JPH07501981A - 音波照射のため及び小片を含む音波照射液に振動を伝えるための方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 音波照射のため及び小片を含む音波照射液に振動を伝えるための方法及び装置本 発明は、請求の範囲第１項、第７項及び第２１項記載の、音波照射のため及び小 片を含む音波照射液に振動を伝えるための方法及び装置に関する。

装身具や機械部品の表面を洗浄するために、ずっと以前から超音波洗浄装置が使 用されている。この超音波洗浄装置は洗浄液を含む容器、超音波発生器及び一つ または複数の音響変換器からなっている。この音響変換器は容器の壁に固定され 、この容器の壁は振動させられ、液体に振動を伝達する。

音響変換器は、容器、洗浄液または結合媒体及びその中に洗浄のために浸漬され る対象物からなる負荷に対する適応性がよくないという欠点があることが以前か ら知られている。更に、作業周波数、容器の伝達挙動、結合液及び洗浄すべき材 料の減衰のような物理的な状態は、洗浄装置の採寸に限界を付与する。

ヨーロッパ特許第００４４８００号明細書により、２０ｋＨｚの作業周波数のた めの代表的な圧電式音響変換器が、約１００ｍｍの長さと約６５ｍｍの横方向寸 法を有することが知られている。このような音響変換器はエネルギーの２〜６％ だけしか結合媒体に放射できない。残りは音響変換器内で熱を発生する。この熱 は排出しなればならないか、及びまたは投入時間を短くする。前記の明細書によ り更に、結合液やその中に浸漬される洗浄すべき対象物に対する負荷の良好な適 合に対して、他のファクターが妨げになっている。単位面積当たりに放射される 音響出力は任意に拡大することはできない。なぜなら、キャビテーションによっ て結合液からの音響変換器の部分的な分離が発生するからである。この認識のた めに、大型の洗浄装置の場合には、多数の音響変換器を容器底に組み込まなけれ ばならなかった。そのため、設備コストひいては運転コストが高（なる。この改 良にもかかわらず、処理すべき多数の小片を入れた懸濁液を音波照射する場合に は、この小片の洗浄のために必要な音響エネルギーを懸濁液に加えることが不充 分であった。なぜなら、この小片によって生じる減衰作用が音波の拡散を非常に 弱めるかあるいは阻止するからである。

ヨーロッパサーチレポートにより、液体の特性を測定する測定機器が知られてい る（米国特許第３．６８０，８４１号明細書）。液体を充填した容器に浸漬され た音波照射装置によって、液体に浸漬される測定電極の範囲に、沈澱物が形成さ れることが防止される。特性を測定すべき液体、例えば酸の攻撃性に対して保護 するために、音響変換器は周壁で取り囲まれている。電気的な音響変換器からな る振動装置の振動を、音響変換器を取り囲む保護周壁に伝達するために、保護周 壁内に液体が充填されている。この保護周壁は共振器として作用し、超音波を測 定すべき液体に直接伝える。この米国特許明細書では、振動装置によって小さな エネルギーで両電極に対する付着を防止し、それによって例えば液体が部分的に 結晶した場合でも常に同じ質のｐＨ測定が達成される。音響変換器が周壁によっ て取り囲まれているので、音響変換器を高温の腐食性液体に直接挿入し、かつ液 体によって冷却可能である。例えばそのｐＨ値を測定される液体は、音波の拡散 を減衰する懸濁状態の洗浄すべき小片を含んでいない。この用途の場合に振動装 置を始動させるという問題あるいはその運転を維持するという問題は、この用途 では発生しない。減衰作用の大きな音波照射媒体を音波照射するために、米国特 許第３，６８０，８４１号明細書によって知られているプローブを使用すること は不可能である。

