JPH07326049A - Method for evaluating gliding characteristic of magnetic recording medium - Google Patents

Method for evaluating gliding characteristic of magnetic recording medium

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Publication number
JPH07326049A
JPH07326049A JP11801594A JP11801594A JPH07326049A JP H07326049 A JPH07326049 A JP H07326049A JP 11801594 A JP11801594 A JP 11801594A JP 11801594 A JP11801594 A JP 11801594A JP H07326049 A JPH07326049 A JP H07326049A
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JP
Japan
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head slider
magnetic recording
recording medium
glide
height
Prior art date
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Application number
JP11801594A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenichi Nishimori
賢一 西森
Takashi Morikawa
孝 森川
Shoji Matsuda
昌二 松田
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Hoya Corp
Original Assignee
Hoya Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Hoya Corp filed Critical Hoya Corp
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Publication of JPH07326049A publication Critical patent/JPH07326049A/en
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Abstract

PURPOSE:To exactly detect abnormal projections etc., on a medium which hinder floating of a head slider and to determine an exact gliding height by using a technique of monitoring the contingent contact between the head slider and the medium. CONSTITUTION:An elastic wave detecting element 8 detects the contact of the head slider 2 and a magnetic disk 1. Namely, the elastic waves generated on the slider side by contact of both are propagated via a suspension 5 and a mounting member 5a to a head mount 6. The piezoelectric effect corresponding to such elastic waves is generated in the element 8. The voltage signal outputted from the element 8 is passed through an amplifier 9 and an A/D converter 10 and the voltage V(j) meeting a sampling interval DELTAt is taken into a computer 11. The computer 11 calculates the value Vmax determined by obtaining the square root of the square sum of the voltage V(i) (i=1 to N, i<j) successively from the largest of positive V(i) per 1 rotation of the disk at the respective relative speeds and determines the floating height h0 at the air outflow end of the slider at the relative speed at which Vmax. begins to rise in the slider floating curve indicating a relation between Vmax and the respective relative speeds as the gliding height.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、浮上型磁気ヘッドによ
り情報の記録または再生を行う磁気記録媒体のグライド
特性評価方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for evaluating glide characteristics of a magnetic recording medium in which information is recorded or reproduced by a floating magnetic head.

【0002】[0002]

【従来の技術】浮上型磁気ヘッドと磁気記録媒体を主構
成要素としてなる磁気記録装置、例えばハードディスク
装置においては、磁気記録媒体を数千rpm程度で高速
回転させることで、媒体上に空気流を発生せしめ、その
空気流を利用して磁気ヘッドに装備されているヘッドス
ライダーを浮上させ、その媒体との間隙をサブミクロン
程度に保持した後、情報の記録再生を行っている。
2. Description of the Related Art In a magnetic recording device, such as a hard disk device, which mainly comprises a floating magnetic head and a magnetic recording medium, a magnetic recording medium is rotated at a high speed of several thousands rpm to generate an air flow on the medium. The magnetic field is generated and the air flow is used to levitate the head slider mounted on the magnetic head to maintain the gap between the medium and the medium to about submicron, and then the information is recorded and reproduced.

【0003】前記したような動作原理に基づいて、安定
した情報の記録再生を行うためには、媒体上に浮上して
いるヘッドスライダーの浮上安定性が良好であることが
必要不可欠となるが、そのヘッドスライダー/媒体間
が、サブミクロン前後という極めて微小な間隙であるこ
とから、スライダーおよび媒体の表面形状、そして異物
(ダスト、異常突起物等)の存在が、スライダーの浮上
特性に著しく悪影響を及ぼす要因となる。このヘッドス
ライダーの浮上を阻害するような要因が、媒体上に存在
するか否かをチェックし、ヘッドスライダーが安定して
飛行できる浮上高さ(以下、グライド高さと記す)を保
証するため、通常、グライド試験と呼ばれる検査が媒体
作製後に行われてきた。
In order to perform stable recording / reproduction of information based on the above-described operation principle, it is essential that the flying stability of the head slider flying above the medium is good. Since the gap between the head slider and the medium is extremely small, around submicron, the surface shape of the slider and the medium, and the presence of foreign matter (dust, abnormal protrusions, etc.) have a significant adverse effect on the flying characteristics of the slider. It becomes a factor to exert. In order to ensure that the flying height (hereinafter referred to as the glide height) that allows the head slider to fly stably is checked by checking whether or not factors that hinder the flying of this head slider are present on the medium. An inspection called a glide test has been performed after the medium is manufactured.

【0004】ここで、従来より行われてきたグライド評
価方法(評価手段、および2種類のグライド特性評価手
法)につき、簡単に整理しておく。
Here, the glide evaluation methods (evaluation means and two types of glide characteristic evaluation methods) that have been conventionally performed will be briefly summarized.

【0005】まず、第1に実媒体上でのヘッドスライダ
ーの浮上安定性は、ヘッドスライダー/媒体間の接触状
態をモニターすることより評価するのが一般的である
が、具体的には次のような評価手段が従来技術として提
案されている。すなわち、媒体上に存在する突起などの
浮上障害物とヘッドスライダーが接触した際の衝撃力に
より、ヘッドスライダーには弾性波が発生するが、その
弾性波を弾性波検出素子(ピエゾセンサー、AEセンサ
ー)で検出し、その弾性波検出素子から出力された信号
の大小によりその両者の接触状態を判定する方法であ
る。前記した2種類の弾性波検出素子は、原理的にはま
ったく同じ誘電体(例えばチタン酸ジルコン酸塩など)
の圧電効果を利用したものであるが、ヘッドスライダー
に直接取り付けられるセンサーをピエゾセンサーと呼
び、ヘッドスライダーが取り付けられているサスペンシ
ョンを保持するヘッドマウント部に装備されるセンサー
をAEセンサーと呼んで一般的に区別されている。
First, the flying stability of the head slider on the actual medium is generally evaluated by monitoring the contact state between the head slider and the medium. Such an evaluation means has been proposed as a conventional technique. That is, an elastic wave is generated in the head slider due to the impact force when the flying slider such as a protrusion existing on the medium comes into contact with the head slider, and the elastic wave is detected by the elastic wave detection element (piezo sensor, AE sensor). ), And the state of contact between the two is determined by the magnitude of the signal output from the elastic wave detecting element. In principle, the two types of elastic wave detecting elements described above are the same dielectric (for example, zirconate titanate).
The sensor that is directly attached to the head slider is called a piezo sensor, and the sensor mounted on the head mount that holds the suspension to which the head slider is attached is called an AE sensor. Are differentiated.

【0006】次に、グライド特性評価手法(グライド高
さ保証方法)であるが、従来技術としては下記のような
手法が提案されている。
Next, regarding a glide characteristic evaluation method (glide height assurance method), the following method has been proposed as a conventional technique.

