JPH07320475A - Magnetic disk device - Google Patents

Magnetic disk device

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JPH07320475A
JPH07320475A JP11246994A JP11246994A JPH07320475A JP H07320475 A JPH07320475 A JP H07320475A JP 11246994 A JP11246994 A JP 11246994A JP 11246994 A JP11246994 A JP 11246994A JP H07320475 A JPH07320475 A JP H07320475A
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JP
Japan
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oxygen
magnetic disk
disk device
magnetic
diffusion
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JP11246994A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Sugimoto
博幸 杉本
Takashi Hamada
隆史 濱田
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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Abstract

PURPOSE:To suppress wear of internal mechanisms by controlling the internal atmosphere of a hermetically closed device. CONSTITUTION:An oxygen concn. maintaining mechanism is mounted within the magnetic disk device of a hermetic type. A spindle 5, a pivot 6, an actuator magnet 7, etc., are mounted on a base 4. Further, plural sheets of disks 8 are supported on the spindle 5. A carriage 9, a head 10 and other necessary parts are mounted at the magnet 7. The base 4 and a cover 11 are fixed via packings. Further, an oxygen adsorbent unit 13 is mounted at one corner of the base. This unit 13 houses an oxygen adsorbent 1 consisting of fine iron powder, etc. An oxygen diffusion and inflow part 3 is composed of a polyethylene film, etc. The wear resistant strength of the magnetic disks depends upon the oxygen pressure and the oxygen partial pressure is recommended to be controlled to a range of prescribed Pa to kPa value in order to maximize the strength thereof.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置、特に
内部の雰囲気を調整した密閉型の磁気ディスク装置に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk device, and more particularly to a hermetically sealed magnetic disk device having an internal atmosphere adjusted.

【0002】[0002]

【従来の技術】コンピュータの外部記憶装置として現在
主に用いられる磁気ディスク装置は、回転する円板状の
磁気記録媒体(以下、ディスクと称する)に磁気ヘッド
で磁気信号を書き込み、読み出すものである。磁気ディ
スク装置において、ディスクと磁気ヘッドは数十m/sの
速度で相対運動している。磁気ヘッドとディスクが直接
接触を起すと両者が摩耗し、装置の寿命を損なう。特に
摩耗によりディスクの磁性膜が破壊される場合をディス
ククラッシュと称し、ディスク上の情報が大規模に破壊
される。これを避けるため、通常例えば、磁気ヘッドの
搭載されているスライダーの形状を橇型とし、ディスク
回転時には空気流で磁気ヘッドが浮上することで、定常
運転時の両者の直接接触を避けるようにしている。装置
の始動時や停止時には両者が接触するが、これに対して
は、ディスクの磁性膜上に保護膜を形成すること、およ
びこの上に潤滑剤を塗布することで、摩耗に対する耐久
性を高めている。
2. Description of the Related Art A magnetic disk device currently mainly used as an external storage device of a computer is one in which a magnetic signal is written to and read from a rotating disk-shaped magnetic recording medium (hereinafter referred to as a disk) by a magnetic head. . In a magnetic disk device, a disk and a magnetic head move relative to each other at a speed of several tens m / s. When the magnetic head and the disk come into direct contact with each other, both are worn and the life of the device is shortened. Particularly, the case where the magnetic film of the disk is destroyed by abrasion is called a disk crash, and the information on the disk is destroyed on a large scale. In order to avoid this, for example, the shape of the slider on which the magnetic head is mounted is generally sled-shaped, and the magnetic head is levitated by the airflow during disk rotation, so that direct contact between the two during steady operation is avoided. There is. Both of them come into contact when the device is started or stopped, but against this, by forming a protective film on the magnetic film of the disk and applying a lubricant on it, durability against wear is improved. ing.

