JPH0741173U - Vacuum valve - Google Patents
Vacuum valveInfo
- Publication number
- JPH0741173U JPH0741173U JP7313293U JP7313293U JPH0741173U JP H0741173 U JPH0741173 U JP H0741173U JP 7313293 U JP7313293 U JP 7313293U JP 7313293 U JP7313293 U JP 7313293U JP H0741173 U JPH0741173 U JP H0741173U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- vacuum
- main valve
- valve seat
- bypass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Self-Closing Valves And Venting Or Aerating Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空ポンプの運転の有無に関係なく、ポート
間の連通を遮断できる真空バルブを提供する。
【構成】 ポンプポート5とチャンバポート6を主流路
7とバイパス流路19,20とによって連通させ、主流
路中の主弁座8を開閉する主弁体15を、バイパス流路
19と20が開口する真空作用室11と大気室12とに
区画するピストン10に連結して、真空作用室にばね2
1を縮設する。また、バイパス流路20に設けたバイパ
ス弁座24を開閉するバイパス弁体25を、駆動部3の
シャフト27によって駆動させる。駆動部を主弁座の開
放方向に駆動すると、チャンバポート6の圧力が高いと
きはポート5と6がバイパス流路によって連通し、チャ
ンバポートの圧力が低下すると主弁体が徐々に主弁座を
開放して主流路から排気する。駆動部を反対方向に駆動
すると、真空ポンプが運転していても、弁体15と25
が弁座8と24を閉鎖して、ポート5と6間の連通が遮
断される。
(57) [Summary] [Purpose] To provide a vacuum valve capable of interrupting communication between ports regardless of whether or not the vacuum pump is operating. A main valve body 15 for connecting a pump port 5 and a chamber port 6 to each other through a main flow path 7 and bypass flow paths 19 and 20 to open and close a main valve seat 8 in the main flow path is replaced by a bypass flow path 19 and 20. The spring 2 is connected to the vacuum action chamber by being connected to the piston 10 which is divided into the open vacuum action chamber 11 and the atmosphere chamber 12.
Reduce 1 Further, the shaft 27 of the drive unit 3 drives the bypass valve body 25 that opens and closes the bypass valve seat 24 provided in the bypass flow passage 20. When the drive unit is driven in the opening direction of the main valve seat, when the pressure in the chamber port 6 is high, the ports 5 and 6 are connected by the bypass flow passage, and when the pressure in the chamber port decreases, the main valve body gradually moves to the main valve seat. Is opened to exhaust from the main flow path. When the drive section is driven in the opposite direction, even if the vacuum pump is operating, the valve elements 15 and 25
Closes valve seats 8 and 24, blocking communication between ports 5 and 6.
Description
【0001】[0001]
本考案は、真空チャンバ内の気体の急速排気によるトラブルを防止した真空バ ルブに関するものである。 The present invention relates to a vacuum valve that prevents troubles caused by rapid exhaust of gas in a vacuum chamber.
【0002】[0002]
真空ポンプに接続されるポンプポートと、真空チャンバに接続されるチャンバ ポートと、これらのポートを連通させる流路中の弁座と、該弁座を開閉する弁体 とを備えた真空バルブは、真空チャンバ内に大量の空気がある真空ポンプの運転 開始当初は、弁体が弁座を開放すると一時的に大量の空気が排出されるために、 真空チャンバ内の空気が乱され、該チャンバ内における反応生成物等の塵埃が舞 い上がって以後の作業に支障を来すので、空気の急速排気を防止する手段を設け る必要がある。 A vacuum valve provided with a pump port connected to a vacuum pump, a chamber port connected to a vacuum chamber, a valve seat in a flow path communicating these ports, and a valve body for opening and closing the valve seat, There is a large amount of air in the vacuum chamber At the beginning of operation of the vacuum pump, when the valve body opens the valve seat, a large amount of air is temporarily exhausted. Since dust such as reaction products in the room will rise and interfere with the subsequent work, it is necessary to provide a means to prevent rapid exhaust of air.