結合液内で懸濁する、付着物で汚れた粉末状、顆粒状または他の形の製品を音波 照射するための、ヨーロッパ特許第００４４８００号明細書によって知られてい る管振動体を使用することは、結合液の量に対する洗浄すべき製品の百分率が所 定の限界を超えると、不可能になることが判った。はとんどの場合、液体内で共 振器を振動させることは概して不可能である。なぜなら、結合液とその中に含ま れる洗浄すべき製品の減衰作用が大きすぎるからである。減衰作用を小さくする ために、液体中の洗浄すべき製品の百分率を非常に小さくすることは、生産上の 理由及びコスト上の理由から望ましくない。この理由から、研磨材、鋳物砂等の ような流動性のばら物の大型の音波照射のための装置は、今日まで実行に移され なかった。

この問題はフランス特許第１．２１２，４９６号明細書によって明確に知られて いる。この明細書では、非常に小量の音波照射容器内に、音波照射すべき少量の 材料が音響装置の音波にさらされる。剥離した汚れが音波照射液よりも軽く、洗 浄された小片が重いので、自然の方法で分離が行われ、そのために付加系な装置 や作用を不要である。このような装置は、出力が非常に小さいと同時に、例えば コランダムや重金属を分離しなければならない研磨材の洗浄のためには使用不可 能である。鋳物砂の洗浄の場合でも、同じ問題が発生する。

ヨーロッパ特許出願第９１１１５５０４．２号明細書により、ばら物を拡散する ための方法が知られている。この方法の場合には、鋳物砂に付着する汚れが超音 波によって遊離される。試験によって勿論、音波照射液内でのばら物の、経済的 に重要でない少量の集積の場合に既に、音響プローブが作動しないことが判った 。

更に、申し分のない剥離は成分の期待されるきれいな分離を不可能にすることが 判った。なぜなら、付着物が新たに付着する傾向があるからである。

本発明の課題は、音波を発生するため、及び音波照射液内にある小片からそれに 付着する付着物または汚れを遊離するための方法と装置を提供することである。

この課題は、請求の範囲第１項、第７項及び第２１項の特徴を有する方法と装置 によって解決される。

驚くべきことに、本発明による方法及び装置によって、共振器と音波照射液及び その中に入れられた洗浄すべき小片との接触を阻止する付加的な伝達媒体による エネルギー損失にもかかわらず、実質的に小片や小片を含む音波照射液及び結合 液の減衰特性と無関係に、音響プローブまたは共振器を作動させることができた 。伝達媒体の分離のために使用される分割壁は、共振器によって放射された音波 によって振動させられ、この振動を音波照射すべき小片に伝える。

表面構造を有する共振器を使用する場合には、振動は互いに交差して共振器から あらゆる方向に放射される。共振器が小さな棒、こぶ等の形をした隆起部を備え ている場合には、音波照射液への振動の伝達が同様にあらゆる方向に行われるの で、音波は音波照射媒体内で交差し、あらゆる側から音波照射すべき小片に当た る。

結合液を透過する分割壁を使用する場合には、付加的な伝達媒体の使用を省略す ることができ、音波照射エネルギーは共振器から、共振器と分割壁の間にあり保 護流れまたは保護周壁を形成する、小片を含まない音波照射液に直接加えられる 。

次に、図示した実施例に基づいて本発明の詳細な説明する。

図３は波形分割壁を備えた音波照射装置の縦断面図、図４は隆起部を存する分割 壁を備えた音波照射装置の縦断面図、図５は管状の共振器とその中に挿入された 分割壁を備えた音波照射装置の縦断面図、 図６は流れる伝達液によって発生する周壁を備えた音波照射装置の縦断面図、図 ７は分割壁と上昇流れ選別機として形成された容器を備えた音波照射照射装置の 縦断面図（半断面として部分的に示す）、図８はプローブを含む二重壁状の液体 透過性管を備えた音波照射装置の縦断面図（半断面として部分的に示す）、 図９は共振器と音波照射液を分離する分割壁を備えていない、図８の音波照射装 置の縦断面図（半断面として部分的に示す）、図１０は管状及びらせん状に形成 された分割壁と遠心分離機を備えた音波照射装置の縦断面図、 図１１は管状及びらせん状に形成され上昇流れ選別装置に挿入された分割壁を備 えた音波書写装置の縦断面図である。

