JPH07294122A - Ceramic green sheet drying apparatus and ceramic green sheet drying method - Google Patents

Ceramic green sheet drying apparatus and ceramic green sheet drying method

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JPH07294122A
JPH07294122A JP8335194A JP8335194A JPH07294122A JP H07294122 A JPH07294122 A JP H07294122A JP 8335194 A JP8335194 A JP 8335194A JP 8335194 A JP8335194 A JP 8335194A JP H07294122 A JPH07294122 A JP H07294122A
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JP
Japan
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ceramic green
green sheet
drying
drying chamber
heating
Prior art date
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Application number
JP8335194A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Osamu Nishisato
修 西里
Gengo Mori
玄吾 森
Yoshimasa Yoshino
芳正 吉野
Satoshi Inaizumi
聡 稲泉
Shigeo Kiso
茂生 木曽
Shinya Hashimoto
慎也 橋本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH07294122A publication Critical patent/JPH07294122A/en
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  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Abstract

PURPOSE:To reduce internal stress of a ceramic green sheet and defective shape such as warpage produced upon burning of the ceramic green sheet by efficiently and evenly drying the ceramic green sheet formed by means of an extrusion molding method. CONSTITUTION:A ceramic green sheet drying apparatus 21 comprises a drying room, in which a ceramic green sheet S is dried, and convey means 3 for conveying the ceramic green sheet into the drying room. The drying room has a microwave heating zone for microwave heating the ceramic green sheet S conveyed by the convey means 3, which microwave heating zone 26 is provided with a hot-air blowing heating device.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、セラミックグリーンシ
ートの内部及び上下面を均一に乾燥するためのセラミッ
クグリーンシート乾燥装置及びセラミックグリーンシー
ト乾燥方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic green sheet drying apparatus and a ceramic green sheet drying method for uniformly drying the inside and upper and lower surfaces of a ceramic green sheet.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のセラミックグリーンシート乾燥装
置及びセラミックグリーンシート乾燥方法について、外
部加熱を用いたセラミックグリーンシート乾燥装置を例
にして、図3を参照して説明する。セラミックグリーン
シート乾燥装置1は、乾燥室2とセラミックグリーンシ
ートSが乾燥室2を水平方向に通過可能な搬送手段3か
らなっている。
2. Description of the Related Art A conventional ceramic green sheet drying apparatus and a ceramic green sheet drying method will be described with reference to FIG. 3, taking a ceramic green sheet drying apparatus using external heating as an example. The ceramic green sheet drying device 1 includes a drying chamber 2 and a transporting unit 3 that allows the ceramic green sheet S to pass through the drying chamber 2 in the horizontal direction.

【0003】乾燥室2は、水平方向に貫通孔4を有し、
その貫通孔4上方に、例えば、赤外線加熱ヒータからな
る外部加熱ヒータ7が設置された、外部加熱ゾーン8を
有している。
The drying chamber 2 has a through hole 4 in the horizontal direction,
Above the through hole 4, there is an external heating zone 8 in which an external heating heater 7 composed of, for example, an infrared heating heater is installed.

【0004】搬送手段3は、乾燥室2の入口9と出口1
0に回転ローラ11,12を有し、その間をベルト13
を掛け渡し、回転ローラ11又は12をモータMを用い
て回転させることにより、ベルト13を所定方向Xに回
転移動させるベルトコンベアであり、乾燥室2の入口9
から貫通孔4を通過して出口10まで、セラミックグリ
ーンシートSを移送することができるものである。
The transport means 3 comprises an inlet 9 and an outlet 1 of the drying chamber 2.
0 has rotating rollers 11 and 12, and a belt 13 is provided between them.
Is a belt conveyor that moves the belt 13 in the predetermined direction X by rotating the rotating roller 11 or 12 using the motor M. The inlet 9 of the drying chamber 2
The ceramic green sheet S can be transferred from the through to the outlet 10 through the through hole 4.

【0005】かかる構成のセラミックグリーンシート乾
燥装置1を用いてセラミックグリーンシートSを乾燥さ
せる方法を説明する。
A method of drying the ceramic green sheet S using the ceramic green sheet drying apparatus 1 having the above structure will be described.

【0006】乾燥前のセラミックグリーンシートSを、
セラミックグリーンシート乾燥装置1の入口9側のベル
ト13上に乗せる。ベルト13上のセラミックグリーン
シートSは、ベルト13の回転移動に伴って、貫通孔4
内をX方向に移送される。そして外部加熱ゾーン8を通
過する際に、外部加熱により、セラミックグリーンシー
トSはその上面部から乾燥されて、出口10側へ移送さ
れる。
The ceramic green sheet S before drying is
The ceramic green sheet drying apparatus 1 is placed on the belt 13 on the inlet 9 side. The ceramic green sheet S on the belt 13 has a through hole 4 as the belt 13 rotates.
It is transferred in the X direction. Then, when passing through the external heating zone 8, the ceramic green sheet S is dried from the upper surface portion by the external heating and is transferred to the outlet 10 side.

【0007】尚、セラミックグリーンシート乾燥装置1
の加熱手段が外部加熱に代わってマイクロ波加熱や温風
供給加熱であっても、セラミックグリーンシートを乾燥
させることができる。
The ceramic green sheet dryer 1
The ceramic green sheet can be dried even when the heating means is microwave heating or hot air supply heating instead of external heating.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
セラミックグリーンシートの乾燥装置及び乾燥方法にお
いて、次のような問題点を有していた。
However, the conventional apparatus and method for drying a ceramic green sheet have the following problems.

【0009】1.乾燥室の貫通孔には、その下方にセラ
ミックグリーンシート移送用のベルト等の搬送手段があ
るため、外部加熱ヒータは、加熱効率上貫通孔の上方に
設置されていた。そのため、乾燥室を通過して乾燥中の
セラミックグリーンシートは、その上面側と下面側とで
乾燥される温度差による乾燥に差ができ、この差によっ
てセラミックグリーンシートに内部応力が残留すること
になる。そして、この内部応力を持つセラミックグリー
ンシートを焼成すると、セラミックスに反りが発生する
ことがあった。
1. Since the through-hole of the drying chamber has a conveyer means such as a belt for transferring the ceramic green sheet under the through-hole, the external heater is installed above the through-hole in terms of heating efficiency. Therefore, the ceramic green sheet passing through the drying chamber and being dried has a difference in drying due to a temperature difference between the upper surface side and the lower surface side, and this difference causes internal stress to remain in the ceramic green sheet. Become. When the ceramic green sheet having the internal stress is fired, the ceramic may be warped.

