JPH075776B2 - Chemical plating method for fluoropolymer moldings - Google Patents

Chemical plating method for fluoropolymer moldings

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JPH075776B2
JPH075776B2 JP6932793A JP6932793A JPH075776B2 JP H075776 B2 JPH075776 B2 JP H075776B2 JP 6932793 A JP6932793 A JP 6932793A JP 6932793 A JP6932793 A JP 6932793A JP H075776 B2 JPH075776 B2 JP H075776B2
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JP
Japan
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laser
chemical plating
fluorine
film
molded article
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Inventor
弘之 新納
明 矢部
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工業技術院長
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、フッ素系高分子成形品
の化学めっき方法に関する。より詳しく言えば本発明
は、ヒドラジン類のガスを含む系において紫外レーザー
光を照射することによって、残留物等の不純物を高分子
表面に残さずにレーザー照射表面を親水化して表面の構
造特性や機能性を向上させ、次いで、化学めっきを行な
って成形品表面に金属膜を位置選択的に堆積させるフッ
素系高分子成形品の新規な化学めっき方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chemical plating method for fluoropolymer moldings. More specifically, the present invention, by irradiating an ultraviolet laser beam in a system containing a gas of hydrazines, without making impurities such as residues on the polymer surface, to make the laser-irradiated surface hydrophilic and structural characteristics of the surface and The present invention relates to a novel chemical plating method for a fluoropolymer molded article, which has improved functionality and is then chemically plated to positionally and selectively deposit a metal film on the surface of the molded article.

【0002】[0002]

【従来の技術】紫外域の高強度パルス光を発振するエキ
シマレーザーを用いた高分子表面反応は、ポリマーの精
密な表面処理・表面加工法として、基礎および応用の両
面から活発に検討が進められている。本発明者らはこれ
までに、レーザー照射によってポリマーの表面に(1)
液晶配向膜に応用できる微細構造の形成(H. Niino, A.
Yabe, et al., Japan Journal of Applied Physics, vo
l.28, p.L2225(1989); Applied Physics Letters, vol.
55, p.510(1989); Applied Physics Letters, vol.54,
p.2159(1989); Applied Physics Letters, vol.57, p.2
368(1990); Journal of Photochemistry. Photobiology
A: Chemistry, vol.65, p.303(1992)、および(2)表
面電位の変化を利用することで照射位置選択的な化学め
っきを行なうこと(H. Niino, A. Yabe,et al., Applied
Physics Letters, vol.60, p.2697(1992))を報告し
た。これらは、周期的な表面形状の変化やイオン種の生
成に基づいている。
2. Description of the Related Art A polymer surface reaction using an excimer laser that oscillates high-intensity pulsed light in the ultraviolet region has been actively studied from the viewpoint of both basic and application as a precise surface treatment / processing method for polymers. ing. The inventors of the present invention have so far studied (1) the surface of a polymer by laser irradiation.
Formation of fine structure applicable to liquid crystal alignment film (H. Niino, A.
Yabe, et al., Japan Journal of Applied Physics, vo
l.28, p.L2225 (1989); Applied Physics Letters, vol.
55, p.510 (1989); Applied Physics Letters, vol.54,
p.2159 (1989); Applied Physics Letters, vol.57, p.2
368 (1990); Journal of Photochemistry. Photobiology
A: Chemistry, vol.65, p.303 (1992), and (2) Performing irradiation position-selective chemical plating by utilizing changes in surface potential (H. Niino, A. Yabe, et al. , Applied
Physics Letters, vol.60, p.2697 (1992)) was reported. These are based on periodic surface shape changes and generation of ionic species.