【0003】 この問題を解決するために、真空チャンバ内の気体の急速排気防止機構を有す る真空バルブが、特願平4−10676号において提案されている。 この真空バルブは、真空チャンバ内の気体の急速排気によるトラブルを防止す ることができるが、ポート間の通断についての配慮に欠けるところがあり、真空 ポンプが運転すると、急速排気防止機構が常に作用してポンプポートとチャンバ ポートが連通する。 しかしながら、設備によっては、成膜後の余分な粉体が真空バルブを通して真 空ポンプに吸引されるために、チャンバを大気圧に戻すために真空ポンプの運転 を停止すると、真空ポンプに余分な粉体が固着して再起動できなくなるという問 題がある。In order to solve this problem, a vacuum valve having a mechanism for preventing rapid exhaust of gas in a vacuum chamber is proposed in Japanese Patent Application No. 10676/1992. This vacuum valve can prevent troubles due to rapid exhaust of gas in the vacuum chamber, but there is a lack of consideration for disconnection between ports, and when the vacuum pump operates, the rapid exhaust prevention mechanism always operates. Then, the pump port and chamber port communicate. However, depending on the equipment, the excess powder after film formation is sucked into the vacuum pump through the vacuum valve, so if the vacuum pump operation is stopped to return the chamber to atmospheric pressure, the excess powder will be added to the vacuum pump. There is a problem that the body sticks and cannot restart.
【0004】[0004]
本考案が解決しようとする課題は、急速排気によるトラブルがなく、かつ真空 ポンプの運転の有無に関係なくポート間の連通を遮断できる真空バルブを提供す ることにある。 The problem to be solved by the present invention is to provide a vacuum valve that does not have troubles due to rapid exhaust and that can cut off communication between ports regardless of whether or not the vacuum pump is operating.
【0005】[0005]
上記課題を解決するため、本考案は、真空ポンプに接続されるポンプポートと 、真空チャンバに接続されるされるチャンバポートと、これらのポートを連通さ せる主流路中の主弁座と、該主弁座を開閉する主弁体と、該主弁体の駆動部とを 備えた真空バルブにおいて、上記真空バルブが、受圧体によって区画された真空 作用室及び外部に連通する大気室と、上記受圧体と主弁体とを連結する弁棒と、 上記真空作用室に縮設した主弁体を主弁座の閉鎖方向に付勢するばねと、真空作 用室をチャンバポートとポンプポートとに連通させる第1バイパス流路及び第2 バイパス流路と、第2バイパス流路に形成したバイパス弁座と、上記駆動部の主 弁座開放方向の駆動によってバイパス弁座を開放するバイパス弁体とを備えてい ることを特徴としている。 In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a pump port connected to a vacuum pump, a chamber port connected to a vacuum chamber, a main valve seat in a main flow path connecting these ports, A vacuum valve comprising a main valve body for opening and closing a main valve seat, and a drive unit for the main valve body, wherein the vacuum valve includes a vacuum working chamber defined by a pressure receiving body and an atmosphere chamber communicating with the outside. A valve rod connecting the pressure receiving body and the main valve body, a spring for urging the main valve body compressed in the vacuum action chamber toward the closing direction of the main valve seat, a vacuum working chamber as a chamber port and a pump port. A first bypass flow passage and a second bypass flow passage that communicate with each other, a bypass valve seat formed in the second bypass flow passage, and a bypass valve body that opens the bypass valve seat by driving the main valve seat opening direction of the drive unit. Is equipped with To have.