【0007】基準ディスクによるグライド高さ保証 上記したように弾性波検出素子から出力される信号強度
は、ヘッドスライダー/媒体間の接触状態に依存し、そ
の接触の度合あるいは接触する突起の大きさによって変
化する。そのため、その出力信号の大小に基づいて媒体
のグライド高さを保証するためには、予め保証しようと
するグライド高さが、検査される媒体上で実現可能かど
うかを判別するための判断基準(しきい値)を把握して
おく必要がある。すなわち、本手法では、保証しようと
するグライド高さと等しい高さの突起を有する基準ディ
スクを用いて、そのディスク上でその突起高さと同じ浮
上高さでヘッドスライダーを浮上させ、ヘッドスライダ
ーがその突起上を通過する際の弾性波検出素子からの出
力電圧を測定して、その電圧値をしきい値とし、実媒体
上で観測される出力電圧がそのしきい値以下であれば、
合格と判定される。前記した基準ディスクは、その形状
および高さが規定されており、通常、ディスク半径方向
にある一定の長さを持った直方体状の形状を有する突起
が形成されているディスクをその較正用に用いる。
Glide height guarantee by the reference disk As described above, the signal strength output from the elastic wave detecting element depends on the contact state between the head slider and the medium, and it depends on the degree of contact or the size of the contacting protrusion. Change. Therefore, in order to guarantee the glide height of the medium on the basis of the magnitude of the output signal, a criterion for judging whether or not the glide height to be guaranteed in advance can be realized on the medium to be inspected ( It is necessary to know the threshold). That is, in this method, a reference disk having a protrusion whose height is equal to the glide height to be guaranteed is used, and the head slider is levitated on the disc at the same flying height as the protrusion height. Measuring the output voltage from the elastic wave detecting element when passing over, the voltage value as a threshold value, if the output voltage observed on the actual medium is below the threshold value,
It is judged to pass. The above-mentioned reference disc is defined in its shape and height, and a disc having protrusions having a rectangular parallelepiped shape having a certain length in the disc radial direction is usually used for the calibration. .

【0008】ヘッドスライダー浮上特性曲線によるグ
ライド高さ保証 本手法は、例えば日本応用磁気学会誌Vol.Supplement,
No.S2,1993,P292 に記載されているように、ヘッドスラ
イダーと検査する媒体の相対速度を変化させ、各相対速
度下において、弾性波検出素子から出力される電圧値か
ら計算される統計パラメータ(例えば、媒体1回転あた
りの電圧波形の算術平均値、または標準偏差値、その詳
細は後述)を調べ、この場合の相対速度と統計パラメー
タとの関係を示す曲線であるヘッドスライダー浮上特性
曲線を測定し、この曲線からその統計パラメータ値が上
昇し始める相対速度(すなわち、ヘッドスライダーが媒
体に接触し始める相対速度)を求め、その相対速度下に
おけるヘッドスライダーの浮上高さからグライド高さを
推定するものである。
Glide height guarantee by head slider levitation characteristic curve This method is described in, for example, the Journal of Japan Applied Magnetics Vol. Supplement,
As described in No.S2,1993, P292, the relative parameter between the head slider and the medium to be inspected is changed, and the statistical parameter calculated from the voltage value output from the elastic wave detecting element under each relative velocity. (For example, the arithmetic mean value or standard deviation value of the voltage waveform per one rotation of the medium, the details of which will be described later), and a head slider flying characteristic curve which is a curve showing the relationship between the relative speed and the statistical parameter in this case is calculated. The relative speed at which the statistical parameter value starts rising (that is, the relative speed at which the head slider starts contacting the medium) is determined from this curve, and the glide height is estimated from the flying height of the head slider at that relative speed. To do.

【0009】本手法は、で必要とされるような基準デ
ィスクによる較正を必要とせず、しかも前者に比べ比較
的簡便にグライド高さを推定できるものである。
This method does not require the calibration with the reference disk as required in (3) and can estimate the glide height relatively easily as compared with the former method.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、マル
チメディアなどの普及によるソフトウエア及び処理デー
タの高容量化に伴い、より高い処理機能を持ったコンピ
ュータが必要とされており、その外部記憶装置である磁
気記録装置に対しても前者と同様に高容量化そして高速
アクセス化などの機能向上が要求されている。ハードデ
ィスク装置に代表されるように、浮上型磁気ヘッドを用
いた磁気記録装置では、その磁気ヘッドスライダーの媒
体からの浮上高さを低下させ、媒体上の単位面積あたり
の記録密度を向上させることが、高容量化を実現してい
く上でのブレークスルーとなる。
By the way, in recent years, along with the increase in capacity of software and processed data due to the spread of multimedia and the like, a computer having a higher processing function is required, and an external storage device thereof is required. Similarly to the former, the magnetic recording device is required to have improved functions such as high capacity and high speed access. As represented by a hard disk device, in a magnetic recording device using a floating magnetic head, it is possible to reduce the flying height of the magnetic head slider from the medium and improve the recording density per unit area on the medium. , Which will be a breakthrough in achieving higher capacity.

【0011】前述のような技術的背景をもとに、ヘッド
スライダーの低浮上高さ化を実現するためには実媒体に
おけるグライド高さの低減が必要であり、それにともな
いより正確にグライド高さを評価できる手法の確立が急
務となっているが、従来技術によるグライド評価手法に
は各々下記のような問題点が存在していた。
Based on the technical background as described above, it is necessary to reduce the glide height in the actual medium in order to realize a low flying height of the head slider, and accordingly, the glide height is more accurate. Although there is an urgent need to establish a method for evaluating the above, there are the following problems in the glide evaluation methods according to the related art.

【0012】基準ディスクによるグライド高さ保証の
問題点 従来の基準ディスクでは、ディスク基板に形成される基
準突起はドライプロセス(スパッタリング等)またはウ
ェットプロセス(ケミカルエッチング等)により、直方
体状(ディスク半径方向にある一定の長さを持たせてい
る)に形成される。しかしながら、これらの基準突起作
製プロセスでは、形成された基準突起のディスク基板表
面からの高さを半径方向に一定に作製することが困難で
あり、基準突起高さが低くなる(すなわち、低グライド
評価対応用)ほど、基準高さに対するバラツキの度合が
著しくなり、較正用基準ディスクとしては不十分なもの
となる。
Problems of Glide Height Guarantee by the Reference Disc In the conventional reference disc, the reference protrusion formed on the disc substrate has a rectangular parallelepiped shape (disc radial direction) by a dry process (sputtering etc.) or a wet process (chemical etching etc.). It has a certain length). However, in these reference protrusion manufacturing processes, it is difficult to make the height of the formed reference protrusion from the disk substrate surface constant in the radial direction, and the reference protrusion height becomes low (that is, low glide evaluation). (For correspondence), the degree of variation with respect to the reference height becomes more remarkable, and it becomes insufficient as a reference disk for calibration.