【0003】この磁気ディスク装置では、記録密度をよ
り一層向上させることが望まれている。そのためには磁
気ヘッドとディスクの間隔を出来る限り小さくすること
が望ましく、最新の機種では、その間隔は既に100n
m以下にまで低減されている。このような状況では定常
運転時における磁気ヘッドとディスクの接触の確率は無
視出来ず、一定の頻度で接触しているものと考えられ
る。両者の間隔をさらに低減した場合、接触する確率は
一層高くなる。またさらなる記録密度の向上のために、
磁気ヘッドとディスクを連続的に接触させた状態で記
録、再生を行う試みもなされている。
In this magnetic disk device, it is desired to further improve the recording density. For that purpose, it is desirable to make the distance between the magnetic head and the disk as small as possible. In the latest model, the distance is already 100n.
It is reduced to m or less. In such a situation, the probability of contact between the magnetic head and the disk during steady operation cannot be ignored, and it is considered that the magnetic head and the disk are in contact with each other at a constant frequency. If the distance between the two is further reduced, the probability of contact is further increased. In order to further improve the recording density,
Attempts have also been made to perform recording and reproduction with the magnetic head and the disk in continuous contact.

【0004】磁気ヘッド/ディスクが接触した場合の摩
耗の低減を計るためディスクの表面に保護膜が形成され
ていることは既に述べたが、その保護膜の材料としては
多くの場合カーボン膜が用いられており、これは接触に
より酸化摩耗を起こすと考えられている。またディスク
表面の潤滑剤の劣化にも酸素が関与している可能性があ
る。このような理由から、磁気ディスク装置内部の酸素
を排除することにより摩耗を抑制することが提案されて
いる(特開平1−57480)。一方、酸素を完全に排
除した極めて清浄な雰囲気では逆に破壊的な摩耗が進行
しやすいことが報告されている(ワール等著、「デュラ
ビリティー オブ マグネティック シンフィルム リ
ジッド ディスクス イン ナイトロジェン アンド
ヘリウムエンバイロンメンツ」、アドバンストインフォ
メーション オブ ストーリッジ システムズ誌第1巻
327ページ乃至336ページ、西暦1991年発
行)。以上のごとくディスクの耐久性に対する酸素雰囲
気の影響は必ずしも明確ではなかった。
It has already been described that a protective film is formed on the surface of the disk in order to reduce wear when the magnetic head / disk comes into contact, but in many cases a carbon film is used as the material for the protective film. It is believed that contact causes oxidative wear. Oxygen may also be involved in the deterioration of the lubricant on the disk surface. For this reason, it has been proposed to suppress wear by eliminating oxygen inside the magnetic disk device (Japanese Patent Laid-Open No. 1-57480). On the other hand, it has been reported that destructive wear is more likely to proceed in an extremely clean atmosphere in which oxygen is completely removed (War et al., “Durability of Magnetic Thin Film Rigid Disc in Nitrogen and
Helium Environments, "Advanced Information of Storage Systems, Vol. 1, pages 327-336, AD 1991). As described above, the influence of the oxygen atmosphere on the durability of the disk was not always clear.

【0005】また酸素を低減する方法として、酸素と不
活性ガス、例えばヘリウムとを混合して密閉した磁気デ
ィスク装置に封入する試みは従来より行われている(例
えば、特開昭61−292289号公報)。さらには、
磁気ディスク装置内部の酸素を酸素吸着剤で除去するこ
とも考案されている(例えば、特開平3−254835
号公報)。しかし、単に酸素吸着剤を設置するのみでは
吸着剤の性能が経時的に変化するため、長期に渡り磁気
ディスク装置内部の酸素濃度を一定に維持することはで
きなかった。
As a method for reducing oxygen, attempts have been made to mix oxygen and an inert gas, for example, helium, and to seal the mixture in a hermetically sealed magnetic disk device (for example, JP-A-61-292289). Gazette). Moreover,
It has also been devised to remove oxygen in the magnetic disk device with an oxygen adsorbent (for example, JP-A-3-254835).
Issue). However, simply installing an oxygen adsorbent changes the performance of the adsorbent over time, so that the oxygen concentration inside the magnetic disk device cannot be kept constant for a long period of time.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、磁気
ディスク装置の内部機構の摩耗が最も抑制される状態に
保つように雰囲気を制御できる磁気ディスク装置を得る
ことにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to obtain a magnetic disk device capable of controlling the atmosphere so as to keep the wear of the internal mechanism of the magnetic disk device most suppressed.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】発明者らは上記の課題に
つき詳細に検討した結果、磁気ディスクの耐摩耗強度は
酸素分圧に依存し、かつその強度を最大にするための雰
囲気中の酸素濃度は酸素分圧で10Pa乃至10kPa
の範囲であること、そして磁気ディスク装置内部の酸素
濃度をこの範囲で積極的に制御することにより、摩耗を
安定的に低減出来ることを見出した。さらには、これを
安定かつ容易に制御する方法を考え出した。
As a result of a detailed study on the above problems, the inventors of the present invention have found that the wear resistance strength of a magnetic disk depends on the oxygen partial pressure, and oxygen in the atmosphere for maximizing the strength is high. Concentration is 10 Pa to 10 kPa in oxygen partial pressure
It was found that the wear was stably reduced by positively controlling the oxygen concentration inside the magnetic disk device within this range. Furthermore, the method of controlling this stably and easily was devised.