【0010】2.外部加熱では、セラミックグリーンシ
ートは上面部から順に内部方向に乾燥されるため、乾燥
に長時間を要し乾燥効率が悪かった。
2. In the case of external heating, the ceramic green sheets are dried inward in order from the upper surface, so it takes a long time to dry and the drying efficiency is poor.

【0011】3.乾燥室の貫通孔は、加熱効率を高める
ため、その断面積(乾燥室の貫通孔の容積)を大きくし
難い。したがって、外部加熱によるセラミックグリーン
シートの乾燥に伴い発生する水蒸気等の蒸発物は断面積
が小さい貫通孔内に充満して、乾燥に長時間を要して乾
燥効率が悪かった。
3. Since the through hole of the drying chamber enhances heating efficiency, it is difficult to increase the cross-sectional area (volume of the through hole of the drying chamber). Therefore, vaporized substances such as water vapor generated by the drying of the ceramic green sheet by external heating are filled in the through holes having a small cross-sectional area, and it takes a long time to dry and the drying efficiency is poor.

【0012】4.外部加熱に代わって温風でセラミック
グリーンシートを乾燥させる場合、従来例の外部加熱と
同様に、セラミックグリーンシートは上面部から順に内
部方向に乾燥されるため、乾燥効率が悪かった。
4. When the ceramic green sheets are dried with warm air instead of the external heating, the ceramic green sheets are sequentially dried inward from the upper surface portion in the same manner as the conventional external heating, so that the drying efficiency is poor.

【0013】5.外部加熱に代わってマイクロ波加熱で
セラミックグリーンシートを乾燥させる場合、従来例の
外部加熱と同様に、マイクロ波加熱によってセラミック
グリーンシートが乾燥されるに伴い発生する水蒸気等の
蒸発物は、貫通孔内の換気が十分になされないため、貫
通孔内に充満して結露したり、又、乾燥に長時間を要し
ていた。また、マイクロ波加熱では、セラミックグリー
ンシートの内部から加熱されるが、乾燥を早めるために
電力を上げるとセラミックグリーンシート内部で溶媒が
突沸し、セラミックグリーンシートが爆裂することがあ
った。
5. When the ceramic green sheet is dried by microwave heating instead of external heating, vaporized substances such as water vapor generated when the ceramic green sheet is dried by microwave heating are generated through the through holes as in the conventional external heating. Since the inside was not sufficiently ventilated, the inside of the through hole was filled with dew condensation, and it took a long time to dry. Further, in the microwave heating, the ceramic green sheet is heated from the inside, but when the electric power is increased to accelerate the drying, the solvent may bump inside the ceramic green sheet and the ceramic green sheet may explode.

【0014】本発明の目的は、上述の問題点を解消すべ
くなされたもので、例えば、押し出し成形法により作ら
れるセラミックグリーンシートを効率よく、且つ、均一
に乾燥することで、セラミックグリーンシートの内部応
力を低減させ、セラミックグリーンシートを焼成した際
の反り等の変形による形状不良を低減することにある。
The object of the present invention is to solve the above-mentioned problems. For example, by efficiently and uniformly drying a ceramic green sheet produced by an extrusion molding method, the ceramic green sheet The purpose is to reduce internal stress and reduce shape defects due to deformation such as warpage when firing a ceramic green sheet.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のセラミックグリーンシート乾燥装置は、セ
ラミックグリーンシートを乾燥させる乾燥室と、前記セ
ラミックグリーンシートを、この乾燥室内を移送させる
搬送手段とを備え、前記乾燥室は、前記搬送手段により
移送されるセラミックグリーンシートをマイクロ波加熱
するマイクロ波加熱ゾーンを有し、このマイクロ波加熱
ゾーンに温風供給加熱装置を備えることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a ceramic green sheet drying apparatus of the present invention comprises a drying chamber for drying the ceramic green sheet and a transport for transferring the ceramic green sheet in the drying chamber. Means and the drying chamber has a microwave heating zone for microwave heating the ceramic green sheet transferred by the conveying means, and the microwave heating zone is provided with a warm air supply heating device. To do.

【0016】また、セラミックグリーンシートを乾燥さ
せる乾燥室と、前記セラミックグリーンシートを、この
乾燥室内を移送させる搬送手段とを備え、前記乾燥室
は、前記搬送手段により移送されるセラミックグリーン
シートを、マイクロ波加熱するマイクロ波加熱ゾーン及
び外部から加熱する外部加熱ゾーンを有し、このマイク
ロ波加熱ゾーン及び外部加熱ゾーンに、温風供給加熱装
置を備えることを特徴とする。
Further, a drying chamber for drying the ceramic green sheet and a conveying means for moving the ceramic green sheet in the drying chamber are provided, and the drying chamber includes the ceramic green sheet transferred by the conveying means. A microwave heating zone for microwave heating and an external heating zone for heating from the outside are provided, and the microwave heating zone and the external heating zone are provided with a warm air supply heating device.

【0017】そして、前記搬送手段は、前記セラミック
グリーンシートの上下面を反転させる手段を備えている
ことを特徴とする。
The conveying means is provided with means for inverting the upper and lower surfaces of the ceramic green sheet.

【0018】また、前記搬送手段は、上下に少なくとも
二段から構成され、この上下二段の搬送手段の搬送方向
は互いに反対方向であり、前記セラミックグリーンシー
トが、前記上段の搬送手段により一方向に移送され、前
記上段の搬送手段の最終端でこの搬送手段から前記下段
の搬送手段に移され、この下段の搬送手段により逆方向
に移送されることにより、前記セラミックグリーンシー
トの上下面を反転させることを特徴とする。
Further, the conveying means is composed of at least two upper and lower stages, and the conveying directions of the upper and lower two stages are opposite to each other, and the ceramic green sheet is unidirectional by the upper conveying means. The upper and lower surfaces of the ceramic green sheet are reversed by being transferred to the lower transfer means from this transfer means at the final end of the upper transfer means, and transferred in the reverse direction by the lower transfer means. It is characterized by

【0019】更に、セラミックグリーンシートを乾燥さ
せる乾燥室と、前記セラミックグリーンシートを、この
乾燥室内を移送させる搬送手段とを備え、前記乾燥室
は、前記搬送手段により移送されるセラミックグリーン
シートを、マイクロ波加熱するマイクロ波加熱ゾーン及
び外部から加熱する外部加熱ゾーンを有し、このマイク
ロ波加熱ゾーン及び外部加熱ゾーンに、温風供給加熱装
置を備え、前記搬送手段は上下に少なくとも二段から構
成されていることを特徴とする。
Further, a drying chamber for drying the ceramic green sheet and a transporting means for transporting the ceramic green sheet in the drying chamber are provided, and the drying chamber transports the ceramic green sheet transported by the transporting means. It has a microwave heating zone for microwave heating and an external heating zone for heating from the outside, the microwave heating zone and the external heating zone are provided with a warm air supply heating device, and the conveying means is composed of at least two stages above and below. It is characterized by being.