【0013】さらに考慮すべきは、基準ディスクによる
較正が実際のヘッドスライダー/実媒体間の接触状態を
判定するのに、適切であるかという根本的な問題が本手
法には存在していることである。通常、媒体上で観察さ
れるダスト、および媒体作製プロセス(テクスチャリン
グ、磁性薄膜などの成膜時)において形成されると推測
される異常突起物の形状は、前記したような基準突起の
ような連続的な直方体状の形状ではなく、むしろ点状に
近い不連続的な形状要素を持つ。そのため、前述の基準
ディスクで決定された弾性波検出素子からの出力信号の
しきい値を、実際のグライド特性評価に用いたとして
も、両者の真の接触状態を判定しているとはいい難い。
したがって、本手法はあくまでグライド高さを一義的に
決定するために用いられる手段であって、上記した問題
とも合わせて考えると、幾つかの不確定要素が存在して
いるのが実状である。
It should be further taken into consideration that there is a fundamental problem with this method that calibration with a reference disk is adequate to determine the actual head slider / real medium contact condition. Is. Usually, the shape of the abnormal protrusions that are presumed to be formed in the dust observed on the medium and the medium manufacturing process (texturing, film formation of a magnetic thin film, etc.) is similar to the above-mentioned reference protrusion. It has not a continuous rectangular parallelepiped shape, but rather a discontinuous shape element close to a point. Therefore, even if the threshold value of the output signal from the elastic wave detection element determined by the reference disk is used for the actual glide characteristic evaluation, it cannot be said that the true contact state between the two is determined. .
Therefore, this method is only a means used to uniquely determine the glide height, and in consideration of the above-mentioned problems, some uncertainties are present.

【0014】ヘッドスライダー浮上特性曲線によるグ
ライド高さ保証の問題点 本手法は、ヘッドスライダー/媒体間の相対速度を変化
させてゆき、各相対速度下において得られるディスク1
回転相当の弾性波検出素子からの出力電圧波形より、次
式で示されるような統計パラメータ(算術平均値(Vav
e.)、あるいは標準偏差値(Vrms )、図1並びに
(1)、(2)式参照)を計算し、相対速度に対するそ
の絶対値の変化の割合をモニターすることで、グライド
高さを判別するものである。
Problem of Glide Height Guarantee by Head Slider Floating Characteristic Curve In this method, the relative speed between the head slider and the medium is changed to obtain a disk 1 obtained at each relative speed.
From the output voltage waveform from the elastic wave detecting element corresponding to the rotation, statistical parameters (arithmetic mean value (Vav
e.), or standard deviation value (Vrms), see Fig. 1 and equations (1) and (2)), and determine the glide height by monitoring the rate of change of its absolute value with respect to relative velocity. To do.

【0015】 (1)および(2)式に示された通り、両パラメータは
ある基準時間(ここでは、ディスク1回転分に相当する
時間)内における出力波形の平均的な出力に関する情報
を提供するものである。そのため、例えば、ある波形に
おいてその平均的な出力電圧に基づいてそれらの情報が
平均化され、その絶対値には比較的明確な有意さが現れ
がたいこととなる。したがって、図2に示すような、ヘ
ッドスライダー浮上曲線のスライダー浮上速度(TDV:To
uch Down Velocity )より決定されるグライド高さは、
この出力波形が全体的に大きくなる。すなわち、ヘッド
スライダー/媒体間において比較的高い頻度でヘッドス
ライダーが媒体に接触し始める時の浮上高さを示してい
るといえる。
[0015] As shown in equations (1) and (2), both parameters provide information on the average output of the output waveform within a certain reference time (here, the time corresponding to one rotation of the disk). . Therefore, for example, in a certain waveform, the information is averaged based on the average output voltage, and it is difficult for the absolute value to have a relatively clear significance. Therefore, as shown in Fig. 2, the slider flying speed (TDV: To
The glide height determined by uch Down Velocity) is
This output waveform becomes large as a whole. That is, it can be said that it indicates the flying height when the head slider starts contacting the medium with a relatively high frequency between the head slider and the medium.

【0016】しかしながら、通常のグライド試験で合否
判定の基準となるヘッドスライダーと媒体の接触頻度
は、予め設定されたしきい値を越える波形が数個レベル
の場合であり、その接触個数がそれ以上のレベルになる
と、実用に絶えないディスクとして判定されることとな
る。したがって、グライド試験においては、上記のよう
な平均的な情報よりも、むしろ平均的な出力を上回る突
発的な信号を対象にしなければならず、TDV付近での
Vave.、Vrms という平均的な情報からグライド高さを
推定しても、その判定基準となるパラメータの持つ定義
を考慮すれば、正確なグライド特性を評価しているとは
いい難いのが実状である。
However, the contact frequency between the head slider and the medium, which is the criterion for the pass / fail judgment in the normal glide test, is the case where there are several levels of waveforms that exceed a preset threshold value, and the number of contact is more than that. At the level of, it will be judged as a disc that is practically endless. Therefore, in the glide test, it is necessary to target sudden signals that exceed the average output rather than the above average information, and average information such as Vave. And Vrms near TDV. Even if the glide height is estimated from the above, it is difficult to say that the glide characteristics are accurately evaluated, considering the definition of the parameter serving as the criterion.

【0017】本発明は、上述の背景のもとでなされたも
のであり、従来よりも浮上高さの低いヘッドスライダー
の浮上安定性(グライド特性)を、より正確に評価する
磁気記録媒体のグライド特性評価方法を提供することを
目的としたものである。
The present invention has been made under the above-mentioned background, and more accurately evaluates the flying stability (glide characteristics) of a head slider having a flying height lower than that of the prior art. The purpose is to provide a characteristic evaluation method.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに本発明にかかる磁気記録媒体のグライド特性評価方
法は、(構成1) 磁気記録媒体上を浮上型ヘッドスラ
イダーが安定して飛行できる浮上高さであるグライド高
さを求めるための磁気記録媒体のグライド特性評価方法
であって、前記磁気記録媒体と浮上型ヘッドスライダー
との接触を検出して電圧に変換する弾性波検出素子を用
い、前記磁気記録媒体とヘッドスライダーとの相対速度
を変化させたときに、各相対速度下において、前記ヘッ
ドスライダーが前記磁気記録媒体の所定のディスク半径
上を1周する間に、前記弾性波検出素子から出力される
電圧の時間的変化を示したものを出力電圧曲線とし、こ
の出力電圧曲線に現れる各山部もしくは谷部の頂部にお
ける出力電圧値の絶対値、又は、隣り合う山部と谷部の
それぞれの頂部の出力電圧値の差の絶対値をV(i)と
し、このV(i)が最大のものから順に第n番目のもの
までをV(i)のiがそれぞれi=1〜nである場合と
したとき、i=1〜nにおけるV(i)の自乗和の平方
根をとった値Vmaxと各相対速度との関係を示した曲
線をヘッドスライダー浮上曲線とし、前記ヘッドスライ
ダー浮上曲線において、その相対速度に対するVmax
値が上昇し始める相対速度における、ヘッドスライダー
の浮上高さをグライド高さとすることを特徴とした構成
とし、この構成1の態様として、(構成2) 構成1の
磁気記録媒体のグライド特性評価方法において、前記ヘ
ッドスライダーの浮上高さを、該ヘッドスライダーのエ
アベアリング表面のエアー流出端の浮上高さh0 とする
ことを特徴とした構成としものである。
In order to solve the above problems, the method for evaluating the glide characteristics of a magnetic recording medium according to the present invention is (Structure 1): The flying head slider can fly stably on the magnetic recording medium. A method for evaluating the glide characteristics of a magnetic recording medium for determining the glide height, which is the flying height, using an elastic wave detecting element that detects contact between the magnetic recording medium and the flying head slider and converts the contact voltage into a voltage. When the relative speed between the magnetic recording medium and the head slider is changed, the elastic wave detection is performed while the head slider makes one round on a predetermined disk radius of the magnetic recording medium under each relative speed. The output voltage curve shows the change in voltage output from the device over time, and the output voltage value at the top of each peak or valley that appears in this output voltage curve is cut off. Let V (i) be the logarithmic value or the absolute value of the difference between the output voltage values at the tops of the adjacent peaks and valleys, and select the largest V (i) from the largest to the nth. When i of V (i) is i = 1 to n, the relationship between each relative speed and the value Vmax obtained by taking the square root of the sum of squares of V (i) at i = 1 to n is shown. The curve is a head slider flying curve, and in the head slider flying curve, Vmax with respect to the relative speed thereof
The flying height of the head slider at the relative speed at which the value starts to rise is defined as the glide height. As an aspect of this configuration 1, (configuration 2) a method for evaluating glide characteristics of a magnetic recording medium of configuration 1 In the above configuration, the flying height of the head slider is the flying height h0 at the air outflow end of the air bearing surface of the head slider.

