JPH0733441A - Production of multiple oxide - Google Patents

Production of multiple oxide

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JPH0733441A
JPH0733441A JP18372493A JP18372493A JPH0733441A JP H0733441 A JPH0733441 A JP H0733441A JP 18372493 A JP18372493 A JP 18372493A JP 18372493 A JP18372493 A JP 18372493A JP H0733441 A JPH0733441 A JP H0733441A
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alkoxide
metal
powder
oxide powder
composite oxide
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JP18372493A
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Shingo Katayama
山 真 吾 片
Ikuko Yoshinaga
永 郁 子 吉
Masaaki Sugiyama
山 昌 章 杉
Toru Nagai
井 徹 永
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Nippon Steel Corp
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Nippon Steel Corp
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Abstract

PURPOSE:To produce A(B'1/3B''2/3)O3 type multiple oxide powder contg. ordered metals B', B'' as fine powder excellent in sinterability. CONSTITUTION:When metal alkoxides are hydrolyzed to produce A(B'1/3B''2/3)O3 type multiple oxide powder, 0.5-10 times (mol) as much water as alkoxy groups is added to a soln. of mixed or multiple alkoxide consisting of alkoxide of a metal B' and alkoxide of a metal B'' in an org. solvent, alkoxide or hydroxide of a metal A is added to the resulting hydrolyzate and hydrolysis is further carried out. The B' alkoxide is alkoxide of one or more kinds of elements selected among Mg, Co, Ni, Zn and Ca, the B'' alkoxide is alkoxide of one or more kinds of elements selected among Ta, Nb and Sb and the A alkoxide is alkoxide of one or more kinds of elements selected among Ba, Sr and Ca.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、誘電体材料等の電子材
料セラミックスの原料粉末として用いられるA(B′
1/3 B″2/3 )O3 系複合酸化物を製造する方法に関す
るものである。
The present invention relates to A (B ') used as a raw material powder for electronic material ceramics such as dielectric materials.
The present invention relates to a method for producing a 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 composite oxide.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般にペロブスカイト構造を有する複合
酸化物は、誘電性、圧電性等の電気的特性を具備するた
め、電子材料として重要である。これらのペロブスカイ
ト構造を有する複合酸化物の中で、特にA(B′
1/3 B″2/3 )O3 系複合酸化物は、高周波領域におけ
る誘電損失が少ない、すなわちQ値が高いので、誘電体
共振器等のマイクロ波誘電体材料として使用されてい
る。
2. Description of the Related Art Generally, a complex oxide having a perovskite structure is important as an electronic material because it has electrical characteristics such as dielectricity and piezoelectricity. Among these complex oxides having a perovskite structure, especially A (B '
1/3 B ″ 2/3 ) O 3 -based composite oxides are used as microwave dielectric materials such as dielectric resonators because they have a small dielectric loss in a high frequency region, that is, a high Q value.

【0003】マイクロ波誘電体材料は、一般に酸化物、
炭酸塩、水酸化物等を混合し、仮焼(固相反応法)して
作製したA(B′1/3 B″2/3 )O3 系複合酸化物粉末
を成形・焼成して製造される。しかしながら、このA
(B′1/3 B″2/3 )O3 系複合酸化物の大部分は、難
焼結性であり、通常の焼成ではほとんど緻密化しない。
したがって、通常の焼成法で作製されたA(B′
1/3 B″2/3 )O3 系複合酸化物では、高いQ値は得ら
れないので、緻密な前記焼結体を作製するために、Mn
等の焼結助剤を添加する方法、急速昇温して焼成する方
法等が開発されてきた。
Microwave dielectric materials are commonly oxides,
Manufactured by molding and firing A (B ' 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 -based composite oxide powder prepared by mixing carbonates, hydroxides, etc. and calcining (solid phase reaction method) However, this A
Most of the (B ′ 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 -based composite oxides are difficult to sinter and hardly densify by ordinary firing.
Therefore, A (B 'produced by the usual firing method)
Since a high Q value cannot be obtained with the 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 -based composite oxide, in order to produce the dense sintered body, Mn
A method of adding a sintering aid such as, a method of firing by rapidly raising the temperature, and the like have been developed.