【0003】W.G.ホーキンスらは(W. G. Hawkins a
nd P. L. Houston, Journal of Physical Chemistry, V
ol.86, p.704(1982)) 、アルゴンフッ素(ArF)エキ
シマレーザー(波長:193nm)照射によるヒドラジ
ン( N24)の光化学分解を気相において試み、反応中
間体としてNH2 、N23 などのラジカル種やNHな
どのナイトレン種を分光法によって検出している。この
ように、紫外レーザーを用いるとガス分子が光化学反応
により分解して、高い化学反応性を有する反応中間体を
効率良く発生させることが可能である。しかしながら、
彼らはこれらの反応中間体を用いた表面処理法について
の工業的な有用性、活用策については何等の提案も行な
っていない。
W. G. Hawkins a
nd PL Houston, Journal of Physical Chemistry, V
ol.86, p.704 (1982)), photochemical decomposition of hydrazine (N 2 H 4 ) by irradiation with argon fluorine (ArF) excimer laser (wavelength: 193 nm) was attempted in a gas phase, and NH 2 and N were used as reaction intermediates. Radical species such as 2 H 3 and nitrene species such as NH are detected by spectroscopy. As described above, when an ultraviolet laser is used, gas molecules are decomposed by a photochemical reaction, and a reaction intermediate having high chemical reactivity can be efficiently generated. However,
They have not proposed any industrial utility or utilization of surface treatment methods using these reaction intermediates.

【0004】一方、ポリ四フッ化エチレンに代表される
フッ素系ポリマーは、熱的および化学的に安定性が高く
工業的に広く興味が持たれている。しかし、表面自由エ
ネルギーが非常に低いために表面は撥水撥油性を示し、
表面の接着性が悪く応用分野が制約されている実状にあ
る。したがって、成型品自体の諸特性を保ったままで、
表面の接着性を向上させるために、様々な表面改質法に
よって極性基を導入することが検討されている。例え
ば、プラズマ処理を用いる方法(M. Morra, etal., Lang
muir, vol.5, p.872(1989))、アルカリ金属の溶液を用
いた化学的活性化方法(E. R. Nelson, et al., Industr
ial and Engineering Chemistry, vol.50, p.329(195
8)) 、および、ボロン・アルミニウム・アンモニア化合
物を用いたレーザー照射による方法( 豊田,村原,特開
平2- 196834号公報)などが報告されている。し
かし、これらの方法は、高分子表面に物理的なダメージ
与える、局所的な表面改質が困難である、または試薬類
の取扱いに十分な注意が必要であるなどの問題を有して
いる。また、これらの報告中では、レーザー照射処理表
面へ金属膜を堆積させることについては何等の提案も行
なわれていない。
On the other hand, a fluorine-based polymer typified by polytetrafluoroethylene has a high thermal and chemical stability and is of wide industrial interest. However, since the surface free energy is very low, the surface shows water and oil repellency,
The surface adhesiveness is poor and the field of application is limited. Therefore, while maintaining the characteristics of the molded product itself,
In order to improve the surface adhesiveness, introduction of polar groups by various surface modification methods has been studied. For example, a method using plasma treatment (M. Morra, et al., Lang
muir, vol.5, p.872 (1989)), chemical activation method using alkali metal solution (ER Nelson, et al., Industr
ial and Engineering Chemistry, vol.50, p.329 (195
8)), and a method by laser irradiation using a boron-aluminum-ammonia compound (Toyota, Murahara, JP-A-2-196834). However, these methods have problems such as physical damage to the polymer surface, difficulty in local surface modification, and careful handling of reagents. Further, in these reports, no proposal has been made for depositing a metal film on the laser irradiation treated surface.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、フッ素系高
分子成形品の光表面加工法に関して、紫外レーザーの照
射による光加工法の優れた特性を用いて、表面自由エネ
ルギーの低いフッ素系高分子成形品の表面を位置選択的
に親水化し、その後化学めっきを行なうことによって密
着性に優れた金属膜を該高分子表面に堆積させることを
目的とする。すなわち本発明は、合成樹脂成形品のより
効果的な表面処理加工方法を提供することを目的とす
る。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention relates to an optical surface processing method for a fluorine-containing polymer molded article, and by using the excellent characteristics of the optical processing method by irradiation with an ultraviolet laser, a fluorine-based high surface processing energy with a low surface free energy is obtained. The purpose of the present invention is to deposit a metal film having excellent adhesion on the surface of the polymer by making the surface of the molecular molded article hydrophilic in a position-selective manner and then performing chemical plating. That is, an object of the present invention is to provide a more effective surface treatment method for a synthetic resin molded product.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、紫外レー
ザー照射によるフッ素系高分子の表面加工法について鋭
意研究を重ねた結果、ヒドラジン類を含む系において紫
外レーザーを照射すると、フッ素系高分子表面のフッ素
原子がアミノ基と置換されて、レーザー照射面のみを親
水化させることが可能であることを見いだした(特願平
4−356941号)。さらに、表面活性化のために該
高分子を塩化第一スズ・塩酸混合水溶液および塩化パラ
ジウム水溶液に浸積し、続いて化学めっき浴に浸積する
ことで、該フッ素系高分子表面のレーザー照射部位のみ
に位置選択的に金属膜を密着性よく堆積させることが可
能であることを見いだした。本発明は、これらの知見に
基づきなされたものである。
Means for Solving the Problems As a result of intensive studies on the surface processing method of a fluorine-containing polymer by ultraviolet laser irradiation, the present inventors have found that when an ultraviolet laser is irradiated in a system containing hydrazines, a high fluorine-containing polymer is obtained. It was found that the fluorine atom on the surface of the molecule can be replaced with an amino group to make only the laser-irradiated surface hydrophilic (Japanese Patent Application No. 4-356941). Further, by immersing the polymer in a stannous chloride / hydrochloric acid mixed aqueous solution and a palladium chloride aqueous solution for surface activation, and then in a chemical plating bath, laser irradiation of the surface of the fluoropolymer is performed. It was found that it is possible to selectively deposit a metal film with good adhesion only on the site. The present invention has been made based on these findings.