【0019】[0019]

【作用】上述の構成によれば、ディスク1周分の出力電
圧曲線における振幅値を各相対速度別にモニターする手
法であるため、従来の統計パラメータを用いて評価した
場合よりも、より高い感度でヘッドスライダー/媒体間
出の接触状態を検出でき、より正確なグライド高さを決
定できる。そして、出力電圧曲線においてモニターする
出力電圧値V(i)の数を、検査する磁気記録媒体にお
いて予め設定される許容接触頻度に応じて、iを1〜n
までに設定することで、より正確なグライド特性を評価
できる。
According to the above-mentioned structure, since the amplitude value in the output voltage curve for one round of the disk is monitored for each relative speed, the sensitivity is higher than that in the case of evaluation using the conventional statistical parameters. It is possible to detect the contact state between the head slider and the medium, and to determine the glide height more accurately. Then, the number of output voltage values V (i) monitored on the output voltage curve is set such that i is 1 to n depending on the allowable contact frequency preset in the magnetic recording medium to be inspected.
By setting up to, more accurate glide characteristics can be evaluated.

【0020】また、媒体上を浮上する磁気ヘッドスライ
ダーは、エアベアリング表面のエアー流入端の浮上高さ
(h1 )に比べ、流出端の浮上高さ(h0 )が低い場合
が多いことから、流出端のほうが媒体と接触する確率が
高くなるため、後者の浮上高さh0 を基準にすること
で、よりグライド高さは正確となる。
Further, the magnetic head slider flying above the medium often has a lower flying height (h0) at the outflow end than the flying height (h1) at the air inflow end on the air bearing surface. Since the edge has a higher probability of coming into contact with the medium, the glide height becomes more accurate by using the latter flying height h0 as a reference.

【0021】[0021]

【実施例】以下、まず、本実施例の方法を実施するため
の装置を説明し、次に、本実施例の方法を説明する。
EXAMPLES First, an apparatus for carrying out the method of this example will be described, and then the method of this example will be described.

【0022】図3ないし図5は本実施例の方法を実施す
るための装置の説明図である。
3 to 5 are explanatory views of an apparatus for carrying out the method of this embodiment.

【0023】図3ないし図5において、符号1は磁気記
録媒体たる磁気ディスクであり、この磁気ディスク1
は、回転装置4のディスク回転用スピンドル4aにクラ
ンプ4bによって保持され、このディスク回転用スピン
ドル4aを回転軸とするモータ4cを駆動することによ
って回転されるようになっている。
In FIGS. 3 to 5, reference numeral 1 is a magnetic disk which is a magnetic recording medium.
Is held by a clamp 4b on a disk rotation spindle 4a of a rotation device 4, and is rotated by driving a motor 4c having the disk rotation spindle 4a as a rotation axis.

【0024】磁気ディスク1の上にはヘッドスライダー
2が配置される。このヘッドスライダー2はサスペンシ
ョン5の先端部に固定され、このサスペンション5の基
端部に取り付けられた取り付け部材5aを介して、ヘッ
ドマウント6の先端に固定されるようになっている。ヘ
ッドマウント6は、水平方向および垂直方向に位置調整
が可能なヘッドスライダー移動機構7に取り付けられ
る。
A head slider 2 is arranged on the magnetic disk 1. The head slider 2 is fixed to the front end of the suspension 5, and is fixed to the front end of the head mount 6 via a mounting member 5a mounted to the base end of the suspension 5. The head mount 6 is attached to a head slider moving mechanism 7 whose position can be adjusted in the horizontal and vertical directions.

【0025】また、ヘッドマウント6には、弾性波検出
素子(AEセンサー)8が取り付けられており、この弾
性波検出素子8の出力は、増幅器9およびA/D変換器
10を通じて、データ処理用のパーソナルコンピュータ
11に送出されるようになっている。
Further, an elastic wave detecting element (AE sensor) 8 is attached to the head mount 6, and the output of this elastic wave detecting element 8 is used for data processing through an amplifier 9 and an A / D converter 10. Is sent to the personal computer 11.

【0026】上述の構成において、ヘッドスライダー2
は、スピンドル4aが停止している状態では、サスペン
ション5の弾性力により適度の押圧力(ヘッド荷重)で
磁気ディスク1の表面に接触しており、スピンドル4a
の回転を開始して所定の回転速度に達するまでの間は磁
気ディスク1上で接触摺動走行を続け、所定の回転速度
に達した時点からヘッドスライダー2と磁気ディスク1
との間に生ずる気流の作用によって浮上走行を行い、ま
た、スピンドル4aを停止させる際には、スピンドル4
aの回転速度を減じ始めて所定の回転速度に達した時点
で浮上走行状態から接触摺動走行状態に移行して停止す
るようになっている。
In the above structure, the head slider 2
Is in contact with the surface of the magnetic disk 1 with an appropriate pressing force (head load) by the elastic force of the suspension 5 when the spindle 4a is stopped.
The contact slide running on the magnetic disk 1 is continued until the rotation speed of the magnetic disk 1 reaches a predetermined rotation speed, and when the predetermined rotation speed is reached, the head slider 2 and the magnetic disk 1
When the spindle 4a is stopped by the action of the air flow generated between
When the rotation speed of a is started to decrease and reaches a predetermined rotation speed, the floating traveling state is changed to the contact sliding traveling state and stopped.

【0027】弾性波検出素子8は、ヘッドスライダー2
と磁気ディスク1の接触を検出する。すなわち、両者の
接触によりヘッドスライダー側に発生した弾性波がサス
ペンション5および取り付け部材5aを介して、ヘッド
マウント6に伝搬する。これにともなって、その弾性波
に対応した圧電効果が弾性波検出素子8において誘起さ
れ、それによって生ずる電圧信号を測定することによっ
て、接触状態をモニターすることができる。
The elastic wave detecting element 8 is the head slider 2
And the magnetic disk 1 are detected. That is, the elastic wave generated on the head slider side due to the contact between the two propagates to the head mount 6 via the suspension 5 and the mounting member 5a. Along with this, a piezoelectric effect corresponding to the elastic wave is induced in the elastic wave detecting element 8, and the contact state can be monitored by measuring the voltage signal generated thereby.