【0006】[0006]
駆動部が主弁座の閉鎖方向に駆動したときは、駆動部の駆動力とばねの付勢力 とによって主弁体が主弁座を閉鎖するとともに、バイパス弁体がバイパス弁座を 閉鎖しているので、ポンプポートとチャンバポート間の連通が遮断されている。 したがって、この状態において真空ポンプを運転しても、チャンバポートの気体 は排気されない。 駆動部を主弁座の開放方向に駆動すると、バイパス弁体がバイパス弁座を開放 して、チャンバポートがバイパス流路と真空作用室を介してポンプポートに連通 するため、チャンバポートの気体がバイパス流路を通って排気されて、その圧力 が徐々に低下する。この場合、駆動部の駆動当初はチャンバポートの圧力が高い ために、主弁体がばねの付勢力によって主弁座を閉鎖しているので、チャンバポ ートの気体が急速に排気されることはない。 When the drive unit is driven in the closing direction of the main valve seat, the main valve body closes the main valve seat by the driving force of the drive unit and the biasing force of the spring, and the bypass valve body closes the bypass valve seat. Therefore, the communication between the pump port and the chamber port is blocked. Therefore, even if the vacuum pump is operated in this state, the gas in the chamber port is not exhausted. When the drive unit is driven in the opening direction of the main valve seat, the bypass valve body opens the bypass valve seat and the chamber port communicates with the pump port via the bypass flow passage and the vacuum action chamber, so that the gas in the chamber port is not discharged. The gas is exhausted through the bypass channel, and its pressure gradually decreases. In this case, since the pressure of the chamber port is high at the beginning of driving the drive unit, the main valve body closes the main valve seat by the urging force of the spring, so that the gas in the chamber port is not rapidly exhausted. Absent.
【0007】 チャンバポートの空気圧が徐々に低下して、塵埃の舞い上がりがなくなる圧力 になると、受圧体に対向して作用する真空作用室と大気室間の差圧の作用力がば ねの付勢力よりも大きくなるため、受圧体がばねの付勢力に抗して駆動して、主 弁体が主弁座を徐々に開放するので、主流路が徐々に開放される。この場合は、 チャンバポートの圧力が低下しているので、真空チャンバ内の空気が急速に排気 されることはない。 駆動部を主弁座の閉鎖方向に駆動すると、駆動部の駆動力によって、主弁体が ばねの付勢力に抗して主弁座を閉鎖するとともに、バイパス弁体がバイパス弁座 を閉鎖するので、ポンプポートとチャンバポート間の連通が遮断される。When the air pressure in the chamber port is gradually reduced to a pressure at which dust does not rise up, the acting force of the differential pressure between the vacuum working chamber and the atmospheric chamber acting against the pressure receiving body is the biasing force of the bed. Therefore, the pressure receiving body is driven against the biasing force of the spring, and the main valve body gradually opens the main valve seat, so that the main flow path is gradually opened. In this case, the pressure in the chamber port has dropped, so the air in the vacuum chamber is not rapidly exhausted. When the drive unit is driven in the closing direction of the main valve seat, the drive force of the drive unit causes the main valve body to close the main valve seat against the biasing force of the spring, and the bypass valve body closes the bypass valve seat. Therefore, the communication between the pump port and the chamber port is cut off.
【0008】[0008]
図は本考案の実施例を示し、この真空バルブはボディ1と、ボンネット2と、 駆動部3(図示の実施例では流体圧アクチュエータ)とを備え、ボディ1に、真 空ポンプ(一例として、メカニカルブースタ)に接続されるポンプポート5と、 真空チャンバに接続されるチャンバポート6が形成されており、これらのポート 5と6を直接連通させる主流路7に、駆動部3と対向する主弁座8が形成されて いる。ボディ1とボンネット2の間はプレート9によって気密に区画され、ボン ネット2内は、受圧体の一例であるピストン10によって、真空作用室11と呼 吸通路13によって外部に連通する大気室12とに区画されている。 なお、上記受圧体はピストン10に限定されるものではなく、例えばベローズ とすることもできる。 The figure shows an embodiment of the present invention, in which the vacuum valve includes a body 1, a bonnet 2, and a drive unit 3 (a fluid pressure actuator in the illustrated embodiment), and the body 1 has a vacuum pump (as an example, A pump port 5 connected to a mechanical booster) and a chamber port 6 connected to a vacuum chamber are formed, and a main valve 7 facing the drive unit 3 is provided in a main passage 7 that directly connects these ports 5 and 6. A seat 8 is formed. The body 1 and the bonnet 2 are airtightly partitioned by a plate 9, and the inside of the bonnet 2 is formed by a piston 10, which is an example of a pressure receiving body, and an atmosphere chamber 12 communicating with the outside by a vacuum action chamber 11 and an intake passage 13. It is divided into The pressure receiving body is not limited to the piston 10 and may be, for example, a bellows.
