JPH07294302A - Thermal type flow rate measuring apparatus - Google Patents
Thermal type flow rate measuring apparatusInfo
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- JPH07294302A JPH07294302A JP6083259A JP8325994A JPH07294302A JP H07294302 A JPH07294302 A JP H07294302A JP 6083259 A JP6083259 A JP 6083259A JP 8325994 A JP8325994 A JP 8325994A JP H07294302 A JPH07294302 A JP H07294302A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、流体の流量を検出する
流量計に関し、詳細には、流体温度の変化によって生ず
る流量信号の変化を補償する熱式流量測定装置に関する
ものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow meter for detecting a flow rate of a fluid, and more particularly to a thermal type flow measuring device for compensating for a change in a flow signal caused by a change in fluid temperature.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来より、発熱抵抗体とその周囲の流体
との間の伝熱現象を利用して質量流量を高精度に測定で
きる熱式流量測定装置は自動車用エンジン制御システム
等に広く利用されている。この種の熱式流量測定装置
は、流路内に設けられた発熱抵抗体および温度補償用抵
抗体と、温度補償用抵抗体の抵抗値から発熱抵抗体に通
電する通電量を制御する制御回路とから構成され、エン
ジンルーム内に取付けられる。そして、流路の空気流に
より冷却され温度が下がる発熱抵抗体に対し、所定の温
度に発熱抵抗体を保つように発熱抵抗体への通電量を制
御回路が制御し、発熱抵抗体が出力する空気流量に応じ
た信号により空気流量の測定を行う。2. Description of the Related Art Conventionally, a thermal type flow rate measuring device capable of highly accurately measuring a mass flow rate by utilizing a heat transfer phenomenon between a heating resistor and a fluid around the heating resistor has been widely used in an engine control system for an automobile or the like. Has been done. This type of thermal type flow rate measuring device includes a heating resistor and a temperature compensating resistor provided in a flow path, and a control circuit for controlling the amount of electricity supplied to the heating resistor from the resistance value of the temperature compensating resistor. And is installed in the engine room. Then, for the heating resistor that is cooled by the air flow in the channel and the temperature drops, the control circuit controls the amount of electricity to the heating resistor so as to keep the heating resistor at a predetermined temperature, and the heating resistor outputs it. The air flow rate is measured by the signal corresponding to the air flow rate.
【0003】一方、熱式流量測定装置の制御回路は、流
路の外側に取付けられた回路容器内に設けられることか
ら、制御回路の周囲温度は−30℃〜100℃程度まで
変化する。そのため、この制御回路に使用される各素子
の温度係数にばらつきがあると、一定流量の空気流に対
し、温度の高低により流量検知信号が変動するので、エ
ンジン制御精度が低下するという問題がある。On the other hand, since the control circuit of the thermal type flow rate measuring device is provided in the circuit container attached to the outside of the flow path, the ambient temperature of the control circuit changes from -30 ° C to 100 ° C. Therefore, if there are variations in the temperature coefficient of each element used in this control circuit, the flow rate detection signal fluctuates depending on the temperature of the air flow with a constant flow rate, so that there is a problem that the engine control accuracy deteriorates. .
【0004】そこで、制御回路の周囲温度の変化によっ
て生ずる吸気流量検知信号出力の変化を補償するため、
周囲温度に応じて電圧が変化する素子を回路容器内の制
御回路に設け、制御回路の周囲温度により吸気流量検知
信号を温度補償する熱式流量測定装置がある。Therefore, in order to compensate for the change in the intake flow rate detection signal output caused by the change in the ambient temperature of the control circuit,
There is a thermal type flow rate measuring device in which an element whose voltage changes according to ambient temperature is provided in a control circuit in a circuit container, and the intake flow rate detection signal is temperature-compensated by the ambient temperature of the control circuit.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の熱式流
量測定装置によると、「制御回路の周囲温度」に応じた
温度補償を吸気流量検知信号に対して行うものであり、
「流路内に設けられる発熱抵抗体周囲の吸気温度」に応
じた温度補償を吸気流量検知信号に対して行うものでは
ない。従って、発熱抵抗体周囲の吸気温度が変化する場
合、それによる放熱量変化を補償できないため、流量検
知信号は発熱抵抗体周囲の吸気温度変化によって変動す
る。同様に、エンジンルーム内の温度すなわち「制御回
路の周囲温度」が流路内に設けられる発熱抵抗体周囲の
吸気温度より高温になり、例えばデッドソーク等により
80℃〜100℃に達する場合、「制御回路の周囲温
度」と「流路内に設けられる発熱抵抗体周囲の吸気温
度」とが異なるため、前記熱式流量測定装置では不要な
補正をしてしまい補償誤差を有する吸気流量検知信号を
出力することになる。このような吸気流量検知信号(流
量検知信号)では、適切なエンジン制御ができないおそ
れがある。However, according to the conventional thermal type flow rate measuring device, the temperature compensation according to the "ambient temperature of the control circuit" is performed on the intake flow rate detection signal.
The intake air flow rate detection signal is not temperature-compensated according to the "intake air temperature around the heating resistor provided in the flow path". Therefore, when the intake air temperature around the heating resistor changes, it is impossible to compensate for the change in the heat radiation amount, and the flow rate detection signal fluctuates due to the change in intake air temperature around the heating resistor. Similarly, when the temperature in the engine room, that is, the “ambient temperature of the control circuit” becomes higher than the intake air temperature around the heating resistor provided in the flow path and reaches 80 ° C. to 100 ° C. due to, for example, dead soak, “control Since the "ambient temperature of the circuit" and the "intake air temperature around the heating resistor provided in the flow path" are different, an unnecessary correction is made in the thermal type flow measurement device and an intake flow rate detection signal with a compensation error is output. Will be done. With such an intake flow rate detection signal (flow rate detection signal), appropriate engine control may not be possible.