【0028】この実施例では、ヘッドスライダー2の浮
上高さを、磁気ディスク1の回転速度を可変(すなわ
ち、ヘッドスライダー/媒体における相対速度を可変)
することにより変化させ、各浮上高さにおける相対速度
での磁気ディスク1回転あたりの出力電圧曲線(図6参
照)より、Vmaxを把握する必要がある。そのため、
弾性波検出素子8から送出された出力電圧信号(アナロ
グ信号)を、増幅器9で増幅した後、A/D変換器10
によりデジタル化し、そのサンプリング間隔△tに応じ
た電圧V(j)(j=1〜N´)をパーソナルコンピュ
ータ11に取り込むシステムを採用している。ここでN
´は、各相対速度(υ)におけるディスク1周分の出力
電圧V(j)の数に相当し、次式で表される。
In this embodiment, the flying height of the head slider 2 and the rotational speed of the magnetic disk 1 are changed (that is, the relative speed of the head slider / medium is changed).
It is necessary to grasp Vmax from the output voltage curve (see FIG. 6) per rotation of the magnetic disk at the relative speed at each flying height. for that reason,
The output voltage signal (analog signal) sent from the elastic wave detection element 8 is amplified by the amplifier 9, and then the A / D converter 10
The system adopts a system in which the voltage V (j) (j = 1 to N ′) corresponding to the sampling interval Δt is taken into the personal computer 11 by digitalization. Where N
′ Corresponds to the number of output voltages V (j) for one round of the disk at each relative speed (υ) and is represented by the following equation.

【0029】 N´=(πr/30υ)/△t (3) ここで、 υ:ヘッドスライダー/媒体間の相対速度(m/s) r:ヘッドスライダーが設置されるディスク半径位置
(m) △t:サンプリング時間(sec) そこで次に、その出力電圧波形より、Vmaxの計算対
象となる電圧V(i)を把握しなければならないが、そ
の手順としては、まずパーソナルコンピュータ11内に
おいて、各相対速度での磁気ディスク1回転あたりの出
力電圧曲線に対し、図7に示すようにその出力電圧曲線
において0Vより+側となるV(j)を選びだし、その
V(j)を最大のものから順に、それをV(i)(i=
1〜N、i<j)として後、その中より対象とすべきピ
ークの数n(n<N)に対応する電圧V(1)、V
(2)、V(3)、…V(n)(n<N)の自乗和の平
方根をとった値Vmaxを計算する。
N ′ = (πr / 30υ) / Δt (3) Where, ν: Relative speed between head slider / medium (m / s) r: Disk radial position (m) where head slider is installed Δ t: Sampling time (sec) Then, the voltage V (i) for which Vmax is to be calculated must be grasped from the output voltage waveform. The procedure is as follows. With respect to the output voltage curve per one rotation of the magnetic disk at the speed, as shown in FIG. 7, V (j) on the + side of 0 V in the output voltage curve is selected, and the V (j) is selected from the maximum value. In turn, set it to V (i) (i =
1 to N, i <j), and then the voltages V (1) and V corresponding to the number n (n <N) of peaks to be targeted.
(2), V (3), ... V (n) (n <N) is calculated by taking the square root of the sum of squares Vmax.

【0030】 Vmax={V(1)2 +V(2)2 +…V(n)2 0.5 (4) 上記のようなシステムおよび評価パラメータ(Vma
x)を使用し、磁気ディスク1およびヘッドスライダー
2を上述の図3ないし図5に示された装置にセッティン
グする。次に、スピンドル4aを所定の回転速度まで回
転させ、ヘッドスライダー2が磁気ディスク上を浮上走
行する状態としておく。次に、その状態からスピンドル
4aの回転速度を減少させ、各回転速度下における磁気
ディスク1回転あたりの出力電圧曲線におけるVmax
(例えば、i=1とする)の変化を調べる。そうする
と、図8に実線で示したようなヘッドスライダー浮上曲
線が得られる。図8において、Vmaxが上昇し始める
相対速度におけるヘッドスライダー2のエアベアリング
表面のエアー流出端の浮上高さh0 (図9参照)をグラ
イド高さと定義する。
Vmax = {V (1) 2 + V (2) 2 + ... V (n) 2 } 0.5 (4) The system and the evaluation parameter (Vma) as described above.
x) is used to set the magnetic disk 1 and the head slider 2 in the apparatus shown in FIGS. Next, the spindle 4a is rotated to a predetermined rotation speed so that the head slider 2 floats on the magnetic disk. Then, the rotation speed of the spindle 4a is decreased from that state, and Vmax in the output voltage curve per one rotation of the magnetic disk under each rotation speed is decreased.
Check for changes (eg, i = 1). Then, the head slider flying curve as shown by the solid line in FIG. 8 is obtained. In FIG. 8, the flying height h0 (see FIG. 9) of the air outflow end on the air bearing surface of the head slider 2 at the relative speed at which Vmax starts to rise is defined as the glide height.

【0031】次に、上述の方法により、ヘッドスライダ
ー浮上安定性(グライド特性)が互いに異なる磁気ディ
スクのグライド高さh0 を評価した結果を説明する。
Next, the results of evaluating the glide height h0 of magnetic disks having different head slider flying stability (glide characteristics) by the above method will be described.

【0032】まず、測定に用いる磁気ディスクを下記の
ようにして作製した。
First, a magnetic disk used for measurement was manufactured as follows.