【0004】一方、易焼結性の酸化物粉末の製造法とし
て、一般に金属アルコキシドを出発原料として用いるゾ
ル・ゲル法が知られている。このゾル・ゲル法は、金属
アルコキシドを有機溶媒に溶解し、加水分解して金属酸
化物、金属水酸化物等から成るゾルやゲルを生成せし
め、これを乾燥・加熱することにより酸化物粉末を得る
方法である。この金属アルコキシド溶液から調製した酸
化物粉末を成形して焼成すると、酸化物や炭酸塩等の無
機化合物の仮焼によって作られた従来の粉末原料を使用
するときに比べて、はるかに低い温度で焼結ならびに緻
密化が起こり、高純度で均質な酸化物焼結体が低い温度
で得られる。
On the other hand, a sol-gel method using a metal alkoxide as a starting material is generally known as a method for producing an easily sinterable oxide powder. In this sol-gel method, a metal alkoxide is dissolved in an organic solvent and hydrolyzed to form a sol or gel composed of a metal oxide, a metal hydroxide, etc., and dried and heated to form an oxide powder. Is the way to get. When the oxide powder prepared from this metal alkoxide solution is molded and fired, the temperature is much lower than when using conventional powder raw materials made by calcination of inorganic compounds such as oxides and carbonates. Sintering and densification occur and a highly pure and homogeneous oxide sintered body is obtained at a low temperature.

【0005】A(B′1/3 B″2/3 )O3 系複合酸化物
においても、ゾル・ゲル法による微粉末粉末が作製され
ている(例えば、特開昭58−199716号公報)。
したがって、金属アルコキシドを加水分解して調製した
A(B′1/3 B″2/3 )O3系複合酸化物粉末は、微細
で非常に焼結性が良く、焼結助剤を使用しなくても低い
焼成温度で緻密に焼結させることができる。
Fine powders have also been produced by the sol-gel method for A (B ′ 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 -based composite oxides (for example, JP-A-58-199716). .
Therefore, the A (B ′ 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 -based composite oxide powder prepared by hydrolyzing the metal alkoxide is fine and has very good sinterability, and the sintering aid is used. Even if it does not exist, it can be densely sintered at a low firing temperature.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】マイクロ波誘電体材料
の要求される特性としては、高い誘電率、優れた温度安
定性とともに低損失、すなわち、高いQ値であることが
非常に重要である。ペロブスカイト構造のA(B′1/3
B″2/3 )O3 系複合酸化物において、高いQ値を得る
ためには、焼結密度を高くし、さらに金属B′とB″を
規則化させる必要がある。従来の固相反応法では、16
00℃付近で焼結させた後、規則化させるために145
0〜1600℃で長時間(例えば、100時間)アニー
ルしなければならなかった。
It is very important that the microwave dielectric material is required to have a high dielectric constant, excellent temperature stability, and low loss, that is, a high Q value. Perovskite structure A (B ' 1/3
In order to obtain a high Q value in the B ″ 2/3 ) O 3 composite oxide, it is necessary to increase the sintered density and further regularize the metals B ′ and B ″. In the conventional solid-phase reaction method, 16
After sintering at around 00 ° C, 145 for ordering
It had to be annealed at 0 to 1600 ° C. for a long time (eg 100 hours).

【0007】また、ゾル・ゲル法においては、単に金属
A,B′,B″の混合アルコキシドを加水分解して調製
した粉末では、低い焼成温度で緻密な焼結体が得られる
けれども、規則化していないため、固相反応法と同様に
アニールして規則化する必要があった。
Further, in the sol-gel method, a powder prepared by simply hydrolyzing a mixed alkoxide of metals A, B ', B "can form a dense sintered body at a low firing temperature, but it is ordered. Therefore, it was necessary to anneal and regularize as in the solid-phase reaction method.

