also 0.
It does not become.

【0056】従って、この差動アンプ16Iからのトラ
ッキング信号が常に0になるよう再生用レーザー光のス
ポット位置を制御することにより、トラッキングを行う
ことができる。この場合、スポット内に入る相変化膜4
からの反射光の光量変動は、偏光による差動出力に影響
を与えないことはいうまでもない。また、トラッキング
がとれている状態では再生出力に光磁気膜5の影響が現
れることもない。
Therefore, tracking can be performed by controlling the spot position of the reproducing laser light so that the tracking signal from the differential amplifier 16I is always zero. In this case, the phase change film 4 entering the spot
It goes without saying that the fluctuation of the light amount of the reflected light from does not affect the differential output due to the polarization. In addition, the magneto-optical film 5 does not affect the reproduction output in the tracking enabled state.

【0057】図10、図11は、本発明の第2の実施例
による光ディスクの構成を示す拡大部分断面図であり、
図10は、トラック方向と直交する断面図、図11は、
トラック方向に平行な断面図である。図10、図11に
示すように、本実施例に係る光ディスク21は、基板2
2、第1の保護膜23、記録層(以下、相変化膜)2
4、垂直磁化層(以下、光磁気膜)25、第2の保護膜
26、熱拡散膜27より構成されており、前記基板22
は、ガラス等からなる直径130mmの円形の基板であ
る。第1の保護膜23はZnS;SiO2 からなり、前
記基板22上にスパッタ法(RFマグネトロンスパッ
タ)により約100nmの厚さで形成されている。尚、
このスパッタリングに使用するターゲットは、ZnS;
SiO2 の混合ターゲットであり、スパッタ装置のチャ
ンバー内のガス圧を一旦2×10ー6Torr以下に排気した
後、Arガスを導入してチャンバー内のガス圧を5×1
ー3Torrとしてスパッタを行った。
FIG. 10 and FIG. 11 are enlarged partial sectional views showing the structure of the optical disc according to the second embodiment of the present invention.
10 is a sectional view orthogonal to the track direction, and FIG. 11 is
It is sectional drawing parallel to a track direction. As shown in FIG. 10 and FIG. 11, the optical disc 21 according to this embodiment includes the substrate 2
2, first protective film 23, recording layer (hereinafter referred to as phase change film) 2
4, a perpendicular magnetization layer (hereinafter, magneto-optical film) 25, a second protective film 26, and a heat diffusion film 27, and the substrate 22.
Is a circular substrate made of glass or the like and having a diameter of 130 mm. The first protective film 23 is made of ZnS; SiO 2 and is formed on the substrate 22 by a sputtering method (RF magnetron sputtering) to a thickness of about 100 nm. still,
The target used for this sputtering is ZnS;
This is a mixed target of SiO 2 and the gas pressure in the chamber of the sputtering apparatus was once evacuated to 2 × 10 −6 Torr or less, then Ar gas was introduced to make the gas pressure in the chamber 5 × 1.
And sputtering was carried out as 0 over 3 Torr.

【0058】前記光磁気膜25は、TbFeCo等から
なり、この光磁気膜25を前記第1の保護膜23上に形
成するには、前記基板22上に第1の保護膜23を形成
したのと同様なスパッタ法を用い、先ずはじめに前記第
1の保護膜23上の全面に該光磁気膜25を約50nm
の厚さで形成した。尚、この光磁気膜24を形成する場
合のスパッタリングに用いたターゲットは、TbFeC
oターゲットである。
The magneto-optical film 25 is made of TbFeCo or the like. To form the magneto-optical film 25 on the first protective film 23, the first protective film 23 is formed on the substrate 22. First, the magneto-optical film 25 is formed on the entire surface of the first protective film 23 by a sputtering method similar to
Formed with a thickness of. The target used for sputtering when forming the magneto-optical film 24 was TbFeC.
o Target.