【0007】すなわち本発明は、(1)フッ素系高分子
成形品にヒドラジン類の存在下に紫外レーザー光を照射
することにより該高分子成形品の表面を親水化し、次い
で化学めっきを行なって、該高分子成形品の表面に金属
膜を堆積させることを特徴とするフッ素系高分子成形品
の化学めっき方法、(2)紫外レーザーとして波長25
0nm以下のアルゴンフッ素エキシマレーザーまたはク
リプトンフッ素エキシマレーザーを用いることを特徴と
する(1)項記載の方法を提供するものである。
That is, according to the present invention, (1) a fluorine-based polymer molded article is exposed to ultraviolet laser light in the presence of hydrazines to hydrophilize the surface of the polymer molded article, and then chemical plating is carried out, A method for chemical plating of a fluorine-based polymer molded article, which comprises depositing a metal film on the surface of the polymer molded article, (2) a wavelength of 25 as an ultraviolet laser
The method according to item (1) is characterized in that an argon fluorine excimer laser of 0 nm or less or a krypton fluorine excimer laser is used.

【0008】次に本発明を詳細に説明する。ここでいう
高分子成形品とは、フィルム、シート、繊維、繊維強化
樹脂及び樹脂成形品等の材料を指し、必ずしも最終的な
製品としての成形品である必要はなく、その形状には制
限はない。本発明に用いられるヒドラジン類としては、
ヒドラジン、抱水ヒドラジン、フェニルヒドラジン及び
塩酸ヒドラジンなどが挙げられる。フッ素系高分子成形
品とヒドラジン類との反応をヒドラジンを例に説明す
る。ヒドラジン雰囲気下で紫外レーザーを照射すると電
子励起状態のヒドラジンが生成し、つづいて該電子励起
状態のヒドラジンがラジカルやナイトレンなどの反応中
間体に分解する。これらの反応中間体は高い化学反応性
を有しているので、反応系中にフッ素系高分子成形品が
存在すると、成形品の表面の炭素原子上でフッ素原子と
前記反応中間体との置換反応がおこる。したがって、成
形品表面でアミノ基を有するポリマー分子鎖が生成し、
その結果、表面の親水化が観測される。また、反応中間
体の寿命が短いためにレーザー光が照射された表面部位
のみに前記置換反応が起こり、位置選択的な表面アミノ
化反応が行なわれる。
Next, the present invention will be described in detail. The polymer molded article here means a material such as a film, a sheet, a fiber, a fiber reinforced resin and a resin molded article, and does not necessarily have to be a molded article as a final product, and its shape is not limited. Absent. As the hydrazines used in the present invention,
Examples thereof include hydrazine, hydrazine hydrate, phenylhydrazine and hydrazine hydrochloride. The reaction between the fluoropolymer molded product and hydrazines will be described by taking hydrazine as an example. Irradiation with an ultraviolet laser in a hydrazine atmosphere produces hydrazine in an electronically excited state, and then hydrazine in the electronically excited state is decomposed into a reaction intermediate such as a radical or nitrene. Since these reaction intermediates have high chemical reactivity, when a fluoropolymer molded product is present in the reaction system, substitution of the fluorine atom with the reaction intermediate on the carbon atom on the surface of the molded product is performed. The reaction occurs. Therefore, a polymer molecular chain having an amino group is generated on the surface of the molded article,