【0020】そして上述の乾燥室は、この乾燥室の出口
近傍に冷却ゾーンを有することを特徴とする。
The above-mentioned drying chamber is characterized by having a cooling zone near the outlet of the drying chamber.

【0021】本発明によるセラミックグリーンシートの
乾燥方法は、セラミックグリーンシート移送用の搬送手
段により移送されるセラミックグリーンシートを、マイ
クロ波加熱するとともに温風供給加熱をして乾燥するこ
とを特徴とする。
The method for drying a ceramic green sheet according to the present invention is characterized in that the ceramic green sheet transferred by the transfer means for transferring the ceramic green sheet is heated by microwave and heated by supplying hot air to dry it. .

【0022】また、セラミックグリーンシート移送用の
搬送手段により移送されるセラミックグリーンシート
を、マイクロ波加熱するとともに温風供給加熱をして乾
燥し、次に、外部加熱するとともに温風供給加熱をして
乾燥することを特徴とする。
Further, the ceramic green sheet transferred by the transfer means for transferring the ceramic green sheet is microwave-heated and is heated and supplied with warm air to be dried, and then externally heated and heated and supplied with warm air. It is characterized by being dried.

【0023】そして、前記セラミックグリーンシート
を、乾燥するための移送中に上下面を反転させて乾燥す
ることを特徴とする。
The ceramic green sheet is dried by inverting its upper and lower surfaces during the transportation for drying.

【0024】また、前記セラミックグリーンシートを、
上下少なくとも二段の搬送手段を用い、上段の搬送手段
上で前記セラミックグリーンシートを加熱させ、下段の
搬送手段に移送する際に、前記セラミックグリーンシー
トの上下面を反転させ、下段の搬送手段上で前記セラミ
ックグリーンシートを加熱させることを特徴とする。
Further, the ceramic green sheet is
At least two upper and lower conveying means are used, the ceramic green sheet is heated on the upper conveying means, and when being transferred to the lower conveying means, the upper and lower surfaces of the ceramic green sheet are inverted so that the upper conveying means is on the lower conveying means. And heating the ceramic green sheet.

【0025】[0025]

【作用】本発明では、上述のような構成の加熱ゾーンを
有するセラミックグリーンシート乾燥装置及びセラミッ
クグリーンシート乾燥方法では、温風供給加熱による温
風が、マイクロ波加熱又は外部加熱によるセラミックグ
リーンシートから蒸発する蒸発物を、乾燥室から排出す
るために乾燥効率が高くなる。また、マイクロ波加熱又
は/及び外部加熱に、温風供給加熱を併用することによ
り、セラミックグリーンシートを先ず内部から乾燥をさ
せ、次に上面部を乾燥させることができ、乾燥を効率よ
くすることができる。この乾燥の際に、マイクロ波加熱
により発生する蒸発物が温風とともに乾燥室から排出さ
れるため、乾燥室内部に発生する結露を防止することが
できる。
According to the present invention, in the ceramic green sheet drying apparatus and the ceramic green sheet drying method having the heating zone having the above-mentioned structure, the warm air supplied by the hot air is heated by the microwave heating or the external heating by the ceramic green sheet. The evaporate that evaporates is discharged from the drying chamber, so that the drying efficiency is increased. Also, by using microwave heating and / or external heating together with hot air supply heating, the ceramic green sheet can be dried first from the inside and then the upper surface portion, and the drying can be made efficient. You can At the time of this drying, since the evaporation product generated by microwave heating is discharged from the drying chamber together with the warm air, it is possible to prevent the dew condensation occurring inside the drying chamber.

【0026】そして、セラミックグリーンシートを、乾
燥室を移送中に上面側と下面側を反転させることによ
り、セラミックグリーンシートの上下面をより均一に乾
燥させ、セラミックグリーンシートの内部に応力が残留
することを防ぐ。
Then, the upper and lower surfaces of the ceramic green sheet are more uniformly dried by reversing the upper surface side and the lower surface side of the ceramic green sheet during transfer in the drying chamber, and stress remains inside the ceramic green sheet. Prevent that.

【0027】[0027]

【実施例】以下に、本発明の第1実施例を図1にもとづ
いて説明する。但し、前述の従来例と同一部分について
は、同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. However, the same parts as those of the above-described conventional example are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0028】セラミックグリーンシート乾燥装置21
は、上下2段の乾燥室22a,22bとセラミックグリ
ーンシートSが乾燥室22a,22bを水平方向に移送
させる搬送手段3,3からなっている。
Ceramic green sheet dryer 21
Is composed of upper and lower two-stage drying chambers 22a and 22b and transporting means 3 and 3 for transferring the ceramic green sheet S horizontally in the drying chambers 22a and 22b.

【0029】乾燥装置21の上段に設けられた乾燥室2
2aは、水平方向に貫通孔24aを有し、その貫通孔2
4a上方にマイクロ波加熱装置25が設置された、マイ
クロ波加熱ゾーン26を有している。また、乾燥室22
aには温風供給加熱装置(図示せず)が設置され、温風
供給加熱装置からの温風は、例えば、乾燥室22a内に
設けられたファン(図示せず)等により貫通孔24aの
右側の出口30a近傍から左側の入口29a方向に流さ
れ、入口29aから排出される。乾燥装置21の下段に
設けられた乾燥室22bは、水平方向に貫通孔24bを
有し、乾燥室22bには温風供給加熱装置(図示せず)
が設置され、そこから供給される温風は上述と同様に乾
燥室22bの左側の出口30b近傍から右側の入口29
b方向に流され、入口29bから排出される。
Drying chamber 2 provided at the upper stage of the drying device 21
2a has a through hole 24a in the horizontal direction.
It has a microwave heating zone 26 in which a microwave heating device 25 is installed above 4a. Also, the drying room 22
A hot air supply / heating device (not shown) is installed in a, and hot air from the hot air supply / heating device is supplied to the through hole 24a by, for example, a fan (not shown) provided in the drying chamber 22a. It flows from the vicinity of the outlet 30a on the right side toward the inlet 29a on the left side and is discharged from the inlet 29a. The drying chamber 22b provided at the lower stage of the drying device 21 has a through hole 24b in the horizontal direction, and the drying chamber 22b has a warm air supply heating device (not shown).
Is installed, and hot air supplied from the same is supplied from the vicinity of the outlet 30b on the left side of the drying chamber 22b to the inlet 29 on the right side of the drying chamber 22b.
It is made to flow in the b direction and discharged from the inlet 29b.