【0059】そして、前記光磁気膜25上に一旦レジス
ト(図示せず)を塗布し、ピッチ1μm,幅が0.5μ
mの同心円状のパターンをステッパー等の露光装置によ
りパターニングした。尚、この場合の露光については、
パターン形状が簡単であるため、回転しながら露光する
ことにより比較的簡単に行うことができた。
Then, a resist (not shown) is once coated on the magneto-optical film 25, and the pitch is 1 μm and the width is 0.5 μm.
A concentric circular pattern of m was patterned by an exposure device such as a stepper. Regarding the exposure in this case,
Since the pattern shape is simple, it can be performed relatively easily by exposing while rotating.

【0060】パターニング後、レジストを現像し、反応
性イオンエッチング(RIE)(イオンビームエッチン
グでもよい)により、前記光磁気膜25を前記同心円状
パターンにエッチングした。これにより、前記光磁気膜
25は前記第1の保護膜23上にパターンに従って選択
的に残り、同心状の凹部には保護膜23が露出した。こ
の凹部に同様なスパッタ法により前記該相変化膜24を
約50nmの厚さで形成した。尚、この相変化膜24を
形成する場合のスパッタリングに用いたターゲットは、
Ge2 Sb2 Te5 ターゲットである。尚、ここまで形
成された光ディスク基板の相変化膜24、光磁気膜25
の各々は、第1の保護膜23上で幅0.5μm,ピッチ
1μmの同心円状パターンを形成している。
After patterning, the resist was developed, and the magneto-optical film 25 was etched into the concentric circular pattern by reactive ion etching (RIE) (may be ion beam etching). As a result, the magneto-optical film 25 selectively remains on the first protective film 23 according to the pattern, and the protective film 23 is exposed in the concentric recesses. The phase change film 24 having a thickness of about 50 nm was formed in the recess by the same sputtering method. The target used for sputtering when forming the phase change film 24 is
It is a Ge 2 Sb 2 Te 5 target. The phase change film 24 and the magneto-optical film 25 of the optical disk substrate formed up to this point.
Each has a concentric pattern with a width of 0.5 μm and a pitch of 1 μm on the first protective film 23.

【0061】前記熱拡散膜27は、Al等からなり、こ
の熱拡散膜27を前記相変化膜24上に形成するには、
前記基板22上に第1の保護膜23を形成したのと同様
なスパッタ法を用い、先ずはじめに前記相変化膜24上
の全面に熱拡散膜27を約50nmの厚さで形成した。
尚、この熱拡散膜27を形成する場合のスパッタリング
に用いたターゲットは、Alターゲットである。
The thermal diffusion film 27 is made of Al or the like. To form the thermal diffusion film 27 on the phase change film 24,
A thermal diffusion film 27 having a thickness of about 50 nm was first formed on the entire surface of the phase change film 24 by using the same sputtering method as that for forming the first protective film 23 on the substrate 22.
The target used for sputtering when forming the thermal diffusion film 27 is an Al target.

【0062】そして、全面に形成された前記熱拡散膜2
7上に再度レジスト(図示せず)を塗布し、記録すべき
デジタル情報の「1、0」に対応したパターンをステッ
パー等の露光装置により露光した後、レジストを現像
し、イオンビームエッチング(RIEでもよい)により
前記熱拡散膜27をエッチングして、記録すべき情報の
「1」に対応したところの部分のみ前記熱拡散膜27を
除去した。尚、このエッチング除去する部分は、相変化
膜24上に位置する部分のみである。
The heat diffusion film 2 formed on the entire surface
7 is coated with a resist (not shown) again, a pattern corresponding to "1, 0" of digital information to be recorded is exposed by an exposure device such as a stepper, and then the resist is developed and ion beam etching (RIE) is performed. However, the thermal diffusion film 27 is etched to remove only the portion corresponding to "1" of the information to be recorded. Note that the portion to be removed by etching is only the portion located on the phase change film 24.