【0033】すなわち、図10に示すように直径65m
mのアルミニウム合金基板12にNIPメッキ層13を
無電解メッキ法で20μmの熱さに形成して後、ラッピ
ングテープにより同心円状のメカニカルテクスチャー1
4をNIP層13に施した。その際、SiC砥粒タイプ
(GC#3000、平均砥粒径:5μm)のラッピング
テープを使用し、テクスチャリング装置に取り付けたデ
ィスクサンプルの回転速度を200rpm、テープ送り
速度を50cm/min、テープ圧力を1.0kgf/
cm2 に設定して、テクスチャー加工を行った。本テク
スチャリングによって作製した表面凹凸は、Rp(粗さ
曲線の平均線から最も高い凸部間での高さ)で30nm
であった。そして、メカニカルテクスチャー14が施さ
れたNIP層上に、下地層15として、Crを100n
m、該下地層15上に、磁性層16として、CoNiC
rを50nm積層し、磁性層16上に保護層17とし
て、カーボンを20nmスパッタリングにより積層し
た。これら各層のスパッタリング時には、雰囲気ガスに
純度99.9%のアルゴンガスを使用し、ガス圧5mT
orr(ガス流量、Ar:10SCCM)、投入電力:
100W、背圧:10-7Torr、基板加熱なしの条件
で成膜を行っている。また保護層17上には、潤滑層1
8が形成されているが、これは潤滑剤にPFPE(Fo
mblin AM2001)を、また、その溶媒にHC
FC(旭ガラス製AK−225)をそれぞれ使用し、デ
ィッピング法により平均膜厚で2nmの厚さに塗布して
作成したものを磁気記録媒体とした。なお、潤滑層ま
で成膜を行った磁気記録媒体の表面粗さ(Rp)はテク
スチャリングによって作製した表面凹凸の表面粗さと同
じであった。
That is, as shown in FIG. 10, the diameter is 65 m.
After the NIP plating layer 13 is formed on the aluminum alloy substrate 12 having a thickness of 20 m by electroless plating at a heat of 20 μm, the concentric mechanical texture 1 is formed by lapping tape.
4 was applied to the NIP layer 13. At that time, a SiC abrasive grain type (GC # 3000, average abrasive grain size: 5 μm) wrapping tape was used, the rotation speed of the disk sample attached to the texturing device was 200 rpm, the tape feed speed was 50 cm / min, and the tape pressure was set. 1.0 kgf /
It was set to cm 2 and textured. The surface roughness produced by this texturing is 30 nm in Rp (height between the highest protrusions from the average line of the roughness curve).
Met. Then, 100 n of Cr is used as the underlayer 15 on the NIP layer on which the mechanical texture 14 is applied.
m, CoNiC as the magnetic layer 16 on the underlayer 15
r was deposited in a thickness of 50 nm, and carbon was deposited in a thickness of 20 nm as a protective layer 17 on the magnetic layer 16 by sputtering. At the time of sputtering each of these layers, argon gas with a purity of 99.9% was used as the atmosphere gas, and the gas pressure was 5 mT.
orr (gas flow rate, Ar: 10 SCCM), input power:
The film is formed under the conditions of 100 W, back pressure: 10 −7 Torr, and no substrate heating. Further, on the protective layer 17, the lubricating layer 1
8 is formed, but this is PFPE (Fo
mblin AM2001) and HC in its solvent
Each of FC (AK-225 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) was used to form a magnetic recording medium by applying a film having an average film thickness of 2 nm by a dipping method. The surface roughness (Rp) of the magnetic recording medium on which the lubrication layer was formed was the same as the surface roughness of the surface irregularities produced by texturing.

【0034】また、図10におけるテクスチャーのRp
を25nmにした以外は、磁気記録媒体と同様に作製
したディスクを、磁気記録媒体とした。
Further, the Rp of the texture in FIG.
A disk manufactured in the same manner as the magnetic recording medium except that the thickness was set to 25 nm was used as the magnetic recording medium.

【0035】また、図10におけるテクスチャーのRp
を20nmにした以外は、磁気記録媒体と同様に作製
したディスクを、磁気記録媒体とした。
Further, the Rp of the texture in FIG.
A disk manufactured in the same manner as the magnetic recording medium except that the thickness was set to 20 nm was used as the magnetic recording medium.

【0036】また、図10におけるテクスチャーのRp
を15nmにした以外は、磁気記録媒体と同様に作製
したディスクを、磁気記録媒体とした。
Further, the Rp of the texture in FIG.
A disk produced in the same manner as the magnetic recording medium except that the thickness was set to 15 nm was used as the magnetic recording medium.

【0037】また、図10におけるテクスチャーのRp
を10nmにした以外は、磁気記録媒体と同様に作製
したディスクを、磁気記録媒体とした。
Further, the Rp of the texture in FIG.
A disk manufactured in the same manner as the magnetic recording medium except that the thickness was set to 10 nm was used as the magnetic recording medium.

【0038】以上、表面粗さを変化させて作製した磁気
記録媒体〜につき、グライド特性評価を行い、その
際の各磁気記録媒体におけるヘッドスライダー浮上曲線
(Vmaxー相対速度の関係、j=1の場合)を図11
に示す。また、比較のためVrms((2)式より算
出)と相対速度(υ)について調べた結果を図12に併
せて示す。
As described above, the glide characteristics of magnetic recording media manufactured by changing the surface roughness are evaluated, and the head slider flying curve (Vmax-relative velocity relationship, j = 1) of each magnetic recording medium is evaluated. 11)
Shown in. For comparison, FIG. 12 also shows the results obtained by examining Vrms (calculated from the equation (2)) and the relative velocity (υ).

【0039】そして、上記ヘッドスライダー浮上曲線よ
り算出したグライド高さh0 と、磁気記録媒体の表面粗
さ(Rp)の関係を表したたものを図13に示す。
FIG. 13 shows the relationship between the glide height h0 calculated from the head slider flying curve and the surface roughness (Rp) of the magnetic recording medium.

【0040】本グライド試験では、媒体を1.5kgf
cmの締め付けトルクで、上述の図3ないし図4に示さ
れるグライド特性評価装置に装備されているディスク回
転用スピンドル4aに保持した後、ヘッドスライダー2
の媒体1に対し内周側のエアベアリング面(ABS面)
の中心が、媒体中心より17.5mmになるようにヘッ
ドスライダー2を媒体上に設置し、ディスク回転スピン
ドル4aを4000rpmまで回転させ、ヘッドスライ
ダー2が磁気ディスク1上を浮上走行する状態にしてお
き、その状態からスピンドル4aの回転速度を減少さ
せ、各回転速度下における磁気ディスク1回転あたりの
出力電圧曲線におけるVmaxおよびVrmsを各磁気
記録媒体別に調べている。
In this glide test, the medium was 1.5 kgf.
With the tightening torque of cm, the head slider 2 is held after being held by the disk rotation spindle 4a equipped in the glide characteristic evaluation apparatus shown in FIGS.
Air bearing surface (ABS surface) on the inner side with respect to the medium 1
The head slider 2 is set on the medium so that the center of the head is 17.5 mm from the center of the medium, and the disk rotation spindle 4a is rotated up to 4000 rpm so that the head slider 2 floats and runs on the magnetic disk 1. From that state, the rotation speed of the spindle 4a is decreased, and Vmax and Vrms in the output voltage curve per one rotation of the magnetic disk under each rotation speed are examined for each magnetic recording medium.

【0041】また、本測定に用いたヘッドは、IBM3
370タイプのインライン型ヘッドであり、ヘッド荷重
は6.5gf、ヘッドスライダー材質はAl2 3 −T
iC、そしてヘッドスライダーのエアベアリング表面の
エアー流出端の浮上高さh0が、相対速度に対し図14
に示すような特性となるものを使用している。
The head used in this measurement is IBM3
370 type in-line head, head load 6.5gf, head slider material Al 2 O 3 -T
iC, and the flying height h0 of the air outflow end on the air bearing surface of the head slider are shown in FIG.
The one with the characteristics shown in is used.

【0042】また、本測定は、クリーン清浄度100の
クリーンルーム内で行い、その際の室温は24℃、湿度
は40%R.Hであった。
Further, this measurement is carried out in a clean room with a clean cleanliness of 100, in which the room temperature is 24 ° C. and the humidity is 40% RH. It was H.