【0030】乾燥室22aに設けられた搬送手段3は、
乾燥室22aの入口29aと出口30aに回転ローラ1
1,12を有し、その間をベルト13を掛け渡し、回転
ローラ11又は12をモータMを用いて回転させること
により、ベルト13をX方向に回転移動させるベルトコ
ンベアであり、乾燥室22aの入口29aから貫通孔2
4aを通過して出口30aまで、左から右方向へセラミ
ックグリーンシートSを移送することができるものであ
る。乾燥室22bに設けられた搬送手段3は、上段の搬
送手段3と同様に、ベルト13をY方向に回転移動させ
て,乾燥室22bの入口29bから貫通孔24bを通過
して出口30bまで、セラミックグリーンシートSを右
から左方向へ移送することができるものである。
The conveying means 3 provided in the drying chamber 22a is
The rotary roller 1 is installed at the inlet 29a and the outlet 30a of the drying chamber 22a.
1 and 12, a belt 13 is stretched between them, and the rotating roller 11 or 12 is rotated by the motor M to rotate the belt 13 in the X direction. Through hole 2 from 29a
The ceramic green sheet S can be transferred from the left to the right through the 4a to the outlet 30a. The transporting means 3 provided in the drying chamber 22b rotates the belt 13 in the Y direction in the same manner as the transporting means 3 in the upper stage, and passes from the inlet 29b of the drying chamber 22b through the through hole 24b to the outlet 30b. The ceramic green sheet S can be transferred from right to left.

【0031】かかる構成のセラミックグリーンシート乾
燥装置21を用いてセラミックグリーンシートSを乾燥
させる方法を説明する。
A method of drying the ceramic green sheet S using the ceramic green sheet drying device 21 having such a configuration will be described.

【0032】乾燥前のセラミックグリーンシートSを、
セラミックグリーンシート乾燥装置21の上段の入口2
9a側のベルト13上に乗せる。セラミックグリーンシ
ートSは、ベルト13の回転移動に伴って、貫通孔24
a内をX方向に移送される。そしてマイクロ波加熱ゾー
ン26を通過する際に、マイクロ波加熱により、セラミ
ックグリーンシートSはその内部から乾燥されるととも
に、温風供給加熱装置からの温風によりその上面側にな
るA面からも乾燥される。その際に発生するセラミック
グリーンシートSからの蒸発物は、温風の流れWととも
に乾燥室22aをW方向に流されて入口29aから排出
される。
The ceramic green sheet S before drying is
Upper entrance 2 of the ceramic green sheet dryer 21
It is placed on the belt 13 on the 9a side. The ceramic green sheet S has a through hole 24 as the belt 13 rotates.
It is transferred in the X direction in a. When passing through the microwave heating zone 26, the ceramic green sheet S is dried from the inside by the microwave heating, and is also dried from the surface A which is the upper surface side by the warm air from the warm air supply heating device. To be done. Evaporated matter from the ceramic green sheet S generated at that time is caused to flow in the W direction in the drying chamber 22a along with the flow W of warm air, and is discharged from the inlet 29a.

【0033】そしてセラミックグリーンシートSは、乾
燥されながら出口30a側へ移送され、ベルト13の終
端に達したセラミックグリーンシートSは、垂直下方に
落下し、移送方向が右から左方向の下段の搬送手段3の
ベルト13の右側の始端上に乗る。この上段の搬送手段
3から下段の搬送手段3に移り変わる際、上段の貫通孔
24a内を移送中のセラミックグリーンシートSのA面
が、下段の貫通孔24b内を移送中には下面側になる。
つまり、乾燥室22aから乾燥室22bに移送されるセ
ラミックグリーンシートSは上下面が反転することにな
る。
Then, the ceramic green sheet S is transported to the outlet 30a side while being dried, and the ceramic green sheet S reaching the end of the belt 13 falls vertically downward and is transported from the right to the left in the lower stage. Ride on the right end of belt 13 of means 3. When the transfer means 3 moves from the upper transfer means 3 to the lower transfer means 3, the surface A of the ceramic green sheet S being transferred in the through hole 24a of the upper step becomes the lower surface side of the transfer in the through hole 24b of the lower step. .
That is, the upper and lower surfaces of the ceramic green sheet S transferred from the drying chamber 22a to the drying chamber 22b are inverted.

【0034】上下面が反転したセラミックグリーンシー
トSは、乾燥室22aの入口29bから搬入され、貫通
孔24bを移送中に温風供給加熱装置からの温風により
A面と反対面になる上面側であるB面から乾燥されなが
ら、出口30bから排出される。
The ceramic green sheet S whose upper and lower surfaces are reversed is carried in through the inlet 29b of the drying chamber 22a, and the upper surface becomes the surface opposite to the A surface by the warm air from the warm air supply heating device during the transfer through the through hole 24b. It is discharged from the outlet 30b while being dried from the B side.

【0035】次に、本発明の第2実施例を図2にもとづ
いて説明する。セラミックグリーンシート乾燥装置41
は、上中下3段の乾燥室42a,42b,42cとセラ
ミックグリーンシートSを乾燥室42a,42b,42
c内を水平方向に移送させる搬送手段3,3,3からな
っている。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Ceramic green sheet dryer 41
Includes the drying chambers 42a, 42b, 42c and the ceramic green sheets S in the upper, middle, and lower three stages.
It comprises transporting means 3, 3, 3 for horizontally moving the inside of c.

【0036】乾燥装置41の上段に設けられた乾燥室4
2aは、水平方向に貫通孔44aを有し、その貫通孔4
4a上方にマイクロ波加熱装置25が設置されたマイク
ロ波加熱ゾーン46及びマイクロ波加熱ゾーン46の次
に、例えば、乾燥室内上方に設置された遠赤外線ヒータ
又は近赤外線ヒータ,乾燥室内周囲に設置された抵抗ヒ
ータ等からなる外部加熱ヒータ47aが設置された外部
加熱ゾーン48aを有している。また、乾燥室42aに
は温風供給加熱装置(図示せず)が設置され、そこから
供給される温風は前述の第1実施例と同様に乾燥室42
aの右側の出口50a近傍から左側の入口49a方向に
流され、入口49aから排出される。
Drying chamber 4 provided at the upper stage of the drying device 41
2a has a through hole 44a in the horizontal direction, and the through hole 4a
Next to the microwave heating zone 46 in which the microwave heating device 25 is installed above 4a and the microwave heating zone 46, for example, a far-infrared heater or a near-infrared heater installed above the drying chamber, and installed around the drying chamber. It also has an external heating zone 48a in which an external heating heater 47a such as a resistance heater is installed. A hot air supply / heating device (not shown) is installed in the drying chamber 42a, and the hot air supplied from the heating device is the same as in the first embodiment described above.
Flow from the vicinity of the outlet 50a on the right side of a toward the inlet 49a on the left side and is discharged from the inlet 49a.