【0063】このようにして、前記相変化膜24と熱拡
散膜27を形成した後、ZnS;SiO2 からなる第2
の保護膜26を形成した。尚、この第2の保護膜26を
形成する場合にも、前述したのと同様なスパッタ法を利
用した。
After the phase change film 24 and the thermal diffusion film 27 are formed in this way, a second layer of ZnS; SiO 2 is formed.
The protective film 26 of was formed. When forming the second protective film 26, the same sputtering method as described above was used.

【0064】このように形成された光ディスク21は再
生専用光ディスクとして利用でき、これを再生する場
合、再生用レーザースポット光を回転している光ディス
ク21上に照射すると、スポット光の当っている部分と
それにより生じる加熱領域との間に温度上昇の時間的遅
れにより位置ズレが生じる(図12,図13参照)。加
熱された領域にAl等の熱拡散膜27が相変化膜24に
隣接して形成されているか否かにより、一旦再生スポッ
ト光によって高温状態にされた相変化膜24が、液相の
ままであるか、固相に戻るかの違いが生じ、それぞれの
場合の反射率が異なってくる。このため、高温のままに
残されているスポット光内の情報のみを読み取ることが
できる。そして、この様に形成された光ディスク21の
トラッキングを取る方法は、前記第1の実施例に示した
夫々の場合、例えば図3、図6、図8等の装置を用いた
場合と同様にして可能である。
The optical disk 21 formed in this way can be used as a read-only optical disk, and when reproducing the same, when the reproducing laser spot light is irradiated onto the rotating optical disk 21, it becomes a spot on which the spot light hits. A positional shift occurs due to the time delay of the temperature rise between the heating region and the heating region (see FIGS. 12 and 13). Depending on whether the thermal diffusion film 27 such as Al is formed adjacent to the phase change film 24 in the heated region, the phase change film 24 once brought to a high temperature by the reproduction spot light remains in the liquid phase. There is a difference between the presence and the return to the solid phase, and the reflectance in each case is different. Therefore, it is possible to read only the information in the spot light that remains at a high temperature. The method for tracking the optical disk 21 formed in this way is the same as in the case of each of the first embodiments, for example, when the apparatus shown in FIGS. 3, 6, and 8 is used. It is possible.

【0065】[0065]

【発明の効果】本発明は以上説明したように、高密度な
光ディスクを製造することができるとともに、このよう
な高密度に製造された光ディスクを再生する場合におい
ても、垂直磁化層の磁化方向をスポット光から偏光とし
て検出することにより、確実に光ディスクのトラッキン
グを行うことができるという効果がある。
As described above, according to the present invention, it is possible to manufacture a high density optical disk, and even when reproducing an optical disk manufactured with such a high density, the magnetization direction of the perpendicular magnetization layer is set. By detecting the polarized light from the spot light, there is an effect that the optical disc can be reliably tracked.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例による光ディスクの構成
を示すトラック方向に直交する拡大部分断面図である。
FIG. 1 is an enlarged partial cross-sectional view orthogonal to a track direction showing a configuration of an optical disc according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施例の変形例による光ディス
クの構成を示すトラック方向に直交する拡大部分断面図
である。
FIG. 2 is an enlarged partial cross-sectional view orthogonal to the track direction showing the configuration of the optical disc according to the modification of the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明のトラッキング方法に適用される再生装
置の概略構成を示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of a reproducing apparatus applied to the tracking method of the present invention.

【図4】図3に示す再生装置におけるスポット光と各ト
ラックとの位置関係を示す説明図である。
4 is an explanatory diagram showing a positional relationship between spot light and each track in the reproducing apparatus shown in FIG.

【図5】図3に示す再生装置におけるスポット光と高密
度トラックとの位置関係を示す説明図である。
5 is an explanatory diagram showing a positional relationship between spot light and high density tracks in the reproducing apparatus shown in FIG.

【図6】本発明のトラッキング方法に用いられる別の再
生装置の概略構成を示す説明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of another reproducing apparatus used in the tracking method of the present invention.

【図7】図6に示す再生装置におけるスポット光と各ト
ラックとの位置関係を示す説明図である。
7 is an explanatory diagram showing a positional relationship between spot light and each track in the reproducing apparatus shown in FIG.