【0008】そこで、本発明は、金属アルコキシドを加
水分解してA(B′1/3 B″2/3 )O3 系複合酸化物粉
末を製造する方法において、低い焼成温度で緻密な焼結
体が得られ、かつ金属B′とB″が規則化したA(B′
1/3 B″2/3 )O3 系複合酸化物粉末の製造方法を提供
することを目的としている。
Therefore, the present invention is a method for producing an A (B ′ 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 -based composite oxide powder by hydrolyzing a metal alkoxide, and in the method, a dense sintering is performed at a low firing temperature. A body is obtained and the metal B'and B "are ordered A (B '
It is an object of the present invention to provide a method for producing 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 -based composite oxide powder.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は、上述した目的
を達成するためになされたものである。即ち、金属アル
コキシドを加水分解してA(B′1/3 B″2/3 )O3
複合酸化物粉末を製造する方法において、金属B′のア
ルコキシドと金属B″のアルコキシドの混合あるいは複
合アルコキシドの有機溶媒溶液にアルコキシ基に対して
0.5〜10モル倍の水を添加し、得られた加水分解生
成物に金属Aのアルコキシドあるいは水酸化物を加え、
さらに加水分解させるものである。また、前記製造方法
において、B′アルコキシドがMg,Co,Ni,Z
n,Caアルコキシド、B″アルコキシドがTa,N
b,Sbアルコキシド、およびAアルコキシドがBa,
Sr,Caアルコキシドである。
The present invention has been made to achieve the above object. That is, in a method for producing an A (B ′ 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 -based composite oxide powder by hydrolyzing a metal alkoxide, a mixture or composite of an alkoxide of metal B ′ and an alkoxide of metal B ″ is used. Water in an organic solvent solution of the alkoxide is added in an amount of 0.5 to 10 mol times with respect to the alkoxy group, and the alkoxide or hydroxide of the metal A is added to the obtained hydrolysis product.
It is further hydrolyzed. In the above manufacturing method, the B'alkoxide is Mg, Co, Ni, Z.
n, Ca alkoxide, B ″ alkoxide is Ta, N
b, Sb alkoxide, and A alkoxide are Ba,
Sr, Ca alkoxide.

【0010】以下に、本発明を詳細に説明する。得られ
たA(B′1/3 B″2/3 )O3 系複合酸化物は、ろ過、
限外ろ過、遠心分離等により溶媒から分離され、乾燥し
て焼結原料粉末となる。必要に応じて、この粉末を仮焼
して使用してもよい。
The present invention will be described in detail below. The obtained A (B ′ 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 composite oxide was filtered,
It is separated from the solvent by ultrafiltration, centrifugation, etc. and dried to obtain a sintering raw material powder. If necessary, this powder may be calcined and used.

【0011】複合アルコキシドとは、ダブルアルコキシ
ドとも呼ばれ、複数の異なる金属を1分子内に含む金属
アルコキシドのことである。B′アルコキシドとB″ア
ルコキシドの複合アルコキシドの場合、その化学式は、
B′[B″(OR)で表される。ここで、ORは
アルコキシ基である。
The composite alkoxide, which is also called a double alkoxide, is a metal alkoxide containing a plurality of different metals in one molecule. In the case of a composite alkoxide of B ′ alkoxide and B ″ alkoxide, its chemical formula is
It is represented by B ′ [B ″ (OR) 6 ] 2 , where OR is an alkoxy group.

【0012】金属アルコキシドのアルコキシ基として
は、特に限定しないが、例えば、メトキシ基、エトキシ
基、ブトキシ基、プロポキシ基、メトキシエトキシ基、
エトキシエトキシ基などを用いることができる。
The alkoxy group of the metal alkoxide is not particularly limited, but examples thereof include methoxy group, ethoxy group, butoxy group, propoxy group, methoxyethoxy group,
An ethoxy ethoxy group or the like can be used.