本発明による音波照射装置（超音波処理装置）ｌは中空または中実に形成された 、直径ｄが例えば４８．５ｍｍの共振器３を備えている。この共振器は図１に略 示した音響変換器６に連結されている。この音響変換器６は、本実施例では管状 に形成された共振器３の外側に設けられ、端面側がこの共振器に連結されている 。磁歪型または圧電型音響変換器６を装着可能である。全体を２で示した音響プ ローブの一端は、音響変換器６を含み、音波照射容器ＩＯの壁８に連結されてい る。共振器３は管の形と異なる形を有していてもよい。

音響変換器６へのエネルギーの供給は導体１２を介して音響発生器１６によって 行われる。この音響発生器は同様に、共振器３と音波照射容器１ｏの外側に配置 されている。

第１の例では、周壁状の分割壁９が共振器３を取り囲んでいると共に、中間室７ を形成している。分割壁９はその中に設けられた共振器３と共に、音波照射すべ き音波照射液１１に浸漬している。例えば８５ｍｍの直径りを有する分割壁は、 共振器３の表面と分割壁９の内面の間の中空室内にある伝達媒体または伝達液１ ５を介して、共振器３に少なくとも部分的に振動連結されている。共振器３と分 割壁９の間の中間室７の全部または一部に、伝達液１５を充填することができる 。

この伝達液は先ず最初に共振器３から伝達液１５に伝達される振動を、音波処理 液ｌ】に、そしてその中にある小片（粒子）３２及びそれに付着した付着物３４ に伝達する（図１，２にはほんの少ししか示していない）。

分割壁９は間接的な伝達のために振動可能な閉じた本体でもよいし、直接的な伝 達のために多孔性本体であってもよい。分割壁は更に、網または格子の形をして いてもよいし、繊維からなる面形成物として形成してもよい。分割壁は、音波照 射すべき減衰する小片を中間室に入れてないで伝達液１５または音波照射液ｌｌ の通過または逆方向の通過を可能にする。

更に、分割壁９の底１８だけを液体が通過するよう形成することができる。

従って、分割壁９は、共振器３と小片３２を含む音波照射液１１との間に減衰作 用の小さな領域を作る働きをする。

分割壁９が液密である場合には、共振器３で発生した振動を分割壁９に伝達する ための減衰作用の小さな伝達液１５として、水が使用可能である。周壁状の分割 壁９は例えば金属、ガラスまたは合成樹脂で作ることが可能である。この場合、 その自己共振挙動が特に所望の音波照射周波数に適合する。

液密の分割壁９の場合には、この分割壁は篩として作用し、この場合、共振器３ と分割壁９の間に存在する液体は音波照射液１１と同じである。共振器３から音 波照射すべき小片への振動の伝達は、本発明のこの実施例では、共振器３に接触 する、小片を含まない音波照射液１１によって直接行われ、少しだけ分割壁９に よって行われる。音響伝達体または振動伝達体として作用する振動可能な分割壁 ９は、構造を持つ表面を備えていてもよい（図３参照）。これは互いに交差する 方向への音波の放射を可能にする。図４に示した本発明の他の実施例では、分割 壁９の表面に、隆起部または針状または小さな棒状の突起２１が取付けられてい る。この突起は同様に、音波の不規則な放射を可能にする。

図２の実施例では、分割壁９がフィルムまたは網からなる袋の形をしている。

それによって、音波照射液１１から伝達液１５が分離される。袋１７は共振器３ の一部長さにわたって延びる分割壁９の端部に固定可能である。

プローブ＋０２の第２の実施例では、共振器１０３は中空体として形成可能であ る。この中空体内に分割壁１０９が挿入され、この伝達液１１５用中間室１０７ を形成している。