As a result, hydrophilization of the surface is observed. Further, since the life of the reaction intermediate is short, the substitution reaction occurs only on the surface portion irradiated with the laser beam, and the regioselective surface amination reaction is performed.

【0009】ヒドラジンを含む系でArFエキシマレー
ザー光の照射を行なったポリ四フッ化エチレン(PTF
E)および四フッ化エチレン・六フッ化プロピレン共重
合体(FEP)フィルム表面に、アミノ基による置換が
おきていることが、X線光電子分光測定(XPS)スペ
クトルにおける窒素ピークの出現およびフッ素ピークの
減少から確認された(図1および図2)。レーザー照射
前(図2)と比較してレーザー照射後(図1)では、窒
素(N1s)ピークがあらわれるとともに、フッ素
(F1s)ピークが炭素(C1s)ピークに比べて減少して
いることが示されている。このことは、レーザー照射前
にフッ素原子が結合していた炭素原子上で窒素原子すな
わちアミノ基による置換がおきていることを意味してい
る。さらに、水に対する接触角も処理前が130度であ
るのに対し、処理後は90度ないし30度に変化し、表
面が親水化されていることが明らかになった。上記した
紫外レーザー照射によれば、簡便・迅速にフッ素系高分
子成形品表面を親水化させることが可能である。アミノ
基によって表面が改質されたフッ素系高分子成形品は、
バルクの諸特性が保持されたまま表面自由エネルギーが
大きくなっているために、フッ素系ポリマーの長所を保
持したまま表面接着性が向上し、あるいはアミノ基と他
の試薬との反応によってさらに応用範囲を広げることも
可能となる。
Polytetrafluoroethylene (PTF) irradiated with ArF excimer laser light in a system containing hydrazine
E) and the presence of substitution with amino groups on the surface of the tetrafluoroethylene / hexafluoropropylene copolymer (FEP) film indicate the appearance of nitrogen peaks and fluorine peaks in X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) spectra. It was confirmed by the decrease of (Fig. 1 and Fig. 2). After the laser irradiation (FIG. 1), the nitrogen (N 1s ) peak appears and the fluorine (F 1s ) peak decreases compared to the carbon (C 1s ) peak before the laser irradiation (FIG. 2). Is shown. This means that the carbon atom to which the fluorine atom was bonded before the laser irradiation was replaced by the nitrogen atom, that is, the amino group. Further, the contact angle with water was 130 degrees before the treatment, but changed from 90 degrees to 30 degrees after the treatment, which revealed that the surface was hydrophilized. According to the above-mentioned ultraviolet laser irradiation, the surface of the fluoropolymer molded product can be easily and quickly made hydrophilic. Fluorine-based polymer molded products whose surface has been modified with amino groups
Since the surface free energy is large while maintaining the bulk properties, the surface adhesiveness is improved while maintaining the advantages of the fluoropolymer, or the range of application is further improved by the reaction between the amino group and other reagents. It is also possible to expand.