【0013】金属アルコキシドを溶解する有機溶媒とし
ては、本系の金属アルコキシドが可溶であれば特に限定
されないが、メタノール、エタノール、ブタノール、プ
ロパノール、メトキシエタノール、エトキシエタノール
等のアルコール、エーテル、ベンゼン、トルエン、キシ
レン等を用いることができる。
The organic solvent for dissolving the metal alkoxide is not particularly limited as long as the metal alkoxide of the present system is soluble, but alcohols such as methanol, ethanol, butanol, propanol, methoxyethanol and ethoxyethanol, ethers, benzene, Toluene, xylene, etc. can be used.

【0014】金属B′のアルコキシドと金属B″のアル
コキシドの混合あるいは複合アルコキシドの加水分解に
用いる水の量は、アルコキシ基に対して0.5〜10モ
ル倍が適切である。0.5モル倍未満では、金属B′の
アルコキシドと金属B″のアルコキシドが十分加水分解
しないため、規則化したA(B′1/3 B″2/3 )O3
ペロブスカイト粉末が得られない。また10モル倍を越
えても、規則化したA(B′1/3 B″2/3 )O3 系ペロ
ブスカイト粉末は得られるが、加えた水が多くなり、酸
化物粉末を分離するのに時間を要したり、反応容器が大
きくなり過ぎたりして現実的ではない。
The amount of water used for mixing the alkoxide of the metal B'and the alkoxide of the metal B "or for hydrolyzing the complex alkoxide is appropriately 0.5 to 10 times the mole of the alkoxy group. If the amount is less than twice, the alkoxide of metal B ′ and the alkoxide of metal B ″ are not sufficiently hydrolyzed, so that an ordered A (B ′ 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 -based perovskite powder cannot be obtained. Even if the molar ratio is exceeded, an ordered A (B ′ 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 -based perovskite powder can be obtained, but the amount of added water increases and it takes time to separate the oxide powder. It is not realistic because it requires a large amount or the reaction container becomes too large.

【0015】金属Aのアルコキシドあるいは水酸化物を
加えた後の加水分解に用いる水の量は、反応系内に残っ
ている全アルコキシ基と等モルから10倍モルを加える
のが適切である。等モル以下では、加水分解が不十分に
なり、結晶性のA(B′1/3B″2/3 )O3 系ペロブス
カイト粉末が得られない。一方、10倍以上では、加え
た水が多くなり、酸化物粉末を分離するのに時間を要し
たり、反応容器が大きくなりすぎたりして現実的ではな
い。前記2つの加水分解の際、あるいは後に加熱・還流
を行ってもよい。また、加水分解の水に触媒として酸、
あるいはアルカリを加えてもよい。
The amount of water used for the hydrolysis after the addition of the alkoxide or hydroxide of the metal A is appropriately from 10 to 10 times the molar amount of all the alkoxy groups remaining in the reaction system. If the amount is less than equimolar, the hydrolysis becomes insufficient and a crystalline A (B ′ 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 -based perovskite powder cannot be obtained. It is not practical because the amount of oxide powder increases, it takes time to separate the oxide powder, and the reaction vessel becomes too large, so that heating / reflux may be performed during or after the hydrolysis of the above two. In addition, an acid as a catalyst in the water of hydrolysis,
Alternatively, alkali may be added.

【0016】[0016]

【作用】A(B′1/3 B″2/3 )O3 系ペロブスカイト
の規則化は、結晶格子中のB′イオンとB″イオンが、
B′−B″−B″の順に3層を一周期として規則的に配
列することによる。B′アルコキシドとB″アルコキシ
ドの混合あるいは複合アルコキシドを予め加水分解すれ
ば、酸素を介してB′−B″−B″に規則化したクラス
ターあるいはゲルが生成される。この加水分解生成物と
金属Aのアルコキシドあるいは水酸化物を反応させるた
めに、B′とB″が既に規則化されたA(B′1/3 B″
2/3 )O3 系ペロブスカイト粉末が作製できる。
The regularization of A (B ' 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 system perovskite is performed by the B ′ ion and the B ″ ion in the crystal lattice.
By regularly arranging three layers in the order of B'-B "-B" as one cycle. If a mixed or complex alkoxide of B ′ alkoxide and B ″ alkoxide is previously hydrolyzed, a cluster or gel ordered into B′-B ″ -B ″ via oxygen is produced. The hydrolysis product and metal In order to react the alkoxide or hydroxide of A, B'and B "have already been ordered A (B ' 1/3 B"
2/3 ) O 3 based perovskite powder can be produced.