【0037】乾燥装置41の中段に設けられた乾燥室4
2bは、水平方向に貫通孔44bを有し、外部加熱ヒー
タ47bが設置された外部加熱ゾーン(図示せず)を有
している。また、乾燥室42bには温風供給加熱装置
(図示せず)が設置され、そこから供給される温風は上
述と同様に乾燥室42bの左側の出口50b近傍から右
側の入口49b方向であるW方向に流され、入口49b
から排出される。
Drying chamber 4 provided in the middle stage of the drying device 41
2b has a through hole 44b in the horizontal direction, and has an external heating zone (not shown) in which an external heater 47b is installed. Further, a warm air supply / heating device (not shown) is installed in the drying chamber 42b, and the warm air supplied from the heating device is directed from the vicinity of the outlet 50b on the left side of the drying chamber 42b to the inlet 49b on the right side in the same manner as described above. Flowed in W direction, entrance 49b
Emitted from.

【0038】乾燥装置41の下段に設けられた乾燥室4
2cは、水平方向に貫通孔44cを有し、外部加熱ヒー
タ47cが設置された外部加熱ゾーン(図示せず)を有
している。また、乾燥室42cには温風供給加熱装置
(図示せず)が設置され、そこから供給される温風は上
述と同様に乾燥室42cの右側の出口50c近傍から左
側の入口49c方向であるW方向に流され、入口49c
から排出される。
Drying chamber 4 provided at the lower stage of the drying device 41
2c has a through hole 44c in the horizontal direction and an external heating zone (not shown) in which an external heater 47c is installed. Further, a warm air supply / heating device (not shown) is installed in the drying chamber 42c, and the warm air supplied from the heating device is from the vicinity of the outlet 50c on the right side of the drying chamber 42c to the inlet 49c on the left side in the same manner as described above. Flowed in W direction, entrance 49c
Emitted from.

【0039】乾燥室42aに設けられた搬送手段3は、
前述と同様に、ベルト13をX方向に回転移動させるベ
ルトコンベアであり、乾燥室42aの入口49aから貫
通孔44aを通過して出口50aまで、X方向へセラミ
ックグリーンシートSを移送することができる。中段の
乾燥室42bに設けられた搬送手段3は、乾燥室42b
の入口49bから貫通孔44bを通過して出口50bま
で、セラミックグリーンシートSをY方向へ移送するこ
とができる。下段の乾燥室42cに設けられた搬送手段
3は、乾燥室42cの入口49cから貫通孔44cを通
過して出口50cまで、セラミックグリーンシートSを
X方向へ移送することができる。
The conveying means 3 provided in the drying chamber 42a is
Similar to the above, it is a belt conveyor that rotates and moves the belt 13 in the X direction, and can transfer the ceramic green sheet S in the X direction from the inlet 49a of the drying chamber 42a through the through hole 44a to the outlet 50a. . The conveyance means 3 provided in the middle-stage drying chamber 42b includes the drying chamber 42b.
The ceramic green sheet S can be transferred in the Y direction from the inlet 49b to the outlet 50b through the through hole 44b. The conveying means 3 provided in the lower drying chamber 42c can transfer the ceramic green sheet S in the X direction from the inlet 49c of the drying chamber 42c through the through hole 44c to the outlet 50c.

【0040】かかる構成のセラミックグリーンシート乾
燥装置41を用いてセラミックグリーンシートSを乾燥
させる方法を説明する。
A method for drying the ceramic green sheet S using the ceramic green sheet drying device 41 having such a configuration will be described.

【0041】乾燥前のセラミックグリーンシートSを、
セラミックグリーンシート乾燥装置41の上段の入口4
9a側のベルト13上に乗せる。セラミックグリーンシ
ートSは、ベルト13の回転移動に伴って、貫通孔44
a内をX方向に移送される。そしてマイクロ波加熱ゾー
ン46を通過する際に、マイクロ波加熱により、セラミ
ックグリーンシートSはその内部から乾燥されるととも
に、温風供給加熱装置からの温風によりその上面側であ
るA面からも乾燥される。その際に発生するセラミック
グリーンシートSからの蒸発物は、温風供給加熱装置か
ら供給される温風の流れWとともに乾燥室42aをW方
向に流されて入口49aから排出される。次に、外部加
熱ゾーン48aを通過する際に、外部加熱及び温風供給
加熱により、セラミックグリーンシートSは主にそのA
面から乾燥される。その際に発生するセラミックグリー
ンシートSからの蒸発物は温風供給加熱装置から供給さ
れる温風の流れWとともに乾燥室42aをW方向に流さ
れて入口49aから排出される。
The ceramic green sheet S before drying is
Ceramic green sheet dryer 41 upper entrance 4
It is placed on the belt 13 on the 9a side. The ceramic green sheet S has a through hole 44 as the belt 13 rotates.
It is transferred in the X direction in a. When passing through the microwave heating zone 46, the ceramic green sheet S is dried from the inside by the microwave heating, and is also dried from the upper surface A surface by the warm air from the warm air supply heating device. To be done. Evaporated matter from the ceramic green sheet S generated at that time is caused to flow in the W direction in the drying chamber 42a along with the flow W of the warm air supplied from the warm air supply heating device, and is discharged from the inlet 49a. Next, when passing through the external heating zone 48a, the ceramic green sheet S is mainly subjected to A by the external heating and the hot air supply heating.
The surface is dried. Evaporated matter from the ceramic green sheet S generated at that time is caused to flow in the W direction in the drying chamber 42a along with the flow W of warm air supplied from the warm air supply heating device, and is discharged from the inlet 49a.

【0042】そしてセラミックグリーンシートSは、乾
燥されながら出口50a側へ移送され、ベルト13の終
端に達したセラミックグリーンシートSは、垂直下方に
落下し、中段の移送方向が逆の搬送手段3のベルト13
の右側の始端上に乗る。この上段の搬送手段3から中段
の搬送手段3に移り変わる際、乾燥室42aから乾燥室
42bに移送されるセラミックグリーンシートSは上下
面が逆転し、A面が下面側になる。
Then, the ceramic green sheet S is transferred to the outlet 50a side while being dried, and the ceramic green sheet S reaching the end of the belt 13 drops vertically downward, and the middle transfer step of the transfer means 3 is reversed. Belt 13
Get on the right end of the road. When the transfer means 3 in the upper stage moves to the transfer means 3 in the middle stage, the upper and lower surfaces of the ceramic green sheet S transferred from the drying chamber 42a to the drying chamber 42b are reversed, and the surface A is the lower surface side.