【0010】次に、位置選択的な化学めっき工程につい
て述べる。表面アミノ化処理を行なったフッ素系高分子
成形品の表面を活性化するために、まず塩化第一スズ−
塩酸混合水溶液に浸積する。水溶液が酸性であるので成
形品表面のアミノ基はイオン化されてアンモニオ基(R-N
H3 +)になり、スズのクロロ錯イオン(SnCl4 2-) がイオン
結合によって表面に固定化される。次いで水洗の後、塩
化パラジウム(PdCl2) 水溶液に浸積し、表面に吸着した
パラジウムイオンをスズ錯イオンによって還元すること
で、金属パラジウムコロイドを表面に析出させる。これ
らの表面活性化工程の後に、成形品をめっきしようとす
る金属を含む化学めっき浴に浸積することにより、表面
の金属パラジウムコロイドを触媒サイトとして、レーザ
ー照射部位のみに金属膜を堆積させることができる。本
発明において、めっき浴に用いて金属膜とする金属とし
ては、ニッケル、銅、コバルトおよび金が好ましい。
Next, the position-selective chemical plating process will be described. In order to activate the surface of the fluoropolymer molding that has undergone surface amination treatment, first stannous chloride-
Immerse in hydrochloric acid mixed aqueous solution. Since the aqueous solution is acidic, the amino groups on the surface of the molded product are ionized and ammonio groups (RN
H 3 + ) and tin chloro complex ion (SnCl 4 2− ) is immobilized on the surface by ionic bonding. Then, after washing with water, it is immersed in an aqueous solution of palladium chloride (PdCl 2 ) and palladium ions adsorbed on the surface are reduced by tin complex ions to deposit a metal palladium colloid on the surface. After these surface activation steps, the molded product is immersed in a chemical plating bath containing the metal to be plated to deposit a metal film only on the laser irradiation site, using the metal palladium colloid on the surface as a catalyst site. You can In the present invention, nickel, copper, cobalt and gold are preferable as the metal used in the plating bath to form the metal film.

【0011】さらに、上記した方法によりレーザー照射
表面上に位置選択的に堆積した金属めっき膜は、光沢を
有しており、また成形品表面への密着性がよいために接
着テープによる引き剥し試験でも金属膜は剥がれなかっ
た。さらに、めっき膜が導電性を有することを利用し
て、一般の電解めっきを行なうことでめっき膜をより堅
固な金属膜に加工することができる。また、本発明にお
いては、高分子成形品表面の改質したい部位に相当する
マスク(金属板製パターンなど)を通過させたレーザー
ビームを照射することで、希望する照射部分のみに表面
処理を行なうことが可能である。一方、ArF又はKr
Fエキシマレーザーのビームは、ヘリウム−ネオンレー
ザー、アルゴン並びにクリプトンイオンレーザー、及び
Nd+ :YAGレーザー等の他のレーザーのビームと比
較して、ビーム形状が大きく、ビームを走査させ、任意
の形状の改質すべき部位を照射することで、大面積処理
にも容易に対応できる。特に、本発明では、紫外レーザ
ーによる非熱的な光化学反応によりヒドラジン類が反応
するので、照射部位以外の周辺部には何らの熱的損傷を
伴わず、極めて効果的に表面処理を行なうことができ
る。
Further, the metal-plated film deposited on the laser-irradiated surface by the method described above has a luster and has good adhesion to the surface of the molded product. However, the metal film did not come off. Further, by utilizing the fact that the plated film has conductivity, general electrolytic plating can be performed to process the plated film into a more robust metal film. Further, in the present invention, the surface treatment is performed only on a desired irradiation portion by irradiating with a laser beam that has passed through a mask (a metal plate pattern or the like) corresponding to a portion to be modified on the surface of the polymer molded article. It is possible. On the other hand, ArF or Kr
The beam of the F excimer laser has a large beam shape as compared with the beams of other lasers such as a helium-neon laser, an argon and krypton ion laser, and an Nd + : YAG laser. By irradiating the area to be modified, it is possible to easily deal with large area processing. In particular, in the present invention, since hydrazines react by a non-thermal photochemical reaction by an ultraviolet laser, the peripheral portion other than the irradiation site is not accompanied by any thermal damage, and the surface treatment can be performed extremely effectively. it can.