【0043】その結果、図11および図12に示される
ように、Vrmsで磁気記録媒体〜のヘッドスライ
ダー浮上特性を調べた場合は、そのVrms値が上昇し
始める相対速度(υ´)にあまり大きな差異は認められ
ないが、本実施例におけるVmaxでは前者に比べ、各
媒体ごとのυ´には明確な有意差が観察されている。
As a result, as shown in FIGS. 11 and 12, when the flying characteristics of the head slider from the magnetic recording medium to Vrms were examined, the relative velocity (υ ') at which the Vrms value started to rise was too large. Although no difference is observed, a clear significant difference is observed in ν ′ for each medium in Vmax in this example as compared with the former.

【0044】図13は、上記結果より、各媒体のυ´に
対応する浮上高さを図14よりもとめてグライド高さh
0 とし、それと磁気記録媒体〜の表面粗さ(Rp)
の関係を示したものであるが、Vmaxによる評価のほ
うがVrmsに比べ、表面粗さの違いにより変化すると
考えられるグライド高さの差異をより的確に捉らえてお
り、本実施例による効果が実証されている。
From the above results, FIG. 13 finds the flying height corresponding to υ ′ of each medium from FIG. 14 and finds the glide height h.
And the surface roughness (Rp) of the magnetic recording medium to
However, the evaluation by Vmax more accurately captures the difference in glide height, which is considered to change due to the difference in surface roughness, than the evaluation by Vrms, and the effect of this example is verified. Has been done.

【0045】これは、各媒体における粗さ曲線の中心線
から、ヘッドスライダーらのエアベアリング表面のエア
ー流出端までが浮上高さh0 に対応すると考えると、ヘ
ッドスライダー/媒体間の相対速度を低減させて浮上高
さを低下させた場合、ヘッドスライダーがまず最初に接
触するのは、表面粗さパラメータRpで規定されている
媒体上で最も高い凸部であると推測される。しかしなが
らVrmsによる評価では、例えヘッドスライダーがそ
の凸部に最初に接触しても、その検出信号がVrmsの
計算対象となる出力電圧波形(ここではディスク1回転
分の出力電圧に相当)上で占める割合はごく僅かである
ことから、結果的にはその絶対値には明確な差異が現れ
にくいことが考えられる。一方、本実施例によるVma
xは、前者がディスク1回転分に相当する出力電圧波形
の平均的な情報であったのに対し、前述したような突発
的な信号を対象とした評価パラメータであるため、グラ
イド特性で問題となるような、媒体表面全体における存
在確率が低い異常突起の検出にはより適切であることが
示されている。
Considering that the distance from the center line of the roughness curve of each medium to the air outflow end of the air bearing surface of the head slider corresponds to the flying height h0, the relative velocity between the head slider and the medium is reduced. When the flying height is reduced by the above, it is presumed that the head slider first comes into contact with the highest convex portion on the medium defined by the surface roughness parameter Rp. However, in the evaluation by Vrms, even if the head slider first comes into contact with the convex portion, the detection signal occupies the output voltage waveform (corresponding to the output voltage for one rotation of the disk here) for which Vrms is calculated. Since the ratio is very small, it is conceivable that no clear difference appears in the absolute value as a result. On the other hand, Vma according to the present embodiment
While x is the average information of the output voltage waveform corresponding to one rotation of the disk in the former, it is an evaluation parameter for the sudden signal as described above, so that there is a problem with the glide characteristics. It has been shown to be more suitable for detecting such abnormal protrusions having a low existence probability on the entire medium surface.

【0046】上記実施例では、ディスク1回転分の出力
電圧波形において、計算対象とするピーク電圧値(V
(j))の中から最も大きな電圧値(j=1の場合)の
みでVmaxを算出しているが、検査する磁気記録媒体
において予め設定される許容接触頻度に応じて、jを1
〜nまで設定することで、より正確なグライド特性を評
価できる。
In the above embodiment, in the output voltage waveform for one rotation of the disk, the peak voltage value (V
Although Vmax is calculated only from the largest voltage value (in the case of j = 1) of (j)), j is set to 1 depending on the allowable contact frequency preset in the magnetic recording medium to be inspected.
By setting up to n, more accurate glide characteristics can be evaluated.

【0047】また、上記実施例においては、出力電圧曲
線において0Vより+側となるV(j)を対象としてピ
ーク検出を行い、Vmaxを決定しているが、これに限
らず、出力電圧曲線において0Vより−側となるV
(j)を対象として−側の出力電圧曲線からピーク検出
を行い、上記(4)式に基づいてVmaxを決定しても
よい。さらには、出力電圧曲線において、PーV値(Pe
ak to Valley)に着目し、その最大のものから順にV
(1),V(2),…,V(n)として、その二乗和の
平方根をとることによりVmaxを決定してもよい。
Further, in the above embodiment, Vmax is determined by performing peak detection for V (j) on the + side of 0 V in the output voltage curve, but the present invention is not limited to this, and Vmax is determined in the output voltage curve. V that is more negative than 0V
Peak detection may be performed from the negative output voltage curve for (j), and Vmax may be determined based on the above equation (4). Furthermore, in the output voltage curve, the PV value (Pe
ak to Valley), and from the largest one to V
As (1), V (2), ..., V (n), Vmax may be determined by taking the square root of the sum of squares thereof.

【0048】上述の実施例では、ヘッドスライダー浮上
曲線より、Vmax値が上昇し始める相対速度(υ´)
を調べ、検査に使用するヘッドスライダーらの浮上特性
を参照してグライド高さを決定しているが、そのυ´を
ヘッドスライダー浮上曲線に応じてより正確に算出する
ために、例えば、移動平均法、周波数領域法等の手法を
用いてよいことはもちろんである。
In the above-described embodiment, the relative velocity (υ ') at which the Vmax value starts to rise from the head slider flying curve.
The glide height is determined by referring to the levitation characteristics of the head sliders used for inspection, and in order to calculate υ ′ more accurately according to the head slider levitation curve, for example, a moving average It goes without saying that a method such as a method or a frequency domain method may be used.

【0049】そして、本実施例においてはヘッドスライ
ダー/媒体の接触検出手段(弾性波検出素子)としてA
Eセンサーを使用しているが、例えばヘッドスライダー
に直接その素子を取り付けるピエゾセンサー等の適用を
排除するものではない。
In the present embodiment, the head slider / medium contact detecting means (elastic wave detecting element) A
Although the E sensor is used, the application of, for example, a piezo sensor for directly mounting the element on the head slider is not excluded.

【0050】[0050]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によるグラ
イド特性評価方法は、要するに、これまでヘッドスライ
ダー/媒体間の接触状態を統計的なパラメータで評価し
てその平均的な情報からグライド高さを決定してきた従
来技術に対し、両者間の突発的な接触をモニターする手
法を用いているため、ヘッドスライダーの浮上を阻害す
る媒体上の異常突起などを従来よりも的確に検出でき、
より正確なグライド高さを決定できる。
As described in detail above, the glide characteristic evaluation method according to the present invention, in short, is basically the evaluation of the contact state between the head slider and the medium using statistical parameters, and the glide height is evaluated from the average information. In contrast to the conventional technology that has determined the depth, a method of monitoring sudden contact between the two is used, so abnormal protrusions on the medium that hinder the flying of the head slider can be detected more accurately than before,
A more accurate glide height can be determined.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】ディスク1回転相当の弾性波検出素子からの出
力電圧波形を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing an output voltage waveform from an elastic wave detecting element corresponding to one rotation of a disk.