【0043】上下面が反転したセラミックグリーンシー
トSは、中段の搬送手段3により乾燥室42bの入口4
9bから搬入され、貫通孔44b内をY方向に移送され
る。貫通孔44bの外部加熱ゾーン48bを通過する際
に、外部加熱及び温風供給加熱により、セラミックグリ
ーンシートSは主にA面と反対面になる上面側であるB
面から乾燥される。その際に発生するセラミックグリー
ンシートSからの蒸発物は温風供給加熱装置から供給さ
れる温風の流れWとともに乾燥室42bをW方向に流さ
れて入口49bから排出される。
The ceramic green sheet S whose upper and lower surfaces are turned upside down is conveyed to the entrance 4 of the drying chamber 42b by the conveying means 3 in the middle stage.
It is carried in from 9b and transferred in the Y direction in the through hole 44b. When passing through the external heating zone 48b of the through hole 44b, the ceramic green sheet S is mainly on the upper surface side which is the surface opposite to the A surface due to the external heating and the hot air supply heating.
The surface is dried. Evaporates from the ceramic green sheet S generated at that time are flowed in the W direction in the drying chamber 42b along with the flow W of the warm air supplied from the warm air supply heating device, and are discharged from the inlet 49b.

【0044】そしてセラミックグリーンシートSは、乾
燥されながら出口50b側へ移送され、ベルト13の終
端に達したセラミックグリーンシートSは、垂直下方に
落下し、下段の搬送手段3のベルト13上に乗る。この
中段の搬送手段3から下段の搬送手段3に移り変わる
際、セラミックグリーンシートSは再び上下面が逆転す
ることになる。
The ceramic green sheet S is transported to the outlet 50b side while being dried, and the ceramic green sheet S reaching the end of the belt 13 drops vertically downward and rides on the belt 13 of the lower conveying means 3. . When the transfer means 3 of the middle stage is changed to the transfer means 3 of the lower stage, the upper and lower surfaces of the ceramic green sheet S are reversed again.

【0045】再び、上下面が反転したセラミックグリー
ンシートSは、下段の搬送手段3により乾燥室42cの
入口49cから搬入され、貫通孔44c内をX方向に移
送される。貫通孔44cの外部加熱ゾーンを通過する際
に、外部加熱及び温風供給加熱により、セラミックグリ
ーンシートSは主にその上面側になるA面から乾燥され
る。その際に発生するセラミックグリーンシートSから
の蒸発物は温風供給加熱装置から供給される温風の流れ
Wとともに乾燥室42cをW方向に流されて入口49c
から排出される。
Again, the ceramic green sheet S whose upper and lower surfaces are turned upside down is carried in from the entrance 49c of the drying chamber 42c by the lower carrying means 3 and is transferred in the through hole 44c in the X direction. When passing through the external heating zone of the through hole 44c, the ceramic green sheet S is mainly dried from the upper surface A surface by the external heating and the hot air supply heating. Evaporated matter from the ceramic green sheet S generated at that time is caused to flow in the W direction in the drying chamber 42c along with the flow W of the warm air supplied from the warm air supply heating device, and the inlet 49c is formed.
Emitted from.

【0046】以上のようにして、セラミックグリーンシ
ートSは、乾燥室内を上下面を反転させながらより均一
に早く乾燥される。
As described above, the ceramic green sheet S is more uniformly and quickly dried while turning the inside of the drying chamber upside down.

【0047】ここで、従来例のセラミックグリーンシー
ト乾燥装置と本発明によるセラミックグリーンシート乾
燥装置とを用いてセラミックグリーンシートを乾燥させ
た比較実験の一例を挙げる。
Here, an example of a comparative experiment in which the ceramic green sheet is dried using the conventional ceramic green sheet drying apparatus and the ceramic green sheet drying apparatus according to the present invention will be given.

【0048】乾燥前の含水量が16.7wt%のセラミッ
クグリーンシートを、0.2kwのマイクロ波加熱をして
乾燥すると含水量は13.0wt%に乾燥され,110℃
の温風供給加熱をして乾燥すると含水量は11.0wt%
に乾燥されたのに対し、0.2kwのマイクロ波加熱と1
10℃の温風供給加熱とを併用して乾燥すると含水量は
5.35wt%に乾燥された。したがって、単独加熱によ
る乾燥方法に比べて本発明によるセラミックグリーンシ
ート乾燥装置を用いた乾燥方法では、セラミックグリー
ンシートの含水量は1/2以下にまで乾燥され、乾燥時
間を1/2以下に短縮することができた。
When the ceramic green sheet having a water content of 16.7 wt% before drying is heated by microwave heating at 0.2 kw and dried, the water content is dried to 13.0 wt% at 110 ° C.
Water content is 11.0wt% when heated and heated.
While it was dried to 0.2 kw microwave heating and 1
When it was dried in combination with heating with hot air supply at 10 ° C., the water content was dried to 5.35 wt%. Therefore, in the drying method using the ceramic green sheet drying apparatus according to the present invention, the water content of the ceramic green sheet is reduced to less than 1/2, and the drying time is reduced to less than 1/2, as compared with the drying method by independent heating. We were able to.

【0049】上述のように、本発明によるセラミックグ
リーンシート乾燥装置では、乾燥室を上下に複数段から
なる構成としているため、設置面積が狭くなり、使用面
積当たりの生産性が高くなる。
As described above, in the ceramic green sheet drying apparatus according to the present invention, since the drying chamber is composed of a plurality of upper and lower stages, the installation area is narrowed and the productivity per used area is increased.

【0050】尚、本発明によるセラミックグリーンシー
ト乾燥装置21,41の下段の温風供給加熱ゾーン(図
示せず)又は/及び外部加熱ゾーンと、貫通孔22b,
42cの出口30b,50cとの間に冷風を送風する冷
却ゾーンを設け、セラミックグリーンシート乾燥装置2
1,41からセラミックグリーンシートSを冷却してか
ら取り出すことが可能である。
It should be noted that the hot air supply heating zone (not shown) or / and the external heating zone in the lower stage of the ceramic green sheet drying device 21, 41 according to the present invention, the through hole 22b,
A cooling zone for blowing cold air is provided between the outlets 42b and 42c of the ceramic green sheet drying device 2.
It is possible to take out after cooling the ceramic green sheets S from 1, 41.