【0006】本発明は、このような問題を解決するため
になされたもので、一定流量の流体の温度変化に対し
て、流量検知信号の出力変化の小さい熱式流量測定装置
を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve such a problem, and it is an object of the present invention to provide a thermal type flow rate measuring device in which the output change of a flow rate detection signal is small with respect to the temperature change of a fluid having a constant flow rate. To aim.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
めの本発明による請求項1記載の熱式流量測定装置は、
流路内に設けられた発熱抵抗体と、前記流路内に設けら
れた温度補償用抵抗体と、前記発熱抵抗体の抵抗値と前
記温度補償用抵抗体の抵抗値とから前記発熱抵抗体への
通電量を調整する調整回路と、前記発熱抵抗体の抵抗値
と前記温度補償用抵抗体の抵抗値とから前記流路内を流
れる流体の流量を検知し、流量検知信号を出力する流量
検知回路と、前記流量検知信号を増幅する増幅回路と、
前記流路内を流れる流体の温度に応じて前記増幅回路の
増幅率を増減可能な温度補償回路とを備えたことを特徴
とする。A thermal type flow rate measuring apparatus according to claim 1 for solving the above-mentioned problems,
The heat generating resistor provided in the flow channel, the temperature compensating resistor provided in the flow channel, the heat generating resistor from the resistance value of the heat generating resistor and the resistance value of the temperature compensating resistor. A flow rate for detecting the flow rate of the fluid flowing in the flow path from the resistance circuit of the heating resistor and the resistance value of the temperature compensating resistor, and outputting a flow rate detection signal. A detection circuit, an amplification circuit for amplifying the flow rate detection signal,
And a temperature compensation circuit capable of increasing or decreasing the amplification factor of the amplification circuit according to the temperature of the fluid flowing in the flow path.
【0008】また、本発明による請求項2記載の熱式流
量測定装置は、請求項1記載の熱式流量測定装置におい
て、前記増幅回路は、増幅率を決定する基準電圧源を備
えたことを特徴とする。また、本発明による請求項3記
載の熱式流量測定装置は、請求項1記載の熱式流量測定
装置において、前記流量検知信号と前記通電量とから前
記流路内を流れる流体の温度を検知し、流体温度信号を
出力する流体温度検知回路を備え、前記流体温度信号に
応じて前記増幅回路の増幅率を増減可能な温度補償回路
とを備えたことを特徴とする。According to a second aspect of the thermal type flow measuring device of the present invention, in the thermal type flow rate measuring device of the first aspect, the amplifier circuit includes a reference voltage source for determining an amplification factor. Characterize. The thermal type flow measuring device according to claim 3 of the present invention is the thermal type flow measuring device according to claim 1, wherein the temperature of the fluid flowing in the flow path is detected from the flow rate detection signal and the energization amount. In addition, a fluid temperature detection circuit that outputs a fluid temperature signal is provided, and a temperature compensation circuit that can increase or decrease the amplification factor of the amplification circuit according to the fluid temperature signal is provided.
【0009】また、本発明による請求項4記載の熱式流
量測定装置は、請求項1記載の熱式流量測定装置におい
て、前記温度補償回路は、前記流路内に設けられ、前記
流路内を流れる流体の温度に応じて出力電圧が変化する
温度素子を備えたことを特徴とする。また、本発明によ
る請求項5記載の熱式流量測定装置は、請求項3記載の
熱式流量測定装置において、前記流体温度検知回路は、
演算回路により構成されることを特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the thermal type flow rate measuring device according to the first aspect, wherein the temperature compensating circuit is provided in the flow channel. It is characterized by comprising a temperature element whose output voltage changes according to the temperature of the fluid flowing through. According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the thermal flow rate measuring device according to the third aspect, wherein the fluid temperature detection circuit is:
It is characterized by being configured by an arithmetic circuit.
【0010】また、本発明による請求項6記載の熱式流
量測定装置は、請求項3記載の熱式流量測定装置におい
て、前記温度補償回路は、前記流体温度信号により前記
基準電圧源の電圧を増減可能であることを特徴とする。
を備えたことを特徴とする。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the thermal flow rate measuring device according to the third aspect, wherein the temperature compensating circuit adjusts the voltage of the reference voltage source according to the fluid temperature signal. It is characterized in that it can be increased or decreased.
It is characterized by having.
【0011】[0011]
【作用および発明の効果】本発明の熱式流量測定装置に
よると、流体温度信号により増幅回路の基準電圧源の電
圧を増減させることにより増幅回路の増幅率を増減さ
せ、増幅回路の出力電圧を温度補償することができる。
これにより、生産性を低下させず、かつコスト高になら
ない範囲内で流量検知信号を補償することにより、流体
の温度が変化しても流体の流量に関係なく流量特性変化
率を小さく抑制することができ、広い温度範囲において
高精度な空気量計測が行なえる効果がある。According to the thermal type flow rate measuring device of the present invention, the amplification factor of the amplifier circuit is increased or decreased by increasing or decreasing the voltage of the reference voltage source of the amplifier circuit by the fluid temperature signal, and the output voltage of the amplifier circuit is adjusted. It can be temperature compensated.
As a result, by compensating the flow rate detection signal within a range that does not reduce productivity and does not increase cost, even if the temperature of the fluid changes, the rate of change of the flow rate characteristics can be suppressed to a small level regardless of the flow rate of the fluid. Therefore, there is an effect that highly accurate air amount measurement can be performed in a wide temperature range.
【0012】[0012]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。 (第1実施例)自動車用のエンジンに吸入される吸入空
気量を計測する熱式流量測定装置に本発明を適用した第
1実施例を図1〜図4に示す。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. (First Embodiment) FIGS. 1 to 4 show a first embodiment in which the present invention is applied to a thermal type flow rate measuring device for measuring the amount of intake air taken into an automobile engine.
【0013】はじめに、熱式流量測定装置の全体構成に
ついて説明する。図2に示すように熱式流量測定装置1
0は図2の左側から吸入空気が導入され、図2の右側へ
流出する。熱式流量測定装置10の上流側開口11は図
示しないエアクリーナに挿入され取付けられる。一方、
下流側開口12は、熱式流量測定装置10より大径の図
示しない吸気ダクトに挿入され、図示しないベルトによ
り外部から締めつけられる。First, the overall structure of the thermal type flow rate measuring device will be described. As shown in FIG. 2, the thermal type flow measuring device 1
For 0, intake air is introduced from the left side of FIG. 2 and flows out to the right side of FIG. The upstream opening 11 of the thermal type flow rate measuring device 10 is inserted and attached to an air cleaner (not shown). on the other hand,
The downstream side opening 12 is inserted into an intake duct (not shown) having a diameter larger than that of the thermal flow rate measuring device 10, and is tightened from the outside by a belt (not shown).