図５の最も簡単な実施例では、共振器１０３とこの共振器に挿入された分割壁１ ０９は、管状に形成されている。音波照射すべき小片１３２を含む音波照射液１ １１は、分割壁１０９内にある。この分割壁は伝達液１１５によって振動させる ことができる。共振器１０３の表面と、中間室１０７内の音波照射液ｉｔｔ及び その中の小片１３２との直接的な接触は行われない。この実施例によって、音波 照射液１１内での一層大きな音波密度が得られる。この場合にも、液密または液 体を透過する分割壁１０９を使用することができる。

図６に示した本発明による第３の実施例の場合には、伝達液２１５（らせんで示 した）または小片を含まない音波照射液を適当に案内して導入することによって 、液体周壁を生しることができる。この液体周壁は音波照射液内の小片２３２と 共振器２０３との直接的な接触を充分に回避する。図６に略示した、伝達液２１ ５のらせん状の流れの代わりに、共振器２０３の長手軸線に対して平行な伝達媒 体２１５の流れを生じることができる（これについては図９の実施例も参照され たし）。

図７では、共振器３０３が球状の下側範囲３２４を存する分割壁３０９内に設け られている。この分割壁は伝達液３１５によって共振器３０３に接触している。

分割壁３０９の円筒状の上側区間３２６の外側には、分割壁に対して平行に案内 壁３２８が設けられている。この案内壁の下端３３０は球状の区間３２４に対し て離れていて、隙間Ｘを形成している。音響プローブ３０２の共振器３０３を浸 漬した容器３１０は、その上側区間に、円筒状の形を有する。分割壁３０９の球 状区間３２４に範囲内において、容器の３１０の輪郭の一部が球状区間３２４に 対してほぼ平行に延びている。球状区間３２４は分割壁３０９から独立して分割 壁の下方に配置可能である（図示していない）。容器３１０は管３１２の下方で 終わっている。

上記特徴の組み合わせは上昇流れ選別機を形成する。この上昇流れ選別機では、 音波照射液３１１内に浮遊し音波プローブ３０２によって遊離された異なる大き さの及びまたは異なるように形成された小片３３２が分離可能及び別個に排出可 能である。分離は次に述へるように行われる。分割壁３０９と案内壁３２８の間 の分離室３１８内で、付着物を有する小片が音波照射液３１１に入れられ、自重 によって下方に沈む。下降する際に、小片は音響プローブ３０２からの音波によ って照射され、付着物３２４は小片３３２から剥離、すなわち遊離する。小片は この遊離状態に留まる。なぜなら、球状の区間３２４が音響プローブ３０２によ って振動し、この振動が案内壁３２８の下方の範囲においても音波照射液３１１ に伝達されるからである。小片３３２と剥離した付着物３３４は、分割壁３０９ と案内壁３２８との間の環状範囲から出るや否や、通常小片３３２よりも小さな 剥離した付着物３３４は、管３１２を通って入る液体によって発生する流れ（矢 印Ｐ）に入り込む。流れＰによって、剥離及び遊離した付着物３１１は案内壁３ ２８と容器３１０の壁の間の環状通路内を上方へ搬送され、そこから排出される （矢印Ｑ参照）。付着物３２４を取り除いた重い小片３３２は、その自重によっ て、上向きの流れＰに逆らって下降し、管３１２を通って容器３１０から出て取 り出される。

図８による本発明の第４の実施例では、分割壁４０９は図１の実施例のように共 振器４０３を取り囲んでいる。容器４１０内には処理室４１８がある。この処理 室は液体を透過する二つの壁面４２８．４４６によって画成されている。処理室 ４１８の内側の壁４２８の下端は底４３８に連結されている。外側の壁４４６は 容器４１０の底に連結されている。容器４１０は下側が弁４４０を介して管４１ ２に連結されている。外側の壁４４６は下側が洗浄液用の供給管４４２に連結さ れ、上側が洗浄液用の排出管４４４に連結されている。