【図8】本発明のトラッキング方法に用いる更に別の再
生装置の概略構成を示す説明図である。
FIG. 8 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of still another reproducing apparatus used in the tracking method of the present invention.

【図9】図8に示す出力検出装置から照射されるスポッ
ト光の軌跡を示す説明図である。
9 is an explanatory diagram showing a locus of spot light emitted from the output detection device shown in FIG.

【図10】本発明の第2の実施例による光ディスクの構
成を示すトラック方向に直交する拡大部分断面図であ
る。
FIG. 10 is an enlarged partial cross-sectional view orthogonal to the track direction showing the configuration of the optical disc according to the second embodiment of the present invention.

【図11】本発明の第2の実施例による光ディスクの構
成を示すトラック方向に平行な拡大部分断面図である。
FIG. 11 is an enlarged partial sectional view parallel to the track direction showing the configuration of the optical disc according to the second embodiment of the present invention.

【図12】本発明の第2の実施例による光ディスクの再
生時における相変化膜の状態(信号あり)を示す説明図
である。
FIG. 12 is an explanatory diagram showing a state (with a signal) of a phase change film during reproduction of an optical disc according to a second example of the present invention.

【図13】本発明の第2の実施例による光ディスクの再
生時における相変化膜の状態(信号なし)を示す説明図
である。
FIG. 13 is an explanatory diagram showing a state (no signal) of the phase change film during reproduction of the optical disc according to the second example of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,21:光ディスク 2,22:基板 3,23:第1の保護膜 4,24:記録層(相変化膜) 5,25:垂直磁化層(光磁気膜) 6,26:第2の保護膜 7,7A,7B:半導体レーザー光源 8,8A,8B:レンズ 9,9A,9B:フィルタ 10,10A,10B:フィルタ 11,11A,11B:ディテクター 12,12A,12B:ディテクター 13,13A,13B:偏光ビームスプリッター 14:偏光ビームスプリッター 15,15A,15B:加算アンプ 16,16A,16B,16C,16D,16E,16
F,16G,16H,16I:差動アンプ 17,17A,17B:ホログラム 18,18A,18B:グレイティング 19,19A:整流回路 27:熱拡散膜
1, 21: Optical disc 2, 22: Substrate 3, 23: First protective film 4, 24: Recording layer (phase change film) 5, 25: Perpendicular magnetization layer (magneto-optical film) 6, 26: Second protection Films 7, 7A, 7B: Semiconductor laser light sources 8, 8A, 8B: Lenses 9, 9A, 9B: Filters 10, 10A, 10B: Filters 11, 11A, 11B: Detectors 12, 12A, 12B: Detectors 13, 13A, 13B : Polarizing beam splitter 14: Polarizing beam splitter 15, 15A, 15B: Summing amplifier 16, 16A, 16B, 16C, 16D, 16E, 16
F, 16G, 16H, 16I: Differential amplifier 17, 17A, 17B: Hologram 18, 18A, 18B: Rating 19, 19A: Rectifier circuit 27: Thermal diffusion film