【0014】熱式流量測定装置10は、中央円筒部13
と上流側円筒部14と下流側円筒部15とを備え、中央
円筒部13の外側には制御回路30を収容する回路容器
16が形成される。中央円筒部13と上流側円筒部14
と下流側円筒部15とをそれぞれ連結することにより流
路が形成される。この流路の上流側には砲弾形状の上流
ハウジング17が取付けられ、下流側には内部に熱セン
サ部20を有する中央円筒部13と一体成形された中央
ハウジング18、下流側円筒部15と一体成形された下
流ハウジング19が取付けられる。熱センサ部20の内
部には4本の支持ピン22、23、24、25が円筒形
の樹脂部21の上流側、下流側とに突出するようにイン
サート成形される。上流側に突出した支持ピンは長短2
種類からなり、長い方の支持ピン22、23の間にセン
サ570が取付けられ、短い方の支持ピン24、25の
間にセンサ580が取付けられる。センサ570とセン
サ580とはそれぞれ図示しない配線により制御回路3
0と電気的に接続される。センサ570、580は感温
抵抗体であり、共にほぼ同一の電気抵抗値である。セン
サ570は発熱抵抗体として用いられ、制御回路30に
より加熱電流が流される。一方、空気流の温度に応じて
温度が変化するセンサ580は温度補償用抵抗体として
用いられる。これらのセンサ570、580の温度差を
一定にする制御を制御回路30が行う。The thermal type flow measuring device 10 includes a central cylindrical portion 13
A circuit container 16 including the upstream side cylindrical portion 14 and the downstream side cylindrical portion 15 is formed outside the central cylindrical portion 13 to accommodate the control circuit 30. Central cylindrical portion 13 and upstream cylindrical portion 14
A flow path is formed by connecting the downstream side cylindrical portion 15 and the downstream side cylindrical portion 15, respectively. A shell-shaped upstream housing 17 is attached to the upstream side of this flow path, and a central housing 18 integrally formed with a central cylindrical portion 13 having a thermal sensor portion 20 therein, and a downstream cylindrical portion 15 are integrated on the downstream side. A molded downstream housing 19 is attached. Four support pins 22, 23, 24, 25 are insert-molded inside the thermal sensor part 20 so as to project to the upstream side and the downstream side of the cylindrical resin part 21. Support pins protruding upstream have long and short 2
A sensor 570 is attached between the longer support pins 22, 23, and a sensor 580 is attached between the shorter support pins 24, 25. The sensor 570 and the sensor 580 are respectively connected to the control circuit 3 by wiring (not shown).
It is electrically connected to 0. The sensors 570 and 580 are temperature sensitive resistors, and both have substantially the same electric resistance value. The sensor 570 is used as a heating resistor, and a heating current is supplied by the control circuit 30. On the other hand, the sensor 580 whose temperature changes according to the temperature of the air flow is used as a temperature compensating resistor. The control circuit 30 controls the temperature difference between the sensors 570 and 580 to be constant.
【0015】次に、熱式流量測定装置10の制御回路3
0の構成を図1に基づいて説明する。図1に示す破線枠
60は、回路容器16の内部に設けられる容器16aの
電位を表し、端子GNDに接続される。破線枠60の内
側に記載される各素子および配線は容器16aの内側に
設けられる。また破線枠60の周囲に記載される貫通コ
ンデンサ50、51、52、53、54、55、56は
容器16aに設けられたそれぞれの穴を貫通するように
取付けられる。さらに破線枠60の外側に記載されるセ
ンサ570、580は空気流路内に設けられた支持ピン
22、23、24、25にそれぞれ取付けられる。Next, the control circuit 3 of the thermal type flow measuring device 10
The configuration of 0 will be described with reference to FIG. A broken line frame 60 shown in FIG. 1 represents the potential of the container 16a provided inside the circuit container 16 and is connected to the terminal GND. Each element and wiring described inside the broken line frame 60 are provided inside the container 16a. The feedthrough capacitors 50, 51, 52, 53, 54, 55, 56 described around the broken line frame 60 are attached so as to pass through the respective holes provided in the container 16a. Further, the sensors 570 and 580 described outside the broken line frame 60 are attached to the support pins 22, 23, 24 and 25 provided in the air flow path, respectively.
【0016】車載バッテリに接続される端子+Bは、貫
通コンデンサ54を経由して、パワートランジスタ61
のコレクタ端子に接続される。抵抗器80はセンサ57
0に流れる電流を電圧に変換し電圧V1 を検出する。抵
抗器81および82により構成される分圧回路はセンサ
570の両端電圧を分圧する。直列接続された抵抗器8
3と抵抗器84とはセンサ580に流れる電流を電圧に
変換して電圧を検出する。抵抗器85および86により
構成される分圧回路は基準電圧源89の出力電圧を分圧
する。The terminal + B connected to the vehicle battery is connected to the power transistor 61 via the feedthrough capacitor 54.
Connected to the collector terminal of. The resistor 80 is the sensor 57
The current flowing through 0 is converted into a voltage and the voltage V1 is detected. A voltage divider circuit composed of resistors 81 and 82 divides the voltage across sensor 570. Resistor 8 connected in series
3 and the resistor 84 convert the current flowing through the sensor 580 into a voltage and detect the voltage. The voltage dividing circuit constituted by the resistors 85 and 86 divides the output voltage of the reference voltage source 89.
【0017】制御回路30は、オペアンプ90、91、
および92が設けられる。オペアンプ91の出力端子
は、パワートランジスタ61のベースに接続される。ま
たオペアンプ91の出力端子は、オペアンプ91の反転
入力端子に接続されることによりボルテージフォロワ回
路を構成する。ホイートストンブリッジ回路および通電
量調整回路1は、オペアンプ90、91と抵抗器80、
81、82、83、84と貫通コンデンサ50、51、
52、53とパワートランジスタ61とセンサ570、
580とから構成される回路である。また出力回路2
は、オペアンプ92と抵抗器85、86、87、88、
89とから構成される回路である。ホイートストンブリ
ッジ回路および通電量調整回路1から空気流量と相関を
もった電圧として検出される電圧V1 を出力回路2によ
り増幅し、貫通コンデンサ55を経由して出力電圧VG
を出力する。The control circuit 30 includes operational amplifiers 90, 91,
And 92 are provided. The output terminal of the operational amplifier 91 is connected to the base of the power transistor 61. The output terminal of the operational amplifier 91 is connected to the inverting input terminal of the operational amplifier 91 to form a voltage follower circuit. The Wheatstone bridge circuit and the energization amount adjustment circuit 1 include operational amplifiers 90 and 91 and a resistor 80,
81, 82, 83, 84 and feedthrough capacitors 50, 51,
52, 53, power transistor 61, and sensor 570,
580 and a circuit. Also output circuit 2
Is an operational amplifier 92 and resistors 85, 86, 87, 88,
This is a circuit composed of 89. The output circuit 2 amplifies the voltage V1 detected as a voltage having a correlation with the air flow rate from the Wheatstone bridge circuit and the energization amount adjustment circuit 1, and the output voltage VG via the feedthrough capacitor 55.
Is output.