汚れた小片４３２と付着物４３４の遊離及び分離について次に説明する。処理室 ４１８の環状空間内に汚れた小片４３２が挿入され、処理液４１１内を沈み、同 時に音波が照射される。分割壁４０９と処理室４１８の内側の壁４２８の間を通 って導かれる液体流れ（矢印Ｒ）により、剥離した遊離付着物４３４が洗浄され 、そこから他の液体流れ（矢印Ｓ）によって、容器４１０の上側からまたは下側 から（洗浄が逆方向に行われる場合）排出される。洗浄された小片４３２は管４ １２を通って容器４１０から出る。非常に小さな比重の汚れた小片、例えば圧砕 され汚れた発泡スチロール等は容器４１０の下側から供給され、上側から排出さ れる。

洗浄すべき小片４３２の滞留時間は管４１２内の速度によって制御可能である。

処理室４３６の下側及びまたは上側を閉鎖することによって、ロットによる運転 が可能である。

図９に示した本発明の第５の実施例では、分割壁５０９が処理室５１８の内側の 壁によって形成されている。更に、装置（共振器５０３．容器５１０）の形成と 、小片５３２の洗浄機能は、第４の実施例と同じである。

図１０．１１に示した第５の実施例では、分割壁６０９が管として形成され、共 振器６０３をらせん状に取り巻いている。らせん状の分割壁６０９と共振器６０ ３は、伝達液６１５に浸漬している。この伝達液は容器６１０に充填されている 。管状の分割壁の内部には、付着物６３４を有する小片６３２を含む処理液６１ １が入っている。

図１Ｏにおいて、処理液６１１は通過時に剥離した付着物６３４と共に、分離装 置、本実施例では遠心分離機６５０に導かれる。遠心分離機６５０では付着物６ ３４と音波照射液６１１が小片６３２から分離される。小片６３２は例えばビー ル濾過からのケイソウ土小片である。本装置では、ビール濾過から、酵母、卵白 等からなる付着物６３４が剥離される。

図１１の装置では、らせん状に延びる音波照射通路の終端で、小片６３２が上昇 流れ選別工程で、遊離した汚れ６３４から分離される。洗浄された大きな小片６ ３２、例えば鋳物砂は、容器６１０内で沈み、容器の下端から出る。下側から洗 浄液が供給される。洗浄液は剥離した小片６３４を上方へ運び、そこから同様に 容器６１０から出ることができる。

上記説明で使用した伝達液の用語は、質量の小さな小片を実質的に全く含んでい ないかあるいは少しだけしか含んでおらず、従って音波の拡散に対してわずかし か減衰しない液体であると理解される。

音波照射液は洗浄作用や付着物の遊離を補助する添加剤、例えば苛性アルカリ溶 液を含んでいてもよい。

音響プローブは例えば市販されている、スイス国９５５２　Ｂｒｏｎｓｃｈｏｆ ｅｎのＴｅｌｓｏｎｉｃＡＧ社の超音波プローブＲ５−２０または類似の製品で ある。

剛性のある分割壁または袋状の分割壁は、音波照射容器の高さの一部または全高 にわたって延びることができる。

Ｆｉｒ；　５　ＦＩＧ、　６ フロントページの続き （８１）指定国　ＥＰ（ＡＴ、ＢＥ、ＣＨ，ＤＥ、　（ＤＫ、ＥＳ、ＦＲ，ＧＢ 、ＧＲ，ＩＥ、ＩＴ、ＬＵ、ＭＣ，ＮＬ、ＰＴ、ＳＥ）、０Ａ（ＢＦ、ＢＪ、Ｃ Ｆ、ＣＧ、　ＣＩ、　ＣＭ、　ＧＡ、　ＧＮ、　ＭＬ、　ＭＲ，ＮＥ、　ＳＮ。