【0009】 上記主弁座8を開閉する主弁体15は、主弁座側にシール部材16を有し、弁 棒17によってピストン10に取付けられており、主弁体15とプレート9に、 弁棒17の外周をシールするベローズ18の両端が気密に固着されている。 上記真空作用室11は、第1バイパス流路19によってチャンバポート6に、 弁棒17に形設した第2バイパス流路20によってポンプポート5にそれぞれ連 通し、真空作用室11に、主弁体15を主弁座8の閉鎖方向に付勢するばね21 が縮設されている。 また、第1バイパス流路19は、真空作用室11への開口部にオリフィス22 が形成され、該オリフィス22より大径の第2バイパス流路20は、真空作用室 11への開口部にバイパス弁座24を有し、該バイパス弁座24を開閉するバイ パス弁体25の外周面には、駆動部3のシャフト27先端の凹部に設けた係止部 28に係止する係止突部26が形成されている。The main valve body 15 that opens and closes the main valve seat 8 has a seal member 16 on the side of the main valve seat, and is attached to the piston 10 by a valve rod 17, and is attached to the main valve body 15 and the plate 9. Both ends of a bellows 18 that seals the outer circumference of the valve rod 17 are airtightly fixed. The vacuum working chamber 11 communicates with the chamber port 6 by the first bypass flow passage 19 and the pump port 5 by the second bypass flow passage 20 formed in the valve rod 17, respectively. A spring 21 for urging 15 in the closing direction of the main valve seat 8 is contracted. Further, the first bypass flow passage 19 has an orifice 22 formed at the opening to the vacuum action chamber 11, and the second bypass flow passage 20 having a larger diameter than the orifice 22 bypasses the opening to the vacuum action chamber 11. On the outer peripheral surface of the bypass valve body 25 that has the valve seat 24 and that opens and closes the bypass valve seat 24, a locking projection that locks to a locking portion 28 provided in a recess at the tip of the shaft 27 of the drive unit 3. 26 is formed.
【0010】 上記実施例は、駆動部3のシャフト27が図において下動しているときは、ピ ストン10に作用するばね21の付勢力によって主弁体15が主弁座8を閉鎖す るとともに、バイパス弁体25はバイパス弁座を24閉鎖している(図1の左側 参照)。したがって、ポンプポート5とチャンバポート6間の連通が遮断されて いるので、真空ポンプを運転してもチャンバポート6の圧力は低下しない。In the above embodiment, when the shaft 27 of the drive unit 3 is moving downward in the figure, the main valve body 15 closes the main valve seat 8 by the biasing force of the spring 21 acting on the piston 10. At the same time, the bypass valve body 25 closes the bypass valve seat 24 (see the left side of FIG. 1). Therefore, since the communication between the pump port 5 and the chamber port 6 is blocked, the pressure in the chamber port 6 does not drop even if the vacuum pump is operated.
【0011】 駆動部3の駆動によりシャフト27が図において上動すると、係止部28がバ イパス弁体25の係止突部26に係止して該弁体を移動させるので、バイパス弁 座24が開放して、ポンプポート5とチャンバポート6が、真空作用室11及び バイパス流路19と20によって連通する。 したがって、真空チャンバ内の気体がポンプポート5吸引されるが、バイパス 流路19と20の径が小さいので、真空チャンバの気体が急速に排気されること はない。 この場合、主弁体15には、ばね21の付勢力、ベローズ18の反力、及びチ ャンバポート6とポンプポート5間の差圧の作用力の合力が下向きに、大気室1 2と真空作用室11間の差圧の作用力が上向きに作用している。When the shaft 27 moves upward in the figure by the drive of the drive unit 3, the locking portion 28 locks on the locking projection 26 of the bypass valve body 25 to move the valve body, so that the bypass valve seat 24 is opened, and the pump port 5 and the chamber port 6 are connected by the vacuum working chamber 11 and the bypass flow paths 19 and 20. Therefore, the gas in the vacuum chamber is sucked into the pump port 5, but the gas in the vacuum chamber is not rapidly exhausted because the bypass passages 19 and 20 have a small diameter. In this case, in the main valve body 15, the resultant force of the urging force of the spring 21, the reaction force of the bellows 18 and the acting force of the differential pressure between the chamber port 6 and the pump port 5 is downward, and the vacuum chamber 12 and the vacuum action are applied. The acting force of the differential pressure between the chambers 11 acts upward.