【0018】また割算回路3は、オペアンプ95と掛算
器96と抵抗器93、94および電圧源97とから構成
される回路である。ホイートストンブリッジ回路および
通電量調整回路1から空気温度と相関をもった電圧とし
て検出される電圧比V3 /V1 を割算回路3は出力す
る。さらに、出力回路4は、オペアンプ103と抵抗器
98、99、100、101および電圧源102とから
構成される回路である。割算回路3から空気温度と相関
をもった電圧として検出される電圧V6 を増幅し、貫通
コンデンサ56を経由して空気温度信号VTを出力回路
4は出力する。The division circuit 3 is a circuit composed of an operational amplifier 95, a multiplier 96, resistors 93 and 94, and a voltage source 97. The division circuit 3 outputs a voltage ratio V3 / V1 detected as a voltage having a correlation with the air temperature from the Wheatstone bridge circuit and the energization amount adjustment circuit 1. Furthermore, the output circuit 4 is a circuit including an operational amplifier 103, resistors 98, 99, 100, 101 and a voltage source 102. The voltage V6 detected as a voltage having a correlation with the air temperature is amplified from the division circuit 3, and the output circuit 4 outputs the air temperature signal VT via the feedthrough capacitor 56.
【0019】次に、熱式流量測定装置10の制御回路3
0の回路動作を説明する。ホイートストンブリッジ回路
および通電量調整回路1について説明する。図1中のV
1 、V2 、V3 、V4 、VG はその記号の付してある部
分の電圧を示す。センサ570、580を含むホイート
ストンブリッジ回路に電圧が印加されると、オペアンプ
90の非反転入力端子には電圧V1 、反転入力端子には
電圧V2が発生する。電圧V1 、V2 の大小関係がV1
>V2 となるとき、オペアンプ90の出力電圧V4 は上
昇する。これに伴いパワートランジスタ61のエミッタ
電圧V3 も上昇する。この電圧V3 の上昇によりセンサ
570を流れる電流は上昇し、センサ570の発熱温度
は上昇する。この結果、センサ570の抵抗値は上昇
し、電圧V1 は低下する。一方、電圧V1 が低下し、電
圧V1 、V2 の大小関係がV1 <V2 となると、オペア
ンプ90の出力電圧V4 は低下する。このためパワート
ランジスタ61のエミッタ電圧V3 も低下する。この電
圧V3 の低下によりセンサ570を流れる電流は低下
し、センサ570の発熱温度は低下する。この結果、セ
ンサ570の抵抗値は低下、電圧V1 は上昇し、電圧V
1 、V2 の大小関係はV1 >V2 となるため、再び前述
の制御を繰返す。Next, the control circuit 3 of the thermal type flow measuring device 10
The circuit operation of 0 will be described. The Wheatstone bridge circuit and the energization amount adjustment circuit 1 will be described. V in Figure 1
1, V2, V3, V4, and VG represent the voltages of the parts with the symbols. When a voltage is applied to the Wheatstone bridge circuit including the sensors 570 and 580, a voltage V1 is generated at the non-inverting input terminal and a voltage V2 is generated at the inverting input terminal of the operational amplifier 90. The magnitude relationship between the voltages V1 and V2 is V1
When> V2, the output voltage V4 of the operational amplifier 90 rises. Along with this, the emitter voltage V3 of the power transistor 61 also rises. As the voltage V3 rises, the current flowing through the sensor 570 rises, and the heat generation temperature of the sensor 570 rises. As a result, the resistance value of the sensor 570 increases and the voltage V1 decreases. On the other hand, when the voltage V1 decreases and the magnitude relationship between the voltages V1 and V2 becomes V1 <V2, the output voltage V4 of the operational amplifier 90 decreases. Therefore, the emitter voltage V3 of the power transistor 61 also drops. Due to the decrease in the voltage V3, the current flowing through the sensor 570 decreases, and the heat generation temperature of the sensor 570 decreases. As a result, the resistance value of the sensor 570 decreases, the voltage V1 increases, and the voltage V1 increases.
Since the magnitude relationship between 1 and V2 is V1> V2, the above control is repeated again.
【0020】このようにオペアンプ90は出力電圧V4
により電圧V1 、V2 の大小関係がV1 =V2 となるよ
うにパワートランジスタ61を制御し、センサ570へ
の通電量を調整する。ここで、ボルテージフォロワ回路
を構成するオペアンプ91によりセンサ580の自己発
熱を防止する。すなわち、センサ580の両端に加わる
電圧は、センサ570の両端に加わる電圧(V3 −V1
)の数分の一程度になるよう設定される。これにより
センサ580の温度が熱式流量測定装置10の流路を流
れる空気流の温度とほぼ等しくなり、センサ580は温
度測定用として使用される。In this way, the operational amplifier 90 outputs the output voltage V4
Thus, the power transistor 61 is controlled so that the magnitude relationship between the voltages V1 and V2 is V1 = V2, and the amount of electricity to the sensor 570 is adjusted. Here, the self-heating of the sensor 580 is prevented by the operational amplifier 91 that constitutes the voltage follower circuit. That is, the voltage applied across the sensor 580 is equal to the voltage applied across the sensor 570 (V3 -V1).
) Is set to be a fraction. As a result, the temperature of the sensor 580 becomes substantially equal to the temperature of the air flow flowing through the flow path of the thermal type flow rate measuring device 10, and the sensor 580 is used for temperature measurement.
【0021】一方、センサ570に流れる加熱電流を
I、センサ570の抵抗値をRHとすると、センサ57
0は(I2 ・RH)の電力を消費し発熱する。この発熱
電力(I2 ・RH)は流路を流れる空気に放熱されるた
め、この流路を流れる空気流量によって空気に奪われる
熱量が変化する。このため、空気流量に応じてセンサ5
70の温度が変化し、抵抗値RHも変化しようとする。
しかし、前述のホイートストンブリッジ回路および通電
量調整回路1により、センサ570の抵抗値RHが変化
しないようにオペアンプ90がパワートランジスタ61
を制御しセンサ570の通電量を変化させる。すなわ
ち、空気流量に応じて加熱電流Iを変化させることによ
り、(I2 ・RH)を変化させRHが常に所定抵抗値に
なるように制御される。On the other hand, when the heating current flowing through the sensor 570 is I and the resistance value of the sensor 570 is RH, the sensor 57
0 consumes the power of (I 2 · RH) and generates heat. Since this heat generation power (I 2 · RH) is radiated to the air flowing through the flow path, the amount of heat taken by the air changes depending on the flow rate of the air flowing through the flow path. Therefore, depending on the air flow rate, the sensor 5
The temperature of 70 changes and the resistance value RH also tries to change.
However, with the Wheatstone bridge circuit and the energization amount adjusting circuit 1 described above, the operational amplifier 90 uses the power transistor 61 so that the resistance value RH of the sensor 570 does not change.
Is controlled to change the energization amount of the sensor 570. That is, by changing the heating current I according to the air flow rate, (I 2 · RH) is changed so that RH is always controlled to a predetermined resistance value.