【0017】[0017]

【実施例】以下に、本発明におけるA(B′1/3 B″
2/3 )O3 系複合酸化物の製造方法と、それによって得
られたA(B′1/3 B″2/3 )O3 系複合酸化物につい
て実施例に基いて具体的に説明する。ただし、本発明
は、これらの実施例のみに限定されるものではない。
EXAMPLES A (B ′ 1/3 B ″ in the present invention will be described below.
The method for producing a 2/3 ) O 3 -based composite oxide and the A (B ′ 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 -based composite oxide obtained thereby will be specifically described based on Examples. However, the present invention is not limited to these examples.

【0018】実施例 表1に記載のA,B′,B″の元素からなるA(B′
1/3 B″2/3 )O3 系複合酸化物を、以下のようにして
作製した。すなわち、B′エトキシドとB″エトキシド
をモル比で1:2になるようにエタノールに加え、10
時間加熱還流して、B′とB″のダブルアルコキシドを
調製する。この溶液に等重量のエタノールで希釈した水
を添加して加水分解する。次に、Aエトキシドあるいは
A水酸化物をA:B′:B″のモル比が3:1:2にな
るように加えた後、残アルコキシ基の10倍モルの水を
滴下して、加熱還流を5時間行う。沈殿物をろ過後、乾
燥してA(B′1/3 B″2/3 )O3 粉末が得られた。こ
の粉末のX線回折測定から次式に基いて規則度Sを求め
た。
Example A (B 'consisting of the elements A, B', B "shown in Table 1
A 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 -based composite oxide was prepared as follows: B ′ ethoxide and B ″ ethoxide were added to ethanol in a molar ratio of 10: 10
A double alkoxide of B'and B "is prepared by heating and refluxing for a period of time. Water diluted with an equal weight of ethanol is added to this solution for hydrolysis. Next, A ethoxide or A hydroxide is converted into A: After adding B ′: B ″ at a molar ratio of 3: 1: 2, 10-fold molar water of the residual alkoxy group is added dropwise, and the mixture is heated under reflux for 5 hours. The precipitate was filtered and dried to obtain an A (B ' 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 powder. The order S was determined from the X-ray diffraction measurement of this powder based on the following formula.

【0019】[0019]

【化1】 ここで、(I100 /I110,102 obs.は、観測された
(100)規則格子線強度を、(110)、(102)
の基本線で規格化した観測値である。一方、完全に規則
配列をした場合に得られる強度比、(I100 /I
110,102 order.は、結晶構造から計算によって、8.
3/100である。
[Chemical 1] Here, (I 100 / I 110,102 ) obs. Is the observed (100) regular lattice line intensities (110), (102)
It is the observed value standardized by the baseline of. On the other hand, the intensity ratio (I 100 / I
110,102 ) order .
It is 3/100.

【0020】さらに、前記粉末を仮焼した後、成形して
焼成した。得られた焼結体の密度をアルキメデス法で測
定し、前記焼結体を様々な時間でアニールして、規則度
0.95以上になるアニール時間を調べた。
Further, after the powder was calcined, it was molded and fired. The density of the obtained sintered body was measured by the Archimedes method, the sintered body was annealed at various times, and the annealing time at which the regularity was 0.95 or more was examined.