【0012】本発明におけるレーザーとしては、ヒドラ
ジン類の紫外吸収波長を発振する紫外レーザーが適して
おり、特に好ましくは、ArFエキシマレーザー(波
長:193nm)またはクリプトンフッ素(KrF)エ
キシマレーザー(248nm)が用いられる。また、N
+ :YAG、色素レーザー、Krイオンレーザー、A
rイオンレーザーあるいは銅蒸気レーザーなども、基本
波長光を非線形光学素子などを利用して、250nm以
下の紫外光領域のレーザー光に変換することにより用い
ることができる。レーザーのフルエンスとしては、高分
子やヒドラジンの種類により異なるが、パルス幅がナノ
秒程度の場合に約1mJ・ パルス-1以上の高強度レーザ
ーが望ましい。本発明において、紫外レーザー光の強度
はアブレーションが起こるしきい値強度よりも低い強度
で行うことが好ましく、例えば約100mJ・cm-2
パルス-1以下の強度があることが好ましい。また、紫外
レーザー照射を行う系内のヒドラジン類のガス圧力は高
いほうが効果的である。なお、本発明において対象とな
るフッ素系合成高分子成形品は、非晶性または結晶性
の、芳香族系または非芳香族系高分子のいずれでもよ
く、例えば、ポリ四フッ素化エチレン、ポリ六フッ素化
プロピレン、ポリフッ素化ビニリデン及びポリ三フッ素
化塩化エチレン樹脂のいづれかか、これらの共重合物
か、またはこれらの混合物からなる合成樹脂である。
As the laser in the present invention, an ultraviolet laser that oscillates the ultraviolet absorption wavelength of hydrazines is suitable, and an ArF excimer laser (wavelength: 193 nm) or a krypton fluorine (KrF) excimer laser (248 nm) is particularly preferable. Used. Also, N
d + : YAG, dye laser, Kr ion laser, A
An r-ion laser, a copper vapor laser, or the like can also be used by converting light having a fundamental wavelength into laser light in the ultraviolet light region of 250 nm or less using a non-linear optical element or the like. The laser fluence varies depending on the type of polymer or hydrazine, but a high intensity laser of about 1 mJ · pulse −1 or more is desirable when the pulse width is about nanosecond. In the present invention, the intensity of the ultraviolet laser light is preferably lower than the threshold intensity at which ablation occurs, for example, about 100 mJ · cm −2 ·
It is preferable that the intensity is less than or equal to pulse- 1 . Further, it is effective that the gas pressure of hydrazines in the system for ultraviolet laser irradiation is high. The fluorine-based synthetic polymer molded article targeted in the present invention may be either an amorphous or crystalline aromatic or non-aromatic polymer, and examples thereof include polytetrafluorinated ethylene and polyhexafluoroethylene. It is a synthetic resin composed of any one of fluorinated propylene, polyfluorinated vinylidene, and polytrifluorinated ethylene chloride resin, a copolymer thereof, or a mixture thereof.