【0022】したがって、この加熱電流Iは空気流量に
相関をもった値になり、抵抗器80により電圧V1 に変
換され、流体検知信号として出力回路2を経由して出力
される。次に出力回路2について説明する。出力回路2
は、オペアンプ92、抵抗器85、86、87、88、
電圧源89から構成される。Therefore, the heating current I has a value correlated with the air flow rate, is converted into the voltage V1 by the resistor 80, and is output as the fluid detection signal via the output circuit 2. Next, the output circuit 2 will be described. Output circuit 2
Is an operational amplifier 92, resistors 85, 86, 87, 88,
It is composed of a voltage source 89.
【0023】この出力回路2はオペアンプ92の非反転
入力端子に入力された電圧V1 を抵抗器87、88によ
り決定される増幅度によって増幅する。また抵抗器8
5、86により電圧源89の出力電圧を分圧し、この分
圧された電圧V5 と抵抗器87、88との比との積によ
って得られる電圧が、前記増幅度により増幅された電圧
から差引かれる。この差引かれた電圧値が出力電圧VG
として出力される。この電圧増幅作用を有する出力回路
2は、電圧V5 および抵抗器87、88の抵抗値を調整
可能にすることにより、制御回路30が大量に製造され
る際、製品個々に有する電圧V1 のばらつきにより生ず
る出力電圧VG のばらつきを防止する。また抵抗器8
7、88の抵抗値を調整可能にすることにより次段に接
続されるA/D変換器のA/D変換可能範囲に合わせて
出力回路2の出力電圧VG をゼロ・スパン調整できる。
これにより、A/D変換可能範囲を無駄なく使いA/D
変換時のビット誤差を最小限に抑制する。The output circuit 2 amplifies the voltage V1 input to the non-inverting input terminal of the operational amplifier 92 by the amplification degree determined by the resistors 87 and 88. Also resistor 8
5, 86 divides the output voltage of the voltage source 89, and the voltage obtained by the product of the divided voltage V5 and the ratio of the resistors 87, 88 is subtracted from the voltage amplified by the amplification degree. . This subtracted voltage value is the output voltage VG
Is output as. The output circuit 2 having the voltage amplifying function makes it possible to adjust the voltage V5 and the resistance values of the resistors 87 and 88, so that when the control circuit 30 is mass-produced, the voltage V1 of each product varies. It prevents the generated variation of the output voltage VG. Also resistor 8
By making the resistance values of 7 and 88 adjustable, the output voltage VG of the output circuit 2 can be zero-span adjusted according to the A / D convertible range of the A / D converter connected to the next stage.
As a result, the A / D convertible range is used without waste and A / D
Minimize bit errors during conversion.
【0024】次に割算回路3について説明する。割算回
路3は、オペアンプ95と掛算器96と抵抗器93、9
4および電圧源97から構成される。この割算回路3は
電圧V1 と電圧V3 を抵抗器93、94により決定され
る増幅度によってV3 /V1 を増幅する。ここで、割算
回路3の出力電圧V6 は抵抗器93、94の抵抗値をR
1、R2としたとき、次の数1で表される。Next, the division circuit 3 will be described. The division circuit 3 includes an operational amplifier 95, a multiplier 96, and resistors 93 and 9
4 and a voltage source 97. The dividing circuit 3 amplifies the voltage V1 and the voltage V3 by the amplification degree determined by the resistors 93 and 94. Here, the output voltage V6 of the division circuit 3 is the resistance value of the resistors 93 and 94
If R1 and R2 are given, they are expressed by the following equation 1.
【0025】[0025]
【数1】V6 =(R2/R1)×(V3 /V1 ) 次に出力回路4について説明する。出力回路4は、オペ
アンプ103と抵抗器98、99、100、101とか
ら構成される。この出力回路4はオペアンプ103の非
反転入力端子に入力された電圧V6 を抵抗100、10
1により決定される増幅度によって増幅する。また抵抗
器98、99により電圧源102の出力電圧を分圧し、
この分圧された電圧V7 と抵抗100、101との比と
の積によって得られる電圧が、前記増幅度により増幅さ
れた電圧から差引かれる。この差引かれた電圧値が流体
温度検知信号であり、出力電圧VT として出力される。## EQU1 ## V6 = (R2 / R1) .times. (V3 / V1) Next, the output circuit 4 will be described. The output circuit 4 includes an operational amplifier 103 and resistors 98, 99, 100 and 101. The output circuit 4 applies the voltage V6 input to the non-inverting input terminal of the operational amplifier 103 to the resistors 100 and 10
Amplify with the amplification degree determined by 1. Further, the output voltage of the voltage source 102 is divided by the resistors 98 and 99,
The voltage obtained by the product of the divided voltage V7 and the ratio of the resistors 100 and 101 is subtracted from the voltage amplified by the amplification degree. This subtracted voltage value is the fluid temperature detection signal, which is output as the output voltage VT.
【0026】この電圧増幅作用を有する出力回路4は、
電圧V7 および抵抗器100、101の抵抗値を調整可
能にすることにより、制御回路30が大量に製造される
際、製品個々に有する電圧V6 のばらつきにより生ずる
出力電圧VT のばらつきを防止する。また抵抗器10
0、101の抵抗値を調整可能にすることにより次段に
接続されるA/D変換器のA/D変換可能範囲に合わせ
て出力回路4の出力電圧VT をゼロ・スパン調整でき
る。これにより、A/D変換可能範囲を無駄なく使いA
/D変換時のビット誤差を最小限に抑制する。The output circuit 4 having this voltage amplification function is
By adjusting the voltage V7 and the resistance values of the resistors 100 and 101, when the control circuit 30 is manufactured in a large amount, the variation of the output voltage VT caused by the variation of the voltage V6 of each product is prevented. Also the resistor 10
By making the resistance values of 0 and 101 adjustable, the output voltage VT of the output circuit 4 can be adjusted to zero span according to the A / D convertible range of the A / D converter connected to the next stage. This allows you to use the A / D convertible range without waste.
Minimize bit errors during D / D conversion.
【0027】次に空気温度変化時の出力特性補償方法に
ついて説明する。図3はセンサ570の構成および熱収
支を示したものである。発熱部571にリード線572
を接合し構成されるセンサ570は支持ピン22、23
に溶接される。センサ570の発熱量は、発熱部571
の対流熱伝達によるQEと、発熱部571の輻射熱QR
と、リード線572の熱伝導QCと、リード線572の
対流熱伝達との総和により近似計算される。この熱収支
計算を消費電力に換算すると、次の数2で表される。Next, a method of compensating output characteristics when the air temperature changes will be described. FIG. 3 shows the configuration and heat balance of the sensor 570. The lead wire 572 is attached to the heat generating portion 571.