【0021】比較例 A,B′,B″のアルコキシドをA:B′:B″のモル
比が3:1:2になるようにエタノールに加え、攪拌す
る。この溶液を用いて、実施例と同様の手順でA(B′
1/3 B″2/3 )O3 粉末の規則度を測定した。さらに、
焼成して得られた焼結体の密度を測定し、前記焼結体を
様々な時間でアニールして、規則度0.95以上になる
アニール時間を調べた。
The alkoxides of Comparative Examples A, B ', B "were added to ethanol so that the molar ratio of A: B': B" was 3: 1: 2, and the mixture was stirred. Using this solution, A (B '
The order of the 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 powder was measured.
The density of the sintered body obtained by firing was measured, the sintered body was annealed at various times, and the annealing time at which the regularity was 0.95 or more was investigated.

【0022】[0022]

【表1】 [Table 1]

【0023】[0023]

【発明の効果】本発明で得られるA(B′
1/3 B″2/3 )O3 系複合酸化物粉末は、微細で、非常
に高い焼結性を有し、かつ、B′とB″が規則化してい
る。したがって、低い焼成温度で容易に緻密に焼結させ
ることができ、規則化させるためのアニール時間が短縮
される。
A (B 'obtained by the present invention
The 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 -based composite oxide powder is fine, has very high sinterability, and B ′ and B ″ are ordered. Therefore, it is possible to easily and densely sinter at a low firing temperature, and the annealing time for ordering is shortened.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 永 井 徹 神奈川県川崎市中原区井田1618番地 新日 本製鐵株式会社先端技術研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Toru Nagai 1618 Ida, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Nippon Steel Corporation Advanced Technology Research Laboratories

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】金属アルコキシドを加水分解してA(B′
1/3 B″2/3 )O3 系複合酸化物粉末を製造する方法に
おいて、金属B′のアルコキシドと金属B″のアルコキ
シドの混合あるいは複合アルコキシドの有機溶媒溶液に
アルコキシ基に対して0.5〜10モル倍の水を添加
し、得られた加水分解生成物に金属Aのアルコキシドあ
るいは水酸化物を加え、さらに加水分解させることを特
徴とするA(B′1/3 B″2/3 )O3 系複合酸化物の製
造方法。
1. A (B ') is obtained by hydrolyzing a metal alkoxide.
In the method for producing a 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 -based complex oxide powder, a mixture of an alkoxide of a metal B ′ and an alkoxide of a metal B ″ or a solution of a complex alkoxide in an organic solvent is mixed with an alkoxide group of 0. A (B ′ 1/3 B ″ 2 / characterized by adding 5 to 10 mole times of water, adding an alkoxide or hydroxide of metal A to the obtained hydrolysis product, and further hydrolyzing 3 ) A method for producing an O 3 -based composite oxide.
【請求項2】B′アルコキシドがMg,Co,Ni,Z
n,Caの中から選ばれた少なくとも1種以上の元素の
アルコキシド、B″アルコキシドがTa,Nb,Sbの
中から選ばれた少なくとも1種以上の元素のアルコキシ
ドおよびAアルコキシドがBa,Sr,Caの中から選
ばれた少なくとも1種以上の元素のアルコキシドである
請求項1に記載のA(B′1/3 B″2/3 )O3 系複合酸
化物の製造方法。
2. The B'alkoxide is Mg, Co, Ni, Z.
Alkoxides of at least one element selected from n, Ca, alkoxides of B ″ alkoxide of at least one element selected from Ta, Nb, Sb and A alkoxides of Ba, Sr, Ca The method for producing an A (B ′ 1/3 B ″ 2/3 ) O 3 -based composite oxide according to claim 1, which is an alkoxide of at least one element selected from the group consisting of:
JP18372493A 1993-07-26 1993-07-26 Production of multiple oxide Withdrawn JPH0733441A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006514911A (en) * 2003-03-31 2006-05-18 カウンセル オブ サイエンティフィック アンド インダストリアル リサーチ Mg2MM'O6 + x, (M = Y, rare earth metal, and M '= SN, SB, ZR, HF, and TA) compound and method for producing the same

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JP2006514911A (en) * 2003-03-31 2006-05-18 カウンセル オブ サイエンティフィック アンド インダストリアル リサーチ Mg2MM'O6 + x, (M = Y, rare earth metal, and M '= SN, SB, ZR, HF, and TA) compound and method for producing the same

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