【0013】[0013]

【実施例】次に本発明を実施例に基づきさらに詳細に説
明する。 実施例1 ポリ四フッ化エチレン・ポリ六フッ化プロピレン共重合
体(FEP)フィルムを反応容器にセットし、室温、ヒ
ドラジン雰囲気(9Torr)においてArFエキシマ
レーザーを50mJ・ cm-2・ パルス-1の強度で1, 0
00パルス照射し、表面処理を行なった。レーザー照射
によって、水に対する表面の接触角は130度から30
度に減少し、表面が親水化されたことが判明した。ま
た、X線光電子分光測定(XPS)によって、レーザー
照射後に窒素(N1s)ピークがあらわれるとともに、フ
ッ素(F1s)ピークが減少したことから、処理後の表面
にアミノ基が導入されていることが確認された(図1及
び図2)。前記表面アミノ化処理を行なったFEPフィ
ルムを、表面活性化のためにまず塩化第一スズ−塩酸混
合水溶液に数秒〜1分間浸積し、水洗の後、塩化パラジ
ウム(PdCl2) 水溶液に数分間浸積した。これらの表面活
性化工程の後にFEPフィルムをニッケルまたは銅の化
学めっき浴に浸積すると、レーザー照射部位のみに位置
選択的にニッケルまたは銅の金属膜を堆積させることが
できた。生成した金属めっき膜に対して接着テープ(米
国スリーエム社製メンディングテープ(M−18))に
よる引き剥し試験を行なった。その結果、金属膜が剥れ
ることはなく、ポリマー表面への密着性に優れることが
わかった。
The present invention will be described in more detail based on the following examples. Example 1 A polytetrafluoroethylene / polyhexafluoropropylene copolymer (FEP) film was set in a reaction vessel, and an ArF excimer laser was irradiated with 50 mJ · cm −2 · pulse- 1 at room temperature and in a hydrazine atmosphere (9 Torr). 1,0 in strength
A surface treatment was performed by irradiating with 00 pulses. Due to the laser irradiation, the contact angle of the surface with water is 130 degrees to 30 degrees.
It was found that the surface was hydrophilized. In addition, a nitrogen (N 1s ) peak appeared after laser irradiation and a fluorine (F 1s ) peak decreased by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), indicating that an amino group was introduced on the surface after the treatment. Was confirmed (FIGS. 1 and 2). The surface-aminated FEP film is first immersed in a stannous chloride-hydrochloric acid mixed aqueous solution for a few seconds to 1 minute for surface activation, washed with water, and then dipped in a palladium chloride (PdCl 2 ) aqueous solution for a few minutes. Soaked. When the FEP film was immersed in a nickel or copper chemical plating bath after these surface activation steps, a nickel or copper metal film could be deposited site-selectively only on the laser irradiation site. A peeling test using an adhesive tape (Mending Tape (M-18) manufactured by 3M USA) was performed on the generated metal plating film. As a result, it was found that the metal film did not peel off and the adhesion to the polymer surface was excellent.