The sensor 570 formed by joining the
Be welded to. The heat generation amount of the sensor 570 is the heat generation portion 571.
Due to convective heat transfer of the radiant heat QR of the heat generating portion 571
And the heat conduction QC of the lead wire 572 and the convective heat transfer of the lead wire 572 are approximately calculated. When this heat balance calculation is converted into power consumption, it is expressed by the following equation 2.
【0028】[0028]
【数2】PT =PE +PR +2PC +2PL また数2において、発熱部571の熱伝達により消費さ
れる電力PE はKingの式より、次の数3で表され
る。[Number 2] in P T = P E + P R + 2P C + 2P L and the number 2, the power P E consumed by the heat transfer of the heat generating portion 571 from the equation of King, is expressed by the following equation (3).
【0029】[0029]
【数3】 [Equation 3]
【0030】 ここで、D :発熱部571の直径(m) L1 :発熱部571の長さ(m) ρa :空気の比重量(kg/m3 ) υa :空気の動粘性係数(m3 /s) G :空気流量(kg/s) ΔT1 :発熱部571と空気との温度差(℃) λa :空気の熱伝導率(W/m℃) C1 、C2 :定数 同様に数2において、リード線572の熱伝達により消
費される電力PL はKingの式より、次の数4で表さ
れる。Here, D: diameter of heating part 571 (m) L 1 : length of heating part 571 (m) ρ a : specific weight of air (kg / m 3 ) ν a : coefficient of kinematic viscosity of air ( m 3 / s) G: Air flow rate (kg / s) ΔT 1 : Temperature difference between heating portion 571 and air (° C) λ a : Thermal conductivity of air (W / m ° C) C 1 , C 2 : Constants Similarly, in the equation 2, the power P L consumed by the heat transfer of the lead wire 572 is represented by the following equation 4 according to King's equation.
【0031】[0031]
【数4】 [Equation 4]
【0032】 ここで、d :リード線572の直径(m) L2 :リード線572の長さ(m) ΔT2 :リード線572と空気との温度差(℃) 同様に数2において、発熱部571の輻射熱により消費
される電力PR は次の数5で表される。Where d: diameter of lead wire 572 (m) L 2 : length of lead wire 572 (m) ΔT 2 : temperature difference between lead wire 572 and air (° C.) The power P R consumed by the radiant heat of the portion 571 is expressed by the following equation 5.
【0033】[0033]
【数5】 [Equation 5]
【0034】 ここで、ε :発熱部571の輻射率 T1 :発熱部571の温度(℃) Ta :空気の温度(℃) C3 :定数 同様に数2において、リード線572の熱伝導により消
費される電力PC は次の数6で表される。Here, ε: emissivity of the heat generating portion 571 T 1 : temperature of the heat generating portion 571 (° C.) Ta : temperature of the air (° C.) C 3 : constant Similarly, in Equation 2, the heat conduction of the lead wire 572 is performed. The power P C consumed by is expressed by the following equation 6.
【0035】[0035]
【数6】 [Equation 6]
【0036】 ここで、ΔT3 :リード線572の両端の温度差
(℃) λL :リード線572の熱伝導率(W/m℃) 数3〜数6に示されるように、数5の発熱部571の輻
射熱による消費電力P R および数6のリード線2の熱伝
導による消費電力PC は、空気流量に依存しない空気温
度の関数として与えられる。このことから空気温度の変
化により空気流量が少ない場合と多い場合とではPR と
PC が総消費電力PT に対して及ぼす影響度が異なる。Where ΔT3 : Temperature difference between both ends of the lead wire 572
(℃) λL : Thermal conductivity of the lead wire 572 (W / m ° C.)
Power consumption due to heat radiation P RAnd heat transfer of the lead wire 2 of several 6
Power consumption PCIs the air temperature independent of the air flow rate
Given as a function of degrees. From this, the change in air temperature
P depending on whether the air flow rate is low or high due toRWhen
PCIs the total power consumption PTHave different degrees of influence on.
【0037】ここで、この影響を明確にするため図6に
示す制御回路200において、空気温度が20℃から8
0℃に変化したときの流量特性の変化率を空気流量に対
して表したグラフを図7に示す。図6に示す制御回路2
00は、図1に示す制御回路30の出力回路2の電圧源
89のマイナス側を電圧VT に接続されることなく、G
ND端子に接続される回路で構成される。この制御回路
200によると、空気流量と相関をもった電圧として検
出される電圧V1 を電圧源89のマイナス側が電気的に
固定された出力回路2により増幅するため、空気温度の
変化に対して変動するPR とPC との影響を受けたV20
0 を出力する。そのため、図7の実線に示すように、空
気流量に対する流量特性変化率は傾きを有する特性を示
す。この空気流量に対する流量特性変化率は空気流量に
関係なく0%に近づくほど出力電圧VG の出力変動を抑
制する。Here, in order to clarify this effect, in the control circuit 200 shown in FIG.
FIG. 7 is a graph showing the rate of change of the flow rate characteristics when the temperature changes to 0 ° C. with respect to the air flow rate. Control circuit 2 shown in FIG.
00 is G without connecting the negative side of the voltage source 89 of the output circuit 2 of the control circuit 30 shown in FIG. 1 to the voltage VT.
It is composed of a circuit connected to the ND terminal. According to this control circuit 200, the voltage V1 detected as a voltage having a correlation with the air flow rate is amplified by the output circuit 2 in which the negative side of the voltage source 89 is electrically fixed, so that it fluctuates with respect to changes in the air temperature. V20 affected by P R and P C
Outputs 0. Therefore, as shown by the solid line in FIG. 7, the flow rate characteristic change rate with respect to the air flow rate shows a characteristic having an inclination. The rate of change of the flow rate characteristic with respect to the air flow rate is suppressed to the output variation of the output voltage VG as it approaches 0% regardless of the air flow rate.