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上に結晶構造または相構造の違いに
よって異なる反射率を示す記録層からなるトラックが隣
接して形成されている光ディスクにおいて、 各トラックの一方の側縁に沿って磁化方向によって異な
る偏光角を示す垂直磁化層が延在し、前記垂直磁化層
が、隣接トラック間で予め定められた向きに磁化されて
いることを特徴とする光ディスク。
1. An optical disc having adjacent tracks formed of recording layers having different reflectivities depending on the difference in crystal structure or phase structure on a substrate. An optical disk, wherein perpendicular magnetic layers exhibiting different polarization angles extend, and the perpendicular magnetic layers are magnetized in a predetermined direction between adjacent tracks.
【請求項2】 前記垂直磁化層が、各隣接トラック間で
互いに逆向きに磁化されていることを特徴とする請求項
1に記載の光ディスク。
2. The optical disk according to claim 1, wherein the perpendicular magnetic layers are magnetized in mutually opposite directions between adjacent tracks.
【請求項3】 前記記録層と前記垂直磁化層とで形成さ
れるトラックのピッチ寸法が、照射されるレーザー光の
スポット径に対して等倍からほぼ2/5倍の範囲に形成
されていることを特徴とする請求項2に記載の光ディス
ク。
3. The pitch dimension of the track formed by the recording layer and the perpendicular magnetization layer is formed in the range of 1 to 2/5 times the spot diameter of the irradiated laser beam. The optical disk according to claim 2, characterized in that:
【請求項4】 前記垂直磁化層が、互いに同じ向きに磁
化された二つの隣接トラックからなる対を複数備え、各
隣接対間では垂直磁化層の磁化方向が互いに逆方向に形
成されていることを特徴とする請求項1に記載の光ディ
スク。
4. The perpendicular magnetic layer comprises a plurality of pairs of two adjacent tracks magnetized in the same direction, and the magnetization directions of the perpendicular magnetic layers are formed in mutually opposite directions between the adjacent pairs. The optical disc according to claim 1, characterized in that:
【請求項5】 前記記録層と前記垂直磁化層とで形成さ
れるトラックのピッチ寸法が、照射されるレーザー光の
スポット径に対し等倍からほぼ2/7倍の範囲に形成さ
れていることを特徴とする請求項4に記載の光ディス
ク。
5. The pitch dimension of the track formed by the recording layer and the perpendicular magnetization layer is formed in the range of 1 to 2/7 times the spot diameter of the irradiated laser beam. The optical disc according to claim 4, wherein:
【請求項6】 トラック方向に沿って、記録すべき情報
に対応する部分的な熱拡散層が、前記記録層に重ねて形
成されていることを特徴とする請求項1に記載の光ディ
スク。
6. The optical disc according to claim 1, wherein a partial heat diffusion layer corresponding to information to be recorded is formed so as to overlap the recording layer along the track direction.
【請求項7】 結晶構造または相構造の違いによって異
なる反射率を示す記録層に予め定められた磁化方向に応
じて異なる偏光角を示す垂直磁化層を並設してなるトラ
ックが基板上に隣接して形成された光ディスクに対し、
レーザー光を集光することによりトラック上にスポット
光を照射し、該スポット光から得られる情報に基づいて
トラッキングを行うトラッキング方法であって、 隣接トラック間における前記垂直磁化層の磁化方向の相
違による光の偏光面の偏差を検出することにより前記光
ディスクのトラッキング情報を得ることを特徴とするト
ラッキング方法。
7. A track formed by juxtaposing a perpendicular magnetic layer showing a different polarization angle according to a predetermined magnetization direction on a recording layer showing a different reflectance depending on a difference in crystal structure or phase structure is adjacent to a substrate. For the optical disc formed by
A tracking method for irradiating a spot light onto a track by converging laser light and performing tracking based on information obtained from the spot light, which is due to a difference in magnetization direction of the perpendicular magnetic layer between adjacent tracks. A tracking method, wherein tracking information of the optical disc is obtained by detecting a deviation of a polarization plane of light.
【請求項8】 前記光ディスクに対してレーザー光を集
光することにより複数のスポット光をそれぞれ別のトラ
ックに照射し、前記複数のスポット光から得られる複数
の検出信号を演算処理することにより、前記光ディスク
のトラッキング情報を得ることを特徴とする請求項7に
記載のトラッキング方法。
8. A laser beam is focused on the optical disc to irradiate a plurality of spot lights on different tracks, and a plurality of detection signals obtained from the plurality of spot lights are arithmetically processed. The tracking method according to claim 7, wherein tracking information of the optical disc is obtained.
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Cited By (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2355102A1 (en) * 2010-02-02 2011-08-10 Thomson Licensing Near-field optical recording medium and optical pickup for this optical recording medium

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP2355102A1 (en) * 2010-02-02 2011-08-10 Thomson Licensing Near-field optical recording medium and optical pickup for this optical recording medium

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