【0014】実施例2 ポリ四フッ化エチレン(PTFE)フィルムを反応容器
にセットし、室温、ヒドラジン雰囲気(9Torr)に
おいてArFエキシマレーザーを50mJ・ cm- 2・パ
ルス-1の強度で1, 000パルス照射し、表面処理を行
なった。レーザー照射によって、水に対する表面の接触
角は130度から90度に減少し、表面が親水化された
ことが判明した。前記表面アミノ化処理を行なったPT
FEフィルムを、表面活性化のためにまず塩化第一スズ
−塩酸混合水溶液に数秒〜1分間浸積し、水洗の後、塩
化パラジウム(PdCl2) 水溶液に数分間浸積した。これら
の表面活性化工程の後にPTFEフィルムをニッケルま
たは銅の化学めっき浴に浸積すると、レーザー照射部位
のみに位置選択的にニッケルまたは銅の金属膜を堆積さ
せることができた。生成した金属めっき膜に対して実施
例1と同様の接着テープによる引き剥し試験を行った。
その結果、金属膜が剥れることはなく、ポリマー表面へ
の密着性に優れることがわかった。
[0014] Example 2 polyquaternary sets polytetrafluoroethylene (PTFE) film into the reaction vessel at room temperature, 50 mJ ArF excimer laser in hydrazine atmosphere (9Torr) · cm - 1 at an intensity of 2 pulse -1, 000 pulses Irradiation and surface treatment were performed. It was found that the contact angle of the surface to water was reduced from 130 degrees to 90 degrees by the laser irradiation, and the surface was hydrophilized. PT subjected to the surface amination treatment
The FE film was first immersed in a stannous chloride-hydrochloric acid mixed aqueous solution for several seconds to 1 minute for surface activation, washed with water, and then immersed in an aqueous palladium chloride (PdCl 2 ) solution for several minutes. When the PTFE film was immersed in a nickel or copper chemical plating bath after these surface activation steps, a nickel or copper metal film could be deposited site-selectively only on the laser irradiation site. A peeling test using the same adhesive tape as in Example 1 was performed on the generated metal plating film.
As a result, it was found that the metal film did not peel off and the adhesion to the polymer surface was excellent.

【0015】[0015]

【発明の効果】本発明によれば、紫外レーザー光照射が
エネルギー及び位置制御性に優れていることを利用し
て、極めて効果的、精密かつ均一にフッ素系高分子成形
品の表面へアミノ基を導入して該表面を親水化すること
が可能である。続いて表面活性化処理の後に化学めっき
を施すことにより、レーザー照射によるパターン形成部
位のみに金属めっき膜を密着性よく堆積させることがで
きる。
EFFECTS OF THE INVENTION According to the present invention, by utilizing the fact that the irradiation of ultraviolet laser light is excellent in energy and position controllability, amino groups can be extremely effectively, precisely and uniformly applied to the surface of a fluoropolymer molding. Can be introduced to make the surface hydrophilic. Then, by performing a chemical plating after the surface activation treatment, the metal plating film can be deposited with good adhesion only on the pattern formation site by laser irradiation.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施例1において、四フッ化エチレン・六フッ
化プロピレン共重合体(FEP)フィルムにヒドラジン
雰囲気下でArFエキシマレーザーを照射した後のFE
PフィルムのX線光電子分光(XPS)スペクトルであ
る。
FIG. 1 shows the FE after the tetrafluoroethylene / propylene hexafluoride copolymer (FEP) film was irradiated with ArF excimer laser in a hydrazine atmosphere in Example 1.
It is an X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) spectrum of P film.

【図2】実施例1において、レーザーを照射する前のF
EPフィルムのXPSスペクトルである。
FIG. 2 is a graph showing F before being irradiated with laser in Example 1.
It is an XPS spectrum of EP film.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // C08L 27:12 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Office reference number FI technical display area // C08L 27:12

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 フッ素系高分子成形品にヒドラジン類の
存在下に紫外レーザー光を照射することにより該高分子
成形品の表面を親水化し、次いで化学めっきを行なって
該高分子成形品の表面に金属膜を堆積させることを特徴
とするフッ素系高分子成形品の化学めっき方法。
1. The surface of the polymer molded article is hydrophilized by irradiating a fluorine-based polymer molded article with an ultraviolet laser beam in the presence of hydrazines, and then chemical plating is performed to perform the chemical plating. A chemical plating method for a fluoropolymer molded article, which comprises depositing a metal film on the surface.
【請求項2】 紫外レーザーとして波長250nm以下
のアルゴンフッ素エキシマレーザーまたはクリプトンフ
ッ素エキシマレーザーを用いることを特徴とする請求項
1記載の方法。
2. The method according to claim 1, wherein an argon fluorine excimer laser or a krypton fluorine excimer laser having a wavelength of 250 nm or less is used as the ultraviolet laser.
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