【0038】そこで、制御回路30では図1に示すよう
に、出力回路4から得られる空気温度に相関を持った電
圧VT を出力回路2の電圧源89のマイナス側に入力す
る温度補償回路89aで構成される。この構成により電
圧源89のマイナス側が電気的に固定されることなく、
抵抗器85、86により分圧されたゼロ調整用の電圧V
5 は空気温度によって変化する。そのため、増幅回路と
して動作する出力回路2から出力される電圧VG の変動
を抑制し、空気温度が変化したときの空気流量に対し流
量特性変化率が異なる特性を温度補償する。この温度補
償の効果を明確にするため、空気温度が20℃から80
℃に変化したときの流量特性の変化率を空気流量に対し
て表したグラフを図4に示す。図7に示す実線は空気流
量が増加に伴い流量特性変化率が減少する傾きを有した
特性を示す。一方、図4に示す実線は空気温度が変化し
ても空気流量に関係なくほぼ0%の特性を有する。Therefore, in the control circuit 30, as shown in FIG. 1, the temperature compensating circuit 89a for inputting the voltage VT having a correlation with the air temperature obtained from the output circuit 4 to the minus side of the voltage source 89 of the output circuit 2 is used. Composed. With this configuration, the negative side of the voltage source 89 is not electrically fixed,
Zero adjustment voltage V divided by resistors 85 and 86
5 changes with air temperature. Therefore, the fluctuation of the voltage VG output from the output circuit 2 that operates as an amplifier circuit is suppressed, and the characteristics in which the rate of change in the flow rate characteristics is different with respect to the air flow rate when the air temperature changes are temperature-compensated. In order to clarify the effect of this temperature compensation, the air temperature should be between 20 ℃ and 80 ℃.
FIG. 4 is a graph showing the rate of change of the flow rate characteristics when the temperature changes to ° C with respect to the air flow rate. The solid line shown in FIG. 7 indicates a characteristic having a slope in which the rate of change in the flow rate characteristic decreases as the air flow rate increases. On the other hand, the solid line shown in FIG. 4 has a characteristic of almost 0% regardless of the air flow rate even if the air temperature changes.
【0039】この第1実施例によると、空気温度に相関
をもった電圧を増幅回路の基準電圧源の片側端子に入力
することにより増幅回路の出力電圧を温度補償すること
ができる。これにより、生産性を低下させず、かつコス
ト高にならない範囲内で空気流量信号を補償することに
より、空気温度が変化しても空気流量に関係なく流量特
性変化率をほぼ0%に抑制することができ、広い温度範
囲において高精度な空気量計測が行なえる効果がある。According to the first embodiment, the output voltage of the amplifier circuit can be temperature-compensated by inputting the voltage correlated with the air temperature to one terminal of the reference voltage source of the amplifier circuit. As a result, by compensating the air flow rate signal within a range that does not reduce productivity and does not increase the cost, even if the air temperature changes, the flow rate characteristic change rate is suppressed to almost 0% regardless of the air flow rate. Therefore, there is an effect that the air amount can be measured with high accuracy in a wide temperature range.
【0040】また、空気温度による補償は、空気の流路
内の温度を補償に使用するため、デットソーク時等に発
生する熱式流量測定装置の周囲温度と空気温度が異なる
場合においても補償誤差を生ずることなく、高精度な空
気量計測が行うことができる効果がある。なお、第1実
施例では、熱式流量測定装置内のセンサより得られた空
気温度を補償に使用したが、本発明では、熱式流量測定
装置を流れる空気温度が代表できる信号であれば良く、
例えば補償用の温度素子を設けて増幅回路の補償を行っ
ても良い。Further, since the temperature in the air flow path is used for compensation in the compensation by the air temperature, even if the ambient temperature of the thermal type flow rate measuring device generated at the time of dead soak and the air temperature are different, the compensation error is There is an effect that high-accuracy air amount measurement can be performed without the occurrence. In the first embodiment, the air temperature obtained from the sensor in the thermal type flow rate measuring device was used for compensation, but in the present invention, any signal that can represent the air temperature flowing through the thermal type flow rate measuring device may be used. ,
For example, a temperature element for compensation may be provided to compensate the amplifier circuit.
【0041】(第2実施例)自動車のエンジンに吸入さ
れる吸入空気量を計測する熱式流量測定装置に本発明を
適用した第2実施例を図5に示す。図5において、図1
に示す第1実施例と実質的に同一の構成部分には同一符
号を付す。図5に示すように、温度補償用抵抗体である
センサ580の抵抗値に比例した電圧V8 とセンサ58
0に接続した抵抗器83、84の両端電圧V9 より演算
処理した空気温度を使用して補償する点が第1実施例と
異なる。(Second Embodiment) FIG. 5 shows a second embodiment in which the present invention is applied to a thermal type flow rate measuring device for measuring the amount of intake air drawn into an automobile engine. In FIG. 5, FIG.
The same components as those in the first embodiment shown in FIG. As shown in FIG. 5, the voltage V8 proportional to the resistance value of the sensor 580, which is a temperature compensation resistor, and the sensor 58
The difference from the first embodiment is that the air temperature calculated by the voltage V9 across the resistors 83 and 84 connected to 0 is used for compensation.
【0042】熱式流量測定装置10の制御回路40の構
成を図5に基づいて説明する。割算回路3は、オペアン
プ95と掛算器96と抵抗器93、94および電圧源9
7とから構成される。この割算回路3は、ホイートスト
ンブリッジ回路および通電量調整回路1から空気温度と
相関をもった電圧として検出される電圧比V8/V9 を
出力する。また、この割算回路3は電圧V8 と電圧V9
を抵抗器93、94により決定される増幅度によってV
8 /V9 を増幅する。ここで、割算回路3の出力電圧V
6 は抵抗器93、94の抵抗値をR41、R42とした
とき、次の数7により表される。The structure of the control circuit 40 of the thermal type flow rate measuring device 10 will be described with reference to FIG. The division circuit 3 includes an operational amplifier 95, a multiplier 96, resistors 93 and 94, and a voltage source 9
7 and 7. The division circuit 3 outputs a voltage ratio V8 / V9 detected as a voltage having a correlation with the air temperature from the Wheatstone bridge circuit and the energization amount adjustment circuit 1. In addition, this division circuit 3 has a voltage V8 and a voltage V9.
Is set to V by the amplification degree determined by the resistors 93 and 94.
Amplify 8 / V9. Here, the output voltage V of the division circuit 3
6 is expressed by the following equation 7 when the resistance values of the resistors 93 and 94 are R41 and R42.
【0043】[0043]
【数7】V6 =(R42/R41)×(V8 /V9 ) 第2実施例によると、第1実施例と同様、空気温度に相
関をもった電圧を増幅回路の基準電圧源の片側端子に入
力することにより増幅回路の出力電圧を温度補償するこ
とができる。## EQU00007 ## V6 = (R42 / R41) .times. (V8 / V9) According to the second embodiment, as in the first embodiment, a voltage correlated with the air temperature is applied to one terminal of the reference voltage source of the amplifier circuit. By inputting, the output voltage of the amplifier circuit can be temperature-compensated.