【0008】前述のごとく、雰囲気ガス中として、単に
不活性ガスに酸素を混入させることは既に公知である。
しかしながら、単純に低濃度の酸素を混合した不活性ガ
スを用いたのでは、酸素がパッキング等の有機部材を介
して装置外より侵入しその濃度が増加するため、一定酸
素濃度を長期間にわたり安定に維持することは必ずしも
容易ではない。磁気ディスク装置を金属シールを用いて
完全に密封し、酸素の流入を防止することも可能である
が、装置組立て後の補修が難しいことや、密封時に装置
がひずむ可能性があることなどの難点がある。
As described above, it is already known to simply mix oxygen into an inert gas as an atmospheric gas.
However, simply using an inert gas mixed with a low concentration of oxygen causes oxygen to enter from the outside of the device through an organic member such as packing and increase its concentration, so that a constant oxygen concentration is stable for a long period of time. It's not always easy to maintain. It is possible to completely seal the magnetic disk device with a metal seal to prevent the inflow of oxygen, but it is difficult to repair after assembling the device, and the device may be distorted during sealing. There is.

【0009】本発明は、磁気ディスク装置内に酸素濃度
の制御手段を導入することで装置内の酸素濃度を摩耗強
度が向上する最適範囲に維持できることを見出したもの
である。具体的には酸素濃度の制御は、装置外部から装
置内部への酸素の流入量と装置内部から酸素吸着剤ユニ
ットへの酸素の流入量のバランスさせることで行う。
The present invention has found that by introducing an oxygen concentration control means into the magnetic disk device, the oxygen concentration in the device can be maintained within the optimum range in which the wear strength is improved. Specifically, the oxygen concentration is controlled by balancing the inflow amount of oxygen from the outside of the device to the inside of the device and the inflow amount of oxygen from the inside of the device to the oxygen adsorbent unit.

【0010】酸素吸着剤ユニットの一例を図1に示す。
これは典型的には酸素吸着剤1、ユニット筐体2、及び
酸素拡散流入部3よりなる。酸素吸着剤1としては、例
えば金属/合金粉末や金属/合金の低級酸化物、被酸化性
の有機物等がある。さらにはこれらの急速な酸化を防止
するために何らかの加工を行ったものもある。しかし本
発明の本質は、酸素吸着剤の種類を単に限定するものに
とどまるものではない。ユニット筐体2は合成樹脂や金
属等よりなり、さらに通常はHDA筐体にネジや粘着
剤、接着剤等で固定されている。また酸素拡散流入部3
は単純な細孔でもよいし、多孔質体でも、少量の酸素を
透過する膜やバルク材でもよい。さらには膜に補強材を
取り付けたような複合材、充填材を含むゴムなど、多様
な材料が考えられる。さらにはユニット筐体2自体が酸
素拡散流入部3を兼ねるような材料で構成することも可
能である。
An example of the oxygen adsorbent unit is shown in FIG.
It typically consists of an oxygen adsorbent 1, a unit housing 2, and an oxygen diffusion inlet 3. Examples of the oxygen adsorbent 1 include metal / alloy powder, metal / alloy lower oxide, and oxidizable organic substance. Further, some of them are processed to prevent their rapid oxidation. However, the essence of the present invention is not limited to merely limiting the type of oxygen adsorbent. The unit housing 2 is made of synthetic resin, metal or the like, and is usually fixed to the HDA housing with screws, an adhesive, an adhesive or the like. Also, the oxygen diffusion inflow part 3
May be simple pores, may be a porous body, or may be a membrane or bulk material that allows a small amount of oxygen to permeate. Further, various materials such as a composite material in which a reinforcing material is attached to the membrane and rubber containing a filler are conceivable. Furthermore, the unit housing 2 itself can be made of a material that also serves as the oxygen diffusion / inflow portion 3.