【0051】尚、第1実施例におけるマイクロ波加熱装
置21によるマイクロ波加熱ゾーンに代わって外部加熱
による外部加熱ゾーンを設け、温風供給加熱と併用する
乾燥装置であってもよい。又、第2実施例のセラミック
グリーンシート乾燥装置41において、セラミックグリ
ーンシートSを全ての乾燥室42a〜42cを通過させ
て、マイクロ波加熱,外部加熱,温風供給加熱により乾
燥させる乾燥方法に限るものでなく、選択的加熱、例え
ば、マイクロ波加熱と温風供給加熱、又は、外部加熱と
温風供給加熱を選択した乾燥方法でもよい。
The microwave heating device 21 in the first embodiment may be replaced by a microwave heating zone provided by external heating, instead of the microwave heating zone, and the drying device may be used together with hot air supply heating. Further, in the ceramic green sheet drying device 41 of the second embodiment, the drying method is limited to the method of passing the ceramic green sheet S through all the drying chambers 42a to 42c and drying it by microwave heating, external heating, hot air supply heating. However, the drying method may be one in which selective heating, for example, microwave heating and warm air supply heating, or external heating and warm air supply heating is selected.

【0052】又、セラミックグリーンシートSの上下面
反転装置は、上述の実施例に限定されるものでなく、移
送途中でセラミックグリーンシートSの長手方向で18
0度捩じることにより、上下面を反転させてもよい。
Further, the upper and lower surface reversing device of the ceramic green sheet S is not limited to the above-mentioned embodiment, and is 18 in the longitudinal direction of the ceramic green sheet S during the transfer.
The upper and lower surfaces may be inverted by twisting 0 degree.

【0053】搬送手段3は、ベルトコンベアに限定され
るものでなく、乾燥室の貫通孔内に多数の回転ローラを
回転させて、セラミックグリーンシートSを移送するも
のでもよい。
The conveying means 3 is not limited to a belt conveyor, but may be a means for rotating a large number of rotating rollers in the through hole of the drying chamber to convey the ceramic green sheet S.

【0054】第1及び第2実施例のセラミックグリーン
シート乾燥装置21,41において、温風供給加熱装置
から供給される温風の排出は、入口29a,29b,4
9a〜49cを通じて排出したが、好ましくは、入口2
9a,29b,49a〜49c近傍に各々排気ダクトを
設けるのがよい。
In the ceramic green sheet drying devices 21 and 41 of the first and second embodiments, the hot air supplied from the hot air supply heating device is discharged through the inlets 29a, 29b and 4.
9a-49c, but preferably inlet 2
Exhaust ducts are preferably provided near 9a, 29b, 49a to 49c.

【0055】また、第1及び第2実施例のセラミックグ
リーンシート乾燥装置21,41において、温風供給加
熱装置に代わって温風循環加熱装置であってもよい。
Further, in the ceramic green sheet dryers 21 and 41 of the first and second embodiments, a warm air circulation heating device may be used instead of the warm air supply heating device.

【0056】[0056]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によるセラミ
ックグリーンシート乾燥装置及びセラミックグリーンシ
ート乾燥方法では、以下のような効果が得られる。
As described above, the following effects can be obtained by the ceramic green sheet drying apparatus and the ceramic green sheet drying method according to the present invention.

【0057】1.従来のマイクロ波加熱,外部加熱,温
風供給加熱等の単独加熱によるセラミックグリーンシー
ト乾燥方法に比べて、それらを併用加熱することにより
早く乾燥することができ、乾燥時間を短縮することがで
きる。
1. Compared with the conventional ceramic green sheet drying method by single heating such as microwave heating, external heating, and hot air supply heating, by heating them together, they can be dried more quickly and the drying time can be shortened.

【0058】2.セラミックグリーンシートの内部及び
外部、又は、セラミックグリーンシートの両表面を均一
に乾燥することができるため、乾燥済みのセラミックグ
リーンシートは乾燥むらによる波打ち現象が減少する。
2. Since the inside and outside of the ceramic green sheet, or both surfaces of the ceramic green sheet can be uniformly dried, the corrugated phenomenon due to uneven drying is reduced in the dried ceramic green sheet.

【0059】3.セラミックグリーンシートは内外部及
び両表面が均一に乾燥されることにより、乾燥済みのセ
ラミックグリーンシートに乾燥時の内部応力が生じにく
くなり、従来の片面乾燥法に比べこの乾燥方法によるセ
ラミックグリーンシートを用いたセラミック焼結体は反
り量が低減する。
3. The inner and outer surfaces and both surfaces of the ceramic green sheet are uniformly dried, so that internal stress during drying is less likely to occur in the dried ceramic green sheet. The amount of warpage of the ceramic sintered body used is reduced.

【0060】4.各加熱ゾーンに温風を流して、セラミ
ックグリーンシートからの蒸発物である水蒸気が乾燥室
から外部へ排出されるため、乾燥室内の水蒸気圧の上
昇、及び、セラミックグリーンシートの表面並びに乾燥
室内部への結露を防ぐことができる。
4. Hot air is blown to each heating zone, and the vapor generated from the ceramic green sheet is discharged from the drying chamber to the outside. Therefore, the steam pressure in the drying chamber rises, and the surface of the ceramic green sheet and the inside of the drying chamber are also increased. Condensation can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る第1実施例のセラミックグリーン
シート乾燥装置の概略を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an outline of a ceramic green sheet drying apparatus according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明に係る第2実施例のセラミックグリーン
シート乾燥装置の概略を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing an outline of a ceramic green sheet drying apparatus according to a second embodiment of the present invention.

【図3】従来のセラミックグリーンシート乾燥装置の概
略を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing an outline of a conventional ceramic green sheet drying device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

3 搬送手段 21,41 セラミックグリーンシート乾燥
装置 22,42 乾燥室 26,46 マイクロ波加熱ゾーン 48 外部加熱ゾーン S セラミックグリーンシート
3 Conveying means 21,41 Ceramic green sheet drying device 22,42 Drying chamber 26,46 Microwave heating zone 48 External heating zone S Ceramic green sheet

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 稲泉 聡 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 木曽 茂生 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 橋本 慎也 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Satoshi Inazumi, 2-10-10 Tenjin, Nagaokakyo, Kyoto Prefecture Murata Manufacturing Co., Ltd. (72) Inventor Shigeo Kiso 2-26-10 Tenjin, Nagaokakyo, Kyoto Stock Company Murata Manufacturing (72) Inventor Shinya Hashimoto 2-10-10 Tenjin, Nagaokakyo, Kyoto Murata Manufacturing Co., Ltd.