【0044】これにより、生産性を低下させず、かつコ
スト高にならない範囲内で空気流量信号を補償すること
により、空気温度が変化しても空気流量に関係なく流量
特性変化率をほぼ0%に抑制することができ、広い温度
範囲において高精度な空気量計測が行なえる効果があ
る。また、空気温度による補償は、空気の流路内の温度
を補償に使用するため、デットソーク時等に発生する熱
式流量測定装置の周囲温度と空気温度が異なる場合にお
いても補償誤差を生ずることなく、高精度な空気量計測
が行うことができる効果がある。As a result, by compensating the air flow rate signal within the range where productivity is not reduced and cost is not increased, even if the air temperature changes, the flow rate characteristic change rate is almost 0% regardless of the air flow rate. Therefore, there is an effect that the air amount can be measured with high accuracy in a wide temperature range. In addition, since the compensation by the air temperature uses the temperature in the air flow path for compensation, the compensation error does not occur even when the ambient temperature of the thermal type flow rate measuring device that occurs during dead soak and the air temperature are different. There is an effect that highly accurate air amount measurement can be performed.
【図1】本発明の第1実施例による熱式流量測定装置の
制御回路図である。FIG. 1 is a control circuit diagram of a thermal type flow rate measuring device according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明の第1実施例による熱式流量測定装置の
センサおよび制御回路の位置を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing positions of a sensor and a control circuit of the thermal type flow rate measuring device according to the first embodiment of the present invention.
【図3】本発明の第1実施例による熱式流量測定装置の
センサと熱伝達経路を示す模式的説明図である。FIG. 3 is a schematic explanatory view showing a sensor and a heat transfer path of the thermal type flow rate measuring device according to the first embodiment of the present invention.
【図4】本発明の第1実施例による熱式流量測定装置の
空気温度の変化に対する流量特性変化率を空気流量ごと
に表したグラフである。FIG. 4 is a graph showing, for each air flow rate, a flow characteristic change rate with respect to a change in air temperature of the thermal type flow measurement apparatus according to the first embodiment of the present invention.
【図5】本発明の第2実施例による熱式流量測定装置の
制御回路図である。FIG. 5 is a control circuit diagram of a thermal type flow rate measuring device according to a second embodiment of the present invention.
【図6】比較例の熱式流量測定装置の制御回路図であ
る。FIG. 6 is a control circuit diagram of a thermal type flow rate measuring device of a comparative example.
【図7】比較例の熱式流量測定装置の空気温度の変化に
対する流量特性変化率を空気流量ごとに表したグラフで
ある。FIG. 7 is a graph showing, for each air flow rate, a flow rate characteristic change rate with respect to a change in air temperature of a thermal type flow rate measuring apparatus of a comparative example.
1 ホイートストンブリッジ回路および通電量調整
回路(流量検知回路、調整回路) 2 出力回路 (増幅回路) 3 割算回路 (流体温度検知回路) 61 パワートランジスタ(調整回路) 89 電圧源 (基準電圧源) 89a 温度補償回路 97、102 電圧源 90 オペアンプ (流量検知回路、調整回
路) 91、92、103 オペアンプ 95 オペアンプ (演算回路) 96 掛算器 (演算回路) 570 センサ (発熱抵抗体) 580 センサ (温度補償用抵抗体)1 Wheatstone bridge circuit and energization amount adjustment circuit (flow rate detection circuit, adjustment circuit) 2 Output circuit (amplification circuit) 3 Division circuit (fluid temperature detection circuit) 61 Power transistor (adjustment circuit) 89 Voltage source (reference voltage source) 89a Temperature compensation circuit 97, 102 Voltage source 90 Operational amplifier (Flow rate detection circuit, adjustment circuit) 91, 92, 103 Operational amplifier 95 Operational amplifier (arithmetic circuit) 96 Multiplier (arithmetic circuit) 570 Sensor (heating resistor) 580 Sensor (for temperature compensation) Resistor)
Claims (6)
値とから前記発熱抵抗体への通電量を調整する調整回路
と、 前記発熱抵抗体の抵抗値と前記温度補償用抵抗体の抵抗
値とから前記流路内を流れる流体の流量を検知し、流量
検知信号を出力する流量検知回路と、 前記流量検知信号を増幅する増幅回路と、 前記流路内を流れる流体の温度に応じて前記増幅回路の
増幅率を増減可能な温度補償回路とを備えたことを特徴
とする熱式流量測定装置。1. A heat generating resistor provided in a flow path, a temperature compensating resistor provided in the flow path, a resistance value of the heat generating resistor and a resistance value of the temperature compensating resistor. From the adjustment circuit that adjusts the amount of electricity supplied to the heating resistor from the resistance value of the heating resistor and the resistance value of the temperature compensation resistor, to detect the flow rate of the fluid flowing in the flow path, flow rate detection A flow rate detection circuit that outputs a signal, an amplification circuit that amplifies the flow rate detection signal, and a temperature compensation circuit that can increase or decrease the amplification factor of the amplification circuit according to the temperature of the fluid flowing in the flow path are provided. A thermal type flow rate measuring device.
電圧源を備えたことを特徴とする請求項1記載の熱式流
量測定装置。2. The thermal type flow measuring device according to claim 1, wherein the amplification circuit includes a reference voltage source for determining an amplification factor.
記流路内を流れる流体の温度を検知し、流体温度信号を
出力する流体温度検知回路を備え、前記流体温度信号に
応じて前記増幅回路の増幅率を増減可能な温度補償回路
とを備えたことを特徴とする請求項1記載の熱式流量測
定装置。3. A fluid temperature detection circuit for detecting the temperature of a fluid flowing in the flow path from the flow rate detection signal and the energization amount, and outputting a fluid temperature signal, wherein the amplification is performed according to the fluid temperature signal. The thermal type flow measuring device according to claim 1, further comprising a temperature compensating circuit capable of increasing / decreasing an amplification factor of the circuit.
られ、前記流路内を流れる流体の温度に応じて出力電圧
が変化する温度素子を備えたことを特徴とする請求項1
記載の熱式流量測定装置。4. The temperature compensating circuit includes a temperature element provided in the flow path, the output voltage of which changes according to the temperature of a fluid flowing in the flow path.
The thermal flow measuring device described.
り構成されることを特徴とする請求項3記載の熱式流量
測定装置。5. The thermal type flow rate measuring device according to claim 3, wherein the fluid temperature detection circuit is configured by an arithmetic circuit.
により前記基準電圧源の電圧を増減可能であることを特
徴とする請求項3記載の熱式流量測定装置。6. The thermal type flow measuring device according to claim 3, wherein the temperature compensating circuit can increase or decrease the voltage of the reference voltage source according to the fluid temperature signal.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08325994A JP3384102B2 (en) | 1994-04-21 | 1994-04-21 | Thermal flow meter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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-
1994
- 1994-04-21 JP JP08325994A patent/JP3384102B2/en not_active Expired - Lifetime
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