【0011】酸素が外部からHDA内部に、あるいはH
DA内部からへ酸素吸着剤ユニットに拡散で流入する場
合、流入速度は両側の濃度差に依存する。外部の酸素濃
度をPo、HDA内部の酸素濃度をPi、酸素吸着剤ユ
ニット内部の酸素濃度をPaとする。Poは大気中の酸
素濃度であり通常一定である。外部からHDA内部への
酸素流入速度をJ1、HDA内部からへ酸素吸着剤ユニ
ットへの酸素流入速度をJ2、そのときの速度定数を各
々K1、K2とおくと次式が成立する。
Oxygen is introduced into the HDA from the outside or H
In the case of diffusively flowing into the oxygen adsorbent unit from the inside of the DA, the inflow rate depends on the concentration difference between the two sides. The external oxygen concentration is Po, the oxygen concentration inside the HDA is Pi, and the oxygen concentration inside the oxygen adsorbent unit is Pa. Po is the oxygen concentration in the atmosphere and is usually constant. When the oxygen inflow rate from the outside to the inside of the HDA is J1, the oxygen inflow rate from the inside of the HDA to the oxygen adsorbent unit is J2, and the rate constants at that time are K1 and K2, respectively, the following equations hold.

【0012】[0012]

【数1】J1=K1・(Po−Pi) J2=K2・(Pi−Pa) ここでPaが一定であれば、ある時間後にはJ1=J2
となり、Paが一意的に決定される。Paを一定に保つ
には、Pa<<Piとすればよい。通常酸素吸着剤の酸
素との平衡分圧は極めて低いので、前記の条件は酸素吸
着剤を過剰量とすることで容易に達成出来る。
## EQU1 ## J1 = K1. (Po-Pi) J2 = K2. (Pi-Pa) If Pa is constant, J1 = J2 after a certain time.
And Pa is uniquely determined. To keep Pa constant, Pa << Pi may be set. Normally, the equilibrium partial pressure of oxygen adsorbent is extremely low, so the above condition can be easily achieved by using an excessive amount of oxygen adsorbent.

【0013】従って重要なのは酸素吸着剤ユニット内部
の酸素分圧を常にHDA内部の酸素分圧より十分に低く
保つことであり、これによって酸素の酸素吸着剤ユニッ
トへの流入速度を酸素拡散流入部での拡散律速として、
一定に保つことが可能となる。ここで「十分に低く」と
は、本目的に必要な制御の精度を考えると10分の1以
下であれば問題ない。
Therefore, it is important to always keep the oxygen partial pressure inside the oxygen adsorbent unit sufficiently lower than the oxygen partial pressure inside the HDA, whereby the inflow rate of oxygen into the oxygen adsorbent unit is increased in the oxygen diffusion inflow section. As the diffusion rate control of
It is possible to keep it constant. Here, "sufficiently low" means that there is no problem if it is 1/10 or less in view of the accuracy of control required for this purpose.

【0014】さらに酸素拡散流入部の構造や材質を最適
化し、装置外部から装置内部への酸素流入速度と、装置
内部から酸素吸着剤ユニットへの酸素流入速度との温度
係数を一致させることで、装置内部の酸素濃度を温度に
よらず一定に保つことが可能となる。
Further, by optimizing the structure and material of the oxygen diffusion / inflow part, the temperature coefficient of the oxygen inflow rate from the outside of the apparatus to the inside of the apparatus and the oxygen inflow rate from the inside of the apparatus to the oxygen adsorbent unit are made equal to each other, It is possible to keep the oxygen concentration inside the device constant regardless of the temperature.

【0015】このように内部雰囲気の酸素分圧を制御す
ることで摩耗を抑制することは特にヘッド浮上量を低減
した高記録密度型の磁気記録装置への適用が望ましく、
また、ヘッドとディスクが連続的に接触した状態で記録
再生が行われるいわゆるコンタクトレコーディングにも
適用が可能である。
Controlling the wear by controlling the oxygen partial pressure of the internal atmosphere in this way is particularly desirable for application to a high recording density type magnetic recording device in which the flying height of the head is reduced.
Further, it can be applied to so-called contact recording in which recording and reproduction are performed in a state where the head and the disk are in continuous contact with each other.