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】セラミックグリーンシートを乾燥させる乾
燥室と、前記セラミックグリーンシートを、この乾燥室
内を移送させる搬送手段とを備え、 前記乾燥室は、前記搬送手段により移送されるセラミッ
クグリーンシートをマイクロ波加熱するマイクロ波加熱
ゾーンを有し、このマイクロ波加熱ゾーンに温風供給加
熱装置を備えることを特徴とするセラミックグリーンシ
ート乾燥装置。
1. A drying chamber for drying a ceramic green sheet, and a transport means for transporting the ceramic green sheet in the drying chamber, wherein the drying chamber is a micro-chamber for the ceramic green sheet transported by the transport means. A ceramic green sheet drying device, which has a microwave heating zone for wave heating, and is provided with a warm air supply heating device in this microwave heating zone.
【請求項2】セラミックグリーンシートを乾燥させる乾
燥室と、前記セラミックグリーンシートを、この乾燥室
内を移送させる搬送手段とを備え、 前記乾燥室は、前記搬送手段により移送されるセラミッ
クグリーンシートを、マイクロ波加熱するマイクロ波加
熱ゾーン及び外部から加熱する外部加熱ゾーンを有し、
このマイクロ波加熱ゾーン及び外部加熱ゾーンに、温風
供給加熱装置を備えることを特徴とするセラミックグリ
ーンシート乾燥装置。
2. A drying chamber for drying the ceramic green sheet, and a transporting means for transporting the ceramic green sheet in the drying chamber, wherein the drying chamber transports the ceramic green sheet by the transporting means. Having a microwave heating zone for microwave heating and an external heating zone for heating from outside,
A heating device for supplying hot air to the microwave heating zone and the external heating zone.
【請求項3】前記搬送手段は、前記セラミックグリーン
シートの上下面を反転させる手段を備えていることを特
徴とする請求項1又は2に記載のセラミックグリーンシ
ート乾燥装置。
3. The ceramic green sheet drying device according to claim 1, wherein the conveying means includes means for reversing the upper and lower surfaces of the ceramic green sheet.
【請求項4】前記搬送手段は、上下に少なくとも二段か
ら構成され、この上下二段の搬送手段の搬送方向は互い
に反対方向であり、 前記セラミックグリーンシートが、前記上段の搬送手段
により一方向に移送され、前記上段の搬送手段の最終端
でこの搬送手段から前記下段の搬送手段に移され、この
下段の搬送手段により逆方向に移送されることにより、
前記セラミックグリーンシートの上下面を反転させるこ
とを特徴とする請求項1又は2に記載のセラミックグリ
ーンシート乾燥装置。
4. The conveying means is composed of at least two stages above and below, and the conveying directions of the upper and lower two stages are opposite to each other, and the ceramic green sheet is unidirectional by the upper conveying means. Is transferred to the lower transfer means from the transfer means at the final end of the upper transfer means, and is transferred in the reverse direction by the lower transfer means,
The ceramic green sheet drying device according to claim 1 or 2, wherein the upper and lower surfaces of the ceramic green sheet are reversed.
【請求項5】セラミックグリーンシートを乾燥させる乾
燥室と、前記セラミックグリーンシートを、この乾燥室
内を移送させる搬送手段とを備え、 前記乾燥室は、前記搬送手段により移送されるセラミッ
クグリーンシートを、マイクロ波加熱するマイクロ波加
熱ゾーン及び外部から加熱する外部加熱ゾーンを有し、
このマイクロ波加熱ゾーン及び外部加熱ゾーンに、温風
供給加熱装置を備え、前記搬送手段は上下に少なくとも
二段から構成されていることを特徴とするセラミックグ
リーンシート乾燥装置。
5. A drying chamber for drying the ceramic green sheet, and a transport means for transporting the ceramic green sheet in the drying chamber, wherein the drying chamber transports the ceramic green sheet by the transport means. Having a microwave heating zone for microwave heating and an external heating zone for heating from outside,
A heating device for supplying hot air is provided in the microwave heating zone and the external heating zone, and the conveying means is composed of at least two stages above and below.
【請求項6】前記乾燥室は、この乾燥室の出口近傍に冷
却ゾーンを有することを特徴とする請求項1乃至5のい
ずれかに記載のセラミックグリーンシート乾燥装置。
6. The ceramic green sheet drying apparatus according to claim 1, wherein the drying chamber has a cooling zone near an outlet of the drying chamber.
【請求項7】セラミックグリーンシート移送用の搬送手
段により移送されるセラミックグリーンシートを、マイ
クロ波加熱するとともに温風供給加熱をして乾燥するこ
とを特徴とするセラミックグリーンシート乾燥方法。
7. A method for drying a ceramic green sheet, which comprises heating a ceramic green sheet transferred by a transfer means for transferring a ceramic green sheet by microwave heating and heating by supplying hot air.
【請求項8】セラミックグリーンシート移送用の搬送手
段により移送されるセラミックグリーンシートを、マイ
クロ波加熱するとともに温風供給加熱をして乾燥し、次
に、外部加熱するとともに温風供給加熱をして乾燥する
ことを特徴とするセラミックグリーンシート乾燥方法。
8. A ceramic green sheet transferred by a transfer means for transferring a ceramic green sheet is microwave-heated and hot-air supplied and heated to dry, and then externally heated and hot-air supplied and heated. A method for drying a ceramic green sheet, which comprises:
【請求項9】前記セラミックグリーンシートを、乾燥す
るための移送中に上下面を反転させて乾燥することを特
徴とする請求項7又は8に記載のセラミックグリーンシ
ート乾燥方法。
9. The method of drying a ceramic green sheet according to claim 7, wherein the ceramic green sheet is dried by inverting the upper and lower surfaces thereof during transportation for drying.
【請求項10】前記セラミックグリーンシートを、上下
少なくとも二段の搬送手段を用い、上段の搬送手段上で
前記セラミックグリーンシートを加熱させ、下段の搬送
手段に移送する際に、前記セラミックグリーンシートの
上下面を反転させ、下段の搬送手段上で前記セラミック
グリーンシートを加熱させることを特徴とする請求項7
又は8に記載のセラミックグリーンシート乾燥方法。
10. When the ceramic green sheet is conveyed to the lower conveying means by heating the ceramic green sheet on the upper conveying means using at least two upper and lower conveying means, 8. The upper and lower surfaces are turned upside down, and the ceramic green sheet is heated on the lower conveying means.
Or the method for drying a ceramic green sheet according to item 8.
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