【0012】 排気によって、チャンバポート6の圧力がチャンバ内の塵埃が舞い上がらない 圧力(図2におけるx)近くに低下すると、真空作用室11の圧力も低下して、 ピストン10に対向して作用する大気室12と真空作用室11間の差圧の作用力 が、上記下向きの力より大きくなるために、主弁体15が主弁座8の開放方向に 移動して主流路7が徐々に開放されて、チャンバポート6の気体が主流路7から も排気され、主流路7が全開するとチャンバポート6の気体が主として主流路7 を通って排気される(図の右側参照)。この場合は、チャンバポート6の圧力が 低下しているので、真空チャンバの気体が急速に排気されることはない。 したがって、急速排気によるトラブルがなく、しかもバイパス流路のみから気 体を排出する場合に比べて排気時間を短縮することができ、かつ真空ポンプの過 負荷を防止できる。When the pressure of the chamber port 6 is lowered to a pressure (x in FIG. 2) at which dust in the chamber does not rise due to exhaust, the pressure of the vacuum action chamber 11 is also reduced and acts opposite to the piston 10. Since the acting force of the differential pressure between the atmosphere chamber 12 and the vacuum working chamber 11 becomes larger than the downward force, the main valve body 15 moves in the opening direction of the main valve seat 8 and the main flow path 7 gradually opens. Then, the gas in the chamber port 6 is also exhausted from the main flow path 7, and when the main flow path 7 is fully opened, the gas in the chamber port 6 is mainly exhausted through the main flow path 7 (see the right side of the figure). In this case, the pressure in the chamber port 6 is lowered, so that the gas in the vacuum chamber is not rapidly exhausted. Therefore, there is no trouble due to rapid exhaust, and the exhaust time can be shortened as compared with the case where the gas is exhausted only from the bypass passage, and the overload of the vacuum pump can be prevented.
【0013】 駆動部3を主弁座8の閉鎖方向に駆動すると、主弁体15が主弁座8を、バイ パス弁体25がバイパス弁座24をそれぞれ閉鎖して、ポンプポート5とチャン バポート6間の連通が遮断される。When the drive unit 3 is driven in the closing direction of the main valve seat 8, the main valve body 15 closes the main valve seat 8 and the bypass valve body 25 closes the bypass valve seat 24, so that the pump port 5 and the chamber are closed. Communication between the ports 6 is cut off.
【0014】[0014]
本考案は、チャンバ内の圧力が高い駆動当初はバイパス流路によって排気し、 チャンバポートの圧力が低下すると徐々に主流路を開放して主流路によって排気 するので、真空チャンバにおける気体の乱れを防止できるとともに、排気時間が 短縮され、かつ真空ポンプの過負荷を防止することができる。 また、真空ポンプが運転していても、ポンプポートとチャンバポート間の連通 を遮断できるので、チャンバを大気圧にすることができる。 According to the present invention, when the pressure in the chamber is high, the gas is exhausted by the bypass flow passage at the beginning of driving, and when the pressure of the chamber port decreases, the main flow passage is gradually opened and exhausted by the main flow passage, so that the gas turbulence in the vacuum chamber is prevented In addition, the exhaust time can be shortened and the vacuum pump can be prevented from being overloaded. Further, even when the vacuum pump is operating, the communication between the pump port and the chamber port can be cut off, so that the chamber can be brought to the atmospheric pressure.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図1】実施例の縦断正面図である。FIG. 1 is a vertical sectional front view of an embodiment.
【図2】主弁の開度とチャンバ圧力の線図である。FIG. 2 is a diagram of an opening degree of a main valve and a chamber pressure.