【0016】[0016]

【実施例】【Example】

(実施例1)図2には、装置内に酸素濃度維持機構を取
り付けた密閉型の磁気ディスク装置が示される。この磁
気ディスク装置はベース4上にスピンドル5、ピボット
6、アクチュエータマグネット7等が搭載されている。
さらにスピンドル5には、直径95mmのディスク8が
4枚支持され、アクチュエータマグネット7にはキャリ
ッジ9、ヘッド10、その他必要な部品が装着されてい
る。ベース4とカバー11は、パッキング12を介して
固着されている。さらにベースの一隅に本発明による、
酸素吸着剤ユニット13が装着される。この酸素吸着剤
ユニット13は微細な鉄粉等よりなる酸素吸着剤1を5
g収納し、また酸素拡散流入部3はポリエチレン系のフ
ィルムよりなる。
(Embodiment 1) FIG. 2 shows a sealed magnetic disk device in which an oxygen concentration maintaining mechanism is installed in the device. In this magnetic disk device, a spindle 5, a pivot 6, an actuator magnet 7 and the like are mounted on a base 4.
Further, four disks 8 having a diameter of 95 mm are supported on the spindle 5, and a carriage 9, a head 10 and other necessary parts are mounted on the actuator magnet 7. The base 4 and the cover 11 are fixed to each other via a packing 12. Furthermore, according to the present invention in one corner of the base,
The oxygen adsorbent unit 13 is attached. The oxygen adsorbent unit 13 includes an oxygen adsorbent 1 made of fine iron powder or the like.
The oxygen diffusion / inflow part 3 is made of a polyethylene film.

【0017】(実施例2)酸素濃度の維持効果を検証す
るために、実施例1に示した装置を1000時間運転
し、運転前後の酸素濃度の変化をガスクロマトグラフィ
ーにより測定した。その結果、試験前の酸素濃度が40
0Pa、試験開始500時間後の濃度が450Pa、1
000時間後の濃度が480Paであった。
Example 2 In order to verify the effect of maintaining the oxygen concentration, the apparatus shown in Example 1 was operated for 1000 hours, and the change in oxygen concentration before and after the operation was measured by gas chromatography. As a result, the oxygen concentration before the test was 40
0Pa, concentration after testing 500 hours is 450Pa, 1
The concentration after 000 hours was 480 Pa.

【0018】一方、同一の構成で酸素吸着剤ユニット1
3を有しないものでは、試験前の酸素濃度が450P
a、試験開始500時間後の濃度が1600Pa、10
00時間後の濃度が2500Paであった。
On the other hand, with the same structure, the oxygen adsorbent unit 1
In the case of not having 3, the oxygen concentration before the test is 450P
a, the concentration after the start of the test 500 hours is 1600 Pa, 10
The concentration after 00 hours was 2500 Pa.

【0019】上記のごとく、酸素吸着剤ユニット13の
酸素濃度維持効果が確認された。
As described above, the oxygen concentration maintaining effect of the oxygen adsorbent unit 13 was confirmed.

【0020】(実施例3)雰囲気中の酸素濃度の最適範
囲を明らかにするため、超高真空対応のチャンバー内に
磁性流体シールでモーター部を隔離したディスク回転用
のスピンドルを設置した装置を使用して、種々の比率の
酸素、窒素混合ガス雰囲気で、摩擦試験を行った。試験
にはディスクとしてスパッタディスク、ヘッドとしてア
ルミナ−チタンカーバイド複合セラミクス製のヘッドを
使用した。ヘッドの浮上量は試験条件で20nm程度で
定常回転時にもディスクと常に接触するように調整し
た。ディスクが摩耗して破壊するまでの時間を測定した
結果を図3に示す。
(Embodiment 3) In order to clarify the optimum range of oxygen concentration in the atmosphere, an apparatus equipped with a spindle for disc rotation in which a motor unit is isolated by a magnetic fluid seal is used in an ultrahigh vacuum compatible chamber. Then, a friction test was performed in an atmosphere of mixed gas of oxygen and nitrogen with various ratios. In the test, a sputter disk was used as the disk, and an alumina-titanium carbide composite ceramic head was used as the head. The flying height of the head was set to about 20 nm under the test conditions, and was adjusted so as to always contact the disk even during steady rotation. FIG. 3 shows the result of measuring the time until the disk is worn and destroyed.