ＴＤ、　ＴＧ）、　ＡＴ、　ＡＵ、　ＢＢ、　ＢＧ、　ＢＲ，ＢＹ。

ＣＡ、ＣＨ，ＣＺ、ＤＥ、ＤＫ、ＥＳ、ＦＩ、ＧＢ、ＨＵ、ＪＰ、ＫＰ、ＫＲ， ＫＺ、ＬＫ、ＬＵ、ＭＧ、ＭＮ、ＭＷ、ＮＬ、Ｎｏ、ＮＺ、ＰＬ、ＰＴ、ＲＯ， ＲＵ。

ＳＤ、ＳＥ、ＳＫ、ＵＡ、ＵＳ、ＶＮ ］７２）発明者　マイヤー・ローランドスイス国、ツェーハー−８４０６ヴイン ターツール、エミール・クレッテイーストシーセ、３１

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．音響発生器、音響変換器及びそれに接続され音響変換器によって励起される 共振器を備えた音波照射装置によって、音波照射液に入れられた小片から汚れを 剥離するために、音波照射するため及び小片を含む音波照射液に振動を伝えるた めの方法において、共振器（３，１０３，２０３，３０３，４０３，５０３，６ ０３）によって発生する音波が先ず最初に、共振器（３，１０３，２０３，３０ ３，４０３，５０３，６０３）に直接接触する伝達液（１５，１１５，２１５， ３１５，４１５，５１５，６１５）に伝えられ、この伝達液によって更に案内さ れ、音波照射液（１１，２１１，３１１，４１１，５１１，６１１）または音波 照射液（１１，２１１，３１１，４１１，５１１，６１１）に入れられた処理す べき小片（３２，１３２，２３２，３３２，４３２，５３２，６３２）に直接ま たは間接的に伝達され、小片（３２，１３２，２３２，３３２，４３２，５３２ ，６３２）上の付着物（３４，１３４，２３４，３３４，４３４，５３４，６３ ４）が剥がれ、遊離した形で保持されることを特徴とする方法。 ２．音響変性器（６）によって発生し、共振器（３，１０３，２０３，３０３， ４０３，５０３，６０３）によって伝達される振動が、伝達液（１５，１１５， ２１５，３１５，４１５，５１５，６１５）に伝えられ、振動が伝達液（１５， １１５，２１５，３１５，４１５，５１５，６１５）から分割壁（９，１０９， ３０９，４０９，５０９，６０９）を介してあるいはこの分割壁を通って音波照 射液（１１，２１１，３１１，４１１，５１１，６１１）及びその中に入れられ た音波照射すべき小片（３２，１３２，２３２，３３２，４３２，５３２，６３ ２）に伝達されることを特徴とする請求の範囲第１項の方法。 ３．液体を透過する分割壁（９，１７，１０９，５０９，６０９）が使用され、 伝達液（１５，１１５，５１５，６１５）として、小片を含まないか小片を少量 含む音波照射液（１１，１１１，５１１，６１１）が使用されることを特徴とす る請求の範囲第２項の方法。 ４．全体または一部区間が液密である分割壁（９，１０９，３０９，４０９，５ ０９，６０９）によって音波照射が行われることを特徴とする請求の範囲第２項 の方法。 ５．伝達液（２１５）または小片を含まない音波照射液が保護流れ（Ｒ）を形成 し、音波照射すべき小片（２３２，４３２，５３２）及びまたは音波照射液と共 振器（２０３，４０３，５０３）との直接的な接触を防止することを特徴とする 請求の範囲第１項の方法。 ６．分割壁（６０９）が音波照射液（１１１，６１１）を、少なくとも伝達液（ １１５，６１５）の範囲において取り囲んでいることを特徴とする請求の範囲第 １，４，５項のいずれか一つの方法。 ７．音響プローブ、少なくとも一つの音響変換器及び音響変換器に連結されこの 音響変換器によって振動させることが可能な励振器とを備えた、振動を発生し、 音波照射容器内の音波照射液に伝えるための装置において、音波照射液（１１， １１１，２１１，３１１，４１１，５１１，６１１）に入れられた音波照射すべ き小片に振動を伝達するための共振器（３，１０３，３０３，４０３，５０３， ６０３）の表面の少なくとも一部が、分割壁（９，１０９，３０９，４０９，５ ０９，６０９）によって、音波照射すべき小片から分離れ、共振器（３，１０３ ，３０３，４０３，５０３，６０３）の表面と分割壁（９，１０９，３０９，４ ０９，５０９，６０９）の間に、減衰作用の小さな液体（１５，１１５，２１５ ，３１５，４１５，５１５，６１５）が存在することを特徴とする装置。 ８．分割壁（９）の表面が凹凸を有し、分割壁（９）に、隆起部または棒状の振 動要素（２１）が固定されていることを特徴とする請求の範囲第１項の装置。 ９．分割壁（９，１０９，３０９，４０９，５０９，６０９）の少なくとも一区 間が管状に形成され、分割壁（９，１０９，３０９，４０９，５０９，６０９） が多孔を有し、袋、格子、網または繊維状面形成物として形成されていることを 特徴とする請求の範囲第７項または第８項の装置。 １０．分割壁（９，１０９，３０９，４０９，５０９，６０９）が音波照射容器 （１０，１１０，２１０，３１０，４１０，５１０，６１０）の一部または全高 にわたって延びていることを特徴とする請求の範囲第７項から第９項までのいず れか一つの装置。 １１．共振器（３，１０３，２０３，４０３，５０３）の表面と小片（３２，２ ３２，４３２，５３２）を入れた音波照射液（１５，１１５，２１５，４１５） との間に、保護流れ（Ｒ）が存在することを特徴とする請求の範囲第７項から第 １０項までのいずれか一つの装置。 １２．分割壁（９，４０９，５０９）が共振器（３，３０３，４０３，５０３） を取り囲み、分割壁（１０９）が管状に形成された共振器（１０３）内に挿入さ れていることを特徴とする請求の範囲第７項から第１１項までのいずれか一つの 装置。 １３．分割壁（３０９）と容器（３１０）の壁の間に、案内壁（３２８）が挿入 されて第２の環状室が形成され、この案内壁の下端が分割壁（３０９）の下端か ら上方へ離れたところにあり、液体を導入するための手段（３１２）が容器（３ １０）に設けられていることを特徴とする請求の範囲第７項から第１０項までの いずれか一つの装置。 １４．分割壁（３０９）の下端（３２４）が太くなった部分を有するかまたは球 状に形成され、案内壁（３２８）の下端（３３０）との間に隙間（Ｓ）が設けら れていることを特徴とする請求の範囲第１３項の装置。 １５．分割壁（４０９）と容器（４１０）の壁との間に、液体を透過する処理室 （４１８）が挿入され、この処理室が液体（４１５）によって洗浄可能であるこ とを特徴とする請求の範囲第７項から第１２項までのいずれか一つの装置。 １６．処理室（４１８）が直通運転のために上側と下側が開放しているかあるい はバッチ式運転のために上側及びまたは下側が閉鎖可能であり、上側または下側 から入れられた洗浄すべき小片（４３２）を収容するよう形成されていることを 特徴とする請求の範囲第１５項の装置。 １７．処理室（４１８）の外側の壁と容器（４１０）の壁の間の範囲が洗浄可能 に形成されていることを特徴とする請求の範囲第１６項の装置。 １８．分割壁が同時に処理室（４３６）の内側の壁を形成していることを特徴と する請求の範囲第１５項から第１７項までのいずれか一つの装置。 １９．分割壁（６０９）がらせん状に延びる中空体として形成され、この中空体 が共振器（６０３）の少なくとも一部を取り巻いているかあるいは共振器（６０ ３）内にあり、かつ伝達液（６１５）に浸漬されていることを特徴とする請求の 範囲第７項の装置。 ２０．中空体として形成された分割壁（６０９）の下端が分離装置（６５０）に 開口していることを特徴とする請求の範囲第１９項の装置。 ２１．音響プローブ、少なくとも一つの音響変換器及び音響変換器に連結されこ の音響変換器によって振動させることが可能な共振器とを備えた、振動を発生し 、小片を含む音波照射液に振動を伝えるための装置において、共振器（２０３） の周りに液体周壁（２１６）を形成するために、伝達液を導入するための手段が 設けられていることを特徴とする装置。