【図2】ヘッドスライダー浮上曲線(出力電圧とヘッド
スライダー/媒体間の相対速度の関係)を示す図であ
る。
FIG. 2 is a diagram showing a head slider flying curve (relationship between output voltage and relative speed between head slider / medium).

【図3】グライド特性評価装置の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a glide characteristic evaluation device.

【図4】グライド特性評価装置の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a glide characteristic evaluation device.

【図5】グライド特性評価装置の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a glide characteristic evaluation device.

【図6】ディスク1回転相当の弾性波検出素子からの出
力電圧波形を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing an output voltage waveform from an elastic wave detecting element corresponding to one rotation of the disk.

【図7】ディスク1回転相当の弾性波検出素子からの出
力電圧波形から0Vより+側となるV(j)を選びだし
て示した電圧波形を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a voltage waveform in which V (j) on the + side of 0 V is selected from the output voltage waveform from the elastic wave detection element corresponding to one rotation of the disk.

【図8】ヘッドスライダー浮上曲線を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a head slider flying curve.

【図9】ヘッドスライダーの浮上高さ規定図である。FIG. 9 is a diagram illustrating the flying height of a head slider.

【図10】本発明の実施例における磁気記録媒体の部分
断面図である。
FIG. 10 is a partial cross-sectional view of a magnetic recording medium in an example of the present invention.

【図11】Vmaxの評価による各磁気記録媒体のヘッ
ドスライダー浮上曲線を示す図である。
FIG. 11 is a diagram showing a head slider flying curve of each magnetic recording medium based on evaluation of Vmax.

【図12】Vrmsの評価による各磁気記録媒体のヘッ
ドスライダー浮上曲線を示す図である。
FIG. 12 is a diagram showing a head slider flying curve of each magnetic recording medium evaluated by Vrms.

【図13】グライド高さと磁気記録媒体の表面粗さ(R
p)の関係を示す図である。
FIG. 13: Glide height and surface roughness of magnetic recording medium (R
It is a figure which shows the relationship of p).

【図14】ヘッドスライダーのエアベアリング表面のエ
アー流出端の浮上高さと相対速度の関係を示す図であ
る。
FIG. 14 is a diagram showing the relationship between the flying height at the air outflow end of the air bearing surface of the head slider and the relative speed.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…磁気ディスク、2…ヘッドスライダー、4…回転装
置、4a…ディスク回転用スピンドル、4b…クラン
プ、4c…モータ、5…サスペンション、5a…取り付
け部材、6…ヘッドマウント、6a…取り付け台、7…
ヘッドスライダー移動機構、8…弾性波検出素子、9…
増幅器、10…A/D変換器、11…パーソナルコンピ
ュータ、12…アルミニウム合金基板、13…NiPメ
ッキ層、14…メカニカルテクスチャー、15…下地層
(Cr)、16…磁性層(CoNiCr)、17…保護
層(カーボン)、18…潤滑層。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnetic disk, 2 ... Head slider, 4 ... Rotation device, 4a ... Disk rotation spindle, 4b ... Clamp, 4c ... Motor, 5 ... Suspension, 5a ... Mounting member, 6 ... Head mount, 6a ... Mounting base, 7 …
Head slider moving mechanism, 8 ... Elastic wave detecting element, 9 ...
Amplifier, 10 ... A / D converter, 11 ... Personal computer, 12 ... Aluminum alloy substrate, 13 ... NiP plating layer, 14 ... Mechanical texture, 15 ... Underlayer (Cr), 16 ... Magnetic layer (CoNiCr), 17 ... Protective layer (carbon), 18 ... Lubrication layer.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 磁気記録媒体上を浮上型ヘッドスライダ
ーが安定して飛行できる浮上高さであるグライド高さを
求めるための磁気記録媒体のグライド特性評価方法であ
って、 前記磁気記録媒体と浮上型ヘッドスライダーとの接触を
検出して電圧に変換する弾性波検出素子を用い、 前記磁気記録媒体とヘッドスライダーとの相対速度を変
化させたときに、各相対速度下において、前記ヘッドス
ライダーが前記磁気記録媒体の所定のディスク半径上を
1周する間に、前記弾性波検出素子から出力される電圧
の時間的変化を示したものを出力電圧曲線とし、 この出力電圧曲線に現れる各山部もしくは谷部の頂部に
おける出力電圧値の絶対値、又は、隣り合う山部と谷部
のそれぞれの頂部の出力電圧値の差の絶対値をV(i)
とし、 このV(i)が最大のものから順に第n番目のものまで
をV(i)のiがそれぞれi=1〜nである場合とした
とき、 i=1〜nにおけるV(i)の自乗和の平方根をとった
値Vmaxと各相対速度との関係を示した曲線をヘッド
スライダー浮上曲線とし、 前記ヘッドスライダー浮上曲線において、その相対速度
に対するVmax値が上昇し始める相対速度における、
ヘッドスライダーの浮上高さをグライド高さとすること
を特徴とした磁気記録媒体のグライド特性評価方法。
1. A method for evaluating a glide characteristic of a magnetic recording medium for determining a glide height, which is a flying height at which a flying head slider can fly stably on a magnetic recording medium. When an elastic wave detecting element that detects contact with a die head slider and converts it into a voltage is used, and when the relative speed of the magnetic recording medium and the head slider is changed, the head slider is An output voltage curve is a curve showing a temporal change in the voltage output from the elastic wave detecting element while the magnetic recording medium makes one round on a predetermined disk radius. Let V (i) be the absolute value of the output voltage value at the top of the valley or the difference between the output voltage values at the tops of the adjacent peaks and valleys.
When the values of V (i) from the maximum value to the nth value are sequentially set as i of V (i) i = 1 to n, V (i) at i = 1 to n A curve showing the relationship between the value Vmax obtained by taking the square root of the sum of squares of V and each relative speed is a head slider levitation curve, and in the head slider levitation curve, in the relative speed at which the Vmax value with respect to the relative speed begins to rise,
A method for evaluating the glide characteristics of a magnetic recording medium, characterized in that the flying height of the head slider is set as the glide height.
【請求項2】 請求項1に記載の磁気記録媒体のグライ
ド特性評価方法において、 前記ヘッドスライダーの浮上高さを、該ヘッドスライダ
ーのエアベアリング表面のエアー流出端の浮上高さh0
とすることを特徴とした磁気記録媒体のグライド特性評
価方法。
2. The method for evaluating glide characteristics of a magnetic recording medium according to claim 1, wherein the flying height of the head slider is the flying height h0 at the air outflow end of the air bearing surface of the head slider.
A method for evaluating glide characteristics of a magnetic recording medium, characterized by:
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7057385B2 (en) 2002-03-13 2006-06-06 Fujitsu Limited Method of inspecting magnetic recording medium based on contact duration time
US20130063834A1 (en) * 2005-04-27 2013-03-14 Seagate Technology Llc Head Assembly with Head-Media Spacing Control

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