3 駆動部 5 ポンプポート 6 チャンバポート 7 主流路 8 主弁座 10 ピストン 11 真空作用室 12 大気室 15 主弁体 19,20 バイパス流路 21 ばね 24 バイパス弁座 25 バイパス弁体 3 Drive part 5 Pump port 6 Chamber port 7 Main flow passage 8 Main valve seat 10 Piston 11 Vacuum action chamber 12 Atmosphere chamber 15 Main valve body 19,20 Bypass flow passage 21 Spring 24 Bypass valve seat 25 Bypass valve body
Claims (1)
と、真空チャンバに接続されるされるチャンバポート
と、これらのポートを連通させる主流路中の主弁座と、
該主弁座を開閉する主弁体と、該主弁体の駆動部とを備
えた真空バルブにおいて、 上記真空バルブが、受圧体によって区画された真空作用
室及び外部に連通する大気室と、上記受圧体と主弁体と
を連結する弁棒と、上記真空作用室に縮設した主弁体を
主弁座の閉鎖方向に付勢するばねと、真空作用室をチャ
ンバポートとポンプポートとに連通させる第1バイパス
流路及び第2バイパス流路と、第2バイパス流路に形成
したバイパス弁座と、上記駆動部の主弁座開放方向の駆
動によってバイパス弁座を開放するバイパス弁体とを備
えている、 ことを特徴とする真空バルブ。1. A pump port connected to a vacuum pump, a chamber port connected to a vacuum chamber, and a main valve seat in a main flow path communicating these ports,
In a vacuum valve including a main valve body that opens and closes the main valve seat, and a drive unit of the main valve body, the vacuum valve includes a vacuum action chamber defined by a pressure receiving body and an atmosphere chamber communicating with the outside, A valve rod connecting the pressure receiving body and the main valve body, a spring for urging the main valve body compressed in the vacuum action chamber toward the closing direction of the main valve seat, and the vacuum action chamber as a chamber port and a pump port. A first bypass flow passage and a second bypass flow passage, a bypass valve seat formed in the second bypass flow passage, and a bypass valve body that opens the bypass valve seat by driving the main valve seat opening direction of the drive unit. The vacuum valve is characterized in that:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7313293U JPH0741173U (en) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | Vacuum valve |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7313293U JPH0741173U (en) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | Vacuum valve |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0741173U true JPH0741173U (en) | 1995-07-21 |
Family
ID=13509375
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7313293U Pending JPH0741173U (en) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | Vacuum valve |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0741173U (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006528330A (en) * | 2003-05-26 | 2006-12-14 | ダンフォス アクチーセルスカブ | Servo valve of vacuum system |
-
1993
- 1993-12-21 JP JP7313293U patent/JPH0741173U/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006528330A (en) * | 2003-05-26 | 2006-12-14 | ダンフォス アクチーセルスカブ | Servo valve of vacuum system |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3745427B2 (en) | Slow exhaust valve for vacuum pressure control | |
JPH01106990A (en) | Capacity controlling mechanism for scroll type compressor | |
US6173938B1 (en) | Two speed air cylinder for slit valve motion control | |
US20020033462A1 (en) | Vacuum exhaust valve | |
JPH076496B2 (en) | Suction system switching device in vacuum pump | |
JP3466121B2 (en) | Pneumatic cylinder with cushion mechanism | |
JPH0741173U (en) | Vacuum valve | |
JP5002845B2 (en) | Vacuum valve | |
US4364301A (en) | Vacuum actuator | |
JP3375444B2 (en) | Vacuum valve | |
US5363649A (en) | Hydraulic dry valve control apparatus | |
US4384826A (en) | Method and apparatus for controlling communication with a compressor unloader chamber | |
JP3110444B2 (en) | solenoid valve | |
US3949646A (en) | Control device for air cylinder unit | |
JP3294962B2 (en) | Vacuum valve | |
JP2006234085A (en) | Vacuum valve | |
JPH0312234B2 (en) | ||
JPH08159335A (en) | Vacuum valve | |
JPH07317428A (en) | Door opening/closing device | |
JPH05272456A (en) | Rapid exhaust preventing device in vacuum device | |
JP2504870B2 (en) | Valve drive | |
JPS6148030B2 (en) | ||
JPH0241356Y2 (en) | ||
JPS624776Y2 (en) | ||
JPH0756320Y2 (en) | Lifter fall prevention device |