【0021】上記の結果より、磁気ディスク装置内部雰
囲気の酸素分圧としては、10Pa以上、かつ10kP
a以下が望ましいことが判明した。
From the above results, the oxygen partial pressure in the atmosphere inside the magnetic disk device is 10 Pa or more and 10 kP.
It has been found that a or less is desirable.

【0022】[0022]

【発明の効果】本発明によれば、磁気ディスク装置内の
酸素濃度を長期間一定範囲に維持することができる。こ
れにより、磁気ディスク装置内部の雰囲気を、摩耗が低
減される領域に維持できる。
According to the present invention, the oxygen concentration in the magnetic disk device can be maintained in a constant range for a long period of time. As a result, the atmosphere inside the magnetic disk device can be maintained in a region where wear is reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】酸素吸着剤ユニットの一例を示す構成図であ
る。
FIG. 1 is a configuration diagram showing an example of an oxygen adsorbent unit.

【図2】酸素濃度制御機構を取り付けた磁気ディスク装
置の構造図である。
FIG. 2 is a structural diagram of a magnetic disk device equipped with an oxygen concentration control mechanism.

【図3】磁気ディスクの摩耗強度の雰囲気酸素分圧依存
性を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing the atmospheric oxygen partial pressure dependency of the wear strength of a magnetic disk.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…酸素吸着剤、 2…ユニット筐体、 3…酸素拡散流入部、 4…ベース、 5…スピンドル、 6…ピボット、 7…アクチュエータマグネット、 8…ディスク、 9…キャリッジ、 10…ヘッド、 11…カバー、 12…パッキング、 13…酸素吸着剤ユニット。 1 ... Oxygen adsorbent, 2 ... Unit housing, 3 ... Oxygen diffusion inflow part, 4 ... Base, 5 ... Spindle, 6 ... Pivot, 7 ... Actuator magnet, 8 ... Disk, 9 ... Carriage, 10 ... Head, 11 ... Cover, 12 ... Packing, 13 ... Oxygen adsorbent unit.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】回転する磁気記録媒体に磁気ヘッドにより
情報を記録、あるいは再生する磁気ディスク装置におい
て、磁気ディスク装置の内部のガス雰囲気中の酸素濃度
を10Pa以上、10kPa以下に制御する機構を備え
たことを特徴とする磁気ディスク装置。
1. A magnetic disk device for recording or reproducing information on a rotating magnetic recording medium by a magnetic head, comprising a mechanism for controlling oxygen concentration in a gas atmosphere inside the magnetic disk device to 10 Pa or more and 10 kPa or less. A magnetic disk device characterized by the above.
【請求項2】上記の磁気ディスク装置は、酸素の拡散流
入部を有する酸素吸着剤ユニットを有することを特徴と
する請求項1記載の磁気ディスク装置。
2. The magnetic disk device according to claim 1, wherein the magnetic disk device includes an oxygen adsorbent unit having an oxygen diffusion / inflow portion.
【請求項3】酸素濃度の制御機構が、装置外から装置内
部への酸素の拡散流入と、装置内部から拡散流入部を有
する酸素吸着剤ユニットへの酸素の吸収との平衡で酸素
濃度を一定に保つものであることを特徴とする請求項1
又は2記載の磁気ディスク装置。
3. An oxygen concentration control mechanism keeps the oxygen concentration constant by equilibrium between diffusion and inflow of oxygen from the outside of the device to the inside of the device and absorption of oxygen from the inside of the device to an oxygen adsorbent unit having a diffusion inflow part. Claim 1 characterized in that it is kept at
Alternatively, the magnetic disk drive described in 2.
【請求項4】上記酸素吸着剤ユニットの内部の酸素分圧
が、磁気ディスク装置内部の酸素分圧の1/10以下で
あることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載
の磁気ディスク装置。
4. The magnetic according to claim 1, wherein the oxygen partial pressure inside the oxygen adsorbent unit is 1/10 or less of the oxygen partial pressure inside the magnetic disk device. Disk device.
【請求項5】上記の磁気ディスク装置における装置外か
ら装置内部への酸素の流入の経路が、主に有機部材内部
の体積拡散であることを特徴とする請求項1乃至4のい
ずれかに記載の磁気ディスク装置。
5. The magnetic disk device according to claim 1, wherein the path of oxygen inflow from the outside of the device to the inside of the device is mainly volume diffusion inside the organic member. Magnetic disk device.
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